太陽電池の検査装置、およびその検査装置へ太陽電池を搬入するための取付け具、およびその取付け具を用いた太陽電池の搬入方法
【課題】 太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ発光させる検査装置へ被測定物である太陽電池を検査装置に搬入する場合に搬送中のトラブルの発生が無い搬入用の取付け具、および搬入方法、さらにこのような太陽電池の搬入用の取付け具および搬入方法を使用した安価な構造の太陽電池の検査装置を提供する。
【解決手段】 暗室上面１１１に開口部１１２を有する暗室１１０と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有することを特徴とする太陽電池の検査装置に太陽電池を搬入する場合に、太陽電池を透光性の素材からなる板状部材である取付け具に載置して太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入する。
【解決手段】 暗室上面１１１に開口部１１２を有する暗室１１０と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有することを特徴とする太陽電池の検査装置に太陽電池を搬入する場合に、太陽電池を透光性の素材からなる板状部材である取付け具に載置して太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池セル、太陽電池セルを一列に接続したストリング、ストリングを平行に複数配置した太陽電池パネルなど、太陽電池一般の性能を検査する装置、その検査装置へ太陽電池を搬入する取付け具、およびその取付け具による太陽電池の搬入方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽エネルギーの利用方法として、シリコン型の太陽電池が知られている。太陽電池の製造においては、太陽電池が目的の発電能力を有しているかどうかの性能評価が重要である。性能評価には、通常、出力特性の測定がされる。
【０００３】
出力特性は、光照射下において、太陽電池の電流電圧特性を測定する光電変換特性として行われる。光源としては、太陽光が望ましいのであるが、天候により強度が変化することから、ソーラーシミュレーターが使用されている。ソーラーシミュレーターでは、太陽光に代えてキセノンランプやメタルハライドランプ等を使用している。また、これらの光源を長時間点灯していると、温度上昇などにより光量が変化する。そこで、これらのランプのフラッシュ光を用い、横軸を電圧、縦軸を電流として、収集したデータをプロットすることにより太陽電池の出力特性曲線を得ている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ソーラーシミュレーターと異なる方法として、特許文献２では、シリコンの多結晶型の太陽電池素子に対して順方向に電圧を印加することで、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を生じさせる方法を提案している。また、薄膜型の太陽電池でも同様のことが生じる。太陽電池素子から発光されるＥＬを観察することによって、電流密度分布が分かり、電流密度分布の不均一から太陽電池素子の欠陥を知ることができる。すなわち、発光しない部分が欠陥部分と判断でき、この欠陥部分の面積が予め決められた量より少なければ、所定の発電能力を有するものと判断できることになる。
【０００５】
図２０は、特許文献２に記載された検査装置の構成を模式的に示す図である。検査装置１０は、暗室１１と、この暗室１１の上部に設けられたＣＣＤカメラ１２と、暗室１１の床面に載置された太陽電池セル１３に電流を流す電源１４と、ＣＣＤカメラ１２からの画像信号を処理する画像処理装置１５とから構成されている。
【０００６】
暗室１１には窓１１ａがあり、ここにＣＣＤカメラ１２のファインダー１２ａがあって、ここから肉眼で覗くことで、ＣＣＤカメラ１２の撮影画像を確認することができる。画像処理装置１５としては、パソコンを使用している。
【特許文献１】特開２００７−８８４１９
【特許文献２】ＷＯ／２００６／０５９６１５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図２０に示す検査装置１０は、太陽電池セル１３を下に置いて、上からカメラで撮影するのであるが、太陽電池セル１３から発光されるＥＬは、１、０００ｎｍから１、３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室１１でなければ検知できない。被測定物が１枚の太陽電池セルであれば、１００ｍｍ平方程度なので、暗室１１も小さいものでよい。
【０００８】
しかし、太陽電池パネルになると、２ｍ×１ｍ程度の大きさとなり、暗室１１もこれを収容できる大きさが必要となる。また、被測定物となる太陽電池パネルは、暗室内に入れなければＣＣＤカメラ１２で撮影できないので、暗室に太陽電池パネルの出し入れができる扉を設けなければならない。検査装置をこのような暗室内に搬入する構成とすると、設置した扉が閉じた場合の遮光性も確保しなければならない。また検査装置に搬入された太陽電池の位置決め部材や搬送ガイド部材も暗室内に設ける必要がある。さらに、太陽電池に電流を通すための通電手段も暗室内に設ける必要がある。という具合に構造的に複雑になり、高価なものとなる。
【０００９】
このような太陽電池の検査装置に被測定物である太陽電池を搬入する場合、ラミネート加工が完了した太陽電池の場合には、太陽電池の構成部材である透明基板の両端を複数のローラやチェーンコンベアなどで支持して搬送する方法を採用することができる。
【００１０】
ＥＬ発光により太陽電池セルの欠陥を検査する場合、太陽電池の構成部材をラミネート加工した状態ものを検査するばかりでなく、ラミネート加工前に太陽電池の構成部材をただ積層した状態で太陽電池の検査装置に搬入する場合がある。この場合は、透明基板の両端を複数のローラやチェーンコンベアにて搬送することになる。この場合搬送中に太陽電池の各構成部材の相互の位置がずれることが無いよう搬送するために太陽電池の構成部材のサイズに制限を設ける必要がある。例えば透明基板からの裏面材のはみ出し量の最大値をある量に設定するなどの必要がある。
【００１１】
本発明は、斯かる実情に鑑みてなされたもので、太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ発光させる検査装置へ被測定物である太陽電池を搬入する場合に、上記のような搬送中のトラブルの発生が無い搬入用の取付け具、および搬入方法、さらにこのような太陽電池の搬入用の取付け具および搬入方法を使用した安価な構造の太陽電池の検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具の第１の構成は、上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は透光性の素材からなる板状の部材と、前記板状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴としている。また本発明の取付け具の第２および第３の構成は、前記透光性の素材からなる板状の部材の両側または周囲に支持用の部材を設け、前記の透光性の素材からなる板状の部材または前記支持部材に太陽電池を位置決めする手段を有する構成としている。
【００１３】
上記の目的を達成するために本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具の第４の構成は、上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は内側に開口部を有する枠状の部材と、前記枠状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴としている。
【００１４】
また上記の特徴を有する前記取付け具には、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を有する構成とすることもできるし、上記の構成の前記取付け具に太陽電池の固定手段を有する構成とすることもできる。
【００１５】
さらに前記取付け具を、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を、前記太陽電池の検査装置に設けた構成とすることもできる。
上記の構成の前記取付け具に太陽電池を載置し、前記太陽電池の検査装置に搬入する方法を採用することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具を使用すれば、太陽電池の構成部材をラミネート加工する前に、ただ積層された状態で太陽電池の検査装置に搬入しても構成部材がずれることがなく確実に検査装置に搬入することが可能である。また構成部材が透明基板からのはみ出し量についての制限などを設ける必要がなくなる。
【００１７】
また本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具のうち太陽電池をその検査部分に相当する大きさの開口部を有する枠状の取付け具に載置して検査装置の暗室上面に搬入することにより以下のような効果がある。
薄膜型の太陽電池をＥＬ発光により検査する場合、太陽電池から出射される光が微弱なので、開口部に太陽電池を載置するためのガラス板や合成樹脂製などの透明板を設け、これを通してカメラで撮影すると、太陽電池からの発光光が５〜１０％程度吸収され、減衰されてしまう。しかし、本発明の太陽電池の搬入用の取付け具では、太陽電池の検査部分は枠状の取付け具の開口部上にあって、太陽電池の検査部分は開口部に露出しており、透明板などで発光光を減衰させることなくカメラで捉えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例を添付の図面を参照して説明する。
【００１９】
＜１＞被測定物
本発明が対象とする被測定物について図１８、図１９により説明する。
まず本検査装置が扱う対象である被測定物２００がラミネート加工前に太陽電池の構成部材を積層した状態のものを図１８により説明する。図１８は、本検査装置にて測定する太陽電池の構成の説明図で、（ａ）は、太陽電池の内部の太陽電池セルが分かるように記載した平面図で、（ｂ）は（ａ）の断面図である。
【００２０】
図１８（ａ）の平面図に示す様に、被測定物２００である太陽電池は角型の太陽電池セル２８がリード線２９により複数個直列に接続されたストリング２５を形成し、さらにそのストリングを複数列リード線２９により接続した構成となっている。
【００２１】
被測定物２００である太陽電池セルとしては、太陽電池セル２８が１枚のみのものでもよく、太陽電池セル２８を複数個直列につないだストリング２５の状態でもよく、ストリング２５を平行に複数列並べ、太陽電池セル２８がマトリックス状に配置された太陽電池パネル３０でもよい。
【００２２】
