説明

層流プラズマ・ガン用のプラズマ流の囲い部材

プラズマ・ガン30用のプラズマ流遮蔽囲い部材10は、軸線方向長さ、プラズマ流の入口端部11及びプラズマ流の出口端部13を有する略管状の部材14を含む。囲い部材10は、プラズマ・ガン30に取り付けられるように適合される。プラズマ・ガン30のプラズマガス流を保護する、閉じ込める又は遮蔽する方法は、囲い部材10がプラズマガス流の少なくとも一部を実質的に囲むようにサイズ決め及び構成されるように、プラズマガス流の囲い部材10をプラズマ・ガン30に取り付けること20を含む。

【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【0001】
プラズマ溶射は、いかなる材料の溶解にも十分なエネルギーを発生可能なため、あらゆる熱溶射プロセスのなかで最も柔軟性があるであろう。プラズマ溶射ガンは、被覆の供給原料として粉末を用いるが、プラズマ溶射プロセスに用いることのできる被覆材料の数にはほとんど制限がない。プラズマ溶射ガンでは、アノード(ノズル)とカソード(電極)との間で高周波アークが点火される。アノードとカソードとの間を流れるプロセス・ガス、通常はアルゴン、窒素、水素及びヘリウムの混合物がイオン化され、高温のプラズマガス流(プルーム)になり、6,600℃〜16,600℃(12,000°F〜30,000°F)の温度に達する。被覆供給原料の物質がプラズマガス流に注入されると、物質は融解し、ターゲット基板に向かって進められる。
【0002】
大気中の熱溶射ガンによって生成される層流のプラズマ流は、周囲の環境に敏感である。こうしたプラズマガス流は、気流によって簡単に乱される可能性がある。熱溶射ガンを基板上で移動又は横断させると、気流がガス流に衝突する。これを複雑にしているのは、プラズマ・ガンの動作中、溶射ブースを通して空気を強制的に流す必要があることである。プラズマ流を乱すことによって、いくつかの望ましくない影響が生じる可能性がある。
【0003】
第1の望ましくない影響として、粉末の注入に対するプラズマ流の方向が変えられ、その結果、粉末粒子へのエネルギー移動が不十分になり、その後の被覆の結果が不良になる可能性がある。
【0004】
他の望ましくない影響として、プラズマ流の層流管が潰れ、環境との相互作用が増大する可能性がある。層流プラズマ流は、エネルギーが層流管内に含まれるので粉末粒子に伝える熱エネルギーが多いため、溶射にきわめて効果的であると考えられる。
【0005】
極端なケースである他の望ましくない影響として、例えば外部アークプラズマ流の場合、アークの位置が影響を受け、その結果、不適切な場所に与えられたアーク・エネルギーのために、カソード、アノード及び/又は周囲部材に損傷を与える可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
したがって、必要とされるのは、層流プラズマ流が周囲の気流によって乱されることを防ぎ、及び/又は上記で言及した欠陥の1つ又は複数を克服する装置である。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の非限定的な観点によれば、軸線方向長さ、プラズマ流の入口端部及びプラズマ流の出口端部を有する実質的に管状又は円筒形の部材を備えたプラズマ流遮蔽用囲い部材(シュラウド)であって、プラズマ・ガンに取り付けられるように適合された囲い部材が提供される。
【0008】
一具体例によれば、実質的に円筒形の部材は、穿孔された金属部材を備える。
【0009】
一具体例によれば、実質的に管状又は円筒形の部材は、プラズマ・ガンの一部材を内部に受け入れるように適合された側方開口部、及び粉末をプラズマガス流に注入することを可能にする側方開口部の少なくとも1つを備える。
【0010】
一具体例によれば、実質的に管状又は円筒形の部材は、囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるための取り付け部材を備える。
【0011】
一具体例によれば、実質的に管状又は円筒形の部材は、囲い部材を取り付け組立体に取り付けるための取り付け部材を備える。
【0012】
一具体例によれば、取り付け組立体は、囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるように構成及び配置される。
【0013】
一具体例によれば、プラズマ流の囲い部材は、囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるための取り付け組立体をさらに備える。
