塗布装置

【課題】多量のシール材が連続供給可能で、シール材と添加物とを所定の割合で均一に精度良く効率的に塗布できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置７０は、ペースト材料１１を貯留するとともに内部に水平面に対して傾斜した撹拌羽根１３を具備したタンクユニット１０と、タンクユニット１０から送り出したペースト材料１１を押出手段４０によりノズル２２から押出して吐出する塗布ヘッド２０と、タンクユニット１０から塗布ヘッド２０にペースト材料１１を供給する供給経路７１と、供給経路７１から分岐するとともに切換弁６３を介してタンクユニット１０に連結するバイパス経路７３と、塗布ヘッド２０の出口からタンクユニット１０に連結するリターン経路７２と、供給経路７１の塗布ヘッド２０の上流側とリターン経路７２の塗布ヘッド２０の下流側とにそれぞれ設けた圧力調整弁６１、６２とを備えている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルなどの製造工程において用いられるペースト材料を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰと略記する）などの製造の際に、例えば、背面板と前面板とを封着するためのフリットガラスのペースト材料をＰＤＰに塗布する塗布装置などが特許文献１や特許文献２に開示されている。これらの塗布装置では、ＰＤＰの背面板へのシール材の塗布精度にバラツキを生じると、製造するＰＤＰの品質が低下するため、高精度の塗布精度が要求される。
【０００３】
図７に従来の塗布装置１００を示す図である。図７を参照しながら、従来の塗布装置１００について説明する。図７に示す従来の塗布装置１００は、フリットガラス９０のペースト材料が収容されたホッパ状のポット９１と、ポット９１内部に設けた撹拌羽根９２と、撹拌羽根９２を回転駆動するための駆動源であるモータ９３とを備えている。撹拌羽根９２は、モータ９３からの駆動力を伝達するフレキシブルシャフト９４と、フレキシブルシャフト９４からの回転力を撹拌羽根９２へ伝達する小歯車９５および大歯車９６とにより駆動される。ポット９１の先端（下端）部にはノズル９７が設けられている。また、ノズル９７に先端が配置された状態でポット９１内部に収容されたニードルシャフト９８と、このニードルシャフト９８を上下させノズル９７からの吐出（塗布）量を調整するシリンダ９９とを備えている。
【０００４】
このように構成された塗布装置１００においては、ポット９１内のフリットガラス９０が分離沈殿するのを防ぐように撹拌羽根９２によって常時撹拌されている。シリンダ９９によりニードルシャフト９８を引き上げ、ニードルシャフト９８とノズル９７との間に隙間を発生させ、この隙間を通してノズル９７よりフリットガラス９０を吐出するようにしている。
【０００５】
一方、これらの塗布装置１００では、ノズル９７からの吐出が重力の作用によって下方に移動する自重式の構成となっている。そのため、ポット９１内に収容しているフリットガラス９０の質量と粘度などとにより塗布条件が微妙に変化し、塗布精度が十分に確保できないといった課題を有していた。
【０００６】
また、このような塗布装置の課題を解決して、ペースト材料の均一混合や、連続供給などの塗布作業の効率化をはかった塗布装置が、特許文献３などに開示されている。
【０００７】
しかも、供給しながら塗布するフリットガラス９０については、不安定な材料・性質を有するものであって、その特性上、分離沈殿しやすいなどの理由から、上記した従来の塗布装置は少量使い切りの構成となっており、自動化および量産化には不向きといった課題を有していた。
【０００８】
その後、これらの塗布装置の課題を一部解決し、フリットガラス（シール材）を多量に常時均一な混合状態に保ち、フリットガラス（シール材）の連続供給と塗布作業の効率化をはかった塗布装置が開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平０５−０８２０２４号公報
【特許文献２】特開平１１−３３３３４７号公報
【特許文献３】特開２００４−１８１２８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の塗布装置では、フリットガラスなどのペースト材料内に比重の異なる添加物などが存在する場合、その添加物の沈殿または浮揚を十分には防ぐことができず、塗布時に添加物濃度のばらつきが生じ、添加物の効果を十分に得ることができないという問題点を有していた。
