基板収納容器
【課題】施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の回転操作リールに、進退動リンク３８の進退動用のカム溝部を形成し、カム溝部の変形を変形防止リブに防止させるようにする。施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この容器本体１の施錠穴７内に進入した施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７を区画する正面側壁面８に接触する。
【解決手段】半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の回転操作リールに、進退動リンク３８の進退動用のカム溝部を形成し、カム溝部の変形を変形防止リブに防止させるようにする。施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この容器本体１の施錠穴７内に進入した施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７を区画する正面側壁面８に接触する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送する際に使用される基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面にシール状態に嵌合される蓋体と、容器本体の開口した正面に嵌合された蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成されている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
容器本体は、所定の成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、開口した正面の内周に、施錠機構用の複数の施錠穴が間隔をおいて形成されている。また、蓋体は、容器本体の正面に嵌合される断面略皿形の蓋本体を備え、この蓋本体の開口した正面に別体のカバープレートが覆着されており、蓋本体の周壁に、施錠機構用の複数の出没孔が間隔をおいて穿孔されている。このような蓋体の蓋本体からカバープレートまでの厚さは、業界の自主基準であるＳＥＭＩ規格の標準規格で定められている。
【０００４】
施錠機構は、蓋体の蓋本体に軸支されてカバープレートの外部から回転操作される左右一対の回転操作プレートと、各回転操作プレートの回転により蓋体内の上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドにより蓋体の出没孔から出没して容器本体の施錠穴に接離する複数の施錠爪とから構成され、容器本体の正面に嵌合された蓋体の脱落を防止するよう機能する。
【０００５】
施錠爪は、蓋体の出没孔近傍とスライドプレートの先端部とに金属ピンを介しそれぞれ軸支されて蓋体の厚さ方向に揺動するタイプ、スライドプレートの先端部に回転可能に軸支され、スライドプレートに押圧されることによりガイド溝にガイドされつつ移動するタイプが知られている。
【０００６】
上記において、容器本体の開口した正面に蓋体を嵌合して施錠機構で施錠する場合には、蓋体の厚さに鑑み、容器本体の正面内に蓋体を浅く嵌入してカバープレート側を外部にやや食み出させ（この段階では、蓋体は完全に嵌合していない）、施錠機構の回転操作プレートを施錠方向に回転操作して容器本体の各施錠穴に施錠爪を嵌入すれば良い。
【０００７】
すると、各施錠穴を区画する正面側壁面方向に施錠爪の先端部が徐々に突出しながら揺動し、施錠穴の正面側壁面に施錠爪の先端部が接触して容器本体の正面内に蓋体を次第に引き込み、各施錠穴に施錠爪が最終的に強く嵌入係止して蓋体を完全に密嵌することにより、容器本体の正面に蓋体を嵌合して施錠機構で施錠することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１３３４０５号公報
【特許文献２】特開２００６−３０３０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来における基板収納容器は、以上のように構成されているので、以下のような問題がある。先ず、施錠爪が蓋体の厚さ方向に揺動するタイプの場合、施錠爪の突出と揺動とが同時であり、容器本体の施錠穴の正面側壁面に施錠機構の施錠爪の先端部が徐々に接触して容器本体の正面内に蓋体を次第に引き込んでいくので、施錠穴に対する施錠爪の接触が十分ではなく、蓋体を十分に引き込むことができないことがあり、その結果、施錠機構による施錠が不安定化したり、容器本体の施錠穴や施錠機構の施錠爪が損傷するという問題がある。
【００１０】
また、蓋体の出没孔近傍に施錠爪が軸支されるので、蓋体の出没孔付近の強度を確保することができない。このため、施錠時に大きな施錠力が作用すると、蓋体や施錠機構のスライドプレートが変形するおそれがある。
【００１１】
次に、施錠爪がガイド溝にガイドされつつ移動するタイプの場合、施錠爪を所定の長さに伸長形成しなければならず、施錠時に大きな施錠力が加わると、スライドプレートや施錠爪が変形しやすくなるという問題がある。この点に鑑み、施錠爪等を肉厚に形成して変形防止を図ろうとすると、施錠爪の引き込みストローク量が低下するという問題が新たに生じることとなる。
【００１２】
本発明は上記に鑑みなされたもので、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、この蓋体に設けられる施錠機構とを備えたものであって、
施錠機構は、外部からの操作で回転可能な回転操作体と、この回転操作体に係合する第一係合部を備え、回転操作体の動きによって蓋体の内外方向に移動する進退動体とを有し、
回転操作体は、進退動体の第一係合部と係合する第二の係合部と、進退動体の回転操作体側の末端部と接触し、施錠機構が容器本体に蓋体を係止するときに進退動体の撓みを防止する変形防止部とを有することを特徴としている。
【００１４】
なお、施錠機構は、進退動体の進退動により容器本体の開口部内周の施錠穴に接離する蓋体の厚さ方向に回転可能な施錠体と、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体とを含み、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体から容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた施錠体が案内補強体に案内されながら容器本体の施錠穴内から蓋体に直線的に後退することができる。
【００１５】
また、蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、蓋本体とカバープレートのいずれか一方には、施錠機構用の収納包囲壁を形成し、蓋本体を断面略皿形に形成してその内部には施錠機構を配置し、蓋本体の周壁には、施錠機構の施錠体用の出没孔を設けることができる。
また、施錠機構の回転操作体は、蓋本体の収納包囲壁内に支持されてカバープレートの外部から操作される回転可能なキースロットと、このキースロットの周縁部に設けられて進退動体の端部に連結されるカム溝部とを含み、このカム溝部に進退動体用の変形防止部を形成することができる。
【００１６】
また、施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設け、このカム溝部の変形を変形防止部に防止させるようにし、
施錠機構の進退動体を、蓋体の中央部付近から周壁方向に指向するプレートに形成してその先端部には施錠体用の支持溝を形成し、プレートの先端部両側に案内補強体用の案内溝をそれぞれ形成し、プレートの末端部には回転操作体のカム溝部に嵌まる凸部を形成するとともに、この凸部とカム溝部の変形防止部とを接触させ、
施錠体を断面略Ｌ字形に屈曲してその屈曲部付近には進退動体の支持溝に回転可能に支持される支持軸を形成し、施錠体の一方の屈曲辺を案内補強体内にスライド可能に内蔵するとともに、他方の屈曲辺を容器本体の施錠穴内に接離可能とし、施錠体の一方の屈曲辺の先端部両側に、案内補強体用の第一の凸部をそれぞれ形成し、他方の屈曲辺の両側部には、案内補強体用の第二の凸部をそれぞれ形成することができる。
【００１７】
さらに、施錠機構の案内補強体を、施錠体と嵌合可能な断面略Ｕ字形に形成してその内部前方には施錠体の一方の屈曲辺の先端部と回転可能に嵌合する回転許容凹部を形成し、案内補強体の内部には、施錠体用の位置決め弾性部材を設けて回転許容凹部に隣接させ、案内補強体の後部両側に、進退動体の案内溝にスライド可能に嵌まる伸長片をそれぞれ形成し、案内補強体の両側壁には、施錠体の第一の凸部にスライド可能に嵌まるスライド溝をそれぞれ形成するとともに、施錠体の第二の凸部をそれぞれスライド可能に支持させることが可能である。
【００１８】
また、本発明の第２の発明においては上記課題を解決するため、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えたものであって、
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、カバープレートに、施錠機構用の傾斜突起と突起とをそれぞれ形成し、
施錠機構は、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転操作体と、この回転操作体の回転により蓋体の内外方向に進退動し、容器本体の開口部内周の施錠穴に先端部の施錠体を接離する進退動体とを含み、進退動体に、蓋体の傾斜突起に干渉して進退動体の末端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第一のカム突起を形成するとともに、蓋体の突起に干渉して進退動体の先端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第二のカム突起を形成し、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が蓋体から容器本体の施錠穴内に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入する施錠体が蓋体の厚さ方向に傾斜して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が蓋体の厚さ方向に復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れる施錠体が容器本体の施錠穴内から蓋体に後退することを特徴としている。
【００１９】
なお、傾斜突起を蓋体のカバープレートに断面略凹字形に形成して進退動体の末端部寄りに位置させ、この傾斜突起の凹んだ表面を区画する上下一対の対向壁のうち、カバープレートの周縁部側に位置する対向壁を先細りの傾斜面に形成することができる。
また、施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設けるとともに、このカム溝部の変形を防止する変形防止部を形成することもできる。
【００２０】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、３００、４５０ｍｍの半導体ウェーハやガラス板等が単数複数含まれる。容器本体は、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプ、フロントオープンボックスタイプのいずれでも良い。また、蓋体のカバープレートには、施錠機構の回転操作体用の自動操作孔と手動操作孔とをそれぞれ設けることができる。
【００２１】
施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体、案内補強体は、単数複数を特に問うものではない。回転操作体のキースロットの周縁部には、カバープレートの手動操作孔から操作される手動操作部を設けることができる。施錠体は蓋体の厚さ方向に回転するが、この回転には、回動や揺動が含まれる。また、位置決め弾性部材には、少なくとも単数複数のゴム、板バネ、コイルバネ等が該当する。
【００２２】
本発明の第１の発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠する場合には、例えば容器本体の開口部内に蓋体を浅く嵌め入れ、施錠機構の回転操作体を施錠方向に回転させる。すると、施錠機構の回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、進退動体の先端部と案内補強体とが接近して施錠体を蓋体外方向に進出させ、蓋体から直立した施錠体が突出して容器本体の施錠穴内に直線的に突出する。
【００２３】
容器本体の施錠穴内に施錠体が直線的に突出して回転可能な状態になると、直立していた施錠体が蓋体の厚さ方向に回転する。すると、容器本体の施錠穴を区画する壁面に施錠体が回転して接触し、容器本体の開口部内に蓋体が次第に引き込まれ、施錠穴に施錠体が最終的に強く干渉して蓋体を完全に嵌め入れる。このように施錠体の突出と回転とが同時ではなく、施錠体が突出した後に連続して回転するので、容器本体の開口部に蓋体を適切に施錠することができる。
【００２４】
また、本発明の第２の発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠する場合には、例えば容器本体の開口部内に蓋体を浅く嵌め入れ、施錠機構の回転操作体を施錠方向に回転させる。すると、施錠機構の回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、進退動体の先端部である施錠体が蓋体の外方向に進出し、蓋体から施錠体が突出して容器本体の施錠穴内に突出する。
【００２５】
この際、傾斜突起の傾斜面に第一のカム突起が案内されて進退動体の末端部側を蓋本体方向に傾け、突起の先端に対向していた第二のカム突起が突起からずれ、進退動体の先端部側が末端部側とは反対のカバープレート方向に傾斜する。突起に第二のカム突起がずれて接触すると、進退動体の蓋体厚さ方向への傾斜が規制され、施錠穴を区画する壁面に施錠体が接触し、容器本体の開口部内に蓋体が引き込まれ、施錠穴に施錠体が最終的に強く干渉して蓋体を完全に嵌め入れることにより、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の第１の発明によれば、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することができるという効果がある。
また、請求項２記載の発明によれば、施錠機構用の収納包囲壁により、施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体、案内補強体の脱落を防止したり、これらの動作を円滑に案内したり、蓋本体の強度を向上させることができる。