【0014】
一具体例によれば、プラズマ流の囲い部材は、囲い部材をプラズマ・ガンに移動可能に取り付けるための取り付け組立体をさらに備える。
【0015】
一具体例によれば、囲い部材は、プラズマ・ガンに移動可能に取り付けられる部材、プラズマ・ガンに枢動可能に取り付けられる部材、及びプラズマ・ガンに取り外し可能に取り付けられる部材のうちの少なくとも1つである。
【0016】
一具体例によれば、軸線方向長さは、実質的に円筒形の部材の直径よりも大きい、及びおよそプラズマガス流がプラズマ・ガンを出る点から始まり、プラズマガス流に粉末を注入する位置を過ぎた所定の距離まで、プラズマガス流を遮蔽するようにサイズ決めされるのうちの少なくとも1つである。
【0017】
本発明の他の非限定的な観点によれば、ガス流の少なくとも一部を実質的に囲むようにサイズ決め及び構成された部材を備えたプラズマ・ガンのプラズマ流遮蔽用囲い部材であって、囲い部材が、気流によるプラズマガス流の少なくとも一部の乱れを防止するようにサイズ決め及び構成される囲い部材が提供される。
【0018】
一具体例によれば、囲い部材は、実質的に円筒形の部材及び穿孔された金属部材の少なくとも1つである。
【0019】
一具体例によれば、囲い部材は、プラズマ・ガンの一部材を内部に受け入れるように適合された側方開口部、及び粉末をプラズマガス流に注入することを可能にする側方開口部のうちの少なくとも1つを備える。
【0020】
一具体例によれば、囲い部材は、囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるための取り付け部材、及び囲い部材を取り付け組立体に取り付けるための取り付け部材のうちの少なくとも1つを備える。
【0021】
一具体例によれば、囲い部材は、囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるように構成及び配置された取り付け組立体をさらに備える。
【0022】
一具体例によれば、囲い部材は、プラズマ・ガンに移動可能に取り付けられる部材、プラズマ・ガンに枢動可能に取り付けられる部材、及びプラズマ・ガンに取り外し可能に取り付けられる部材のうちの少なくとも1つである。
【0023】
本発明の他の非限定的な観点によれば、プラズマ・ガンのプラズマガス流を保護する、閉じ込める又は遮蔽する方法であって、プラズマガス流の領域内にプラズマガス流の囲い部材を取り付けることを含み、囲い部材が、プラズマガス流の少なくとも一部を実質的に囲むようにサイズ決め及び構成される方法が提供される。
【0024】
一具体例によれば、プラズマガス流の囲い部材は、実質的に円筒形の部材及び穿孔された金属部材の少なくとも1つである。
【0025】
一具体例によれば、プラズマガス流の囲い部材は、プラズマ・ガンの一部を内部に受け入れるように適合された側方開口部を備える。
【0026】
一具体例によれば、取り付けは、プラズマガス流の囲い部材をプラズマ・ガンに移動可能に取り付けること、プラズマガス流の囲い部材をプラズマ・ガンに取り外し可能且つ移動可能に取り付けること、及びプラズマガス流の囲い部材をプラズマ・ガンに枢動可能に取り付けることのうちの少なくとも1つを含む。
【0027】
本発明の他の例示的な例及び利点は、本開示及び添付図面を検討することによって確認することができる。
【0028】
以下の詳しい説明では、本発明の非限定的且つ例示的な実施例として言及する図面に関連して、本発明をさらに詳しく記述する。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】プラズマ流遮蔽用囲い部材の実施例の斜視図。
【図2】図1に示す囲い部材の側面平面図。
【図3】図1に示す囲い部材の第1の端面図。
【図4】図1に示す囲い部材の第2の端面図。
【図5】取り付け組立体に取り付けられたプラズマ流遮蔽用囲い部材の上部背面側の斜視図。
【図6】図5のプラズマ流遮蔽用囲い部材及び取り付け組立体の上部正面側の斜視図。
【図7】プラズマ・ガンに取り付けられた、プラズマ流遮蔽用囲い部材及び取り付け組立体の上部右側の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0030】
本明細書において示される事項は、実例として、本発明の実施例を説明的に論じるためのものにすぎず、本発明の原理及び概念的な態様について、最も有用であり且つ容易に理解される説明と考えられるものを提供するために示してある。これに関して、本発明の基本的な理解に必要であるよりも詳しく本発明の構造上の詳細を示すことはないが、図面を用いて行う説明によって、実際に本発明の複数の形態をどのように具体化することができるかが当業者には明らかになる。
