吐出ノズル及び吐出装置
【課題】吐出ノズル内に気泡が溜まることを防止又は軽減することが可能な、吐出ノズル及び吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る吐出ノズルは、液体を吐出する吐出ノズルであって、前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備える。また、本発明に係る吐出装置は、前記の吐出ノズルと、前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、被印刷物が載置されるステージと、前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備える。
【解決手段】本発明に係る吐出ノズルは、液体を吐出する吐出ノズルであって、前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備える。また、本発明に係る吐出装置は、前記の吐出ノズルと、前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、被印刷物が載置されるステージと、前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出ノズル及び吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させて、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布する過程を備えたことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−７５６４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の方法では、吐出ノズルが有機ＥＬ材料を連続して吐出している最中に、何らかの原因で吐出ノズル内に気泡が溜まってしまう場合があった。吐出ノズル内に気泡が溜まると、吐出ノズルから吐出される有機ＥＬ材料の吐出量が意図せずに変化してしまう（つまり、有機ＥＬ材料の吐出量が不安定になる）ことがある。なお、吐出ノズル内に気泡が溜まってしまうという現象は、上記有機ＥＬ材料以外の他の液体を吐出ノズルから吐出する場合にも生じ得ると考えられる。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、吐出ノズル内に気泡が溜まることを防止又は軽減することが可能な、吐出ノズル及び吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の観点に係る吐出ノズルは、
液体を吐出する吐出ノズルであって、
前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備える。
【０００７】
（１）また、前記吐出ノズルは、
筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記底部は、前記気液分離体を備えてもよい。
（２）前記底部は、前記吐出口が形成されたノズルプレートを備え、
前記ノズルプレートは、少なくとも一部が前記気液分離体によって形成されてもよい。
（３）前記底部は、前記底部における、前記筒体の内壁面よりも内側かつ前記内壁面の近傍において、前記気液分離体の、前記液体に接する面と反対側の面の少なくとも一部が露出するように形成されてもよい。
（４）内部と外部とを連通する連通路を備えるとともに、前記気液分離体を備える筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記連通路は、前記底部の近傍に形成され、
前記気液分離体は、前記連通路を塞ぐように配置されてもよい。
（５）前記連通路は、減圧装置に接続されてもよい。
【０００８】
また、本発明の第２の観点に係る吐出装置は、
前記いずれかの吐出ノズルと、
前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、
被印刷物が載置されるステージと、
前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備える。
【０００９】
また、前記液体が、有機ＥＬ材料であってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る吐出ノズル及び吐出装置によれば、吐出ノズル内に気泡が溜まることを防止又は軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る吐出装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルの移動方向と、ステージの移動方向とを説明するための図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態の変形例１に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の変形例２に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の変形例３に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、一部を分解した吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、図８の断面図に対応する吐出ノズルの要部外観図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における吐出ノズルを固定体と対向する位置から見た吐出ノズルの要部外観図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る吐出装置の概略構成図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とチューブとを示す断面図である。
【図１３】本発明の一実施形態の変形例に係る吐出装置の吐出ノズルとステージとの移動方向を示す図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る発光装置の製造方法（発光装置製造方法）の一例を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の一実施形態に係る発光装置の一部内部を示した平面図である。
【図１６】図１５におけるＸーＸ断面図である。
【図１７】図１５におけるＹーＹ概略断面図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る発光装置の製造におけるインクの塗布の軌跡を説明するための図である。
【図１９】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したデジタルカメラの図である。
【図２０】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したデジタルカメラの図である。
【図２１】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したノートパソコンの図である。
【図２２】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用した携帯電話機の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、本発明は下記で説明する実施形態（図面に記載された内容も含む。）によって限定されるものではない。下記で説明する実施形態に変更を加えることが出来る。特に、下記で説明する実施形態の構成要素を適宜削除してもよい。
【００１３】
なお、下記では、吐出ノズルが吐出する液体を、有機ＥＬ材料（以下ではインクという。）とした場合を説明するが、吐出ノズルが吐出する液体は、他の液体であってもよい。インクは、例えば、高分子発光材料が溶媒に溶解又は分散した液体である。高分子発光材料は、発光することが可能な公知の材料である。このような材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン系又はポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料等がある。溶媒は、例えば、水系溶媒又は有機溶媒である。有機溶媒としては、テトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン又はキシレン等がある。このようなインクが塗布され、塗布されたインクが乾燥することによって、有機ＥＬ素子における発光層が形成される。また、吐出ノズルが吐出する液体が塗布される被塗布物（被印刷物）は、下記では基板であるが、他の被塗布物であってもよい。また、下記では、気液分離体の一例として、気液分離帯膜を用いた場合を説明しているが、気液分離体は気液分離膜のような膜状のものでなくてもよい。
【００１４】
（第１実施形態）
図１のように、吐出装置９００は、吐出ノズル１００と、制御部９０１と、液体供給部であるインクタンク９０３と、第１駆動部９０５と、加圧部９０７と、インク供給管９０９と、流量計９１１と、を備え、さらに、第２駆動部９１３と、吐出ノズル支持部材９１５と、第３駆動部９１７と、ステージ９１９と、を備える。基板９５０には、インクが塗布される。基板９５０は、ステージ９１９に設置される。なお、吐出装置９００の吐出ノズル１００以外の各構成要素は、適宜、公知のものによって構成できる。
【００１５】
制御部９０１は、マイクロプロセッサ等によって構成され、第１駆動部９０５と、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御する。これによって、吐出ノズル１００から吐出されるインクが、所定のパターンで、ステージ９１９に設置した基板９５０に塗布される。
【００１６】
インクタンク９０３は、吐出ノズル１００が吐出するインクを貯蔵する。
【００１７】
第１駆動部９０５は、制御部９０１の制御のもと、加圧部９０７を移動させる。
【００１８】
加圧部９０７は、第１駆動部９０５によって動かされ、インクタンク９０３内を加圧する（図１の矢印参照）。インクタンク９１３内が加圧されると、インクタンク９０３内の液体がインク供給管９０９に押し出される。
【００１９】
インク供給管９０９は、一端がインクタンク９０３に接続され、他端が吐出ノズル１００に接続される。また、インク供給管９０９の途中には流量計９１１が配置される。インクタンク９０３から押し出された液体は、インク供給管９０９内を流れ、吐出ノズル１００に流入する。インク供給管９０９は、可撓性を有する合成樹脂又はゴム製のチューブ等によって構成される。
【００２０】
流量計９１１は、インク供給管９０９内に形成された、インクの流量を測定するための素子を備える。この素子は、例えば、熱電対である。この素子は、インクの流量に応じた電気信号を出力する。流量計９１１は、この素子が出力した電気信号を受け取り、受け取った電気信号をデジタル信号に変換する。流量計９１１は、変換したデジタル信号を所定のタイミングで制御部９０１に供給する。
【００２１】
第２駆動部９１３は、制御部９０１の制御のもと、吐出ノズル支持部材９１５を移動させる（図１及び図２の矢印参照）。
【００２２】
吐出ノズル支持部材９１５は、第２駆動部９１３によって動かされる。また、吐出ノズル支持部材９１５には、吐出ノズル１００が固定される。このため、吐出ノズル支持部材９１５の移動に伴って、吐出ノズル１００が移動する。
【００２３】
第３駆動部９１７は、制御部９０１の制御のもと、ステージ９１９を移動させる（図２の矢印参照）。
【００２４】
ステージ９１９は、第３駆動部９１７によって動かされる。また、ステージ９１９には、基板９５０が設置される。このため、ステージ９１９の移動に伴って、基板９５０が移動する。
【００２５】
制御部９０１は、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御して、吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させる。吐出ノズル支持部材９１５の移動に伴って吐出ノズル１００は移動し、ステージ９１９の移動に伴って基板９５０は移動する。吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させることによって、吐出ノズル１００が基板９５０に対して相対的に二次元方向に移動する。制御部９０１は、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御して、吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させることによって、吐出ノズル１００を基板９５０に対して相対的に二次元方向に移動させる。
【００２６】
一方、制御部９０１は、流量計９１１から所定のタイミングで供給されるデジタル信号を受け取る。制御部９０１は、受け取ったデジタル信号に基づいてインクの流量を特定する。そして、制御部９０１は、特定したインクの流量に基づいて、インクの流量を一定に保つように、つまり、吐出ノズル１００から吐出されるインクの量を一定に保つように、第１駆動部９０５を制御して、加圧部９０７の単位時間当たりの移動距離を調整する。制御部９０１は、例えば、特定したインクの流量が基準値よりも高ければ、高い分に応じて、加圧部９０７の単位時間当たりの移動距離を少なくするように、第１駆動部９０５を制御する。
【００２７】
このようにして、制御部９０１は、インクの吐出量を一定に保ちつつ、吐出ノズル１００を、基板９５０上で所望の軌跡で移動させることができる。これによって、インクが基板９５０上に所定のパターンで塗布されるとともに、インクの塗布量にムラを減少させる（又は無くす）ことができる。
【００２８】
吐出ノズル１００は、図３に示すように、筒体１１０と、底部１２０と、接続部１３０と、フィルタ１５０と、を備える。なお、各部材は、特に明示がない限り金属又は合成樹脂等の適宜の材料によって構成される。
【００２９】
筒体１１０の両端（両開口）は、底部１２０と、接続部１３０と、によって閉口される。筒体１１０と底部１２０とは互いに密着し、筒体１１０と接続部１３０とは互いに公知の方法で密着するので、それぞれの接合部において、インクが漏れることは略無い。接続部１３０には、インク供給管９０９が接続される。底部１２０は、インクを吐出する吐出口１２１ａを備える。インク供給管９０９から供給されるインクは、筒体１１０内に流入する。筒体内１１０内に流入したインクは、底部１２０の吐出口１２１ａから吐出される。このようにして、吐出ノズル１００は、インク供給管９０９から供給されたインクを吐出口１２１ａから吐出する。なお、吐出ノズル１００がインクを吐出している最中、筒体１１０内（吐出ノズル１００内）はインクによって満たされている（図３のドットで塗りつぶした筒体１１０の内部参照）。
【００３０】
筒体１１０は、筒体本体１１１と、フランジ１１３と、凹部１１５と、ねじ山１１７と、を備える。
【００３１】
筒体本体１１１は、筒体１１０の本体である。筒体本体１１１の内部にインク供給管９０９から供給されたインクが流入する。筒体本体１１１の形状は、断面形状（図３における表裏の方向の断面）が円形である円筒形状である。筒体本体１１１の断面形状は、円形の他、楕円形又は多角形（三角形及び四角形等も含む）等、適宜決定できる。筒体本体１１１内にインクが流入する。
