圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの間に介設される圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置のキャリッジに搭載され、圧力調整した機能液（インク）をインクジェットヘッドに供給する圧力調整弁（液体供給用バルブユニット）が知られている（例えば、特許文献１参照）。この圧力調整弁は、機能液タンク（インクタンク）に接続した１次室と機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）に接続した２次室とが扁平なハウジング内に作り込まれると共に、１次室と２次室とを連通する連通流路に弁体を設け、２次室の１の面に設けられたダイヤフラムにより、弁体を開閉動作させ２次室側を圧力調整するようになっている。この場合、２次室は、ダイヤフラムと同心となる円柱形状に形成されており、ダイヤフラムと対面する対面壁の中心には連通流路の２次室側開口部が形成され、また偏心した位置には流出流路の流出開口部が形成されている。また、対面壁の２次室側開口部の周囲には、ヘッド吸引時にダイヤフラムの対面壁への密着を防止する度当たり突起が形成されている。
【特許文献１】特開２００４−１４２４０５号公報（第３７頁、図３２、図３３）
【０００３】
ところで、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を用いたインクジェット法は、機能液による微小な成膜が可能であり、液晶表示装置のカラーフィルタおよび有機ＥＬ装置等の製造装置にも応用できるため、上記の圧力調整弁もこの種の装置に組み込むことが考えられる。この種の装置において、機能液タンクに貯留する機能液の圧力調整弁および機能液滴吐出ヘッドへの初期充填作業は、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する、いわゆるヘッド吸引で行われる。同様に機能液の交換における液抜き作業も、ヘッド吸引した状態において機能液タンクを大気開放して流路内の機能液を排出して行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記従来の圧力調整弁では、ヘッド吸引の際に、度当たり突起を設けた構造上必然的に２次室のダイヤフラム−対面壁間に空隙を生じ、これにエアーや機能液が残留してしまう問題がある。このため、初期充填時にはこの空隙に残存したエアーが、充填した機能液に混入して機能液滴吐出ヘッドの空打ちの問題が生ずる。また、機能液交換時にはこの空隙に残存した機能液が新たに導入した機能液と混合し、機能液の変質の問題が生ずる。
【０００５】
本発明は、機能液の初期充填時や液抜き時にエアーや機能液を極力排出することができる圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧力調整弁は、機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、大気に面し２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、２次室を圧力調整する圧力調整弁であって、２次室には、連通流路の２次室側開口部が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッドに連なる流出流路の流出開口部が開口し、１つの面を除いた２次室の内面壁は、最大マイナス変形したダイヤフラムが接触する形状に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、２次室の内面壁は２次室の１つの面を構成するダイヤフラムが最大マイナス変形した状態で接触する形状に形成されるため、このようにダイヤフラムが最大マイナス変形した状態において圧力調整弁内に機能液および気泡が残留してしまうのを極力少なくすることができる。すなわち、ダイヤフラムが最大マイナス変形する機能液の初期充填時や液抜き時に、初期充填または交換した新たな機能液にエアーや交換前の機能液が混合するのを防止できる。また、１次室と２次室とを背合わせに構成するものにあっては、ハウジングを薄型に形成することができる。
【０００８】
この場合、２次室は、内面壁を含んでダイヤフラム側を底面とする円錐台形状に形成され、２次室側開口部は、円錐台形状の頂面となる内面壁の端壁に開口し、流出開口部は、円錐台形状のテーパ面となる内面壁の周壁に開口していることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、２次室の内面壁の全域にダイヤフラムを接触させることができると共に２次室の容積自体を小さくすることができ、２次室内に機能液および気泡が残留してしまうのを更に減少させることができる。
【００１０】
この場合、２次室の内面壁には、最大マイナス変形したダイヤフラムの接触を部分的に阻止して、２次室側開口部と流出開口部とを連通する補助流路が形成されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ダイヤフラムが最大マイナス変形して内面壁に密接することがあっても、補助流路を経由して１次室側からエアーおよび機能液を排出させることができ、作業途中で初期充填や液抜きが不能となってしまうことがない。また、最大マイナス変形したダイヤフラムの密接形態によっては、流出開口部近傍が初めに密接してしまうこともあるが、この場合においても、補助流路を介して２次室内の機能液を排出することができる。これにより、ヘッド吸引時に１次室にエアーおよび他の機能液が残ることがなく、初期充填（あるいは交換）した機能液にこれらが混入してしまうのを防止することができる。
【００１２】
この場合、補助流路は、２次室の内面壁に形成され、２次室側開口部と流出開口部とを接続すると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる細溝で構成されていることが好ましい。
【００１３】
この場合、ダイヤフラムは、膜状のダイヤフラム本体と、ダイヤフラム本体の内側に貼着され弁体を開閉動作させる受圧板と、を有し、補助流路は、内面壁に形成され、２次室側開口部から受圧板の外周端を越える位置まで延び、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる細溝部と、細溝部と流出開口部とを連通すると共に、ダイヤフラムの受圧板の厚みとダイヤフラムの張りとに起因して、ダイヤフラム本体と内面壁との間に生ずる間隙部とで構成されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、補助流路を簡単に加工することができる。
【００１５】
この場合、２次室は、ダイヤフラムが鉛直姿勢を為し且つ２次室側開口部に対し流出開口部が鉛直方向下方に位置するように配設されていることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液を交換する際に、ヘッド吸引で２次室側開口部から流入した１次室側の機能液を、補助流路に沿って重力により自然に流下させることができ、流出開口部からの機能液の排出を効率的に行うことができる。このため、２次室内にエアーや他の機能液が残ることを防止することができる。
【００１７】
この場合、流出開口部は、周壁の下側斜面の上下中間部に開口しており、２次室の内面壁には、流出開口部から下方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われた液抜き溝が機能液の排出流路として機能するため、２次室下方に溜まった機能液を効率的に排出することができる。
【００１９】
この場合、２次室の内面壁には、２次室側開口部から上方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き溝が気泡（エアー）の排出流路として機能するため、２次室上方に溜まった気泡を効率的に排出することができる。
【００２１】
この場合、２次室の内面壁には、２次室側開口部から水平方向に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き・液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き・液抜き溝は気泡（エアー）および機能液の排出流路として機能するため、２次室左右方向に溜まった気泡および機能液を効率的に排出することができる。
【００２３】
この場合、２次室の内面壁には、流出開口部および補助流路のいずれか一方から周方向に上方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き・液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き・液抜き溝は気泡（エアー）および機能液の排出流路として機能するため、２次室上方に溜まった気泡および２次室下方に溜まった機能液の両方を効率的に排出することができる。なお、実施形態においては、エア抜き・液抜き溝を一対形成するようにしている。
【００２５】
本発明の機能液供給機構は、機能液を貯留する機能液タンクと、機能液適吐出ヘッドに接続する上記の圧力調整弁と、上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドにエアーおよび他の機能液の混入を防止して機能液を供給することができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、ワークに対し機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、ワークを機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことが、好ましい。
【００２８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドにエアーおよび他の機能液が混入しない機能液が供給されるため、液滴吐出装置で製造される製品の信頼性を向上させることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。
【００２９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３１】
これらの構成によれば、機能液の初期充填および交換を効率よく行うことができる液滴吐出装置を用いるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３２】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３３】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の圧力調整弁を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３５】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド３を有し、機台２上の全域に広く載置された描画装置４と、描画装置４に接続した機能液供給機構６と、描画装置４に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、液滴吐出装置１には、図外の制御装置が設けられており、液滴吐出装置１では、機能液供給機構６により描画装置４が機能液の供給を受けながら、制御装置による制御に基づいて、描画装置４がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド３に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００３６】
描画装置４は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル７およびＸ軸テーブル７に直交するＹ軸テーブル８から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル８に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に垂設され、機能液滴吐出ヘッド３を搭載したヘッドユニット１３と、を有している。
【００３７】
Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１４を有し、これに吸着テーブル１５およびθテーブル１６等から成るセットテーブル１７を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル８は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１８を有し、これにヘッドユニット１３を支持する上記のメインキャリッジ１２をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル８は、機台２上に立設した左右の支柱２１に支持されており、Ｘ軸テーブル７およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１および図２参照）。
【００３８】
液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル７およびＹ軸テーブル８が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２２、Ｙ軸テーブル８およびヘッド保守装置５が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド３に対する機能回復処理を行う保守エリア２３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア２３に、ヘッドユニット１３を臨ませるようになっている。
【００３９】
図３に示すように、ヘッドユニット１３は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド３を搭載するヘッドプレート２４と、を備えている。ヘッドプレート２４は、後述の支持フレーム２５に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１３は、キャリッジ本体２６を介して支持フレーム２５に位置決めして搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム２５には、ヘッドユニット１３に並んで、機能液供給機構６のバルブユニット２７およびタンクユニット２８が支持されている（図１ないし図３参照）。
【００４０】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３１を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３３と、ヘッド基板３３の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路（図示省略）が形成されたヘッド本体３４と、を備えている。接続針３１は、図外の機能液供給機構６に接続され、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体３４は、ヘッド内流路に面してピエゾ圧電素子（図示省略）を設けたキャビティ（図示省略）と、吐出ノズル３５が開口したノズル面を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズル面３７には、多数（１８０個）の吐出ノズル３５から成るノズル列３８が形成されている。機能液滴吐出ヘッド３を吐出駆動すると、キャビティのポンプ作用により、吐出ノズル３５から機能液滴を吐出する。
【００４１】
図３に示すように、ヘッドプレート２４は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート２４には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材（図示省略）を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８と直交する方向に（ヘッドプレート２４の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列３８と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８が一部重複するように、階段状に配置される。
【００４２】
なお、各機能液滴吐出ヘッド３に形成された２列のノズル列３８は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル３５によってそれぞれ構成されており、両ノズル列３８は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド３には、２列のノズル列３８により、１／２解像度の部分描画ラインが形成されている。このため、同一組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド３により、それぞれの（１／２解像度の）部分描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、１組の機能液滴吐出ヘッド３により、最大解像度の描画ラインが形成される。すなわち、同一組２個の機能液滴吐出ヘッド３は、１／４解像度の各ノズル列３８が相互位置ずれするように配置されている。これにより、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド３と合わせて、１描画ラインの高解像度のノズル列３８が構成されるようになっている。
【００４３】