【００１１】
本発明は、上記した従来の装置の問題点を解決するもので、多量のペースト材料が連続供給可能で、ペースト材料中の組成成分を均一とし、高精度で効率的に塗布できる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の塗布装置は、ペースト材料を貯留するとともに内部に水平面に対して傾斜した撹拌羽根を具備したタンクユニットと、タンクユニットから送り出したペースト材料を押圧手段によりノズルから押出して吐出する塗布ヘッドと、タンクユニットから塗布ヘッドにペースト材料を供給する供給経路と、供給経路から分岐するとともに切換弁を介してタンクユニットに連結するバイパス経路と、塗布ヘッドの出口からタンクユニットに連結するリターン経路と、供給経路の塗布ヘッドの上流側とリターン経路の塗布ヘッドの下流側とにそれぞれ設けた圧力調整弁とを備えている。
【００１３】
このような構成によれば、多量のペースト材料が連続供給可能であるとともに、水平面に対して傾斜した撹拌羽根が、沈殿または浮揚しやすい添加物を上下方向に十分に撹拌して均一に混合するので、ペースト材料と添加物とを所定の割合で均一に精度良く効率的に塗布できる塗布装置を実現することができる。
【００１４】
さらに、撹拌羽根が、パドル状撹拌板を備えていてもよい。このような構成によれば簡単な構成で上昇流または下降流を発生させ、ペースト材料と添加物とを上下方向に撹拌して均一に混合することができる。
【００１５】
さらに、撹拌羽根が、プロペラ状撹拌板を備えていてもよい。このような構成によれば簡単な構成で上昇流または下降流を発生させ、ペースト材料と添加物とを上下方向に撹拌して均一に混合することができる。
【００１６】
さらに、撹拌羽根が、螺旋状撹拌板を備えていてもよい。このような構成によれば簡単な構成で上昇流または下降流を発生させ、ペースト材料と添加物とを上下方向に撹拌して均一に混合することができる。
【００１７】
さらに、撹拌羽根が、正回転と逆回転繰り返してもよい。このような構成によれば、大きな乱流を発生させることができるのでさらに撹拌効果が高く、ペースト材料と添加物とをより均一に混合することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明の塗布装置によれば、多量のペースト材料が連続供給可能であるとともに、ペースト材料中への添加物の混合を均一として、高精度・高効率の塗布が可能な塗布装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態における塗布装置の全体構成を示す図である。
【図２】同塗布装置のタンクユニットの縦断面図である。
【図３】同塗布装置の塗布ヘッドの縦断面図である。
【図４Ａ】同塗布装置に用いるパドル状撹拌板の平面図である。
【図４Ｂ】同パドル状撹拌板の正面図である。
【図５】同塗布装置に用いるプロペラ状撹拌板の斜視図である。
【図６】同塗布装置に用いる螺旋状撹拌板の正面図である。
【図７】従来の塗布装置を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明における実施の形態について、図面を参照にしながら説明する。
【００２１】
（実施の形態）
図１は、実施の形態における塗布装置の全体構成を示す図である。塗布装置７０は、大略構成として、タンクユニット１０と、塗布ヘッド２０と、タンクユニット１０と塗布ヘッド２０との間を連結する供給経路７１と、塗布ヘッド２０とタンクユニット１０との間を連結するリターン経路７２と、供給経路７１の一部とタンクユニット１０の補給口１２ｂとの間を連結するバイパス経路７３とを備えている。なお、これら構成部品を支持するハウジングなどは省略している。
【００２２】
図２は、塗布装置７０のタンクユニット１０の縦断面図である。タンクユニット１０では、ＰＤＰなどへ塗布するためのペースト材料１１を貯留するとともに、塗布ヘッド２０へ定量供給する。図２に示すように、ペースト材料１１を収容するタンク本体１２と、タンク本体１２内部に設けた撹拌羽根１３と、この撹拌羽根１３を取付けた回転軸１４と、回転軸１４を正逆転方向に回転駆動させる撹拌用モータ１５と、タンク本体１２の吐出口１２ａから吐出するペースト材料１１を定量送りするギアポンプ１６と、このギアポンプ１６を駆動するギアポンプモータ１７とを有している。
【００２３】