【００３２】
フランジ１１３は、筒体本体１１１の外壁に形成される。フランジ１１３は、筒体本体１１１の外壁から張り出した形状を有する。フランジ１１３の形状は、例えば、平面形状が円環形状であるが、他の形状であってもよい。平面形状とは、例えば、インク供給管９０９側から底部１２０に向かって見た形状（図３では、上から見た形状）である。
【００３３】
吐出ノズル支持部材９１５には、筒体本体１１１の形状に合わせた形状の貫通孔９１５ａが形成されている。この貫通孔９１５ａに筒体本体１１１が挿入される。吐出ノズル支持部材９１５と、フランジ１１３と、には、ねじ穴が形成されており、ねじ９９によって、フランジ１１３と、吐出ノズル支持部材９１５と、が固定される。これによって、筒体１１０が吐出ノズル支持部材９１５に固定されるので、吐出ノズル１００が吐出ノズル支持部材９１５に固定される。
【００３４】
凹部１１５は、筒体本体１１１の内壁面１１１ａの周方向に沿うように、筒体本体１１１の内壁面１１１ａに形成される。凹部１１５には、後述のフィルタ１５０が嵌め込まれる。
【００３５】
ねじ山１１７は、筒体本体１１１の外壁の底部１２０側の一端部に形成される。このねじ山１１７によって、後述の固定部材１２３が、筒体１１０に固定される。
【００３６】
底部１２０は、吐出口１２１ａを備え、筒体１１０の一端（つまり、インクを吐出する側（ステージ９１９側）の一端側の開口）を閉口するように形成される。底部１２０は、ノズルプレート１２１と、固定部材１２３と、を備える。
【００３７】
ノズルプレート１２１は、固定部材１２３によって、筒体１１０の前記一端（一端側の開口）を覆うように筒体１１０の前記一端に当接して、筒体１１０に取り付けられる。
【００３８】
固定部材１２３は、筒体１１０の前記一端を覆う形状であり、内壁にねじ切りを備える。このねじ切りと、筒体１１０の筒体本体１１１のねじ山１１７と、によって、固定部材１２３と筒体１１０とは螺合する。そして、固定部材１２３は筒体１１０に取り付けられる（図３参照）。このときに、固定部材１２３は、ノズルプレート１２１を覆い、ノズルプレート１２１を固定する。また、固定部材１２３は、貫通孔１２３ａを底面に備え、この貫通孔１２３ａによって、ノズルプレート１２１の一部が露出する。固定部材１２３は、他の方法によって、筒体１１０に取り付けられてもよい（例えば、後述の第２実施形態のスナップ形式を参照）。固定部材１２３が筒体１１０に取り付けられることによって、底部１２０は筒体１１０に密着する。
【００３９】
ノズルプレート１２１は、筒体１１０の前記一端を閉口する。また、ノズルプレート１２１は、ノズルプレート１２１の中央に形成された、インクを吐出する吐出口１２１aを備える。この吐出口１２１ａは、直径が１１μｍであるが、１１μｍである必要は無く、インクが柱状になればよい。直径のサイズは塗布するパネルのピッチにより適時変更する。吐出口１２１ａの断面の大きさ（内径（直径）の大きさ）は、筒体１１０の内壁面１１１ａの断面の大きさ（内径（直径）の大きさ）よりも、十分に小さいので、吐出口１２１ａから吐出されるインクは、勢い良く吐出される。このため、吐出されたインクは、柱状になり、所謂液柱９５を構成する。ノズルプレート１２１の一方の面は、筒体１１０内のインクと接することになる。
【００４０】
ノズルプレート１２１は、本実施形態においては、気液分離膜によって構成される。つまり、ノズルプレート１２１は、気液分離膜である。
【００４１】
気液分離膜は、インクを通過させずに、インクに含まれる気体を通過させる膜（所謂、脱気膜）である。気液分離膜は、ここでは、ポリイミド膜である。気液分離膜としては、例えば、無機膜又は高分子膜がある。無機膜としては、例えば、ゼオライト膜等がある。高分子膜としては、多孔質膜、複合膜、又は、ポリイミド膜等がある。また炭素複合膜等もある。気液分離膜は、Ｎ２系、Ｏ２系、又は、有機系のガスを通過させ、インクを通過させない膜であってもよい。このような膜は、インクに含まれる気体も通過させることができると考えられるからである。
【００４２】
ノズルプレート１２１は、円盤形状である。ノズルプレート１２１の形状は、適宜決定できる。ノズルプレート１２１の形状は、筒体１１０の開口の形状に対応する形状となることが望ましい。対応する形状とは、例えば、ノズルプレート１２１の外形が筒体１１０の前記ノズルプレートと当接する前記一端の外形と同じ形状である場合をいう。
【００４３】
接続部１３０は、筒体１１０の、前記一端と反対側の一端（他端）を閉口する。接続部１３０の底面が筒体１１０の他端に固着される。固着の方法は、接着、又は、ねじによる固定等、適宜の方法による。これによって、接続部１３０は、筒体１１０に密着する。また、接続部１３０は、インク供給管９０９と接続される。
【００４４】
フィルタ１５０は、凹部１１５に嵌め込まれる。フィルタ１５０は、インクのゴミを除去する。フィルタ１５０は、例えば、ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥによって構成されるが、これに限定されるわけではなく、フィルタの機能を有するものであれば、特に限定されない。また、フィルタ１５０は筒体１１０内に入れなくても良く、例えばインク供給管９０９内などインクの供給されるラインに設けても良い。
【００４５】
上述のように、インク供給管９０９から筒体１１０内に流入したインクは、底部１２０の吐出口１２１ａから吐出される。このときに、インクに含まれる気泡（気体）が筒体内１１０内に発生して溜まることがある。このような気泡の発生の原因は、定かではないが、例えば、下記の理由等が考えられる。
【００４６】
（理由１）インクをインクタンク９０３に充填するときに使用されるガスがインクに溶存してしまう。
（理由２）インクをインクタンク９０３に充填するときにインクタンク９０３に接続された継ぎ手等から進入したガスが残存してしまう。
（理由３）吐出ノズル１００の移動に伴うインク供給管９０９の変位による圧力変化によって発生したガスがインクに溶存してしまう。
【００４７】
吐出ノズル１００がインクを吐出している最中、筒体１１０内はインクによって満たされている。そして、インクを吐出している最中、筒体１１０内にはインクが常に流入する。筒体１１０内に流入したインクは、ノズルプレート１２１に向かって移動しようとする。このため、インクに含まれる気泡もノズルプレート１２１に向かって移動しようとする。
【００４８】
なお、筒体１１０内にインクが流入することによって、インクはノズルプレート１２１及び筒体１１０の内壁面１１１ａ等に圧力を加える。ノズルプレート１２１の厚さは、この圧力によって、インクに含まれる気体がノズルプレート１２１を通過して外部に排出される厚さにすることが望ましい。この厚さは、気液分離膜の種類によって異なる。なお、ノズルプレート１２１（気液分離膜）を薄くすればするほど、気体を通過させやすくするので、ノズルプレート１２１は薄いほうが好ましい。しかし、ノズルプレート１２１は、インクから圧力を受けるので、この圧力に耐え得る厚さを確保することが望ましい。なお、ノズルプレート１２１の略全体（筒体１１０の開口に対応する領域全体）がインクから圧力を受けるので、ノズルプレート１２１を露出する貫通孔１２３ａが大きい程、ノズルプレート１２１の強度をより強くする必要がある。
【００４９】
また、インクに含まれる気泡は、ノズルプレート１２１上の筒体１１０の内壁面１１１ａ近傍（ノズルプレート１２１の周縁部上）に蓄積される可能性が高いことが、本願発明者の経験で分かっている。このため、図３のように、気泡９１は例えば図３の矢印のように移動すると予測される。そして、気泡９１が蓄積されて、図３のように、ノズルプレート１２１上の筒体１１０の内壁面１１１ａ近傍に気体の固まり９０が生じる。この気体の固まり９０によって、インクの吐出量が不安定になる。これは、インクの圧力が気体の固まり９０によって吸収されてしまう等の原因によって発生するものであると予測される。
【００５０】
本実施形態では、底部１２０は、底部１２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜の、インクに接する面と反対側の面が露出するように形成されている。これによって、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜は気体を外部に排出できる。このため、気体の固まり９０が生じやすい位置に対応して、気体を外部に排出できる気液分離膜が位置するので、気体を効果的に吐出ノズル１００の外部へ排出できることになる。
【００５１】
（第１実施形態の変形例１）
上述のように、第１実施形態では、底部１２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜の他方の面（インクに接する面と反対側の面）が露出する。これは、貫通孔１２３ａの断面の大きさ（第１貫通孔１２３ａの内径（直径））が、筒体１１０の開口の大きさ（筒体１１０の内径（直径））以上の大きさだからである。
【００５２】
第１実施形態の変形例１に係る吐出ノズル２００では、図４のように、第１実施形態の底部１２０が底部２２０に変更される。なお、図４において、第１実施形態に対応する部材は、同一の符号が付されている。図４のように、底部２２０の固定部材２２３は、吐出口１２１ａを露出させる第１貫通孔２２３ａを備える。第１貫通孔２２３ａの断面の大きさ（貫通孔２２３ａの内径（直径））は、筒体１１０の開口の大きさ（筒体本体１１１の内壁面１１１ａの内径（直径））よりも小さい。このようにしても、吐出口１２１ａの周囲の気液分離膜が吐出ノズル２００の外部に露出する。また、固定部材２２３は、第２貫通孔２２３ｂを備え、第２貫通孔２２３ｂを介して、ノズルプレート１２１を露出させる。第２貫通孔２２３ｂの平面形状は、適宜決定できる（ここでは、円形である）。第２貫通孔２２３ｂは、１以上設けられる（ここでは、二つ設けられる）。ここでは、第２貫通孔２２３ｂは、図４のように、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されている。
【００５３】
この変形例１においても、上記と同様、気体を効果的に吐出ノズル２００の外部へ排出できることになる。また、第１貫通孔２２３ａの大きさを第１実施形態の貫通孔１２３ａに比べて小さくできるので、ノズルプレート１２１の強度を弱くでき、厚さを薄くできる場合がある。
【００５４】
（第１実施形態の変形例２）
第１実施形態の変形例２に係る吐出ノズル３００では、図５のように、第１実施形態の底部１２０が底部３２０に変更される。第１実施形態では、ノズルプレート１２１は、全部が気液分離膜によって形成されているが、この変形例のように、ノズルプレート３２１は、一部が気液分離膜によって形成されてもよい。このようにしても、吐出ノズル３００内に気泡が溜まることを防止するか軽減できる。底部３００のノズルプレート３２１は、気体不透過膜３２８と、気液分離膜３２９と、によって構成される。気体不透過膜３２８は、インクも気体も通過させない、従来のノズルプレートと同様の材料で形成される。ノズルプレート３２１の中央には、吐出口３２１ａが形成される。この変形例２では、気液分離膜３２９を薄くしても、気体不透過膜３２８の強度を大きくすることで、ノズルプレート３２１全体の強度を大きくすることができる。この変形例２では、気液分離膜３２９を薄くできる。
【００５５】
気体透過膜３２８の位置、形状（ここでは、平面形状が円形になっている。）、大きさ、及び、数（ここでは、２つ）は、適宜決定できる。但し、気体透過膜３２８は、少なくとも一部が、図５のように、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されていることが望ましい。これによって、変形例２においても、上記と同様、底部３２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜３２９の他方の面（インクに接する面と反対側の面）の少なくとも一部が露出するように形成される。このため、気体を効果的に吐出ノズル２００の外部へ排出できることになる。
【００５６】
（第１実施形態の変形例３）
第１実施形態の変形例３に係る吐出ノズル４００では、図６のように、第１実施形態の底部１２０が底部４２０に変更される。第１実施形態では、ノズルプレート１２１は、全部が気液分離膜によって形成されているが、この変形例のように、ノズルプレート４２１は、一部が気液分離膜によって形成されてもよい。つまり、ノズルプレート４２１は、図６のように、複数のプレートを重ねて形成されてもよい。このようにしても、吐出ノズル４００内に気泡が溜まることを防げる。
【００５７】
ノズルプレート４２１は、第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、を備える。第１プレート４２８は、気液分離膜によって形成される。第２プレート４２９は、従来のノズルプレートと同様の材料で形成される。このような構成によって、気液分離膜を薄くできるので、インクに含まれる気体は第１プレート４２８を通過しやすくなる。一方で、第２プレート４２９は、ノズルプレート４２１全体を補強することができる。このため、ノズルプレート４２１は、気体を通過させやすく、強度のあるノズルプレートとなる。
【００５８】
第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、は、互いに固着してもよいし、当接するのみであってもよい。第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、は、それぞれ、中央に貫通孔を備え、これら貫通孔が吐出口４２１ａを構成する。また、第２プレート４２９は、貫通孔４２９ａを備える。この貫通孔４２９ａによって、第１プレート４２８がインクに接触する。第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、が重なる順番は逆でもよい。
【００５９】
貫通孔４２９ａの位置、形状（ここでは、平面形状が円形）、大きさ、及び、数（ここでは、２つ）は、適宜決定できる。但し、貫通孔４２９ａは、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されることが望ましい。これによって、上記と同様、底部４２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、第１プレート４２８の他方の面（インクに接する面と反対側の面）の少なくとも一部が露出するように形成される。このため、気体を効果的に吐出ノズル４００の外部へ排出できることになる。なお、第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、が重なる順番が逆の場合は、底部４２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、第１プレート４２８のインクに接する面と反対側の面が、貫通孔４２９ａによって露出するため、気体を効果的に吐出ノズル４００の外部へ排出できることになる。
【００６０】
（第２実施形態）
第２実施形態と第１実施形態とでは、気液分離膜の位置等が異なる。第２実施形態についての以下の説明では、第１実施形態と異なる点のみを説明する。また、第１実施形態と第２実施形態とで対応する構成要素は同じ符号を付す。
【００６１】
