弾性波フィルタ及び分波器
【課題】部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、設計の自由度を高め得る弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１０上に弾性表面波共振子からなる直列腕共振子４と、弾性境界波共振子からなる並列腕共振子７とを有し、直列腕共振子４及び並列腕共振子７がフィルタ回路を構成するように接続されている弾性波フィルタ１。
【解決手段】圧電基板１０上に弾性表面波共振子からなる直列腕共振子４と、弾性境界波共振子からなる並列腕共振子７とを有し、直列腕共振子４及び並列腕共振子７がフィルタ回路を構成するように接続されている弾性波フィルタ１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の弾性波素子を用いて構成された弾性波フィルタに関し、より詳細には、同一圧電基板上に異なる種類の弾性波素子が構成されてフィルタ回路が実現されている弾性波フィルタ及び該弾性波フィルタを備えた分波器に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯通信機では、受信用帯域通過フィルタと送信用帯域通過フィルタとを備えた分波器が用いられている。このような複数の帯域通過フィルタを備えた分波器の一例が、下記の特許文献１に開示されている。特許文献１では、２つのラダー型フィルタを有する分波器が開示されている。特許文献１の段落〔０１１７〕では、分波器を構成している各ラダー型フィルタとして、ラダー型フィルタを構成する共振子が圧電薄膜共振子、弾性表面波共振子または弾性境界波共振子のいずれかである弾性波フィルタを用い得ることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−７４６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の構成では、１つの基板上において、複数の共振子が構成され、それによってラダー型フィルタが形成されていたが、この場合、１つの基板上に形成されている共振子は、同種の共振子であった。すなわち、１つのシリコン基板上に複数の圧電薄膜共振子を構成したり、あるいは１つの圧電基板上に複数の弾性表面波共振子を構成したりすることにより、ラダー型弾性波フィルタが構成されていた。そのため、設計の自由度がさほど高くないという問題があった。
【０００５】
１つの圧電基板上に複数の弾性表面波共振子を構成した場合、圧電基板の材料やカット角により電気機械結合係数がほぼ決定されることになる。そのため、設計の自由度が高くなかった。同様に、１つのシリコン基板に複数の圧電薄膜共振子を構成した場合においても、圧電薄膜の材料や膜質により電気機械結合係数がほぼ決定されるため、やはり設計の自由度は高くなかった。
【０００６】
弾性波フィルタが用いられる携帯通信機では、例えば、ＵＭＴＳ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｍｏｂｉｌｅ Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）として、移動体通信システムの標準規格が複数決められている。これらの様々な標準規格に対応するには、設計の自由度が高い弾性波フィルタが強く求められている。
【０００７】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、１つの圧電基板を用いて構成されており、部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、設計の自由度を十分に高くすることが可能とされている弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある広い局面によれば、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波素子とを備え、フィルタ回路を構成するように前記弾性表面波素子と前記弾性境界波素子とが電気的に接続されている、弾性波フィルタが提供される。
【０００９】
本発明の他の広い局面によれば、直列腕と並列腕とを有するラダー型回路構成の弾性波フィルタであって、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている弾性表面波共振子と、前記弾性表面波共振子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波共振子とを備え、前記並列腕及び直列腕にそれぞれ配置されている並列腕共振子及び直列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、前記弾性表面波共振子からなり、残りの共振子が前記弾性境界波共振子からなる、弾性波フィルタが提供される。
【００１０】
本発明に係る弾性波フィルタのある特定の局面では、前記直列腕共振子が前記弾性表面波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性境界波共振子である。並列腕共振子が弾性境界波共振子からなるため、圧電基板における伝搬方位を変更することにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を高めて通過帯域を広げることができる。
【００１１】
本発明に係る弾性波フィルタの他の特定の局面では、前記直列腕共振子が前記弾性境界波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性表面波共振子である。この場合には、直列腕共振子である弾性境界波共振子の伝搬方位を変更することにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができる。そのため、直列腕共振子における周波数差Δｆを大きくすることができ、それによって、フィルタの通過帯域の広帯域化、特に通過帯域の高域側において帯域幅を広げることが可能となる。
