基板収納容器及びそのハンドル
【課題】容器本体の変形を低減し、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することが可能な基板収納容器及びそのハンドルを提供する。
【解決手段】基板収納容器１のハンドル１０を、容器本体２の側壁２１の互いに対向する周縁部分２１ａ，２１ｂに取り付け可能な構成とする。容器本体２の側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂは、側壁２１面より剛性が高く変形し辛いので、側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂにハンドル１０を固定可能な構成とすることで、ハンドル１０を容器本体２に固定して使用した際に、従前に比して容器本体２の変形が低減される。これにより、容器本体２と容器本体２内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制する。また、容器本体２の変形が低減され、容器本体２内の基板の位置精度が向上される。
【解決手段】基板収納容器１のハンドル１０を、容器本体２の側壁２１の互いに対向する周縁部分２１ａ，２１ｂに取り付け可能な構成とする。容器本体２の側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂは、側壁２１面より剛性が高く変形し辛いので、側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂにハンドル１０を固定可能な構成とすることで、ハンドル１０を容器本体２に固定して使用した際に、従前に比して容器本体２の変形が低減される。これにより、容器本体２と容器本体２内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制する。また、容器本体２の変形が低減され、容器本体２内の基板の位置精度が向上される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、ペリクル付きマスクガラス、ペリクル等の基板を収納する基板収納容器とこれに取り付けられるハンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の輸送に使用される基板収納容器として、例えば、特許文献１に開示された基板収納容器が知られている。この基板収納容器は、正面に開口が形成され内部に基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを備えている。こうした基板収納容器の容器本体の側壁の内面には、基板を一定間隔で水平に支持する支持部が形成されている。また、容器本体の側壁の外面の中央部には、ハンドル（把手）が取り付けられているので、作業者がこのハンドルを握ることで、基板収納容器を持ち上げ易くなり、容器に基板収納容器を運ぶことができる。
【特許文献１】特開２０００−３０６９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、容器本体の側壁の中央付近にハンドルが固定されていたので、作業者がハンドルを握って基板収納容器を持ち運ぶ際に、基板収納容器の荷重により側壁が変形し易くなり、側壁が変形することで、容器本体と容器本体内の基板との間で擦れが生じて、基板に悪影響を及ぼすパーティクルが増加するという問題があった。また、側壁が変形することにより、容器本体内の位置精度が低下するとういう問題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、容器本体の変形を低減して、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することが可能な基板収納容器及びそのハンドルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による基板収納容器は、開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを備えた基板収納容器において、容器本体の対向する一対の側壁に設けられた一対のハンドルを備え、ハンドルは、側壁の周縁部分に固定されていることを特徴としている。
【０００６】
このような基板収納容器によれば、ハンドルが容器本体の側壁の周縁部分に固定されている。容器本体の側壁の周縁部分は、容器本体の天板や底板との間に稜線を形成しており、側壁面より剛性が高く変形し辛いので、側壁の周縁部分にハンドルの固定位置を設けることで、従前に比して容器本体の変形を低減することができる。これにより、容器本体と容器本体内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体の変形が低減されるので、容器本体内の基板を位置精度良く保持することができる。また、ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に設けられているので、作業者が基板収納容器を持ち上げる際に、安定して保持することができる。なお、「周縁部分」とは、周縁及びその近傍を含むものである。
【０００７】
また、ハンドルは、側壁の互いに対向する周縁部分に固定されていることが好ましい。このように、ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に設けられているので、容器本体の変形を一層低減させることができる。
【０００８】
また、ハンドルは、作業者によって握られるグリップと、グリップの両端部から連続して形成され、側壁の周縁部に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることが好ましい。
【０００９】
また、グリップの長手方向の中心は、容器本体の重心より開口部側に配置されていることが好ましい。これにより、作業者がグリップを握って基板収納容器を持ち上げた際に、容器本体の重心がグリップの中心より後方に配置されるため、安定的に保持することができると共に、容器本体の開口部側が上方へ向き易くなるため、容器本体内の基板が開口部から落下する虞が低減される。
【００１０】
また、係合部又は被係合部の何れか一方は、係止爪を備え、他方は、係止爪が係止される係止穴を備えていることが好ましい。これにより、係止爪を係止穴に係止させることで、ハンドルを容器本体に確実に固定することができる。なお、「係止穴」は、貫通孔、凹部を含み、その形状は限定されない。係止穴は、係止爪を係止可能であればよい。
【００１１】
また、ハンドルは、側壁の周縁部分に沿って固定され、周縁部分から外方に突出する把持部を有していることが好ましい。これにより、ハンドルを簡素な構造とし、容器本体の変形を低減することができる。
【００１２】
本発明による基板収納容器のハンドルは、開口部を有し基板を収納する基板収納容器の容器本体の側壁に取り付けられるハンドルにおいて、作業者によって握られるグリップと、グリップの両端部に接続され、側壁の互いに対向する周縁部分に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴としている。
【００１３】