なお、本実施の形態では、ペースト材料１１として、ＰＤＰの前面板と背面板とを封着するためのフリットガラスシール材を対象とし、９０重量％程度の酸化鉛（ＰｂＯ）と１０重量％程度の酢酸アミルなどの溶剤との混合物からなる。また、一般的に、これらのペースト材料１１には、フリットガラスシール材と比重の異なる添加物１１ａなどが添加されている。
【００２４】
これらの添加物１１ａとペースト材料１１との比重が異なるために、添加物１１ａがタンクユニット１０の下方に沈殿したり、上方に浮遊したりする。図７に示す従来の塗布装置１００では、撹拌羽根９２が水平面に対して垂直に取付けられており、これら沈殿物や浮遊物を十分に撹拌することができなかった。
【００２５】
一方、本実施の形態では、撹拌羽根１３として図２に示すように水平面に対して傾斜したパドル状撹拌板１３ａを備えたものを用いた。図４Ａはその平面図であり、図４Ｂはその正面図である。すなわち、パドル状撹拌板１３ａは図４Ｂに示すように、回転軸１４の垂直線に直交する水平面に対して傾斜し、回転軸１４の周囲に複数枚設けられている。さらに、図４Ｂに示すように、本実施の形態では、パドル状撹拌板１３ａは回転軸１４方向に多段となるように構成されている。このような撹拌羽根１３を撹拌用モータ１５により回転させると、ペースト材料１１に、タンク本体１２内での上昇流または下降流が発生する。その結果、添加物１１ａの沈殿物や浮遊物を十分に撹拌することができ、ペースト材料１１と添加物１１ａとを均一に混合することができる。
【００２６】
撹拌羽根１３としては、この形状以外に図５に示すようなプロペラ状撹拌板１３ｂを備えたものでもよいし、図６に示すような螺旋状撹拌板１３ｃを備えたものでもよい。これらは簡単な構成でいずれも上昇流または下降流を発生させることができる。またこれらパドル状撹拌板１３ａ、プロペラ状撹拌板１３ｂ、螺旋状撹拌板１３ｃを２種類以上組み合わせたものでもよい。このような構成にすると撹拌効果をより高めることができる。
【００２７】
さらに、撹拌羽根１３を、一定時間毎に正回転と逆回転とを切り換え、これを繰り返してもよい。このようにすれば、ペースト材料１１に大きな乱流を発生させることができ、より均一に混合することができる。また添加物１１ａの比重に応じて正逆回転の切り換え時間を調整することでさらに均一度を高めることができる。
【００２８】
つぎに、タンクユニット１０の詳細について図２を用いて説明する。タンク本体１２の吐出口１２ａから自重で落下してくるペースト材料１１は手動ダイアフラム弁６４を介してギアポンプ１６に流れる。手動ダイアフラム弁６４はペースト材料１１の流れを止めるもので、ペースト材料１１を交換するときなどに一時的に使用するもので通常の作業中は開かれている。ギアポンプ１６は、流入したペースト材料１１を汲み上げて供給経路７１へ高精度で定量送りするものである。ギアポンプ１６には一対のギアが内蔵され、それらのギアがギアポンプモータ１７によって回転される。ギアの回転によりペースト材料１１は常時一定の圧力で供給経路７１へ機械的に高精度に送出することができるため、混合物から構成されているペースト材料１１の成分が分離したりするのを防止できる。
【００２９】
供給経路７１は途中で分岐している。分岐された一方は塗布ヘッド２０に連結され、一方は切換弁６３およびバイパス経路７３を介してタンク本体１２の補給口１２ｂに連結されている。また、バイパス経路７３にはリターン経路７２が接続されている。
【００３０】
つぎに、塗布ヘッド２０の詳細について図３を用いて説明する。塗布ヘッド２０では、タンクユニット１０から送り出されたペースト材料１１を、ヘッド本体２１に設けたノズル２２から定量吐出し、ＰＤＰの背面板などに塗布するものである。図３に示すように、塗布ヘッド２０は、ヘッド本体２１と、ヘッド本体２１内部に設けた開閉手段３０と、ヘッド本体２１の流路２５に連通する押出手段４０および圧力センサー５１と、制御部（図示せず）などとを備えている。
【００３１】
開閉手段３０は、ＰＤＰの背面板などにペースト材料１１を定量塗布するときにヘッド本体２１のノズル２２を開放させる。開閉手段３０は、シリンダ３１と、このシリンダ３１を固定するブラケット３２と、シリンダ３１に設けた衝止ブロック３３と、シリンダ３１内をスライドするピストン３４と備えている。また、ピストン３４には、ピストン３４と一体に取り付けられて、ピストン３４の上下動に連動して先端（下端）がノズル２２内を上下方向に移動するニードルシャフト３５が設けられている。ピストン３４の上端には衝止ブロック３３が設けられ、衝止ブロック３３を衝止する上限ストッパー３６が設けられている。さらに、シリンダ３１内にピストン３４を上下動させるためのエアーを供給するエアー管３７と、エアーの量を制御するスピードコントローラ（図示せず）などを備えている。
