基板収納カセット及び収納ケース
【課題】 基板を枚葉単位で取り扱うことができ、しかも、収納や搬送時には複数枚同時に取り扱うことのできる基板収納カセット及び収納ケースを提供する。
【解決手段】 口径450mmタイプの半導体ウェーハWの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Sに対向するベースプレート2と、ベースプレート2との間に半導体ウェーハWの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Sを隙間を介して挟持する保護プレート10と、ベースプレート2と保護プレート10とを接続し、半導体ウェーハWの周縁部の一端側を接触支持する支持ホルダ20と、ベースプレート2に設けられて半導体ウェーハWの周縁部の両側に対向し、半導体ウェーハWを複数の支持ホルダ20方向に案内する一対のスライドガイド30とを備える。
【解決手段】 口径450mmタイプの半導体ウェーハWの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Sに対向するベースプレート2と、ベースプレート2との間に半導体ウェーハWの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Sを隙間を介して挟持する保護プレート10と、ベースプレート2と保護プレート10とを接続し、半導体ウェーハWの周縁部の一端側を接触支持する支持ホルダ20と、ベースプレート2に設けられて半導体ウェーハWの周縁部の両側に対向し、半導体ウェーハWを複数の支持ホルダ20方向に案内する一対のスライドガイド30とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する基板収納カセット及び収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、薄くスライスされた半導体ウェーハに所定の加工を施す場合には、図示しない基板収納容器の容器本体に複数枚(25枚)の半導体ウェーハを上下多段に整列収納し、この基板収納容器を各種の半導体製造装置に搬送・セットした後、半導体ウェーハを一枚ずつロード、アンロードすることにより、パターン形成、バックグラインド、あるいはダイシング等の所定の加工を施している(特許文献1、2参照)。この際、半導体ウェーハは、一枚ずつの枚葉単位ではなく、基板収納容器単位、すなわち25枚単位でまとめて取り扱われている。
【0003】
ところで、半導体ウェーハは、現在、口径200mmや300mmのタイプが主流であるが、将来的には口径450mmの大口径タイプの採用が検討されている。また、この半導体ウェーハの大口径化、重量の増大、撓み量の増加に伴い、加工や搬送の過剰、無駄を抑制等する観点から小ロット生産やかんばん方式の採用も検討されている。
【特許文献1】特開2006‐128461号公報
【特許文献2】特開2002‐280445号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来の半導体ウェーハは、以上のように複数枚単位で基板収納容器に多段に収納されたり、搬送・加工されるので、将来、口径450mmの大口径タイプが採用され、小ロット生産やかんばん方式が用いられる場合には、収納量が無駄に増大したり、搬送効率、加工効率が低下するおそれがある。
【0005】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板を枚葉単位で取り扱うことができ、しかも、収納や搬送時には複数枚同時に取り扱うことのできる基板収納カセット及び収納ケースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明においては上記課題を解決するため、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含んでなることを特徴としている。
【0007】
なお、基板を口径450mmの半導体ウェーハとし、ベース部材を略U字形に形成することができる。
また、ベース部材を略U字形に形成し、このベース部材の湾曲部、及びベース部材の湾曲部と側部との境界付近のうち、少なくとも湾曲部に保護部材を設けることができる。
【0008】
また、ベース部材の両側部間に補強部材を架設することができる。
また、支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成することもできる。
また、ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾斜形成することが好ましい。
【0009】
また、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含み、
ベース部材を略U字形に形成してその少なくとも略半円弧形の湾曲部と両側部のうち湾曲部に保護部材を支持部材を介し対向状態に取り付け、ベース部材の直線的な両側部にガイドをそれぞれ設けたことを特徴としても良い。
【0010】
また、本発明においては上記課題を解決するため、ケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納することを特徴としている。
【0011】
なお、基板収納カセットのベース部材と保護部材の少なくともいずれか一方に、位置決め用の凹部を形成し、ケースの内部には、基板収納カセットの凹部と嵌まり合う凸部を設けることができる。
さらに、ケースを、積層(積み重なる)した複数の基板収納カセットを収納可能に形成し、このケースの内部には、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵することもできる。
【0012】
ここで、特許請求の範囲における基板は、口径450mmの半導体ウェーハが主ではあるが、何らこれに限定されるものではなく、例えば口径200mmや300mmの半導体ウェーハでも良いし、矩形の液晶基板やガラス基板等でも良い。また、ベース部材は、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向する細長い部材でも良いし、基板の表裏面のいずれか一方の全面に対向する板形の部材でも良い。