このような基板収納容器のハンドルによれば、容器本体の側壁の互いに対向する周縁部分に取り付け可能な構成とされている。容器本体の側壁の周縁部分は、側壁面より剛性が高く変形し辛いので、側壁の周縁部分に固定可能な構成とすることで、ハンドルを容器本体に固定して使用した際に、容器本体の変形を低減することができる。これにより、容器本体と容器本体内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体の変形が低減されるので、容器本体内の基板を位置精度良く保持することができる。また、側壁の互いに対向する周縁部分にハンドルを固定可能な構成とされているので、ハンドルを容器本体に固定していて使用した際に、作業者は基板収納容器を安定して保持することができる。なお、「周縁部分」とは、周縁及びその近傍を含むものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板収納容器及びそのハンドルによれば、容器本体の変形を低減することができるため、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明による基板収納容器及びそのハンドルの好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す分解斜視図、図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す斜視図、図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器の横断面図である。
【００１６】
図１〜図３に示す基板収納容器１は、基板Ｗを１又は複数枚（例えば６，１３，２５枚）収容し、輸送、搬送、保管などに使用される収納容器である。この基板収納容器１は、基板Ｗを収容する容器本体２、この容器本体２に設けられた開口部３を閉鎖する蓋体４を備えている。容器本体２は、基板Ｗを整列収納可能な構成とされている。蓋体４には、容器本体２の開口部３の対向する一対の周縁に係止される係止機構が設置されている。容器本体２の開口部３に蓋体４が装着され、基板収納容器１内は密閉状態となる。また、蓋体４の背面側（基板収納容器の内面）には、複数の基板Ｗを上下方向に水平に並べて支持するリテーナ８が取り付けられている。
【００１７】
基板収納容器１のうち、容器本体２、蓋体４、位置決め部（不図示）、ロボティックフランジ７、及びハンドル１０は、例えば、熱可塑性樹脂やこれらのアロイによって形成され、熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、環状オレフィン樹脂等が挙げられる。また、熱可塑性樹脂に、導電剤や各種帯電防止剤を添加しても良い。導電剤としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等が挙げられる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系等の帯電防止剤が挙げられる。
【００１８】
また、熱可塑性樹脂に紫外線吸収剤を添加しても良く、紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ビンダードアミン系等の紫外線吸収剤が挙げられる。また、剛性を高めるための添加剤を熱可塑性樹脂に添加しても良く、例えば、ガラス繊維、炭素繊維等が挙げられる。
【００１９】
また、基板収納容器１は、セラミックや、例えばジュラルミン、チタン合金等の金属材料によって形成することができる。このようにして、基板収納容器１の軽量化を図っても良い。
【００２０】
基板収納容器１内に収容される基板Ｗは、例えば直径３００ｍｍの円盤状のシリコンウェーハからなり、表裏両面がそれぞれ鏡面加工されている。基板Ｗは、専用のロボットにより左右の側部周縁がハンドリングされた状態で、容器本体２内に出し入れされる。基板Ｗの周縁には、結晶方向の判別や整列を容易にするノッチが形成されている。このノッチは、平面視において、例えば半円形状を成している。
【００２１】
容器本体２は、透明性や高剛性に優れるポリカーボネート等の所定の樹脂を用いて成形されている。容器本体２は、正面に開口したフロントオープンボックスタイプであり、容器本体２の両側壁２１には、基板Ｗを水平に支持するティース１０６が各々形成されている。このティース１０６は、図示上下方向に所定のピッチで複数配列され、このティース１０６によって、基板Ｗが水平状態で上下方向に並べて整列収納される。
【００２２】
各ティース１０６は、基板Ｗを支持可能な構成であればよく、その形状は限定されない。ティース１０６の形状としては、例えば、平面視において、長方形、「く」の字形、半円弧形状等が挙げられる。ティース１０６は、基板Ｗの周縁に沿うように形成された棚部と、この棚部上に形成され、基板Ｗと接触する平坦面を有する基板接触部１０１，１０３とを備えている。ここで、棚部及び基板接触部を図３にあるように開口部３側と背面側とに分割して設け、これらの中間部に通常は基板Ｗと接触しない補助支持部１０４を設けることができる。補助支持部１０４は、基板接触部１０１，１０３よりも低い位置に設けられ、基板Ｗの挿入時に隣接する基板接触部１０１へ挿入されること（クロススロット）を防止している。
【００２３】
また、ティース１０６の開口部３側には、基板Ｗの位置を規制する位置規制用段差１０２が形成されている。この位置規制用段差１０２と、容器本体２の奥側（開口部と反対側）で基板Ｗの形状に沿って形成された基板接触部１０３の壁面部分１０５とによって、容器本体２内の基板Ｗの前後方向の動きを規制することができる（なお、正面側を「前」、背面側を「後」とする）。上記した実施形態の補助支持部１０４を設けず、開口部３側の基板接触部と、背面側の基板接触部の２箇所だけにして両者の中間部には、空間をあけておくこともできる。
【００２４】
このような構成のティース１０６は、容器本体２とは別部品として形成され、容器本体２を成形する時にインサートされて容器本体と一体的に設けられたり、熱溶着、摩擦係合、螺刻部品等を利用して固定することができる。図１３は、ティースの他の例を示す横断面図である。図１３に示すように、ティース６は、平面視において、背面側が「く」の字形に屈曲した長方形状とした開口部から連続する棚部となるように容器本体２に一体に形成しても良い。この場合も、棚部は、基板接触部６ｂと基板の前後方向の位置規制を行う領域６ａ、６ｃを有し、基板を水平に支持可能となる。このようなティース６，１０６によって、基板Ｗは、容器本体２内において、高精度に位置決めされて支持されている。そのため、基板Ｗが上下方向に傾斜することが防止され、基板Ｗを取り出すためのフォークが容器本体２内へ容易に挿入される。
【００２５】
容器本体２の底板（底部）の外面には、所定の装置（例えば基板を加工する加工装置等）に対して位置決めを行うための位置決め部が形成されている。位置決め部は、３箇所に設置され、Ｙ字形に配置されている。また、位置決め部には、Ｖ字溝（凹部）が形成されている。また、位置決め部の断面形状は、Ｖ字形に限定されず、例えば、Ｍ字形、逆Ｖ字形、逆Ｙ字形あるいは凹んだ小判形等に形成される。
【００２６】
容器本体２の天板２２の外面には、平面視において矩形状を成すロボティックフランジ７が形成されている。このロボティックフランジ７は、容器本体２と一体的に形成されたものでもよく、別部品として形成され、容器本体２に対して着脱可能な構成とされたものでもよい。基板収納容器１は、ロボティックフランジ７がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる図示しない自動搬送機構によって保持されて、工場内を搬送される。