また被測定物の断面構造は、図１８（ｂ）に示す様に、上側に配置された裏面材２２と下側に配置された透明基板（以下カバーガラスともいう）２１の間に、充填材２３、２４を介して複数列のストリング２５を積み重ねた状態を示している。本検査装置では、このようにラミネート加工前の太陽電池を構成する部材を積み重ねた状態で太陽電池セルの欠陥を測定することもできる。図１８（ｂ）に示したとおり、ラミネート加工前なので透明基板と太陽電池セルよりも充填材や裏面材がそれらよりも外部に大きくはみ出した状態となっている。また本例の他に透明基板２１、充填材２３と太陽電池セル２８（２５または３０）を積み重ねた状態で本検査装置にて検査を行い、その後裏面材２２と充填材２４を積層してもかまわない。
【００２３】
裏面材２２は例えばＰＥＴあるいは、フッ素系樹脂などの材料が使用される。したがって透明基板から外部にはみ出した部分は垂れ下がった状態となる。充填材２３、２４には例えばＥＶＡ樹脂（エチレンビニルアセテート樹脂）などが使用される。ストリング２５は、上記のように電極２６、２７の間に、太陽電池セル２８をリード線２９を介して接続した構成である。
【００２４】
つぎにラミネート加工した状態の被測定物について図１９により説明する。図１８と同様の構成部材を積層しラミネート装置などにより、真空の加熱状態下で圧力を加え、ＥＶＡを架橋反応させてラミネート加工して得られる。各辺の不要部分（透明基板からはみだした部分）は、切断除去される。
【００２５】
また被測定物２００としては、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池を対象とすることができる。
【００２６】
この薄膜式の代表的な構造例では、下側に配置された透明基板には、予め透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。そして、このような薄膜型太陽電池の透明基板を下向きに配置し、基板上の太陽電池素子の上に充填材を被せ、更に、充填材の上に裏面材を積み重ねた状態となっている。
【００２７】
ラミネート加工した被測定物２００としての薄膜式の太陽電池は、結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけで、封止部材や裏面材は前記した結晶系セルの場合と同じである。
【００２８】
＜２＞検査装置の全体構造
図１１は暗室１１０部分の斜視図で（ａ）は暗室上面１１１の一部が開口部１１２になっている図、（ｂ）は暗室上面全体が開口部１１２になっている図である。図１２は、太陽電池の検査装置のカメラとカメラ駆動装置の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ右側面図である。
【００２９】
これらの図に示す本発明の太陽電池の検査装置１００は、四角の箱形の暗室１１０およびその平らな上面１１１に、開口部１１２が穿設されている。開口部１１２は、図１１（ａ）の場合は、被測定物２００の大きさを考慮して暗室１１０の上面の一部に形成している。図１１（ｂ）の場合は、暗室の上面全体が開口部となっていて、暗室の４側面の頂部が上面１１１となっている。
上面１１１の開口部１１２以外は、暗室１１０に光を入れないような遮光性の素材からなる構成にしている。もっとも、暗室上面１１１に被測定物２００として太陽電池を載置した取付け具（＜３＞で説明）をセットした後、被測定物２００である太陽電池を含む上面１１１の全体を、遮光手段にて覆うことにすれば、図１１（ｂ）に示すように、上面１１１全体を開口部１１２にしてもよい。また、上面以外の４つの側面と底面は全て遮光性の部材としている。
【００３０】
暗室内には、被測定物２００である太陽電池を検査測定するカメラ１２０と、その移動機構が設けられている。ただし、カメラ１２０の移動機構については用途に応じて設けない場合もある。
【００３１】
＜３＞被測定物を位置決め載置する取付け具
暗室１１０の上面１１１に、本発明の太陽電池を載置した取付け具が配置される。この取付け具の構成について図１から図６により説明する。図１から図４は、本発明の取付け具の実施形態１から４を示す図である。図５は、本発明の取付け具に太陽電池の構成部材を積層載置した状態を示す図である。図６は、本発明の取付け具に太陽電池の構成部材を積層し、固定手段にて固定した状態を示す図である。本発明の取付け具に太陽電池を載置して太陽電池の検査装置に搬入する方法、および取付け具と検査装置の暗室との位置決め方法については＜９＞の搬入方法の箇所で詳しく述べる。
【００３２】
＜３−１＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態１
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態１について図１により説明する。図１の（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）はＣ−Ｃ断面図、（ｄ）は位置決め部材２３２の斜視図である。
【００３３】
取付け具２３０は、透光性の素材からなる板状部材２３１をベースとしている。透光性の素材からなる板状部材２３１としては、アクリルなどの透明樹脂が使用できるがそれに限定されるものではない。板状の取付け具への被測定物の取付けは、以下のように行われる。断面がＬ字状の位置決め部材２３２を取付け具上の被測定物の４隅に相当する位置に設けそれにカバーガラス２１をセットし位置決めする。さらにその上に充填材２３、太陽電池セル２８（ストリング２５、太陽電池パネル３０）、充填材２４、裏面材２２を重ねて載置する。このようにカバーガラスをセットすることにより、透明な板状部材２３１に傷がつかないようにすることができる。さらに透明な板状部材の下面には、暗室上面１１１との接触する部分には傷がつかないよう、その４墨に支持パッド２３３を設けることが好ましい。
【００３４】
また上記のように太陽電池の構成部材をラミネート加工する前に積層して載置する場合は、位置決め手段に以下のような配慮をすることが好ましい。図５は、ラミネート加工前の太陽電池の構成部材を本発明の取付け具に積層して載置した状態を示している。本図からわかるように、ラミネート加工前なので充填材２３（２４）や裏面材２２はカバーガラス２１より大きくはみ出している。したがってＬ字状の位置決め部材の位置決め部の高さはカバーガラスの厚さ寸法より低くしている。さらにこのような場合は、カバーガラス上に積層載置した充填材、太陽電池セルや裏面材を固定手段２３４により固定することが好ましい。
【００３５】
図６は、取付け具に積層して載置した太陽電池の構成部材を固定手段２３４により固定した状態を示している。図１では、固定手段は取付け具上に４個設けられているが、被加工物のサイズに応じて個数を適宜増減させればよい。図６は、手動式の固定手段であり、ＣＡはクランプアーム、Ｓはスプリング、ＣＬはクランプレバーである。クランプアームＣＡを太陽電池モジュールの構成部材上に回転移動させて、クランプレバーＣＬで固定する構成となっている。クランプレバーで締めすぎるとカバーガラスが割れる原因となるのでクランプレバーにて一定角度以上回転させるとそれ以上締まることがないような安全機構を設けることが好ましい。
【００３６】
また固定手段は、このようなクランプアームとクランプレバーによる手動式だけでなく、エアー式のロータリシリンダーによりクランプアームを旋回下降させる方式も採用することができる。この場合は、クランプ力はエアー圧を調整して行う。
【００３７】
本発明の取付け具は、図１８に示すラミネート加工前の太陽電池の構成部材を積層載置したものだけでなく、図１９に示すラミネート加工したものも載置可能である。この場合は、上記の位置決め手段２３２に関する配慮は不要であり、固定手段２３４も設ける必要はない。図１の本発明の取付け具において２３５は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。なおマニュピレータにより搬送する場合の手段は、溝２３５のみに限定されることはない。マニュピレータの把持部材を取付け具に設ける構成としても良い。これは、以下の実施形態２から４の取付け具においても同様である。
【００３８】
＜３−２＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態２
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態２について図２により説明する。
【００３９】
本発明の取付け具２４０は、透光性の素材からなる板状部材２４１の両側に遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２４２を取付けした構成である。２４３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。透明な板状部材２４１と支持部材２４２との取付けは、ボルト等により接続固定されている。
透明な板状部材２４１には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚位置決め部材２３２と固定手段２３４の一部を支持部材２４２上に設ける構成とすることもできる。この場合その取付け位置は、太陽パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）を考慮する必要がある。
本実施形態の場合、取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４０】
＜３−３＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態３
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態３について図３により説明する。
【００４１】
本発明の取付け具２５０は、透光性の素材からなる板状部材２５１の周縁に遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２５２を取付けした構成である。２５３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。透明な板状部材と支持部材との取付けは、ボルト等により接続固定されている。
透明な板状部材２５１には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚位置決め部材２３２と固定手段２３４の一部を支持部材２５２上に設ける構成とすることもできる。この場合その取付け位置は、太陽パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）を考慮する必要がある。
本実施形態の場合、実施形態２と同様に取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４２】
＜３−４＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態４
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態４について図４により説明する。
