基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム
【課題】コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、スクリーン印刷装置等の基板処理装置、基板処理装置に用いられる位置決め機構等の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、クリーム半田を基板上に印刷するスクリーン印刷装置が広く用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
スクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンの上方側にスキージが配置され、下方側に基板が配置される。スクリーン上には、クリーム半田が供給され、スキージは、スクリーン上をスライドされる。スキージがスクリーン上をスライドされると、パターン孔の下側に配置された基板にクリーム半田が印刷される。
【０００４】
スクリーンの下方側に位置する基板は、ステージによって保持され、このステージは、Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、θ軸テーブル等の位置決め機構によって支持されている。この位置決め機構によって、ステージに保持された基板がスクリーンに対して位置決めされる。Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、θ軸テーブル等は、一般的に、ボールネジと、ボールネジを回転させるモータとによって駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２３４６２７号公報
【特許文献２】特開２００７−２３７６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各軸のテーブルがボールネジ及びモータによって駆動される場合、スクリーンに対する基板の位置決め精度は、ボールネジの加工精度と、モータの回転を検出するエンコーダの精度とに依存する。近年、モータのエンコーダの性能は向上しつつあるが、ボールネジの精密加工は、依然としてコストが高いままである。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【０００９】
この基板処理装置では、テーブルを駆動させる機構として偏心カムを有する偏心カム機構が用いられているため、ボールネジ等を用いたテーブル駆動機構に比べて、コストを削減することができる。さらに、本実施形態では、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定されるので、基板の位置決め時に、偏心カムの回転により正確に基板を位置決めすることができる。
【００１０】
上記基板処理装置は、前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備していてもよい。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
【００１１】
この基板処理装置では、偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサを有しているので、基板処理装置がカムストローク中心を未だ認識していない状態（例えば、電源投入時）でも、基板処理装置は、偏心カムのおおよそのカムストローク中心を認識することができる。そして、この基板処理装置は、偏心カムがおおよそのカムストローク中心（仮のカムストローク中心）に位置する状態から偏心カムを回転させ、基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの実際のカムストローク中心を測定している。これにより、偏心カムの実際のカムストローク中心を正確に測定することができる。
【００１２】
上記基板処理装置において、前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定してもよい。
【００１３】
これにより、偏心カムが偏心カムの実際のカムストローク中心に位置する状態から、偏心カムを回転させて、基準マークを移動させることができるので、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を正確に測定することができる。
【００１４】
上記基板処理装置は、前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備していてもよい。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
【００１５】
この基板処理装置では、偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するよう撮像部が移動され、その後に、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークが撮像される。これにより、撮像部のレンズの歪みなどによって、基準マークの位置が正確に測定されなくなってしまうことを防止することができるので、さらに正確に実際のカムストローク中心を測定することができる。
【００１６】
上記基板処理装置が、前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備する場合、前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定してもよい。
【００１７】
この基板処理装置では、偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するよう撮像部が移動され、その後に、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークが撮像される。これにより、撮像部のレンズの歪みなどによって、基準マークの位置が正確に測定されなくなってしまうことを防止することができるので、さらに正確に偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定することができる。
【００１８】
上記基板処理装置において、前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有していてもよい。
【００１９】
このような機構により、偏心カムとカム受けブロックとが引き合うので、偏心カムの回転により一方向に移動させたステージを、逆方向に戻すことができる。
【００２０】
上記基板処理装置において、前記基板は、アライメントマークを有していてもよい。
この場合、前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備していてもよい。
この場合、前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられてもよい。
【００２１】
スクリーン印刷装置等の基板処理装置は、一般的に基板上に設けられたアライメントマークを撮像するための撮像部を有している。そして、この基板処理装置では、基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部が、基準マークを撮像するための撮像部として用いられている。従って、既存の撮像部（基板上のアライメントマーク撮像用の撮像部）を基準マーク撮像用の撮像部として用いることができるので、基準マーク撮像用の撮像部を特別に基板処理装置に設ける必要がない。従って、コストをさらに削減することができる。
【００２２】
上記基板処理装置において、前記偏心カムは、略円柱形状であってもよい。
【００２３】
本技術では、上記したように、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定されるので、偏心カムの形状が複雑な形状である必要がない。すなわち、偏心カムが略円柱形状のような単純な形状（カム曲線が考慮されていない単純な形状）であっても、正確に偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定することができる。そして、この基板処理装置のように、偏心カムが略円柱形状とされることでコストをさらに削減することができる。
【００２４】
本技術の一形態に係るテーブル機構は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【００２５】
本技術の一形態に係る位置決め方法は、基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させることを含む。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定される。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板が位置決めされる。
【００２６】
本技術の一形態に係るプログラムは、基板処理装置に、基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップを実行させる。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップを実行させる。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップを実行させる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように、本技術によれば、コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本技術の一実施形態に係るスクリーン印刷装置を示す正面図である。
【図２】スクリーン印刷装置を示す側面図である。
【図３】位置決め機構を示す斜視図である。
【図４】図３に示すＡ方向から位置決め機構を見た場合の側面図である。
【図５】図３に示すＢ方向から位置決め機構を見た場合の側面図である。
【図６】テーブル機構を示す斜視図である。
【図７】図６に示すＡ方向からテーブル機構を見た場合の斜視図である。
【図８】偏心カム機構を示す斜視図である。
【図９】偏心カムの動きと、センサ部との関係を示す模式図である。
【図１０】校正シーケンス時のスクリーン印刷装置の処理を示す図である。
【図１１】校正シーケンス時のスクリーン印刷装置の処理を示す図である。
【図１２】基準マークが撮像視野の中心に位置したときの様子を示す図である。
【図１３】実際に測定された、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量（基準マークの移動量）の軌跡と、中心位置補正後の、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量（基準マークの移動量）の軌跡との関係を示す図である。
【図１４】基準位置登録シーケンスを示す図である。
【図１５】基板位置決めシーケンスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００３０】
［スクリーン印刷装置１００の全体構成］
図１は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００を示す正面図である。図２は、スクリーン印刷装置１００を示す側面図である。なお、本明細書中で説明する、各図では、図面を分かりやすく表示するため、スクリーン印刷装置１００や、スクリーン印刷装置１００が有する各部材等の大きさを実際の寸法とは異なって表示する場合がある。
【００３１】
これらの図に示すように、スクリーン印刷装置１００（基板処理装置）は、スクリーン１と、スクリーン１をスクリーン印刷装置１００の所定位置に固定する固定部５とを備えている。また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン１の上方に配置され、クリーム半田が供給されたスクリーン１上をスライドされるスキージ部１０を備えている。
【００３２】
また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン１の下方に配置された位置決め機構２０と、撮像部８５と、クリーニング部８０とを備えている。位置決め機構２０は、スクリーン印刷の対象となる基板９をスクリーン１に対して位置決めする。撮像部８５は、基板９上に設けられたアライメントマークや、スクリーン１の下側に設けられたアライメントマーク、基板吸着ステージ上等に設けられた基準マーク８（図１２参照）等を撮像する。クリーニング部８０は、スクリーン１の下面をクリーニングする。
【００３３】
さらに、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の背面側で、スキージ部１０、クリーニング部８０及び撮像部８５を移動可能に支持する支持ベース９０を備えている。
【００３４】
なお、図示は省略しているが、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の各部を統括的に制御するＣＰU（Central Processing Unit）等の制御部を有している。また、スクリーン印刷装置１００は、制御部の作業用の領域として用いられる不揮発性のメモリと、制御部の処理に必要な各種のプログラムが記憶された不揮発性のメモリとを含む記憶部を有している。上記各種のプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。
【００３５】
スクリーン１は、基板９の配線パターンに応じたパターン孔を有している。スクリーン１は、ステンレス鋼などの金属により構成され、スクリーン１には、スクリーン１の四辺に沿って枠体２が設けられる。枠体２は、スクリーン１にたるみが生じないように、４方向から所定の張力でスクリーン１を引っ張っている。
【００３６】
スクリーン１の下面には、基板９との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられている。この２つのアライメントマークは、例えば、パターン孔が設けられた領域を挟んで対角線上の位置に配置される。これに対して、基板９上にもスクリーン１との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられている。この２つのアライメントマークは、例えば、基板９上において、対角線上の位置に配置される。
【００３７】
スクリーン１をスクリーン印刷装置１００の所定の位置に固定する固定部５は、取り付けフレーム６と、取り付けフレーム６に設けられ、スクリーン１をクランプするスクリーンクランプ７とを有する。取り付けフレーム６は、支持ベース９０や、図示しない支持体などにより支持されている。スクリーンクランプ７は、取り付けフレーム６に複数個設けられる。スクリーンクランプ７は、スクリーン１に設けられた枠体２を上下方向から挟み込んで固定する。
【００３８】
支持ベース９０の上部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の上部案内レール９１、９２が設けられる。また、支持ベース９０下部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の下部案内レール９３、９４が設けられる。
【００３９】
上部案内レール９１、９２には、スキージ部１０を支持するキャリッジ９５が移動可能に取り付けられている。スキージ部１０及びキャリッジ９５は、例えば、ボールネジ及びモータ等で構成される駆動機構の駆動により、支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。
【００４０】
