基板検査用マスタデータ作成方法
【課題】適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板検査用マスタデータ作成方法は、部品Ｐａ１〜Ｐａ８を実装した基板Ｂを検査する際に用いられ、複数の部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して共用されるマスタデータＬ１〜Ｌ４を作成するデータ作成工程と、基板Ｂを検査して、作成したマスタデータＬ１〜Ｌ４の妥当性を検証する検証工程と、を有する。
【解決手段】基板検査用マスタデータ作成方法は、部品Ｐａ１〜Ｐａ８を実装した基板Ｂを検査する際に用いられ、複数の部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して共用されるマスタデータＬ１〜Ｌ４を作成するデータ作成工程と、基板Ｂを検査して、作成したマスタデータＬ１〜Ｌ４の妥当性を検証する検証工程と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を実装した基板を検査する際に用いられるマスタデータを作成する基板検査用マスタデータ作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の生産ラインには、電子部品実装機と基板外観検査機とが配置されている。電子部品実装機は、基板に部品を装着する。基板外観検査機は、部品の装着状態（例えば、装着された部品の向き、位置など）、はんだの印刷状態などを検査する。基板外観検査機には、予め、部品の部品種ごとに、テンプレートデータが格納されている。また、基板外観検査機には、予め、部品の部品種ごとに、検査領域が設定されている。検査領域は、部品が正しい向きで装着されている場合に検査領域内に部品の基準マークが含まれるように、設定されている。
【０００３】
基板外観検査機において基板を検査する際は、まず、基板外観検査機の撮像装置が、基板に装着された部品を撮像し、画像データを取得する。次に、基板外観検査機の制御装置が、画像データと、複数のテンプレートデータと、を比較する。すなわち、画像データ内の部品の部品種を判別する。それから、制御装置が、画像データ内の部品の検査領域を検査する。検査領域内に基準マークが入っている場合、制御装置は、部品の向きが適切と判別する。一方、検査領域内に基準マークが入っていない場合、制御装置は、部品の向きが不適切と判別する。このように、基板外観検査機は、テンプレートデータや検査領域などの、部品種ごとのマスタデータを基に、基板の検査を行っている。
【０００４】
特許文献１には、部品の型式に適したライブラリデータを作成する方法が開示されている。同文献記載の方法によると、まず、ライブラリデータの作成対象の型式の部品に外観が類似するサブ部品種を選択することにより、当該型式に対応するサブ部品種を特定する。次に、ユーザが、代表部品の画像を参照しながら、サブ部品種には規定されていない外観の特徴を入力することにより、サブ部品種の検査領域の設定ルールを、当該型式に合わせて修正する。このようにして、サブ部品種の下位バリエーションのライブラリデータを登録する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１７７２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
同文献記載の方法によると、外観の特徴などに応じて、サブ部品種の下位バリエーションのライブラリデータを増やすことができる。しかしながら、同文献記載の方法により作成できるのは、階層式のライブラリデータである。同文献には、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成する方法については開示されていない。
【０００７】
本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）上記課題を解決するため、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、部品を実装した基板を検査する際に用いられ、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成するデータ作成工程と、該基板を検査して、作成した該マスタデータの妥当性を検証する検証工程と、を有することを特徴とする。
【０００９】
ここで、「マスタデータを作成する」とは、部品の画像を編集してマスタデータを作成する場合のみならず、部品の画像をそのままマスタデータとして利用する場合も含まれる。また、「複数の部品」は、同一の基板に装着されていても、異なる基板に装着されていてもよい。
【００１０】
本発明の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ作成工程により、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成することができる。また、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法によると、作成したマスタデータの妥当性を、検証工程により、検証することができる。このため、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる。
【００１１】
（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、前記マスタデータは、同一の部品種の複数の部品に対して共用される構成とする方がよい。本構成によると、部品種ごとにマスタデータを作成することができる。
【００１２】
（１−２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記検証工程において、作成した前記マスタデータの妥当性を、基板検査状況をシミュレーションして検証する構成とする方がよい。
【００１３】
本構成によると、検証工程により、作成したマスタデータの妥当性を、基板検査状況をシミュレーションして検証することができる。このため、実際に基板を検査することなく、マスタデータの検証を行うことができる。したがって、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる。
【００１４】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記データ作成工程は、複数の前記部品の画像データを収集するデータ収集工程と、収集した複数の該画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する画面表示工程と、少なくとも二つの該画像データを表示しながら、前記マスタデータを作成する編集工程と、を有する構成とする方がよい。
【００１５】
本構成によると、単一の画面において、複数の画像データを見比べながらマスタデータを作成することができる。このため、単一の画面に単一の画像データしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に作成することができる。
【００１６】
（２−１）好ましくは、上記（２）の構成において、前記編集工程において、任意の前記画像データに対する編集作業が他の該画像データに反映されるように、表示された複数の該画像データを連動させながら編集することにより、前記マスタデータを作成する構成とする方がよい。
【００１７】
本構成によると、単一の画面において、任意の画像データの編集作業の結果を、残りの全ての画像データに反映させることができる。このため、単一の画面において、複数の画像データを一つずつ編集する場合と比較して、編集作業が簡単である。また、複数の画像データを一つずつ画面に表示する場合と比較して、編集作業が簡単である。
【００１８】
また、本構成によると、単一の画面において、編集作業の結果を確認することができる。このため、画面の全ての画像データに対する編集作業の妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００１９】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記検証工程は、収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する検証用画面表示工程と、表示された複数の該画像データと、前記マスタデータと、を比較するデータ比較工程と、を有する構成とする方がよい。
【００２０】
本構成によると、マスタデータの妥当性を、画面において確認することができる。すなわち、実際の基板にマスタデータを試用することなく、マスタデータの妥当性を確認することができる。また、本構成によると、単一の画面において、複数の画像データにマスタデータを試用することができる。このため、マスタデータの妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００２１】
（３−１）好ましくは、上記（３）の構成において、前記データ比較工程の後に、前記データ作成工程を有する構成とする方がよい。本構成によると、マスタデータが妥当性を有しない場合、マスタデータを作り直すことができる。
【００２２】
（３−２）好ましくは、上記（３）の構成において、前記データ比較工程の後に、前記マスタデータを補正する補正工程を有し、該補正工程は、収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも一つの該画像データと、該マスタデータと、を単一の画面に表示する画面表示工程と、少なくとも一つの該画像データと、該マスタデータと、を表示しながら、該マスタデータを補正する編集工程と、を有する構成とする方がよい。
【００２３】
本構成によると、マスタデータが妥当性を有しない場合、単一の画面において、画像データとマスタデータとを見比べながら、マスタデータを補正することができる。このため、単一の画面に画像データまたはマスタデータしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に補正することができる。
【００２４】
（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記マスタデータは、前記基板を検査する際に部品種の同一性の判別に用いられるテンプレートデータである構成とする方がよい。
【００２５】
本構成によると、基板検査の際に、検査対象である部品を探すことができる。すなわち、部品を探す際に、検査対象である部品と同一の部品種のテンプレートデータを用いることにより、実際の部品の画像データとテンプレートデータとが一致する場合に、当該画像データの部品が検査対象の部品であると判別することができる。一方、実際の部品の画像データとテンプレートデータとが一致しない場合に、当該画像データの部品が検査対象の部品でないと判別することができる。
【００２６】
（５）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記マスタデータは、前記基板を検査する際の前記部品の検査条件である構成とする方がよい。本構成によると、複数の部品において、例えば検査領域のサイズ、ポジションなどの検査条件を、共用化することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によると、適合度の高いマスタデータを簡単に作成可能な基板検査用マスタデータ作成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】生産ラインの模式図である。
【図２】サーバと基板外観検査機とのブロック図である。
【図３】同基板外観検査機の上面図である。
【図４】同基板外観検査機の検査ヘッド付近の斜視図である。
【図５】教示用の部品実装済みの基板の上面図である。
【図６】第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の画面表示工程における画面の模式図である。
【図７】同基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第一段階における画面の模式図である。
【図８】同編集工程第二段階における画面の模式図である。
【図９】同編集工程第三段階における画面の模式図である。
【図１０】同基板検査用マスタデータ作成方法の検証用画面表示工程における画面の模式図である。
【図１１】同基板検査用マスタデータ作成方法のデータ比較工程第一段階における画面の模式図である。
【図１２】同データ比較工程第二段階における画面の模式図である。
【図１３】第二実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第二段階における画面の模式図である。
【図１４】同編集工程第三段階における画面の模式図である。
【図１５】その他の実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第三段階における画面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法の実施の形態について説明する。
【００３０】
＜＜第一実施形態＞＞
本実施形態においては、教示用の部品実装済みの基板を基板外観検査機に流すことにより、テンプレートデータを作成する。
【００３１】
＜生産ライン＞
まず、基板の生産ラインの構成について説明する。図１に、生産ラインの模式図を示す。図１に示すように、生産ライン９は、サーバ１と、複数の電子部品実装機６と、基板外観検査機７と、リフロー炉９２と、を備えている。
【００３２】
複数の電子部品実装機６と基板外観検査機７とリフロー炉９２とは、左側（上流側）から右側（下流側）に向かって、一列に並んでいる。生産ライン９を搬送される基板には、複数の電子部品実装機６により、段階的に多数の部品が装着される。基板外観検査機７は、基板に対する部品の装着状態を検査する。リフロー炉９２は、基板と部品との間に介在するクリームはんだを溶融させ、基板に部品をはんだ付けする。サーバ１は、これらの装置に、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）ケーブルを介して、電気的に接続されている。
【００３３】
図２に、サーバと基板外観検査機とのブロック図を示す。図２に示すように、サーバ１は、キーボード１１と、マウス１２と、モニタ１３と、制御装置１４と、を備えている。モニタ１３は、画面１３０を備えている。制御装置１４は、入出力インターフェイス１４０と、記憶部１４１と、演算部１４２と、を備えている。
【００３４】
ユーザは、キーボード１１、マウス１２、画面１３０のいずれからでも、入出力インターフェイス１４０を介して、制御装置１４に指令を入力することができる。記憶部１４１には、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法を実行するための、エディタが格納されている。
【００３５】
＜基板外観検査機＞
次に、基板外観検査機の構成について説明する。図３に、同基板外観検査機の上面図を示す。なお、説明の便宜上、基板Ｂにハッチングを施す。図２、図３に示すように、基板外観検査機７は、ベース７２と、基板搬送装置７３と、ＸＹロボット７４と、検査ヘッド７５と、制御装置７６と、画像処理装置７７と、を備えている。
【００３６】
制御装置７６は、入出力インターフェイス７６０と、記憶部７６１と、演算部７６２と、を備えている。制御装置７６の入出力インターフェイス７６０と制御装置１４の入出力インターフェイス１４０とは、双方向に通信可能に接続されている。制御装置７６は、基板搬送装置７３の搬送モータ７３１、ＸＹロボット７４のＸ軸モータ７４６、Ｙ軸モータ７４７、検査ヘッド７５の照明装置２、撮像装置３、画像処理装置７７と、入出力インターフェイス７６０を介して、接続されている。