メインキャリッジ１２は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル８のＹ軸スライダ１８に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材４１と、吊設部材４１の下面に取り付けられ、ヘッドユニット１３のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構４２と、θ回転機構４２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体２６と、で構成されている。キャリッジ本体２６は、位置決め機構を有する枠状フレーム２９を有し、これに後述の支持フレーム２５を介してヘッドユニット１３が位置決め状態で固定されている。
【００４４】
図１ないし図３に示すように、機能液供給機構６は、上記の支持フレーム２５にヘッドユニット１３と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク４３から成るタンクユニット２８と、各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３を接続する複数（１２本）の機能液供給チューブ４４（機能液供給流路）と、各機能液供給チューブ４４を各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３に接続するための複数（１２個）の接続具４５と、複数の機能液供給チューブ４４に介設した複数（１２個）の圧力調整弁４６から成るバルブユニット２７と、を有している。
【００４５】
図３に示すように、支持フレーム２５は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット１３、バルブユニット２７、タンクユニット２８の順でこれらを位置決め状態で搭載している。なお、支持フレーム２５には、その長辺部分に、一対のハンドル４７が取り付けられており、この一対のハンドル４７を手持ち部位として、支持フレーム２５をメインキャリッジ１２に着脱できるようになっている。
【００４６】
タンクユニット２８は、１２個の機能液タンク４３と、これらを位置決めする１２個のセット部（図示省略）を有し、１２個の機能液タンク４３を支持するタンクプレート４８と、各機能液タンク４３を各セット部に装着（セット）するためのタンクセット治具５１と、で構成されている。図５に示すように、機能液タンク４３は、カートリッジ形式のものであり、機能液を真空パックした機能液パック５２と、機能液パック５２を収容する樹脂製のカートリッジケース５３と、を有している。なお、機能液パック５２に貯留される機能液は、予め脱気されており、その溶存気体量は略ゼロとなっている。
【００４７】
機能液パック５２は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシートを重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、機能液を供給する樹脂製の供給口５４を取り付けたものである。供給口５４には、パック内に連通する連通開口（図示省略）が形成されている。連通開口は、機能液耐食性を有する弾性材で構成した閉塞部材（図示省略）により閉栓されており、連通開口から空気（酸素）や湿気が侵入することを防止できるようになっている。
【００４８】
タンクプレート４８は、ステンレス等の厚板で略平行四辺形に形成されている。図３に示すように、タンクプレート４８には、機能液タンク４３の供給口をバルブユニット２７側に向けた状態で機能液タンク４３を縦置きに位置決めすると共に、これを着脱自在にセットする１２個のセット部５５が設けられている。同図に示すように、セット部５５は、ヘッドプレート２４に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３の配置に倣って配置されている。すなわち、１２個の機能液タンク４３は、２個ずつ６組に分けられ、供給口５４（機能液タンクの前面）を機能液滴吐出ヘッド３に向けた状態で、タンクプレート４８の長辺に沿うように支持フレーム２５の短辺方向に位置ずれして配置される。
【００４９】
タンクセット治具５１は、機能液タンク４３の後面（機能液タンク４３の前面に対向する面）を前方に押し込むことにより、機能液タンク４３を前方にスライドさせてセット部５５にセットするものであり、機能液タンク４３を押し出す押圧レバー５６と、押圧レバー５６を支持する支持部材５７と、を有している。機能液タンク４３のセット位置に合わせて支持部材５７を移動させることにより、押圧レバー５６を各機能液タンク４３に対峙させ、機能液タンク４３を適切にセットできるようになっている。
【００５０】
機能液供給チューブ４４（機能液供給流路）は、各機能液タンク４３および各圧力調整弁４６を接続するタンク側チューブ５８と、各圧力調整弁４６および各機能液滴吐出ヘッド３を接続するヘッド側チューブ６１と、を有している。
【００５１】
図５に示すように、接続具４５は、機能液タンク４３およびタンク側チューブ５８を接続するためのタンク側アダプタ６２と、機能液滴吐出ヘッド３およびヘッド側チューブ６１を接続するためのヘッド側アダプタ６３と、を有している。タンク側アダプタ６２には、軸心に流路を形成した連通針３０が設けられており、連通針３０は、上記した機能液パック５２（連通開口）の閉塞部材（図示省略）を貫いて差し込まれることにより機能液パック５２に接続されている。
【００５２】
バルブユニット２７は、１２個の圧力調整弁４６と、１２個の圧力調整弁４６を支持する１２個のバルブ支持部材５７と、バルブ支持部材５７を介して１２個の圧力調整弁４６を支持するバルブプレート６５と、で構成されている（図３参照）。
【００５３】
バルブプレート６５には、１２個のバルブ支持部材５７が支持フレーム２５の短辺方向に２個ずつ６組に分かれて位置ずれした状態で立設され、これらに１２個の圧力調整弁４６が支持されている（図３参照）。なお、各圧力調整弁４６については後述する。
【００５４】
次に、図１を参照して、ヘッド保守装置５について説明する。ヘッド保守装置５は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面を封止してノズル３５の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３５から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット６７と、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７に付着する汚れを払拭するワイピングユニット６８とを有している。これら両ユニット６７，６８は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル７１上に搭載され、この移動テーブル７１によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００５５】
保管・吸引ユニット６７は、機能液滴吐出ヘッド３の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ７２と、封止キャップ７２を昇降させるキャップ昇降機構７３と、封止キャップ７２に接続した状態で機能液滴吐出ヘッド３を吸引するエジェクタやポンプ等で構成される吸引機構７４（図１１参照）と、吸引機構７４で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド３が移動テーブル７１上の保守エリア２３に移動しており、封止キャップ７２は、機能液滴吐出ヘッド３から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド３のフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド３が稼動待機状態になると、封止キャップ７２が完全に上昇して機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル３５を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド３を再駆動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構７４の駆動を行い、ノズル３５から増粘した機能液を吸引する。なお、この吸引作業は機能液を初期充填する際や機能液交換における液抜きの際にも用いられるがこれらについては後述する。
【００５６】
同図に示すように、ワイピングユニット６８には、ワイピングシート６８ａが繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート６８ａを送りながら、且つ移動テーブル７１によりワイピングユニット６８をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド３のノズル面に付着した機能液が取り除かれ、吐出した機能液滴の飛行曲がり等が防止される。なお、ヘッド保守装置５として、上記の両ユニット６７，６８に加え、機能液滴吐出ヘッド３から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。
【００５７】
ここで、本実施形態の圧力調整弁４６について、図６ないし図８を参照して詳細に説明する。圧力調整弁４６は、バルブハウジング６９内に、機能液タンク４３に連なる１次室７０と、機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９と、１次室７０および２次室７９を連通する連通流路８０とを形成したものであり、２次室７９の１の面には外部に面してダイヤフラム７５が設けられ、連通流路８０にはダイヤフラム７５により開閉動作する弁体７６が設けられている。機能液タンク４３から１次室７０に導入された機能液は、２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給されるが、その際、ダイヤフラム７５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させることで２次室７９の圧力調整を行うようになっている。
【００５８】
圧力調整弁４６は、図８に示すように、ダイヤフラム７５が鉛直姿勢を為すように縦置きで用いられる。以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、図６および図７では、圧力調整弁４６に、これをフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材５７）に取り付けるための取り付けプレート７７、上記のタンク側チューブ５８を繋ぎ込むための流入コネクタ７８（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブ６１を繋ぎ込むための流出コネクタ８１（ユニオン継手）を組み込んだ状態を表している。
【００５９】
バルブハウジング６９は、ハウジング本体８２と、ハウジング本体８２と共に内部に１次室７０を形成した蓋体８３と、ハウジング本体８２と共に内部に２次室７９を形成しハウジング本体８２にダイヤフラム７５を固定するリングプレート８４との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。蓋体８３およびリングプレート８４は、ハウジング本体８２に対し、前後からリングプレート８４および蓋体８３を重ね、複数本の段付平行ピン（図示省略）でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム７５の中心を通る軸線と同心円となる多角形（８角形）あるいは円形の外観を有している。そして、蓋体８３およびハウジング本体８２は、パッキン８５を介して相互に気密に突合せ接合され、ハウジング本体８２およびリングプレート８４は、ダイヤフラム７５の縁部およびパッキン８５を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。
【００６０】
ハウジング本体８２と蓋体８３とで形成された１次室７０は、ダイヤフラム７５と同心となる略円柱形状に形成されており、その開放端を蓋体８３により閉蓋されている。また、ハウジング本体８２の１次室側背面上部に形成した上部ボス部※の左部には１次室７０から径方向斜めに延びる流入ポート８６が形成され、流入ポート８６には上記の流入コネクタ７８が接続されている。
【００６１】
流入ポート８６は、ハウジング本体８２の外周面に開口した流入口８７と、流入口８７と１次室７０の内周面とを連通する流入経路８８とから成り、流入口８７に対し流入経路８８は、１次室７０側に偏心して形成されている。流入口８７には、流入コネクタ７８が螺合（テーパネジ）しており、この流入コネクタ７８を介して上記のタンク側チューブ５８が接続されている。流入コネクタ７８の内部流路は、下流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。同様に、流入口８７の下流端はテーパ形状を為し流入経路との間で段部が生じないようになっている。
【００６２】
図８および図９に示すように、２次室７９は、ダイヤフラム７５とハウジング本体８２に形成した内面壁９１とによって、全体としてダイヤフラム７５を底面とする円錐台形状に形成されている。ダイヤフラム７５は、鉛直姿勢を為して配設され、２次室７９の１つの面を構成している。また、内面壁９１は、２次室７９のダイヤフラム７５の面（１つの面）を除いた各面で構成されており、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状となっている（図１１（ｂ）参照、詳細は後述する）。
【００６３】
また、内面壁９１のうち円錐台形状の頂面となる端壁９１ａには、ダイヤフラム７５と同心となる上記した連通流路８０の２次室側開口部９２が開口し、内面壁９１のうち円錐台形状のテーパ面となる周壁９１ｂの下側斜面における上下中間部には、後述する流出流路９３の流出開口部９４が形成されている。この場合、２次室側開口部９２は、後述する受圧板付勢ばね９５を収容するばね室を兼ねており、連通流路８０の主流路９６より太径に形成されている。また、流出開口部９４は、２次室側開口部９２に対して鉛直方向下方に位置して配設されており、機能液が２次室側開口部９２から流出開口部９４に円滑に流下するようになっている。さらに、２次室７９の内面壁９１には、２次室側開口部９２を中心として、上下、左右に十字状に延びる流路溝９７が形成されている。
【００６４】
図９に示すように流出ポート９８は、ハウジング本体８２の下部に位置する傾斜ボス部１０１に形成されており、傾斜ボス部１０１の下部に開口した流出口１０２と、２次室７９の流出開口部９４と、これらを連通する上記の流出流路９３とで構成されている。流出流路９３は、内面壁９１の周壁９１ｂから斜めに延びて下向きの流出口１０２に連通している。流出口１０２には、流出流路９３の軸線方向から流出コネクタ８１が螺合しており、この流出コネクタ８１を介して上記のヘッド側チューブ６１に接続されている。流出コネクタ８１の内部流路は、上流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室７９から流出する機能液は、流出開口部９４から流出流路９３の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド３側に流出する。
【００６５】
図８および図９に示すように、ハウジング本体８２には、１次室７０と２次室７９とを連通する上記の連通流路８０が形成されている。連通流路８０は、主流路９６と、これに連なる２次室側開口部９２とで構成されている。これら１次室７０、２次室７９および連通流路８０は、いずれもダイヤフラム７５と同心の円形断面を有している。ただし、主流路９６は、後述する弁体７６の軸部１０３がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１０４と、軸遊挿部１０４から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１０５とで構成されている（図７（ｂ）参照）。なお、ハウジング本体８２のダイヤフラム７５側対向面には、後述のパッキン８５用に環状のハウジング本体環状溝１０６が形成されている。
【００６６】
ダイヤフラム７５は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体１０７と、ダイヤフラム本体１０７の内側に貼着した樹脂製の受圧板１０８とで構成されている。受圧板１０８は、ダイヤフラム本体１０７と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体１０７に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体７６の軸部１０３が当接する。ダイヤフラム本体１０７は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、ハウジング本体８２の前面と同径の円形に形成されている。なお、受圧板１０８は、ダイヤフラム７５の外側に設けてもよいが、後述する弁体７６の軸部１０３が離接を繰り返すため、ダイヤフラム７５の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。
【００６７】
弁体７６は、円板状の弁体本体１１１と、弁体本体１１１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部１０３と、弁体本体１１１の軸部１０３側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール１１２とで構成されている。弁体本体１１１および軸部１０３は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。バルブシール１１２は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に形成されている。このため、弁体７６の閉弁時には、弁座となる連通流路８０の開口縁にバルブシール１１２が強く当接して、連通流路８０が１次室７０側から液密に閉塞される。