【００３２】
本実施の形態における塗布装置７０は、図３における塗布ヘッド２０内に閉じ込めた所定量のペースト材料１１をノズル２２から吐出する方式としている。すなわち、図３の塗布ヘッド２０の経路に設けた第１圧力調整弁６１と第２圧力調整弁６２を閉じ、その経路内に閉じ込められたペースト材料１１を、押出手段４０により加圧しながら圧力調整してノズル２２から吐出させる。
【００３３】
押出手段４０は、ステッピングモータ４１と、このステッピングモータ４１により回転し、その回転運動を垂直移動運動に変更させるためのボールねじ４２と、このボールねじ４２に螺合して垂直移動運動を起こさせるための雌ねじ部材４３と、この雌ねじ部材４３を固定したスライドブロック４４とを備えている。さらに、スライドブロック４４のスライド動作をガイドするための平行な一対のガイドシャフト４５と、スライドブロック４４に接続されたピストン軸４７と、ピストン軸４７の先端に形成されたピストン４８と、ピストン４８を案内するシリンジ４６とを備えている。また、ステッピングモータ４１は、ステッピングモータ４１の原点検出センサー４９と、ステッピングモータ４１の後軸に固定された円盤状のスケール５０とを備えている。シリンジ４６の下部のヘッド本体２１には圧力センサー５１が設けられている。
【００３４】
シリンジ４６は、下部がヘッド本体２１内部の流路２５に連通しており、ピストン４８の昇降位置によって流路２５内部の圧力を調整するようになっている。原点検出センサー４９は、ステッピングモータ４１のスタート位置（ゼロ位置）、つまりピストン４８の降下開始の初期位置を設定するためのものであり、始点となるべきマークなどが印字された円盤状のスケール５０を光学的に検出する構成となっている。
【００３５】
圧力センサー５１は、左右の第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２を閉じた状態のときに、これらの間の流路２５内に閉じ込められているペースト材料１１の圧力を検出する。ここで検出した圧力に応じて検出信号が制御部（図示せず）へ出力されるようになっている。制御部は、流路２５内部に閉じ込められているペースト材料１１の圧力に応じて、押出手段４０のステッピングモータ４１を制御し、ノズル２２から吐出させることにより流路２５から減少していくペースト材料１１を、常時一定の最適な加圧状態に調整・保持する。
【００３６】
第１圧力調整弁６１は、制御部によってその開閉動作が制御された自動ダイアフラム弁を用いており、押出手段４０よりも流路２５の上流側に設置されている。一方、第２圧力調整弁６２は、同様に、制御部によってその開閉動作が制御された自動ダイアフラム弁を用いており、ノズル２２よりも下流側に設置されている。これら第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２が閉じることにより、封止された流路２５内のペースト材料１１が加圧されるようになっている。なお、これらの自動ダイアフラム弁は、ダイアフラムに加わる空気圧と弁軸の変移とが比例するように構成されており、例えば、空気圧信号などを入力すると、弁の開度を自動的に調整することができるようになっている。しかも、この自動ダイアフラム弁には、複雑な凹凸部分などがなく、通過するペースト材料１１がこれらの凹凸部分に滞留することがないように構成されている。
【００３７】
つぎに供給経路７１について図１を用いて説明する。供給経路７１は、タンクユニット１０から塗布ヘッド２０へペースト材料１１を供給するために、タンクユニット１０側のギアポンプ１６と塗布ヘッド２０側の取込口２３との間を連結している。ノズル２２からペースト材料１１を吐出する際には、タンクユニット１０内のペースト材料１１を、切換弁６３を開いて、供給経路７１の途中に接続されているバイパス経路７３の方へ送り出すようになっている。
【００３８】
つぎにリターン経路７２について図１を用いて説明する。リターン経路７２には、ノズル２２からペースト材料１１を吐出しない待機状態のときに、供給経路７１から塗布ヘッド２０を経由してタンクユニット１０へ戻すためのものであり、塗布ヘッド２０の循環出口２４と、タンクユニット１０の補給口１２ｂとを連結している。
【００３９】