スキージ部１０は、第１のスキージ機構１１と、第１のスキージ機構１１と対称に配置される第２のスキージ機構１２とを有する。第１のスキージ機構１１及び第２のスキージ機構１２は、それぞれ、スキージ１３と、スキージ保持部材１４と、支持部材１５と、エアシリンダ１６とを含む。
【００４１】
スキージ１３は、クリーム半田が供給されたスクリーン１上をスライドされて、スクリーン１に設けられたパターン孔を介して基板９上にクリーム半田を塗布する。スキージ保持部材１４は、スキージ１３を保持し、支持部材１５は、スキージ保持部材１４を支持する。エアシリンダ１６は、支持部材１５を支持し、支持部材１５、スキージ保持部材１４及びスキージ１３を一体的に上下方向に駆動させる。
【００４２】
一方のスキージ機構が下方に位置してスクリーン１上をスライドされているとき、他方のスキージ機構は、上方に位置しており、スクリーン１には当接しない状態とされる。スクリーン１上をスライドされるスキージ機構は、交互に切り替えられる。
【００４３】
支持ベース９０の下部側に設けられた下部案内レール９３、９４には、撮像部８５を支持するキャリッジ９７と、クリーニング部８０を支持するキャリッジ９６とが移動可能に取り付けられている。
【００４４】
撮像部８５及びキャリッジ９７は、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。撮像部８５は、キャリッジ９７に対してＸ軸方向に移動可能に取り付けられており、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動によりキャリッジ９７に対してＸ軸方向に沿って移動される。これにより、撮像部８５は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に沿って移動可能とされる。
【００４５】
上記した案内レール９３、９４、キャリッジ９７、撮像部８５を駆動させる駆動機構などにより、撮像部８５を移動させる移動機構が構成される。
【００４６】
撮像部８５は、下側に向けて配置された第１の撮像部８６と、上側に向けて配置された第２の撮像部８７とを含む。下側に向けて配置された第１の撮像部８６は、基板９上に設けられたアライメントマークと、基板吸着ステージ上等に設けられた基準マーク８（図１２参照）とを撮像する。上側に向けて配置された第２の撮像部８７は、スクリーン１の下面側に設けられたアライメントマークを撮像する。
【００４７】
第１の撮像部８６及び第２の撮像部８７は、それぞれ、ＣＣＤセンサ（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳセンサ（ＣＭＯＳ：Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子と、結像レンズ等の光学系とを含む。
【００４８】
図１及び図２では、２つの撮像部８６、８７が設けられる場合の一例が示されているが、撮像部の数は、１つとすることも可能である。撮像部が１つである場合、撮像部は、例えば、Ｘ軸方向の軸を回転の中心軸として回転可能（回動可能）に構成されればよい。
【００４９】
クリーニング部８０及びキャリッジ９６は、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。クリーニング部８０は、ローラ８１と、クリーニングテープを送り出す送り出しローラ８２と、クリーニングテープを巻き取る巻き取りローラ８３とを有する。
【００５０】
クリーニング部８０がＹ軸方向に沿って移動されると、それに連動して、ローラ８１、送り出しローラ８２及び巻き取りローラ８３が回転される。送り出しローラ８２から送り出されたクリーニングテープは、スクリーン１の下面に当接しながらローラ８１の周囲を回転し、巻き取りローラ８３により巻き取られる。これにより、スクリーン１の下面がクリーニングされる。
【００５１】
［位置決め機構２０の構成］
図３は、位置決め機構２０を示す斜視図である。図４は、図３に示すＡ方向から位置決め機構２０を見た場合の側面図であり、図５は、図３に示すＢ方向から位置決め機構２０を見た場合の側面図である。
【００５２】
図３〜図５に示すように、位置決め機構２０は、基板９を位置決めするためのテーブル機構３０と、テーブル機構３０上に設けられ、基板９を保持する基板保持機構５０とを有する。
【００５３】
図６は、テーブル機構３０を示す斜視図である。図７は、図６に示すＡ方向からテーブル機構３０を見た場合の斜視図である。
【００５４】
（テーブル機構３０の構成）
図６及び図７を参照して、まず、テーブル機構３０の構成について説明する。
テーブル機構３０は、ベース３１と、ベース３１上に設けられたフレーム状のＸ軸テーブル３２Ｘと、Ｘ軸テーブル３２Ｘ上に設けられたフレーム状のＹ軸テーブル３２Ｙと、Ｙ軸テーブル３２Ｙ上に設けられたθ軸テーブル３２θとを有する。また、テーブル機構３０は、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させるＸ軸偏心カム機構２１Ｘと、Ｙ軸テーブル３２Ｙを移動させるＹ軸偏心カム機構２１Ｙと、θ軸テーブル３２θを回転（移動）させるθ軸偏心カム機構２１θとを有する。各軸の偏心カム機構２１は、同様の構成を有している。
【００５５】
ベース３１上には、Ｘ軸方向に沿って２本のガイドレール４１が設けられている。Ｘ軸テーブル３２Ｘは、この２本のガイドレール４１上にスライド可能に取り付けられたスライド部材４２上に設けられている。Ｘ軸テーブル３２Ｘ上には、Ｙ軸方向に沿って２本のガイドレール４３が設けられている。Ｙ軸テーブル３２Ｙは、この２本のガイドレール４３上にスライド可能に取り付けられたスライド部材４４上に設けられている。
【００５６】
Ｙ軸テーブル３２Ｙ上において、４つの角部の近傍には、それぞれ半球状の支持体４５が設けられる（図４、図５参照）。この４つの支持体４５によりθ軸テーブル３２θの回転が支持される。
【００５７】
θ軸テーブル３２θには、複数の穴４６が形成されている。この複数の穴４６は、基板保持機構５０を昇降させる昇降機構を取り付けたりするために用いられたり、吸引用チューブ６８を通すために用いられたりする。
【００５８】
図８は、偏心カム機構２１を示す斜視図である。図８に示すように偏心カム機構２１は、偏心カム機構本体２２と、カム受けブロック２３とを有する。偏心カム機構本体２２は、基部２４と、基部２４に回転可能に軸支される軸体２５と、軸体２５の一端部側に固定され、回転によりテーブル３２を移動させる偏心カム２６と、基部２４に取り付けられたカム駆動用モータ２７とを有する。また、偏心カム機構本体２２は、カム駆動用モータ２７の出力軸及び軸体２５の他端部側の間に掛け渡されたタイミングベルト２８と、タイミングベルト２８のテンション調整用の回転体２９とを有する。
【００５９】
偏心カム２６は、鉄、コバルト、ニッケル等の磁性体で構成される。この偏心カム２６は、カム曲線等が考慮された複雑な形状とはされておらず、単純な円柱形状とされる。
【００６０】
カム受けブロック２３は、内部にマグネットを有している。なお、カム受けブロック２３の全体がマグネットで構成されていても構わない。
【００６１】
このように、偏心カム２６が磁性体で構成され、カム受けブロック２３がマグネットで構成されているため、偏心カム２６と、カム受けブロック２３とが磁力により引き合う。従って、偏心カム２６の回転により一方向に移動させたテーブル３２を、逆方向に戻すことができる。
【００６２】
偏心カム２６の回転によりテーブル３２を移動させる場合、一端、偏心カム２６により送り出されたテーブル３２を逆方向に戻すための戻り機構が必要となる。この戻り機構として、本実施形態では、磁性体と、マグネットとが引き合う力が利用されている。
【００６３】
再び図６及び図７を参照して、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘは、ベース３１上において、ベース３１の縁部の近傍に取り付けられる。一方、Ｘ軸のカム受けブロック２３Ｘは、Ｘ軸テーブル３２Ｘの側面に取り付けられる。カム駆動用モータ２７Ｘの駆動によりＸ軸偏心カム２６Ｘが回転すると、Ｘ軸のカム受けブロック２３ＸがＸ軸偏心カム２６Ｘの回転に追従して移動し、Ｘ軸テーブル３２ＸがＸ軸方向に移動する。Ｘ軸テーブル３２ＸがＸ軸方向に移動した場合、Ｘ軸テーブル３２Ｘ上に設けられたＹ軸テーブル３２Ｙと、θ軸テーブル３２θと、基板保持機構５０とが一体的にＸ軸方向に移動する。
【００６４】
Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙは、Ｙ軸テーブル３２Ｙの側面に、上下逆に取り付けられている。一方、Ｙ軸のカム受けブロック２３Ｙは、Ｘ軸テーブル３２Ｘの側面に取り付けられる。カム駆動用モータ２７Ｙの駆動によりＹ軸偏心カム２６Ｙが回転すると、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙが取り付けられた側のＹ軸テーブル３２ＹがＹ軸偏心カム２６Ｙの回転に応じてＹ軸方向に移動する。Ｙ軸テーブル３２ＹがＹ軸方向に移動した場合、Ｙ軸テーブル３２Ｙ上に設けられたθ軸テーブル３２θと、基板保持機構５０とが一体的にＹ軸方向に移動する。
【００６５】
θ軸の偏心カム機構本体２２θは、Ｙ軸テーブル３２Ｙの側面に取り付けられる。つまり、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙの偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸偏心カム機構２１θの偏心カム機構本体２２θとは、同じテーブル３２（Ｙ軸テーブル３２Ｙ）に取り付けられる。一方、θ軸のカム受けブロック２３θは、θ軸テーブル３２θに取り付けられる。カム駆動用モータ２７θの駆動によりθ軸偏心カム２６θが回転すると、θ軸のカム受けブロック２３θがθ軸偏心カム２６θの回転に追従して移動し、θ軸テーブル３２θがＺ軸回りに回転する。θ軸テーブル３２θがＺ軸回りに回転した場合、θ軸テーブル３２θ上に設けられた基板保持機構５０が、θ軸テーブル３２θと一体的に回転する。
【００６６】
本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００では、テーブル３２を駆動させる機構として偏心カム２６を有する偏心カム機構２１が用いられている。従って、ボールネジ等を用いたテーブル３２駆動機構に比べて、コストを削減することができる。
【００６７】
さらに本実施形態では、一端、偏心カム２６により送り出されたテーブル３２を逆方向に戻すための戻り機構として、マグネットが用いられた方式が採用されているので、コスト削減及びコンパクト化の観点から有利である。一方、戻り機構としては、マグネットが用いられる方式の代わりに、例えば、バネや、エアシリンダ等を用いた方式が採用されてもよい。
【００６８】
例えば、Ｘ軸テーブル３２Ｘで説明すると、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘが設けられた側に向けてＸ軸テーブル３２Ｘを引き寄せるバネ部材がＸ軸偏心カム機構２１Ｘに設けられる。あるいは、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘが設けられた側に向けてＸ軸テーブル３２Ｘを押し付けるエアシリンダ（あるいは、バネ部材）が、Ｘ軸テーブル３２Ｘを挟んでＸ軸の偏心カム機構本体２２Ｘとは反対側の位置に設けられる。なお、コスト削減及びコンパクト化の観点からは、上記したマグネットを用いた方式が特に有効である。
【００６９】
また、本実施形態のように、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、偏心カム機構２１をテーブル３２の外側に配置することができるので、メンテナンスが容易となる。また、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、各軸の偏心カム機構２１の部品の共通化も容易である。
【００７０】
また、偏心カム２６は、回転範囲がカムストローク中心から最大でも±９０°程度とされるので、低回転数で動作可能である。従って、カム駆動用モータ２７の選定範囲が広く、安価なカム駆動用モータ２７も使用可能である。
【００７１】
さらに、本実施形態のように、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、テーブル３２は、偏心カム２６の回転範囲で移動するため、可動範囲が小さい。従って、カム駆動用モータ２７が暴走した際にテーブル３２の動作を規制するための規制機構や、テーブル３２の過剰動作を検出するセンサ等も不要である。このような観点からも、本実施形態では、コスト削減が可能であることが分かる。
【００７２】
図６及び図７等に示す一例では、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙについて、偏心カム機構本体２２Ｙが上下逆にＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられ、カム受けブロック２３がＸ軸テーブル３２Ｘに取り付けられているが、これは、逆であってもよい。つまり、偏心カム機構本体２２Ｙが（上下逆でなく）Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられ、カム受けブロック２３ＹがＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられてもよい。
【００７３】
しかしながら、この場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとがそれぞれ別のテーブル３２に取り付けられることになる。この場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとがそれぞれ別々の動きをしてしまう。この場合、Ｙ軸のカム駆動用モータ２７Ｙに接続される電力供給用のケーブルと、θ軸のカム駆動用モータ２７θに接続される電力供給用のケーブルとが別々の動きをしてしまうため、これらのケーブルの扱いが複雑になってしまう恐れがある。
【００７４】
一方、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙが上下逆にＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられ、カム受けブロック２３ＹがＸ軸テーブル３２Ｘに取り付けられ場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとが同じテーブル３２（Ｙ軸テーブル３２Ｙ）に取り付けられることになる。この場合、Ｙ軸のカム駆動用モータ２７Ｙに接続される電力供給用のケーブルと、θ軸のカム駆動用モータ２７θに接続された電力供給用のケーブルとが同じような動きをする。従って、これらのケーブルの扱いが複雑となってしまうことを防止することができる。
【００７５】
図７を参照して（図５も参照）、テーブル機構３０は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘ、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙ、θ軸偏心カム機構２１θそれぞれについての偏心カム２６の仮のカムストローク中心（大まかなカムストローク中心）を検出するためのセンサ部３５を有している。
【００７６】