【００２７】
ここで、基板収納容器１は、容器本体２の対向する一対の側壁２１，２１に設けられた一対のハンドル１０を備え、このハンドル１０は容器本体２の側壁２１の周縁部分に固定されている。具体的には側壁２１の対向する周縁部分であるコーナー部分（稜線部分）２１ａ，２１ｂに着脱可能に固定されている。ハンドル１０の固定位置として、コーナー部分２１ａ，２１ｂには、ハンドル１０を係合するための被係合部２３，２４が設置されている。
【００２８】
また、ハンドル１０の側壁２１への固定位置は、側壁２１の中央を挟んで互いに対向するコーナー部分２１ａ、２１ｂに配置されることが好ましい。例えば、側壁２１の対角線に沿うようにハンドル１０が配置され、ハンドル１０の固定位置は側壁１０の対角に配置されることがより好ましい。また、両側壁２１に固定される一対のハンドルは、対称形に配置されることが好ましい。
【００２９】
ハンドル１０は、作業者によって握られるグリップ１１と、このグリップ１１の両端部１１ａ，１１ｂから互いに反対方向に連続して形成された湾曲部１２，１３と、湾曲部１２，１３の端部に設けられ、被係合部２３，２４に係合可能な係合部１４，１５とを備えている。
【００３０】
グリップ１１は、例えば一定太さの棒状でもよく、長手方向の中心１１ｃの外周が最も太くなるように異なる太さの棒状でもよく、人間工学的に握り易い形状とすることが好ましい。また、グリップ１１の長手方向の両端部１１ａ，１１ｂには、外方に突出するフランジ又はリブを設けるようにしてもよい。グリップ１１は、ハンドル１０を容器本体２に取り付けた状態において、長手方向が傾斜して配置されることが好ましい。具体的には、グリップ１１の前側の端部１１ａが上方に向けられ、グリップ１１の後側の端部１１ｂが下方に向けられて配置される。
【００３１】
湾曲部１２は、グリップ１１の端部１１ａから上方へ湾曲し、湾曲部１３は、グリップ１１の端部１１ｂから水平方向へ湾曲し、その後部側で下方に湾曲すると共に内方（容器本体２の側壁２１側）へ湾曲している。グリップ１１は、ハンドル１０が容器本体２に取り付けられた状態において、側壁２１と所定間隔離間して配置され、作業者が握り易い位置に配置されている。
【００３２】
図４は、図１中の被係合部を拡大して示す斜視図である。なお、図４では、被係合部２３を示しているが、被係合部２４も同様の構成である。被係合部２３は、容器本体２の側壁２１と天板２２との間のコーナー部分２１ａに設置され、被係合部２４は、容器本体２の側壁２１と底板との間のコーナー部分２１ｂに設置されている。被係合部２３，２４は、板状を成し、容器本体２から外方に突出し、被係合部２３，２４には、係合部１４，１５の係止爪２６（図５参照）を係止する係止穴２５が形成されている。また、係止穴２５の径は、上下方向において、異なる大きさとされ、図８に示すように、被係合部２３では、下部側の径が上部側の径より小さくされ、係止爪２６は、被係合部２３の下部側から挿入されて、係止穴２５の内壁面に係止される。なお、図示していないが、被係合部２４は、被係合部２３と上下方向が逆に形成され、上部側の径が下部側の径より小さくされ、係合部１５の係止爪２６は、被係合部２４の上部側から挿入されて、被係合部２４の係止穴２５の内壁面に係止される。
【００３３】
図５は、図１中の係合部を拡大して示す斜視図、図６〜図９は、係合部及び被係合部の係合状態を示す各図である。図５〜図９では、係合部１４，１５のうち、係合部１４のみを示しているが、係合部１５も係合部１４と同様の構成である。係合部１４，１５には、被係合部２３，２４を挿入するための開口部１６が形成されている。この開口部１６は、側面視において、被係合部２３，２４に対応する大きさとされた幅広部分１６ａを有し、この幅広部分１６ａの上下方向の両側には、幅広部分１６ａより径が小さくされた幅狭部分１６ｂが形成されている。そして、被係合部２３，２４は、開口部１６内に挿入される。
【００３４】
また、係合部１４，１５は、図８及び図９に示すように、開口部１６内に形成された弾性片１７を有し、この弾性片１７の先端部（側壁２１とは反対側の端部）１７ａには被係合部２３，２４の係止穴２５に係止される係止爪２６が形成されている。弾性片１７の基端部１７ｂ（側壁２１側の端部）は、開口部１６の湾曲部１２側の内壁面１６ａから突出し、側壁２１とは反対方向へ屈曲されている。弾性片１７は弾性を有し、先端部１７ａに形成された係止爪２６が係止穴２５の傾斜面と接触するように係止される。係止穴２５の傾斜面は、図９において、上部側が外方に倒れるように傾斜している。また、係止爪２６には、係止穴２５の傾斜面に対応して、上部側が外方に倒れるように傾斜面が形成されている。
【００３５】
このように係止穴２５及び係止爪２６に傾斜面が形成されているので、係合状態において、ハンドル１０を外す方向の外力Ｐ（図９参照）を受けた場合に、係止爪２６は傾斜面に沿って、図示Ｓ方向に移動することとなり、係止爪２６が係止穴２５から外れることを効果的に防止することができる。
【００３６】
また、弾性片１７の先端には外部に露呈した凹部である被操作部１７ｂが形成されている（なお、被操作部は、凹部に代えて凸部でもよい）。容器本体２に取り付けられたハンドル１０を取外す際には、被操作部１７ｂを押し下げて、係止爪２６を係止穴２５から外すことで、ハンドル１０と容器本体２とを分離することができる。例えば、被操作部１７ｂに係合する先端を有する専用の治具を準備し、この治具を用いて容易にハンドル１０を取外すことができる。
【００３７】
そして、ハンドル１０を容器本体２に取り付ける際には、係合部１４を被係合部２３に対応する位置に配置し、係合部１５を被係合部２４に対応する位置に配置して、ハンドル１０を押し込むことで、容器本体２容易に取り付けることができる。
【００３８】
ハンドル１０は、図３に示すように、容器本体２に取り付けられた状態において、グリップ１１の長手方向の中心１１ｃが、容器本体２の重心より開口部３側に配置されている。例えば、グリップ１１の中心１１ｃは、容器本体２の重心２ａよりも開口部３側（蓋体４側）に約１０ｍｍ程度ずらして配置されている。これにより、蓋体４を装着していない状態で、容器本体２を持ち上げたとしても、容器本体２の後方側が下方に下がり、開口部３が上方に向くので、誤って基板Ｗが開口部３から容器本体２外へ飛び出すことが防止される。
【００３９】
このような基板収納容器１では、ハンドル１０の固定位置である被係合部２３，２４が、容器本体２の側壁２１のコーナー部分２１ａ，２１ｂに設けられている。容器本体２の側壁２１のコーナー部分２１ａ，２１ｂは、側壁２１より剛性が高く変形し辛いので、コーナー部分２１ａ，２１ｂにハンドル１０の固定位置を設けることで、容器本体２の変形が低減されている。そのため、作業者がハンドル１０を握って、容器本体２を持ち上げた際の容器本体２の変形が低減される。
【００４０】
このように基板収納容器１では、容器本体２の変形が低減されるため、容器本体２と内部に収容された基板Ｗとの擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体２の変形が低減されるため、基板Ｗの容器本体２内における位置精度が安定し、基板Ｗを位置精度良く容器本体２内で保持することができる。そのため、容器本体２内に収容された基板Ｗを位置精度良く取り出すことができ、取り出しエラーを防止することができる。
