基板移載装置
【課題】簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた凸状の支持部に基板を支持させることができる基板移載装置を得る。
【解決手段】第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。さらに、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる。また、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。これにより、ベルトコンベア２６と基板１２とは分離（離間）する。このように、リフター３６が搬送パレット１８を上昇させるという簡易な構成で、搬送パレット１８に設けられた支持部２０に基板１２が支持される（載せられる）。
【解決手段】第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。さらに、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる。また、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。これにより、ベルトコンベア２６と基板１２とは分離（離間）する。このように、リフター３６が搬送パレット１８を上昇させるという簡易な構成で、搬送パレット１８に設けられた支持部２０に基板１２が支持される（載せられる）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のプリント板支持冶具（基板搬送部材）には、プリント板を下から支持する凸状の支持部が複数個設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２９７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた支持部に基板を支持させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に基板移載装置は、基板の搬送方向上流側の第一搬送装置から搬送される前記基板の搬送経路の下に、前記基板を下側から支持する支持部を備えた基板搬送部材を移動させる第一移動部材と、前記第一移動部材に設けられ、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を受け取る第一受取部材と、前記第一移動部材によって前記基板の搬送経路の下に移動した前記基板搬送部材を上昇させて、前記基板搬送部材に設けられた前記支持部で前記第一受取部材が受け取った前記基板を支持させる上昇手段と、前記第一移動部材に設けられ、前記上昇手段によって上昇した前記基板搬送部材を基板の搬送方向下流側の第二搬送装置に受け渡す第一受渡部材と、下記（１）または（２）のように制御する第一制御部と、を備えることを特徴とする。
（１）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから前記上昇手段により前記基板搬送部材を上昇させて前記支持部が前記基板を支持した状態で、前記第一受渡部材が前記基板搬送部材を前記第二搬送装置に受け渡す
（２）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取り、前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡す
本発明の請求項２に係る基板移載装置は、請求項１に記載の基板移載装置において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、前記第一制御部は、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから、前記第一移動部材を幅方向に移動させて前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とを対応させてから前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項３に係る基板移載装置は、請求項１又は２の何れか１項に記載の基板移載装置において、前記基板を支持しながら前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を受け取る第二受取部材と、前記第二受取部材が受け取った前記基板搬送部材を下降させる下降手段と、前記下降手段によって下降する前記基板搬送部材に支持された前記基板を支持して前記基板搬送部材と前記基板とを離間させると共に、離間した前記基板を前記基板の搬送方向下流側の第三搬送装置に受け渡す第二受渡部材と、前記第二受取部材と前記第二受渡部材とを備えると共に、前記基板から離間した前記基板搬送部材を前記基板の搬送経路から退避させる第二移動部材と、を備え、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を前記第二受取部材が受け取ってから前記下降手段により前記基板搬送部材を下降させて前記基板搬送部材が前記基板から離間した状態で、前記第二受渡部材が前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する第二制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項４に係る基板移載装置は、請求項３に記載において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取り、前記第二受渡部材が受け取った基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項５に係る基板移載装置は、請求項３又は４に記載において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第二受取部材の幅方向の位置と前記第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取ってから、前記第二移動部材を幅方向に移動させて前記第三搬送装置の幅方向の位置と前記第二受渡部材の幅方向の位置とを対応させてから前記第二受渡部材が受け取った前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項６に係る基板移載装置は、請求項３〜５の何れか１項に記載において、前記第二移動部材によって前記基板の搬送経路から退避された前記基板搬送部材を、前記第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１の基板移載装置によれば、基板搬送部材を上昇させて、基板搬送部材に設けられた支持部で基板を支持させる上昇手段が設けられていない場合と比して、簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた凸状の支持部に基板を支持させることができる（載せることができる）。また、全ての基板を基板搬送部材に載せて搬送する構成と比して、基板搬送部材を必要としない基板を搬送する場合には、基板を基板搬送部材に載せる工程を無くすことができる。
【００１１】
本発明の請求項２の基板移載装置によれば、基板を第一受取部材が受け取った状態で、第一移動部材が幅方向に移動しない場合と比して、第一受取部材の幅方向の位置と第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合でも基板を基板搬送部材に載せる工程を無くすことができる。
【００１２】
本発明の請求項３の基板移載装置によれば、第二受取部材が受け取った基板搬送部材を下降手段が下降させて第二受渡部材で基板を支持させる構成を有さない場合と比して、簡易な構成で、基板を基板搬送部材から分離（離間）させることができる（基板搬送部材を降ろすことができる）。
【００１３】
本発明の請求項４の基板移載装置によれば、全ての基板を基板搬送部材に載せて搬送する構成と比して、基板搬送部材を必要としない基板を搬送する場合には、基板を基板搬送部材から分離（離間）する工程を無くすことができる。
【００１４】
本発明の請求項５の基板移載装置によれば、基板を第二受渡部材が受け取った状態で、第二移動部材が幅方向に移動しない場合と比して、第二受取部材の幅方向の位置と第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合でも基板を基板搬送部材から分離（離間）する工程を無くすことができる。
【００１５】
本発明の請求項６の基板移載装置によれば、第二移動部材によって基板の搬送経路から退避された基板搬送部材を、第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられていない場合と比して、基板搬送部材を再利用することができる（使い回すことができる）。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図２】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図４】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図５】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図６】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図８】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図９】本実施形態に係る基板移載装置が用いられる全体工程を示した工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態に係る基板移載装置の一例について図１〜図９に従って説明する。なお、図中に示す矢印ＵＰは、鉛直方向上方を示す。
【００１８】
（全体構成）
図９に示されるように、基板１２（図１参照）に電子部品（例えば、チップ等）を実装（マウント）してハンダ付けする場合には、先ず、工程１００では、基板１２にクリームハンダがスクリーン印刷により塗布される。
【００１９】
次に、工程２００（チップマウント工程）では、クリームハンダが塗布された基板１２に電子部品（チップ）が実装（マウント）される。より具体的には、電子部品実装装置を用いて、電子部品が、基板１２のパッド上に塗布されたクリームハンダ上に電子部品の端子が位置するように基板１２に置かれる。
【００２０】
次に、工程３００（ハンダ付け工程）では、電子部品が実装された基板１２がリフロー炉１４内に搬送され、リフロー炉１４の熱により、クリームハンダが溶融して電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００２１】
次に、工程４００（検査工程）では、リフロー炉１４内から搬送された基板１２の外観（ハンダ付け状態等）を検査する。
【００２２】
ここで、工程２００と工程３００との間には、基板１２を上流工程の搬送装置から下流工程の搬送装置に載せ換える基板移載工程２５０が設けられ、工程３００と工程４００との間には、基板１２を上流工程の搬送装置から下流工程の搬送装置に載せ換える基板移載工程３５０が設けられている。本実施形態に係る基板移載装置１０は、主に、この基板移載工程２５０及び基板移載工程３５０で用いられる。