【0031】
大気中の熱溶射の用途における層流プラズマ流の開発は、比較的最近であり、こうしたプラズマ流への悪影響に伴う問題は、新たに明らかにされたことである。層流プラズマ流は長い間、低圧で反応器チャンバ内に存在するものであったが、こうした状況では、周囲の気体に伴う問題は生じなかった。
【0032】
本発明の1つの態様は、層流プラズマ流用の囲い部材に関する。この囲い部材は、起こり得る気流との強制的な相互作用を最小限に抑える。気流は、例えば排気流又はガンの動きによって引き起こされる可能性がある。囲い部材は、およそプラズマ流がガン本体を出る点から始まり、プラズマ流に粉末を注入する位置を過ぎた所定の距離までプラズマ流を遮蔽する。好ましい実施例において、この距離は溶射距離の約3分の1である。他の実施例において、この距離は溶射距離の2分の1である。さらに他の実施例では、この距離は溶射距離の約3分の1から約2分の1である。
【0033】
一実施例において、囲い部材は略円筒形として配置される。略円筒形の囲い部材の長さは、囲い部材の長さとして先に論じた長さと同様である。略円筒形の囲い部材の直径は、プラズマ流を保護するのに適したものにする。一実施例において、略円筒形の囲い部材の直径は、約7cm〜約10cmである。
【0034】
他の実施例において、囲い部材は任意の適切な材料で作製される。例えば一実施例において、囲い部材は金属で、より好ましくは、プラズマ流の熱に耐えることができる耐熱金属で作製される。以下では、そうした材料の非限定的な実例について記述する。
【0035】
他の実施例において、囲い部材は、開放されたフレーム又は穿孔された金属で作製される。これによって、囲い部材を通してプラズマ流を見ることが可能になる。囲い部材は、表面積の約3分の1から2分の1を孔で開放された状態にすることができる。孔又は開口部の直径は、約15mm〜約50mmの範囲とすることができる。さらに大きい孔を使用することもできるが、効果は低下する。金属又はワイヤのメッシュを使用することもできる。
【0036】
他の実施例において、囲い部材は、内側に面する面、すなわちプラズマガス流を囲む面に塗布された、熱バリア材料又はコーティングを有する。この熱バリアは、放射された熱を封じ込め、プロセスの熱効率を改善する。
【0037】
他の実施例において、囲い部材は、プラズマ・ガンに取り付け可能である。さらに囲い部材は、プラズマ・ガンに取り付けられると、枢軸及び/又は回転可能になることもでき、ガンが動いていないときには、プラズマ流又はプラズマ流領域をすべて見ることが可能になる。これにより、例えば他の場合には囲い部材によって遮られる又は妨げられる診断用の測定を行うことが可能になる。
【0038】
他の実施例において、囲い部材は2層の囲い部材を用いることができる。例えば、外層はより細かい内側メッシュの内層を有する。この多層囲い部材は、気流の進入に対する抵抗を付加するために用いることができる。一実施例において、囲い部材の外層は穿孔された部材であり、囲い部材の内層は金属又はワイヤのメッシュである。一実施例において、囲い部材の外層はワイヤ又は金属のメッシュであり、囲い部材の内層は穿孔された部材である。一実施例において、囲い部材の外層と内層の両方が穿孔された部材である。一実施例において、囲い部材の外層と内層の両方が金属またワイヤのメッシュである。
【0039】
次に、本発明の非限定的な態様を示す図を参照するが、図1〜図4には本発明による囲い部材10を示し、図5及び図6は、囲い部材10を取り付けることができる非限定的な取り付け組立体20を示し、図7は、組立体10/20をプラズマ・ガン30に取り付けることができる非限定的な方法を示している。
【0040】
図1〜図4は、本発明によるプラズマ流遮蔽用囲い部材10の詳細を示している。囲い部材10は、第1の端部11及び第2の端部13を有している。第1の端部11は開放され、それに固定された囲い部材のリング部材12を含んでいる。一実施例において、リング12は、溶接によって第1の端部11に固定される。他の結合技術を利用することもできる。リング12は環状部を有し、その内側縁部12bは、囲い部材10の主要部14の内径よりも小さくなるようにサイズ決めされ、周縁部12aは、第1の端部11を内部に受け入れるか、又は第1の端部11上を摺動するようにサイズ決め及び構成される。主要部又は主本体14は、開放されたフレーム又は穿孔された金属で作製される。非限定的な実施例によれば、略円筒形の本体14の外径は、約7cm〜10cmである。
【0041】
