吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器
【課題】吐出ムラを低減して液状体を付与することが可能な吐出方法、この吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の液状体の吐出方法は、２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して平行となるように配置する。そして、主走査の方向（Ｙ方向）から見て膜形成領域Ａに掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｂ３のうち膜形成領域Ａの最も中央に近い１つのノズルｂ２から膜形成領域Ａに液状体を液滴Ｌとして吐出する第１吐出工程を行う。続いて、ノズルｂ２以外の複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から膜形成領域Ａに液状体の液滴Ｌを複数吐出する第２吐出工程を行う。また、第１吐出工程では、膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３に対してそれぞれ異なる１つのノズルから液滴Ｌを吐出してもよい。
【解決手段】本発明の液状体の吐出方法は、２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して平行となるように配置する。そして、主走査の方向（Ｙ方向）から見て膜形成領域Ａに掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｂ３のうち膜形成領域Ａの最も中央に近い１つのノズルｂ２から膜形成領域Ａに液状体を液滴Ｌとして吐出する第１吐出工程を行う。続いて、ノズルｂ２以外の複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から膜形成領域Ａに液状体の液滴Ｌを複数吐出する第２吐出工程を行う。また、第１吐出工程では、膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３に対してそれぞれ異なる１つのノズルから液滴Ｌを吐出してもよい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流動性を有する液状体の吐出方法、液滴吐出法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
流動性を有する液状体の吐出方法として、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、色要素形成用の液状材料をノズルから液滴として吐出して区画に付与する吐出走査を複数回行う液滴付与方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴付与方法は、複数のノズルからなるノズル列を区画の長軸方向に沿うように液滴吐出手段と基体とを配置する。そして、１つの区画につき長軸方向に間隔を置いて互いに重ならないように異なるノズルから液滴を付与する。次に同一の区画の長軸方向において先に着弾した液滴の間に着弾するように再び液滴を付与する。これにより、色要素が比較的大きい場合であっても、容易に形成が可能であるとしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１８９１８号公報 頁４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記液滴付与方法は、色要素を形成する区画の長軸方向にノズル列が沿うように液滴吐出手段と基体とを配置して、複数のノズルから液状体を区画に向けて吐出する所謂横描画と呼ばれる方法である。このような横描画は、ノズル列を有効に用いて描画することが可能であるが、液状体が吐出される各区画ごとに掛かるノズルの位置は、該長軸方向において必ずしも一定にならない。したがって、上記液滴付与方法を用いて液滴を付与しても、先に着弾した液滴の濡れ広がり方が各区画ごとに異なるという課題があった。また、同様に各区画に掛かるノズルの数も必ずしも一定にならない。よって、１回の吐出走査で各ノズルからおよそ同量の液状体を吐出しても、各区画ごとに着弾する液状体の吐出量が異なるという課題があった。これらの課題は、結果的に吐出ムラに繋がり、色要素が部分的に形成されない白抜けや色ムラとなるという不具合があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、吐出ムラを低減して液状体を付与することが可能な吐出方法、この吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の吐出方法は、複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワーク上の複数の膜形成領域に対して複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、主走査の方向に対して直交する方向に液滴吐出手段とワークとを相対移動させる副走査と、各膜形成領域に掛かる複数のノズルから各膜形成領域に液状体の液滴を複数吐出する主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
所定量の液状体を複数回の主走査により各膜形成領域に付与するにあたり、１回の主走査で各膜形成領域ごとに掛かる複数のノズルから液状体を吐出する場合は、各膜形成領域ごとに同一な位置で液滴を着弾させ、且つ同一な吐出量の液状体を付与することは困難である。よって、最初の主走査が行われた状態では吐出ムラが発生し易い。複数回の主走査を行っている間に着弾した液状体が自然乾燥して、後から液状体を付与しても上記吐出ムラを改善することは難しい。この方法によれば、第１吐出工程では、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する。その後、第２吐出工程において各膜形成領域に複数の液滴を吐出する。したがって、第１吐出工程であらかじめ１つのノズルから液滴を吐出してワーク全体にほぼ均一に少量の液状体を付与し、液状体に含まれる溶媒成分の蒸気圧分布をほぼ一定にした状態で、第２吐出工程で膜形成に必要な主たる量の液状体を付与することができる。すなわち、吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することが可能な吐出方法を提供することができる。
【０００９】
上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの主走査の方向から見て、各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することが好ましい。これによれば、第１吐出工程であらかじめ各膜形成領域の中央付近に少量の液状体を付与するので、第２吐出工程で複数のノズルから液状体を液滴として吐出する位置が多少変動しても、先に吐出された液滴を含むようにして液状体を付与することができる。すなわち、より吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１０】
また、上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程では、１つのノズルに特定せずに異なる位置のノズルから少なくとも１滴の液滴を吐出する。したがって、各膜形成領域ごとに主走査方向に異なる位置で液滴が着弾する。よって、最初に付与される液滴の分布をワーク全体により均一化することができる。ゆえに、液状体の蒸気圧分布をワーク全体に渡ってより均一化して、より吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することができる。
【００１１】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズル数が変動すると吐出量が各膜形成領域ごとに変動する。これによれば、第１吐出工程では、あらかじめ第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出するので、安定した吐出量で各膜形成領域に液状体を付与することができる。すなわち、吐出量の変動による吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１２】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズルの位置が必ずしも一定ではないので、着弾した液滴が濡れ拡がっても各膜形成領域内に偏って液状体が付与される可能性がある。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出するので、第２吐出工程で液滴を吐出すると各膜形成領域にほぼ均一に液状体を付与することができる。すなわち、吐出位置の偏りによる吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１３】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することがより好ましい。これによれば、吐出量の変動による吐出ムラと吐出位置の偏りによる吐出ムラとを低減してより安定的に液状体を付与することができる。
【００１４】
また、上記第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする。この方法によれば、第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えるので、着弾後の液状体の溶媒の蒸発速度を考慮して液状体を付与することができる。すなわち、適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。
【００１５】
また、第２吐出工程における相対移動速度に対して第１吐出工程における相対移動速度を速めることが好ましい。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程に比べて液滴吐出手段とワークとの相対速度を速めた状態で液滴を吐出するので、ワーク全体によりすばやく液滴を付与して液状体の溶媒の蒸気圧分布を均一化することができる。すなわち、より適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。
【００１６】
また、上記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする。この方法によれば、１つの液滴吐出ヘッドにより複数回の主走査を行って液状体を付与する場合に比べて、よりすばやくワーク全体に渡って各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１７】
また、上記複数のノズルからなるノズル列が、膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、液滴吐出手段とワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することが好ましい。これによれば、膜形成領域の長手方向に対してノズル列が交差するように配置される場合に比べて、ノズル列を構成する複数のノズルを有効に用いて各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。すなわち、該長手方向の吐出ムラによる主走査の方向に平行なスジ状ムラを低減することができる。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより複数色の着色層を形成することを特徴とする。
【００１９】
この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを歩留まりよく製造することができる。
【００２０】
本発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより有機発光層を形成することを特徴とする。
【００２１】
この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を歩留まりよく製造することができる。
【００２２】
本発明の電気光学装置の製造方法は、一対の基板と、一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする。
【００２３】
この方法によれば、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造するので、着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを備えた高い表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００２４】
本発明の他の電気光学装置の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする。
【００２５】
この方法によれば、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造するので、有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を備えた高い発光品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする。この構成によれば、高い表示品質を有する電気光学装置または高い発光品質を有する電気光学装置を備えているので、高品質な電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施形態１）
本実施形態は、膜形成材料を含む液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法を例に説明する。
【００２８】
＜液滴吐出装置＞
まず、液滴吐出装置について図１〜図４を基に説明する。図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。各部の構成は、適宜縮尺して表示している。
【００２９】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、液状体を液滴として吐出してワークＷ上に液状体からなる膜を形成するものである。そしてワークＷが載置されるステージ４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を有するヘッドユニット１とを備えている。
【００３０】
また液滴吐出装置１０は、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸２と、Ｘ方向ガイド軸２を回転させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。また、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸５と、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転するＹ方向駆動モータ６とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸２とＹ方向ガイド軸５とが上部に配設された基台７を備え、その基台７の下部には、制御部８を備えている。
【００３１】
さらに、ヘッドユニット１の複数の液滴吐出ヘッド２０をメンテナンス（回復処理等）するためのメンテナンス機構９および吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１２とを備えている。またメンテナンス機構９にもＹ方向駆動モータ１１が備えられている。
【００３２】
ヘッドユニット１には、液状体をノズル２２（吐出口）から吐出してワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御部８から供給される吐出電圧に応じて個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０とその配置については後述する。
【００３３】
Ｘ方向駆動モータ３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸２に係合したヘッドユニット１をＸ方向に移動させる。
【００３４】
同様にＹ方向駆動モータ６，１１は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ６，１１を備えたステージ４およびメンテナンス機構９をＹ軸方向に移動させる。
【００３５】
メンテナンス機構９は、液滴吐出ヘッド２０を回復処理する際には、ヘッドユニット１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体等が付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。また、メンテナンス機構９には、重量測定ユニット１３が備えられており、各液滴吐出ヘッド２０の各ノズル２２から所定の回数（数千から数万回）吐出された液状体の吐出量を各液滴吐出ヘッド２０ごとに測定可能となっている。測定結果を該所定の回数で除すれば１回に吐出される液状体の吐出量を求めることができる。測定は、ノズル２２を指定して行うことによりノズル２２間の吐出量のバラツキも求めることができる。
【００３６】
重量測定ユニット１３は、例えば電子天秤等を採用して測定結果を制御部８にフィードバックすることができる。液状体の吐出量の測定は、ワークＷに液状体を吐出する前、または吐出工程の途中、あるいは液滴吐出ヘッド２０のメンテナンスを実施した後など定期的に実施する。