【００２３】
（要部構成）
〔搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合〕
先ず、工程３００（図９参照）で基板１２を搬送する際に、基板搬送部材の一例としての搬送パレット１８（図１（Ｂ）参照）を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合について、基板移載工程２５０で用いられる構成（図９に示すＡ部の構成）について説明する。
【００２４】
図２には、各工程における基板移載装置１０の平面図が示され、図１には、各工程における基板移載装置１０の断面図が示されている。
【００２５】
図１（Ａ）、図２に示されるように、基板１２に電子部品（図示省略）が実装される工程２００（図９参照）では、基板１２の搬送方向（図中矢印Ｋ方向、以下単に「搬送方向」と言う）に基板１２を搬送する第一搬送装置の一例としての一対のベルトコンベア１６が設けられている。一対のベルトコンベア１６は、ローラ等を用いて無端状のベルトが回転する一般的なものであり、基板１２の幅方向両端側を支持しながら基板１２を搬送方向下流側に搬送するようになっている。なお、以下の説明では、平面視で基板１２の搬送方向に対して直交する方向を幅方向と称する。ここで、平面視とは、図９に示したように、基板移載装置１０を真上から見下ろした場合のことを意味する。
【００２６】
さらに、図１（Ｂ）、図２に示されるように、基板１２を移載する工程２５０（図９参照）には、ベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路の下に、基板１２を下側から支持する搬送パレット１８を移動させる第一移動部材２２が設けられている。
【００２７】
詳細には、第一移動部材２２は、搬送パレット１８等を内部に保持する本体部３０と、本体部３０を搬送方向に対して交差（直交）する方向に移動可能にするコロ３２とを備えている。さらに、本体部３０は、搬送方向から見て上方が開放されたコ字状とされ、側板３０Ａと底板３０Ｂとで構成されている。
【００２８】
また、第一移動部材２２は、基板１２を移載するための移載位置（図９に示す実線）と、基板１２の搬送経路から退避する退避位置（図９に示す破線）との間を図示せぬ駆動部材（例えば、コロ３２に駆動力を与える正逆転モータ等）から駆動力をうけて往復移動可能とされている。
【００２９】
さらに、この第一移動部材２２の内部には、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２を受け取る第一受取部材の一例としての一対のベルトコンベア２６が設けられている。
【００３０】
具体的には、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）は、一対のベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ａ）に示す寸法Ｄ）と同等とされている。そして、第一移動部材２２が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とは直線状に配置されるようになっている。さらに、ベルトコンベア１６とベルトコンベア２６との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア１６の回転駆動と同期してベルトコンベア２６が回転することで、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取るようになっている。
【００３１】
さらに、この第一移動部材２２の内部には、前述した搬送パレット１８が設けられ、この搬送パレット１８は、搬送方向から見ると上方が開放されたコ字状とされ、搬送パレット１８の底板１８Ａには、鉛直方向に延びる支持部２０の基端部が固定されている。また、搬送パレット１８の開放縁部には、幅方向外側に突出する鍔部１８Ｂが設けられている。
【００３２】
さらに、搬送パレット１８の鍔部１８Ｂが載せられると共に、回転駆動して搬送パレット１８を後工程へ搬送する（受け渡す）第一受渡部材の一例としての一対のベルトコンベア２８が搬送方向に延びて設けられている。具体的には、一対のベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）は、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）より大きくされている。そして、図２に示されるように、平面視で、ベルトコンベア２８は、ベルトコンベア２６と重ならないように配置されている。
【００３３】
また、図１（Ｂ）に示されるように、搬送パレット１８の底板１８Ａと第一移動部材２２の底板３０Ｂとの間には、搬送パレット１８を上昇させて、搬送パレット１８に設けられた支持部２０の先端部で基板１２を支持させる上昇手段の一例としてのリフター３６が設けられている。より具体的には、リフター３６の駆動源として油圧または空気圧シリンダを用いる場合は、一対のベルトコンベア２８を支持する図示しない支持フレームの下面にシリンダロッドを固定し、底板３０Ｂの上面にシリンダ本体を固定する。なお、本実施例では、リフター３６は、搬送パレット１８を上昇させるのに伴なってベルトコンベア２８も同様に上昇させるようになっている。また、本実施形態では、リフター３６を第一移動部材２２の内部に設けたが、リフターを第一移動部材２２の外部、例えば、床面等に固定してもよい。
【００３４】
一方、図１（Ｃ）、図２に示されるように、リフロー炉１４内には、搬送方向に延びる第二搬送装置の一例としての一対のベルトコンベア４０が設けられている。
【００３５】
一対のベルトコンベア４０は、固定された一方のベルトコンベア４０Ａと、幅方向に移動可能とされた他方のベルトコンベア４０Ｂとを備えている。そして、図２に示されるように、搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送する場合には、平面視で、ベルトコンベア４０とベルトコンベア２８とは直線状に配置される。一方、図６に示されるように、搬送パレット１８を用いずに基板１２を搬送する場合には、他方のベルトコンベア４０Ｂを移動させて、一対のベルトコンベア４０の幅寸法は、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされる。
【００３６】
そして、図２に示されるように、搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送する場合には、ベルトコンベア４０の回転駆動と同期してベルトコンベア２８が回転することで、ベルトコンベア２８によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４０が受け取るようになっている。
【００３７】
また、このように、ベルトコンベア４０が搬送パレット１８を搬送するように設定されている場合に、ベルトコンベア１６から搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取ってからリフター３６により搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持した状態で、ベルトコンベア２８が搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すように制御する第一制御部３８が設けられている。
【００３８】
具体的には、図１、図２に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、第一移動部材２２を制御して第一移動部材２２を移載位置へ移動した後、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる。次に、第一制御部３８は、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２８の回転駆動を制御して、搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すようになっている。
【００３９】
次に、図９に示されるように、搬送パレット１８に支持されながらリフロー炉１４内を搬送された基板１２を移載する基板移載工程３５０で用いられる構成（図９に示すＢ部の構成）について説明する。
【００４０】
さらに、図３（Ｂ）、図４に示されるように、基板１２を移載する工程３５０（図９参照）には、ベルトコンベア４０（図３（Ａ）参照）により搬送される搬送パレット１８の搬送経路に、搬送パレット１８を受け取る第二受取部材の一例としての一対のベルトコンベア４２を備えた第二移動部材４４が配置されている。
【００４１】
詳細には、第二移動部材４４は、ベルトコンベア４２等を内部に上下動可能に保持する本体部４６と、本体部４６を搬送方向に対して交差（直交）する方向に移動可能するコロ４８とを備えている。さらに、本体部４６は、搬送方向から見て上方が開放されたコ字状とされ、側板４６Ａと底板４６Ｂとで構成されている。
【００４２】
また、第二移動部材４４は、基板１２を移載するための移載位置（図９に示す実線）と、基板１２の搬送経路から退避する退避位置（図９に示す破線）との間を図示せぬ駆動部材（例えば、コロ４８に駆動力を与える正逆転モータ等）から駆動力をうけて往復移動可能とされている。
【００４３】
詳細には、前述したベルトコンベア４２は、第二移動部材４４の内部に設けられ、一対のベルトコンベア４２の幅寸法（図３（Ｂ）に示す寸法Ｆ）は、一対のベルトコンベア４０の幅寸法と同等とされている。そして、第二移動部材４４が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア４０とベルトコンベア４２とは直線状に配置されるようになっている。
【００４４】
さらに、ベルトコンベア４２とベルトコンベア４０との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア４０の回転駆動と同期してベルトコンベア４２が回転することで、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２が受け取るようになっている。
【００４５】
また、図３（Ｂ）に示されるように、ベルトコンベア４２が受け取った搬送パレット１８の底板１８Ａと第二移動部材４４の底板４６Ｂとの間には、搬送パレット１８を下降させる下降手段の一例としてのリフター５０が設けられている。より具体的には、リフター５０の駆動源として油圧または空気圧シリンダを用いる場合は、一対のベルトコンベア４２を支持する図示しない支持フレームの下面にシリンダロッドを固定し、底板４６Ｂの上面にシリンダ本体を固定する。なお、本実施例では、リフター５０は、搬送パレット１８を下降させるのに伴なってベルトコンベア４２も同様に下降させるようになっている。また、本実施形態では、リフター５０を第二移動部材４４の内部に設けたが、リフターを第二移動部材４４の外部、例えば、床面等に固定してもよい。
【００４６】
さらに、第二移動部材４４の内部には、リフター５０によって下降する搬送パレット１８に支持されていた基板１２を受け取って、搬送パレット１８の支持部２０と基板１２とを分離（離間）させる第二受取部材の一例としての一対のベルトコンベア５２が設けられている。そして、図３（Ｃ）、図４に示されるように、ベルトコンベア５２は、基板１２を工程４００に設けられた第三搬送手段の一例としての一対のベルトコンベア５４に受け渡すようになっている。