【００３７】
基板搬送装置７３は、ベース７２の上面に配置されている。基板搬送装置７３は、前後一対のコンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒと、搬送モータ７３１と、を備えている。搬送モータ７３１は、一対のコンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒを駆動する。基板Ｂは、コンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒにより、左側から右側に向かって搬送される。
【００３８】
Ｘ軸は左右方向に、Ｙ軸は前後方向に、Ｚ方向は上下方向に、各々、対応している。ＸＹロボット７４は、Ｙ軸スライド７４０と、Ｘ軸スライド７４１と、上下一対のＹ軸下スライド７４２と、前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒと、Ｘ軸ボールねじ部７４４と、Ｙ軸ボールねじ部７４５と、Ｘ軸モータ７４６と、Ｙ軸モータ７４７と、を備えている。
【００３９】
前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒは、基板搬送装置７３を前後方向から挟むように、ベース７２の上面に配置されている。Ｘ軸スライド７４１は、前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒに、左右方向に摺動可能に取り付けられている。Ｘ軸ボールねじ部７４４は、ベース７２に取り付けられている。Ｘ軸ボールねじ部７４４は、Ｘ軸スライド７４１を駆動する。Ｘ軸モータ７４６は、ベース７２に取り付けられている。Ｘ軸モータ７４６は、Ｘ軸ボールねじ部７４４を駆動する。
【００４０】
上下一対のＹ軸下スライド７４２は、Ｘ軸スライド７４１に配置されている。Ｙ軸スライド７４０は、上下一対のＹ軸下スライド７４２に、前後方向に摺動可能に取り付けられている。Ｙ軸ボールねじ部７４５は、Ｘ軸スライド７４１に取り付けられている。Ｙ軸ボールねじ部７４５は、Ｙ軸スライド７４０を駆動する。Ｙ軸モータ７４７は、Ｘ軸スライド７４１に取り付けられている。Ｙ軸モータ７４７は、Ｙ軸ボールねじ部７４５を駆動する。
【００４１】
検査ヘッド７５は、Ｙ軸スライド７４０に、作業者が容易に着脱可能に取り付けられている。このため、例えば、視野や分解能の異なる複数種類の検査ヘッド７５に、容易に交換が可能である。検査ヘッド７５の交換作業は、作業者が、手動でワンタッチで行ってもよい。また、磁力や負圧により、Ｙ軸スライド７４０が検査ヘッド７５を固定、解除してもよい。この場合、Ｙ軸スライド７４０のＸ軸およびＹ軸動作を利用することで、検査ヘッド７５を自動交換する態様とすることも可能である。この場合、交換対象となる前記複数種類の検査ヘッド７５は、ベース７２上のＹ軸スライド７４０移動範囲に配置されていることとなる。
【００４２】
検査ヘッド７５は、ＸＹロボット７４により、前後左右方向に移動可能である。図４に、同基板外観検査機の検査ヘッド付近の斜視図を示す。図４に示すように、検査ヘッド７５は、フレーム７５０と、照明装置２と、撮像装置３と、を備えている。フレーム７５０は、上下三段のブラケット７５０Ｕ、７５０Ｍ、７５０Ｄを備えている。ブラケット７５０Ｕ、７５０Ｍ、７５０Ｄの中央には、各々、通光用の孔が穿設されている。
【００４３】
照明装置２は、落射照明器２０Ｕと、側射上段照明器２０Ｍと、側射下段照明器２０Ｄと、を備えている。
【００４４】
落射照明器２０Ｕは、上段のブラケット７５０Ｕに取り付けられている。落射照明器２０Ｕは、光源２００Ｕと、ハーフミラー２０１Ｕと、光学系（図略）と、を備えている。図４に点線で示すように、光源２００Ｕの落射光（照明光）２１Ｕは、レンズなどを有する光学系により、平行光に変換される。落射光２１Ｕは、左方に進行し、ハーフミラー２０１Ｕで９０°方向転換し、下方に進行する。このため、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、落射光２１Ｕにより、真上方向から照らされる。撮像エリアＢ１に対する、落射光２１Ｕの入射角θＵは９０°である。
【００４５】
側射上段照明器２０Ｍは、中段のブラケット７５０Ｍに取り付けられている。側射上段照明器２０Ｍは、リング状の光源２００Ｍを備えている。図４に点線で示すように、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、光源２００Ｍからの側射上段光（照明光）２１Ｍにより、入射角θＭ（＜θＵ）の方向から照らされる。
【００４６】
側射下段照明器２０Ｄは、下段のブラケット７５０Ｄに取り付けられている。側射下段照明器２０Ｄは、リング状の光源２００Ｄを備えている。図４に点線で示すように、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、光源２００Ｄからの側射下段光（照明光）２１Ｄにより、入射角θＤ（＜θＭ）の方向から照らされる。
【００４７】
光源２００Ｕ、２００Ｍ、２００Ｄは、いずれも、白色ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）である。このため、光源２００Ｕ、２００Ｍ、２００Ｄは、いずれも、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三原色成分を全て有している。撮像装置３は、上段のブラケット７５０Ｕに取り付けられている。撮像装置３は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）エリアセンサである。撮像装置３は、多数の受光素子が二次元的に配置された撮像面を有している。撮像装置３は、真上方向から、撮像エリアＢ１を撮像する。
【００４８】
画像処理装置７７は、検査ヘッド７５に接続されている。画像処理装置７７は、撮像装置３が取り込んだ画像データを処理する。画像処理装置７７は、処理した画像データを、制御装置７６に伝送する。
【００４９】
＜基板検査用マスタデータ作成方法＞
次に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法について説明する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法は、データ作成工程と、検証工程と、を有している。
【００５０】
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法は、図２に示すサーバ１の記憶部１４１のエディタにより実行される。サーバ１は、基板外観検査機７を用いて、テンプレートデータを作成する。テンプレートデータは、基板外観検査機７における基板検査の際に、検査対象である部品を探すために用いられる。テンプレートデータは、同一の部品種の複数の部品に対して共用される。
【００５１】
［データ作成工程］
データ作成工程は、データ収集工程と、画面表示工程と、編集工程と、を有している。
【００５２】
（データ収集工程）
本工程においては、教示用の部品実装済みの基板から、複数の部品の画像データを収集する。図５に、教示用の部品実装済みの基板の上面図を示す。図５に示すように、基板Ｂには、多数の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅが装着されている。すなわち、５種類の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅが、複数または単数、基板Ｂの所定の座標に装着されている。本実施形態においては、５種類の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅを代表して、同一の部品種の８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８のテンプレートデータを作成する場合について説明する。
【００５３】
まず、図３に示す基板外観検査機７に、図５の基板Ｂを配置する。次に、図２に示す制御装置７６がＸＹロボット７４を駆動して、撮像対象である部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの真上に撮像装置３が配置されるように、検査ヘッド７５を移動させる。続いて、図２に示す制御装置７６が、照明装置２および撮像装置３を駆動して、撮像対象である部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅを撮像する。
【００５４】
図４に示すように、照明装置２は、落射照明器２０Ｕ、側射上段照明器２０Ｍ、側射下段照明器２０Ｄを備えている。図２に示す制御装置７６は、全ての部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅに対して、１個ずつ、（ａ）落射光２１Ｕと側射上段光２１Ｍと側射下段光２１Ｄ、（ｂ）落射光２１Ｕだけ、（ｃ）側射上段光２１Ｍだけ、（ｄ）側射下段光２１Ｄだけ、の合計４パターンで撮像を行う。当該撮像により、撮像装置３は、（全部品数×４）個の画像データを取得する。複数の画像データは、図２に示す画像処理装置７７、制御装置７６を介して、サーバ１の制御装置１４に伝送される。複数の画像データは、記憶部１４１に格納される。
【００５５】
（画面表示工程）
本工程においては、収集した複数の画像データのうち、４個の画像データを、図２に示すモニタ１３の画面１３０に表示する。具体的には、まず、ユーザが、図２に示すキーボード１１で、図５に示す部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データの中から、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を選択する。図２に示す制御装置１４は、画面１３０に、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を表示する。次に、ユーザが、図２に示すマウス１２で、画像データＤ１〜Ｄ８の中から、テンプレートデータの作成に用いたい画像データＤ１〜Ｄ４を、クリックする。図２に示す制御装置１４は、選択された画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。
【００５６】
図６に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の画面表示工程における画面の模式図を示す。図６に示すように、画面１３０には、部品Ｐａ１の画像データＤ１、部品Ｐａ２の画像データＤ２、部品Ｐａ３の画像データＤ３、部品Ｐａ４の画像データＤ４が縦横に並べて配置されている。画像データＤ１〜Ｄ４には、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の他に、背景部（例えばレジスト、ランドパターン、隣接部品など）Ｈが配置されている。
【００５７】
（編集工程）
本工程においては、４個の画像データＤ１〜Ｄ４から、テンプレートデータを作成する。図７に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第一段階における画面の模式図を示す。図８に、同編集工程第二段階における画面の模式図を示す。図９に、同編集工程第三段階における画面の模式図を示す。
【００５８】
本工程においては、まず、ユーザが、図７に示すように、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンの中から、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と基板Ｂとのコントラスト（輝度の差）、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとのコントラストが最も大きくなるような（つまり部品Ｐａ１〜Ｐａ４が最も鮮明に見えるような）、照明パターンを選択する。
【００５９】
すなわち、画面１３０には、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンに対応して、照明ボタン１３０ａ〜１３０ｄが配置されている。例えば、ユーザが、図２に示すマウス１２で照明ボタン１３０ａをクリックすると、制御装置１４が、記憶部１４１の画像データＤ１〜Ｄ４を参照し、上記（ａ）の照明パターンつまり図４に示す落射光２１Ｕと側射上段光２１Ｍと側射下段光２１Ｄとを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。同様に、ユーザが照明ボタン１３０ｂ〜１３０ｄを選択すると、制御装置１４が上記（ｂ）〜（ｄ）の照明パターンを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。このように、ユーザが、図２に示すマウス１２で照明ボタン１３０ａ〜１３０ｄのいずれかをクリックすることにより、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンの中から一つの照明パターンが選択される。制御装置１４は、画面１３０に、当該照明パターンを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を表示する。
【００６０】
本工程においては、次に、ユーザが、図８に示すように、エッジ検出ライン（以下、「シークライン」と称す。）の表示を、制御装置１４に指示する。すなわち、画面１３０には、シークライン表示ボタン１３１が配置されている。ユーザが、図２に示すマウス１２でシークライン表示ボタン１３１をクリックすることにより、図９に示すように、制御装置１４が画面１３０にシークラインＬ１〜Ｌ４を表示する。
【００６１】
シークライン（エッジ検出ライン）Ｌ１〜Ｌ４は、画像データＤ１〜Ｄ４の各々に対して、４本ずつ配置される。具体的には、シークラインＬ１〜Ｌ４は、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディ（リードを除く部分）の外形線に対して、直交するように配置される。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央が外形線に対して交差するように、シークラインＬ１〜Ｌ４は配置される。
【００６２】
本工程においては、続いて、ユーザが、図９に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、シークラインＬ１〜Ｌ４を最適化させる。
【００６３】
すなわち、４個の画像データＤ１〜Ｄ４のシークラインＬ１同士、シークラインＬ２同士、シークラインＬ３同士、シークラインＬ４同士の編集作業は、互いに関連付けられている。
【００６４】
例えば、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でクリックすると、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してクリックされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をクリックすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１を選択することができる。
【００６５】
