基板収納容器
【課題】寸法ばらつきに起因しシールガスケットが変形してシール性を損ねない基板収納容器。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口部に嵌合される蓋体１０と、容器本体１と蓋体１０との間に介在されるシールガスケット２０とを備え、容器本体１の開口内周縁に、シールガスケット２０と接触して変形させるシール形成面４を形成し、蓋体１０の周縁部にシールガスケット２０用の嵌合保持溝１４を形成する。シールガスケット２０を、蓋体１０の嵌合保持溝１４に嵌入される基体２１と、基体２１に形成され嵌合保持溝１４の内面に圧接する第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａと、嵌合保持溝１４から突出し、容器本体１のシール形成面４に圧接するシール片２４とから形成し、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さL1と嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の内側面２２の直線部分の長さＬ２との関係をＬ１＞Ｌ２とする。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口部に嵌合される蓋体１０と、容器本体１と蓋体１０との間に介在されるシールガスケット２０とを備え、容器本体１の開口内周縁に、シールガスケット２０と接触して変形させるシール形成面４を形成し、蓋体１０の周縁部にシールガスケット２０用の嵌合保持溝１４を形成する。シールガスケット２０を、蓋体１０の嵌合保持溝１４に嵌入される基体２１と、基体２１に形成され嵌合保持溝１４の内面に圧接する第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａと、嵌合保持溝１４から突出し、容器本体１のシール形成面４に圧接するシール片２４とから形成し、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さL1と嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の内側面２２の直線部分の長さＬ２との関係をＬ１＞Ｌ２とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等を収納する基板収納容器に関し、特にそのシール構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる複数枚の精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口正面部に着脱自在に嵌合される蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備えて構成されている（特許文献１、２、３参照）。
【０００３】
シールガスケットは、蓋体の周縁部に形成された嵌合保持溝に嵌入される基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧接する嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、容器本体のシール形成面に接触する屈曲シール片とを備え、これらが所定の成形材料を用いて一体成形されている。このようなシールガスケットは、基板収納容器の使用時に蓋体から脱落しないよう、蓋体の嵌合保持溝に基体が所定の治具を使用してきつく嵌入される。
【特許文献１】特開２００５‐３５３８９８号公報
【特許文献２】特開２００２‐６８３６４号公報
【特許文献３】特開２００４‐１４０３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、優れた作用効果を得ることができるものの、蓋体の嵌合保持溝にシールガスケットの基体が所定の治具を使用してきつく嵌入されるので、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の端部が変形してシール性を損ね、精密基板の汚染を招くおそれが考えられる。すなわち、蓋体の嵌合保持溝とシールガスケットの基体の端部とは、形状や寸法の一致しないことが少なくないので、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の水平性が悪化するよう変形し、屈曲シール片の先端部の高さが波打ち状態に変位してシール性を損ね、精密基板が汚染してしまうおそれがある。
【０００５】
この弊害を解消するため、従来においては、蓋体の嵌合保持溝にシールガスケットを嵌入し、その後、屈曲シール片の先端部の高さを治具により測定してシール性の合否を判定していたが、これでは、作業性が煩雑化したり、悪化するという問題が新たに生じることとなる。
【０００６】
また、従来においては、シール性を一定に保つため、容器本体のシール形成面に屈曲シール片を強く圧接して寸法ばらつきを吸収する方法も採用されている。しかしながら、この場合には、屈曲シール片の材質や強い圧接に起因して容器本体の開口正面部から蓋体を取り外す際、容器本体あるいは蓋体にシールガスケットの屈曲シール片が張り付いてしまい、蓋体の取り外しに支障を来たし、精密基板の加工や処理が中断されてしまうおそれが考えられる。
【０００７】
本発明は上記に鑑みなされたもので、寸法ばらつき等に起因してシールガスケットが変形してシール性を損ねたり、基板の汚染を招くおそれを排除することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備え、容器本体の開口部内周縁と蓋体の周縁部とのいずれか一方に、シールガスケット用の嵌合保持溝を形成し、他方には、シールガスケットと接触して変形させるシール形成面を形成したものであって、
シールガスケットは、嵌合保持溝に嵌め入れられる基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧力作用状態で接触する第一、第二の嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、シール形成面に接触する屈曲シール片とを含み、
嵌合保持溝の最奥面と、この嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面とを略同形状に形成して平行にし、嵌合保持溝の最奥面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８としたことを特徴としている。
【０００９】
なお、シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とすることができる。
また、シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆することができる。
また、シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成することができる。
【００１０】
また、シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成することも可能である。
【００１１】
また、嵌合保持溝の最奥面の隅部半径（Ｒ１）と嵌合保持溝の最奥面に接触するシールガスケットの基体における接触面の隅部半径（Ｒ２）との関係をＲ１≦Ｒ２とすることも可能である。
【００１２】
また、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構を備え、この施錠機構を、蓋体に支持されて外部操作により回転する回転プレートと、この回転プレートの回転に連動して蓋体の内外方向にスライドする複数の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの先端部に回転可能に取り付けられ、蓋体の施錠時には、蓋体の周縁部から突出して容器本体の開口部内周縁の係止穴に引っかかる出没可能な係止爪とから構成することも可能である。
【００１３】
