基板処理装置
【課題】 薬液収納容器を容易に交換できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 LED表示部75の各LED76は、各容器71の配置形態と略同一となるように配置される。容器71内の薬液が空になると、対応するLED表示部75のLED76が点灯する。オペレータは、容器71を交換する作業に先立ち、バーコードリーダ82によって未使用容器71のバーコード72を読み取る。バーコードリーダ照合機83は、未使用容器71のバーコードデータと、データベースに登録されており点灯中のLED76に対応する容器71のバーコードデータとを照合する。そして、バーコードリーダ照合機83によって両容器71の薬液種類が同一であると判断された場合、LED76の表示は点灯表示から点滅表示に移行させられる。これにより、容易に交換対象となる空の容器71の配置位置を容易に把握でき、容器71の交換ミスを有効に防止できる。
【解決手段】 LED表示部75の各LED76は、各容器71の配置形態と略同一となるように配置される。容器71内の薬液が空になると、対応するLED表示部75のLED76が点灯する。オペレータは、容器71を交換する作業に先立ち、バーコードリーダ82によって未使用容器71のバーコード72を読み取る。バーコードリーダ照合機83は、未使用容器71のバーコードデータと、データベースに登録されており点灯中のLED76に対応する容器71のバーコードデータとを照合する。そして、バーコードリーダ照合機83によって両容器71の薬液種類が同一であると判断された場合、LED76の表示は点灯表示から点滅表示に移行させられる。これにより、容易に交換対象となる空の容器71の配置位置を容易に把握でき、容器71の交換ミスを有効に防止できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、単に「基板」と称する)に対して所定の処理を施す基板処理に関するもので、特に、薬液収納容器の薬液状況を告知する手法の改良に関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、薬液収納容器のデータ表示部から読み取られたデータに基づいて薬液収納容器を交換する方法が知られている(例えば、特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】特開平11−319686号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、特許文献1の第3実施形態に記載された薬液収納容器の交換方法において、交換対象となる薬液収納容器の表示部は、読取部によって薬液収納容器のデータ表示部(バーコード)が読み取られた後でなければ点灯しない。そのため、基板処理装置のオペレータ(以下、単に「オペレータ」と呼ぶ)が薬液収納容器の配置部にて交換作業を行う場合、読取部によって読み取られるまでは、いずれの薬液収納容器が交換対象なのかを把握することができない。
【0005】
また、配置部には複数の薬液収納容器が配置されており、薬液状況を表示する表示部は対応する薬液収納容器に付随して設けられている。すなわち、各表示部は配置部に散在して設けられている。そのため、オペレータは、交換作業を行う際において、この散在した複数の表示部のうちいずれが点灯しているかを探さなければならない。その結果、どの場所に配置された薬液収納容器を交換すべきかを容易に認識することができない。
【0006】
そこで、本発明では、薬液収納容器を容易に交換できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、前記表示部の表示動作を制御することにより、前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することを、前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することを、可能とする制御部と、を備える。
【0008】
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の基板処理装置において、前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、をさらに備え、前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする。
【0009】
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、前記第1の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする。
【0010】
また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、前記第2の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする。
【0011】
また、請求項5の発明は、請求項3または請求項4に記載の基板処理装置において、前記表示部の各表示要素は、各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されることを特徴とする。
【0012】
また、請求項6の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする。
【0013】
また、請求項7の発明は、請求項6に記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする。
【0014】
また、請求項8の発明は、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置において、前記制御部は、前記配置位置と前記薬液種類の対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【0015】
請求項1から請求項7に記載の発明によれば、薬液が使用されて空となった薬液収納容器を、その配置位置に対応させて表示する第1の表示によって告知できる。また、読取部によって未使用の薬液収納容器に関するデータを読み取ることにより、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものの配置位置を第2の表示によって告知できる。これにより、オペレータは、この第1の表示および第2の表示を確認することによって、空となった薬液収納容器のうち、この未使用の薬液収納容器と交換すべきものを容易に把握することができ、薬液収納容器を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、薬液収納容器の交換ミスが発生することを有効に防止できる。
【0016】
特に、請求項2に記載の発明によれば、読取部によって各薬液収納容器から読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定することができ、薬液種類の判定をこのデータ部分を比較することによって実行できる。すなわち、各薬液収納容器に収納される薬液種類が同一であるか否かの判定には、薬液種類に関するデータ以外のものは使用されない。そのため、薬液種類の判定において、比較する複数の薬液収納容器に同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。
【0017】
特に、請求項3に記載の発明によれば、対応する表示要素を点灯させる第1の表示により、空の薬液収納容器が配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0018】
特に、請求項4に記載の発明によれば、対応する表示要素を点滅させる第2の表示により、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものが配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、交換対象となる空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0019】
特に、請求項5に記載の発明によれば、表示部の各表示要素が各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されるため、オペレータは、空の薬液収納容器や交換対象となる薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0020】
特に、請求項6に記載の発明によれば、表示部が対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されるため、オペレータは、表示部を確認しつつ薬液収納容器を交換する作業を行うことができる。
【0021】
特に、請求項7に記載の発明によれば、表示部はキャビネット部の外側側面に配設されるため、オペレータは、空となった薬液収納容器の場所や交換対象となる薬液収納容器の場所を装置の外部から容易に把握することができる。
【0022】
特に、請求項8に記載の発明によれば、確認モードが能動化された場合において、読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知できる。そのため、オペレータは、この第3の表示を確認することによって各配置位置と薬液の対応関係を容易に確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0023】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0024】
<1.基板処理装置の構成>
図1は、本発明の実施の形態の基板処理装置100の平面図である。図2および図3は、基板処理装置100の正面図である。ここで、基板処理装置100は、基板上に反射防止膜、フォトレジスト膜、およびカバー膜をこの順番で形成するとともに、露光処理が完了した基板に対して現像処理を施す装置である。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
【0025】
図1に示すように、基板処理装置100は、主として、インデクサブロック1と、基板に対して所定の薬液処理を施す3つの処理ブロック(具体的には、バークブロック2、レジスト塗布ブロック3、現像処理ブロック4)と、インターフェイスブロック5と、を備え、これらブロック1〜5は並設して配置される。また、インターフェイスブロック5には、基板処理装置100と別体の外部装置である露光装置(ステッパー)が並設される。なお、以下の説明において、「処理液」は、純水および薬液を含む概念として使用する。
【0026】
インデクサブロック1は、基板処理装置100の外部から供給される未処理の基板を受け入れるとともに、基板処理装置100にて所定の処理が完了した基板を外部へ払い出す処理ブロックである。図1に示すように、インデクサブロック1は、複数のキャリアC(本実施形態では4個)を並べて載置する載置台11と、各キャリアCから未処理の基板Wを取り出すとともに、各キャリアCに処理済みの基板Wを収納する基板移載機構12とを備える。
【0027】
基板移載機構12は、載置台11に沿って(Y軸方向に沿って)水平移動可能な可動台12aを備えており、この可動台12aに基板Wを水平姿勢で保持する保持アーム12bが搭載されている。保持アーム12bは、可動台12a上を昇降(Z軸方向)移動、水平面内の旋回移動、および旋回半径方向に進退移動可能に構成される。
【0028】
これにより、基板移載機構12は、保持アーム12bを各キャリアCにアクセスさせて未処理の基板Wの取り出して基板載置部PASS1に搬送すること、および、後述するバークブロック2の基板載置部PASS2から受け取った処理済みの基板Wを対応するキャリアCに収納することができる。
【0029】
