基板収納容器
【課題】 落下衝撃等によっても外れない施錠機構を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部と、被操作部の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部材を備えたラッチバーとを有し、係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする。
【解決手段】 開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部と、被操作部の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部材を備えたラッチバーとを有し、係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器、特には基板収納容器に取付けられる蓋体の施錠機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
３００ｍｍや４５０ｍｍなどの大口径のシリコンウェーハやガラスウェーハなどの基板を収納し、輸送に使用される基板収納容器は、容器本体と、蓋体とからなり、容器本体内部の両側部に棚状をした支持部が、高さ方向に所定の間隔で複数段設けられていて、棚状の支持部の背面側には、基板の奥側の位置を規制するストッパーとなる壁面が形成されている。
容器本体の開口部を閉鎖する蓋体には、各基板の前方周縁を個別に保持する弾性片を備えたフロントリテーナが設けられている。このような蓋体には、両者をシール可能に係合するための施錠機構が設けられている（特許文献１、２参照）。
ここにおける施錠機構は、外部から操作可能な操作孔と、カム溝を有する回転部材と、一端部が回転部材のカム溝に係合し、他端に容器本体との係合部を有するラッチバーとを有していて、このラッチバーの他端が容器本体の開口部の内周縁に形成される係合凹部に挿入されて、容器本体と蓋体とが固定される。
【０００３】
従来の基板収納容器は、容器本体に形成された係合凹部に、施錠機構の係止部材又はラッチバーの先端が挿入されて、係合凹部の平坦面に押圧されて固定されているだけであった。そのため、基板収納容器が誤って落下したりして大きな衝撃が加わったときには、蓋体及び容器本体の開口部が瞬間的に大きく変形してしまうので、施錠機構の係止部材が係合凹部から外れてしまい、容器本体から蓋体が外れてしまうことが懸念されていた。このような事故が発生すると、基板を損傷するばかりでなく、基板の破損片で作業員が受傷したり、クリーンルームを汚染することとなり、生産活動が中止されてしまう事態になってしまい、大きな損害が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１３３４０５号公報
【特許文献２】特開２００７−１９１２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上の事情に鑑みて、このような事故による落下衝撃等によっても外れない施錠機構を備えた基板収納容器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の基板収納容器は、開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部と、被操作部の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部材を備えたラッチバーとを有し、係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする。
【０００７】
前記係止部材である第二の嵌合部には、つば部が備えられ、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うこと、前記施錠機構が、回転部材と、一端が回転部材に係合することで、回転部材の動きに連動して係止凹部に出没するラッチバーとからなり、ラッチバーの他端の係止部材である第二の嵌合部が円弧状の軌跡を描いて、係合凹部の第一の嵌合部に、噛み合うこと、前記ラッチバーが、回転部材の操作孔よりも蓋体の幅方向の中心線寄りに配置されていて、回転部材と連動する連結部によってラッチバーが蓋体の幅方向にスライドして係止凹部に挿入されること、前記ラッチバーが、回転部材に設けられるカム溝に係合される円柱突起を一端に有し、他端は蓋体に揺動可能に軸支されていて、ラッチバーの他端には、係止部材が軸支されていて、回転部材の動きに連動してラッチバーが蓋体の側壁方向にスライドし、該係止部材は、ラッチバーの動きに合わせて、蓋体の厚さ方向に円弧状に移動して、係止凹部の第一の嵌合部を乗り越えて嵌合すること、前記係止凹部が、容器本体の開口部内側から外側にかけて形成される貫通穴を備えていること、がそれぞれ好ましい。
【０００８】
さらに、開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構が、容器本体の外壁に固定されていて、カム溝を備えた棒状又は板状をした非操作部と、カム溝を介して移動可能に支持される第二の嵌合部を備えた係合部とを有し、蓋体には、係合部が通過可能な切欠きと、係止凹部となる第一の嵌合部が形成されていて、係合凹部の第一の嵌合部と、係止部材であるの第二の嵌合部とが噛み合うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の基板収納容器における施錠機構は、係止部材である第二嵌合部が係合凹部の第一嵌合部と噛み合うようになっているので、基板収納容器に大きな衝撃が加わって、容器本体の開口部が大きく変形しようとしても、第一の嵌合部と第二の嵌合部との相対的な位置関係が変わらないので、係止部材である第二嵌合部が係合凹部から外れてしまうことを防止できる。それによって、基板を破損させたり、破損した基板でクリーンルームを汚染してしまうことを効果的に防止できる。