【００４７】
詳細には、一対のベルトコンベア５２の幅寸法（図３（Ｂ）に示す寸法Ｇ）と一対のベルトコンベア５４の幅寸法（図３（Ｃ）に示す寸法Ｈ）は、一対のベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ａ）に示す寸法Ｄ）及び一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている。そして、第二移動部材４４が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とは直線状に配置されるようになっている。
【００４８】
さらに、ベルトコンベア５２とベルトコンベア５４との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア５４の回転駆動と同期してベルトコンベア５２が回転することで、ベルトコンベア５２が基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すようになっている。
【００４９】
また、このように、ベルトコンベア４０が搬送パレット１８を搬送するように設定されている場合に、ベルトコンベア４０から搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２が受け取ってからリフター５０により搬送パレット１８を下降させて搬送パレット１８が基板１２から離間してベルトコンベア５２が基板１２を支持した状態で、ベルトコンベア５２が基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すように制御する第二制御部５６が設けられている。
【００５０】
具体的には、図３、図４に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第二制御部５６は、第二移動部材４４を制御して第二移動部材４４を移載位置へ移動した後、ベルトコンベア４２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２に受け取らせる。次に、第二制御部５６は、リフター５０を制御して搬送パレット１８を下降させてベルトコンベア５２で基板１２を支持させる。次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す。
【００５１】
一方、図９に示されるように、基板移載装置１０には、退避位置に配置される第二移動部材４４（図９破線参照）に支持された搬送パレット１８を退避位置に配置される第一移動部材２２（図９破線参照）に引き渡す引渡装置５８が設けられている。
【００５２】
〔搬送パレット１８を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合〕
次に、工程３００で基板を搬送する際に、搬送パレット１８（図１（Ｂ）参照）を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合について、基板移載工程２５０で用いられる構成（図９に示すＡ部の構成）について図５〜図８を用いて説明する。尚、図６の中央には第一移動部材２２が左右２つ並んで図示されているが、説明を分かりやすくするために第一移動部材２２の２つの状態を対比し易くしたものである。このため、実際には、第一移動部材は、図６の中央に図示されたように並んで存在しているのではなく、移載位置において左右２つの内いずれか一方の状態にある。図８も同様である。すなわち、図８の中央には第二移動部材４４が左右２つ並んで図示されているが、説明を分かりやすくするために第二移動部材４４の２つの状態を対比し易くしたものである。このため、実際には、第二移動部材は、図８の中央に図示されたように並んで存在しているのではなく、移載位置において左右２つの内いずれか一方の状態にある。 図５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）、図６に示されるように、第一制御部３８は、ベルトコンベア１６から搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取ってから、第一移動部材２２を幅方向に移動させる。ベルトコンベア２６の幅方向の位置とベルトコンベア４０の幅方向の位置とが対応してから、ベルトコンベア２６が受け取った基板１２をベルトコンベア４０に受け渡すように制御するようになっている。
【００５３】
具体的には、図５、図６に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる。次に、第一制御部材３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（図５（Ｂ）の上の図、第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。次に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア２６とベルトコンベア４０とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる（図５（Ｂ）の下の図、第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア４０に受け渡すようになっている（図５（Ｃ）、第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００５４】
次に、図９に示されるように、搬送パレット１８に支持されながらリフロー炉１４内を搬送された基板１２を移載する基板移載工程３５０で用いられる構成（図９に示すＢ部の構成）について説明する。
【００５５】
図７（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）、図８に示されるように、第二制御部５６は、ベルトコンベア４０から搬送された基板１２をベルトコンベア５２が受け取ってから、第一移動部材２２を幅方向に移動させる。そして、ベルトコンベア５２の幅方向の位置とベルトコンベア５４の幅方向の位置とが対応してから、ベルトコンベア５２が受け取った基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すように制御するようになっている。
【００５６】
具体的には、図７（Ａ）、図８に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている場合には、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア５２とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる。次に、第二制御部材５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された基板１２をベルトコンベア５２に受け取らせる（図７（Ｂ）の上の図、第二移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。次に、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる（図７（Ｂ）の下の図、第二移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すようになっている（図７（Ｃ）、第二移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００５７】
なお、第一制御部３８及び第二制御部５６以外の制御については、搬送パレット１８の使用の要否に関わらず共通の制御であり、図示せぬ共通の制御部が制御するものである。
（要部構成の作用）
次に、基板移載装置１０の作用について説明する。
【００５８】
〔搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合〕
図１（Ａ）（Ｂ）、図２に示されるように、工程２００（図９参照）で電子部品が実装されてベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。つまり、第一制御部３８は、第一移動部材２２を移載位置に移動する。
【００５９】
さらに、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（図１（Ｂ）上の図）。
【００６０】
また、第一制御部３８は、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。これにより、ベルトコンベア２６と基板１２とは分離（離間）する（図１（Ｂ）下の図）。
【００６１】
さらに、第一制御部３８は、ベルトコンベア２８の回転駆動を制御して、搬送パレット１８をリフロー炉１４に設けられたベルトコンベア４０に受け渡す（図１（Ｃ））。
【００６２】
搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すと、第一移動部材２２は、第一制御部３８によって制御されて、移載位置（図９の実線参照）から退避位置（図９の破線参照）へ移動する。
【００６３】
図１（Ｃ）、図２に示されるように、リフロー炉１４内をベルトコンベア４０で搬送されることで、搬送パレット１８の支持部２０に支持された基板１２に実装された電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００６４】
図３（Ａ）（Ｂ）、図４に示されるように、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア４２とが直線状に配置されるように、第二移動部材４４を移動する。つまり、第二制御部５６は、第二移動部材４４を移載位置に移動する（図４）。
【００６５】
さらに、第二制御部５６は、移載位置に移動した第二移動部材４４に備えられたベルトコンベア４２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２に受け取らせる（図３（Ｂ）上の図）。
【００６６】
さらに、第二制御部５６は、リフター５０を制御して搬送パレット１８を下降させてベルトコンベア５２で基板１２を支持させる。これにより、搬送パレット１８と基板１２とは分離（離間）する（図３（Ｂ）下の図）。
【００６７】
また、図３（Ｂ）（Ｃ）、図４に示されるように、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す。
【００６８】
基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すと、搬送パレット１８を支持する第二移動部材４４は、移載位置（図９の実線参照）から退避位置（図９の破線参照）へ移動する。
【００６９】
図９に示されるように、引渡装置５８は、退避位置に配置される第二移動部材４４（図９破線参照）に支持された搬送パレット１８を退避位置に配置される第一移動部材２２（図９破線参照）に引き渡す。
【００７０】
〔搬送パレット１８を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合〕