【００３７】
ヒータ１２は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体の蒸発・乾燥を行うとともに膜に変換するための熱処理を行うようになっている。このヒータ１２の電源の投入及び遮断も制御部８によって制御される。
【００３８】
液滴吐出装置１０の塗布動作は、制御部８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ３およびＹ方向駆動モータ６とに送り、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動に同期して制御部８から吐出電圧を供給し、ヘッドユニット１の液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。
【００３９】
液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の吐出量は、制御部８から供給される吐出電圧の大きさによって調整することができる。
【００４０】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に本発明の一実施形態である液滴吐出ヘッドについて図２に基づいて説明する。同図（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図である。
【００４１】
図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、エネルギー発生手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。
【００４２】
リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。
【００４３】
液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動波形が圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出することができる。尚、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出させるエネルギー発生手段は、圧電素子２９に限定されず、加熱素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータ等でもよい。
【００４４】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1）でノズルプレート２１に配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有している。また、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見たときに、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1の半分のノズルピッチＰ2）で配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂがずれて配置されている。
【００４５】
この場合、各ノズル列２２ａ，２２ｂには、それぞれ１８０個のノズル２２が配設されており、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると、３６０個のノズル２２が略等間隔で配置されている。ノズル２２の直径は、およそ２８μｍである。ノズルピッチＰ1はおよそ１４０μｍ、ノズルピッチＰ2はおよそ７０μｍである。ノズル列２２ａとノズル列２２ｂとの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。
【００４６】
次にヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０の配置について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。
【００４７】
図３に示すように、ヘッドユニット１には、複数（６個）の液滴吐出ヘッド２０をワークに向けて保持する四角形のキャリッジ１ａを有している。キャリッジ１ａには、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に直交するように３つの液滴吐出ヘッド２０が所定の間隔を置いて配設されている。前述したように液滴吐出ヘッド２０は、３６０個のノズル２２を有している。そのノズル長はＬｎである。そして、実際の液状体の吐出の際には、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側の１０個のノズル２２を用いていない。これは、両端側に位置するノズル２２からの吐出量が他のノズル２２に比べて安定しにくいことを考慮したものである。よって、両端側の１０個のノズル２２を除いた有効ノズル長をＬｎｐとする。６個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆは、Ｙ方向に配列した３個ずつの液滴吐出ヘッド２０がＸ方向に有効ノズル長Ｌｎｐの間隔を置いて配設されている。このような液滴吐出ヘッド２０の配置は、有効ノズル長Ｌｎｐに相当する距離でヘッドユニット１をＸ方向に副走査（改行）すれば、Ｙ方向に配列した３つの液滴吐出ヘッド２０に対応する描画幅で液状体をワークＷに対してＸ方向に連続的に吐出描画することが可能である。ワークＷ上の複数の膜形成領域の大きさやその配置により、膜形成領域に着弾させる液滴Ｌの吐出量や１回の主走査による着弾密度を考慮して、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に対して交差するように複数の液滴吐出ヘッド２０をキャリッジ１ａに傾斜させて配設してもよい。
【００４８】
また、キャリッジ１ａに搭載する液滴吐出ヘッド２０の数は、これに限定されるものでない。さらには、ヘッドユニット１に複数のキャリッジ１ａを所定の間隔で備える構成としてもよい。
【００４９】
図４は、制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図４に示すように制御部８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１４と、入力バッファメモリ１４に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１５に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部１６とを備えている。また処理部１６からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３とＹ方向駆動モータ６，１１とに位置制御信号を送る走査駆動部１７と、同じく処理部１６からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルス（駆動波形）を送るヘッド駆動部１８とを備えている。さらに、重量測定ユニット１３での液状体の吐出量の測定結果の出力を検出して、一時的に記憶手段１５に保存し、該測定結果に基づいて各液滴吐出ヘッド２０ごとおよびノズル２２ごとの１回の吐出量の設定値に対する差を演算することができる。また、制御部８は、重量測定ユニット１３に測定開始、停止、測定結果リセット、再測定等の制御信号を送信することができる。
【００５０】
入力バッファメモリ１４に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうちどのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。
【００５１】
処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１７に送る。走査駆動部１７は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３に位置制御信号を送ってヘッドユニット１（液滴吐出ヘッド２０）を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。またＹ方向駆動モータ６，１１に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ４やメンテナンス機構９を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴が吐出されるようにヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる。
【００５２】
また処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２２毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１８に送る。また、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂの内どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルスをいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ信号とチャンネル信号をヘッド駆動部１８に送る。ヘッド駆動部１８は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２２から液状体の液滴Ｌを吐出させる。
【００５３】
＜液状体の吐出方法＞
次に、本発明の一実施形態である液状体の吐出方法について図５および図６を基に説明する。図５（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図である。本実施形態の液状体の吐出方法は、液滴吐出装置１０を用い、複数のノズル２２を有する液滴吐出手段としてのヘッドユニット１とワークＷとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワークＷ上の複数の膜形成領域に対して複数のノズル２２から膜形成材料を含む液状体を液滴Ｌとして吐出する方法である。
【００５４】
（実施例１）
実施例１の液状体の吐出方法は、まず、図５（ａ）に示すように、複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。そして、各膜形成領域Ａ（Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３）に掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｂ３のうち、主走査方向（Ｙ方向）から見て膜形成領域Ａの最も中央に近い１つのノズルｂ２から各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３に液状体を液滴Ｌとして吐出する第１吐出工程を行う。なお、膜形成領域Ａは、ワークＷ上のＸおよびＹ方向にマトリクス状に複数配置されており、図５（ａ）〜（ｃ）では、Ｙ方向に配列する一部を表示している。
【００５５】
そして、図５（ｂ）に示すように、第１吐出工程の後に、各膜形成領域Ａに掛かるノズルｂ２以外の複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から各膜形成領域Ａに液状体の液滴Ｌを複数吐出する第２吐出工程を行う。この場合、第１吐出工程では、主走査方向（Ｙ方向）に対して液滴Ｌを複数滴吐出したが、少なくとも１滴を吐出すればよい。また、第２吐出工程では、主走査方向に対して直交する方向（Ｘ方向）にヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして複数吐出する主走査を行ってもよい。
【００５６】
さらには、図５（ｃ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに異なる位置のノズル２２から液滴Ｌを吐出することが好ましい。例えば、膜形成領域Ａ１１にはノズルａ１から吐出し、膜形成領域Ａ１２にはノズルｂ２から吐出し、膜形成領域Ａ１３にはノズルａ２から吐出する。このようにすれば、実際には、Ｘ方向に配列する複数の膜形成領域Ａに掛かるノズル２２の位置は必ずしも一定でないので、液状体を吐出するノズル２２を膜形成領域Ａごとに変えることにより、ワークＷ上により均一に液状体を付与することが可能である。この場合、第２吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに、第１吐出工程で使用したノズル以外のノズルを使用して液状体の液滴Ｌを吐出する。あるいは副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして吐出する。
【００５７】
このような実施例１の液状体の吐出方法を用いれば、あらかじめワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに少量の液状体をほぼ均一に付与して、ワークＷ上に着弾した液状体の溶媒の蒸気圧をほぼ一定にしてから主たる液状体を吐出することが可能となる。
【００５８】
なお、第１吐出工程で液状体を吐出するノズル２２は１つに限定せず、膜形成領域Ａが比較的大きな場合には、中央に近い２つのノズル２２から各膜形成領域Ａごとに液状体を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程で１回の主走査により付与可能な液状体の吐出量を増やすことができる。
【００５９】
（実施例２）
実施例２の液状体の吐出方法は、図６（ａ）に示すように、まず実施例１と同様に複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。Ｄ１〜Ｄ３は、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に液状体を吐出する選択された１つのノズルを示している。Ｃ１〜Ｃ１３は、第２吐出工程においてＹ方向から見た複数のノズル２２の配置を示しており、各ノズルＣ１〜Ｃ１３は、略等間隔（ノズルピッチＰ2）で配置されている。Ｘ方向に配列した膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１は、それぞれ隔壁部Ｋにより区画されている。膜形成領域Ａは、Ｙ方向にも配列しているが図示省略する。
【００６０】
図６（ｂ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。より具体的には、第２吐出工程では、Ｘ方向においてほぼ均等な位置で膜形成領域Ａ１１に掛かった４つのノズルＣ１〜Ｃ４から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ１は、複数の液滴が合体することにより盛り上がる。よって、第１吐出工程では、膜形成領域Ａ１１のほぼ中央に位置するノズルＤ１から第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ１を吐出する。
【００６１】
また、第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ５が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ２１に掛かった３つのノズルＣ６〜Ｃ８から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ２は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ３１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ５側に位置するノズルＤ２から液状体Ｌｃ２の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ２を膜形成領域Ａ２１に吐出する。
【００６２】
同様にして第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ９，１３が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ３１に掛かった３つのノズルＣ１０〜Ｃ１２から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ３は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ２１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ１３側に位置するノズルＤ３から液状体Ｌｃ３の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ３を膜形成領域Ａ３１に吐出する。
【００６３】
なお、この場合、第１吐出工程で選択されたノズルＤ１〜Ｄ３の位置は、これに限定されず、例えば、ノズルＤ１は、隔壁部Ｋに近いノズルを選択してもよい。これにより、あらかじめ隔壁部Ｋの付近に液状体を付与して濡れ広げておくことができる。
【００６４】
このような実施例２の液状体の吐出方法を用いれば、第１吐出工程では、ワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに第２吐出工程で吐出される液状体の吐出量を補正すると共に着弾位置の偏りを補正するように液状体を付与する。よって、ワークＷ上の膜形成領域Ａごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することが可能となる。なお、第２吐出工程で各膜形成領域Ａごとに吐出される液状体の吐出量または着弾位置の偏りのいずれかを補うように液状体を吐出してもよい。