さらに、シールガスケットの屈曲シール片を、基体に形成されて嵌合保持溝から突出する突出部と、この突出部の先端に設けられる湾曲部と、この湾曲部の先端に形成されてシール形成面に接触する膨張部とから形成することもできる。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における基板は、２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍタイプの半導体ウェーハからなる精密基板、石英ガラス、液晶セル等を特に問うものではない。容器本体と蓋体とは、透明、不透明、半透明を問うものではない。蓋体の周縁部には、蓋体の周壁と蓋体の裏面周縁部のいずれもが含まれる。
【００１５】
シールガスケットは、エンドレスの枠形でも良いが、可撓性を有する単数複数の線条でも良い。このシールガスケットの第一、第二の嵌合突起は、それぞれ単数複数いずれでも良い。さらに、基板収納容器は、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプのいずれでも良い。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、寸法ばらつき等に起因してシールガスケットが変形して不用意にシール性を損ねたり、基板の汚染を招くおそれを排除することができるという効果がある。特に、嵌合保持溝の最奥面の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面に接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８とするので、嵌合保持溝に基体を嵌め入れる際の抵抗が増大して作業性が悪化したり、抵抗の増大に伴い基体の変形に支障を来たしたり、シール位置がばらつくのを防ぐことができる。また、嵌合保持溝と基体とのクリアランスを適切に確保して基体が過剰に変形するのを防ぐことができる。
【００１７】
また、シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とすれば、シール性の低下を防ぎ、シールガスケットの張り付きを効果的に抑制することができる。
また、シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆すれば、容器本体のシール形成面にしぼを加工することができない場合やシールガスケットの張り付き防止効果をさらに向上させたい場合に有意義である。
【００１８】
また、シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成すれば、嵌合保持溝にシールガスケットを挿入する作業が容易になる。
また、シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成すれば、高さの異なる第一、第二の嵌合突起が嵌合保持溝の開口側に倒れるので、基体を容易に変形させたり、嵌入時の基体の抵抗を減少させることができ、これにより、シールガスケットの取付作業における作業性の向上が期待できる。
【００１９】
さらに、倒れた第一、第二の嵌合突起が抵抗となるので、シールガスケットを位置決めしてシール性を安定して維持したり、蓋体からシールガスケットが安易に脱落するのを防ぐことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、複数枚の精密基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面部に嵌合される蓋体１０と、これら容器本体１と蓋体１０との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケット２０とを備え、容器本体１の開口正面部の内周縁に、シールガスケット２０と接触してこれを変形させるシール形成面４を形成し、蓋体１０の周縁部には、シールガスケット２０用の嵌合保持溝１４を形成するようにしている。
【００２１】
精密基板は、例えば口径３００ｍｍタイプの薄く丸い半導体ウェーハ（Ｓｉウェーハや再生ウェーハ）からなり、周縁部に位置決め用のノッチが選択的に切り欠かれており、容器本体１内に１〜２５枚、あるいは１〜２６枚の枚数で整列収納される。
【００２２】
容器本体１は、図１に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、内部両側には、精密基板の側部周縁を水平に支持する左右一対のティース２が突出形成されており、この相対向する一対のティース２が所定の間隔をおいて上下方向に並設される。この容器本体１の成形材料としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。
【００２３】
容器本体１の底面には、平面略Ｙ字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレートが着脱自在に装着され、このボトムプレートには、図示しない加工装置に対する断面略Ｖ字形の位置決め具が配列して装着されており、容器本体１の天井中央部には図１に示すように、搬送ロボットに把持されるフランジ３が着脱自在に装着される。
【００２４】
容器本体１の開口正面部は、図１、図５、図６に示すように、外方向に張り出すように段差を付けて屈曲形成され、この段差の段差面が平坦なシール形成面４として機能する。このシール形成面４は、シールガスケット２０の張り付き防止の観点から、しぼ加工（ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ）５が施され、ＪＩＳ ０６０１−１９７６の表面粗さ（十点平均粗さ）（Ｒｚ）がＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とされる。
【００２５】
これは、シール形成面４の表面粗さ（Ｒｚ）が０．７μｍ以上の場合には、シールガスケット２０の張り付きを効果的に防止することができるからである。また、シール形成面４の表面粗さ（Ｒｚ）が０．９μｍ以下の場合には、シールガスケット２０のシール性能の低下を防止することができるからである。シール形成面４のしぼは、容器本体１を成形する金型のシール形成面形成位置に、サンドブラストや放電加工等が施されることにより加工される。
【００２６】
容器本体１の開口正面部の内周縁上下には、左右一対の係止穴６が所定の間隔をおいて凹み形成される。また、容器本体１の内部背面には、精密基板の後部周縁を水平に嵌合保持する左右一対のリヤリテーナが突出形成され、この一対のリヤリテーナが所定の間隔をおいて上下方向に並設される。
【００２７】
容器本体１の両側部の外面下部には図１に示すように、搬送用のサイドレール７がそれぞれ着脱自在に装着され、容器本体１の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル８がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００２８】
蓋体１０は、図１に示すように、容器本体１の開口正面部に嵌合される筐体１１と、この筐体１１に設置されて施錠する一対の施錠機構１６と、各施錠機構１６を着脱自在に覆う一対のプレート１７とを備え、容器本体１の開口正面部に着脱自在に嵌合される。この蓋体１０の筐体１１、一対の施錠機構１６、及び一対のプレート１７は、容器本体１と同様の成形材料を使用して成形される。
【００２９】
筐体１１は、基本的には断面略皿形を呈した横長の長方形に成形され、中央部１２が隆起することにより左右両側部が相対的に凹み形成されるとともに、この凹んだ左右両側部内に施錠機構１６がそれぞれ設置されており、周壁の上下両側には、施錠機構１６用の貫通口がそれぞれ穿孔される。この筐体１１の裏面の凹んだ中央部１２には、精密基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ１３が着脱自在に装着され、筐体１１の裏面の周縁部には、容器本体１の開口正面部の内周縁に左右横方向から対向する断面略Ｕ字形の嵌合保持溝１４がエンドレスの枠形に形成される。
【００３０】
各施錠機構１６は、図示しないが、筐体１１に軸支されて加工装置の外部操作により回転する回転プレートと、この回転プレートの周縁部に連結されてその回転に連動することにより蓋体１０の内外方向（図１の上下方向）にスライドする一対の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの先端部に軸支され、蓋体１０の施錠時には、動力伝達プレートのスライドにより蓋体１０の周壁の貫通口から突出して容器本体１の開口部内周縁の係止穴６に係止し、蓋体１０の解錠時には、スライドした動力伝達プレートの復帰により容器本体１の係止穴６から蓋体１０の貫通口内に退没する出没可能な一対の係止爪とを備えて構成される。