図８乃至図１０のように、筒体５１０は、筒体本体５１１と、フランジ５１３と、凹部５１５と、固定体５１８と、気液分離膜５１９と、を備える。フランジ５１３と凹部５１５とは、第１実施形態の、フランジ１１３と凹部１１５とに対応するので説明を省略する。
【００６２】
筒体本体５１１は、凹部５１１ｂと、貫通孔５１１ｃと、凸部５１１ｄと、をさらに備える他は、第１実施形態の筒体１１０と、同様のものである。
【００６３】
凹部５１１ｂは、筒体本体５１１の外壁面に形成される。凹部５１１ｂは、後述の固定部材５２３のツメ５２３ｃが入り込む。これによって、固定部材５２３は、筒体５１０に固定され、筒体５１０と底部５２０とは密着する。凹部５１１ｂは、固定部材５２３に応じて形成されるため、数や形状は適宜決定する。
【００６４】
貫通孔５１１ｃは、内壁の断面形状が円形等の所定形状で形成される。貫通孔５１１ｃは、筒体本体５１１の内部と外部とを連通する孔であり、底部５２０の近傍に所定形状で形成される。また、貫通孔５１１ｃの数は適宜決定する（ここでは一つである）。貫通孔５１１ｃは、筒体本体５１１の周方向に等間隔で例えば４つ、８つ等の適宜の数で形成してもよい。
【００６５】
また、貫通孔５１１ｃは、ねじ切り５１１ｃａを内壁面に備え、これによって、固定体５１８が固定される。
【００６６】
凸部５１１ｄは、貫通孔５１１ｃから張り出して形成され、後述の気液分離膜５１９をインクに接触させるとともに押さえる役割を有する。
【００６７】
気液分離膜５１９は、第１実施形態で説明したものと同様のものである。この気液分離膜５１９は、貫通孔５１１ｃの形状に合わせた形状に形成される。また、厚さは、適宜決定できるが、例えば、第１実施形態と同様、インクによって加わる圧力によって、インクに含まれる気体が気液分離膜５１９を通過して排出される厚さにすることが望ましい。
【００６８】
固定体５１８は、気液分離膜５１９を固定するためのものである。固定体５１８は、ねじ山５１８ｂを備えるとともに、貫通孔５１８ａを備える。ねじ山５１８ｂと、ねじ切り５１１ｃａとによって、筒体本体５１１と固定体５１８とは、螺合する。これによって、固定体５１８は、筒体本体５１１に取り付けられる。このとき、気液分離膜５１９は、固定体５１８と、凸部５１１ｄと、によって挟持されることになる。これによって、気液分離膜５１９は筒体本体５１１に固定される。なお、気液分離膜５１９は、一方の面（凸部５１１ｄに当接する側の面）がインクに接触することになる。
【００６９】
固定体５１８は、貫通孔５１８ａを備える。固定体５１８が筒体本体５１１に取り付けられると、貫通孔５１８ａと、貫通孔５１１ｃの前記固定体５１８が入り込まない部分とによって、筒体５１１には、筒体５１１の外部と内部とを連通する連通路９３が形成される。そして、気液分離膜５１９は、固定体５１８と、凸部５１１ｄと、によって挟持されるので、この気液分離膜５１９は、連通路９３を塞ぐように配置されることになる。固定体５１８は、筒体本体５１１と密着し、気液分離膜はインクを通さないので、固定体５１８の取付け部分において、インクが漏れることは略ない。
【００７０】
また、貫通孔５１８ａは、気液分離膜５１９の他方の面（凸部５１１ｄに当接する側と反対側の面）の少なくとも一部を吐出ノズル５００の外部に露出させる。この貫通孔５１８ａによって、気液分離膜５１９を通過した気体は、吐出ノズル５００の外部に排出される。
【００７１】
底部５２０は、吐出口５２１ａを備え、筒体５１０の一端（吐出口５２１ａ（つまり、ステージ９１９）側の一端の開口）を閉口するように形成される。底部５２０は、ノズルプレート５２１と、固定部材５２３と、を備える。
【００７２】
ノズルプレート５２１は、固定部材５２３によって、筒体５１０の前記一端（一端側の開口）を覆うように筒体５１０の前記一端に当接して、固定される。
【００７３】
固定部材５２３は、筒体５１０の前記一端を覆う形状である。固定部材５２３は筒体５１０に固定される。
【００７４】
固定部材５２３は、内壁上端（インク供給管９０９側で、図８の上方）にツメ５２３ｃを備える。このツメ５２３ｃが筒体本体５１１の凹部５１１ｂに入り込む。このようなスナップ形式によって、上述のように、固定部材５２３は筒体５１０に固定される。なお、ツメ５２３ｃは、固定部材５２３を固定しやすいように適宜の数（ここでは、図９及び図１０に示すように３つ）、適宜の形状で形成される。
【００７５】
固定部材５２３は、例えば合成樹脂等によって、弾性変形可能に形成されるとよい。これによって、固定部材５２３を筒体本体５１０に固定するときに、固定部材５２３を変形させて、ツメ５２３ｃと凹部５１１ｂに入り込ませやすくできる。固定部材５２３は、切欠き５２３ｅを備えるが、この切欠き５２３ｅは、固定部材５２３を変形しやすくするためのものである。固定部材５２３をこのような構成にすれば、固定部材５２３を筒体５１０に固定しやすくなる。なお、このように固定部材５２３を筒体５１０に固定するため、両者は密着するので、両者の接合部からインクが漏れることは略ない。
【００７６】
固定部材５２３を筒体５１０に固定するときに、固定部材５２３は、ノズルプレート５２１を覆い、ノズルプレート５２１を固定する。また、固定部材５２３は、貫通孔５２３ａを底面に備え、この貫通孔５２３ａによって、ノズルプレート５２１の一部が露出する。また、固定部材５２３は、切欠き５２３ｄを備え、この切欠き５２３ｄによって、固定体５１８を外部に露出させることができる。これによって、連通路９３は、筒体５１０の、外部と内部とを連通することができる。
【００７７】
固定部材５２３は、他の方法によって、筒体５１０に固定されてもよい（例えば、第１実施形態を参照）。
【００７８】
ノズルプレート５２１は、従来の公知のノズルプレートを採用できる。また、その他の説明については、第１実施形態のノズルプレート１２１の説明に準じるので説明を省略する。
【００７９】
第１実施形態と同様に、インク供給管９０９から筒体５１０内に流入したインクは、底部５２０の吐出口５２１ａから吐出される。このときに、インクに含まれる気泡（気体）が筒体内１１０内に発生して溜まることがある。筒体５１０に気液分離膜５１９及び連通路９３が配置されるので、インクに含まれる気体は、連通路９３を通過するとともに、この気液分離膜５１９を通過し外部に排出される。このため、吐出ノズル５００内に気泡が溜まることを防止又は軽減できる。連通路９３の断面の大きさ（連通路９３の内径（直径））は、吐出口５２１ａの断面の大きさ（吐出口５２１ａの内径（直径））よりも大きいことが望ましい。これによって、気体を効果的に排出できる。
【００８０】
第１実施形態で示したとおり、気泡９１は例えば図８の矢印のように移動すると予測される。そして、気泡９１が蓄積されて、図８のように、ノズルプレート５２１上の筒体５１０の内壁面１１１ａ近傍に気体の固まり９０が生じる。
【００８１】
本実施形態では、筒体５１０が、連通路９３を備えるとともに、気液分離膜５１９を備え、連通路９３は、底部５２０の近傍に形成され、気液分離体５１９は、連通路９３を塞いで配置されている。このため、気体の固まり９０が生じやすい位置に対応して気液分離膜５１９が配置されるので、効果的に吐出ノズル５００内の気体を排出できる。また、インクは、内壁５１１ａと底部５２０とが接する部分に向かっても流れようとすると予測されるので、インクが移動しようとする力を利用してインクに含まれる気体を気液分離膜５１９まで移動させ、気液分離膜５１９を介してインクに含まれる気体を吐出ノズル５００から排出できると考えられる。ここで、連通路９３が形成される位置は、底部５２０に近ければ近いほどよい。
【００８２】
第２実施形態における吐出ノズル５００の他の部分、及び、この吐出ノズル５００が使用される吐出装置は、第１の実施形態の構成を採用でき、これらの部分の説明は第１実施形態の説明によって説明されるので、詳細な説明は省略する。
【００８３】
（第２実施形態の変形例）
第２実施形態の変形例では、吐出ノズル５００の連通路９３が減圧装置の一例であるポンプ８２１に接続される。そして、吐出装置８００は、第１実施形態の吐出装置９００が備える構成に加えて、さらに、ポンプ８２１と、このポンプ８２１と吐出ノズル５００の連通路９３とを接続するチューブ８２３と、を備える。但し、吐出装置８００では、吐出ノズル１００は吐出ノズル５００に変更され、制御部９０１は制御部８０１に変更される。制御部８０１は、制御部９０１と同様の制御を行うほか、下記の制御も行う。ポンプ８２１は、連通路９３内を吸引する。このため、インクに含まれる気体は連通路９３に引き込まれる。さらに、連通路９３内に引き込まれる気体は、気液分離膜５１９内を通過しやすくなる。このため、インクに含まれる気体をより効果的に吐出ノズル５００の外部に排出できるので、吐出ノズル５００内に気体が溜まることを防止又は軽減できる。
【００８４】
ポンプ８２１は公知のものを利用できる。また、本実施形態においては、ポンプ８２１は、制御部８０１によって、吸引のタイミングが制御される。ポンプ８２１は、例えば、吐出ノズル５００の待機時に吸引を行う。また、ポンプ８２１は、常に吸引を行ってもよい。ポンプ８２１の吸引力は、適宜決定できる。チューブ８２３は、可撓性を有する合成樹脂製のチューブ等によって構成される。
【００８５】
（その他）
上記で説明した、各実施形態及び各変形例における構成は取捨選択して、適宜組み合わせてもよい。
【００８６】
また、上記の各実施形態及び各変形例では、吐出装置が一つの吐出ノズルを備えているが、吐出装置９００（又は８００）は、複数の吐出ノズル１００（もちろん、吐出ノズル２００、３００、４００、又は、５００でもよい）を備えるように構成されてもよい（図１３参照）。この場合、複数の吐出ノズル１００は、同時に動くか、独立して動くように制御される。また、インクタンク９０３及び加圧部９０７等は、吐出ノズル１００に対応して複数形成される。また、制御部９０１（又は８０１）は、吐出部１００及び第１駆動部９０５等をそれぞれ独立して制御する。このように、複数の吐出ノズル１００によって同時にインクの塗布を行うことで、少ない時間でインクの塗布が行える。
【００８７】
上記の各実施形態及び各変形例等に係る吐出装置９００（又は８００、以下では単に吐出装置９００という。）を用いて塗布されたインクは発光層を形成する。本実施形態に係る吐出装置９００（又は８００）を用いて塗布されたインクは、安定して塗布されたインクなので、塗布されたインクによって形成される発光層は膜質が良好になる。以下、このような発光層が形成された発光装置（本発明の一実施形態に係る発光装置という。）の一例について説明する。なお、発光装置の構成は以下で説明した構成に限るものではない。
【００８８】
本発明の一実施形態に係る発光装置１０００の一例の製造方法（発光装置製造方法）を、図１２乃至１６を参照して説明する。なお、下記の基板１１００と隔壁１２００とが、上記の基板９５０に対応する。
【００８９】
まず、基板１１００を形成する（ステップＳ１０１）。具体的には、基材１１１０を用意し、用意した基材１１１０上に複数の層を順次積層した積層体１１２０を形成することで、基板１１００が形成される。基板１１００は、基材１１１０と、積層体１１２０と、を備える。積層体１１２０は、例えば、所定の平面形状に形成された、電極層、半導体層、及び、絶縁層等の複数の層からなる。そして、この積層体１１２０によって、発光層１３００を発光させる回路を構成する各種トランジスタ、各種キャパシタ、及び、各種配線等が形成されることになる。つまり、基板１１００（積層体１１２０）は、発光層１３００を発光させる回路を構成する、各種トランジスタ、各種キャパシタ、及び、各種配線等を適宜備える。ここで、平面形状は、基板１１００の表面（積層体１１２０を形成する側の面）の上方から基板１１００の方向を見た場合の形状をいう。
【００９０】
このような基板１１００は公知のものを利用することができるので、以下では、基板１１００の製造方法及び基板１１００の構造の一例の概略のみを説明する。なお、基板１１００の形成については、特に、図１６を参照。
【００９１】
まず、ガラス基板等からなる透明な基材１１１０を用意する。次に、この基材１１１０上に、スパッタ法又は真空蒸着法等により例えば、Ｍｏ膜、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜、ＡｌＮｄＴｉ合金膜、又は、ＭｏＮｂ合金膜等からなる導電膜を形成する。そして、形成した導電膜を所定形状にパターニングする。これによって、配線１１２１、及び、トランジスタ１１２２のゲート電極１１２２ｇ等が、基材１１１０上に形成される。なお、ここでのトランジスタ１１２２は、例えば、発光層を駆動するための駆動トランジスタである。また、ここでの配線１１２１は、例えば、発光させる発光素子を選択するための選択トランジスタのドレイン電極と、発光装置を駆動するデータドライバと、を電気的に接続するデータラインである。続いて、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法等により配線１１２１及びゲート電極１１２２ｇ上に絶縁膜１１２３を形成する。
【００９２】
次に、形成した絶縁膜１１２３上に、ＣＶＤ法等により、アモルファスシリコン等からなる半導体層を形成する。次に、形成した半導体層上に、ＣＶＤ法等により、例えばＳｉＮ等からなる絶縁膜を形成する。続いて、形成した絶縁膜をフォトリソグラフィ等によりパターニングし、所定形状のストッパ膜１１２４を形成する。更に、半導体層及びストッパ膜１１２４上に、ＣＶＤ法等により、ｎ型不純物が含まれたアモルファスシリコン等からなる膜を形成し、この膜と半導体層とをフォトリソグラフィ等によりパターニングすることで、半導体層１１２５とオーミックコンタクト層１１２６、１１２７とを形成する。
【００９３】
次に、スパッタ法、真空蒸着法等により絶縁膜１１２３上に、ＩＴＯ等の透明導電膜、或いは光反射性導電膜及びＩＴＯ等の透明導電膜を被膜後、フォトリソグラフィによってパターニングして画素電極１１２９を形成する。
【００９４】
続いて、絶縁膜１１２３に、異なる層に形成された導電層（例えば、トランジスタ電極又は配線）同士を電気的に接続するコンタクト部を形成するための貫通孔である図示しないコンタクトホールを形成する。次に、コンタクトホールを形成した絶縁膜１１２３上に、例えば、Ｍｏ膜、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜又はＡｌＮｄＴｉ合金膜、ＭｏＮｂ合金膜等からなるソース−ドレイン導電膜をスパッタ法、真空蒸着法等により被膜して、フォトリソグラフィによってパターニングしてドレイン電極１１２２ｄ及びソース電極１１２２ｓを形成する。また、これと同時に、前記のコンタクト部を適宜形成する。ソース電極１１２２ｓはそれぞれ画素電極１１２９の一部と重なるように形成される。
【００９５】
上記のようにして、積層体１１２０は形成され、基材１１１０は形成される。なお、上記工程では、トランジスタ１１２２以外の、例えば、選択トランジスタ等の他のトランジスタも適宜形成される。また、上記工程では、配線１１２１以外の、例えば、所定の高電位電源に直接又は間接的に接続され、対向電極１４００に印加される基準電圧より十分電位の高い所定の高電位の電圧（供給電圧）が印加されるアノードライン（供給電圧ライン）等が適宜形成される。また、例えば発光素子の発光に使用されるキャパシタ等も適宜形成される。
【００９６】