【００４１】
次に、係合部及び被係合部の他の形態について、図１０を参照して説明する。図１０は、係合部及び被係合部の他の形態を示す分解斜視図である。図１０に示す他の形態が、上記実施形態と違う点は、容器本体２に、係止爪２６が形成された被係合部３１を備え、ハンドル１０に、係止穴２５を備えた係合部３２を備える点である。このような構成の係合部３１及び被係合部３２であってもよい。本実施形態のハンドルには、一部分又は全領域に凹凸リブを交互に設けたり、表面の一部分又は全領域に、皮、織布、木目、砂目などのパターンのシボを加工して、汚れの付着を防止したり、滑り止め効果を出すことができる。
【００４２】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器を、半導体ウェーハを収納するものとして説明しているが、収納物される基板は、半導体ウェーハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の精密基板でもよい。また、収容される基板の大きさは、３００ｍｍに限定されず、例えば４５０ｍｍ等その他の大きさでもよい。また、収納枚数も１〜２５枚に限らず２６枚以上であっても良い。
【００４３】
また、ハンドルの形状は、上記実施形態に限定されず、その形状は、任意の形状でよい。ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に配置されていればよい。
【００４４】
図１１は、本発明のハンドルの別の実施形態を示す斜視図である。図１１に示すハンドル４０は、側面視において逆Ｙ字状に形成され、上下方向に延在するグリップ４１を有している。また、容器本体２の稜線部（コーナー部分）への固定部（係合部）４２，４３が、天板側に１箇所（４２）、底板側に２箇所（４３）、合計３箇所に形成されている。固定方法は、上記した実施形態と同じ係止構造でも良く、別の係止構造を組み合わせて用いても良い。このように３箇所以上で固定することで、容器本体に固定されるハンドル４０のねじれや撓みを防止することができる。その結果、作業者が基板収納容器を持ち上げる際に、安定して保持することができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、グリップの長手方向が上下方向に傾斜して配置されているが、グリップの長手方向が傾斜して配置されていなくても良い。例えば、グリップ部が円形や多角形状に形成されていて、表面に指がはまり込むような凹凸が形成されたものでもよく、グリップ部が容器の底板と平行でもよく、垂直でもよい。
【００４６】
また、上記実施形態では、ハンドルが容器本体２に対して着脱可能な構成とされているが、ハンドルは、容器本体から取外しできないように固定されていてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、グリップの長手方向の中心が、平面視において、容器本体２の重心よりも前方に配置されているが、グリップの長手方向の中心が、容器本体２の重心と同じ位置や、容器本体２の重心より後方に配置されていてもよい。なお、グリップを握って容器本体２を持ち上げた際に、開口部３が上向きと成りやすくするには、上記実施形態のように、グリップの長手方向を傾斜させると共に、グリップの中心を容器本体２の重心よりも、前方に配置させると良い。
【００４８】
なお、グリップは作業者によって握られなくてもよい。例えば、ロボット、その他の機械等にグリップを握らせて、容器本体を持ち上げてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、フロントオープンタイプの容器本体に、ハンドルを取り付けているが、例えば開口部が容器本体の天板に形成されたトップオープンタイプのものに、ハンドルを取り付けてもよい。
【００５０】
図１２は、さらに別の形態のハンドルを備えた基板収納容器を示す斜視図である。この別の形態のハンドル５０では、容器本体２の天板２２側の稜線部（コーナー部分）２１ａから、側壁２１の外方に突出する把持部５１が容器本体２と一体的に形成されている。
【００５１】
このハンドル５０は、容器本体２の側壁２１の外面に固定されたプレート部５２を有している。把持部５１は、プレート部５２の上端部５２ａで屈曲されて、外方に突出している。プレート部５２の上端部５２ａは、容器本体２の天板２２側の稜線部２１ａに沿って固定され、把持部５１は、稜線部２１ａから外方に突出している。このように、ハンドル５０の把持部５１が側壁２１の稜線部２１ａから外方に突出しているので、ハンドル５０の構造を簡素とすると共に、ハンドル５０を握って容器本体２を保持する際の容器本体２の変形を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板収納容器の横断面図である。
【図４】図１中の被係合部を拡大して示す斜視図である。
【図５】図１中の係合部を拡大して示す斜視図である。
【図６】係合部及び被係合部の係合状態を示す斜視図である。
【図７】係合部及び被係合部の係合状態を示す側面図である。
【図８】係合部及び被係合部の係合状態を示す縦断面図である。
【図９】係合部及び被係合部の係合状態を拡大して示す横断面図である。
【図１０】係合部及び被係合部の他の形態を示す分解斜視図である。
【図１１】本発明のハンドルの別の実施形態を示す斜視図である。
【図１２】さらに別の形態のハンドルを備えた基板収納容器を示す斜視図である。
【図１３】ティースの他の例を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…基板収納容器、２…容器本体、２ａ…容器本体の重心、３…開口部、４…蓋体、１０，４０，５０…ハンドル、１１，４１…グリップ、１１ａ，１１ｂ…グリップの端部、１１ｃ…グリップの中心、１２，１３…湾曲部、１４，１５，３２，４２，４３…係合部、２１…側壁、２１ａ，２１ｂ…コーナー部分、２３，２４，３１…被係合部、２５…係止穴、２６…係止爪、５１…把持部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、ペリクル付きマスクガラス、ペリクル等の基板を収納する基板収納容器とこれに取り付けられるハンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の輸送に使用される基板収納容器として、例えば、特許文献１に開示された基板収納容器が知られている。この基板収納容器は、正面に開口が形成され内部に基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを備えている。こうした基板収納容器の容器本体の側壁の内面には、基板を一定間隔で水平に支持する支持部が形成されている。また、容器本体の側壁の外面の中央部には、ハンドル（把手）が取り付けられているので、作業者がこのハンドルを握ることで、基板収納容器を持ち上げ易くなり、容器に基板収納容器を運ぶことができる。