図５（Ａ）（Ｂ）、図６に示されるように、工程２００（図９参照）で電子部品が実装されてベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。つまり、第一制御部３８は、第一移動部材２２を移載位置に移動する（第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。なお、搬送パレット１８を用いないため、第一移動部材２２の内部には搬送パレット１８が設けられていない。
【００７１】
さらに、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。
【００７２】
次に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア２６とベルトコンベア４０とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動する（第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００７３】
次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア４０に受け渡す（第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００７４】
図５（Ｃ）、図６に示されるように、リフロー炉１４内をベルトコンベア４０で搬送されることで、基板１２に実装された電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００７５】
図７（Ａ）（Ｂ）、図８に示されるように、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア５２とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる（第一移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。
【００７６】
次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された基板１２をベルトコンベア５２に受け取らせる（第一移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。
【００７７】
次に、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる（第一移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００７８】
次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す（第一移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００７９】
以上説明したように、リフター３６が搬送パレット１８を上昇させるという簡易な構成で、搬送パレット１８に設けられた支持部２０に基板１２が支持される（載せられる）。
【００８０】
また、リフター５０が搬送パレット１８を下降させることで、簡易な構成で、基板１２が搬送パレット１８から離間する（基板１２の搬送パレット１８による支持が解除される）。
【００８１】
また、搬送パレット１８を用いない設定の場合には、搬送パレット１８を用いることなく、基板１２がリフロー炉１４内を搬送されるため、基板１２を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。つまり、厚さが厚い基板は、薄い基板に比べて、剛性が高いため、リフロー炉の熱による基板の反りが小さいので、厚さが厚い基板を搬送する場合には、搬送パレットを用いる必要が無い。このように、厚い基板の場合には、基板を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。
【００８２】
また、基板１２を受け取った後、第一移動部材２２及び第二移動部材４４を移動させることで、一方のベルトコンベア４０Ａを固定し、他方のベルトコンベア４０Ｂを幅方向に移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６の幅寸法と同等にした場合でも、基板１２を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。
【００８３】
また、引渡装置５８が、第二移動部材４４によって基板１２の搬送経路から退避された搬送パレット１８を退避位置に移動した第二移動部材４４から受取り、退避位置に移動した第一移動部材２２に引き渡す。このため、搬送パレット１８が再利用される（使い回される）。引渡装置５８は、例えば、ローラ等を用いて無端状のベルトが回転する一般的な一対のベルトコンベアを採用することができる。この場合、ベルトコンベアの幅および高さは、搬送パレット１８を搬送できる幅および高さにする。そして、搬送パレット１８を待避位置の第二移動部材４４から引渡装置５８に移載する場合は、ベルトコンベア４２および引渡装置５８のベルトコンベアを動作させる。また、搬送パレット１８を引渡装置５８から待避位置の第一移動部材２２に移載する場合は、ベルトコンベア２８および引渡装置５８のベルトコンベアを動作させる。
【００８４】
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。
【００８５】
例えば、上記実施形態では、一方のベルトコンベア４０Ａを固定し、他方のベルトコンベア４０Ｂを幅方向に移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６、５４の幅寸法と同等したが、両方のベルトコンベアを移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６、５４の幅寸法と同等し、さらに、一対のベルトコンベア４０の幅方向の位置と一対のベルトコンベア１６、５４の幅方向の位置とを対応させてもてもよい。この場合には、基板１２を受け取った後、第一移動部材２２及び第二移動部材４４の移動が無くなる。
【００８６】
また、上記実施形態では、図５および図７の状態において、搬送パレット１８が無い状態を示したが、搬送パレット１８は使わないので、搬送パレット１８があっても良い。
【符号の説明】
【００８７】
１０ 基板移載装置
１２ 基板
１６ ベルトコンベア（第一搬送装置の一例）
１８ 搬送パレット（基板搬送部材の一例）
２０ 支持部
２２ 第一移動部材
２６ ベルトコンベア（第一受取部材の一例）
２８ ベルトコンベア（第一受渡部材の一例）
３６ リフター（上昇手段の一例）
３８ 第一制御部
４０ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４０Ａ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４０Ｂ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４２ ベルトコンベア（第二受取部材の一例）
４４ 第二移動部材
５０ リフター（下降手段）
５２ ベルトコンベア（第二受渡部材の一例）
５４ ベルトコンベア（第三搬送装置の一例）
５６ 第二制御部
５８ 引渡装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のプリント板支持冶具（基板搬送部材）には、プリント板を下から支持する凸状の支持部が複数個設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２９７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた支持部に基板を支持させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に基板移載装置は、基板の搬送方向上流側の第一搬送装置から搬送される前記基板の搬送経路の下に、前記基板を下側から支持する支持部を備えた基板搬送部材を移動させる第一移動部材と、前記第一移動部材に設けられ、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を受け取る第一受取部材と、前記第一移動部材によって前記基板の搬送経路の下に移動した前記基板搬送部材を上昇させて、前記基板搬送部材に設けられた前記支持部で前記第一受取部材が受け取った前記基板を支持させる上昇手段と、前記第一移動部材に設けられ、前記上昇手段によって上昇した前記基板搬送部材を基板の搬送方向下流側の第二搬送装置に受け渡す第一受渡部材と、下記（１）または（２）のように制御する第一制御部と、を備えることを特徴とする。
（１）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから前記上昇手段により前記基板搬送部材を上昇させて前記支持部が前記基板を支持した状態で、前記第一受渡部材が前記基板搬送部材を前記第二搬送装置に受け渡す
（２）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取り、前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡す
本発明の請求項２に係る基板移載装置は、請求項１に記載の基板移載装置において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、前記第一制御部は、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから、前記第一移動部材を幅方向に移動させて前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とを対応させてから前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項３に係る基板移載装置は、請求項１又は２の何れか１項に記載の基板移載装置において、前記基板を支持しながら前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を受け取る第二受取部材と、前記第二受取部材が受け取った前記基板搬送部材を下降させる下降手段と、前記下降手段によって下降する前記基板搬送部材に支持された前記基板を支持して前記基板搬送部材と前記基板とを離間させると共に、離間した前記基板を前記基板の搬送方向下流側の第三搬送装置に受け渡す第二受渡部材と、前記第二受取部材と前記第二受渡部材とを備えると共に、前記基板から離間した前記基板搬送部材を前記基板の搬送経路から退避させる第二移動部材と、を備え、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を前記第二受取部材が受け取ってから前記下降手段により前記基板搬送部材を下降させて前記基板搬送部材が前記基板から離間した状態で、前記第二受渡部材が前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する第二制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項４に係る基板移載装置は、請求項３に記載において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取り、前記第二受渡部材が受け取った基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項５に係る基板移載装置は、請求項３又は４に記載において、前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第二受取部材の幅方向の位置と前記第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取ってから、前記第二移動部材を幅方向に移動させて前記第三搬送装置の幅方向の位置と前記第二受渡部材の幅方向の位置とを対応させてから前記第二受渡部材が受け取った前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御することを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項６に係る基板移載装置は、請求項３〜５の何れか１項に記載において、前記第二移動部材によって前記基板の搬送経路から退避された前記基板搬送部材を、前記第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１の基板移載装置によれば、基板搬送部材を上昇させて、基板搬送部材に設けられた支持部で基板を支持させる上昇手段が設けられていない場合と比して、簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた凸状の支持部に基板を支持させることができる（載せることができる）。また、全ての基板を基板搬送部材に載せて搬送する構成と比して、基板搬送部材を必要としない基板を搬送する場合には、基板を基板搬送部材に載せる工程を無くすことができる。
