基板収納容器
【課題】 識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器である。前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備える。また、前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにした。
【解決手段】 開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器である。前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備える。また、前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板収納容器に係り、特に、たとえば半導体ウェーハなどの基板を収納して用いられ、半導体生産工程で、該基板に各種の処理・加工の際に、該基板を搬送・保管する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器として、正面に開口部を有する容器本体と、この容器本体の開口部をシール可能に閉鎖する蓋体とを備えて構成されたものが知られている。容器本体には、その内壁面に対向して配置された一対の支持部を備え、これら支持部に垂直方向に沿って並設された各溝に、基板の周辺の一部を支持させることにより、該基板を水平状態にして容器本体内に収納するようになっている。
【０００３】
このような基板収納容器は、その天面にロボテックフランジが取り付けられ、このロボテックフランジを介して工場内に設置されたレールに沿って搬送できるようになっている。
【０００４】
また、基板収納容器の底面にはボトムプレートが設けられており、このボトムプレートによって、基板収納容器を、コンベア搬送したり、各加工装置の設置個所において基板収納容器のセンシング（識別）、位置決め、あるいは固定したりできるようになっている。
【０００５】
このことから、ボトムプレートには、少なくとも、１対のコンベアレールと、識別部材の取り付けがなされる個所（識別領域）と、基板収納容器の位置決めのためのガイド部材と、基板収納容器の加工装置等への固定を行うための固定部とが設けられている。
【０００６】
そして、ボトムプレートの識別部材の取り付けがなされる領域には、複数の貫通孔が設けられ、これら貫通孔に識別部材となるプラグを選択的に取り付けることによって該貫通孔を閉塞させるようになっている。すなわち、貫通孔のプラグによる選択的な閉塞によって、貫通孔の有り無しの状態を基板収納容器の仕様に対応させるようにしている。加工装置側では、これらの貫通孔の有り無しの状態をセンシングすることにより、基板収納容器の仕様を確認することができるようになっている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2005-64378号公報
【特許文献２】特開2000-315721号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した基板収納容器において、たとえば直径３００ｍｍの半導体ウェーハを収納して半導体部品の生産工場で使用されていた基板収納容器のボトムプレートには、識別領域として左右に２箇所ずつ合計4つの位置に識別部材を設けることが、ＳＥＭＩ規格 Ｅ４７．１等によって定められている。ここで、作業員が基板収納容器を持ち上げたりする際に、基板収納容器の底部を持ち上げたり、点検したりすることがあるが、その際に誤ってボトムプレートと識別部材の間に入れた指が、識別部材に触れてしまい、識別部材を外してしまう不都合があった。
【０００９】
また、昨今、半導体部品の生産工場においてより細かな管理を行うため、識別部位の個数を増やして運用することが検討されている。例えば、次世代の半導体ウェーハとして検討されている直径４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納するための基板収納容器として、左右の識別領域に４箇所ずつの貫通穴を間隔狭く並べて配置することが提案されている。これにより、基板収納容器の仕様を従来の１６倍（２8／２４ ＝１６）に増大させるようにできる。しかし、このようにした場合、間隔を狭めて形成した貫通孔のそれぞれに識別部材を取り付けた場合、周囲に充分なスペースがないために、その後に該識別部材を取り外す際に、その取り外しが困難になってしまうことが懸念される。
【００１０】
さらに、基板収納容器は、その正面側に蓋体を備え、蓋体には容器本体との施錠を行う施錠機構が内蔵されているために、基板収納容器の重心位置が収納させている基板の中心から正面側に偏心することになる。このような偏心は、基板収納容器を高速搬送するときなどに揺れが大きくなって安定な搬送ができないといった弊害をもたらす。このため、ボトムプレートには、基板収納容器の重心位置を調整するカウンターウェイト（重量調整用カウンター）をリア側（蓋体を備える正面側と反対側）に設けることが検討されている。しかし、このカウンターウェイトを設ける位置が識別領域の近傍になってしまうことが免れず、識別部材を貫通孔から取り外すことをさらに困難にさせてしまう不都合が生じる。
【００１１】
本発明の目的は、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供することにある。
【００１２】
本発明の目的は、たとえ近傍に重量調整用カウンターが配置されていても、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記課題を解決するために、識別部材が示す情報の変更をたとえば簡易な構成からなる冶具を用いて行うようにしたものである。
【００１４】
本発明は、以下に示す構成によって把握することができる。
（１）本発明の基板収納容器は、開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器であって、前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備え、前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにしたことを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）を前提に、前記ボトムプレートには、前記識別領域が前記蓋体と反対側に形成され、この識別領域に近接して重心調整用カウンターが配置されていることを特徴とする。
【００１５】