【００３１】
回転プレートは、断面略凸字形に形成されてその突出した中心部には外部操作用の操作穴が凹み形成され、周縁部には１８０°の間隔をおいて一対の円弧溝がそれぞれ穿孔される。また、各動力伝達プレートは、基本的には長方形の平板に形成されて筐体１１に複数のガイドを介して支持され、末端部には、回転プレートの円弧溝に挿入される円柱形の係合ピンが突出形成される。また、各係止爪は、蓋体１０の貫通口付近に揺動可能に軸支されて動力伝達プレートの先端部に揺動可能に連結される。
【００３２】
各プレート１７は、筐体１１の凹んだ各側部に対応するよう縦長の長方形に形成され、回転プレートの操作穴に対応する矩形の操作口１８が穿孔されており、この操作口１８を貫通した加工装置の操作キーが回転プレートの操作穴に挿入されて回転することにより、各施錠機構１６が外部から操作されることとなる。
【００３３】
シールガスケット２０は、図１ないし図６に示すように、蓋体１０の嵌合保持溝１４に嵌入される基体２１と、この基体２１に並べて形成され、嵌合保持溝１４の内面（容器本体１側の内面）に圧接する屈曲可能な第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａと、基体２１に形成されて嵌合保持溝１４から突出し、容器本体１のシール形成面４に圧接する屈曲シール片２４とを備えて一体形成される。
【００３４】
シールガスケット２０は、例えばポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、シリコーン系のゴム等の成形材料を用いて成形される。この成形材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤等が適宜添加される。また、表面の固着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加される。
【００３５】
基体２１は、図１、図２、図５、図６に示すように、蓋体１０の嵌合保持溝１４と同様、エンドレスの枠形に形成され、その断面が嵌合保持溝１４の断面形状に略対応するよう略矩形とされており、略直線的な内側面２２が接触面として嵌合保持溝１４の略直線的な最奥面１５に平行に密接するとともに、外側面が嵌合保持溝１４の開口側に位置する。
【００３６】
第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａは、基体２１の表面内外方向（図３、図５、図６の左右方向）に間隔をおいて並べて形成され、それぞれ先細りに形成されるとともに、第一の嵌合突起２３が嵌合保持溝１４の最奥面１５側に、第二の嵌合突起２３Ａが嵌合保持溝１４の開口側にそれぞれ位置しており、嵌合保持溝１４に基体２１が圧入されると、基体２１の嵌入方向とは反対側、換言すれば、嵌合保持溝１４の開口側（図５、図６の右側）に傾斜する。
【００３７】
第一の嵌合突起２３は、先端部が細く丸まった断面略柱形に形成される。また、第二の嵌合突起２３Ａは、一部が屈曲して嵌合保持溝１４の開口側に偏位した断面略三角形に形成され、第一の嵌合突起２３よりも高く長く形成されるとともに、根元部を含む全体が十分な強度を有するよう太く形成されており、先端部に柔軟性が付与される。この第二の嵌合突起２３Ａは、その高さ（長さ）が０．５〜１．５ｍｍ、根元部が０．５〜１．５ｍｍの寸法に形成される。
【００３８】
第二の嵌合突起２３Ａの最大寸法（Ｈ１）と嵌合保持溝１４の開口の最大寸法（Ｈ２）とは、その差（Ｈ１−Ｈ２）が０．０５〜０．５ｍｍ程度の関係にあることが好ましい。これは、０．０５ｍｍ未満の場合には、十分なシール性を得ることができず、シールガスケット２０の位置がずれやすくなるからである。逆に、０．５ｍｍを超える場合には、嵌合保持溝１４に対するシールガスケット２０の取り付けが困難になるからである。
【００３９】
屈曲シール片２４は、図３や図６に示すように、基体２１の外側面に形成されて嵌合保持溝１４と略平行となるよう嵌合保持溝１４から直線的に突出する突出部２５と、この突出部２５の先端に設けられて容器本体１のシール形成面４方向に曲がりながら伸びる断面略円弧形の湾曲部２６と、この湾曲部２６の先端に膨張形成されてシール形成面４に圧接する球状突起２７とから形成される。
【００４０】
このようなシールガスケット２０は、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の基体２１における内側面２２の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係がＬ１＞Ｌ２とされるとともに、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８とされ、嵌合保持溝１４の最奥面１５の隅部半径（Ｒ１）と嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触する基体２１の内側面２２の隅部半径（Ｒ２）との関係がＲ１≦Ｒ２とされる。
【００４１】
Ｌ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８の範囲なのは、１．１未満の場合には、嵌合保持溝１４に基体２１を嵌入する際の抵抗が増大して作業性が悪化したり、抵抗の増大に伴い基体２１の変形に支障を来たしたり、シール位置のばらつきを招くという理由に基づく。逆に、１．８を超える場合には、嵌合保持溝１４と基体２１とのクリアランスが増大して基体２１が必要以上に変形しやすくなるという理由に基づく。
【００４２】
上記において、容器本体１の開口正面部内に蓋体１０が嵌合され（図５参照）、容器本体１のシール形成面４にシールガスケット２０の球状突起２７が接触すると、シールガスケット２０の屈曲シール片２４が撓んで容器本体１と蓋体１０との間をシールして閉塞し、外部から容器本体１内に塵埃等が侵入するのを有効に防止する（図６参照）。
【００４３】
上記によれば、嵌合保持溝１４の最奥面１５と基体２１の内側面２２とが略同じ形状で相互に密接するので、例えシールガスケット２０を嵌入する際の力加減を誤っても、基体２１の水平性が悪化するよう変形したり、屈曲シール片２４の先端の高さが波打ち状態に変位してシール性を損ね、精密基板が汚染してしまうおそれがない。また、蓋体１０の嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入した後、屈曲シール片２４の高さを治具により測定してシール性の合否を判定する必要が全くないので、作業性を著しく向上させることができる。
【００４４】
また、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の基体２１における内側面２２の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係がＬ１＞Ｌ２とされるとともに、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８とされるので、基体２１の傾きを防止してシール形成面４と屈曲シール片２４とを高精度に接触させ、シールの安定性を著しく向上させることができる。
【００４５】
また、シール形成面４に凹凸のしぼが加工されるので、容器本体１の開口正面部から蓋体１０を取り外す際、容器本体１あるいは蓋体１０にシールガスケット２０の屈曲シール片２４が張り付いてしまうことがない。したがって、蓋体１０の取り外しに支障を来たしたり、精密基板の加工や処理が中断されてしまうおそれがない。
【００４６】
また、嵌合保持溝１４にシールガスケット２０の基体２１が嵌入されると、高さの異なる第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａが嵌合保持溝１４の開口側に倒れ、基体２１を弾性的に保持するので、基体２１を容易に変形させたり、嵌入時の基体２１の抵抗を減少させることができ、これにより、嵌入作業の作業性を大幅に向上させることが可能になる。
【００４７】
