反射防止膜及び反射防止膜の製造方法
【課題】 本件発明の課題は、微細凹凸構造体の反射防止性能を向上した上で、耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れた反射防止光学素子を提供することである。
【解決手段】上記課題を解決するため、反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに設けられる第一の光学薄膜としての下地層１１と、下地層１１の表面に設けられ、凸部１２ｂ間のピッチ幅ｐが入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体１２から成る微細凹凸構造体層と、当該微細構造体１２の凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で凸部１２ｂの先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層１３とを備える構成とする。
【解決手段】上記課題を解決するため、反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに設けられる第一の光学薄膜としての下地層１１と、下地層１１の表面に設けられ、凸部１２ｂ間のピッチ幅ｐが入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体１２から成る微細凹凸構造体層と、当該微細構造体１２の凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で凸部１２ｂの先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層１３とを備える構成とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子本体の光学面に設けられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜及び反射防止膜の製造方法に関し、特に、微細凹凸構造体を備えた反射防止膜及び当該反射防止膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズ等の光学素子本体の光学面に、表面反射による透過光の損失を低減させるために反射防止構造体を備えた反射防止膜が設けられている。反射防止構造体の一つとして、入射光波長よりも短い間隔で凸部が規則的に配列された微細凹凸構造体が知られている（例えば、「特許文献１」及び「特許文献２」参照。）。このような微細凹凸構造体を光学素子本体の光学面に備えることにより、広い波長帯域および広い光線入射角に対して反射防止効果を発揮することができる。
【０００３】
ここで、微細凹凸構造体は、光学素子本体の光学面から突出する無数の凸部を有する。反射を抑制するためには、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体の深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布を形成する必要がある。従って、これらの凸部は、一般に、先端が基端よりも細い錐体状の形状を呈している。このため、微細凹凸構造体の表面は機械的損傷を受けやすく、耐擦傷性が低いという課題がある。
【０００４】
また、光学素子本体の光学面における表面積に対して、上記微細凹凸構造体の表面積は極めて大きい。このため、例えば、高温高湿環境下に長期間保管された場合、微細凹凸構造体に水分が吸着するなどして微細凹凸構造が崩れることで、反射防止性能が低下するという課題がある。
【０００５】
これらの課題に対して、例えば、特許文献１に記載の反射防止膜は、微細凹凸構造体の表面に透明な１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の膜厚の保護膜を設けることにより、機械的損傷や水分の吸着等を防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０１０−５１１０７９号
【特許文献２】特開２０１０−４８８９６号
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「Ｐｒａｃｔｉｃａｌ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍｓ」、Ｒｏｎａｌｄ Ｒ．Ｗｉｌｌｅｙ、１０１ 頁、Ｗｉｌｌｅｙ Ｏｐｔｉｃａｌ，Ｃｏｎｓｕｌｔａｎｔｓ、２００７年１１月版
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の保護膜は、微細凹凸構造体の凹部を保護膜形成材料で充填しているため、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体の深さ方向に形成された緩やかな屈折率の分布を維持することができず、当該反射防止膜の反射防止性能が低下する恐れがある。
【０００９】
また、屈折率勾配層から成る反射防止膜において、反射を抑制するための理想的な屈折率変化が知られている（例えば、非特許文献１参照。）（図２参照）。しかしながら、微細凹凸構造体のみによって、深さ方向に理想的な屈折率変化を形成するのは困難であり、反射防止性能の更なる向上が求められている。
【００１０】
以上のことから、本件発明の課題は、微細凹凸構造体を備える反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れ、且つ、反射防止性能をより向上することのできる反射防止膜、当該反射防止膜を備えた反射防止光学素子及び当該反射防止膜の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、本発明者等は、鋭意研究を行った結果、以下の反射防止膜、反射防止光学素子及び反射防止膜の製造方法を採用することで上記目的を達成するに到った。
【００１２】
本件発明に係る反射防止膜は、光学素子本体の光学面に備えられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜であって、当該光学面上に設けられる第一の光学薄膜としての下地層と、この下地層の表面に設けられ、凸部間のピッチ幅が入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体から成る微細凹凸構造体層と、当該微細凹凸構造体の外側を、当該微細構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が１．１５以上１．８以下であることが好ましい。
【００１４】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、下記式（１）を満たすものであることが好ましい。
【００１５】
【数１】
【００１６】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層は、透光性材料を成膜材料として用い、空孔を含む粗状態な膜として形成されたものであり、当該被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率は、前記透光性材料自体の屈折率よりも低いことが好ましい。
【００１７】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層は、単層から成る光学薄膜であり、当該下地層の屈折率ｎｂは、光学素子本体の屈折率の値と前記微細凹凸構造体を構成する材料の屈折率の値との間の値を示すことが好ましい。
【００１８】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たすものであることが好ましい。
【００１９】
【数２】
【００２０】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層は、複数層から成る光学薄膜であり、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において上記の単層から成る光学薄膜と等価膜として構成してもよい。
【００２１】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層として、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した少なくとも二層以上の層から成る光学薄膜を用いてもよい。
【００２２】
本件発明に係る反射防止膜において、前記微細凹凸構造体は樹脂材料を用いて形成されたものであり、前記ピッチ幅は２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２３】
本件発明に係る反射防止膜は、ｄ線における入射光の屈折率が１．４以上２．１以下の光学素子本体に設けられるものであることが好ましい。
【００２４】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層は、光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜したものであることが好ましい。
【００２５】
本件発明に係る反射防止光学素子は、光学素子本体の光学面に、上記反射防止膜を備えたことを特徴とする。
【００２６】
本件発明に係る反射防止膜の製造方法は、上記反射防止膜を製造する方法であって、光学素子本体の光学面に前記下地層を形成する工程と、当該下地層の表面に前記微細凹凸構造体を形成する工程と、前記下地層及び前記微細凹凸構造体が形成された光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜して前記被覆層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本件発明によれば、微細凹凸構造体を有する反射防止膜において、この微細凹凸構造体の凸部の先端を被覆する被覆層を設けたので、微細凹凸構造体の表面に水分等が吸着するのを防止して、反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を向上することができる。
【００２８】
また、本件発明によれば、被覆層は、微細構造体の外側を、当該微細凹凸構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆している。微細凹凸構造体の表面形状、すなわち凹凸形状に沿って、微細凹凸構造体との間に空隙無く表面全面を被覆層で覆った場合には、微細凹凸構造体の凸部の表面を被覆する光学薄膜形成材料により入射光が反射し、微細凹凸構造体の反射抑制機能が損なわれる場合がある。しかしながら、本件発明のように、微細凹凸構造体の凸部の先端のみを被覆層により覆い、被覆層と凹部との間を空隙とすることにより、入射光の媒質である空気との屈折率の差異が小さくなり、反射を抑制することができる。
【００２９】
さらに、第二の光学薄膜としての被覆層と第一の光学薄膜としての下地層とを設けることにより、微細凹凸構造体のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射防止膜全体の深さ方向における屈折率変化を、入射光の反射を抑制する上でより理想的な屈折率変化に近づけることができる。これにより、微細凹凸構造体のみから反射防止膜を構成した場合と比して、反射防止性能を向上することができる。
【００３０】
このように、本件発明によれば、微細凹凸構造体を備える反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を優れたものとし、且つ、反射防止性能をより向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本件発明に係る反射防止光学素子の断面を示す模式図である。
【図２】屈折率勾配層からなる反射防止膜の光学膜厚に対する理想的な屈折率変化の一例を示す図である。
【図３】本件発明に係る反射防止光学素子と比較するための、被覆層の態様を説明するための模式図である。
【図４】本件発明に係る被覆層を形成する際に用いるドーム回転型の回転基板保持台の構成を示す図である。
【図５】本件発明に係る被覆層を形成する際に用いる遊星回転型の回転基板保持台の構成を示す図である。
【図６】実施例１及び比較例１で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図７】実施例１及び比較例１で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図８】実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図９】実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１０】実施例３及び比較例３で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１１】実施例３及び比較例３で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１２】実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１３】実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１４】比較例６、比較例７及び比較例８で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１５】比較例６、比較例７及び比較例８で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１６】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１７】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の入射角０°の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１８】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の入射角４５°の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１９】実施例６及び比較例１１で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図２０】実施例６及び比較例１１で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、図面を参照しながら、本件発明に係る反射防止膜、反射防止光学素子及び当該反射防止光学素子の製造方法の実施の形態を説明する。
【００３３】
１．反射防止膜
まず、図１〜図３を参照して、本実施の形態の反射防止膜１０及び、この反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに備える反射防止光学素子２０の構成を説明する。図１は、本実施の形態の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０の構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態の反射防止膜１０は、光学素子本体２１の光学面２１ａに設けられる第一の光学薄膜としての下地層１１と、下地層１１の表面に設けられた微細凹凸構造体１２と、微細凹凸構造体１２の外側を凹部１２ａとの間に空隙１４（空気層）を設けた状態で、凸部１２ｂの先端を被覆した被覆層１３とを備えたことを特徴としている。すなわち、本件発明では、空隙を含む微細凹凸構造体１２からなる屈折率勾配層（微細凹凸構造体層）を、第一の光学薄膜としての下地層１１と、第二の光学薄膜としての被覆層１３とにより挟み込んだ構成を採用したことを特徴としている。以下、各層の積層順序とは異なるが、最初に微細凹凸構造体１２について説明し、その後、被覆層１３、下地層１１の順に説明する。
【００３４】
（１）微細凹凸構造体１２
図１に示すように、微細凹凸構造体１２は、光学素子本体２１の光学面２１ａ側から突出する複数（無数）の凸部１２ｂを備えている。微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂは、互いに隣接して配置されている。各凸部１２ｂは、円錐状、角錐状、多角錐状（それぞれ先端の一部が切り欠かれた形状も含む）等の錐体状形状を呈し、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体１２の深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布が形成されている。すなわち、微細凹凸構造体は、いわゆる屈折率勾配層（屈折率傾斜層；グレーテッド層）であり、深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布を設けることにより、入射光の反射を抑制することが可能になる。
【００３５】
ピッチ幅： 微細凹凸構造体１２において凸部１２ｂのピッチ幅ｐは入射光波長よりも短いことが好ましく、２００ｎｍ以下であることがより好ましい。ここで、ピッチ幅ｐとは、例えば、互いに隣接する凸部１２ｂの先端位置間の距離を指す。但し、ピッチ幅ｐは、電子顕微鏡観察により測定することができる。
【００３６】
凸部１２ｂのピッチ幅ｐが２００ｎｍ以下であることにより、後述する真空蒸着法等の物理的気相成長法により、被覆層１３を成膜することで、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、微細凹凸構造体１２の外側を被覆することができる。換言すれば、真空蒸着法等により被覆層１３を成膜する際に、凸部１２ｂのピッチ幅ｐが２００ｎｍ以下であれば、本件特有の成膜方法を採用することにより、凹部１２ａに被覆層形成材料（透光性材料）を充填することなく、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆することができる。
【００３７】
一方、このピッチ幅ｐが２００ｎｍを超える場合、被覆層１３を真空蒸着法等により形成する際に、微細凹凸構造体１２の凹部１２ａに被覆層形成材料が充填される可能性が高くなる。微細凹凸構造体１２の凹部１２ａ内に被覆層形成材料が充填されると、微細凹凸構造体１２の深さ方向に形成された緩やかな屈折率の分布を維持することができず、微細凹凸構造体１２の反射防止性能が低下する場合がある。また、ピッチ幅ｐが２００ｎｍを超える場合、光散乱が発生し、透過光の損失や迷光の発生につながる他、被覆層１３の保護膜としての機能が低下する場合がある。
【００３８】
高さ： 凸部１２ｂの高さｈは、５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、「凸部１２ｂの高さｈ」とは、図１に示すように、凸部１２ｂの基端部から先端部までの距離を指す。凸部１２ｂの高さｈは、電子顕微鏡観察により求めることができる。凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることにより、凸部１２ｂを錐体状に形成することで、微細凹凸構造体１２の深さ方向において緩やかな屈折率の分布を形成することができる。これにより、可視光領域の入射光の反射を効果的に防止することができる。一方、凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ未満である場合、可視光に対する反射防止効果が不十分になり、好ましくない。また、凸部１２ｂの高さｈが高い方がより広い波長範囲及び入射角度の入射光に対する反射防止効果を実現することができるため好ましい。また、凸部の高さは凸部の幅よりも大きいことが好ましい。しかしながら、２５０ｎｍを超える場合、凸部のピッチ幅ｐを２００ｎｍ以下に保ちながらそのような高さを形成することが困難になり、製造上の観点から２５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３９】