（３）本発明の基板収納容器は、（１）を前提に、ボトムプレートの識別領域に、複数の第１貫通孔が形成されているとともに、これら第１貫通孔のうち選択された第１貫通孔に着脱可能に取り付けられる識別部材を備え、複数の前記第１貫通孔のそれぞれに近接して配置された第２貫通孔が形成され、前記第１貫通孔に取り付けられている識別部材は前記第２貫通孔を通した冶具によって取り外せるようになっていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（３）を前提に、前記第２貫通孔は、その形状がスリット状となっていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（３）を前提に、複数からなる第１貫通孔は並設されて形成され、その両端の各第１貫通孔に近接して邪魔板が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような構成からなる基板収納容器によれば、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができるようになる。また、たとえ近傍に重量調整用カウンターが配置されていても、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施態様１の基板収納容器をほぼ正面側から観た斜視図である。
【図２】図１に示す基板収納容器を底部側から観た斜視図である。
【図３】本発明の実施態様１の基板収納容器に用いられる識別部材を示す構成図である。
【図４】本発明の基板収納容器のボトムプレートの第１貫通孔に嵌合された識別部材を示す断面図である。
【図５】本発明の基板収納容器のボトムプレートを示す斜視図、一部拡大図である。
【図６】本発明の基板収納容器のボトムプレートの裏面を示す斜視図である。
【図７】本発明の基板収納容器に取り付けられるカウンターウェイトを示す分解斜視図である。
【図８】本発明の基板収納容器に取り付けられるカウンターウェイトを示す断面図である。
【図９】本発明の基板収納容器に取り付けられた識別部材を取り外すための冶具を示す斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器に嵌合された識別部材を取り外す手順を示した図である。
【図１１】本発明の基板収納容器の実施態様２を示す図で、ボトムプレートの識別領域を示した平面図である。
【図１２】図１１に対応する図で、識別部材の一つがスライドされていることを示す図である。
【図１３】本発明の基板収納容器の実施態様２に用いられる識別部材を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施態様１）
図１は、本発明の基板収納容器をほぼ正面側から観た斜視図である。図２は、図１に示す基板収納容器を底部から観た斜視図である。図１および図２に示す基板収納容器１００は、収納する基板としてたとえば半導体ウェーハであり、その直径はたとえば４５０ｍｍとなっている。
【００１９】
図１において、基板収納容器１００は、容器本体１と蓋体２とからなっている。容器本体１は正面側に開口部（図示せず）を備えたほぼ立方体をなし、蓋体２は前記開口部をシール可能に閉鎖して配置されるようになっている。
【００２０】
容器本体１の内部は、図示していないが、容器本体１の内壁面に対向して配置された一対の支持部を備えている。一対の支持部は、それぞれ、容器本体１の開口部から観て、左側内壁面および右側内壁面に形成されている。そして、これら支持部に垂直方向に沿って並設された各溝に、半導体ウェーハの周辺の一部を支持させることにより、該半導体ウェーハを水平状態にして容器本体１内に収納できるようになっている。
【００２１】
容器本体１の天面には、ロボテックフランジ４が取り付けられるようになっており、このロボテックフランジ４を介して工場内に設置されたレール（図示せず）に沿って基板収納容器１００を搬送できるようになっている。このロボテックフランジ４は、たとえば、取り付け用のベース部と、このベース部から垂直に立ち上がる左右方向の側壁部と、これら左右方向の側壁部と連結される前後方向の側壁部と、これら各側壁部の上面に形成されたほぼ板状のフランジ部とから構成されている。
【００２２】
蓋体２は、容器本体１の開口部（図示せず）を閉鎖するようにして配置され、施錠機構２ａを内蔵して構成されている。この施錠機構２ａは、回転可能な円形部材２ｂと、この円形部材２ｂに形成された円弧溝２ｃに挿入されるピン（図示せず）を備え蓋体２の上下方向のそれぞれに延在するアーム２ｄとによって構成され、円形部材２ｂの回動によって、アーム２ｄがその長手方向にスライドし、蓋体２の閉鎖の際には、アーム２ｄの先端が容器本体１の開口部の周辺の一部に設けた係止溝（図示せず）に係止されるようになっている。円形部材２ｂは、たとえば図示しない鍵を用いて、回転させるようになっている。なお、施錠機構２ａは、たとえば２個設けられ、蓋体２を正面側から観た場合に、左右のそれぞれに設けられている。蓋体２は、このような施錠機構２ａを内蔵することから、重量が比較的大きく、このため、基板収納容器１００の重心の位置が収納されている半導体ウェーハの中心から正面側（蓋体２側）に偏心するようになっている。この偏心は後に詳述するカウンターウェイト２０によって回避できるようになっている。
【００２３】
また、容器本体１の底部にはボトムプレート３が取り付けられている。図２に示すように、ボトムプレート３は、容器本体１の底部とほぼ同じ大きさの矩形状をなしている。ボトムプレート３には、たとえば３個の位置決め部材５が内蔵されている。これら位置決め部材５は、容器本体１の開口部（蓋体２側）側の左右に２個設けられ、リア側（蓋体２と反対側）の中央において１個設けられている。すなわち、これら位置決め部材５は、ボトムプレート３上に仮想的に描いた「Ｙ」字の三方向の先端部に位置づけられるように配置されている。これら位置決め部材５は、半導体ウェーハを処理する加工装置の個所に基板収納容器１００が搬送されてきた際に、各位置決め部材５に対応する個所に配置された位置決めピンが嵌合されるようになっており、これにより、位置決めの芯出しが行われるようになっている。
【００２４】
なお、これら位置決め部材５は、ボトムプレート３の表面に形成された位置決め用貫通穴７から露出されるようになっている。また、ボトムプレート３の面には、容器本体１の開口部から観て、前後方向と左右方向の各周辺にコンベア搬送用のコンベアレール６形成されている。また、容器本体１の開口部（蓋体２側）側に位置する２個の位置決め部材５の間には、基板収納容器１００を加工装置に対して固定するため固定手段８が形成されている。
【００２５】
さらに、ボトムプレート３には、容器本体１のリア側（蓋体２と反対側）側に位置する位置決め部材５（以下符号５ａで示す）の周辺には、識別領域（図中点線枠で囲まれた領域）９が形成されている。識別領域９は、たとえば、容器本体１の開口部側から観た場合、前記位置決め部材５ａよりも若干手前の個所に配置されるとともに、該位置決め部材５ａを中心にして左右のそれぞれに２個設けられている。
【００２６】
これら識別領域９には、それぞれ、ボトムプレート３の表面にたとえば円形からなる複数の第１貫通孔１０が形成されている。これら第１貫通孔１０は、各識別領域９において、容器本体１の開口部側からリア側への方向に対して直交する方向にたとえば４個並設されて形成されている。これにより、識別領域９には合計８個の第１貫通孔１０が形成されることになる。これら第１貫通孔１０は、後に詳述する識別部材１２が必要に応じて嵌合されるようになっている。また、ボトムプレート３の表面には、第１貫通孔１０に近接してスリット状の第２貫通孔１１がそれぞれの第１貫通孔１０に対応させて形成されている。第２貫通孔１１は、容器本体１の開口部側から観た場合、第１貫通孔１２よりも手前に位置し、スリットの長手方向は、容器本体１の開口部側からリア側への方向と一致づけられている。この第２貫通孔１１は、第１貫通孔１０に前記識別部材１２を嵌合させた後において、この識別部材を第１貫通孔１２から容易に取り出すため孔となっており、後に詳述する冶具が挿入できるようになっている。また、第２貫通孔１１は幅の狭いスリット状となっていることから、作業員がこの第２貫通孔１１に指を挿入してしまうということを回避できるようになる。