次に、ステップＳ１０１で形成した基板１１００に隔壁１２００を形成する（ステップＳ１０２）。隔壁１２００の製造方法の一例を具体的に説明すると、例えば、シリコン窒化膜等の絶縁性材料からなる層間絶縁層をＣＶＤ法等により、基板１１００上に形成する。そして、フォトリソグラフィにより、層間絶縁層に所望の形状の開口部１２５１を形成する。このようにして、複数の画素電極１１２９を露出させる開口部１２５１を備えた層間絶縁膜１２５０が形成される（図１３参照）。次に、層間絶縁膜１２５０を覆うように、感光性ポリイミド等の絶縁材料を、前記層間絶縁膜１２５０を形成した基板１１００に塗布する。そして、所望の形状に対応するマスクを介し、塗布した絶縁材料を露光及び現像することによってパターニングし、所望の形状の開口部１２６１を有する隔壁本体１２６０を形成する（図１３参照）。開口部１２６１は、開口部１２５１に合わせた形状であり、複数の画素電極１１２９を開口部１２５１を介して露出させる。このようにして、隔壁１２００が形成される（図１６等参照）。
【００９７】
つまり、ここでは、隔壁１２００は、層間絶縁膜１２５０と、この層間絶縁膜１２５０上に形成された隔壁本体１２６０と、によって形成される。層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、は、互いに対応する形状に形成されることによって、隔壁１２００を構成する。また、隔壁１２００の開口部１２０１は、開口部１２５１と、開口部１２６１と、によって形成される。なお、開口部１２５１の内壁面と、開口部１２６１の内壁面と、は、面一に形成されているが（図１３等参照）、段差等によって面一に形成されていなくてもよい。また、開口部１２０１の内壁面は、法線方向（基材１１１０の表面（前記積層体１１２０を形成する面）に対して垂直な方向）に対して傾斜を有するが、前記法線方向に沿った形状で形成されてもよい。なお、隔壁１２００は、隔壁本体１２６０のみであっても良く、層間絶縁膜１２５０は、積層体１１２０に含まれてもよい。なお、層間絶縁膜１２５０は無くてもよい。つまり、隔壁本体１２６０が、層間絶縁膜１２５０の役割を兼ねてもよい。
【００９８】
層間絶縁膜１２５０は、隣り合う画素電極１１２９同士を絶縁するとともに、基板１１００の表面に露出した素子及び配線等を電気的に外部から絶縁保護する。保護の対象の素子としては、トランジスタ１１２２等がある。保護の対象の配線としては、電源供給ライン等がある。
【００９９】
隔壁本体１２６０は、基板表面からの隔壁１２００の高さを高くし、発光層１３００を形成する際に塗布されるインクが他の領域に入り込まないようにするためのものである。通常、隔壁本体１２６０の高さは、層間絶縁膜１２５０よりも高い。
【０１００】
層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、によって隔壁１２００は構成される。このため、層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、は、隔壁１２００の形状に対応することになるので、以下では、隔壁１２００の形状を説明することによって、層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、の形状を説明する。なお、隔壁１２００は、インクを仕切るもの、つまり、発光層１３００の形状を規定するものであればよい。隔壁１２００は、絶縁性を有することが望ましい。
【０１０１】
隔壁１２００は、発光層１３００の形状を規定する。隔壁１２００は、ストライプ状に配列された開口部１２０１を備える。開口部１２０１は、発光層１３００の形状を規定する。開口部１２０１は、平面形状が、長手方向における両端が閉口な形状（ここでは略長方形）となっている。このため、発光層１３００は、列方向に一列にならぶ複数の画素に対応した形状（ここでは、略長方形）になっている。列方向とは、開口部１２０１の長手方向であり、図１５における横方向である。
【０１０２】
次に、隔壁１２００の表面（適宜開口部１２０１の内壁面も含む。）に所定の処理を行う（ステップＳ１０３）。
【０１０３】
例えば、開口部１２０１から露出する基板１１００の領域と、隔壁１２００の表面全面と、に対して親液化処理を行ってから、隔壁１２００の表面全面に撥液化処理を行う。この撥液化処理によって、隔壁１２００の開口部１２０１（溝）に塗布されたインクが、隔壁１２００の表面によって弾かれる。このため、インクが、隔壁１２００を乗り越えて、隣の開口部１２０１に進入してしまうことを防ぐことができる。
【０１０４】
なお、親液化処理としては、紫外線光の照射による処理又はＯ２（酸素）プラズマ処理等がある。また、撥液化処理は、ＣＦ４（四フッ化メタン）プラズマ処理等がある。このような処理は、例えば、特許第３３２８２９７号広報に記載されているような公知の技術を利用できる。なお、撥液とは、水系の溶媒、又は、有機系溶媒のいずれかを所定基準以上の度合いで弾く性質を示す。なお、親液とは、水系の溶媒、又は、有機系溶媒のいずれかを所定基準未満の度合いで弾く性質（弾かない性質）を示す。
【０１０５】
図１４のフローに戻り、発光層１３００を形成する（ステップＳ１０４）。具体的には、第１のインクを開口部１２０１内（溝）に塗布し、塗布した第１のインクを乾燥させることによって、発光層１３００を形成する。また、発光装置１０００がＲ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、及びＢ（Ｂｌｕｅ）の画素を有する場合には、インク（特に後述の中心層を形成するインク）の塗布を分ける。
【０１０６】
第１のインクは、発光することが可能な公知の高分子発光材料、例えばポリパラフェニレンビニレン系又はポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料を含む。前記の高分子発光材料が溶媒に溶解又は分散した液体がインクとなる。溶媒は、例えば、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒である。このような第１のインクを用いて形成された層は、発光が行われる層であり、発光層１３００の中心的な層になる。この層を以下では中心層という。なお、発光層１３００は、ここでは、この中心層のみによって構成される。
【０１０７】
第１のインクを塗布するときに吐出装置９００等が使用される。例えば、上記のように、吐出ノズル１００を基板９５０上を相対的に移動させ第１のインクを所定のパターンで塗布する（図１８矢印参照）、塗布した第１のインクを乾燥する方法は、大気雰囲気中での乾燥、窒素雰囲気中での乾燥、真空中での乾燥、又は、これらいずれかの雰囲気中での加熱乾燥等、公知の方法を採用できる。塗布された第１のインクは、例えば液面が図１７の液面１３０１となるように塗布される。
【０１０８】
発光層１３００は、画素電極１１２９（アノード電極）及び対向電極（カソード電極）１４００によって印加される電圧によって発光する層である。
【０１０９】
発光層１３００は、上記では、中心層のみから形成されるが、発光層１３００は、中心層と、正孔注入層と、インターレイヤと、を備えたものであってもよい。発光層１３００は、少なくとも中心層を備えるものであればよい。
【０１１０】
発光層１３００が正孔注入層を備える場合、上記の中心層を形成する前に、第２のインクを開口部１２０１内（溝）に塗布し、塗布した第２のインクを乾燥させることによって、正孔注入層を形成する。この正孔注入層は、画素電極１１２９と中心層（インターレイヤ）との間に形成される。正孔注入層は中心層に正孔を供給する機能を有する。正孔注入層は正孔（ホール）注入・輸送が可能な有機高分子系の材料、例えば導電性ポリマーであるポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とドーパントであるポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）とから構成される。つまり、第２のインクは、前記の有機高分子系の材料が、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒の溶媒に、溶解又は分散した液体である。第２のインクの塗布は、上記と同様吐出装置９００等によって行われる。
【０１１１】
発光層１３００がインターレイヤを備える場合、上記の中心層を形成する前に、第３のインクを開口部内（溝）に塗布し、塗布した第３のインクを乾燥させることによって、インターレイヤを形成する。このインターレイヤは、正孔注入層と中心層との間に形成される。インターレイヤは、正孔注入層の正孔注入性を抑制して中心層内において電子と正孔とを再結合させやすくする機能を有し、中心層の発光効率を高める。インターレイヤは正孔注入層の正孔注入性を抑制して中心層内において電子と正孔とを再結合させやすくする適宜の有機高分子系の材料から構成される。つまり、第３のインクは、前記の有機高分子系の材料が、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒の溶媒に、溶解又は分散した液体である。第２のインクの塗布は、上記と同様吐出装置９００等によって行われる。
【０１１２】
図１４のフローに戻り、対向電極（カソード電極）１４００を形成する（ステップＳ１０５）。対向電極１４００は、発光層１３００の上に形成される。対向電極１４００は、導電材料、例えばＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ等の仕事関数の低い材料からなる電子注入性の下層と、Ａｌ等の光反射性導電金属からなる上層を有する積層構造である。ここでは、対向電極１４００は、発光層１３００が形成された後の基板の略全面に形成された一つの電極積層体から構成される（図１５参照）。対向電極１４００は、例えば接地電位である共通電圧Ｖｓｓが印加されている。対向電極１４００は、真空蒸着やスパッタリングによって形成される。各発光素子は、各画素電極１１２９と、各画素電極と重なる位置にある発光層１３００の各領域と、各画素電極と発光層１３００を介して重なる位置にある対向電極１４００の各領域と、によって構成される。
【０１１３】
次に、封止を行う（ステップＳ１０６）。発光画素（発光層１３００を介して画素電極１１２９と、対向電極１４００と、が重なる領域）が複数形成された発光領域の外側において、電極４００形成後の基板１１００上に紫外線硬化樹脂、又は熱硬化樹脂からなる封止樹脂を塗布し、図示しない封止基板と基板１１００とを貼り合わせる。次に紫外線もしくは熱によって封止樹脂を硬化させて、基板１１００と封止基板とを接合する。以上から、発光装置１０００が製造される。
【０１１４】
このような構成を採る発光装置１０００は、デジタルカメラ、パーソナルコンピュータ、又は携帯電話等の表示装置の表示部（ディスプレイ）として用いられる。具体的には、デジタルカメラ１９１０は、例えば図１９及び図２０のように、操作部１９１１と、表示部１９１２と、を備える。この表示部１９１２に発光装置１０００が用いられる。同様に、パーソナルコンピュータ１９２０は図２１に示すように、表示部１９２１を備え、発光装置１０００は表示部１９２１に使用される。更に、図２２のように、携帯電話１９３０は表示部１９３１を備え、発光装置１０００は表示部１９３１に使用される。
【符号の説明】
【０１１５】
９０・・・気体の固まり、９１・・・気泡、９３・・・連通路、９９・・・ねじ、１００，２００，３００，４００，５００・・・吐出ノズル、１１０，５１０・・・筒体、１１１，５１１・・・筒体本体、１１１ａ，５１１ａ・・・内壁面、１１３，５１３・・・フランジ、１１５，５１５・・・凹部、１１７・・・ねじ山、１２０、２２０、３２０、４２０，５２０・・・底部、１２１，３２１，４２１，５２１・・・ノズルプレート、１２１ａ，４２１ａ，５２１ａ・・・吐出口、１２３，２２３，５２３・・・固定部材、１２３ａ，３２３ａ，４２３ａ，５２３ａ，・・・貫通孔、１３０・・・接続部、１３０ａ・・・貫通孔、１５０・・・フィルタ、２２３ａ・・・第１貫通孔、２２３ｂ・・・第２貫通孔、３２８・・・気体不透過膜、３２９・・・気液分離膜、４２８・・・第１プレート、４２９・・・第２プレート、４２９ａ・・・貫通孔、５１１ｂ・・・凹部、５１１ｃ・・・貫通孔、５１１ｃａ・・・ねじ切り、５１１ｄ・・・凸部、５２３ｃ・・・ツメ、５１８・・・固定体、５１８ｂ・・・ねじ山、５１８ａ・・・貫通孔、５１９・・・気液分離膜、５２３ｄ，５２３ｅ・・・切欠き、９００，８００・・・吐出装置、吐出ノズル１００、９０１，８０１・・・制御部、９０３・・・インクタンク、９０５・・・第１駆動部、９０７・・・加圧部、９０９・・・インク供給管、９１１・・・流量計、９１３・・・第２駆動部、９１５・・・吐出ノズル支持部材、９１７・・・第３駆動部、９１９・・・ステージ、９５０・・・基板、８２１・・・ポンプ、８２３・・・チューブ、１０００・・・発光装置、１１００・・・基板、１１１０・・・基材、１１２０・・・積層体、１１２１・・・配線、１１２２・・・トランジスタ、１１２２ｇ・・・ゲート電極、１１２２ｓ・・・ソース電極、１１２２ｄ・・・ドレイン電極、１１２３・・・絶縁膜、１１２４・・・ストッパ膜、１１２５・・・半導体層、１１２６，１１２７・・・オーミックコンタクト層、１１２９・・・画素電極、１２００・・・隔壁、１２０１・・・開口部、１２５０・・・層間絶縁膜、１２５１・・・開口部、１２６０・・・隔壁本体、１２６１・・・開口部、１３００・・・発光層、１３０１・・・液面、１４００・・・対向電極、１９１０・・・デジタルカメラ、１９１１・・・操作部、１９１２・・・表示部、１９２０・・・ノートパソコン、１９２１・・・表示部、１９３０・・・携帯電話機、１９３１・・・表示部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出ノズル及び吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させて、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布する過程を備えたことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−７５６４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の方法では、吐出ノズルが有機ＥＬ材料を連続して吐出している最中に、何らかの原因で吐出ノズル内に気泡が溜まってしまう場合があった。吐出ノズル内に気泡が溜まると、吐出ノズルから吐出される有機ＥＬ材料の吐出量が意図せずに変化してしまう（つまり、有機ＥＬ材料の吐出量が不安定になる）ことがある。なお、吐出ノズル内に気泡が溜まってしまうという現象は、上記有機ＥＬ材料以外の他の液体を吐出ノズルから吐出する場合にも生じ得ると考えられる。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、吐出ノズル内に気泡が溜まることを防止又は軽減することが可能な、吐出ノズル及び吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の観点に係る吐出ノズルは、
液体を吐出する吐出ノズルであって、
前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備える。
【０００７】
（１）また、前記吐出ノズルは、
筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記底部は、前記気液分離体を備えてもよい。
（２）前記底部は、前記吐出口が形成されたノズルプレートを備え、