また、破損した基板が飛び散ることがないので、作業員が受傷することを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の解錠状態を表す正面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態の施錠機構の解錠状態の詳細を表す要部断面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態の施錠機構の施錠状態の詳細を表す要部断面図である。
【図５】本発明の第二の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図６】本発明の第二の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の解錠状態を表す正面図である。
【図７】本発明の第二の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の施錠状態を表す正面図である。
【図８】本発明の第二の実施形態の施錠機構の要部断面図であって、（ａ）は、解錠状態、（ｂ）は、施錠状態をそれぞれ表す。
【図９】本発明の第二の実施形態の施錠機構の解錠状態の要部平面図であって、（ａ）は、解錠状態、（ｂ）は、施錠状態をそれぞれ表す。
【図１０】本発明の第三の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図１１】本発明の第三の実施形態の蓋体を表す斜視図である。
【図１２】本発明の第三の実施形態の施錠機構の詳細を表す要部斜視図である。
【図１３】本発明の第三の実施形態の蓋体の係合部を表す拡大斜視図である。
【図１４】本発明の第三の実施形態の施錠機構の操作機構を表す側面図である。
【図１５】本発明の第三の実施形態の施錠機構の操作機構の要部を表す分解斜視図である。
【図１６】本発明の第三の実施形態の施錠機構の施錠の過程を（ａ）〜（ｄ）に順次に示す逐次説明図である。
【図１７】本発明の第三の実施形態の施錠機構の施錠の過程を（ａ）〜（ｄ）に順次に示す逐次説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
基板収納容器は、図１に示すように、基板を収納する開口１を前面に備えた容器本体２と、容器本体２の開口１を閉鎖する蓋体３とを有していて、開口１の内周面には、蓋体３を係止するための係合凹部４が形成されている。
容器本体２の左右の内側壁５には、収納される基板を水平状態で、一定間隔に整列させて支持するための一対の支持部６が備えられている。これらの内側壁５の外壁の支持部の奥側には位置規制が設けられていて、基板の挿入限度を規制している。
【００１２】
また、容器本体の天面には、搬送用のロボティックフランジ７が取り付けられていて、外側壁にはマニュアルハンドル８やサイドレール９が設けられていて、さらに底部には位置決め部材を備えたボトムプレート１０が設けられていて、これらが搬送に使用される。
蓋体３には、それぞれの基板の前周部に個別に接触してこれを保持する弾性片を備えたフロントリテーナ１１が設けられている。
また、蓋体３の側壁には、シール用のガスケット１２が備えられていて、容器本体２との間にシールを形成する。
【００１３】
施錠機構１３は、図２にも示すように、外部から操作可能な回転部材１４と、回転部材１４のカム溝１５に係合する円柱状の連結部１６を一端に備えた上下１対の板状のラッチバー１７とを有し、ラッチバー１７の他端部には、係止部材１８が係合される。ここで、ラッチバー１７の他端に係合される係止部材１８は、蓋体に設けられる軸部１９によって揺動可能に軸支されている。
【００１４】
図３に詳細に示すように、係止部材１８は、３つの端部を備えていて、これらの第一の端部２０は、軸部１９によって蓋体３に回動可能に連結されていて、第二の端部２１はラッチバー１７の他端と回動可能に連結されていて、残りの第三の端部２２が、係止部材となり、回転部材の動きに連動するラッチバー１７の動きに合わせて、蓋体の側壁方向にスライドし、係止部材（第三の端部２２）が、蓋体側壁の貫通穴２３から出没する。係止部材２２の先端には、回転ローラ２４を軸２５を利用して取り付けることができる。回転ローラ２４は円形でも良いが、接触面積を大きくするために多角形とすることもできる。
【００１５】
図３は、回転部材１４（図１、２）によりラッチバー１７が蓋体側壁の貫通穴２３から内側方向に後退し、係止部材２２も貫通穴２３から後退して、施錠機構１３が解錠された状態を示している。このとき係止部材２２は、蓋体３の側面の貫通穴２３から引っ込んだ状態にあるので、容器本体２の開口１（図１）から蓋体３を取り除いたり、容器本体２の開口１に蓋体３を挿入することができる。
【００１６】
図４は、施錠機構１３が施錠された状態を示していて、容器本体２の係合凹部４に蓋体３の係止部材２２が係合される。このときラッチバー１７先端の係止部材２２は、軸部１９を基点として円弧状に移動するので、係合凹部４の内側へ突出するように設けられる、第一の嵌合リブとなる円弧状の突起部２６を超えて嵌合するようになる。
この場合、第一の嵌合リブの突起部２６と、係止部材２２先端の回転ローラ２４とが噛み合うことになるので、大きな衝撃によって容器本体の開口部が変形しても、施錠機構と係合凹部が噛み合っているので、外れることがなく、容器本体から蓋体が外れて、基板を損傷させたり、基板の破片によってクリーンルームを汚染したり、作業員を負傷させてしまうことを防止できる。
【００１７】
さらに、施錠機構１３は、回転部材１４に対して、ラッチバー１７が、蓋体３の上下方向に１対設けられているので、衝撃によって容器本体２の開口１が上下に広がろうとしても、上下方向にそれぞれ配置される係止部材２２である第三の端部２２によって逆方向に引っ張り合うこととなり、変形しようとする力が打ち消されて、変形量を小さくできるという効果がある。
【００１８】
図５乃至図９は、施錠機構の第二の実施形態を表すものである。
この第二の実施形態の場合も、図５に表すように、容器本体３１の開口３２をシール可能に閉鎖する蓋体３３に施錠機構３４が内蔵されている。