【００２７】
図３（ａ）、（ｂ）は、識別領域９に形成されている第１貫通穴１０に着脱自在に取り付けられる識別部材１２を示している。図３（ａ）は、識別部材１２を上方から観た斜視図であり、図３（ｂ）は、識別部材１２を下方から観た斜視図である。
【００２８】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、識別部材１２は、円筒部１５を有し、この円筒部１５の一端は蓋部１３によって閉塞されている。蓋部１３は、円筒部１５の周面よりも径方向に延在されたつば部１８を有し、その径は円筒部１５の径よりも大きく形成されている。円筒部１５の他端は開口され、その開口部には開口周縁から軸方向に延在するたとえば４個の切り欠き１６が周方向に等間隔で形成されている。円筒部１５の開口周縁は、上述の切り欠き１６を設けることにより、弾性変形によって開口周縁の径を変化できるようになっている。また、円筒部１５の開口の外周面には径方向に突出する爪部１７が設けられている。
【００２９】
図４は、ボトムプレート３の識別領域９に識別部材１２を取り付けた状態を示す断面図である。図４は、第１貫通孔１０の中心を通過し第２貫通孔１１の延在方向に沿った線における断面図となっている。
【００３０】
図４において、ボトムプレート３があり、その図中上側はボトムプレート３の内部に相当するようになっている。ここで、ボトムプレート３の貫通穴１０は、その周縁がボトムプレート３の内部側に突出するとともに、内径を小さくする突起部１０Ａを有する段つき穴として構成されている。
【００３１】
識別部材１２は、ボトムプレート３対して図中下側から第１貫通孔１０に挿入されるようになっている。識別部材１２は爪部１７を先にして第１貫通孔１０に挿入されるようになっている。第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は、爪部１７が第１貫通孔１０の周縁に形成された突起部１０Ａを乗り越え、つば部１８が、第１貫通孔１０の周縁表面に接触するとともに、円筒部１５に前記突起部１０Ａが対向することにより、該第１貫通孔１０に係止されるようになっている。このため、第１貫通孔１０に挿入された後の識別部材１２は第１貫通孔１０からは容易に外れ難くなるという効果を奏するようになる。
【００３２】
第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は蓋部１３を有することから、これにより、第１貫通孔１０は識別部材１２によって閉鎖されるようになる。したがって、第１貫通孔１０の識別部材１２による選択的な閉塞によって、第１貫通孔１０の有り無しの状態を基板収納容器１００の仕様に対応させることができる。加工装置側では、これらの第１貫通孔１０の有り無しの状態をセンシングすることにより、基板収納容器１００の各種の仕様を検出することができる。
【００３３】
図５（ａ）は、第１貫通孔１０のそれぞれに識別部材１２を取り付けた場合のボトムプレート３の平面図を示し、このうち、識別領域９（図５（ａ）の実線丸枠）を、図５（ｂ）によって拡大して示している。ボトムプレート３の表面と識別部材１２の蓋部１３の表面とはほぼ面一となっている。また、図６（ａ）は、図５（ａ）に示すボトムプレート３を裏返して示した斜視図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す識別領域９（実線丸枠）を拡大して示した図である。図６（ｂ）からも明らかなように、第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は、その切り欠き部１６および爪部１７等が目視されるようになっている。
【００３４】
そして、図６（ａ）に示すように、並設される第１貫通孔１０のうち一番外側の第１貫通孔１０の周囲に、作業員の指挿入を防止する邪魔板１９が設けられている。邪魔板１９は、ボトムプレート３に壁状に植設されて形成されている。
この邪魔板１９は、第１貫通孔１０に隣接して配置される比較的径の大きな孔に作業員が指を入れ、誤って識別部材１２を第１貫通孔１０から外してしまうのを防止できるようになっている。また、ボトムプレート３の裏面には、識別領域９の近傍においてたとえば２個のカウンターウェイト２０が取り付けられている。
【００３５】
カウンターウェイト２０は、容器本体１の開口部側から観て、それぞれの識別領域９よりも奥側に配置されている。このカウンターウェイト２０は容器本体１の蓋体２の重量とバランスをとり、これにより、基板収納容器１００の重心位置を基板収納容器１００に収納される半導体ウェーハの中心近傍に一致させることができるようになる。
【００３６】
図７、図８は、それぞれ、カウンターウェイト２０の展開斜視図と、断面図を示している。カウンターウェイト２０は、図７に示すように、ウェイトカバー２１と、密封用のＯリング２２と、ウエイト本体２３とを有していて、ボトムプレート３に取り付けられるようになっている。ウェイトカバー２１は、上部が閉塞された円筒状をなし、下端の開口部周縁にはフランジ部２４を有している。フランジ部２４には、ボトムプレート３との間にシールを形成するＯリング２１を収納可能な溝２５（図８参照）が形成されていて、この溝２５にＯリングが収納されるようになっている。フランジ部２４の外側には、ボトムプレートへの取り付け用の円柱ボス２６がたとえば２箇所に形成されている。ウエイト本体２３は、アルミやＳＵＳなどの金属部材を用いることができ、ウェイトカバー２１の形状に対応した円柱形状となっている。ウエイト本体２３の表面は、金属イオンによる汚染を防止するため樹脂コーティングを施しておくことが好ましい。
【００３７】
図９は、ボトムプレート３の第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２を極めて容易に取り外すための治具２７を示した斜視図である。冶具２７は、把持部２８と、この把持部２８からある程度伸長した後にＪ字状に屈曲する鍵部２９を有して構成されている。
【００３８】
図１０（ａ）ないし（ｃ）は、冶具２７を用いて、ボトムプレート３の第１貫通孔１０に嵌合された識別部材１２を取り外す手順を示した説明図である。まず、図１０（ａ）に示すように、冶具２７は、その鍵部２９をボトムプレート３の第２貫通孔１１に挿入して用いられる。鍵部２９は平面的に観た場合に線分状となっていることから、スリット状に形成された第２貫通孔１１には容易に挿入させることができ。その後、図１０（ｂ）に示すように、鍵部２９を第１貫通孔１０側に移動できるように冶具２７を操作すると、鍵部２９の先端は、第１貫通孔１０に挿入されている識別部材１２の上方に位置づけられるようになる。そして、図１０（ｃ）に示すように、冶具２７を手前に引くように操作することにより、鍵部２９の先端は、識別部材１２をボトムプレート３から外れる方向に押圧するようになる。鍵部２９の先端によって押圧された識別部材１２は、切り欠き１６が形成された円筒部１５が弾性変形することにより、爪部１７が第１貫通孔１０の突起部１０Ａから外れ、第１貫通孔１０から容易に取り外せるようになる。