【特許文献１】特開２０００−３０６９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、容器本体の側壁の中央付近にハンドルが固定されていたので、作業者がハンドルを握って基板収納容器を持ち運ぶ際に、基板収納容器の荷重により側壁が変形し易くなり、側壁が変形することで、容器本体と容器本体内の基板との間で擦れが生じて、基板に悪影響を及ぼすパーティクルが増加するという問題があった。また、側壁が変形することにより、容器本体内の位置精度が低下するとういう問題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、容器本体の変形を低減して、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することが可能な基板収納容器及びそのハンドルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による基板収納容器は、開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを備えた基板収納容器において、容器本体の対向する一対の側壁に設けられた一対のハンドルを備え、ハンドルは、側壁の周縁部分に固定されていることを特徴としている。
【０００６】
このような基板収納容器によれば、ハンドルが容器本体の側壁の周縁部分に固定されている。容器本体の側壁の周縁部分は、容器本体の天板や底板との間に稜線を形成しており、側壁面より剛性が高く変形し辛いので、側壁の周縁部分にハンドルの固定位置を設けることで、従前に比して容器本体の変形を低減することができる。これにより、容器本体と容器本体内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体の変形が低減されるので、容器本体内の基板を位置精度良く保持することができる。また、ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に設けられているので、作業者が基板収納容器を持ち上げる際に、安定して保持することができる。なお、「周縁部分」とは、周縁及びその近傍を含むものである。
【０００７】
また、ハンドルは、側壁の互いに対向する周縁部分に固定されていることが好ましい。このように、ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に設けられているので、容器本体の変形を一層低減させることができる。
【０００８】
また、ハンドルは、作業者によって握られるグリップと、グリップの両端部から連続して形成され、側壁の周縁部に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることが好ましい。
【０００９】
また、グリップの長手方向の中心は、容器本体の重心より開口部側に配置されていることが好ましい。これにより、作業者がグリップを握って基板収納容器を持ち上げた際に、容器本体の重心がグリップの中心より後方に配置されるため、安定的に保持することができると共に、容器本体の開口部側が上方へ向き易くなるため、容器本体内の基板が開口部から落下する虞が低減される。
【００１０】
また、係合部又は被係合部の何れか一方は、係止爪を備え、他方は、係止爪が係止される係止穴を備えていることが好ましい。これにより、係止爪を係止穴に係止させることで、ハンドルを容器本体に確実に固定することができる。なお、「係止穴」は、貫通孔、凹部を含み、その形状は限定されない。係止穴は、係止爪を係止可能であればよい。
【００１１】
また、ハンドルは、側壁の周縁部分に沿って固定され、周縁部分から外方に突出する把持部を有していることが好ましい。これにより、ハンドルを簡素な構造とし、容器本体の変形を低減することができる。
【００１２】
本発明による基板収納容器のハンドルは、開口部を有し基板を収納する基板収納容器の容器本体の側壁に取り付けられるハンドルにおいて、作業者によって握られるグリップと、グリップの両端部に接続され、側壁の互いに対向する周縁部分に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴としている。
【００１３】
このような基板収納容器のハンドルによれば、容器本体の側壁の互いに対向する周縁部分に取り付け可能な構成とされている。容器本体の側壁の周縁部分は、側壁面より剛性が高く変形し辛いので、側壁の周縁部分に固定可能な構成とすることで、ハンドルを容器本体に固定して使用した際に、容器本体の変形を低減することができる。これにより、容器本体と容器本体内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体の変形が低減されるので、容器本体内の基板を位置精度良く保持することができる。また、側壁の互いに対向する周縁部分にハンドルを固定可能な構成とされているので、ハンドルを容器本体に固定していて使用した際に、作業者は基板収納容器を安定して保持することができる。なお、「周縁部分」とは、周縁及びその近傍を含むものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板収納容器及びそのハンドルによれば、容器本体の変形を低減することができるため、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明による基板収納容器及びそのハンドルの好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す分解斜視図、図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す斜視図、図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器の横断面図である。
【００１６】
図１〜図３に示す基板収納容器１は、基板Ｗを１又は複数枚（例えば６，１３，２５枚）収容し、輸送、搬送、保管などに使用される収納容器である。この基板収納容器１は、基板Ｗを収容する容器本体２、この容器本体２に設けられた開口部３を閉鎖する蓋体４を備えている。容器本体２は、基板Ｗを整列収納可能な構成とされている。蓋体４には、容器本体２の開口部３の対向する一対の周縁に係止される係止機構が設置されている。容器本体２の開口部３に蓋体４が装着され、基板収納容器１内は密閉状態となる。また、蓋体４の背面側（基板収納容器の内面）には、複数の基板Ｗを上下方向に水平に並べて支持するリテーナ８が取り付けられている。
【００１７】
基板収納容器１のうち、容器本体２、蓋体４、位置決め部（不図示）、ロボティックフランジ７、及びハンドル１０は、例えば、熱可塑性樹脂やこれらのアロイによって形成され、熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、環状オレフィン樹脂等が挙げられる。また、熱可塑性樹脂に、導電剤や各種帯電防止剤を添加しても良い。導電剤としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等が挙げられる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系等の帯電防止剤が挙げられる。
【００１８】
また、熱可塑性樹脂に紫外線吸収剤を添加しても良く、紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ビンダードアミン系等の紫外線吸収剤が挙げられる。また、剛性を高めるための添加剤を熱可塑性樹脂に添加しても良く、例えば、ガラス繊維、炭素繊維等が挙げられる。
【００１９】
また、基板収納容器１は、セラミックや、例えばジュラルミン、チタン合金等の金属材料によって形成することができる。このようにして、基板収納容器１の軽量化を図っても良い。