蓋体３３に内蔵される１対の施錠機構３４は、外部から操作可能な回転部材３５と、回転部材３５のカム溝３６に係合してこれと連動する連結部材３７と、回転部材３５よりも蓋体３３の幅方向の中央寄りに配置される板状のラッチバー３８とを有し、ラッチバー３８の一端部は連結部材３７と係合し、ラッチバー３８の先端に当たる他端部は、係止部材３９となっており、その先端には膨出した突起４０（図８）が形成されている。
【００１９】
図６は、施錠機構３４（図５）が解錠された状態を表しており、このときラッチバー３８先端の係止部材は、蓋体３３の側壁の貫通穴４１から引っ込んだ状態にある。図７は、施錠機構が施錠され、容器本体と蓋体３３とが固定された状態を示しており、このとき連結部材３７はカム溝３６に係合していて、回転部材３５の動きに合わせて、ガイドリブ４２に沿って蓋体３３の幅方向に移動可能となっていて、ラッチバー３８は、一端側から他端側にかけて蓋体３３の幅方向内側に斜めに傾斜しており、容器本体の開口内周面に設けられる係合凹部に係合される。
これらを要部を拡大して表す図８、図９によって、より詳細に説明する。
図８（ａ）・図９（ａ）は、解錠状態を現すものであり、このときラッチバー３８先端の係止部材３９は、図８、図９に示すように、係合凹部４３の幅方向から円弧状にスライドして進入して、係止部材３９の先端から遠い位置に形成され、断面Ｌ字状をしたつば部４４を備える第一の嵌合リブ４５（図８ａ・ｂ）と噛み合うようになる。
【００２０】
このように第一の嵌合リブ４５のつば部４４と、係止部材３９先端の係止部材（膨出部）４０とが噛み合うことで、大きな衝撃によって容器本体３１の開口３２が変形しても、施錠機構３４と係合凹部４３とが噛み合っているので、外れることがなく、容器本体３１から蓋体３３が外れて、基板を損傷させたり、基板の破片によってクリーンルームを汚染したり、作業員を負傷させてしまうことを防止できる。
また、本実施形態では、係止凹部４３を貫通穴４１と対応させて形成しているので、第一の嵌合部４５及びつば部４４が離型時にアンダーカットとならないように金型のブロックを分割して形成し、この係止凹部を形成するための金型ブロックを金型の外方向にスライドさせることで、金型から容易に離型させることができる。
図８（ｂ）・図９（ｂ）は、施錠状態を現すものであり、蓋体３３が容器本体３１側に沈み込むつつ、ラッチバー３８が外側に伸長し、係止部材３９先端の第二の係合部たる突起４０が、第一の嵌合部４５につば部４４と係合し、衝撃等によっては外れ難くなる。
【００２１】
図１０乃至図１７は、第三の実施形態である基板収納容器における施錠機構５１を示すものである。
この施錠機構５１は、上述の施錠機構とは異なり、蓋体内に組み込まれるのではなく、容器本体の外側に設けられる。
カム溝５２を備えた板状をした被操作部材５３が容器本体５４の側壁の上辺側から下辺側にかけて移動可能に配置されている。容器本体５４の開口５５の側壁には容器本体切り欠き５６が形成されている。また、蓋体５７の側壁には、図１１に示すような、蓋体切り欠き部５８が形成されていて、蓋体切り欠き部５８と隣接するように係合凹部５９が形成されている。係合凹部５９には、断面略Ｌ字形のリブ６０が形成されている。
【００２２】
被操作部材５３のカム溝５２には、図１２に示すように、第二の嵌合部をなす係止部材６１が移動可能に支持されていて、被操作部材５３の動きに応じて、容器本体５４と蓋体５７の蓋体切り欠き部５８から出没して、蓋体５７の係合凹部５９に嵌合して蓋体５７を容器本体５４に固定する。
このとき、係合凹部５９の断面Ｌ字形のリブ６０が第一の嵌合部となり、係止部材６１の先端が折れ曲がった部分６２は、第二の嵌合部となり、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うことで、強固に施錠される。
この場合も先ほどの実施形態と同様の効果が得られる。
【００２３】
図１４は、加工装置に第三の実施形態の施錠機構を備えた基板収納容器が搭載されたときの状態を表していて、被操作部材５３の両端部は、装置側に設けられる操作手段６３によってアクセス可能となっている。被操作部材５３は、上下方向に移動可能に支持されている。なお、こうした被操作部材は、側壁の上辺と下辺に軸支して、左右方向に移動させるようにすることもできる。
【００２４】
図１５は、容器本体５４に設けられる施錠機構の要部を表す分解斜視図であり、施錠機構は、容器本体５４の開口部分に被操作部材５３を上下動可能に取り付けるためのガイド部材６４と、被操作部材５３と、両者の間に位置する係止部材６１とを有している。ガイド部材６４には、係止部材６１を収納し、係止部材６１を移動可能に支持するための収納溝６５と、１対の第一の円柱突起６６が形成されていて、この１対の第一の円柱突起６６が、係止部材６１に形成される第一のカム溝６７に係合して、これを支持している。
【００２５】
第一のカム溝６７は、ほぼ垂直に形成された垂直溝６８と、垂直溝６８の端部に形成される傾斜溝６９と、傾斜溝６９の他端部に形成される水平溝７０とを有している。
また、収納溝６５の側壁は、被操作部材５３が上下動するときの幅方向の動きを規制している。係止部材６１には、前記した第一のカム溝６７と、被操作部材５３と係合するための１対の第二の円柱突起７１が形成されている。
被操作部材５３の係止部材６１の第二の円柱突起７１と向き合う領域には、第二のカム溝７２が形成されていて、係止部材６１の第二の円柱突起７１と係合して支持されている。
第二のカム溝７２は、水平方向に対して僅かな傾斜角度に形成される緩傾斜溝７３と、垂直方向から僅かに傾斜した急傾斜溝７４とを有する。
【００２６】
図１６（ａ）〜（ｄ）は、解錠状態において、被操作部材５３が下方に押されて、施錠するまでの被操作部材５３と、係止部材６１の動きを表している。
図１６（ａ）の状態では、係止部材６１の第二の円柱突起７１が、被操作部材５３の緩傾斜溝７３の一端に係合されていて、上下方向の移動は制限されているので、両者の相対位置は変化しないで、これらの部材は、第一の円柱突起６６に案内されながら、第一のカム溝６７の垂直溝６８の上端に位置する図１６（ｂ）の状態まで、一緒に下降していく。
