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基板検査システム及び記憶媒体
説明

基板検査システム及び記憶媒体

【課題】基板検査システムの稼働率の低下を防止することができると共に、検査プローバの製造者の工数を削減することができる基板検査システムを提供する。
【解決手段】GMS10は、ICチップの電気的検査を行う検査プローバ11及びディスプレイ39を有するPC44を備え、PC44は、利用者の所望のタイミングでディスプレイ39にGMS編集ツール50を表示し、GMS編集ツール50のフォーマット入力部51において編集された検査結果のフォーマットを表すデータを受け付け、さらに、受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換して検査プローバ11に送信し、検査プローバ11は、送信されたスクリプトを出力用プログラムに変換し、該出力用プログラムに応じてICチップの検査結果を出力する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板上に形成された半導体デバイスの検査を行う検査装置を有する基板検査システム及び該検査の結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に関する。
【背景技術】
【0002】
ウエハ等の基板上に形成された半導体デバイス、例えば、ICチップを電気的に検査する装置として検査プローバが知られている。検査プローバは半導体デバイスの電極パッドに接触するプローブ針を有するプローブカードと、基板を載置して上下左右に自在に移動する基板位置決め機構とを有する。この検査プローバでは、基板位置決め機構が基板上の検査対象の半導体デバイスとプローブカードのプローブ針とを接触させ、プローブカードが検査対象の半導体デバイスの電気的測定を行う。また、検査プローバはプローブカードによる電気的測定の結果から検査対象の半導体デバイスの検査結果(以下、単に「検査結果」という。)を導く、例えば、当該半導体デバイスの良/不良を判定するテストヘッドを有する(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
検査プローバは、該検査プローバが出力する検査結果を格納するサーバ、検査プローバによって検査された基板を収容し、且つ当該基板に関する検査結果に基づいて不良と判定された半導体デバイスにマーキングを施すマーキングプローバ、さらにはサーバに格納された検査結果を種々の目的のために利用するホストコンピュータ(以下、単に「ホスト」という。)等と配線を介して接続されている。これらの検査プローバ、マーキングプローバ、サーバ及びホストは基板検査システムを構成する。
【0004】
ところで、検査プローバとホストは通常製造者が異なり、検査プローバとホストの組み合わせは基板検査システムの利用者が決定するため、ホストが利用可能な検査結果のフォーマットと、検査プローバが標準で出力する検査結果のフォーマットとは通常異なる。そこで、従来は、ホストが利用可能な検査結果のフォーマットと同じフォーマットの検査結果を検査プローバが出力するための出力用プログラムを作成し、該出力用プログラムを検査プローバに供給している。また、この出力用プログラムの作成作業は検査プローバの製造者が行っている。
【特許文献1】特開平7―297242号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上記基板検査システムではホストの仕様が変わる度に新たな出力用プログラムを作成する必要があり、検査プローバの製造者の工数が増加する。また、新たな出力用プログラムが作成されるまで、基板検査システムの利用者は該基板検査システムを利用することができず、該基板検査システムの稼働率が低下する。
【0006】
さらに、ホストの種類の増加に対応して出力用プログラムの種類が増加するため、これらの出力用プログラムを管理する検査プローバの製造者の工数も膨大なものとなる。
【0007】
本発明の目的は、基板検査システムの稼働率の低下を防止することができると共に、検査プローバの製造者の工数を削減することができる基板検査システム及び記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するために、請求項1記載の基板検査システムは、基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて、前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集装置を備え、前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力することを特徴とする。
【0009】
請求項2記載の基板検査システムは、請求項1記載の基板検査システムにおいて、前記出力形式編集装置は、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする。
【0010】
請求項3記載の基板検査システムは、請求項1又は2記載の基板検査システムにおいて、前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする。
【0011】
請求項4記載の基板検査システムは、請求項3記載の基板検査システムにおいて、前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする。