【００２７】
また、請求項４又は７記載の発明によれば、回転操作体の変形防止部により、少なくともカム溝部の変形を抑制することが可能になる。また、施錠体に強い荷重が作用すると、進退動体が蓋体の厚さ方向に反るおそれが考えられるが、回転操作体の変形防止部に、施錠体に作用する強い荷重や進退動体に生じる応力を受けさせれば、回転操作体から施錠体にかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動体が蓋体の厚さ方向に反るのを防ぐことが可能になる。
【００２８】
また、請求項４、５記載の発明によれば、容器本体の施錠穴内に施錠体が突出しながら回転し、施錠穴の壁面に施錠体が接触するのではなく、容器本体の施錠穴内に施錠体が直線的に突出し、その後、施錠穴の壁面に施錠体がはじめて回転して接触することにより、容器本体の開口部内に蓋体を引き込んでいくので、容器本体の開口部に蓋体を適切に嵌め入れることが可能になる。
【００２９】
さらに、本発明の第２の発明によれば、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することができ、しかも、進退動体とは別の施錠体や案内補強体を省略して構成の簡素化や部品点数の削減等を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の蓋本体を模式的に示す斜視説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す正面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す側面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールと進退動リンクの末端部とを模式的に示す部分斜視図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の進退動リンクを模式的に示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠ラッチを模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックを模式的に示す斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックの内部を模式的に示す斜視説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体からカバープレートを取り外した施錠機構の解錠状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の解錠状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを施錠方向に回転操作し始めた状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを施錠方向に回転操作し始めた状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２０】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体と施錠機構とを模式的に示す斜視説明図である。
【図２１】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図２２】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠前の状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２３】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠後の状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の第１の発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１９に示すように、複数枚の半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面５にシール状態に嵌合される蓋体１０と、容器本体１の正面５に嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７の正面側壁面８に接触する。
【００３２】
半導体ウェーハとしては、特に限定されるものではないが、例えばメモリ容量の拡大、半導体部品に形成される最小加工線幅の縮小に伴うチップサイズの小型化、生産性向上の観点から、φ４５０ｍｍの薄く脆く反りやすいシリコンウェーハが使用される。
【００３３】
容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。これらの熱可塑性樹脂には、導電性を確保したい場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電物質が添加される。
【００３４】
容器本体１は、図１ないし図３に示すように、正面５が横長に開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、開口した正面５を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置に付属の蓋体開閉装置上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。この容器本体１は、その内部両側、換言すれば、両側壁９の内面に、半導体ウェーハを略水平に支持する左右一対の支持片２がそれぞれ対設され、この左右一対の支持片２が上下方向に所定のピッチで配列されており、各支持片２が半導体ウェーハの周縁側部を支持する細長い板形に形成される。
【００３５】
容器本体１の底板の前部両側と後部中央とには、容器本体１を位置決めする位置決め具がそれぞれ配設される。また、容器本体１の底板には、別体のボトムプレート３が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート３から複数の位置決め具がそれぞれ露出する。容器本体１の天板の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ４が着脱自在に装着される。
【００３６】
容器本体１の正面５の周縁部は、外方向に屈曲して張り出すリムフランジ６に保持リブを介し膨出形成され、このリムフランジ６内に着脱自在の蓋体１０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合される。この容器本体１の正面５内周、換言すれば、リムフランジ６内周面の上下の両側には、施錠機構３０用の施錠穴７がそれぞれ凹み形成され、各施錠穴７が矩形に区画形成されてその外部に最も近接する壁面が正面側壁面８とされる。
【００３７】
容器本体１の両側壁９の内面後部、具体的には、支持片２の後部付近に位置する箇所は、容器本体１の正面５に蓋体１０が嵌合されると、支持片２の表面から浮上した半導体ウェーハの周縁両側部に接触し、半導体ウェーハの位置を有効に規制してガタッキを防止する。
【００３８】
蓋体１０は、図１ないし図４に示すように、容器本体１の開口した正面５に嵌合される正面矩形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した正面に螺子等で覆着される別体のカバープレート１９とを備えて構成される。蓋本体１１は、断面略皿形に形成されてその四隅部が丸く面取りされ、内部の両側に、施錠機構３０が配置されるとともに、この施錠機構３０用の収納包囲壁１２が区画形成される。
【００３９】
収納包囲壁１２は、蓋本体１１の内部両側中央にそれぞれ対設されて間隔をおいて相対向する左右一対の円弧リブ１３と、この一対の円弧リブ１３の端部から蓋体１０の周壁方向にそれぞれ直線的に伸長する左右一対の直線リブ１４とから形成される。一対の円弧リブ１３間には、分割構造の支持リブ１５と左右一対の位置合わせブロック１６とがそれぞれ配設され、支持リブ１５の左右両側に位置合わせブロック１６がそれぞれ間隔をおいて配設される（図６参照）。
【００４０】
一対の直線リブ１４間の長手方向には、複数のガイドボス１７が間隔をおいて配設される。各ガイドボス１７は、略円柱形に形成され、摩擦低減用の回転可能なローラ等が選択的に嵌合される。
【００４１】
蓋本体１１の周壁上下の両側には、容器本体１の施錠穴７に対向する出没孔１８がそれぞれ穿孔され、各出没孔１８が一対の直線リブ１４間の開口端部と連通する。また、蓋本体１１の裏面には、容器本体１に収納された半導体ウェーハの周縁前部を弾性片で弾発的に圧接挟持するフロントリテーナが装着され、蓋本体１１の裏面周縁部には、容器本体１の正面５内周に圧接して変形する枠形のガスケットが密嵌される。このガスケットは、例えば耐候性、電気絶縁性、圧縮特性等に優れるポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系の熱可塑性エラストマー等を用いて成形される。
【００４２】
カバープレート１９は、四隅部が丸く面取りされた正面略矩形に形成され、両側の中央付近に、施錠機構３０の回転操作リール３１用の自動操作孔２０と上下一対の手動操作孔２１とがそれぞれ穿孔される。自動操作孔２０は正面矩形に形成されて上下一対の手動操作孔２１の間に位置し、各手動操作孔２１は展開した正面略扇形に形成される。
【００４３】
なお、蓋本体１１の内部とカバープレート１９裏面のいずれか一方には図２に示すように、蓋体１０の強度を向上させる選択的な補強リブ２２が縦横に伸長形成される。この場合の補強リブ２２は、収納包囲壁１２にバーを組み合わせた構造に構成されたり、収納包囲壁１２と略同様の構成の収納包囲壁にバーを組み合わせた構造に構成されたり、あるいは太いバーに成形される。
【００４４】
施錠機構３０は、図２、図５ないし図７等に示すように、蓋体１０の収納包囲壁１２に支持されて外部からの操作で回転する左右一対の回転操作リール３１と、各回転操作リール３１の回転により蓋体１０の上下方向に進退動する複数の進退動リンク３８と、各進退動リンク３８の進退動により容器本体１の正面５内周の施錠穴７に接離する複数の施錠ラッチ４５と、各進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とに装着されて施錠ラッチ４５の動作を規制する複数の案内補強ブロック５１とを備え、ＳＥＭＩ規格から外れることのないよう構成される。この施錠機構３０は、例えばポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等を使用して成形される。
【００４５】
各回転操作リール３１は、図５、図６、図８、図９等に示すように、収納包囲壁１２の円弧リブ１３に隙間を介し包囲されてカバープレート１９の自動操作孔２０から操作される回転可能なキースロット３２を備え、このキースロット３２の周縁部の一部には、進退動リンク３８の末端部に連結される一対のカム溝部３３が偏心して対設されており、キースロット３２の周縁部の残部には、カバープレート１９の手動操作孔２１から指で操作される中空の手動操作部３４が一対対設される。
【００４６】
キースロット３２は、例えば収納包囲壁１２内の支持リブ１５に回転可能に嵌合支持される断面略Ｕ字の筒形に形成され、表面に細長いキー溝３５が凹み形成されており、このキー溝３５にカバープレート１９の自動操作孔２０を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが挿入される。
【００４７】
各カム溝部３３は、略円弧形に湾曲形成され、内周側付近には、進退動リンク３８用の変形防止リブ３６が表裏方向に一体形成される。このカム溝部３３の外周側には、収納包囲壁１２内の位置合わせブロック１６に干渉する可撓性の干渉片３７が屈曲して一体形成され、この干渉片３７が位置合わせブロック１６の溝に嵌合することにより、回転操作リール３１の必要以上の過剰な回転が規制される。また、変形防止リブ３６は、キースロット３２の高さ方向に向けて一体形成され、少なくともカム溝部３３の変形を抑制防止するよう機能する。
【００４８】
各進退動リンク３８は、図５ないし図８、図１０等に示すように、収納包囲壁１２の一対の直線リブ１４に隙間を介し挟まれて蓋体１０の中央部付近から周壁方向に指向する長い矩形のプレートに形成され、長手方向の中心線上に複数の長孔３９が間隔をおいて穿孔されており、各長孔３９が収納包囲壁１２のガイドボス１７にスライド可能に遊嵌されて移動量を規制する。これら長孔３９とガイドボス１７との間には、擦れや抵抗を低減するローラ、ベアリング等が選択的に介在される。
【００４９】
進退動リンク３８の凹凸の先端部の両側には、略Ｌ字形の受け爪４０がそれぞれ突出形成され、進退動リンク３８の先端部寄りの両側面には、長手方向に伸びる略Ｌ字形の区画片４１がそれぞれ一体形成されており、これら複数の受け爪４０と区画片４１の先端部とが施錠ラッチ４５用の支持溝４２を区画形成する。進退動リンク３８の先端部寄りの側面と区画片４１との間には、案内補強ブロック５１用の案内溝４３が長手方向に区画形成される。
【００５０】
進退動リンク３８の窄んだ末端部には、円筒形の連結ピン４４が突出形成され、この連結ピン４４が回転操作リール３１のカム溝部３３に裏面側からスライド可能に嵌入して回転操作リール３１の回転運動を直線運動に変換するよう機能する。この連結ピン４４の周面は、カム溝部３３の変形防止リブ３６に摺接し、施錠時に施錠ラッチ４５に作用する荷重を変形防止リブ３６に伝達する（図８参照）。この伝達により、カム溝部３３の変形防止リブ３６は、施錠時の進退動リンク３８の撓みを防止することとなる。
【００５１】
各施錠ラッチ４５は、図５ないし図７、図１１等に示すように、断面略Ｌ字形に屈曲したプレートに形成され、凹凸の裏面側の屈曲部付近に進退動リンク３８の支持溝４２に回転可能に嵌合支持される支持軸４６が一体形成されており、蓋体１０の出没孔１８から直線的に出没し、かつ容器本体１の施錠穴７に揺動して圧接する。
【００５２】
施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部は略円柱形に湾曲形成され、この先端部の両側には、案内補強ブロック５１用の第一の凸部４８がそれぞれ円柱形に一体形成されており、他方の屈曲辺４９の両側面には、案内補強ブロック５１用の第二の凸部５０がそれぞれ円柱形に突出形成される。施錠ラッチ４５の一対の屈曲辺４７・４９のうち、一方の屈曲辺４７は案内補強ブロック５１内にスライド可能に摺接し、他方の先細りの屈曲辺４９は案内補強ブロック５１の前部から飛び出して容器本体１の施錠穴７内に突出し、圧接する（図６、図７参照）。