但し、本件発明において、微細凹凸構造体１２が要求される反射防止効果を発揮することができれば、凸部１２ｂの高さｈは特に限定されるものではない。上述した範囲は、あくまでも好ましい範囲である。従って、上記範囲を超えた場合であっても、微細凹凸構造体１２が要求される反射防止効果を発揮する限りにおいて、特に問題は生じない。
【００４０】
構成材料： 微細凹凸構造体１２を構成する材料としては、樹脂材料を用いることが好ましい。無機材料に比して、樹脂材料を用いることにより、上述したピッチ幅で微細凹凸構造体１２を精度よく形成することが可能になる。樹脂材料として、具体的には、ＰＭＭＡ樹脂（ポリメタクリル酸メチル樹脂）、日本ゼオン社製のＺＥＯＮＥＸ（登録商標（以下、同じ））樹脂、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＰＰＧ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ社製のＣＲ−３９樹脂（登録商標（以下、同じ））（ａｌｌｙｌ ｄｉｇｌｙｃｏｌ ｃａｒｂｏｎａｔｅ）等を用いることができる。
【００４１】
（２）被覆層１３
次に、被覆層１３について説明する。既に述べた通り、本件発明に係る反射防止膜１０は、当該被覆層１３と当該微細構造体の凹部１２ａとの間に空隙１４が設けられた状態で、当該被覆層１３により当該微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端が被覆されるようにして、被覆層１３が微細凹凸構造体１２の外側を被覆することを特徴としている。ここで、被覆層１３は、微細凹凸構造体１２の保護膜としての機能と、光学薄膜としての機能とを併せ持つ層である。
【００４２】
まず、被覆層１３の光学薄膜としての機能について説明する。一般に、屈折率勾配層から成る反射防止膜により、入射光の反射を抑制するには、屈折率勾配層の光学膜厚に対して、例えば、図２に示すような屈折率変化を示すことが理想的であるといわれている（上記非特許文献１参照）。但し、図２に示す屈折率変化は、一例に過ぎない。しかしながら、微細凹凸構造体１２の微細凹凸形状等によってのみ反射防止膜を構成した場合、深さ方向における屈折率の分布を、入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化となるように製造することは困難である。
【００４３】
そこで、本件発明では、微細凹凸構造体１２の入射光の媒質側の界面に光学薄膜として機能する被覆層１３を設けて、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）及び屈折率ｎｃを適宜調整することにより、媒質側界面における当該反射防止膜１０の屈折率変化を、反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができる。
【００４４】
屈折率ｎｃ： 被覆層１３の屈折率ｎｃは、物理膜厚ｄｃとの関係で下記式（１）を満たす値であることが要求されるのは勿論である。この点に加えて、当該屈折率ｎｃは、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。屈折率ｎｃが１．１５未満の被覆層１３を製造することは困難であり、製造上の観点から屈折率ｎｃは１．１５以上であることが好ましい。一方、被覆層１３の屈折率ｎｃが１．８を超える場合は、微細凹凸構造体１２を構成する材料や凹凸形状等によっても異なるが、例えば、空気（入射光が光学素子に入射する前に伝搬する媒質）と被覆層１３との界面における屈折率の差が大きくなる場合があり、反射防止膜１０全体としてみた場合の深さ方向における屈折率の変化を、反射を抑制する上で理想的な屈折率の変化に近づけることが困難になる。その結果、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することが困難になる。従って、被覆層１３の屈折率ｎｃは上述の通り、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点からは、被覆層１３の屈折率ｎｃは当該範囲内においても低い方が好ましく、１．５以下であるとより好ましい。なお、当該被覆層１３の屈折率ｎｃが１．８を超えた場合であっても、２．３５以下であれば、微細凹凸構造体１２のみで反射防止膜を形成した場合と比して、反射防止性能を低下させることがなく、保護膜としての機能を果たすことができる。
【００４５】
光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）： ここで、被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は下記式（１）を満たすものであることが好ましい。
【００４６】
【数３】
【００４７】
すなわち、被覆層１３の屈折率ｎｃと、被覆層１３の物理膜厚ｄｃを乗じた光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）を上述の範囲内とすることにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射率を低下させることが可能になる。すなわち、反射防止性能を向上することができる。これに対して、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）が「０．０５×（λ０／４）」以下である場合、物理膜厚も薄くなり、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端が被覆されず、光学薄膜として機能しない場合がある。また、微細凹凸構造体１２の機械的損傷を防止するという保護膜としての機能を十分に発現することができない場合がある。一方、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）が「０．７５×（λ０／４）」以上となる場合、被覆層１３の光学膜厚が厚く、被覆層１３において、入射光が反射したり、入射光が散乱したりする等により、透過光の損失が生じるため好ましくない。
【００４８】
膜の状態： 既存の材料を用いて、保護膜としての強度を有すると共に、より低い屈折率を達成するために、被覆層１３は、成膜時に生じる空孔を含む当該透光性材料から成る粗状態な膜として形成されたものであることが好ましい。このような粗状態な膜とすることにより、当該被覆層１３の屈折率を被覆層１３を構成する透光性材料自体の屈折率よりも低いものとすることができる。すなわち、成膜材料として用いる透光性材料の物質が有する屈折率、すなわち、バルク状態にある透光性材料の屈折率よりも、被覆層１３の屈折率を低くすることができる。例えば、透光性材料を真空蒸着法等の物理的気相成長法により成膜する際に、二次粒子の成長過程において生じる空孔を残した状態で成膜することにより、当該透光性材料から成る粗状態な膜を得ることができる。当該方法で成膜すれば、数ｎｍ程度（例えば、５ｎｍ以下）の空孔を被覆層１３内に分散配置することができる。
【００４９】
空孔の体積率： 被覆層１３において、空孔が占める体積率は７０％未満であることが好ましい。当該体積率が７０％以上になると、被覆層１３の強度が低下し、また、保護膜としての機能が低下する場合があるためである。当該観点から、被覆層１３において、空孔が占める体積率は５０％未満であることがより好ましく、３０％未満であることが更に好ましい。一方、空孔が占める体積率の下限値は、成膜材料として用いた透光性材料の屈折率と、被覆層１３に要求される屈折率とに応じて、適宜、適切な値とすることができ、特に限定されるものではない。
【００５０】
構成材料： 被覆層１３を構成する透光性材料としては、無機系の透光材料が好ましい。被覆層１３は、上述した通り、微細凹凸構造体１２の機械的損傷を防止し、当該反射防止膜１０の耐擦傷性を向上するための保護膜としての機能を有する。樹脂系の透光性材料よりも、無機系の透光性材料の方が一般に機械的強度が高いため、被覆層１３の形成材料として無機系の透光性材料が好ましい。
【００５１】
さらに、被覆層１３は、上述した通り、反射防止膜１０の深さ方向の屈折率の変化を理想的な屈折率変化に調整する光学薄膜としての機能を有し、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することを目的として設けるものである。樹脂系の透光性材料よりも、無機系の透光性材料の方が材料の屈折率の範囲が広く、光学設計において選択する材料の自由度が増すことから、被覆層１３の形成材料として無機系の透光性材料が好ましい。また、後述する物理的気相成長法により、無機系の透光性材料を用いて、空孔を含むように成膜することにより、材料自体の屈折率よりも被覆層１３の屈折率を低くすることができるため、光学設計において選択する材料の自由度をより増加させることができる。
【００５２】
屈折率が１．８以下の無機系の透光性材料として、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物などが挙げられる。また、屈折率が１．５以下の無機系の透光性材料として、ＳｉＯ２又はＭｇＦ２などが挙げられる。これらの材料を用いることにより、上述した範囲内の屈折率を有する被覆層１３を形成することができる。また、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２ 、Ｌａ２Ｏ３、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物の材料自体の屈折率は１．８以上であるが、これらの透光材料を用いた場合であっても、空孔を含むように被覆層１３を成膜することにより、屈折率が１．８以下の被覆層１３を得ることができる。
【００５３】
（３）下地層１１
次に、下地層１１について説明する。下地層１１は上述したように（第一の）光学薄膜として機能する層である。下地層は単層または複数層から構成される。下地層１１の光学薄膜としての機能は、被覆層１３と略同様である。すなわち、下地層１１を光学素子本体２１の光学面１０１と、微細凹凸構造体１２との間に介在させて、層数、屈折率、光学膜厚を適宜調整することにより、基材（光学素子本体２１）側界面における当該反射防止膜１０の屈折率変化を入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができる。
【００５４】
（ｉ）下地層が単層の場合
屈折率ｎｂ： ここで、下地層１１の屈折率ｎｂは、光学素子本体２１の屈折率の値と微細凹凸構造体１２を構成する材料の屈折率の値との間の値を示すことが好ましい。反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点からは、下地層１１の屈折率ｎｂは、下記式（Ａ）を満たすことが好ましい。
【００５５】
【数４】
【００５６】
下地層１１は、光学素子本体２１の光学面２１ａと、微細凹凸構造体１２との間に設けられる光学薄膜であるため、下地層１１の屈折率ｎｂを光学素子本体の屈折率ｎｓ及び微細凹凸構造体１２を構成する材料の屈折率ｎｐに応じて、上記関係を満たす範囲内の値とすることにより、当該反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を理想的な屈折率変化に近づけることができる。下地層１１の屈折率ｎｂが上記範囲から外れる場合、次に説明する光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）が適正な値であっても、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することが出来ず、逆に、反射防止性能が低下する恐れもあり、好ましくない。
【００５７】
光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）： 下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たすことが好ましい。
【００５８】
【数５】
【００５９】
反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点から、下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（Ｂ）を満たすことがより好ましい。
【００６０】
【数６】
【００６１】
下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）を上記式（２）を満たす範囲内の値とすることにより、当該反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができ、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することができる。一方、下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）が上記範囲から外れた場合、下地層１１の光学薄膜としての機能が低下し、反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を理想的な屈折率変化に近づけることができず、逆に、反射防止性能が低下する恐れもあり、好ましくない。
【００６２】
下地層１１は、設計中心波長λ０において光学的に単層膜と等価であるような、物理的には複数層が積層された構成であってもよい。
【００６３】
（ｉｉ）下地層が複数層の場合
さらに、下地層１１を複数層積層した構成とする場合、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した構成を採用することが好ましい。屈折率が２．０以上の高屈折率層と、屈折率が１．３８以上１．７以下の低屈折率層とを交互に積層することにより、反射防止膜１０全体で見たときの反射防止性能を効果的に大きく向上させることができ、理想的な屈折率変化に近づけることができるという効果が得られるためである。
【００６４】
構成材料： このような下地層１１は、例えば、各種成膜法により、ＭｇＦ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物などを用いて成膜した層を単層又は複数層積層することにより得ることができる。屈折率１．３８以上１．７以下の材料としてＭｇＦ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物、屈折率２．０以上２．３５以下の材料としてＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物が挙げられる。
【００６５】
以上のように、本実施の形態の反射防止膜１０は、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端を被覆する被覆層１３を設けたので、微細凹凸構造体１２の表面に水分等が吸着するのを防止して、反射防止膜１０の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を向上することができる。
【００６６】
また、本実施の形態の反射防止膜１０は、透光性材料から成る被覆層１３と当該微細構造体の凹部１２ａとの間に空隙１４が設けられた状態で、被覆層１３により微細凹凸構造体１２の外側を被覆している。これに対して、例えば、図３に示すように、微細凹凸構造体１２の表面形状、すなわち凹凸形状に沿って、微細凹凸構造体１２との間に空隙１４無く表面全面を被覆層１３で覆った場合には、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの表面を被覆する透光性材料により入射光が反射し、微細凹凸構造体１２の反射抑制機能が損なわれる場合がある。しかしながら、図１に示すように、本実施の形態では、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端のみを被覆層１３により覆い、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けたため、被覆層１３を透過した入射光は微細凹凸構造体１２と入射光の媒質である空気との屈折率の差異が小さくなり、反射を抑制することができる。このように、上記実施の形態の反射防止膜１０によれば、微細凹凸構造体１２の反射防止性能を維持した上で、耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れたものとすることができる。
【００６７】
さらに、本実施の形態の反射防止膜１０は、微細凹凸構造体１２を挟み込むように、光学薄膜としての下地層１１及び被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射防止膜１０全体の深さ方向における屈折率変化を、入射光の反射を抑制する上でより理想的な屈折率変化に近づけることができる。これにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成した場合と比して、本実施の形態の反射防止膜１０は、その反射防止性能を向上することができる。
【００６８】
２．反射防止光学素子２０
次に、本件発明に係る反射防止光学素子２０について説明する。上述した通り、本件発明に係る反射防止光学素子２０は、上述した反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに備えて構成される。
【００６９】
光学素子本体２１として、例えば、デジタルスチルカメラ、アナログスチルカメラ、各種顕微鏡、望遠鏡等のレンズを挙げることができる。但し、光学素子本体２１はレンズに限定されるものではなく、反射防止フィルム、偏光分離プリズム、色分解プリズム、赤外線カットフィルター、濃度フィルター、インテグレーター等各種光学素子に適用することができる。また、光学素子本体２１は、ガラス材料から形成されていてもよいし、樹脂材料から形成されていてもよく、光学素子本体２１を形成する材料に特に限定はない。
【００７０】
ここで、光学素子本体２１の屈折率は、ｄ線における入射光の屈折率が１．４以上２．１以下であることが好ましい。このような光学素子本体２１の光学面２１ａに上記反射防止膜１０を設けることにより、市場で要求されるレベル以上の反射防止性能を得ることができる。なお、図１に示した反射防止光学素子２０は、本件発明の一例であり、反射防止膜１０の層構成等を模式的に示したものに過ぎず、図１に示す形状等に限定されるものではない。
【００７１】
３．反射防止膜１０の製造方法
次に、図４及び図５を参照して、上記反射防止膜１０の製造方法の一例を説明する。反射防止膜１０の製造方法は、例えば、次の工程を備える。
Ａ．下地層形成工程
Ｂ．微細凹凸構造体形成工程
Ｃ．被覆層形成工程
以下、工程毎に説明する。
【００７２】
Ａ．下地層形成工程
下地層形成工程では、光学素子本体２１の光学面２１ａに、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、ＣＶＤ法（プラズマＣＶＤ法含む）、湿式成膜法（ディップコーティング、スピンコーティング）等の各種成膜法により、上述した材料を用いて成膜することにより下地層１１を形成する。
【００７３】
Ｂ．微細凹凸構造体形成工程
微細凹凸構造体形成工程は、下地層１１の表面に微細凹凸構造体１２を付与する工程である。下地層１１を形成する材料によって、種々の方法を採用することができる。本件発明において、微細凹凸構造形成工程は特に限定されるものではない。以下では、微細凹凸構造体１２の形成方法の一例として、プラズマエッチングによる方法を説明する。
【００７４】
（１）プラズマエッチングによる方法
まず、下地層１１の表面に、例えば、ＰＭＭＡ樹脂等の上述した材料を用いて樹脂膜を成膜する。なお、樹脂膜の成膜方法には限定はない。そして、下地層１１の表面に当該樹脂膜を備えた光学素子本体２１に対し、市販の真空蒸着装置（例えば、ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製））を用いて、電子線蒸着によりＴｉＯ２等の無機酸化物膜を形成する。このとき、蒸着レート、０．０１ｎｍ／ｓ〜５ｎｍ／ｓ、真空度１×１０−４Ｐａ〜５×１０−２Ｐａで電子線蒸着を行うことが好ましい。また、無機酸化物膜の膜厚は、電子線蒸着装置に取り付けられた水晶膜厚計で測定した場合に、０．３ｎｍ〜２ｎｍ程度であることが好ましい。なお、無機酸化物膜として、ＴｉＯ２膜の他、ＳｉＯ２膜、ＭｇＦ２膜等を上記電子線蒸着により形成してもよい。