【００１１】
本発明の請求項２の基板移載装置によれば、基板を第一受取部材が受け取った状態で、第一移動部材が幅方向に移動しない場合と比して、第一受取部材の幅方向の位置と第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合でも基板を基板搬送部材に載せる工程を無くすことができる。
【００１２】
本発明の請求項３の基板移載装置によれば、第二受取部材が受け取った基板搬送部材を下降手段が下降させて第二受渡部材で基板を支持させる構成を有さない場合と比して、簡易な構成で、基板を基板搬送部材から分離（離間）させることができる（基板搬送部材を降ろすことができる）。
【００１３】
本発明の請求項４の基板移載装置によれば、全ての基板を基板搬送部材に載せて搬送する構成と比して、基板搬送部材を必要としない基板を搬送する場合には、基板を基板搬送部材から分離（離間）する工程を無くすことができる。
【００１４】
本発明の請求項５の基板移載装置によれば、基板を第二受渡部材が受け取った状態で、第二移動部材が幅方向に移動しない場合と比して、第二受取部材の幅方向の位置と第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合でも基板を基板搬送部材から分離（離間）する工程を無くすことができる。
【００１５】
本発明の請求項６の基板移載装置によれば、第二移動部材によって基板の搬送経路から退避された基板搬送部材を、第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられていない場合と比して、基板搬送部材を再利用することができる（使い回すことができる）。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図２】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図４】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図５】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図６】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本実施形態に係る基板移載装置を示した断面図である。
【図８】本実施形態に係る基板移載装置を示した平面図である。
【図９】本実施形態に係る基板移載装置が用いられる全体工程を示した工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態に係る基板移載装置の一例について図１〜図９に従って説明する。なお、図中に示す矢印ＵＰは、鉛直方向上方を示す。
【００１８】
（全体構成）
図９に示されるように、基板１２（図１参照）に電子部品（例えば、チップ等）を実装（マウント）してハンダ付けする場合には、先ず、工程１００では、基板１２にクリームハンダがスクリーン印刷により塗布される。
【００１９】
次に、工程２００（チップマウント工程）では、クリームハンダが塗布された基板１２に電子部品（チップ）が実装（マウント）される。より具体的には、電子部品実装装置を用いて、電子部品が、基板１２のパッド上に塗布されたクリームハンダ上に電子部品の端子が位置するように基板１２に置かれる。
【００２０】
次に、工程３００（ハンダ付け工程）では、電子部品が実装された基板１２がリフロー炉１４内に搬送され、リフロー炉１４の熱により、クリームハンダが溶融して電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００２１】
次に、工程４００（検査工程）では、リフロー炉１４内から搬送された基板１２の外観（ハンダ付け状態等）を検査する。
【００２２】
ここで、工程２００と工程３００との間には、基板１２を上流工程の搬送装置から下流工程の搬送装置に載せ換える基板移載工程２５０が設けられ、工程３００と工程４００との間には、基板１２を上流工程の搬送装置から下流工程の搬送装置に載せ換える基板移載工程３５０が設けられている。本実施形態に係る基板移載装置１０は、主に、この基板移載工程２５０及び基板移載工程３５０で用いられる。
【００２３】
（要部構成）
〔搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合〕
先ず、工程３００（図９参照）で基板１２を搬送する際に、基板搬送部材の一例としての搬送パレット１８（図１（Ｂ）参照）を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合について、基板移載工程２５０で用いられる構成（図９に示すＡ部の構成）について説明する。
【００２４】
図２には、各工程における基板移載装置１０の平面図が示され、図１には、各工程における基板移載装置１０の断面図が示されている。
【００２５】
図１（Ａ）、図２に示されるように、基板１２に電子部品（図示省略）が実装される工程２００（図９参照）では、基板１２の搬送方向（図中矢印Ｋ方向、以下単に「搬送方向」と言う）に基板１２を搬送する第一搬送装置の一例としての一対のベルトコンベア１６が設けられている。一対のベルトコンベア１６は、ローラ等を用いて無端状のベルトが回転する一般的なものであり、基板１２の幅方向両端側を支持しながら基板１２を搬送方向下流側に搬送するようになっている。なお、以下の説明では、平面視で基板１２の搬送方向に対して直交する方向を幅方向と称する。ここで、平面視とは、図９に示したように、基板移載装置１０を真上から見下ろした場合のことを意味する。
【００２６】
さらに、図１（Ｂ）、図２に示されるように、基板１２を移載する工程２５０（図９参照）には、ベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路の下に、基板１２を下側から支持する搬送パレット１８を移動させる第一移動部材２２が設けられている。
【００２７】
詳細には、第一移動部材２２は、搬送パレット１８等を内部に保持する本体部３０と、本体部３０を搬送方向に対して交差（直交）する方向に移動可能にするコロ３２とを備えている。さらに、本体部３０は、搬送方向から見て上方が開放されたコ字状とされ、側板３０Ａと底板３０Ｂとで構成されている。
【００２８】
また、第一移動部材２２は、基板１２を移載するための移載位置（図９に示す実線）と、基板１２の搬送経路から退避する退避位置（図９に示す破線）との間を図示せぬ駆動部材（例えば、コロ３２に駆動力を与える正逆転モータ等）から駆動力をうけて往復移動可能とされている。
【００２９】
さらに、この第一移動部材２２の内部には、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２を受け取る第一受取部材の一例としての一対のベルトコンベア２６が設けられている。
【００３０】
具体的には、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）は、一対のベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ａ）に示す寸法Ｄ）と同等とされている。そして、第一移動部材２２が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とは直線状に配置されるようになっている。さらに、ベルトコンベア１６とベルトコンベア２６との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア１６の回転駆動と同期してベルトコンベア２６が回転することで、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取るようになっている。
【００３１】
さらに、この第一移動部材２２の内部には、前述した搬送パレット１８が設けられ、この搬送パレット１８は、搬送方向から見ると上方が開放されたコ字状とされ、搬送パレット１８の底板１８Ａには、鉛直方向に延びる支持部２０の基端部が固定されている。また、搬送パレット１８の開放縁部には、幅方向外側に突出する鍔部１８Ｂが設けられている。
【００３２】
さらに、搬送パレット１８の鍔部１８Ｂが載せられると共に、回転駆動して搬送パレット１８を後工程へ搬送する（受け渡す）第一受渡部材の一例としての一対のベルトコンベア２８が搬送方向に延びて設けられている。具体的には、一対のベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）は、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）より大きくされている。そして、図２に示されるように、平面視で、ベルトコンベア２８は、ベルトコンベア２６と重ならないように配置されている。
【００３３】
また、図１（Ｂ）に示されるように、搬送パレット１８の底板１８Ａと第一移動部材２２の底板３０Ｂとの間には、搬送パレット１８を上昇させて、搬送パレット１８に設けられた支持部２０の先端部で基板１２を支持させる上昇手段の一例としてのリフター３６が設けられている。より具体的には、リフター３６の駆動源として油圧または空気圧シリンダを用いる場合は、一対のベルトコンベア２８を支持する図示しない支持フレームの下面にシリンダロッドを固定し、底板３０Ｂの上面にシリンダ本体を固定する。なお、本実施例では、リフター３６は、搬送パレット１８を上昇させるのに伴なってベルトコンベア２８も同様に上昇させるようになっている。また、本実施形態では、リフター３６を第一移動部材２２の内部に設けたが、リフターを第一移動部材２２の外部、例えば、床面等に固定してもよい。
【００３４】
一方、図１（Ｃ）、図２に示されるように、リフロー炉１４内には、搬送方向に延びる第二搬送装置の一例としての一対のベルトコンベア４０が設けられている。