【００６８】
軸部１０３は、連通流路８０（の主流路９６）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム７５の受圧板１０８に当接する。すなわち、ダイヤフラム７５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部１０３の前端と受圧板１０８との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム７５がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部１０３の前端と受圧板１０８とが当接し、さらにダイヤフラム７５のマイナス変形がすすむと、受圧板１０８が軸部１０３を介して弁体本体１１１を押し開弁させることになる。したがって、２次室７９の容積のうち、ダイヤフラム７５がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室７０側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。
【００６９】
弁体７６の背面と１次室７０の壁体１１３との間には、弁体７６を２次室７９側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね１１４が介設されている。同様に、受圧板１０８と内面壁９１の間には、受圧板１０８を介してダイヤフラム本体１０７を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね９５が介設されている。この場合、弁体付勢ばね１１４は、弁体７６の背面に加わる機能液タンク４３の水頭を補完するものであり、機能液タンク４３の水頭とこの弁体付勢ばね１１４のばね力により、弁体７６が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね９５は、ダイヤフラム７５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室７９が負圧になるように作用する。
【００７０】
圧力調整弁４６は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９との圧力バランスによりダイヤフラム７５（およびこれが当接する弁体７６）が変形（進退）することで開閉し、２次室７９側を所定の圧力まで減圧するようにしている。その際、弁体付勢ばね１１４および受圧板付勢ばね９５に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール１１２（の弾性力）により、弁体７６は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体７６の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド３の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク４３側（１次室７０側）で発生する脈動等も、弁体７６で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。
【００７１】
また、本実施形態の圧力調整弁４６は、１次室７０および２次室７９を背合わせで配設するようにしているため、２次室７９の薄型形状と相まって、圧力調整弁４６を極力薄型に形成することができるようになっている。もっとも、圧力調整弁４６の厚さは、流入コネクタ７８および流出コネクタ８１の直径によって決定されているが、さらに小型のコネクタを用いることにより、更なる薄型化も可能である。
【００７２】
次に、圧力調整弁４６の動作原理について説明する。１次室７０には、機能液タンク４３に貯留した機能液の液位に基づく水頭（設計上は、機能液タンク４３の供給口５４の中心軸と１次室７０の中心軸との間の水頭差）が作用しており、この水頭に基づく圧力と弁体付勢ばね１１４のばね力とが、弁体７６の閉弁力として作用する。
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をＰ１とし、弁体本体１１１の背面の面積をＳ１とし、弁体付勢ばね１１４のばね力をＷ１としたときに、１次室７０側から弁体７６に作用する力Ｆ１は、
Ｆ１＝（Ｐ１×Ｓ１）＋Ｗ１
となる。なお、Ｗ１は、バルブシール１１２の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール１１２の弾性力（付勢力）との合計をＷ１としている。
一方、２次室７９側から弁体７６に作用する力：Ｆ２は、２次室７９の内圧をＰ２とし、ダイヤフラム７５の面積をＳ２とし、受圧板付勢ばね９５のばね力をＷ２としたときに、
Ｆ２＝（Ｐ２×Ｓ２）−Ｗ２
となる。なお、Ｐ１およびＰ２は、ゲージ圧力である。また、ダイヤフラム７５の中心径Ｄは、ダイヤフラム本体１０７の外径および受圧板１０８の外径の平均径であり、
Ｓ２＝（Ｄ／２）×（Ｄ／２）×π
で表される。
【００７３】
弁体７６は、Ｆ２＞Ｆ１の状態で開弁動作し、Ｆ１＞Ｆ２の状態で閉弁動作する。本実施形態では、Ｗ１はおよびＷ２は、実験的に決定され、Ｓ１は、Ｗ１に基づいて設定される。そして、大気圧を基準調整圧力として弁体７６が開閉するように、上記の関係に従って、ダイヤフラム７５の中心径Ｄをさらに求め、ダイヤフラム本体１０７の外径および受圧板１０８の外径を設定するようになっている。
【００７４】
すなわち、ダイヤフラム７５がプラス変形の状態から、機能液滴吐出ヘッド３により機能液が消費（吐出）され、２次室７９の負圧が増すと、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板１０８を介して弁体７６が押されてゆっくり開弁する。弁体７６が開弁すると、連通流路８０を介して１次室７０から２次室７９に機能液が流入する。これにより２次室７９の圧力が増し、弁体７６がゆっくりと閉弁する。そして、弁体７６の閉弁後も大気圧に抗して受圧板付勢ばね９５が作用してゆき、ダイヤフラム７５をプラス変形させると共に、２次室７９内の機能液圧力を所定の圧力状態にさせる。上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室７９をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。
なお、２次室７９内の機能液圧力が弁体７６の作動圧力となるが、２次室７９内の圧力は、機能液の特性（例えば比重）が変わることでも変化する。その場合、作動圧力も変わってしまうが、圧力調整弁４６の取り付け位置などを変更し、ノズル面３７と圧力調整弁４６との相対的な高低差を変えることで調整可能である。
【００７５】
次に図１０を参照して、２次室７９の内面壁９１に形成した十字状の流路溝９７について説明する。流路溝９７は、２次室側開口部９２から鉛直方向下方に延びる補助流路１１５（細溝部１１５ａ）と、２次室側開口部９２から鉛直方向上方に延びるエア抜き溝１１６と、２次室側開口部９２から水平方向（左右方向）に延びる一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７とで構成されている。各溝１１５、１１６、１１７は、幅１ｍｍ、深さ０．５ｍｍ程度で断面方形に形成されている。そして、これら各溝１１５、１１６、１１７の開放部は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５（主として、受圧板１０８）に覆われることで、機能液やエアーの流路として機能する。
【００７６】
補助流路１１５は、２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びる細溝部１１５ａと、細溝部１１５ａから流出開口部９４に至る空隙部１１５ｂとで構成されている（図１１（ｂ）参照）。細溝部１１５ａは、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。空隙部１１５ｂは、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８の外周端により、ダイヤフラム本体１０７と周壁９１ｂとの間に生ずる微小な間隙により構成され、受圧板１０８の厚みとダイヤフラム本体１０７の剛性および張りにより、常に流路を維持するようになっている。このように補助流路１１５により、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が２次室７９の内面壁９１に接触（密接）することがあっても、２次室側開口部９２と流出開口部９４とを連通する流路が確保される。なお、細溝部１１５ａを流出開口部９４まで延長することがより好ましい。
【００７７】
エア抜き溝１１６は、２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びている（図９参照）。この場合も、エア抜き溝１１６は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。これにより、ダイヤフラム７５が不均一にマイナス変形しても、このエア抜き溝１１６を介して２次室７９上部に溜まったエアーを効率的に排出できるようになっている。
【００７８】
一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７は、それぞれ２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びている。この場合も、第１エア抜き・液抜き溝１１７は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。これにより、ダイヤフラム７５が不均一にマイナス変形しても、第１エア抜き・液抜き溝１１７を介して２次室７９の左右方向に溜まったエアーおよび機能液を効率的に排出することができるようにしている。
【００７９】
次に、図１１および図１２を参照して、機能液の初期充填作業および機能液の交換における液抜き作業について説明する。機能液の初期充填作業は、機能液滴吐出ヘッド３を上記の吸引機構７４で吸引（ヘッド吸引）した状態で機能液タンク４３から機能液を通液し、機能液タンク４３から機能液滴吐出ヘッド３に至る機能液の流路に機能液を充填するものである。なお、受圧板付勢ばね９５は、同図中で省略している。
【００８０】
図１１（ａ）に示すように、機能液の初期充填作業は、まず、機能液タンク４３を上記の接続具４５に接続すると共に、保守エリア２３において、機能液滴吐出ヘッド３に封止キャップ７２を密接させた後、吸引機構７４を駆動してヘッド吸引することにより開始する。ヘッド吸引が開始されると、機能液供給チューブ４４を介して圧力調整弁４６の２次室７９内のエアーが排出（エアー抜き）されてゆく。これにより、２次室７９内が大気圧に対し負圧（所定の作動圧力）となり、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて２次室７９の内面壁９１に当接するようにマイナス変形（最大マイナス変形）する。また、同時に、受圧板１０８により弁体が押され圧力調整弁４６を開弁状態とする。この開弁状態においては、２次室内のエアーは、エア抜き溝１１６および第１エア抜き・液抜き溝１１７から補助流路１１５を介して吸引され、また、１次室７０側のエアーも連通流路８０および補助流路１１５を通って吸引機構７４まで排出される。
【００８１】
このままヘッド吸引を継続すると、図１１（ｂ）に示すように、排出されるエアーの後から機能液タンク４３の機能液が流下し、１次室７０、２次室７９の順で機能液が充填されていく。このようにして、機能液が封止キャップ７２まで通液（センシング）されたら（図１２（ａ）参照）、吸引機構７４の駆動を停止する。ここで、大きく変形したダイヤフラム７５は両ばね９５，１１４や自身の復元力により元の状態に戻ってゆき、最終的に弁体７６が閉弁して、一連の充填作業が終了する（図１２（ｂ）参照）。このように、ヘッド吸引の開始直後に、ダイヤフラム７５が２次室の内面壁９１に密接するように変形するが、補助流路により２次室側開口部９２と流出開口部９４との間に流路が確保されるため、流路がダイヤフラム７５により閉塞されることがなく、１次室７０側のエアーを効率よく排出することができる。また、エア抜き溝１１６や第１エア抜き・液抜き溝１１７により、２次室７９内のエアーを最大限吸引することができる。なお、エア抜き溝１１６の上方にエアー溜まり（図示省略）を設け、これにわずかに残ったエアーを保持するようにしてもよい。さらに、エアー溜まりに連なるエア抜き口（図示省略）を形成することも好ましい。
【００８２】
一方、機能液の交換作業では、洗浄作業に先立ち液抜き作業が行われるが、液抜き作業は、上記の初期充填のエアー抜きと同じ原理で流路内の機能液を排出するものである。この液抜き作業は、機能液タンク４３を接続具４５から取り外し、接続具４５を大気開放した状態で、ヘッド吸引をすることにより行う。
【００８３】
大気開放状態で吸引機構７４を駆動すると、２次室７９内の機能液が排出されると共に２次室７９内が負圧になって、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて内面壁９１に接触する（開弁状態）。この場合も、上記の初期充填と同様に、補助流路１１５が機能して上流の１次室７０側の機能液も吸引機構７４まで排出され、また、機能液の後からエアーが流入する。この場合、２次室７９においては、エア抜き溝１１６を介して２次室７９上部に溜まったエアーや機能液が排出されると共に、第１エア抜き・液抜き溝１１７を介して２次室７９の左右両端部の機能液が吸引機構７４側に排出される。このようにして、圧力調整弁４６内から機能液をほぼ完全に液抜きをすることができ、続く洗浄工程で、機能液を完全に洗い流すことができる。そして、これに機能液を再充填し機能液の交換作業が完了する。この場合、再充填は、上記の初期充填と同じ手順で行う。
【００８４】
この場合も、ヘッド吸引の開始直後に、ダイヤフラム７５が２次室の内面壁９１に密接するように変形するが、補助流路１１５により２次室側開口部９２と流出開口部９４との間に流路が確保されるため、１次室７０側の機能液を効率よく排出することができる。また、エア抜き溝１１６や第１エア抜き・液抜き溝１１７により、２次室７９内の機能液を最大限吸引することができる。
【００８５】
なお、上記の接続具の下流に三方弁（図示省略）を設け、三方弁を用いて初期充填や液抜き作業を行うようにしてよい。すなわち、三方弁の１のポートを大気に開放し液抜きを行うようにする。また、初期充填時にヘッド吸引でエアーを排出する際には、この三方弁の上記の１のポートを閉塞し、エアーの排出した後に三方弁を開放（連通）し、圧力調整弁４６内に通液するようにしても良い。この初期充填方法によれば、圧力調整弁４６内に機能液が勢いよく通液され、弁内に残ったエアーを効率よく吸引機構７４側に排出することができる。
【００８６】
次に、図１３（ａ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第２実施形態について説明する。第２実施形態の流路溝９７Ａは、上下方向に「一文字」状に形成されている。流路溝９７Ａは、２次室側開口部９２から鉛直方向上方に延びるエアー抜き溝１１６と、補助流路１１５と、これに連続するように流出開口部９４から下方（周壁９１ｂ）に延びる細溝形状の液抜き溝１１８とを有している。補助流路１１５、エアー抜き溝１１６および液抜き溝１１８は、その開放部を最大マイナス変形したダイヤフラム７５に覆われる形状に形成されている。エアー抜き溝１１６は、周壁９１ｂの上端まで延びており、エアーを効率よく排出できるようになっている。補助流路１１５は、２次室側開口部９２と、流出開口部９４とを接続しており、流路を確実に確保できるようになっている。液抜き溝１１８は、２次室７９の流出開口部９４より下方の部分と流出開口部９４とが流路接続しており、２次室７９の下部に残留した機能液を排出できるようになっている。
【００８７】
第２実施形態の流路溝９７Ａによれば、２次室７９の下部に溜まった機能液をヘッド吸引時に効率よく排出することができる。同様に、２次室７９の上部に溜まったエアーもヘッド吸引時に効率よく排出することができる。
【００８８】
次に、図１３（ｂ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第３実施形態について説明する。第３実施形態の流路溝９７Ｂには、上記した第２実施形態の補助流路１１５、液抜き溝１１８およびエア抜き溝１１６を有すると共に、２次室側開口部９２（ばね室※）から水平方向両側に延びる左右一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７を有し、この場合も全体として十字状に形成されている。この場合、エア抜き溝１１６、第１エア抜き・液抜き溝１１７および液抜き溝１１８は、２次室７９の周壁９１ｂまで延在するように形成されており、機能液やエアーを効率よく排出できるようになっている。
【００８９】
次に、図１３（ｃ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第４実施形態について説明する。第４実施形態の流路溝９７Ｃは、第２実施形態と同様に補助流路１１５および液抜き溝１１８を有すると共に、流出開口部９４から２次室側開口部９２を迂回して、周壁９１ｂ上を上方に延びる一対の第２エア抜き・液抜き溝１２１を有している。第２エア抜き・液抜き溝１２１は、ダイヤフラム７５と同心円を為し、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラム７５に覆われる溝形状に形成されている。
【００９０】