【0012】
請求項5記載の基板検査システムは、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システムにおいて、前記検査装置と前記出力形式編集装置とは別体であることを特徴とする。
【0013】
請求項6記載の基板検査システムは、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システムにおいて、前記検査装置と前記出力形式編集装置とは一体であることを特徴とする。
【0014】
請求項7記載の基板検査システムは、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板検査システムにおいて、前記出力形式編集装置は前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする。
【0015】
上記目的を達成するために、請求項8記載の記憶媒体は、基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて前記検査結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集モジュールと、前記編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力する検査結果出力モジュールとを有することを特徴とする。
【0016】
請求項9記載の記憶媒体は、請求項8記載の記憶媒体において、前記出力形式編集モジュールは、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする。
【0017】
請求項10記載の記憶媒体は、請求項8又は9記載の記憶媒体において、前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする。
【0018】
請求項11記載の記憶媒体は、請求項10記載の記憶媒体において、前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする。
【0019】
請求項12記載の記憶媒体は、請求項8乃至11のいずれか1項に記載の記憶媒体において、前記出力形式編集モジュールは前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査結果出力モジュールは前記出力形式編集モジュールにおいて編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする。
【発明の効果】
【0020】
請求項1記載の基板検査システム及び請求項8記載の記憶媒体によれば、基板検査システムにおいて、出力される半導体デバイスの検査結果の形式が編集され、該編集された検査結果の形式に基づいて検査結果が出力されるので、基板検査システムの利用者が、出力される半導体デバイスの検査結果の形式を所望の形式に設定することができる。したがって、基板検査システムの利用者は、検査装置の製造者によって新たな出力用プログラムが作成されるまで基板検査システムの利用を中断する必要がなく、もって、基板検査システムの稼働率の低下を防止することができる。また、検査装置の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査装置の製造者の工数を削減することができる。
【0021】
請求項2記載の基板検査システム及び請求項9記載の記憶媒体によれば、出力形式編集装置は、出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換するので、出力される検査結果の形式の入力・編集を容易に行うことができると共に、検査結果の形式に関して高度な制御を容易に実現することができる。
【0022】
請求項3記載の基板検査システム及び請求項10記載の記憶媒体によれば、出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含む。検査装置が実行する検査の種類は該検査装置の種類に応じて変化するため、検査結果の形式も検査装置の種類に応じて変更する必要があり、ホストの仕様が変わると該ホストが利用可能なデータ長及びデータ書式が変わることが多い。ここで、検査結果の出力に関する制御方法、データ長及びデータ書式が編集可能であるので、基板検査システムの利便性を向上することができる。
【0023】
請求項4記載の基板検査システム及び請求項11記載の記憶媒体によれば、制御方法に関する関数が予め設定されているので、基板検査システムの利用者は高度な制御を関数によって容易に実現することができ、もって、基板検査システムの利便性をより向上することができる。
【0024】
請求項5記載の基板検査システムによれば、検査装置と出力形式編集装置とは別体であるので、出力形式の編集作業を行う間に半導体デバイスの検査を行うことができ、もって、確実に基板検査システムの稼働率の低下を防止することができる。
【0025】
請求項6記載の基板検査システムによれば、検査装置と出力形式編集装置とは一体であるので、基板検査システムの利用者は検査装置を離れることなく出力形式の編集作業を行うことができ、もって、基板検査システムの利便性をさらに向上することができる。
【0026】