Ｘ軸偏心カム２６Ｘの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５Ｘは、ベース３１に取り付けられた光センサ３６Ｘと、Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられたセンサ検出用の板材３７Ｘとを有する。Ｙ軸偏心カム２６Ｙの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５Ｙは、Ｙ軸テーブル３２Ｙに取り付けられた光センサ３６Ｙと、Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられたセンサ検出用の板材３７Ｙとを有する。θ軸偏心カム２６θの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５θは、Ｙ軸テーブル３２Ｙに取り付けられた光センサ３６θと、θ軸テーブル３２θに取り付けられた板材３７θとを有する。
【００７７】
光センサ３６が取り付けられる位置と、板材３７が取り付けられる位置とは、逆であってもよい。例えば、Ｘ軸について説明すると、Ｘ軸テーブル３２Ｘに光センサ３６Ｘが取り付けられ、ベース３１に板材３７Ｘが取り付けられても構わない。
【００７８】
図９は、偏心カム２６の動きと、センサ部３５との関係を示す模式図である。図９（Ａ）に示すように、偏心カム２６の回転によりテーブル３２が移動すると、テーブル３２に取り付けられた板材３７が移動する。そして、偏心カム２６が図９（Ｂ）に示す位置まで回転すると、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる。これにより、偏心カム２６の仮のカムストローク中心が検出される。図９（Ｂ）に示す偏心カム２６の位置が、偏心カム２６の仮のカムストローク中心である。
【００７９】
（基板保持機構５０の構成）
次に、図３〜図５を参照して、基板保持機構５０の構成について説明する。これらの図に示すように、基板保持機構５０は、θ軸テーブル３２θ上に配置されたベース５１と、ベース５１上に配置された２つのベルト保持部材６０と、ベース５１上に配置されたステージ支持部材６５とを有する。２つのベルト保持部材６０は、Ｙ軸方向に沿って配置され、基板９を搬送するコンベアベルト６１を保持する。ステージ支持部材６５は、基板９を吸着保持する基板吸着ステージ（図示せず）を下方から支持する。
【００８０】
θ軸テーブル３２θ上には、４本のｚ軸ガイド７１が固定され、ベース５１は、この４本のｚ軸ガイド７１上に配置される。なお、ベース５１は、ｚ軸ガイド７１には、固定されていない。ベース５１には、ベース５１の下側に向けて伸びる、ｚ軸ガイド７１にガイドされる４本のシャフト７２が固定されている。
【００８１】
θ軸テーブル３２θの中央の位置には、ロータリーボールネジ７３が設けられている。ロータリーボールネジ７３は、θ軸テーブル３２θの中央の上部に、Ｚ軸回りに回転可能に設けられたボールネジナット７４と、ボールネジナット７４の回転に応じて上下方向に移動するボールネジ７５とを含む。ボールネジ７５の上側の端部は、ベース５１の下面と当接している。
【００８２】
θ軸テーブル３２θの下側には、ロータリーボールネジ７３の駆動源としてのモータ７６が取り付けられている。このモータ７６の出力軸は、θ軸テーブル３２θの上側の位置に配置され、この出力軸と、ボールネジナット７４との間には、ベルト７７が掛けられている。これにより、モータ７６が駆動されると、ベルト７７によりモータ７６の駆動がボールネジナット７４に伝達されてボールネジナット７４が回転し、ボールネジナット７４の回転に応じて、ボールネジ７５が上下方向に移動する。ボールネジ７５が上下方向に移動すると、ベース５１の下側に設けられた４本のシャフト７２が、θ軸テーブル３２θの上側に設けられた４本のｚ軸ガイド７１に案内されつつ、ベース５１がθ軸テーブル３２θに対して上下方向に移動する。これにより、テーブル機構３０に対して、基板保持機構５０が上下方向にする。
【００８３】
ベース５１上には、２本のガイドレール５２がＸ軸方向に沿って配置されている。この２本のガイドレール上には、それぞれ、ガイドレール５２上をスライドする２つのスライド部材５３が設けられている。ベルト保持部材６０は、一方のガイドレール５２上をスライド可能なスライド部材５３と、他方のガイドレール５２上をスライド可能なスライド部材５３との上方に取り付けられている。これにより、２つのベルト保持部材６０は、それぞれＸ軸方向に沿って移動可能とされる。
【００８４】
ベース５１上において、２つのベルト保持部材６０のＸ軸方向の外側の位置には、２つのベルト保持部材６０の間の、Ｘ軸方向での幅を調整する幅調整機構５５が設けられている。ベース５１の下側には、幅調整機構５５の駆動源としての幅調整用モータ５６が取り付けられている。ベース５１上には、ベース５１の縁部に沿うようにして、複数のプーリ５７と、複数のベルト５８が設けられている。この複数のプーリ５７と、複数のベルト５８とによって、幅調整用モータ５６の駆動が幅調整機構５５に伝達される。幅調整機構５５により、基板９の幅に応じて、２つのベルト保持部材６０の間の距離を調整することができる。
【００８５】
ベルト保持部材６０の内面側には、複数のプーリ６２が回転可能に設けられている。この複数のプーリ６２に対して、Ｙ軸方向に長い形状のコンベアベルト６１が掛けられている。ベルト保持部材６０の外面側には、コンベア駆動用モータ６３が取り付けられており、コンベア駆動用モータ６３の出力軸がコンベアベルト６１に掛けられている。このコンベア駆動用モータ６３の駆動により、コンベアベルト６１が回転され、コンベアベルト６１上の基板９が搬送される。
【００８６】
ベース５１上には、４本の円柱状の支持体６６が設けられており、この４本の支持体６６上に、基板９を吸着保持する基板吸着ステージ（図示せず）を下方から支持するステージ支持部材６５が設けられている。この４本の支持体６６は、ベース５１に対するステージ支持部材６５の高さを調整可能なように構成されている。ステージ支持部材６５の中央近傍には、上下方向に貫通する穴６７が設けられており、この穴には、吸引用チューブ６８が接続される。吸引用チューブ６８は、図示しないエアコンプレッサ等に接続されている。エアコンプレッサの駆動により、基板９が基板吸着ステージによって吸着保持されて、基板９の位置ずれが防止される。
【００８７】
基板吸着ステージ上、ステージ支持部材６５上、基板保持機構５０のベース５１上、あるいは、ベルト保持部材６０上には、後述の校正シーケンス時に、撮像部８５により撮像される基準マーク８（図１２参照）が設けられる。この基準マーク８は、上記した部材上に特別に設けられてもよいし、上記部材上に既にある穴等の形状が基準マーク８として用いられてもよい。基準マーク８が設けられる位置は、典型的には、テーブル機構３０の駆動とともに移動する部材上に設けられており、かつ、撮像部８５が撮像可能な位置に設けられていれば、どのような位置に設けられていても構わない。
【００８８】
［動作説明］
次に、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００の処理について説明する。
【００８９】
（校正シーケンス）
まず、偏心カム２６の個体差によるバラつきなどに起因する、制御部によるテーブル３２の移動の指令値と、実際のテーブル３２の移動値との差を画像処理によって確認する校正シーケンスの際の処理について説明する。この校正シーケンスは、例えば、スクリーン印刷装置１００の出荷時や、スクリーン印刷装置１００のメンテナンス時に実行される。
【００９０】
図１０及び図１１は、校正シーケンス時のスクリーン印刷装置１００の処理を示す図である。まず、制御部は、各軸偏心カム機構２１の偏心カム２６を仮のカムストローク中心（大まかなカムストローク中心）に位置させる（ステップ１０１）（図９参照）。
【００９１】
この場合、まず、制御部は、各軸偏心カム機構２１のカム駆動用モータ２７を駆動させて、各軸の偏心カム２６を回転させる。偏心カム２６が回転されると、偏心カム２６の回転に追従してカム受けブロック２３が移動し（Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙでは、Ｙ軸の偏心カム２６Ｙ側が移動）、各軸のテーブル３２が移動される。各軸のテーブル３２が移動されると、センサ部３５の光センサ３６と、センサ検出用の板材３７との相対位置が変化して、特定の位置で、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる。
【００９２】
制御部は、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる位置で、カム駆動用モータ２７の駆動を停止する。これにより、各軸の偏心カム機構２１の偏心カム２６が仮のカムストローク中心に位置する。そして、各軸のテーブル３２が仮の原点位置に移動する。
【００９３】
このような処理により、制御部が実際のカムストローク中心を未だ認識していない状態（例えば、電源投入時）でも、制御部は、偏心カム２６のおおよそのカムストローク中心を認識することができる。
【００９４】
次に、制御部は、撮像部８５の移動機構により、第１の撮像部８６（下向のカメラ）の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０２）。この場合、制御部は、第１の撮像部８６によって取得された基準マーク８を含む画像の情報に基づいて、撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように撮像部８５を移動させる。図１２には、基準マーク８が撮像視野の中心に位置したときの様子が示されている。
【００９５】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの実際のカムストローク中心を測定する（ステップ１０３）。この場合、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、仮のカムストローク中心に位置する状態のＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。このＸ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて基準マーク８が第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する。制御部は、撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの実際のカムストローク中心を測定する。
【００９６】
図１３は、実際に測定された、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）の軌跡と、後述の中心位置補正後の、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）の軌跡との関係を示す図である。
【００９７】
図１３中、破線で示すように、テーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）は、偏心カム２６の回転に対して正弦波状の軌跡を描く。正弦波状の軌跡の原点位置が実際のカムストローク中心である。制御部は、この実際のカムストローク中心の位置を、第１の撮像部８６によって撮像された画像に基づいて測定する。
【００９８】
上記したように、本実施形態では、基準マーク８を第１の撮像部８６の撮像視野の中心に位置させた後に、偏心カム２６を回転させて、基準マーク８を撮像視野内で移動させているので、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。従って、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量の軌跡を正確に測定することができ、これにより、実際のカムストローク中心を正確に測定することができる。
【００９９】
次に、制御部は、測定された実際のカムストローク中心がソフトウェア上のゼロ位置となるように、設定を行なう（ステップ１０４）。図１３には、この設定が実行されたされたときの様子が示されている。
【０１００】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘが実際のカムストローク中心（ゼロ位置）に位置するようにＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させる（ステップ１０５）。
【０１０１】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘが実際のカムストローク中心に位置する状態で、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように、第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０６）。
【０１０２】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する（ステップ１０７）。この場合、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、実際のカムストローク中心に位置する状態のＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。このＸ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて基準マーク８が第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する。制御部は、撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する。
【０１０３】
このように、本実施形態では、偏心カム２６が実際のストローク中心に位置する状態から偏心カム２６が回転され、偏心カム２６の移動に応じて撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が測定される。これにより、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を正確に測定することができる。
【０１０４】
さらに、基準マーク８を第１の撮像部８６の撮像視野の中心に位置させた後に、偏心カム２６を回転させて、基準マーク８を撮像視野内で移動させているので、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。従って、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を、さらに正確に測定することができる。後述のＹ軸及びθ軸についても同様の効果を得ることができる。
【０１０５】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘを実際のカムストローク中心から所定の回転量分、回転させて、基準マーク８を特定の位置に移動させる（ステップ１０８）。そして、制御部は、撮像部８５の移動機構により、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０９）。これにより、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。
【０１０６】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する（ステップ１１０）。ステップ１１０では、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。制御部は、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する。
【０１０７】
制御部は、ステップ１０８〜１１０の処理を異なる５つのポイントで実行する（ステップ１１１）。
【０１０８】