第４実施形態の圧力調整弁４６の流路溝９７Ｃによれば、第２エア抜き・液抜き溝１２１によって２次室７９の上端に溜まったエアーのみならず、２次室７９の左右両端部に溜まったエアーおよび機能液をも、ヘッド吸引時に効率よく排出することができる。なお、両第２エア抜き・液抜き溝１２１の終端を接続するようにしてもよい。また、第４実施形態において第２エア抜き・液抜き溝１２１は、流出開口部９４から延びるように形成されているが、補助流路１１５から延びるように形成しても同様の効果を得ることができる。
【００９１】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００９２】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１４は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１５（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００９３】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１５（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１５（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００９４】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００９５】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１５（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９６】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１５（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９７】
図１６は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１５に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９８】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１６において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１００】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０１】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１０２】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。
【０１０３】
図１７は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１０４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１０５】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０６】
図１８は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１０７】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０８】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０９】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１１０】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１１】
次に、図１９は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１１２】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１１３】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１１４】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１１５】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１１６】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１７】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１８】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１９】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１２０】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２１】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１２２】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１２３】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２０〜図２８を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２０に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１２４】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２１に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２２に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１２５】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１２６】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１７に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２７】
図２３に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２４に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２８】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２９】
そして次に、図２５に示すように、各色のうちの何れか（図２５の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１３０】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２６に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３１】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２７に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１３２】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１３３】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２８に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１３４】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１３５】
次に、図２９は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１３６】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３７】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３８】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３９】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４０】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４１】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４２】
次に、図３０は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１４３】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１４４】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１４５】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４６】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４７】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３１（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３１（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４８】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４９】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の側面模式図である。
【図３】キャリッジ本体の平面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】機能液供給機構の側面模式図である。
【図６】圧力調整弁の外観斜視図である。
【図７】圧力調整弁の背面図（ａ）、および正面図（ｂ）である。
【図８】圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図９】圧力調整弁を流出ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図１０】２次室の流路溝の詳細図である。
【図１１】（ａ）ヘッド吸引前、および（ｂ）ヘッド吸引開始直後の圧力調整弁を示した動作説明図である。
【図１２】（ｃ）ヘッド吸引中、および（ｄ）ヘッド吸引終了後の圧力調整弁を表した動作説明図である。
【図１３】第２実施形態の流路溝（ａ）、第３実施形態の流路溝（ｂ）、第４実施形態の流路溝（ｃ）である。
【図１４】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２２】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２９】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３０】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３１】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１５０】
Ｗ ワーク １ 液滴吐出装置
３ 機能液滴吐出ヘッド ６ 機能液供給機構
１１ Ｘ・Ｙ移動機構 ４３ 機能液タンク
４４ 機能液供給チューブ ４６ 圧力調整弁
６９ バルブハウジング ７０ １次室
７９ ２次室 ８０ 連通流路
７５ ダイヤフラム ７６ 弁体
９１ 内面壁 ９１ａ 端壁
９２ ２次室側開口部 ９１ｂ 周壁
９３ 流出流路 ９４ 流出開口部
９７ 流路溝 １１５ 補助流路
１１６ エア抜き溝 １１７ 第１エア抜き・液抜き溝
１１８ 液抜き溝 １２１ 第２エア抜き・液抜き溝
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの間に介設される圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置のキャリッジに搭載され、圧力調整した機能液（インク）をインクジェットヘッドに供給する圧力調整弁（液体供給用バルブユニット）が知られている（例えば、特許文献１参照）。この圧力調整弁は、機能液タンク（インクタンク）に接続した１次室と機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）に接続した２次室とが扁平なハウジング内に作り込まれると共に、１次室と２次室とを連通する連通流路に弁体を設け、２次室の１の面に設けられたダイヤフラムにより、弁体を開閉動作させ２次室側を圧力調整するようになっている。この場合、２次室は、ダイヤフラムと同心となる円柱形状に形成されており、ダイヤフラムと対面する対面壁の中心には連通流路の２次室側開口部が形成され、また偏心した位置には流出流路の流出開口部が形成されている。また、対面壁の２次室側開口部の周囲には、ヘッド吸引時にダイヤフラムの対面壁への密着を防止する度当たり突起が形成されている。
【特許文献１】特開２００４−１４２４０５号公報（第３７頁、図３２、図３３）
【０００３】
ところで、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を用いたインクジェット法は、機能液による微小な成膜が可能であり、液晶表示装置のカラーフィルタおよび有機ＥＬ装置等の製造装置にも応用できるため、上記の圧力調整弁もこの種の装置に組み込むことが考えられる。この種の装置において、機能液タンクに貯留する機能液の圧力調整弁および機能液滴吐出ヘッドへの初期充填作業は、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する、いわゆるヘッド吸引で行われる。同様に機能液の交換における液抜き作業も、ヘッド吸引した状態において機能液タンクを大気開放して流路内の機能液を排出して行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記従来の圧力調整弁では、ヘッド吸引の際に、度当たり突起を設けた構造上必然的に２次室のダイヤフラム−対面壁間に空隙を生じ、これにエアーや機能液が残留してしまう問題がある。このため、初期充填時にはこの空隙に残存したエアーが、充填した機能液に混入して機能液滴吐出ヘッドの空打ちの問題が生ずる。また、機能液交換時にはこの空隙に残存した機能液が新たに導入した機能液と混合し、機能液の変質の問題が生ずる。
【０００５】
本発明は、機能液の初期充填時や液抜き時にエアーや機能液を極力排出することができる圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧力調整弁は、機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、大気に面し２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、２次室を圧力調整する圧力調整弁であって、２次室には、連通流路の２次室側開口部が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッドに連なる流出流路の流出開口部が開口し、１つの面を除いた２次室の内面壁は、最大マイナス変形したダイヤフラムが接触する形状に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、２次室の内面壁は２次室の１つの面を構成するダイヤフラムが最大マイナス変形した状態で接触する形状に形成されるため、このようにダイヤフラムが最大マイナス変形した状態において圧力調整弁内に機能液および気泡が残留してしまうのを極力少なくすることができる。すなわち、ダイヤフラムが最大マイナス変形する機能液の初期充填時や液抜き時に、初期充填または交換した新たな機能液にエアーや交換前の機能液が混合するのを防止できる。また、１次室と２次室とを背合わせに構成するものにあっては、ハウジングを薄型に形成することができる。
【０００８】
この場合、２次室は、内面壁を含んでダイヤフラム側を底面とする円錐台形状に形成され、２次室側開口部は、円錐台形状の頂面となる内面壁の端壁に開口し、流出開口部は、円錐台形状のテーパ面となる内面壁の周壁に開口していることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、２次室の内面壁の全域にダイヤフラムを接触させることができると共に２次室の容積自体を小さくすることができ、２次室内に機能液および気泡が残留してしまうのを更に減少させることができる。
【００１０】
この場合、２次室の内面壁には、最大マイナス変形したダイヤフラムの接触を部分的に阻止して、２次室側開口部と流出開口部とを連通する補助流路が形成されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ダイヤフラムが最大マイナス変形して内面壁に密接することがあっても、補助流路を経由して１次室側からエアーおよび機能液を排出させることができ、作業途中で初期充填や液抜きが不能となってしまうことがない。また、最大マイナス変形したダイヤフラムの密接形態によっては、流出開口部近傍が初めに密接してしまうこともあるが、この場合においても、補助流路を介して２次室内の機能液を排出することができる。これにより、ヘッド吸引時に１次室にエアーおよび他の機能液が残ることがなく、初期充填（あるいは交換）した機能液にこれらが混入してしまうのを防止することができる。
