基板処理装置のためのスケジュール作成方法およびスケジュール作成プログラム

【課題】枚葉型の基板処理装置に適したスケジュール作成方法およびスケジュール作成プログラムを提供する。
【解決手段】スケジュール作成方法は、基板を一枚ずつ処理する枚葉型の処理ユニットＳＰＩＮを有する基板処理装置の動作を時系列に従って規定する方法である。制御部２１は、第１の基板群に対して処理ユニットＳＰＩＮの使用権を設定する第１使用権を設定する。また、制御部２１は、処理ユニットＳＰＩＮの使用権が第１の基板群に対して設定されているときに、第１の基板群の基板の処理ユニットＳＰＩＮによる処理を表す第１処理ブロックの配置を許容する一方で、他の基板群の基板の処理ユニットＳＰＩＮによる処理を表す処理ブロックの配置を禁止する。さらに、制御部２１は、第１の基板群に対する処理ユニットＳＰＩＮの使用権を削除し、その後に、第２の基板群に対して処理ユニットＳＰＩＮの使用権を設定する。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を一枚ずつ処理する枚葉型の処理ユニットを有する基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを前記基板処理装置に備えられた制御部が作成するための方法であって、
前記制御部が、共通の処理を施すべき第１の基板群に対して前記処理ユニットの使用権を設定する第１使用権設定ステップと、
前記制御部が、前記処理ユニットの使用権が前記第１の基板群に対して設定されているときに、当該第１の基板群の基板の前記処理ユニットによる処理を表す第１処理ブロックの配置を許容する一方で、他の基板群の基板の前記処理ユニットによる処理を表す処理ブロックの配置を禁止する第１処理ブロック配置ステップと、
前記制御部が、前記第１の基板群に対する前記処理ユニットの使用権を削除するステップと、
前記制御部が、前記第１の基板群に対して設定された前記処理ユニットの使用権が削除された後に、共通の処理を施すべき第２の基板群に対して前記処理ユニットの使用権を設定する第２使用権設定ステップと、
前記制御部が、前記処理ユニットの使用権が前記第２の基板群に対して設定されているときに、当該第２の基板群の基板の前記処理ユニットによる処理を表す第２処理ブロックの配置を許容する一方で、他の基板群の基板の前記処理ユニットによる処理を表す処理ブロックの配置を禁止する第２処理ブロック配置ステップとを含む、スケジュール作成方法。
【請求項２】
前記第１の基板群に対する前記処理ユニットの使用権を削除するステップが、前記第１の基板群に属する全ての基板に対するスケジューリングの完了直後に実行される、請求項１に記載のスケジュール作成方法。
【請求項３】
前記基板処理装置が複数の処理ユニットを含み、
前記第１の基板群を構成する基板が前記複数の処理ユニットのうちの第１の処理ユニット群において処理可能であり、
前記第２の基板群を構成する基板が前記複数の処理ユニットのうち、前記第１の処理ユニット群に属する少なくとも一つの処理ユニットを含む第２の処理ユニット群において処理可能であり、
前記第２処理ブロック配置ステップが、前記第１処理ブロックと干渉しないように前記第２処理ブロックを配置するステップを含む、請求項２に記載のスケジューリング方法。
【請求項４】
前記基板処理装置が複数の処理ユニットを含み、
前記第１の基板群を構成する基板が前記複数の処理ユニットのうちの第１の処理ユニット群において処理可能であり、
前記第２の基板群を構成する基板が前記複数の処理ユニットのうち前記第１の処理ユニット群に属する処理ユニットと前記第１の処理ユニット群に属さない処理ユニットとを含む第２の処理ユニット群において処理可能であり、
前記制御部が、前記第１の基板群に対して前記第１の処理ユニット群の使用権が設定されているときに、前記第２の基板群に対して前記第２の処理ユニット群のうち前記第１処理ユニット群に属さない処理ユニットの使用権を設定する第３使用権設定ステップをさらに含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のスケジュール作成方法。
【請求項５】
前記第２の処理ユニット群のうち前記第１処理ユニット群に属さない処理ユニットの最終使用時刻が他の処理ユニットの最終使用時刻よりも早いときに、前記制御部が、前記第３使用権設定ステップを実行する、請求項４に記載のスケジュール作成方法。
【請求項６】
前記基板処理装置が、複数枚の基板をそれぞれ保持して同時に搬送できる複数の基板保持ハンドを有する基板搬送ユニットを含み、
前記制御部が、前記基板搬送ユニットによって同時に搬送される複数枚の基板の搬送をそれぞれ表す複数の搬送ブロックを時間軸上で重なり合うように配置するステップをさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のスケジュール作成方法。
【請求項７】
基板を一枚ずつ処理する枚葉型の処理ユニットを有する基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを作成するためのコンピュータプログラムであって、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法を前記制御部としてのコンピュータに実行させるようにステップ群が組み込まれたコンピュータプログラム。

【図１】