【００３９】
このように構成された基板収納容器１００は、ボトムプレート３に形成されている第１貫通孔１０に嵌合されている識別部材１２を、冶具２７を用いて容易に外すことができるようになる。また、たとえ近傍にカウンターウェイト２０が配置されていても、カウンターウェイト２０が障害となることなく、第１貫通孔１０に嵌合されている識別部材１２を、冶具２７を用いて容易に外すことができるようになる。
（実施態様２）
【００４０】
実施態様１では、識別部材１２をボトムプレート３に形成した第１貫通孔１０に対して着脱自在に構成し、識別部材１２の有り無しで、それぞれの情報を表すようにしたものである。しかし、識別部材をボトムプレートに形成した長孔に嵌合させるようにし、識別部材を長孔の一端側（第１位置）に移動させ、あるいは他端側（第２位置）に移動させることによって、それぞれの情報を表すように構成してもよい。
【００４１】
図１１は、識別部材３０をボトムプレート３上で移動できるように構成した場合の平面図である。図１１は、識別領域をボトムプレート３の表面側から観た図となっている。
【００４２】
図１１において、識別領域にはたとえば４個の識別部材３０が取り付けられている。これら識別部材３０のうち一つの識別部材（たとえば図中一番左側にある識別部材）について説明すると、該識別部材３０はボトムプレート３に形成された長孔４１に沿って移動できるようになっている。図１１は、該識別部材３０が長孔の一端に位置づけられて示され、図１１に対応して描いた図１２には、該識別部材３０が長孔４１の他端に位置づけられて示されている。長孔４１は識別部材３０のガイドレールとしての機能を有するようになっている。
【００４３】
図１３は、識別部材３０のみを取り出した示した斜視図である。識別部材３０は、平坦な円形部材からなる検出部３１と、この検出部３１の中心から垂直に延在する支柱部３２と、この支柱部３２の端部に形成され検出部３１と平行に配置される棒状の脚部３３とから構成されている。ここで、脚部３３の両端はたとえば球状面となっている。また、検出部３１の表面の一部には小さな径を有する孔３４が設けられている。この孔３４は図示せぬ冶具の鍵部が挿入されて識別部材３０をボトムプレート３上で移動させる際に用いられるようになっている。
【００４４】
識別部材３０の支柱部３２は前記長孔４１内に位置づけられるようになっており、検出部３１と脚部３３はボトムプレート３を表裏から挟むように位置づけられるようになっている。
【００４５】
長孔４１の一端はこの長孔４１と交差するようにして識別部材３０の挿入孔４２が設けられ、識別部材３０の脚部３３の形状に対応した形状となっている。これにより、識別部材３０はその脚部３３側から挿入口４２に挿入させることによって、支柱部３２を前記長孔４１内に位置づけさせるようにできるようになっている。
【００４６】
識別部材３０が、図１１に示すように、長孔３１の一端に移動した場合、長孔１１の両側に表面が球状となっている係止部５０（図１２にて符号５０ａで示す）が配置され、識別部材３０の脚部３３の両端（球状となっている）が該係止部５０ａを乗り越えて移動することによって、たとえば第１位置における停止を確保できるようになっている。同様に、識別部材３０が、図１２に示すように、長孔４１の他端に移動した場合、長孔４１の両側に表面が球状となっている係止部５０（図１１にて符号５０ｂで示す）が配置され、識別部材３０の脚部３３の両端（球状となっている）が該係止部５０ｂを乗り越えて移動することによって、たとえば第１位置における停止を確保できるようになっている。この場合、図１１に示すように、前記係止部５０ｂに対して挿入孔４２側に近接する個所に該係止部５０ｂよりも長孔４２側に若干大きく突出する係止部５０（図１１にて符号５０ｃで示す）が設けられ、識別部材３０の脚部３３が挿入孔４２にまで移動して識別部材３０が離脱してしまうのを防止できるようになっている。
【００４７】
長孔４１に沿った識別部材３０の移動（スライド）は、第１位置と第２位置とのいずれかにおいて停止を充分に確保できるために、比較的大きな力を要するようになっている。しかし、この識別部材３０の移動は、たとえば鍵部を有する冶具を用い、該鍵部の先端を検出部３１の孔３４に係止させた状態で所望の方向に引っ張ることによって容易になされるようになる。
【００４８】
このように構成された基板収納容器１００は、ボトムプレート３に形成されている長孔４１に嵌合されている識別部材３０を、冶具を用いて容易にスライドさせることができるようになる。また、たとえ近傍にカウンターウェイト２０が配置されていても、カウンターウェイト２０が妨害となることなく、長孔４１に嵌合されている識別部材３０を、冶具を用いて容易にスライドさせることができるようになる。
【００４９】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００５０】
１……容器本体、２……蓋体、２ａ……施錠機構、２ｂ……円形部材、２ｃ……円弧溝、２ｄ……アーム、３……ボトムプレート、４……ロボティックフランジ、５……位置決め部材、６……コンベアレール、７……位置決め用貫通穴、８……固定手段、９……識別領域、１０……第１貫通孔、１０Ａ……突起部、１１……第２貫通穴、１２……識別部材、１３……蓋部、１５……円筒部、１６……切り欠き、１７……爪部、１８……つば部、１９……邪魔板、２０……カウンターウェイト、２１……ウェイトカバー、２２……Ｏリング、２３……ウエイト本体、２４……フランジ、２５……Ｏリング収納溝、２６……円柱ボス、２７……治具、８……把持部、２９……鍵部、３０……識別部材、３１……検出部、３２……支柱部、３３……脚部、３４……孔、４１……長孔、４２……挿入孔、１００……基板収納容器。
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板収納容器に係り、特に、たとえば半導体ウェーハなどの基板を収納して用いられ、半導体生産工程で、該基板に各種の処理・加工の際に、該基板を搬送・保管する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器として、正面に開口部を有する容器本体と、この容器本体の開口部をシール可能に閉鎖する蓋体とを備えて構成されたものが知られている。容器本体には、その内壁面に対向して配置された一対の支持部を備え、これら支持部に垂直方向に沿って並設された各溝に、基板の周辺の一部を支持させることにより、該基板を水平状態にして容器本体内に収納するようになっている。
【０００３】
このような基板収納容器は、その天面にロボテックフランジが取り付けられ、このロボテックフランジを介して工場内に設置されたレールに沿って搬送できるようになっている。
【０００４】
また、基板収納容器の底面にはボトムプレートが設けられており、このボトムプレートによって、基板収納容器を、コンベア搬送したり、各加工装置の設置個所において基板収納容器のセンシング（識別）、位置決め、あるいは固定したりできるようになっている。
【０００５】
このことから、ボトムプレートには、少なくとも、１対のコンベアレールと、識別部材の取り付けがなされる個所（識別領域）と、基板収納容器の位置決めのためのガイド部材と、基板収納容器の加工装置等への固定を行うための固定部とが設けられている。