また、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でドラッグすると、画像データＤ１のシークラインＬ１だけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してドラッグされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をドラッグすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１の長さを、同じだけ伸縮することができる。あるいは、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１の角度を、同じだけ変更することができる。
【００６６】
また、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でクリックし、ドラッグ＆ドロップすると、画像データＤ１のシークラインＬ１だけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してクリック、ドラッグ＆ドロップされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をクリックし、ドラッグ＆ドロップすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１を、同じだけ移動させることができる。
【００６７】
なお、上記編集作業は、単一のシークラインＬ１のみならず、複数のシークラインＬ１〜Ｌ４に対して（具体的には複数のシークラインＬ１〜Ｌ４をマウス１２で同時に選択して）、実行することができる。また、上記編集作業は、画像データＤ１以外の画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１〜Ｌ４に対しても実行することができる。
【００６８】
ユーザは、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が直交するように、画面１３０において編集作業を行う。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央が外形線に対して交差するように、画面１３０において編集作業を行う。
【００６９】
ここで、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の外形線の一部は、各々、背景部Ｈと重なっている。部品Ｐａ１〜Ｐａ４と基板Ｂとのコントラストと比較して、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとのコントラストは小さい。このため、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとが重なる部分については、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定しにくい。
【００７０】
例えば、画像データＤ１に着目すると、部品Ｐａ１の下縁線（外形線の一部）は、背景部Ｈと重なっている。このため、シークラインＬ２を設定しにくい。しかしながら、画像データＤ２〜Ｄ４を見ると、部品Ｐａ２〜Ｐａ４の下縁線（外形線の一部）は、背景部Ｈと重なっていない。このため、シークラインＬ２を設定しやすい。このように、ユーザは、画像データＤ１の部品Ｐａ１のみではシークラインＬ２を設定しにくい場合であっても、画像データＤ２〜Ｄ４の部品Ｐａ２〜Ｐａ４を参照して、シークラインＬ２を設定することができる。
【００７１】
同様に、画像データＤ２の部品Ｐａ２の右縁線、画像データＤ３の部品Ｐａ３の左縁線、画像データＤ４の部品Ｐａ４の上縁線（いずれも外形線の一部）も、各々背景部Ｈと重なっている。しかしながら、他の画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を参照して、シークラインＬ１、Ｌ３、Ｌ４を設定することができる。
【００７２】
このように、本工程においては、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、シークラインＬ１〜Ｌ４を最適化させる。最適化されたシークラインＬ１〜Ｌ４が、テンプレートデータである。テンプレートデータは、図２に示す制御装置１４の記憶部１４１に格納される。
【００７３】
［検証工程］
検証工程は、検証用画面表示工程と、データ比較工程と、を有している。
【００７４】
（検証用画面表示工程）
本工程においては、前記データ収集工程において収集した８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８の中から、４個の画像データＤ５〜Ｄ８を、図２に示すモニタ１３の画面１３０に表示する。具体的には、まず、ユーザが、図２に示すキーボード１１で、図５に示す部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データの中から、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を選択する。図２に示す制御装置１４は、画面１３０に、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を表示する。次に、ユーザが、図２に示すマウス１２で、画像データＤ１〜Ｄ８の中から、テンプレートデータの作成に用いなかった画像データＤ５〜Ｄ８を、クリックする。図２に示す制御装置１４は、選択された画像データＤ５〜Ｄ８を、画面１３０に表示する。
【００７５】
図１０に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証用画面表示工程における画面の模式図を示す。図１０に示すように、画面１３０には、部品Ｐａ５の画像データＤ５、部品Ｐａ６の画像データＤ６、部品Ｐａ７の画像データＤ７、部品Ｐａ８の画像データＤ８が縦横に並べて配置されている。
【００７６】
図５に示すように、部品Ｐａ６の向きに対して、部品Ｐａ５は右に９０°、部品Ｐａ７は１８０°、部品Ｐａ８は左に９０°、各々回転して配置されている。図２に示す制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８（つまり画像データＤ５〜Ｄ８）の向きを揃えて、画面１３０に表示する。
【００７７】
（データ比較工程）
本工程においては、図１０に示す画面１３０に表示された４個の画像データＤ５〜Ｄ８と、図２に示す記憶部１４１に格納されたテンプレートデータと、を比較する。そして、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合する」と判断するか否かを試行する。
【００７８】
すなわち、テンプレートデータは、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を基に作成されている。このため、テンプレートデータが妥当であれば、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合する」と判断する。一方、テンプレートデータが妥当でなければ、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合しない」と判断する。
【００７９】
図１１に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法のデータ比較工程第一段階における画面の模式図を示す。図１２に、同データ比較工程第二段階における画面の模式図を示す。
【００８０】
本工程においては、まず、図２に示す制御装置１４が、図１１に示すように、画像データＤ５〜Ｄ８の各々に、テンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）を表示する。
【００８１】
次に、図２に示す制御装置１４が、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。具体的には、図１２に示すように、制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が、できるだけ直交に近い状態で交差するように、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対してテンプレートデータを走査させる。また、制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央にできるだけ近い位置が交差するように、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対してテンプレートデータを走査させる。
【００８２】
シークラインＬ１〜Ｌ４と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線と、の交差点の位置の判別は、画像データＤ５〜Ｄ８の輝度を基に行われる。すなわち、画像データＤ５〜Ｄ８中、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディが配置されている部分と、背景部Ｈが配置されている部分と、基板Ｂが配置されている部分と、では輝度が異なる。一例として、画像データＤ５の部品Ｐａ５のシークラインＬ１に着目すると、シークラインＬ１の右部分と左部分とでは、部品Ｐａ５のボディの左縁線を境に、輝度が著しく変化する。当該輝度の変化を基に、シークラインＬ１と、部品Ｐａ５のボディの左縁線と、の交差点の位置を判別する。
【００８３】
このように、本工程においては、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が、できるだけ直交に近い状態で交差するように、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。また、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央にできるだけ近い位置が交差するように、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。
【００８４】
図２に示す記憶部１４１には、テンプレートデータと部品Ｐａ５〜Ｐａ８とのマッチングの判定基準が格納されている。演算部１４２は、当該判定基準と、画像データＤ５〜Ｄ８におけるテンプレートデータと部品Ｐａ５〜Ｐａ８とのマッチング状態と、を比較する。そして、画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合するか、画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合しないか、を判断する。つまり、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、の異同を判断する。
【００８５】
ここで、テンプレートデータは、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を基に作成されている。このため、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、が同一であると判断された場合、テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して、妥当性を有していることになる。つまり、当該テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８と同じ部品種の部品を探すテンプレートデータとして適当である。この場合は、当該テンプレートデータを、図２に示す基板外観検査機７に伝送し、記憶部７６１に格納する。基板外観検査機７は、格納されたテンプレートデータを用いて、基板Ｂの検査を行う。
【００８６】
これに対して、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、が異なると判断された場合、テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に対しては妥当性を有しているものの、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対して、妥当性を有していないことになる。つまり、当該テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８と同じ部品種の部品を探すテンプレートデータとして不適当である。この場合は、再度、上記データ作成工程を実行する。すなわち、例えば部品Ｐａ３〜Ｐａ６を用いて、テンプレートデータを作り直す。
【００８７】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の作用効果について説明する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ作成工程により、同一の部品種の８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して共用されるテンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）を作成することができる。
【００８８】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、作成したテンプレートデータの妥当性を、検証工程により、検証することができる。このため、適合度の高いテンプレートデータを簡単に作成することができる。
【００８９】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、４個の画像データＤ１〜Ｄ４を見比べながらテンプレートデータを作成することができる。このため、単一の画面１３０に単一の画像データＤ１〜Ｄ４しか表示されない場合と比較して、テンプレートデータを簡単に作成することができる。具体的には、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の外形線の一部が不鮮明な場合であっても、同じ部分が鮮明な他の画像データＤ１〜Ｄ４を基に、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定することができる。
【００９０】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、任意の画像データＤ１の編集作業の結果を、残りの全ての画像データＤ２〜Ｄ４に反映させることができる。このため、単一の画面１３０において、複数の画像データＤ１〜Ｄ４を一つずつ編集する場合と比較して、編集作業が簡単である。また、複数の画像データＤ１〜Ｄ４を一つずつ画面１３０に表示する場合と比較して、編集作業が簡単である。
【００９１】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、編集作業の結果を確認することができる。このため、画面１３０の全ての画像データＤ１〜Ｄ４に対する編集作業の妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００９２】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証工程によると、テンプレートデータの妥当性を、画面１３０において確認することができる。すなわち、実際の基板Ｂにテンプレートデータを試用することなく、テンプレートデータの妥当性を確認することができる。また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証工程によると、単一の画面１３０において、複数の画像データＤ５〜Ｄ８にテンプレートデータを試用することができる。このため、テンプレートデータの妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００９３】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ比較工程においてテンプレートデータが不適当と判断された場合、再度、データ作成工程を実行し、テンプレートデータを作り直すことができる。