次の段階である図１６（ｂ）〜図１６（ｃ）の状態では、係止部材６１が、第一の円柱突起６６に案内されて、第一のカム溝６７の垂直溝６８と連結された傾斜溝６９の他端部まで移動するようになるので、係止部材６１と被操作部材５３とは斜め下方に移動することとなる。すなわち、係止部材の第二の嵌合部７５が、図１６の図内で右側に移動しながら下降していくこととなる。このとき、第二の円柱突起７１は、第二のカム溝７２の緩傾斜溝７３の他端部に位置するようになる。
【００２７】
引き続いて、被操作部材５３が、さらに下降されていくと、図１６（ｄ）に示されるように、被操作部材５３の第二のカム溝７２は、第二の円柱突起７１と、急傾斜溝７４とで接触するようになり、この急傾斜溝７４の端部に位置するまで右方向に僅かに移動しながら下方に移動するようになる。一方、係止部材６１は、下方には移動せずに第一のカム溝６７の水平溝７０に沿って右方向に水平に移動するようになる。
このように、施錠の最終段階においては、被操作部材５３と、係止部材６１とは異なる方向に動くようになり、第一の嵌合部と第二の嵌合部７５とが係合する位置まで移動する。
【００２８】
図１７（ａ）〜（ｄ）は、係止部材６１の動きを蓋体の係止凹部５９とＬ字型形のリブ６０との関係で示している。
図１６（ａ）〜（ｄ）で説明したように、第二の嵌合部７５は、蓋体の切り欠き７６領域（係止凹部の上方で、第一の嵌合部であるＬ字型形のリブ６０の斜め上方）に位置している。被操作部材５３が下方に押されることで、係止部材６１は、下方に移動するとともに、次に第一の嵌合部に接近する方向に僅かに移動して、さらに下方に押圧されることで、第一の嵌合部と、第二の嵌合部７５とが接触して嵌合するまで図１７の右方向に移動することとなる。この状態で容器本体と蓋体とは施錠されて、固定される。
このように、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うことで、容器本体と蓋体とは、強固に施錠される。
この場合も先ほどの実施形態と同様の効果が得られる。
なお、解錠するときには、上記と逆の動きをすることで、解錠される。
【符号の説明】
【００２９】
１：開口
２：容器本体
３：蓋体
４：係合凹部
５：（容器本体２⇒２の左右の）内側壁
６：支持部
７：ロボティックフランジ
８：マニュアルハンドル
９：サイドレール
１０：ボトムプレート
１１：フロントリテーナ
１２：ガスケット
１３：施錠機構
１４：回転部材
１５：カム溝
１６：連結部
１７：ラッチバー
１８：係止部材（第一の嵌合部）
１９：軸部
２０：第一の端部
２１：第二の端部
２２：第三の端部（係止部材）
２３：貫通穴
２４：回転ローラ（第二の嵌合部）
２５：軸
２６：（円弧状の）突起部（第一の嵌合リブ）
３１：容器本体
３２：開口
３３：蓋体
３４：施錠機構
３５：回転部材
３６：カム溝
３７：連結部材
３８：ラッチバー
３９：係止部材
４０：突起（第二の嵌合部）
４１：貫通穴
４２：ガイドリブ
４３：係合凹部
４４：つば部
４５：第一の嵌合リブ
４６：第一の嵌合部
５１：施錠機構
５２：カム溝
５３：被操作部材
５４：容器本体
５５：開口
５６：容器本体切り欠き
５７：蓋体
５８：蓋体切り欠き部
５９：係合凹部
６０：Ｌ字形のリブ（第一の嵌合部）
６１：係止部材（第二の嵌合部）
６２：第二の嵌合部（先端が折れ曲がった部分）
６３：操作手段
６４：ガイド部材
６５：収納溝
６６：第一の円柱突起
６７：第一のカム溝
６８：垂直溝
６９：傾斜溝
７０：水平溝
７１：第二の円柱突起
７２：第二のカム溝
７３：緩傾斜溝
７４：急傾斜溝
７５：（係止部材６１の）第二の嵌合部
７６：切り欠き
７７：（ガイド部材の）内側壁
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器、特には基板収納容器に取付けられる蓋体の施錠機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
３００ｍｍや４５０ｍｍなどの大口径のシリコンウェーハやガラスウェーハなどの基板を収納し、輸送に使用される基板収納容器は、容器本体と、蓋体とからなり、容器本体内部の両側部に棚状をした支持部が、高さ方向に所定の間隔で複数段設けられていて、棚状の支持部の背面側には、基板の奥側の位置を規制するストッパーとなる壁面が形成されている。
容器本体の開口部を閉鎖する蓋体には、各基板の前方周縁を個別に保持する弾性片を備えたフロントリテーナが設けられている。このような蓋体には、両者をシール可能に係合するための施錠機構が設けられている（特許文献１、２参照）。
ここにおける施錠機構は、外部から操作可能な操作孔と、カム溝を有する回転部材と、一端部が回転部材のカム溝に係合し、他端に容器本体との係合部を有するラッチバーとを有していて、このラッチバーの他端が容器本体の開口部の内周縁に形成される係合凹部に挿入されて、容器本体と蓋体とが固定される。
【０００３】
従来の基板収納容器は、容器本体に形成された係合凹部に、施錠機構の係止部材又はラッチバーの先端が挿入されて、係合凹部の平坦面に押圧されて固定されているだけであった。そのため、基板収納容器が誤って落下したりして大きな衝撃が加わったときには、蓋体及び容器本体の開口部が瞬間的に大きく変形してしまうので、施錠機構の係止部材が係合凹部から外れてしまい、容器本体から蓋体が外れてしまうことが懸念されていた。このような事故が発生すると、基板を損傷するばかりでなく、基板の破損片で作業員が受傷したり、クリーンルームを汚染することとなり、生産活動が中止されてしまう事態になってしまい、大きな損害が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１３３４０５号公報
【特許文献２】特開２００７−１９１２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上の事情に鑑みて、このような事故による落下衝撃等によっても外れない施錠機構を備えた基板収納容器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の基板収納容器は、開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部と、被操作部の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部材を備えたラッチバーとを有し、係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする。