キャビネット部17は、図2および図3に示すように、基板移載機構12の搬送空間16の下方に配置される。キャビネット部17の内部には、基板処理装置100に電力を供給するための電源、および、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管や薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部17の詳細については後述する。
【0030】
バークブロック2では、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させるための反射防止膜を形成する処理が施される。図1に示すように、バークブロック2は、主として、(1)複数の塗布処理ユニット26を積層配置した下地塗布処理部BRCと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した2つの熱処理タワー21と、(3)下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21に含まれる各ユニットと、基板載置部PASS1〜PASS4との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR1と、を備える。
【0031】
下地塗布処理部BRCの各塗布処理ユニット26では、基板を回転保持しつつ基板に薬液を供給することにより、基板表面に反射防止膜を形成することができる。そのため、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させ、良好な露光処理が可能となる。
【0032】
キャビネット部27は、図2および図3に示すように、下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21の下方に配置される。キャビネット部27の内部には、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部27の詳細については後述する。
【0033】
レジスト塗布ブロック3では、反射防止膜が形成された基板上にレジストの薄膜を形成する処理が施される。図1に示すように、レジスト塗布ブロック3は、主として、(1)複数の塗布処理ユニット36を積層配置したレジスト塗布処理部SCと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した2つの熱処理タワー31と、(3)熱処理タワー31およびレジスト塗布処理部SCに含まれる各ユニットと、基板載置部PASS3〜PASS6との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR2と、を備える。
【0034】
レジスト塗布処理部SCの各塗布処理ユニット36では、基板を回転保持しつつ基板に薬液(レジスト)を供給することにより、反射防止膜の上にレジスト膜を形成することができる。また、塗布処理ユニット36では、レジスト膜が形成されるとともに、基板の周縁部や基板の裏面に付着したレジストを除去するエッジリンスおよびバックリンス処理も実行される。
【0035】
キャビネット部37は、図2および図3に示すように、レジスト塗布処理部SCおよび熱処理タワー31の下方に配置される。キャビネット部37の内部には、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部37の詳細については後述する。
【0036】
現像処理ブロック4では、露光処理が完了した基板に所定のタイミングで熱処理を実行する露光後ベーク処理と、露光処理が完了した基板上に現像液を供給することによって実行される現像処理と、が施される。図1に示すように、現像処理ブロック4は、主として、(1)複数の現像処理ユニット46を積層配置した現像処理部SDと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した熱処理タワー41、42と、(3)現像処理部SDおよび熱処理タワー41、42に含まれる各ユニットと、基板載置部PASS5〜PASS8との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR3と、を備える。現像処理ユニット46では、現像液による現像処理、純水によるリンス処理、基板を保持しつつ回転することによって基板に付着した純水を振り切る乾燥処理が施される。
【0037】
なお、基板載置部PASS7、PASS8は、熱処理タワー42において、ホットプレートおよび冷却プレートとともに積層配置される。また、露光後ベーク処理は、インターフェイスブロック5側に設けられた熱処理タワー42の熱処理ユニットにおいて実行される。
【0038】
インターフェイスブロック5は、基板処理装置100の外部装置として使用される露光装置EXPとの間で基板の授受を行う。インターフェイスブロック5は、主として、(1)露光装置EXPとの間で基板の受渡しを行う搬送機構55と、(2)露光装置EXPによる露光処理が施されていない基板を一時的に蓄積するセンドバッファSBFと、(3)露光処理が完了した基板を一時的に蓄積するリターンバッファRBFと、(4)現像処理ブロック4の熱処理タワー42に配置された熱処理ユニット、および基板載置部PASS7〜PASS10のそれぞれとの間で基板の授受を行う搬送ロボットTR4と、を備える。
【0039】
搬送機構55は、反射防止膜、およびレジスト膜の形成が完了して基板載置部PASS9に載置された基板を、露光装置に搬入する。また、搬送機構55は、露光処理が完了した基板を基板載置部PASS10に載置する。さらに、露光装置が基板の受け入れをできない場合、インタフェイスIFBは、未露光基板をセンドバッファSBFに搬送する。
【0040】
なお、ハードウェアの構成上、熱処理タワー42に積層配置された熱処理ユニットにて熱処理が完了した基板をリターンバッファRBFに搬送する処理は搬送ロボットTR4によって実行される。
【0041】
図4は、キャビネット部17、27、37の平面図である。図5は、薬液収納容器71の一例を示す図である。ここで、各薬液収納容器71には、レジスト、反射防止膜、および現像液等の薬液が収納される。また、薬液収納容器(以下、単に「容器」と呼ぶ)71の本体部73には、その容器に関するデータが記録されたバーコード72が設けられる。さらに、本実施の形態において容器に関するデータとは、容器内部に収納された薬液の種類に関するデータだけでなく、薬液の製造番号等の薬液の種類以外のデータを含む。
【0042】
キャビネット部17は、図2および図3に示すように、インデクサブロック1の下部であって基板移載機構12の搬送空間16の下方に配設される。キャビネット部17の内部には、図4に示すように、扉19a、19b側に設けられており、複数の容器71を収納する収納部18a、18bが、それぞれ配置される。
【0043】
したがって、オペレータは、扉19a、19bを開放することにより、収納部18a、18bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。なお、本実施の形態において、収納部18a、18bのそれぞれには、8本の容器71が収納される。
【0044】
収納部18aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。例えば、収納部18aに収納される容器71のうち扉19a側から見て向かって左最前列のもの(容器71a)、向かって右最前列のもの(容器71b)、向かって左最後列のもの(容器71c)、および向かって右最後列のもの(容器71d)には、それぞれ「1」、「2」、「7」、および「8」が「配置番号」として割り当てられる。
【0045】
また、収納部18bに収納される容器71のうち扉19b側から見て向かって左最前列のもの(容器71e)、向かって右最前列のもの(容器71f)、向かって左最後列のもの(容器71g)、および向かって右最後列のもの(容器71h)には、それぞれ「9」、「10」、「15」、および「16」が「配置番号」として割り当てられる。
【0046】
キャビネット部27は、図2および図3に示すように、バークブロック2の下部であって下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21の下方に配設される。キャビネット部27の内部には、図4に示すように、扉29a、29b側に設けられており、複数(本実施の形態では2本)の容器71を収納する収納部28a、28bが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉29a、29bを開放することにより、収納部28a、28bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。
【0047】
収納部28aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。すなわち、収納部28aに収納される容器71のうち扉29a側から見て向かって左端部のものから順に「17」、「18」が「配置番号」として割り当てられる。
【0048】
また、収納部28bに収納される各容器71にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉29b側からみて向かって左の端部のものから順に「19」、「20」が「配置番号」として割り当てられる。
【0049】
キャビネット部37は、図2および図3に示すように、レジスト塗布ブロック3の下部であってレジスト塗布処理部SCおよび熱処理タワー31の下方に配設される。キャビネット部37に内部には、図4に示すように、扉39a、39b側に設けられており、複数(本実施の形態では2本)の容器71を収納する収納部38a、38bが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉39a、39bを開放することにより、収納部38a、38bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。
【0050】
収納部38aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉39a側から見て向かって左端部のものから順に「21」、「22」が「配置番号」として割り当てられる。
【0051】
また、収納部38bにおいて各容器71が配置される場所にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉39b側からみて向かって左端部のものから順に「23」、「24」が「配置番号」として割り当てられる。
【0052】
このように、本実施の形態において、各収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bのそれぞれに配置される容器71は、「配置番号」によって一意に識別可能とされる。また、「配置番号」に基づいて各容器71の配置場所を特定することができる。
【0053】
<2.キャビネット部付近の構成>
図6は、基板処理装置100の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。図7は、バーコードリーダ照合機83の正面図である。図8および図9は、バーコードリーダ照合機83によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。ここでは、図2、図3、図6ないし図9を参照しつつ、キャビネット部17、27、37付近のハードウェア構成について説明する。
【0054】
図2に示すように、バークブロック2の側面のうち下地塗布処理部BRC側のものには、液晶表示部81とバーコードリーダ82aとバーコードリーダ照合機83とが、それぞれ配設される。また、図3に示すように、バークブロック2の側面のうち熱処理タワー21側のものには、バーコードリーダ82bが配設される。
【0055】
液晶表示部81は、指や専用のペンで画面に触れることにより、画面上の位置を指定することができる「タッチパネル」としての機能を有する表示部である。したがって、オペレータは、液晶表示部81に表示された内容に基づいて液晶表示部81の「タッチパネル」機能を使用した指示を行うことにより、基板処理装置100の動作状態について指示できる。また、基板処理装置100において基板の処理不良等の問題が発生した場合、液晶表示部81に警告およびその警告内容を表示できる。