【００６５】
また、上記実施例１および上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程での主走査の速度（ヘッドユニット１とワークＷとの相対移動速度）と第２吐出工程での主走査の速度とを液状体に含まれる溶媒の蒸発速度に応じて変えることが好ましい。より好ましくは、第１吐出工程の主走査の速度を第２吐出工程に比べて速めることにより、ワークＷの複数の膜形成領域Ａに渡ってすばやく液状体を付与する。これにより、ワークＷ上の液状体の蒸気圧をより均一にした状態で第２吐出工程を行うことが可能となる。また、液状体を付与する効率も向上する。
【００６６】
さらには、上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程で各膜形成領域Ａ２１，Ａ３１に吐出される液状体Ｌｄ２，Ｌｄ３の吐出量は、第２吐出工程で吐出される液状体Ｌｃ１に対して不足している液状体Ｌｃ２，Ｌｃ３の吐出量を補う量に限定されない。液滴吐出装置１０は、前述したようにメンテナンス機構９に重量測定ユニット１３を備えており、ヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆのそれぞれの吐出量を測定可能である。また、ノズル２２間の吐出量バラツキを測定可能である。したがって、ワークＷ上の複数の膜形成領域Ａに掛かる各液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆに対応して、そのノズル２２間の吐出量バラツキを考慮し各液状体Ｌｄ１，Ｌｄ２，Ｌｄ３を吐出することも可能である。
【００６７】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の実施例１の液状体の吐出方法では、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに少量の液状体を膜形成領域Ａの中央に近い１つのノズルｂ２から付与する。そして、第２吐出工程において膜形成領域Ａに掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から液状体を複数の液滴Ｌとして吐出する。したがって、最初に複数のノズル２２から液状体を吐出する場合に比べて、あらかじめ膜形成領域Ａごとにほぼ一定量の液状体をほぼ均一に付与してから、主たる液状体を付与することができる。すなわち、最初の液状体の付与分布をほぼ一定にすることにより、着弾した液状体の蒸気圧分布を均一とし、後の液状体の付与による吐出ムラの発生を低減することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａに均一な膜を形成することができる。
【００６８】
（２）上記実施形態１の実施例２の液状体の吐出方法では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。したがって、ワークＷ上の膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１ごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａにより均一な膜を形成することができる。
【００６９】
（実施形態２）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、電気光学装置としての液晶表示装置とその製造方法について図７〜図９を基に説明する。
【００７０】
＜液晶表示装置＞
図７は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図７に示すように、本実施形態の液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル１２０と、液晶表示パネル１２０を照明する照明装置１１７とを備えている。液晶表示パネル１２０は、着色層を有するカラーフィルタ１１０と、画素電極１１１に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子１１２を有する素子基板１０８と、これらの一対の基板１０８，１１０によって挟持された電気光学材料としての液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル１２０の外面側となる一対の基板１０８，１１０の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板１１５と下偏光板１１６とが配設される。
【００７１】
カラーフィルタ１１０は、透明なガラス等からなる基板１０１と、複数の区画領域としての着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部１０４と、複数の着色領域に形成されたＲＧＢ３色の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを備えている。隔壁部１０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなる下層バンク１０２と、下層バンク１０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク１０３とにより構成されている。また、隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）１０６と、ＯＣ層１０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極１０７とを備えている。着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂは、後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【００７２】
素子基板１０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、絶縁膜１０９を介してマトリクス状に形成された画素電極１１１と、画素電極１１１に対応して形成された複数のＴＦＴ素子１１２とを有している。ＴＦＴ素子１１２の３端子のうち、画素電極１１１に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極１１１を囲むように格子状に配設された走査線１１３とデータ線１１４とに接続されている。
【００７３】
照明装置１１７は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル１２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００７４】
尚、液晶表示パネル１２０は、スイッチング素子としてＴＦＴ素子１１２に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板に着色層を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板１１５，１１６は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。
【００７５】
（カラーフィルタの製造方法）
次にカラーフィルタ１１０の製造方法について図８および図９に基づいて説明する。図８は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図９（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００７６】
図８に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１１０の製造方法は、基板１０１の表面に隔壁部１０４を形成する工程（ステップＳ１、ステップＳ２）と、隔壁部１０４によって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ３）とを備えている。また、液滴吐出装置１０を用いて表面処理された着色領域に異なる着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与する液状体吐出工程（ステップＳ４）と、付与された液状体を乾燥して成膜化する乾燥工程（ステップＳ５）とを備えている。さらに隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する平坦化層形成工程（ステップＳ６）を備えている。
【００７７】
実際のカラーフィルタ１１０の製造工程では、１つの液晶表示パネル１２０に対応するカラーフィルタ１１０がマトリクス状に配置されるよう設計されたマザー基板が用いられる。マザー基板は、液晶表示パネル１２０を効率的かつ安価に製造するために大型化している。このような大型のマザー基板に複数色の着色層を形成する方法として、着色層形成材料を無駄なく使用して着色層を効率的に形成するために液滴吐出法（インクジェット法）を用いている。
【００７８】
図８のステップＳ１は、第１バンクとしての下層バンク１０２を形成する工程である。ステップＳ１では、図９（ａ）に示すように、下層バンク１０２を基板１０１上に形成する。下層バンク１０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク１０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を基板１０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部１０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部１０２ａを有する下層バンク１０２が形成される。そして、ステップＳ２へ進む。
【００７９】
図８のステップＳ２は、第２バンクとしての上層バンク１０３を形成する工程である。ステップＳ２では、図９（ｂ）に示すように、下層バンク１０２の上に上層バンク１０３を形成する。上層バンク１０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク１０３の形成方法としては、例えば、下層バンク１０２が形成された基板１０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ｄに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを基板１０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク１０３を形成する方法が挙げられる。これにより基板１０１上に複数の着色領域Ｄをマトリクス状に区画する隔壁部１０４が形成される。そしてステップＳ３へ進む。
【００８０】
図８のステップＳ３は、表面処理工程である。ステップＳ３では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ｄが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク１０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ４へ進む。
【００８１】
図８のステップＳ４は、着色領域Ｄに着色層形成材料を含む液状体を付与する液状体吐出工程である。ステップＳ４では、着色領域Ｄの長手方向がノズル列２２ａ，２２ｂと平行となるように、隔壁部１０４が形成された基板１０１を液滴吐出装置１０のステージ４に載置する。そして、図９（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０から表面処理された各着色領域Ｄのそれぞれに、対応する液状体３１，３２，３３を液滴として付与する。液状体３１はＲ（赤色）の着色層形成材料を含み、液状体３２はＧ（緑色）の着色層形成材料を含み、液状体３３はＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。液状体３１，３２，３３の吐出方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いている。したがって、各着色領域Ｄごとに吐出ムラが低減され均一に液状体が付与される。そして、ステップＳ５へ進む。
【００８２】
図８のステップＳ５は、付与された液状体３１，３２，３３を乾燥して成膜化する乾燥工程である。ステップＳ５では、図９（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０のヒータ１２を用い、付与された液状体３１，３２，３３から溶剤成分を除去して着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを成膜する。付与された液状体３１，３２，３３を一括乾燥する方法としては、これに限らず、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥法が望ましい。そしてステップＳ６へ進む。
【００８３】
図８のステップＳ６は、平坦化層形成工程である。ステップＳ６では、図９（ｅ）に示すように、上層バンク１０３と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する。ＯＣ層１０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層１０６は、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが形成された基板１０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極１０７を平担化するために設けられている。また、対向電極１０７との密着性を確保するために、ＯＣ層１０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。
【００８４】
上記のカラーフィルタ１１０の製造方法を用いて着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成すれば、液状体３１，３２，３３の吐出ムラによる白抜けや色ムラ等の不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することが可能である。
【００８５】
＜液晶表示装置の製造方法＞
本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちのカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法を用いて製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造可能である。なお、カラーフィルタ１１０に対向電極１０７を形成する方法、素子基板１０８に画素電極１１１、ＴＦＴ素子１１２、走査線１１３、データ線１１４等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。
【００８６】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、着色領域Ｄに異なる着色層形成材料を含む３種の液状体を吐出して乾燥することにより、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる白抜けや色ムラの不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することができる。
【００８７】
（２）上記実施形態２の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法により製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造することができる。
【００８８】
（実施形態３）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、他の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置とその製造方法について図１０を基に説明する。
【００８９】
＜有機ＥＬ表示装置＞
図１０は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１０に示すように本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７を有する基板２０１と、基板２０１と空間２２０を隔てて封着された封止基板２１９とを備えている。また基板２０１は、素子基板２０２上に回路素子部２０３を備えており、発光素子部２１７は、回路素子部２０３上に重畳して形成され、回路素子部２０３により駆動されるものである。発光素子部２１７には、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂがそれぞれの区画領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。基板２０１は、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂに対応する３つの区画領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板２０２の回路素子部２０３上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７からの発光が素子基板２０２側に出射するものである。