【０００７】
前記係止部材である第二の嵌合部には、つば部が備えられ、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うこと、前記施錠機構が、回転部材と、一端が回転部材に係合することで、回転部材の動きに連動して係止凹部に出没するラッチバーとからなり、ラッチバーの他端の係止部材である第二の嵌合部が円弧状の軌跡を描いて、係合凹部の第一の嵌合部に、噛み合うこと、前記ラッチバーが、回転部材の操作孔よりも蓋体の幅方向の中心線寄りに配置されていて、回転部材と連動する連結部によってラッチバーが蓋体の幅方向にスライドして係止凹部に挿入されること、前記ラッチバーが、回転部材に設けられるカム溝に係合される円柱突起を一端に有し、他端は蓋体に揺動可能に軸支されていて、ラッチバーの他端には、係止部材が軸支されていて、回転部材の動きに連動してラッチバーが蓋体の側壁方向にスライドし、該係止部材は、ラッチバーの動きに合わせて、蓋体の厚さ方向に円弧状に移動して、係止凹部の第一の嵌合部を乗り越えて嵌合すること、前記係止凹部が、容器本体の開口部内側から外側にかけて形成される貫通穴を備えていること、がそれぞれ好ましい。
【０００８】
さらに、開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構が、容器本体の外壁に固定されていて、カム溝を備えた棒状又は板状をした非操作部と、カム溝を介して移動可能に支持される第二の嵌合部を備えた係合部とを有し、蓋体には、係合部が通過可能な切欠きと、係止凹部となる第一の嵌合部が形成されていて、係合凹部の第一の嵌合部と、係止部材であるの第二の嵌合部とが噛み合うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の基板収納容器における施錠機構は、係止部材である第二嵌合部が係合凹部の第一嵌合部と噛み合うようになっているので、基板収納容器に大きな衝撃が加わって、容器本体の開口部が大きく変形しようとしても、第一の嵌合部と第二の嵌合部との相対的な位置関係が変わらないので、係止部材である第二嵌合部が係合凹部から外れてしまうことを防止できる。それによって、基板を破損させたり、破損した基板でクリーンルームを汚染してしまうことを効果的に防止できる。
また、破損した基板が飛び散ることがないので、作業員が受傷することを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の解錠状態を表す正面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態の施錠機構の解錠状態の詳細を表す要部断面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態の施錠機構の施錠状態の詳細を表す要部断面図である。
【図５】本発明の第二の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図６】本発明の第二の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の解錠状態を表す正面図である。
【図７】本発明の第二の実施形態の蓋体に配設される施錠機構の施錠状態を表す正面図である。
【図８】本発明の第二の実施形態の施錠機構の要部断面図であって、（ａ）は、解錠状態、（ｂ）は、施錠状態をそれぞれ表す。
【図９】本発明の第二の実施形態の施錠機構の解錠状態の要部平面図であって、（ａ）は、解錠状態、（ｂ）は、施錠状態をそれぞれ表す。
【図１０】本発明の第三の実施形態の基板収納容器を表す分解斜視図である。
【図１１】本発明の第三の実施形態の蓋体を表す斜視図である。
【図１２】本発明の第三の実施形態の施錠機構の詳細を表す要部斜視図である。
【図１３】本発明の第三の実施形態の蓋体の係合部を表す拡大斜視図である。
【図１４】本発明の第三の実施形態の施錠機構の操作機構を表す側面図である。
【図１５】本発明の第三の実施形態の施錠機構の操作機構の要部を表す分解斜視図である。
【図１６】本発明の第三の実施形態の施錠機構の施錠の過程を（ａ）〜（ｄ）に順次に示す逐次説明図である。
【図１７】本発明の第三の実施形態の施錠機構の施錠の過程を（ａ）〜（ｄ）に順次に示す逐次説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
基板収納容器は、図１に示すように、基板を収納する開口１を前面に備えた容器本体２と、容器本体２の開口１を閉鎖する蓋体３とを有していて、開口１の内周面には、蓋体３を係止するための係合凹部４が形成されている。
容器本体２の左右の内側壁５には、収納される基板を水平状態で、一定間隔に整列させて支持するための一対の支持部６が備えられている。これらの内側壁５の外壁の支持部の奥側には位置規制が設けられていて、基板の挿入限度を規制している。
【００１２】
また、容器本体の天面には、搬送用のロボティックフランジ７が取り付けられていて、外側壁にはマニュアルハンドル８やサイドレール９が設けられていて、さらに底部には位置決め部材を備えたボトムプレート１０が設けられていて、これらが搬送に使用される。
蓋体３には、それぞれの基板の前周部に個別に接触してこれを保持する弾性片を備えたフロントリテーナ１１が設けられている。
また、蓋体３の側壁には、シール用のガスケット１２が備えられていて、容器本体２との間にシールを形成する。
【００１３】
施錠機構１３は、図２にも示すように、外部から操作可能な回転部材１４と、回転部材１４のカム溝１５に係合する円柱状の連結部１６を一端に備えた上下１対の板状のラッチバー１７とを有し、ラッチバー１７の他端部には、係止部材１８が係合される。ここで、ラッチバー１７の他端に係合される係止部材１８は、蓋体に設けられる軸部１９によって揺動可能に軸支されている。