前記ノズルプレートは、少なくとも一部が前記気液分離体によって形成されてもよい。
（３）前記底部は、前記底部における、前記筒体の内壁面よりも内側かつ前記内壁面の近傍において、前記気液分離体の、前記液体に接する面と反対側の面の少なくとも一部が露出するように形成されてもよい。
（４）内部と外部とを連通する連通路を備えるとともに、前記気液分離体を備える筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記連通路は、前記底部の近傍に形成され、
前記気液分離体は、前記連通路を塞ぐように配置されてもよい。
（５）前記連通路は、減圧装置に接続されてもよい。
【０００８】
また、本発明の第２の観点に係る吐出装置は、
前記いずれかの吐出ノズルと、
前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、
被印刷物が載置されるステージと、
前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備える。
【０００９】
また、前記液体が、有機ＥＬ材料であってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る吐出ノズル及び吐出装置によれば、吐出ノズル内に気泡が溜まることを防止又は軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る吐出装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルの移動方向と、ステージの移動方向とを説明するための図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態の変形例１に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の変形例２に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の変形例３に係る吐出装置における、吐出ノズルの要部断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、一部を分解した吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とを示す断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、図８の断面図に対応する吐出ノズルの要部外観図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における吐出ノズルを固定体と対向する位置から見た吐出ノズルの要部外観図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る吐出装置の概略構成図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る吐出装置における、吐出ノズルとインク供給管と吐出ノズル支持部材とチューブとを示す断面図である。
【図１３】本発明の一実施形態の変形例に係る吐出装置の吐出ノズルとステージとの移動方向を示す図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る発光装置の製造方法（発光装置製造方法）の一例を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の一実施形態に係る発光装置の一部内部を示した平面図である。
【図１６】図１５におけるＸーＸ断面図である。
【図１７】図１５におけるＹーＹ概略断面図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る発光装置の製造におけるインクの塗布の軌跡を説明するための図である。
【図１９】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したデジタルカメラの図である。
【図２０】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したデジタルカメラの図である。
【図２１】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用したノートパソコンの図である。
【図２２】本発明の一実施形態に係る発光装置を表示部に使用した携帯電話機の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、本発明は下記で説明する実施形態（図面に記載された内容も含む。）によって限定されるものではない。下記で説明する実施形態に変更を加えることが出来る。特に、下記で説明する実施形態の構成要素を適宜削除してもよい。
【００１３】
なお、下記では、吐出ノズルが吐出する液体を、有機ＥＬ材料（以下ではインクという。）とした場合を説明するが、吐出ノズルが吐出する液体は、他の液体であってもよい。インクは、例えば、高分子発光材料が溶媒に溶解又は分散した液体である。高分子発光材料は、発光することが可能な公知の材料である。このような材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン系又はポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料等がある。溶媒は、例えば、水系溶媒又は有機溶媒である。有機溶媒としては、テトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン又はキシレン等がある。このようなインクが塗布され、塗布されたインクが乾燥することによって、有機ＥＬ素子における発光層が形成される。また、吐出ノズルが吐出する液体が塗布される被塗布物（被印刷物）は、下記では基板であるが、他の被塗布物であってもよい。また、下記では、気液分離体の一例として、気液分離帯膜を用いた場合を説明しているが、気液分離体は気液分離膜のような膜状のものでなくてもよい。
【００１４】
（第１実施形態）
図１のように、吐出装置９００は、吐出ノズル１００と、制御部９０１と、液体供給部であるインクタンク９０３と、第１駆動部９０５と、加圧部９０７と、インク供給管９０９と、流量計９１１と、を備え、さらに、第２駆動部９１３と、吐出ノズル支持部材９１５と、第３駆動部９１７と、ステージ９１９と、を備える。基板９５０には、インクが塗布される。基板９５０は、ステージ９１９に設置される。なお、吐出装置９００の吐出ノズル１００以外の各構成要素は、適宜、公知のものによって構成できる。
【００１５】
制御部９０１は、マイクロプロセッサ等によって構成され、第１駆動部９０５と、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御する。これによって、吐出ノズル１００から吐出されるインクが、所定のパターンで、ステージ９１９に設置した基板９５０に塗布される。
【００１６】
インクタンク９０３は、吐出ノズル１００が吐出するインクを貯蔵する。
【００１７】
第１駆動部９０５は、制御部９０１の制御のもと、加圧部９０７を移動させる。
【００１８】
加圧部９０７は、第１駆動部９０５によって動かされ、インクタンク９０３内を加圧する（図１の矢印参照）。インクタンク９１３内が加圧されると、インクタンク９０３内の液体がインク供給管９０９に押し出される。
【００１９】
インク供給管９０９は、一端がインクタンク９０３に接続され、他端が吐出ノズル１００に接続される。また、インク供給管９０９の途中には流量計９１１が配置される。インクタンク９０３から押し出された液体は、インク供給管９０９内を流れ、吐出ノズル１００に流入する。インク供給管９０９は、可撓性を有する合成樹脂又はゴム製のチューブ等によって構成される。
【００２０】
流量計９１１は、インク供給管９０９内に形成された、インクの流量を測定するための素子を備える。この素子は、例えば、熱電対である。この素子は、インクの流量に応じた電気信号を出力する。流量計９１１は、この素子が出力した電気信号を受け取り、受け取った電気信号をデジタル信号に変換する。流量計９１１は、変換したデジタル信号を所定のタイミングで制御部９０１に供給する。
【００２１】
第２駆動部９１３は、制御部９０１の制御のもと、吐出ノズル支持部材９１５を移動させる（図１及び図２の矢印参照）。
【００２２】
吐出ノズル支持部材９１５は、第２駆動部９１３によって動かされる。また、吐出ノズル支持部材９１５には、吐出ノズル１００が固定される。このため、吐出ノズル支持部材９１５の移動に伴って、吐出ノズル１００が移動する。
【００２３】
第３駆動部９１７は、制御部９０１の制御のもと、ステージ９１９を移動させる（図２の矢印参照）。
【００２４】
ステージ９１９は、第３駆動部９１７によって動かされる。また、ステージ９１９には、基板９５０が設置される。このため、ステージ９１９の移動に伴って、基板９５０が移動する。
【００２５】
制御部９０１は、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御して、吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させる。吐出ノズル支持部材９１５の移動に伴って吐出ノズル１００は移動し、ステージ９１９の移動に伴って基板９５０は移動する。吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させることによって、吐出ノズル１００が基板９５０に対して相対的に二次元方向に移動する。制御部９０１は、第２駆動部９１３と、第３駆動部９１７と、を制御して、吐出ノズル支持部材９１５と、ステージ９１９と、をそれぞれ、所定方向に移動させることによって、吐出ノズル１００を基板９５０に対して相対的に二次元方向に移動させる。
【００２６】
一方、制御部９０１は、流量計９１１から所定のタイミングで供給されるデジタル信号を受け取る。制御部９０１は、受け取ったデジタル信号に基づいてインクの流量を特定する。そして、制御部９０１は、特定したインクの流量に基づいて、インクの流量を一定に保つように、つまり、吐出ノズル１００から吐出されるインクの量を一定に保つように、第１駆動部９０５を制御して、加圧部９０７の単位時間当たりの移動距離を調整する。制御部９０１は、例えば、特定したインクの流量が基準値よりも高ければ、高い分に応じて、加圧部９０７の単位時間当たりの移動距離を少なくするように、第１駆動部９０５を制御する。
【００２７】
このようにして、制御部９０１は、インクの吐出量を一定に保ちつつ、吐出ノズル１００を、基板９５０上で所望の軌跡で移動させることができる。これによって、インクが基板９５０上に所定のパターンで塗布されるとともに、インクの塗布量にムラを減少させる（又は無くす）ことができる。
【００２８】
吐出ノズル１００は、図３に示すように、筒体１１０と、底部１２０と、接続部１３０と、フィルタ１５０と、を備える。なお、各部材は、特に明示がない限り金属又は合成樹脂等の適宜の材料によって構成される。
【００２９】
筒体１１０の両端（両開口）は、底部１２０と、接続部１３０と、によって閉口される。筒体１１０と底部１２０とは互いに密着し、筒体１１０と接続部１３０とは互いに公知の方法で密着するので、それぞれの接合部において、インクが漏れることは略無い。接続部１３０には、インク供給管９０９が接続される。底部１２０は、インクを吐出する吐出口１２１ａを備える。インク供給管９０９から供給されるインクは、筒体１１０内に流入する。筒体内１１０内に流入したインクは、底部１２０の吐出口１２１ａから吐出される。このようにして、吐出ノズル１００は、インク供給管９０９から供給されたインクを吐出口１２１ａから吐出する。なお、吐出ノズル１００がインクを吐出している最中、筒体１１０内（吐出ノズル１００内）はインクによって満たされている（図３のドットで塗りつぶした筒体１１０の内部参照）。
【００３０】
筒体１１０は、筒体本体１１１と、フランジ１１３と、凹部１１５と、ねじ山１１７と、を備える。
【００３１】
筒体本体１１１は、筒体１１０の本体である。筒体本体１１１の内部にインク供給管９０９から供給されたインクが流入する。筒体本体１１１の形状は、断面形状（図３における表裏の方向の断面）が円形である円筒形状である。筒体本体１１１の断面形状は、円形の他、楕円形又は多角形（三角形及び四角形等も含む）等、適宜決定できる。筒体本体１１１内にインクが流入する。
【００３２】
フランジ１１３は、筒体本体１１１の外壁に形成される。フランジ１１３は、筒体本体１１１の外壁から張り出した形状を有する。フランジ１１３の形状は、例えば、平面形状が円環形状であるが、他の形状であってもよい。平面形状とは、例えば、インク供給管９０９側から底部１２０に向かって見た形状（図３では、上から見た形状）である。
【００３３】
吐出ノズル支持部材９１５には、筒体本体１１１の形状に合わせた形状の貫通孔９１５ａが形成されている。この貫通孔９１５ａに筒体本体１１１が挿入される。吐出ノズル支持部材９１５と、フランジ１１３と、には、ねじ穴が形成されており、ねじ９９によって、フランジ１１３と、吐出ノズル支持部材９１５と、が固定される。これによって、筒体１１０が吐出ノズル支持部材９１５に固定されるので、吐出ノズル１００が吐出ノズル支持部材９１５に固定される。
【００３４】
凹部１１５は、筒体本体１１１の内壁面１１１ａの周方向に沿うように、筒体本体１１１の内壁面１１１ａに形成される。凹部１１５には、後述のフィルタ１５０が嵌め込まれる。
【００３５】
ねじ山１１７は、筒体本体１１１の外壁の底部１２０側の一端部に形成される。このねじ山１１７によって、後述の固定部材１２３が、筒体１１０に固定される。
【００３６】
底部１２０は、吐出口１２１ａを備え、筒体１１０の一端（つまり、インクを吐出する側（ステージ９１９側）の一端側の開口）を閉口するように形成される。底部１２０は、ノズルプレート１２１と、固定部材１２３と、を備える。
【００３７】
ノズルプレート１２１は、固定部材１２３によって、筒体１１０の前記一端（一端側の開口）を覆うように筒体１１０の前記一端に当接して、筒体１１０に取り付けられる。
【００３８】
固定部材１２３は、筒体１１０の前記一端を覆う形状であり、内壁にねじ切りを備える。このねじ切りと、筒体１１０の筒体本体１１１のねじ山１１７と、によって、固定部材１２３と筒体１１０とは螺合する。そして、固定部材１２３は筒体１１０に取り付けられる（図３参照）。このときに、固定部材１２３は、ノズルプレート１２１を覆い、ノズルプレート１２１を固定する。また、固定部材１２３は、貫通孔１２３ａを底面に備え、この貫通孔１２３ａによって、ノズルプレート１２１の一部が露出する。固定部材１２３は、他の方法によって、筒体１１０に取り付けられてもよい（例えば、後述の第２実施形態のスナップ形式を参照）。固定部材１２３が筒体１１０に取り付けられることによって、底部１２０は筒体１１０に密着する。
【００３９】
ノズルプレート１２１は、筒体１１０の前記一端を閉口する。また、ノズルプレート１２１は、ノズルプレート１２１の中央に形成された、インクを吐出する吐出口１２１aを備える。この吐出口１２１ａは、直径が１１μｍであるが、１１μｍである必要は無く、インクが柱状になればよい。直径のサイズは塗布するパネルのピッチにより適時変更する。吐出口１２１ａの断面の大きさ（内径（直径）の大きさ）は、筒体１１０の内壁面１１１ａの断面の大きさ（内径（直径）の大きさ）よりも、十分に小さいので、吐出口１２１ａから吐出されるインクは、勢い良く吐出される。このため、吐出されたインクは、柱状になり、所謂液柱９５を構成する。ノズルプレート１２１の一方の面は、筒体１１０内のインクと接することになる。