【００９０】
封止基板２１９は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して基板２０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤２１９ａが貼り付けられている。ゲッター剤２１９ａは、基板２０１と封止基板２１９との間の空間２２０に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部２１７が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤２１９ａは省略しても良い。
【００９１】
基板２０１は、素子基板２０２の回路素子部２０３上に複数の区画領域Ａを有するものであって、複数の区画領域Ａを区画すると共に、壁面に段差を有するバンクとしての二層バンク２１３と、複数の区画領域Ａに形成された電極２１２と、電極２１２に積層された正孔注入輸送層２１６とを備えている。また複数の区画領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを有する発光素子部２１７を備えている。二層バンク２１３は、下層バンク２１４と区画領域Ａを実質的に区画する上層バンク２１５とからなり、下層バンク２１４は、区画領域Ａの内側に張り出すように設けられて、二層バンク２１３の壁面に段差を形成している。
【００９２】
素子基板２０２は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板２０２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２０２ａが形成され、この下地保護膜２０２ａ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜２０４が形成されている。尚、半導体膜２０４には、ソース領域２０４ａ及びドレイン領域２０４ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域２０４ｃとなっている。さらに下地保護膜２０２ａ及び半導体膜２０４を覆う透明なゲート絶縁膜２０５が形成され、ゲート絶縁膜２０５上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極２０６が形成され、ゲート電極２０６及びゲート絶縁膜２０５上には透明な第１層間絶縁膜２０７と第２層間絶縁膜２０８が形成されている。ゲート電極２０６は半導体膜２０４のチャネル領域２０４ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜２０７および第２層間絶縁膜２０８を貫通して、半導体膜２０４のソース領域２０４ａ、ドレイン領域２０４ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール２０９，２１０が形成されている。そして、第２層間絶縁膜２０８上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極２１２が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール２０９がこの電極２１２に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール２１０が電源線２１１に接続されている。このようにして、回路素子部２０３には、各電極２１２に接続された駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａが形成されている。尚、回路素子部２０３には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１０ではこれらの図示を省略している。
【００９３】
発光素子部２１７は、陽極としての電極２１２と、電極２１２上に順次積層された正孔注入輸送層２１６、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂと、上層バンク２１５と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを覆うように積層された陰極２１８とを備えている。この場合、機能層は、正孔注入輸送層２１６とこれに積層された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを含む。なお、陰極２１８と封止基板２１９およびゲッター剤２１９ａを透明な材料で構成すれば、封止基板２１９側から発光する光を出射させることができる。
【００９４】
有機ＥＬ表示装置２００は、ゲート電極２０６に接続された走査線（図示省略）とソース領域２０４ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのチャネル領域２０４ｃを介して、電源線２１１から電極２１２に電流が流れ、更に正孔注入輸送層２１６と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを介して陰極２１８に電流が流れる。各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置２００は、このような発光素子部２１７の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また有機ＥＬ発光素子を複数備えた発光素子部２１７は、後述する有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されており、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、膜厚が不均一による発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない高い表示品質を有している。
【００９５】
＜有機ＥＬ発光素子の製造方法＞
本実施形態の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、二層バンク２１３によって区画された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出する液状体吐出工程と、付与された液状体を乾燥して有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する乾燥工程とを備えている。したがって、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することが可能である。
【００９６】
＜有機ＥＬ表示装置の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法について説明する。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することが可能である。なお、素子基板２０２の表面に回路素子部２０３、電極２１２、二層バンク２１３、正孔注入輸送層２１６等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。
【００９７】
上記実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態３の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、正孔注入輸送層２１６が形成された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を吐出して乾燥することにより、有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる発光ムラや輝度ムラを低減して歩留まりよく複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することができる。
【００９８】
（２）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することができる。
【００９９】
（実施形態４）
次に上記実施形態２の液晶表示装置または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の具体例について図１１を基に説明する。図１１は、電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図である。
【０１００】
図１１に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯電話機１０００は、数字や文字の入力が可能な本体１００２と、本体１００２に対して折りたたみ可能な状態に取り付けられた表示部１００１とを有している。表示部１００１には、液晶表示装置１００または有機ＥＬ表示装置２００が搭載されている。
【０１０１】
上記実施形態４の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態４の携帯電話機１０００は、実施形態２の液晶表示装置１００または実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載しているため、色ムラや発光ムラ等の不具合の少ない高い表示品質で文字や画像等の情報を確認することが可能な携帯電話機１０００を提供することができる。
【０１０２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記各実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記各実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１０３】
（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、膜形成領域Ａの長手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂横描画方法であるが、膜形成領域Ａの短手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂縦描画方法においても適用可能である。
【０１０４】
（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、カラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂや有機ＥＬ発光素子の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの製造方法に適用することに限定されない。例えば、液晶表示装置１００の配向膜の形成方法、有機ＥＬ表示装置２００の薄膜トランジスタ２０３ａに接続される金属配線等の形成方法など薄膜を有するデバイスの製造方法に適用可能である。
【０１０５】
（変形例３）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、これに限定されない。図１２は、着色層の配置を示す平面図である。例えば、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、同図（ａ）に示したストライプ状であるが、同図（ｂ）に示すように同一色の着色層が斜め方向に配置されたモザイク状、あるいは同図（ｃ）に示すように三角形の頂点の位置に着色層が配置されたデルタ状でも、本発明の液状体の吐出方法を適用することができる。なお、上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの配置においても同様である。また、着色層は３色に限定されず、ＲＧＢ以外に色再現範囲を拡大する他の色を加えた多色の構成としてもよい。
【０１０６】
（変形例４）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の封止基板２１９は必ずしも必要としない。例えば、基板２０１の発光素子部２１７を覆うように遮光性を有する樹脂等からなる封着剤によって封止してもよい。
【０１０７】
（変形例５）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の構成はこれ限定されず、例えば、封止基板２１９の替わりにカラーフィルタ１１０を用い、陰極２１８を透明な状態に形成して、白色発光可能な有機発光層を有する発光素子部２１７を備えた基板２０１と封止することにより、所謂トップエミッション型の有機ＥＬ表示装置２００とすることも可能である。
【０１０８】
（変形例６）上記実施形態２の液晶表示装置１００または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載した電子機器としては、実施形態４の携帯電話機１０００に限定されない。例えば、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、携帯型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を用いる機器が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図６】（ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図。
【図７】液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図９】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図１０】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１１】電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は着色層の配置を示す平面図。
【符号の説明】
【０１１０】
１…液滴吐出手段としてのヘッドユニット、２０…液滴吐出ヘッド、２２…ノズル、２２ａ，２２ｂ…ノズル列、３１，３２，３３…異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板、１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂ…着色層、１０８…一対の基板としての素子基板、１１０…一対の基板としてのカラーフィルタ、２００…電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置、２０１…複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板、２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂ…有機発光層、１０００…電子機器としての携帯電話機、Ａ…膜形成領域および区画領域、Ｄ…膜形成領域としての着色領域、Ｗ…ワーク。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流動性を有する液状体の吐出方法、液滴吐出法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
流動性を有する液状体の吐出方法として、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、色要素形成用の液状材料をノズルから液滴として吐出して区画に付与する吐出走査を複数回行う液滴付与方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴付与方法は、複数のノズルからなるノズル列を区画の長軸方向に沿うように液滴吐出手段と基体とを配置する。そして、１つの区画につき長軸方向に間隔を置いて互いに重ならないように異なるノズルから液滴を付与する。次に同一の区画の長軸方向において先に着弾した液滴の間に着弾するように再び液滴を付与する。これにより、色要素が比較的大きい場合であっても、容易に形成が可能であるとしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１８９１８号公報 頁４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記液滴付与方法は、色要素を形成する区画の長軸方向にノズル列が沿うように液滴吐出手段と基体とを配置して、複数のノズルから液状体を区画に向けて吐出する所謂横描画と呼ばれる方法である。このような横描画は、ノズル列を有効に用いて描画することが可能であるが、液状体が吐出される各区画ごとに掛かるノズルの位置は、該長軸方向において必ずしも一定にならない。したがって、上記液滴付与方法を用いて液滴を付与しても、先に着弾した液滴の濡れ広がり方が各区画ごとに異なるという課題があった。また、同様に各区画に掛かるノズルの数も必ずしも一定にならない。よって、１回の吐出走査で各ノズルからおよそ同量の液状体を吐出しても、各区画ごとに着弾する液状体の吐出量が異なるという課題があった。これらの課題は、結果的に吐出ムラに繋がり、色要素が部分的に形成されない白抜けや色ムラとなるという不具合があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、吐出ムラを低減して液状体を付与することが可能な吐出方法、この吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の吐出方法は、複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワーク上の複数の膜形成領域に対して複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、主走査の方向に対して直交する方向に液滴吐出手段とワークとを相対移動させる副走査と、各膜形成領域に掛かる複数のノズルから各膜形成領域に液状体の液滴を複数吐出する主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