【0013】
保護部材、支持部材、補強部材、凹部、凸部は、単数複数を特に問うものではない。保護部材は、ベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む部材でも良いし、被収納領域の全部を隙間を介して挟む部材でも良い。さらに、ガイドは、単数複数の他、透明、不透明、半透明を問うものではない。
【0014】
本発明において、基板収納カセットに基板を収納する場合には、ベース部材内に基板を嵌め入れてその周縁部の両側をガイドにそれぞれ接触させ、基板をベース部材の開口部側から支持部材方向にスライドさせて接触させれば、基板収納カセットに基板を収納することができ、基板収納カセット単位で基板を縦横に収納したり、搬送、管理等することができる。
【0015】
また、基板収納カセット内から基板を取り出す場合には、ベース部材と保護部材との間の隙間に突き出し治具を支持部材に干渉しないよう挿入して基板を基板収納カセットの開口部側に移動させ、基板と保護部材との干渉を回避する。こうして保護部材から基板を離したら、基板収納カセットの開口部側にハンドを挿入して基板をクランプさせ、ハンドを上昇させれば、基板収納カセットから基板を取り出すことができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、基板収納カセットに基板を複数枚ではなく、枚葉単位で収納・管理することができ、しかも、収納や搬送時には収納ケースを利用することにより、複数枚同時に取り扱うことができるという効果がある。
【0017】
また、ベース部材を略U字形に形成すれば、ベース部材の材料を節減することができるとともに、基板が口径450mmの半導体ウェーハの場合、半導体ウェーハ用のハンド等の出し入れが容易化する。また、基板用ハンドのハンドリングスペースを大きく確保することができるので、基板の撓みや整列ピッチ等に特別の注意を払うことなく、ハンドリングしたり、基板加工装置の負荷を低減することができる。
【0018】
また、ベース部材の両側部間に補強部材を架設すれば、ベース部材の剛性を確保して基板の出し入れに支障を来たすのを防ぐことができる。
また、支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成すれば、基板の位置決めが容易化し、しかも、基板との接触面積が減少するので、塵埃の発生等を抑制することができる。
【0019】
また、ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾けて形成すれば、基板のがたつきを防止しつつ円滑にスライドさせることが可能になる。
さらに、収納ケースのケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納するようにすれば、必要数の基板の加工、搬送、管理が容易となる。
さらにまた、ケースの内部に、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵すれば、簡易な構成で複数の基板収納カセットのがたつきを防ぎ、整理整頓することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納カセット1は、図1ないし図16に示すように、大口径化された半導体ウェーハWの周縁部の一端から左右の両側に亘る被収納領域Sに平行に対向するベースプレート2と、このベースプレート2との間に半導体ウェーハWの被収納領域Sを挟持・対向する透明の保護プレート10と、これらベースプレート2と保護プレート10とを接続する支持ホルダ20と、ベースプレート2に設けられる一対のスライドガイド30とを備え、管理・搬送用の収納ケース40に必要数収納される。
【0021】
ベースプレート2は、所定の材料を使用して図1ないし図4に示すように略U字形の板に形成され、口径450mmタイプの半導体ウェーハWの大きさ以上の大きさを有しており、半円弧形の湾曲部が半導体ウェーハWの裏面周縁部の最奥である一端(図1や図6の半導体ウェーハWの下端部)から左右の両側に亘る半円弧形の被収納領域Sに部分的に対向するよう機能する。
【0022】
ベースプレート2は、その閉じた半円弧形の湾曲部周方向に位置決め用の複数の凹部3が所定の間隔をおいて切り欠かれ、両端部の内面には、略L字形の取手4がそれぞれ内側に向けて装着されており、直線的な両側部の間には、撓みやすいベースプレート2の変形や損傷を抑制防止する板形で透明の補強プレート5が直線的に架設される。このベースプレート2の両側部の間は、口径450mmタイプの半導体ウェーハWの直径以上の長さに調整される。
【0023】
保護プレート10は、所定の材料を使用して図1、図3、図4に示すように半導体ウェーハWの被収納領域Sあるいはベースプレート2の湾曲部に隙間11を介して対向する細長い半円弧形の板に湾曲成形され、ベースプレート2に支持ホルダ20や複数の取付具を介して装着される。この保護プレート10は、ベースプレート2の湾曲部との間に半導体ウェーハWの被収納領域Sを隙間11を介して挟持するとともに、基板収納カセット1から半導体ウェーハWが脱落するのを防止するよう機能する。
【0024】
支持ホルダ20は、図5に示すように、加工しやすい円柱形に形成されてベースプレート2と保護プレート10の湾曲した一端部同士を接続し、半導体ウェーハWの周縁部の一端側を接触支持する。この支持ホルダ20の周面には、半導体ウェーハWの周縁部の一端のみに線接触で嵌合する傾斜角90°以上の嵌合溝21が断面略V字形のエンドレスに切り欠かれる。
【0025】
一対のスライドガイド30は、図1、図3、図4に示すように、ベースプレート2の表面両側部にそれぞれ積層して接着され、半導体ウェーハWの周縁部の両側に左右から対向しており、半導体ウェーハWをベースプレート2の開口部側(図1の上方向)から支持ホルダ20方向(図1の下方向)に案内するよう機能する。各スライドガイド30は、細長い直線的な板形に形成され、半導体ウェーハWの周面に対向する内面には、半導体ウェーハWの周縁部の両側に面接触ではなく、線接触で摺接して案内するガイド面31が段付きに切り欠いて傾斜形成される。