【００４３】
本発明の取付け具２６０は、内側に被測定物の太陽電池パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）に相当する大きさの開口部２６２を有する枠状の遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２６１である。２６３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。
また枠状の支持部材上には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚本実施形態の場合は、実施形態２，３と同様に取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４４】
＜４＞撮影用カメラ
被測定物２００から発するＥＬ発光は、１，０００ｎｍから１，３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室内で発光させ、撮影用カメラ１２０でこの微弱な光を撮影する。このため、撮影用カメラ１２０としては微弱な光に対する感度の良いＣＣＤカメラを用いる必要がある。本実施の形態例では、浜松ホトニクス製の型式Ｃ９２９９−０２（Ｓｉ−ＣＣＤカメラ）を使用している。
【００４５】
＜５＞暗室内部のカメラ移動機構
図１２にカメラの移動機構の構成を示す。暗室１１０内には、カメラ１２０と、このカメラ１２０をｙ軸方向に移動するｙ軸ガイド部１３０がある。ｙ軸ガイド部１３０の一端には、モータ１３２があり、これが回転することで、カメラ１２０をｙ軸方向に進退させることができる。
【００４６】
ｙ軸ガイド部１３０の両端は、ｘ軸ガイド部１４０、１４０に支持されている。そして、モータ１４２と両側のタイミングベルト１４４、１４４とによって、ｙ軸ガイド部１３０は、ｘ軸ガイド部上を、ｘ軸方向に沿って進退可能となっている。以上の構成において、ｘ軸ガイド部１４０、１４０、ｙ軸ガイド部１３０、モータ１３２、１４２、タイミングベルト１４４、１４４とで、カメラ１２０の駆動機構を構成している。ｘ軸ガイド部１４０、１４０及びｙ軸ガイド部１３０は、各種のリニアアクチュエータを使用することができるが、この実施例では、ボールネジを使用している。
【００４７】
駆動機構のモータ１３２、１４２を回転制御することで、カメラ１２０を、ｘ−ｙ平面内の任意の位置に移動し、被測定物２００の隅から隅までの全面（図１８および図１９における検査部分３０ａに相当する部分）を撮影することが可能となっている。
【００４８】
なお、駆動方式は、モータ及びボールネジを使用した上記の実施例に限定されるものではなく、各種のリニアアクチュエータを使用することができる。
【００４９】
＜６＞その他機器
上記の他に、図示を省略するが、図２０の従来例で示した電源１４やパソコンを利用した画像処理装置１５が設けられている。
【００５０】
＜７＞検査装置の使用方法
被測定物２００として太陽電池パネル（図１８または図１９の３０）を例にして、本発明の太陽電池の検査装置の使用方法を説明する。
【００５１】
本発明の実施形態１から４の取付け具２３０から２６０にラミネート加工前の太陽電池の構成部材を図５のように積層載置して、本取付け具を図１２のように検査装置の暗室上面にセットする。セットする方法は、＜９＞で詳細に説明する。
【００５２】
本発明の取付け具に載置された太陽電池の構成部材のうち太陽電池セル、ストリングまたは太陽電池パネル（図１８または図１９の３０）は、図示しない電源との間で接続がされる。実施形態１の図１または実施形態２の図２の取付け具には、被測定物２００は、板状の透明部材上の位置決め部材により載置されている。検査装置の暗室上面の開口部１１２（図１１および図１２参照）が太陽電池より大きいと周囲から暗室内に光が入るから、被測定物２００の上から暗室１１０の上面全体を＜８＞で説明する遮光手段で覆う必要がある。尚暗室上面の開口部が太陽電池より小さい場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材２３２や支持パッド２３３により生ずる隙間）を適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。この場合は、開口部は太陽電池パネルの検査部分３０ａと同じか少し大きくなっている。
【００５３】
実施形態３の図３の取付け具では、枠状の支持部材２５２は遮光性の素材でできており透明な板状部材２５１が太陽電池パネルより大きいと周囲から暗室内に光が入るから、被測定物２００の上から暗室１１０の上面全体を＜８＞で説明する遮光手段で覆う必要がある。尚透明な板状部材２５１が太陽電池より小さい場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材や支持パッドにより生ずる隙間）のみ適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。この場合は、開口部は太陽電池パネルの検査部分３０ａと同じか少し大きくなっている。
実施形態４の図４の取付け具では、枠状の支持部材２６１は遮光性の素材でできている。この場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材や支持パッドにより生ずる隙間）のみ適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。
【００５４】
本検査装置１００により被測定物２００である太陽電池の全体を撮影し、その画像により検査する場合は、カメラの移動機構を設けることなく、カメラ１２０を暗室１１０の底部に固定して撮影することができる。この場合の被測定物２００としては、太陽電池セル２８、太陽電池セルを複数個リード線で接続したストリング２５、さらにストリング２５を複数列リード線で接続したマトリックス状の太陽電池パネル３０のいずれでもよい。
【００５５】
本検査装置１００により太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置された太陽電池セルを１枚ずつ撮影してその画像により検査する場合は、暗室内でカメラを移動できるように移動機構を設けて撮影する。
【００５６】
駆動機構のモータ１３２、１４２の回転制御によって、カメラ１２０は、太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置されている太陽電池セル２８を１枚ずつ撮影し、図示しないパソコンなどからなる画像処理装置に画像データを送る。画像処理装置は、各太陽電池セルの画像から発光しない部分を取り出して分析し、太陽電池セル２８ごとの合否を判断し、全ての太陽電池セルについての合否の結果から、太陽電池パネル３０全体としての合否を判断する。
【００５７】
なお、カメラ１２０による撮影も、カメラを移動し太陽電池セル１枚ごとでもよいし、数枚ずつでもよく、カメラの移動をせずに固定し太陽電池パネル３０全体としてもよい。
【００５８】
＜８＞遮光手段
太陽電池の裏側の樹脂製の裏面材２２は、不透明であり、遮光性が十分である。また暗室１１０の上面１１１も、開口部１１２以外は遮光性の部材で構成されている。被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０が開口部１１２上にセットされる。したがって太陽電池の寸法が開口部１１２より大きくて、開口部１１２の全体が太陽電池で覆われる場合には、遮光手段は不要である。ただしこの場合、取付け具上の位置決め部材２３２と太陽電池、さらに取付け具と支持パッド２３３により生ずる隙間により遮光できない場合は、隙間部分に相当する部分に遮光性のスポンジ材などの遮光部材を配置して遮光する必要はある。
【００５９】
しかし、取付け具２３０から２６０上に載置した被測定物２００である太陽電池の方が開口部１１２より小さい場合や取付け具上の位置決め部材２３２と太陽電池により生ずる隙間や取付け具と支持パッド２３３により生ずる隙間を上記の遮光部材で遮光できない場合は、光が暗室１１０内に入るので、暗室上面１１１を遮光手段で覆う必要がある。その具体的な遮光手段について以下説明する。
【００６０】
＜８−１＞遮光手段の実施形態１
本実施の形態の遮光手段３００では、図１３に示すとおり暗室の上面１１０の上部全てを遮光カバー３０２により覆う構成となっている。本検査装置１００の幅方向のいずれか一端に遮光手段３００のベース３０１を設けている。遮光カバー３０２は、２本のアーム３０３に支持されていて、このアーム３０３を２本のエアーシリンダー３０４で旋回中心軸Ｃを中心に旋回して上下させる構成となっている。
【００６１】
なお、図のＷは、遮光カバー３０２を旋回上下させる場合のカウンターウェイトである。この遮光カバー３０２は、被測定物２００を検査測定中は下降している。また本検査装置１００に被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０が搬入される場合は開いて（上昇して）いる。尚暗室１１０の上方から取付け具を搬入する場合は、遮光カバー３０２は、検査装置１００の側方に回避している。
【００６２】
遮光カバー３０２は、鋼等の薄板製で、下方が開放された箱型をしている。またこの遮光カバー３０２の下方にはゴム製の密閉シート３０５を取付け、遮光を確保できるようにしている。
【００６３】
なお、遮光カバー３０２の上下は、本実施の形態のように旋回させて上下させる方式だけでなく、図示しないが本検査装置１００の４隅に遮光カバーが上下するためのガイドを兼用した支柱を設け、遮光カバーをアクチュエータにより上下させる構成とすることもできる。
【００６４】
＜８−２＞遮光手段の実施形態２
図１４は、遮光手段の実施形態２の構成を示す図で、（ａ）は遮光手段の斜視図、（ｂ）は遮光手段の取り付け構造を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。この遮光手段４００は、開口部１１２と被測定物２００である太陽電池との間に額縁状にできる隙間を遮光する部材で、金属製、合成樹脂製などの剛性のある板材４０１に遮光性を有するスポンジ４０２などを貼り付けている。スポンジ４０２は、開口部１１２と接する側の面に設ける。遮光手段４００の外側寸法は、開口部１１２より大きく、開口側の寸法は被測定物２００である太陽電池より小さく、被測定物２００の図１８および図１９の検査部分３０ａより大きい範囲内である。
【００６５】
本実施の形態では、図１４（ｂ）のように本検査装置１００の上面１１１の裏側に一対のＬ型のレール金具４０３、４０３を設け、この一対のレール金具４０３、４０３の間に、図１４（ａ）に示すような額縁状の形状をした遮光手段４００を挿入する。Ｌ型のレール金具４０３の一端にはストッパー４０４が設けられ、遮光手段４００の位置決めがされる。スポンジ４０２が開口部１１２の周縁部と密着する。本検査装置１００の暗室１１０の側面を開閉式としておき、被測定物の寸法に応じて遮光手段４００を交換する。
【００６６】
＜８−３＞遮光手段の実施形態３