【００２０】
基板収納容器１内に収容される基板Ｗは、例えば直径３００ｍｍの円盤状のシリコンウェーハからなり、表裏両面がそれぞれ鏡面加工されている。基板Ｗは、専用のロボットにより左右の側部周縁がハンドリングされた状態で、容器本体２内に出し入れされる。基板Ｗの周縁には、結晶方向の判別や整列を容易にするノッチが形成されている。このノッチは、平面視において、例えば半円形状を成している。
【００２１】
容器本体２は、透明性や高剛性に優れるポリカーボネート等の所定の樹脂を用いて成形されている。容器本体２は、正面に開口したフロントオープンボックスタイプであり、容器本体２の両側壁２１には、基板Ｗを水平に支持するティース１０６が各々形成されている。このティース１０６は、図示上下方向に所定のピッチで複数配列され、このティース１０６によって、基板Ｗが水平状態で上下方向に並べて整列収納される。
【００２２】
各ティース１０６は、基板Ｗを支持可能な構成であればよく、その形状は限定されない。ティース１０６の形状としては、例えば、平面視において、長方形、「く」の字形、半円弧形状等が挙げられる。ティース１０６は、基板Ｗの周縁に沿うように形成された棚部と、この棚部上に形成され、基板Ｗと接触する平坦面を有する基板接触部１０１，１０３とを備えている。ここで、棚部及び基板接触部を図３にあるように開口部３側と背面側とに分割して設け、これらの中間部に通常は基板Ｗと接触しない補助支持部１０４を設けることができる。補助支持部１０４は、基板接触部１０１，１０３よりも低い位置に設けられ、基板Ｗの挿入時に隣接する基板接触部１０１へ挿入されること（クロススロット）を防止している。
【００２３】
また、ティース１０６の開口部３側には、基板Ｗの位置を規制する位置規制用段差１０２が形成されている。この位置規制用段差１０２と、容器本体２の奥側（開口部と反対側）で基板Ｗの形状に沿って形成された基板接触部１０３の壁面部分１０５とによって、容器本体２内の基板Ｗの前後方向の動きを規制することができる（なお、正面側を「前」、背面側を「後」とする）。上記した実施形態の補助支持部１０４を設けず、開口部３側の基板接触部と、背面側の基板接触部の２箇所だけにして両者の中間部には、空間をあけておくこともできる。
【００２４】
このような構成のティース１０６は、容器本体２とは別部品として形成され、容器本体２を成形する時にインサートされて容器本体と一体的に設けられたり、熱溶着、摩擦係合、螺刻部品等を利用して固定することができる。図１３は、ティースの他の例を示す横断面図である。図１３に示すように、ティース６は、平面視において、背面側が「く」の字形に屈曲した長方形状とした開口部から連続する棚部となるように容器本体２に一体に形成しても良い。この場合も、棚部は、基板接触部６ｂと基板の前後方向の位置規制を行う領域６ａ、６ｃを有し、基板を水平に支持可能となる。このようなティース６，１０６によって、基板Ｗは、容器本体２内において、高精度に位置決めされて支持されている。そのため、基板Ｗが上下方向に傾斜することが防止され、基板Ｗを取り出すためのフォークが容器本体２内へ容易に挿入される。
【００２５】
容器本体２の底板（底部）の外面には、所定の装置（例えば基板を加工する加工装置等）に対して位置決めを行うための位置決め部が形成されている。位置決め部は、３箇所に設置され、Ｙ字形に配置されている。また、位置決め部には、Ｖ字溝（凹部）が形成されている。また、位置決め部の断面形状は、Ｖ字形に限定されず、例えば、Ｍ字形、逆Ｖ字形、逆Ｙ字形あるいは凹んだ小判形等に形成される。
【００２６】
容器本体２の天板２２の外面には、平面視において矩形状を成すロボティックフランジ７が形成されている。このロボティックフランジ７は、容器本体２と一体的に形成されたものでもよく、別部品として形成され、容器本体２に対して着脱可能な構成とされたものでもよい。基板収納容器１は、ロボティックフランジ７がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる図示しない自動搬送機構によって保持されて、工場内を搬送される。
【００２７】
ここで、基板収納容器１は、容器本体２の対向する一対の側壁２１，２１に設けられた一対のハンドル１０を備え、このハンドル１０は容器本体２の側壁２１の周縁部分に固定されている。具体的には側壁２１の対向する周縁部分であるコーナー部分（稜線部分）２１ａ，２１ｂに着脱可能に固定されている。ハンドル１０の固定位置として、コーナー部分２１ａ，２１ｂには、ハンドル１０を係合するための被係合部２３，２４が設置されている。
【００２８】
また、ハンドル１０の側壁２１への固定位置は、側壁２１の中央を挟んで互いに対向するコーナー部分２１ａ、２１ｂに配置されることが好ましい。例えば、側壁２１の対角線に沿うようにハンドル１０が配置され、ハンドル１０の固定位置は側壁１０の対角に配置されることがより好ましい。また、両側壁２１に固定される一対のハンドルは、対称形に配置されることが好ましい。
【００２９】
ハンドル１０は、作業者によって握られるグリップ１１と、このグリップ１１の両端部１１ａ，１１ｂから互いに反対方向に連続して形成された湾曲部１２，１３と、湾曲部１２，１３の端部に設けられ、被係合部２３，２４に係合可能な係合部１４，１５とを備えている。
【００３０】
グリップ１１は、例えば一定太さの棒状でもよく、長手方向の中心１１ｃの外周が最も太くなるように異なる太さの棒状でもよく、人間工学的に握り易い形状とすることが好ましい。また、グリップ１１の長手方向の両端部１１ａ，１１ｂには、外方に突出するフランジ又はリブを設けるようにしてもよい。グリップ１１は、ハンドル１０を容器本体２に取り付けた状態において、長手方向が傾斜して配置されることが好ましい。具体的には、グリップ１１の前側の端部１１ａが上方に向けられ、グリップ１１の後側の端部１１ｂが下方に向けられて配置される。
【００３１】
湾曲部１２は、グリップ１１の端部１１ａから上方へ湾曲し、湾曲部１３は、グリップ１１の端部１１ｂから水平方向へ湾曲し、その後部側で下方に湾曲すると共に内方（容器本体２の側壁２１側）へ湾曲している。グリップ１１は、ハンドル１０が容器本体２に取り付けられた状態において、側壁２１と所定間隔離間して配置され、作業者が握り易い位置に配置されている。
【００３２】
図４は、図１中の被係合部を拡大して示す斜視図である。なお、図４では、被係合部２３を示しているが、被係合部２４も同様の構成である。被係合部２３は、容器本体２の側壁２１と天板２２との間のコーナー部分２１ａに設置され、被係合部２４は、容器本体２の側壁２１と底板との間のコーナー部分２１ｂに設置されている。被係合部２３，２４は、板状を成し、容器本体２から外方に突出し、被係合部２３，２４には、係合部１４，１５の係止爪２６（図５参照）を係止する係止穴２５が形成されている。また、係止穴２５の径は、上下方向において、異なる大きさとされ、図８に示すように、被係合部２３では、下部側の径が上部側の径より小さくされ、係止爪２６は、被係合部２３の下部側から挿入されて、係止穴２５の内壁面に係止される。なお、図示していないが、被係合部２４は、被係合部２３と上下方向が逆に形成され、上部側の径が下部側の径より小さくされ、係合部１５の係止爪２６は、被係合部２４の上部側から挿入されて、被係合部２４の係止穴２５の内壁面に係止される。
【００３３】