【００９４】
＜＜第二実施形態＞＞
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法と、第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法との相違点は、作成対象となるマスタデータが、テンプレートデータではなく、基板を検査する際の部品の検査領域である点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。なお、説明には、図２を援用する。
【００９５】
図１３に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第二段階における画面の模式図を示す。図１４に、同編集工程第三段階における画面の模式図を示す。なお、図８、図９と対応する部位については、同じ符号で示す。編集工程第一段階までの工程は、第一実施形態（図５〜図７参照）と同様である。
【００９６】
編集工程においては、ユーザが、図１３に示すように、検査領域の表示を、図２に示す制御装置１４に指示する。すなわち、画面１３０には、検査領域表示ボタン１３２が配置されている。ユーザが、図２に示すマウス１２で検査領域表示ボタン１３２をクリックすることにより、図１４に示すように、図２に示す制御装置１４が画面１３０に検査領域Ｒを表示する。検査領域Ｒは、本発明の「検査条件」の概念に含まれる。なお、検査領域Ｒは、基板検査の際、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の向きを検査するために用いられる。
【００９７】
検査領域Ｒは、画像データＤ１〜Ｄ４の各々に対して、一つずつ配置される。具体的には、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａを、できるだけ囲むように、四角形の検査領域Ｒが配置される。
【００９８】
本工程においては、続いて、ユーザが、図１４に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、検査領域Ｒを最適化させる。すなわち、同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａの位置は、本来、一致しているはずである。しかしながら、基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａの位置が、部品Ｐａ１〜Ｐａ４間でずれている場合がある。このような場合であっても、基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａが検査領域Ｒに入るように、検査領域Ｒを編集する。
【００９９】
４個の画像データＤ１〜Ｄ４の検査領域Ｒの編集作業は、互いに関連付けられている。例えば、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でクリックすると、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してクリックされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをクリックすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒを選択することができる。
【０１００】
また、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でドラッグすると、画像データＤ１の検査領域Ｒだけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してドラッグされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをドラッグすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒのサイズを、同じだけ拡縮することができる。
【０１０１】
また、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でクリックし、ドラッグ＆ドロップすると、画像データＤ１の検査領域Ｒだけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してクリック、ドラッグ＆ドロップされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをクリックし、ドラッグ＆ドロップすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒを、同じだけ移動させることができる。なお、上記編集作業は、画像データＤ１以外の画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒに対しても実行することができる。最適化された検査領域Ｒは、図２に示す制御装置１４の記憶部１４１に格納される。
【０１０２】
編集工程後の検証工程においては、画面１３０に、同じ部品種の４個の部品を表示し、検査領域Ｒの平均輝度を基に、部品の向きを判別する。すなわち、検査領域Ｒ内に基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａが配置されている場合と、配置されていない場合とでは、検査領域Ｒの平均輝度が異なる。当該平均輝度の相違を基に、部品の向きを判別する。検査領域Ｒにより全部品の向きを判別できた場合、当該検査領域Ｒはマスタデータとして適当であることになる。この場合は、当該検査領域Ｒを、図２に示す基板外観検査機７に伝送し、記憶部７６１に格納する。基板外観検査機７は、格納された検査領域Ｒを用いて、基板Ｂの検査を行う。
【０１０３】
これに対して、検査領域Ｒにより全部品の向きを判別できなかった場合、当該検査領域Ｒはマスタデータとして不適当であることになる。この場合は、再度、上記データ作成工程を実行する。すなわち、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と同じ部品種の部品を用いて、検査領域Ｒを作り直す。
【０１０４】
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法と、第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、同じ部品種の複数の部品Ｐａ１〜Ｐａ４において、検査領域Ｒを共用化することができる。
【０１０５】
＜＜その他＞＞
以上、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【０１０６】
画像データの取得方法は特に限定しない。例えば、上記実施形態においては、図５に示すように、教示用の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んだ。しかしながら、実際に生産中の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んでもよい。また、異なる基板種の複数の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んでもよい。
【０１０７】
図６に示す画面１３０に、同じ基板種の異なる基板Ｂにおいて、同一座標に配置されている複数の部品を表示してもよい。こうすると、同一の画面１３０において、座標を基準に、部品の装着状態を見比べることができる。例えば、生産１枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産２枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産３枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産４枚目の基板Ｂの座標αの部品と、を見比べることができる。また、見比べながら画像データを編集することができる。
【０１０８】
上記実施形態においては、検証工程において不適当と判断されたマスタデータ（テンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）、検査領域Ｒ）を作り直した。しかしながら、マスタデータを補正してもよい。この場合、図６に示す画面１３０に、マスタデータと画像データとを表示し、双方のデータを見比べながらマスタデータを補正してもよい。こうすると、単一の画面１３０に画像データまたはマスタデータしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に補正することができる。
【０１０９】
サーバ１に対する入力方法は、特に限定しない。図２に示すキーボード１１、マウス１２、モニタの画面１３０（具体的にはタッチパネル）を用いればよい。エディタはサーバ１に格納しなくてもよい。例えば、エディタを基板外観検査機７の記憶部７６１に格納してもよい。この場合、サーバ１を用いずに、基板検査用マスタデータ作成方法を実行することができる。
【０１１０】
また、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、電子部品実装機６で実行してもよい。並びに、基板Ｂの外観検査は、電子部品実装機６で実行してもよい。この場合、電子部品実装機６に着脱可能な二つの作業ヘッドを装着し、一方を部品を実装するための実装ヘッドとして、他方を基板Ｂを検査するための検査ヘッドとして用いてもよい。こうすると、実装直後の部品の画像データを取得することができる。また、実装直後の部品を即時検査することができる。このため、後工程に流れる不良基板の数を削減することができ、延いては歩留まりの悪化を防ぐことができる。
【０１１１】
上記実施形態においては、ユーザがマスタデータの編集作業を行ったが、制御装置１４が行ってもよい。また、編集作業の一部（例えば、照明パターンの選択など）だけを、制御装置１４が行ってもよい。
【０１１２】
また、マスタデータの種類は特に限定しない。例えば、部品Ｐａ１〜Ｐａ８のリードの検査（リードの湾曲程度、長さ、太さなどの検査）に関するデータであってもよい。また、取り込んだ画像データＤ１〜Ｄ８を何等加工せずに、そのままマスタデータとして用いてもよい。例えば、データ量は多くなるものの、実装された同一種の部品を順次撮像し、背景も含む取得した画像データの全数をマスタデータとしてもよい。また、各々の画像データ自体をマスタデータとしてもよい。また、各画像データの特徴部分だけをマスタデータとしてもよい。また、取得した画像データを一画面上に並べて表示し、複数の画像データの中から、明らかに装着不良であるもの、部品種が異なるもの、撮像不良であるものなど、容易にマスタデータになり得ないと判断可能な画像データを、削除してもよい。こうすると、データ量を削減することができる。
【０１１３】
また、画面１３０における画像データＤ１〜Ｄ８のサイズ、配置数、レイアウトは特に限定しない。画像データＤ１〜Ｄ８の配置数は、２個、３個、６個、８個などであってもよい。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の本数、角度、間隔、長さ、太さなどは特に限定しない。例えば、部品Ｐａ１の左縁線に対して、複数のシークラインＬ１を並べて配置してもよい。
【０１１４】
また、図９に示すように、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定する場合、背景部Ｈや隣接部品やリードなどの影響を受けずに設定可能であって、かつ複数の画像データＤ１〜Ｄ４において共用可能なシークラインＬ１〜Ｌ４を選定することもできる。図１５に、その他の実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第三段階における画面の模式図を示す。なお、図９と対応する部位については、同じ符号で示す。図１５に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４において、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線（外形線）は、背景部Ｈと重なっていない。また、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線付近には、隣接部品が配置されていない。また、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線には、リードが配置されていない。このため、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共通して、左縁線、右縁線のシークラインＬ１、Ｌ３は、鮮明である。したがって、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共通して、左縁線、右縁線のシークラインＬ１、Ｌ３は、テンプレートデータ作成用として好適である。この場合、図２に示すサーバ１は、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のシークラインＬ１、Ｌ３を、枠Ｗなどを用いて、顕在化させることができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１：サーバ、２：照明装置、３：撮像装置、６：電子部品実装機、７：基板外観検査機、９：生産ライン。
１１：キーボード、１２：マウス、１３：モニタ、１４：制御装置、２０Ｄ：側射下段照明器、２０Ｍ：側射上段照明器、２０Ｕ：落射照明器、２１Ｄ：側射下段光、２１Ｍ：側射上段光、２１Ｕ：落射光、７２：ベース、７３：基板搬送装置、７４：ＸＹロボット、７５：検査ヘッド、７６：制御装置、７７：画像処理装置、９２：リフロー炉。
１３０：画面、１３０ａ〜１３０ｄ：照明ボタン、１３１：シークライン表示ボタン、１３２：検査領域表示ボタン、１４０：入出力インターフェイス、１４１：記憶部、１４２：演算部、２００Ｄ：光源、２００Ｍ：光源、２００Ｕ：光源、２０１Ｕ：ハーフミラー、７３０ｆ：コンベアベルト、７３０ｒ：コンベアベルト、７３１：搬送モータ、７４０：Ｙ軸スライド、７４１：Ｘ軸スライド、７４２：Ｙ軸下スライド、７４３ｆ：Ｘ軸下スライド、７４３ｒ：Ｘ軸下スライド、７４４：Ｘ軸ボールねじ部、７４５：Ｙ軸ボールねじ部、７４６：Ｘ軸モータ、７４７：Ｙ軸モータ、７５０：フレーム、７５０Ｄ：ブラケット、７５０Ｍ：ブラケット、７５０Ｕ：ブラケット、７６０：入出力インターフェイス、７６１：記憶部、７６２：演算部。
Ｂ：基板、Ｂ１：撮像エリア、Ｄ１〜Ｄ８：画像データ、Ｈ：背景部、Ｌ１〜Ｌ４：シークライン（テンプレートデータ）、Ｐａ１ａ〜Ｐａ４ａ：基準マーク、Ｐａ１〜Ｐａ８：部品、Ｒ：検査領域（検査条件）、Ｗ：枠、θＤ：入射角、θＭ：入射角、θＵ：入射角。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を実装した基板を検査する際に用いられるマスタデータを作成する基板検査用マスタデータ作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の生産ラインには、電子部品実装機と基板外観検査機とが配置されている。電子部品実装機は、基板に部品を装着する。基板外観検査機は、部品の装着状態（例えば、装着された部品の向き、位置など）、はんだの印刷状態などを検査する。基板外観検査機には、予め、部品の部品種ごとに、テンプレートデータが格納されている。また、基板外観検査機には、予め、部品の部品種ごとに、検査領域が設定されている。検査領域は、部品が正しい向きで装着されている場合に検査領域内に部品の基準マークが含まれるように、設定されている。