【０００６】
そして、ボトムプレートの識別部材の取り付けがなされる領域には、複数の貫通孔が設けられ、これら貫通孔に識別部材となるプラグを選択的に取り付けることによって該貫通孔を閉塞させるようになっている。すなわち、貫通孔のプラグによる選択的な閉塞によって、貫通孔の有り無しの状態を基板収納容器の仕様に対応させるようにしている。加工装置側では、これらの貫通孔の有り無しの状態をセンシングすることにより、基板収納容器の仕様を確認することができるようになっている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2005-64378号公報
【特許文献２】特開2000-315721号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した基板収納容器において、たとえば直径３００ｍｍの半導体ウェーハを収納して半導体部品の生産工場で使用されていた基板収納容器のボトムプレートには、識別領域として左右に２箇所ずつ合計4つの位置に識別部材を設けることが、ＳＥＭＩ規格 Ｅ４７．１等によって定められている。ここで、作業員が基板収納容器を持ち上げたりする際に、基板収納容器の底部を持ち上げたり、点検したりすることがあるが、その際に誤ってボトムプレートと識別部材の間に入れた指が、識別部材に触れてしまい、識別部材を外してしまう不都合があった。
【０００９】
また、昨今、半導体部品の生産工場においてより細かな管理を行うため、識別部位の個数を増やして運用することが検討されている。例えば、次世代の半導体ウェーハとして検討されている直径４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納するための基板収納容器として、左右の識別領域に４箇所ずつの貫通穴を間隔狭く並べて配置することが提案されている。これにより、基板収納容器の仕様を従来の１６倍（２8／２４ ＝１６）に増大させるようにできる。しかし、このようにした場合、間隔を狭めて形成した貫通孔のそれぞれに識別部材を取り付けた場合、周囲に充分なスペースがないために、その後に該識別部材を取り外す際に、その取り外しが困難になってしまうことが懸念される。
【００１０】
さらに、基板収納容器は、その正面側に蓋体を備え、蓋体には容器本体との施錠を行う施錠機構が内蔵されているために、基板収納容器の重心位置が収納させている基板の中心から正面側に偏心することになる。このような偏心は、基板収納容器を高速搬送するときなどに揺れが大きくなって安定な搬送ができないといった弊害をもたらす。このため、ボトムプレートには、基板収納容器の重心位置を調整するカウンターウェイト（重量調整用カウンター）をリア側（蓋体を備える正面側と反対側）に設けることが検討されている。しかし、このカウンターウェイトを設ける位置が識別領域の近傍になってしまうことが免れず、識別部材を貫通孔から取り外すことをさらに困難にさせてしまう不都合が生じる。
【００１１】
本発明の目的は、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供することにある。
【００１２】
本発明の目的は、たとえ近傍に重量調整用カウンターが配置されていても、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記課題を解決するために、識別部材が示す情報の変更をたとえば簡易な構成からなる冶具を用いて行うようにしたものである。
【００１４】
本発明は、以下に示す構成によって把握することができる。
（１）本発明の基板収納容器は、開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器であって、前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備え、前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにしたことを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）を前提に、前記ボトムプレートには、前記識別領域が前記蓋体と反対側に形成され、この識別領域に近接して重心調整用カウンターが配置されていることを特徴とする。
【００１５】
（３）本発明の基板収納容器は、（１）を前提に、ボトムプレートの識別領域に、複数の第１貫通孔が形成されているとともに、これら第１貫通孔のうち選択された第１貫通孔に着脱可能に取り付けられる識別部材を備え、複数の前記第１貫通孔のそれぞれに近接して配置された第２貫通孔が形成され、前記第１貫通孔に取り付けられている識別部材は前記第２貫通孔を通した冶具によって取り外せるようになっていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（３）を前提に、前記第２貫通孔は、その形状がスリット状となっていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（３）を前提に、複数からなる第１貫通孔は並設されて形成され、その両端の各第１貫通孔に近接して邪魔板が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような構成からなる基板収納容器によれば、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができるようになる。また、たとえ近傍に重量調整用カウンターが配置されていても、識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施態様１の基板収納容器をほぼ正面側から観た斜視図である。
【図２】図１に示す基板収納容器を底部側から観た斜視図である。
【図３】本発明の実施態様１の基板収納容器に用いられる識別部材を示す構成図である。
【図４】本発明の基板収納容器のボトムプレートの第１貫通孔に嵌合された識別部材を示す断面図である。
【図５】本発明の基板収納容器のボトムプレートを示す斜視図、一部拡大図である。
【図６】本発明の基板収納容器のボトムプレートの裏面を示す斜視図である。
【図７】本発明の基板収納容器に取り付けられるカウンターウェイトを示す分解斜視図である。
【図８】本発明の基板収納容器に取り付けられるカウンターウェイトを示す断面図である。
【図９】本発明の基板収納容器に取り付けられた識別部材を取り外すための冶具を示す斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器に嵌合された識別部材を取り外す手順を示した図である。
【図１１】本発明の基板収納容器の実施態様２を示す図で、ボトムプレートの識別領域を示した平面図である。
【図１２】図１１に対応する図で、識別部材の一つがスライドされていることを示す図である。
【図１３】本発明の基板収納容器の実施態様２に用いられる識別部材を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施態様１）