また、倒れた第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａが抵抗となり、かつ嵌入方向の反対方向に反発力を生じさせるので、シールガスケット２０を適切に位置決めしてシール性を安定して維持したり、蓋体１０からシールガスケット２０が簡単に脱落するのを防ぐことが可能になる。さらに、第一の嵌合突起２３よりも嵌合保持溝１４の開口側の第二の嵌合突起２３Ａが高いので、シール性を維持したり、接触面積を減少させてパーティクルの発生等を防止することも可能になる。
【００４８】
次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、シールガスケット２０の少なくとも一部、具体的にはシール機能を発揮する屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面に凹凸のしぼ加工５を施して低摩擦層２８を形成するようにしている。
【００４９】
屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面は、ＪＩＳ ０６０１−１９７６の表面粗さ（Ｒｚ）がＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定された場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とされる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１のシール形成面４にしぼを加工することができない場合に有意義であるのは明らかである。
【００５０】
次に、図８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、筐体１１の裏面の周縁部に、容器本体１のシール形成面４に前後方向から対向する断面略Ｕ字形の嵌合保持溝１４をエンドレスの枠形に形成し、この嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入してその屈曲シール片２４をシール形成面４に向けて圧接するようにしている。
【００５１】
シールガスケット２０の少なくとも一部、具体的にはシール機能を発揮する屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面には、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−１９７６の表面粗さがＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定された場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの低摩擦層２８を形成する凹凸のしぼ加工５が施される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、嵌合保持溝１４の構成の多様化やシールガスケット２０の取り付けの多様化を図ることができるのは明らかである。
【００５２】
次に、図９は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、シールガスケット２０の基体２１の隅部を切り欠いて段差部２９に形成し、このシールガスケット２０の表面を含む露出面に、第３の実施形態と同様の粗さ範囲のしぼ加工５を施して低摩擦層２８を形成するようにしている。
【００５３】
段差部２９は、基体２１の内側面２２の第一の嵌合突起２３に隣接する隅部が略矩形に切り欠かれることにより形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基体２１における内側面２２の隅部を段差部２９に形成するので、嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入する作業がきわめて容易になるのは明白である。さらに、シールガスケット２０の露出面を低摩擦層２８により被覆するので、嵌入作業がきわめて円滑化し、シールガスケット２０からのアウトガスの放出防止も大いに期待できる。
【００５４】
なお、上記実施形態では容器本体１を単に示したが、容器本体１の一部に精密基板を観察するための透視ウインドを形成しても良い。また、容器本体１のシール形成面４やシールガスケット２０にしぼを加工したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、シール形成面４やシールガスケット２０に平均膜厚が０．１〜５０μｍ程度のダイヤモンドライクコーティング、ＰＥＥＫコーティング、あるいはフッ素コーティング等を施し、耐磨耗性や滑り性を向上させて安定したシール性能を長期に亘り保持したり、シールガスケット２０の張り付きを効果的に防止しても良い。
【００５５】
また、上記実施形態では嵌合保持溝１４の最奥面１５に基体２１の内側面２２を密接させ、これら最奥面１５と内側面２２とをそれぞれ直線的な垂直壁同士としたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、最奥面１５と内側面２２とを平行に傾斜させたり、図１０や図１１に示すように平行な略く字形に形成して嵌合密接させたり、あるいは図１２や図１３に示すように平行に湾曲させ、位置補正可能に嵌合密接させても良い。
【００５６】
また、施錠機構１６の係止爪には、容器本体１の係止穴６に嵌入する磨耗防止用のローラを回転可能に軸支させても良い。また、シールガスケット２０の基体２１は、断面略長方形でも良いし、略正方形とすることもできる。さらに、屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面にしぼ加工５を施したが、他の部分に施すこともできる。例えば、シールガスケット２０の基体２１や屈曲シール片２４の突出部２５等にしぼ加工５を施すことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す正面図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す部分断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図６】図５のシールガスケットのシール状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１１】図１１のシールガスケットを模式的に示す要部断面説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の第６の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１３】図１２のシールガスケットを模式的に示す要部断面説明図である。
【符号の説明】
【００５８】
１ 容器本体
４ シール形成面
５ しぼ加工
１０ 蓋体
１１ 筐体
１４ 嵌合保持溝
１５ 最奥面
１６ 施錠機構
２０ シールガスケット
２１ 基体
２２ 内側面（接触面）
２３ 第一の嵌合突起
２３Ａ 第二の嵌合突起
２４ 屈曲シール片
２５ 突出部
２６ 湾曲部
２７ 球状突起
２８ 低摩擦層
２９ 段差部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等を収納する基板収納容器に関し、特にそのシール構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる複数枚の精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口正面部に着脱自在に嵌合される蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備えて構成されている（特許文献１、２、３参照）。
【０００３】
シールガスケットは、蓋体の周縁部に形成された嵌合保持溝に嵌入される基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧接する嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、容器本体のシール形成面に接触する屈曲シール片とを備え、これらが所定の成形材料を用いて一体成形されている。このようなシールガスケットは、基板収納容器の使用時に蓋体から脱落しないよう、蓋体の嵌合保持溝に基体が所定の治具を使用してきつく嵌入される。
【特許文献１】特開２００５‐３５３８９８号公報