図５は、図１中の係合部を拡大して示す斜視図、図６〜図９は、係合部及び被係合部の係合状態を示す各図である。図５〜図９では、係合部１４，１５のうち、係合部１４のみを示しているが、係合部１５も係合部１４と同様の構成である。係合部１４，１５には、被係合部２３，２４を挿入するための開口部１６が形成されている。この開口部１６は、側面視において、被係合部２３，２４に対応する大きさとされた幅広部分１６ａを有し、この幅広部分１６ａの上下方向の両側には、幅広部分１６ａより径が小さくされた幅狭部分１６ｂが形成されている。そして、被係合部２３，２４は、開口部１６内に挿入される。
【００３４】
また、係合部１４，１５は、図８及び図９に示すように、開口部１６内に形成された弾性片１７を有し、この弾性片１７の先端部（側壁２１とは反対側の端部）１７ａには被係合部２３，２４の係止穴２５に係止される係止爪２６が形成されている。弾性片１７の基端部１７ｂ（側壁２１側の端部）は、開口部１６の湾曲部１２側の内壁面１６ａから突出し、側壁２１とは反対方向へ屈曲されている。弾性片１７は弾性を有し、先端部１７ａに形成された係止爪２６が係止穴２５の傾斜面と接触するように係止される。係止穴２５の傾斜面は、図９において、上部側が外方に倒れるように傾斜している。また、係止爪２６には、係止穴２５の傾斜面に対応して、上部側が外方に倒れるように傾斜面が形成されている。
【００３５】
このように係止穴２５及び係止爪２６に傾斜面が形成されているので、係合状態において、ハンドル１０を外す方向の外力Ｐ（図９参照）を受けた場合に、係止爪２６は傾斜面に沿って、図示Ｓ方向に移動することとなり、係止爪２６が係止穴２５から外れることを効果的に防止することができる。
【００３６】
また、弾性片１７の先端には外部に露呈した凹部である被操作部１７ｂが形成されている（なお、被操作部は、凹部に代えて凸部でもよい）。容器本体２に取り付けられたハンドル１０を取外す際には、被操作部１７ｂを押し下げて、係止爪２６を係止穴２５から外すことで、ハンドル１０と容器本体２とを分離することができる。例えば、被操作部１７ｂに係合する先端を有する専用の治具を準備し、この治具を用いて容易にハンドル１０を取外すことができる。
【００３７】
そして、ハンドル１０を容器本体２に取り付ける際には、係合部１４を被係合部２３に対応する位置に配置し、係合部１５を被係合部２４に対応する位置に配置して、ハンドル１０を押し込むことで、容器本体２容易に取り付けることができる。
【００３８】
ハンドル１０は、図３に示すように、容器本体２に取り付けられた状態において、グリップ１１の長手方向の中心１１ｃが、容器本体２の重心より開口部３側に配置されている。例えば、グリップ１１の中心１１ｃは、容器本体２の重心２ａよりも開口部３側（蓋体４側）に約１０ｍｍ程度ずらして配置されている。これにより、蓋体４を装着していない状態で、容器本体２を持ち上げたとしても、容器本体２の後方側が下方に下がり、開口部３が上方に向くので、誤って基板Ｗが開口部３から容器本体２外へ飛び出すことが防止される。
【００３９】
このような基板収納容器１では、ハンドル１０の固定位置である被係合部２３，２４が、容器本体２の側壁２１のコーナー部分２１ａ，２１ｂに設けられている。容器本体２の側壁２１のコーナー部分２１ａ，２１ｂは、側壁２１より剛性が高く変形し辛いので、コーナー部分２１ａ，２１ｂにハンドル１０の固定位置を設けることで、容器本体２の変形が低減されている。そのため、作業者がハンドル１０を握って、容器本体２を持ち上げた際の容器本体２の変形が低減される。
【００４０】
このように基板収納容器１では、容器本体２の変形が低減されるため、容器本体２と内部に収容された基板Ｗとの擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制することができる。また、容器本体２の変形が低減されるため、基板Ｗの容器本体２内における位置精度が安定し、基板Ｗを位置精度良く容器本体２内で保持することができる。そのため、容器本体２内に収容された基板Ｗを位置精度良く取り出すことができ、取り出しエラーを防止することができる。
【００４１】
次に、係合部及び被係合部の他の形態について、図１０を参照して説明する。図１０は、係合部及び被係合部の他の形態を示す分解斜視図である。図１０に示す他の形態が、上記実施形態と違う点は、容器本体２に、係止爪２６が形成された被係合部３１を備え、ハンドル１０に、係止穴２５を備えた係合部３２を備える点である。このような構成の係合部３１及び被係合部３２であってもよい。本実施形態のハンドルには、一部分又は全領域に凹凸リブを交互に設けたり、表面の一部分又は全領域に、皮、織布、木目、砂目などのパターンのシボを加工して、汚れの付着を防止したり、滑り止め効果を出すことができる。
【００４２】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器を、半導体ウェーハを収納するものとして説明しているが、収納物される基板は、半導体ウェーハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の精密基板でもよい。また、収容される基板の大きさは、３００ｍｍに限定されず、例えば４５０ｍｍ等その他の大きさでもよい。また、収納枚数も１〜２５枚に限らず２６枚以上であっても良い。
【００４３】
また、ハンドルの形状は、上記実施形態に限定されず、その形状は、任意の形状でよい。ハンドルの固定位置が側壁の互いに対向する周縁部分に配置されていればよい。
【００４４】
図１１は、本発明のハンドルの別の実施形態を示す斜視図である。図１１に示すハンドル４０は、側面視において逆Ｙ字状に形成され、上下方向に延在するグリップ４１を有している。また、容器本体２の稜線部（コーナー部分）への固定部（係合部）４２，４３が、天板側に１箇所（４２）、底板側に２箇所（４３）、合計３箇所に形成されている。固定方法は、上記した実施形態と同じ係止構造でも良く、別の係止構造を組み合わせて用いても良い。このように３箇所以上で固定することで、容器本体に固定されるハンドル４０のねじれや撓みを防止することができる。その結果、作業者が基板収納容器を持ち上げる際に、安定して保持することができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、グリップの長手方向が上下方向に傾斜して配置されているが、グリップの長手方向が傾斜して配置されていなくても良い。例えば、グリップ部が円形や多角形状に形成されていて、表面に指がはまり込むような凹凸が形成されたものでもよく、グリップ部が容器の底板と平行でもよく、垂直でもよい。
【００４６】
また、上記実施形態では、ハンドルが容器本体２に対して着脱可能な構成とされているが、ハンドルは、容器本体から取外しできないように固定されていてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、グリップの長手方向の中心が、平面視において、容器本体２の重心よりも前方に配置されているが、グリップの長手方向の中心が、容器本体２の重心と同じ位置や、容器本体２の重心より後方に配置されていてもよい。なお、グリップを握って容器本体２を持ち上げた際に、開口部３が上向きと成りやすくするには、上記実施形態のように、グリップの長手方向を傾斜させると共に、グリップの中心を容器本体２の重心よりも、前方に配置させると良い。
【００４８】