【0056】
図2および図3に示すように、扉19a、19bの外側側面には、それぞれ収納部18a、18bに収納された容器71の薬液状況を告知するLED表示部75(75a、75b)が取り付けられる。すなわち、LED表示部75a、75bは、キャビネット部17の扉19a、19bに配設される。
【0057】
LED表示部75a、75bのそれぞれは、複数(本実施の形態では8個:各収納部18a、18bに収納される容器71の本数と同一)のLED76を有する。各LED76は、対応する容器71の薬液状況(例えば、容器内の薬液残量がゼロであること、または交換対象の容器であること等)をオペレータに対して告知する表示要素である。図2および図3に示すように、LED表示部75(75a、75b)の各表示要素76は、収納部18(18a、18b)に収納される容器71の配置形態と略同一となるように配置される。
【0058】
すなわち、LED表示部75aのLED76a、76b、76c、76dは、それぞれ収納部18aの容器71a、71b、71c、71dの薬液状況を告知する。また、LED表示部75bのLED76e、76f、76g、76hは、それぞれ収納部18bの容器71e、71f、71g、71hの薬液状況を告知する。
【0059】
扉29a、29b、39a、39bの外側側面には、それぞれ収納部28a、28b、38a、38bに収納された容器71の薬液状況を告知するLED表示部75(75c〜75f)が取り付けられる。すなわち、LED表示部75c、75dはキャビネット部27の扉29a、29bに、LED表示部75e、75fはキャビネット部37の扉39a、39bに、それぞれ配設される。
【0060】
各LED表示部75c〜75fのそれぞれは、複数(本実施の形態では2個:各収納部28a、28b、38a、38b)に収納される容器71の本数と同一)のLED76を有する。また、LED表示部75(75c〜75f)の各表示要素76は、収納部28a、28b、38a、38bに収納される容器71の配置形態と略同一となるように配置される。
【0061】
したがって、オペレータは、LED表示部75の表示(例えば、後述する各LED76の点灯・点滅表示)を確認することにより、空の容器71や交換対象となる容器71が配置される場所を容易に把握することができる。このように、LED表示部75は、各容器71の薬液状況を告知する表示部として使用される。
【0062】
また、各LED表示部75(75a〜75f)は、対応する収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bの付近に配設されるため、オペレータはLED表示部75を確認しつつ容器71の交換作業を行うことができる。
【0063】
さらに、各LED表示部75は、基板処理装置100の外部に配設されているため、オペレータは、扉19a、19b、29a、29b、39a、39bを開放することなく基板処理装置100の外部から、空となった容器71や交換対象となる容器71の配置位置を把握できる。
【0064】
バーコードリーダ82は、容器71の本体部73に設けられたバーコード72を読み取る読取部である。図6に示すように、バーコードリーダ82は、信号線84を介してバーコードリーダ照合機83と電気的に接続されており、バーコード72に記録された容器71に関するデータ(情報)をバーコードリーダ照合機83に入力する。
【0065】
バーコードリーダ照合機83は、(1)バーコードリーダ82によって各容器71のバーコード72から読み取られたデータ(以下、「バーコードデータ」とも呼ぶ)を、各容器71の配置された場所に対応する「配置番号」と関連付けて登録するとともに、(2)制御部90からの要求に応じて、またはバーコードリーダ82から入力されたデータに基づいて、登録されたデータを照合する機器である。
【0066】
図6および図7に示すように、バーコードリーダ照合機83は、主として、バーコードデータに関する処理を実行する制御要素としてのROM83a、RAM83b、およびCPU83cと、データ表示部85と、キー86とを備える。
【0067】
ROM83aは読出し専用メモリーであり、バーコードデータの登録および照合処理に必要となるプログラムPが格納される。また、RAM83bは読み書き自在のメモリーであり、収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bに割り当てられた「配置番号」とバーコードデータとを関連付けて登録したデータベースDBが格納される。なお、以下の説明において、データベースDBは「配置番号」および「バーコードデータ」から構成されるレコードを複数有する。
【0068】
CPU83cは、ROM83aに格納されたプログラムPによる制御を実行する演算処理ユニットである。これにより、バーコードリーダ照合機83は、バーコードデータの登録や照合等の処理を所定のタイミングで実行することができる。すなわち、CPU83cは、バーコードデータの登録部および照合部として使用される。
【0069】
データ表示部85には、バーコードリーダ82から入力されたバーコードデータや、オペレータのキー86の操作によって入力されたデータが表示される。また、オペレータは、所定のキー86を操作することにより、データ表示部85に表示されたデータをRAM83bに格納されたデータベースDBに登録したり、データベースDBの登録内容を修正することができる。
【0070】
ここで、本実施の形態において、データベースDBには、各容器71のバーコード72に記録されるデータのうち薬液種類に関するデータが、各容器71の配置位置と対応させられて登録される。しかし、上述のようにバーコードデータには、その内部に収納された薬液種類に関するデータだけでなく、薬液種類以外のデータも記録されている場合がある。したがって、バーコードデータに薬液種類以外のデータが含まれる場合には、薬液種類に関するデータのみを抽出してデータベースDBに登録する必要がある。そこで、以下では、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースDBに登録する手法、およびデータベースDBに登録されたデータと照合する手法について説明する。
【0071】
まず、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースDBに登録する手法について、バーコードリーダ82によってバーコードリーダ照合機83に入力されたバーコードデータが「49127256」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位4桁(すなわち、「4912」)と下位2桁(すなわち、「56」)とが薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。
【0072】
オペレータは、バーコードリーダ照合機83のキー86を操作して薬液種類に関するデータ以外の文字、すなわち、バーコードデータのうち下位3桁および4桁目を「?」と置換することにより(図8参照)、薬液種類に関するデータの場所を指定する。
【0073】
そして、オペレータは、所定のキー86を操作することにより、修正したバーコードデータ「4912??56」を「配置番号」と関連付けてデータベースDBに登録する。このように、バーコードリーダ照合機83は、薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部としても使用される。
【0074】
ここで、「?」は、任意の文字の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「?」で指定された場所は、文字種類の指定がされていないことを示す。したがって、バーコードリーダ82から入力されたデータとデータベースDBに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースDBに登録されたデータ「4912??56」とバーコードリーダ82から入力されたデータ「49128356」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機83は、両データは同一であると判断する。
【0075】
また、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定する他の方法について、バーコードリーダ82によってバーコードリーダ照合機83に入力されたバーコードデータが「49127256」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位4桁(すなわち、「4912」)が薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。
【0076】
オペレータは、薬液種類に関するデータの場所を指定するため、薬液種類に関するデータ以外の部分、すなわち、バーコードデータのうち上位5桁目以降の文字列を「!」と置換する(図9参照)。そして、オペレータがキー86を操作することにより、「4912!」が「配置番号」と関連付けられてデータベースDBに登録される。
【0077】
ここで、「!」は、任意の文字列(文字列の長さが「0」以上)の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「!」で指定された場所は、文字種類の指定がされていない文字列、または文字が存在しないことを示す。したがって、バーコードリーダ82から入力されたデータとデータベースDBに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースDBに登録されたデータ「4912!」とバーコードリーダ82から入力されたデータ「49128356」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機83は、両データは同一であると判断する。
【0078】
このように、本実施の形態では、バーコードリーダ82によって入力されたバーコードデータの一部を「?」または「!」の特殊文字と置換したものをバーコードデータとしてデータベースDBに登録し、この特殊文字を含むバーコードデータと照合することにより、薬液種類の同一性を判定することができる。すなわち、本実施の形態において、容器71間の薬液種類の同一性を判定する処理では、バーコード72に薬液種類に関するデータ以外のものが含まれている場合であっても、特殊文字を使用することにより指定された薬液種類に関するデータのみが使用される。
【0079】
そのため、容器71間の薬液種類の判定において、同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。例えば、「49127256」と、「49128356」とは、バーコードデータとしては相違する。しかし、「49127256」のうち下位3桁および4桁を「?」と置換することにより、「4912??56」と、「49128356」とは、薬液種類に関するデータのみが照合されることになり、両データは同一と判断される。
【0080】
そのため、薬液種類に関するデータ以外を含むバーコード間で薬液種類の同一性を判断する処理を容易に実行することができる。
【0081】
制御部90は、図1および図6に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ91と、メモリ91に格納されたプログラムに従った制御を実行するCPU92とを備える。また、制御部90は、各容器71の薬液残量を検出する薬液検出部74、液晶表示部81、LED表示部75、およびバーコードリーダ照合機83等と信号線94を介して電気的に接続される。
【0082】
したがって、CPU92は、メモリ91に格納されたプログラムにしたがって、液晶表示部81およびLED表示部75の表示動作等を所定のタイミングで実行することができる。また、CPU92は、バーコードリーダ照合機83に対して照合処理等を所定のタイミングで実行させることができる。
【0083】
<3.LED表示部による薬液状況の告知>