次に、制御部は、測定によって得られた、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量と、制御部が有している、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させるための指令値とのずれ量とを算出する。そして、制御部は、算出されたずれ量に基づいて、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に用いられる移動式を補正する（ステップ１１２）。
【０１０９】
次に、制御部は、ステップ１０２〜ステップ１１２の処理をＹ軸偏心カム機構２１Ｙ、Ｙ軸テーブル３２Ｙで実行する（ステップ１１３）。
【０１１０】
次に、制御部は、Ｘ軸及びＹ軸で補正された移動式に基づいて、直交度補正量を計算し、この直交度補正量に基づいて、Ｘ軸テーブル３２Ｘ及びＹ軸テーブル３２Ｙを移動させるための移動式を修正する（ステップ１１４）。これにより、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に用いられる移動式と、Ｙ軸テーブル３２Ｙの移動に用いられる移動式とを正確に補正することができる。
【０１１１】
次に、制御部は、Ｘ軸及びＹ軸のカム駆動用モータ２７Ｘ、２７Ｙを駆動させ、Ｘ軸偏心カム２６Ｘ及びＹ軸偏心カム２６Ｙを実際のカムストローク中心（ゼロ位置）に移動させる（ステップ１１５）。そして、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘ及びＹ軸偏心カム２６Ｙが実際のカムストローク中心に位置する状態で、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように、第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１１６）。
【０１１２】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する（ステップ１１７）。ステップ１１７では、まず、制御部は、θ軸のカム駆動用モータ２７θを駆動させて、θ軸偏心カム２６θを回転させ、θ軸テーブル３２θを回転させる。制御部は、θ軸テーブル３２θの回転に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する。
【０１１３】
次に、制御部は、θ軸偏心カム２６θを所定の回転量分、回転させて、基準マーク８を特定の位置に移動させる（ステップ１１８）。そして、制御部は、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１１９）。
【０１１４】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する（ステップ１２０）。この場合、制御部は、θ軸偏心カム機構２１θのカム駆動用モータ２７を駆動させて、θ軸偏心カム２６θを回転させ、θ軸テーブル３２θを回転させる。制御部は、θ軸テーブル３２θの回転に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する。
【０１１５】
制御部は、ステップ１１８〜ステップ１２０の処理を異なる５つのポイントで実行する（ステップ１２１）。
【０１１６】
次に、制御部は、測定によって得られた、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの移動量と、制御部が有している、θ軸テーブル３２θを移動させるための指令値とのずれ量とを算出する。そして、制御部は、算出されたずれ量に基づいて、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する（ステップ１２２）。このとき、制御部は、指令値に対する、θ軸テーブル３２θのＸ軸方向及びＹ軸方向でのずれ量にも基づいて、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する。
【０１１７】
次に、制御部は、再度、ステップ１１５〜ステップ１２１を実行する（ステップ１２３）。このとき、制御部は、θ軸偏心カム２６θの回転時には、既に補正された移動式（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の補正あり）で、θ軸偏心カム２６θを回転させる。
次に、制御部は、制御部は、指令値に対する、θ軸テーブル３２θの回転量と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向でのずれ量とに基づいて、再度、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する。これにより、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を正確に補正することができる。
【０１１８】
ここで、図１３を参照して、偏心カム２６の回転範囲について説明する。偏心カム２６の回転範囲としては、カムストローク中心から±９０°の範囲で使用可能である。この範囲のうち、本実施形態では、カムストローク中心から±６０°の範囲を使用することとしている。これにより、偏心カム２６の圧力角を小さくすることができる。
【０１１９】
ここで、本実施形態では、上記したように、偏心カム２６の回転に応じて移動する基準マーク８を撮像部８５により撮像することで、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が測定されるので、偏心カム２６の形状が複雑な形状である必要がない。すなわち、偏心カム２６が略円柱形状のような単純な形状（カム曲線等が考慮されていない単純な形状）であっても、正確に偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を測定することができる。そして、偏心カム２６が略円柱形状とされることでコストをさらに削減することができる。
【０１２０】
（基準位置登録シーケンス及び基板位置決めシーケンス）
次に、基準位置登録シーケンス及び基板位置決めシーケンスについて説明する。基板位置決めシーケンスは、通常生産で実行される処理であり、スクリーン１の位置に対して基板９の位置を合わせる処理である。
【０１２１】
基板位置決めシーケンスの前に、スクリーン１の位置に対して、基板９の基準位置が登録される（基準位置登録シーケンス）。基板位置決めシーケンスでは、基準位置登録シーケンスで登録されたスクリーン１に対する基板９の位置に対して、そのとき処理される基板９の位置がＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向でどの程度ずれているのかが判定される。そして、判定されたずれ量に基づいて、テーブル機構３０によりＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向でずれ量が修正され、スクリーン１に対して基板９が正確な位置に移動される。
【０１２２】
（基準位置登録シーケンス）
まず、スクリーン１の位置に対して、基板９の基準位置が登録されるときの処理（基準位置登録シーケンス）について説明する。図１４は、基準位置登録シーケンスを示す図である。
【０１２３】
まず、作業者によりスクリーン１がスクリーン印刷装置１００に設置される（ステップ２０１）。この場合、作業者は、スクリーン１の四辺に設けられた、スクリーン１を四方向から引っ張る枠体２を、スクリーンクランプ７により上下方向から挟み込こむことで、スクリーン１をスクリーン印刷装置１００に設置する。
【０１２４】
制御部は、撮像部８５の移動機構を制御して、予め設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０２）。そして、制御部は、第２の撮像部８７（上向きのカメラ）によって、スクリーン１の下面に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０３）。
【０１２５】
次に、制御部は、撮像部８５の移動機構を制御して、予め設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０４）。そして、制御部は、第２の撮像部８７により、スクリーン１の下面に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。そして、制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０５）。
【０１２６】
制御部は、マーク位置（１）及びマーク位置（２）で撮像された、アライメントマークの画像に基づいて、スクリーン１の位置を認識する（ステップ２０６）。
【０１２７】
次に、印刷される基板９が投入される（ステップ２０７）。このとき、制御部は、コンベア駆動用モータ６３の駆動によりコンベアベルト６１を回転させて、コンベアベルト６１上で基板９を搬送し、基板９をコンベアベルト６１上の所定の位置に移動させる。そして、基板吸着ステージによって、基板９を吸着保持する。
【０１２８】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０８）。そして、制御部は、第１の撮像部８６（下向のカメラ）により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０９）。
【０１２９】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ２１０）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２１１）。
【０１３０】
（基板位置決めシーケンス）
次に、スクリーン１の位置に対して基板９の位置を合わせる基板位置決めシーケンスについて説明する。図１５は、基板位置決めシーケンスを示す図である。
【０１３１】
まず、印刷される基板９が投入される（ステップ３０１）。次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ３０２）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。
【０１３２】
次に、制御部は、基準位置として登録された画像内のアライメントマークの位置と、撮像された画像内のアライメントマークとのずれ量を測定する（ステップ３０３）。
【０１３３】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ３０４）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。
【０１３４】
次に、制御部は、基準位置として登録された画像内のアライメントマークの位置と、撮像された画像内のアライメントマークとのずれ量を測定する（ステップ３０５）。
【０１３５】
次に、制御部は、マーク位置（１）及びマーク位置（２）で測定されたアライメントマークのずれ量に基づいて、基板９が、Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸方向で正規の位置からどの程度ずれているのかを判定する（ステップ３０６）。
【０１３６】
次に、制御部は、判定されたずれ量に基づいて、各軸の偏心カム機構２１を駆動させ、各軸のテーブル３２を移動させることで、基板９のずれを修正する。本実施形態では、上記したように、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が正確とされているので、正確に基板９のずれを修正することができる。
【０１３７】
ここで、スクリーン印刷装置１００等の基板処理装置は、一般的に基板９上に設けられたアライメントマークを撮像するための撮像部８５を有している。そして、本実施形態では、基板９上のアライメントマークを撮像するための撮像部８５（第１の撮像部８６）を、基準マーク８を撮像するための撮像部８５として用いている。従って、既存の撮像部８５（アライメントマーク撮像用の撮像部８５）を基準マーク撮像用の撮像部８５として用いることができるので、基準マーク撮像用の撮像部８５を特別に基板処理装置に設ける必要がない。従って、コストをさらに削減することができる。
【０１３８】
［各種変形例］
上記した例では、テーブル機構３０が用いられる基板処理装置の一例として、スクリーン印刷装置１００を例に挙げて説明した。しかしながら、基板処理装置は、これに限られない。典型的には、基板９位置決めのためのテーブル機構３０が用いられる基板処理装置であれば、本技術は、どのような基板処理装置であっても適用可能である。
【０１３９】
本実施形態の説明では、Ｘ軸テーブル３２Ｘ、Ｙ軸テーブル３２Ｙ及びθ軸テーブル３２θの全てが偏心カム機構２１の駆動により駆動されるとして説明した。しかしながら、３つのテーブル３２のうち、１つ、あるいは、２つのテーブル３２が偏心カム機構の駆動により駆動され、他のテーブル３２が例えば、ボールネジ機構などによって駆動されても構わない。
【０１４０】
本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１） 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。
（２）上記（１）に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
（３）上記（２）に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
（４）上記（２）に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
（５）上記（３）に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
（６）上記（１）乃至（５）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。
（７）上記（１）乃至（６）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。
（８）上記（１）乃至（７）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。
（９） 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。
（１０） 基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。
（１１）基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
【符号の説明】
【０１４１】
１…スクリーン
８…基準マーク
９…基板
１０…スキージ部
２０…位置決め機構
２１…偏心カム機構
２２…偏心カム機構本体
２３…カム受けブロック
２６…偏心カム
２７…カム駆動用モータ
３０…テーブル機構
３１…ベース
３２Ｘ…Ｘ軸テーブル
３２Ｙ…Ｙ軸テーブル
３２θ…θ軸テーブル
３５…センサ部
５０…基板保持機構
８０…クリーニング部
８５…撮像部
８６…第１の撮像部
８７…第２の撮像部
９０…支持ベース
１００…スクリーン印刷装置
【技術分野】
【０００１】
本技術は、スクリーン印刷装置等の基板処理装置、基板処理装置に用いられる位置決め機構等の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、クリーム半田を基板上に印刷するスクリーン印刷装置が広く用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
スクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンの上方側にスキージが配置され、下方側に基板が配置される。スクリーン上には、クリーム半田が供給され、スキージは、スクリーン上をスライドされる。スキージがスクリーン上をスライドされると、パターン孔の下側に配置された基板にクリーム半田が印刷される。