請求項7記載の基板検査システム及び請求項12記載の記憶媒体によれば、基板検査システムにおいて、検査装置が保有するデータの出力形式が編集され、該編集された出力形式に基づいて検査装置が保有するデータが出力されるので、基板検査システムの利用者が、検査装置が保有するデータの出力形式を所望の形式に設定することができる。したがって、基板検査システムの利用者は、所望の出力形式に対応した、検査装置が保有するデータの出力用プログラムが作成されるまで基板検査システムの利用を中断する必要がなく、もって、基板検査システムの稼働率の低下をさらに防止することができる。また、検査装置の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査装置の製造者の工数をさらに削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0027】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0028】
図1は、本実施の形態に係る基板検査システムとしてのGMS(Group Marking System)の概略構成を示すブロック図である。
【0029】
図1において、GMS10はウエハ上に形成された半導体デバイス、例えば、ICチップを電気的に検査する検査プローバ(検査装置)11と、検査プローバ11が出力するICチップの検査結果(以下、単に「検査結果」という。)を格納するサーバ41と、検査プローバ11によって検査されたウエハについて、検査プローバ11が出力した検査結果に基づいて所定のICチップにマーキングを施すマーキングプローバ43と、サーバ41に格納された検査結果を種々の目的のために利用するホストコンピュータ(以下、単に「ホスト」という。)42と、検査プローバ11から出力される検査結果のフォーマット(出力形式)を編集するパーソナルコンピュータ(以下、「PC」という。)44(出力形式編集装置)とを備える。また、検査プローバ11、サーバ41、マーキングプローバ43、ホスト42及びPC44は互いにLAN(Local Area Network)45によって接続されている。PC44は入力手段としてのキーボード(図示しない)及び表示手段としてのディスプレイ39を備える。
【0030】
このGMS10では、検査プローバ11が、ウエハを収容し、ウエハ上に形成された複数のICチップについて電気的な欠陥の有無を検査し、各ICチップの位置情報をICチップの検査条件や電気的な欠陥の有無(以下、欠陥ありを「Fail」といい、欠陥無しを「Pass」という。)の情報と共に検査結果として出力する。また、マーキングプローバ43は、検査プローバ11で検査されたウエハを収容し、検査プローバ11が出力した検査結果に基づいて、検査プローバ11がFailと判定したICチップにインク等でマーキングを施す。これにより、ウエハにおいて電気的な欠陥を有するICチップを後の工程において判別することができる。
【0031】
図2は、図1における検査プローバの概略構成を示す斜視図であり、図3は、図1における検査プローバの概略構成を示すブロック図である。
【0032】
図2及び図3において、検査プローバ11は、ICチップの電極パッド(図示しない)に接触するプローブ針12を有するプローブカード13と、プローブカード13による各ICチップの電気的測定の結果から各ICチップの電気的な欠陥の有無を判定するテストヘッド14と、検査対象のICチップの電極パッドとプローブ針12とを接触させるように、ウエハを載置して上下左右に自在に移動するウエハアライメント機構15と、検査プローバ11の各構成要素の動作を制御するプローバ制御系33とを備える。
【0033】
ウエハアライメント機構15は、図2中に示すY方向に沿って移動するYステージ16と、同図中に示すX方向に沿って移動するXステージ17と、同図中に示すZ方向に沿って移動するZ移動部18とを有する。
【0034】
Yステージ16は、土台としてのベース24上にY方向に沿って延設された2本のYガイドレール19によって担持され、Y方向に沿って配置されたボールねじ20の回動によってY方向に高精度に駆動される。ボールねじ20はステップモータであるYステージ用モータ21によって回動される。Xステージ17はYステージ16上にX方向に沿って延設された2本のXガイドレール22によって担持され、X方向に沿って配置されたボールねじ23の回動によってX方向に高精度に駆動される。ボールねじ23もステップモータであるXステージ用モータ(図示しない)によって回動される、なお、図3ではYステージ16、Xステージ17及びこれに関連する構成要素はX,Yアセンブリ25として示される。また、Z移動部18の上には、図2中に示すθ方向に移動自在な(周方向に回転自在な)載置台24が設けられ、該載置台24上にウエハWが載置される。
【0035】
ウエハアライメント機構15では、所望のICチップの電気的な欠陥の有無を検査する際、Yステージ16、Xステージ17、Z移動部18及び載置台24が協働してウエハW上の検査対象のICチップを所望の位置、例えば、プローブカード13のプローブ針12と対向する位置に移動させ、さらに、検査対象のICチップの電極パッドとプローブ針12とを接触させる。
【0036】
プローブカード13は、ウエハアライメント機構15の上方に配置されている。プローブカード13はインサートリング26に取り付けられ、該インサートリング26は装置本体の天板に相当するヘッドプレート27に着脱自在に設けられている。プローブカード13では、上述したプローブ針12がウエハW上に形成されたICチップの電極パッドの配列に対応して配列されている。