図10ないし図12は、LED表示部75による薬液状況の告知方法を説明するための図である。ここでは、LED表示部75(75a〜75f)によってオペレータに各容器71の薬液状況を告知する手法について説明する。なお、図10ないし図12において、ハッチングされていないLED76は、消灯中であることを示す。
【0084】
本実施の形態の基板処理装置100の動作状況が通常モードの場合、薬液検出部74(図6参照)によって容器71内の薬液が空になったことが検出されると、対応するLED76が点灯表示される。例えば、収納部18aの容器71a、71dの薬液が空となると、対応するLED表示部75aのLED76a、76dが点灯する。すなわち、LED表示部75aは、LED76a、76dの点灯表示により、オペレータに対して対応する容器71a、71dが空となったことを告知できる。これにより、オペレータは、基板処理装置100外部に配置されたLED表示部75の表示状況を確認することにより、いずれの収納部18のいずれの位置に配置された容器の薬液が空になったかを容易に把握できる。
【0085】
また、LED表示部75の所定のLED76が点灯表示された後において、オペレータは、容器71の交換作業に先立ち、バーコードリーダ82によって未使用容器71のバーコード72を読み取る。バーコードリーダ照合機83に未使用容器71のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機83は、未使用容器71のバーコードデータと、データベースDBに登録されており、点灯中のLED76に対応する容器71のバーコードデータとを照合する。
【0086】
そして、バーコードリーダ照合機83によって両容器71の薬液種類が同一であると判断された場合、制御部90は対応するLED76の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。オペレータは、LED表示部75の表示状況を確認することにより、この点滅表示するLED76に対応する配置位置の容器71が、未使用容器71と交換されるべきものであることを容易に把握できる。例えば、図12に示すように、LED76dが点灯表示から点滅表示に移行した場合、オペレータは、LED76dに対応する配置位置の容器71を未使用容器71と交換する。その結果、容器71の交換ミスが発生することを防止できる。
【0087】
これに対して、両容器71の薬液種類が同一でないと判断された場合、LED76は点灯表示のままとされる。また、バーコード72を読み取った未使用容器71には交換すべき薬液が収納されていないという旨のメッセージが液晶表示部81に表示される。
【0088】
このように、オペレータは、LED表示部75の点灯表示および点滅表示を確認することにより、未使用容器71を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、容器71の交換ミスが発生することを有効に防止できる。
【0089】
また、本実施の形態の基板処理装置100では、薬液が空となった場合に限らず、バーコードリーダ82によって読み取った容器(例えば、未使用容器)71と同一の薬液が収納された容器71が、収納部18a、18b、28a、28b、38a、39bのいずれの場所に配置されるかを、LED表示部75によってオペレータに告知することができる。すなわち、オペレータは、薬液種類と容器71の配置位置との対応関係を確認することができる。
【0090】
この確認作業において、オペレータは、バーコードリーダ照合機83のキー86を操作して、基板処理装置100の動作状況を、通常モードから確認モードに切り替える。すなわち、オペレータは、キー86を操作することにより確認モードを能動化することができる。次に、オペレータは、確認したい薬液が収納された容器71のバーコード72をバーコードリーダ82によって読み取る。
【0091】
バーコードリーダ照合機83に容器71のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機83は、この読み取られたバーコードデータと、データベースDBに登録されたバーコードデータとを照合する。続いて、バーコードリーダ照合機83は、データベースDBから読み取られたバーコードデータと同一のレコードを抽出する。そして、抽出された各レコードの「配置番号」を制御部90に送信する。バーコードリーダ照合機83からの「配置番号」を受信した制御部90は、LED表示部75(75a〜75f)のLED76のうち、対応する「配置番号」のLED76を点灯させる。
【0092】
なお、本実施の形態の確認モードにおいて、薬液種類と容器71の配置位置との関連付け状況をLED表示部75(75a〜75f)に表示させた後に、さらにバーコードリーダ82によって別の容器71のバーコード72が読み取られた場合、この別の容器71の薬液種類に関する関連付け状況がLED表示部75(75a〜75f)に表示される。そして、オペレータが基板処理装置100の動作状況を確認モードから通常モードに移行させることにより、関連付け状況の確認作業が終了する。
【0093】
このように、オペレータは、確認対象となる薬液の収納された容器71をバーコードリーダ82によって読み取ることにより、確認対象となる薬液の収納された容器71の配置位置に対応するLED76を点灯させることができる。すなわち、各LED表示部75(75a〜75f)のLED76を点灯表示させることにより、オペレータに対して同一の薬液が収納された容器71の配置位置を告知することができる。そのため、オペレータは、LED表示部75の表示を見ることにより、確認対象となる薬液が配置される場所を容易に把握することができる。
【0094】
<4.本実施の形態の基板処理装置の利点>
以上のように、本実施の形態の基板処理装置100は、容器71内の薬液が空となった場合、対応するLED76を点灯させる。また、本実施の形態の基板処理装置100は、空となった容器71を未使用容器71と交換する作業に先立ち、未使用容器71のバーコード72を読み取り、両容器71に収納される薬液が同一であるか否かの判定処理を行う。そして、容器71の薬液が同一の場合には、交換対象となる空の容器71に対応するLED76の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。これにより、オペレータは、空となった容器71のうち、未使用容器71と交換すべきものを容易に把握することができる。そのため、容器71の交換ミスの発生を有効に防止できる。
【0095】
<5.変形例>
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
【0096】
(1)また、本実施の形態において、表示要素76はLEDであるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、蛍光灯、ハロゲンランプ、白熱電球であってもよい。
【0097】
(2)また、本実施の形態において、各LED表示部75(75a〜75f)は、対応する扉19a、19b、29a、29b、39a、39bの外側に取り付けられるものとして説明したが、これに限定されるものではない。外側に配設されたLED表示部75(75a〜75f)と同様なものを、各扉19a、19b、29a、29b、39a、39bの内側に配設してもよい。これにより、オペレータは、扉を開いて容器71の交換作業を行う場合であっても、扉の内側に配設されたLED表示部75によって交換位置を確認することができる。
【0098】
(3)また、本実施の形態において、各容器71には薬液が収納されているものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、純水であってもよい。
【0099】
(4)さらに、本実施の形態において、データベースDBの各レコードは、「配置番号」および「バーコードデータ」の2つのデータから構成されるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、各レコードは、3つ以上のデータから構成されても良い。
【図面の簡単な説明】
【0100】
【図1】本発明の実施の形態における基板処理装置の平面図である。
【図2】本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。
【図3】本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。
【図4】キャビネット部の平面図である。
【図5】薬液収納容器の一例を示す図である。
【図6】基板処理装置の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。
【図7】バーコードリーダ照合機の正面図である。
【図8】バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。
【図9】バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。
【図10】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【図11】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【図12】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【0101】
1 インデクサブロック
2 バークブロック
3 レジスト塗布ブロック
4 現像処理ブロック
5 インターフェイスブロック
19(19a、19b)、29(29a、29b)、39(39a、39b) 扉
17、27、37 キャビネット部
18(18a、18b)、28(28a、28b)、38(38a、38b) 収納部
71(71a〜71h) 薬液収納容器
75(75a〜75f) LED表示部
76(76a〜76h) LED(表示要素)
81 液晶表示部
82 バーコードリーダ
83 バーコードリーダ照合機
85 データ表示部
86 キー
100 基板処理装置
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、単に「基板」と称する)に対して所定の処理を施す基板処理に関するもので、特に、薬液収納容器の薬液状況を告知する手法の改良に関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、薬液収納容器のデータ表示部から読み取られたデータに基づいて薬液収納容器を交換する方法が知られている(例えば、特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】特開平11−319686号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、特許文献1の第3実施形態に記載された薬液収納容器の交換方法において、交換対象となる薬液収納容器の表示部は、読取部によって薬液収納容器のデータ表示部(バーコード)が読み取られた後でなければ点灯しない。そのため、基板処理装置のオペレータ(以下、単に「オペレータ」と呼ぶ)が薬液収納容器の配置部にて交換作業を行う場合、読取部によって読み取られるまでは、いずれの薬液収納容器が交換対象なのかを把握することができない。
【0005】
また、配置部には複数の薬液収納容器が配置されており、薬液状況を表示する表示部は対応する薬液収納容器に付随して設けられている。すなわち、各表示部は配置部に散在して設けられている。そのため、オペレータは、交換作業を行う際において、この散在した複数の表示部のうちいずれが点灯しているかを探さなければならない。その結果、どの場所に配置された薬液収納容器を交換すべきかを容易に認識することができない。
【0006】
そこで、本発明では、薬液収納容器を容易に交換できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、前記表示部の表示動作を制御することにより、前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することを、前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することを、可能とする制御部と、を備える。