【特許文献２】特開２００２‐６８３６４号公報
【特許文献３】特開２００４‐１４０３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、優れた作用効果を得ることができるものの、蓋体の嵌合保持溝にシールガスケットの基体が所定の治具を使用してきつく嵌入されるので、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の端部が変形してシール性を損ね、精密基板の汚染を招くおそれが考えられる。すなわち、蓋体の嵌合保持溝とシールガスケットの基体の端部とは、形状や寸法の一致しないことが少なくないので、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の水平性が悪化するよう変形し、屈曲シール片の先端部の高さが波打ち状態に変位してシール性を損ね、精密基板が汚染してしまうおそれがある。
【０００５】
この弊害を解消するため、従来においては、蓋体の嵌合保持溝にシールガスケットを嵌入し、その後、屈曲シール片の先端部の高さを治具により測定してシール性の合否を判定していたが、これでは、作業性が煩雑化したり、悪化するという問題が新たに生じることとなる。
【０００６】
また、従来においては、シール性を一定に保つため、容器本体のシール形成面に屈曲シール片を強く圧接して寸法ばらつきを吸収する方法も採用されている。しかしながら、この場合には、屈曲シール片の材質や強い圧接に起因して容器本体の開口正面部から蓋体を取り外す際、容器本体あるいは蓋体にシールガスケットの屈曲シール片が張り付いてしまい、蓋体の取り外しに支障を来たし、精密基板の加工や処理が中断されてしまうおそれが考えられる。
【０００７】
本発明は上記に鑑みなされたもので、寸法ばらつき等に起因してシールガスケットが変形してシール性を損ねたり、基板の汚染を招くおそれを排除することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備え、容器本体の開口部内周縁と蓋体の周縁部とのいずれか一方に、シールガスケット用の嵌合保持溝を形成し、他方には、シールガスケットと接触して変形させるシール形成面を形成したものであって、
シールガスケットは、嵌合保持溝に嵌め入れられる基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧力作用状態で接触する第一、第二の嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、シール形成面に接触する屈曲シール片とを含み、
嵌合保持溝の最奥面と、この嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面とを略同形状に形成して平行にし、嵌合保持溝の最奥面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８としたことを特徴としている。
【０００９】
なお、シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とすることができる。
また、シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆することができる。
また、シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成することができる。
【００１０】
また、シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成することも可能である。
【００１１】
また、嵌合保持溝の最奥面の隅部半径（Ｒ１）と嵌合保持溝の最奥面に接触するシールガスケットの基体における接触面の隅部半径（Ｒ２）との関係をＲ１≦Ｒ２とすることも可能である。
【００１２】
また、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構を備え、この施錠機構を、蓋体に支持されて外部操作により回転する回転プレートと、この回転プレートの回転に連動して蓋体の内外方向にスライドする複数の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの先端部に回転可能に取り付けられ、蓋体の施錠時には、蓋体の周縁部から突出して容器本体の開口部内周縁の係止穴に引っかかる出没可能な係止爪とから構成することも可能である。
【００１３】
さらに、シールガスケットの屈曲シール片を、基体に形成されて嵌合保持溝から突出する突出部と、この突出部の先端に設けられる湾曲部と、この湾曲部の先端に形成されてシール形成面に接触する膨張部とから形成することもできる。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における基板は、２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍタイプの半導体ウェーハからなる精密基板、石英ガラス、液晶セル等を特に問うものではない。容器本体と蓋体とは、透明、不透明、半透明を問うものではない。蓋体の周縁部には、蓋体の周壁と蓋体の裏面周縁部のいずれもが含まれる。
【００１５】
シールガスケットは、エンドレスの枠形でも良いが、可撓性を有する単数複数の線条でも良い。このシールガスケットの第一、第二の嵌合突起は、それぞれ単数複数いずれでも良い。さらに、基板収納容器は、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプのいずれでも良い。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、寸法ばらつき等に起因してシールガスケットが変形して不用意にシール性を損ねたり、基板の汚染を招くおそれを排除することができるという効果がある。特に、嵌合保持溝の最奥面の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面に接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８とするので、嵌合保持溝に基体を嵌め入れる際の抵抗が増大して作業性が悪化したり、抵抗の増大に伴い基体の変形に支障を来たしたり、シール位置がばらつくのを防ぐことができる。また、嵌合保持溝と基体とのクリアランスを適切に確保して基体が過剰に変形するのを防ぐことができる。
【００１７】
また、シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とすれば、シール性の低下を防ぎ、シールガスケットの張り付きを効果的に抑制することができる。
また、シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆すれば、容器本体のシール形成面にしぼを加工することができない場合やシールガスケットの張り付き防止効果をさらに向上させたい場合に有意義である。
【００１８】
また、シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成すれば、嵌合保持溝にシールガスケットを挿入する作業が容易になる。
また、シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成すれば、高さの異なる第一、第二の嵌合突起が嵌合保持溝の開口側に倒れるので、基体を容易に変形させたり、嵌入時の基体の抵抗を減少させることができ、これにより、シールガスケットの取付作業における作業性の向上が期待できる。
【００１９】
さらに、倒れた第一、第二の嵌合突起が抵抗となるので、シールガスケットを位置決めしてシール性を安定して維持したり、蓋体からシールガスケットが安易に脱落するのを防ぐことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、複数枚の精密基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面部に嵌合される蓋体１０と、これら容器本体１と蓋体１０との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケット２０とを備え、容器本体１の開口正面部の内周縁に、シールガスケット２０と接触してこれを変形させるシール形成面４を形成し、蓋体１０の周縁部には、シールガスケット２０用の嵌合保持溝１４を形成するようにしている。