本実施の形態は、遮光手段の実施形態２の別例であり、被測定物２００である太陽電池の寸法が小ロットで変わる場合に対応したものである。遮光手段５００は、２対の合計４枚の遮光板をアクチュエータにより被測定物２００の寸法に応じて自動的に移動させる構成としている。
【００６７】
構成を図１５に沿って説明する。本実施の形態では、図１４（ａ）の額縁状の形状をした遮光板を図１５（ａ）に示すように２対の遮光板５０１、５０１と、遮光板５０２、５０２の合計４枚に分けている。これらの遮光板を図１４に示す実施の形態２と同じように本検査装置の暗室上面１１１の裏側に配置する。遮光板５０１は、遮光性のある矩形板である。一方遮光板５０２には、遮光板５０１がはまり込みスライド可能な溝Ｍが設けられている。
【００６８】
遮光板５０１と５０２を図１５（ｂ）のように配置し被測定物２００の寸法に応じてアクチュエータにより各対の遮光板５０１、５０２を接近離反させ、開口サイズを変更する。
【００６９】
図１５の遮光板５０１、５０２の開口寸法を変更する駆動機構として図１６を示す。図１６（ａ）は平面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。これらの図に示すように一対の遮光板５０１と遮光板５０１を２本のネジ５０３、５０３で連結する。ネジ５０３は、一方側が右ネジで他方側が左ネジとなっている。両方のネジ５０３、５０３をタイミングベルト５０５、５０５により１個のモータ５０４で回転駆動する。ネジ５０３を支持する８個のブラケット５０７と、モータ５０４を適当な場所に固定する。モータ５０４を回転駆動させことで相互を接近離反することができる。なお、遮光板５０１の位置は図示しないエンコーダーにより確認する。図示は省略するが、遮光板５０２、５０２の方も同じ構成とすることで、遮光板の開口寸法を被測定物２００のサイズに合わせることができる。
【００７０】
＜８−４＞遮光手段の実施形態４
図１７は、遮光手段の実施形態４を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。この図に示す遮光手段７００は、遮光手段の実施形態１と同様暗室１１０の全体を遮光材で覆うものである。この遮光手段７００には搬入側Ａと搬出側Ｂに、開閉式の扉が設けられている。被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０は、扉を開閉することにより＜９＞で説明する方法により搬入・搬出される。
【００７１】
＜９＞取付け具の搬入方法
次に本発明の取付け具２３０から２６０を検査装置の暗室上面１１１に搬入し載置する方法を説明図７から図１０により説明する。尚図面には、位置決め部材や固定部材などは省略している。
【００７２】
＜９−１＞取付け具の搬入方法１
搬入方法１を図７および図８により説明する。
取付け具にはマニュピレータなどの爪が嵌入する溝２３５が４個設けられていて太陽電池の構成部材を積層載置して、固定手段２３４にて固定した状態で検査装置の暗室上面１１１にセットされる。暗室上面と取付け具の位置決めは、以下の様に行う。
図７の場合は、暗室上面１１１の対角の位置にピン２７１が設けられていて、取付け具２３０から２６０には対角の位置にピン孔２７０が設けられている。このピン２７１とピン孔２７０にて検査装置の暗室上面１１１と取付け具とを位置決めする構成となっている。
また図８の場合は、取付け具２３０から２６０には各辺の４隅の側面に下方に伸びる位置決め用の板材２８１と２８２が各４個設けられている。この位置決め用の板材にて暗室上面と取付け具とを位置決めする構成となっている。
また図示してはいないが、図８の位置決め用の板材２８１と２８２を暗室側面の４隅に位置決め用の側板として暗室上面よりも上側に伸びる形態で設けることも可能である。その位置決め用の側板の間に取付け具を位置決めセットする。
このような方法により検査装置の暗室上面に取付け具をセットする場合、その遮光手段としては＜８−１＞、＜８−２＞および＜８−３＞の形態の遮光手段を使用することができる。
検査装置内での測定が完了するとマニュピレータなどにより取付け具は、搬出される。
【００７３】
＜９−２＞取付け具の搬入方法２
搬送方法２を図９および図１０により説明する。取付け具は、前工程からチェーンコンベアやローラコンベアーにて検査装置前まで搬送される。検査装置の暗室上面１１１の取付け具の搬送方向に平行な方向には、図９に示す様に暗室上面１１１の両端部にサイドガイド２９１が設けられている。またサイドガイドの内側側面には複数のローラ２９２が設けられている。図示していないが、ローラはモータ等により駆動回転する構成となっている。取付け具２３０から２６０は、前工程から検査装置のサイドガイド２９１のローラ２９２上を移動する。またサイドガイドのどちらか一方にはエアーシリンダー等のアクチュエータにより出入りする位置決めストッパーが設けられていて、取付け具はそのストッパーに接触し所定の位置に位置決めされる。
このような方法により検査装置の暗室上面に取付け具をセットする場合、その遮光手段としては＜８−４＞の形態の遮光手段７００を使用することができる。具体的には、図１０のような形態となる。取付け具が検査装置の前近傍に到達すると遮光手段７００の入口側の扉が開き、装置内部に有るローラが回転駆動し取付け具は装置内に搬入される。検査が完了すると検査装置の遮光手段７００の出口側の扉が開き、装置内部に有るローラが回転駆動し取付け具は装置外に搬出される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態１を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）はＣ−Ｃ断面図、（ｄ）は位置決め部材２３２の斜視図である。
【図２】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態２を示す図である。
【図３】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態３を示す図である。
【図４】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態４を示す図である。
【図５】本発明の太陽電池の取付け具に太陽電池の構成部材を積層載置した状態を示す図である。
【図６】本発明の太陽電池の取付け具に積層載置した太陽電池の構成部材を固定手段２３４にて固定した状態を示す図である。
【図７】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法１の説明図である。
【図８】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法１の補足説明図である。
【図９】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法２の説明図である。
【図１０】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法２の補足説明図である。
【図１１】暗室部分の斜視図で（ａ）は暗室上面の一部が開口部になっている図、（ｂ）は暗室上面全体が開口部になっている図である。
【図１２】太陽電池の検査装置のカメラとカメラ駆動装置の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態１の斜視図である。
【図１４】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態２の構成図で、（ａ）は遮光手段の斜視図、（ｂ）は遮光手段の取付け構造を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態３の構成図で、（ａ）は分解状態を示す斜視図、（ｂ）は組立状態を示す平面図である。
【図１６】図１５の遮光手段の駆動機構を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図１７】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態４の構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。
【図１８】本発明の検査装置にて測定するラミネート加工前の太陽電池の構成部材を積層した状態の説明図で（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図１９】本発明の検査装置にて測定するラミネート加工後の太陽電池の構成の説明図で（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２０】従来の太陽電池の検査装置の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１００ 太陽電池の検査装置
１１０ 暗室
１１１ 上面
１１２ 開口部
１２０ カメラ
１３０ ｙ軸ガイド部
１３２、１４２ モータ
１４０ ｘ軸ガイド部
１４４ タイミングベルト
２００ 被測定物（太陽電池）
２３０、２４０、２５０、２６０ 取付け具
２３１、２４１、２５１ 透明な板状部材
２３２ 位置決め部材
２３３ 支持パッド
２３４ 固定手段
２３５、２４３、２５３、２６３ 溝
２４２ 支持部材
２５２、２６１ 枠状支持部材
２６２ 開口部
２７０ ピン孔
２７１ 位置決めピン
２８１、２８２ 位置決め板
２９１ サイドガイド
２９２ ローラ
３００ 遮光手段
３０１ ベース
３０２ 遮光カバー
３０３ アーム
３０４ エアーシリンダー
３０５ 密封シート
４００ 遮光手段
４０１ 遮光板
４０２ スポンジ
４０３ Ｌ型金具
４０４ ストッパー
５００ 遮光手段
５０１、５０２ 遮光板
５０３ 送りネジ
５０４ モータ
５０５ タイミングベルト
７００ 遮光手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池セル、太陽電池セルを一列に接続したストリング、ストリングを平行に複数配置した太陽電池パネルなど、太陽電池一般の性能を検査する装置、その検査装置へ太陽電池を搬入する取付け具、およびその取付け具による太陽電池の搬入方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽エネルギーの利用方法として、シリコン型の太陽電池が知られている。太陽電池の製造においては、太陽電池が目的の発電能力を有しているかどうかの性能評価が重要である。性能評価には、通常、出力特性の測定がされる。
【０００３】