【0008】
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の基板処理装置において、前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、をさらに備え、前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする。
【0009】
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、前記第1の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする。
【0010】
また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、前記第2の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする。
【0011】
また、請求項5の発明は、請求項3または請求項4に記載の基板処理装置において、前記表示部の各表示要素は、各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されることを特徴とする。
【0012】
また、請求項6の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする。
【0013】
また、請求項7の発明は、請求項6に記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする。
【0014】
また、請求項8の発明は、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置において、前記制御部は、前記配置位置と前記薬液種類の対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【0015】
請求項1から請求項7に記載の発明によれば、薬液が使用されて空となった薬液収納容器を、その配置位置に対応させて表示する第1の表示によって告知できる。また、読取部によって未使用の薬液収納容器に関するデータを読み取ることにより、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものの配置位置を第2の表示によって告知できる。これにより、オペレータは、この第1の表示および第2の表示を確認することによって、空となった薬液収納容器のうち、この未使用の薬液収納容器と交換すべきものを容易に把握することができ、薬液収納容器を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、薬液収納容器の交換ミスが発生することを有効に防止できる。
【0016】
特に、請求項2に記載の発明によれば、読取部によって各薬液収納容器から読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定することができ、薬液種類の判定をこのデータ部分を比較することによって実行できる。すなわち、各薬液収納容器に収納される薬液種類が同一であるか否かの判定には、薬液種類に関するデータ以外のものは使用されない。そのため、薬液種類の判定において、比較する複数の薬液収納容器に同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。
【0017】
特に、請求項3に記載の発明によれば、対応する表示要素を点灯させる第1の表示により、空の薬液収納容器が配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0018】
特に、請求項4に記載の発明によれば、対応する表示要素を点滅させる第2の表示により、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものが配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、交換対象となる空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0019】
特に、請求項5に記載の発明によれば、表示部の各表示要素が各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されるため、オペレータは、空の薬液収納容器や交換対象となる薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。
【0020】
特に、請求項6に記載の発明によれば、表示部が対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されるため、オペレータは、表示部を確認しつつ薬液収納容器を交換する作業を行うことができる。
【0021】
特に、請求項7に記載の発明によれば、表示部はキャビネット部の外側側面に配設されるため、オペレータは、空となった薬液収納容器の場所や交換対象となる薬液収納容器の場所を装置の外部から容易に把握することができる。
【0022】
特に、請求項8に記載の発明によれば、確認モードが能動化された場合において、読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知できる。そのため、オペレータは、この第3の表示を確認することによって各配置位置と薬液の対応関係を容易に確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0023】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0024】
<1.基板処理装置の構成>
図1は、本発明の実施の形態の基板処理装置100の平面図である。図2および図3は、基板処理装置100の正面図である。ここで、基板処理装置100は、基板上に反射防止膜、フォトレジスト膜、およびカバー膜をこの順番で形成するとともに、露光処理が完了した基板に対して現像処理を施す装置である。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
【0025】
図1に示すように、基板処理装置100は、主として、インデクサブロック1と、基板に対して所定の薬液処理を施す3つの処理ブロック(具体的には、バークブロック2、レジスト塗布ブロック3、現像処理ブロック4)と、インターフェイスブロック5と、を備え、これらブロック1〜5は並設して配置される。また、インターフェイスブロック5には、基板処理装置100と別体の外部装置である露光装置(ステッパー)が並設される。なお、以下の説明において、「処理液」は、純水および薬液を含む概念として使用する。
【0026】
インデクサブロック1は、基板処理装置100の外部から供給される未処理の基板を受け入れるとともに、基板処理装置100にて所定の処理が完了した基板を外部へ払い出す処理ブロックである。図1に示すように、インデクサブロック1は、複数のキャリアC(本実施形態では4個)を並べて載置する載置台11と、各キャリアCから未処理の基板Wを取り出すとともに、各キャリアCに処理済みの基板Wを収納する基板移載機構12とを備える。
【0027】
基板移載機構12は、載置台11に沿って(Y軸方向に沿って)水平移動可能な可動台12aを備えており、この可動台12aに基板Wを水平姿勢で保持する保持アーム12bが搭載されている。保持アーム12bは、可動台12a上を昇降(Z軸方向)移動、水平面内の旋回移動、および旋回半径方向に進退移動可能に構成される。
【0028】
これにより、基板移載機構12は、保持アーム12bを各キャリアCにアクセスさせて未処理の基板Wの取り出して基板載置部PASS1に搬送すること、および、後述するバークブロック2の基板載置部PASS2から受け取った処理済みの基板Wを対応するキャリアCに収納することができる。
【0029】
キャビネット部17は、図2および図3に示すように、基板移載機構12の搬送空間16の下方に配置される。キャビネット部17の内部には、基板処理装置100に電力を供給するための電源、および、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管や薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部17の詳細については後述する。
【0030】
バークブロック2では、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させるための反射防止膜を形成する処理が施される。図1に示すように、バークブロック2は、主として、(1)複数の塗布処理ユニット26を積層配置した下地塗布処理部BRCと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した2つの熱処理タワー21と、(3)下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21に含まれる各ユニットと、基板載置部PASS1〜PASS4との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR1と、を備える。
【0031】
下地塗布処理部BRCの各塗布処理ユニット26では、基板を回転保持しつつ基板に薬液を供給することにより、基板表面に反射防止膜を形成することができる。そのため、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させ、良好な露光処理が可能となる。
【0032】
キャビネット部27は、図2および図3に示すように、下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21の下方に配置される。キャビネット部27の内部には、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部27の詳細については後述する。
【0033】
レジスト塗布ブロック3では、反射防止膜が形成された基板上にレジストの薄膜を形成する処理が施される。図1に示すように、レジスト塗布ブロック3は、主として、(1)複数の塗布処理ユニット36を積層配置したレジスト塗布処理部SCと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した2つの熱処理タワー31と、(3)熱処理タワー31およびレジスト塗布処理部SCに含まれる各ユニットと、基板載置部PASS3〜PASS6との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR2と、を備える。
【0034】
レジスト塗布処理部SCの各塗布処理ユニット36では、基板を回転保持しつつ基板に薬液(レジスト)を供給することにより、反射防止膜の上にレジスト膜を形成することができる。また、塗布処理ユニット36では、レジスト膜が形成されるとともに、基板の周縁部や基板の裏面に付着したレジストを除去するエッジリンスおよびバックリンス処理も実行される。
【0035】
キャビネット部37は、図2および図3に示すように、レジスト塗布処理部SCおよび熱処理タワー31の下方に配置される。キャビネット部37の内部には、各ブロック1〜5に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部37の詳細については後述する。
【0036】
現像処理ブロック4では、露光処理が完了した基板に所定のタイミングで熱処理を実行する露光後ベーク処理と、露光処理が完了した基板上に現像液を供給することによって実行される現像処理と、が施される。図1に示すように、現像処理ブロック4は、主として、(1)複数の現像処理ユニット46を積層配置した現像処理部SDと、(2)複数の熱処理ユニット(ホットプレートおよび冷却プレート等)を積層配置した熱処理タワー41、42と、(3)現像処理部SDおよび熱処理タワー41、42に含まれる各ユニットと、基板載置部PASS5〜PASS8との間で基板の授受を行う搬送ロボットTR3と、を備える。現像処理ユニット46では、現像液による現像処理、純水によるリンス処理、基板を保持しつつ回転することによって基板に付着した純水を振り切る乾燥処理が施される。