【０００３】
基板外観検査機において基板を検査する際は、まず、基板外観検査機の撮像装置が、基板に装着された部品を撮像し、画像データを取得する。次に、基板外観検査機の制御装置が、画像データと、複数のテンプレートデータと、を比較する。すなわち、画像データ内の部品の部品種を判別する。それから、制御装置が、画像データ内の部品の検査領域を検査する。検査領域内に基準マークが入っている場合、制御装置は、部品の向きが適切と判別する。一方、検査領域内に基準マークが入っていない場合、制御装置は、部品の向きが不適切と判別する。このように、基板外観検査機は、テンプレートデータや検査領域などの、部品種ごとのマスタデータを基に、基板の検査を行っている。
【０００４】
特許文献１には、部品の型式に適したライブラリデータを作成する方法が開示されている。同文献記載の方法によると、まず、ライブラリデータの作成対象の型式の部品に外観が類似するサブ部品種を選択することにより、当該型式に対応するサブ部品種を特定する。次に、ユーザが、代表部品の画像を参照しながら、サブ部品種には規定されていない外観の特徴を入力することにより、サブ部品種の検査領域の設定ルールを、当該型式に合わせて修正する。このようにして、サブ部品種の下位バリエーションのライブラリデータを登録する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１７７２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
同文献記載の方法によると、外観の特徴などに応じて、サブ部品種の下位バリエーションのライブラリデータを増やすことができる。しかしながら、同文献記載の方法により作成できるのは、階層式のライブラリデータである。同文献には、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成する方法については開示されていない。
【０００７】
本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）上記課題を解決するため、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、部品を実装した基板を検査する際に用いられ、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成するデータ作成工程と、該基板を検査して、作成した該マスタデータの妥当性を検証する検証工程と、を有することを特徴とする。
【０００９】
ここで、「マスタデータを作成する」とは、部品の画像を編集してマスタデータを作成する場合のみならず、部品の画像をそのままマスタデータとして利用する場合も含まれる。また、「複数の部品」は、同一の基板に装着されていても、異なる基板に装着されていてもよい。
【００１０】
本発明の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ作成工程により、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成することができる。また、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法によると、作成したマスタデータの妥当性を、検証工程により、検証することができる。このため、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる。
【００１１】
（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、前記マスタデータは、同一の部品種の複数の部品に対して共用される構成とする方がよい。本構成によると、部品種ごとにマスタデータを作成することができる。
【００１２】
（１−２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記検証工程において、作成した前記マスタデータの妥当性を、基板検査状況をシミュレーションして検証する構成とする方がよい。
【００１３】
本構成によると、検証工程により、作成したマスタデータの妥当性を、基板検査状況をシミュレーションして検証することができる。このため、実際に基板を検査することなく、マスタデータの検証を行うことができる。したがって、適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる。
【００１４】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記データ作成工程は、複数の前記部品の画像データを収集するデータ収集工程と、収集した複数の該画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する画面表示工程と、少なくとも二つの該画像データを表示しながら、前記マスタデータを作成する編集工程と、を有する構成とする方がよい。
【００１５】
本構成によると、単一の画面において、複数の画像データを見比べながらマスタデータを作成することができる。このため、単一の画面に単一の画像データしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に作成することができる。
【００１６】
（２−１）好ましくは、上記（２）の構成において、前記編集工程において、任意の前記画像データに対する編集作業が他の該画像データに反映されるように、表示された複数の該画像データを連動させながら編集することにより、前記マスタデータを作成する構成とする方がよい。
【００１７】
本構成によると、単一の画面において、任意の画像データの編集作業の結果を、残りの全ての画像データに反映させることができる。このため、単一の画面において、複数の画像データを一つずつ編集する場合と比較して、編集作業が簡単である。また、複数の画像データを一つずつ画面に表示する場合と比較して、編集作業が簡単である。
【００１８】
また、本構成によると、単一の画面において、編集作業の結果を確認することができる。このため、画面の全ての画像データに対する編集作業の妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００１９】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記検証工程は、収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する検証用画面表示工程と、表示された複数の該画像データと、前記マスタデータと、を比較するデータ比較工程と、を有する構成とする方がよい。
【００２０】
本構成によると、マスタデータの妥当性を、画面において確認することができる。すなわち、実際の基板にマスタデータを試用することなく、マスタデータの妥当性を確認することができる。また、本構成によると、単一の画面において、複数の画像データにマスタデータを試用することができる。このため、マスタデータの妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００２１】
（３−１）好ましくは、上記（３）の構成において、前記データ比較工程の後に、前記データ作成工程を有する構成とする方がよい。本構成によると、マスタデータが妥当性を有しない場合、マスタデータを作り直すことができる。
【００２２】
（３−２）好ましくは、上記（３）の構成において、前記データ比較工程の後に、前記マスタデータを補正する補正工程を有し、該補正工程は、収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも一つの該画像データと、該マスタデータと、を単一の画面に表示する画面表示工程と、少なくとも一つの該画像データと、該マスタデータと、を表示しながら、該マスタデータを補正する編集工程と、を有する構成とする方がよい。
【００２３】
本構成によると、マスタデータが妥当性を有しない場合、単一の画面において、画像データとマスタデータとを見比べながら、マスタデータを補正することができる。このため、単一の画面に画像データまたはマスタデータしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に補正することができる。
【００２４】
（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記マスタデータは、前記基板を検査する際に部品種の同一性の判別に用いられるテンプレートデータである構成とする方がよい。
【００２５】
本構成によると、基板検査の際に、検査対象である部品を探すことができる。すなわち、部品を探す際に、検査対象である部品と同一の部品種のテンプレートデータを用いることにより、実際の部品の画像データとテンプレートデータとが一致する場合に、当該画像データの部品が検査対象の部品であると判別することができる。一方、実際の部品の画像データとテンプレートデータとが一致しない場合に、当該画像データの部品が検査対象の部品でないと判別することができる。
【００２６】
（５）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記マスタデータは、前記基板を検査する際の前記部品の検査条件である構成とする方がよい。本構成によると、複数の部品において、例えば検査領域のサイズ、ポジションなどの検査条件を、共用化することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によると、適合度の高いマスタデータを簡単に作成可能な基板検査用マスタデータ作成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】生産ラインの模式図である。
【図２】サーバと基板外観検査機とのブロック図である。
【図３】同基板外観検査機の上面図である。
【図４】同基板外観検査機の検査ヘッド付近の斜視図である。
【図５】教示用の部品実装済みの基板の上面図である。
【図６】第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の画面表示工程における画面の模式図である。
【図７】同基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第一段階における画面の模式図である。
【図８】同編集工程第二段階における画面の模式図である。
【図９】同編集工程第三段階における画面の模式図である。
【図１０】同基板検査用マスタデータ作成方法の検証用画面表示工程における画面の模式図である。
【図１１】同基板検査用マスタデータ作成方法のデータ比較工程第一段階における画面の模式図である。
【図１２】同データ比較工程第二段階における画面の模式図である。
【図１３】第二実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第二段階における画面の模式図である。
【図１４】同編集工程第三段階における画面の模式図である。
【図１５】その他の実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第三段階における画面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法の実施の形態について説明する。
【００３０】
＜＜第一実施形態＞＞
本実施形態においては、教示用の部品実装済みの基板を基板外観検査機に流すことにより、テンプレートデータを作成する。
【００３１】
＜生産ライン＞
まず、基板の生産ラインの構成について説明する。図１に、生産ラインの模式図を示す。図１に示すように、生産ライン９は、サーバ１と、複数の電子部品実装機６と、基板外観検査機７と、リフロー炉９２と、を備えている。
【００３２】
複数の電子部品実装機６と基板外観検査機７とリフロー炉９２とは、左側（上流側）から右側（下流側）に向かって、一列に並んでいる。生産ライン９を搬送される基板には、複数の電子部品実装機６により、段階的に多数の部品が装着される。基板外観検査機７は、基板に対する部品の装着状態を検査する。リフロー炉９２は、基板と部品との間に介在するクリームはんだを溶融させ、基板に部品をはんだ付けする。サーバ１は、これらの装置に、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）ケーブルを介して、電気的に接続されている。
【００３３】
図２に、サーバと基板外観検査機とのブロック図を示す。図２に示すように、サーバ１は、キーボード１１と、マウス１２と、モニタ１３と、制御装置１４と、を備えている。モニタ１３は、画面１３０を備えている。制御装置１４は、入出力インターフェイス１４０と、記憶部１４１と、演算部１４２と、を備えている。
【００３４】
ユーザは、キーボード１１、マウス１２、画面１３０のいずれからでも、入出力インターフェイス１４０を介して、制御装置１４に指令を入力することができる。記憶部１４１には、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法を実行するための、エディタが格納されている。
【００３５】
＜基板外観検査機＞
次に、基板外観検査機の構成について説明する。図３に、同基板外観検査機の上面図を示す。なお、説明の便宜上、基板Ｂにハッチングを施す。図２、図３に示すように、基板外観検査機７は、ベース７２と、基板搬送装置７３と、ＸＹロボット７４と、検査ヘッド７５と、制御装置７６と、画像処理装置７７と、を備えている。
【００３６】
制御装置７６は、入出力インターフェイス７６０と、記憶部７６１と、演算部７６２と、を備えている。制御装置７６の入出力インターフェイス７６０と制御装置１４の入出力インターフェイス１４０とは、双方向に通信可能に接続されている。制御装置７６は、基板搬送装置７３の搬送モータ７３１、ＸＹロボット７４のＸ軸モータ７４６、Ｙ軸モータ７４７、検査ヘッド７５の照明装置２、撮像装置３、画像処理装置７７と、入出力インターフェイス７６０を介して、接続されている。
【００３７】
基板搬送装置７３は、ベース７２の上面に配置されている。基板搬送装置７３は、前後一対のコンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒと、搬送モータ７３１と、を備えている。搬送モータ７３１は、一対のコンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒを駆動する。基板Ｂは、コンベアベルト７３０ｆ、７３０ｒにより、左側から右側に向かって搬送される。
【００３８】
Ｘ軸は左右方向に、Ｙ軸は前後方向に、Ｚ方向は上下方向に、各々、対応している。ＸＹロボット７４は、Ｙ軸スライド７４０と、Ｘ軸スライド７４１と、上下一対のＹ軸下スライド７４２と、前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒと、Ｘ軸ボールねじ部７４４と、Ｙ軸ボールねじ部７４５と、Ｘ軸モータ７４６と、Ｙ軸モータ７４７と、を備えている。
【００３９】
前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒは、基板搬送装置７３を前後方向から挟むように、ベース７２の上面に配置されている。Ｘ軸スライド７４１は、前後一対のＸ軸下スライド７４３ｆ、７４３ｒに、左右方向に摺動可能に取り付けられている。Ｘ軸ボールねじ部７４４は、ベース７２に取り付けられている。Ｘ軸ボールねじ部７４４は、Ｘ軸スライド７４１を駆動する。Ｘ軸モータ７４６は、ベース７２に取り付けられている。Ｘ軸モータ７４６は、Ｘ軸ボールねじ部７４４を駆動する。