【０００４】
スクリーンの下方側に位置する基板は、ステージによって保持され、このステージは、Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、θ軸テーブル等の位置決め機構によって支持されている。この位置決め機構によって、ステージに保持された基板がスクリーンに対して位置決めされる。Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、θ軸テーブル等は、一般的に、ボールネジと、ボールネジを回転させるモータとによって駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２３４６２７号公報
【特許文献２】特開２００７−２３７６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各軸のテーブルがボールネジ及びモータによって駆動される場合、スクリーンに対する基板の位置決め精度は、ボールネジの加工精度と、モータの回転を検出するエンコーダの精度とに依存する。近年、モータのエンコーダの性能は向上しつつあるが、ボールネジの精密加工は、依然としてコストが高いままである。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【０００９】
この基板処理装置では、テーブルを駆動させる機構として偏心カムを有する偏心カム機構が用いられているため、ボールネジ等を用いたテーブル駆動機構に比べて、コストを削減することができる。さらに、本実施形態では、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定されるので、基板の位置決め時に、偏心カムの回転により正確に基板を位置決めすることができる。
【００１０】
上記基板処理装置は、前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備していてもよい。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
【００１１】
この基板処理装置では、偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサを有しているので、基板処理装置がカムストローク中心を未だ認識していない状態（例えば、電源投入時）でも、基板処理装置は、偏心カムのおおよそのカムストローク中心を認識することができる。そして、この基板処理装置は、偏心カムがおおよそのカムストローク中心（仮のカムストローク中心）に位置する状態から偏心カムを回転させ、基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの実際のカムストローク中心を測定している。これにより、偏心カムの実際のカムストローク中心を正確に測定することができる。
【００１２】
上記基板処理装置において、前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定してもよい。
【００１３】
これにより、偏心カムが偏心カムの実際のカムストローク中心に位置する状態から、偏心カムを回転させて、基準マークを移動させることができるので、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を正確に測定することができる。
【００１４】
上記基板処理装置は、前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備していてもよい。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
【００１５】
この基板処理装置では、偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するよう撮像部が移動され、その後に、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークが撮像される。これにより、撮像部のレンズの歪みなどによって、基準マークの位置が正確に測定されなくなってしまうことを防止することができるので、さらに正確に実際のカムストローク中心を測定することができる。
【００１６】
上記基板処理装置が、前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備する場合、前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定してもよい。
【００１７】
この基板処理装置では、偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するよう撮像部が移動され、その後に、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークが撮像される。これにより、撮像部のレンズの歪みなどによって、基準マークの位置が正確に測定されなくなってしまうことを防止することができるので、さらに正確に偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定することができる。
【００１８】
上記基板処理装置において、前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有していてもよい。
【００１９】
このような機構により、偏心カムとカム受けブロックとが引き合うので、偏心カムの回転により一方向に移動させたステージを、逆方向に戻すことができる。
【００２０】
上記基板処理装置において、前記基板は、アライメントマークを有していてもよい。
この場合、前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備していてもよい。
この場合、前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられてもよい。
【００２１】
スクリーン印刷装置等の基板処理装置は、一般的に基板上に設けられたアライメントマークを撮像するための撮像部を有している。そして、この基板処理装置では、基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部が、基準マークを撮像するための撮像部として用いられている。従って、既存の撮像部（基板上のアライメントマーク撮像用の撮像部）を基準マーク撮像用の撮像部として用いることができるので、基準マーク撮像用の撮像部を特別に基板処理装置に設ける必要がない。従って、コストをさらに削減することができる。
【００２２】
上記基板処理装置において、前記偏心カムは、略円柱形状であってもよい。
【００２３】
本技術では、上記したように、偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定されるので、偏心カムの形状が複雑な形状である必要がない。すなわち、偏心カムが略円柱形状のような単純な形状（カム曲線が考慮されていない単純な形状）であっても、正確に偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定することができる。そして、この基板処理装置のように、偏心カムが略円柱形状とされることでコストをさらに削減することができる。
【００２４】
本技術の一形態に係るテーブル機構は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
【００２５】
本技術の一形態に係る位置決め方法は、基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させることを含む。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定される。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板が位置決めされる。
【００２６】
本技術の一形態に係るプログラムは、基板処理装置に、基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップを実行させる。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップを実行させる。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップを実行させる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように、本技術によれば、コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本技術の一実施形態に係るスクリーン印刷装置を示す正面図である。
【図２】スクリーン印刷装置を示す側面図である。
【図３】位置決め機構を示す斜視図である。
【図４】図３に示すＡ方向から位置決め機構を見た場合の側面図である。
【図５】図３に示すＢ方向から位置決め機構を見た場合の側面図である。
【図６】テーブル機構を示す斜視図である。
【図７】図６に示すＡ方向からテーブル機構を見た場合の斜視図である。
【図８】偏心カム機構を示す斜視図である。
【図９】偏心カムの動きと、センサ部との関係を示す模式図である。
【図１０】校正シーケンス時のスクリーン印刷装置の処理を示す図である。
【図１１】校正シーケンス時のスクリーン印刷装置の処理を示す図である。
【図１２】基準マークが撮像視野の中心に位置したときの様子を示す図である。
【図１３】実際に測定された、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量（基準マークの移動量）の軌跡と、中心位置補正後の、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量（基準マークの移動量）の軌跡との関係を示す図である。
【図１４】基準位置登録シーケンスを示す図である。
【図１５】基板位置決めシーケンスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００３０】
［スクリーン印刷装置１００の全体構成］
図１は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００を示す正面図である。図２は、スクリーン印刷装置１００を示す側面図である。なお、本明細書中で説明する、各図では、図面を分かりやすく表示するため、スクリーン印刷装置１００や、スクリーン印刷装置１００が有する各部材等の大きさを実際の寸法とは異なって表示する場合がある。
【００３１】
これらの図に示すように、スクリーン印刷装置１００（基板処理装置）は、スクリーン１と、スクリーン１をスクリーン印刷装置１００の所定位置に固定する固定部５とを備えている。また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン１の上方に配置され、クリーム半田が供給されたスクリーン１上をスライドされるスキージ部１０を備えている。
【００３２】
また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン１の下方に配置された位置決め機構２０と、撮像部８５と、クリーニング部８０とを備えている。位置決め機構２０は、スクリーン印刷の対象となる基板９をスクリーン１に対して位置決めする。撮像部８５は、基板９上に設けられたアライメントマークや、スクリーン１の下側に設けられたアライメントマーク、基板吸着ステージ上等に設けられた基準マーク８（図１２参照）等を撮像する。クリーニング部８０は、スクリーン１の下面をクリーニングする。
【００３３】
さらに、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の背面側で、スキージ部１０、クリーニング部８０及び撮像部８５を移動可能に支持する支持ベース９０を備えている。
【００３４】
なお、図示は省略しているが、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の各部を統括的に制御するＣＰU（Central Processing Unit）等の制御部を有している。また、スクリーン印刷装置１００は、制御部の作業用の領域として用いられる不揮発性のメモリと、制御部の処理に必要な各種のプログラムが記憶された不揮発性のメモリとを含む記憶部を有している。上記各種のプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。
【００３５】
スクリーン１は、基板９の配線パターンに応じたパターン孔を有している。スクリーン１は、ステンレス鋼などの金属により構成され、スクリーン１には、スクリーン１の四辺に沿って枠体２が設けられる。枠体２は、スクリーン１にたるみが生じないように、４方向から所定の張力でスクリーン１を引っ張っている。
【００３６】
スクリーン１の下面には、基板９との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられている。この２つのアライメントマークは、例えば、パターン孔が設けられた領域を挟んで対角線上の位置に配置される。これに対して、基板９上にもスクリーン１との位置合わせ用のアライメントマークが２箇所に設けられている。この２つのアライメントマークは、例えば、基板９上において、対角線上の位置に配置される。
【００３７】
スクリーン１をスクリーン印刷装置１００の所定の位置に固定する固定部５は、取り付けフレーム６と、取り付けフレーム６に設けられ、スクリーン１をクランプするスクリーンクランプ７とを有する。取り付けフレーム６は、支持ベース９０や、図示しない支持体などにより支持されている。スクリーンクランプ７は、取り付けフレーム６に複数個設けられる。スクリーンクランプ７は、スクリーン１に設けられた枠体２を上下方向から挟み込んで固定する。
【００３８】
支持ベース９０の上部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の上部案内レール９１、９２が設けられる。また、支持ベース９０下部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の下部案内レール９３、９４が設けられる。
【００３９】
上部案内レール９１、９２には、スキージ部１０を支持するキャリッジ９５が移動可能に取り付けられている。スキージ部１０及びキャリッジ９５は、例えば、ボールネジ及びモータ等で構成される駆動機構の駆動により、支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。
【００４０】
スキージ部１０は、第１のスキージ機構１１と、第１のスキージ機構１１と対称に配置される第２のスキージ機構１２とを有する。第１のスキージ機構１１及び第２のスキージ機構１２は、それぞれ、スキージ１３と、スキージ保持部材１４と、支持部材１５と、エアシリンダ１６とを含む。
【００４１】
スキージ１３は、クリーム半田が供給されたスクリーン１上をスライドされて、スクリーン１に設けられたパターン孔を介して基板９上にクリーム半田を塗布する。スキージ保持部材１４は、スキージ１３を保持し、支持部材１５は、スキージ保持部材１４を支持する。エアシリンダ１６は、支持部材１５を支持し、支持部材１５、スキージ保持部材１４及びスキージ１３を一体的に上下方向に駆動させる。
【００４２】
一方のスキージ機構が下方に位置してスクリーン１上をスライドされているとき、他方のスキージ機構は、上方に位置しており、スクリーン１には当接しない状態とされる。スクリーン１上をスライドされるスキージ機構は、交互に切り替えられる。
【００４３】