所定量の液状体を複数回の主走査により各膜形成領域に付与するにあたり、１回の主走査で各膜形成領域ごとに掛かる複数のノズルから液状体を吐出する場合は、各膜形成領域ごとに同一な位置で液滴を着弾させ、且つ同一な吐出量の液状体を付与することは困難である。よって、最初の主走査が行われた状態では吐出ムラが発生し易い。複数回の主走査を行っている間に着弾した液状体が自然乾燥して、後から液状体を付与しても上記吐出ムラを改善することは難しい。この方法によれば、第１吐出工程では、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する。その後、第２吐出工程において各膜形成領域に複数の液滴を吐出する。したがって、第１吐出工程であらかじめ１つのノズルから液滴を吐出してワーク全体にほぼ均一に少量の液状体を付与し、液状体に含まれる溶媒成分の蒸気圧分布をほぼ一定にした状態で、第２吐出工程で膜形成に必要な主たる量の液状体を付与することができる。すなわち、吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することが可能な吐出方法を提供することができる。
【０００９】
上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの主走査の方向から見て、各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することが好ましい。これによれば、第１吐出工程であらかじめ各膜形成領域の中央付近に少量の液状体を付与するので、第２吐出工程で複数のノズルから液状体を液滴として吐出する位置が多少変動しても、先に吐出された液滴を含むようにして液状体を付与することができる。すなわち、より吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１０】
また、上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程では、１つのノズルに特定せずに異なる位置のノズルから少なくとも１滴の液滴を吐出する。したがって、各膜形成領域ごとに主走査方向に異なる位置で液滴が着弾する。よって、最初に付与される液滴の分布をワーク全体により均一化することができる。ゆえに、液状体の蒸気圧分布をワーク全体に渡ってより均一化して、より吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することができる。
【００１１】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズル数が変動すると吐出量が各膜形成領域ごとに変動する。これによれば、第１吐出工程では、あらかじめ第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出するので、安定した吐出量で各膜形成領域に液状体を付与することができる。すなわち、吐出量の変動による吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１２】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズルの位置が必ずしも一定ではないので、着弾した液滴が濡れ拡がっても各膜形成領域内に偏って液状体が付与される可能性がある。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出するので、第２吐出工程で液滴を吐出すると各膜形成領域にほぼ均一に液状体を付与することができる。すなわち、吐出位置の偏りによる吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１３】
また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することがより好ましい。これによれば、吐出量の変動による吐出ムラと吐出位置の偏りによる吐出ムラとを低減してより安定的に液状体を付与することができる。
【００１４】
また、上記第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする。この方法によれば、第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えるので、着弾後の液状体の溶媒の蒸発速度を考慮して液状体を付与することができる。すなわち、適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。
【００１５】
また、第２吐出工程における相対移動速度に対して第１吐出工程における相対移動速度を速めることが好ましい。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程に比べて液滴吐出手段とワークとの相対速度を速めた状態で液滴を吐出するので、ワーク全体によりすばやく液滴を付与して液状体の溶媒の蒸気圧分布を均一化することができる。すなわち、より適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。
【００１６】
また、上記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする。この方法によれば、１つの液滴吐出ヘッドにより複数回の主走査を行って液状体を付与する場合に比べて、よりすばやくワーク全体に渡って各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。
【００１７】
また、上記複数のノズルからなるノズル列が、膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、液滴吐出手段とワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することが好ましい。これによれば、膜形成領域の長手方向に対してノズル列が交差するように配置される場合に比べて、ノズル列を構成する複数のノズルを有効に用いて各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。すなわち、該長手方向の吐出ムラによる主走査の方向に平行なスジ状ムラを低減することができる。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより複数色の着色層を形成することを特徴とする。
【００１９】
この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを歩留まりよく製造することができる。
【００２０】
本発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより有機発光層を形成することを特徴とする。
【００２１】
この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を歩留まりよく製造することができる。
【００２２】
本発明の電気光学装置の製造方法は、一対の基板と、一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする。
【００２３】
この方法によれば、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造するので、着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを備えた高い表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００２４】
本発明の他の電気光学装置の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする。
【００２５】
この方法によれば、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造するので、有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を備えた高い発光品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする。この構成によれば、高い表示品質を有する電気光学装置または高い発光品質を有する電気光学装置を備えているので、高品質な電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施形態１）
本実施形態は、膜形成材料を含む液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法を例に説明する。
【００２８】
＜液滴吐出装置＞
まず、液滴吐出装置について図１〜図４を基に説明する。図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。各部の構成は、適宜縮尺して表示している。
【００２９】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、液状体を液滴として吐出してワークＷ上に液状体からなる膜を形成するものである。そしてワークＷが載置されるステージ４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を有するヘッドユニット１とを備えている。
【００３０】
また液滴吐出装置１０は、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸２と、Ｘ方向ガイド軸２を回転させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。また、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸５と、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転するＹ方向駆動モータ６とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸２とＹ方向ガイド軸５とが上部に配設された基台７を備え、その基台７の下部には、制御部８を備えている。
【００３１】
さらに、ヘッドユニット１の複数の液滴吐出ヘッド２０をメンテナンス（回復処理等）するためのメンテナンス機構９および吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１２とを備えている。またメンテナンス機構９にもＹ方向駆動モータ１１が備えられている。
【００３２】
ヘッドユニット１には、液状体をノズル２２（吐出口）から吐出してワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御部８から供給される吐出電圧に応じて個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０とその配置については後述する。
【００３３】
Ｘ方向駆動モータ３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸２に係合したヘッドユニット１をＸ方向に移動させる。
【００３４】
同様にＹ方向駆動モータ６，１１は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ６，１１を備えたステージ４およびメンテナンス機構９をＹ軸方向に移動させる。
【００３５】
メンテナンス機構９は、液滴吐出ヘッド２０を回復処理する際には、ヘッドユニット１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体等が付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。また、メンテナンス機構９には、重量測定ユニット１３が備えられており、各液滴吐出ヘッド２０の各ノズル２２から所定の回数（数千から数万回）吐出された液状体の吐出量を各液滴吐出ヘッド２０ごとに測定可能となっている。測定結果を該所定の回数で除すれば１回に吐出される液状体の吐出量を求めることができる。測定は、ノズル２２を指定して行うことによりノズル２２間の吐出量のバラツキも求めることができる。
【００３６】
重量測定ユニット１３は、例えば電子天秤等を採用して測定結果を制御部８にフィードバックすることができる。液状体の吐出量の測定は、ワークＷに液状体を吐出する前、または吐出工程の途中、あるいは液滴吐出ヘッド２０のメンテナンスを実施した後など定期的に実施する。
【００３７】
ヒータ１２は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体の蒸発・乾燥を行うとともに膜に変換するための熱処理を行うようになっている。このヒータ１２の電源の投入及び遮断も制御部８によって制御される。
【００３８】
液滴吐出装置１０の塗布動作は、制御部８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ３およびＹ方向駆動モータ６とに送り、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動に同期して制御部８から吐出電圧を供給し、ヘッドユニット１の液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。
【００３９】
液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の吐出量は、制御部８から供給される吐出電圧の大きさによって調整することができる。
【００４０】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に本発明の一実施形態である液滴吐出ヘッドについて図２に基づいて説明する。同図（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図である。
【００４１】
図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、エネルギー発生手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。
【００４２】
リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。
【００４３】
液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動波形が圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出することができる。尚、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出させるエネルギー発生手段は、圧電素子２９に限定されず、加熱素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータ等でもよい。
【００４４】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1）でノズルプレート２１に配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有している。また、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見たときに、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1の半分のノズルピッチＰ2）で配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂがずれて配置されている。
【００４５】
この場合、各ノズル列２２ａ，２２ｂには、それぞれ１８０個のノズル２２が配設されており、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると、３６０個のノズル２２が略等間隔で配置されている。ノズル２２の直径は、およそ２８μｍである。ノズルピッチＰ1はおよそ１４０μｍ、ノズルピッチＰ2はおよそ７０μｍである。ノズル列２２ａとノズル列２２ｂとの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。
【００４６】
次にヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０の配置について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。
【００４７】