【００５３】
このような施錠ラッチ４５は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い案内補強ブロック５１の後方から前方に進出し、この進出が規制された時点で揺動可能な状態（図６、図７参照）となり、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い揺動し、元の位置に揺動復帰した時点で案内補強ブロック５１の前方から後方に後退する。
【００５４】
各案内補強ブロック５１は、図５ないし図７、図１２、図１３等に示すように、平坦な底板５２の両側部に側壁５７がそれぞれ配設された断面略Ｕ字形に形成されるとともに、底板５２に施錠ラッチ４５用の複数の位置決め弾性部材５４が左右方向に並設され、進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とにそれぞれスライド可能に嵌合されており、一対の直線リブ１４の端部間に挟まれて蓋体１０の出没孔１８付近に位置し、かつ蓋体１０のカバープレート１９に接触する。
【００５５】
底板５２の内面前方には、断面略半円筒形の揺動許容溝５３が左右方向に形成され、この揺動許容溝５３に位置決め弾性部材５４を乗り越えた施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部が嵌合して回転可能となる。各位置決め弾性部材５４は、例えば底板５２の一部を細長く切り欠いた弾性変形可能な板バネやエラストマ一等からなり、底板５２の中央から後方にかけて設けられて揺動許容溝５３に隣接し、揺動許容構５３に嵌合した一方の屈曲辺４７の先端部を位置決めし、一方の屈曲辺４７の先端部を中心に施錠ラッチ４５が揺動するのを許容する。
【００５６】
底板５２の後部両側には、略Ｌ字形の伸長片５５がそれぞれ屈曲形成され、各伸長片５５が区画片４１の末端部付近に接離可能に係止する。この伸長片５５の屈曲部付近には、蓋体１０の蓋本体１１に弾性的に係止するための係止用の切り欠き５６が選択的に形成される。
【００５７】
案内補強ブロック５１の両側壁５７には、施錠ラッチ４５の第一の凸部４８にスライド可能に遊嵌するスライド溝５８がそれぞれ前後方向に穿孔され、両側壁５７の表面には、施錠ラッチ４５の第二の凸部５０がそれぞれスライド可能に支持される。各スライド溝５８は、案内補強ブロック５１の前後方向に伸長する小判形に形成され、先端部が底板５２の揺動許容溝５３の端と一体化して拡径に形成されており、この先端部に施錠ラッチ４５の第一の凸部４８が接触することにより、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、かつ施錠ラッチ４５が蓋体１０の厚さ方向にはじめて揺動可能な状態となる。
【００５８】
案内補強ブロック５１の両側壁５７の前部間には、底板５２の揺動許容溝５３に隣接して施錠ラッチ４５の過剰なスライドを規制する前部壁５９が側壁５７よりも低く架設され、各側壁５７の外面には、進退動リンク３８の区画片４１に摺接する板形の受けフランジ６０が突出形成されており、各側壁５７の後部には伸長片５５が一体化される。
【００５９】
このような案内補強ブロック５１は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い、進退動リンク３８の先端部に相対的に接近し、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い、進退動リンク３８の先端部から相対的に離隔する。
【００６０】
上記構成において、容器本体１の開口した正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠する場合には、容器本体１の正面５内に蓋体１０を浅く嵌入してカバープレート１９側を外部にやや食み出させ、その後、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、施錠機構３０の各回転操作リール３１の横方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して反時計方向、すなわち施錠方向に徐々に回転させる（図１６、図１７参照）。
【００６１】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が施錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に接近して施錠ラッチ４５が蓋体１０の周壁方向に相対的に進出し、蓋体１０の出没孔１８から各施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が突出して容器本体１の施錠穴７内に直線的に突出する（図１６、図１７参照）。
【００６２】
この際、施錠ラッチ４５は、案内補強ブロック５１のスライド溝５８や両側壁５７の表面に直線的に案内され、案内補強ブロック５１の底板５２内面や複数の位置決め弾性部材５４に一方の屈曲辺４７が摺接し、案内補強ブロック５１の前部壁５９方向に相対的に進出する。したがって、施錠ラッチ４５は、蓋体１０の厚さ方向に対する揺動が規制された状態で直線的にスライドする。
【００６３】
容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が直線的に突出し、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が位置決め弾性部材５４を乗り越えて揺動許容構５３に嵌合し、施錠ラッチ４５がはじめて揺動可能な状態になると、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、施錠ラッチ４５がその一方の屈曲辺４７の先端部を中心に弧を描きながら蓋体１０の厚さ方向に揺動する。
【００６４】
すると、施錠穴７を区画する正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動接触し、容器本体１の正面５内に蓋体１０が次第に引き込まれ、施錠穴７に施錠ラッチ４５が最終的に強く嵌入係止して蓋体１０を完全に密嵌することにより、容器本体１の正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠することができる（図１８、図１９参照）。
【００６５】
この際、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用するが、回転操作リール３１と施錠ラッチ４５とが進退動リンク３８を介して相互に突っ張り、蓋体１０の高さ方向に反力が作用することになるので、蓋体１０の厚さ方向の変形が有効に防止される。
【００６６】
また、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用すると、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反るおそれがあるが、回転操作リール３１の変形防止リブ３６が施錠ラッチ４５に作用する強い荷重や連結ピン４４に生じる応力を受けるので、回転操作リール３１から施錠ラッチ４５にかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反ることがない。
【００６７】
次に、施錠した施錠機構３０を解錠して容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、各回転操作リール３１の縦方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して時計方向、すなわち解錠方向に徐々に回転させる。
【００６８】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が解錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を元の位置に後退させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に離隔して施錠ラッチ４５が元の位置に相対的に後退し、施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動して離れる。この際、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７は、位置決め弾性部材５４の端部に干渉されるので、位置ずれすることなく、底板５２の揺動許容溝５３に嵌合した状態で揺動する。
【００６９】
施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が離れて蓋体１０の厚さ方向の元の位置に揺動復帰すると、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が揺動許容溝５３から位置決め弾性部材５４を乗り越えて底板５２の後方にスライドし、直立した施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が容器本体１の施錠穴７から蓋体１０の出没孔１８内に直線的に後退することにより、容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０が取り外し可能な状態となる。
【００７０】
上記構成によれば、施錠ラッチ４５の突出と揺動とが同時ではなく、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５を十分に進入させた後、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９をはじめて接触させて容器本体１の正面５内に蓋体１０を次第に引き込んでいくので、施錠穴７に対する施錠ラッチ４５の接触力が従来よりも増大して蓋体１０を十分に引き込むことができ、施錠機構３０による施錠を安定させ、容器本体１の施錠穴７や施錠機構３０の施錠ラッチ４５が損傷するのを有効に防止することができる。特に、容器本体１のリムフランジ６が外方向に広がって損傷するのを有効に防止することができる。
【００７１】
また、蓋体１０を十分に引き込むことができるので、容器本体１にフロントリテーナの反力を受ける蓋体１０を高精度に嵌合することができる。また、蓋体１０の出没孔１８近傍に施錠ラッチ４５と案内補強ブロック５１とが存在するので、蓋体１０の出没孔１８付近の強度を確保することができ、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、蓋体１０や施錠機構３０の進退動リンク３８が変形するおそれを排除することができる。したがって、施錠機構３０の安全確実な動作が大いに期待できる。
【００７２】
さらに、施錠ラッチ４５等を従来よりも長く伸長形成する必要がなく、小さく短く成形して剛性を確保することができるので、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、進退動リンク３８や施錠ラッチ４５が変形しやすくなるおそれがない。したがって、施錠ラッチ４５等を肉厚に形成して変形防止を図る必要がなく、施錠ラッチ４５の引き込みストローク量の低下を招くのを防止することが可能になる。
【００７３】
次に、図２０ないし図２３は本発明の本発明の第２の発明の実施形態を示すもので、この場合には、蓋体１０に、進退動リンク３８用の傾斜突起２３と球面突起２６とをそれぞれ複数形成し、施錠機構３０を、蓋体１０の収納包囲壁１２に支持されて外部からの操作で回転する左右一対の回転操作リール３１と、各回転操作リール３１の回転により蓋体１０の上下方向に進退動する複数の進退動リンク３８とから構成して進退動リンク３８と施錠ラッチ４５Ａとを一体化し、各進退動リンク３８に、蓋体１０の傾斜突起２３や球面突起２６に干渉する第一、第二のカム突起６２・６３をそれぞれ形成して案内補強ブロック５１を省略するようにしている。
【００７４】
各傾斜突起２３は、図２２や図２３に示すように、底の浅い断面略凹字形に形成されて蓋体１０のカバープレート１９裏面に一体化され、蓋本体１１の内部方向に突出して進退動リンク３８の末端部寄りに位置する。この傾斜突起２３の平坦に凹んだ表面２４を区画する上下一対の対向壁のうち、カバープレート１９の周縁部側に位置する対向壁は蓋本体１１方向に向かうにしたがい徐々に狭まる先細りの傾斜面２５に形成され、この傾斜面２５が進退動リンク３８を蓋体１０の厚さ方向に揺動させるよう機能する。
【００７５】
各球面突起２６は、先端が球面の略丸ピン形に形成されてカバープレート１９の裏面に一体化され、蓋本体１１の内部方向に突出する。この球面突起２６は、蓋本体１１の出没孔１８や進退動リンク３８の先端部近傍に位置し、進退動リンク３８の先端部近傍に対向する。球面突起２６の近傍には、進退動リンク３８の第二のカム突起６３に干渉して上下方向への位置ずれを防止する位置ずれ防止片２７が間隔をおき隣接して突出形成される。
【００７６】
施錠機構３０の各回転操作リール３１は、図２０や図２１に示すように、基本的には上記第１の発明の実施形態と略同様に構成され、対向する一対のカム溝部３３がそれぞれ略円弧形に湾曲形成されており、各カム溝部３３の内周側あるいは外周側付近には、進退動リンク３８用の変形防止リブ３６が略円弧形に湾曲形成される。
【００７７】
各進退動リンク３８は、図２０ないし図２３に示すように、収納包囲壁１２の一対の直線リブ１４に隙間を介し挟まれて蓋体１０の中央部付近から周壁方向に指向する長い矩形のプレートに形成され、蓋本体１１に対向する対向面に補強用の格子リブ６１が形成されており、カバープレート１９の裏面に対向する対向面の長手方向には第一、第二のカム突起６２・６３が間隔をおいてそれぞれ形成される。
【００７８】
進退動リンク３８は、先端部から末端部に向かうにしたがい徐々に薄肉となるよう形成され、先端部が他の部分よりも薄肉に形成されて施錠ラッチ４５Ａを構成し、この先端部が施錠ラッチ４５Ａとして蓋体１０の出没孔１８から直線的に出没し、かつ容器本体１の施錠穴７内に圧接する。
【００７９】
進退動リンク３８の窄んだ末端部には、円筒形の連結ピン４４が突出形成され、この連結ピン４４が回転操作リール３１のカム溝部３３にスライド可能に嵌入して回転操作リール３１の回転運動を直線運動に変換するよう機能する。この連結ピン４４の周面は、カム溝部３３の変形防止リブ３６に摺接し、施錠時に施錠ラッチ４５Ａに作用する荷重を変形防止リブ３６に伝達する。
【００８０】
第一のカム突起６２は、各進退動リンク３８の末端部寄りに断面略三角形に一体形成され、カバープレート１９の傾斜突起２３に干渉する。この第一のカム突起６２は、施錠機構３０の施錠時には、傾斜突起２３の傾斜面２５に摺接して進退動リンク３８の末端部を蓋本体１１方向に僅かに傾ける（図２３参照）とともに、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５Ａを突出させ、施錠機構３０の解錠時には、傾斜突起２３の凹んだ表面２４内に摺接復帰して蓋本体１１方向に傾いた進退動リンク３８の末端部を元の位置に復帰させ、かつ施錠穴７から施錠ラッチ４５Ａを離隔させる（図２２参照）。