【0037】
また、プローブカード13上にはコンタクトリング28を介してテストヘッド14が設けられる。該テストヘッド14は、プローブカード13から伝送される検査対象のICチップの電気的測定結果としての電気信号を測定データとして記憶するデータ記憶部29や該測定データに基づいて測定対象のICチップの電気的な欠陥の有無を判定する判定部30等を備えている。
【0038】
プローブカード13と載置台24との間には、ウエハWを撮像するCCDカメラ31が設けられている。該CCDカメラ31は移動ホルダ32に保持されて図2中のX方向に移動自在である。
【0039】
プローバ制御系33は、中央処理部34、画像処理部35、メモリ部36、エンコーダ37及びモータ制御部38を備える。画像処理部35はCCDカメラ31に接続され、CCDカメラ31から出力された画像信号を処理し、CCDカメラ31が撮像した画像と予め記憶されている画像との比較等を行う。メモリ部36はプローブ針12及び検査対象のICチップの電極パッドの各位置等、ICチップの電気的検査に関連するデータを格納する。エンコーダ37は、Yステージ16、Xステージ17、Z移動部18及び載置台24を移動させる各モータに対応して設けられ、X、Y、Z、θ方向の各移動量に対応する所定数の信号パルス(ボールネジの回転角)を中央処理部34に出力する。モータ制御部38はYステージ16、Xステージ17、Z移動部18及び載置台24を移動させる各モータを制御する。
【0040】
この検査プローバ11では、所望のICチップの電気的な欠陥の有無を検査する際、載置台24がウエハWを載置し、中央処理部34がメモリ部36に格納された検査対象のICチップの電極パッドの位置に関するデータ等を読み出し、モータ制御部38は該読み出されたデータに応じてYステージ16、Xステージ17、Z移動部18の各モータを所定の回転数だけ回転させる。これにより、Yステージ16、Xステージ17、Z移動部18及び載置台24はウエハW上の検査対象のICチップをプローブ針12と対向する位置に移動させ、さらに、検査対象のICチップの電極パッドとプローブ針12とを接触させる。
【0041】
その後、プローブカード13は検査対象のICチップの電気的測定結果を電気信号としてテストヘッド14のデータ記憶部29に伝送し、該データ記憶部29は伝送された電気信号を測定データとして記憶し、判定部30は記憶された測定データに基づいて測定対象のICチップの電気的な欠陥の有無(Pass又はFail)を判定し、該判定結果(Pass又はFail)を検査結果として中央処理部34に出力する。検査結果を受信した中央処理部34は該検査結果をLAN45を介してサーバ41に送信する。
【0042】
検査対象のICチップの電気的測定は検査条件、例えば、温度を変化させながら繰り返し行われるため、判定結果は検査条件と密接な関係を有する。また、判定結果はマーキングプローバ43において各ICチップにマーキングを施すか否かの判定に使用される。さらに、Failと判定されたICチップの数が多い場合、その原因を究明するためにウエハWの素性を明らかにする必要がある。これに対応して、上述した検査結果には、通常、測定対象のICチップの電気的な欠陥の有無だけでなく、検査条件、測定された各ICチップの位置情報及びウエハWに関する情報(製造日等)が含まれる。したがって、送信される検査結果は、判定結果、検査条件、各ICチップの位置情報、及びウエハWに関する情報が適宜組み合わされたデータとなる。該データのフォーマットは後述するPC44におけるディスプレイ39において編集することができる。
【0043】
なお、検査結果に含むべき検査条件は検査結果の使用目的に応じて異なるため、検査プローバ11の外部機器、例えば、ホスト42からの要求に応じて検査条件は選択される。また、中央処理部34は検査プローバ11の外部機器からの要求タイミングに従って検査結果を送信する。
【0044】
図4は、図1におけるPCのディスプレイに表示される検査結果のフォーマット編集ツールを示す図である。
【0045】
図4において、検査結果のフォーマット編集ツールとしてのGMS編集ツール50は、所望のフォーマットを表すデータをテーブル形式で入力・編集可能なフォーマット入力部51と、種々の機能を実現するための複数のボタンとを有する。
【0046】
GMS編集ツール50が有するボタンとしては、例えば、フォーマット入力部51に行を挿入するための「挿入」ボタン52、フォーマット入力部51から行を削除するための「削除」ボタン53、フォーマット入力部51における「データ列」の編集において利用可能なデータ、関数、演算式の一覧をそれぞれ表示させるための「データ」ボタン54、「関数」ボタン55及び「演算式」ボタン56、入力・編集されたフォーマットで検査結果が出力されるか否かを検証するためのデバックにおいて該デバック用のデータを設定するための「データ設定」ボタン57、デバックを終了させるための「オフ」ボタン58、デバックを実行するための「実行」ボタン59、デバックを続行するための「続行」ボタン60、デバックの実行をブレークする「ブレークポイント」ボタン61、並びにフォーマット入力部51において入力・編集された所望のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換し、且つ変換されたスクリプトを検査プローバ11に送信するための「変換」ボタン62が該当する。