支持ベース９０の下部側に設けられた下部案内レール９３、９４には、撮像部８５を支持するキャリッジ９７と、クリーニング部８０を支持するキャリッジ９６とが移動可能に取り付けられている。
【００４４】
撮像部８５及びキャリッジ９７は、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。撮像部８５は、キャリッジ９７に対してＸ軸方向に移動可能に取り付けられており、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動によりキャリッジ９７に対してＸ軸方向に沿って移動される。これにより、撮像部８５は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に沿って移動可能とされる。
【００４５】
上記した案内レール９３、９４、キャリッジ９７、撮像部８５を駆動させる駆動機構などにより、撮像部８５を移動させる移動機構が構成される。
【００４６】
撮像部８５は、下側に向けて配置された第１の撮像部８６と、上側に向けて配置された第２の撮像部８７とを含む。下側に向けて配置された第１の撮像部８６は、基板９上に設けられたアライメントマークと、基板吸着ステージ上等に設けられた基準マーク８（図１２参照）とを撮像する。上側に向けて配置された第２の撮像部８７は、スクリーン１の下面側に設けられたアライメントマークを撮像する。
【００４７】
第１の撮像部８６及び第２の撮像部８７は、それぞれ、ＣＣＤセンサ（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳセンサ（ＣＭＯＳ：Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子と、結像レンズ等の光学系とを含む。
【００４８】
図１及び図２では、２つの撮像部８６、８７が設けられる場合の一例が示されているが、撮像部の数は、１つとすることも可能である。撮像部が１つである場合、撮像部は、例えば、Ｘ軸方向の軸を回転の中心軸として回転可能（回動可能）に構成されればよい。
【００４９】
クリーニング部８０及びキャリッジ９６は、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース９０に対してＹ軸方向に沿って移動される。クリーニング部８０は、ローラ８１と、クリーニングテープを送り出す送り出しローラ８２と、クリーニングテープを巻き取る巻き取りローラ８３とを有する。
【００５０】
クリーニング部８０がＹ軸方向に沿って移動されると、それに連動して、ローラ８１、送り出しローラ８２及び巻き取りローラ８３が回転される。送り出しローラ８２から送り出されたクリーニングテープは、スクリーン１の下面に当接しながらローラ８１の周囲を回転し、巻き取りローラ８３により巻き取られる。これにより、スクリーン１の下面がクリーニングされる。
【００５１】
［位置決め機構２０の構成］
図３は、位置決め機構２０を示す斜視図である。図４は、図３に示すＡ方向から位置決め機構２０を見た場合の側面図であり、図５は、図３に示すＢ方向から位置決め機構２０を見た場合の側面図である。
【００５２】
図３〜図５に示すように、位置決め機構２０は、基板９を位置決めするためのテーブル機構３０と、テーブル機構３０上に設けられ、基板９を保持する基板保持機構５０とを有する。
【００５３】
図６は、テーブル機構３０を示す斜視図である。図７は、図６に示すＡ方向からテーブル機構３０を見た場合の斜視図である。
【００５４】
（テーブル機構３０の構成）
図６及び図７を参照して、まず、テーブル機構３０の構成について説明する。
テーブル機構３０は、ベース３１と、ベース３１上に設けられたフレーム状のＸ軸テーブル３２Ｘと、Ｘ軸テーブル３２Ｘ上に設けられたフレーム状のＹ軸テーブル３２Ｙと、Ｙ軸テーブル３２Ｙ上に設けられたθ軸テーブル３２θとを有する。また、テーブル機構３０は、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させるＸ軸偏心カム機構２１Ｘと、Ｙ軸テーブル３２Ｙを移動させるＹ軸偏心カム機構２１Ｙと、θ軸テーブル３２θを回転（移動）させるθ軸偏心カム機構２１θとを有する。各軸の偏心カム機構２１は、同様の構成を有している。
【００５５】
ベース３１上には、Ｘ軸方向に沿って２本のガイドレール４１が設けられている。Ｘ軸テーブル３２Ｘは、この２本のガイドレール４１上にスライド可能に取り付けられたスライド部材４２上に設けられている。Ｘ軸テーブル３２Ｘ上には、Ｙ軸方向に沿って２本のガイドレール４３が設けられている。Ｙ軸テーブル３２Ｙは、この２本のガイドレール４３上にスライド可能に取り付けられたスライド部材４４上に設けられている。
【００５６】
Ｙ軸テーブル３２Ｙ上において、４つの角部の近傍には、それぞれ半球状の支持体４５が設けられる（図４、図５参照）。この４つの支持体４５によりθ軸テーブル３２θの回転が支持される。
【００５７】
θ軸テーブル３２θには、複数の穴４６が形成されている。この複数の穴４６は、基板保持機構５０を昇降させる昇降機構を取り付けたりするために用いられたり、吸引用チューブ６８を通すために用いられたりする。
【００５８】
図８は、偏心カム機構２１を示す斜視図である。図８に示すように偏心カム機構２１は、偏心カム機構本体２２と、カム受けブロック２３とを有する。偏心カム機構本体２２は、基部２４と、基部２４に回転可能に軸支される軸体２５と、軸体２５の一端部側に固定され、回転によりテーブル３２を移動させる偏心カム２６と、基部２４に取り付けられたカム駆動用モータ２７とを有する。また、偏心カム機構本体２２は、カム駆動用モータ２７の出力軸及び軸体２５の他端部側の間に掛け渡されたタイミングベルト２８と、タイミングベルト２８のテンション調整用の回転体２９とを有する。
【００５９】
偏心カム２６は、鉄、コバルト、ニッケル等の磁性体で構成される。この偏心カム２６は、カム曲線等が考慮された複雑な形状とはされておらず、単純な円柱形状とされる。
【００６０】
カム受けブロック２３は、内部にマグネットを有している。なお、カム受けブロック２３の全体がマグネットで構成されていても構わない。
【００６１】
このように、偏心カム２６が磁性体で構成され、カム受けブロック２３がマグネットで構成されているため、偏心カム２６と、カム受けブロック２３とが磁力により引き合う。従って、偏心カム２６の回転により一方向に移動させたテーブル３２を、逆方向に戻すことができる。
【００６２】
偏心カム２６の回転によりテーブル３２を移動させる場合、一端、偏心カム２６により送り出されたテーブル３２を逆方向に戻すための戻り機構が必要となる。この戻り機構として、本実施形態では、磁性体と、マグネットとが引き合う力が利用されている。
【００６３】
再び図６及び図７を参照して、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘは、ベース３１上において、ベース３１の縁部の近傍に取り付けられる。一方、Ｘ軸のカム受けブロック２３Ｘは、Ｘ軸テーブル３２Ｘの側面に取り付けられる。カム駆動用モータ２７Ｘの駆動によりＸ軸偏心カム２６Ｘが回転すると、Ｘ軸のカム受けブロック２３ＸがＸ軸偏心カム２６Ｘの回転に追従して移動し、Ｘ軸テーブル３２ＸがＸ軸方向に移動する。Ｘ軸テーブル３２ＸがＸ軸方向に移動した場合、Ｘ軸テーブル３２Ｘ上に設けられたＹ軸テーブル３２Ｙと、θ軸テーブル３２θと、基板保持機構５０とが一体的にＸ軸方向に移動する。
【００６４】
Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙは、Ｙ軸テーブル３２Ｙの側面に、上下逆に取り付けられている。一方、Ｙ軸のカム受けブロック２３Ｙは、Ｘ軸テーブル３２Ｘの側面に取り付けられる。カム駆動用モータ２７Ｙの駆動によりＹ軸偏心カム２６Ｙが回転すると、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙが取り付けられた側のＹ軸テーブル３２ＹがＹ軸偏心カム２６Ｙの回転に応じてＹ軸方向に移動する。Ｙ軸テーブル３２ＹがＹ軸方向に移動した場合、Ｙ軸テーブル３２Ｙ上に設けられたθ軸テーブル３２θと、基板保持機構５０とが一体的にＹ軸方向に移動する。
【００６５】
θ軸の偏心カム機構本体２２θは、Ｙ軸テーブル３２Ｙの側面に取り付けられる。つまり、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙの偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸偏心カム機構２１θの偏心カム機構本体２２θとは、同じテーブル３２（Ｙ軸テーブル３２Ｙ）に取り付けられる。一方、θ軸のカム受けブロック２３θは、θ軸テーブル３２θに取り付けられる。カム駆動用モータ２７θの駆動によりθ軸偏心カム２６θが回転すると、θ軸のカム受けブロック２３θがθ軸偏心カム２６θの回転に追従して移動し、θ軸テーブル３２θがＺ軸回りに回転する。θ軸テーブル３２θがＺ軸回りに回転した場合、θ軸テーブル３２θ上に設けられた基板保持機構５０が、θ軸テーブル３２θと一体的に回転する。
【００６６】
本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００では、テーブル３２を駆動させる機構として偏心カム２６を有する偏心カム機構２１が用いられている。従って、ボールネジ等を用いたテーブル３２駆動機構に比べて、コストを削減することができる。
【００６７】
さらに本実施形態では、一端、偏心カム２６により送り出されたテーブル３２を逆方向に戻すための戻り機構として、マグネットが用いられた方式が採用されているので、コスト削減及びコンパクト化の観点から有利である。一方、戻り機構としては、マグネットが用いられる方式の代わりに、例えば、バネや、エアシリンダ等を用いた方式が採用されてもよい。
【００６８】
例えば、Ｘ軸テーブル３２Ｘで説明すると、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘが設けられた側に向けてＸ軸テーブル３２Ｘを引き寄せるバネ部材がＸ軸偏心カム機構２１Ｘに設けられる。あるいは、Ｘ軸の偏心カム機構本体２２Ｘが設けられた側に向けてＸ軸テーブル３２Ｘを押し付けるエアシリンダ（あるいは、バネ部材）が、Ｘ軸テーブル３２Ｘを挟んでＸ軸の偏心カム機構本体２２Ｘとは反対側の位置に設けられる。なお、コスト削減及びコンパクト化の観点からは、上記したマグネットを用いた方式が特に有効である。
【００６９】
また、本実施形態のように、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、偏心カム機構２１をテーブル３２の外側に配置することができるので、メンテナンスが容易となる。また、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、各軸の偏心カム機構２１の部品の共通化も容易である。
【００７０】
また、偏心カム２６は、回転範囲がカムストローク中心から最大でも±９０°程度とされるので、低回転数で動作可能である。従って、カム駆動用モータ２７の選定範囲が広く、安価なカム駆動用モータ２７も使用可能である。
【００７１】
さらに、本実施形態のように、偏心カム機構２１が用いられる形態の場合、テーブル３２は、偏心カム２６の回転範囲で移動するため、可動範囲が小さい。従って、カム駆動用モータ２７が暴走した際にテーブル３２の動作を規制するための規制機構や、テーブル３２の過剰動作を検出するセンサ等も不要である。このような観点からも、本実施形態では、コスト削減が可能であることが分かる。
【００７２】
図６及び図７等に示す一例では、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙについて、偏心カム機構本体２２Ｙが上下逆にＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられ、カム受けブロック２３がＸ軸テーブル３２Ｘに取り付けられているが、これは、逆であってもよい。つまり、偏心カム機構本体２２Ｙが（上下逆でなく）Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられ、カム受けブロック２３ＹがＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられてもよい。
【００７３】
しかしながら、この場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとがそれぞれ別のテーブル３２に取り付けられることになる。この場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとがそれぞれ別々の動きをしてしまう。この場合、Ｙ軸のカム駆動用モータ２７Ｙに接続される電力供給用のケーブルと、θ軸のカム駆動用モータ２７θに接続される電力供給用のケーブルとが別々の動きをしてしまうため、これらのケーブルの扱いが複雑になってしまう恐れがある。
【００７４】
一方、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙが上下逆にＹ軸テーブル３２Ｙに取り付けられ、カム受けブロック２３ＹがＸ軸テーブル３２Ｘに取り付けられ場合、Ｙ軸の偏心カム機構本体２２Ｙと、θ軸の偏心カム機構本体２２θとが同じテーブル３２（Ｙ軸テーブル３２Ｙ）に取り付けられることになる。この場合、Ｙ軸のカム駆動用モータ２７Ｙに接続される電力供給用のケーブルと、θ軸のカム駆動用モータ２７θに接続された電力供給用のケーブルとが同じような動きをする。従って、これらのケーブルの扱いが複雑となってしまうことを防止することができる。
【００７５】
図７を参照して（図５も参照）、テーブル機構３０は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘ、Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙ、θ軸偏心カム機構２１θそれぞれについての偏心カム２６の仮のカムストローク中心（大まかなカムストローク中心）を検出するためのセンサ部３５を有している。
【００７６】
Ｘ軸偏心カム２６Ｘの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５Ｘは、ベース３１に取り付けられた光センサ３６Ｘと、Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられたセンサ検出用の板材３７Ｘとを有する。Ｙ軸偏心カム２６Ｙの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５Ｙは、Ｙ軸テーブル３２Ｙに取り付けられた光センサ３６Ｙと、Ｘ軸テーブル３２Ｘに取り付けられたセンサ検出用の板材３７Ｙとを有する。θ軸偏心カム２６θの仮のカムストローク中心を検出するセンサ部３５θは、Ｙ軸テーブル３２Ｙに取り付けられた光センサ３６θと、θ軸テーブル３２θに取り付けられた板材３７θとを有する。
【００７７】
光センサ３６が取り付けられる位置と、板材３７が取り付けられる位置とは、逆であってもよい。例えば、Ｘ軸について説明すると、Ｘ軸テーブル３２Ｘに光センサ３６Ｘが取り付けられ、ベース３１に板材３７Ｘが取り付けられても構わない。
【００７８】
図９は、偏心カム２６の動きと、センサ部３５との関係を示す模式図である。図９（Ａ）に示すように、偏心カム２６の回転によりテーブル３２が移動すると、テーブル３２に取り付けられた板材３７が移動する。そして、偏心カム２６が図９（Ｂ）に示す位置まで回転すると、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる。これにより、偏心カム２６の仮のカムストローク中心が検出される。図９（Ｂ）に示す偏心カム２６の位置が、偏心カム２６の仮のカムストローク中心である。