【００２１】
精密基板は、例えば口径３００ｍｍタイプの薄く丸い半導体ウェーハ（Ｓｉウェーハや再生ウェーハ）からなり、周縁部に位置決め用のノッチが選択的に切り欠かれており、容器本体１内に１〜２５枚、あるいは１〜２６枚の枚数で整列収納される。
【００２２】
容器本体１は、図１に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、内部両側には、精密基板の側部周縁を水平に支持する左右一対のティース２が突出形成されており、この相対向する一対のティース２が所定の間隔をおいて上下方向に並設される。この容器本体１の成形材料としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。
【００２３】
容器本体１の底面には、平面略Ｙ字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレートが着脱自在に装着され、このボトムプレートには、図示しない加工装置に対する断面略Ｖ字形の位置決め具が配列して装着されており、容器本体１の天井中央部には図１に示すように、搬送ロボットに把持されるフランジ３が着脱自在に装着される。
【００２４】
容器本体１の開口正面部は、図１、図５、図６に示すように、外方向に張り出すように段差を付けて屈曲形成され、この段差の段差面が平坦なシール形成面４として機能する。このシール形成面４は、シールガスケット２０の張り付き防止の観点から、しぼ加工（ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ）５が施され、ＪＩＳ ０６０１−１９７６の表面粗さ（十点平均粗さ）（Ｒｚ）がＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とされる。
【００２５】
これは、シール形成面４の表面粗さ（Ｒｚ）が０．７μｍ以上の場合には、シールガスケット２０の張り付きを効果的に防止することができるからである。また、シール形成面４の表面粗さ（Ｒｚ）が０．９μｍ以下の場合には、シールガスケット２０のシール性能の低下を防止することができるからである。シール形成面４のしぼは、容器本体１を成形する金型のシール形成面形成位置に、サンドブラストや放電加工等が施されることにより加工される。
【００２６】
容器本体１の開口正面部の内周縁上下には、左右一対の係止穴６が所定の間隔をおいて凹み形成される。また、容器本体１の内部背面には、精密基板の後部周縁を水平に嵌合保持する左右一対のリヤリテーナが突出形成され、この一対のリヤリテーナが所定の間隔をおいて上下方向に並設される。
【００２７】
容器本体１の両側部の外面下部には図１に示すように、搬送用のサイドレール７がそれぞれ着脱自在に装着され、容器本体１の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル８がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００２８】
蓋体１０は、図１に示すように、容器本体１の開口正面部に嵌合される筐体１１と、この筐体１１に設置されて施錠する一対の施錠機構１６と、各施錠機構１６を着脱自在に覆う一対のプレート１７とを備え、容器本体１の開口正面部に着脱自在に嵌合される。この蓋体１０の筐体１１、一対の施錠機構１６、及び一対のプレート１７は、容器本体１と同様の成形材料を使用して成形される。
【００２９】
筐体１１は、基本的には断面略皿形を呈した横長の長方形に成形され、中央部１２が隆起することにより左右両側部が相対的に凹み形成されるとともに、この凹んだ左右両側部内に施錠機構１６がそれぞれ設置されており、周壁の上下両側には、施錠機構１６用の貫通口がそれぞれ穿孔される。この筐体１１の裏面の凹んだ中央部１２には、精密基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ１３が着脱自在に装着され、筐体１１の裏面の周縁部には、容器本体１の開口正面部の内周縁に左右横方向から対向する断面略Ｕ字形の嵌合保持溝１４がエンドレスの枠形に形成される。
【００３０】
各施錠機構１６は、図示しないが、筐体１１に軸支されて加工装置の外部操作により回転する回転プレートと、この回転プレートの周縁部に連結されてその回転に連動することにより蓋体１０の内外方向（図１の上下方向）にスライドする一対の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの先端部に軸支され、蓋体１０の施錠時には、動力伝達プレートのスライドにより蓋体１０の周壁の貫通口から突出して容器本体１の開口部内周縁の係止穴６に係止し、蓋体１０の解錠時には、スライドした動力伝達プレートの復帰により容器本体１の係止穴６から蓋体１０の貫通口内に退没する出没可能な一対の係止爪とを備えて構成される。
【００３１】
回転プレートは、断面略凸字形に形成されてその突出した中心部には外部操作用の操作穴が凹み形成され、周縁部には１８０°の間隔をおいて一対の円弧溝がそれぞれ穿孔される。また、各動力伝達プレートは、基本的には長方形の平板に形成されて筐体１１に複数のガイドを介して支持され、末端部には、回転プレートの円弧溝に挿入される円柱形の係合ピンが突出形成される。また、各係止爪は、蓋体１０の貫通口付近に揺動可能に軸支されて動力伝達プレートの先端部に揺動可能に連結される。
【００３２】
各プレート１７は、筐体１１の凹んだ各側部に対応するよう縦長の長方形に形成され、回転プレートの操作穴に対応する矩形の操作口１８が穿孔されており、この操作口１８を貫通した加工装置の操作キーが回転プレートの操作穴に挿入されて回転することにより、各施錠機構１６が外部から操作されることとなる。
【００３３】
シールガスケット２０は、図１ないし図６に示すように、蓋体１０の嵌合保持溝１４に嵌入される基体２１と、この基体２１に並べて形成され、嵌合保持溝１４の内面（容器本体１側の内面）に圧接する屈曲可能な第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａと、基体２１に形成されて嵌合保持溝１４から突出し、容器本体１のシール形成面４に圧接する屈曲シール片２４とを備えて一体形成される。
【００３４】
シールガスケット２０は、例えばポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、シリコーン系のゴム等の成形材料を用いて成形される。この成形材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤等が適宜添加される。また、表面の固着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加される。
【００３５】
基体２１は、図１、図２、図５、図６に示すように、蓋体１０の嵌合保持溝１４と同様、エンドレスの枠形に形成され、その断面が嵌合保持溝１４の断面形状に略対応するよう略矩形とされており、略直線的な内側面２２が接触面として嵌合保持溝１４の略直線的な最奥面１５に平行に密接するとともに、外側面が嵌合保持溝１４の開口側に位置する。
【００３６】
第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａは、基体２１の表面内外方向（図３、図５、図６の左右方向）に間隔をおいて並べて形成され、それぞれ先細りに形成されるとともに、第一の嵌合突起２３が嵌合保持溝１４の最奥面１５側に、第二の嵌合突起２３Ａが嵌合保持溝１４の開口側にそれぞれ位置しており、嵌合保持溝１４に基体２１が圧入されると、基体２１の嵌入方向とは反対側、換言すれば、嵌合保持溝１４の開口側（図５、図６の右側）に傾斜する。
【００３７】
第一の嵌合突起２３は、先端部が細く丸まった断面略柱形に形成される。また、第二の嵌合突起２３Ａは、一部が屈曲して嵌合保持溝１４の開口側に偏位した断面略三角形に形成され、第一の嵌合突起２３よりも高く長く形成されるとともに、根元部を含む全体が十分な強度を有するよう太く形成されており、先端部に柔軟性が付与される。この第二の嵌合突起２３Ａは、その高さ（長さ）が０．５〜１．５ｍｍ、根元部が０．５〜１．５ｍｍの寸法に形成される。
【００３８】