【００１２】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、直列腕共振子及び並列腕共振子が前記弾性境界波共振子を用いて構成されているラダー型弾性境界波フィルタ部とを有し、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部が電気的に接続されている。このように、１つの圧電基板上において、複数の弾性表面波共振子からなるラダー型弾性表面波フィルタ部と、複数の弾性境界波共振子からなるラダー型弾性境界波フィルタ部とを構成し、両者を電気的に接続することにより弾性波フィルタが構成されてもよい。この場合においては、圧電基板の伝搬方位を変更することによりラダー型弾性境界波フィルタ部において通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００１３】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数と、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数とが、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、それぞれ位置されている。
【００１４】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも高域側の帯域外に位置されており、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数が主に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部により形成される通過帯域よりも低域側の帯域外に位置されている。この場合には、圧電基板の伝搬方位を変更することにより、上記ラダー型弾性境界波フィルタ部の帯域幅を広げることができ、それによって通過帯域をより一層広くすることができる。
【００１５】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されている弾性境界波共振子とを有する。
【００１６】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されている弾性境界波共振子とを有する。
【００１７】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の広い局面では、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性境界波共振子とを備える弾性波フィルタが提供される。このように、本発明に係る弾性波フィルタでは、ラダー型フィルタだけでなく、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部をさらに備えていてもよく、それによって、帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００１８】
本発明に係る弾性波フィルタの他の広い局面では、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える弾性波フィルタが提供される。
【００１９】
このように、本発明に係る弾性波フィルタでは、ラダー型フィルタだけでなく、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部をさらに備えていてもよく、それによって、帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００２０】
本発明に係る分波器は、第１の通過帯域を有する帯域フィルタと、第１の通過帯域とは異なる通過帯域を有する第２の帯域フィルタとを有する分波器であって、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方が、本発明に従って構成された弾性波フィルタからなる。
【００２１】
従って、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方において、上記弾性波フィルタを構成している圧電基板の伝搬方位が変更等により通過帯域幅を容易に広げることができ、分波器の設計の自由度を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る弾性波フィルタでは、同一圧電基板上に、弾性表面波素子及び弾性境界波素子が構成されており、かつ該弾性表面波素子及び弾性境界波素子が電気的に接続されてフィルタ回路が構成されているので、フィルタの設計の自由度を高めることができる。すなわち、弾性表面波素子のみを用いた場合、電気機械結合係数が圧電基板によりほぼ決定されるのに対し、弾性境界波素子を用いた場合、弾性境界波の伝搬方位ψを変更することによっても電気機械結合係数を調整することができる。従って、様々な周波数特性の弾性波フィルタを容易に提供することができる。
【００２３】
本発明に係る弾性波フィルタにおいて、上記弾性表面波素子及び弾性境界波素子が、直列腕共振子または並列腕共振子を構成しているラダー型回路構成の弾性波フィルタの場合には、同様に、圧電基板により弾性表面波共振子の電気機械結合係数がほぼ決定されるが、弾性境界波素子において伝搬方位ψを変更することにより、電気機械結合係数を調整することができる。従って、ラダー型回路構成を有する弾性波フィルタの設計の自由度を大幅に高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図２】第１の実施形態に係る弾性波フィルタを構成する弾性表面波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。
【図３】（ａ）は第１の実施形態に係る弾性波フィルタの模式的部分切欠平面図であり、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】本発明で用いられる弾性境界波共振子の他の例を説明するための模式的正面断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る弾性波フィルタの電極構造を説明するための模式的平面図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係る弾性波フィルタの電極構造を説明するための模式的平面図である。
【図１０】本発明の第７の実施形態としての分波器を説明するための回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２６】
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ１の回路図である。弾性波フィルタ１は、入力端子２と出力端子３とを結ぶ直列腕と、直列腕とグラウンド電位とを結ぶ複数の並列腕とを有するラダー型フィルタである。
【００２７】