出力特性は、光照射下において、太陽電池の電流電圧特性を測定する光電変換特性として行われる。光源としては、太陽光が望ましいのであるが、天候により強度が変化することから、ソーラーシミュレーターが使用されている。ソーラーシミュレーターでは、太陽光に代えてキセノンランプやメタルハライドランプ等を使用している。また、これらの光源を長時間点灯していると、温度上昇などにより光量が変化する。そこで、これらのランプのフラッシュ光を用い、横軸を電圧、縦軸を電流として、収集したデータをプロットすることにより太陽電池の出力特性曲線を得ている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ソーラーシミュレーターと異なる方法として、特許文献２では、シリコンの多結晶型の太陽電池素子に対して順方向に電圧を印加することで、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を生じさせる方法を提案している。また、薄膜型の太陽電池でも同様のことが生じる。太陽電池素子から発光されるＥＬを観察することによって、電流密度分布が分かり、電流密度分布の不均一から太陽電池素子の欠陥を知ることができる。すなわち、発光しない部分が欠陥部分と判断でき、この欠陥部分の面積が予め決められた量より少なければ、所定の発電能力を有するものと判断できることになる。
【０００５】
図２０は、特許文献２に記載された検査装置の構成を模式的に示す図である。検査装置１０は、暗室１１と、この暗室１１の上部に設けられたＣＣＤカメラ１２と、暗室１１の床面に載置された太陽電池セル１３に電流を流す電源１４と、ＣＣＤカメラ１２からの画像信号を処理する画像処理装置１５とから構成されている。
【０００６】
暗室１１には窓１１ａがあり、ここにＣＣＤカメラ１２のファインダー１２ａがあって、ここから肉眼で覗くことで、ＣＣＤカメラ１２の撮影画像を確認することができる。画像処理装置１５としては、パソコンを使用している。
【特許文献１】特開２００７−８８４１９
【特許文献２】ＷＯ／２００６／０５９６１５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図２０に示す検査装置１０は、太陽電池セル１３を下に置いて、上からカメラで撮影するのであるが、太陽電池セル１３から発光されるＥＬは、１、０００ｎｍから１、３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室１１でなければ検知できない。被測定物が１枚の太陽電池セルであれば、１００ｍｍ平方程度なので、暗室１１も小さいものでよい。
【０００８】
しかし、太陽電池パネルになると、２ｍ×１ｍ程度の大きさとなり、暗室１１もこれを収容できる大きさが必要となる。また、被測定物となる太陽電池パネルは、暗室内に入れなければＣＣＤカメラ１２で撮影できないので、暗室に太陽電池パネルの出し入れができる扉を設けなければならない。検査装置をこのような暗室内に搬入する構成とすると、設置した扉が閉じた場合の遮光性も確保しなければならない。また検査装置に搬入された太陽電池の位置決め部材や搬送ガイド部材も暗室内に設ける必要がある。さらに、太陽電池に電流を通すための通電手段も暗室内に設ける必要がある。という具合に構造的に複雑になり、高価なものとなる。
【０００９】
このような太陽電池の検査装置に被測定物である太陽電池を搬入する場合、ラミネート加工が完了した太陽電池の場合には、太陽電池の構成部材である透明基板の両端を複数のローラやチェーンコンベアなどで支持して搬送する方法を採用することができる。
【００１０】
ＥＬ発光により太陽電池セルの欠陥を検査する場合、太陽電池の構成部材をラミネート加工した状態ものを検査するばかりでなく、ラミネート加工前に太陽電池の構成部材をただ積層した状態で太陽電池の検査装置に搬入する場合がある。この場合は、透明基板の両端を複数のローラやチェーンコンベアにて搬送することになる。この場合搬送中に太陽電池の各構成部材の相互の位置がずれることが無いよう搬送するために太陽電池の構成部材のサイズに制限を設ける必要がある。例えば透明基板からの裏面材のはみ出し量の最大値をある量に設定するなどの必要がある。
【００１１】
本発明は、斯かる実情に鑑みてなされたもので、太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ発光させる検査装置へ被測定物である太陽電池を搬入する場合に、上記のような搬送中のトラブルの発生が無い搬入用の取付け具、および搬入方法、さらにこのような太陽電池の搬入用の取付け具および搬入方法を使用した安価な構造の太陽電池の検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具の第１の構成は、上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は透光性の素材からなる板状の部材と、前記板状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴としている。また本発明の取付け具の第２および第３の構成は、前記透光性の素材からなる板状の部材の両側または周囲に支持用の部材を設け、前記の透光性の素材からなる板状の部材または前記支持部材に太陽電池を位置決めする手段を有する構成としている。
【００１３】
上記の目的を達成するために本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具の第４の構成は、上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は内側に開口部を有する枠状の部材と、前記枠状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴としている。
【００１４】
また上記の特徴を有する前記取付け具には、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を有する構成とすることもできるし、上記の構成の前記取付け具に太陽電池の固定手段を有する構成とすることもできる。
【００１５】
さらに前記取付け具を、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を、前記太陽電池の検査装置に設けた構成とすることもできる。
上記の構成の前記取付け具に太陽電池を載置し、前記太陽電池の検査装置に搬入する方法を採用することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具を使用すれば、太陽電池の構成部材をラミネート加工する前に、ただ積層された状態で太陽電池の検査装置に搬入しても構成部材がずれることがなく確実に検査装置に搬入することが可能である。また構成部材が透明基板からのはみ出し量についての制限などを設ける必要がなくなる。
【００１７】
また本発明の太陽電池の検査装置への太陽電池の搬入用の取付け具のうち太陽電池をその検査部分に相当する大きさの開口部を有する枠状の取付け具に載置して検査装置の暗室上面に搬入することにより以下のような効果がある。
薄膜型の太陽電池をＥＬ発光により検査する場合、太陽電池から出射される光が微弱なので、開口部に太陽電池を載置するためのガラス板や合成樹脂製などの透明板を設け、これを通してカメラで撮影すると、太陽電池からの発光光が５〜１０％程度吸収され、減衰されてしまう。しかし、本発明の太陽電池の搬入用の取付け具では、太陽電池の検査部分は枠状の取付け具の開口部上にあって、太陽電池の検査部分は開口部に露出しており、透明板などで発光光を減衰させることなくカメラで捉えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例を添付の図面を参照して説明する。
【００１９】
＜１＞被測定物
本発明が対象とする被測定物について図１８、図１９により説明する。
まず本検査装置が扱う対象である被測定物２００がラミネート加工前に太陽電池の構成部材を積層した状態のものを図１８により説明する。図１８は、本検査装置にて測定する太陽電池の構成の説明図で、（ａ）は、太陽電池の内部の太陽電池セルが分かるように記載した平面図で、（ｂ）は（ａ）の断面図である。
【００２０】
図１８（ａ）の平面図に示す様に、被測定物２００である太陽電池は角型の太陽電池セル２８がリード線２９により複数個直列に接続されたストリング２５を形成し、さらにそのストリングを複数列リード線２９により接続した構成となっている。
【００２１】
被測定物２００である太陽電池セルとしては、太陽電池セル２８が１枚のみのものでもよく、太陽電池セル２８を複数個直列につないだストリング２５の状態でもよく、ストリング２５を平行に複数列並べ、太陽電池セル２８がマトリックス状に配置された太陽電池パネル３０でもよい。
【００２２】
また被測定物の断面構造は、図１８（ｂ）に示す様に、上側に配置された裏面材２２と下側に配置された透明基板（以下カバーガラスともいう）２１の間に、充填材２３、２４を介して複数列のストリング２５を積み重ねた状態を示している。本検査装置では、このようにラミネート加工前の太陽電池を構成する部材を積み重ねた状態で太陽電池セルの欠陥を測定することもできる。図１８（ｂ）に示したとおり、ラミネート加工前なので透明基板と太陽電池セルよりも充填材や裏面材がそれらよりも外部に大きくはみ出した状態となっている。また本例の他に透明基板２１、充填材２３と太陽電池セル２８（２５または３０）を積み重ねた状態で本検査装置にて検査を行い、その後裏面材２２と充填材２４を積層してもかまわない。
【００２３】
裏面材２２は例えばＰＥＴあるいは、フッ素系樹脂などの材料が使用される。したがって透明基板から外部にはみ出した部分は垂れ下がった状態となる。充填材２３、２４には例えばＥＶＡ樹脂（エチレンビニルアセテート樹脂）などが使用される。ストリング２５は、上記のように電極２６、２７の間に、太陽電池セル２８をリード線２９を介して接続した構成である。
【００２４】
つぎにラミネート加工した状態の被測定物について図１９により説明する。図１８と同様の構成部材を積層しラミネート装置などにより、真空の加熱状態下で圧力を加え、ＥＶＡを架橋反応させてラミネート加工して得られる。各辺の不要部分（透明基板からはみだした部分）は、切断除去される。
【００２５】
また被測定物２００としては、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池を対象とすることができる。
【００２６】
この薄膜式の代表的な構造例では、下側に配置された透明基板には、予め透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。そして、このような薄膜型太陽電池の透明基板を下向きに配置し、基板上の太陽電池素子の上に充填材を被せ、更に、充填材の上に裏面材を積み重ねた状態となっている。
【００２７】
ラミネート加工した被測定物２００としての薄膜式の太陽電池は、結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけで、封止部材や裏面材は前記した結晶系セルの場合と同じである。
【００２８】
＜２＞検査装置の全体構造
図１１は暗室１１０部分の斜視図で（ａ）は暗室上面１１１の一部が開口部１１２になっている図、（ｂ）は暗室上面全体が開口部１１２になっている図である。図１２は、太陽電池の検査装置のカメラとカメラ駆動装置の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ右側面図である。