【００４０】
上下一対のＹ軸下スライド７４２は、Ｘ軸スライド７４１に配置されている。Ｙ軸スライド７４０は、上下一対のＹ軸下スライド７４２に、前後方向に摺動可能に取り付けられている。Ｙ軸ボールねじ部７４５は、Ｘ軸スライド７４１に取り付けられている。Ｙ軸ボールねじ部７４５は、Ｙ軸スライド７４０を駆動する。Ｙ軸モータ７４７は、Ｘ軸スライド７４１に取り付けられている。Ｙ軸モータ７４７は、Ｙ軸ボールねじ部７４５を駆動する。
【００４１】
検査ヘッド７５は、Ｙ軸スライド７４０に、作業者が容易に着脱可能に取り付けられている。このため、例えば、視野や分解能の異なる複数種類の検査ヘッド７５に、容易に交換が可能である。検査ヘッド７５の交換作業は、作業者が、手動でワンタッチで行ってもよい。また、磁力や負圧により、Ｙ軸スライド７４０が検査ヘッド７５を固定、解除してもよい。この場合、Ｙ軸スライド７４０のＸ軸およびＹ軸動作を利用することで、検査ヘッド７５を自動交換する態様とすることも可能である。この場合、交換対象となる前記複数種類の検査ヘッド７５は、ベース７２上のＹ軸スライド７４０移動範囲に配置されていることとなる。
【００４２】
検査ヘッド７５は、ＸＹロボット７４により、前後左右方向に移動可能である。図４に、同基板外観検査機の検査ヘッド付近の斜視図を示す。図４に示すように、検査ヘッド７５は、フレーム７５０と、照明装置２と、撮像装置３と、を備えている。フレーム７５０は、上下三段のブラケット７５０Ｕ、７５０Ｍ、７５０Ｄを備えている。ブラケット７５０Ｕ、７５０Ｍ、７５０Ｄの中央には、各々、通光用の孔が穿設されている。
【００４３】
照明装置２は、落射照明器２０Ｕと、側射上段照明器２０Ｍと、側射下段照明器２０Ｄと、を備えている。
【００４４】
落射照明器２０Ｕは、上段のブラケット７５０Ｕに取り付けられている。落射照明器２０Ｕは、光源２００Ｕと、ハーフミラー２０１Ｕと、光学系（図略）と、を備えている。図４に点線で示すように、光源２００Ｕの落射光（照明光）２１Ｕは、レンズなどを有する光学系により、平行光に変換される。落射光２１Ｕは、左方に進行し、ハーフミラー２０１Ｕで９０°方向転換し、下方に進行する。このため、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、落射光２１Ｕにより、真上方向から照らされる。撮像エリアＢ１に対する、落射光２１Ｕの入射角θＵは９０°である。
【００４５】
側射上段照明器２０Ｍは、中段のブラケット７５０Ｍに取り付けられている。側射上段照明器２０Ｍは、リング状の光源２００Ｍを備えている。図４に点線で示すように、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、光源２００Ｍからの側射上段光（照明光）２１Ｍにより、入射角θＭ（＜θＵ）の方向から照らされる。
【００４６】
側射下段照明器２０Ｄは、下段のブラケット７５０Ｄに取り付けられている。側射下段照明器２０Ｄは、リング状の光源２００Ｄを備えている。図４に点線で示すように、基板Ｂの上面の撮像エリアＢ１は、光源２００Ｄからの側射下段光（照明光）２１Ｄにより、入射角θＤ（＜θＭ）の方向から照らされる。
【００４７】
光源２００Ｕ、２００Ｍ、２００Ｄは、いずれも、白色ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）である。このため、光源２００Ｕ、２００Ｍ、２００Ｄは、いずれも、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三原色成分を全て有している。撮像装置３は、上段のブラケット７５０Ｕに取り付けられている。撮像装置３は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）エリアセンサである。撮像装置３は、多数の受光素子が二次元的に配置された撮像面を有している。撮像装置３は、真上方向から、撮像エリアＢ１を撮像する。
【００４８】
画像処理装置７７は、検査ヘッド７５に接続されている。画像処理装置７７は、撮像装置３が取り込んだ画像データを処理する。画像処理装置７７は、処理した画像データを、制御装置７６に伝送する。
【００４９】
＜基板検査用マスタデータ作成方法＞
次に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法について説明する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法は、データ作成工程と、検証工程と、を有している。
【００５０】
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法は、図２に示すサーバ１の記憶部１４１のエディタにより実行される。サーバ１は、基板外観検査機７を用いて、テンプレートデータを作成する。テンプレートデータは、基板外観検査機７における基板検査の際に、検査対象である部品を探すために用いられる。テンプレートデータは、同一の部品種の複数の部品に対して共用される。
【００５１】
［データ作成工程］
データ作成工程は、データ収集工程と、画面表示工程と、編集工程と、を有している。
【００５２】
（データ収集工程）
本工程においては、教示用の部品実装済みの基板から、複数の部品の画像データを収集する。図５に、教示用の部品実装済みの基板の上面図を示す。図５に示すように、基板Ｂには、多数の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅが装着されている。すなわち、５種類の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅが、複数または単数、基板Ｂの所定の座標に装着されている。本実施形態においては、５種類の部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅを代表して、同一の部品種の８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８のテンプレートデータを作成する場合について説明する。
【００５３】
まず、図３に示す基板外観検査機７に、図５の基板Ｂを配置する。次に、図２に示す制御装置７６がＸＹロボット７４を駆動して、撮像対象である部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの真上に撮像装置３が配置されるように、検査ヘッド７５を移動させる。続いて、図２に示す制御装置７６が、照明装置２および撮像装置３を駆動して、撮像対象である部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅを撮像する。
【００５４】
図４に示すように、照明装置２は、落射照明器２０Ｕ、側射上段照明器２０Ｍ、側射下段照明器２０Ｄを備えている。図２に示す制御装置７６は、全ての部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅに対して、１個ずつ、（ａ）落射光２１Ｕと側射上段光２１Ｍと側射下段光２１Ｄ、（ｂ）落射光２１Ｕだけ、（ｃ）側射上段光２１Ｍだけ、（ｄ）側射下段光２１Ｄだけ、の合計４パターンで撮像を行う。当該撮像により、撮像装置３は、（全部品数×４）個の画像データを取得する。複数の画像データは、図２に示す画像処理装置７７、制御装置７６を介して、サーバ１の制御装置１４に伝送される。複数の画像データは、記憶部１４１に格納される。
【００５５】
（画面表示工程）
本工程においては、収集した複数の画像データのうち、４個の画像データを、図２に示すモニタ１３の画面１３０に表示する。具体的には、まず、ユーザが、図２に示すキーボード１１で、図５に示す部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データの中から、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を選択する。図２に示す制御装置１４は、画面１３０に、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を表示する。次に、ユーザが、図２に示すマウス１２で、画像データＤ１〜Ｄ８の中から、テンプレートデータの作成に用いたい画像データＤ１〜Ｄ４を、クリックする。図２に示す制御装置１４は、選択された画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。
【００５６】
図６に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の画面表示工程における画面の模式図を示す。図６に示すように、画面１３０には、部品Ｐａ１の画像データＤ１、部品Ｐａ２の画像データＤ２、部品Ｐａ３の画像データＤ３、部品Ｐａ４の画像データＤ４が縦横に並べて配置されている。画像データＤ１〜Ｄ４には、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の他に、背景部（例えばレジスト、ランドパターン、隣接部品など）Ｈが配置されている。
【００５７】
（編集工程）
本工程においては、４個の画像データＤ１〜Ｄ４から、テンプレートデータを作成する。図７に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第一段階における画面の模式図を示す。図８に、同編集工程第二段階における画面の模式図を示す。図９に、同編集工程第三段階における画面の模式図を示す。
【００５８】
本工程においては、まず、ユーザが、図７に示すように、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンの中から、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と基板Ｂとのコントラスト（輝度の差）、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとのコントラストが最も大きくなるような（つまり部品Ｐａ１〜Ｐａ４が最も鮮明に見えるような）、照明パターンを選択する。
【００５９】
すなわち、画面１３０には、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンに対応して、照明ボタン１３０ａ〜１３０ｄが配置されている。例えば、ユーザが、図２に示すマウス１２で照明ボタン１３０ａをクリックすると、制御装置１４が、記憶部１４１の画像データＤ１〜Ｄ４を参照し、上記（ａ）の照明パターンつまり図４に示す落射光２１Ｕと側射上段光２１Ｍと側射下段光２１Ｄとを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。同様に、ユーザが照明ボタン１３０ｂ〜１３０ｄを選択すると、制御装置１４が上記（ｂ）〜（ｄ）の照明パターンを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を、画面１３０に表示する。このように、ユーザが、図２に示すマウス１２で照明ボタン１３０ａ〜１３０ｄのいずれかをクリックすることにより、上記（ａ）〜（ｄ）の４つの照明パターンの中から一つの照明パターンが選択される。制御装置１４は、画面１３０に、当該照明パターンを用いて撮像した際の画像データＤ１〜Ｄ４を表示する。
【００６０】
本工程においては、次に、ユーザが、図８に示すように、エッジ検出ライン（以下、「シークライン」と称す。）の表示を、制御装置１４に指示する。すなわち、画面１３０には、シークライン表示ボタン１３１が配置されている。ユーザが、図２に示すマウス１２でシークライン表示ボタン１３１をクリックすることにより、図９に示すように、制御装置１４が画面１３０にシークラインＬ１〜Ｌ４を表示する。
【００６１】
シークライン（エッジ検出ライン）Ｌ１〜Ｌ４は、画像データＤ１〜Ｄ４の各々に対して、４本ずつ配置される。具体的には、シークラインＬ１〜Ｌ４は、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディ（リードを除く部分）の外形線に対して、直交するように配置される。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央が外形線に対して交差するように、シークラインＬ１〜Ｌ４は配置される。
【００６２】
本工程においては、続いて、ユーザが、図９に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、シークラインＬ１〜Ｌ４を最適化させる。
【００６３】
すなわち、４個の画像データＤ１〜Ｄ４のシークラインＬ１同士、シークラインＬ２同士、シークラインＬ３同士、シークラインＬ４同士の編集作業は、互いに関連付けられている。
【００６４】
例えば、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でクリックすると、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してクリックされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をクリックすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１を選択することができる。
【００６５】
また、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でドラッグすると、画像データＤ１のシークラインＬ１だけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してドラッグされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をドラッグすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１の長さを、同じだけ伸縮することができる。あるいは、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１の角度を、同じだけ変更することができる。
【００６６】
また、ユーザが、画像データＤ１のシークラインＬ１を、図２に示すマウス１２でクリックし、ドラッグ＆ドロップすると、画像データＤ１のシークラインＬ１だけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１も同期してクリック、ドラッグ＆ドロップされる。このように、単一の画像データＤ１のシークラインＬ１をクリックし、ドラッグ＆ドロップすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全てのシークラインＬ１を、同じだけ移動させることができる。
【００６７】
なお、上記編集作業は、単一のシークラインＬ１のみならず、複数のシークラインＬ１〜Ｌ４に対して（具体的には複数のシークラインＬ１〜Ｌ４をマウス１２で同時に選択して）、実行することができる。また、上記編集作業は、画像データＤ１以外の画像データＤ２〜Ｄ４のシークラインＬ１〜Ｌ４に対しても実行することができる。
【００６８】
ユーザは、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が直交するように、画面１３０において編集作業を行う。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央が外形線に対して交差するように、画面１３０において編集作業を行う。
【００６９】