【００７５】
その後、プラズマ源（例えば、ＡＰＳ Ｐｒｏ（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製））を使用して、放電電圧５０Ｖ〜１５０Ｖ、放電電流２０Ａ〜６０Ａ、基板バイアス８０Ｖ〜１５０Ｖの範囲でプラズマエッチングを６０ｓ〜５００ｓの間行う。このとき、Ａｒを５ｓｃｃｍ〜２０ｓｃｃｍ及びＯ２を５ｓｃｃｍ〜５０ｓｃｃｍの流量で流しておく。但し、「ｓｃｃｍ」とは、「ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｃ／ｍｉｎ、１ａｔｍ（大気圧１．０１３ｈＰａ）、０℃」を指す。以上の工程により、樹脂膜がエッチングされて、凸部１２ｂのピッチ幅ｐは５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度、凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ〜２５０ｎｍ程度の微細凹凸構造体１２が形成される。また、当該方法により形成した微細凹凸構造体１２において、凸部１２ｂの形状は、錐体状を呈する。
【００７６】
（２）その他
なお、上記と同様の手順により、微細凹凸構造の表面形状を形成した光学素子本体を用意しておき、ニッケル電鋳によりモールド（型）を作製し、当該モールドを用いて、エンボス加工により、例えば、ＰＭＭＡ樹脂等からなる樹脂膜が下地層１１上に設けられた光学素子本体２１に微細凹凸構造体１２を形成することができる。
【００７７】
Ｃ．被覆層形成工程
本件発明において、被覆層形成工程は、被覆層１３と凹部１２ａとの間に間隙を設け、凸部１２ｂの先端のみを被覆するように微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３を形成可能な方法であれば、如何なる方法を採用してもよい。しかしながら、本件発明者等の鋭意研究により、以下の方法を採用することで、本件発明に特有の上記被覆形態を有する被覆層１３を簡易に、且つ、精度よく形成することが可能であることを見出した。以下、当該方法を説明する。
【００７８】
本件発明において、被覆層形成工程は、微細凹凸構造体１２を下地層１１を介して光学面２１ａに備える光学素子本体２１をドーム回転又は遊星回転させながら、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜させることが好ましい。ここで、物理的気相成長法として、例えば、真空蒸着法、マグネトロンスパッタリング法、イオンプレーティング法等を挙げることができる。
【００７９】
前記被覆層１３を構成する被覆層構成材料は、上述した通り、屈折率１．３８以上２．３５以下の透光性材料を用いる。また、これらの材料を用いて形成された被覆層１３の屈折率は、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。被覆層１３を空孔を含む粗状態の膜として形成することにより、被覆層光性材料自体の屈折率よりも低い屈折率とすることができる。また、上述した通り、被覆層構成材料は、無機系の透光性材料であることが好ましく、採用可能な具体的な透光性材料は上記列挙した通りである。物理的気相成長法としては、例えば、電子線蒸着法を用いることが好ましい。電子線蒸着法を適用する際に、例えば、上述した市販の電子線蒸着装置（例えば、ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製）を用いることができる。このとき、蒸着レート、０．１ｎｍ／ｓ〜１０ ｎｍ／ｓ、真空度１×１０−４Ｐａ〜５×１０−２Ｐａで電子線蒸着を行うことが好ましい。
【００８０】
光学面２１ａに下地層１１を介して微細凹凸構造体１２を備えた光学素子本体２１を、図４に示すドーム回転型の回転基板保持台１００を用いることが好ましい。図４に示すように、ドーム回転型の回転基板保持台１００の内側に、微細凹凸構造体１２を備える光学面２１ａを成膜面として、光学素子本体２１を固定する。そして、当該ドーム型の回転基板保持台１００を図示しない回転軸により回転させながら、蒸発させた被覆層形成材料を成膜面に対して、２０度〜８０度の角度で接触させるようにすることが好ましい。あるいは、ドーム回転型の回転基板保持台１００において、回転中心位置から当該回転基板保持台１００の外縁までの距離を１とした場合、回転中心位置から１／２〜１となる領域に光学素子本体２１を固定することが好ましい。このとき、回転中心位置から２／３〜１となる領域に光学素子本体２１を固定することがより好ましい。回転する微細凹凸構造体１２の表面に対して、斜めに蒸発した被覆層形成材料が接触することにより、凹部１２ａに被覆層形成材料が充填されることなく、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、凸部１２ｂの先端のみ被覆層１３で被覆されるように、微細凹凸構造体１２の外側に被覆層１３を成膜することができる。但し、微細凹凸構造体１２の表面に対して、斜めの方向とは、光学素子本体２１の光学面２１ａに対して、斜めの方向を指す（以下、同じ。）。
【００８１】
また、被覆層１３を成膜する際に、図５に示す遊星回転型の回転基板保持台１１０を用いることも好ましい態様である。遊星回転型の回転基板保持台１１０は、略円盤形状の公転回転台（プラネットベース）１１１と、この公転回転台１１１の外周部に、蒸着側に突出し、且つ、公転回転台１１１の回転面において外周側から回転中心側に傾斜するように、回転可能に設けられる支柱軸１１２と、この支柱軸１１２に基板保持面が垂直になるように取り付けられる遊星回転台（プラネタリ）１１３とを備えている。なお、遊星回転台１１３も略円盤形状を呈している。公転回転台１１１が公転する際、支柱軸１１２の回転により遊星回転台１１３は自転する。これにより、微細凹凸構造体１２側が成膜面となるように遊星回転台１１３に保持された光学素子本体２１は、遊星回転を行いながら、蒸発した被覆層形成材料に接触する。これにより、微細凹凸構造体１２の凹部１２ａに被覆層形成材料が充填されることなく、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、凸部１２ｂの先端のみ被覆層１３で被覆されるように、微細凹凸構造体１２の外側に被覆層１３を成膜することができる。但し、公転回転台１１１に対して、支柱軸１１２は２０度〜７０度の傾斜角度で設けられていることが好ましい。支柱軸１１２の公転回転台１１１に対する傾斜角度を当該範囲内とすることにより、本件発明に係る被覆層１３を形成することができる。
【００８２】
以上、説明した本実施の形態は本件発明の一態様であり、本件発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。以下、実施例及び比較例を挙げて、本件発明をより詳細に説明するが、本件発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００８３】
実施例１では、株式会社オハラ製の光学ガラス（商品名：Ｓ−ＬＡＨ６６（ｎｄ＝１．７７））から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。光学素子本体２１の光学面２１ａにＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を形成し、その後、無機系の透光性材料としてＭｇＦ２を用いて、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例１の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００８４】
光学面２１ａ側を成膜面として、図５に示すように、遊星回転型の基板支持保持台に当該光学素子本体２１を取り付けた。このとき、公転回転台に対して支柱軸は５０度の傾斜角度になるように遊星回転型の基板支持保持台に対する当該光学素子本体２１の取り付け位置を設定した。当該光学素子本体２の表面に０．２ｍｍの膜厚のＰＭＭＡ樹脂膜を設け、このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、真空蒸着装置ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ）を用い、ＰＭＭＡ樹脂膜の表面に、電子線蒸着によって水晶膜厚で１．２５ｎｍのＴｉＯ２膜を成膜した。このとき、蒸着レートは０．０３ｎｍ／ｓとし、チャンバ内の真空度を１×１０−３Ｐａとした。次に基板バイアス１２０Ｖ、放電電流５０Ａでプラズマエッチングを約２００ｓ（秒）行った。また、このとき、チャンバ内にＡｒガスと、Ｏ２ガスとをそれぞれ流量１４ｓｃｃｍ、３０ｓｃｃｍで流した。以上の工程により、凸部１２ｂのピッチ幅ｐが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈが１５０ｎｍ〜２３０ｎｍ程度のＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を形成した。
【００８５】
その後、真空蒸着によりＭｇＦ２を水晶膜厚で３９ｎｍ成膜した。以上のようにして実施例１の反射防止膜１０を製造した。実施例１により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表１に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「４５ｎｍ」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００８６】
【表１】
【実施例２】
【００８７】
実施例２では、光学素子本体１０として、ＳＣＨＯＴＴ ＡＧ社（ショット社）製のＮ−ＢＫ７ガラス（ｎｄ＝１．５２）から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。そして光学素子本体２１上にＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を作成した。その後、無機系の透光性材料として、ＳｉＯ２を成膜材料とし、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例２の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００８８】
まず、光学面２１ａにスピンコート法によりＰＭＭＡ樹脂膜を形成した。このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例２で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＳｉＯ２を用いて、膜厚が１０ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例２により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表２に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．３５」、「１４ｎｍ」であり、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００８９】
【表２】
【実施例３】
【００９０】
被覆層３０を構成する無機系の透光性材料としてＺｒＯ２＋ＴｉＯ２を用い、被覆層３０の膜厚を５ｎｍとしたこと以外は、実施例２の反射防止光学素子１００と同様にして、実施例３の反射防止光学素子を製造した。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．８」、「９ｎｍ」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【実施例４】
【００９１】
実施例４では、株式会社オハラ製の光学ガラス（商品名：Ｓ−ＬＡＨ５５（ｎｄ＝１．８３））から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。そして、下地層１１として、表３に示す層構成を有する３層等価膜から成る光学薄膜を形成した。次に、下地層１１上にＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を作成した。その後、無機系の透光性材料として、ＭｇＦ２を成膜材料とし、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例４の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００９２】
まず、下地層１１の形成方法について説明する。当該ガラスレンズの光学面２１ａに、真空蒸着法により、第１層目として物理膜厚が２９．４ｎｍになるようにＡｌ２Ｏ３膜を成膜した。続いて、このＡｌ２Ｏ３膜上に、同じく真空蒸着法により、第二層目として物理膜厚が１０ｎｍになるようにＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物から成るＺｒＯ２＋ＴｉＯ２膜を成膜した。そして、このＺｒＯ２＋ＴｉＯ２膜上に第一層目と同様にして、第三層目としての物理膜厚が２９．４ｎｍのＡｌ２Ｏ３膜を成膜した。
【００９３】
次に、光学素子本体にスピンコート法によりＰＭＭＡ樹脂膜を形成した。このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例４で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が５０ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例４により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表３に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「５８ｎｍ」である。設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。また、微細凹凸構造体１２を構成するＰＭＭＡ樹脂の屈折率（ｎｐ）は、「１．４９」であり、設計中心波長λ０は、同じく「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。また、下地層１１の設計中心波長５５０ｎｍにおける等価単層膜の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．７２」、「１１９ｎｍ」であり、上述した式（２）の関係を満たしている。
【００９４】
【表３】
【実施例５】
【００９５】
実施例５では、下微細凹凸構造体１２との間に設ける下地層１１を４層積層した構成とし、各層の膜厚をそれぞれ表４に示す通りにした。各層は、実施例４と同様に真空蒸着法により成膜した。そして、この下地層１１の表面に、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例５で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が６１ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「７０ｎｍ」である。設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。また、微細凹凸構造体１２を構成するＰＭＭＡ樹脂の屈折率（ｎｐ）は、「１．４９」であり、設計中心波長λ０は、同じく「６５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００９６】
【表４】
【実施例６】
【００９７】
実施例６では、光学素子本体１０として、日本ゼオン社のＺＥＯＮＥＸ Ｅ４８Ｒ（登録商標）樹脂製の光学レンズを採用し、この光学レンズの表面に微細凹凸構造体２０を形成した。微細凹凸構造体２０の形成に際しては、この光学素子本体１０の光学面１１に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例６で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１５０ｎｍ〜２３０ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が３８ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例６により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表５に示す通りである。以上のようにして、実施例６の反射防止光学素子１００を製造した。なお、被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）及び屈折率（ｎｃ）は、それぞれ、「４４ｎｍ」、「１．１５」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００９８】
【表５】
【比較例】
【００９９】
［比較例１］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例１の反射防止膜１０と同様にして、比較例１の反射防止膜を製造した。
【０１００】
［比較例２］
被覆層１３の膜厚を８０ｎｍとした以外は、実施例２の反射防止膜１０と同様にして、比較例２の反射防止膜を製造した。被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．３５」、「１０８ｎｍ」であり、上述した式（１）の関係を満たしていない。
【０１０１】
［比較例３］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例２の反射防止膜１０と同様にして、比較例３の反射防止膜を製造した。
【０１０２】
［比較例４］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例４の反射防止膜を製造した。
【０１０３】
［比較例５］
下地層１１を形成しない以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例５の反射防止膜を製造した。
【０１０４】
［比較例６］
光学素子本体２１の光学面２１ａと、微細凹凸構造体１２との間に設ける下地層１１の各層の膜厚をそれぞれ表６に示す通りにしたこと以外は、実施例４と同様にして、比較例６の反射防止光学素子１０を製造した。下地層１１の設計中心波長５５０ｎｍにおける等価単層膜の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．７」、「２６９ｎｍ」であり、上述した式（２）の関係を満たしていない。
【０１０５】
【表６】
【０１０６】
［比較例７］
下地層１１を表７に示す層構成とする以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例７の反射防止膜を製造した。下地層１１の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．４６」、「１３８ｎｍ」である。
【０１０７】
【表７】
【０１０８】
［比較例８］
下地層１１を表８に示す層構成とする以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例８の反射防止膜を製造した。下地層１１の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「２．０５」、「１３８ｎｍ」である。
【０１０９】
【表８】
【０１１０】
［比較例９］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例５の反射防止膜１０と同様にして、比較例９の反射防止膜を製造した。
