導電性透明ベルト
【課題】導電性および光透過性を有する導電性透明ベルトを提供することを課題とする。
【解決手段】透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けた導電性透明ベルトであり、前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性ポリマーを含有するコーティング膜である。前記導電性透明ベルトは、光学検査用ベルト、チップ割りベルト１０等の用途に使用することができる。
【解決手段】透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けた導電性透明ベルトであり、前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性ポリマーを含有するコーティング膜である。前記導電性透明ベルトは、光学検査用ベルト、チップ割りベルト１０等の用途に使用することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学検査等に使用される導電性透明ベルトに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、透明なベルトは光学検査用搬送ベルトとして有用であるが、帯電しやすいために、搬送物とベルト表面との間に接触帯電や摩擦帯電が働き、ベルト表面に搬送物が止着してしまうため搬送物をベルトから分離しにくくなるという問題がある。これが検査効率を下げる要因となりうる。またベルト表面にほこりやゴミが付着しやすいという問題もある。
【０００３】
ベルトに帯電防止性能を発現させるものとして、特許文献１には、カーボンブラック、導電性金属酸化物部粒子、金属微粒子等の導電性材料を樹脂に配合した導電性ベルトが開示されている。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の導電性ベルトは、カーボンブラック、導電性金属酸化物部粒子、金属微粒子等を導電性材料として使用するため、ベルト自体が有色の不透明となり、光を透過しないので、光学検査等の用途に用いることができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６４７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、導電性および透光性を有する導電性透明ベルトを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、前記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、透明なベルト本体上に、カーボンナノチューブや導電性ポリマーなどを含む透明導電膜を設けることにより、優れた導電性（帯電防止性能）を持ちながら、光を透過する導電性透明ベルトを提供することができるという新たな事実を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明の導電性透明ベルトは以下の構成からなる。
（１）透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたことを特徴とする導電性透明ベルト。
（２）前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜である前記（１）に記載の導電性透明ベルト。
（３）前記透明導電膜の厚さが５〜５０μｍである前記（１）または（２）に記載の導電性透明ベルト。
（４）前記コーティング膜が、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して５〜３０重量％である前記（２）または（３）に記載の導電性透明ベルト。
（５）前記導電性分子がポリチオフェン系導電性高分子である前記（２）または（３）に記載の導電性透明ベルト。
（６）光学検査用である前記（１）〜（５）のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
（７）チップ割り用である前記（１）〜（５）のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の導電性透明ベルトは、透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたものであるので、導電性（帯電防止性能）を有し、かつ光を透過することができる。そのため、光学検査用の搬送物が静電気でベルトに止着するのが防止され、搬送物をベルトから容易に分離でき、さらにベルト表面にほこりやゴミが付着しにくいという効果がある。従って、本発明の導電性透明ベルトは、透明性や視認性が要求される光学検査用ベルトやチップ割用ベルト等の用途に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の導電性透明ベルトが用いられるチップ分割装置の概略図である。
【図２】図１のチップ分割装置によってチップボードを分割する方法を示す概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の導電性透明ベルトは、透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面に透明導電膜を形成したものである。この導電性透明ベルトは、両端部を付き合わせ融着等により接合して無端状に形成される。
【００１２】
上記ベルト本体としては、例えば透明な熱可塑性エラストマーまたは熱可塑性樹脂のフィルムまたはシートが使用可能である。上記熱可塑性エラストマーとしては、例えばポリウレタンエラストマー、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマーなどが挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂などが挙げられる。
【００１３】
上記ベルト本体は、硬度（ＪＩＳ−Ａ）が８０以上、特に８０〜９８であるのがよく、硬度が８０より小さい場合、ベルト本体にタック性が発現し取り扱いが困難となるおそれがある。硬度が上記範囲であれば、当該ベルト本体は、屈曲性が良好で、耐久性が高く、また加工性も良い。
また、ベルト本体の厚さはベルトの用途や特性などによって変わるため、特に制限されるものではない。例えば後述するチップ割りベルトに適用する場合は、厚さが０．２ｍｍ以下であるのがよく、検査用ベルトその他の搬送用ベルトに使用する場合は、厚さが０．２〜１．５ｍｍ程度、好ましくは０．５〜１．０ｍｍ程度であるのがよい。
【００１４】
上記ベルト本体の表面に設けられる透明導電膜としては、例えば、カーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜が挙げられる。カーボンナノチューブを用いる場合、前記コーティング膜は、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して０．１〜０．３重量％の希薄溶液であるのが光透過性を損なわないうえで好ましい。
【００１５】
バインダー樹脂としては、例えば、ポリウレタンエラストマー、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマー、塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂などの透明樹脂が使用可能である。
【００１６】
カーボンナノチューブは、コーティング液の形態で市販のものを使用することができ、例えば名城ナノカーボン社製のナノチューブ分散液などが使用可能である。
【００１７】
上記導電性高分子としては、例えばポリチオフェン系導電性高分子、ポリアニリン系導電性高分子、ポリピロール系導電性高分子、ポリアセチレン系導電性高分子、ポリパラフェニレン系導電性高分子、ポリパラフェニレンビニレン系導電性高分子などが挙げられる。上記ポリチオフェン系導電性高分子は、塗料等のコーティング液の形態で市販のものを使用することができ、例えば信越ポリマー社製の「セプルジータ」（登録商標）などが挙げられる。上記コーティング液における導電性高分子の含有量は、導電性および光透過性が損なわれない範囲であればよく、通常、コーティング膜総量に対して０．１〜５重量％の希薄溶液であるのが好ましい。なお、上記コーティング液には、分散剤などの添加剤を加えてもよい。コーティング液に使用する溶剤は、水、低級アルコールなどが挙げられる。
【００１８】
上記コーティング液はベルト本体の両表面に塗布してもよく、片面のみに塗布してもよい。また、上記コーティング液を前記ベルトに塗布するのは、ベルトの両端部の接合前であっても、接合後であっても、特に制限はない。
【００１９】
上記コーティング液をベルト本体に塗布する方法は特に制限はなく、例えば、スピンコーティング法、バーコート法、ロールコート法、ブレードコート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法などの公知の方法が採用可能であり、場合によっては、スプレー法、ディッピング法にて塗布してもよい。
【００２０】
上記透明導電膜の厚みは５〜５０μｍ、好ましくは１０〜３０μｍであるのが好ましい。コーティング膜の厚みが５μｍ未満であると、ベルト表面に十分な帯電性を付与することができず、５０μｍより厚いと透明性が落ちる結果となる。上記範囲内であれば、ベルト全体が透明で光を透過させることができ、かつベルトの表面に帯電性を発現させることができる。
【００２１】
このようにして得られる本発明の導電性透明ベルトは、表面抵抗率が１×１０4〜１×１０8Ω／□、好ましくは１×１０6Ω／□以下の範囲であるのがよい。また、この導電性透明ベルトは高い光透過性を有する。なお、本発明の導電性透明ベルトは、光が透過するのに充分な透明性を備えていればよく、必ずしも無色透明である必要はない。従って、光が透過しうる限り、導電性透明ベルトは半透明であってもよく、有色であってもよい。
【００２２】
次に本発明の導電性透明ベルトは、両端部を突き合わせ、加熱加圧して融着等により接合して無端状に形成される。この無端ベルトは、シートの両端を突き合わせた状態で融着しているため、全体が均一な厚さを有している。
【００２３】
本発明の導電性透明ベルトは、その光透過性を有し、視認性に優れるため、光学検査用ベルトやチップ割用ベルト等として利用することができる。以下、チップ割用として使用する場合の具体例を示す。
図１は、本発明の導電性透明ベルトを、セラミック製チップ抵抗器等の小型化チップをボードから所定寸法に分割するためのチップ割り用ベルトに使用した一例を示す概略説明図である。
【００２４】
図１に示すように一対のベルトを使用したチップ分割装置４０が使用されている。このチップ分割装置４０には、本発明の導電性透明ベルト１０、１０が用いられる。これら一対の導電性透明ベルト１０、１０は、ボード３０または列状体３２を押圧するための小径の第１のプーリー４２および第２プーリー４４等のプーリーに掛け回されている。
【００２５】
ボード３０または列状体３２は、一対の上記ベルト１０、１０の間の隙間Ｓに挿入される。そして、第１および第２のプーリー４２、４４によって屈曲された導電性透明ベルト１０の屈曲部位１２において、チップボード３０、列状体３２は上下方向に押圧され、列状体３２またはチップ３４に分割される。
【００２６】
この方法では、図２に示すように、まず、ボード３０を１方向に沿って分割し、多数の列状体３２とし、次に各々の列状体３２をさらにその長さ方向に垂直な方向に沿って分割し、チップ３４とする。
【００２７】