【００７９】
（基板保持機構５０の構成）
次に、図３〜図５を参照して、基板保持機構５０の構成について説明する。これらの図に示すように、基板保持機構５０は、θ軸テーブル３２θ上に配置されたベース５１と、ベース５１上に配置された２つのベルト保持部材６０と、ベース５１上に配置されたステージ支持部材６５とを有する。２つのベルト保持部材６０は、Ｙ軸方向に沿って配置され、基板９を搬送するコンベアベルト６１を保持する。ステージ支持部材６５は、基板９を吸着保持する基板吸着ステージ（図示せず）を下方から支持する。
【００８０】
θ軸テーブル３２θ上には、４本のｚ軸ガイド７１が固定され、ベース５１は、この４本のｚ軸ガイド７１上に配置される。なお、ベース５１は、ｚ軸ガイド７１には、固定されていない。ベース５１には、ベース５１の下側に向けて伸びる、ｚ軸ガイド７１にガイドされる４本のシャフト７２が固定されている。
【００８１】
θ軸テーブル３２θの中央の位置には、ロータリーボールネジ７３が設けられている。ロータリーボールネジ７３は、θ軸テーブル３２θの中央の上部に、Ｚ軸回りに回転可能に設けられたボールネジナット７４と、ボールネジナット７４の回転に応じて上下方向に移動するボールネジ７５とを含む。ボールネジ７５の上側の端部は、ベース５１の下面と当接している。
【００８２】
θ軸テーブル３２θの下側には、ロータリーボールネジ７３の駆動源としてのモータ７６が取り付けられている。このモータ７６の出力軸は、θ軸テーブル３２θの上側の位置に配置され、この出力軸と、ボールネジナット７４との間には、ベルト７７が掛けられている。これにより、モータ７６が駆動されると、ベルト７７によりモータ７６の駆動がボールネジナット７４に伝達されてボールネジナット７４が回転し、ボールネジナット７４の回転に応じて、ボールネジ７５が上下方向に移動する。ボールネジ７５が上下方向に移動すると、ベース５１の下側に設けられた４本のシャフト７２が、θ軸テーブル３２θの上側に設けられた４本のｚ軸ガイド７１に案内されつつ、ベース５１がθ軸テーブル３２θに対して上下方向に移動する。これにより、テーブル機構３０に対して、基板保持機構５０が上下方向にする。
【００８３】
ベース５１上には、２本のガイドレール５２がＸ軸方向に沿って配置されている。この２本のガイドレール上には、それぞれ、ガイドレール５２上をスライドする２つのスライド部材５３が設けられている。ベルト保持部材６０は、一方のガイドレール５２上をスライド可能なスライド部材５３と、他方のガイドレール５２上をスライド可能なスライド部材５３との上方に取り付けられている。これにより、２つのベルト保持部材６０は、それぞれＸ軸方向に沿って移動可能とされる。
【００８４】
ベース５１上において、２つのベルト保持部材６０のＸ軸方向の外側の位置には、２つのベルト保持部材６０の間の、Ｘ軸方向での幅を調整する幅調整機構５５が設けられている。ベース５１の下側には、幅調整機構５５の駆動源としての幅調整用モータ５６が取り付けられている。ベース５１上には、ベース５１の縁部に沿うようにして、複数のプーリ５７と、複数のベルト５８が設けられている。この複数のプーリ５７と、複数のベルト５８とによって、幅調整用モータ５６の駆動が幅調整機構５５に伝達される。幅調整機構５５により、基板９の幅に応じて、２つのベルト保持部材６０の間の距離を調整することができる。
【００８５】
ベルト保持部材６０の内面側には、複数のプーリ６２が回転可能に設けられている。この複数のプーリ６２に対して、Ｙ軸方向に長い形状のコンベアベルト６１が掛けられている。ベルト保持部材６０の外面側には、コンベア駆動用モータ６３が取り付けられており、コンベア駆動用モータ６３の出力軸がコンベアベルト６１に掛けられている。このコンベア駆動用モータ６３の駆動により、コンベアベルト６１が回転され、コンベアベルト６１上の基板９が搬送される。
【００８６】
ベース５１上には、４本の円柱状の支持体６６が設けられており、この４本の支持体６６上に、基板９を吸着保持する基板吸着ステージ（図示せず）を下方から支持するステージ支持部材６５が設けられている。この４本の支持体６６は、ベース５１に対するステージ支持部材６５の高さを調整可能なように構成されている。ステージ支持部材６５の中央近傍には、上下方向に貫通する穴６７が設けられており、この穴には、吸引用チューブ６８が接続される。吸引用チューブ６８は、図示しないエアコンプレッサ等に接続されている。エアコンプレッサの駆動により、基板９が基板吸着ステージによって吸着保持されて、基板９の位置ずれが防止される。
【００８７】
基板吸着ステージ上、ステージ支持部材６５上、基板保持機構５０のベース５１上、あるいは、ベルト保持部材６０上には、後述の校正シーケンス時に、撮像部８５により撮像される基準マーク８（図１２参照）が設けられる。この基準マーク８は、上記した部材上に特別に設けられてもよいし、上記部材上に既にある穴等の形状が基準マーク８として用いられてもよい。基準マーク８が設けられる位置は、典型的には、テーブル機構３０の駆動とともに移動する部材上に設けられており、かつ、撮像部８５が撮像可能な位置に設けられていれば、どのような位置に設けられていても構わない。
【００８８】
［動作説明］
次に、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１００の処理について説明する。
【００８９】
（校正シーケンス）
まず、偏心カム２６の個体差によるバラつきなどに起因する、制御部によるテーブル３２の移動の指令値と、実際のテーブル３２の移動値との差を画像処理によって確認する校正シーケンスの際の処理について説明する。この校正シーケンスは、例えば、スクリーン印刷装置１００の出荷時や、スクリーン印刷装置１００のメンテナンス時に実行される。
【００９０】
図１０及び図１１は、校正シーケンス時のスクリーン印刷装置１００の処理を示す図である。まず、制御部は、各軸偏心カム機構２１の偏心カム２６を仮のカムストローク中心（大まかなカムストローク中心）に位置させる（ステップ１０１）（図９参照）。
【００９１】
この場合、まず、制御部は、各軸偏心カム機構２１のカム駆動用モータ２７を駆動させて、各軸の偏心カム２６を回転させる。偏心カム２６が回転されると、偏心カム２６の回転に追従してカム受けブロック２３が移動し（Ｙ軸偏心カム機構２１Ｙでは、Ｙ軸の偏心カム２６Ｙ側が移動）、各軸のテーブル３２が移動される。各軸のテーブル３２が移動されると、センサ部３５の光センサ３６と、センサ検出用の板材３７との相対位置が変化して、特定の位置で、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる。
【００９２】
制御部は、光センサ３６による受光状態と、非受光状態とが切り替えられる位置で、カム駆動用モータ２７の駆動を停止する。これにより、各軸の偏心カム機構２１の偏心カム２６が仮のカムストローク中心に位置する。そして、各軸のテーブル３２が仮の原点位置に移動する。
【００９３】
このような処理により、制御部が実際のカムストローク中心を未だ認識していない状態（例えば、電源投入時）でも、制御部は、偏心カム２６のおおよそのカムストローク中心を認識することができる。
【００９４】
次に、制御部は、撮像部８５の移動機構により、第１の撮像部８６（下向のカメラ）の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０２）。この場合、制御部は、第１の撮像部８６によって取得された基準マーク８を含む画像の情報に基づいて、撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように撮像部８５を移動させる。図１２には、基準マーク８が撮像視野の中心に位置したときの様子が示されている。
【００９５】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの実際のカムストローク中心を測定する（ステップ１０３）。この場合、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、仮のカムストローク中心に位置する状態のＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。このＸ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて基準マーク８が第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する。制御部は、撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの実際のカムストローク中心を測定する。
【００９６】
図１３は、実際に測定された、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）の軌跡と、後述の中心位置補正後の、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）の軌跡との関係を示す図である。
【００９７】
図１３中、破線で示すように、テーブル３２の移動量（基準マーク８の移動量）は、偏心カム２６の回転に対して正弦波状の軌跡を描く。正弦波状の軌跡の原点位置が実際のカムストローク中心である。制御部は、この実際のカムストローク中心の位置を、第１の撮像部８６によって撮像された画像に基づいて測定する。
【００９８】
上記したように、本実施形態では、基準マーク８を第１の撮像部８６の撮像視野の中心に位置させた後に、偏心カム２６を回転させて、基準マーク８を撮像視野内で移動させているので、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。従って、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量の軌跡を正確に測定することができ、これにより、実際のカムストローク中心を正確に測定することができる。
【００９９】
次に、制御部は、測定された実際のカムストローク中心がソフトウェア上のゼロ位置となるように、設定を行なう（ステップ１０４）。図１３には、この設定が実行されたされたときの様子が示されている。
【０１００】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘが実際のカムストローク中心（ゼロ位置）に位置するようにＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させる（ステップ１０５）。
【０１０１】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘが実際のカムストローク中心に位置する状態で、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように、第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０６）。
【０１０２】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する（ステップ１０７）。この場合、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、実際のカムストローク中心に位置する状態のＸ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。このＸ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて基準マーク８が第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する。制御部は、撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する。
【０１０３】
このように、本実施形態では、偏心カム２６が実際のストローク中心に位置する状態から偏心カム２６が回転され、偏心カム２６の移動に応じて撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が測定される。これにより、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を正確に測定することができる。
【０１０４】
さらに、基準マーク８を第１の撮像部８６の撮像視野の中心に位置させた後に、偏心カム２６を回転させて、基準マーク８を撮像視野内で移動させているので、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。従って、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を、さらに正確に測定することができる。後述のＹ軸及びθ軸についても同様の効果を得ることができる。
【０１０５】
次に、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘを実際のカムストローク中心から所定の回転量分、回転させて、基準マーク８を特定の位置に移動させる（ステップ１０８）。そして、制御部は、撮像部８５の移動機構により、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１０９）。これにより、撮像部８５のレンズの歪みの影響を排除することができる。
【０１０６】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する（ステップ１１０）。ステップ１１０では、まず、制御部は、Ｘ軸偏心カム機構２１Ｘのカム駆動用モータ２７Ｘを駆動させて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘを回転させ、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させる。制御部は、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量を測定する。
【０１０７】
制御部は、ステップ１０８〜１１０の処理を異なる５つのポイントで実行する（ステップ１１１）。
【０１０８】
次に、制御部は、測定によって得られた、Ｘ軸偏心カム２６Ｘの回転に対するＸ軸テーブル３２Ｘの移動量と、制御部が有している、Ｘ軸テーブル３２Ｘを移動させるための指令値とのずれ量とを算出する。そして、制御部は、算出されたずれ量に基づいて、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に用いられる移動式を補正する（ステップ１１２）。
【０１０９】
次に、制御部は、ステップ１０２〜ステップ１１２の処理をＹ軸偏心カム機構２１Ｙ、Ｙ軸テーブル３２Ｙで実行する（ステップ１１３）。
【０１１０】
次に、制御部は、Ｘ軸及びＹ軸で補正された移動式に基づいて、直交度補正量を計算し、この直交度補正量に基づいて、Ｘ軸テーブル３２Ｘ及びＹ軸テーブル３２Ｙを移動させるための移動式を修正する（ステップ１１４）。これにより、Ｘ軸テーブル３２Ｘの移動に用いられる移動式と、Ｙ軸テーブル３２Ｙの移動に用いられる移動式とを正確に補正することができる。
【０１１１】
次に、制御部は、Ｘ軸及びＹ軸のカム駆動用モータ２７Ｘ、２７Ｙを駆動させ、Ｘ軸偏心カム２６Ｘ及びＹ軸偏心カム２６Ｙを実際のカムストローク中心（ゼロ位置）に移動させる（ステップ１１５）。そして、制御部は、Ｘ軸偏心カム２６Ｘ及びＹ軸偏心カム２６Ｙが実際のカムストローク中心に位置する状態で、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように、第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１１６）。