【００２９】
これらの図に示す本発明の太陽電池の検査装置１００は、四角の箱形の暗室１１０およびその平らな上面１１１に、開口部１１２が穿設されている。開口部１１２は、図１１（ａ）の場合は、被測定物２００の大きさを考慮して暗室１１０の上面の一部に形成している。図１１（ｂ）の場合は、暗室の上面全体が開口部となっていて、暗室の４側面の頂部が上面１１１となっている。
上面１１１の開口部１１２以外は、暗室１１０に光を入れないような遮光性の素材からなる構成にしている。もっとも、暗室上面１１１に被測定物２００として太陽電池を載置した取付け具（＜３＞で説明）をセットした後、被測定物２００である太陽電池を含む上面１１１の全体を、遮光手段にて覆うことにすれば、図１１（ｂ）に示すように、上面１１１全体を開口部１１２にしてもよい。また、上面以外の４つの側面と底面は全て遮光性の部材としている。
【００３０】
暗室内には、被測定物２００である太陽電池を検査測定するカメラ１２０と、その移動機構が設けられている。ただし、カメラ１２０の移動機構については用途に応じて設けない場合もある。
【００３１】
＜３＞被測定物を位置決め載置する取付け具
暗室１１０の上面１１１に、本発明の太陽電池を載置した取付け具が配置される。この取付け具の構成について図１から図６により説明する。図１から図４は、本発明の取付け具の実施形態１から４を示す図である。図５は、本発明の取付け具に太陽電池の構成部材を積層載置した状態を示す図である。図６は、本発明の取付け具に太陽電池の構成部材を積層し、固定手段にて固定した状態を示す図である。本発明の取付け具に太陽電池を載置して太陽電池の検査装置に搬入する方法、および取付け具と検査装置の暗室との位置決め方法については＜９＞の搬入方法の箇所で詳しく述べる。
【００３２】
＜３−１＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態１
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態１について図１により説明する。図１の（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）はＣ−Ｃ断面図、（ｄ）は位置決め部材２３２の斜視図である。
【００３３】
取付け具２３０は、透光性の素材からなる板状部材２３１をベースとしている。透光性の素材からなる板状部材２３１としては、アクリルなどの透明樹脂が使用できるがそれに限定されるものではない。板状の取付け具への被測定物の取付けは、以下のように行われる。断面がＬ字状の位置決め部材２３２を取付け具上の被測定物の４隅に相当する位置に設けそれにカバーガラス２１をセットし位置決めする。さらにその上に充填材２３、太陽電池セル２８（ストリング２５、太陽電池パネル３０）、充填材２４、裏面材２２を重ねて載置する。このようにカバーガラスをセットすることにより、透明な板状部材２３１に傷がつかないようにすることができる。さらに透明な板状部材の下面には、暗室上面１１１との接触する部分には傷がつかないよう、その４墨に支持パッド２３３を設けることが好ましい。
【００３４】
また上記のように太陽電池の構成部材をラミネート加工する前に積層して載置する場合は、位置決め手段に以下のような配慮をすることが好ましい。図５は、ラミネート加工前の太陽電池の構成部材を本発明の取付け具に積層して載置した状態を示している。本図からわかるように、ラミネート加工前なので充填材２３（２４）や裏面材２２はカバーガラス２１より大きくはみ出している。したがってＬ字状の位置決め部材の位置決め部の高さはカバーガラスの厚さ寸法より低くしている。さらにこのような場合は、カバーガラス上に積層載置した充填材、太陽電池セルや裏面材を固定手段２３４により固定することが好ましい。
【００３５】
図６は、取付け具に積層して載置した太陽電池の構成部材を固定手段２３４により固定した状態を示している。図１では、固定手段は取付け具上に４個設けられているが、被加工物のサイズに応じて個数を適宜増減させればよい。図６は、手動式の固定手段であり、ＣＡはクランプアーム、Ｓはスプリング、ＣＬはクランプレバーである。クランプアームＣＡを太陽電池モジュールの構成部材上に回転移動させて、クランプレバーＣＬで固定する構成となっている。クランプレバーで締めすぎるとカバーガラスが割れる原因となるのでクランプレバーにて一定角度以上回転させるとそれ以上締まることがないような安全機構を設けることが好ましい。
【００３６】
また固定手段は、このようなクランプアームとクランプレバーによる手動式だけでなく、エアー式のロータリシリンダーによりクランプアームを旋回下降させる方式も採用することができる。この場合は、クランプ力はエアー圧を調整して行う。
【００３７】
本発明の取付け具は、図１８に示すラミネート加工前の太陽電池の構成部材を積層載置したものだけでなく、図１９に示すラミネート加工したものも載置可能である。この場合は、上記の位置決め手段２３２に関する配慮は不要であり、固定手段２３４も設ける必要はない。図１の本発明の取付け具において２３５は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。なおマニュピレータにより搬送する場合の手段は、溝２３５のみに限定されることはない。マニュピレータの把持部材を取付け具に設ける構成としても良い。これは、以下の実施形態２から４の取付け具においても同様である。
【００３８】
＜３−２＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態２
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態２について図２により説明する。
【００３９】
本発明の取付け具２４０は、透光性の素材からなる板状部材２４１の両側に遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２４２を取付けした構成である。２４３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。透明な板状部材２４１と支持部材２４２との取付けは、ボルト等により接続固定されている。
透明な板状部材２４１には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚位置決め部材２３２と固定手段２３４の一部を支持部材２４２上に設ける構成とすることもできる。この場合その取付け位置は、太陽パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）を考慮する必要がある。
本実施形態の場合、取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４０】
＜３−３＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態３
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態３について図３により説明する。
【００４１】
本発明の取付け具２５０は、透光性の素材からなる板状部材２５１の周縁に遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２５２を取付けした構成である。２５３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。透明な板状部材と支持部材との取付けは、ボルト等により接続固定されている。
透明な板状部材２５１には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚位置決め部材２３２と固定手段２３４の一部を支持部材２５２上に設ける構成とすることもできる。この場合その取付け位置は、太陽パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）を考慮する必要がある。
本実施形態の場合、実施形態２と同様に取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４２】
＜３−４＞被測定物の位置決め載置する取付け具の実施形態４
被測定物２００である太陽電池を図１１（ａ）または（ｂ）に示す暗室上面１１１、開口部１１２上に載置する取付け具の実施形態４について図４により説明する。
【００４３】
本発明の取付け具２６０は、内側に被測定物の太陽電池パネルの検査部分３０ａ（図１８および図１９）に相当する大きさの開口部２６２を有する枠状の遮光性の素材（金属製等）からなる支持部材２６１である。２６３は、取付け具をマニュピレータなどの搬送手段により搬送する際の爪が嵌入する溝であり、取付け具の両端に各２箇所合計４個（斜線部）設けている。
また枠状の支持部材上には、太陽電池の位置決め部材２３２と固定手段２３４が設けられている。尚本実施形態の場合は、実施形態２，３と同様に取付け具の支持部材が金属製素材で構成されている場合は、支持パッド２３３は設ける必要は無い。
【００４４】
＜４＞撮影用カメラ
被測定物２００から発するＥＬ発光は、１，０００ｎｍから１，３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室内で発光させ、撮影用カメラ１２０でこの微弱な光を撮影する。このため、撮影用カメラ１２０としては微弱な光に対する感度の良いＣＣＤカメラを用いる必要がある。本実施の形態例では、浜松ホトニクス製の型式Ｃ９２９９−０２（Ｓｉ−ＣＣＤカメラ）を使用している。
【００４５】
＜５＞暗室内部のカメラ移動機構
図１２にカメラの移動機構の構成を示す。暗室１１０内には、カメラ１２０と、このカメラ１２０をｙ軸方向に移動するｙ軸ガイド部１３０がある。ｙ軸ガイド部１３０の一端には、モータ１３２があり、これが回転することで、カメラ１２０をｙ軸方向に進退させることができる。
【００４６】
ｙ軸ガイド部１３０の両端は、ｘ軸ガイド部１４０、１４０に支持されている。そして、モータ１４２と両側のタイミングベルト１４４、１４４とによって、ｙ軸ガイド部１３０は、ｘ軸ガイド部上を、ｘ軸方向に沿って進退可能となっている。以上の構成において、ｘ軸ガイド部１４０、１４０、ｙ軸ガイド部１３０、モータ１３２、１４２、タイミングベルト１４４、１４４とで、カメラ１２０の駆動機構を構成している。ｘ軸ガイド部１４０、１４０及びｙ軸ガイド部１３０は、各種のリニアアクチュエータを使用することができるが、この実施例では、ボールネジを使用している。
【００４７】
駆動機構のモータ１３２、１４２を回転制御することで、カメラ１２０を、ｘ−ｙ平面内の任意の位置に移動し、被測定物２００の隅から隅までの全面（図１８および図１９における検査部分３０ａに相当する部分）を撮影することが可能となっている。
【００４８】
なお、駆動方式は、モータ及びボールネジを使用した上記の実施例に限定されるものではなく、各種のリニアアクチュエータを使用することができる。
【００４９】
＜６＞その他機器