【0026】
収納ケース40は、図6や図7に示すように、積層した複数(本実施形態では5個)の基板収納カセット1を収納可能な隙間を介して対向する透明な一対の対向板41と、この一対の対向板41の底部から両側部間にかけて介在して接続され、基板収納カセット1の開口部を除く周囲に接触する略U字形の接続板42とを備えた箱形のケースに形成される。接続板42の湾曲部内面には、複数の基板収納カセット1の間に位置する複数の仕切り板43が収納ケース40の開口方向に向けて配列されるとともに、各基板収納カセット1の複数の凹部3とそれぞれ嵌合して位置決めする凸部44が配列して形成される。
【0027】
上記構成において、基板収納カセット1に大口径の薄い半導体ウェーハWを一枚収納する場合には、ベースプレート2の両側部間に半導体ウェーハWを嵌入してその周縁部の両側をスライドガイド30のガイド面31にそれぞれ接触させ、半導体ウェーハWをベースプレート2の開口部側から湾曲部側、換言すれば、支持ホルダ20方向に僅かにスライドさせてその嵌合溝21に位置決め接触させれば、基板収納カセット1に半導体ウェーハWを収納することができ、基板収納カセット単位で半導体ウェーハWを縦横に収納したり、搬送、管理等することができる。
【0028】
これに対し、水平に寝かせた基板収納カセット1内から半導体ウェーハWを取り出す場合には、基板収納カセット1の湾曲部側、換言すれば、ベースプレート2と保護プレート10との間の隙間11に二股の突き出し治具50を支持ホルダ20に干渉しないよう水平に挿入(図8、図9参照)して半導体ウェーハWを基板収納カセット1の開口部側に突き出し(図10参照)、保護プレート10の干渉領域から半導体ウェーハWを離隔させる。
【0029】
こうして保護プレート10から半導体ウェーハWを離隔させたら、基板収納カセット1の開口部側にエッジクランプ式のハンド51を水平に挿入して半導体ウェーハWの周縁部を下方から把持(図11、図12参照)させ、ハンド51を図11の手前方向に上昇させれば、ベースプレート2の両側部間から半導体ウェーハWを離隔させ、基板収納カセット1から半導体ウェーハWを取り出すことができる。
【0030】
また、垂直に起立した基板収納カセット1内から半導体ウェーハWを取り出す場合には、基板収納カセット1のベースプレート2と保護プレート10との隙間11に二股の突き出し治具50Aを支持ホルダ20に衝突しないよう垂直上方に挿入(図13参照)して半導体ウェーハWを基板収納カセット1の開口部側に突き上げ(図14参照)、保護プレート10の干渉領域から半導体ウェーハWを上昇させ、離隔させる。
【0031】
保護プレート10から半導体ウェーハWを離隔させたら、基板収納カセット1の開口部側にエッジクランプ式のハンド51Aを鉛直に挿入して半導体ウェーハWの周縁部を裏面側から把持(図15、図16参照)させ、ハンド51Aを上昇させれば、ベースプレート2の両側部間から半導体ウェーハWを離隔させ、基板収納カセット1から半導体ウェーハWを取り出すことが可能になる。
【0032】
上記によれば、基板収納カセット1に口径450mmの半導体ウェーハWを複数枚ではなく、一枚収納して枚葉単位で管理するので、例え半導体の製造に小ロット生産やかんばん方式が将来的に採用されたとしても、収納量が無駄に増大したり、搬送効率、加工効率が低下するおそれが全くない。
【0033】
また、ベースプレート2を単なる板形ではなく、半導体ウェーハWの直径以上の開口を備えた略U字形に形成するので、製造のための材料を著しく節約することができ、しかも、ハンド51・51Aの出し入れがきわめて容易となる。また、複数枚の半導体ウェーハWを多段に整列収納せず、ハンド51・51Aのハンドリングスペースを大きく確保するので、半導体ウェーハWの撓みや整列ピッチに特別の注意を払うことなく、簡単にハンドリングしたり、半導体製造装置の負荷を大幅に軽減することができる。
【0034】
また、本実施形態の基板収納カセット1を使用すれば、半導体ウェーハWを水平方向と垂直方向のいずれにもハンドリングすることができるので、半導体製造装置に対する自由度を著しく向上させることができる。また、ベースプレート2に複数の凹部3を配設するので、収納ケース40に基板収納カセット1を収納する際、適切な位置に簡単に収納することができ、収納時の位置ずれ防止が大いに期待できる。また、ベースプレート2に係止用の取手4を取り付けるので、基板収納カセット1の出し入れや取り扱いの際の便宜を図ることが可能になる。
【0035】
また、支持ホルダ20の周面に、断面略V字形の嵌合溝21を切り欠くので、半導体ウェーハWの厚さ方向の位置決めが大幅に容易化し、しかも、半導体ウェーハWとの接触面積が減少するので、パーティクルの発生等を有効に抑制防止することが可能になる。さらに、各スライドガイド30の内面に傾斜したガイド面31を切り欠くので、半導体ウェーハWの厚さ方向へのがたつきや傾斜を防止しつつ円滑にスライドさせることが可能になる。さらにまた、エッジクランプ式のハンド51により半導体ウェーハWの中央部ではなく、周縁部を把持するので、基板収納カセット1から整列した半導体ウェーハWを円滑に取り出すことができる。
【0036】
次に、図17、図18は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、保護プレート10を細長い半円弧形の板ではなく、複数の小さな個片に分割してエッジクランプ式のハンド51に干渉しない領域、具体的には、ベースプレート2の湾曲部の一端、及び湾曲部と各側部との境界付近に支持ホルダ20を介しそれぞれ配設するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0037】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、突き出し治具50を省略して半導体ウェーハWを簡単に出し入れすることができる。この点について説明すると、保護プレート10が細長く大きな半円弧形の場合には、構成が簡素で製造が容易であるものの、ベースプレート2と保護プレート10との間に十分な隙間11が確保されなければ、保護プレート10が障害物となってエッジクランプ式のハンド51に干渉し、半導体ウェーハWの被収納領域Sにまでエッジクランプ式のハンド51が到達できないおそれがある。