【００４０】
ノズルプレート１２１は、本実施形態においては、気液分離膜によって構成される。つまり、ノズルプレート１２１は、気液分離膜である。
【００４１】
気液分離膜は、インクを通過させずに、インクに含まれる気体を通過させる膜（所謂、脱気膜）である。気液分離膜は、ここでは、ポリイミド膜である。気液分離膜としては、例えば、無機膜又は高分子膜がある。無機膜としては、例えば、ゼオライト膜等がある。高分子膜としては、多孔質膜、複合膜、又は、ポリイミド膜等がある。また炭素複合膜等もある。気液分離膜は、Ｎ２系、Ｏ２系、又は、有機系のガスを通過させ、インクを通過させない膜であってもよい。このような膜は、インクに含まれる気体も通過させることができると考えられるからである。
【００４２】
ノズルプレート１２１は、円盤形状である。ノズルプレート１２１の形状は、適宜決定できる。ノズルプレート１２１の形状は、筒体１１０の開口の形状に対応する形状となることが望ましい。対応する形状とは、例えば、ノズルプレート１２１の外形が筒体１１０の前記ノズルプレートと当接する前記一端の外形と同じ形状である場合をいう。
【００４３】
接続部１３０は、筒体１１０の、前記一端と反対側の一端（他端）を閉口する。接続部１３０の底面が筒体１１０の他端に固着される。固着の方法は、接着、又は、ねじによる固定等、適宜の方法による。これによって、接続部１３０は、筒体１１０に密着する。また、接続部１３０は、インク供給管９０９と接続される。
【００４４】
フィルタ１５０は、凹部１１５に嵌め込まれる。フィルタ１５０は、インクのゴミを除去する。フィルタ１５０は、例えば、ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥによって構成されるが、これに限定されるわけではなく、フィルタの機能を有するものであれば、特に限定されない。また、フィルタ１５０は筒体１１０内に入れなくても良く、例えばインク供給管９０９内などインクの供給されるラインに設けても良い。
【００４５】
上述のように、インク供給管９０９から筒体１１０内に流入したインクは、底部１２０の吐出口１２１ａから吐出される。このときに、インクに含まれる気泡（気体）が筒体内１１０内に発生して溜まることがある。このような気泡の発生の原因は、定かではないが、例えば、下記の理由等が考えられる。
【００４６】
（理由１）インクをインクタンク９０３に充填するときに使用されるガスがインクに溶存してしまう。
（理由２）インクをインクタンク９０３に充填するときにインクタンク９０３に接続された継ぎ手等から進入したガスが残存してしまう。
（理由３）吐出ノズル１００の移動に伴うインク供給管９０９の変位による圧力変化によって発生したガスがインクに溶存してしまう。
【００４７】
吐出ノズル１００がインクを吐出している最中、筒体１１０内はインクによって満たされている。そして、インクを吐出している最中、筒体１１０内にはインクが常に流入する。筒体１１０内に流入したインクは、ノズルプレート１２１に向かって移動しようとする。このため、インクに含まれる気泡もノズルプレート１２１に向かって移動しようとする。
【００４８】
なお、筒体１１０内にインクが流入することによって、インクはノズルプレート１２１及び筒体１１０の内壁面１１１ａ等に圧力を加える。ノズルプレート１２１の厚さは、この圧力によって、インクに含まれる気体がノズルプレート１２１を通過して外部に排出される厚さにすることが望ましい。この厚さは、気液分離膜の種類によって異なる。なお、ノズルプレート１２１（気液分離膜）を薄くすればするほど、気体を通過させやすくするので、ノズルプレート１２１は薄いほうが好ましい。しかし、ノズルプレート１２１は、インクから圧力を受けるので、この圧力に耐え得る厚さを確保することが望ましい。なお、ノズルプレート１２１の略全体（筒体１１０の開口に対応する領域全体）がインクから圧力を受けるので、ノズルプレート１２１を露出する貫通孔１２３ａが大きい程、ノズルプレート１２１の強度をより強くする必要がある。
【００４９】
また、インクに含まれる気泡は、ノズルプレート１２１上の筒体１１０の内壁面１１１ａ近傍（ノズルプレート１２１の周縁部上）に蓄積される可能性が高いことが、本願発明者の経験で分かっている。このため、図３のように、気泡９１は例えば図３の矢印のように移動すると予測される。そして、気泡９１が蓄積されて、図３のように、ノズルプレート１２１上の筒体１１０の内壁面１１１ａ近傍に気体の固まり９０が生じる。この気体の固まり９０によって、インクの吐出量が不安定になる。これは、インクの圧力が気体の固まり９０によって吸収されてしまう等の原因によって発生するものであると予測される。
【００５０】
本実施形態では、底部１２０は、底部１２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜の、インクに接する面と反対側の面が露出するように形成されている。これによって、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜は気体を外部に排出できる。このため、気体の固まり９０が生じやすい位置に対応して、気体を外部に排出できる気液分離膜が位置するので、気体を効果的に吐出ノズル１００の外部へ排出できることになる。
【００５１】
（第１実施形態の変形例１）
上述のように、第１実施形態では、底部１２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜の他方の面（インクに接する面と反対側の面）が露出する。これは、貫通孔１２３ａの断面の大きさ（第１貫通孔１２３ａの内径（直径））が、筒体１１０の開口の大きさ（筒体１１０の内径（直径））以上の大きさだからである。
【００５２】
第１実施形態の変形例１に係る吐出ノズル２００では、図４のように、第１実施形態の底部１２０が底部２２０に変更される。なお、図４において、第１実施形態に対応する部材は、同一の符号が付されている。図４のように、底部２２０の固定部材２２３は、吐出口１２１ａを露出させる第１貫通孔２２３ａを備える。第１貫通孔２２３ａの断面の大きさ（貫通孔２２３ａの内径（直径））は、筒体１１０の開口の大きさ（筒体本体１１１の内壁面１１１ａの内径（直径））よりも小さい。このようにしても、吐出口１２１ａの周囲の気液分離膜が吐出ノズル２００の外部に露出する。また、固定部材２２３は、第２貫通孔２２３ｂを備え、第２貫通孔２２３ｂを介して、ノズルプレート１２１を露出させる。第２貫通孔２２３ｂの平面形状は、適宜決定できる（ここでは、円形である）。第２貫通孔２２３ｂは、１以上設けられる（ここでは、二つ設けられる）。ここでは、第２貫通孔２２３ｂは、図４のように、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されている。
【００５３】
この変形例１においても、上記と同様、気体を効果的に吐出ノズル２００の外部へ排出できることになる。また、第１貫通孔２２３ａの大きさを第１実施形態の貫通孔１２３ａに比べて小さくできるので、ノズルプレート１２１の強度を弱くでき、厚さを薄くできる場合がある。
【００５４】
（第１実施形態の変形例２）
第１実施形態の変形例２に係る吐出ノズル３００では、図５のように、第１実施形態の底部１２０が底部３２０に変更される。第１実施形態では、ノズルプレート１２１は、全部が気液分離膜によって形成されているが、この変形例のように、ノズルプレート３２１は、一部が気液分離膜によって形成されてもよい。このようにしても、吐出ノズル３００内に気泡が溜まることを防止するか軽減できる。底部３００のノズルプレート３２１は、気体不透過膜３２８と、気液分離膜３２９と、によって構成される。気体不透過膜３２８は、インクも気体も通過させない、従来のノズルプレートと同様の材料で形成される。ノズルプレート３２１の中央には、吐出口３２１ａが形成される。この変形例２では、気液分離膜３２９を薄くしても、気体不透過膜３２８の強度を大きくすることで、ノズルプレート３２１全体の強度を大きくすることができる。この変形例２では、気液分離膜３２９を薄くできる。
【００５５】
気体透過膜３２８の位置、形状（ここでは、平面形状が円形になっている。）、大きさ、及び、数（ここでは、２つ）は、適宜決定できる。但し、気体透過膜３２８は、少なくとも一部が、図５のように、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されていることが望ましい。これによって、変形例２においても、上記と同様、底部３２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、気液分離膜３２９の他方の面（インクに接する面と反対側の面）の少なくとも一部が露出するように形成される。このため、気体を効果的に吐出ノズル２００の外部へ排出できることになる。
【００５６】
（第１実施形態の変形例３）
第１実施形態の変形例３に係る吐出ノズル４００では、図６のように、第１実施形態の底部１２０が底部４２０に変更される。第１実施形態では、ノズルプレート１２１は、全部が気液分離膜によって形成されているが、この変形例のように、ノズルプレート４２１は、一部が気液分離膜によって形成されてもよい。つまり、ノズルプレート４２１は、図６のように、複数のプレートを重ねて形成されてもよい。このようにしても、吐出ノズル４００内に気泡が溜まることを防げる。
【００５７】
ノズルプレート４２１は、第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、を備える。第１プレート４２８は、気液分離膜によって形成される。第２プレート４２９は、従来のノズルプレートと同様の材料で形成される。このような構成によって、気液分離膜を薄くできるので、インクに含まれる気体は第１プレート４２８を通過しやすくなる。一方で、第２プレート４２９は、ノズルプレート４２１全体を補強することができる。このため、ノズルプレート４２１は、気体を通過させやすく、強度のあるノズルプレートとなる。
【００５８】
第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、は、互いに固着してもよいし、当接するのみであってもよい。第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、は、それぞれ、中央に貫通孔を備え、これら貫通孔が吐出口４２１ａを構成する。また、第２プレート４２９は、貫通孔４２９ａを備える。この貫通孔４２９ａによって、第１プレート４２８がインクに接触する。第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、が重なる順番は逆でもよい。
【００５９】
貫通孔４２９ａの位置、形状（ここでは、平面形状が円形）、大きさ、及び、数（ここでは、２つ）は、適宜決定できる。但し、貫通孔４２９ａは、筒体１１０から見た場合に、筒体１１０の内壁面１１１ａの近傍に形成されることが望ましい。これによって、上記と同様、底部４２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、第１プレート４２８の他方の面（インクに接する面と反対側の面）の少なくとも一部が露出するように形成される。このため、気体を効果的に吐出ノズル４００の外部へ排出できることになる。なお、第１プレート４２８と、第２プレート４２９と、が重なる順番が逆の場合は、底部４２０における、筒体１１０の内壁面１１１ａよりも内側かつ内壁面１１１ａの近傍において、第１プレート４２８のインクに接する面と反対側の面が、貫通孔４２９ａによって露出するため、気体を効果的に吐出ノズル４００の外部へ排出できることになる。
【００６０】
（第２実施形態）
第２実施形態と第１実施形態とでは、気液分離膜の位置等が異なる。第２実施形態についての以下の説明では、第１実施形態と異なる点のみを説明する。また、第１実施形態と第２実施形態とで対応する構成要素は同じ符号を付す。
【００６１】
図８乃至図１０のように、筒体５１０は、筒体本体５１１と、フランジ５１３と、凹部５１５と、固定体５１８と、気液分離膜５１９と、を備える。フランジ５１３と凹部５１５とは、第１実施形態の、フランジ１１３と凹部１１５とに対応するので説明を省略する。
【００６２】
筒体本体５１１は、凹部５１１ｂと、貫通孔５１１ｃと、凸部５１１ｄと、をさらに備える他は、第１実施形態の筒体１１０と、同様のものである。
【００６３】
凹部５１１ｂは、筒体本体５１１の外壁面に形成される。凹部５１１ｂは、後述の固定部材５２３のツメ５２３ｃが入り込む。これによって、固定部材５２３は、筒体５１０に固定され、筒体５１０と底部５２０とは密着する。凹部５１１ｂは、固定部材５２３に応じて形成されるため、数や形状は適宜決定する。
【００６４】
貫通孔５１１ｃは、内壁の断面形状が円形等の所定形状で形成される。貫通孔５１１ｃは、筒体本体５１１の内部と外部とを連通する孔であり、底部５２０の近傍に所定形状で形成される。また、貫通孔５１１ｃの数は適宜決定する（ここでは一つである）。貫通孔５１１ｃは、筒体本体５１１の周方向に等間隔で例えば４つ、８つ等の適宜の数で形成してもよい。
【００６５】
また、貫通孔５１１ｃは、ねじ切り５１１ｃａを内壁面に備え、これによって、固定体５１８が固定される。
【００６６】
凸部５１１ｄは、貫通孔５１１ｃから張り出して形成され、後述の気液分離膜５１９をインクに接触させるとともに押さえる役割を有する。
【００６７】
気液分離膜５１９は、第１実施形態で説明したものと同様のものである。この気液分離膜５１９は、貫通孔５１１ｃの形状に合わせた形状に形成される。また、厚さは、適宜決定できるが、例えば、第１実施形態と同様、インクによって加わる圧力によって、インクに含まれる気体が気液分離膜５１９を通過して排出される厚さにすることが望ましい。
【００６８】
固定体５１８は、気液分離膜５１９を固定するためのものである。固定体５１８は、ねじ山５１８ｂを備えるとともに、貫通孔５１８ａを備える。ねじ山５１８ｂと、ねじ切り５１１ｃａとによって、筒体本体５１１と固定体５１８とは、螺合する。これによって、固定体５１８は、筒体本体５１１に取り付けられる。このとき、気液分離膜５１９は、固定体５１８と、凸部５１１ｄと、によって挟持されることになる。これによって、気液分離膜５１９は筒体本体５１１に固定される。なお、気液分離膜５１９は、一方の面（凸部５１１ｄに当接する側の面）がインクに接触することになる。
【００６９】
固定体５１８は、貫通孔５１８ａを備える。固定体５１８が筒体本体５１１に取り付けられると、貫通孔５１８ａと、貫通孔５１１ｃの前記固定体５１８が入り込まない部分とによって、筒体５１１には、筒体５１１の外部と内部とを連通する連通路９３が形成される。そして、気液分離膜５１９は、固定体５１８と、凸部５１１ｄと、によって挟持されるので、この気液分離膜５１９は、連通路９３を塞ぐように配置されることになる。固定体５１８は、筒体本体５１１と密着し、気液分離膜はインクを通さないので、固定体５１８の取付け部分において、インクが漏れることは略ない。
【００７０】
また、貫通孔５１８ａは、気液分離膜５１９の他方の面（凸部５１１ｄに当接する側と反対側の面）の少なくとも一部を吐出ノズル５００の外部に露出させる。この貫通孔５１８ａによって、気液分離膜５１９を通過した気体は、吐出ノズル５００の外部に排出される。