【０１１１】
［比較例１０］
下地層１１を形成しない以外は、実施例５の反射防止膜１０と同様にして、比較例１０の反射防止膜を製造した。
【０１１２】
［比較例１１］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例６の反射防止膜１０と同様にして、比較例１１の反射防止膜を製造した。
【０１１３】
［評価］
１．評価方法
上記実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、それぞれ、１）膜厚方向（深さ方向）における屈折率の分布及び反射率の測定、２）耐擦傷性の評価、３）耐高温高湿環境性の評価を行った。以下、具体的な評価方法を説明する。
【０１１４】
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、微細凹凸構造体１２の膜厚方向における屈折率の分布を、Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ社製の分光エリプソメーターＭ−２０００を用いて測定した。また、波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲もしくは波長４００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲の光を微細凹凸構造体１２を介して光学素子本体２１の光学面２１ａに照射したときの、反射防止膜１０の反射率の測定を行った。反射率の測定は、大塚電子社製の分光光度計ＦＥ−３０００およびＭ−２０００を用いて行った。
【０１１５】
２）耐擦傷性の評価
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、微細凹凸構造体１２を備える光学面２１ａをワイパー（ＭＸ−ＣＬＯＴＨ、ＣｌｅａｎＥｒａ社）（以下、同じ）にメタノールを含ませて１００ｇｆで１０往復させた。その後、蛍光灯下で透過および反射光線を利用して目視により、反射防止膜１０の表面を観察して、表面のキズの有無を確認した。
【０１１６】
３）耐高温高湿環境性の評価
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０をそれぞれ６０℃、９０％の高温高湿環境下に２４０時間保管した後、各反射防止膜１０の反射率を測定し、高温高湿環境に保管する前後の反射率の変化を評価した。
【０１１７】
２．評価結果
ここでは、実施例１と比較例１、実施例２及び実施例３と比較例２及び比較例３、実施例４と比較例４〜比較例８、実施例５と比較例９及び比較例１０、実施例６と比較例１１をそれぞれ対比しながら、上記１）〜３）の評価結果について説明する。
【０１１８】
２−１．実施例１及び比較例１の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図６に、実施例１及び比較例１で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図６において、横軸は光学素子本体２１の光学面２１ａからの距離を示し、縦軸は設計中心波長λ０における屈折率を示している（図８、図１０、図１２、図１４、図１６、図１９においても同様である）。また、図７に各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示している。図７において、横軸は、微細凹凸構造体１２に入射した光の波長を示し、縦軸は当該入射光の反射率を示している（なお、図９、図１１、図１３、図１５、図１７、図１８、図２０についても同様である）。
【０１１９】
図６に示すように、各反射防止膜１０の屈折率の分布は、略類似した分布を示すが、被覆層１３の有無により、入射光の媒質側において、屈折率の分布がそれぞれ異なっている。また、図７に示すように、比較例１の反射防止膜に対して、実施例１の反射防止膜１０の反射率は広い波長範囲に亘って低く、本件発明に係る反射防止膜１０は反射防止性能が高いことが分かる。実施例１の反射防止膜１０は入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲における平均反射率は、０．０９％であった。これに対して、比較例１の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、０．３４％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例１の反射防止膜１０は、下地層１１のみを備え被覆層１３を備えていない比較例１の反射防止膜に対して、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２０】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例１の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例１の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１２１】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例１の反射防止膜１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後において、反射率の増加は見られなかった。一方、比較例１の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１２２】
２−２．実施例２、実施例３、比較例２及び比較例３の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図８に、実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図１０に、実施例３及び比較例３で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図９に、実施例２、比較例２及び比較例３で製造した各反射防止膜１１の入射光波長における反射率を示す。図１１に、実施例３及び比較例３で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１２３】
図８に示すように、実施例２の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．４％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１５％であった。これに対して、比較例２及び比較例３の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ５．０８％、０．３８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例２の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例３の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、被覆層１３が適切な範囲よりも厚い比較例２の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２４】
図１１に示すように、実施例３の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において、０．５％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１９％であった。これに対して、比較例３の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．３８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例３の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例３の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２５】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例２、実施例３及び比較例２の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例３の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１２６】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例２、実施例３及び比較例２の反射防止膜１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例３の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１２７】
２−３．実施例４及び比較例４〜比較例８の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１２に、実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図１４に比較例６〜比較例８で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図１３に実施例４、比較例４、比較例５で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。図１５に比較例６〜比較例８で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１２８】
図１３に示すように、実施例４の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１％であった。これに対して、図１３及び図１５に示すように比較例４〜比較例８の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．６１％、０．６１％、０．５２％、２．３８％、３．２８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例４の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例４の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１を備えていない比較例５の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、被覆層１３が適切な範囲よりも厚い比較例６の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１の屈折率が適切な範囲よりも低い比較例７の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１の屈折率が適切な範囲よりも高い比較例８の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２９】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例４及び比較例５〜比較例８の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例４の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３０】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例４及び比較例５〜比較例８は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例４の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１３１】
２−４．実施例５、比較例９及び比較例１０の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１６に、実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図１７及び図１８に各反射防止膜１０のそれぞれ入射角０°、４５°の入射光波長における反射率を示す。
【０１３２】
図１７及び図１８に示すように、実施例５の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜９００ｎｍの全範囲において０．３％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における入射角０°での平均反射率は０．１５％、入射角４５°での平均反射率は０．２４％であった。これに対して、比較例９および比較例１０の反射防止膜の同入射光波長範囲における入射角０°での平均反射率は、それぞれ０．４％、０．６３％、入射角４５°での平均反射率は、それぞれ０．６８％、０．７８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例５の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例９の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１を備えていない比較例１０の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１３３】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例５、比較例１０の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例９の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３４】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例５、比較例１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例９の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１３５】
２−５．実施例６及び比較例１１の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１９に、実施例６及び比較例１１で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図２０に各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１３６】
図２０に示すように、実施例６の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．０９％、であった。これに対して、比較例１１の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．２５％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例６の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例１１の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１３７】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例６の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例１１の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３８】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例６は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例１１の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本件発明に係る反射防止膜は、耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れ、反射防止性能が高い。このため、高温高湿環境下においても好適に用いることができ、また、手入れ等を容易にすることができるため、各種の光学素子に好適に適用することができる。
【符号の説明】
【０１４０】
１０・・・反射防止膜
１１・・・下地層
１２・・・微細凹凸構造体
１３・・・被覆層
１４・・・空隙
２０・・・反射防止光学素子
２１・・・光学素子本体
２１ａ・・光学面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子本体の光学面に設けられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜及び反射防止膜の製造方法に関し、特に、微細凹凸構造体を備えた反射防止膜及び当該反射防止膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズ等の光学素子本体の光学面に、表面反射による透過光の損失を低減させるために反射防止構造体を備えた反射防止膜が設けられている。反射防止構造体の一つとして、入射光波長よりも短い間隔で凸部が規則的に配列された微細凹凸構造体が知られている（例えば、「特許文献１」及び「特許文献２」参照。）。このような微細凹凸構造体を光学素子本体の光学面に備えることにより、広い波長帯域および広い光線入射角に対して反射防止効果を発揮することができる。
【０００３】
ここで、微細凹凸構造体は、光学素子本体の光学面から突出する無数の凸部を有する。反射を抑制するためには、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体の深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布を形成する必要がある。従って、これらの凸部は、一般に、先端が基端よりも細い錐体状の形状を呈している。このため、微細凹凸構造体の表面は機械的損傷を受けやすく、耐擦傷性が低いという課題がある。
【０００４】
また、光学素子本体の光学面における表面積に対して、上記微細凹凸構造体の表面積は極めて大きい。このため、例えば、高温高湿環境下に長期間保管された場合、微細凹凸構造体に水分が吸着するなどして微細凹凸構造が崩れることで、反射防止性能が低下するという課題がある。
【０００５】
これらの課題に対して、例えば、特許文献１に記載の反射防止膜は、微細凹凸構造体の表面に透明な１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の膜厚の保護膜を設けることにより、機械的損傷や水分の吸着等を防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０１０−５１１０７９号
【特許文献２】特開２０１０−４８８９６号
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「Ｐｒａｃｔｉｃａｌ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍｓ」、Ｒｏｎａｌｄ Ｒ．Ｗｉｌｌｅｙ、１０１ 頁、Ｗｉｌｌｅｙ Ｏｐｔｉｃａｌ，Ｃｏｎｓｕｌｔａｎｔｓ、２００７年１１月版
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の保護膜は、微細凹凸構造体の凹部を保護膜形成材料で充填しているため、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体の深さ方向に形成された緩やかな屈折率の分布を維持することができず、当該反射防止膜の反射防止性能が低下する恐れがある。
【０００９】