直列腕においては、第１〜第３の直列腕共振子４〜６が互いに直列に接続されて配置されている。本実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子４〜６は、いずれも弾性表面波共振子からなる。また、直列腕とグラウンド電位を結ぶ１つの並列腕には、第１の並列腕共振子７が配置されている。もう１つの並列腕には、第２の並列腕共振子８が配置されている。本実施形態では、第１，第２の並列腕共振子７，８は、弾性境界波共振子からなる。
【００２８】
すなわち、弾性波フィルタ１は、複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子と複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子とをラダー型回路を有するように接続した構成を有する。言い換えれば、異なる種類の弾性波素子を用いて弾性波フィルタ１が形成されている。
【００２９】
また、本実施形態の弾性波フィルタ１では、同一圧電基板上に、第１〜第３の直列腕共振子４〜６及び第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されている。なお、図１及び以下の弾性波フィルタのラダー型回路構成を示す図では、弾性表面波共振子及び弾性境界波共振子の区別を明瞭とするために、弾性表面波共振子についてはブロック中にＳの文字を付し、弾性境界波共振子についてはブロック中にＢの文字を付すこととする。
【００３０】
図２は、第１の直列腕共振子４の電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波共振子である第１の直列腕共振子４では、圧電基板１０上において、ＩＤＴ電極４ａと、ＩＤＴ電極４ａの弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器４ｂ，４ｃが設けられている。すなわち、１ポート型弾性表面波共振子が構成されている。
【００３１】
なお、第２，第３の直列腕共振子５，６も同様の電極構造を有する弾性表面波共振子からなる。また、第１，第２の並列腕共振子７，８を構成している弾性境界波共振子も、同様に、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性波共振子の電極構造を有する。
【００３２】
もっとも、本発明において、上記弾性表面波共振子や弾性境界波共振子の電極構造は、図２に示す構造のものに限定されるものではない。複数種の弾性波素子を組み合わせてフィルタ回路を構成し得る限り、様々な共振特性を有する電極構造を用いて各弾性波共振子を構成することができる。
【００３３】
図３（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態に係る弾性波フィルタ１の模式的平面図及び正面断面図である。弾性波フィルタ１は、圧電基板１０を有する。圧電基板１０上において、入力端子２、出力端子３及びグラウンド端子９が形成されている。入力端子２、出力端子３及びグラウンド端子９は、図示の位置に形成された電極パッドからなる。
【００３４】
そして、同一圧電基板１０上において、図１に示した第１〜第３の直列腕共振子４〜６及び第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されているが、図３（ａ）では、その一部が図示されている。すなわち、入力端子２に接続されている第１の直列腕共振子４と、第１の並列腕共振子７とが形成されている部分が代表的な部分として図示されている。
【００３５】
図３（ｂ）に示すように、弾性表面波共振子からなる第１の直列腕共振子４では、ＩＤＴ電極４ａが臨む中空部分を構成するように、下方に開いたパッケージ材１１が設けられている。パッケージ材１１は、ＩＤＴ電極４ａ及び前述した反射器４ｂ，４ｃを取り囲むように、圧電基板１０の上面に固定されている。パッケージ材１１は、樹脂、セラミックスまたは金属などにより形成することができる。
【００３６】
上記パッケージ材１１は、接着剤等の適宜の接合材により圧電基板１０の上面に接合されている。第２，第３の直列腕共振子５，６も第１の直列腕共振子と同様の構造を有している。パッケージ材１１は、第１〜第３の直列腕共振子４〜６の全てのＩＤＴ電極、反射器を取り囲むように形成されていてもよい。
【００３７】
他方、第１の並列腕共振子７を構成している弾性境界波共振子は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に積層された第１，第２の誘電体層１２，１３とを有する三媒質構造の弾性境界波素子である。すなわち、圧電基板１０と第１の誘電体層１２との界面に、ＩＤＴ電極７ａ及び反射器７ｂ，７ｃを構成する電極構造が形成されている。第１の誘電体層１２は、ＳｉＯ２などの適宜の誘電体からなる。第２の誘電体層１３は、第１の誘電体層１２よりも音速が速い適宜の誘電体、例えばＳｉＮなどからなる。
【００３８】
図３（ａ）では、上記第１の直列腕共振子４及び第１の並列腕共振子７が形成されている部分のみを示したが、第２，第３の直列腕共振子５，６及び第２の並列腕共振子８も、同じ圧電基板１０上において同様に構成されている。すなわち、本実施形態の弾性波フィルタ１の特徴は、同一圧電基板１０上に複数の弾性表面波共振子からなる第１〜第３の直列腕共振子４〜６と、複数の弾性境界波共振子からなる第１，第２の並列腕共振子７，８とがラダー型回路構成を有するように配線１５により電気的に接続されていることにある。すなわち、複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子と、複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子とが、電気的に接続されてフィルタ回路が構成されている。
【００３９】
圧電基板１０は、適宜の圧電体からなる。このような圧電体としては、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３または水晶などの圧電単結晶、あるいはＰＺＴやＬｉ２Ｂ４Ｏ７などの圧電セラミックスを用いることができる。
【００４０】
また、上記ＩＤＴ電極４ａ及び反射器４ｂ，４ｃなどや配線を構成する電極材料としても、適宜の導電性材料を用いることができる。このような導電性材料としては、Ａｌ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｗ、Ｔａ、Ａｕまたはこれらの合金を挙げることができる。また、電極構造は、複数の金属膜を積層した積層金属膜から構成されていてもよい。