【００７１】
底部５２０は、吐出口５２１ａを備え、筒体５１０の一端（吐出口５２１ａ（つまり、ステージ９１９）側の一端の開口）を閉口するように形成される。底部５２０は、ノズルプレート５２１と、固定部材５２３と、を備える。
【００７２】
ノズルプレート５２１は、固定部材５２３によって、筒体５１０の前記一端（一端側の開口）を覆うように筒体５１０の前記一端に当接して、固定される。
【００７３】
固定部材５２３は、筒体５１０の前記一端を覆う形状である。固定部材５２３は筒体５１０に固定される。
【００７４】
固定部材５２３は、内壁上端（インク供給管９０９側で、図８の上方）にツメ５２３ｃを備える。このツメ５２３ｃが筒体本体５１１の凹部５１１ｂに入り込む。このようなスナップ形式によって、上述のように、固定部材５２３は筒体５１０に固定される。なお、ツメ５２３ｃは、固定部材５２３を固定しやすいように適宜の数（ここでは、図９及び図１０に示すように３つ）、適宜の形状で形成される。
【００７５】
固定部材５２３は、例えば合成樹脂等によって、弾性変形可能に形成されるとよい。これによって、固定部材５２３を筒体本体５１０に固定するときに、固定部材５２３を変形させて、ツメ５２３ｃと凹部５１１ｂに入り込ませやすくできる。固定部材５２３は、切欠き５２３ｅを備えるが、この切欠き５２３ｅは、固定部材５２３を変形しやすくするためのものである。固定部材５２３をこのような構成にすれば、固定部材５２３を筒体５１０に固定しやすくなる。なお、このように固定部材５２３を筒体５１０に固定するため、両者は密着するので、両者の接合部からインクが漏れることは略ない。
【００７６】
固定部材５２３を筒体５１０に固定するときに、固定部材５２３は、ノズルプレート５２１を覆い、ノズルプレート５２１を固定する。また、固定部材５２３は、貫通孔５２３ａを底面に備え、この貫通孔５２３ａによって、ノズルプレート５２１の一部が露出する。また、固定部材５２３は、切欠き５２３ｄを備え、この切欠き５２３ｄによって、固定体５１８を外部に露出させることができる。これによって、連通路９３は、筒体５１０の、外部と内部とを連通することができる。
【００７７】
固定部材５２３は、他の方法によって、筒体５１０に固定されてもよい（例えば、第１実施形態を参照）。
【００７８】
ノズルプレート５２１は、従来の公知のノズルプレートを採用できる。また、その他の説明については、第１実施形態のノズルプレート１２１の説明に準じるので説明を省略する。
【００７９】
第１実施形態と同様に、インク供給管９０９から筒体５１０内に流入したインクは、底部５２０の吐出口５２１ａから吐出される。このときに、インクに含まれる気泡（気体）が筒体内１１０内に発生して溜まることがある。筒体５１０に気液分離膜５１９及び連通路９３が配置されるので、インクに含まれる気体は、連通路９３を通過するとともに、この気液分離膜５１９を通過し外部に排出される。このため、吐出ノズル５００内に気泡が溜まることを防止又は軽減できる。連通路９３の断面の大きさ（連通路９３の内径（直径））は、吐出口５２１ａの断面の大きさ（吐出口５２１ａの内径（直径））よりも大きいことが望ましい。これによって、気体を効果的に排出できる。
【００８０】
第１実施形態で示したとおり、気泡９１は例えば図８の矢印のように移動すると予測される。そして、気泡９１が蓄積されて、図８のように、ノズルプレート５２１上の筒体５１０の内壁面１１１ａ近傍に気体の固まり９０が生じる。
【００８１】
本実施形態では、筒体５１０が、連通路９３を備えるとともに、気液分離膜５１９を備え、連通路９３は、底部５２０の近傍に形成され、気液分離体５１９は、連通路９３を塞いで配置されている。このため、気体の固まり９０が生じやすい位置に対応して気液分離膜５１９が配置されるので、効果的に吐出ノズル５００内の気体を排出できる。また、インクは、内壁５１１ａと底部５２０とが接する部分に向かっても流れようとすると予測されるので、インクが移動しようとする力を利用してインクに含まれる気体を気液分離膜５１９まで移動させ、気液分離膜５１９を介してインクに含まれる気体を吐出ノズル５００から排出できると考えられる。ここで、連通路９３が形成される位置は、底部５２０に近ければ近いほどよい。
【００８２】
第２実施形態における吐出ノズル５００の他の部分、及び、この吐出ノズル５００が使用される吐出装置は、第１の実施形態の構成を採用でき、これらの部分の説明は第１実施形態の説明によって説明されるので、詳細な説明は省略する。
【００８３】
（第２実施形態の変形例）
第２実施形態の変形例では、吐出ノズル５００の連通路９３が減圧装置の一例であるポンプ８２１に接続される。そして、吐出装置８００は、第１実施形態の吐出装置９００が備える構成に加えて、さらに、ポンプ８２１と、このポンプ８２１と吐出ノズル５００の連通路９３とを接続するチューブ８２３と、を備える。但し、吐出装置８００では、吐出ノズル１００は吐出ノズル５００に変更され、制御部９０１は制御部８０１に変更される。制御部８０１は、制御部９０１と同様の制御を行うほか、下記の制御も行う。ポンプ８２１は、連通路９３内を吸引する。このため、インクに含まれる気体は連通路９３に引き込まれる。さらに、連通路９３内に引き込まれる気体は、気液分離膜５１９内を通過しやすくなる。このため、インクに含まれる気体をより効果的に吐出ノズル５００の外部に排出できるので、吐出ノズル５００内に気体が溜まることを防止又は軽減できる。
【００８４】
ポンプ８２１は公知のものを利用できる。また、本実施形態においては、ポンプ８２１は、制御部８０１によって、吸引のタイミングが制御される。ポンプ８２１は、例えば、吐出ノズル５００の待機時に吸引を行う。また、ポンプ８２１は、常に吸引を行ってもよい。ポンプ８２１の吸引力は、適宜決定できる。チューブ８２３は、可撓性を有する合成樹脂製のチューブ等によって構成される。
【００８５】
（その他）
上記で説明した、各実施形態及び各変形例における構成は取捨選択して、適宜組み合わせてもよい。
【００８６】
また、上記の各実施形態及び各変形例では、吐出装置が一つの吐出ノズルを備えているが、吐出装置９００（又は８００）は、複数の吐出ノズル１００（もちろん、吐出ノズル２００、３００、４００、又は、５００でもよい）を備えるように構成されてもよい（図１３参照）。この場合、複数の吐出ノズル１００は、同時に動くか、独立して動くように制御される。また、インクタンク９０３及び加圧部９０７等は、吐出ノズル１００に対応して複数形成される。また、制御部９０１（又は８０１）は、吐出部１００及び第１駆動部９０５等をそれぞれ独立して制御する。このように、複数の吐出ノズル１００によって同時にインクの塗布を行うことで、少ない時間でインクの塗布が行える。
【００８７】
上記の各実施形態及び各変形例等に係る吐出装置９００（又は８００、以下では単に吐出装置９００という。）を用いて塗布されたインクは発光層を形成する。本実施形態に係る吐出装置９００（又は８００）を用いて塗布されたインクは、安定して塗布されたインクなので、塗布されたインクによって形成される発光層は膜質が良好になる。以下、このような発光層が形成された発光装置（本発明の一実施形態に係る発光装置という。）の一例について説明する。なお、発光装置の構成は以下で説明した構成に限るものではない。
【００８８】
本発明の一実施形態に係る発光装置１０００の一例の製造方法（発光装置製造方法）を、図１２乃至１６を参照して説明する。なお、下記の基板１１００と隔壁１２００とが、上記の基板９５０に対応する。
【００８９】
まず、基板１１００を形成する（ステップＳ１０１）。具体的には、基材１１１０を用意し、用意した基材１１１０上に複数の層を順次積層した積層体１１２０を形成することで、基板１１００が形成される。基板１１００は、基材１１１０と、積層体１１２０と、を備える。積層体１１２０は、例えば、所定の平面形状に形成された、電極層、半導体層、及び、絶縁層等の複数の層からなる。そして、この積層体１１２０によって、発光層１３００を発光させる回路を構成する各種トランジスタ、各種キャパシタ、及び、各種配線等が形成されることになる。つまり、基板１１００（積層体１１２０）は、発光層１３００を発光させる回路を構成する、各種トランジスタ、各種キャパシタ、及び、各種配線等を適宜備える。ここで、平面形状は、基板１１００の表面（積層体１１２０を形成する側の面）の上方から基板１１００の方向を見た場合の形状をいう。
【００９０】
このような基板１１００は公知のものを利用することができるので、以下では、基板１１００の製造方法及び基板１１００の構造の一例の概略のみを説明する。なお、基板１１００の形成については、特に、図１６を参照。
【００９１】
まず、ガラス基板等からなる透明な基材１１１０を用意する。次に、この基材１１１０上に、スパッタ法又は真空蒸着法等により例えば、Ｍｏ膜、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜、ＡｌＮｄＴｉ合金膜、又は、ＭｏＮｂ合金膜等からなる導電膜を形成する。そして、形成した導電膜を所定形状にパターニングする。これによって、配線１１２１、及び、トランジスタ１１２２のゲート電極１１２２ｇ等が、基材１１１０上に形成される。なお、ここでのトランジスタ１１２２は、例えば、発光層を駆動するための駆動トランジスタである。また、ここでの配線１１２１は、例えば、発光させる発光素子を選択するための選択トランジスタのドレイン電極と、発光装置を駆動するデータドライバと、を電気的に接続するデータラインである。続いて、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法等により配線１１２１及びゲート電極１１２２ｇ上に絶縁膜１１２３を形成する。
【００９２】
次に、形成した絶縁膜１１２３上に、ＣＶＤ法等により、アモルファスシリコン等からなる半導体層を形成する。次に、形成した半導体層上に、ＣＶＤ法等により、例えばＳｉＮ等からなる絶縁膜を形成する。続いて、形成した絶縁膜をフォトリソグラフィ等によりパターニングし、所定形状のストッパ膜１１２４を形成する。更に、半導体層及びストッパ膜１１２４上に、ＣＶＤ法等により、ｎ型不純物が含まれたアモルファスシリコン等からなる膜を形成し、この膜と半導体層とをフォトリソグラフィ等によりパターニングすることで、半導体層１１２５とオーミックコンタクト層１１２６、１１２７とを形成する。
【００９３】
次に、スパッタ法、真空蒸着法等により絶縁膜１１２３上に、ＩＴＯ等の透明導電膜、或いは光反射性導電膜及びＩＴＯ等の透明導電膜を被膜後、フォトリソグラフィによってパターニングして画素電極１１２９を形成する。
【００９４】
続いて、絶縁膜１１２３に、異なる層に形成された導電層（例えば、トランジスタ電極又は配線）同士を電気的に接続するコンタクト部を形成するための貫通孔である図示しないコンタクトホールを形成する。次に、コンタクトホールを形成した絶縁膜１１２３上に、例えば、Ｍｏ膜、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜又はＡｌＮｄＴｉ合金膜、ＭｏＮｂ合金膜等からなるソース−ドレイン導電膜をスパッタ法、真空蒸着法等により被膜して、フォトリソグラフィによってパターニングしてドレイン電極１１２２ｄ及びソース電極１１２２ｓを形成する。また、これと同時に、前記のコンタクト部を適宜形成する。ソース電極１１２２ｓはそれぞれ画素電極１１２９の一部と重なるように形成される。
【００９５】
上記のようにして、積層体１１２０は形成され、基材１１１０は形成される。なお、上記工程では、トランジスタ１１２２以外の、例えば、選択トランジスタ等の他のトランジスタも適宜形成される。また、上記工程では、配線１１２１以外の、例えば、所定の高電位電源に直接又は間接的に接続され、対向電極１４００に印加される基準電圧より十分電位の高い所定の高電位の電圧（供給電圧）が印加されるアノードライン（供給電圧ライン）等が適宜形成される。また、例えば発光素子の発光に使用されるキャパシタ等も適宜形成される。
【００９６】
次に、ステップＳ１０１で形成した基板１１００に隔壁１２００を形成する（ステップＳ１０２）。隔壁１２００の製造方法の一例を具体的に説明すると、例えば、シリコン窒化膜等の絶縁性材料からなる層間絶縁層をＣＶＤ法等により、基板１１００上に形成する。そして、フォトリソグラフィにより、層間絶縁層に所望の形状の開口部１２５１を形成する。このようにして、複数の画素電極１１２９を露出させる開口部１２５１を備えた層間絶縁膜１２５０が形成される（図１３参照）。次に、層間絶縁膜１２５０を覆うように、感光性ポリイミド等の絶縁材料を、前記層間絶縁膜１２５０を形成した基板１１００に塗布する。そして、所望の形状に対応するマスクを介し、塗布した絶縁材料を露光及び現像することによってパターニングし、所望の形状の開口部１２６１を有する隔壁本体１２６０を形成する（図１３参照）。開口部１２６１は、開口部１２５１に合わせた形状であり、複数の画素電極１１２９を開口部１２５１を介して露出させる。このようにして、隔壁１２００が形成される（図１６等参照）。
【００９７】
つまり、ここでは、隔壁１２００は、層間絶縁膜１２５０と、この層間絶縁膜１２５０上に形成された隔壁本体１２６０と、によって形成される。層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、は、互いに対応する形状に形成されることによって、隔壁１２００を構成する。また、隔壁１２００の開口部１２０１は、開口部１２５１と、開口部１２６１と、によって形成される。なお、開口部１２５１の内壁面と、開口部１２６１の内壁面と、は、面一に形成されているが（図１３等参照）、段差等によって面一に形成されていなくてもよい。また、開口部１２０１の内壁面は、法線方向（基材１１１０の表面（前記積層体１１２０を形成する面）に対して垂直な方向）に対して傾斜を有するが、前記法線方向に沿った形状で形成されてもよい。なお、隔壁１２００は、隔壁本体１２６０のみであっても良く、層間絶縁膜１２５０は、積層体１１２０に含まれてもよい。なお、層間絶縁膜１２５０は無くてもよい。つまり、隔壁本体１２６０が、層間絶縁膜１２５０の役割を兼ねてもよい。
【００９８】
層間絶縁膜１２５０は、隣り合う画素電極１１２９同士を絶縁するとともに、基板１１００の表面に露出した素子及び配線等を電気的に外部から絶縁保護する。保護の対象の素子としては、トランジスタ１１２２等がある。保護の対象の配線としては、電源供給ライン等がある。
【００９９】
隔壁本体１２６０は、基板表面からの隔壁１２００の高さを高くし、発光層１３００を形成する際に塗布されるインクが他の領域に入り込まないようにするためのものである。通常、隔壁本体１２６０の高さは、層間絶縁膜１２５０よりも高い。
【０１００】
層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、によって隔壁１２００は構成される。このため、層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、は、隔壁１２００の形状に対応することになるので、以下では、隔壁１２００の形状を説明することによって、層間絶縁膜１２５０と、隔壁本体１２６０と、の形状を説明する。なお、隔壁１２００は、インクを仕切るもの、つまり、発光層１３００の形状を規定するものであればよい。隔壁１２００は、絶縁性を有することが望ましい。
【０１０１】