【００１２】
この場合、補助流路は、２次室の内面壁に形成され、２次室側開口部と流出開口部とを接続すると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる細溝で構成されていることが好ましい。
【００１３】
この場合、ダイヤフラムは、膜状のダイヤフラム本体と、ダイヤフラム本体の内側に貼着され弁体を開閉動作させる受圧板と、を有し、補助流路は、内面壁に形成され、２次室側開口部から受圧板の外周端を越える位置まで延び、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる細溝部と、細溝部と流出開口部とを連通すると共に、ダイヤフラムの受圧板の厚みとダイヤフラムの張りとに起因して、ダイヤフラム本体と内面壁との間に生ずる間隙部とで構成されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、補助流路を簡単に加工することができる。
【００１５】
この場合、２次室は、ダイヤフラムが鉛直姿勢を為し且つ２次室側開口部に対し流出開口部が鉛直方向下方に位置するように配設されていることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液を交換する際に、ヘッド吸引で２次室側開口部から流入した１次室側の機能液を、補助流路に沿って重力により自然に流下させることができ、流出開口部からの機能液の排出を効率的に行うことができる。このため、２次室内にエアーや他の機能液が残ることを防止することができる。
【００１７】
この場合、流出開口部は、周壁の下側斜面の上下中間部に開口しており、２次室の内面壁には、流出開口部から下方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われる液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われた液抜き溝が機能液の排出流路として機能するため、２次室下方に溜まった機能液を効率的に排出することができる。
【００１９】
この場合、２次室の内面壁には、２次室側開口部から上方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き溝が気泡（エアー）の排出流路として機能するため、２次室上方に溜まった気泡を効率的に排出することができる。
【００２１】
この場合、２次室の内面壁には、２次室側開口部から水平方向に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き・液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き・液抜き溝は気泡（エアー）および機能液の排出流路として機能するため、２次室左右方向に溜まった気泡および機能液を効率的に排出することができる。
【００２３】
この場合、２次室の内面壁には、流出開口部および補助流路のいずれか一方から周方向に上方に延びると共に、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラムに覆われるエア抜き・液抜き溝が形成されていることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、ヘッド吸引時に最大マイナス変形したダイヤフラムが内面壁に密接することがあっても、ダイヤフラムによって開放部を覆われたエア抜き・液抜き溝は気泡（エアー）および機能液の排出流路として機能するため、２次室上方に溜まった気泡および２次室下方に溜まった機能液の両方を効率的に排出することができる。なお、実施形態においては、エア抜き・液抜き溝を一対形成するようにしている。
【００２５】
本発明の機能液供給機構は、機能液を貯留する機能液タンクと、機能液適吐出ヘッドに接続する上記の圧力調整弁と、上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドにエアーおよび他の機能液の混入を防止して機能液を供給することができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、ワークに対し機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、ワークを機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことが、好ましい。
【００２８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドにエアーおよび他の機能液が混入しない機能液が供給されるため、液滴吐出装置で製造される製品の信頼性を向上させることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。
【００２９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３１】
これらの構成によれば、機能液の初期充填および交換を効率よく行うことができる液滴吐出装置を用いるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３２】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３３】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の圧力調整弁を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３５】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド３を有し、機台２上の全域に広く載置された描画装置４と、描画装置４に接続した機能液供給機構６と、描画装置４に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、液滴吐出装置１には、図外の制御装置が設けられており、液滴吐出装置１では、機能液供給機構６により描画装置４が機能液の供給を受けながら、制御装置による制御に基づいて、描画装置４がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド３に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００３６】
描画装置４は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル７およびＸ軸テーブル７に直交するＹ軸テーブル８から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル８に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に垂設され、機能液滴吐出ヘッド３を搭載したヘッドユニット１３と、を有している。
【００３７】
Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１４を有し、これに吸着テーブル１５およびθテーブル１６等から成るセットテーブル１７を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル８は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１８を有し、これにヘッドユニット１３を支持する上記のメインキャリッジ１２をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル８は、機台２上に立設した左右の支柱２１に支持されており、Ｘ軸テーブル７およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１および図２参照）。
【００３８】
液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル７およびＹ軸テーブル８が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２２、Ｙ軸テーブル８およびヘッド保守装置５が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド３に対する機能回復処理を行う保守エリア２３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア２３に、ヘッドユニット１３を臨ませるようになっている。
【００３９】
図３に示すように、ヘッドユニット１３は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド３を搭載するヘッドプレート２４と、を備えている。ヘッドプレート２４は、後述の支持フレーム２５に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１３は、キャリッジ本体２６を介して支持フレーム２５に位置決めして搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム２５には、ヘッドユニット１３に並んで、機能液供給機構６のバルブユニット２７およびタンクユニット２８が支持されている（図１ないし図３参照）。
【００４０】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３１を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３３と、ヘッド基板３３の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路（図示省略）が形成されたヘッド本体３４と、を備えている。接続針３１は、図外の機能液供給機構６に接続され、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体３４は、ヘッド内流路に面してピエゾ圧電素子（図示省略）を設けたキャビティ（図示省略）と、吐出ノズル３５が開口したノズル面を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズル面３７には、多数（１８０個）の吐出ノズル３５から成るノズル列３８が形成されている。機能液滴吐出ヘッド３を吐出駆動すると、キャビティのポンプ作用により、吐出ノズル３５から機能液滴を吐出する。
【００４１】
図３に示すように、ヘッドプレート２４は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート２４には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材（図示省略）を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８と直交する方向に（ヘッドプレート２４の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列３８と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８が一部重複するように、階段状に配置される。
【００４２】
なお、各機能液滴吐出ヘッド３に形成された２列のノズル列３８は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル３５によってそれぞれ構成されており、両ノズル列３８は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド３には、２列のノズル列３８により、１／２解像度の部分描画ラインが形成されている。このため、同一組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド３により、それぞれの（１／２解像度の）部分描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、１組の機能液滴吐出ヘッド３により、最大解像度の描画ラインが形成される。すなわち、同一組２個の機能液滴吐出ヘッド３は、１／４解像度の各ノズル列３８が相互位置ずれするように配置されている。これにより、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド３と合わせて、１描画ラインの高解像度のノズル列３８が構成されるようになっている。
【００４３】
メインキャリッジ１２は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル８のＹ軸スライダ１８に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材４１と、吊設部材４１の下面に取り付けられ、ヘッドユニット１３のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構４２と、θ回転機構４２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体２６と、で構成されている。キャリッジ本体２６は、位置決め機構を有する枠状フレーム２９を有し、これに後述の支持フレーム２５を介してヘッドユニット１３が位置決め状態で固定されている。
【００４４】
図１ないし図３に示すように、機能液供給機構６は、上記の支持フレーム２５にヘッドユニット１３と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク４３から成るタンクユニット２８と、各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３を接続する複数（１２本）の機能液供給チューブ４４（機能液供給流路）と、各機能液供給チューブ４４を各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３に接続するための複数（１２個）の接続具４５と、複数の機能液供給チューブ４４に介設した複数（１２個）の圧力調整弁４６から成るバルブユニット２７と、を有している。
【００４５】
図３に示すように、支持フレーム２５は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット１３、バルブユニット２７、タンクユニット２８の順でこれらを位置決め状態で搭載している。なお、支持フレーム２５には、その長辺部分に、一対のハンドル４７が取り付けられており、この一対のハンドル４７を手持ち部位として、支持フレーム２５をメインキャリッジ１２に着脱できるようになっている。
【００４６】
タンクユニット２８は、１２個の機能液タンク４３と、これらを位置決めする１２個のセット部（図示省略）を有し、１２個の機能液タンク４３を支持するタンクプレート４８と、各機能液タンク４３を各セット部に装着（セット）するためのタンクセット治具５１と、で構成されている。図５に示すように、機能液タンク４３は、カートリッジ形式のものであり、機能液を真空パックした機能液パック５２と、機能液パック５２を収容する樹脂製のカートリッジケース５３と、を有している。なお、機能液パック５２に貯留される機能液は、予め脱気されており、その溶存気体量は略ゼロとなっている。
【００４７】
機能液パック５２は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシートを重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、機能液を供給する樹脂製の供給口５４を取り付けたものである。供給口５４には、パック内に連通する連通開口（図示省略）が形成されている。連通開口は、機能液耐食性を有する弾性材で構成した閉塞部材（図示省略）により閉栓されており、連通開口から空気（酸素）や湿気が侵入することを防止できるようになっている。
【００４８】
タンクプレート４８は、ステンレス等の厚板で略平行四辺形に形成されている。図３に示すように、タンクプレート４８には、機能液タンク４３の供給口をバルブユニット２７側に向けた状態で機能液タンク４３を縦置きに位置決めすると共に、これを着脱自在にセットする１２個のセット部５５が設けられている。同図に示すように、セット部５５は、ヘッドプレート２４に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３の配置に倣って配置されている。すなわち、１２個の機能液タンク４３は、２個ずつ６組に分けられ、供給口５４（機能液タンクの前面）を機能液滴吐出ヘッド３に向けた状態で、タンクプレート４８の長辺に沿うように支持フレーム２５の短辺方向に位置ずれして配置される。
【００４９】
タンクセット治具５１は、機能液タンク４３の後面（機能液タンク４３の前面に対向する面）を前方に押し込むことにより、機能液タンク４３を前方にスライドさせてセット部５５にセットするものであり、機能液タンク４３を押し出す押圧レバー５６と、押圧レバー５６を支持する支持部材５７と、を有している。機能液タンク４３のセット位置に合わせて支持部材５７を移動させることにより、押圧レバー５６を各機能液タンク４３に対峙させ、機能液タンク４３を適切にセットできるようになっている。
【００５０】
機能液供給チューブ４４（機能液供給流路）は、各機能液タンク４３および各圧力調整弁４６を接続するタンク側チューブ５８と、各圧力調整弁４６および各機能液滴吐出ヘッド３を接続するヘッド側チューブ６１と、を有している。
【００５１】
図５に示すように、接続具４５は、機能液タンク４３およびタンク側チューブ５８を接続するためのタンク側アダプタ６２と、機能液滴吐出ヘッド３およびヘッド側チューブ６１を接続するためのヘッド側アダプタ６３と、を有している。タンク側アダプタ６２には、軸心に流路を形成した連通針３０が設けられており、連通針３０は、上記した機能液パック５２（連通開口）の閉塞部材（図示省略）を貫いて差し込まれることにより機能液パック５２に接続されている。