図１は、本発明の基板収納容器をほぼ正面側から観た斜視図である。図２は、図１に示す基板収納容器を底部から観た斜視図である。図１および図２に示す基板収納容器１００は、収納する基板としてたとえば半導体ウェーハであり、その直径はたとえば４５０ｍｍとなっている。
【００１９】
図１において、基板収納容器１００は、容器本体１と蓋体２とからなっている。容器本体１は正面側に開口部（図示せず）を備えたほぼ立方体をなし、蓋体２は前記開口部をシール可能に閉鎖して配置されるようになっている。
【００２０】
容器本体１の内部は、図示していないが、容器本体１の内壁面に対向して配置された一対の支持部を備えている。一対の支持部は、それぞれ、容器本体１の開口部から観て、左側内壁面および右側内壁面に形成されている。そして、これら支持部に垂直方向に沿って並設された各溝に、半導体ウェーハの周辺の一部を支持させることにより、該半導体ウェーハを水平状態にして容器本体１内に収納できるようになっている。
【００２１】
容器本体１の天面には、ロボテックフランジ４が取り付けられるようになっており、このロボテックフランジ４を介して工場内に設置されたレール（図示せず）に沿って基板収納容器１００を搬送できるようになっている。このロボテックフランジ４は、たとえば、取り付け用のベース部と、このベース部から垂直に立ち上がる左右方向の側壁部と、これら左右方向の側壁部と連結される前後方向の側壁部と、これら各側壁部の上面に形成されたほぼ板状のフランジ部とから構成されている。
【００２２】
蓋体２は、容器本体１の開口部（図示せず）を閉鎖するようにして配置され、施錠機構２ａを内蔵して構成されている。この施錠機構２ａは、回転可能な円形部材２ｂと、この円形部材２ｂに形成された円弧溝２ｃに挿入されるピン（図示せず）を備え蓋体２の上下方向のそれぞれに延在するアーム２ｄとによって構成され、円形部材２ｂの回動によって、アーム２ｄがその長手方向にスライドし、蓋体２の閉鎖の際には、アーム２ｄの先端が容器本体１の開口部の周辺の一部に設けた係止溝（図示せず）に係止されるようになっている。円形部材２ｂは、たとえば図示しない鍵を用いて、回転させるようになっている。なお、施錠機構２ａは、たとえば２個設けられ、蓋体２を正面側から観た場合に、左右のそれぞれに設けられている。蓋体２は、このような施錠機構２ａを内蔵することから、重量が比較的大きく、このため、基板収納容器１００の重心の位置が収納されている半導体ウェーハの中心から正面側（蓋体２側）に偏心するようになっている。この偏心は後に詳述するカウンターウェイト２０によって回避できるようになっている。
【００２３】
また、容器本体１の底部にはボトムプレート３が取り付けられている。図２に示すように、ボトムプレート３は、容器本体１の底部とほぼ同じ大きさの矩形状をなしている。ボトムプレート３には、たとえば３個の位置決め部材５が内蔵されている。これら位置決め部材５は、容器本体１の開口部（蓋体２側）側の左右に２個設けられ、リア側（蓋体２と反対側）の中央において１個設けられている。すなわち、これら位置決め部材５は、ボトムプレート３上に仮想的に描いた「Ｙ」字の三方向の先端部に位置づけられるように配置されている。これら位置決め部材５は、半導体ウェーハを処理する加工装置の個所に基板収納容器１００が搬送されてきた際に、各位置決め部材５に対応する個所に配置された位置決めピンが嵌合されるようになっており、これにより、位置決めの芯出しが行われるようになっている。
【００２４】
なお、これら位置決め部材５は、ボトムプレート３の表面に形成された位置決め用貫通穴７から露出されるようになっている。また、ボトムプレート３の面には、容器本体１の開口部から観て、前後方向と左右方向の各周辺にコンベア搬送用のコンベアレール６形成されている。また、容器本体１の開口部（蓋体２側）側に位置する２個の位置決め部材５の間には、基板収納容器１００を加工装置に対して固定するため固定手段８が形成されている。
【００２５】
さらに、ボトムプレート３には、容器本体１のリア側（蓋体２と反対側）側に位置する位置決め部材５（以下符号５ａで示す）の周辺には、識別領域（図中点線枠で囲まれた領域）９が形成されている。識別領域９は、たとえば、容器本体１の開口部側から観た場合、前記位置決め部材５ａよりも若干手前の個所に配置されるとともに、該位置決め部材５ａを中心にして左右のそれぞれに２個設けられている。
【００２６】
これら識別領域９には、それぞれ、ボトムプレート３の表面にたとえば円形からなる複数の第１貫通孔１０が形成されている。これら第１貫通孔１０は、各識別領域９において、容器本体１の開口部側からリア側への方向に対して直交する方向にたとえば４個並設されて形成されている。これにより、識別領域９には合計８個の第１貫通孔１０が形成されることになる。これら第１貫通孔１０は、後に詳述する識別部材１２が必要に応じて嵌合されるようになっている。また、ボトムプレート３の表面には、第１貫通孔１０に近接してスリット状の第２貫通孔１１がそれぞれの第１貫通孔１０に対応させて形成されている。第２貫通孔１１は、容器本体１の開口部側から観た場合、第１貫通孔１２よりも手前に位置し、スリットの長手方向は、容器本体１の開口部側からリア側への方向と一致づけられている。この第２貫通孔１１は、第１貫通孔１０に前記識別部材１２を嵌合させた後において、この識別部材を第１貫通孔１２から容易に取り出すため孔となっており、後に詳述する冶具が挿入できるようになっている。また、第２貫通孔１１は幅の狭いスリット状となっていることから、作業員がこの第２貫通孔１１に指を挿入してしまうということを回避できるようになる。
【００２７】
図３（ａ）、（ｂ）は、識別領域９に形成されている第１貫通穴１０に着脱自在に取り付けられる識別部材１２を示している。図３（ａ）は、識別部材１２を上方から観た斜視図であり、図３（ｂ）は、識別部材１２を下方から観た斜視図である。
【００２８】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、識別部材１２は、円筒部１５を有し、この円筒部１５の一端は蓋部１３によって閉塞されている。蓋部１３は、円筒部１５の周面よりも径方向に延在されたつば部１８を有し、その径は円筒部１５の径よりも大きく形成されている。円筒部１５の他端は開口され、その開口部には開口周縁から軸方向に延在するたとえば４個の切り欠き１６が周方向に等間隔で形成されている。円筒部１５の開口周縁は、上述の切り欠き１６を設けることにより、弾性変形によって開口周縁の径を変化できるようになっている。また、円筒部１５の開口の外周面には径方向に突出する爪部１７が設けられている。
【００２９】
図４は、ボトムプレート３の識別領域９に識別部材１２を取り付けた状態を示す断面図である。図４は、第１貫通孔１０の中心を通過し第２貫通孔１１の延在方向に沿った線における断面図となっている。
【００３０】
図４において、ボトムプレート３があり、その図中上側はボトムプレート３の内部に相当するようになっている。ここで、ボトムプレート３の貫通穴１０は、その周縁がボトムプレート３の内部側に突出するとともに、内径を小さくする突起部１０Ａを有する段つき穴として構成されている。
【００３１】