図３に示すように、ヘッドユニット１には、複数（６個）の液滴吐出ヘッド２０をワークに向けて保持する四角形のキャリッジ１ａを有している。キャリッジ１ａには、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に直交するように３つの液滴吐出ヘッド２０が所定の間隔を置いて配設されている。前述したように液滴吐出ヘッド２０は、３６０個のノズル２２を有している。そのノズル長はＬｎである。そして、実際の液状体の吐出の際には、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側の１０個のノズル２２を用いていない。これは、両端側に位置するノズル２２からの吐出量が他のノズル２２に比べて安定しにくいことを考慮したものである。よって、両端側の１０個のノズル２２を除いた有効ノズル長をＬｎｐとする。６個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆは、Ｙ方向に配列した３個ずつの液滴吐出ヘッド２０がＸ方向に有効ノズル長Ｌｎｐの間隔を置いて配設されている。このような液滴吐出ヘッド２０の配置は、有効ノズル長Ｌｎｐに相当する距離でヘッドユニット１をＸ方向に副走査（改行）すれば、Ｙ方向に配列した３つの液滴吐出ヘッド２０に対応する描画幅で液状体をワークＷに対してＸ方向に連続的に吐出描画することが可能である。ワークＷ上の複数の膜形成領域の大きさやその配置により、膜形成領域に着弾させる液滴Ｌの吐出量や１回の主走査による着弾密度を考慮して、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に対して交差するように複数の液滴吐出ヘッド２０をキャリッジ１ａに傾斜させて配設してもよい。
【００４８】
また、キャリッジ１ａに搭載する液滴吐出ヘッド２０の数は、これに限定されるものでない。さらには、ヘッドユニット１に複数のキャリッジ１ａを所定の間隔で備える構成としてもよい。
【００４９】
図４は、制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図４に示すように制御部８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１４と、入力バッファメモリ１４に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１５に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部１６とを備えている。また処理部１６からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３とＹ方向駆動モータ６，１１とに位置制御信号を送る走査駆動部１７と、同じく処理部１６からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルス（駆動波形）を送るヘッド駆動部１８とを備えている。さらに、重量測定ユニット１３での液状体の吐出量の測定結果の出力を検出して、一時的に記憶手段１５に保存し、該測定結果に基づいて各液滴吐出ヘッド２０ごとおよびノズル２２ごとの１回の吐出量の設定値に対する差を演算することができる。また、制御部８は、重量測定ユニット１３に測定開始、停止、測定結果リセット、再測定等の制御信号を送信することができる。
【００５０】
入力バッファメモリ１４に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうちどのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。
【００５１】
処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１７に送る。走査駆動部１７は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３に位置制御信号を送ってヘッドユニット１（液滴吐出ヘッド２０）を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。またＹ方向駆動モータ６，１１に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ４やメンテナンス機構９を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴が吐出されるようにヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる。
【００５２】
また処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２２毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１８に送る。また、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂの内どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルスをいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ信号とチャンネル信号をヘッド駆動部１８に送る。ヘッド駆動部１８は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２２から液状体の液滴Ｌを吐出させる。
【００５３】
＜液状体の吐出方法＞
次に、本発明の一実施形態である液状体の吐出方法について図５および図６を基に説明する。図５（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図である。本実施形態の液状体の吐出方法は、液滴吐出装置１０を用い、複数のノズル２２を有する液滴吐出手段としてのヘッドユニット１とワークＷとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワークＷ上の複数の膜形成領域に対して複数のノズル２２から膜形成材料を含む液状体を液滴Ｌとして吐出する方法である。
【００５４】
（実施例１）
実施例１の液状体の吐出方法は、まず、図５（ａ）に示すように、複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。そして、各膜形成領域Ａ（Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３）に掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｂ３のうち、主走査方向（Ｙ方向）から見て膜形成領域Ａの最も中央に近い１つのノズルｂ２から各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３に液状体を液滴Ｌとして吐出する第１吐出工程を行う。なお、膜形成領域Ａは、ワークＷ上のＸおよびＹ方向にマトリクス状に複数配置されており、図５（ａ）〜（ｃ）では、Ｙ方向に配列する一部を表示している。
【００５５】
そして、図５（ｂ）に示すように、第１吐出工程の後に、各膜形成領域Ａに掛かるノズルｂ２以外の複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から各膜形成領域Ａに液状体の液滴Ｌを複数吐出する第２吐出工程を行う。この場合、第１吐出工程では、主走査方向（Ｙ方向）に対して液滴Ｌを複数滴吐出したが、少なくとも１滴を吐出すればよい。また、第２吐出工程では、主走査方向に対して直交する方向（Ｘ方向）にヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして複数吐出する主走査を行ってもよい。
【００５６】
さらには、図５（ｃ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに異なる位置のノズル２２から液滴Ｌを吐出することが好ましい。例えば、膜形成領域Ａ１１にはノズルａ１から吐出し、膜形成領域Ａ１２にはノズルｂ２から吐出し、膜形成領域Ａ１３にはノズルａ２から吐出する。このようにすれば、実際には、Ｘ方向に配列する複数の膜形成領域Ａに掛かるノズル２２の位置は必ずしも一定でないので、液状体を吐出するノズル２２を膜形成領域Ａごとに変えることにより、ワークＷ上により均一に液状体を付与することが可能である。この場合、第２吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに、第１吐出工程で使用したノズル以外のノズルを使用して液状体の液滴Ｌを吐出する。あるいは副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして吐出する。
【００５７】
このような実施例１の液状体の吐出方法を用いれば、あらかじめワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに少量の液状体をほぼ均一に付与して、ワークＷ上に着弾した液状体の溶媒の蒸気圧をほぼ一定にしてから主たる液状体を吐出することが可能となる。
【００５８】
なお、第１吐出工程で液状体を吐出するノズル２２は１つに限定せず、膜形成領域Ａが比較的大きな場合には、中央に近い２つのノズル２２から各膜形成領域Ａごとに液状体を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程で１回の主走査により付与可能な液状体の吐出量を増やすことができる。
【００５９】
（実施例２）
実施例２の液状体の吐出方法は、図６（ａ）に示すように、まず実施例１と同様に複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。Ｄ１〜Ｄ３は、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に液状体を吐出する選択された１つのノズルを示している。Ｃ１〜Ｃ１３は、第２吐出工程においてＹ方向から見た複数のノズル２２の配置を示しており、各ノズルＣ１〜Ｃ１３は、略等間隔（ノズルピッチＰ2）で配置されている。Ｘ方向に配列した膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１は、それぞれ隔壁部Ｋにより区画されている。膜形成領域Ａは、Ｙ方向にも配列しているが図示省略する。
【００６０】
図６（ｂ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。より具体的には、第２吐出工程では、Ｘ方向においてほぼ均等な位置で膜形成領域Ａ１１に掛かった４つのノズルＣ１〜Ｃ４から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ１は、複数の液滴が合体することにより盛り上がる。よって、第１吐出工程では、膜形成領域Ａ１１のほぼ中央に位置するノズルＤ１から第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ１を吐出する。
【００６１】
また、第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ５が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ２１に掛かった３つのノズルＣ６〜Ｃ８から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ２は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ３１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ５側に位置するノズルＤ２から液状体Ｌｃ２の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ２を膜形成領域Ａ２１に吐出する。
【００６２】
同様にして第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ９，１３が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ３１に掛かった３つのノズルＣ１０〜Ｃ１２から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ３は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ２１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ１３側に位置するノズルＤ３から液状体Ｌｃ３の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ３を膜形成領域Ａ３１に吐出する。
【００６３】
なお、この場合、第１吐出工程で選択されたノズルＤ１〜Ｄ３の位置は、これに限定されず、例えば、ノズルＤ１は、隔壁部Ｋに近いノズルを選択してもよい。これにより、あらかじめ隔壁部Ｋの付近に液状体を付与して濡れ広げておくことができる。
【００６４】
このような実施例２の液状体の吐出方法を用いれば、第１吐出工程では、ワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに第２吐出工程で吐出される液状体の吐出量を補正すると共に着弾位置の偏りを補正するように液状体を付与する。よって、ワークＷ上の膜形成領域Ａごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することが可能となる。なお、第２吐出工程で各膜形成領域Ａごとに吐出される液状体の吐出量または着弾位置の偏りのいずれかを補うように液状体を吐出してもよい。
【００６５】
また、上記実施例１および上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程での主走査の速度（ヘッドユニット１とワークＷとの相対移動速度）と第２吐出工程での主走査の速度とを液状体に含まれる溶媒の蒸発速度に応じて変えることが好ましい。より好ましくは、第１吐出工程の主走査の速度を第２吐出工程に比べて速めることにより、ワークＷの複数の膜形成領域Ａに渡ってすばやく液状体を付与する。これにより、ワークＷ上の液状体の蒸気圧をより均一にした状態で第２吐出工程を行うことが可能となる。また、液状体を付与する効率も向上する。
【００６６】
さらには、上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程で各膜形成領域Ａ２１，Ａ３１に吐出される液状体Ｌｄ２，Ｌｄ３の吐出量は、第２吐出工程で吐出される液状体Ｌｃ１に対して不足している液状体Ｌｃ２，Ｌｃ３の吐出量を補う量に限定されない。液滴吐出装置１０は、前述したようにメンテナンス機構９に重量測定ユニット１３を備えており、ヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆのそれぞれの吐出量を測定可能である。また、ノズル２２間の吐出量バラツキを測定可能である。したがって、ワークＷ上の複数の膜形成領域Ａに掛かる各液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆに対応して、そのノズル２２間の吐出量バラツキを考慮し各液状体Ｌｄ１，Ｌｄ２，Ｌｄ３を吐出することも可能である。
【００６７】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の実施例１の液状体の吐出方法では、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに少量の液状体を膜形成領域Ａの中央に近い１つのノズルｂ２から付与する。そして、第２吐出工程において膜形成領域Ａに掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から液状体を複数の液滴Ｌとして吐出する。したがって、最初に複数のノズル２２から液状体を吐出する場合に比べて、あらかじめ膜形成領域Ａごとにほぼ一定量の液状体をほぼ均一に付与してから、主たる液状体を付与することができる。すなわち、最初の液状体の付与分布をほぼ一定にすることにより、着弾した液状体の蒸気圧分布を均一とし、後の液状体の付与による吐出ムラの発生を低減することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａに均一な膜を形成することができる。
【００６８】
（２）上記実施形態１の実施例２の液状体の吐出方法では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。したがって、ワークＷ上の膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１ごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａにより均一な膜を形成することができる。
【００６９】
（実施形態２）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、電気光学装置としての液晶表示装置とその製造方法について図７〜図９を基に説明する。
【００７０】
＜液晶表示装置＞
図７は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図７に示すように、本実施形態の液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル１２０と、液晶表示パネル１２０を照明する照明装置１１７とを備えている。液晶表示パネル１２０は、着色層を有するカラーフィルタ１１０と、画素電極１１１に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子１１２を有する素子基板１０８と、これらの一対の基板１０８，１１０によって挟持された電気光学材料としての液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル１２０の外面側となる一対の基板１０８，１１０の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板１１５と下偏光板１１６とが配設される。
【００７１】