【００５２】
バルブユニット２７は、１２個の圧力調整弁４６と、１２個の圧力調整弁４６を支持する１２個のバルブ支持部材５７と、バルブ支持部材５７を介して１２個の圧力調整弁４６を支持するバルブプレート６５と、で構成されている（図３参照）。
【００５３】
バルブプレート６５には、１２個のバルブ支持部材５７が支持フレーム２５の短辺方向に２個ずつ６組に分かれて位置ずれした状態で立設され、これらに１２個の圧力調整弁４６が支持されている（図３参照）。なお、各圧力調整弁４６については後述する。
【００５４】
次に、図１を参照して、ヘッド保守装置５について説明する。ヘッド保守装置５は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面を封止してノズル３５の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３５から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット６７と、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７に付着する汚れを払拭するワイピングユニット６８とを有している。これら両ユニット６７，６８は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル７１上に搭載され、この移動テーブル７１によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００５５】
保管・吸引ユニット６７は、機能液滴吐出ヘッド３の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ７２と、封止キャップ７２を昇降させるキャップ昇降機構７３と、封止キャップ７２に接続した状態で機能液滴吐出ヘッド３を吸引するエジェクタやポンプ等で構成される吸引機構７４（図１１参照）と、吸引機構７４で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド３が移動テーブル７１上の保守エリア２３に移動しており、封止キャップ７２は、機能液滴吐出ヘッド３から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド３のフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド３が稼動待機状態になると、封止キャップ７２が完全に上昇して機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル３５を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド３を再駆動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構７４の駆動を行い、ノズル３５から増粘した機能液を吸引する。なお、この吸引作業は機能液を初期充填する際や機能液交換における液抜きの際にも用いられるがこれらについては後述する。
【００５６】
同図に示すように、ワイピングユニット６８には、ワイピングシート６８ａが繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート６８ａを送りながら、且つ移動テーブル７１によりワイピングユニット６８をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド３のノズル面に付着した機能液が取り除かれ、吐出した機能液滴の飛行曲がり等が防止される。なお、ヘッド保守装置５として、上記の両ユニット６７，６８に加え、機能液滴吐出ヘッド３から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。
【００５７】
ここで、本実施形態の圧力調整弁４６について、図６ないし図８を参照して詳細に説明する。圧力調整弁４６は、バルブハウジング６９内に、機能液タンク４３に連なる１次室７０と、機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９と、１次室７０および２次室７９を連通する連通流路８０とを形成したものであり、２次室７９の１の面には外部に面してダイヤフラム７５が設けられ、連通流路８０にはダイヤフラム７５により開閉動作する弁体７６が設けられている。機能液タンク４３から１次室７０に導入された機能液は、２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給されるが、その際、ダイヤフラム７５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させることで２次室７９の圧力調整を行うようになっている。
【００５８】
圧力調整弁４６は、図８に示すように、ダイヤフラム７５が鉛直姿勢を為すように縦置きで用いられる。以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、図６および図７では、圧力調整弁４６に、これをフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材５７）に取り付けるための取り付けプレート７７、上記のタンク側チューブ５８を繋ぎ込むための流入コネクタ７８（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブ６１を繋ぎ込むための流出コネクタ８１（ユニオン継手）を組み込んだ状態を表している。
【００５９】
バルブハウジング６９は、ハウジング本体８２と、ハウジング本体８２と共に内部に１次室７０を形成した蓋体８３と、ハウジング本体８２と共に内部に２次室７９を形成しハウジング本体８２にダイヤフラム７５を固定するリングプレート８４との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。蓋体８３およびリングプレート８４は、ハウジング本体８２に対し、前後からリングプレート８４および蓋体８３を重ね、複数本の段付平行ピン（図示省略）でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム７５の中心を通る軸線と同心円となる多角形（８角形）あるいは円形の外観を有している。そして、蓋体８３およびハウジング本体８２は、パッキン８５を介して相互に気密に突合せ接合され、ハウジング本体８２およびリングプレート８４は、ダイヤフラム７５の縁部およびパッキン８５を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。
【００６０】
ハウジング本体８２と蓋体８３とで形成された１次室７０は、ダイヤフラム７５と同心となる略円柱形状に形成されており、その開放端を蓋体８３により閉蓋されている。また、ハウジング本体８２の１次室側背面上部に形成した上部ボス部※の左部には１次室７０から径方向斜めに延びる流入ポート８６が形成され、流入ポート８６には上記の流入コネクタ７８が接続されている。
【００６１】
流入ポート８６は、ハウジング本体８２の外周面に開口した流入口８７と、流入口８７と１次室７０の内周面とを連通する流入経路８８とから成り、流入口８７に対し流入経路８８は、１次室７０側に偏心して形成されている。流入口８７には、流入コネクタ７８が螺合（テーパネジ）しており、この流入コネクタ７８を介して上記のタンク側チューブ５８が接続されている。流入コネクタ７８の内部流路は、下流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。同様に、流入口８７の下流端はテーパ形状を為し流入経路との間で段部が生じないようになっている。
【００６２】
図８および図９に示すように、２次室７９は、ダイヤフラム７５とハウジング本体８２に形成した内面壁９１とによって、全体としてダイヤフラム７５を底面とする円錐台形状に形成されている。ダイヤフラム７５は、鉛直姿勢を為して配設され、２次室７９の１つの面を構成している。また、内面壁９１は、２次室７９のダイヤフラム７５の面（１つの面）を除いた各面で構成されており、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状となっている（図１１（ｂ）参照、詳細は後述する）。
【００６３】
また、内面壁９１のうち円錐台形状の頂面となる端壁９１ａには、ダイヤフラム７５と同心となる上記した連通流路８０の２次室側開口部９２が開口し、内面壁９１のうち円錐台形状のテーパ面となる周壁９１ｂの下側斜面における上下中間部には、後述する流出流路９３の流出開口部９４が形成されている。この場合、２次室側開口部９２は、後述する受圧板付勢ばね９５を収容するばね室を兼ねており、連通流路８０の主流路９６より太径に形成されている。また、流出開口部９４は、２次室側開口部９２に対して鉛直方向下方に位置して配設されており、機能液が２次室側開口部９２から流出開口部９４に円滑に流下するようになっている。さらに、２次室７９の内面壁９１には、２次室側開口部９２を中心として、上下、左右に十字状に延びる流路溝９７が形成されている。
【００６４】
図９に示すように流出ポート９８は、ハウジング本体８２の下部に位置する傾斜ボス部１０１に形成されており、傾斜ボス部１０１の下部に開口した流出口１０２と、２次室７９の流出開口部９４と、これらを連通する上記の流出流路９３とで構成されている。流出流路９３は、内面壁９１の周壁９１ｂから斜めに延びて下向きの流出口１０２に連通している。流出口１０２には、流出流路９３の軸線方向から流出コネクタ８１が螺合しており、この流出コネクタ８１を介して上記のヘッド側チューブ６１に接続されている。流出コネクタ８１の内部流路は、上流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室７９から流出する機能液は、流出開口部９４から流出流路９３の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド３側に流出する。
【００６５】
図８および図９に示すように、ハウジング本体８２には、１次室７０と２次室７９とを連通する上記の連通流路８０が形成されている。連通流路８０は、主流路９６と、これに連なる２次室側開口部９２とで構成されている。これら１次室７０、２次室７９および連通流路８０は、いずれもダイヤフラム７５と同心の円形断面を有している。ただし、主流路９６は、後述する弁体７６の軸部１０３がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１０４と、軸遊挿部１０４から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１０５とで構成されている（図７（ｂ）参照）。なお、ハウジング本体８２のダイヤフラム７５側対向面には、後述のパッキン８５用に環状のハウジング本体環状溝１０６が形成されている。
【００６６】
ダイヤフラム７５は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体１０７と、ダイヤフラム本体１０７の内側に貼着した樹脂製の受圧板１０８とで構成されている。受圧板１０８は、ダイヤフラム本体１０７と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体１０７に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体７６の軸部１０３が当接する。ダイヤフラム本体１０７は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、ハウジング本体８２の前面と同径の円形に形成されている。なお、受圧板１０８は、ダイヤフラム７５の外側に設けてもよいが、後述する弁体７６の軸部１０３が離接を繰り返すため、ダイヤフラム７５の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。
【００６７】
弁体７６は、円板状の弁体本体１１１と、弁体本体１１１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部１０３と、弁体本体１１１の軸部１０３側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール１１２とで構成されている。弁体本体１１１および軸部１０３は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。バルブシール１１２は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に形成されている。このため、弁体７６の閉弁時には、弁座となる連通流路８０の開口縁にバルブシール１１２が強く当接して、連通流路８０が１次室７０側から液密に閉塞される。
【００６８】
軸部１０３は、連通流路８０（の主流路９６）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム７５の受圧板１０８に当接する。すなわち、ダイヤフラム７５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部１０３の前端と受圧板１０８との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム７５がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部１０３の前端と受圧板１０８とが当接し、さらにダイヤフラム７５のマイナス変形がすすむと、受圧板１０８が軸部１０３を介して弁体本体１１１を押し開弁させることになる。したがって、２次室７９の容積のうち、ダイヤフラム７５がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室７０側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。
【００６９】
弁体７６の背面と１次室７０の壁体１１３との間には、弁体７６を２次室７９側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね１１４が介設されている。同様に、受圧板１０８と内面壁９１の間には、受圧板１０８を介してダイヤフラム本体１０７を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね９５が介設されている。この場合、弁体付勢ばね１１４は、弁体７６の背面に加わる機能液タンク４３の水頭を補完するものであり、機能液タンク４３の水頭とこの弁体付勢ばね１１４のばね力により、弁体７６が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね９５は、ダイヤフラム７５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室７９が負圧になるように作用する。
【００７０】
圧力調整弁４６は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９との圧力バランスによりダイヤフラム７５（およびこれが当接する弁体７６）が変形（進退）することで開閉し、２次室７９側を所定の圧力まで減圧するようにしている。その際、弁体付勢ばね１１４および受圧板付勢ばね９５に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール１１２（の弾性力）により、弁体７６は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体７６の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド３の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク４３側（１次室７０側）で発生する脈動等も、弁体７６で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。
【００７１】
また、本実施形態の圧力調整弁４６は、１次室７０および２次室７９を背合わせで配設するようにしているため、２次室７９の薄型形状と相まって、圧力調整弁４６を極力薄型に形成することができるようになっている。もっとも、圧力調整弁４６の厚さは、流入コネクタ７８および流出コネクタ８１の直径によって決定されているが、さらに小型のコネクタを用いることにより、更なる薄型化も可能である。
【００７２】
次に、圧力調整弁４６の動作原理について説明する。１次室７０には、機能液タンク４３に貯留した機能液の液位に基づく水頭（設計上は、機能液タンク４３の供給口５４の中心軸と１次室７０の中心軸との間の水頭差）が作用しており、この水頭に基づく圧力と弁体付勢ばね１１４のばね力とが、弁体７６の閉弁力として作用する。
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をＰ１とし、弁体本体１１１の背面の面積をＳ１とし、弁体付勢ばね１１４のばね力をＷ１としたときに、１次室７０側から弁体７６に作用する力Ｆ１は、
Ｆ１＝（Ｐ１×Ｓ１）＋Ｗ１
となる。なお、Ｗ１は、バルブシール１１２の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール１１２の弾性力（付勢力）との合計をＷ１としている。
一方、２次室７９側から弁体７６に作用する力：Ｆ２は、２次室７９の内圧をＰ２とし、ダイヤフラム７５の面積をＳ２とし、受圧板付勢ばね９５のばね力をＷ２としたときに、
Ｆ２＝（Ｐ２×Ｓ２）−Ｗ２
となる。なお、Ｐ１およびＰ２は、ゲージ圧力である。また、ダイヤフラム７５の中心径Ｄは、ダイヤフラム本体１０７の外径および受圧板１０８の外径の平均径であり、
Ｓ２＝（Ｄ／２）×（Ｄ／２）×π