【0038】
しかしながら、エッジクランプ式のハンド51に干渉しない領域に小型の保護プレート10を複数配設すれば、半導体ウェーハWの被収納領域Sにまでハンド51を円滑に到達させることが可能になる(図17参照)。したがって、突き出し治具50を使用することなく、半導体ウェーハWをハンド51のみによりハンドリングし、出し入れすることが可能になる。
【0039】
なお、上記実施形態ではベースプレート2を略U字形に形成したが、何らこれに限定されるものではなく、ベースプレート2を、長方形の板と半円形の板とを組み合わせた形に形成しても良い。また、ベースプレート2の両端部内面に取手4をそれぞれ装着したが、取手4を省略しても良いし、ベースプレート2の両端部に作業を容易化する貫通孔をそれぞれ穿孔しても良い。
【0040】
また、支持ホルダ20を、複数にしたり、幅広の略半円弧形に形成したり、あるいは取り付け位置を変更しても良い。また、支持ホルダ20をベースプレート2あるいは保護プレート10と一体化したり、支持ホルダ20の周面に断面略U字形の嵌合溝21を切り欠くこともできる。また、半導体ウェーハWの周縁部の一端のみならず、両側をも接触支持する複数の支持ホルダ20を用いることもできる。
【0041】
また、収納ケース40の対向板41の全部又は一部を不透明や半透明にすることも可能である。さらに、収納ケース40の一対の対向板41の底部間に底板を、両側部間に側板をそれぞれ介在し、一対の対向板41の内部間には、基板収納カセット1の開口部を除く周囲に接触する略U字形の接続板42を介在させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0042】
【図1】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図2】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す端面図である。
【図3】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図4】図2のIV部を模式的に示す断面説明図である。
【図5】図1のV−V線断面図である。
【図6】本発明に係る基板収納カセット及び収納ケースの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図7】本発明に係る基板収納カセット及び収納ケースの実施形態を模式的に示す断面側面図である。
【図8】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハを水平に押し出す状態を模式的に示す説明図である。
【図9】図8の側面説明図である。
【図10】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの水平押し出し状態を模式的に示す説明図である。
【図11】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの水平ハンドリング状態を模式的に示す説明図である。
【図12】図11の側面説明図である。
【図13】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハを垂直に押し出す状態を模式的に示す正面説明図である。
【図14】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの垂直押し出し状態を模式的に示す正面説明図である。
【図15】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの垂直ハンドリング状態を模式的に示す正面説明図である。
【図16】図15の側面説明図である。
【図17】本発明に係る基板収納カセットの第2の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図18】本発明に係る基板収納カセットの第2の実施形態における半導体ウェーハのハンドリング状態を模式的に示す正面説明図である。
【符号の説明】
【0043】
1 基板収納カセット
2 ベースプレート(ベース部材)
3 凹部
5 補強プレート(補強部材)
10 保護プレート(保護部材)
11 隙間
20 支持ホルダ(支持部材)
21 嵌合溝
30 スライドガイド(ガイド)
31 ガイド面
40 収納ケース
41 対向板
42 接続板
43 仕切り板
44 凸部
S 被収納領域
W 半導体ウェーハ(基板)
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する基板収納カセット及び収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、薄くスライスされた半導体ウェーハに所定の加工を施す場合には、図示しない基板収納容器の容器本体に複数枚(25枚)の半導体ウェーハを上下多段に整列収納し、この基板収納容器を各種の半導体製造装置に搬送・セットした後、半導体ウェーハを一枚ずつロード、アンロードすることにより、パターン形成、バックグラインド、あるいはダイシング等の所定の加工を施している(特許文献1、2参照)。この際、半導体ウェーハは、一枚ずつの枚葉単位ではなく、基板収納容器単位、すなわち25枚単位でまとめて取り扱われている。
【0003】
ところで、半導体ウェーハは、現在、口径200mmや300mmのタイプが主流であるが、将来的には口径450mmの大口径タイプの採用が検討されている。また、この半導体ウェーハの大口径化、重量の増大、撓み量の増加に伴い、加工や搬送の過剰、無駄を抑制等する観点から小ロット生産やかんばん方式の採用も検討されている。
【特許文献1】特開2006‐128461号公報