【0047】
フォーマット入力部51はそれぞれ入力・編集が可能な項目列、例えば、検査プローバ11の仕様に応じて出力する検査結果のフォーマットを変更するための制御文(制御方法)等を指定可能な「識別」列63、検査結果に含まれる判定結果や検査条件の内容を指定可能な「データ」列64、検査結果に含まれる判定結果や検査条件の書式(バイナリ、ASCII等)を指定可能な「書式」列65、検査結果に含まれる判定結果や検査条件のデータ長を指定可能な「データ長」列66及びGMS10の利用者(以下、単に「利用者」という。)がコメントを書き込むための「コメント」列67を有する。ここで、「識別」列63や「書式」列65の各欄にはプルダウンメニューによって制御文や書式が指定入力可能である。また、「データ」列64、「データ長」列66及び「コメント」列67の各欄にはテキスト入力や上述した「データ」ボタン54、「関数」ボタン55及び「演算式」ボタン56を用いた内容の入力が可能である。
【0048】
利用者は、例えば、ホスト42の仕様が変更され、検査プローバ11が出力する検査結果のフォーマットと、該ホスト42が利用可能な検査結果のフォーマットが異なるようになった場合、PC44のディスプレイ39に表示された所定のボタン等をマウス等でクリックすることによってGMS編集ツール50をディスプレイ39に表示させ、GMS編集ツール50のフォーマット入力部51においてホスト42が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータを入力・編集する。このとき、利用者は、必要に応じて「挿入」ボタン52、「削除」ボタン53、「データ」ボタン54、「関数」ボタン55及び「演算式」ボタン56のいずれかを利用することによって検査結果のフォーマットを表すデータを容易に入力・編集することができる。ここで、「関数」ボタン55を押下したときに表示される関数としては、例えば、ウエハWの中心位置を算出するための関数や、ICチップの歩留まりを算出するための関数が該当する。また、PC44は、利用者が編集したホスト42が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータのテーブル形式の入力をフォーマット入力部51を介して受け付ける。
【0049】
図7は、ウエハの中心位置を算出するための関数を利用した場合における検査結果の出力の一例を示す図であり、(A)はウエハの中心位置からセンタチップの所定の隅部までの距離を説明するための図であり、(B)はセンタチップから基点チップまでの相対位置を説明するための図であり、(C)は各ICチップの判定結果データ列を説明するための図である。なお、センタチップとはウエハの中心に位置するICチップであり、基点チップとはマーキングプローバ43が各ICチップにマーキングを施す際に最初にマーキングを施すICチップである。
【0050】
ウエハWの中心位置を算出するための関数を利用して該ウエハWの中心位置C(x,y)を算出した場合、検査プローバ11は、ウエハWの中心位置Cの他に、図7(A)に示す、ウエハWの中心位置Cからセンタチップ70の所定の隅部R(図中では左上隅部)(x,y)までの距離である距離(x−x,y−y)と、図7(B)に示す、センタチップ70から基点チップ71までの相対座標(図中では(−1、−3))と、図7(C)に示す、各ICチップの判定結果データ列72とを出力する。各ICチップの判定結果のデータ列72は各ICチップの位置情報及び判定結果からなり、具体的には{(0,0,Fail)、(1,0,Pass)、(2,0,Pass)、、、、(−1,2,Pass)、、、、}で示される。
【0051】
なお、上述した検査結果の出力フォーマットはGMS編集ツール50において編集される。
【0052】
マーキングプローバ43は、検査プローバ11から出力された上記検査結果を受け取り、さらに、ウエハWを収容すると、まず該ウエハWの中心位置Cを算出し、算出された中心位置C及び距離(x−x,y−y)に基づいてセンタチップ70の所定の隅部Rの位置を求め、該求められた隅部Rの位置及びセンタチップ70から基点チップ71までの相対座標に基づいて基点チップ71の座標を求め、さらに、各ICチップの判定結果のデータ列72に基づいて、求められた基点チップ71からFailと判定したICチップにマーキングを施していく。
【0053】
利用者は、ホスト42が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータを入力・編集し終えると、「変換」ボタン62を押下することにより、PC44に、入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換させ、且つ変換されたスクリプトを検査プローバ11に送信させる。
【0054】
また、利用者は、「変換」ボタン62を押下する前に「データ設定」ボタン57、「オフ」ボタン58、「実行」ボタン59、「続行」ボタン60及び「ブレークポイント」ボタン61を利用することにより、入力・編集されたフォーマットを表すデータがスクリプトに変換される前に、入力・編集されたフォーマットで所望の検査結果が出力されるか否かを検証することができる。
【0055】
図5は、図4のフォーマット入力部において入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換する工程を説明するための図であり、(A)は入力・編集されたフォーマットを表すデータを示す図であり、(B)は変換されたスクリプトを示す図である。