ここで、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の外形線の一部は、各々、背景部Ｈと重なっている。部品Ｐａ１〜Ｐａ４と基板Ｂとのコントラストと比較して、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとのコントラストは小さい。このため、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と背景部Ｈとが重なる部分については、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定しにくい。
【００７０】
例えば、画像データＤ１に着目すると、部品Ｐａ１の下縁線（外形線の一部）は、背景部Ｈと重なっている。このため、シークラインＬ２を設定しにくい。しかしながら、画像データＤ２〜Ｄ４を見ると、部品Ｐａ２〜Ｐａ４の下縁線（外形線の一部）は、背景部Ｈと重なっていない。このため、シークラインＬ２を設定しやすい。このように、ユーザは、画像データＤ１の部品Ｐａ１のみではシークラインＬ２を設定しにくい場合であっても、画像データＤ２〜Ｄ４の部品Ｐａ２〜Ｐａ４を参照して、シークラインＬ２を設定することができる。
【００７１】
同様に、画像データＤ２の部品Ｐａ２の右縁線、画像データＤ３の部品Ｐａ３の左縁線、画像データＤ４の部品Ｐａ４の上縁線（いずれも外形線の一部）も、各々背景部Ｈと重なっている。しかしながら、他の画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を参照して、シークラインＬ１、Ｌ３、Ｌ４を設定することができる。
【００７２】
このように、本工程においては、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、シークラインＬ１〜Ｌ４を最適化させる。最適化されたシークラインＬ１〜Ｌ４が、テンプレートデータである。テンプレートデータは、図２に示す制御装置１４の記憶部１４１に格納される。
【００７３】
［検証工程］
検証工程は、検証用画面表示工程と、データ比較工程と、を有している。
【００７４】
（検証用画面表示工程）
本工程においては、前記データ収集工程において収集した８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８の中から、４個の画像データＤ５〜Ｄ８を、図２に示すモニタ１３の画面１３０に表示する。具体的には、まず、ユーザが、図２に示すキーボード１１で、図５に示す部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データの中から、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を選択する。図２に示す制御装置１４は、画面１３０に、８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８の画像データＤ１〜Ｄ８を表示する。次に、ユーザが、図２に示すマウス１２で、画像データＤ１〜Ｄ８の中から、テンプレートデータの作成に用いなかった画像データＤ５〜Ｄ８を、クリックする。図２に示す制御装置１４は、選択された画像データＤ５〜Ｄ８を、画面１３０に表示する。
【００７５】
図１０に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証用画面表示工程における画面の模式図を示す。図１０に示すように、画面１３０には、部品Ｐａ５の画像データＤ５、部品Ｐａ６の画像データＤ６、部品Ｐａ７の画像データＤ７、部品Ｐａ８の画像データＤ８が縦横に並べて配置されている。
【００７６】
図５に示すように、部品Ｐａ６の向きに対して、部品Ｐａ５は右に９０°、部品Ｐａ７は１８０°、部品Ｐａ８は左に９０°、各々回転して配置されている。図２に示す制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８（つまり画像データＤ５〜Ｄ８）の向きを揃えて、画面１３０に表示する。
【００７７】
（データ比較工程）
本工程においては、図１０に示す画面１３０に表示された４個の画像データＤ５〜Ｄ８と、図２に示す記憶部１４１に格納されたテンプレートデータと、を比較する。そして、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合する」と判断するか否かを試行する。
【００７８】
すなわち、テンプレートデータは、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を基に作成されている。このため、テンプレートデータが妥当であれば、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合する」と判断する。一方、テンプレートデータが妥当でなければ、演算部１４２が、「４個の画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合しない」と判断する。
【００７９】
図１１に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法のデータ比較工程第一段階における画面の模式図を示す。図１２に、同データ比較工程第二段階における画面の模式図を示す。
【００８０】
本工程においては、まず、図２に示す制御装置１４が、図１１に示すように、画像データＤ５〜Ｄ８の各々に、テンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）を表示する。
【００８１】
次に、図２に示す制御装置１４が、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。具体的には、図１２に示すように、制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が、できるだけ直交に近い状態で交差するように、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対してテンプレートデータを走査させる。また、制御装置１４は、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央にできるだけ近い位置が交差するように、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対してテンプレートデータを走査させる。
【００８２】
シークラインＬ１〜Ｌ４と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線と、の交差点の位置の判別は、画像データＤ５〜Ｄ８の輝度を基に行われる。すなわち、画像データＤ５〜Ｄ８中、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディが配置されている部分と、背景部Ｈが配置されている部分と、基板Ｂが配置されている部分と、では輝度が異なる。一例として、画像データＤ５の部品Ｐａ５のシークラインＬ１に着目すると、シークラインＬ１の右部分と左部分とでは、部品Ｐａ５のボディの左縁線を境に、輝度が著しく変化する。当該輝度の変化を基に、シークラインＬ１と、部品Ｐａ５のボディの左縁線と、の交差点の位置を判別する。
【００８３】
このように、本工程においては、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４が、できるだけ直交に近い状態で交差するように、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。また、部品Ｐａ５〜Ｐａ８のボディの外形線に対して、シークラインＬ１〜Ｌ４の長手方向中央にできるだけ近い位置が交差するように、テンプレートデータと、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と、の位置合わせを行う。
【００８４】
図２に示す記憶部１４１には、テンプレートデータと部品Ｐａ５〜Ｐａ８とのマッチングの判定基準が格納されている。演算部１４２は、当該判定基準と、画像データＤ５〜Ｄ８におけるテンプレートデータと部品Ｐａ５〜Ｐａ８とのマッチング状態と、を比較する。そして、画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合するか、画像データＤ５〜Ｄ８がテンプレートデータに適合しないか、を判断する。つまり、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、の異同を判断する。
【００８５】
ここで、テンプレートデータは、部品Ｐａ５〜Ｐａ８と同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４を基に作成されている。このため、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、が同一であると判断された場合、テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して、妥当性を有していることになる。つまり、当該テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８と同じ部品種の部品を探すテンプレートデータとして適当である。この場合は、当該テンプレートデータを、図２に示す基板外観検査機７に伝送し、記憶部７６１に格納する。基板外観検査機７は、格納されたテンプレートデータを用いて、基板Ｂの検査を行う。
【００８６】
これに対して、テンプレートデータの部品種と、部品Ｐａ５〜Ｐａ８の部品種と、が異なると判断された場合、テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に対しては妥当性を有しているものの、部品Ｐａ５〜Ｐａ８に対して、妥当性を有していないことになる。つまり、当該テンプレートデータは、部品Ｐａ１〜Ｐａ８と同じ部品種の部品を探すテンプレートデータとして不適当である。この場合は、再度、上記データ作成工程を実行する。すなわち、例えば部品Ｐａ３〜Ｐａ６を用いて、テンプレートデータを作り直す。
【００８７】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の作用効果について説明する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ作成工程により、同一の部品種の８個の部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して共用されるテンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）を作成することができる。
【００８８】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、作成したテンプレートデータの妥当性を、検証工程により、検証することができる。このため、適合度の高いテンプレートデータを簡単に作成することができる。
【００８９】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、４個の画像データＤ１〜Ｄ４を見比べながらテンプレートデータを作成することができる。このため、単一の画面１３０に単一の画像データＤ１〜Ｄ４しか表示されない場合と比較して、テンプレートデータを簡単に作成することができる。具体的には、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の外形線の一部が不鮮明な場合であっても、同じ部分が鮮明な他の画像データＤ１〜Ｄ４を基に、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定することができる。
【００９０】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、任意の画像データＤ１の編集作業の結果を、残りの全ての画像データＤ２〜Ｄ４に反映させることができる。このため、単一の画面１３０において、複数の画像データＤ１〜Ｄ４を一つずつ編集する場合と比較して、編集作業が簡単である。また、複数の画像データＤ１〜Ｄ４を一つずつ画面１３０に表示する場合と比較して、編集作業が簡単である。
【００９１】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程によると、単一の画面１３０において、編集作業の結果を確認することができる。このため、画面１３０の全ての画像データＤ１〜Ｄ４に対する編集作業の妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００９２】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証工程によると、テンプレートデータの妥当性を、画面１３０において確認することができる。すなわち、実際の基板Ｂにテンプレートデータを試用することなく、テンプレートデータの妥当性を確認することができる。また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の検証工程によると、単一の画面１３０において、複数の画像データＤ５〜Ｄ８にテンプレートデータを試用することができる。このため、テンプレートデータの妥当性を、俯瞰的に確認することができる。
【００９３】
また、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、データ比較工程においてテンプレートデータが不適当と判断された場合、再度、データ作成工程を実行し、テンプレートデータを作り直すことができる。
【００９４】
＜＜第二実施形態＞＞
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法と、第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法との相違点は、作成対象となるマスタデータが、テンプレートデータではなく、基板を検査する際の部品の検査領域である点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。なお、説明には、図２を援用する。
【００９５】
図１３に、本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第二段階における画面の模式図を示す。図１４に、同編集工程第三段階における画面の模式図を示す。なお、図８、図９と対応する部位については、同じ符号で示す。編集工程第一段階までの工程は、第一実施形態（図５〜図７参照）と同様である。
【００９６】
編集工程においては、ユーザが、図１３に示すように、検査領域の表示を、図２に示す制御装置１４に指示する。すなわち、画面１３０には、検査領域表示ボタン１３２が配置されている。ユーザが、図２に示すマウス１２で検査領域表示ボタン１３２をクリックすることにより、図１４に示すように、図２に示す制御装置１４が画面１３０に検査領域Ｒを表示する。検査領域Ｒは、本発明の「検査条件」の概念に含まれる。なお、検査領域Ｒは、基板検査の際、部品Ｐａ１〜Ｐａ４の向きを検査するために用いられる。
【００９７】
検査領域Ｒは、画像データＤ１〜Ｄ４の各々に対して、一つずつ配置される。具体的には、画像データＤ１〜Ｄ４の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａを、できるだけ囲むように、四角形の検査領域Ｒが配置される。
【００９８】