【００８１】
第二のカム突起６３は、各進退動リンク３８の先端部寄りに先細りの断面略多角形に一体形成され、カバープレート１９の球面突起２６に干渉する。この第二のカム突起６３は、施錠機構３０の施錠時には、球面突起２６を跨いでそのカバープレート１９周縁部側の周面に接触することにより施錠穴７を区画する正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａを揺動接触（図２３参照）させ、施錠機構３０の解錠時には、接触していた球面突起２６の周面から先端に対向復帰して施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａを離隔させるよう機能する（図２２参照）。
【００８２】
上記構成において、容器本体１の開口した正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠する場合には、容器本体１の正面５内に蓋体１０を嵌入してカバープレート１９側を外部にやや食み出させ、その後、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の振作キーを挿通し、施錠機構３０の各回転操作リール３１の横方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して反時計方向、すなわち施錠方向に徐々に回転させる。
【００８３】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が施錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、各進退動リンク３８の先端部である施錠ラッチ４５Ａが蓋体１０周壁方向に進出し、蓋体１０の出没孔１８から各施錠ラッチ４５Ａが突出して容器本体１の施錠穴７内に突出する。
【００８４】
この際、傾斜突起２３の凹んだ表面２４から傾斜面２５に第一のカム突起６２が摺接して進退動リンク３８の末端部を蓋本体１１方向に徐々に傾け、球面突起２６の先端に対向していた第二のカム突起６３が球面突起２６を通過して位置ずれ防止片２７に干渉し、進退動リンク３８の先端部側がカバープレート１９方向に僅かに傾斜する。
【００８５】
球面突起２６を第二のカム突起６３が跨いで位置ずれ防止片２７に干渉すると、進退動リンク３８の蓋体１０厚さ方向への揺動が規制され、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａが接触し、容器本体１の正面５内に蓋体１０が次第に引き込まれ、施錠穴７に施錠ラッチ４５Ａが最終的に強く嵌入係止して蓋体１０を完全に密嵌することにより、容器本体１の正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠することができる。
【００８６】
この際、施錠ラッチ４５Ａに強い荷重が作用し、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反るおそれがあるが、回転操作リール３１の変形防止リブ３６が施錠ラッチ４５Ａに作用する強い荷重や連結ピン４４に生じる応力を受けるので、回転操作リール３１から施錠ラッチ４５Ａにかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反ることがない。
【００８７】
次に、施錠した施錠機構３０を解錠して容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、各回転操作リール３１の縦方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して時計方向、すなわち解錠方向に徐々に回転させる。
【００８８】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が解錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を元の位置に後退させ、施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａが離れる。
この際、傾斜突起２３の傾斜面２５から凹んだ表面２４に第一のカム突起６２が摺接して進退動リンク３８の末端部をカバープレート１９方向に徐々に傾け、球面突起２６を跨いでいた第二のカム突起６３が球面突起２６の先端に復帰して進退動リンク３８の先端部側を蓋本体１１方向に徐々に傾斜させる。
【００８９】
施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａが離れると、この施錠ラッチ４５Ａが容器本体１の施錠穴７から蓋体１０の出没孔１８内に後退し、容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０が取り外し可能な状態となる。その他の部分については、上記第１の発明の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９０】
本実施形態においても上記第１の発明の実施形態と同様の作用効果が期待でき、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５Ａを十分に進入させた後、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａをはじめて接触させて容器本体１の正面５内に蓋体１０を引き込んでいくので、施錠穴７に対する施錠ラッチ４５Ａの接触力が従来よりも増大して蓋体１０を十分に引き込むことができる。したがって、施錠機構３０による施錠を安定させ、容器本体１の施錠穴７や施錠機構３０の施錠ラッチ４５Ａが損傷するのを有効に防止することができるのは明らかである。
【００９１】
また、蓋体１０を十分に引き込むことができるので、容器本体１にフロントリテーナの反力を受ける蓋体１０を高精度に嵌合することができる。また、蓋体１０の出没孔１８近傍に施錠ラッチ４５Ａが存在するので、蓋体１０の出没孔１８付近の強度を確保することができ、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、蓋体１０や施錠機構３０の進退動リンク３８が変形するおそれを排除することが可能になる。したがって、施錠機構３０の安全確実な動作が大いに期待できる。
【００９２】
また、施錠ラッチ４５Ａを小さく短く成形して剛性を確保することができるので、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、進退動リンク３８や施錠ラッチ４５Ａが変形しやすくなるおそれがない。したがって、施錠ラッチ４５Ａ等を肉厚に形成して変形防止を図る必要がなく、施錠ラッチ４５Ａの引き込みストローク量の低下を招くのを防止することが可能になる。さらに、別体の施錠ラッチ４５や案内補強ブロック５１を省略して構成の簡素化や部品点数の削減を図ることができる。
【００９３】
なお、上記実施形態では蓋本体１１の内部に施錠機構３０用の収納包囲壁１２を区画形成したが、カバープレート１９の蓋本体１１に対向する裏面に施錠機構３０用の収納包囲壁１２を区画形成したり、このカバープレート１９の収納包囲壁１２を補強リブ２２と組み合わせても良い。
【００９４】
また、上記実施形態では施錠機構３０のカム溝部３３に変形防止リブ３６を一体成形したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、変形防止リブ３６に弾性を付与して基板収納容器の耐落下性を向上させても良い。また、回転操作リール３１のカム溝部３３は、貫通していても良いし、貫通していない凹部でも良い。また、キースロット３２の周縁部の一部厚さ方向に、一対の手動操作部３４を対設することができる。さらに、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９の先端部に、パーティクルの発生を低減するローラを回転可能に軸支させることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明に係る基板収納容器は、半導体や液晶等の製造分野で使用することができる。
【符号の説明】
【００９６】
１ 容器本体
５ 正面（開口部）
６ リムフランジ
７ 施錠穴
８ 正面側壁面（壁面）
１０ 蓋体
１１ 蓋本体
１２ 収納包囲壁
１３ 円弧リブ
１４ 直線リブ
１８ 出没孔
１９ カバープレート
２３ 傾斜突起
２４ 表面
２５ 傾斜面
２６ 球面突起（突起）
３０ 施錠機構
３１ 回転操作リール（回転操作体）
３２ キースロット
３３ カム溝部（第二係合部）
３４ 手動操作部
３６ 変形防止リブ（変形防止部）
３８ 進退動リンク（進退動体）
４０ 受け爪
４１ 区画片
４２ 支持溝
４３ 案内溝
４４ 連結ピン（凸部、第一係合部）
４５ 施錠ラッチ（施錠体）
４５Ａ 施錠ラッチ（施錠体）
４６ 支持軸
４７ 一方の屈曲辺
４８ 第一の凸部
４９ 他方の屈曲辺
５０ 第二の凸部
５１ 案内補強ブロック（案内補強体）
５２ 底板
５３ 揺動許容溝（回転許容凹部）
５４ 位置決め弾性部材
５５ 伸長片
５７ 側壁
６２ 第一のカム突起
６３ 第二のカム突起
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送する際に使用される基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面にシール状態に嵌合される蓋体と、容器本体の開口した正面に嵌合された蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成されている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
容器本体は、所定の成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、開口した正面の内周に、施錠機構用の複数の施錠穴が間隔をおいて形成されている。また、蓋体は、容器本体の正面に嵌合される断面略皿形の蓋本体を備え、この蓋本体の開口した正面に別体のカバープレートが覆着されており、蓋本体の周壁に、施錠機構用の複数の出没孔が間隔をおいて穿孔されている。このような蓋体の蓋本体からカバープレートまでの厚さは、業界の自主基準であるＳＥＭＩ規格の標準規格で定められている。
【０００４】
施錠機構は、蓋体の蓋本体に軸支されてカバープレートの外部から回転操作される左右一対の回転操作プレートと、各回転操作プレートの回転により蓋体内の上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドにより蓋体の出没孔から出没して容器本体の施錠穴に接離する複数の施錠爪とから構成され、容器本体の正面に嵌合された蓋体の脱落を防止するよう機能する。
【０００５】
施錠爪は、蓋体の出没孔近傍とスライドプレートの先端部とに金属ピンを介しそれぞれ軸支されて蓋体の厚さ方向に揺動するタイプ、スライドプレートの先端部に回転可能に軸支され、スライドプレートに押圧されることによりガイド溝にガイドされつつ移動するタイプが知られている。
【０００６】
上記において、容器本体の開口した正面に蓋体を嵌合して施錠機構で施錠する場合には、蓋体の厚さに鑑み、容器本体の正面内に蓋体を浅く嵌入してカバープレート側を外部にやや食み出させ（この段階では、蓋体は完全に嵌合していない）、施錠機構の回転操作プレートを施錠方向に回転操作して容器本体の各施錠穴に施錠爪を嵌入すれば良い。
【０００７】
すると、各施錠穴を区画する正面側壁面方向に施錠爪の先端部が徐々に突出しながら揺動し、施錠穴の正面側壁面に施錠爪の先端部が接触して容器本体の正面内に蓋体を次第に引き込み、各施錠穴に施錠爪が最終的に強く嵌入係止して蓋体を完全に密嵌することにより、容器本体の正面に蓋体を嵌合して施錠機構で施錠することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１３３４０５号公報
【特許文献２】特開２００６−３０３０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来における基板収納容器は、以上のように構成されているので、以下のような問題がある。先ず、施錠爪が蓋体の厚さ方向に揺動するタイプの場合、施錠爪の突出と揺動とが同時であり、容器本体の施錠穴の正面側壁面に施錠機構の施錠爪の先端部が徐々に接触して容器本体の正面内に蓋体を次第に引き込んでいくので、施錠穴に対する施錠爪の接触が十分ではなく、蓋体を十分に引き込むことができないことがあり、その結果、施錠機構による施錠が不安定化したり、容器本体の施錠穴や施錠機構の施錠爪が損傷するという問題がある。
【００１０】
また、蓋体の出没孔近傍に施錠爪が軸支されるので、蓋体の出没孔付近の強度を確保することができない。このため、施錠時に大きな施錠力が作用すると、蓋体や施錠機構のスライドプレートが変形するおそれがある。
【００１１】
次に、施錠爪がガイド溝にガイドされつつ移動するタイプの場合、施錠爪を所定の長さに伸長形成しなければならず、施錠時に大きな施錠力が加わると、スライドプレートや施錠爪が変形しやすくなるという問題がある。この点に鑑み、施錠爪等を肉厚に形成して変形防止を図ろうとすると、施錠爪の引き込みストローク量が低下するという問題が新たに生じることとなる。
【００１２】
本発明は上記に鑑みなされたもので、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、この蓋体に設けられる施錠機構とを備えたものであって、
施錠機構は、外部からの操作で回転可能な回転操作体と、この回転操作体に係合する第一係合部を備え、回転操作体の動きによって蓋体の内外方向に移動する進退動体とを有し、
回転操作体は、進退動体の第一係合部と係合する第二の係合部と、進退動体の回転操作体側の末端部と接触し、施錠機構が容器本体に蓋体を係止するときに進退動体の撓みを防止する変形防止部とを有することを特徴としている。
【００１４】
なお、施錠機構は、進退動体の進退動により容器本体の開口部内周の施錠穴に接離する蓋体の厚さ方向に回転可能な施錠体と、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体とを含み、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体から容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた施錠体が案内補強体に案内されながら容器本体の施錠穴内から蓋体に直線的に後退することができる。