本発明の導電性透明ベルトは、導電性および光透過性を有するので、屈曲部位１２を目視で確認することができ、さらにチップ３４が摩擦帯電等によってベルトにひっつくことなくチップ割りをすることができる。
【００２８】
本発明の導電性透明ベルトの厚さは、０．２ｍｍ以下であるので、例えばチップの小型化に対応するうえで好ましい。すなわち、ベルトによるチップ分割では、チップが小型化するとそれに対応してベルト厚みを薄くしなければチップの分割自体が困難になるからである。本発明では、導電性透明ベルトの厚さは、特に０．１５〜０．２０ｍｍであるのが好ましい。上記厚さ範囲内であれば透明熱可塑性樹脂のベルトは、２層またはそれ以上を積層してもよい。
【００２９】
また、導電性透明ベルト１０、１０は両端部を融着しているため、継ぎ目に起因する厚さの差をなくすことができ、全体にほぼ均一な厚さで、均一な硬度を有する導電性透明ベルトを製造することができる。それにより、チップボードを安定に分割することができる。
【００３０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良が可能であることは言うまでもない。例えば、上記の実施形態では、透明導電膜をベルト本体の片面または両面に設けたが、２枚またはそれ以上の複数の熱可塑性エラストマー等のフィルムまたはシートを透明導電膜を介して一体に接着もしくは融着させたものであってもよい。この場合は、ベルト本体の内部に透明導電膜が設けられた、いわばサンドイッチ構造または多層構造になる。
また、本発明の導電性透明ベルトは、前記した光学検査用ベルトやチップ割りベルト１０の用途に限定されるものではなく、導電性および光透過性が要求される他の用途にも好適に適用可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１０：導電性透明ベルト
１２：屈曲部位
３０：ボード
３２：列状体
３４：チップ
４０：チップ分割装置
４２：第１のプーリー
４４：第２プーリー
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学検査等に使用される導電性透明ベルトに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、透明なベルトは光学検査用搬送ベルトとして有用であるが、帯電しやすいために、搬送物とベルト表面との間に接触帯電や摩擦帯電が働き、ベルト表面に搬送物が止着してしまうため搬送物をベルトから分離しにくくなるという問題がある。これが検査効率を下げる要因となりうる。またベルト表面にほこりやゴミが付着しやすいという問題もある。
【０００３】
ベルトに帯電防止性能を発現させるものとして、特許文献１には、カーボンブラック、導電性金属酸化物部粒子、金属微粒子等の導電性材料を樹脂に配合した導電性ベルトが開示されている。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の導電性ベルトは、カーボンブラック、導電性金属酸化物部粒子、金属微粒子等を導電性材料として使用するため、ベルト自体が有色の不透明となり、光を透過しないので、光学検査等の用途に用いることができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６４７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、導電性および透光性を有する導電性透明ベルトを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、前記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、透明なベルト本体上に、カーボンナノチューブや導電性ポリマーなどを含む透明導電膜を設けることにより、優れた導電性（帯電防止性能）を持ちながら、光を透過する導電性透明ベルトを提供することができるという新たな事実を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明の導電性透明ベルトは以下の構成からなる。
（１）透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたことを特徴とする導電性透明ベルト。
（２）前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜である前記（１）に記載の導電性透明ベルト。
（３）前記透明導電膜の厚さが５〜５０μｍである前記（１）または（２）に記載の導電性透明ベルト。
（４）前記コーティング膜が、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して５〜３０重量％である前記（２）または（３）に記載の導電性透明ベルト。
（５）前記導電性分子がポリチオフェン系導電性高分子である前記（２）または（３）に記載の導電性透明ベルト。
（６）光学検査用である前記（１）〜（５）のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
（７）チップ割り用である前記（１）〜（５）のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の導電性透明ベルトは、透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたものであるので、導電性（帯電防止性能）を有し、かつ光を透過することができる。そのため、光学検査用の搬送物が静電気でベルトに止着するのが防止され、搬送物をベルトから容易に分離でき、さらにベルト表面にほこりやゴミが付着しにくいという効果がある。従って、本発明の導電性透明ベルトは、透明性や視認性が要求される光学検査用ベルトやチップ割用ベルト等の用途に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の導電性透明ベルトが用いられるチップ分割装置の概略図である。