また、屈折率勾配層から成る反射防止膜において、反射を抑制するための理想的な屈折率変化が知られている（例えば、非特許文献１参照。）（図２参照）。しかしながら、微細凹凸構造体のみによって、深さ方向に理想的な屈折率変化を形成するのは困難であり、反射防止性能の更なる向上が求められている。
【００１０】
以上のことから、本件発明の課題は、微細凹凸構造体を備える反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れ、且つ、反射防止性能をより向上することのできる反射防止膜、当該反射防止膜を備えた反射防止光学素子及び当該反射防止膜の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、本発明者等は、鋭意研究を行った結果、以下の反射防止膜、反射防止光学素子及び反射防止膜の製造方法を採用することで上記目的を達成するに到った。
【００１２】
本件発明に係る反射防止膜は、光学素子本体の光学面に備えられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜であって、当該光学面上に設けられる第一の光学薄膜としての下地層と、この下地層の表面に設けられ、凸部間のピッチ幅が入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体から成る微細凹凸構造体層と、当該微細凹凸構造体の外側を、当該微細構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が１．１５以上１．８以下であることが好ましい。
【００１４】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、下記式（１）を満たすものであることが好ましい。
【００１５】
【数１】
【００１６】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層は、透光性材料を成膜材料として用い、空孔を含む粗状態な膜として形成されたものであり、当該被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率は、前記透光性材料自体の屈折率よりも低いことが好ましい。
【００１７】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層は、単層から成る光学薄膜であり、当該下地層の屈折率ｎｂは、光学素子本体の屈折率の値と前記微細凹凸構造体を構成する材料の屈折率の値との間の値を示すことが好ましい。
【００１８】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たすものであることが好ましい。
【００１９】
【数２】
【００２０】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層は、複数層から成る光学薄膜であり、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において上記の単層から成る光学薄膜と等価膜として構成してもよい。
【００２１】
本件発明に係る反射防止膜において、前記下地層として、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した少なくとも二層以上の層から成る光学薄膜を用いてもよい。
【００２２】
本件発明に係る反射防止膜において、前記微細凹凸構造体は樹脂材料を用いて形成されたものであり、前記ピッチ幅は２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２３】
本件発明に係る反射防止膜は、ｄ線における入射光の屈折率が１．４以上２．１以下の光学素子本体に設けられるものであることが好ましい。
【００２４】
本件発明に係る反射防止膜において、前記被覆層は、光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜したものであることが好ましい。
【００２５】
本件発明に係る反射防止光学素子は、光学素子本体の光学面に、上記反射防止膜を備えたことを特徴とする。
【００２６】
本件発明に係る反射防止膜の製造方法は、上記反射防止膜を製造する方法であって、光学素子本体の光学面に前記下地層を形成する工程と、当該下地層の表面に前記微細凹凸構造体を形成する工程と、前記下地層及び前記微細凹凸構造体が形成された光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜して前記被覆層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本件発明によれば、微細凹凸構造体を有する反射防止膜において、この微細凹凸構造体の凸部の先端を被覆する被覆層を設けたので、微細凹凸構造体の表面に水分等が吸着するのを防止して、反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を向上することができる。
【００２８】
また、本件発明によれば、被覆層は、微細構造体の外側を、当該微細凹凸構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆している。微細凹凸構造体の表面形状、すなわち凹凸形状に沿って、微細凹凸構造体との間に空隙無く表面全面を被覆層で覆った場合には、微細凹凸構造体の凸部の表面を被覆する光学薄膜形成材料により入射光が反射し、微細凹凸構造体の反射抑制機能が損なわれる場合がある。しかしながら、本件発明のように、微細凹凸構造体の凸部の先端のみを被覆層により覆い、被覆層と凹部との間を空隙とすることにより、入射光の媒質である空気との屈折率の差異が小さくなり、反射を抑制することができる。
【００２９】
さらに、第二の光学薄膜としての被覆層と第一の光学薄膜としての下地層とを設けることにより、微細凹凸構造体のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射防止膜全体の深さ方向における屈折率変化を、入射光の反射を抑制する上でより理想的な屈折率変化に近づけることができる。これにより、微細凹凸構造体のみから反射防止膜を構成した場合と比して、反射防止性能を向上することができる。
【００３０】
このように、本件発明によれば、微細凹凸構造体を備える反射防止膜の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を優れたものとし、且つ、反射防止性能をより向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本件発明に係る反射防止光学素子の断面を示す模式図である。
【図２】屈折率勾配層からなる反射防止膜の光学膜厚に対する理想的な屈折率変化の一例を示す図である。
【図３】本件発明に係る反射防止光学素子と比較するための、被覆層の態様を説明するための模式図である。
【図４】本件発明に係る被覆層を形成する際に用いるドーム回転型の回転基板保持台の構成を示す図である。
【図５】本件発明に係る被覆層を形成する際に用いる遊星回転型の回転基板保持台の構成を示す図である。
【図６】実施例１及び比較例１で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図７】実施例１及び比較例１で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図８】実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図９】実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１０】実施例３及び比較例３で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１１】実施例３及び比較例３で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１２】実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１３】実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１４】比較例６、比較例７及び比較例８で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１５】比較例６、比較例７及び比較例８で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１６】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図１７】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の入射角０°の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１８】実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止光学素子の入射角４５°の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【図１９】実施例６及び比較例１１で製造した反射防止光学素子の膜厚方向における屈折率の分布を示す図である。
【図２０】実施例６及び比較例１１で製造した反射防止光学素子の入射光波長に対する反射率を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、図面を参照しながら、本件発明に係る反射防止膜、反射防止光学素子及び当該反射防止光学素子の製造方法の実施の形態を説明する。
【００３３】
１．反射防止膜
まず、図１〜図３を参照して、本実施の形態の反射防止膜１０及び、この反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに備える反射防止光学素子２０の構成を説明する。図１は、本実施の形態の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０の構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態の反射防止膜１０は、光学素子本体２１の光学面２１ａに設けられる第一の光学薄膜としての下地層１１と、下地層１１の表面に設けられた微細凹凸構造体１２と、微細凹凸構造体１２の外側を凹部１２ａとの間に空隙１４（空気層）を設けた状態で、凸部１２ｂの先端を被覆した被覆層１３とを備えたことを特徴としている。すなわち、本件発明では、空隙を含む微細凹凸構造体１２からなる屈折率勾配層（微細凹凸構造体層）を、第一の光学薄膜としての下地層１１と、第二の光学薄膜としての被覆層１３とにより挟み込んだ構成を採用したことを特徴としている。以下、各層の積層順序とは異なるが、最初に微細凹凸構造体１２について説明し、その後、被覆層１３、下地層１１の順に説明する。
【００３４】
（１）微細凹凸構造体１２
図１に示すように、微細凹凸構造体１２は、光学素子本体２１の光学面２１ａ側から突出する複数（無数）の凸部１２ｂを備えている。微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂは、互いに隣接して配置されている。各凸部１２ｂは、円錐状、角錐状、多角錐状（それぞれ先端の一部が切り欠かれた形状も含む）等の錐体状形状を呈し、入射光の媒質である空気から微細凹凸構造体１２の深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布が形成されている。すなわち、微細凹凸構造体は、いわゆる屈折率勾配層（屈折率傾斜層；グレーテッド層）であり、深さ方向に向かって緩やかな屈折率分布を設けることにより、入射光の反射を抑制することが可能になる。
【００３５】
ピッチ幅： 微細凹凸構造体１２において凸部１２ｂのピッチ幅ｐは入射光波長よりも短いことが好ましく、２００ｎｍ以下であることがより好ましい。ここで、ピッチ幅ｐとは、例えば、互いに隣接する凸部１２ｂの先端位置間の距離を指す。但し、ピッチ幅ｐは、電子顕微鏡観察により測定することができる。
【００３６】
凸部１２ｂのピッチ幅ｐが２００ｎｍ以下であることにより、後述する真空蒸着法等の物理的気相成長法により、被覆層１３を成膜することで、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、微細凹凸構造体１２の外側を被覆することができる。換言すれば、真空蒸着法等により被覆層１３を成膜する際に、凸部１２ｂのピッチ幅ｐが２００ｎｍ以下であれば、本件特有の成膜方法を採用することにより、凹部１２ａに被覆層形成材料（透光性材料）を充填することなく、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆することができる。
【００３７】
一方、このピッチ幅ｐが２００ｎｍを超える場合、被覆層１３を真空蒸着法等により形成する際に、微細凹凸構造体１２の凹部１２ａに被覆層形成材料が充填される可能性が高くなる。微細凹凸構造体１２の凹部１２ａ内に被覆層形成材料が充填されると、微細凹凸構造体１２の深さ方向に形成された緩やかな屈折率の分布を維持することができず、微細凹凸構造体１２の反射防止性能が低下する場合がある。また、ピッチ幅ｐが２００ｎｍを超える場合、光散乱が発生し、透過光の損失や迷光の発生につながる他、被覆層１３の保護膜としての機能が低下する場合がある。
【００３８】
高さ： 凸部１２ｂの高さｈは、５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、「凸部１２ｂの高さｈ」とは、図１に示すように、凸部１２ｂの基端部から先端部までの距離を指す。凸部１２ｂの高さｈは、電子顕微鏡観察により求めることができる。凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることにより、凸部１２ｂを錐体状に形成することで、微細凹凸構造体１２の深さ方向において緩やかな屈折率の分布を形成することができる。これにより、可視光領域の入射光の反射を効果的に防止することができる。一方、凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ未満である場合、可視光に対する反射防止効果が不十分になり、好ましくない。また、凸部１２ｂの高さｈが高い方がより広い波長範囲及び入射角度の入射光に対する反射防止効果を実現することができるため好ましい。また、凸部の高さは凸部の幅よりも大きいことが好ましい。しかしながら、２５０ｎｍを超える場合、凸部のピッチ幅ｐを２００ｎｍ以下に保ちながらそのような高さを形成することが困難になり、製造上の観点から２５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３９】
但し、本件発明において、微細凹凸構造体１２が要求される反射防止効果を発揮することができれば、凸部１２ｂの高さｈは特に限定されるものではない。上述した範囲は、あくまでも好ましい範囲である。従って、上記範囲を超えた場合であっても、微細凹凸構造体１２が要求される反射防止効果を発揮する限りにおいて、特に問題は生じない。
【００４０】
構成材料： 微細凹凸構造体１２を構成する材料としては、樹脂材料を用いることが好ましい。無機材料に比して、樹脂材料を用いることにより、上述したピッチ幅で微細凹凸構造体１２を精度よく形成することが可能になる。樹脂材料として、具体的には、ＰＭＭＡ樹脂（ポリメタクリル酸メチル樹脂）、日本ゼオン社製のＺＥＯＮＥＸ（登録商標（以下、同じ））樹脂、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＰＰＧ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ社製のＣＲ−３９樹脂（登録商標（以下、同じ））（ａｌｌｙｌ ｄｉｇｌｙｃｏｌ ｃａｒｂｏｎａｔｅ）等を用いることができる。
【００４１】
（２）被覆層１３
次に、被覆層１３について説明する。既に述べた通り、本件発明に係る反射防止膜１０は、当該被覆層１３と当該微細構造体の凹部１２ａとの間に空隙１４が設けられた状態で、当該被覆層１３により当該微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端が被覆されるようにして、被覆層１３が微細凹凸構造体１２の外側を被覆することを特徴としている。ここで、被覆層１３は、微細凹凸構造体１２の保護膜としての機能と、光学薄膜としての機能とを併せ持つ層である。
【００４２】
まず、被覆層１３の光学薄膜としての機能について説明する。一般に、屈折率勾配層から成る反射防止膜により、入射光の反射を抑制するには、屈折率勾配層の光学膜厚に対して、例えば、図２に示すような屈折率変化を示すことが理想的であるといわれている（上記非特許文献１参照）。但し、図２に示す屈折率変化は、一例に過ぎない。しかしながら、微細凹凸構造体１２の微細凹凸形状等によってのみ反射防止膜を構成した場合、深さ方向における屈折率の分布を、入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化となるように製造することは困難である。
【００４３】
そこで、本件発明では、微細凹凸構造体１２の入射光の媒質側の界面に光学薄膜として機能する被覆層１３を設けて、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）及び屈折率ｎｃを適宜調整することにより、媒質側界面における当該反射防止膜１０の屈折率変化を、反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができる。
【００４４】
屈折率ｎｃ： 被覆層１３の屈折率ｎｃは、物理膜厚ｄｃとの関係で下記式（１）を満たす値であることが要求されるのは勿論である。この点に加えて、当該屈折率ｎｃは、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。屈折率ｎｃが１．１５未満の被覆層１３を製造することは困難であり、製造上の観点から屈折率ｎｃは１．１５以上であることが好ましい。一方、被覆層１３の屈折率ｎｃが１．８を超える場合は、微細凹凸構造体１２を構成する材料や凹凸形状等によっても異なるが、例えば、空気（入射光が光学素子に入射する前に伝搬する媒質）と被覆層１３との界面における屈折率の差が大きくなる場合があり、反射防止膜１０全体としてみた場合の深さ方向における屈折率の変化を、反射を抑制する上で理想的な屈折率の変化に近づけることが困難になる。その結果、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することが困難になる。従って、被覆層１３の屈折率ｎｃは上述の通り、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点からは、被覆層１３の屈折率ｎｃは当該範囲内においても低い方が好ましく、１．５以下であるとより好ましい。なお、当該被覆層１３の屈折率ｎｃが１．８を超えた場合であっても、２．３５以下であれば、微細凹凸構造体１２のみで反射防止膜を形成した場合と比して、反射防止性能を低下させることがなく、保護膜としての機能を果たすことができる。
【００４５】
光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）： ここで、被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は下記式（１）を満たすものであることが好ましい。
【００４６】
【数３】
【００４７】