【００１５】
また、蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、蓋本体とカバープレートのいずれか一方には、施錠機構用の収納包囲壁を形成し、蓋本体を断面略皿形に形成してその内部には施錠機構を配置し、蓋本体の周壁には、施錠機構の施錠体用の出没孔を設けることができる。
また、施錠機構の回転操作体は、蓋本体の収納包囲壁内に支持されてカバープレートの外部から操作される回転可能なキースロットと、このキースロットの周縁部に設けられて進退動体の端部に連結されるカム溝部とを含み、このカム溝部に進退動体用の変形防止部を形成することができる。
【００１６】
また、施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設け、このカム溝部の変形を変形防止部に防止させるようにし、
施錠機構の進退動体を、蓋体の中央部付近から周壁方向に指向するプレートに形成してその先端部には施錠体用の支持溝を形成し、プレートの先端部両側に案内補強体用の案内溝をそれぞれ形成し、プレートの末端部には回転操作体のカム溝部に嵌まる凸部を形成するとともに、この凸部とカム溝部の変形防止部とを接触させ、
施錠体を断面略Ｌ字形に屈曲してその屈曲部付近には進退動体の支持溝に回転可能に支持される支持軸を形成し、施錠体の一方の屈曲辺を案内補強体内にスライド可能に内蔵するとともに、他方の屈曲辺を容器本体の施錠穴内に接離可能とし、施錠体の一方の屈曲辺の先端部両側に、案内補強体用の第一の凸部をそれぞれ形成し、他方の屈曲辺の両側部には、案内補強体用の第二の凸部をそれぞれ形成することができる。
【００１７】
さらに、施錠機構の案内補強体を、施錠体と嵌合可能な断面略Ｕ字形に形成してその内部前方には施錠体の一方の屈曲辺の先端部と回転可能に嵌合する回転許容凹部を形成し、案内補強体の内部には、施錠体用の位置決め弾性部材を設けて回転許容凹部に隣接させ、案内補強体の後部両側に、進退動体の案内溝にスライド可能に嵌まる伸長片をそれぞれ形成し、案内補強体の両側壁には、施錠体の第一の凸部にスライド可能に嵌まるスライド溝をそれぞれ形成するとともに、施錠体の第二の凸部をそれぞれスライド可能に支持させることが可能である。
【００１８】
また、本発明の第２の発明においては上記課題を解決するため、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えたものであって、
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、カバープレートに、施錠機構用の傾斜突起と突起とをそれぞれ形成し、
施錠機構は、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転操作体と、この回転操作体の回転により蓋体の内外方向に進退動し、容器本体の開口部内周の施錠穴に先端部の施錠体を接離する進退動体とを含み、進退動体に、蓋体の傾斜突起に干渉して進退動体の末端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第一のカム突起を形成するとともに、蓋体の突起に干渉して進退動体の先端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第二のカム突起を形成し、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が蓋体から容器本体の施錠穴内に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入する施錠体が蓋体の厚さ方向に傾斜して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が蓋体の厚さ方向に復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れる施錠体が容器本体の施錠穴内から蓋体に後退することを特徴としている。
【００１９】
なお、傾斜突起を蓋体のカバープレートに断面略凹字形に形成して進退動体の末端部寄りに位置させ、この傾斜突起の凹んだ表面を区画する上下一対の対向壁のうち、カバープレートの周縁部側に位置する対向壁を先細りの傾斜面に形成することができる。
また、施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設けるとともに、このカム溝部の変形を防止する変形防止部を形成することもできる。
【００２０】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、３００、４５０ｍｍの半導体ウェーハやガラス板等が単数複数含まれる。容器本体は、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプ、フロントオープンボックスタイプのいずれでも良い。また、蓋体のカバープレートには、施錠機構の回転操作体用の自動操作孔と手動操作孔とをそれぞれ設けることができる。
【００２１】
施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体、案内補強体は、単数複数を特に問うものではない。回転操作体のキースロットの周縁部には、カバープレートの手動操作孔から操作される手動操作部を設けることができる。施錠体は蓋体の厚さ方向に回転するが、この回転には、回動や揺動が含まれる。また、位置決め弾性部材には、少なくとも単数複数のゴム、板バネ、コイルバネ等が該当する。
【００２２】
本発明の第１の発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠する場合には、例えば容器本体の開口部内に蓋体を浅く嵌め入れ、施錠機構の回転操作体を施錠方向に回転させる。すると、施錠機構の回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、進退動体の先端部と案内補強体とが接近して施錠体を蓋体外方向に進出させ、蓋体から直立した施錠体が突出して容器本体の施錠穴内に直線的に突出する。
【００２３】
容器本体の施錠穴内に施錠体が直線的に突出して回転可能な状態になると、直立していた施錠体が蓋体の厚さ方向に回転する。すると、容器本体の施錠穴を区画する壁面に施錠体が回転して接触し、容器本体の開口部内に蓋体が次第に引き込まれ、施錠穴に施錠体が最終的に強く干渉して蓋体を完全に嵌め入れる。このように施錠体の突出と回転とが同時ではなく、施錠体が突出した後に連続して回転するので、容器本体の開口部に蓋体を適切に施錠することができる。
【００２４】
また、本発明の第２の発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠する場合には、例えば容器本体の開口部内に蓋体を浅く嵌め入れ、施錠機構の回転操作体を施錠方向に回転させる。すると、施錠機構の回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、進退動体の先端部である施錠体が蓋体の外方向に進出し、蓋体から施錠体が突出して容器本体の施錠穴内に突出する。
【００２５】
この際、傾斜突起の傾斜面に第一のカム突起が案内されて進退動体の末端部側を蓋本体方向に傾け、突起の先端に対向していた第二のカム突起が突起からずれ、進退動体の先端部側が末端部側とは反対のカバープレート方向に傾斜する。突起に第二のカム突起がずれて接触すると、進退動体の蓋体厚さ方向への傾斜が規制され、施錠穴を区画する壁面に施錠体が接触し、容器本体の開口部内に蓋体が引き込まれ、施錠穴に施錠体が最終的に強く干渉して蓋体を完全に嵌め入れることにより、容器本体の開口部に蓋体を嵌めて施錠機構で施錠することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の第１の発明によれば、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することができるという効果がある。
また、請求項２記載の発明によれば、施錠機構用の収納包囲壁により、施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体、案内補強体の脱落を防止したり、これらの動作を円滑に案内したり、蓋本体の強度を向上させることができる。
【００２７】
また、請求項４又は７記載の発明によれば、回転操作体の変形防止部により、少なくともカム溝部の変形を抑制することが可能になる。また、施錠体に強い荷重が作用すると、進退動体が蓋体の厚さ方向に反るおそれが考えられるが、回転操作体の変形防止部に、施錠体に作用する強い荷重や進退動体に生じる応力を受けさせれば、回転操作体から施錠体にかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動体が蓋体の厚さ方向に反るのを防ぐことが可能になる。
【００２８】
また、請求項４、５記載の発明によれば、容器本体の施錠穴内に施錠体が突出しながら回転し、施錠穴の壁面に施錠体が接触するのではなく、容器本体の施錠穴内に施錠体が直線的に突出し、その後、施錠穴の壁面に施錠体がはじめて回転して接触することにより、容器本体の開口部内に蓋体を引き込んでいくので、容器本体の開口部に蓋体を適切に嵌め入れることが可能になる。
【００２９】
さらに、本発明の第２の発明によれば、施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することができ、しかも、進退動体とは別の施錠体や案内補強体を省略して構成の簡素化や部品点数の削減等を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の蓋本体を模式的に示す斜視説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す正面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す側面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールと進退動リンクの末端部とを模式的に示す部分斜視図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の進退動リンクを模式的に示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠ラッチを模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックを模式的に示す斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックの内部を模式的に示す斜視説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体からカバープレートを取り外した施錠機構の解錠状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の解錠状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを施錠方向に回転操作し始めた状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールを施錠方向に回転操作し始めた状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す正面説明図である。
【図１９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２０】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体と施錠機構とを模式的に示す斜視説明図である。
【図２１】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図２２】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠前の状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２３】本発明の第２の発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠後の状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の第１の発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１９に示すように、複数枚の半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面５にシール状態に嵌合される蓋体１０と、容器本体１の正面５に嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７の正面側壁面８に接触する。
【００３２】
半導体ウェーハとしては、特に限定されるものではないが、例えばメモリ容量の拡大、半導体部品に形成される最小加工線幅の縮小に伴うチップサイズの小型化、生産性向上の観点から、φ４５０ｍｍの薄く脆く反りやすいシリコンウェーハが使用される。
【００３３】
容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。これらの熱可塑性樹脂には、導電性を確保したい場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電物質が添加される。
【００３４】
容器本体１は、図１ないし図３に示すように、正面５が横長に開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、開口した正面５を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置に付属の蓋体開閉装置上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。この容器本体１は、その内部両側、換言すれば、両側壁９の内面に、半導体ウェーハを略水平に支持する左右一対の支持片２がそれぞれ対設され、この左右一対の支持片２が上下方向に所定のピッチで配列されており、各支持片２が半導体ウェーハの周縁側部を支持する細長い板形に形成される。
【００３５】
容器本体１の底板の前部両側と後部中央とには、容器本体１を位置決めする位置決め具がそれぞれ配設される。また、容器本体１の底板には、別体のボトムプレート３が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート３から複数の位置決め具がそれぞれ露出する。容器本体１の天板の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ４が着脱自在に装着される。