本体14は管状の部材であり、任意の適切な材料で作製することができる。一実施例において、本体14は金属で、より好ましくは、プラズマ流の熱に耐えることができる耐熱金属で作製される。本体14の材料は以下の材料、すなわち鋼、ステンレス鋼、銅、インコネル、耐熱ニッケル、クロム及び/又はコバルト基合金、並びに最大1500℃以上の温度に耐えることができる他の金属及び合金の任意のものとすること、又はそれらの任意のものを含むことができる。例えばアルミニウム酸化物など、セラミックスを用いることもできる。一実施例において、本体14は、内側に面する面、すなわちガス流を囲む面に塗布された、熱バリア材料又はコーティングを利用する又はそれらを含む。
【0042】
一実施例において、本体14は穿孔される。穿孔15は任意のサイズ及び/又は形状のものである。上述のように、一実施例において、孔又は開口15の直径は、約15mm〜約50mmの範囲とすることができる。形状は、例えば円形、部分的に円形、多角形、部分的に多角形、不規則な形状、並びに曲線部又は直線部又はそれらの組み合わせを含む任意の形状とすることができる。さらに、美術的設計を穿孔部に施すこと、及び/又はその特定の配置から得ることが可能である。実施例において、本体14の空隙と中実部との比は、約5%〜約90%とすることができる。
【0043】
一実施例において、本体14は、略管状に曲げられた、曲げて穿孔された金属薄板部材により形成され、粉末注入部材などのプラズマ・ガンの一部を内部に受け入れるようにサイズ決め及び構成された主開口部16を含む。開口部16によって、囲い部材10が図7に示すガス流の遮蔽位置の内外に旋回することが可能になる。(例えば溶接によって接続することができる)継ぎ目17を利用して湾曲した部材の端部を結合し、部分品又は本体14が管状を保つようにする。囲い部材10のプラズマ・ガンへの取り付けを容易にするために、囲い部材10は、接続部19を介して本体14に取り付けられるか又は固定される取り付けバー18を含む。実施例において、接続部19は溶接によって形成される。部材18(及び部材12)は、本体14の作製に用いたのと同じ又は同様の材料で作製することができる。
【0044】
円筒形の囲い部材10が好ましいが、例えば略楕円形の断面、正方形又は長方形の断面、並びに三角形の断面、n個の面を持つ多角形の断面、不規則な断面、クローバの葉形の断面など、他の管状を用いることができる。
【0045】
一実施例において、本体14は、金属ストランド又は金属ファイバを編んだものとすることもできる(図示せず)。そうした編まれた囲い部材10は、約5%〜約75%の所定の空隙と中実部との比を有することができる。このメッシュは、規則的又は不規則、又はそれらの組み合わせとすることができる。
【0046】
次に図5及び図6を参照すると、囲い部材10を取り付けることのできる非限定的な取り付け組立体20が示されている。これに関して、取り付け組立体20は取り付け板21を含み、取り付け板21は、複数の取り付け用の開口部を含み、例えばねじ等の締め具を用いてプラズマ・ガン30に取り付けることができる。取り外しできないように取り付け可能なものであれ、取り外しできるように取り付け可能なものであれ、他の機構を利用することもできる。取り付け組立体20は取り付け部材23も含み、取り付け部材23は、複数の取り付け用の開口部を含み、例えばねじ等の締め具を用いて取り付けバー18に接続することができる。取り外しできないように取り付け可能なものであれ、取り外しできるように取り付け可能なものであれ、他の機構を利用することもできる。取り付け組立体20はさらに、取り付け部材23をレバー24に接続する旋回シャフト22を含み、レバー24はユーザによって、使用位置、すなわち図7に示す位置から、囲い部材10がガス流(図示せず)又はガス流領域をもはや囲まなくなる下方位置へ移動させることができる。一実施例では、ある配置を利用して、囲い部材10をこうした2つの位置のそれぞれに、移動できないように保持する。そうした配置は、図5及び図6に示すばねを含むことができる。実施例において、部材21〜24は、部材18の製造に用いたのと同じ又は同様の材料で作製することができる。
【0047】