で表される。
【００７３】
弁体７６は、Ｆ２＞Ｆ１の状態で開弁動作し、Ｆ１＞Ｆ２の状態で閉弁動作する。本実施形態では、Ｗ１はおよびＷ２は、実験的に決定され、Ｓ１は、Ｗ１に基づいて設定される。そして、大気圧を基準調整圧力として弁体７６が開閉するように、上記の関係に従って、ダイヤフラム７５の中心径Ｄをさらに求め、ダイヤフラム本体１０７の外径および受圧板１０８の外径を設定するようになっている。
【００７４】
すなわち、ダイヤフラム７５がプラス変形の状態から、機能液滴吐出ヘッド３により機能液が消費（吐出）され、２次室７９の負圧が増すと、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板１０８を介して弁体７６が押されてゆっくり開弁する。弁体７６が開弁すると、連通流路８０を介して１次室７０から２次室７９に機能液が流入する。これにより２次室７９の圧力が増し、弁体７６がゆっくりと閉弁する。そして、弁体７６の閉弁後も大気圧に抗して受圧板付勢ばね９５が作用してゆき、ダイヤフラム７５をプラス変形させると共に、２次室７９内の機能液圧力を所定の圧力状態にさせる。上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室７９をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。
なお、２次室７９内の機能液圧力が弁体７６の作動圧力となるが、２次室７９内の圧力は、機能液の特性（例えば比重）が変わることでも変化する。その場合、作動圧力も変わってしまうが、圧力調整弁４６の取り付け位置などを変更し、ノズル面３７と圧力調整弁４６との相対的な高低差を変えることで調整可能である。
【００７５】
次に図１０を参照して、２次室７９の内面壁９１に形成した十字状の流路溝９７について説明する。流路溝９７は、２次室側開口部９２から鉛直方向下方に延びる補助流路１１５（細溝部１１５ａ）と、２次室側開口部９２から鉛直方向上方に延びるエア抜き溝１１６と、２次室側開口部９２から水平方向（左右方向）に延びる一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７とで構成されている。各溝１１５、１１６、１１７は、幅１ｍｍ、深さ０．５ｍｍ程度で断面方形に形成されている。そして、これら各溝１１５、１１６、１１７の開放部は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５（主として、受圧板１０８）に覆われることで、機能液やエアーの流路として機能する。
【００７６】
補助流路１１５は、２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びる細溝部１１５ａと、細溝部１１５ａから流出開口部９４に至る空隙部１１５ｂとで構成されている（図１１（ｂ）参照）。細溝部１１５ａは、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。空隙部１１５ｂは、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８の外周端により、ダイヤフラム本体１０７と周壁９１ｂとの間に生ずる微小な間隙により構成され、受圧板１０８の厚みとダイヤフラム本体１０７の剛性および張りにより、常に流路を維持するようになっている。このように補助流路１１５により、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が２次室７９の内面壁９１に接触（密接）することがあっても、２次室側開口部９２と流出開口部９４とを連通する流路が確保される。なお、細溝部１１５ａを流出開口部９４まで延長することがより好ましい。
【００７７】
エア抜き溝１１６は、２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びている（図９参照）。この場合も、エア抜き溝１１６は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。これにより、ダイヤフラム７５が不均一にマイナス変形しても、このエア抜き溝１１６を介して２次室７９上部に溜まったエアーを効率的に排出できるようになっている。
【００７８】
一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７は、それぞれ２次室側開口部９２から受圧板１０８の外周端を越えた位置まで延びている。この場合も、第１エア抜き・液抜き溝１１７は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５の受圧板１０８に覆われ、常に流路を維持するようになっている。これにより、ダイヤフラム７５が不均一にマイナス変形しても、第１エア抜き・液抜き溝１１７を介して２次室７９の左右方向に溜まったエアーおよび機能液を効率的に排出することができるようにしている。
【００７９】
次に、図１１および図１２を参照して、機能液の初期充填作業および機能液の交換における液抜き作業について説明する。機能液の初期充填作業は、機能液滴吐出ヘッド３を上記の吸引機構７４で吸引（ヘッド吸引）した状態で機能液タンク４３から機能液を通液し、機能液タンク４３から機能液滴吐出ヘッド３に至る機能液の流路に機能液を充填するものである。なお、受圧板付勢ばね９５は、同図中で省略している。
【００８０】
図１１（ａ）に示すように、機能液の初期充填作業は、まず、機能液タンク４３を上記の接続具４５に接続すると共に、保守エリア２３において、機能液滴吐出ヘッド３に封止キャップ７２を密接させた後、吸引機構７４を駆動してヘッド吸引することにより開始する。ヘッド吸引が開始されると、機能液供給チューブ４４を介して圧力調整弁４６の２次室７９内のエアーが排出（エアー抜き）されてゆく。これにより、２次室７９内が大気圧に対し負圧（所定の作動圧力）となり、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて２次室７９の内面壁９１に当接するようにマイナス変形（最大マイナス変形）する。また、同時に、受圧板１０８により弁体が押され圧力調整弁４６を開弁状態とする。この開弁状態においては、２次室内のエアーは、エア抜き溝１１６および第１エア抜き・液抜き溝１１７から補助流路１１５を介して吸引され、また、１次室７０側のエアーも連通流路８０および補助流路１１５を通って吸引機構７４まで排出される。
【００８１】
このままヘッド吸引を継続すると、図１１（ｂ）に示すように、排出されるエアーの後から機能液タンク４３の機能液が流下し、１次室７０、２次室７９の順で機能液が充填されていく。このようにして、機能液が封止キャップ７２まで通液（センシング）されたら（図１２（ａ）参照）、吸引機構７４の駆動を停止する。ここで、大きく変形したダイヤフラム７５は両ばね９５，１１４や自身の復元力により元の状態に戻ってゆき、最終的に弁体７６が閉弁して、一連の充填作業が終了する（図１２（ｂ）参照）。このように、ヘッド吸引の開始直後に、ダイヤフラム７５が２次室の内面壁９１に密接するように変形するが、補助流路により２次室側開口部９２と流出開口部９４との間に流路が確保されるため、流路がダイヤフラム７５により閉塞されることがなく、１次室７０側のエアーを効率よく排出することができる。また、エア抜き溝１１６や第１エア抜き・液抜き溝１１７により、２次室７９内のエアーを最大限吸引することができる。なお、エア抜き溝１１６の上方にエアー溜まり（図示省略）を設け、これにわずかに残ったエアーを保持するようにしてもよい。さらに、エアー溜まりに連なるエア抜き口（図示省略）を形成することも好ましい。
【００８２】
一方、機能液の交換作業では、洗浄作業に先立ち液抜き作業が行われるが、液抜き作業は、上記の初期充填のエアー抜きと同じ原理で流路内の機能液を排出するものである。この液抜き作業は、機能液タンク４３を接続具４５から取り外し、接続具４５を大気開放した状態で、ヘッド吸引をすることにより行う。
【００８３】
大気開放状態で吸引機構７４を駆動すると、２次室７９内の機能液が排出されると共に２次室７９内が負圧になって、ダイヤフラム７５が大気圧に押されて内面壁９１に接触する（開弁状態）。この場合も、上記の初期充填と同様に、補助流路１１５が機能して上流の１次室７０側の機能液も吸引機構７４まで排出され、また、機能液の後からエアーが流入する。この場合、２次室７９においては、エア抜き溝１１６を介して２次室７９上部に溜まったエアーや機能液が排出されると共に、第１エア抜き・液抜き溝１１７を介して２次室７９の左右両端部の機能液が吸引機構７４側に排出される。このようにして、圧力調整弁４６内から機能液をほぼ完全に液抜きをすることができ、続く洗浄工程で、機能液を完全に洗い流すことができる。そして、これに機能液を再充填し機能液の交換作業が完了する。この場合、再充填は、上記の初期充填と同じ手順で行う。
【００８４】
この場合も、ヘッド吸引の開始直後に、ダイヤフラム７５が２次室の内面壁９１に密接するように変形するが、補助流路１１５により２次室側開口部９２と流出開口部９４との間に流路が確保されるため、１次室７０側の機能液を効率よく排出することができる。また、エア抜き溝１１６や第１エア抜き・液抜き溝１１７により、２次室７９内の機能液を最大限吸引することができる。
【００８５】
なお、上記の接続具の下流に三方弁（図示省略）を設け、三方弁を用いて初期充填や液抜き作業を行うようにしてよい。すなわち、三方弁の１のポートを大気に開放し液抜きを行うようにする。また、初期充填時にヘッド吸引でエアーを排出する際には、この三方弁の上記の１のポートを閉塞し、エアーの排出した後に三方弁を開放（連通）し、圧力調整弁４６内に通液するようにしても良い。この初期充填方法によれば、圧力調整弁４６内に機能液が勢いよく通液され、弁内に残ったエアーを効率よく吸引機構７４側に排出することができる。
【００８６】
次に、図１３（ａ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第２実施形態について説明する。第２実施形態の流路溝９７Ａは、上下方向に「一文字」状に形成されている。流路溝９７Ａは、２次室側開口部９２から鉛直方向上方に延びるエアー抜き溝１１６と、補助流路１１５と、これに連続するように流出開口部９４から下方（周壁９１ｂ）に延びる細溝形状の液抜き溝１１８とを有している。補助流路１１５、エアー抜き溝１１６および液抜き溝１１８は、その開放部を最大マイナス変形したダイヤフラム７５に覆われる形状に形成されている。エアー抜き溝１１６は、周壁９１ｂの上端まで延びており、エアーを効率よく排出できるようになっている。補助流路１１５は、２次室側開口部９２と、流出開口部９４とを接続しており、流路を確実に確保できるようになっている。液抜き溝１１８は、２次室７９の流出開口部９４より下方の部分と流出開口部９４とが流路接続しており、２次室７９の下部に残留した機能液を排出できるようになっている。
【００８７】
第２実施形態の流路溝９７Ａによれば、２次室７９の下部に溜まった機能液をヘッド吸引時に効率よく排出することができる。同様に、２次室７９の上部に溜まったエアーもヘッド吸引時に効率よく排出することができる。
【００８８】
次に、図１３（ｂ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第３実施形態について説明する。第３実施形態の流路溝９７Ｂには、上記した第２実施形態の補助流路１１５、液抜き溝１１８およびエア抜き溝１１６を有すると共に、２次室側開口部９２（ばね室※）から水平方向両側に延びる左右一対の第１エア抜き・液抜き溝１１７を有し、この場合も全体として十字状に形成されている。この場合、エア抜き溝１１６、第１エア抜き・液抜き溝１１７および液抜き溝１１８は、２次室７９の周壁９１ｂまで延在するように形成されており、機能液やエアーを効率よく排出できるようになっている。
【００８９】
次に、図１３（ｃ）を参照して、圧力調整弁４６の流路溝９７の第４実施形態について説明する。第４実施形態の流路溝９７Ｃは、第２実施形態と同様に補助流路１１５および液抜き溝１１８を有すると共に、流出開口部９４から２次室側開口部９２を迂回して、周壁９１ｂ上を上方に延びる一対の第２エア抜き・液抜き溝１２１を有している。第２エア抜き・液抜き溝１２１は、ダイヤフラム７５と同心円を為し、開放部を最大マイナス変形したダイヤフラム７５に覆われる溝形状に形成されている。
【００９０】
第４実施形態の圧力調整弁４６の流路溝９７Ｃによれば、第２エア抜き・液抜き溝１２１によって２次室７９の上端に溜まったエアーのみならず、２次室７９の左右両端部に溜まったエアーおよび機能液をも、ヘッド吸引時に効率よく排出することができる。なお、両第２エア抜き・液抜き溝１２１の終端を接続するようにしてもよい。また、第４実施形態において第２エア抜き・液抜き溝１２１は、流出開口部９４から延びるように形成されているが、補助流路１１５から延びるように形成しても同様の効果を得ることができる。
【００９１】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００９２】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１４は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１５（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００９３】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１５（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１５（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００９４】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００９５】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１５（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９６】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１５（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９７】
図１６は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１５に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９８】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１６において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１００】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０１】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１０２】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。
【０１０３】
図１７は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１０４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１０５】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０６】
図１８は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１０７】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０８】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０９】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１１０】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１１】
次に、図１９は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１１２】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１１３】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１１４】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１１５】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１１６】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１７】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１８】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１９】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１２０】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２１】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１２２】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１２３】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２０〜図２８を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２０に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１２４】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２１に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２２に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１２５】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１２６】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１７に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２７】