【００３６】
容器本体１の正面５の周縁部は、外方向に屈曲して張り出すリムフランジ６に保持リブを介し膨出形成され、このリムフランジ６内に着脱自在の蓋体１０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合される。この容器本体１の正面５内周、換言すれば、リムフランジ６内周面の上下の両側には、施錠機構３０用の施錠穴７がそれぞれ凹み形成され、各施錠穴７が矩形に区画形成されてその外部に最も近接する壁面が正面側壁面８とされる。
【００３７】
容器本体１の両側壁９の内面後部、具体的には、支持片２の後部付近に位置する箇所は、容器本体１の正面５に蓋体１０が嵌合されると、支持片２の表面から浮上した半導体ウェーハの周縁両側部に接触し、半導体ウェーハの位置を有効に規制してガタッキを防止する。
【００３８】
蓋体１０は、図１ないし図４に示すように、容器本体１の開口した正面５に嵌合される正面矩形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した正面に螺子等で覆着される別体のカバープレート１９とを備えて構成される。蓋本体１１は、断面略皿形に形成されてその四隅部が丸く面取りされ、内部の両側に、施錠機構３０が配置されるとともに、この施錠機構３０用の収納包囲壁１２が区画形成される。
【００３９】
収納包囲壁１２は、蓋本体１１の内部両側中央にそれぞれ対設されて間隔をおいて相対向する左右一対の円弧リブ１３と、この一対の円弧リブ１３の端部から蓋体１０の周壁方向にそれぞれ直線的に伸長する左右一対の直線リブ１４とから形成される。一対の円弧リブ１３間には、分割構造の支持リブ１５と左右一対の位置合わせブロック１６とがそれぞれ配設され、支持リブ１５の左右両側に位置合わせブロック１６がそれぞれ間隔をおいて配設される（図６参照）。
【００４０】
一対の直線リブ１４間の長手方向には、複数のガイドボス１７が間隔をおいて配設される。各ガイドボス１７は、略円柱形に形成され、摩擦低減用の回転可能なローラ等が選択的に嵌合される。
【００４１】
蓋本体１１の周壁上下の両側には、容器本体１の施錠穴７に対向する出没孔１８がそれぞれ穿孔され、各出没孔１８が一対の直線リブ１４間の開口端部と連通する。また、蓋本体１１の裏面には、容器本体１に収納された半導体ウェーハの周縁前部を弾性片で弾発的に圧接挟持するフロントリテーナが装着され、蓋本体１１の裏面周縁部には、容器本体１の正面５内周に圧接して変形する枠形のガスケットが密嵌される。このガスケットは、例えば耐候性、電気絶縁性、圧縮特性等に優れるポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系の熱可塑性エラストマー等を用いて成形される。
【００４２】
カバープレート１９は、四隅部が丸く面取りされた正面略矩形に形成され、両側の中央付近に、施錠機構３０の回転操作リール３１用の自動操作孔２０と上下一対の手動操作孔２１とがそれぞれ穿孔される。自動操作孔２０は正面矩形に形成されて上下一対の手動操作孔２１の間に位置し、各手動操作孔２１は展開した正面略扇形に形成される。
【００４３】
なお、蓋本体１１の内部とカバープレート１９裏面のいずれか一方には図２に示すように、蓋体１０の強度を向上させる選択的な補強リブ２２が縦横に伸長形成される。この場合の補強リブ２２は、収納包囲壁１２にバーを組み合わせた構造に構成されたり、収納包囲壁１２と略同様の構成の収納包囲壁にバーを組み合わせた構造に構成されたり、あるいは太いバーに成形される。
【００４４】
施錠機構３０は、図２、図５ないし図７等に示すように、蓋体１０の収納包囲壁１２に支持されて外部からの操作で回転する左右一対の回転操作リール３１と、各回転操作リール３１の回転により蓋体１０の上下方向に進退動する複数の進退動リンク３８と、各進退動リンク３８の進退動により容器本体１の正面５内周の施錠穴７に接離する複数の施錠ラッチ４５と、各進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とに装着されて施錠ラッチ４５の動作を規制する複数の案内補強ブロック５１とを備え、ＳＥＭＩ規格から外れることのないよう構成される。この施錠機構３０は、例えばポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等を使用して成形される。
【００４５】
各回転操作リール３１は、図５、図６、図８、図９等に示すように、収納包囲壁１２の円弧リブ１３に隙間を介し包囲されてカバープレート１９の自動操作孔２０から操作される回転可能なキースロット３２を備え、このキースロット３２の周縁部の一部には、進退動リンク３８の末端部に連結される一対のカム溝部３３が偏心して対設されており、キースロット３２の周縁部の残部には、カバープレート１９の手動操作孔２１から指で操作される中空の手動操作部３４が一対対設される。
【００４６】
キースロット３２は、例えば収納包囲壁１２内の支持リブ１５に回転可能に嵌合支持される断面略Ｕ字の筒形に形成され、表面に細長いキー溝３５が凹み形成されており、このキー溝３５にカバープレート１９の自動操作孔２０を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが挿入される。
【００４７】
各カム溝部３３は、略円弧形に湾曲形成され、内周側付近には、進退動リンク３８用の変形防止リブ３６が表裏方向に一体形成される。このカム溝部３３の外周側には、収納包囲壁１２内の位置合わせブロック１６に干渉する可撓性の干渉片３７が屈曲して一体形成され、この干渉片３７が位置合わせブロック１６の溝に嵌合することにより、回転操作リール３１の必要以上の過剰な回転が規制される。また、変形防止リブ３６は、キースロット３２の高さ方向に向けて一体形成され、少なくともカム溝部３３の変形を抑制防止するよう機能する。
【００４８】
各進退動リンク３８は、図５ないし図８、図１０等に示すように、収納包囲壁１２の一対の直線リブ１４に隙間を介し挟まれて蓋体１０の中央部付近から周壁方向に指向する長い矩形のプレートに形成され、長手方向の中心線上に複数の長孔３９が間隔をおいて穿孔されており、各長孔３９が収納包囲壁１２のガイドボス１７にスライド可能に遊嵌されて移動量を規制する。これら長孔３９とガイドボス１７との間には、擦れや抵抗を低減するローラ、ベアリング等が選択的に介在される。
【００４９】
進退動リンク３８の凹凸の先端部の両側には、略Ｌ字形の受け爪４０がそれぞれ突出形成され、進退動リンク３８の先端部寄りの両側面には、長手方向に伸びる略Ｌ字形の区画片４１がそれぞれ一体形成されており、これら複数の受け爪４０と区画片４１の先端部とが施錠ラッチ４５用の支持溝４２を区画形成する。進退動リンク３８の先端部寄りの側面と区画片４１との間には、案内補強ブロック５１用の案内溝４３が長手方向に区画形成される。
【００５０】
進退動リンク３８の窄んだ末端部には、円筒形の連結ピン４４が突出形成され、この連結ピン４４が回転操作リール３１のカム溝部３３に裏面側からスライド可能に嵌入して回転操作リール３１の回転運動を直線運動に変換するよう機能する。この連結ピン４４の周面は、カム溝部３３の変形防止リブ３６に摺接し、施錠時に施錠ラッチ４５に作用する荷重を変形防止リブ３６に伝達する（図８参照）。この伝達により、カム溝部３３の変形防止リブ３６は、施錠時の進退動リンク３８の撓みを防止することとなる。
【００５１】
各施錠ラッチ４５は、図５ないし図７、図１１等に示すように、断面略Ｌ字形に屈曲したプレートに形成され、凹凸の裏面側の屈曲部付近に進退動リンク３８の支持溝４２に回転可能に嵌合支持される支持軸４６が一体形成されており、蓋体１０の出没孔１８から直線的に出没し、かつ容器本体１の施錠穴７に揺動して圧接する。
【００５２】
施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部は略円柱形に湾曲形成され、この先端部の両側には、案内補強ブロック５１用の第一の凸部４８がそれぞれ円柱形に一体形成されており、他方の屈曲辺４９の両側面には、案内補強ブロック５１用の第二の凸部５０がそれぞれ円柱形に突出形成される。施錠ラッチ４５の一対の屈曲辺４７・４９のうち、一方の屈曲辺４７は案内補強ブロック５１内にスライド可能に摺接し、他方の先細りの屈曲辺４９は案内補強ブロック５１の前部から飛び出して容器本体１の施錠穴７内に突出し、圧接する（図６、図７参照）。
【００５３】
このような施錠ラッチ４５は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い案内補強ブロック５１の後方から前方に進出し、この進出が規制された時点で揺動可能な状態（図６、図７参照）となり、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い揺動し、元の位置に揺動復帰した時点で案内補強ブロック５１の前方から後方に後退する。
【００５４】
各案内補強ブロック５１は、図５ないし図７、図１２、図１３等に示すように、平坦な底板５２の両側部に側壁５７がそれぞれ配設された断面略Ｕ字形に形成されるとともに、底板５２に施錠ラッチ４５用の複数の位置決め弾性部材５４が左右方向に並設され、進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とにそれぞれスライド可能に嵌合されており、一対の直線リブ１４の端部間に挟まれて蓋体１０の出没孔１８付近に位置し、かつ蓋体１０のカバープレート１９に接触する。
【００５５】
底板５２の内面前方には、断面略半円筒形の揺動許容溝５３が左右方向に形成され、この揺動許容溝５３に位置決め弾性部材５４を乗り越えた施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部が嵌合して回転可能となる。各位置決め弾性部材５４は、例えば底板５２の一部を細長く切り欠いた弾性変形可能な板バネやエラストマ一等からなり、底板５２の中央から後方にかけて設けられて揺動許容溝５３に隣接し、揺動許容構５３に嵌合した一方の屈曲辺４７の先端部を位置決めし、一方の屈曲辺４７の先端部を中心に施錠ラッチ４５が揺動するのを許容する。
【００５６】
底板５２の後部両側には、略Ｌ字形の伸長片５５がそれぞれ屈曲形成され、各伸長片５５が区画片４１の末端部付近に接離可能に係止する。この伸長片５５の屈曲部付近には、蓋体１０の蓋本体１１に弾性的に係止するための係止用の切り欠き５６が選択的に形成される。
【００５７】
案内補強ブロック５１の両側壁５７には、施錠ラッチ４５の第一の凸部４８にスライド可能に遊嵌するスライド溝５８がそれぞれ前後方向に穿孔され、両側壁５７の表面には、施錠ラッチ４５の第二の凸部５０がそれぞれスライド可能に支持される。各スライド溝５８は、案内補強ブロック５１の前後方向に伸長する小判形に形成され、先端部が底板５２の揺動許容溝５３の端と一体化して拡径に形成されており、この先端部に施錠ラッチ４５の第一の凸部４８が接触することにより、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、かつ施錠ラッチ４５が蓋体１０の厚さ方向にはじめて揺動可能な状態となる。
【００５８】
案内補強ブロック５１の両側壁５７の前部間には、底板５２の揺動許容溝５３に隣接して施錠ラッチ４５の過剰なスライドを規制する前部壁５９が側壁５７よりも低く架設され、各側壁５７の外面には、進退動リンク３８の区画片４１に摺接する板形の受けフランジ６０が突出形成されており、各側壁５７の後部には伸長片５５が一体化される。
【００５９】
このような案内補強ブロック５１は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い、進退動リンク３８の先端部に相対的に接近し、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い、進退動リンク３８の先端部から相対的に離隔する。
【００６０】
上記構成において、容器本体１の開口した正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠する場合には、容器本体１の正面５内に蓋体１０を浅く嵌入してカバープレート１９側を外部にやや食み出させ、その後、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、施錠機構３０の各回転操作リール３１の横方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して反時計方向、すなわち施錠方向に徐々に回転させる（図１６、図１７参照）。
【００６１】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が施錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に接近して施錠ラッチ４５が蓋体１０の周壁方向に相対的に進出し、蓋体１０の出没孔１８から各施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が突出して容器本体１の施錠穴７内に直線的に突出する（図１６、図１７参照）。
【００６２】
この際、施錠ラッチ４５は、案内補強ブロック５１のスライド溝５８や両側壁５７の表面に直線的に案内され、案内補強ブロック５１の底板５２内面や複数の位置決め弾性部材５４に一方の屈曲辺４７が摺接し、案内補強ブロック５１の前部壁５９方向に相対的に進出する。したがって、施錠ラッチ４５は、蓋体１０の厚さ方向に対する揺動が規制された状態で直線的にスライドする。
【００６３】
容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が直線的に突出し、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が位置決め弾性部材５４を乗り越えて揺動許容構５３に嵌合し、施錠ラッチ４５がはじめて揺動可能な状態になると、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、施錠ラッチ４５がその一方の屈曲辺４７の先端部を中心に弧を描きながら蓋体１０の厚さ方向に揺動する。
【００６４】
すると、施錠穴７を区画する正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動接触し、容器本体１の正面５内に蓋体１０が次第に引き込まれ、施錠穴７に施錠ラッチ４５が最終的に強く嵌入係止して蓋体１０を完全に密嵌することにより、容器本体１の正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠することができる（図１８、図１９参照）。