図7は、プラズマ・ガン30に取り付け組立体20を取り付け、それによって囲い部材10を取り付けるための一実施例を示している。これに関して、取り付け組立体20はプラズマ・ガン30の底面に固定され、その結果、囲い部材10は、囲い部材10の中心軸線が底面に対して略平行に向けられたとき、図7に示す使用位置をとることが可能になる。この位置では、ガス流(図示せず)の大部分が囲い部材10の中に閉じ込められる。さらに、ユーザが囲い部材10を移動させて使用位置から外すことを望むときには、レバー24(図5及び図6参照)を下方へ移動させて、囲い部材10をシャフト22の軸線のまわりで回転させ、ガス流を囲まない位置へ移動させることができる。この移動は、(図7に示す使用位置では、開口部16を通って本体14の空間の中まで延びる部分を有する)粉末装入機が静止した状態に留まっている間に行うことができる。この配置の利点は、(必要な場合には)プラズマ・ガン30を囲い部材10なしで使用すること、また囲い部材10の修理、付け替え又は交換が可能になることである。
【0048】
上記の実例は説明のために示したにすぎず、決して本発明を限定すると解釈されるものではないことに留意されたい。本発明について例示的な実施例を参照して記述してきたが、本明細書において使用した語は、限定に関する語ではなく、記述及び説明に関する語である。ここで言及及び補正したように、本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく、その態様において、添付の特許請求の範囲の範囲内で変更を加えることができる。本明細書では、本発明を特定の手段、材料及び実施例を参照して記述してきたが、本発明を、本明細書に開示される事項に限定することを意図するのではなく、むしろ、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲内であるものなど、すべての機能的に同等の構造、方法及び使用に及ぶものである。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
軸線方向長さ、プラズマ流の入口端部及びプラズマ流の出口端部を有する略管状の部材を有するプラズマ流遮蔽用の囲い部材であって、
プラズマ・ガンに取り付けられるように適合されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項2】
前記略管状の部材が、
ワイヤ・メッシュ部材、
穿孔された金属部材、及び
略円筒形の部材
のうちの少なくとも1つを含む請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項3】
前記略管状の部材が、前記プラズマ・ガンの一部材を内部に受け入れるように適合された開口部、
軸線方向に配向された細長い壁の開口部、及び
粉末をプラズマガス流に注入することを可能にする開口部
のうちの少なくとも1つを備える請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項4】
前記略管状の部材が、前記囲い部材を前記プラズマ・ガンに取り付けるための取り付け部材を備える請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項5】
前記略管状の部材が、前記囲い部材を取り付け組立体に取り付けるための取り付け部材を備える請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項6】
前記取り付け組立体が、前記囲い部材を前記プラズマ・ガンに取り付けるように構成及び配置されている請求項5に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項7】
前記囲い部材を前記プラズマ・ガンに取り付けるための取り付け組立体をさらに備える請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項8】
前記囲い部材を前記プラズマ・ガンに移動可能に取り付けるための取り付け組立体をさらに備える請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項9】
前記囲い部材が、
前記プラズマ・ガンに移動可能に取り付けられる、
前記プラズマ・ガンに枢動可能に取り付けられる、及び
前記プラズマ・ガンに取り外し可能に取り付けられる
のうちの少なくとも1つである請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項10】
前記軸線方向長さが、
前記略円筒形の部材の直径よりも大きい、及び
およそ前記プラズマガス流が前記プラズマ・ガンを出る点から始まり、前記プラズマガス流に粉末を注入する位置を過ぎた所定の距離まで、プラズマガス流を遮蔽するようにサイズ決めされる
のうちの少なくとも1つである請求項1に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項11】