【0037】
なお、基板載置部PASS7、PASS8は、熱処理タワー42において、ホットプレートおよび冷却プレートとともに積層配置される。また、露光後ベーク処理は、インターフェイスブロック5側に設けられた熱処理タワー42の熱処理ユニットにおいて実行される。
【0038】
インターフェイスブロック5は、基板処理装置100の外部装置として使用される露光装置EXPとの間で基板の授受を行う。インターフェイスブロック5は、主として、(1)露光装置EXPとの間で基板の受渡しを行う搬送機構55と、(2)露光装置EXPによる露光処理が施されていない基板を一時的に蓄積するセンドバッファSBFと、(3)露光処理が完了した基板を一時的に蓄積するリターンバッファRBFと、(4)現像処理ブロック4の熱処理タワー42に配置された熱処理ユニット、および基板載置部PASS7〜PASS10のそれぞれとの間で基板の授受を行う搬送ロボットTR4と、を備える。
【0039】
搬送機構55は、反射防止膜、およびレジスト膜の形成が完了して基板載置部PASS9に載置された基板を、露光装置に搬入する。また、搬送機構55は、露光処理が完了した基板を基板載置部PASS10に載置する。さらに、露光装置が基板の受け入れをできない場合、インタフェイスIFBは、未露光基板をセンドバッファSBFに搬送する。
【0040】
なお、ハードウェアの構成上、熱処理タワー42に積層配置された熱処理ユニットにて熱処理が完了した基板をリターンバッファRBFに搬送する処理は搬送ロボットTR4によって実行される。
【0041】
図4は、キャビネット部17、27、37の平面図である。図5は、薬液収納容器71の一例を示す図である。ここで、各薬液収納容器71には、レジスト、反射防止膜、および現像液等の薬液が収納される。また、薬液収納容器(以下、単に「容器」と呼ぶ)71の本体部73には、その容器に関するデータが記録されたバーコード72が設けられる。さらに、本実施の形態において容器に関するデータとは、容器内部に収納された薬液の種類に関するデータだけでなく、薬液の製造番号等の薬液の種類以外のデータを含む。
【0042】
キャビネット部17は、図2および図3に示すように、インデクサブロック1の下部であって基板移載機構12の搬送空間16の下方に配設される。キャビネット部17の内部には、図4に示すように、扉19a、19b側に設けられており、複数の容器71を収納する収納部18a、18bが、それぞれ配置される。
【0043】
したがって、オペレータは、扉19a、19bを開放することにより、収納部18a、18bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。なお、本実施の形態において、収納部18a、18bのそれぞれには、8本の容器71が収納される。
【0044】
収納部18aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。例えば、収納部18aに収納される容器71のうち扉19a側から見て向かって左最前列のもの(容器71a)、向かって右最前列のもの(容器71b)、向かって左最後列のもの(容器71c)、および向かって右最後列のもの(容器71d)には、それぞれ「1」、「2」、「7」、および「8」が「配置番号」として割り当てられる。
【0045】
また、収納部18bに収納される容器71のうち扉19b側から見て向かって左最前列のもの(容器71e)、向かって右最前列のもの(容器71f)、向かって左最後列のもの(容器71g)、および向かって右最後列のもの(容器71h)には、それぞれ「9」、「10」、「15」、および「16」が「配置番号」として割り当てられる。
【0046】
キャビネット部27は、図2および図3に示すように、バークブロック2の下部であって下地塗布処理部BRCおよび熱処理タワー21の下方に配設される。キャビネット部27の内部には、図4に示すように、扉29a、29b側に設けられており、複数(本実施の形態では2本)の容器71を収納する収納部28a、28bが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉29a、29bを開放することにより、収納部28a、28bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。
【0047】
収納部28aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。すなわち、収納部28aに収納される容器71のうち扉29a側から見て向かって左端部のものから順に「17」、「18」が「配置番号」として割り当てられる。
【0048】
また、収納部28bに収納される各容器71にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉29b側からみて向かって左の端部のものから順に「19」、「20」が「配置番号」として割り当てられる。
【0049】
キャビネット部37は、図2および図3に示すように、レジスト塗布ブロック3の下部であってレジスト塗布処理部SCおよび熱処理タワー31の下方に配設される。キャビネット部37に内部には、図4に示すように、扉39a、39b側に設けられており、複数(本実施の形態では2本)の容器71を収納する収納部38a、38bが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉39a、39bを開放することにより、収納部38a、38bに収納された容器71の交換作業等を行うことができる。
【0050】
収納部38aにおいて各容器71が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉39a側から見て向かって左端部のものから順に「21」、「22」が「配置番号」として割り当てられる。
【0051】
また、収納部38bにおいて各容器71が配置される場所にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉39b側からみて向かって左端部のものから順に「23」、「24」が「配置番号」として割り当てられる。
【0052】
このように、本実施の形態において、各収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bのそれぞれに配置される容器71は、「配置番号」によって一意に識別可能とされる。また、「配置番号」に基づいて各容器71の配置場所を特定することができる。
【0053】
<2.キャビネット部付近の構成>
図6は、基板処理装置100の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。図7は、バーコードリーダ照合機83の正面図である。図8および図9は、バーコードリーダ照合機83によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。ここでは、図2、図3、図6ないし図9を参照しつつ、キャビネット部17、27、37付近のハードウェア構成について説明する。
【0054】
図2に示すように、バークブロック2の側面のうち下地塗布処理部BRC側のものには、液晶表示部81とバーコードリーダ82aとバーコードリーダ照合機83とが、それぞれ配設される。また、図3に示すように、バークブロック2の側面のうち熱処理タワー21側のものには、バーコードリーダ82bが配設される。
【0055】
液晶表示部81は、指や専用のペンで画面に触れることにより、画面上の位置を指定することができる「タッチパネル」としての機能を有する表示部である。したがって、オペレータは、液晶表示部81に表示された内容に基づいて液晶表示部81の「タッチパネル」機能を使用した指示を行うことにより、基板処理装置100の動作状態について指示できる。また、基板処理装置100において基板の処理不良等の問題が発生した場合、液晶表示部81に警告およびその警告内容を表示できる。
【0056】
図2および図3に示すように、扉19a、19bの外側側面には、それぞれ収納部18a、18bに収納された容器71の薬液状況を告知するLED表示部75(75a、75b)が取り付けられる。すなわち、LED表示部75a、75bは、キャビネット部17の扉19a、19bに配設される。
【0057】
LED表示部75a、75bのそれぞれは、複数(本実施の形態では8個:各収納部18a、18bに収納される容器71の本数と同一)のLED76を有する。各LED76は、対応する容器71の薬液状況(例えば、容器内の薬液残量がゼロであること、または交換対象の容器であること等)をオペレータに対して告知する表示要素である。図2および図3に示すように、LED表示部75(75a、75b)の各表示要素76は、収納部18(18a、18b)に収納される容器71の配置形態と略同一となるように配置される。
【0058】
すなわち、LED表示部75aのLED76a、76b、76c、76dは、それぞれ収納部18aの容器71a、71b、71c、71dの薬液状況を告知する。また、LED表示部75bのLED76e、76f、76g、76hは、それぞれ収納部18bの容器71e、71f、71g、71hの薬液状況を告知する。
【0059】
扉29a、29b、39a、39bの外側側面には、それぞれ収納部28a、28b、38a、38bに収納された容器71の薬液状況を告知するLED表示部75(75c〜75f)が取り付けられる。すなわち、LED表示部75c、75dはキャビネット部27の扉29a、29bに、LED表示部75e、75fはキャビネット部37の扉39a、39bに、それぞれ配設される。
【0060】
各LED表示部75c〜75fのそれぞれは、複数(本実施の形態では2個:各収納部28a、28b、38a、38b)に収納される容器71の本数と同一)のLED76を有する。また、LED表示部75(75c〜75f)の各表示要素76は、収納部28a、28b、38a、38bに収納される容器71の配置形態と略同一となるように配置される。
【0061】
したがって、オペレータは、LED表示部75の表示(例えば、後述する各LED76の点灯・点滅表示)を確認することにより、空の容器71や交換対象となる容器71が配置される場所を容易に把握することができる。このように、LED表示部75は、各容器71の薬液状況を告知する表示部として使用される。
【0062】
また、各LED表示部75(75a〜75f)は、対応する収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bの付近に配設されるため、オペレータはLED表示部75を確認しつつ容器71の交換作業を行うことができる。
【0063】
さらに、各LED表示部75は、基板処理装置100の外部に配設されているため、オペレータは、扉19a、19b、29a、29b、39a、39bを開放することなく基板処理装置100の外部から、空となった容器71や交換対象となる容器71の配置位置を把握できる。
【0064】
バーコードリーダ82は、容器71の本体部73に設けられたバーコード72を読み取る読取部である。図6に示すように、バーコードリーダ82は、信号線84を介してバーコードリーダ照合機83と電気的に接続されており、バーコード72に記録された容器71に関するデータ(情報)をバーコードリーダ照合機83に入力する。
【0065】
バーコードリーダ照合機83は、(1)バーコードリーダ82によって各容器71のバーコード72から読み取られたデータ(以下、「バーコードデータ」とも呼ぶ)を、各容器71の配置された場所に対応する「配置番号」と関連付けて登録するとともに、(2)制御部90からの要求に応じて、またはバーコードリーダ82から入力されたデータに基づいて、登録されたデータを照合する機器である。
【0066】
図6および図7に示すように、バーコードリーダ照合機83は、主として、バーコードデータに関する処理を実行する制御要素としてのROM83a、RAM83b、およびCPU83cと、データ表示部85と、キー86とを備える。