【図２】図１のチップ分割装置によってチップボードを分割する方法を示す概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の導電性透明ベルトは、透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面に透明導電膜を形成したものである。この導電性透明ベルトは、両端部を付き合わせ融着等により接合して無端状に形成される。
【００１２】
上記ベルト本体としては、例えば透明な熱可塑性エラストマーまたは熱可塑性樹脂のフィルムまたはシートが使用可能である。上記熱可塑性エラストマーとしては、例えばポリウレタンエラストマー、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマーなどが挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂などが挙げられる。
【００１３】
上記ベルト本体は、硬度（ＪＩＳ−Ａ）が８０以上、特に８０〜９８であるのがよく、硬度が８０より小さい場合、ベルト本体にタック性が発現し取り扱いが困難となるおそれがある。硬度が上記範囲であれば、当該ベルト本体は、屈曲性が良好で、耐久性が高く、また加工性も良い。
また、ベルト本体の厚さはベルトの用途や特性などによって変わるため、特に制限されるものではない。例えば後述するチップ割りベルトに適用する場合は、厚さが０．２ｍｍ以下であるのがよく、検査用ベルトその他の搬送用ベルトに使用する場合は、厚さが０．２〜１．５ｍｍ程度、好ましくは０．５〜１．０ｍｍ程度であるのがよい。
【００１４】
上記ベルト本体の表面に設けられる透明導電膜としては、例えば、カーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜が挙げられる。カーボンナノチューブを用いる場合、前記コーティング膜は、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して０．１〜０．３重量％の希薄溶液であるのが光透過性を損なわないうえで好ましい。
【００１５】
バインダー樹脂としては、例えば、ポリウレタンエラストマー、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマー、塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂などの透明樹脂が使用可能である。
【００１６】
カーボンナノチューブは、コーティング液の形態で市販のものを使用することができ、例えば名城ナノカーボン社製のナノチューブ分散液などが使用可能である。
【００１７】
上記導電性高分子としては、例えばポリチオフェン系導電性高分子、ポリアニリン系導電性高分子、ポリピロール系導電性高分子、ポリアセチレン系導電性高分子、ポリパラフェニレン系導電性高分子、ポリパラフェニレンビニレン系導電性高分子などが挙げられる。上記ポリチオフェン系導電性高分子は、塗料等のコーティング液の形態で市販のものを使用することができ、例えば信越ポリマー社製の「セプルジータ」（登録商標）などが挙げられる。上記コーティング液における導電性高分子の含有量は、導電性および光透過性が損なわれない範囲であればよく、通常、コーティング膜総量に対して０．１〜５重量％の希薄溶液であるのが好ましい。なお、上記コーティング液には、分散剤などの添加剤を加えてもよい。コーティング液に使用する溶剤は、水、低級アルコールなどが挙げられる。
【００１８】
上記コーティング液はベルト本体の両表面に塗布してもよく、片面のみに塗布してもよい。また、上記コーティング液を前記ベルトに塗布するのは、ベルトの両端部の接合前であっても、接合後であっても、特に制限はない。
【００１９】
上記コーティング液をベルト本体に塗布する方法は特に制限はなく、例えば、スピンコーティング法、バーコート法、ロールコート法、ブレードコート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法などの公知の方法が採用可能であり、場合によっては、スプレー法、ディッピング法にて塗布してもよい。
【００２０】
上記透明導電膜の厚みは５〜５０μｍ、好ましくは１０〜３０μｍであるのが好ましい。コーティング膜の厚みが５μｍ未満であると、ベルト表面に十分な帯電性を付与することができず、５０μｍより厚いと透明性が落ちる結果となる。上記範囲内であれば、ベルト全体が透明で光を透過させることができ、かつベルトの表面に帯電性を発現させることができる。
【００２１】
このようにして得られる本発明の導電性透明ベルトは、表面抵抗率が１×１０4〜１×１０8Ω／□、好ましくは１×１０6Ω／□以下の範囲であるのがよい。また、この導電性透明ベルトは高い光透過性を有する。なお、本発明の導電性透明ベルトは、光が透過するのに充分な透明性を備えていればよく、必ずしも無色透明である必要はない。従って、光が透過しうる限り、導電性透明ベルトは半透明であってもよく、有色であってもよい。
【００２２】
次に本発明の導電性透明ベルトは、両端部を突き合わせ、加熱加圧して融着等により接合して無端状に形成される。この無端ベルトは、シートの両端を突き合わせた状態で融着しているため、全体が均一な厚さを有している。
【００２３】
本発明の導電性透明ベルトは、その光透過性を有し、視認性に優れるため、光学検査用ベルトやチップ割用ベルト等として利用することができる。以下、チップ割用として使用する場合の具体例を示す。
図１は、本発明の導電性透明ベルトを、セラミック製チップ抵抗器等の小型化チップをボードから所定寸法に分割するためのチップ割り用ベルトに使用した一例を示す概略説明図である。
【００２４】