プラズマガス流の少なくとも一部を実質的に囲むようにサイズ決め及び構成された部材を備えたプラズマ・ガンのプラズマ流遮蔽用の囲い部材であって、
前記囲い部材が、気流による前記プラズマガス流の少なくとも一部の乱れを防止するようにサイズ決め及び構成される、プラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項12】
前記囲い部材が、
略円筒形の部材、及び
穿孔された金属部材
の少なくとも1つである請求項11に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項13】
前記囲い部材が、
プラズマ・ガンの一部材を内部に受け入れるように適合された側方開口部、及び
粉末を前記プラズマガス流に注入することを可能にする側方開口部
のうちの少なくとも1つを備える請求項11に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項14】
前記部材が、
前記囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるための取り付け部材、及び
前記囲い部材を取り付け組立体に取り付けるための取り付け部材
のうちの少なくとも1つを備える請求項11に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項15】
前記囲い部材をプラズマ・ガンに取り付けるように構成及び配置された取り付け組立体をさらに備える請求項11に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項16】
前記囲い部材が、
プラズマ・ガンに移動可能に取り付けられる、
プラズマ・ガンに枢動可能に取り付けられる、及び
プラズマ・ガンに取り外し可能に取り付けられる
のうちの少なくとも1つである請求項11に記載されたプラズマ流遮蔽用の囲い部材。
【請求項17】
プラズマ・ガンのプラズマガス流を保護する、閉じ込める又は遮蔽する方法であって、
前記プラズマガス流の領域内にプラズマガス流の囲い部材を取り付ける段階を含み、
前記囲い部材が、
前記プラズマガス流の一部、
前記プラズマガス流の領域の一部
のうちの少なくとも1つを実質的に囲むようにサイズ決め及び構成される、方法。
【請求項18】
前記プラズマガス流の囲い部材が、
略円筒形の部材、
穿孔された金属部材、及び
前記プラズマ・ガンの一部を内部に受け入れるように適合された開口部を利用するもの
のうちの少なくとも1つである請求項17に記載された方法。
【請求項19】
前記プラズマガス流の囲い部材を、前記プラズマガス流の少なくとも一部を実質的に囲む少なくとも1つの第1の位置から、前記第1の位置とは異なる少なくとも1つの第2の位置に移動させる段階をさらに含み、前記移動が、
プラズマ・ガンの面、
静止しているプラズマ・ガン本体、
前記プラズマ・ガンの少なくとも1つの静止している粉末装入機、及び
前記プラズマガス流の囲い部材が前記第1の位置にあるときに、前記プラズマガス流の囲い部材内に配置された少なくとも1つの粉末装入機の一部
のうちの少なくとも1つに対して行われる、請求項17に記載された方法。
【請求項20】
前記取り付けが、
前記プラズマガス流の囲い部材を前記プラズマ・ガンに移動可能に取り付けること、
前記プラズマガス流の囲い部材を前記プラズマ・ガンに取り外し可能且つ移動可能に取り付けること、及び
前記プラズマガス流の囲い部材を前記プラズマ・ガンに枢動可能に取り付けること
のうちの少なくとも1つを含む請求項17に記載された方法。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【公表番号】特表2013−518393(P2013−518393A)
【公表日】平成25年5月20日(2013.5.20)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−551237(P2012−551237)
【出願日】平成23年1月25日(2011.1.25)
【国際出願番号】PCT/US2011/022449
【国際公開番号】WO2011/094224
【国際公開日】平成23年8月4日(2011.8.4)
【出願人】(596152899)サルザー・メトコ・(ユー・エス)・インコーポレイテッド (3)
【氏名又は名称原語表記】SULZER METCO (US) INC.
【住所又は居所原語表記】1101 Prospect Avenue,Westbury,New York,U.S.A.
【Fターム(参考)】