カラーフィルタ１１０は、透明なガラス等からなる基板１０１と、複数の区画領域としての着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部１０４と、複数の着色領域に形成されたＲＧＢ３色の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを備えている。隔壁部１０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなる下層バンク１０２と、下層バンク１０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク１０３とにより構成されている。また、隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）１０６と、ＯＣ層１０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極１０７とを備えている。着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂは、後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【００７２】
素子基板１０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、絶縁膜１０９を介してマトリクス状に形成された画素電極１１１と、画素電極１１１に対応して形成された複数のＴＦＴ素子１１２とを有している。ＴＦＴ素子１１２の３端子のうち、画素電極１１１に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極１１１を囲むように格子状に配設された走査線１１３とデータ線１１４とに接続されている。
【００７３】
照明装置１１７は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル１２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００７４】
尚、液晶表示パネル１２０は、スイッチング素子としてＴＦＴ素子１１２に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板に着色層を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板１１５，１１６は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。
【００７５】
（カラーフィルタの製造方法）
次にカラーフィルタ１１０の製造方法について図８および図９に基づいて説明する。図８は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図９（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００７６】
図８に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１１０の製造方法は、基板１０１の表面に隔壁部１０４を形成する工程（ステップＳ１、ステップＳ２）と、隔壁部１０４によって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ３）とを備えている。また、液滴吐出装置１０を用いて表面処理された着色領域に異なる着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与する液状体吐出工程（ステップＳ４）と、付与された液状体を乾燥して成膜化する乾燥工程（ステップＳ５）とを備えている。さらに隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する平坦化層形成工程（ステップＳ６）を備えている。
【００７７】
実際のカラーフィルタ１１０の製造工程では、１つの液晶表示パネル１２０に対応するカラーフィルタ１１０がマトリクス状に配置されるよう設計されたマザー基板が用いられる。マザー基板は、液晶表示パネル１２０を効率的かつ安価に製造するために大型化している。このような大型のマザー基板に複数色の着色層を形成する方法として、着色層形成材料を無駄なく使用して着色層を効率的に形成するために液滴吐出法（インクジェット法）を用いている。
【００７８】
図８のステップＳ１は、第１バンクとしての下層バンク１０２を形成する工程である。ステップＳ１では、図９（ａ）に示すように、下層バンク１０２を基板１０１上に形成する。下層バンク１０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク１０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を基板１０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部１０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部１０２ａを有する下層バンク１０２が形成される。そして、ステップＳ２へ進む。
【００７９】
図８のステップＳ２は、第２バンクとしての上層バンク１０３を形成する工程である。ステップＳ２では、図９（ｂ）に示すように、下層バンク１０２の上に上層バンク１０３を形成する。上層バンク１０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク１０３の形成方法としては、例えば、下層バンク１０２が形成された基板１０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ｄに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを基板１０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク１０３を形成する方法が挙げられる。これにより基板１０１上に複数の着色領域Ｄをマトリクス状に区画する隔壁部１０４が形成される。そしてステップＳ３へ進む。
【００８０】
図８のステップＳ３は、表面処理工程である。ステップＳ３では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ｄが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク１０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ４へ進む。
【００８１】
図８のステップＳ４は、着色領域Ｄに着色層形成材料を含む液状体を付与する液状体吐出工程である。ステップＳ４では、着色領域Ｄの長手方向がノズル列２２ａ，２２ｂと平行となるように、隔壁部１０４が形成された基板１０１を液滴吐出装置１０のステージ４に載置する。そして、図９（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０から表面処理された各着色領域Ｄのそれぞれに、対応する液状体３１，３２，３３を液滴として付与する。液状体３１はＲ（赤色）の着色層形成材料を含み、液状体３２はＧ（緑色）の着色層形成材料を含み、液状体３３はＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。液状体３１，３２，３３の吐出方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いている。したがって、各着色領域Ｄごとに吐出ムラが低減され均一に液状体が付与される。そして、ステップＳ５へ進む。
【００８２】
図８のステップＳ５は、付与された液状体３１，３２，３３を乾燥して成膜化する乾燥工程である。ステップＳ５では、図９（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０のヒータ１２を用い、付与された液状体３１，３２，３３から溶剤成分を除去して着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを成膜する。付与された液状体３１，３２，３３を一括乾燥する方法としては、これに限らず、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥法が望ましい。そしてステップＳ６へ進む。
【００８３】
図８のステップＳ６は、平坦化層形成工程である。ステップＳ６では、図９（ｅ）に示すように、上層バンク１０３と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する。ＯＣ層１０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層１０６は、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが形成された基板１０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極１０７を平担化するために設けられている。また、対向電極１０７との密着性を確保するために、ＯＣ層１０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。
【００８４】
上記のカラーフィルタ１１０の製造方法を用いて着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成すれば、液状体３１，３２，３３の吐出ムラによる白抜けや色ムラ等の不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することが可能である。
【００８５】
＜液晶表示装置の製造方法＞
本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちのカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法を用いて製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造可能である。なお、カラーフィルタ１１０に対向電極１０７を形成する方法、素子基板１０８に画素電極１１１、ＴＦＴ素子１１２、走査線１１３、データ線１１４等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。
【００８６】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、着色領域Ｄに異なる着色層形成材料を含む３種の液状体を吐出して乾燥することにより、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる白抜けや色ムラの不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することができる。
【００８７】
（２）上記実施形態２の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法により製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造することができる。
【００８８】
（実施形態３）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、他の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置とその製造方法について図１０を基に説明する。
【００８９】
＜有機ＥＬ表示装置＞
図１０は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１０に示すように本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７を有する基板２０１と、基板２０１と空間２２０を隔てて封着された封止基板２１９とを備えている。また基板２０１は、素子基板２０２上に回路素子部２０３を備えており、発光素子部２１７は、回路素子部２０３上に重畳して形成され、回路素子部２０３により駆動されるものである。発光素子部２１７には、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂがそれぞれの区画領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。基板２０１は、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂに対応する３つの区画領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板２０２の回路素子部２０３上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７からの発光が素子基板２０２側に出射するものである。
【００９０】
封止基板２１９は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して基板２０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤２１９ａが貼り付けられている。ゲッター剤２１９ａは、基板２０１と封止基板２１９との間の空間２２０に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部２１７が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤２１９ａは省略しても良い。
【００９１】
基板２０１は、素子基板２０２の回路素子部２０３上に複数の区画領域Ａを有するものであって、複数の区画領域Ａを区画すると共に、壁面に段差を有するバンクとしての二層バンク２１３と、複数の区画領域Ａに形成された電極２１２と、電極２１２に積層された正孔注入輸送層２１６とを備えている。また複数の区画領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを有する発光素子部２１７を備えている。二層バンク２１３は、下層バンク２１４と区画領域Ａを実質的に区画する上層バンク２１５とからなり、下層バンク２１４は、区画領域Ａの内側に張り出すように設けられて、二層バンク２１３の壁面に段差を形成している。
【００９２】
素子基板２０２は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板２０２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２０２ａが形成され、この下地保護膜２０２ａ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜２０４が形成されている。尚、半導体膜２０４には、ソース領域２０４ａ及びドレイン領域２０４ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域２０４ｃとなっている。さらに下地保護膜２０２ａ及び半導体膜２０４を覆う透明なゲート絶縁膜２０５が形成され、ゲート絶縁膜２０５上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極２０６が形成され、ゲート電極２０６及びゲート絶縁膜２０５上には透明な第１層間絶縁膜２０７と第２層間絶縁膜２０８が形成されている。ゲート電極２０６は半導体膜２０４のチャネル領域２０４ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜２０７および第２層間絶縁膜２０８を貫通して、半導体膜２０４のソース領域２０４ａ、ドレイン領域２０４ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール２０９，２１０が形成されている。そして、第２層間絶縁膜２０８上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極２１２が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール２０９がこの電極２１２に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール２１０が電源線２１１に接続されている。このようにして、回路素子部２０３には、各電極２１２に接続された駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａが形成されている。尚、回路素子部２０３には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１０ではこれらの図示を省略している。
【００９３】
発光素子部２１７は、陽極としての電極２１２と、電極２１２上に順次積層された正孔注入輸送層２１６、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂと、上層バンク２１５と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを覆うように積層された陰極２１８とを備えている。この場合、機能層は、正孔注入輸送層２１６とこれに積層された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを含む。なお、陰極２１８と封止基板２１９およびゲッター剤２１９ａを透明な材料で構成すれば、封止基板２１９側から発光する光を出射させることができる。
【００９４】