【００６５】
この際、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用するが、回転操作リール３１と施錠ラッチ４５とが進退動リンク３８を介して相互に突っ張り、蓋体１０の高さ方向に反力が作用することになるので、蓋体１０の厚さ方向の変形が有効に防止される。
【００６６】
また、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用すると、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反るおそれがあるが、回転操作リール３１の変形防止リブ３６が施錠ラッチ４５に作用する強い荷重や連結ピン４４に生じる応力を受けるので、回転操作リール３１から施錠ラッチ４５にかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反ることがない。
【００６７】
次に、施錠した施錠機構３０を解錠して容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、各回転操作リール３１の縦方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して時計方向、すなわち解錠方向に徐々に回転させる。
【００６８】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が解錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を元の位置に後退させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に離隔して施錠ラッチ４５が元の位置に相対的に後退し、施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動して離れる。この際、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７は、位置決め弾性部材５４の端部に干渉されるので、位置ずれすることなく、底板５２の揺動許容溝５３に嵌合した状態で揺動する。
【００６９】
施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が離れて蓋体１０の厚さ方向の元の位置に揺動復帰すると、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が揺動許容溝５３から位置決め弾性部材５４を乗り越えて底板５２の後方にスライドし、直立した施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が容器本体１の施錠穴７から蓋体１０の出没孔１８内に直線的に後退することにより、容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０が取り外し可能な状態となる。
【００７０】
上記構成によれば、施錠ラッチ４５の突出と揺動とが同時ではなく、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５を十分に進入させた後、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９をはじめて接触させて容器本体１の正面５内に蓋体１０を次第に引き込んでいくので、施錠穴７に対する施錠ラッチ４５の接触力が従来よりも増大して蓋体１０を十分に引き込むことができ、施錠機構３０による施錠を安定させ、容器本体１の施錠穴７や施錠機構３０の施錠ラッチ４５が損傷するのを有効に防止することができる。特に、容器本体１のリムフランジ６が外方向に広がって損傷するのを有効に防止することができる。
【００７１】
また、蓋体１０を十分に引き込むことができるので、容器本体１にフロントリテーナの反力を受ける蓋体１０を高精度に嵌合することができる。また、蓋体１０の出没孔１８近傍に施錠ラッチ４５と案内補強ブロック５１とが存在するので、蓋体１０の出没孔１８付近の強度を確保することができ、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、蓋体１０や施錠機構３０の進退動リンク３８が変形するおそれを排除することができる。したがって、施錠機構３０の安全確実な動作が大いに期待できる。
【００７２】
さらに、施錠ラッチ４５等を従来よりも長く伸長形成する必要がなく、小さく短く成形して剛性を確保することができるので、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、進退動リンク３８や施錠ラッチ４５が変形しやすくなるおそれがない。したがって、施錠ラッチ４５等を肉厚に形成して変形防止を図る必要がなく、施錠ラッチ４５の引き込みストローク量の低下を招くのを防止することが可能になる。
【００７３】
次に、図２０ないし図２３は本発明の本発明の第２の発明の実施形態を示すもので、この場合には、蓋体１０に、進退動リンク３８用の傾斜突起２３と球面突起２６とをそれぞれ複数形成し、施錠機構３０を、蓋体１０の収納包囲壁１２に支持されて外部からの操作で回転する左右一対の回転操作リール３１と、各回転操作リール３１の回転により蓋体１０の上下方向に進退動する複数の進退動リンク３８とから構成して進退動リンク３８と施錠ラッチ４５Ａとを一体化し、各進退動リンク３８に、蓋体１０の傾斜突起２３や球面突起２６に干渉する第一、第二のカム突起６２・６３をそれぞれ形成して案内補強ブロック５１を省略するようにしている。
【００７４】
各傾斜突起２３は、図２２や図２３に示すように、底の浅い断面略凹字形に形成されて蓋体１０のカバープレート１９裏面に一体化され、蓋本体１１の内部方向に突出して進退動リンク３８の末端部寄りに位置する。この傾斜突起２３の平坦に凹んだ表面２４を区画する上下一対の対向壁のうち、カバープレート１９の周縁部側に位置する対向壁は蓋本体１１方向に向かうにしたがい徐々に狭まる先細りの傾斜面２５に形成され、この傾斜面２５が進退動リンク３８を蓋体１０の厚さ方向に揺動させるよう機能する。
【００７５】
各球面突起２６は、先端が球面の略丸ピン形に形成されてカバープレート１９の裏面に一体化され、蓋本体１１の内部方向に突出する。この球面突起２６は、蓋本体１１の出没孔１８や進退動リンク３８の先端部近傍に位置し、進退動リンク３８の先端部近傍に対向する。球面突起２６の近傍には、進退動リンク３８の第二のカム突起６３に干渉して上下方向への位置ずれを防止する位置ずれ防止片２７が間隔をおき隣接して突出形成される。
【００７６】
施錠機構３０の各回転操作リール３１は、図２０や図２１に示すように、基本的には上記第１の発明の実施形態と略同様に構成され、対向する一対のカム溝部３３がそれぞれ略円弧形に湾曲形成されており、各カム溝部３３の内周側あるいは外周側付近には、進退動リンク３８用の変形防止リブ３６が略円弧形に湾曲形成される。
【００７７】
各進退動リンク３８は、図２０ないし図２３に示すように、収納包囲壁１２の一対の直線リブ１４に隙間を介し挟まれて蓋体１０の中央部付近から周壁方向に指向する長い矩形のプレートに形成され、蓋本体１１に対向する対向面に補強用の格子リブ６１が形成されており、カバープレート１９の裏面に対向する対向面の長手方向には第一、第二のカム突起６２・６３が間隔をおいてそれぞれ形成される。
【００７８】
進退動リンク３８は、先端部から末端部に向かうにしたがい徐々に薄肉となるよう形成され、先端部が他の部分よりも薄肉に形成されて施錠ラッチ４５Ａを構成し、この先端部が施錠ラッチ４５Ａとして蓋体１０の出没孔１８から直線的に出没し、かつ容器本体１の施錠穴７内に圧接する。
【００７９】
進退動リンク３８の窄んだ末端部には、円筒形の連結ピン４４が突出形成され、この連結ピン４４が回転操作リール３１のカム溝部３３にスライド可能に嵌入して回転操作リール３１の回転運動を直線運動に変換するよう機能する。この連結ピン４４の周面は、カム溝部３３の変形防止リブ３６に摺接し、施錠時に施錠ラッチ４５Ａに作用する荷重を変形防止リブ３６に伝達する。
【００８０】
第一のカム突起６２は、各進退動リンク３８の末端部寄りに断面略三角形に一体形成され、カバープレート１９の傾斜突起２３に干渉する。この第一のカム突起６２は、施錠機構３０の施錠時には、傾斜突起２３の傾斜面２５に摺接して進退動リンク３８の末端部を蓋本体１１方向に僅かに傾ける（図２３参照）とともに、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５Ａを突出させ、施錠機構３０の解錠時には、傾斜突起２３の凹んだ表面２４内に摺接復帰して蓋本体１１方向に傾いた進退動リンク３８の末端部を元の位置に復帰させ、かつ施錠穴７から施錠ラッチ４５Ａを離隔させる（図２２参照）。
【００８１】
第二のカム突起６３は、各進退動リンク３８の先端部寄りに先細りの断面略多角形に一体形成され、カバープレート１９の球面突起２６に干渉する。この第二のカム突起６３は、施錠機構３０の施錠時には、球面突起２６を跨いでそのカバープレート１９周縁部側の周面に接触することにより施錠穴７を区画する正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａを揺動接触（図２３参照）させ、施錠機構３０の解錠時には、接触していた球面突起２６の周面から先端に対向復帰して施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａを離隔させるよう機能する（図２２参照）。
【００８２】
上記構成において、容器本体１の開口した正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠する場合には、容器本体１の正面５内に蓋体１０を嵌入してカバープレート１９側を外部にやや食み出させ、その後、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の振作キーを挿通し、施錠機構３０の各回転操作リール３１の横方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して反時計方向、すなわち施錠方向に徐々に回転させる。
【００８３】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が施錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、各進退動リンク３８の先端部である施錠ラッチ４５Ａが蓋体１０周壁方向に進出し、蓋体１０の出没孔１８から各施錠ラッチ４５Ａが突出して容器本体１の施錠穴７内に突出する。
【００８４】
この際、傾斜突起２３の凹んだ表面２４から傾斜面２５に第一のカム突起６２が摺接して進退動リンク３８の末端部を蓋本体１１方向に徐々に傾け、球面突起２６の先端に対向していた第二のカム突起６３が球面突起２６を通過して位置ずれ防止片２７に干渉し、進退動リンク３８の先端部側がカバープレート１９方向に僅かに傾斜する。
【００８５】
球面突起２６を第二のカム突起６３が跨いで位置ずれ防止片２７に干渉すると、進退動リンク３８の蓋体１０厚さ方向への揺動が規制され、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａが接触し、容器本体１の正面５内に蓋体１０が次第に引き込まれ、施錠穴７に施錠ラッチ４５Ａが最終的に強く嵌入係止して蓋体１０を完全に密嵌することにより、容器本体１の正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠することができる。
【００８６】
この際、施錠ラッチ４５Ａに強い荷重が作用し、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反るおそれがあるが、回転操作リール３１の変形防止リブ３６が施錠ラッチ４５Ａに作用する強い荷重や連結ピン４４に生じる応力を受けるので、回転操作リール３１から施錠ラッチ４５Ａにかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反ることがない。
【００８７】
次に、施錠した施錠機構３０を解錠して容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、各回転操作リール３１の縦方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して時計方向、すなわち解錠方向に徐々に回転させる。
【００８８】
すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が解錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を元の位置に後退させ、施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａが離れる。
この際、傾斜突起２３の傾斜面２５から凹んだ表面２４に第一のカム突起６２が摺接して進退動リンク３８の末端部をカバープレート１９方向に徐々に傾け、球面突起２６を跨いでいた第二のカム突起６３が球面突起２６の先端に復帰して進退動リンク３８の先端部側を蓋本体１１方向に徐々に傾斜させる。
【００８９】
施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５Ａが離れると、この施錠ラッチ４５Ａが容器本体１の施錠穴７から蓋体１０の出没孔１８内に後退し、容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０が取り外し可能な状態となる。その他の部分については、上記第１の発明の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９０】
本実施形態においても上記第１の発明の実施形態と同様の作用効果が期待でき、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５Ａを十分に進入させた後、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５Ａをはじめて接触させて容器本体１の正面５内に蓋体１０を引き込んでいくので、施錠穴７に対する施錠ラッチ４５Ａの接触力が従来よりも増大して蓋体１０を十分に引き込むことができる。したがって、施錠機構３０による施錠を安定させ、容器本体１の施錠穴７や施錠機構３０の施錠ラッチ４５Ａが損傷するのを有効に防止することができるのは明らかである。
【００９１】