【００３５】
一対のベルトコンベア４０は、固定された一方のベルトコンベア４０Ａと、幅方向に移動可能とされた他方のベルトコンベア４０Ｂとを備えている。そして、図２に示されるように、搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送する場合には、平面視で、ベルトコンベア４０とベルトコンベア２８とは直線状に配置される。一方、図６に示されるように、搬送パレット１８を用いずに基板１２を搬送する場合には、他方のベルトコンベア４０Ｂを移動させて、一対のベルトコンベア４０の幅寸法は、一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされる。
【００３６】
そして、図２に示されるように、搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送する場合には、ベルトコンベア４０の回転駆動と同期してベルトコンベア２８が回転することで、ベルトコンベア２８によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４０が受け取るようになっている。
【００３７】
また、このように、ベルトコンベア４０が搬送パレット１８を搬送するように設定されている場合に、ベルトコンベア１６から搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取ってからリフター３６により搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持した状態で、ベルトコンベア２８が搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すように制御する第一制御部３８が設けられている。
【００３８】
具体的には、図１、図２に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、第一移動部材２２を制御して第一移動部材２２を移載位置へ移動した後、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる。次に、第一制御部３８は、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２８の回転駆動を制御して、搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すようになっている。
【００３９】
次に、図９に示されるように、搬送パレット１８に支持されながらリフロー炉１４内を搬送された基板１２を移載する基板移載工程３５０で用いられる構成（図９に示すＢ部の構成）について説明する。
【００４０】
さらに、図３（Ｂ）、図４に示されるように、基板１２を移載する工程３５０（図９参照）には、ベルトコンベア４０（図３（Ａ）参照）により搬送される搬送パレット１８の搬送経路に、搬送パレット１８を受け取る第二受取部材の一例としての一対のベルトコンベア４２を備えた第二移動部材４４が配置されている。
【００４１】
詳細には、第二移動部材４４は、ベルトコンベア４２等を内部に上下動可能に保持する本体部４６と、本体部４６を搬送方向に対して交差（直交）する方向に移動可能するコロ４８とを備えている。さらに、本体部４６は、搬送方向から見て上方が開放されたコ字状とされ、側板４６Ａと底板４６Ｂとで構成されている。
【００４２】
また、第二移動部材４４は、基板１２を移載するための移載位置（図９に示す実線）と、基板１２の搬送経路から退避する退避位置（図９に示す破線）との間を図示せぬ駆動部材（例えば、コロ４８に駆動力を与える正逆転モータ等）から駆動力をうけて往復移動可能とされている。
【００４３】
詳細には、前述したベルトコンベア４２は、第二移動部材４４の内部に設けられ、一対のベルトコンベア４２の幅寸法（図３（Ｂ）に示す寸法Ｆ）は、一対のベルトコンベア４０の幅寸法と同等とされている。そして、第二移動部材４４が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア４０とベルトコンベア４２とは直線状に配置されるようになっている。
【００４４】
さらに、ベルトコンベア４２とベルトコンベア４０との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア４０の回転駆動と同期してベルトコンベア４２が回転することで、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２が受け取るようになっている。
【００４５】
また、図３（Ｂ）に示されるように、ベルトコンベア４２が受け取った搬送パレット１８の底板１８Ａと第二移動部材４４の底板４６Ｂとの間には、搬送パレット１８を下降させる下降手段の一例としてのリフター５０が設けられている。より具体的には、リフター５０の駆動源として油圧または空気圧シリンダを用いる場合は、一対のベルトコンベア４２を支持する図示しない支持フレームの下面にシリンダロッドを固定し、底板４６Ｂの上面にシリンダ本体を固定する。なお、本実施例では、リフター５０は、搬送パレット１８を下降させるのに伴なってベルトコンベア４２も同様に下降させるようになっている。また、本実施形態では、リフター５０を第二移動部材４４の内部に設けたが、リフターを第二移動部材４４の外部、例えば、床面等に固定してもよい。
【００４６】
さらに、第二移動部材４４の内部には、リフター５０によって下降する搬送パレット１８に支持されていた基板１２を受け取って、搬送パレット１８の支持部２０と基板１２とを分離（離間）させる第二受取部材の一例としての一対のベルトコンベア５２が設けられている。そして、図３（Ｃ）、図４に示されるように、ベルトコンベア５２は、基板１２を工程４００に設けられた第三搬送手段の一例としての一対のベルトコンベア５４に受け渡すようになっている。
【００４７】
詳細には、一対のベルトコンベア５２の幅寸法（図３（Ｂ）に示す寸法Ｇ）と一対のベルトコンベア５４の幅寸法（図３（Ｃ）に示す寸法Ｈ）は、一対のベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ａ）に示す寸法Ｄ）及び一対のベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている。そして、第二移動部材４４が移載位置（図９に示す実線）に移動した状態では、平面視で、ベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とは直線状に配置されるようになっている。
【００４８】
さらに、ベルトコンベア５２とベルトコンベア５４との鉛直方向の高さは同等とされている。そして、ベルトコンベア５４の回転駆動と同期してベルトコンベア５２が回転することで、ベルトコンベア５２が基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すようになっている。
【００４９】
また、このように、ベルトコンベア４０が搬送パレット１８を搬送するように設定されている場合に、ベルトコンベア４０から搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２が受け取ってからリフター５０により搬送パレット１８を下降させて搬送パレット１８が基板１２から離間してベルトコンベア５２が基板１２を支持した状態で、ベルトコンベア５２が基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すように制御する第二制御部５６が設けられている。
【００５０】
具体的には、図３、図４に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第二制御部５６は、第二移動部材４４を制御して第二移動部材４４を移載位置へ移動した後、ベルトコンベア４２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２に受け取らせる。次に、第二制御部５６は、リフター５０を制御して搬送パレット１８を下降させてベルトコンベア５２で基板１２を支持させる。次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す。
【００５１】
一方、図９に示されるように、基板移載装置１０には、退避位置に配置される第二移動部材４４（図９破線参照）に支持された搬送パレット１８を退避位置に配置される第一移動部材２２（図９破線参照）に引き渡す引渡装置５８が設けられている。
【００５２】
〔搬送パレット１８を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合〕
次に、工程３００で基板を搬送する際に、搬送パレット１８（図１（Ｂ）参照）を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合について、基板移載工程２５０で用いられる構成（図９に示すＡ部の構成）について図５〜図８を用いて説明する。尚、図６の中央には第一移動部材２２が左右２つ並んで図示されているが、説明を分かりやすくするために第一移動部材２２の２つの状態を対比し易くしたものである。このため、実際には、第一移動部材は、図６の中央に図示されたように並んで存在しているのではなく、移載位置において左右２つの内いずれか一方の状態にある。図８も同様である。すなわち、図８の中央には第二移動部材４４が左右２つ並んで図示されているが、説明を分かりやすくするために第二移動部材４４の２つの状態を対比し易くしたものである。このため、実際には、第二移動部材は、図８の中央に図示されたように並んで存在しているのではなく、移載位置において左右２つの内いずれか一方の状態にある。 図５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）、図６に示されるように、第一制御部３８は、ベルトコンベア１６から搬送された基板１２をベルトコンベア２６が受け取ってから、第一移動部材２２を幅方向に移動させる。ベルトコンベア２６の幅方向の位置とベルトコンベア４０の幅方向の位置とが対応してから、ベルトコンベア２６が受け取った基板１２をベルトコンベア４０に受け渡すように制御するようになっている。
【００５３】
具体的には、図５、図６に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる。次に、第一制御部材３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（図５（Ｂ）の上の図、第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。次に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア２６とベルトコンベア４０とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる（図５（Ｂ）の下の図、第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア４０に受け渡すようになっている（図５（Ｃ）、第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００５４】