第二の嵌合突起２３Ａの最大寸法（Ｈ１）と嵌合保持溝１４の開口の最大寸法（Ｈ２）とは、その差（Ｈ１−Ｈ２）が０．０５〜０．５ｍｍ程度の関係にあることが好ましい。これは、０．０５ｍｍ未満の場合には、十分なシール性を得ることができず、シールガスケット２０の位置がずれやすくなるからである。逆に、０．５ｍｍを超える場合には、嵌合保持溝１４に対するシールガスケット２０の取り付けが困難になるからである。
【００３９】
屈曲シール片２４は、図３や図６に示すように、基体２１の外側面に形成されて嵌合保持溝１４と略平行となるよう嵌合保持溝１４から直線的に突出する突出部２５と、この突出部２５の先端に設けられて容器本体１のシール形成面４方向に曲がりながら伸びる断面略円弧形の湾曲部２６と、この湾曲部２６の先端に膨張形成されてシール形成面４に圧接する球状突起２７とから形成される。
【００４０】
このようなシールガスケット２０は、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の基体２１における内側面２２の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係がＬ１＞Ｌ２とされるとともに、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８とされ、嵌合保持溝１４の最奥面１５の隅部半径（Ｒ１）と嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触する基体２１の内側面２２の隅部半径（Ｒ２）との関係がＲ１≦Ｒ２とされる。
【００４１】
Ｌ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８の範囲なのは、１．１未満の場合には、嵌合保持溝１４に基体２１を嵌入する際の抵抗が増大して作業性が悪化したり、抵抗の増大に伴い基体２１の変形に支障を来たしたり、シール位置のばらつきを招くという理由に基づく。逆に、１．８を超える場合には、嵌合保持溝１４と基体２１とのクリアランスが増大して基体２１が必要以上に変形しやすくなるという理由に基づく。
【００４２】
上記において、容器本体１の開口正面部内に蓋体１０が嵌合され（図５参照）、容器本体１のシール形成面４にシールガスケット２０の球状突起２７が接触すると、シールガスケット２０の屈曲シール片２４が撓んで容器本体１と蓋体１０との間をシールして閉塞し、外部から容器本体１内に塵埃等が侵入するのを有効に防止する（図６参照）。
【００４３】
上記によれば、嵌合保持溝１４の最奥面１５と基体２１の内側面２２とが略同じ形状で相互に密接するので、例えシールガスケット２０を嵌入する際の力加減を誤っても、基体２１の水平性が悪化するよう変形したり、屈曲シール片２４の先端の高さが波打ち状態に変位してシール性を損ね、精密基板が汚染してしまうおそれがない。また、蓋体１０の嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入した後、屈曲シール片２４の高さを治具により測定してシール性の合否を判定する必要が全くないので、作業性を著しく向上させることができる。
【００４４】
また、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の基体２１における内側面２２の直線部分の長さ（Ｌ２）との関係がＬ１＞Ｌ２とされるとともに、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）が１．１〜１．８とされるので、基体２１の傾きを防止してシール形成面４と屈曲シール片２４とを高精度に接触させ、シールの安定性を著しく向上させることができる。
【００４５】
また、シール形成面４に凹凸のしぼが加工されるので、容器本体１の開口正面部から蓋体１０を取り外す際、容器本体１あるいは蓋体１０にシールガスケット２０の屈曲シール片２４が張り付いてしまうことがない。したがって、蓋体１０の取り外しに支障を来たしたり、精密基板の加工や処理が中断されてしまうおそれがない。
【００４６】
また、嵌合保持溝１４にシールガスケット２０の基体２１が嵌入されると、高さの異なる第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａが嵌合保持溝１４の開口側に倒れ、基体２１を弾性的に保持するので、基体２１を容易に変形させたり、嵌入時の基体２１の抵抗を減少させることができ、これにより、嵌入作業の作業性を大幅に向上させることが可能になる。
【００４７】
また、倒れた第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａが抵抗となり、かつ嵌入方向の反対方向に反発力を生じさせるので、シールガスケット２０を適切に位置決めしてシール性を安定して維持したり、蓋体１０からシールガスケット２０が簡単に脱落するのを防ぐことが可能になる。さらに、第一の嵌合突起２３よりも嵌合保持溝１４の開口側の第二の嵌合突起２３Ａが高いので、シール性を維持したり、接触面積を減少させてパーティクルの発生等を防止することも可能になる。
【００４８】
次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、シールガスケット２０の少なくとも一部、具体的にはシール機能を発揮する屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面に凹凸のしぼ加工５を施して低摩擦層２８を形成するようにしている。
【００４９】
屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面は、ＪＩＳ ０６０１−１９７６の表面粗さ（Ｒｚ）がＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定された場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とされる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１のシール形成面４にしぼを加工することができない場合に有意義であるのは明らかである。
【００５０】
次に、図８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、筐体１１の裏面の周縁部に、容器本体１のシール形成面４に前後方向から対向する断面略Ｕ字形の嵌合保持溝１４をエンドレスの枠形に形成し、この嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入してその屈曲シール片２４をシール形成面４に向けて圧接するようにしている。
【００５１】
シールガスケット２０の少なくとも一部、具体的にはシール機能を発揮する屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面には、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−１９７６の表面粗さがＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定された場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの低摩擦層２８を形成する凹凸のしぼ加工５が施される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、嵌合保持溝１４の構成の多様化やシールガスケット２０の取り付けの多様化を図ることができるのは明らかである。
【００５２】
次に、図９は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、シールガスケット２０の基体２１の隅部を切り欠いて段差部２９に形成し、このシールガスケット２０の表面を含む露出面に、第３の実施形態と同様の粗さ範囲のしぼ加工５を施して低摩擦層２８を形成するようにしている。
【００５３】
段差部２９は、基体２１の内側面２２の第一の嵌合突起２３に隣接する隅部が略矩形に切り欠かれることにより形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基体２１における内側面２２の隅部を段差部２９に形成するので、嵌合保持溝１４にシールガスケット２０を嵌入する作業がきわめて容易になるのは明白である。さらに、シールガスケット２０の露出面を低摩擦層２８により被覆するので、嵌入作業がきわめて円滑化し、シールガスケット２０からのアウトガスの放出防止も大いに期待できる。