【００４１】
上記第１，第２の誘電体層１２，１３を構成する誘電体としては、特に限定されず、例えば、Ｓｉ、ガラス、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、ＳｉＣ、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックス、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｎ、Ａｌ２Ｏ３、ＫＮなど挙げることができる。
【００４２】
なお、図３（ｂ）では、弾性表面波共振子からなる第１の直列腕共振子４においては、ＩＤＴ電極４ａは中空部分に露出しているが、ＩＤＴ電極４ａ及び反射器４ｂ，４ｃを覆うように他の膜が積層されていてもよい。このような他の膜としては、ＳｉＯ２などからなる温度特性改善膜や、適宜の絶縁性材料からなる薄い保護膜などを挙げることができる。この場合、他の膜は、弾性境界波を利用する場合の第１，第２の誘電体層１２，１３とは異なり、弾性表面波を用いた共振特性を利用し得るように、第１，第２の誘電体層１２，１３に比べかなり薄く形成される。
【００４３】
なお、本実施形態では、上記のように、弾性境界波共振子として、第１，第２の誘電体層１２，１３が圧電基板１０上に積層されて三媒質構造の弾性境界波素子を用いて構成されていたが、図４に示すような二媒質構造の弾性境界波素子を用いてもよい。図４に示す弾性境界波共振子２１では、圧電基板１０上に、１つの誘電体層２２が積層されており、両者の界面にＩＤＴ電極７ａ及び反射器７ｂ，７ｃが形成されている。
【００４４】
本実施形態の弾性波フィルタ１の特徴は、上記のように同一圧電基板１０上に、弾性表面波共振子からなる第１〜第３の直列腕共振子４〜６と、弾性境界波共振子からなる第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されていることにある。そのため、１つのチップ部品として弾性波フィルタ１を提供することができる。加えて、並列腕共振子が弾性境界波共振子からなるため、弾性波フィルタの設計の自由度を大幅に高めることができる。これは、以下の理由による。
【００４５】
ラダー型フィルタの通過帯域の帯域幅とフィルタ特性の急峻性とは、直列腕共振子及び並列腕共振子におけるそれぞれの共振周波数と反共振周波数との周波数差Δｆにより決まる。周波数差Δｆが大きくなるほど、通過帯域を広げることができ、Δｆが小さくなるほど、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。他方、弾性表面波共振子や弾性境界波共振子などの弾性波共振子では、電気機械結合係数が大きいと、周波数差Δｆは大きくなり、電気機械結合係数が小さくなると、Δｆが小さくなる。
【００４６】
他方、弾性境界波共振子では、例えば、ＷＯ２００４／０７０９４６Ａ１号公報に記載されているように、弾性境界波の伝搬方位（ψ）を変更することにより、電気機械結合係数を変えることができる。ここで、「弾性境界波の伝搬方位」とは、圧電基板の結晶方位に対する、圧電基板表面における弾性境界波の伝搬方向とのなす角度をいう。従って、本実施形態では、第１，第２の並列腕共振子７，８である弾性境界波共振子において弾性境界波の伝搬方位を小さくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができ、周波数差Δｆを大きくすることができる。その結果、通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００４７】
また、弾性境界波の伝搬方位を大きくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を小さくすることができ、Δｆを小さくすることができる。その結果、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。
【００４８】
すなわち、従来の弾性波フィルタでは、同一圧電基板上に同じ種類の弾性波素子、例えば複数の弾性表面波共振子を構成したり、あるいは複数の弾性境界波共振子を構成したりしていたため、設計の自由度が低かった。これに対して、本実施形態では、異なる種類の弾性波素子、すなわち弾性表面波素子と弾性境界波素子とを同一圧電基板上に構成しているため、設計の自由度を高めることができる。さらに、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位の変更によっても電気機械結合係数を変更し得るので、弾性境界波共振子の周波数差Δｆを変更することができ、かつ設計の自由度をより一層高めることが可能となる。
【００４９】
また、一般に、弾性境界波素子は、弾性表面波素子に比べて、ＴＣＦ（周波数温度特性）の絶対値が小さく、良好である。そのため、第１，第２の並列腕共振子７，８が弾性境界波共振子である本実施形態の弾性波フィルタ１では、通過帯域低域側におけるＴＣＦを改善することができる。
【００５０】
〔第２の実施形態〕
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタ３１の回路構成を示す図である。弾性波フィルタ３１は、入力端子３２と、出力端子３３との間に延びる直列腕と、直列腕とグラウンド電位に接続されている複数の並列腕とを有する、ラダー型フィルタである。
【００５１】
第１の実施形態と同様に、直列腕に第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が配置されている。また、第１の並列腕に第１の並列腕共振子３７が、第２の並列腕に第２の並列腕共振子３８が配置されている。
【００５２】
第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６及び第１，第２の並列腕共振子３７，３８は、１つの圧電基板上に構成されている。第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が弾性境界波共振子からなり、第１、第２の並列腕共振子３７，３８が弾性表面波共振子からなることにある。
【００５３】
弾性境界波共振子及び弾性表面波共振子自体の構造は、第１の実施形態と同様であるため、第１の実施形態の説明を援用することとする。
【００５４】