次に、図９に示されるように、搬送パレット１８に支持されながらリフロー炉１４内を搬送された基板１２を移載する基板移載工程３５０で用いられる構成（図９に示すＢ部の構成）について説明する。
【００５５】
図７（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）、図８に示されるように、第二制御部５６は、ベルトコンベア４０から搬送された基板１２をベルトコンベア５２が受け取ってから、第一移動部材２２を幅方向に移動させる。そして、ベルトコンベア５２の幅方向の位置とベルトコンベア５４の幅方向の位置とが対応してから、ベルトコンベア５２が受け取った基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すように制御するようになっている。
【００５６】
具体的には、図７（Ａ）、図８に示されるように、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｃ）と同等とされている場合には、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア５２とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる。次に、第二制御部材５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された基板１２をベルトコンベア５２に受け取らせる（図７（Ｂ）の上の図、第二移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。次に、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる（図７（Ｂ）の下の図、第二移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すようになっている（図７（Ｃ）、第二移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００５７】
なお、第一制御部３８及び第二制御部５６以外の制御については、搬送パレット１８の使用の要否に関わらず共通の制御であり、図示せぬ共通の制御部が制御するものである。
（要部構成の作用）
次に、基板移載装置１０の作用について説明する。
【００５８】
〔搬送パレット１８を用いて基板１２を搬送するように設定されている場合〕
図１（Ａ）（Ｂ）、図２に示されるように、工程２００（図９参照）で電子部品が実装されてベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。つまり、第一制御部３８は、第一移動部材２２を移載位置に移動する。
【００５９】
さらに、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア２８の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（図１（Ｂ）上の図）。
【００６０】
また、第一制御部３８は、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。これにより、ベルトコンベア２６と基板１２とは分離（離間）する（図１（Ｂ）下の図）。
【００６１】
さらに、第一制御部３８は、ベルトコンベア２８の回転駆動を制御して、搬送パレット１８をリフロー炉１４に設けられたベルトコンベア４０に受け渡す（図１（Ｃ））。
【００６２】
搬送パレット１８をベルトコンベア４０に受け渡すと、第一移動部材２２は、第一制御部３８によって制御されて、移載位置（図９の実線参照）から退避位置（図９の破線参照）へ移動する。
【００６３】
図１（Ｃ）、図２に示されるように、リフロー炉１４内をベルトコンベア４０で搬送されることで、搬送パレット１８の支持部２０に支持された基板１２に実装された電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００６４】
図３（Ａ）（Ｂ）、図４に示されるように、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア４２とが直線状に配置されるように、第二移動部材４４を移動する。つまり、第二制御部５６は、第二移動部材４４を移載位置に移動する（図４）。
【００６５】
さらに、第二制御部５６は、移載位置に移動した第二移動部材４４に備えられたベルトコンベア４２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された搬送パレット１８をベルトコンベア４２に受け取らせる（図３（Ｂ）上の図）。
【００６６】
さらに、第二制御部５６は、リフター５０を制御して搬送パレット１８を下降させてベルトコンベア５２で基板１２を支持させる。これにより、搬送パレット１８と基板１２とは分離（離間）する（図３（Ｂ）下の図）。
【００６７】
また、図３（Ｂ）（Ｃ）、図４に示されるように、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す。
【００６８】
基板１２をベルトコンベア５４に受け渡すと、搬送パレット１８を支持する第二移動部材４４は、移載位置（図９の実線参照）から退避位置（図９の破線参照）へ移動する。
【００６９】
図９に示されるように、引渡装置５８は、退避位置に配置される第二移動部材４４（図９破線参照）に支持された搬送パレット１８を退避位置に配置される第一移動部材２２（図９破線参照）に引き渡す。
【００７０】
〔搬送パレット１８を用いず基板１２を搬送するように設定されている場合〕
図５（Ａ）（Ｂ）、図６に示されるように、工程２００（図９参照）で電子部品が実装されてベルトコンベア１６により搬送される基板１２の搬送経路に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。つまり、第一制御部３８は、第一移動部材２２を移載位置に移動する（第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。なお、搬送パレット１８を用いないため、第一移動部材２２の内部には搬送パレット１８が設けられていない。
【００７１】
さらに、ベルトコンベア４０の幅寸法が、ベルトコンベア１６の幅寸法（図１（Ｂ）に示す寸法Ｅ）と同等とされている場合には、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる（第一移動部材２２が図６の中央左側の図の場合）。
【００７２】
次に、第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア２６とベルトコンベア４０とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動する（第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００７３】
次に、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア４０に受け渡す（第一移動部材２２が図６の中央右側の図の場合）。
【００７４】
図５（Ｃ）、図６に示されるように、リフロー炉１４内をベルトコンベア４０で搬送されることで、基板１２に実装された電子部品が基板１２にハンダ付けされる。
【００７５】
図７（Ａ）（Ｂ）、図８に示されるように、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア４０とベルトコンベア５２とが直線状に配置されるように第二移動部材４４を移動させる（第一移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。
【００７６】
次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、ベルトコンベア４０によって搬送された基板１２をベルトコンベア５２に受け取らせる（第一移動部材４４が図８の中央左側の図の場合）。
【００７７】
次に、第二制御部５６は、平面視でベルトコンベア５２とベルトコンベア５４とが直線状に配置されるように第一移動部材２２を移動させる（第一移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００７８】
次に、第二制御部５６は、ベルトコンベア５２の回転駆動を制御して、基板１２をベルトコンベア５４に受け渡す（第一移動部材４４が図８の中央右側の図の場合）。
【００７９】
以上説明したように、リフター３６が搬送パレット１８を上昇させるという簡易な構成で、搬送パレット１８に設けられた支持部２０に基板１２が支持される（載せられる）。
【００８０】
また、リフター５０が搬送パレット１８を下降させることで、簡易な構成で、基板１２が搬送パレット１８から離間する（基板１２の搬送パレット１８による支持が解除される）。
【００８１】
また、搬送パレット１８を用いない設定の場合には、搬送パレット１８を用いることなく、基板１２がリフロー炉１４内を搬送されるため、基板１２を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。つまり、厚さが厚い基板は、薄い基板に比べて、剛性が高いため、リフロー炉の熱による基板の反りが小さいので、厚さが厚い基板を搬送する場合には、搬送パレットを用いる必要が無い。このように、厚い基板の場合には、基板を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。
【００８２】
また、基板１２を受け取った後、第一移動部材２２及び第二移動部材４４を移動させることで、一方のベルトコンベア４０Ａを固定し、他方のベルトコンベア４０Ｂを幅方向に移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６の幅寸法と同等にした場合でも、基板１２を搬送パレット１８に乗降させる工程が無くなる。
【００８３】
また、引渡装置５８が、第二移動部材４４によって基板１２の搬送経路から退避された搬送パレット１８を退避位置に移動した第二移動部材４４から受取り、退避位置に移動した第一移動部材２２に引き渡す。このため、搬送パレット１８が再利用される（使い回される）。引渡装置５８は、例えば、ローラ等を用いて無端状のベルトが回転する一般的な一対のベルトコンベアを採用することができる。この場合、ベルトコンベアの幅および高さは、搬送パレット１８を搬送できる幅および高さにする。そして、搬送パレット１８を待避位置の第二移動部材４４から引渡装置５８に移載する場合は、ベルトコンベア４２および引渡装置５８のベルトコンベアを動作させる。また、搬送パレット１８を引渡装置５８から待避位置の第一移動部材２２に移載する場合は、ベルトコンベア２８および引渡装置５８のベルトコンベアを動作させる。
【００８４】
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。
【００８５】
例えば、上記実施形態では、一方のベルトコンベア４０Ａを固定し、他方のベルトコンベア４０Ｂを幅方向に移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６、５４の幅寸法と同等したが、両方のベルトコンベアを移動させて一対のベルトコンベア４０の幅寸法を一対のベルトコンベア１６、５４の幅寸法と同等し、さらに、一対のベルトコンベア４０の幅方向の位置と一対のベルトコンベア１６、５４の幅方向の位置とを対応させてもてもよい。この場合には、基板１２を受け取った後、第一移動部材２２及び第二移動部材４４の移動が無くなる。