すなわち、被覆層１３の屈折率ｎｃと、被覆層１３の物理膜厚ｄｃを乗じた光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）を上述の範囲内とすることにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射率を低下させることが可能になる。すなわち、反射防止性能を向上することができる。これに対して、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）が「０．０５×（λ０／４）」以下である場合、物理膜厚も薄くなり、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端が被覆されず、光学薄膜として機能しない場合がある。また、微細凹凸構造体１２の機械的損傷を防止するという保護膜としての機能を十分に発現することができない場合がある。一方、当該被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）が「０．７５×（λ０／４）」以上となる場合、被覆層１３の光学膜厚が厚く、被覆層１３において、入射光が反射したり、入射光が散乱したりする等により、透過光の損失が生じるため好ましくない。
【００４８】
膜の状態： 既存の材料を用いて、保護膜としての強度を有すると共に、より低い屈折率を達成するために、被覆層１３は、成膜時に生じる空孔を含む当該透光性材料から成る粗状態な膜として形成されたものであることが好ましい。このような粗状態な膜とすることにより、当該被覆層１３の屈折率を被覆層１３を構成する透光性材料自体の屈折率よりも低いものとすることができる。すなわち、成膜材料として用いる透光性材料の物質が有する屈折率、すなわち、バルク状態にある透光性材料の屈折率よりも、被覆層１３の屈折率を低くすることができる。例えば、透光性材料を真空蒸着法等の物理的気相成長法により成膜する際に、二次粒子の成長過程において生じる空孔を残した状態で成膜することにより、当該透光性材料から成る粗状態な膜を得ることができる。当該方法で成膜すれば、数ｎｍ程度（例えば、５ｎｍ以下）の空孔を被覆層１３内に分散配置することができる。
【００４９】
空孔の体積率： 被覆層１３において、空孔が占める体積率は７０％未満であることが好ましい。当該体積率が７０％以上になると、被覆層１３の強度が低下し、また、保護膜としての機能が低下する場合があるためである。当該観点から、被覆層１３において、空孔が占める体積率は５０％未満であることがより好ましく、３０％未満であることが更に好ましい。一方、空孔が占める体積率の下限値は、成膜材料として用いた透光性材料の屈折率と、被覆層１３に要求される屈折率とに応じて、適宜、適切な値とすることができ、特に限定されるものではない。
【００５０】
構成材料： 被覆層１３を構成する透光性材料としては、無機系の透光材料が好ましい。被覆層１３は、上述した通り、微細凹凸構造体１２の機械的損傷を防止し、当該反射防止膜１０の耐擦傷性を向上するための保護膜としての機能を有する。樹脂系の透光性材料よりも、無機系の透光性材料の方が一般に機械的強度が高いため、被覆層１３の形成材料として無機系の透光性材料が好ましい。
【００５１】
さらに、被覆層１３は、上述した通り、反射防止膜１０の深さ方向の屈折率の変化を理想的な屈折率変化に調整する光学薄膜としての機能を有し、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することを目的として設けるものである。樹脂系の透光性材料よりも、無機系の透光性材料の方が材料の屈折率の範囲が広く、光学設計において選択する材料の自由度が増すことから、被覆層１３の形成材料として無機系の透光性材料が好ましい。また、後述する物理的気相成長法により、無機系の透光性材料を用いて、空孔を含むように成膜することにより、材料自体の屈折率よりも被覆層１３の屈折率を低くすることができるため、光学設計において選択する材料の自由度をより増加させることができる。
【００５２】
屈折率が１．８以下の無機系の透光性材料として、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物などが挙げられる。また、屈折率が１．５以下の無機系の透光性材料として、ＳｉＯ２又はＭｇＦ２などが挙げられる。これらの材料を用いることにより、上述した範囲内の屈折率を有する被覆層１３を形成することができる。また、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２ 、Ｌａ２Ｏ３、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物の材料自体の屈折率は１．８以上であるが、これらの透光材料を用いた場合であっても、空孔を含むように被覆層１３を成膜することにより、屈折率が１．８以下の被覆層１３を得ることができる。
【００５３】
（３）下地層１１
次に、下地層１１について説明する。下地層１１は上述したように（第一の）光学薄膜として機能する層である。下地層は単層または複数層から構成される。下地層１１の光学薄膜としての機能は、被覆層１３と略同様である。すなわち、下地層１１を光学素子本体２１の光学面１０１と、微細凹凸構造体１２との間に介在させて、層数、屈折率、光学膜厚を適宜調整することにより、基材（光学素子本体２１）側界面における当該反射防止膜１０の屈折率変化を入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができる。
【００５４】
（ｉ）下地層が単層の場合
屈折率ｎｂ： ここで、下地層１１の屈折率ｎｂは、光学素子本体２１の屈折率の値と微細凹凸構造体１２を構成する材料の屈折率の値との間の値を示すことが好ましい。反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点からは、下地層１１の屈折率ｎｂは、下記式（Ａ）を満たすことが好ましい。
【００５５】
【数４】
【００５６】
下地層１１は、光学素子本体２１の光学面２１ａと、微細凹凸構造体１２との間に設けられる光学薄膜であるため、下地層１１の屈折率ｎｂを光学素子本体の屈折率ｎｓ及び微細凹凸構造体１２を構成する材料の屈折率ｎｐに応じて、上記関係を満たす範囲内の値とすることにより、当該反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を理想的な屈折率変化に近づけることができる。下地層１１の屈折率ｎｂが上記範囲から外れる場合、次に説明する光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）が適正な値であっても、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することが出来ず、逆に、反射防止性能が低下する恐れもあり、好ましくない。
【００５７】
光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）： 下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たすことが好ましい。
【００５８】
【数５】
【００５９】
反射防止膜１０の反射防止性能をより向上するという観点から、下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（Ｂ）を満たすことがより好ましい。
【００６０】
【数６】
【００６１】
下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）を上記式（２）を満たす範囲内の値とすることにより、当該反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を入射光の反射を抑制する上で理想的な屈折率変化に近づけることができ、当該反射防止膜１０の反射防止性能を向上することができる。一方、下地層１１の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）が上記範囲から外れた場合、下地層１１の光学薄膜としての機能が低下し、反射防止膜１０全体で見たときの屈折率変化を理想的な屈折率変化に近づけることができず、逆に、反射防止性能が低下する恐れもあり、好ましくない。
【００６２】
下地層１１は、設計中心波長λ０において光学的に単層膜と等価であるような、物理的には複数層が積層された構成であってもよい。
【００６３】
（ｉｉ）下地層が複数層の場合
さらに、下地層１１を複数層積層した構成とする場合、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した構成を採用することが好ましい。屈折率が２．０以上の高屈折率層と、屈折率が１．３８以上１．７以下の低屈折率層とを交互に積層することにより、反射防止膜１０全体で見たときの反射防止性能を効果的に大きく向上させることができ、理想的な屈折率変化に近づけることができるという効果が得られるためである。
【００６４】
構成材料： このような下地層１１は、例えば、各種成膜法により、ＭｇＦ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物などを用いて成膜した層を単層又は複数層積層することにより得ることができる。屈折率１．３８以上１．７以下の材料としてＭｇＦ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３及びＬａ２Ｏ３の混合物、屈折率２．０以上２．３５以下の材料としてＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３及びＴｉＯ２の混合物、ＨｆＯ２、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物、Ｐｒ６Ｏ１１及びＴｉＯ２の混合物が挙げられる。
【００６５】
以上のように、本実施の形態の反射防止膜１０は、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端を被覆する被覆層１３を設けたので、微細凹凸構造体１２の表面に水分等が吸着するのを防止して、反射防止膜１０の耐高温高湿環境性及び耐擦傷性を向上することができる。
【００６６】
また、本実施の形態の反射防止膜１０は、透光性材料から成る被覆層１３と当該微細構造体の凹部１２ａとの間に空隙１４が設けられた状態で、被覆層１３により微細凹凸構造体１２の外側を被覆している。これに対して、例えば、図３に示すように、微細凹凸構造体１２の表面形状、すなわち凹凸形状に沿って、微細凹凸構造体１２との間に空隙１４無く表面全面を被覆層１３で覆った場合には、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの表面を被覆する透光性材料により入射光が反射し、微細凹凸構造体１２の反射抑制機能が損なわれる場合がある。しかしながら、図１に示すように、本実施の形態では、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端のみを被覆層１３により覆い、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けたため、被覆層１３を透過した入射光は微細凹凸構造体１２と入射光の媒質である空気との屈折率の差異が小さくなり、反射を抑制することができる。このように、上記実施の形態の反射防止膜１０によれば、微細凹凸構造体１２の反射防止性能を維持した上で、耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れたものとすることができる。
【００６７】
さらに、本実施の形態の反射防止膜１０は、微細凹凸構造体１２を挟み込むように、光学薄膜としての下地層１１及び被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成する場合に比して、反射防止膜１０全体の深さ方向における屈折率変化を、入射光の反射を抑制する上でより理想的な屈折率変化に近づけることができる。これにより、微細凹凸構造体１２のみから反射防止膜を構成した場合と比して、本実施の形態の反射防止膜１０は、その反射防止性能を向上することができる。
【００６８】
２．反射防止光学素子２０
次に、本件発明に係る反射防止光学素子２０について説明する。上述した通り、本件発明に係る反射防止光学素子２０は、上述した反射防止膜１０を光学素子本体２１の光学面２１ａに備えて構成される。
【００６９】
光学素子本体２１として、例えば、デジタルスチルカメラ、アナログスチルカメラ、各種顕微鏡、望遠鏡等のレンズを挙げることができる。但し、光学素子本体２１はレンズに限定されるものではなく、反射防止フィルム、偏光分離プリズム、色分解プリズム、赤外線カットフィルター、濃度フィルター、インテグレーター等各種光学素子に適用することができる。また、光学素子本体２１は、ガラス材料から形成されていてもよいし、樹脂材料から形成されていてもよく、光学素子本体２１を形成する材料に特に限定はない。
【００７０】
ここで、光学素子本体２１の屈折率は、ｄ線における入射光の屈折率が１．４以上２．１以下であることが好ましい。このような光学素子本体２１の光学面２１ａに上記反射防止膜１０を設けることにより、市場で要求されるレベル以上の反射防止性能を得ることができる。なお、図１に示した反射防止光学素子２０は、本件発明の一例であり、反射防止膜１０の層構成等を模式的に示したものに過ぎず、図１に示す形状等に限定されるものではない。
【００７１】
３．反射防止膜１０の製造方法
次に、図４及び図５を参照して、上記反射防止膜１０の製造方法の一例を説明する。反射防止膜１０の製造方法は、例えば、次の工程を備える。
Ａ．下地層形成工程
Ｂ．微細凹凸構造体形成工程
Ｃ．被覆層形成工程
以下、工程毎に説明する。
【００７２】
Ａ．下地層形成工程
下地層形成工程では、光学素子本体２１の光学面２１ａに、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、ＣＶＤ法（プラズマＣＶＤ法含む）、湿式成膜法（ディップコーティング、スピンコーティング）等の各種成膜法により、上述した材料を用いて成膜することにより下地層１１を形成する。
【００７３】
Ｂ．微細凹凸構造体形成工程
微細凹凸構造体形成工程は、下地層１１の表面に微細凹凸構造体１２を付与する工程である。下地層１１を形成する材料によって、種々の方法を採用することができる。本件発明において、微細凹凸構造形成工程は特に限定されるものではない。以下では、微細凹凸構造体１２の形成方法の一例として、プラズマエッチングによる方法を説明する。
【００７４】
（１）プラズマエッチングによる方法
まず、下地層１１の表面に、例えば、ＰＭＭＡ樹脂等の上述した材料を用いて樹脂膜を成膜する。なお、樹脂膜の成膜方法には限定はない。そして、下地層１１の表面に当該樹脂膜を備えた光学素子本体２１に対し、市販の真空蒸着装置（例えば、ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製））を用いて、電子線蒸着によりＴｉＯ２等の無機酸化物膜を形成する。このとき、蒸着レート、０．０１ｎｍ／ｓ〜５ｎｍ／ｓ、真空度１×１０−４Ｐａ〜５×１０−２Ｐａで電子線蒸着を行うことが好ましい。また、無機酸化物膜の膜厚は、電子線蒸着装置に取り付けられた水晶膜厚計で測定した場合に、０．３ｎｍ〜２ｎｍ程度であることが好ましい。なお、無機酸化物膜として、ＴｉＯ２膜の他、ＳｉＯ２膜、ＭｇＦ２膜等を上記電子線蒸着により形成してもよい。
【００７５】
その後、プラズマ源（例えば、ＡＰＳ Ｐｒｏ（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製））を使用して、放電電圧５０Ｖ〜１５０Ｖ、放電電流２０Ａ〜６０Ａ、基板バイアス８０Ｖ〜１５０Ｖの範囲でプラズマエッチングを６０ｓ〜５００ｓの間行う。このとき、Ａｒを５ｓｃｃｍ〜２０ｓｃｃｍ及びＯ２を５ｓｃｃｍ〜５０ｓｃｃｍの流量で流しておく。但し、「ｓｃｃｍ」とは、「ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｃ／ｍｉｎ、１ａｔｍ（大気圧１．０１３ｈＰａ）、０℃」を指す。以上の工程により、樹脂膜がエッチングされて、凸部１２ｂのピッチ幅ｐは５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度、凸部１２ｂの高さｈが５０ｎｍ〜２５０ｎｍ程度の微細凹凸構造体１２が形成される。また、当該方法により形成した微細凹凸構造体１２において、凸部１２ｂの形状は、錐体状を呈する。
【００７６】
（２）その他
なお、上記と同様の手順により、微細凹凸構造の表面形状を形成した光学素子本体を用意しておき、ニッケル電鋳によりモールド（型）を作製し、当該モールドを用いて、エンボス加工により、例えば、ＰＭＭＡ樹脂等からなる樹脂膜が下地層１１上に設けられた光学素子本体２１に微細凹凸構造体１２を形成することができる。
【００７７】
Ｃ．被覆層形成工程
本件発明において、被覆層形成工程は、被覆層１３と凹部１２ａとの間に間隙を設け、凸部１２ｂの先端のみを被覆するように微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３を形成可能な方法であれば、如何なる方法を採用してもよい。しかしながら、本件発明者等の鋭意研究により、以下の方法を採用することで、本件発明に特有の上記被覆形態を有する被覆層１３を簡易に、且つ、精度よく形成することが可能であることを見出した。以下、当該方法を説明する。
【００７８】
本件発明において、被覆層形成工程は、微細凹凸構造体１２を下地層１１を介して光学面２１ａに備える光学素子本体２１をドーム回転又は遊星回転させながら、微細凹凸構造体１２の凸部１２ｂの先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜させることが好ましい。ここで、物理的気相成長法として、例えば、真空蒸着法、マグネトロンスパッタリング法、イオンプレーティング法等を挙げることができる。
【００７９】
前記被覆層１３を構成する被覆層構成材料は、上述した通り、屈折率１．３８以上２．３５以下の透光性材料を用いる。また、これらの材料を用いて形成された被覆層１３の屈折率は、１．１５以上１．８以下であることが好ましい。被覆層１３を空孔を含む粗状態の膜として形成することにより、被覆層光性材料自体の屈折率よりも低い屈折率とすることができる。また、上述した通り、被覆層構成材料は、無機系の透光性材料であることが好ましく、採用可能な具体的な透光性材料は上記列挙した通りである。物理的気相成長法としては、例えば、電子線蒸着法を用いることが好ましい。電子線蒸着法を適用する際に、例えば、上述した市販の電子線蒸着装置（例えば、ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製）を用いることができる。このとき、蒸着レート、０．１ｎｍ／ｓ〜１０ ｎｍ／ｓ、真空度１×１０−４Ｐａ〜５×１０−２Ｐａで電子線蒸着を行うことが好ましい。
【００８０】
光学面２１ａに下地層１１を介して微細凹凸構造体１２を備えた光学素子本体２１を、図４に示すドーム回転型の回転基板保持台１００を用いることが好ましい。図４に示すように、ドーム回転型の回転基板保持台１００の内側に、微細凹凸構造体１２を備える光学面２１ａを成膜面として、光学素子本体２１を固定する。そして、当該ドーム型の回転基板保持台１００を図示しない回転軸により回転させながら、蒸発させた被覆層形成材料を成膜面に対して、２０度〜８０度の角度で接触させるようにすることが好ましい。あるいは、ドーム回転型の回転基板保持台１００において、回転中心位置から当該回転基板保持台１００の外縁までの距離を１とした場合、回転中心位置から１／２〜１となる領域に光学素子本体２１を固定することが好ましい。このとき、回転中心位置から２／３〜１となる領域に光学素子本体２１を固定することがより好ましい。回転する微細凹凸構造体１２の表面に対して、斜めに蒸発した被覆層形成材料が接触することにより、凹部１２ａに被覆層形成材料が充填されることなく、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、凸部１２ｂの先端のみ被覆層１３で被覆されるように、微細凹凸構造体１２の外側に被覆層１３を成膜することができる。但し、微細凹凸構造体１２の表面に対して、斜めの方向とは、光学素子本体２１の光学面２１ａに対して、斜めの方向を指す（以下、同じ。）。
【００８１】