また、蓋体１０を十分に引き込むことができるので、容器本体１にフロントリテーナの反力を受ける蓋体１０を高精度に嵌合することができる。また、蓋体１０の出没孔１８近傍に施錠ラッチ４５Ａが存在するので、蓋体１０の出没孔１８付近の強度を確保することができ、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、蓋体１０や施錠機構３０の進退動リンク３８が変形するおそれを排除することが可能になる。したがって、施錠機構３０の安全確実な動作が大いに期待できる。
【００９２】
また、施錠ラッチ４５Ａを小さく短く成形して剛性を確保することができるので、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、進退動リンク３８や施錠ラッチ４５Ａが変形しやすくなるおそれがない。したがって、施錠ラッチ４５Ａ等を肉厚に形成して変形防止を図る必要がなく、施錠ラッチ４５Ａの引き込みストローク量の低下を招くのを防止することが可能になる。さらに、別体の施錠ラッチ４５や案内補強ブロック５１を省略して構成の簡素化や部品点数の削減を図ることができる。
【００９３】
なお、上記実施形態では蓋本体１１の内部に施錠機構３０用の収納包囲壁１２を区画形成したが、カバープレート１９の蓋本体１１に対向する裏面に施錠機構３０用の収納包囲壁１２を区画形成したり、このカバープレート１９の収納包囲壁１２を補強リブ２２と組み合わせても良い。
【００９４】
また、上記実施形態では施錠機構３０のカム溝部３３に変形防止リブ３６を一体成形したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、変形防止リブ３６に弾性を付与して基板収納容器の耐落下性を向上させても良い。また、回転操作リール３１のカム溝部３３は、貫通していても良いし、貫通していない凹部でも良い。また、キースロット３２の周縁部の一部厚さ方向に、一対の手動操作部３４を対設することができる。さらに、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９の先端部に、パーティクルの発生を低減するローラを回転可能に軸支させることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明に係る基板収納容器は、半導体や液晶等の製造分野で使用することができる。
【符号の説明】
【００９６】
１ 容器本体
５ 正面（開口部）
６ リムフランジ
７ 施錠穴
８ 正面側壁面（壁面）
１０ 蓋体
１１ 蓋本体
１２ 収納包囲壁
１３ 円弧リブ
１４ 直線リブ
１８ 出没孔
１９ カバープレート
２３ 傾斜突起
２４ 表面
２５ 傾斜面
２６ 球面突起（突起）
３０ 施錠機構
３１ 回転操作リール（回転操作体）
３２ キースロット
３３ カム溝部（第二係合部）
３４ 手動操作部
３６ 変形防止リブ（変形防止部）
３８ 進退動リンク（進退動体）
４０ 受け爪
４１ 区画片
４２ 支持溝
４３ 案内溝
４４ 連結ピン（凸部、第一係合部）
４５ 施錠ラッチ（施錠体）
４５Ａ 施錠ラッチ（施錠体）
４６ 支持軸
４７ 一方の屈曲辺
４８ 第一の凸部
４９ 他方の屈曲辺
５０ 第二の凸部
５１ 案内補強ブロック（案内補強体）
５２ 底板
５３ 揺動許容溝（回転許容凹部）
５４ 位置決め弾性部材
５５ 伸長片
５７ 側壁
６２ 第一のカム突起
６３ 第二のカム突起
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、この蓋体に設けられる施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
施錠機構は、外部からの操作で回転可能な回転操作体と、この回転操作体に係合する第一係合部を備え、回転操作体の動きによって蓋体の内外方向に移動する進退動体とを有し、
回転操作体は、進退動体の第一係合部と係合する第二の係合部と、進退動体の回転操作体側の末端部と接触し、施錠機構が容器本体に蓋体を係止するときに進退動体の撓みを防止する変形防止部とを有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
施錠機構は、進退動体の進退動により容器本体の開口部内周の施錠穴に接離する蓋体の厚さ方向に回転可能な施錠体と、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体とを含み、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体から容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた施錠体が案内補強体に案内されながら容器本体の施錠穴内から蓋体に直線的に後退する請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、蓋本体とカバープレートのいずれか一方には、施錠機構用の収納包囲壁を形成し、蓋本体を断面略皿形に形成してその内部には施錠機構を配置し、蓋本体の周壁には、施錠機構の施錠体用の出没孔を設けた請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設け、このカム溝部の変形を変形防止部に防止させるようにし、
施錠機構の進退動体を、蓋体の中央部付近から周壁方向に指向するプレートに形成してその先端部には施錠体用の支持溝を形成し、プレートの先端部両側に案内補強体用の案内溝をそれぞれ形成し、プレートの末端部には回転操作体のカム溝部に嵌まる凸部を形成するとともに、この凸部とカム構部の変形防止部とを接触させ、
施錠体を断面略Ｌ字形に屈曲してその屈曲部付近には進退動体の支持溝に回転可能に支持される支持軸を形成し、施錠体の一方の屈曲辺を案内補強体内にスライド可能に内蔵するとともに、他方の屈曲辺を容器本体の施錠穴内に接離可能とし、施錠体の一方の屈曲辺の先端部両側に、案内補強体用の第一の凸部をそれぞれ形成し、他方の屈曲辺の両側部には、案内補強体用の第二の凸部をそれぞれ形成した請求項２又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
施錠機構の案内補強体を、施錠体と嵌合可能な断面略Ｕ字形に形成してその内部前方には施錠体の一方の屈曲辺の先端部と回転可能に嵌合する回転許容凹部を形成し、案内補強体の内部には、施錠体用の位置決め弾性部材を設けて回転許容凹部に隣接させ、案内補強体の後部両側に、進退動体の案内溝にスライド可能に嵌まる伸長片をそれぞれ形成し、案内補強体の両側壁には、施錠体の第一の凸部にスライド可能に嵌まるスライド溝をそれぞれ形成するとともに、施錠体の第二の凸部をそれぞれスライド可能に支持させた請求項４記載の基板収納容器。
【請求項６】
基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、カバープレートに、施錠機構用の傾斜突起と突起とをそれぞれ形成し、
施錠機構は、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転操作体と、この回転操作体の回転により蓋体の内外方向に進退動し、容器本体の開口部内周の施錠穴に先端部の施錠体を接離する進退動体とを含み、進退動体に、蓋体の傾斜突起に干渉して進退動体の末端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第一のカム突起を形成するとともに、蓋体の突起に干渉して進退動体の先端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第二のカム突起を形成し、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が蓋体から容器本体の施錠穴内に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入する施錠体が蓋体の厚さ方向に傾斜して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が蓋体の厚さ方向に復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れる施錠体が容器本体の施錠穴内から蓋体に後退することを特徴とする基板収納容器。
【請求項７】
施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設けるとともに、このカム溝部の変形を防止する変形防止部を形成した請求項６記載の基板収納容器。
【請求項１】
容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、この蓋体に設けられる施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
施錠機構は、外部からの操作で回転可能な回転操作体と、この回転操作体に係合する第一係合部を備え、回転操作体の動きによって蓋体の内外方向に移動する進退動体とを有し、
回転操作体は、進退動体の第一係合部と係合する第二の係合部と、進退動体の回転操作体側の末端部と接触し、施錠機構が容器本体に蓋体を係止するときに進退動体の撓みを防止する変形防止部とを有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
施錠機構は、進退動体の進退動により容器本体の開口部内周の施錠穴に接離する蓋体の厚さ方向に回転可能な施錠体と、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体とを含み、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体から容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が案内補強体に案内されながら蓋体の厚さ方向に回転復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた施錠体が案内補強体に案内されながら容器本体の施錠穴内から蓋体に直線的に後退する請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、蓋本体とカバープレートのいずれか一方には、施錠機構用の収納包囲壁を形成し、蓋本体を断面略皿形に形成してその内部には施錠機構を配置し、蓋本体の周壁には、施錠機構の施錠体用の出没孔を設けた請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設け、このカム溝部の変形を変形防止部に防止させるようにし、
施錠機構の進退動体を、蓋体の中央部付近から周壁方向に指向するプレートに形成してその先端部には施錠体用の支持溝を形成し、プレートの先端部両側に案内補強体用の案内溝をそれぞれ形成し、プレートの末端部には回転操作体のカム溝部に嵌まる凸部を形成するとともに、この凸部とカム構部の変形防止部とを接触させ、
施錠体を断面略Ｌ字形に屈曲してその屈曲部付近には進退動体の支持溝に回転可能に支持される支持軸を形成し、施錠体の一方の屈曲辺を案内補強体内にスライド可能に内蔵するとともに、他方の屈曲辺を容器本体の施錠穴内に接離可能とし、施錠体の一方の屈曲辺の先端部両側に、案内補強体用の第一の凸部をそれぞれ形成し、他方の屈曲辺の両側部には、案内補強体用の第二の凸部をそれぞれ形成した請求項２又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
施錠機構の案内補強体を、施錠体と嵌合可能な断面略Ｕ字形に形成してその内部前方には施錠体の一方の屈曲辺の先端部と回転可能に嵌合する回転許容凹部を形成し、案内補強体の内部には、施錠体用の位置決め弾性部材を設けて回転許容凹部に隣接させ、案内補強体の後部両側に、進退動体の案内溝にスライド可能に嵌まる伸長片をそれぞれ形成し、案内補強体の両側壁には、施錠体の第一の凸部にスライド可能に嵌まるスライド溝をそれぞれ形成するとともに、施錠体の第二の凸部をそれぞれスライド可能に支持させた請求項４記載の基板収納容器。
【請求項６】
基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆うカバープレートとを含み、カバープレートに、施錠機構用の傾斜突起と突起とをそれぞれ形成し、
施錠機構は、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転操作体と、この回転操作体の回転により蓋体の内外方向に進退動し、容器本体の開口部内周の施錠穴に先端部の施錠体を接離する進退動体とを含み、進退動体に、蓋体の傾斜突起に干渉して進退動体の末端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第一のカム突起を形成するとともに、蓋体の突起に干渉して進退動体の先端部側を蓋体の厚さ方向に傾斜させる第二のカム突起を形成し、
施錠機構の施錠時には、回転操作体が施錠方向に回転して進退動体を蓋体の外方向に進出させ、施錠体が蓋体から容器本体の施錠穴内に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入する施錠体が蓋体の厚さ方向に傾斜して施錠穴を区画する壁面に接触し、
施錠機構の解錠時には、回転操作体が解錠方向に回転して進退動体を蓋体の内方向に後退させ、施錠体が蓋体の厚さ方向に復帰して施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れる施錠体が容器本体の施錠穴内から蓋体に後退することを特徴とする基板収納容器。
【請求項７】
施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設けるとともに、このカム溝部の変形を防止する変形防止部を形成した請求項６記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【公開番号】特開２０１３−４８５２（Ｐ２０１３−４８５２Ａ）
【公開日】平成２５年１月７日（２０１３．１．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１３６２６０（Ｐ２０１１−１３６２６０）
【出願日】平成２３年６月２０日（２０１１．６．２０）
【出願人】（０００１４０８９０）ミライアル株式会社 (74)
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月７日（２０１３．１．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月２０日（２０１１．６．２０）
【出願人】（０００１４０８９０）ミライアル株式会社 (74)
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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