【００８６】
また、上記実施形態では、図５および図７の状態において、搬送パレット１８が無い状態を示したが、搬送パレット１８は使わないので、搬送パレット１８があっても良い。
【符号の説明】
【００８７】
１０ 基板移載装置
１２ 基板
１６ ベルトコンベア（第一搬送装置の一例）
１８ 搬送パレット（基板搬送部材の一例）
２０ 支持部
２２ 第一移動部材
２６ ベルトコンベア（第一受取部材の一例）
２８ ベルトコンベア（第一受渡部材の一例）
３６ リフター（上昇手段の一例）
３８ 第一制御部
４０ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４０Ａ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４０Ｂ ベルトコンベア（第二搬送装置の一例）
４２ ベルトコンベア（第二受取部材の一例）
４４ 第二移動部材
５０ リフター（下降手段）
５２ ベルトコンベア（第二受渡部材の一例）
５４ ベルトコンベア（第三搬送装置の一例）
５６ 第二制御部
５８ 引渡装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送方向上流側の第一搬送装置から搬送される前記基板の搬送経路の下に、前記基板を下側から支持する支持部を備えた基板搬送部材を移動させる第一移動部材と、
前記第一移動部材に設けられ、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を受け取る第一受取部材と、
前記第一移動部材によって前記基板の搬送経路の下に移動した前記基板搬送部材を上昇させて、前記基板搬送部材に設けられた前記支持部で前記第一受取部材が受け取った前記基板を支持させる上昇手段と、
前記第一移動部材に設けられ、前記上昇手段によって上昇した前記基板搬送部材を基板の搬送方向下流側の第二搬送装置に受け渡す第一受渡部材と、
下記（１）または（２）のように制御する第一制御部と、
を備える基板搬送装置。
（１）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから前記上昇手段により前記基板搬送部材を上昇させて前記支持部が前記基板を支持した状態で、前記第一受渡部材が前記基板搬送部材を前記第二搬送装置に受け渡す
（２）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取り、前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡す
【請求項２】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、
前記第一制御部は、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから、前記第一移動部材を幅方向に移動させて前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とを対応させてから前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡すように制御する請求項１に記載の基板移載装置。
【請求項３】
前記基板を支持しながら前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を受け取る第二受取部材と、
前記第二受取部材が受け取った前記基板搬送部材を下降させる下降手段と、
前記下降手段によって下降する前記基板搬送部材に支持された前記基板を支持して前記基板搬送部材と前記基板とを離間させると共に、離間した前記基板を前記基板の搬送方向下流側の第三搬送装置に受け渡す第二受渡部材と、
前記第二受取部材と前記第二受渡部材とを備えると共に、前記基板から離間した前記基板搬送部材を前記基板の搬送経路から退避させる第二移動部材と、
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を前記第二受取部材が受け取ってから前記下降手段により前記基板搬送部材を下降させて前記基板搬送部材が前記基板から離間した状態で、前記第二受渡部材が前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する第二制御部と、
を備える請求項１又は２に記載の基板移載装置。
【請求項４】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、
前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取り、前記第二受渡部材が受け取った基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する請求項３に記載の基板移載装置。
【請求項５】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第二受取部材の幅方向の位置と前記第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、
前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取ってから、前記第二移動部材を幅方向に移動させて前記第三搬送装置の幅方向の位置と前記第二受渡部材の幅方向の位置とを対応させてから前記第二受渡部材が受け取った前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する請求項３又は４に記載の基板移載装置。
【請求項６】
前記第二移動部材によって前記基板の搬送経路から退避された前記基板搬送部材を、前記第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられる請求項３〜５に記載の基板移載装置。
【請求項１】
基板の搬送方向上流側の第一搬送装置から搬送される前記基板の搬送経路の下に、前記基板を下側から支持する支持部を備えた基板搬送部材を移動させる第一移動部材と、
前記第一移動部材に設けられ、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を受け取る第一受取部材と、
前記第一移動部材によって前記基板の搬送経路の下に移動した前記基板搬送部材を上昇させて、前記基板搬送部材に設けられた前記支持部で前記第一受取部材が受け取った前記基板を支持させる上昇手段と、
前記第一移動部材に設けられ、前記上昇手段によって上昇した前記基板搬送部材を基板の搬送方向下流側の第二搬送装置に受け渡す第一受渡部材と、
下記（１）または（２）のように制御する第一制御部と、
を備える基板搬送装置。
（１）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから前記上昇手段により前記基板搬送部材を上昇させて前記支持部が前記基板を支持した状態で、前記第一受渡部材が前記基板搬送部材を前記第二搬送装置に受け渡す
（２）前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取り、前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡す
【請求項２】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、
前記第一制御部は、前記第一搬送装置から搬送された前記基板を前記第一受取部材が受け取ってから、前記第一移動部材を幅方向に移動させて前記第一受取部材の幅方向の位置と前記第二搬送装置の幅方向の位置とを対応させてから前記第一受取部材が受け取った前記基板を前記第二搬送装置に受け渡すように制御する請求項１に記載の基板移載装置。
【請求項３】
前記基板を支持しながら前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を受け取る第二受取部材と、
前記第二受取部材が受け取った前記基板搬送部材を下降させる下降手段と、
前記下降手段によって下降する前記基板搬送部材に支持された前記基板を支持して前記基板搬送部材と前記基板とを離間させると共に、離間した前記基板を前記基板の搬送方向下流側の第三搬送装置に受け渡す第二受渡部材と、
前記第二受取部材と前記第二受渡部材とを備えると共に、前記基板から離間した前記基板搬送部材を前記基板の搬送経路から退避させる第二移動部材と、
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を搬送するように設定されている場合には、前記第二搬送装置から搬送された前記基板搬送部材を前記第二受取部材が受け取ってから前記下降手段により前記基板搬送部材を下降させて前記基板搬送部材が前記基板から離間した状態で、前記第二受渡部材が前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する第二制御部と、
を備える請求項１又は２に記載の基板移載装置。
【請求項４】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定されている場合には、
前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取り、前記第二受渡部材が受け取った基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する請求項３に記載の基板移載装置。
【請求項５】
前記第二搬送装置が前記基板搬送部材を用いずに前記基板を搬送するように設定され、前記第二受取部材の幅方向の位置と前記第三搬送装置の幅方向の位置とが対応しない場合には、
前記第二制御部は、前記第二搬送装置から搬送された前記基板を前記第二受渡部材が受け取ってから、前記第二移動部材を幅方向に移動させて前記第三搬送装置の幅方向の位置と前記第二受渡部材の幅方向の位置とを対応させてから前記第二受渡部材が受け取った前記基板を前記第三搬送装置に受け渡すように制御する請求項３又は４に記載の基板移載装置。
【請求項６】
前記第二移動部材によって前記基板の搬送経路から退避された前記基板搬送部材を、前記第一移動部材に引き渡す引渡装置が設けられる請求項３〜５に記載の基板移載装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１２−１８２３００（Ｐ２０１２−１８２３００Ａ）
【公開日】平成２４年９月２０日（２０１２．９．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−４４０１６（Ｐ２０１１−４４０１６）
【出願日】平成２３年３月１日（２０１１．３．１）
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年９月２０日（２０１２．９．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１日（２０１１．３．１）
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
【Ｆターム（参考）】
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