また、被覆層１３を成膜する際に、図５に示す遊星回転型の回転基板保持台１１０を用いることも好ましい態様である。遊星回転型の回転基板保持台１１０は、略円盤形状の公転回転台（プラネットベース）１１１と、この公転回転台１１１の外周部に、蒸着側に突出し、且つ、公転回転台１１１の回転面において外周側から回転中心側に傾斜するように、回転可能に設けられる支柱軸１１２と、この支柱軸１１２に基板保持面が垂直になるように取り付けられる遊星回転台（プラネタリ）１１３とを備えている。なお、遊星回転台１１３も略円盤形状を呈している。公転回転台１１１が公転する際、支柱軸１１２の回転により遊星回転台１１３は自転する。これにより、微細凹凸構造体１２側が成膜面となるように遊星回転台１１３に保持された光学素子本体２１は、遊星回転を行いながら、蒸発した被覆層形成材料に接触する。これにより、微細凹凸構造体１２の凹部１２ａに被覆層形成材料が充填されることなく、被覆層１３と凹部１２ａとの間に空隙１４を設けた状態で、凸部１２ｂの先端のみ被覆層１３で被覆されるように、微細凹凸構造体１２の外側に被覆層１３を成膜することができる。但し、公転回転台１１１に対して、支柱軸１１２は２０度〜７０度の傾斜角度で設けられていることが好ましい。支柱軸１１２の公転回転台１１１に対する傾斜角度を当該範囲内とすることにより、本件発明に係る被覆層１３を形成することができる。
【００８２】
以上、説明した本実施の形態は本件発明の一態様であり、本件発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。以下、実施例及び比較例を挙げて、本件発明をより詳細に説明するが、本件発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００８３】
実施例１では、株式会社オハラ製の光学ガラス（商品名：Ｓ−ＬＡＨ６６（ｎｄ＝１．７７））から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。光学素子本体２１の光学面２１ａにＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を形成し、その後、無機系の透光性材料としてＭｇＦ２を用いて、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例１の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００８４】
光学面２１ａ側を成膜面として、図５に示すように、遊星回転型の基板支持保持台に当該光学素子本体２１を取り付けた。このとき、公転回転台に対して支柱軸は５０度の傾斜角度になるように遊星回転型の基板支持保持台に対する当該光学素子本体２１の取り付け位置を設定した。当該光学素子本体２の表面に０．２ｍｍの膜厚のＰＭＭＡ樹脂膜を設け、このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、真空蒸着装置ＡＲＥＳ１５１０（Ｌｅｙｂｏｌｄ Ｏｐｔｉｃｓ）を用い、ＰＭＭＡ樹脂膜の表面に、電子線蒸着によって水晶膜厚で１．２５ｎｍのＴｉＯ２膜を成膜した。このとき、蒸着レートは０．０３ｎｍ／ｓとし、チャンバ内の真空度を１×１０−３Ｐａとした。次に基板バイアス１２０Ｖ、放電電流５０Ａでプラズマエッチングを約２００ｓ（秒）行った。また、このとき、チャンバ内にＡｒガスと、Ｏ２ガスとをそれぞれ流量１４ｓｃｃｍ、３０ｓｃｃｍで流した。以上の工程により、凸部１２ｂのピッチ幅ｐが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈが１５０ｎｍ〜２３０ｎｍ程度のＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を形成した。
【００８５】
その後、真空蒸着によりＭｇＦ２を水晶膜厚で３９ｎｍ成膜した。以上のようにして実施例１の反射防止膜１０を製造した。実施例１により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表１に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「４５ｎｍ」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００８６】
【表１】
【実施例２】
【００８７】
実施例２では、光学素子本体１０として、ＳＣＨＯＴＴ ＡＧ社（ショット社）製のＮ−ＢＫ７ガラス（ｎｄ＝１．５２）から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。そして光学素子本体２１上にＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を作成した。その後、無機系の透光性材料として、ＳｉＯ２を成膜材料とし、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例２の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００８８】
まず、光学面２１ａにスピンコート法によりＰＭＭＡ樹脂膜を形成した。このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例２で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＳｉＯ２を用いて、膜厚が１０ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例２により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表２に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．３５」、「１４ｎｍ」であり、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００８９】
【表２】
【実施例３】
【００９０】
被覆層３０を構成する無機系の透光性材料としてＺｒＯ２＋ＴｉＯ２を用い、被覆層３０の膜厚を５ｎｍとしたこと以外は、実施例２の反射防止光学素子１００と同様にして、実施例３の反射防止光学素子を製造した。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．８」、「９ｎｍ」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【実施例４】
【００９１】
実施例４では、株式会社オハラ製の光学ガラス（商品名：Ｓ−ＬＡＨ５５（ｎｄ＝１．８３））から成るガラスレンズを光学素子本体２１として採用した。そして、下地層１１として、表３に示す層構成を有する３層等価膜から成る光学薄膜を形成した。次に、下地層１１上にＰＭＭＡ樹脂から成る微細凹凸構造体１２を作成した。その後、無機系の透光性材料として、ＭｇＦ２を成膜材料とし、微細凹凸構造体１２の外側を被覆層１３で被覆し、実施例４の反射防止膜１０及び反射防止光学素子２０を製造した。以下、各層の形成工程をより具体的に説明する。
【００９２】
まず、下地層１１の形成方法について説明する。当該ガラスレンズの光学面２１ａに、真空蒸着法により、第１層目として物理膜厚が２９．４ｎｍになるようにＡｌ２Ｏ３膜を成膜した。続いて、このＡｌ２Ｏ３膜上に、同じく真空蒸着法により、第二層目として物理膜厚が１０ｎｍになるようにＺｒＯ２及びＴｉＯ２の混合物から成るＺｒＯ２＋ＴｉＯ２膜を成膜した。そして、このＺｒＯ２＋ＴｉＯ２膜上に第一層目と同様にして、第三層目としての物理膜厚が２９．４ｎｍのＡｌ２Ｏ３膜を成膜した。
【００９３】
次に、光学素子本体にスピンコート法によりＰＭＭＡ樹脂膜を形成した。このＰＭＭＡ樹脂膜に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例４で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が５０ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例４により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表３に示す通りである。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「５８ｎｍ」である。設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。また、微細凹凸構造体１２を構成するＰＭＭＡ樹脂の屈折率（ｎｐ）は、「１．４９」であり、設計中心波長λ０は、同じく「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。また、下地層１１の設計中心波長５５０ｎｍにおける等価単層膜の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．７２」、「１１９ｎｍ」であり、上述した式（２）の関係を満たしている。
【００９４】
【表３】
【実施例５】
【００９５】
実施例５では、下微細凹凸構造体１２との間に設ける下地層１１を４層積層した構成とし、各層の膜厚をそれぞれ表４に示す通りにした。各層は、実施例４と同様に真空蒸着法により成膜した。そして、この下地層１１の表面に、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例５で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１２０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が６１ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。なお、被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．１５」、「７０ｎｍ」である。設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。また、微細凹凸構造体１２を構成するＰＭＭＡ樹脂の屈折率（ｎｐ）は、「１．４９」であり、設計中心波長λ０は、同じく「６５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００９６】
【表４】
【実施例６】
【００９７】
実施例６では、光学素子本体１０として、日本ゼオン社のＺＥＯＮＥＸ Ｅ４８Ｒ（登録商標）樹脂製の光学レンズを採用し、この光学レンズの表面に微細凹凸構造体２０を形成した。微細凹凸構造体２０の形成に際しては、この光学素子本体１０の光学面１１に対して、実施例１と同様の方法で微細凹凸構造体１２を形成した。但し、実施例６で形成した微細凹凸構造体１２では、凸部１２ｂのピッチ幅が１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度であり、凸部１２ｂの高さｈは１５０ｎｍ〜２３０ｎｍ程度であった。そして、この微細凹凸構造体１２の外側を実施例１と同様の方法により、ＭｇＦ２を用いて、膜厚が３８ｎｍになるように被覆層１３を成膜した。実施例６により製造した反射防止膜１０の膜構成及び膜厚は以下の表５に示す通りである。以上のようにして、実施例６の反射防止光学素子１００を製造した。なお、被覆層１３の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）及び屈折率（ｎｃ）は、それぞれ、「４４ｎｍ」、「１．１５」である。また、設計中心波長λ０は、「５５０ｎｍ」である。よって、上述した式（１）の関係を満たしている。
【００９８】
【表５】
【比較例】
【００９９】
［比較例１］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例１の反射防止膜１０と同様にして、比較例１の反射防止膜を製造した。
【０１００】
［比較例２］
被覆層１３の膜厚を８０ｎｍとした以外は、実施例２の反射防止膜１０と同様にして、比較例２の反射防止膜を製造した。被覆層１３の屈折率（ｎｃ）及び光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、それぞれ、「１．３５」、「１０８ｎｍ」であり、上述した式（１）の関係を満たしていない。
【０１０１】
［比較例３］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例２の反射防止膜１０と同様にして、比較例３の反射防止膜を製造した。
【０１０２】
［比較例４］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例４の反射防止膜を製造した。
【０１０３】
［比較例５］
下地層１１を形成しない以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例５の反射防止膜を製造した。
【０１０４】
［比較例６］
光学素子本体２１の光学面２１ａと、微細凹凸構造体１２との間に設ける下地層１１の各層の膜厚をそれぞれ表６に示す通りにしたこと以外は、実施例４と同様にして、比較例６の反射防止光学素子１０を製造した。下地層１１の設計中心波長５５０ｎｍにおける等価単層膜の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．７」、「２６９ｎｍ」であり、上述した式（２）の関係を満たしていない。
【０１０５】
【表６】
【０１０６】
［比較例７］
下地層１１を表７に示す層構成とする以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例７の反射防止膜を製造した。下地層１１の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「１．４６」、「１３８ｎｍ」である。
【０１０７】
【表７】
【０１０８】
［比較例８］
下地層１１を表８に示す層構成とする以外は、実施例４の反射防止膜１０と同様にして、比較例８の反射防止膜を製造した。下地層１１の屈折率（ｎｂ）および光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、それぞれ、「２．０５」、「１３８ｎｍ」である。
【０１０９】
【表８】
【０１１０】
［比較例９］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例５の反射防止膜１０と同様にして、比較例９の反射防止膜を製造した。
【０１１１】
［比較例１０］
下地層１１を形成しない以外は、実施例５の反射防止膜１０と同様にして、比較例１０の反射防止膜を製造した。
【０１１２】
［比較例１１］
被覆層１３を形成しない以外は、実施例６の反射防止膜１０と同様にして、比較例１１の反射防止膜を製造した。
【０１１３】
［評価］
１．評価方法
上記実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、それぞれ、１）膜厚方向（深さ方向）における屈折率の分布及び反射率の測定、２）耐擦傷性の評価、３）耐高温高湿環境性の評価を行った。以下、具体的な評価方法を説明する。
【０１１４】
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、微細凹凸構造体１２の膜厚方向における屈折率の分布を、Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ社製の分光エリプソメーターＭ−２０００を用いて測定した。また、波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲もしくは波長４００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲の光を微細凹凸構造体１２を介して光学素子本体２１の光学面２１ａに照射したときの、反射防止膜１０の反射率の測定を行った。反射率の測定は、大塚電子社製の分光光度計ＦＥ−３０００およびＭ−２０００を用いて行った。
【０１１５】
２）耐擦傷性の評価
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０を用いて、微細凹凸構造体１２を備える光学面２１ａをワイパー（ＭＸ−ＣＬＯＴＨ、ＣｌｅａｎＥｒａ社）（以下、同じ）にメタノールを含ませて１００ｇｆで１０往復させた。その後、蛍光灯下で透過および反射光線を利用して目視により、反射防止膜１０の表面を観察して、表面のキズの有無を確認した。
【０１１６】
３）耐高温高湿環境性の評価
各実施例及び比較例において製造した反射防止膜１０をそれぞれ６０℃、９０％の高温高湿環境下に２４０時間保管した後、各反射防止膜１０の反射率を測定し、高温高湿環境に保管する前後の反射率の変化を評価した。
【０１１７】
２．評価結果
ここでは、実施例１と比較例１、実施例２及び実施例３と比較例２及び比較例３、実施例４と比較例４〜比較例８、実施例５と比較例９及び比較例１０、実施例６と比較例１１をそれぞれ対比しながら、上記１）〜３）の評価結果について説明する。
【０１１８】
２−１．実施例１及び比較例１の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図６に、実施例１及び比較例１で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図６において、横軸は光学素子本体２１の光学面２１ａからの距離を示し、縦軸は設計中心波長λ０における屈折率を示している（図８、図１０、図１２、図１４、図１６、図１９においても同様である）。また、図７に各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示している。図７において、横軸は、微細凹凸構造体１２に入射した光の波長を示し、縦軸は当該入射光の反射率を示している（なお、図９、図１１、図１３、図１５、図１７、図１８、図２０についても同様である）。
【０１１９】
図６に示すように、各反射防止膜１０の屈折率の分布は、略類似した分布を示すが、被覆層１３の有無により、入射光の媒質側において、屈折率の分布がそれぞれ異なっている。また、図７に示すように、比較例１の反射防止膜に対して、実施例１の反射防止膜１０の反射率は広い波長範囲に亘って低く、本件発明に係る反射防止膜１０は反射防止性能が高いことが分かる。実施例１の反射防止膜１０は入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲における平均反射率は、０．０９％であった。これに対して、比較例１の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、０．３４％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例１の反射防止膜１０は、下地層１１のみを備え被覆層１３を備えていない比較例１の反射防止膜に対して、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２０】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例１の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例１の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１２１】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例１の反射防止膜１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後において、反射率の増加は見られなかった。一方、比較例１の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１２２】