【００１４】
図３に詳細に示すように、係止部材１８は、３つの端部を備えていて、これらの第一の端部２０は、軸部１９によって蓋体３に回動可能に連結されていて、第二の端部２１はラッチバー１７の他端と回動可能に連結されていて、残りの第三の端部２２が、係止部材となり、回転部材の動きに連動するラッチバー１７の動きに合わせて、蓋体の側壁方向にスライドし、係止部材（第三の端部２２）が、蓋体側壁の貫通穴２３から出没する。係止部材２２の先端には、回転ローラ２４を軸２５を利用して取り付けることができる。回転ローラ２４は円形でも良いが、接触面積を大きくするために多角形とすることもできる。
【００１５】
図３は、回転部材１４（図１、２）によりラッチバー１７が蓋体側壁の貫通穴２３から内側方向に後退し、係止部材２２も貫通穴２３から後退して、施錠機構１３が解錠された状態を示している。このとき係止部材２２は、蓋体３の側面の貫通穴２３から引っ込んだ状態にあるので、容器本体２の開口１（図１）から蓋体３を取り除いたり、容器本体２の開口１に蓋体３を挿入することができる。
【００１６】
図４は、施錠機構１３が施錠された状態を示していて、容器本体２の係合凹部４に蓋体３の係止部材２２が係合される。このときラッチバー１７先端の係止部材２２は、軸部１９を基点として円弧状に移動するので、係合凹部４の内側へ突出するように設けられる、第一の嵌合リブとなる円弧状の突起部２６を超えて嵌合するようになる。
この場合、第一の嵌合リブの突起部２６と、係止部材２２先端の回転ローラ２４とが噛み合うことになるので、大きな衝撃によって容器本体の開口部が変形しても、施錠機構と係合凹部が噛み合っているので、外れることがなく、容器本体から蓋体が外れて、基板を損傷させたり、基板の破片によってクリーンルームを汚染したり、作業員を負傷させてしまうことを防止できる。
【００１７】
さらに、施錠機構１３は、回転部材１４に対して、ラッチバー１７が、蓋体３の上下方向に１対設けられているので、衝撃によって容器本体２の開口１が上下に広がろうとしても、上下方向にそれぞれ配置される係止部材２２である第三の端部２２によって逆方向に引っ張り合うこととなり、変形しようとする力が打ち消されて、変形量を小さくできるという効果がある。
【００１８】
図５乃至図９は、施錠機構の第二の実施形態を表すものである。
この第二の実施形態の場合も、図５に表すように、容器本体３１の開口３２をシール可能に閉鎖する蓋体３３に施錠機構３４が内蔵されている。
蓋体３３に内蔵される１対の施錠機構３４は、外部から操作可能な回転部材３５と、回転部材３５のカム溝３６に係合してこれと連動する連結部材３７と、回転部材３５よりも蓋体３３の幅方向の中央寄りに配置される板状のラッチバー３８とを有し、ラッチバー３８の一端部は連結部材３７と係合し、ラッチバー３８の先端に当たる他端部は、係止部材３９となっており、その先端には膨出した突起４０（図８）が形成されている。
【００１９】
図６は、施錠機構３４（図５）が解錠された状態を表しており、このときラッチバー３８先端の係止部材は、蓋体３３の側壁の貫通穴４１から引っ込んだ状態にある。図７は、施錠機構が施錠され、容器本体と蓋体３３とが固定された状態を示しており、このとき連結部材３７はカム溝３６に係合していて、回転部材３５の動きに合わせて、ガイドリブ４２に沿って蓋体３３の幅方向に移動可能となっていて、ラッチバー３８は、一端側から他端側にかけて蓋体３３の幅方向内側に斜めに傾斜しており、容器本体の開口内周面に設けられる係合凹部に係合される。
これらを要部を拡大して表す図８、図９によって、より詳細に説明する。
図８（ａ）・図９（ａ）は、解錠状態を現すものであり、このときラッチバー３８先端の係止部材３９は、図８、図９に示すように、係合凹部４３の幅方向から円弧状にスライドして進入して、係止部材３９の先端から遠い位置に形成され、断面Ｌ字状をしたつば部４４を備える第一の嵌合リブ４５（図８ａ・ｂ）と噛み合うようになる。
【００２０】
このように第一の嵌合リブ４５のつば部４４と、係止部材３９先端の係止部材（膨出部）４０とが噛み合うことで、大きな衝撃によって容器本体３１の開口３２が変形しても、施錠機構３４と係合凹部４３とが噛み合っているので、外れることがなく、容器本体３１から蓋体３３が外れて、基板を損傷させたり、基板の破片によってクリーンルームを汚染したり、作業員を負傷させてしまうことを防止できる。
また、本実施形態では、係止凹部４３を貫通穴４１と対応させて形成しているので、第一の嵌合部４５及びつば部４４が離型時にアンダーカットとならないように金型のブロックを分割して形成し、この係止凹部を形成するための金型ブロックを金型の外方向にスライドさせることで、金型から容易に離型させることができる。
図８（ｂ）・図９（ｂ）は、施錠状態を現すものであり、蓋体３３が容器本体３１側に沈み込むつつ、ラッチバー３８が外側に伸長し、係止部材３９先端の第二の係合部たる突起４０が、第一の嵌合部４５につば部４４と係合し、衝撃等によっては外れ難くなる。
【００２１】
図１０乃至図１７は、第三の実施形態である基板収納容器における施錠機構５１を示すものである。
この施錠機構５１は、上述の施錠機構とは異なり、蓋体内に組み込まれるのではなく、容器本体の外側に設けられる。
カム溝５２を備えた板状をした被操作部材５３が容器本体５４の側壁の上辺側から下辺側にかけて移動可能に配置されている。容器本体５４の開口５５の側壁には容器本体切り欠き５６が形成されている。また、蓋体５７の側壁には、図１１に示すような、蓋体切り欠き部５８が形成されていて、蓋体切り欠き部５８と隣接するように係合凹部５９が形成されている。係合凹部５９には、断面略Ｌ字形のリブ６０が形成されている。
【００２２】
被操作部材５３のカム溝５２には、図１２に示すように、第二の嵌合部をなす係止部材６１が移動可能に支持されていて、被操作部材５３の動きに応じて、容器本体５４と蓋体５７の蓋体切り欠き部５８から出没して、蓋体５７の係合凹部５９に嵌合して蓋体５７を容器本体５４に固定する。
このとき、係合凹部５９の断面Ｌ字形のリブ６０が第一の嵌合部となり、係止部材６１の先端が折れ曲がった部分６２は、第二の嵌合部となり、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うことで、強固に施錠される。