図２３に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２４に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２８】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２９】
そして次に、図２５に示すように、各色のうちの何れか（図２５の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１３０】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２６に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３１】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２７に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１３２】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１３３】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２８に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１３４】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１３５】
次に、図２９は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１３６】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３７】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３８】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３９】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４０】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４１】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４２】
次に、図３０は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１４３】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１４４】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１４５】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４６】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４７】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３１（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３１（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４８】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４９】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の側面模式図である。
【図３】キャリッジ本体の平面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】機能液供給機構の側面模式図である。
【図６】圧力調整弁の外観斜視図である。
【図７】圧力調整弁の背面図（ａ）、および正面図（ｂ）である。
【図８】圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図９】圧力調整弁を流出ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図１０】２次室の流路溝の詳細図である。
【図１１】（ａ）ヘッド吸引前、および（ｂ）ヘッド吸引開始直後の圧力調整弁を示した動作説明図である。
【図１２】（ｃ）ヘッド吸引中、および（ｄ）ヘッド吸引終了後の圧力調整弁を表した動作説明図である。
【図１３】第２実施形態の流路溝（ａ）、第３実施形態の流路溝（ｂ）、第４実施形態の流路溝（ｃ）である。
【図１４】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２２】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２９】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３０】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３１】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１５０】
Ｗ ワーク １ 液滴吐出装置
３ 機能液滴吐出ヘッド ６ 機能液供給機構
１１ Ｘ・Ｙ移動機構 ４３ 機能液タンク
４４ 機能液供給チューブ ４６ 圧力調整弁
６９ バルブハウジング ７０ １次室
７９ ２次室 ８０ 連通流路
７５ ダイヤフラム ７６ 弁体
９１ 内面壁 ９１ａ 端壁
９２ ２次室側開口部 ９１ｂ 周壁
９３ 流出流路 ９４ 流出開口部
９７ 流路溝 １１５ 補助流路
１１６ エア抜き溝 １１７ 第１エア抜き・液抜き溝
１１８ 液抜き溝 １２１ 第２エア抜き・液抜き溝
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、前記バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、
大気に面し前記２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記２次室を圧力調整する圧力調整弁であって、
前記２次室には、前記連通流路の２次室側開口部が開口すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドに連なる流出流路の流出開口部が開口し、
前記１つの面を除いた前記２次室の内面壁は、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムが接触する形状に形成されていることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記２次室は、前記ダイヤフラム側を底面とする円錐台形状に形成され、
前記２次室側開口部は、前記円錐台形状の頂面となる前記内面壁の端壁に開口し、
前記流出開口部は、前記円錐台形状のテーパ面となる前記内面壁の周壁に開口していることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
【請求項３】
前記２次室の内面壁には、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムの接触を部分的に阻止して、前記２次室側開口部と前記流出開口部とを連通する補助流路が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
【請求項４】
前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記２次室側開口部と前記流出開口部とを接続すると共に、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝で構成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力調整弁。
【請求項５】
前記ダイヤフラムは、膜状のダイヤフラム本体と、前記ダイヤフラム本体の内側に貼着され前記弁体を開閉動作させる受圧板と、を有し、
前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記２次室側開口部から前記受圧板の外周端を越える位置まで延び、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝部と、前記細溝部と前記流出開口部とを連通すると共に、前記ダイヤフラムの前記受圧板の厚みと前記ダイヤフラムの張りとに起因して、前記ダイヤフラム本体と前記内面壁との間に生ずる間隙部とで構成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力調整弁。
【請求項６】
前記２次室は、前記ダイヤフラムが鉛直姿勢を為し且つ前記２次室側開口部に対し前記流出開口部が鉛直方向下方に位置するように配設されていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力調整弁。
【請求項７】
前記流出開口部は、前記周壁の下側斜面の上下中間部に開口しており、
前記内面壁には、前記流出開口部から下方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の圧力調整弁。
【請求項８】
前記内面壁には、前記２次室側開口部から上方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われるエア抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６または７に記載の圧力調整弁。
【請求項９】
前記２次室の内面壁には、前記２次室側開口部から水平方向に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第１エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の圧力調整弁。
【請求項１０】
前記内面壁には、前記流出開口部および前記補助流路のいずれか一方から前記２次室側開口部を迂回して上方に延びると共に開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第２エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６または７に記載の圧力調整弁。
【請求項１１】
機能液を貯留する前記機能液タンクと、
前記機能液適吐出ヘッドに接続する請求項１ないし１０のいずれかに記載の圧力調整弁と、
上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を前記圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする機能液供給機構。
【請求項１２】
請求項１１に記載の機能液供給機構と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、前記バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、
大気に面し前記２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記２次室を圧力調整する圧力調整弁であって、
前記２次室には、前記連通流路の２次室側開口部が開口すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドに連なる流出流路の流出開口部が開口し、
前記１つの面を除いた前記２次室の内面壁は、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムが接触する形状に形成されていることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記２次室は、前記ダイヤフラム側を底面とする円錐台形状に形成され、
前記２次室側開口部は、前記円錐台形状の頂面となる前記内面壁の端壁に開口し、
前記流出開口部は、前記円錐台形状のテーパ面となる前記内面壁の周壁に開口していることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
【請求項３】
前記２次室の内面壁には、最大マイナス変形した前記ダイヤフラムの接触を部分的に阻止して、前記２次室側開口部と前記流出開口部とを連通する補助流路が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
【請求項４】
前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記２次室側開口部と前記流出開口部とを接続すると共に、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝で構成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力調整弁。
【請求項５】
前記ダイヤフラムは、膜状のダイヤフラム本体と、前記ダイヤフラム本体の内側に貼着され前記弁体を開閉動作させる受圧板と、を有し、
前記補助流路は、前記内面壁に形成され、前記２次室側開口部から前記受圧板の外周端を越える位置まで延び、開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる細溝部と、前記細溝部と前記流出開口部とを連通すると共に、前記ダイヤフラムの前記受圧板の厚みと前記ダイヤフラムの張りとに起因して、前記ダイヤフラム本体と前記内面壁との間に生ずる間隙部とで構成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力調整弁。
【請求項６】
前記２次室は、前記ダイヤフラムが鉛直姿勢を為し且つ前記２次室側開口部に対し前記流出開口部が鉛直方向下方に位置するように配設されていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力調整弁。
【請求項７】
前記流出開口部は、前記周壁の下側斜面の上下中間部に開口しており、
前記内面壁には、前記流出開口部から下方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の圧力調整弁。
【請求項８】
前記内面壁には、前記２次室側開口部から上方に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われるエア抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６または７に記載の圧力調整弁。
【請求項９】
前記２次室の内面壁には、前記２次室側開口部から水平方向に延びると共に且つ開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第１エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の圧力調整弁。
【請求項１０】
前記内面壁には、前記流出開口部および前記補助流路のいずれか一方から前記２次室側開口部を迂回して上方に延びると共に開放部を最大マイナス変形した前記ダイヤフラムに覆われる第２エア抜き・液抜き溝が形成されていることを特徴とする請求項６または７に記載の圧力調整弁。
【請求項１１】
機能液を貯留する前記機能液タンクと、
前記機能液適吐出ヘッドに接続する請求項１ないし１０のいずれかに記載の圧力調整弁と、
上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を前記圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする機能液供給機構。
【請求項１２】
請求項１１に記載の機能液供給機構と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【公開番号】特開２００６−１６３７３３（Ｐ２００６−１６３７３３Ａ）
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３５３２１９（Ｐ２００４−３５３２１９）
【出願日】平成１６年１２月６日（２００４．１２．６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１２月６日（２００４．１２．６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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