【特許文献2】特開2002‐280445号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来の半導体ウェーハは、以上のように複数枚単位で基板収納容器に多段に収納されたり、搬送・加工されるので、将来、口径450mmの大口径タイプが採用され、小ロット生産やかんばん方式が用いられる場合には、収納量が無駄に増大したり、搬送効率、加工効率が低下するおそれがある。
【0005】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板を枚葉単位で取り扱うことができ、しかも、収納や搬送時には複数枚同時に取り扱うことのできる基板収納カセット及び収納ケースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明においては上記課題を解決するため、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含んでなることを特徴としている。
【0007】
なお、基板を口径450mmの半導体ウェーハとし、ベース部材を略U字形に形成することができる。
また、ベース部材を略U字形に形成し、このベース部材の湾曲部、及びベース部材の湾曲部と側部との境界付近のうち、少なくとも湾曲部に保護部材を設けることができる。
【0008】
また、ベース部材の両側部間に補強部材を架設することができる。
また、支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成することもできる。
また、ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾斜形成することが好ましい。
【0009】
また、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含み、
ベース部材を略U字形に形成してその少なくとも略半円弧形の湾曲部と両側部のうち湾曲部に保護部材を支持部材を介し対向状態に取り付け、ベース部材の直線的な両側部にガイドをそれぞれ設けたことを特徴としても良い。
【0010】
また、本発明においては上記課題を解決するため、ケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納することを特徴としている。
【0011】
なお、基板収納カセットのベース部材と保護部材の少なくともいずれか一方に、位置決め用の凹部を形成し、ケースの内部には、基板収納カセットの凹部と嵌まり合う凸部を設けることができる。
さらに、ケースを、積層(積み重なる)した複数の基板収納カセットを収納可能に形成し、このケースの内部には、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵することもできる。
【0012】
ここで、特許請求の範囲における基板は、口径450mmの半導体ウェーハが主ではあるが、何らこれに限定されるものではなく、例えば口径200mmや300mmの半導体ウェーハでも良いし、矩形の液晶基板やガラス基板等でも良い。また、ベース部材は、基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向する細長い部材でも良いし、基板の表裏面のいずれか一方の全面に対向する板形の部材でも良い。
【0013】
保護部材、支持部材、補強部材、凹部、凸部は、単数複数を特に問うものではない。保護部材は、ベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む部材でも良いし、被収納領域の全部を隙間を介して挟む部材でも良い。さらに、ガイドは、単数複数の他、透明、不透明、半透明を問うものではない。
【0014】
本発明において、基板収納カセットに基板を収納する場合には、ベース部材内に基板を嵌め入れてその周縁部の両側をガイドにそれぞれ接触させ、基板をベース部材の開口部側から支持部材方向にスライドさせて接触させれば、基板収納カセットに基板を収納することができ、基板収納カセット単位で基板を縦横に収納したり、搬送、管理等することができる。
【0015】
また、基板収納カセット内から基板を取り出す場合には、ベース部材と保護部材との間の隙間に突き出し治具を支持部材に干渉しないよう挿入して基板を基板収納カセットの開口部側に移動させ、基板と保護部材との干渉を回避する。こうして保護部材から基板を離したら、基板収納カセットの開口部側にハンドを挿入して基板をクランプさせ、ハンドを上昇させれば、基板収納カセットから基板を取り出すことができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、基板収納カセットに基板を複数枚ではなく、枚葉単位で収納・管理することができ、しかも、収納や搬送時には収納ケースを利用することにより、複数枚同時に取り扱うことができるという効果がある。
【0017】
また、ベース部材を略U字形に形成すれば、ベース部材の材料を節減することができるとともに、基板が口径450mmの半導体ウェーハの場合、半導体ウェーハ用のハンド等の出し入れが容易化する。また、基板用ハンドのハンドリングスペースを大きく確保することができるので、基板の撓みや整列ピッチ等に特別の注意を払うことなく、ハンドリングしたり、基板加工装置の負荷を低減することができる。
【0018】
また、ベース部材の両側部間に補強部材を架設すれば、ベース部材の剛性を確保して基板の出し入れに支障を来たすのを防ぐことができる。
また、支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成すれば、基板の位置決めが容易化し、しかも、基板との接触面積が減少するので、塵埃の発生等を抑制することができる。
【0019】
また、ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾けて形成すれば、基板のがたつきを防止しつつ円滑にスライドさせることが可能になる。
さらに、収納ケースのケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納するようにすれば、必要数の基板の加工、搬送、管理が容易となる。