上記の他に、図示を省略するが、図２０の従来例で示した電源１４やパソコンを利用した画像処理装置１５が設けられている。
【００５０】
＜７＞検査装置の使用方法
被測定物２００として太陽電池パネル（図１８または図１９の３０）を例にして、本発明の太陽電池の検査装置の使用方法を説明する。
【００５１】
本発明の実施形態１から４の取付け具２３０から２６０にラミネート加工前の太陽電池の構成部材を図５のように積層載置して、本取付け具を図１２のように検査装置の暗室上面にセットする。セットする方法は、＜９＞で詳細に説明する。
【００５２】
本発明の取付け具に載置された太陽電池の構成部材のうち太陽電池セル、ストリングまたは太陽電池パネル（図１８または図１９の３０）は、図示しない電源との間で接続がされる。実施形態１の図１または実施形態２の図２の取付け具には、被測定物２００は、板状の透明部材上の位置決め部材により載置されている。検査装置の暗室上面の開口部１１２（図１１および図１２参照）が太陽電池より大きいと周囲から暗室内に光が入るから、被測定物２００の上から暗室１１０の上面全体を＜８＞で説明する遮光手段で覆う必要がある。尚暗室上面の開口部が太陽電池より小さい場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材２３２や支持パッド２３３により生ずる隙間）を適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。この場合は、開口部は太陽電池パネルの検査部分３０ａと同じか少し大きくなっている。
【００５３】
実施形態３の図３の取付け具では、枠状の支持部材２５２は遮光性の素材でできており透明な板状部材２５１が太陽電池パネルより大きいと周囲から暗室内に光が入るから、被測定物２００の上から暗室１１０の上面全体を＜８＞で説明する遮光手段で覆う必要がある。尚透明な板状部材２５１が太陽電池より小さい場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材や支持パッドにより生ずる隙間）のみ適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。この場合は、開口部は太陽電池パネルの検査部分３０ａと同じか少し大きくなっている。
実施形態４の図４の取付け具では、枠状の支持部材２６１は遮光性の素材でできている。この場合は、光が入る隙間部分（取付け具の位置決め部材や支持パッドにより生ずる隙間）のみ適宜遮光部材を設けて遮光すればよい。
【００５４】
本検査装置１００により被測定物２００である太陽電池の全体を撮影し、その画像により検査する場合は、カメラの移動機構を設けることなく、カメラ１２０を暗室１１０の底部に固定して撮影することができる。この場合の被測定物２００としては、太陽電池セル２８、太陽電池セルを複数個リード線で接続したストリング２５、さらにストリング２５を複数列リード線で接続したマトリックス状の太陽電池パネル３０のいずれでもよい。
【００５５】
本検査装置１００により太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置された太陽電池セルを１枚ずつ撮影してその画像により検査する場合は、暗室内でカメラを移動できるように移動機構を設けて撮影する。
【００５６】
駆動機構のモータ１３２、１４２の回転制御によって、カメラ１２０は、太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置されている太陽電池セル２８を１枚ずつ撮影し、図示しないパソコンなどからなる画像処理装置に画像データを送る。画像処理装置は、各太陽電池セルの画像から発光しない部分を取り出して分析し、太陽電池セル２８ごとの合否を判断し、全ての太陽電池セルについての合否の結果から、太陽電池パネル３０全体としての合否を判断する。
【００５７】
なお、カメラ１２０による撮影も、カメラを移動し太陽電池セル１枚ごとでもよいし、数枚ずつでもよく、カメラの移動をせずに固定し太陽電池パネル３０全体としてもよい。
【００５８】
＜８＞遮光手段
太陽電池の裏側の樹脂製の裏面材２２は、不透明であり、遮光性が十分である。また暗室１１０の上面１１１も、開口部１１２以外は遮光性の部材で構成されている。被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０が開口部１１２上にセットされる。したがって太陽電池の寸法が開口部１１２より大きくて、開口部１１２の全体が太陽電池で覆われる場合には、遮光手段は不要である。ただしこの場合、取付け具上の位置決め部材２３２と太陽電池、さらに取付け具と支持パッド２３３により生ずる隙間により遮光できない場合は、隙間部分に相当する部分に遮光性のスポンジ材などの遮光部材を配置して遮光する必要はある。
【００５９】
しかし、取付け具２３０から２６０上に載置した被測定物２００である太陽電池の方が開口部１１２より小さい場合や取付け具上の位置決め部材２３２と太陽電池により生ずる隙間や取付け具と支持パッド２３３により生ずる隙間を上記の遮光部材で遮光できない場合は、光が暗室１１０内に入るので、暗室上面１１１を遮光手段で覆う必要がある。その具体的な遮光手段について以下説明する。
【００６０】
＜８−１＞遮光手段の実施形態１
本実施の形態の遮光手段３００では、図１３に示すとおり暗室の上面１１０の上部全てを遮光カバー３０２により覆う構成となっている。本検査装置１００の幅方向のいずれか一端に遮光手段３００のベース３０１を設けている。遮光カバー３０２は、２本のアーム３０３に支持されていて、このアーム３０３を２本のエアーシリンダー３０４で旋回中心軸Ｃを中心に旋回して上下させる構成となっている。
【００６１】
なお、図のＷは、遮光カバー３０２を旋回上下させる場合のカウンターウェイトである。この遮光カバー３０２は、被測定物２００を検査測定中は下降している。また本検査装置１００に被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０が搬入される場合は開いて（上昇して）いる。尚暗室１１０の上方から取付け具を搬入する場合は、遮光カバー３０２は、検査装置１００の側方に回避している。
【００６２】
遮光カバー３０２は、鋼等の薄板製で、下方が開放された箱型をしている。またこの遮光カバー３０２の下方にはゴム製の密閉シート３０５を取付け、遮光を確保できるようにしている。
【００６３】
なお、遮光カバー３０２の上下は、本実施の形態のように旋回させて上下させる方式だけでなく、図示しないが本検査装置１００の４隅に遮光カバーが上下するためのガイドを兼用した支柱を設け、遮光カバーをアクチュエータにより上下させる構成とすることもできる。
【００６４】
＜８−２＞遮光手段の実施形態２
図１４は、遮光手段の実施形態２の構成を示す図で、（ａ）は遮光手段の斜視図、（ｂ）は遮光手段の取り付け構造を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。この遮光手段４００は、開口部１１２と被測定物２００である太陽電池との間に額縁状にできる隙間を遮光する部材で、金属製、合成樹脂製などの剛性のある板材４０１に遮光性を有するスポンジ４０２などを貼り付けている。スポンジ４０２は、開口部１１２と接する側の面に設ける。遮光手段４００の外側寸法は、開口部１１２より大きく、開口側の寸法は被測定物２００である太陽電池より小さく、被測定物２００の図１８および図１９の検査部分３０ａより大きい範囲内である。
【００６５】
本実施の形態では、図１４（ｂ）のように本検査装置１００の上面１１１の裏側に一対のＬ型のレール金具４０３、４０３を設け、この一対のレール金具４０３、４０３の間に、図１４（ａ）に示すような額縁状の形状をした遮光手段４００を挿入する。Ｌ型のレール金具４０３の一端にはストッパー４０４が設けられ、遮光手段４００の位置決めがされる。スポンジ４０２が開口部１１２の周縁部と密着する。本検査装置１００の暗室１１０の側面を開閉式としておき、被測定物の寸法に応じて遮光手段４００を交換する。
【００６６】
＜８−３＞遮光手段の実施形態３
本実施の形態は、遮光手段の実施形態２の別例であり、被測定物２００である太陽電池の寸法が小ロットで変わる場合に対応したものである。遮光手段５００は、２対の合計４枚の遮光板をアクチュエータにより被測定物２００の寸法に応じて自動的に移動させる構成としている。
【００６７】
構成を図１５に沿って説明する。本実施の形態では、図１４（ａ）の額縁状の形状をした遮光板を図１５（ａ）に示すように２対の遮光板５０１、５０１と、遮光板５０２、５０２の合計４枚に分けている。これらの遮光板を図１４に示す実施の形態２と同じように本検査装置の暗室上面１１１の裏側に配置する。遮光板５０１は、遮光性のある矩形板である。一方遮光板５０２には、遮光板５０１がはまり込みスライド可能な溝Ｍが設けられている。
【００６８】
遮光板５０１と５０２を図１５（ｂ）のように配置し被測定物２００の寸法に応じてアクチュエータにより各対の遮光板５０１、５０２を接近離反させ、開口サイズを変更する。
【００６９】
図１５の遮光板５０１、５０２の開口寸法を変更する駆動機構として図１６を示す。図１６（ａ）は平面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。これらの図に示すように一対の遮光板５０１と遮光板５０１を２本のネジ５０３、５０３で連結する。ネジ５０３は、一方側が右ネジで他方側が左ネジとなっている。両方のネジ５０３、５０３をタイミングベルト５０５、５０５により１個のモータ５０４で回転駆動する。ネジ５０３を支持する８個のブラケット５０７と、モータ５０４を適当な場所に固定する。モータ５０４を回転駆動させことで相互を接近離反することができる。なお、遮光板５０１の位置は図示しないエンコーダーにより確認する。図示は省略するが、遮光板５０２、５０２の方も同じ構成とすることで、遮光板の開口寸法を被測定物２００のサイズに合わせることができる。
【００７０】
＜８−４＞遮光手段の実施形態４
図１７は、遮光手段の実施形態４を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。この図に示す遮光手段７００は、遮光手段の実施形態１と同様暗室１１０の全体を遮光材で覆うものである。この遮光手段７００には搬入側Ａと搬出側Ｂに、開閉式の扉が設けられている。被測定物２００である太陽電池を載置した取付け具２３０から２６０は、扉を開閉することにより＜９＞で説明する方法により搬入・搬出される。
【００７１】
＜９＞取付け具の搬入方法
次に本発明の取付け具２３０から２６０を検査装置の暗室上面１１１に搬入し載置する方法を説明図７から図１０により説明する。尚図面には、位置決め部材や固定部材などは省略している。
【００７２】
＜９−１＞取付け具の搬入方法１
搬入方法１を図７および図８により説明する。
取付け具にはマニュピレータなどの爪が嵌入する溝２３５が４個設けられていて太陽電池の構成部材を積層載置して、固定手段２３４にて固定した状態で検査装置の暗室上面１１１にセットされる。暗室上面と取付け具の位置決めは、以下の様に行う。