第２の実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が弾性境界波共振子からなるため、設計の自由度を高めることができる。すなわち、ラダー型弾性波フィルタ３１において、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子における弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６において、電気機械結合係数を変えることができる。そのため、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６の周波数差Δｆを変えることができる。
【００５５】
従って、本実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子において、弾性境界波の伝搬方位を大きくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を小さくすることができ、周波数差Δｆを小さくすることができる。その結果、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。
【００５６】
また、弾性境界波の伝搬方向を小さくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができ、Δｆを大きくすることができる。その結果、通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００５７】
また、一般に、弾性境界波素子は、弾性表面波素子に比べて周波数温度特性ＴＣＦの絶対値が小さく、良好である。そのため、第２の実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子の周波数温度特性ＴＣＦが良好であるため、通過帯域高域側におけるＴＣＦを改善することができる。第２の実施形態においても、複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子及び複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子の双方が同一圧電基板上に形成されているので、ラダー型弾性波フィルタの小型化及び部品点数の低減を図ることもできる。
【００５８】
〔第３の実施形態〕
図６は、本発明の第３の実施形態の弾性波フィルタ４１の回路図である。本実施形態の弾性波フィルタ４１は、基本的には第１，第２の実施形態と同様に、３個の直列腕共振子と２個の並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであり、同一圧電基板上にこれらの共振子が構成されている。
【００５９】
第１，第２の実施形態と異なるところは、入力端子４２と出力端子４３とを結ぶ直列腕に配置された第１〜第３の直列腕共振子４４〜４６において、入力端子４２側に位置している第１，第２の直列腕共振子４４，４５が弾性表面波共振子からなり、出力端子４３側に位置している第３の直列腕共振子４６が弾性境界波共振子からなり、第１の並列腕共振子４７が弾性表面波共振子からなり、第２の並列腕共振子４８が弾性境界波共振子からなる点にある。
【００６０】
言い換えれば、第３の実施形態の弾性波フィルタ４１は、入力端子４２側に配置されたラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａと、出力端子４３側に配置されたラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂとを接続した構成を有する。ラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａは複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子であり、ラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂは複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子である。
【００６１】
ここでは、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより通過帯域が形成され、かつ主にラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおける第３の直列腕共振子４６により通過帯域高域側の減衰極が形成され、主に第２の並列腕共振子４８により通過帯域低域側の減衰極が形成される。そのため、フィルタ特性の急峻性を高めることが可能とされている。
【００６２】
ここで、ラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおける第３の直列腕共振子４６の共振周波数、第２の並列腕共振子４８の反共振周波数は、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより形成される通過帯域内にそれぞれ位置されている。
【００６３】
ラダー型フィルタでは、通過帯域高域側における減衰特性は、直列腕共振子の周波数差Δｆにより決まり、通過帯域低域側における減衰特性は、並列腕共振子の周波数差Δｆにより決まる。よって、直列腕共振子の周波数差Δｆが小さいほど、通過帯域高域側の減衰特性が急峻となり、並列腕共振子の周波数差Δｆが小さいほど、通過帯域低域側の減衰特性は急峻となる。
【００６４】
また、ラダー型フィルタを構成する共振子のΔｆが小さくなるほど、通過帯域の帯域幅は狭くなる。
【００６５】
本実施形態では、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより通過帯域が形成されている。弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおいては、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、電気機械結合係数を変えることができる。従って、弾性境界波の伝搬方位を大きくして電気機械結合係数、ひいては周波数差Δｆを小さくすることにより、主に第３の直列腕共振子４６により通過帯域高域側の減衰極を形成し、通過帯域高域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。また、主に第２の並列腕共振子４８のΔｆを小さくすることにより、通過帯域低域側の減衰極を形成し、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００６６】