識別部材１２は、ボトムプレート３対して図中下側から第１貫通孔１０に挿入されるようになっている。識別部材１２は爪部１７を先にして第１貫通孔１０に挿入されるようになっている。第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は、爪部１７が第１貫通孔１０の周縁に形成された突起部１０Ａを乗り越え、つば部１８が、第１貫通孔１０の周縁表面に接触するとともに、円筒部１５に前記突起部１０Ａが対向することにより、該第１貫通孔１０に係止されるようになっている。このため、第１貫通孔１０に挿入された後の識別部材１２は第１貫通孔１０からは容易に外れ難くなるという効果を奏するようになる。
【００３２】
第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は蓋部１３を有することから、これにより、第１貫通孔１０は識別部材１２によって閉鎖されるようになる。したがって、第１貫通孔１０の識別部材１２による選択的な閉塞によって、第１貫通孔１０の有り無しの状態を基板収納容器１００の仕様に対応させることができる。加工装置側では、これらの第１貫通孔１０の有り無しの状態をセンシングすることにより、基板収納容器１００の各種の仕様を検出することができる。
【００３３】
図５（ａ）は、第１貫通孔１０のそれぞれに識別部材１２を取り付けた場合のボトムプレート３の平面図を示し、このうち、識別領域９（図５（ａ）の実線丸枠）を、図５（ｂ）によって拡大して示している。ボトムプレート３の表面と識別部材１２の蓋部１３の表面とはほぼ面一となっている。また、図６（ａ）は、図５（ａ）に示すボトムプレート３を裏返して示した斜視図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す識別領域９（実線丸枠）を拡大して示した図である。図６（ｂ）からも明らかなように、第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２は、その切り欠き部１６および爪部１７等が目視されるようになっている。
【００３４】
そして、図６（ａ）に示すように、並設される第１貫通孔１０のうち一番外側の第１貫通孔１０の周囲に、作業員の指挿入を防止する邪魔板１９が設けられている。邪魔板１９は、ボトムプレート３に壁状に植設されて形成されている。
この邪魔板１９は、第１貫通孔１０に隣接して配置される比較的径の大きな孔に作業員が指を入れ、誤って識別部材１２を第１貫通孔１０から外してしまうのを防止できるようになっている。また、ボトムプレート３の裏面には、識別領域９の近傍においてたとえば２個のカウンターウェイト２０が取り付けられている。
【００３５】
カウンターウェイト２０は、容器本体１の開口部側から観て、それぞれの識別領域９よりも奥側に配置されている。このカウンターウェイト２０は容器本体１の蓋体２の重量とバランスをとり、これにより、基板収納容器１００の重心位置を基板収納容器１００に収納される半導体ウェーハの中心近傍に一致させることができるようになる。
【００３６】
図７、図８は、それぞれ、カウンターウェイト２０の展開斜視図と、断面図を示している。カウンターウェイト２０は、図７に示すように、ウェイトカバー２１と、密封用のＯリング２２と、ウエイト本体２３とを有していて、ボトムプレート３に取り付けられるようになっている。ウェイトカバー２１は、上部が閉塞された円筒状をなし、下端の開口部周縁にはフランジ部２４を有している。フランジ部２４には、ボトムプレート３との間にシールを形成するＯリング２１を収納可能な溝２５（図８参照）が形成されていて、この溝２５にＯリングが収納されるようになっている。フランジ部２４の外側には、ボトムプレートへの取り付け用の円柱ボス２６がたとえば２箇所に形成されている。ウエイト本体２３は、アルミやＳＵＳなどの金属部材を用いることができ、ウェイトカバー２１の形状に対応した円柱形状となっている。ウエイト本体２３の表面は、金属イオンによる汚染を防止するため樹脂コーティングを施しておくことが好ましい。
【００３７】
図９は、ボトムプレート３の第１貫通孔１０に挿入された識別部材１２を極めて容易に取り外すための治具２７を示した斜視図である。冶具２７は、把持部２８と、この把持部２８からある程度伸長した後にＪ字状に屈曲する鍵部２９を有して構成されている。
【００３８】
図１０（ａ）ないし（ｃ）は、冶具２７を用いて、ボトムプレート３の第１貫通孔１０に嵌合された識別部材１２を取り外す手順を示した説明図である。まず、図１０（ａ）に示すように、冶具２７は、その鍵部２９をボトムプレート３の第２貫通孔１１に挿入して用いられる。鍵部２９は平面的に観た場合に線分状となっていることから、スリット状に形成された第２貫通孔１１には容易に挿入させることができ。その後、図１０（ｂ）に示すように、鍵部２９を第１貫通孔１０側に移動できるように冶具２７を操作すると、鍵部２９の先端は、第１貫通孔１０に挿入されている識別部材１２の上方に位置づけられるようになる。そして、図１０（ｃ）に示すように、冶具２７を手前に引くように操作することにより、鍵部２９の先端は、識別部材１２をボトムプレート３から外れる方向に押圧するようになる。鍵部２９の先端によって押圧された識別部材１２は、切り欠き１６が形成された円筒部１５が弾性変形することにより、爪部１７が第１貫通孔１０の突起部１０Ａから外れ、第１貫通孔１０から容易に取り外せるようになる。
【００３９】
このように構成された基板収納容器１００は、ボトムプレート３に形成されている第１貫通孔１０に嵌合されている識別部材１２を、冶具２７を用いて容易に外すことができるようになる。また、たとえ近傍にカウンターウェイト２０が配置されていても、カウンターウェイト２０が障害となることなく、第１貫通孔１０に嵌合されている識別部材１２を、冶具２７を用いて容易に外すことができるようになる。
（実施態様２）
【００４０】
実施態様１では、識別部材１２をボトムプレート３に形成した第１貫通孔１０に対して着脱自在に構成し、識別部材１２の有り無しで、それぞれの情報を表すようにしたものである。しかし、識別部材をボトムプレートに形成した長孔に嵌合させるようにし、識別部材を長孔の一端側（第１位置）に移動させ、あるいは他端側（第２位置）に移動させることによって、それぞれの情報を表すように構成してもよい。
【００４１】
図１１は、識別部材３０をボトムプレート３上で移動できるように構成した場合の平面図である。図１１は、識別領域をボトムプレート３の表面側から観た図となっている。
【００４２】
図１１において、識別領域にはたとえば４個の識別部材３０が取り付けられている。これら識別部材３０のうち一つの識別部材（たとえば図中一番左側にある識別部材）について説明すると、該識別部材３０はボトムプレート３に形成された長孔４１に沿って移動できるようになっている。図１１は、該識別部材３０が長孔の一端に位置づけられて示され、図１１に対応して描いた図１２には、該識別部材３０が長孔４１の他端に位置づけられて示されている。長孔４１は識別部材３０のガイドレールとしての機能を有するようになっている。
【００４３】
図１３は、識別部材３０のみを取り出した示した斜視図である。識別部材３０は、平坦な円形部材からなる検出部３１と、この検出部３１の中心から垂直に延在する支柱部３２と、この支柱部３２の端部に形成され検出部３１と平行に配置される棒状の脚部３３とから構成されている。ここで、脚部３３の両端はたとえば球状面となっている。また、検出部３１の表面の一部には小さな径を有する孔３４が設けられている。この孔３４は図示せぬ冶具の鍵部が挿入されて識別部材３０をボトムプレート３上で移動させる際に用いられるようになっている。