つぎに、バイパス経路７３について図１を用いて説明する。バイパス経路７３は、塗布ヘッド２０を開放してノズル２２からペースト材料１１を吐出するときに、ペースト材料１１をタンクユニット１０へ戻して循環させる経路である。バイパス経路７３は、供給経路７１から分岐してタンクユニット１０の補給口１２ｂに連結されている。バイパス経路７３には切換弁６３が設けられ、制御部によってその開閉動作が制御されている。
【００４０】
つぎに、塗布装置７０のタンクユニット１０および塗布ヘッド２０の動作について図１を用いて説明する。
【００４１】
まず、塗布作業の待機状態について図１を用いて順番に説明する。
【００４２】
（１）ＰＤＰの背面板などにシール材としてペースト材料１１を塗布する前の待機状態のときには、第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２を開放し、切換弁６３を閉じる。さらに、塗布ヘッド２０のヘッド本体２１に設けたノズル２２を閉じておくために、ニードルシャフト３５を最下部まで降下させる。
【００４３】
（２）タンクユニット１０のタンク本体１２内のペースト材料１１を撹拌羽根１３によって撹拌する。つぎに、ギアポンプ１６によって、ペースト材料１１を高精度での定量送りしながら供給経路７１、塗布ヘッド２０、リターン経路７２の順で循環させて再びタンク本体１２内へ戻す状態にする。一方、タンク本体１２内では、撹拌用モータ１５が常時回転駆動しており、タンク本体１２内のペースト材料１１が、前述の撹拌羽根１３で十分に撹拌される。そのため、ペースト材料１１にペースト材料１１と比重の異なる添加物１１ａなどが添加された状態でも、タンク本体１２内では上昇流、下降流の対流によって十分に撹拌される。その結果、ペースト材料１１での添加物１１ａの分離や沈殿などが発生せず、均一分散を実現することができる。このように、塗布作業の待機動作中には、タンク本体１２はもとより、供給経路７１、塗布ヘッド２０のヘッド本体２１、リターン経路７２の全ての流路において、ペースト材料１１が流動しているために、分離や沈殿などの現象が発生しない。
【００４４】
つぎに、塗布作業を行う場合について図１、図３を用いて順番に説明する。
【００４５】
（１）塗布作業を開始する場合には、初めに切換弁６３を開く、なお、このとき、第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２も開状態のままである。この動作により、ギアポンプ１６によって高精度に定量送りされているペースト材料１１は、分流点Ｘから切換弁６３、合流点Ｙを通過してタンク本体１２内に戻る。このように、第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２、切換弁６３が開状態でも、タンク本体１２内では撹拌用モータ１５およびギアポンプ１６が常時回転・駆動しており、タンク本体１２内のペースト材料１１が撹拌されながらギアポンプ１６で定量送りされている。そのため、タンク本体１２、分流点Ｘまでの供給経路７１およびバイパス経路７３での流路でも、分離沈殿が防止されている。
【００４６】
（２）つぎに、押出手段４０のステッピングモータ４１を回転させ、ボールねじ４２に螺合するスライドブロック４４、ピストン軸４７およびピストン４８を上昇させる。これにより、供給経路７１およびヘッド本体２１内の流路２５に留まっていたペースト材料１１が、シリンジ４６内部へ吸引されていく。
【００４７】
（３）第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２を閉じ、リターン経路７２を経由したペースト材料１１の循環動作を止める。このため、ギアポンプ１６によって定量送りされていたペースト材料１１は、分流点Ｘから塗布ヘッド２０の方へは流れ込まずに、分流点Ｘから切換弁６３、合流点Ｙを通過しタンク本体１２内に戻る。これにより、第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２が閉状態で、かつ、切換弁６３が開状態のとき、タンク本体１２内では、撹拌用モータ１５およびギアポンプ１６が常時回転・駆動している。従って、タンク本体１２内のペースト材料１１が撹拌されながらギアポンプ１６で定量送りされ留まることなく流動しているので、タンク本体１２、分流点Ｘまでの供給経路７１およびバイパス経路７３での分離沈殿が防止されている。
【００４８】