【００５４】
なお、上記実施形態では容器本体１を単に示したが、容器本体１の一部に精密基板を観察するための透視ウインドを形成しても良い。また、容器本体１のシール形成面４やシールガスケット２０にしぼを加工したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、シール形成面４やシールガスケット２０に平均膜厚が０．１〜５０μｍ程度のダイヤモンドライクコーティング、ＰＥＥＫコーティング、あるいはフッ素コーティング等を施し、耐磨耗性や滑り性を向上させて安定したシール性能を長期に亘り保持したり、シールガスケット２０の張り付きを効果的に防止しても良い。
【００５５】
また、上記実施形態では嵌合保持溝１４の最奥面１５に基体２１の内側面２２を密接させ、これら最奥面１５と内側面２２とをそれぞれ直線的な垂直壁同士としたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、最奥面１５と内側面２２とを平行に傾斜させたり、図１０や図１１に示すように平行な略く字形に形成して嵌合密接させたり、あるいは図１２や図１３に示すように平行に湾曲させ、位置補正可能に嵌合密接させても良い。
【００５６】
また、施錠機構１６の係止爪には、容器本体１の係止穴６に嵌入する磨耗防止用のローラを回転可能に軸支させても良い。また、シールガスケット２０の基体２１は、断面略長方形でも良いし、略正方形とすることもできる。さらに、屈曲シール片２４の湾曲部２６と球状突起２７の表面にしぼ加工５を施したが、他の部分に施すこともできる。例えば、シールガスケット２０の基体２１や屈曲シール片２４の突出部２５等にしぼ加工５を施すことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す正面図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す部分断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図６】図５のシールガスケットのシール状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１１】図１１のシールガスケットを模式的に示す要部断面説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の第６の実施形態における容器本体、蓋体、及びシールガスケットを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１３】図１２のシールガスケットを模式的に示す要部断面説明図である。
【符号の説明】
【００５８】
１ 容器本体
４ シール形成面
５ しぼ加工
１０ 蓋体
１１ 筐体
１４ 嵌合保持溝
１５ 最奥面
１６ 施錠機構
２０ シールガスケット
２１ 基体
２２ 内側面（接触面）
２３ 第一の嵌合突起
２３Ａ 第二の嵌合突起
２４ 屈曲シール片
２５ 突出部
２６ 湾曲部
２７ 球状突起
２８ 低摩擦層
２９ 段差部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備え、容器本体の開口部内周縁と蓋体の周縁部とのいずれか一方に、シールガスケット用の嵌合保持溝を形成し、他方には、シールガスケットと接触して変形させるシール形成面を形成した基板収納容器であって、
シールガスケットは、嵌合保持溝に嵌め入れられる基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧力作用状態で接触する第一、第二の嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、シール形成面に接触する屈曲シール片とを含み、
嵌合保持溝の最奥面と、この嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面とを略同形状に形成して平行にし、嵌合保持溝の最奥面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８としたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とした請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆した請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成した請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成した請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器。
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備え、容器本体の開口部内周縁と蓋体の周縁部とのいずれか一方に、シールガスケット用の嵌合保持溝を形成し、他方には、シールガスケットと接触して変形させるシール形成面を形成した基板収納容器であって、
シールガスケットは、嵌合保持溝に嵌め入れられる基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧力作用状態で接触する第一、第二の嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、シール形成面に接触する屈曲シール片とを含み、
嵌合保持溝の最奥面と、この嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面とを略同形状に形成して平行にし、嵌合保持溝の最奥面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ１）と、嵌合保持溝の最奥面と接触するシールガスケットの基体における接触面の直線部分又は円弧部分の長さ（Ｌ２）との関係をＬ１＞Ｌ２とし、これらＬ１とＬ２との比（Ｌ１／Ｌ２）を１．１〜１．８としたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
シール形成面の表面粗さ（Ｒｚ）をＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に準じて測定した場合に、０．７μｍ〜０．９μｍの範囲とした請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
シールガスケットの少なくとも一部を低摩擦層により被覆した請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
シールガスケットの基体における接触面の隅部を段差部に形成した請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
シールガスケットの第一、第二の嵌合突起をそれぞれ先細りに形成し、第一の嵌合突起を嵌合保持溝の最奥面側に位置させるとともに、第二の嵌合突起を嵌合保持溝の開口側に位置させ、第一の嵌合突起よりも第二の嵌合突起を長くしてその少なくとも根元部を太く形成した請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−６２９７９（Ｐ２００８−６２９７９Ａ）
【公開日】平成２０年３月２１日（２００８．３．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２４３８４７（Ｐ２００６−２４３８４７）
【出願日】平成１８年９月８日（２００６．９．８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月２１日（２００８．３．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月８日（２００６．９．８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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