隔壁１２００は、発光層１３００の形状を規定する。隔壁１２００は、ストライプ状に配列された開口部１２０１を備える。開口部１２０１は、発光層１３００の形状を規定する。開口部１２０１は、平面形状が、長手方向における両端が閉口な形状（ここでは略長方形）となっている。このため、発光層１３００は、列方向に一列にならぶ複数の画素に対応した形状（ここでは、略長方形）になっている。列方向とは、開口部１２０１の長手方向であり、図１５における横方向である。
【０１０２】
次に、隔壁１２００の表面（適宜開口部１２０１の内壁面も含む。）に所定の処理を行う（ステップＳ１０３）。
【０１０３】
例えば、開口部１２０１から露出する基板１１００の領域と、隔壁１２００の表面全面と、に対して親液化処理を行ってから、隔壁１２００の表面全面に撥液化処理を行う。この撥液化処理によって、隔壁１２００の開口部１２０１（溝）に塗布されたインクが、隔壁１２００の表面によって弾かれる。このため、インクが、隔壁１２００を乗り越えて、隣の開口部１２０１に進入してしまうことを防ぐことができる。
【０１０４】
なお、親液化処理としては、紫外線光の照射による処理又はＯ２（酸素）プラズマ処理等がある。また、撥液化処理は、ＣＦ４（四フッ化メタン）プラズマ処理等がある。このような処理は、例えば、特許第３３２８２９７号広報に記載されているような公知の技術を利用できる。なお、撥液とは、水系の溶媒、又は、有機系溶媒のいずれかを所定基準以上の度合いで弾く性質を示す。なお、親液とは、水系の溶媒、又は、有機系溶媒のいずれかを所定基準未満の度合いで弾く性質（弾かない性質）を示す。
【０１０５】
図１４のフローに戻り、発光層１３００を形成する（ステップＳ１０４）。具体的には、第１のインクを開口部１２０１内（溝）に塗布し、塗布した第１のインクを乾燥させることによって、発光層１３００を形成する。また、発光装置１０００がＲ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、及びＢ（Ｂｌｕｅ）の画素を有する場合には、インク（特に後述の中心層を形成するインク）の塗布を分ける。
【０１０６】
第１のインクは、発光することが可能な公知の高分子発光材料、例えばポリパラフェニレンビニレン系又はポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料を含む。前記の高分子発光材料が溶媒に溶解又は分散した液体がインクとなる。溶媒は、例えば、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒である。このような第１のインクを用いて形成された層は、発光が行われる層であり、発光層１３００の中心的な層になる。この層を以下では中心層という。なお、発光層１３００は、ここでは、この中心層のみによって構成される。
【０１０７】
第１のインクを塗布するときに吐出装置９００等が使用される。例えば、上記のように、吐出ノズル１００を基板９５０上を相対的に移動させ第１のインクを所定のパターンで塗布する（図１８矢印参照）、塗布した第１のインクを乾燥する方法は、大気雰囲気中での乾燥、窒素雰囲気中での乾燥、真空中での乾燥、又は、これらいずれかの雰囲気中での加熱乾燥等、公知の方法を採用できる。塗布された第１のインクは、例えば液面が図１７の液面１３０１となるように塗布される。
【０１０８】
発光層１３００は、画素電極１１２９（アノード電極）及び対向電極（カソード電極）１４００によって印加される電圧によって発光する層である。
【０１０９】
発光層１３００は、上記では、中心層のみから形成されるが、発光層１３００は、中心層と、正孔注入層と、インターレイヤと、を備えたものであってもよい。発光層１３００は、少なくとも中心層を備えるものであればよい。
【０１１０】
発光層１３００が正孔注入層を備える場合、上記の中心層を形成する前に、第２のインクを開口部１２０１内（溝）に塗布し、塗布した第２のインクを乾燥させることによって、正孔注入層を形成する。この正孔注入層は、画素電極１１２９と中心層（インターレイヤ）との間に形成される。正孔注入層は中心層に正孔を供給する機能を有する。正孔注入層は正孔（ホール）注入・輸送が可能な有機高分子系の材料、例えば導電性ポリマーであるポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とドーパントであるポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）とから構成される。つまり、第２のインクは、前記の有機高分子系の材料が、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒の溶媒に、溶解又は分散した液体である。第２のインクの塗布は、上記と同様吐出装置９００等によって行われる。
【０１１１】
発光層１３００がインターレイヤを備える場合、上記の中心層を形成する前に、第３のインクを開口部内（溝）に塗布し、塗布した第３のインクを乾燥させることによって、インターレイヤを形成する。このインターレイヤは、正孔注入層と中心層との間に形成される。インターレイヤは、正孔注入層の正孔注入性を抑制して中心層内において電子と正孔とを再結合させやすくする機能を有し、中心層の発光効率を高める。インターレイヤは正孔注入層の正孔注入性を抑制して中心層内において電子と正孔とを再結合させやすくする適宜の有機高分子系の材料から構成される。つまり、第３のインクは、前記の有機高分子系の材料が、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、又は、キシレン等の有機溶媒の溶媒に、溶解又は分散した液体である。第２のインクの塗布は、上記と同様吐出装置９００等によって行われる。
【０１１２】
図１４のフローに戻り、対向電極（カソード電極）１４００を形成する（ステップＳ１０５）。対向電極１４００は、発光層１３００の上に形成される。対向電極１４００は、導電材料、例えばＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ等の仕事関数の低い材料からなる電子注入性の下層と、Ａｌ等の光反射性導電金属からなる上層を有する積層構造である。ここでは、対向電極１４００は、発光層１３００が形成された後の基板の略全面に形成された一つの電極積層体から構成される（図１５参照）。対向電極１４００は、例えば接地電位である共通電圧Ｖｓｓが印加されている。対向電極１４００は、真空蒸着やスパッタリングによって形成される。各発光素子は、各画素電極１１２９と、各画素電極と重なる位置にある発光層１３００の各領域と、各画素電極と発光層１３００を介して重なる位置にある対向電極１４００の各領域と、によって構成される。
【０１１３】
次に、封止を行う（ステップＳ１０６）。発光画素（発光層１３００を介して画素電極１１２９と、対向電極１４００と、が重なる領域）が複数形成された発光領域の外側において、電極４００形成後の基板１１００上に紫外線硬化樹脂、又は熱硬化樹脂からなる封止樹脂を塗布し、図示しない封止基板と基板１１００とを貼り合わせる。次に紫外線もしくは熱によって封止樹脂を硬化させて、基板１１００と封止基板とを接合する。以上から、発光装置１０００が製造される。
【０１１４】
このような構成を採る発光装置１０００は、デジタルカメラ、パーソナルコンピュータ、又は携帯電話等の表示装置の表示部（ディスプレイ）として用いられる。具体的には、デジタルカメラ１９１０は、例えば図１９及び図２０のように、操作部１９１１と、表示部１９１２と、を備える。この表示部１９１２に発光装置１０００が用いられる。同様に、パーソナルコンピュータ１９２０は図２１に示すように、表示部１９２１を備え、発光装置１０００は表示部１９２１に使用される。更に、図２２のように、携帯電話１９３０は表示部１９３１を備え、発光装置１０００は表示部１９３１に使用される。
【符号の説明】
【０１１５】
９０・・・気体の固まり、９１・・・気泡、９３・・・連通路、９９・・・ねじ、１００，２００，３００，４００，５００・・・吐出ノズル、１１０，５１０・・・筒体、１１１，５１１・・・筒体本体、１１１ａ，５１１ａ・・・内壁面、１１３，５１３・・・フランジ、１１５，５１５・・・凹部、１１７・・・ねじ山、１２０、２２０、３２０、４２０，５２０・・・底部、１２１，３２１，４２１，５２１・・・ノズルプレート、１２１ａ，４２１ａ，５２１ａ・・・吐出口、１２３，２２３，５２３・・・固定部材、１２３ａ，３２３ａ，４２３ａ，５２３ａ，・・・貫通孔、１３０・・・接続部、１３０ａ・・・貫通孔、１５０・・・フィルタ、２２３ａ・・・第１貫通孔、２２３ｂ・・・第２貫通孔、３２８・・・気体不透過膜、３２９・・・気液分離膜、４２８・・・第１プレート、４２９・・・第２プレート、４２９ａ・・・貫通孔、５１１ｂ・・・凹部、５１１ｃ・・・貫通孔、５１１ｃａ・・・ねじ切り、５１１ｄ・・・凸部、５２３ｃ・・・ツメ、５１８・・・固定体、５１８ｂ・・・ねじ山、５１８ａ・・・貫通孔、５１９・・・気液分離膜、５２３ｄ，５２３ｅ・・・切欠き、９００，８００・・・吐出装置、吐出ノズル１００、９０１，８０１・・・制御部、９０３・・・インクタンク、９０５・・・第１駆動部、９０７・・・加圧部、９０９・・・インク供給管、９１１・・・流量計、９１３・・・第２駆動部、９１５・・・吐出ノズル支持部材、９１７・・・第３駆動部、９１９・・・ステージ、９５０・・・基板、８２１・・・ポンプ、８２３・・・チューブ、１０００・・・発光装置、１１００・・・基板、１１１０・・・基材、１１２０・・・積層体、１１２１・・・配線、１１２２・・・トランジスタ、１１２２ｇ・・・ゲート電極、１１２２ｓ・・・ソース電極、１１２２ｄ・・・ドレイン電極、１１２３・・・絶縁膜、１１２４・・・ストッパ膜、１１２５・・・半導体層、１１２６，１１２７・・・オーミックコンタクト層、１１２９・・・画素電極、１２００・・・隔壁、１２０１・・・開口部、１２５０・・・層間絶縁膜、１２５１・・・開口部、１２６０・・・隔壁本体、１２６１・・・開口部、１３００・・・発光層、１３０１・・・液面、１４００・・・対向電極、１９１０・・・デジタルカメラ、１９１１・・・操作部、１９１２・・・表示部、１９２０・・・ノートパソコン、１９２１・・・表示部、１９３０・・・携帯電話機、１９３１・・・表示部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出ノズルであって、
前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備えることを特徴とする吐出ノズル。
【請求項２】
筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記底部は、前記気液分離体を備えることを特徴とする請求項１に記載の吐出ノズル。
【請求項３】
前記底部は、前記吐出口が形成されたノズルプレートを備え、
前記ノズルプレートは、少なくとも一部が前記気液分離体によって形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の吐出ノズル。
【請求項４】
前記底部は、前記底部における、前記筒体の内壁面よりも内側かつ前記内壁面の近傍において、前記気液分離体の、前記液体に接する面と反対側の面の少なくとも一部が露出するように形成されたことを特徴とする請求項２又は３に記載の吐出ノズル。
【請求項５】
内部と外部とを連通する連通路を備えるとともに、前記気液分離体を備える筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記連通路は、前記底部の近傍に形成され、
前記気液分離体は、前記連通路を塞ぐように配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の吐出ノズル。
【請求項６】
前記連通路は、減圧装置に接続されることを特徴とする請求項５に記載の吐出ノズル。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載された吐出ノズルと、
前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、
被印刷物が載置されるステージと、
前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備えることを特徴とする吐出装置。
【請求項８】
前記液体が、有機ＥＬ材料であることを特徴とする請求項７に記載の吐出装置。
【請求項１】
液体を吐出する吐出ノズルであって、
前記液体に接し、前記液体を通過させずに、前記液体に含まれる気体を通過させる気液分離体を備えることを特徴とする吐出ノズル。
【請求項２】
筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記底部は、前記気液分離体を備えることを特徴とする請求項１に記載の吐出ノズル。
【請求項３】
前記底部は、前記吐出口が形成されたノズルプレートを備え、
前記ノズルプレートは、少なくとも一部が前記気液分離体によって形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の吐出ノズル。
【請求項４】
前記底部は、前記底部における、前記筒体の内壁面よりも内側かつ前記内壁面の近傍において、前記気液分離体の、前記液体に接する面と反対側の面の少なくとも一部が露出するように形成されたことを特徴とする請求項２又は３に記載の吐出ノズル。
【請求項５】
内部と外部とを連通する連通路を備えるとともに、前記気液分離体を備える筒体と、
前記液体を吐出する吐出口を備え、前記筒体の一端を閉口させる底部と、をさらに備え、
前記連通路は、前記底部の近傍に形成され、
前記気液分離体は、前記連通路を塞ぐように配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の吐出ノズル。
【請求項６】
前記連通路は、減圧装置に接続されることを特徴とする請求項５に記載の吐出ノズル。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載された吐出ノズルと、
前記液体を前記吐出ノズルに供給する液体供給部と、
被印刷物が載置されるステージと、
前記被印刷物と、前記吐出ノズルとを相対的に移動させる駆動部とを備えることを特徴とする吐出装置。
【請求項８】
前記液体が、有機ＥＬ材料であることを特徴とする請求項７に記載の吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１１−３１１７９（Ｐ２０１１−３１１７９Ａ）
【公開日】平成２３年２月１７日（２０１１．２．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１８０１９４（Ｐ２００９−１８０１９４）
【出願日】平成２１年７月３１日（２００９．７．３１）
【出願人】（０００００１４４３）カシオ計算機株式会社 (8,748)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１７日（２０１１．２．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月３１日（２００９．７．３１）
【出願人】（０００００１４４３）カシオ計算機株式会社 (8,748)
【Ｆターム（参考）】
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