【００４４】
識別部材３０の支柱部３２は前記長孔４１内に位置づけられるようになっており、検出部３１と脚部３３はボトムプレート３を表裏から挟むように位置づけられるようになっている。
【００４５】
長孔４１の一端はこの長孔４１と交差するようにして識別部材３０の挿入孔４２が設けられ、識別部材３０の脚部３３の形状に対応した形状となっている。これにより、識別部材３０はその脚部３３側から挿入口４２に挿入させることによって、支柱部３２を前記長孔４１内に位置づけさせるようにできるようになっている。
【００４６】
識別部材３０が、図１１に示すように、長孔３１の一端に移動した場合、長孔１１の両側に表面が球状となっている係止部５０（図１２にて符号５０ａで示す）が配置され、識別部材３０の脚部３３の両端（球状となっている）が該係止部５０ａを乗り越えて移動することによって、たとえば第１位置における停止を確保できるようになっている。同様に、識別部材３０が、図１２に示すように、長孔４１の他端に移動した場合、長孔４１の両側に表面が球状となっている係止部５０（図１１にて符号５０ｂで示す）が配置され、識別部材３０の脚部３３の両端（球状となっている）が該係止部５０ｂを乗り越えて移動することによって、たとえば第１位置における停止を確保できるようになっている。この場合、図１１に示すように、前記係止部５０ｂに対して挿入孔４２側に近接する個所に該係止部５０ｂよりも長孔４２側に若干大きく突出する係止部５０（図１１にて符号５０ｃで示す）が設けられ、識別部材３０の脚部３３が挿入孔４２にまで移動して識別部材３０が離脱してしまうのを防止できるようになっている。
【００４７】
長孔４１に沿った識別部材３０の移動（スライド）は、第１位置と第２位置とのいずれかにおいて停止を充分に確保できるために、比較的大きな力を要するようになっている。しかし、この識別部材３０の移動は、たとえば鍵部を有する冶具を用い、該鍵部の先端を検出部３１の孔３４に係止させた状態で所望の方向に引っ張ることによって容易になされるようになる。
【００４８】
このように構成された基板収納容器１００は、ボトムプレート３に形成されている長孔４１に嵌合されている識別部材３０を、冶具を用いて容易にスライドさせることができるようになる。また、たとえ近傍にカウンターウェイト２０が配置されていても、カウンターウェイト２０が妨害となることなく、長孔４１に嵌合されている識別部材３０を、冶具を用いて容易にスライドさせることができるようになる。
【００４９】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００５０】
１……容器本体、２……蓋体、２ａ……施錠機構、２ｂ……円形部材、２ｃ……円弧溝、２ｄ……アーム、３……ボトムプレート、４……ロボティックフランジ、５……位置決め部材、６……コンベアレール、７……位置決め用貫通穴、８……固定手段、９……識別領域、１０……第１貫通孔、１０Ａ……突起部、１１……第２貫通穴、１２……識別部材、１３……蓋部、１５……円筒部、１６……切り欠き、１７……爪部、１８……つば部、１９……邪魔板、２０……カウンターウェイト、２１……ウェイトカバー、２２……Ｏリング、２３……ウエイト本体、２４……フランジ、２５……Ｏリング収納溝、２６……円柱ボス、２７……治具、８……把持部、２９……鍵部、３０……識別部材、３１……検出部、３２……支柱部、３３……脚部、３４……孔、４１……長孔、４２……挿入孔、１００……基板収納容器。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器であって、
前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備え、
前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記ボトムプレートには、前記識別領域が前記蓋体と反対側に形成され、この識別領域に近接して重心調整用カウンターが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
ボトムプレートの識別領域に、複数の第１貫通孔が形成されているとともに、これら第１貫通孔のうち選択された第１貫通孔に着脱可能に取り付けられる識別部材を備え、
複数の前記第１貫通孔のそれぞれに近接して配置された第２貫通孔が形成され、
前記第１貫通孔に取り付けられている識別部材は前記第２貫通孔を通した冶具によって取り外せるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記第２貫通孔は、その形状がスリット状となっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
複数からなる第１貫通孔は並設されて形成され、その両端の各第１貫通孔に近接して邪魔板が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項１】
開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器であって、
前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備え、
前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記ボトムプレートには、前記識別領域が前記蓋体と反対側に形成され、この識別領域に近接して重心調整用カウンターが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
ボトムプレートの識別領域に、複数の第１貫通孔が形成されているとともに、これら第１貫通孔のうち選択された第１貫通孔に着脱可能に取り付けられる識別部材を備え、
複数の前記第１貫通孔のそれぞれに近接して配置された第２貫通孔が形成され、
前記第１貫通孔に取り付けられている識別部材は前記第２貫通孔を通した冶具によって取り外せるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記第２貫通孔は、その形状がスリット状となっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
複数からなる第１貫通孔は並設されて形成され、その両端の各第１貫通孔に近接して邪魔板が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−１１４３７１（Ｐ２０１２−１１４３７１Ａ）
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２６４１６７（Ｐ２０１０−２６４１６７）
【出願日】平成２２年１１月２６日（２０１０．１１．２６）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月２６日（２０１０．１１．２６）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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