なお、グリップは作業者によって握られなくてもよい。例えば、ロボット、その他の機械等にグリップを握らせて、容器本体を持ち上げてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、フロントオープンタイプの容器本体に、ハンドルを取り付けているが、例えば開口部が容器本体の天板に形成されたトップオープンタイプのものに、ハンドルを取り付けてもよい。
【００５０】
図１２は、さらに別の形態のハンドルを備えた基板収納容器を示す斜視図である。この別の形態のハンドル５０では、容器本体２の天板２２側の稜線部（コーナー部分）２１ａから、側壁２１の外方に突出する把持部５１が容器本体２と一体的に形成されている。
【００５１】
このハンドル５０は、容器本体２の側壁２１の外面に固定されたプレート部５２を有している。把持部５１は、プレート部５２の上端部５２ａで屈曲されて、外方に突出している。プレート部５２の上端部５２ａは、容器本体２の天板２２側の稜線部２１ａに沿って固定され、把持部５１は、稜線部２１ａから外方に突出している。このように、ハンドル５０の把持部５１が側壁２１の稜線部２１ａから外方に突出しているので、ハンドル５０の構造を簡素とすると共に、ハンドル５０を握って容器本体２を保持する際の容器本体２の変形を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板収納容器を背面側から示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板収納容器の横断面図である。
【図４】図１中の被係合部を拡大して示す斜視図である。
【図５】図１中の係合部を拡大して示す斜視図である。
【図６】係合部及び被係合部の係合状態を示す斜視図である。
【図７】係合部及び被係合部の係合状態を示す側面図である。
【図８】係合部及び被係合部の係合状態を示す縦断面図である。
【図９】係合部及び被係合部の係合状態を拡大して示す横断面図である。
【図１０】係合部及び被係合部の他の形態を示す分解斜視図である。
【図１１】本発明のハンドルの別の実施形態を示す斜視図である。
【図１２】さらに別の形態のハンドルを備えた基板収納容器を示す斜視図である。
【図１３】ティースの他の例を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…基板収納容器、２…容器本体、２ａ…容器本体の重心、３…開口部、４…蓋体、１０，４０，５０…ハンドル、１１，４１…グリップ、１１ａ，１１ｂ…グリップの端部、１１ｃ…グリップの中心、１２，１３…湾曲部、１４，１５，３２，４２，４３…係合部、２１…側壁、２１ａ，２１ｂ…コーナー部分、２３，２４，３１…被係合部、２５…係止穴、２６…係止爪、５１…把持部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを備えた基板収納容器において、
前記容器本体の対向する一対の側壁に設けられた一対のハンドルを備え、
前記ハンドルは、前記側壁の周縁部分に固定されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記ハンドルは、前記側壁の互いに対向する周縁部分に固定されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記ハンドルは、作業者によって握られるグリップと、
前記グリップの両端部から連続して形成され、前記側壁の前記周縁部に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記グリップの長手方向の中心は、前記容器本体の重心より前記開口部側に配置されていることを特徴とする請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記係合部又は前記被係合部の何れか一方は、係止爪を備え、他方は、前記係止爪が係止される係止穴を備えていることを特徴とする請求項３又は４記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記ハンドルは、前記側壁の周縁部分に沿って固定され、前記周縁部分から外方に突出する把持部を有していることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項７】
開口部を有し基板を収納する基板収納容器の容器本体の側壁に取り付けられるハンドルにおいて、
作業者によって握られるグリップと、
前記グリップの両端部に接続され、前記側壁の互いに対向する前記周縁部分に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴とする基板収納容器のハンドル。
【請求項１】
開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを備えた基板収納容器において、
前記容器本体の対向する一対の側壁に設けられた一対のハンドルを備え、
前記ハンドルは、前記側壁の周縁部分に固定されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記ハンドルは、前記側壁の互いに対向する周縁部分に固定されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記ハンドルは、作業者によって握られるグリップと、
前記グリップの両端部から連続して形成され、前記側壁の前記周縁部に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記グリップの長手方向の中心は、前記容器本体の重心より前記開口部側に配置されていることを特徴とする請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記係合部又は前記被係合部の何れか一方は、係止爪を備え、他方は、前記係止爪が係止される係止穴を備えていることを特徴とする請求項３又は４記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記ハンドルは、前記側壁の周縁部分に沿って固定され、前記周縁部分から外方に突出する把持部を有していることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項７】
開口部を有し基板を収納する基板収納容器の容器本体の側壁に取り付けられるハンドルにおいて、
作業者によって握られるグリップと、
前記グリップの両端部に接続され、前記側壁の互いに対向する前記周縁部分に形成された被係合部に係合可能な係合部とを備えることを特徴とする基板収納容器のハンドル。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−２７０２８１（Ｐ２００８−２７０２８１Ａ）
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１０７３８３（Ｐ２００７−１０７３８３）
【出願日】平成１９年４月１６日（２００７．４．１６）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年４月１６日（２００７．４．１６）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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