図７の場合は、暗室上面１１１の対角の位置にピン２７１が設けられていて、取付け具２３０から２６０には対角の位置にピン孔２７０が設けられている。このピン２７１とピン孔２７０にて検査装置の暗室上面１１１と取付け具とを位置決めする構成となっている。
また図８の場合は、取付け具２３０から２６０には各辺の４隅の側面に下方に伸びる位置決め用の板材２８１と２８２が各４個設けられている。この位置決め用の板材にて暗室上面と取付け具とを位置決めする構成となっている。
また図示してはいないが、図８の位置決め用の板材２８１と２８２を暗室側面の４隅に位置決め用の側板として暗室上面よりも上側に伸びる形態で設けることも可能である。その位置決め用の側板の間に取付け具を位置決めセットする。
このような方法により検査装置の暗室上面に取付け具をセットする場合、その遮光手段としては＜８−１＞、＜８−２＞および＜８−３＞の形態の遮光手段を使用することができる。
検査装置内での測定が完了するとマニュピレータなどにより取付け具は、搬出される。
【００７３】
＜９−２＞取付け具の搬入方法２
搬送方法２を図９および図１０により説明する。取付け具は、前工程からチェーンコンベアやローラコンベアーにて検査装置前まで搬送される。検査装置の暗室上面１１１の取付け具の搬送方向に平行な方向には、図９に示す様に暗室上面１１１の両端部にサイドガイド２９１が設けられている。またサイドガイドの内側側面には複数のローラ２９２が設けられている。図示していないが、ローラはモータ等により駆動回転する構成となっている。取付け具２３０から２６０は、前工程から検査装置のサイドガイド２９１のローラ２９２上を移動する。またサイドガイドのどちらか一方にはエアーシリンダー等のアクチュエータにより出入りする位置決めストッパーが設けられていて、取付け具はそのストッパーに接触し所定の位置に位置決めされる。
このような方法により検査装置の暗室上面に取付け具をセットする場合、その遮光手段としては＜８−４＞の形態の遮光手段７００を使用することができる。具体的には、図１０のような形態となる。取付け具が検査装置の前近傍に到達すると遮光手段７００の入口側の扉が開き、装置内部に有るローラが回転駆動し取付け具は装置内に搬入される。検査が完了すると検査装置の遮光手段７００の出口側の扉が開き、装置内部に有るローラが回転駆動し取付け具は装置外に搬出される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態１を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）はＣ−Ｃ断面図、（ｄ）は位置決め部材２３２の斜視図である。
【図２】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態２を示す図である。
【図３】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態３を示す図である。
【図４】本発明の太陽電池の取付け具の実施形態４を示す図である。
【図５】本発明の太陽電池の取付け具に太陽電池の構成部材を積層載置した状態を示す図である。
【図６】本発明の太陽電池の取付け具に積層載置した太陽電池の構成部材を固定手段２３４にて固定した状態を示す図である。
【図７】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法１の説明図である。
【図８】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法１の補足説明図である。
【図９】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法２の説明図である。
【図１０】本発明の取付け具を太陽電池の検査装置の暗室上面に搬入位置決めする方法２の補足説明図である。
【図１１】暗室部分の斜視図で（ａ）は暗室上面の一部が開口部になっている図、（ｂ）は暗室上面全体が開口部になっている図である。
【図１２】太陽電池の検査装置のカメラとカメラ駆動装置の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態１の斜視図である。
【図１４】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態２の構成図で、（ａ）は遮光手段の斜視図、（ｂ）は遮光手段の取付け構造を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態３の構成図で、（ａ）は分解状態を示す斜視図、（ｂ）は組立状態を示す平面図である。
【図１６】図１５の遮光手段の駆動機構を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図１７】本発明の検査装置の遮光手段の実施形態４の構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。
【図１８】本発明の検査装置にて測定するラミネート加工前の太陽電池の構成部材を積層した状態の説明図で（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図１９】本発明の検査装置にて測定するラミネート加工後の太陽電池の構成の説明図で（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２０】従来の太陽電池の検査装置の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１００ 太陽電池の検査装置
１１０ 暗室
１１１ 上面
１１２ 開口部
１２０ カメラ
１３０ ｙ軸ガイド部
１３２、１４２ モータ
１４０ ｘ軸ガイド部
１４４ タイミングベルト
２００ 被測定物（太陽電池）
２３０、２４０、２５０、２６０ 取付け具
２３１、２４１、２５１ 透明な板状部材
２３２ 位置決め部材
２３３ 支持パッド
２３４ 固定手段
２３５、２４３、２５３、２６３ 溝
２４２ 支持部材
２５２、２６１ 枠状支持部材
２６２ 開口部
２７０ ピン孔
２７１ 位置決めピン
２８１、２８２ 位置決め板
２９１ サイドガイド
２９２ ローラ
３００ 遮光手段
３０１ ベース
３０２ 遮光カバー
３０３ アーム
３０４ エアーシリンダー
３０５ 密封シート
４００ 遮光手段
４０１ 遮光板
４０２ スポンジ
４０３ Ｌ型金具
４０４ ストッパー
５００ 遮光手段
５０１、５０２ 遮光板
５０３ 送りネジ
５０４ モータ
５０５ タイミングベルト
７００ 遮光手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は透光性の素材からなる板状の部材と、前記板状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項２】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は前記透光性の素材からなる板状の部材の両側または周囲に支持用の部材を設け、前記透光性の素材からなる板状の部材または前記支持部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項３】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は内側に開口部を有する枠状の部材と、前記枠状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項４】
前記取付け具には、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を有する請求項１から３のいずれかに記載の太陽電池の取付け具。
【請求項５】
前記取付け具には、太陽電池の固定手段を有する請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池の取付け具。
【請求項６】
前記請求項１から５のいずれかに記載の取付け具を、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を、前記太陽電池の検査装置に設けたことを特徴とする太陽電池の検査装置。
【請求項７】
前記請求項１または５のいずれかに記載の取付け具により太陽電池を前記太陽電池の検査装置に搬入する方法。
【請求項１】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は透光性の素材からなる板状の部材と、前記板状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項２】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は前記透光性の素材からなる板状の部材の両側または周囲に支持用の部材を設け、前記透光性の素材からなる板状の部材または前記支持部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項３】
上面に開口部を有する暗室と、前記暗室の内部に設けられたカメラと、を有する太陽電池の検査装置に、太陽電池を載置して前記暗室上面に搬入する取付け具であって、前記取付け具は内側に開口部を有する枠状の部材と、前記枠状の部材に太陽電池を位置決めする手段を有することを特徴とする太陽電池の取付け具。
【請求項４】
前記取付け具には、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を有する請求項１から３のいずれかに記載の太陽電池の取付け具。
【請求項５】
前記取付け具には、太陽電池の固定手段を有する請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池の取付け具。
【請求項６】
前記請求項１から５のいずれかに記載の取付け具を、前記太陽電池の検査装置に対して位置決めする手段を、前記太陽電池の検査装置に設けたことを特徴とする太陽電池の検査装置。
【請求項７】
前記請求項１または５のいずれかに記載の取付け具により太陽電池を前記太陽電池の検査装置に搬入する方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【公開番号】特開２０１０−７３７０１（Ｐ２０１０−７３７０１Ａ）
【公開日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２３５８３３（Ｐ２００８−２３５８３３）
【出願日】平成２０年９月１６日（２００８．９．１６）
【出願人】（０００００４３７４）日清紡ホールディングス株式会社 (370)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月１６日（２００８．９．１６）
【出願人】（０００００４３７４）日清紡ホールディングス株式会社 (370)
【Ｆターム（参考）】
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