【0056】
図5(A)において、例えば、フォーマット入力部51の5行目の「識別」列63の欄に入力された、制御文を含む文字列「#IF(TP_HOTCHUCK=ON) THEN」は「検査プローバがホットチャック(高温測定)仕様なら次行で定義するデータを検査結果として出力する」ことを意味する。また、フォーマット入力部51の6行目の「データ」列64の欄に入力された文字列「TD_TEMP」、同行目の「書式」列65の欄に入力された文字列「ASCII」及び同行目の「データ長」列66の欄に入力された数字「3」はそれぞれ「ウエハWの温度データを出力すること」、「アスキー形式で出力すること」及び「データ長は3とすること」を意味する。
【0057】
図5(B)において、例えば、上記フォーマット入力部51の5行目は「IF Get.CommonData(TP_HOTCHK)=1 then」にスクリプト変換され、上記フォーマット入力部51の6行目は「GMSFile.Add(Get.CommonData(TD_TEMP),ASCII,3)」にスクリプト変換される。すなわち、同5行目は「検査プローバがホットチャック仕様なら次行で定義するデータを検査結果として出力すること」を意味するように正確にスクリプト変換され、同6行目は「ウエハWの温度データをアスキー形式且つデータ長が3で出力すること」を意味するように正確にスクリプト変換されている。ここで、所定の文字列をスクリプト(プログラム)に変換する法則は簡素であるため、フォーマット入力部51における文字列をスクリプトに変換することは容易に実現できる。また、スクリプトでは制御文の表現が可能であるため、入力・編集されたフォーマットを表すデータに制御文を含ませることができ、これにより、検査プローバ11から出力される検査結果のフォーマットに関して高度な制御、例えば、検査プローバ11がホットチャック仕様であれば検査結果にウエハWの温度データを含め、検査プローバ11がホットチャック仕様でなければ検査結果に他のデータを含むという制御を容易に実現することができる。
【0058】
次に、本実施の形態に係る基板システムにおいて実行される検査結果編集出力方法について説明する。
【0059】
図6は、図1における検査プローバ及びPCが実行する検査結果編集出力処理のフローチャートである。なお、図6の処理が開始されるまでにウエハWの各ICチップについて電気的測定が行われ、各ICチップの電気的な欠陥の有無の判定は終了しているものとする。
【0060】
図6において、まず、PC44は、利用者の操作入力に応じて該利用者の所望のタイミングでディスプレイ39にGMS編集ツール50を表示し(ステップS61)、さらに、利用者がGMS編集ツール50のフォーマット入力部51において編集した検査結果のフォーマットを表すデータのテーブル形式の入力を該フォーマット入力部51を介して受け付ける(ステップS62)。
【0061】
次いで、PC44は、利用者による「変換」ボタン62の押下に応じて、受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換し(ステップS63)、さらに、変換されたスクリプトを検査プローバ11に送信する(ステップS64)。
【0062】
次いで、検査プローバ11は、受信したスクリプトをコンパイルして出力用プログラムに変換し(ステップS65)、さらに、変換された出力用プログラムに応じて、各ICチップの電気的な欠陥の有無の判定結果を含む検査結果を利用者が編集した検査結果のフォーマットでLAN45を介してサーバ41やホスト42に出力し、本処理を終了する。
【0063】
上述したGMS10によれば、GMS10において、編集されたICチップの検査結果のフォーマットを表すデータがPC44によって受け付けられ、編集された検査結果のフォーマットを表すデータから変換された出力用プログラムに基づいて検査プローバ11から検査結果が出力されるので、利用者は検査プローバ11から出力される検査結果のフォーマットを所望のフォーマットに設定することができる。したがって、利用者は、検査プローバ11の製造者によって新たな出力用プログラムが作成されるまでGMS10の利用を中断する必要がなく、もって、GMS10の稼働率の低下を防止することができる。また、検査プローバ11の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査プローバ11の製造者の工数を削減することができる。また、GMS編集ツール50は利用者の所望のタイミングで表示されるので、利用者は所望のタイミングで検査結果のフォーマットを編集することができ、もってGMS10の利便性を向上することができる。
【0064】
上述したGMS10では、PC44は、フォーマット入力部51を介して編集された検査結果のフォーマットを表すデータをテーブル形式の入力として受け付け、且つ該受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換するので、検査プローバ11から出力される検査結果のフォーマットの入力・編集を容易に行うことができると共に、検査結果のフォーマットに関して高度な制御を容易に実現することができる。
【0065】