（４）つぎに、ノズル２２からのペースト材料１１の吐出について説明する。第１圧力調整弁６１、第２圧力調整弁６２が閉じられることにより、ヘッド本体２１内の流路２５が閉鎖された状態となる。その状態で、押出手段４０のステッピングモータ４１を回転させてピストン４８を押下し、シリンジ４６内部のペースト材料１１を加圧させて圧力を制御する。そして、ニードルシャフト３５を、ノズル２２を開放するように上昇させるタイミングをはかる。すなわち、圧力センサー５１により圧力制御しながら、シリンダ３１内のピストン３４よりも下部側にエアー管３７から送り込むエアーの流量を増大させて、シリンダ３１内のピストン３４を上昇させてニードルシャフト３５を引き揚げる。これにより、ニードルシャフト３５の先端部がノズル２２から退出し、閉じていたノズル２２を開放する。
【００４９】
（５）この結果、ヘッド本体２１内の流路２５に貯留されていたペースト材料１１が、開放したノズル２２から外部へ向けて吐出され、ＰＤＰの背面板などに所定位置に所定量塗布される。
【００５０】
このような、塗布装置の動作を繰り返すことにより、ペースト材料１１と添加物１１ａとを分離沈殿させることなく、多数個のＰＤＰの背面板などにペースト材料１１を連続的して自動的に精度良く定量塗布することができる。
【００５１】
以上のように本発明の塗布装置によれば、多量のペースト材料が連続供給可能であるとともに、水平面に対して傾斜した撹拌羽根が沈殿または浮揚しやすい添加物を上下方向に十分に撹拌して均一に混合するので、ペースト材料と添加物とを所定の割合で均一に精度良く効率的に塗布できる塗布装置を実現することができる。
【００５２】
なお、上述の説明では、ペースト材料として、ＰＤＰの前面板と背面板とを封着するフリットガラスシール材を例として述べたが、本実施の形態で述べた塗布装置によれば、蛍光体塗布形成や電極形成などに用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明の塗布装置によれば、ペースト材料と添加物とを所定の割合で均一に精度良く効率的に塗布できる塗布装置を実現し、画像表示装置や厚膜デバイスなどの製造装置として有用である。
【符号の説明】
【００５４】
１０タンクユニット
１１ペースト材料
１１ａ添加物
１２タンク本体
１２ａ吐出口
１２ｂ補給口
１３撹拌羽根
１３ａパドル状撹拌板
１３ｂプロペラ状撹拌板
１３ｃ螺旋状撹拌板
１４回転軸
１５撹拌用モータ
１６ギアポンプ
１７ギアポンプモータ
２０塗布ヘッド
２１ヘッド本体
２２ノズル
２３取込口
２４循環出口
２５流路
３０開閉手段
３１シリンダ
３２ブラケット
３３衝止ブロック
３４ピストン
３５ニードルシャフト
３６上限ストッパー
３７エアー管
４０押出手段
４１ステッピングモータ
４２ボールねじ
４３雌ねじ部材
４４スライドブロック
４５ガイドシャフト
４６シリンジ
４７ピストン軸
４８ピストン
４９原点検出センサー
５０スケール
５１圧力センサー
６１第１圧力調整弁
６２第２圧力調整弁
６３切換弁
６４手動ダイアフラム弁
７０塗布装置
７１供給経路
７２リターン経路
７３バイパス経路

【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペースト材料を貯留するとともに内部に水平面に対して傾斜した撹拌羽根を具備したタンクユニットと、前記タンクユニットから送り出した前記ペースト材料を押出手段によりノズルから押出して吐出する塗布ヘッドと、前記タンクユニットから前記塗布ヘッドに前記ペースト材料を供給する供給経路と、前記供給経路から分岐するとともに切換弁を介して前記タンクユニットに連結するバイパス経路と、前記塗布ヘッドの出口から前記タンクユニットに連結するリターン経路と、前記供給経路の前記塗布ヘッドの上流側と前記リターン経路の前記塗布ヘッドの下流側とにそれぞれ設けた圧力調整弁とを備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記撹拌羽根が、水平面に対して傾斜したパドル状撹拌板であることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記撹拌羽根が、プロペラ状撹拌板であることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記撹拌羽根が、螺旋状撹拌板であることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記撹拌羽根が、正回転と逆回転を繰り返すことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。

【図１】