さらにまた、ケースの内部に、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵すれば、簡易な構成で複数の基板収納カセットのがたつきを防ぎ、整理整頓することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納カセット1は、図1ないし図16に示すように、大口径化された半導体ウェーハWの周縁部の一端から左右の両側に亘る被収納領域Sに平行に対向するベースプレート2と、このベースプレート2との間に半導体ウェーハWの被収納領域Sを挟持・対向する透明の保護プレート10と、これらベースプレート2と保護プレート10とを接続する支持ホルダ20と、ベースプレート2に設けられる一対のスライドガイド30とを備え、管理・搬送用の収納ケース40に必要数収納される。
【0021】
ベースプレート2は、所定の材料を使用して図1ないし図4に示すように略U字形の板に形成され、口径450mmタイプの半導体ウェーハWの大きさ以上の大きさを有しており、半円弧形の湾曲部が半導体ウェーハWの裏面周縁部の最奥である一端(図1や図6の半導体ウェーハWの下端部)から左右の両側に亘る半円弧形の被収納領域Sに部分的に対向するよう機能する。
【0022】
ベースプレート2は、その閉じた半円弧形の湾曲部周方向に位置決め用の複数の凹部3が所定の間隔をおいて切り欠かれ、両端部の内面には、略L字形の取手4がそれぞれ内側に向けて装着されており、直線的な両側部の間には、撓みやすいベースプレート2の変形や損傷を抑制防止する板形で透明の補強プレート5が直線的に架設される。このベースプレート2の両側部の間は、口径450mmタイプの半導体ウェーハWの直径以上の長さに調整される。
【0023】
保護プレート10は、所定の材料を使用して図1、図3、図4に示すように半導体ウェーハWの被収納領域Sあるいはベースプレート2の湾曲部に隙間11を介して対向する細長い半円弧形の板に湾曲成形され、ベースプレート2に支持ホルダ20や複数の取付具を介して装着される。この保護プレート10は、ベースプレート2の湾曲部との間に半導体ウェーハWの被収納領域Sを隙間11を介して挟持するとともに、基板収納カセット1から半導体ウェーハWが脱落するのを防止するよう機能する。
【0024】
支持ホルダ20は、図5に示すように、加工しやすい円柱形に形成されてベースプレート2と保護プレート10の湾曲した一端部同士を接続し、半導体ウェーハWの周縁部の一端側を接触支持する。この支持ホルダ20の周面には、半導体ウェーハWの周縁部の一端のみに線接触で嵌合する傾斜角90°以上の嵌合溝21が断面略V字形のエンドレスに切り欠かれる。
【0025】
一対のスライドガイド30は、図1、図3、図4に示すように、ベースプレート2の表面両側部にそれぞれ積層して接着され、半導体ウェーハWの周縁部の両側に左右から対向しており、半導体ウェーハWをベースプレート2の開口部側(図1の上方向)から支持ホルダ20方向(図1の下方向)に案内するよう機能する。各スライドガイド30は、細長い直線的な板形に形成され、半導体ウェーハWの周面に対向する内面には、半導体ウェーハWの周縁部の両側に面接触ではなく、線接触で摺接して案内するガイド面31が段付きに切り欠いて傾斜形成される。
【0026】
収納ケース40は、図6や図7に示すように、積層した複数(本実施形態では5個)の基板収納カセット1を収納可能な隙間を介して対向する透明な一対の対向板41と、この一対の対向板41の底部から両側部間にかけて介在して接続され、基板収納カセット1の開口部を除く周囲に接触する略U字形の接続板42とを備えた箱形のケースに形成される。接続板42の湾曲部内面には、複数の基板収納カセット1の間に位置する複数の仕切り板43が収納ケース40の開口方向に向けて配列されるとともに、各基板収納カセット1の複数の凹部3とそれぞれ嵌合して位置決めする凸部44が配列して形成される。
【0027】
上記構成において、基板収納カセット1に大口径の薄い半導体ウェーハWを一枚収納する場合には、ベースプレート2の両側部間に半導体ウェーハWを嵌入してその周縁部の両側をスライドガイド30のガイド面31にそれぞれ接触させ、半導体ウェーハWをベースプレート2の開口部側から湾曲部側、換言すれば、支持ホルダ20方向に僅かにスライドさせてその嵌合溝21に位置決め接触させれば、基板収納カセット1に半導体ウェーハWを収納することができ、基板収納カセット単位で半導体ウェーハWを縦横に収納したり、搬送、管理等することができる。
【0028】
これに対し、水平に寝かせた基板収納カセット1内から半導体ウェーハWを取り出す場合には、基板収納カセット1の湾曲部側、換言すれば、ベースプレート2と保護プレート10との間の隙間11に二股の突き出し治具50を支持ホルダ20に干渉しないよう水平に挿入(図8、図9参照)して半導体ウェーハWを基板収納カセット1の開口部側に突き出し(図10参照)、保護プレート10の干渉領域から半導体ウェーハWを離隔させる。
【0029】
こうして保護プレート10から半導体ウェーハWを離隔させたら、基板収納カセット1の開口部側にエッジクランプ式のハンド51を水平に挿入して半導体ウェーハWの周縁部を下方から把持(図11、図12参照)させ、ハンド51を図11の手前方向に上昇させれば、ベースプレート2の両側部間から半導体ウェーハWを離隔させ、基板収納カセット1から半導体ウェーハWを取り出すことができる。
【0030】
また、垂直に起立した基板収納カセット1内から半導体ウェーハWを取り出す場合には、基板収納カセット1のベースプレート2と保護プレート10との隙間11に二股の突き出し治具50Aを支持ホルダ20に衝突しないよう垂直上方に挿入(図13参照)して半導体ウェーハWを基板収納カセット1の開口部側に突き上げ(図14参照)、保護プレート10の干渉領域から半導体ウェーハWを上昇させ、離隔させる。
【0031】
保護プレート10から半導体ウェーハWを離隔させたら、基板収納カセット1の開口部側にエッジクランプ式のハンド51Aを鉛直に挿入して半導体ウェーハWの周縁部を裏面側から把持(図15、図16参照)させ、ハンド51Aを上昇させれば、ベースプレート2の両側部間から半導体ウェーハWを離隔させ、基板収納カセット1から半導体ウェーハWを取り出すことが可能になる。