有機ＥＬ表示装置２００は、ゲート電極２０６に接続された走査線（図示省略）とソース領域２０４ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのチャネル領域２０４ｃを介して、電源線２１１から電極２１２に電流が流れ、更に正孔注入輸送層２１６と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを介して陰極２１８に電流が流れる。各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置２００は、このような発光素子部２１７の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また有機ＥＬ発光素子を複数備えた発光素子部２１７は、後述する有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されており、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、膜厚が不均一による発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない高い表示品質を有している。
【００９５】
＜有機ＥＬ発光素子の製造方法＞
本実施形態の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、二層バンク２１３によって区画された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出する液状体吐出工程と、付与された液状体を乾燥して有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する乾燥工程とを備えている。したがって、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することが可能である。
【００９６】
＜有機ＥＬ表示装置の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法について説明する。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することが可能である。なお、素子基板２０２の表面に回路素子部２０３、電極２１２、二層バンク２１３、正孔注入輸送層２１６等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。
【００９７】
上記実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態３の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、正孔注入輸送層２１６が形成された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を吐出して乾燥することにより、有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる発光ムラや輝度ムラを低減して歩留まりよく複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することができる。
【００９８】
（２）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することができる。
【００９９】
（実施形態４）
次に上記実施形態２の液晶表示装置または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の具体例について図１１を基に説明する。図１１は、電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図である。
【０１００】
図１１に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯電話機１０００は、数字や文字の入力が可能な本体１００２と、本体１００２に対して折りたたみ可能な状態に取り付けられた表示部１００１とを有している。表示部１００１には、液晶表示装置１００または有機ＥＬ表示装置２００が搭載されている。
【０１０１】
上記実施形態４の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態４の携帯電話機１０００は、実施形態２の液晶表示装置１００または実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載しているため、色ムラや発光ムラ等の不具合の少ない高い表示品質で文字や画像等の情報を確認することが可能な携帯電話機１０００を提供することができる。
【０１０２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記各実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記各実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１０３】
（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、膜形成領域Ａの長手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂横描画方法であるが、膜形成領域Ａの短手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂縦描画方法においても適用可能である。
【０１０４】
（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、カラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂや有機ＥＬ発光素子の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの製造方法に適用することに限定されない。例えば、液晶表示装置１００の配向膜の形成方法、有機ＥＬ表示装置２００の薄膜トランジスタ２０３ａに接続される金属配線等の形成方法など薄膜を有するデバイスの製造方法に適用可能である。
【０１０５】
（変形例３）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、これに限定されない。図１２は、着色層の配置を示す平面図である。例えば、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、同図（ａ）に示したストライプ状であるが、同図（ｂ）に示すように同一色の着色層が斜め方向に配置されたモザイク状、あるいは同図（ｃ）に示すように三角形の頂点の位置に着色層が配置されたデルタ状でも、本発明の液状体の吐出方法を適用することができる。なお、上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの配置においても同様である。また、着色層は３色に限定されず、ＲＧＢ以外に色再現範囲を拡大する他の色を加えた多色の構成としてもよい。
【０１０６】
（変形例４）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の封止基板２１９は必ずしも必要としない。例えば、基板２０１の発光素子部２１７を覆うように遮光性を有する樹脂等からなる封着剤によって封止してもよい。
【０１０７】
（変形例５）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の構成はこれ限定されず、例えば、封止基板２１９の替わりにカラーフィルタ１１０を用い、陰極２１８を透明な状態に形成して、白色発光可能な有機発光層を有する発光素子部２１７を備えた基板２０１と封止することにより、所謂トップエミッション型の有機ＥＬ表示装置２００とすることも可能である。
【０１０８】
（変形例６）上記実施形態２の液晶表示装置１００または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載した電子機器としては、実施形態４の携帯電話機１０００に限定されない。例えば、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、携帯型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を用いる機器が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図６】（ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図。
【図７】液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図９】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図１０】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１１】電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は着色層の配置を示す平面図。
【符号の説明】
【０１１０】
１…液滴吐出手段としてのヘッドユニット、２０…液滴吐出ヘッド、２２…ノズル、２２ａ，２２ｂ…ノズル列、３１，３２，３３…異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板、１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂ…着色層、１０８…一対の基板としての素子基板、１１０…一対の基板としてのカラーフィルタ、２００…電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置、２０１…複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板、２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂ…有機発光層、１０００…電子機器としての携帯電話機、Ａ…膜形成領域および区画領域、Ｄ…膜形成領域としての着色領域、Ｗ…ワーク。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、前記ワーク上の複数の膜形成領域に対して前記複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、
各膜形成領域における最初の前記主走査において掛かる前記複数のノズルのうちの１つのノズルから前記各膜形成領域に前記液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、
前記主走査の方向に対して直交する方向に前記液滴吐出手段と前記ワークとを相対移動させる副走査と、前記各膜形成領域に掛かる前記複数のノズルから前記各膜形成領域に前記液状体の液滴を複数吐出する前記主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする吐出方法。
【請求項２】
前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの前記主走査の方向から見て、前記各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。
【請求項３】
前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち前記主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。
【請求項４】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項５】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項６】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項７】
前記第１吐出工程と前記第２吐出工程とでは、前記液滴吐出手段と前記ワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項８】
前記第２吐出工程における前記相対移動速度に対して前記第１吐出工程における前記相対移動速度を速めることを特徴とする請求項７に記載の吐出方法。
【請求項９】
前記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項１０】
前記複数のノズルからなるノズル列が、前記膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、前記液滴吐出手段と前記ワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することを特徴とする請求項９に記載の吐出方法。
【請求項１１】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記複数色の着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記有機発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項１３】
一対の基板と、前記一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうちの一方を請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ発光素子を請求項１２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、前記ワーク上の複数の膜形成領域に対して前記複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、
各膜形成領域における最初の前記主走査において掛かる前記複数のノズルのうちの１つのノズルから前記各膜形成領域に前記液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、
前記主走査の方向に対して直交する方向に前記液滴吐出手段と前記ワークとを相対移動させる副走査と、前記各膜形成領域に掛かる前記複数のノズルから前記各膜形成領域に前記液状体の液滴を複数吐出する前記主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする吐出方法。
【請求項２】
前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの前記主走査の方向から見て、前記各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。
【請求項３】
前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち前記主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。
【請求項４】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項５】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項６】
前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項７】
前記第１吐出工程と前記第２吐出工程とでは、前記液滴吐出手段と前記ワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項８】
前記第２吐出工程における前記相対移動速度に対して前記第１吐出工程における前記相対移動速度を速めることを特徴とする請求項７に記載の吐出方法。
【請求項９】
前記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項１０】
前記複数のノズルからなるノズル列が、前記膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、前記液滴吐出手段と前記ワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することを特徴とする請求項９に記載の吐出方法。
【請求項１１】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記複数色の着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記有機発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項１３】
一対の基板と、前記一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうちの一方を請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ発光素子を請求項１２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００７−１９０５０７（Ｐ２００７−１９０５０７Ａ）
【公開日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１２０５４（Ｐ２００６−１２０５４）
【出願日】平成１８年１月２０日（２００６．１．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１月２０日（２００６．１．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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