上述したテーブル形式のフォーマット入力部51において検査結果のフォーマットに関連して入力・編集が可能な項目列は、検査結果のフォーマットを変更するための制御文等を指定可能な「識別」列63、判定結果や検査条件のデータ長を指定可能な「データ長」列66及び判定結果や検査条件の書式を指定可能な「書式」列65を少なくとも含む。検査プローバ11が実行する検査の種類は該検査プローバ11の種類に応じて変化するため、検査結果のフォーマットも検査プローバ11の種類に応じて変更する必要があり、ホスト42の仕様が変わると該ホスト42が利用可能なデータ長及び書式が変わることが多い。フォーマット入力部51では、「識別」列63、「データ長」列66及び「データ長」列66の各欄で所望の文字列等を入力・編集可能であるので、GMS10の利便性を向上することができる。
【0066】
また、上述したテーブル形式のフォーマット入力部51において「識別」列63に入力可能な関数が予め設定されているので、利用者は高度な制御を関数として利用することができ、もって、GMS10の利便性をより向上することができる。
【0067】
上述したGMS10では、検査プローバ11とPC44とは別体であるので、PC44において検査結果のフォーマットの編集作業を行う間に、検査プローバ11においてICチップの検査を行うことができ、もって、確実にGMS10の稼働率の低下を防止することができる。
【0068】
上述したGMS10では、検査プローバ11とPC44とは別体であったが、検査プローバがPCと一体であってもよい。これにより、利用者は検査プローバを離れることなく検査結果のフォーマットの編集作業を行うことができ、もって、GMSの利便性をさらに向上することができる。
【0069】
また、検査プローバ11が出力する検査結果に含まれるデータは各ICチップの電気的な欠陥の有無に限られず、例えば、ウエハアライメント機構15によるウエハWの位置合わせエラー(アライメントエラー)が発生した場合における、CCDカメラ31によって撮像されたウエハWの画像データであってもよい。これにより、利用者は検査プローバ11のヘッドプレート27を開けることなく位置合わせエラー発生時の検査プローバ11内におけるウエハWの位置を知ることができ、もって、迅速にリカバリーを行うことができる。
【0070】
また、上述したPC44はフォーマット入力部51を介して受け付けた編集された検査結果のフォーマットを表すデータを一旦スクリプトに変換し、さらに出力用プログラムに変換したが、検査プローバ11から出力される検査結果のフォーマットに関して高度な制御が不要であり、フォーマット入力部51において制御文を入力する必要がない場合には、編集された検査結果のフォーマットを表すデータを、スクリプトに変換することなく、直接出力用プログラムに変換してもよい。これにより、検査結果のフォーマットの変更作業を迅速に行うことができる。
【0071】
上述したGMS10では、GMS編集ツール50においてICチップの検査結果のフォーマットが編集されたが、GMS編集ツール50においてフォーマットが編集されるデータはICチップの検査結果に限られず、例えば、検査プローバ11が保有するデータ、例えば、検査プローバ11の稼働情報も該当する。このとき、編集された稼働情報のフォーマットを表すデータがPC44によって受け付けられ、編集された稼働情報のフォーマットを表すデータから変換された出力用プログラムに基づいて検査プローバ11から稼働情報が出力されるので、利用者は検査プローバ11から出力される稼働情報のフォーマットを所望のフォーマットに設定することができる。したがって、利用者は、検査プローバ11の製造者によって所望のフォーマットに対応した、新たな出力用プログラムが作成されるまでGMS10の利用を中断する必要がなく、もって、GMS10の稼働率の低下をさらに防止することができる。また、検査プローバ11の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査プローバ11の製造者の工数をさらに削減することができる。
【0072】
また、本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、コンピュータ(例えば、PC44や中央処理部34)に供給し、コンピュータのCPUが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【0073】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【0074】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、RAM、NV−RAM、フロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD(DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW)等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のROM等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコンピュータに供給されてもよい。