【0067】
ROM83aは読出し専用メモリーであり、バーコードデータの登録および照合処理に必要となるプログラムPが格納される。また、RAM83bは読み書き自在のメモリーであり、収納部18a、18b、28a、28b、38a、38bに割り当てられた「配置番号」とバーコードデータとを関連付けて登録したデータベースDBが格納される。なお、以下の説明において、データベースDBは「配置番号」および「バーコードデータ」から構成されるレコードを複数有する。
【0068】
CPU83cは、ROM83aに格納されたプログラムPによる制御を実行する演算処理ユニットである。これにより、バーコードリーダ照合機83は、バーコードデータの登録や照合等の処理を所定のタイミングで実行することができる。すなわち、CPU83cは、バーコードデータの登録部および照合部として使用される。
【0069】
データ表示部85には、バーコードリーダ82から入力されたバーコードデータや、オペレータのキー86の操作によって入力されたデータが表示される。また、オペレータは、所定のキー86を操作することにより、データ表示部85に表示されたデータをRAM83bに格納されたデータベースDBに登録したり、データベースDBの登録内容を修正することができる。
【0070】
ここで、本実施の形態において、データベースDBには、各容器71のバーコード72に記録されるデータのうち薬液種類に関するデータが、各容器71の配置位置と対応させられて登録される。しかし、上述のようにバーコードデータには、その内部に収納された薬液種類に関するデータだけでなく、薬液種類以外のデータも記録されている場合がある。したがって、バーコードデータに薬液種類以外のデータが含まれる場合には、薬液種類に関するデータのみを抽出してデータベースDBに登録する必要がある。そこで、以下では、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースDBに登録する手法、およびデータベースDBに登録されたデータと照合する手法について説明する。
【0071】
まず、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースDBに登録する手法について、バーコードリーダ82によってバーコードリーダ照合機83に入力されたバーコードデータが「49127256」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位4桁(すなわち、「4912」)と下位2桁(すなわち、「56」)とが薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。
【0072】
オペレータは、バーコードリーダ照合機83のキー86を操作して薬液種類に関するデータ以外の文字、すなわち、バーコードデータのうち下位3桁および4桁目を「?」と置換することにより(図8参照)、薬液種類に関するデータの場所を指定する。
【0073】
そして、オペレータは、所定のキー86を操作することにより、修正したバーコードデータ「4912??56」を「配置番号」と関連付けてデータベースDBに登録する。このように、バーコードリーダ照合機83は、薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部としても使用される。
【0074】
ここで、「?」は、任意の文字の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「?」で指定された場所は、文字種類の指定がされていないことを示す。したがって、バーコードリーダ82から入力されたデータとデータベースDBに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースDBに登録されたデータ「4912??56」とバーコードリーダ82から入力されたデータ「49128356」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機83は、両データは同一であると判断する。
【0075】
また、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定する他の方法について、バーコードリーダ82によってバーコードリーダ照合機83に入力されたバーコードデータが「49127256」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位4桁(すなわち、「4912」)が薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。
【0076】
オペレータは、薬液種類に関するデータの場所を指定するため、薬液種類に関するデータ以外の部分、すなわち、バーコードデータのうち上位5桁目以降の文字列を「!」と置換する(図9参照)。そして、オペレータがキー86を操作することにより、「4912!」が「配置番号」と関連付けられてデータベースDBに登録される。
【0077】
ここで、「!」は、任意の文字列(文字列の長さが「0」以上)の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「!」で指定された場所は、文字種類の指定がされていない文字列、または文字が存在しないことを示す。したがって、バーコードリーダ82から入力されたデータとデータベースDBに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースDBに登録されたデータ「4912!」とバーコードリーダ82から入力されたデータ「49128356」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機83は、両データは同一であると判断する。
【0078】
このように、本実施の形態では、バーコードリーダ82によって入力されたバーコードデータの一部を「?」または「!」の特殊文字と置換したものをバーコードデータとしてデータベースDBに登録し、この特殊文字を含むバーコードデータと照合することにより、薬液種類の同一性を判定することができる。すなわち、本実施の形態において、容器71間の薬液種類の同一性を判定する処理では、バーコード72に薬液種類に関するデータ以外のものが含まれている場合であっても、特殊文字を使用することにより指定された薬液種類に関するデータのみが使用される。
【0079】
そのため、容器71間の薬液種類の判定において、同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。例えば、「49127256」と、「49128356」とは、バーコードデータとしては相違する。しかし、「49127256」のうち下位3桁および4桁を「?」と置換することにより、「4912??56」と、「49128356」とは、薬液種類に関するデータのみが照合されることになり、両データは同一と判断される。
【0080】
そのため、薬液種類に関するデータ以外を含むバーコード間で薬液種類の同一性を判断する処理を容易に実行することができる。
【0081】
制御部90は、図1および図6に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ91と、メモリ91に格納されたプログラムに従った制御を実行するCPU92とを備える。また、制御部90は、各容器71の薬液残量を検出する薬液検出部74、液晶表示部81、LED表示部75、およびバーコードリーダ照合機83等と信号線94を介して電気的に接続される。
【0082】
したがって、CPU92は、メモリ91に格納されたプログラムにしたがって、液晶表示部81およびLED表示部75の表示動作等を所定のタイミングで実行することができる。また、CPU92は、バーコードリーダ照合機83に対して照合処理等を所定のタイミングで実行させることができる。
【0083】
<3.LED表示部による薬液状況の告知>
図10ないし図12は、LED表示部75による薬液状況の告知方法を説明するための図である。ここでは、LED表示部75(75a〜75f)によってオペレータに各容器71の薬液状況を告知する手法について説明する。なお、図10ないし図12において、ハッチングされていないLED76は、消灯中であることを示す。
【0084】
本実施の形態の基板処理装置100の動作状況が通常モードの場合、薬液検出部74(図6参照)によって容器71内の薬液が空になったことが検出されると、対応するLED76が点灯表示される。例えば、収納部18aの容器71a、71dの薬液が空となると、対応するLED表示部75aのLED76a、76dが点灯する。すなわち、LED表示部75aは、LED76a、76dの点灯表示により、オペレータに対して対応する容器71a、71dが空となったことを告知できる。これにより、オペレータは、基板処理装置100外部に配置されたLED表示部75の表示状況を確認することにより、いずれの収納部18のいずれの位置に配置された容器の薬液が空になったかを容易に把握できる。
【0085】
また、LED表示部75の所定のLED76が点灯表示された後において、オペレータは、容器71の交換作業に先立ち、バーコードリーダ82によって未使用容器71のバーコード72を読み取る。バーコードリーダ照合機83に未使用容器71のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機83は、未使用容器71のバーコードデータと、データベースDBに登録されており、点灯中のLED76に対応する容器71のバーコードデータとを照合する。
【0086】
そして、バーコードリーダ照合機83によって両容器71の薬液種類が同一であると判断された場合、制御部90は対応するLED76の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。オペレータは、LED表示部75の表示状況を確認することにより、この点滅表示するLED76に対応する配置位置の容器71が、未使用容器71と交換されるべきものであることを容易に把握できる。例えば、図12に示すように、LED76dが点灯表示から点滅表示に移行した場合、オペレータは、LED76dに対応する配置位置の容器71を未使用容器71と交換する。その結果、容器71の交換ミスが発生することを防止できる。
【0087】
これに対して、両容器71の薬液種類が同一でないと判断された場合、LED76は点灯表示のままとされる。また、バーコード72を読み取った未使用容器71には交換すべき薬液が収納されていないという旨のメッセージが液晶表示部81に表示される。
【0088】
このように、オペレータは、LED表示部75の点灯表示および点滅表示を確認することにより、未使用容器71を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、容器71の交換ミスが発生することを有効に防止できる。
【0089】
また、本実施の形態の基板処理装置100では、薬液が空となった場合に限らず、バーコードリーダ82によって読み取った容器(例えば、未使用容器)71と同一の薬液が収納された容器71が、収納部18a、18b、28a、28b、38a、39bのいずれの場所に配置されるかを、LED表示部75によってオペレータに告知することができる。すなわち、オペレータは、薬液種類と容器71の配置位置との対応関係を確認することができる。
【0090】
この確認作業において、オペレータは、バーコードリーダ照合機83のキー86を操作して、基板処理装置100の動作状況を、通常モードから確認モードに切り替える。すなわち、オペレータは、キー86を操作することにより確認モードを能動化することができる。次に、オペレータは、確認したい薬液が収納された容器71のバーコード72をバーコードリーダ82によって読み取る。
【0091】
バーコードリーダ照合機83に容器71のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機83は、この読み取られたバーコードデータと、データベースDBに登録されたバーコードデータとを照合する。続いて、バーコードリーダ照合機83は、データベースDBから読み取られたバーコードデータと同一のレコードを抽出する。そして、抽出された各レコードの「配置番号」を制御部90に送信する。バーコードリーダ照合機83からの「配置番号」を受信した制御部90は、LED表示部75(75a〜75f)のLED76のうち、対応する「配置番号」のLED76を点灯させる。