【0032】
上記によれば、基板収納カセット1に口径450mmの半導体ウェーハWを複数枚ではなく、一枚収納して枚葉単位で管理するので、例え半導体の製造に小ロット生産やかんばん方式が将来的に採用されたとしても、収納量が無駄に増大したり、搬送効率、加工効率が低下するおそれが全くない。
【0033】
また、ベースプレート2を単なる板形ではなく、半導体ウェーハWの直径以上の開口を備えた略U字形に形成するので、製造のための材料を著しく節約することができ、しかも、ハンド51・51Aの出し入れがきわめて容易となる。また、複数枚の半導体ウェーハWを多段に整列収納せず、ハンド51・51Aのハンドリングスペースを大きく確保するので、半導体ウェーハWの撓みや整列ピッチに特別の注意を払うことなく、簡単にハンドリングしたり、半導体製造装置の負荷を大幅に軽減することができる。
【0034】
また、本実施形態の基板収納カセット1を使用すれば、半導体ウェーハWを水平方向と垂直方向のいずれにもハンドリングすることができるので、半導体製造装置に対する自由度を著しく向上させることができる。また、ベースプレート2に複数の凹部3を配設するので、収納ケース40に基板収納カセット1を収納する際、適切な位置に簡単に収納することができ、収納時の位置ずれ防止が大いに期待できる。また、ベースプレート2に係止用の取手4を取り付けるので、基板収納カセット1の出し入れや取り扱いの際の便宜を図ることが可能になる。
【0035】
また、支持ホルダ20の周面に、断面略V字形の嵌合溝21を切り欠くので、半導体ウェーハWの厚さ方向の位置決めが大幅に容易化し、しかも、半導体ウェーハWとの接触面積が減少するので、パーティクルの発生等を有効に抑制防止することが可能になる。さらに、各スライドガイド30の内面に傾斜したガイド面31を切り欠くので、半導体ウェーハWの厚さ方向へのがたつきや傾斜を防止しつつ円滑にスライドさせることが可能になる。さらにまた、エッジクランプ式のハンド51により半導体ウェーハWの中央部ではなく、周縁部を把持するので、基板収納カセット1から整列した半導体ウェーハWを円滑に取り出すことができる。
【0036】
次に、図17、図18は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、保護プレート10を細長い半円弧形の板ではなく、複数の小さな個片に分割してエッジクランプ式のハンド51に干渉しない領域、具体的には、ベースプレート2の湾曲部の一端、及び湾曲部と各側部との境界付近に支持ホルダ20を介しそれぞれ配設するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0037】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、突き出し治具50を省略して半導体ウェーハWを簡単に出し入れすることができる。この点について説明すると、保護プレート10が細長く大きな半円弧形の場合には、構成が簡素で製造が容易であるものの、ベースプレート2と保護プレート10との間に十分な隙間11が確保されなければ、保護プレート10が障害物となってエッジクランプ式のハンド51に干渉し、半導体ウェーハWの被収納領域Sにまでエッジクランプ式のハンド51が到達できないおそれがある。
【0038】
しかしながら、エッジクランプ式のハンド51に干渉しない領域に小型の保護プレート10を複数配設すれば、半導体ウェーハWの被収納領域Sにまでハンド51を円滑に到達させることが可能になる(図17参照)。したがって、突き出し治具50を使用することなく、半導体ウェーハWをハンド51のみによりハンドリングし、出し入れすることが可能になる。
【0039】
なお、上記実施形態ではベースプレート2を略U字形に形成したが、何らこれに限定されるものではなく、ベースプレート2を、長方形の板と半円形の板とを組み合わせた形に形成しても良い。また、ベースプレート2の両端部内面に取手4をそれぞれ装着したが、取手4を省略しても良いし、ベースプレート2の両端部に作業を容易化する貫通孔をそれぞれ穿孔しても良い。
【0040】
また、支持ホルダ20を、複数にしたり、幅広の略半円弧形に形成したり、あるいは取り付け位置を変更しても良い。また、支持ホルダ20をベースプレート2あるいは保護プレート10と一体化したり、支持ホルダ20の周面に断面略U字形の嵌合溝21を切り欠くこともできる。また、半導体ウェーハWの周縁部の一端のみならず、両側をも接触支持する複数の支持ホルダ20を用いることもできる。
【0041】
また、収納ケース40の対向板41の全部又は一部を不透明や半透明にすることも可能である。さらに、収納ケース40の一対の対向板41の底部間に底板を、両側部間に側板をそれぞれ介在し、一対の対向板41の内部間には、基板収納カセット1の開口部を除く周囲に接触する略U字形の接続板42を介在させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0042】
【図1】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図2】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す端面図である。
【図3】本発明に係る基板収納カセットの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図4】図2のIV部を模式的に示す断面説明図である。
【図5】図1のV−V線断面図である。
【図6】本発明に係る基板収納カセット及び収納ケースの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図7】本発明に係る基板収納カセット及び収納ケースの実施形態を模式的に示す断面側面図である。
【図8】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハを水平に押し出す状態を模式的に示す説明図である。
【図9】図8の側面説明図である。
【図10】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの水平押し出し状態を模式的に示す説明図である。