図１に示すように一対のベルトを使用したチップ分割装置４０が使用されている。このチップ分割装置４０には、本発明の導電性透明ベルト１０、１０が用いられる。これら一対の導電性透明ベルト１０、１０は、ボード３０または列状体３２を押圧するための小径の第１のプーリー４２および第２プーリー４４等のプーリーに掛け回されている。
【００２５】
ボード３０または列状体３２は、一対の上記ベルト１０、１０の間の隙間Ｓに挿入される。そして、第１および第２のプーリー４２、４４によって屈曲された導電性透明ベルト１０の屈曲部位１２において、チップボード３０、列状体３２は上下方向に押圧され、列状体３２またはチップ３４に分割される。
【００２６】
この方法では、図２に示すように、まず、ボード３０を１方向に沿って分割し、多数の列状体３２とし、次に各々の列状体３２をさらにその長さ方向に垂直な方向に沿って分割し、チップ３４とする。
【００２７】
本発明の導電性透明ベルトは、導電性および光透過性を有するので、屈曲部位１２を目視で確認することができ、さらにチップ３４が摩擦帯電等によってベルトにひっつくことなくチップ割りをすることができる。
【００２８】
本発明の導電性透明ベルトの厚さは、０．２ｍｍ以下であるので、例えばチップの小型化に対応するうえで好ましい。すなわち、ベルトによるチップ分割では、チップが小型化するとそれに対応してベルト厚みを薄くしなければチップの分割自体が困難になるからである。本発明では、導電性透明ベルトの厚さは、特に０．１５〜０．２０ｍｍであるのが好ましい。上記厚さ範囲内であれば透明熱可塑性樹脂のベルトは、２層またはそれ以上を積層してもよい。
【００２９】
また、導電性透明ベルト１０、１０は両端部を融着しているため、継ぎ目に起因する厚さの差をなくすことができ、全体にほぼ均一な厚さで、均一な硬度を有する導電性透明ベルトを製造することができる。それにより、チップボードを安定に分割することができる。
【００３０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良が可能であることは言うまでもない。例えば、上記の実施形態では、透明導電膜をベルト本体の片面または両面に設けたが、２枚またはそれ以上の複数の熱可塑性エラストマー等のフィルムまたはシートを透明導電膜を介して一体に接着もしくは融着させたものであってもよい。この場合は、ベルト本体の内部に透明導電膜が設けられた、いわばサンドイッチ構造または多層構造になる。
また、本発明の導電性透明ベルトは、前記した光学検査用ベルトやチップ割りベルト１０の用途に限定されるものではなく、導電性および光透過性が要求される他の用途にも好適に適用可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１０：導電性透明ベルト
１２：屈曲部位
３０：ボード
３２：列状体
３４：チップ
４０：チップ分割装置
４２：第１のプーリー
４４：第２プーリー
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたことを特徴とする導電性透明ベルト。
【請求項２】
前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜である請求項１に記載の導電性透明ベルト。
【請求項３】
前記透明導電膜の厚さが５〜５０μｍである請求項１または２に記載の導電性透明ベルト。
【請求項４】
前記コーティング膜が、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して５〜３０重量％である請求項２または３に記載の導電性透明ベルト。
【請求項５】
前記導電性分子がポリチオフェン系導電性高分子である請求項２または３に記載の導電性透明ベルト。
【請求項６】
光学検査用である請求項１〜５のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【請求項７】
チップ割り用である請求項１〜５のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【請求項１】
透明樹脂または透明熱可塑性エラストマーからなるベルト本体の少なくとも一方の面または内部に透明導電膜を設けたことを特徴とする導電性透明ベルト。
【請求項２】
前記透明導電膜がカーボンナノチューブまたは導電性高分子を含有するコーティング膜である請求項１に記載の導電性透明ベルト。
【請求項３】
前記透明導電膜の厚さが５〜５０μｍである請求項１または２に記載の導電性透明ベルト。
【請求項４】
前記コーティング膜が、カーボンナノチューブとバインダー樹脂とを含有し、カーボンナノチューブの含有量がコーティング膜総量に対して５〜３０重量％である請求項２または３に記載の導電性透明ベルト。
【請求項５】
前記導電性分子がポリチオフェン系導電性高分子である請求項２または３に記載の導電性透明ベルト。
【請求項６】
光学検査用である請求項１〜５のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【請求項７】
チップ割り用である請求項１〜５のいずれかに記載の導電性透明ベルト。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１１−１２１６８８（Ｐ２０１１−１２１６８８Ａ）
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２８０１４８（Ｐ２００９−２８０１４８）
【出願日】平成２１年１２月１０日（２００９．１２．１０）
【出願人】（０００１１１０８５）ニッタ株式会社 (588)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月１０日（２００９．１２．１０）
【出願人】（０００１１１０８５）ニッタ株式会社 (588)
【Ｆターム（参考）】
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