この場合も先ほどの実施形態と同様の効果が得られる。
【００２３】
図１４は、加工装置に第三の実施形態の施錠機構を備えた基板収納容器が搭載されたときの状態を表していて、被操作部材５３の両端部は、装置側に設けられる操作手段６３によってアクセス可能となっている。被操作部材５３は、上下方向に移動可能に支持されている。なお、こうした被操作部材は、側壁の上辺と下辺に軸支して、左右方向に移動させるようにすることもできる。
【００２４】
図１５は、容器本体５４に設けられる施錠機構の要部を表す分解斜視図であり、施錠機構は、容器本体５４の開口部分に被操作部材５３を上下動可能に取り付けるためのガイド部材６４と、被操作部材５３と、両者の間に位置する係止部材６１とを有している。ガイド部材６４には、係止部材６１を収納し、係止部材６１を移動可能に支持するための収納溝６５と、１対の第一の円柱突起６６が形成されていて、この１対の第一の円柱突起６６が、係止部材６１に形成される第一のカム溝６７に係合して、これを支持している。
【００２５】
第一のカム溝６７は、ほぼ垂直に形成された垂直溝６８と、垂直溝６８の端部に形成される傾斜溝６９と、傾斜溝６９の他端部に形成される水平溝７０とを有している。
また、収納溝６５の側壁は、被操作部材５３が上下動するときの幅方向の動きを規制している。係止部材６１には、前記した第一のカム溝６７と、被操作部材５３と係合するための１対の第二の円柱突起７１が形成されている。
被操作部材５３の係止部材６１の第二の円柱突起７１と向き合う領域には、第二のカム溝７２が形成されていて、係止部材６１の第二の円柱突起７１と係合して支持されている。
第二のカム溝７２は、水平方向に対して僅かな傾斜角度に形成される緩傾斜溝７３と、垂直方向から僅かに傾斜した急傾斜溝７４とを有する。
【００２６】
図１６（ａ）〜（ｄ）は、解錠状態において、被操作部材５３が下方に押されて、施錠するまでの被操作部材５３と、係止部材６１の動きを表している。
図１６（ａ）の状態では、係止部材６１の第二の円柱突起７１が、被操作部材５３の緩傾斜溝７３の一端に係合されていて、上下方向の移動は制限されているので、両者の相対位置は変化しないで、これらの部材は、第一の円柱突起６６に案内されながら、第一のカム溝６７の垂直溝６８の上端に位置する図１６（ｂ）の状態まで、一緒に下降していく。
次の段階である図１６（ｂ）〜図１６（ｃ）の状態では、係止部材６１が、第一の円柱突起６６に案内されて、第一のカム溝６７の垂直溝６８と連結された傾斜溝６９の他端部まで移動するようになるので、係止部材６１と被操作部材５３とは斜め下方に移動することとなる。すなわち、係止部材の第二の嵌合部７５が、図１６の図内で右側に移動しながら下降していくこととなる。このとき、第二の円柱突起７１は、第二のカム溝７２の緩傾斜溝７３の他端部に位置するようになる。
【００２７】
引き続いて、被操作部材５３が、さらに下降されていくと、図１６（ｄ）に示されるように、被操作部材５３の第二のカム溝７２は、第二の円柱突起７１と、急傾斜溝７４とで接触するようになり、この急傾斜溝７４の端部に位置するまで右方向に僅かに移動しながら下方に移動するようになる。一方、係止部材６１は、下方には移動せずに第一のカム溝６７の水平溝７０に沿って右方向に水平に移動するようになる。
このように、施錠の最終段階においては、被操作部材５３と、係止部材６１とは異なる方向に動くようになり、第一の嵌合部と第二の嵌合部７５とが係合する位置まで移動する。
【００２８】
図１７（ａ）〜（ｄ）は、係止部材６１の動きを蓋体の係止凹部５９とＬ字型形のリブ６０との関係で示している。
図１６（ａ）〜（ｄ）で説明したように、第二の嵌合部７５は、蓋体の切り欠き７６領域（係止凹部の上方で、第一の嵌合部であるＬ字型形のリブ６０の斜め上方）に位置している。被操作部材５３が下方に押されることで、係止部材６１は、下方に移動するとともに、次に第一の嵌合部に接近する方向に僅かに移動して、さらに下方に押圧されることで、第一の嵌合部と、第二の嵌合部７５とが接触して嵌合するまで図１７の右方向に移動することとなる。この状態で容器本体と蓋体とは施錠されて、固定される。
このように、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合うことで、容器本体と蓋体とは、強固に施錠される。
この場合も先ほどの実施形態と同様の効果が得られる。
なお、解錠するときには、上記と逆の動きをすることで、解錠される。
【符号の説明】
【００２９】
１：開口
２：容器本体
３：蓋体
４：係合凹部
５：（容器本体２⇒２の左右の）内側壁
６：支持部
７：ロボティックフランジ
８：マニュアルハンドル
９：サイドレール
１０：ボトムプレート
１１：フロントリテーナ
１２：ガスケット
１３：施錠機構
１４：回転部材
１５：カム溝
１６：連結部
１７：ラッチバー
１８：係止部材（第一の嵌合部）
１９：軸部
２０：第一の端部
２１：第二の端部
２２：第三の端部（係止部材）
２３：貫通穴
２４：回転ローラ（第二の嵌合部）
２５：軸
２６：（円弧状の）突起部（第一の嵌合リブ）
３１：容器本体
３２：開口
３３：蓋体
３４：施錠機構
３５：回転部材
３６：カム溝
３７：連結部材
３８：ラッチバー
３９：係止部材
４０：突起（第二の嵌合部）
４１：貫通穴
４２：ガイドリブ
４３：係合凹部
４４：つば部
４５：第一の嵌合リブ
４６：第一の嵌合部
５１：施錠機構
５２：カム溝
５３：被操作部材
５４：容器本体
５５：開口
５６：容器本体切り欠き
５７：蓋体
５８：蓋体切り欠き部
５９：係合凹部
６０：Ｌ字形のリブ（第一の嵌合部）
６１：係止部材（第二の嵌合部）
６２：第二の嵌合部（先端が折れ曲がった部分）
６３：操作手段
６４：ガイド部材
６５：収納溝
６６：第一の円柱突起
６７：第一のカム溝
６８：垂直溝
６９：傾斜溝
７０：水平溝
７１：第二の円柱突起
７２：第二のカム溝
７３：緩傾斜溝
７４：急傾斜溝
７５：（係止部材６１の）第二の嵌合部
７６：切り欠き
７７：（ガイド部材の）内側壁