【図11】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの水平ハンドリング状態を模式的に示す説明図である。
【図12】図11の側面説明図である。
【図13】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハを垂直に押し出す状態を模式的に示す正面説明図である。
【図14】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの垂直押し出し状態を模式的に示す正面説明図である。
【図15】本発明に係る基板収納カセットの実施形態における半導体ウェーハの垂直ハンドリング状態を模式的に示す正面説明図である。
【図16】図15の側面説明図である。
【図17】本発明に係る基板収納カセットの第2の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図18】本発明に係る基板収納カセットの第2の実施形態における半導体ウェーハのハンドリング状態を模式的に示す正面説明図である。
【符号の説明】
【0043】
1 基板収納カセット
2 ベースプレート(ベース部材)
3 凹部
5 補強プレート(補強部材)
10 保護プレート(保護部材)
11 隙間
20 支持ホルダ(支持部材)
21 嵌合溝
30 スライドガイド(ガイド)
31 ガイド面
40 収納ケース
41 対向板
42 接続板
43 仕切り板
44 凸部
S 被収納領域
W 半導体ウェーハ(基板)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含んでなることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項2】
基板を口径450mmの半導体ウェーハとし、ベース部材を略U字形に形成した請求項1記載の基板収納カセット。
【請求項3】
ベース部材の両側部間に補強部材を架設した請求項2記載の基板収納カセット。
【請求項4】
支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成した請求項1、2、又は3記載の基板収納カセット。
【請求項5】
ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾斜形成した請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納カセット。
【請求項6】
ケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納することを特徴とする収納ケース。
【請求項7】
基板収納カセットのベース部材と保護部材の少なくともいずれか一方に、位置決め用の凹部を形成し、ケースの内部には、基板収納カセットの凹部と嵌まり合う凸部を設けた請求項6記載の収納ケース。
【請求項8】
ケースを、積層した複数の基板収納カセットを収納可能に形成し、このケースの内部には、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵した請求項6又は7記載の収納ケース。
【請求項1】
基板の少なくとも周縁部の一端から両側に亘る被収納領域に対向するベース部材と、このベース部材との間に基板の被収納領域の少なくとも一部を隙間を介して挟む保護部材と、これらベース部材と保護部材とを接続し、基板の周縁部を接触支持する支持部材と、ベース部材に設けられて基板の周縁部の両側に対向し、基板を支持部材方向に案内するガイドとを含んでなることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項2】
基板を口径450mmの半導体ウェーハとし、ベース部材を略U字形に形成した請求項1記載の基板収納カセット。
【請求項3】
ベース部材の両側部間に補強部材を架設した請求項2記載の基板収納カセット。
【請求項4】
支持部材を柱形に形成してその周面には基板の周縁部に嵌まり合う嵌合溝を形成した請求項1、2、又は3記載の基板収納カセット。
【請求項5】
ガイドに、基板の周縁部の両側に接触するガイド面を傾斜形成した請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納カセット。
【請求項6】
ケース内に、請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納カセットを収納することを特徴とする収納ケース。
【請求項7】
基板収納カセットのベース部材と保護部材の少なくともいずれか一方に、位置決め用の凹部を形成し、ケースの内部には、基板収納カセットの凹部と嵌まり合う凸部を設けた請求項6記載の収納ケース。
【請求項8】
ケースを、積層した複数の基板収納カセットを収納可能に形成し、このケースの内部には、複数の基板収納カセットの間に位置する仕切り板を内蔵した請求項6又は7記載の収納ケース。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【公開番号】特開2008−98295(P2008−98295A)
【公開日】平成20年4月24日(2008.4.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−276684(P2006−276684)
【出願日】平成18年10月10日(2006.10.10)
【出願人】(000190116)信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年4月24日(2008.4.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年10月10日(2006.10.10)
【出願人】(000190116)信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Fターム(参考)】
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