【0092】
なお、本実施の形態の確認モードにおいて、薬液種類と容器71の配置位置との関連付け状況をLED表示部75(75a〜75f)に表示させた後に、さらにバーコードリーダ82によって別の容器71のバーコード72が読み取られた場合、この別の容器71の薬液種類に関する関連付け状況がLED表示部75(75a〜75f)に表示される。そして、オペレータが基板処理装置100の動作状況を確認モードから通常モードに移行させることにより、関連付け状況の確認作業が終了する。
【0093】
このように、オペレータは、確認対象となる薬液の収納された容器71をバーコードリーダ82によって読み取ることにより、確認対象となる薬液の収納された容器71の配置位置に対応するLED76を点灯させることができる。すなわち、各LED表示部75(75a〜75f)のLED76を点灯表示させることにより、オペレータに対して同一の薬液が収納された容器71の配置位置を告知することができる。そのため、オペレータは、LED表示部75の表示を見ることにより、確認対象となる薬液が配置される場所を容易に把握することができる。
【0094】
<4.本実施の形態の基板処理装置の利点>
以上のように、本実施の形態の基板処理装置100は、容器71内の薬液が空となった場合、対応するLED76を点灯させる。また、本実施の形態の基板処理装置100は、空となった容器71を未使用容器71と交換する作業に先立ち、未使用容器71のバーコード72を読み取り、両容器71に収納される薬液が同一であるか否かの判定処理を行う。そして、容器71の薬液が同一の場合には、交換対象となる空の容器71に対応するLED76の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。これにより、オペレータは、空となった容器71のうち、未使用容器71と交換すべきものを容易に把握することができる。そのため、容器71の交換ミスの発生を有効に防止できる。
【0095】
<5.変形例>
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
【0096】
(1)また、本実施の形態において、表示要素76はLEDであるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、蛍光灯、ハロゲンランプ、白熱電球であってもよい。
【0097】
(2)また、本実施の形態において、各LED表示部75(75a〜75f)は、対応する扉19a、19b、29a、29b、39a、39bの外側に取り付けられるものとして説明したが、これに限定されるものではない。外側に配設されたLED表示部75(75a〜75f)と同様なものを、各扉19a、19b、29a、29b、39a、39bの内側に配設してもよい。これにより、オペレータは、扉を開いて容器71の交換作業を行う場合であっても、扉の内側に配設されたLED表示部75によって交換位置を確認することができる。
【0098】
(3)また、本実施の形態において、各容器71には薬液が収納されているものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、純水であってもよい。
【0099】
(4)さらに、本実施の形態において、データベースDBの各レコードは、「配置番号」および「バーコードデータ」の2つのデータから構成されるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、各レコードは、3つ以上のデータから構成されても良い。
【図面の簡単な説明】
【0100】
【図1】本発明の実施の形態における基板処理装置の平面図である。
【図2】本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。
【図3】本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。
【図4】キャビネット部の平面図である。
【図5】薬液収納容器の一例を示す図である。
【図6】基板処理装置の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。
【図7】バーコードリーダ照合機の正面図である。
【図8】バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。
【図9】バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。
【図10】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【図11】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【図12】LED表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【0101】
1 インデクサブロック
2 バークブロック
3 レジスト塗布ブロック
4 現像処理ブロック
5 インターフェイスブロック
19(19a、19b)、29(29a、29b)、39(39a、39b) 扉
17、27、37 キャビネット部
18(18a、18b)、28(28a、28b)、38(38a、38b) 収納部
71(71a〜71h) 薬液収納容器
75(75a〜75f) LED表示部
76(76a〜76h) LED(表示要素)
81 液晶表示部
82 バーコードリーダ
83 バーコードリーダ照合機
85 データ表示部
86 キー
100 基板処理装置
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
(a) 前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
(b) 各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、
(c) 前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
(d) 前記表示部の表示動作を制御することにより、
(i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することと、
(ii) 前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することと、
を可能とする制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
請求項1に記載の基板処理装置において、
前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、
をさらに備え、
前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項3】
請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記第1の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項4】
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項5】
請求項3または請求項4に記載の基板処理装置において、
前記表示部の各表示要素は、各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項6】
請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項7】
請求項6に記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項8】
請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記制御部は、
(iii) 前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることを特徴とする基板処理装置。
【請求項1】
複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
(a) 前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
(b) 各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、
(c) 前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
(d) 前記表示部の表示動作を制御することにより、
(i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第1の表示によって告知することと、
(ii) 前記第1の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第2の表示によって告知することと、
を可能とする制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
請求項1に記載の基板処理装置において、
前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、
をさらに備え、
前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項3】
請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記第1の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項4】
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項5】
請求項3または請求項4に記載の基板処理装置において、
前記表示部の各表示要素は、各薬液収納容器の配置形態と略同一に配置されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項6】
請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項7】
請求項6に記載の基板処理装置において、
前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項8】
請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記制御部は、
(iii) 前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第3の表示によって告知可能とすることを特徴とする基板処理装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2006−218391(P2006−218391A)
【公開日】平成18年8月24日(2006.8.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−34098(P2005−34098)
【出願日】平成17年2月10日(2005.2.10)
【出願人】(000207551)大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年8月24日(2006.8.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年2月10日(2005.2.10)
【出願人】(000207551)大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Fターム(参考)】
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