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部材と、該被操作部材の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部を備えたラッチバーとを有し、該係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、前記係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記係止部材の第二の嵌合部には、つば部が備えられ、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合う請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記施錠機構が、回転部材と、一端が回転部材に係合することで、回転部材の動きに連動して係止凹部に出没するラッチバーとからなり、ラッチバーの他端の係止部材の第二の嵌合部が円弧状の軌跡を描いて、係合凹部の第一の嵌合部に、噛み合う請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記ラッチバーが、回転部材の操作孔よりも蓋体の幅方向の中心線寄りに配置されていて、回転部材と連動する連結部によってラッチバーが蓋体の幅方向にスライドして係止凹部に挿入される請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記ラッチバーが、回転部材に設けられるカム溝に係合される円柱突起を一端に有し、他端は蓋体に揺動可能に軸支されていて、ラッチバーの他端には、係止部材が軸支されていて、回転部材の動きに連動してラッチバーが蓋体の側壁方向にスライドし、該係止部材は、ラッチバーの動きに合わせて、蓋体の厚さ方向に円弧状に移動して、係止凹部の第一の嵌合部を乗り越えて嵌合する請求項３記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記係止凹部が、容器本体の開口部内側から外側にかけて形成される貫通穴を備えている請求項１〜５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構が、容器本体の外壁に固定されていて、カム溝を備えた棒状又は板状をした非操作部と、カム溝を介して移動可能に支持される第二の嵌合部を備えた係合部とを有し、蓋体には、係合部が通過可能な切欠きと、係止凹部となる第一の嵌合部が形成されていて、係合凹部の第一の嵌合部と、係止部材の第二の嵌合部とが噛み合うことを特徴とする基板収納容器。
【請求項１】
開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部材と、該被操作部材の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部を備えたラッチバーとを有し、該係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、前記係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記係止部材の第二の嵌合部には、つば部が備えられ、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが噛み合う請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記施錠機構が、回転部材と、一端が回転部材に係合することで、回転部材の動きに連動して係止凹部に出没するラッチバーとからなり、ラッチバーの他端の係止部材の第二の嵌合部が円弧状の軌跡を描いて、係合凹部の第一の嵌合部に、噛み合う請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記ラッチバーが、回転部材の操作孔よりも蓋体の幅方向の中心線寄りに配置されていて、回転部材と連動する連結部によってラッチバーが蓋体の幅方向にスライドして係止凹部に挿入される請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記ラッチバーが、回転部材に設けられるカム溝に係合される円柱突起を一端に有し、他端は蓋体に揺動可能に軸支されていて、ラッチバーの他端には、係止部材が軸支されていて、回転部材の動きに連動してラッチバーが蓋体の側壁方向にスライドし、該係止部材は、ラッチバーの動きに合わせて、蓋体の厚さ方向に円弧状に移動して、係止凹部の第一の嵌合部を乗り越えて嵌合する請求項３記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記係止凹部が、容器本体の開口部内側から外側にかけて形成される貫通穴を備えている請求項１〜５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構が、容器本体の外壁に固定されていて、カム溝を備えた棒状又は板状をした非操作部と、カム溝を介して移動可能に支持される第二の嵌合部を備えた係合部とを有し、蓋体には、係合部が通過可能な切欠きと、係止凹部となる第一の嵌合部が形成されていて、係合凹部の第一の嵌合部と、係止部材の第二の嵌合部とが噛み合うことを特徴とする基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１１−２５８６５９（Ｐ２０１１−２５８６５９Ａ）
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３０３４９（Ｐ２０１０−１３０３４９）
【出願日】平成２２年６月７日（２０１０．６．７）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月７日（２０１０．６．７）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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