本工程においては、続いて、ユーザが、図１４に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４の４個の部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共用できるように、検査領域Ｒを最適化させる。すなわち、同じ部品種の部品Ｐａ１〜Ｐａ４の基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａの位置は、本来、一致しているはずである。しかしながら、基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａの位置が、部品Ｐａ１〜Ｐａ４間でずれている場合がある。このような場合であっても、基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａが検査領域Ｒに入るように、検査領域Ｒを編集する。
【００９９】
４個の画像データＤ１〜Ｄ４の検査領域Ｒの編集作業は、互いに関連付けられている。例えば、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でクリックすると、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してクリックされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをクリックすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒを選択することができる。
【０１００】
また、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でドラッグすると、画像データＤ１の検査領域Ｒだけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してドラッグされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをドラッグすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒのサイズを、同じだけ拡縮することができる。
【０１０１】
また、ユーザが、画像データＤ１の検査領域Ｒを、図２に示すマウス１２でクリックし、ドラッグ＆ドロップすると、画像データＤ１の検査領域Ｒだけでなく、画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒも同期してクリック、ドラッグ＆ドロップされる。このように、単一の画像データＤ１の検査領域Ｒをクリックし、ドラッグ＆ドロップすることにより、画像データＤ１〜Ｄ４全ての検査領域Ｒを、同じだけ移動させることができる。なお、上記編集作業は、画像データＤ１以外の画像データＤ２〜Ｄ４の検査領域Ｒに対しても実行することができる。最適化された検査領域Ｒは、図２に示す制御装置１４の記憶部１４１に格納される。
【０１０２】
編集工程後の検証工程においては、画面１３０に、同じ部品種の４個の部品を表示し、検査領域Ｒの平均輝度を基に、部品の向きを判別する。すなわち、検査領域Ｒ内に基準マークＰａ１ａ〜Ｐａ４ａが配置されている場合と、配置されていない場合とでは、検査領域Ｒの平均輝度が異なる。当該平均輝度の相違を基に、部品の向きを判別する。検査領域Ｒにより全部品の向きを判別できた場合、当該検査領域Ｒはマスタデータとして適当であることになる。この場合は、当該検査領域Ｒを、図２に示す基板外観検査機７に伝送し、記憶部７６１に格納する。基板外観検査機７は、格納された検査領域Ｒを用いて、基板Ｂの検査を行う。
【０１０３】
これに対して、検査領域Ｒにより全部品の向きを判別できなかった場合、当該検査領域Ｒはマスタデータとして不適当であることになる。この場合は、再度、上記データ作成工程を実行する。すなわち、部品Ｐａ１〜Ｐａ４と同じ部品種の部品を用いて、検査領域Ｒを作り直す。
【０１０４】
本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法と、第一実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法によると、同じ部品種の複数の部品Ｐａ１〜Ｐａ４において、検査領域Ｒを共用化することができる。
【０１０５】
＜＜その他＞＞
以上、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【０１０６】
画像データの取得方法は特に限定しない。例えば、上記実施形態においては、図５に示すように、教示用の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んだ。しかしながら、実際に生産中の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んでもよい。また、異なる基板種の複数の基板Ｂから、部品Ｐａ１〜Ｐａ８、Ｐｂ〜Ｐｅの画像データをサーバ１に取り込んでもよい。
【０１０７】
図６に示す画面１３０に、同じ基板種の異なる基板Ｂにおいて、同一座標に配置されている複数の部品を表示してもよい。こうすると、同一の画面１３０において、座標を基準に、部品の装着状態を見比べることができる。例えば、生産１枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産２枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産３枚目の基板Ｂの座標αの部品と、生産４枚目の基板Ｂの座標αの部品と、を見比べることができる。また、見比べながら画像データを編集することができる。
【０１０８】
上記実施形態においては、検証工程において不適当と判断されたマスタデータ（テンプレートデータ（シークラインＬ１〜Ｌ４）、検査領域Ｒ）を作り直した。しかしながら、マスタデータを補正してもよい。この場合、図６に示す画面１３０に、マスタデータと画像データとを表示し、双方のデータを見比べながらマスタデータを補正してもよい。こうすると、単一の画面１３０に画像データまたはマスタデータしか表示されない場合と比較して、マスタデータを簡単に補正することができる。
【０１０９】
サーバ１に対する入力方法は、特に限定しない。図２に示すキーボード１１、マウス１２、モニタの画面１３０（具体的にはタッチパネル）を用いればよい。エディタはサーバ１に格納しなくてもよい。例えば、エディタを基板外観検査機７の記憶部７６１に格納してもよい。この場合、サーバ１を用いずに、基板検査用マスタデータ作成方法を実行することができる。
【０１１０】
また、本発明の基板検査用マスタデータ作成方法は、電子部品実装機６で実行してもよい。並びに、基板Ｂの外観検査は、電子部品実装機６で実行してもよい。この場合、電子部品実装機６に着脱可能な二つの作業ヘッドを装着し、一方を部品を実装するための実装ヘッドとして、他方を基板Ｂを検査するための検査ヘッドとして用いてもよい。こうすると、実装直後の部品の画像データを取得することができる。また、実装直後の部品を即時検査することができる。このため、後工程に流れる不良基板の数を削減することができ、延いては歩留まりの悪化を防ぐことができる。
【０１１１】
上記実施形態においては、ユーザがマスタデータの編集作業を行ったが、制御装置１４が行ってもよい。また、編集作業の一部（例えば、照明パターンの選択など）だけを、制御装置１４が行ってもよい。
【０１１２】
また、マスタデータの種類は特に限定しない。例えば、部品Ｐａ１〜Ｐａ８のリードの検査（リードの湾曲程度、長さ、太さなどの検査）に関するデータであってもよい。また、取り込んだ画像データＤ１〜Ｄ８を何等加工せずに、そのままマスタデータとして用いてもよい。例えば、データ量は多くなるものの、実装された同一種の部品を順次撮像し、背景も含む取得した画像データの全数をマスタデータとしてもよい。また、各々の画像データ自体をマスタデータとしてもよい。また、各画像データの特徴部分だけをマスタデータとしてもよい。また、取得した画像データを一画面上に並べて表示し、複数の画像データの中から、明らかに装着不良であるもの、部品種が異なるもの、撮像不良であるものなど、容易にマスタデータになり得ないと判断可能な画像データを、削除してもよい。こうすると、データ量を削減することができる。
【０１１３】
また、画面１３０における画像データＤ１〜Ｄ８のサイズ、配置数、レイアウトは特に限定しない。画像データＤ１〜Ｄ８の配置数は、２個、３個、６個、８個などであってもよい。また、シークラインＬ１〜Ｌ４の本数、角度、間隔、長さ、太さなどは特に限定しない。例えば、部品Ｐａ１の左縁線に対して、複数のシークラインＬ１を並べて配置してもよい。
【０１１４】
また、図９に示すように、シークラインＬ１〜Ｌ４を設定する場合、背景部Ｈや隣接部品やリードなどの影響を受けずに設定可能であって、かつ複数の画像データＤ１〜Ｄ４において共用可能なシークラインＬ１〜Ｌ４を選定することもできる。図１５に、その他の実施形態の基板検査用マスタデータ作成方法の編集工程第三段階における画面の模式図を示す。なお、図９と対応する部位については、同じ符号で示す。図１５に示すように、画像データＤ１〜Ｄ４において、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線（外形線）は、背景部Ｈと重なっていない。また、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線付近には、隣接部品が配置されていない。また、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のボディの左縁線、右縁線には、リードが配置されていない。このため、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共通して、左縁線、右縁線のシークラインＬ１、Ｌ３は、鮮明である。したがって、部品Ｐａ１〜Ｐａ４に共通して、左縁線、右縁線のシークラインＬ１、Ｌ３は、テンプレートデータ作成用として好適である。この場合、図２に示すサーバ１は、部品Ｐａ１〜Ｐａ４のシークラインＬ１、Ｌ３を、枠Ｗなどを用いて、顕在化させることができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１：サーバ、２：照明装置、３：撮像装置、６：電子部品実装機、７：基板外観検査機、９：生産ライン。
１１：キーボード、１２：マウス、１３：モニタ、１４：制御装置、２０Ｄ：側射下段照明器、２０Ｍ：側射上段照明器、２０Ｕ：落射照明器、２１Ｄ：側射下段光、２１Ｍ：側射上段光、２１Ｕ：落射光、７２：ベース、７３：基板搬送装置、７４：ＸＹロボット、７５：検査ヘッド、７６：制御装置、７７：画像処理装置、９２：リフロー炉。
１３０：画面、１３０ａ〜１３０ｄ：照明ボタン、１３１：シークライン表示ボタン、１３２：検査領域表示ボタン、１４０：入出力インターフェイス、１４１：記憶部、１４２：演算部、２００Ｄ：光源、２００Ｍ：光源、２００Ｕ：光源、２０１Ｕ：ハーフミラー、７３０ｆ：コンベアベルト、７３０ｒ：コンベアベルト、７３１：搬送モータ、７４０：Ｙ軸スライド、７４１：Ｘ軸スライド、７４２：Ｙ軸下スライド、７４３ｆ：Ｘ軸下スライド、７４３ｒ：Ｘ軸下スライド、７４４：Ｘ軸ボールねじ部、７４５：Ｙ軸ボールねじ部、７４６：Ｘ軸モータ、７４７：Ｙ軸モータ、７５０：フレーム、７５０Ｄ：ブラケット、７５０Ｍ：ブラケット、７５０Ｕ：ブラケット、７６０：入出力インターフェイス、７６１：記憶部、７６２：演算部。
Ｂ：基板、Ｂ１：撮像エリア、Ｄ１〜Ｄ８：画像データ、Ｈ：背景部、Ｌ１〜Ｌ４：シークライン（テンプレートデータ）、Ｐａ１ａ〜Ｐａ４ａ：基準マーク、Ｐａ１〜Ｐａ８：部品、Ｒ：検査領域（検査条件）、Ｗ：枠、θＤ：入射角、θＭ：入射角、θＵ：入射角。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を実装した基板を検査する際に用いられ、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成するデータ作成工程と、
該基板を検査して、作成した該マスタデータの妥当性を検証する検証工程と、
を有する基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項２】
前記データ作成工程は、
複数の前記部品の画像データを収集するデータ収集工程と、
収集した複数の該画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する画面表示工程と、
少なくとも二つの該画像データを表示しながら、前記マスタデータを作成する編集工程と、
を有する請求項１に記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項３】
前記検証工程は、
収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する検証用画面表示工程と、
表示された複数の該画像データと、前記マスタデータと、を比較するデータ比較工程と、
を有する請求項１または請求項２に記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項４】
前記マスタデータは、前記基板を検査する際に部品種の同一性の判別に用いられるテンプレートデータである請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項５】
前記マスタデータは、前記基板を検査する際の前記部品の検査条件である請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項１】
部品を実装した基板を検査する際に用いられ、複数の部品に対して共用されるマスタデータを作成するデータ作成工程と、
該基板を検査して、作成した該マスタデータの妥当性を検証する検証工程と、
を有する基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項２】
前記データ作成工程は、
複数の前記部品の画像データを収集するデータ収集工程と、
収集した複数の該画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する画面表示工程と、
少なくとも二つの該画像データを表示しながら、前記マスタデータを作成する編集工程と、
を有する請求項１に記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項３】
前記検証工程は、
収集した複数の前記画像データのうち、少なくとも二つの該画像データを、単一の画面に表示する検証用画面表示工程と、
表示された複数の該画像データと、前記マスタデータと、を比較するデータ比較工程と、
を有する請求項１または請求項２に記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項４】
前記マスタデータは、前記基板を検査する際に部品種の同一性の判別に用いられるテンプレートデータである請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【請求項５】
前記マスタデータは、前記基板を検査する際の前記部品の検査条件である請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板検査用マスタデータ作成方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１３−４４６６３（Ｐ２０１３−４４６６３Ａ）
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８３５９４（Ｐ２０１１−１８３５９４）
【出願日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
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