【0075】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、CPU上で稼動しているOS(オペレーティングシステム)等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【0076】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【0077】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、OSに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【0078】
【図1】本発明の実施の形態に係る基板検査システムとしてのGMSの概略構成を示すブロック図である。
【図2】図1における検査プローバの概略構成を示す斜視図である。
【図3】図1における検査プローバの概略構成を示すブロック図である。
【図4】図1におけるPCのディスプレイに表示される検査結果のフォーマット編集ツールを示す図である。
【図5】図4のフォーマット入力部において入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換する工程を説明するための図であり、(A)は入力・編集されたフォーマットを表すデータを示す図であり、(B)は変換されたスクリプトを示す図である。
【図6】図1における検査プローバ及びPCが実行する検査結果編集出力処理のフローチャートである。
【図7】ウエハの中心位置を算出するための関数を利用した場合における検査結果の出力の一例を示す図であり、(A)はウエハの中心位置からセンタチップの所定の隅部までの距離を説明するための図であり、(B)はセンタチップから基点チップまでの相対位置を説明するための図であり、(C)は各ICチップの判定結果データ列を説明するための図である。
【符号の説明】
【0079】
W ウエハ
10 GMS
11 検査プローバ
34 中央処理部
39 ディスプレイ
44 PC
50 GMS編集ツール
51 フォーマット入力部
63 「識別」列
64 「データ」列
65 「書式」列
66 「データ長」列
67 「コメント」列
70 センタチップ
71 基点チップ

【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集装置を備え、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力することを特徴とする基板検査システム。
【請求項2】
前記出力形式編集装置は、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項1記載の基板検査システム。
【請求項3】
前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項1又は2記載の基板検査システム。
【請求項4】
前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項3記載の基板検査システム。
【請求項5】
前記検査装置と前記出力形式編集装置とは別体であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システム。
【請求項6】
前記検査装置と前記出力形式編集装置とは一体であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システム。
【請求項7】
前記出力形式編集装置は前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板検査システム。
【請求項8】
基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて前記検査結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集モジュールと、
前記編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力する検査結果出力モジュールとを有することを特徴とする記憶媒体。
【請求項9】
前記出力形式編集モジュールは、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項8記載の記憶媒体。
【請求項10】
前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項8又は9記載の記憶媒体。
【請求項11】
前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項10記載の記憶媒体。
【請求項12】
前記出力形式編集モジュールは前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査結果出力モジュールは前記出力形式編集モジュールにおいて編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の記憶媒体。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【公開番号】特開2007−206038(P2007−206038A)
【公開日】平成19年8月16日(2007.8.16)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−28983(P2006−28983)
【出願日】平成18年2月6日(2006.2.6)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】