【０１１２】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する（ステップ１１７）。ステップ１１７では、まず、制御部は、θ軸のカム駆動用モータ２７θを駆動させて、θ軸偏心カム２６θを回転させ、θ軸テーブル３２θを回転させる。制御部は、θ軸テーブル３２θの回転に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する。
【０１１３】
次に、制御部は、θ軸偏心カム２６θを所定の回転量分、回転させて、基準マーク８を特定の位置に移動させる（ステップ１１８）。そして、制御部は、第１の撮像部８６の撮像視野の中心に基準マーク８が位置するように第１の撮像部８６を移動させる（ステップ１１９）。
【０１１４】
次に、制御部は、第１の撮像部８６から取得される基準マーク８を含む画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する（ステップ１２０）。この場合、制御部は、θ軸偏心カム機構２１θのカム駆動用モータ２７を駆動させて、θ軸偏心カム２６θを回転させ、θ軸テーブル３２θを回転させる。制御部は、θ軸テーブル３２θの回転に応じて第１の撮像部８６の撮像視野内で移動する基準マーク８の画像に基づいて、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの回転量を測定する。
【０１１５】
制御部は、ステップ１１８〜ステップ１２０の処理を異なる５つのポイントで実行する（ステップ１２１）。
【０１１６】
次に、制御部は、測定によって得られた、θ軸偏心カム２６θの回転に対するθ軸テーブル３２θの移動量と、制御部が有している、θ軸テーブル３２θを移動させるための指令値とのずれ量とを算出する。そして、制御部は、算出されたずれ量に基づいて、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する（ステップ１２２）。このとき、制御部は、指令値に対する、θ軸テーブル３２θのＸ軸方向及びＹ軸方向でのずれ量にも基づいて、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する。
【０１１７】
次に、制御部は、再度、ステップ１１５〜ステップ１２１を実行する（ステップ１２３）。このとき、制御部は、θ軸偏心カム２６θの回転時には、既に補正された移動式（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の補正あり）で、θ軸偏心カム２６θを回転させる。
次に、制御部は、制御部は、指令値に対する、θ軸テーブル３２θの回転量と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向でのずれ量とに基づいて、再度、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を補正する。これにより、θ軸テーブル３２θの移動に用いられる移動式を正確に補正することができる。
【０１１８】
ここで、図１３を参照して、偏心カム２６の回転範囲について説明する。偏心カム２６の回転範囲としては、カムストローク中心から±９０°の範囲で使用可能である。この範囲のうち、本実施形態では、カムストローク中心から±６０°の範囲を使用することとしている。これにより、偏心カム２６の圧力角を小さくすることができる。
【０１１９】
ここで、本実施形態では、上記したように、偏心カム２６の回転に応じて移動する基準マーク８を撮像部８５により撮像することで、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が測定されるので、偏心カム２６の形状が複雑な形状である必要がない。すなわち、偏心カム２６が略円柱形状のような単純な形状（カム曲線等が考慮されていない単純な形状）であっても、正確に偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量を測定することができる。そして、偏心カム２６が略円柱形状とされることでコストをさらに削減することができる。
【０１２０】
（基準位置登録シーケンス及び基板位置決めシーケンス）
次に、基準位置登録シーケンス及び基板位置決めシーケンスについて説明する。基板位置決めシーケンスは、通常生産で実行される処理であり、スクリーン１の位置に対して基板９の位置を合わせる処理である。
【０１２１】
基板位置決めシーケンスの前に、スクリーン１の位置に対して、基板９の基準位置が登録される（基準位置登録シーケンス）。基板位置決めシーケンスでは、基準位置登録シーケンスで登録されたスクリーン１に対する基板９の位置に対して、そのとき処理される基板９の位置がＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向でどの程度ずれているのかが判定される。そして、判定されたずれ量に基づいて、テーブル機構３０によりＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向でずれ量が修正され、スクリーン１に対して基板９が正確な位置に移動される。
【０１２２】
（基準位置登録シーケンス）
まず、スクリーン１の位置に対して、基板９の基準位置が登録されるときの処理（基準位置登録シーケンス）について説明する。図１４は、基準位置登録シーケンスを示す図である。
【０１２３】
まず、作業者によりスクリーン１がスクリーン印刷装置１００に設置される（ステップ２０１）。この場合、作業者は、スクリーン１の四辺に設けられた、スクリーン１を四方向から引っ張る枠体２を、スクリーンクランプ７により上下方向から挟み込こむことで、スクリーン１をスクリーン印刷装置１００に設置する。
【０１２４】
制御部は、撮像部８５の移動機構を制御して、予め設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０２）。そして、制御部は、第２の撮像部８７（上向きのカメラ）によって、スクリーン１の下面に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０３）。
【０１２５】
次に、制御部は、撮像部８５の移動機構を制御して、予め設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０４）。そして、制御部は、第２の撮像部８７により、スクリーン１の下面に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。そして、制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０５）。
【０１２６】
制御部は、マーク位置（１）及びマーク位置（２）で撮像された、アライメントマークの画像に基づいて、スクリーン１の位置を認識する（ステップ２０６）。
【０１２７】
次に、印刷される基板９が投入される（ステップ２０７）。このとき、制御部は、コンベア駆動用モータ６３の駆動によりコンベアベルト６１を回転させて、コンベアベルト６１上で基板９を搬送し、基板９をコンベアベルト６１上の所定の位置に移動させる。そして、基板吸着ステージによって、基板９を吸着保持する。
【０１２８】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ２０８）。そして、制御部は、第１の撮像部８６（下向のカメラ）により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２０９）。
【０１２９】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ２１０）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。制御部は、撮像された画像を基準位置として登録する（ステップ２１１）。
【０１３０】
（基板位置決めシーケンス）
次に、スクリーン１の位置に対して基板９の位置を合わせる基板位置決めシーケンスについて説明する。図１５は、基板位置決めシーケンスを示す図である。
【０１３１】
まず、印刷される基板９が投入される（ステップ３０１）。次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（１）に撮像部８５を移動させる（ステップ３０２）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの一方のアライメントマークを撮像する。
【０１３２】
次に、制御部は、基準位置として登録された画像内のアライメントマークの位置と、撮像された画像内のアライメントマークとのずれ量を測定する（ステップ３０３）。
【０１３３】
次に、制御部は、スクリーン１の位置補正を考慮し、設定されたマーク位置（２）に撮像部８５を移動させる（ステップ３０４）。そして、制御部は、第１の撮像部８６により、基板９上に設けられた２つのアライメントマークのうちの他方のアライメントマークを撮像する。
【０１３４】
次に、制御部は、基準位置として登録された画像内のアライメントマークの位置と、撮像された画像内のアライメントマークとのずれ量を測定する（ステップ３０５）。
【０１３５】
次に、制御部は、マーク位置（１）及びマーク位置（２）で測定されたアライメントマークのずれ量に基づいて、基板９が、Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸方向で正規の位置からどの程度ずれているのかを判定する（ステップ３０６）。
【０１３６】
次に、制御部は、判定されたずれ量に基づいて、各軸の偏心カム機構２１を駆動させ、各軸のテーブル３２を移動させることで、基板９のずれを修正する。本実施形態では、上記したように、偏心カム２６の回転に対するテーブル３２の移動量が正確とされているので、正確に基板９のずれを修正することができる。
【０１３７】
ここで、スクリーン印刷装置１００等の基板処理装置は、一般的に基板９上に設けられたアライメントマークを撮像するための撮像部８５を有している。そして、本実施形態では、基板９上のアライメントマークを撮像するための撮像部８５（第１の撮像部８６）を、基準マーク８を撮像するための撮像部８５として用いている。従って、既存の撮像部８５（アライメントマーク撮像用の撮像部８５）を基準マーク撮像用の撮像部８５として用いることができるので、基準マーク撮像用の撮像部８５を特別に基板処理装置に設ける必要がない。従って、コストをさらに削減することができる。
【０１３８】
［各種変形例］
上記した例では、テーブル機構３０が用いられる基板処理装置の一例として、スクリーン印刷装置１００を例に挙げて説明した。しかしながら、基板処理装置は、これに限られない。典型的には、基板９位置決めのためのテーブル機構３０が用いられる基板処理装置であれば、本技術は、どのような基板処理装置であっても適用可能である。
【０１３９】
本実施形態の説明では、Ｘ軸テーブル３２Ｘ、Ｙ軸テーブル３２Ｙ及びθ軸テーブル３２θの全てが偏心カム機構２１の駆動により駆動されるとして説明した。しかしながら、３つのテーブル３２のうち、１つ、あるいは、２つのテーブル３２が偏心カム機構の駆動により駆動され、他のテーブル３２が例えば、ボールネジ機構などによって駆動されても構わない。
【０１４０】
本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１） 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。
（２）上記（１）に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
（３）上記（２）に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
（４）上記（２）に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
（５）上記（３）に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
（６）上記（１）乃至（５）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。
（７）上記（１）乃至（６）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。
（８）上記（１）乃至（７）のうち、何れか１つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。
（９） 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。
（１０） 基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。
（１１）基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
【符号の説明】
【０１４１】
１…スクリーン
８…基準マーク
９…基板
１０…スキージ部
２０…位置決め機構
２１…偏心カム機構
２２…偏心カム機構本体
２３…カム受けブロック
２６…偏心カム
２７…カム駆動用モータ
３０…テーブル機構
３１…ベース
３２Ｘ…Ｘ軸テーブル
３２Ｙ…Ｙ軸テーブル
３２θ…θ軸テーブル
３５…センサ部
５０…基板保持機構
８０…クリーニング部
８５…撮像部
８６…第１の撮像部
８７…第２の撮像部
９０…支持ベース
１００…スクリーン印刷装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
【請求項４】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。
【請求項７】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。
【請求項８】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。
【請求項９】
基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。
【請求項１０】
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。
【請求項１１】
基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
【請求項１】
基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
【請求項４】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。
【請求項７】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。
【請求項８】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。
【請求項９】
基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。
【請求項１０】
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。
【請求項１１】
基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１３−９５０５１（Ｐ２０１３−９５０５１Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３９６５８（Ｐ２０１１−２３９６５８）
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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