２−２．実施例２、実施例３、比較例２及び比較例３の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図８に、実施例２、比較例２及び比較例３で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図１０に、実施例３及び比較例３で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図９に、実施例２、比較例２及び比較例３で製造した各反射防止膜１１の入射光波長における反射率を示す。図１１に、実施例３及び比較例３で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１２３】
図８に示すように、実施例２の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．４％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１５％であった。これに対して、比較例２及び比較例３の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ５．０８％、０．３８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例２の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例３の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、被覆層１３が適切な範囲よりも厚い比較例２の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２４】
図１１に示すように、実施例３の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において、０．５％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１９％であった。これに対して、比較例３の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．３８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例３の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例３の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２５】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例２、実施例３及び比較例２の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例３の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１２６】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例２、実施例３及び比較例２の反射防止膜１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例３の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１２７】
２−３．実施例４及び比較例４〜比較例８の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１２に、実施例４、比較例４及び比較例５で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図１４に比較例６〜比較例８で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図１３に実施例４、比較例４、比較例５で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。図１５に比較例６〜比較例８で製造した各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１２８】
図１３に示すように、実施例４の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．１％であった。これに対して、図１３及び図１５に示すように比較例４〜比較例８の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．６１％、０．６１％、０．５２％、２．３８％、３．２８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例４の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例４の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１を備えていない比較例５の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、被覆層１３が適切な範囲よりも厚い比較例６の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１の屈折率が適切な範囲よりも低い比較例７の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１の屈折率が適切な範囲よりも高い比較例８の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１２９】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例４及び比較例５〜比較例８の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例４の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３０】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例４及び比較例５〜比較例８は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例４の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１３１】
２−４．実施例５、比較例９及び比較例１０の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１６に、実施例５、比較例９及び比較例１０で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。また、図１７及び図１８に各反射防止膜１０のそれぞれ入射角０°、４５°の入射光波長における反射率を示す。
【０１３２】
図１７及び図１８に示すように、実施例５の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜９００ｎｍの全範囲において０．３％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における入射角０°での平均反射率は０．１５％、入射角４５°での平均反射率は０．２４％であった。これに対して、比較例９および比較例１０の反射防止膜の同入射光波長範囲における入射角０°での平均反射率は、それぞれ０．４％、０．６３％、入射角４５°での平均反射率は、それぞれ０．６８％、０．７８％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例５の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例９の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。また、下地層１１を備えていない比較例１０の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１３３】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例５、比較例１０の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例９の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３４】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例５、比較例１０は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例９の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【０１３５】
２−５．実施例６及び比較例１１の評価結果
１）膜厚方向における屈折率の分布及び反射率の測定
図１９に、実施例６及び比較例１１で製造した反射防止膜１０の膜厚方向における屈折率の分布を示す。図２０に各反射防止膜１０の入射光波長における反射率を示す。
【０１３６】
図２０に示すように、実施例６の反射防止膜１０は、入射光波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの全範囲において０．２％以下の極めて低い反射率を示し、当該波長範囲における平均反射率は０．０９％、であった。これに対して、比較例１１の反射防止膜の同入射光波長範囲における平均反射率は、それぞれ０．２５％であった。このように、被覆層１３を設けた実施例６の反射防止膜１０は、被覆層１３を備えていない比較例１１の反射防止膜において、広い波長範囲でより低い反射率を示した。
【０１３７】
２）耐擦傷性の評価結果
実施例６の反射防止膜１０については、上記ワイパーで光学面２１ａ側を擦った場合にも、その表面にキズは観察されなかった。一方、比較例１１の反射防止光学素子については、表面にキズが観察された。以上より、被覆層１３を設けることにより、微細凹凸構造体１２を備える反射防止膜１０の耐擦傷性を向上することが確認された。
【０１３８】
３）耐高温高湿環境性の評価結果
実施例６は、高温高湿環境下で２４０時間保管前後における反射率の増加は見られなかった。一方、比較例１１の反射防止光学素子は、高温高湿環境下で２４０時間保管した後は、反射率が増加し、反射防止性能の低下が見られた。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本件発明に係る反射防止膜は、耐高温高湿環境性及び耐擦傷性に優れ、反射防止性能が高い。このため、高温高湿環境下においても好適に用いることができ、また、手入れ等を容易にすることができるため、各種の光学素子に好適に適用することができる。
【符号の説明】
【０１４０】
１０・・・反射防止膜
１１・・・下地層
１２・・・微細凹凸構造体
１３・・・被覆層
１４・・・空隙
２０・・・反射防止光学素子
２１・・・光学素子本体
２１ａ・・光学面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子本体の光学面に備えられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜であって、
当該光学面上に設けられる第一の光学薄膜としての下地層と、
この下地層の表面に設けられ、凸部間のピッチ幅が入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体から成る微細凹凸構造体層と、
当該微細凹凸構造体の外側を、当該微細構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層と、
を備えたことを特徴とする反射防止膜。
【請求項２】
前記被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率ｎｃは、１．１５以上１．８以下である請求項１に記載の反射防止膜。
【請求項３】
前記被覆層の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、下記式（１）を満たすものである請求項１又は請求項２に記載の反射防止膜。
【数１】
【請求項４】
前記被覆層は、透光性材料を成膜材料として用い、空孔を含む粗状態な膜として形成されたものであり、
当該被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率は、前記透光性材料自体の屈折率よりも低い請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項５】
前記下地層は、単層から成る光学薄膜であり、当該下地層の屈折率ｎｂは、光学素子本体の屈折率の値と前記微細凹凸構造体を構成する材料の屈折率の値との間の値を示す請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項６】
前記下地層の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たす請求項５に記載の反射防止膜。
【数２】
【請求項７】
前記下地層は、複数層から成る光学薄膜であり、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において請求項５又は請求項６に記載の単層から成る光学薄膜と等価膜となる請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止光学素子。
【請求項８】
前記下地層として、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した少なくとも二層以上の層から成る光学薄膜を用いる請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項９】
前記微細凹凸構造体は樹脂材料を用いて形成されたものであり、
前記ピッチ幅は２００ｎｍ以下である請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１０】
当該反射防止膜は、ｄ線における屈折率が１．４以上２．１以下の光学素子本体に設けられるものである請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１１】
前記被覆層は、光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜したものである請求項１〜請求項１０のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１２】
光学素子本体の光学面に、請求項１〜請求項１１のいずれか一項に記載の反射防止膜を備えたことを特徴とする反射防止光学素子。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１１のいずれか一項に記載の反射防止膜を製造する方法であって、
光学素子本体の光学面に前記下地層を形成する工程と、
当該下地層の表面に前記微細凹凸構造体を形成する工程と、
前記下地層及び前記微細凹凸構造体が形成された光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜して前記被覆層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする反射防止光学素子の製造方法。
【請求項１】
光学素子本体の光学面に備えられ、入射光の反射を抑制する反射防止膜であって、
当該光学面上に設けられる第一の光学薄膜としての下地層と、
この下地層の表面に設けられ、凸部間のピッチ幅が入射光波長よりも短くなるように形成された微細凹凸構造体から成る微細凹凸構造体層と、
当該微細凹凸構造体の外側を、当該微細構造体の凹部との間に空隙を設けた状態で凸部の先端を被覆する第二の光学薄膜としての被覆層と、
を備えたことを特徴とする反射防止膜。
【請求項２】
前記被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率ｎｃは、１．１５以上１．８以下である請求項１に記載の反射防止膜。
【請求項３】
前記被覆層の光学膜厚（ｎｃ×ｄｃ）は、下記式（１）を満たすものである請求項１又は請求項２に記載の反射防止膜。
【数１】
【請求項４】
前記被覆層は、透光性材料を成膜材料として用い、空孔を含む粗状態な膜として形成されたものであり、
当該被覆層の設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率は、前記透光性材料自体の屈折率よりも低い請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項５】
前記下地層は、単層から成る光学薄膜であり、当該下地層の屈折率ｎｂは、光学素子本体の屈折率の値と前記微細凹凸構造体を構成する材料の屈折率の値との間の値を示す請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項６】
前記下地層の光学膜厚（ｎｂ×ｄｂ）は、下記式（２）を満たす請求項５に記載の反射防止膜。
【数２】
【請求項７】
前記下地層は、複数層から成る光学薄膜であり、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）において請求項５又は請求項６に記載の単層から成る光学薄膜と等価膜となる請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止光学素子。
【請求項８】
前記下地層として、設計中心波長λ０（但し、４００ｎｍ≦λ０≦７００ｎｍ）における屈折率が２．０以上の層と、当該設計中心波長λ０における屈折率が１．３８以上１．７以下の層とを交互に積層した少なくとも二層以上の層から成る光学薄膜を用いる請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項９】
前記微細凹凸構造体は樹脂材料を用いて形成されたものであり、
前記ピッチ幅は２００ｎｍ以下である請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１０】
当該反射防止膜は、ｄ線における屈折率が１．４以上２．１以下の光学素子本体に設けられるものである請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１１】
前記被覆層は、光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜したものである請求項１〜請求項１０のいずれか一項に記載の反射防止膜。
【請求項１２】
光学素子本体の光学面に、請求項１〜請求項１１のいずれか一項に記載の反射防止膜を備えたことを特徴とする反射防止光学素子。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１１のいずれか一項に記載の反射防止膜を製造する方法であって、
光学素子本体の光学面に前記下地層を形成する工程と、
当該下地層の表面に前記微細凹凸構造体を形成する工程と、
前記下地層及び前記微細凹凸構造体が形成された光学素子本体をドーム回転又は遊星回転させながら前記微細凹凸構造体の凸部の先端に透光性材料を物理的気相成長法により成膜して前記被覆層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする反射防止光学素子の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【公開番号】特開２０１３−８３８７１（Ｐ２０１３−８３８７１Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２４９１５（Ｐ２０１１−２２４９１５）
【出願日】平成２３年１０月１２日（２０１１．１０．１２）
【出願人】（０００１３３２２７）株式会社タムロン (355)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月１２日（２０１１．１０．１２）
【出願人】（０００１３３２２７）株式会社タムロン (355)
【Ｆターム（参考）】
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