従って、所定の帯域幅の通過帯域を確保し、かつ急峻な減衰特性を有するラダー型弾性波フィルタを提供することができる。
【００６７】
また、弾性境界波素子は弾性表面波素子に比べてＴＣＦの絶対値が小さいため、通過帯域高域側及び低域側のＴＣＦを改善することもできる。
【００６８】
なお、本実施形態では、ラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａの後段にラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂが接続されていたが、本発明においては、ラダー型弾性表面波フィルタ部及び／またはラダー型弾性境界波フィルタ部に様々な弾性波共振子または弾性波フィルタ部を接続することができる。
【００６９】
例えば、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されたΔｆが小さい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。このような構成により、所定の帯域幅の通過帯域を確保し、かつ通過帯域高域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００７０】
また、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されたΔｆが小さい弾性境界波共振子によりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合には、所定の帯域幅の通過帯域を有し、かつ通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００７１】
〔第４の実施形態〕
図７に示すように、第４の実施形態の弾性波フィルタ５１もまた、第１〜第３の直列腕共振子５４〜５６及び第１，第２の並列腕共振子５７，５８を有する。
【００７２】
また、同一圧電基板上にこれらの共振子が構成されている。従って、基本的構造において、第４の実施形態の弾性波フィルタ５１は、第１〜第３の実施形態と同様である。
【００７３】
第４の実施形態の弾性波フィルタ５１は、第３の実施形態と同様に、入力端子５２側に、弾性表面波共振子からなる第１，第２の直列腕共振子５４，５５及び第１の並列腕共振子５７からなるラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａが構成されており、出力端子５３側に、それぞれ弾性境界波共振子からなる第２の並列腕共振子５８及び第３の直列腕共振子５６からなるラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂが接続されている。
【００７４】
また、本実施形態では、第３の実施形態と同様に、ラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより通過帯域が形成される。第４の実施形態の弾性波フィルタ５１の特徴は、ラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂにおける第３の直列腕共振子５６の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、第２の並列腕共振子５８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されていることにある。これによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００７５】
すなわち、ラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂの第３の直列腕共振子５６及び第２の並列腕共振子５８である各弾性境界波共振子の弾性境界波の伝搬方位を小さくすることにより、電気機械結合係数、ひいてはΔｆを大きくする。それによって、Δｆの大きい第３の直列腕共振子５６の共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外に、第２の並列腕共振子５８の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより形成される通過帯域内にそれぞれ位置させている。従って、弾性境界波共振子からなる第３の直列腕共振子５６の反共振周波数により通過帯域高域側における帯域外減衰量を大きくすることができる。さらに、弾性境界波共振子からなる第２の並列腕共振子５８の共振周波数により、通過帯域低域側における帯域外減衰量を大きくすることができる。従って、所定の帯域幅の通過帯域を有し、かつ帯域外減衰量の大きなラダー型弾性波フィルタ５１を提供することができる。
【００７６】
本実施形態においても、弾性境界波共振子からなる第３の直列腕共振子５６及び第２の並列腕共振子５８において、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変更することができるので、周波数差Δｆを調整して第３の直列腕共振子５６の反共振周波数や第２の並列腕共振子５８の共振周波数を容易に調整することができる。従って、設計の自由度を大幅に高めることができる。また、第３の実施形態の変形例の場合と同様に、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されたΔｆの大きい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、Δｆの大きい弾性境界波共振子の共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保し、かつ通過帯域高域側の帯域外減衰量を拡大することができる。
【００７７】
また、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されたΔｆの大きい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、Δｆの大きい弾性境界波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側における帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００７８】
〔第５の実施形態〕
図８は、第５の実施形態に係る弾性波フィルタ６１の模式的平面図である。弾性波フィルタ６１は、入力端子６２と出力端子６３とを有する。圧電基板７０上に図示の電極構造が形成されている。すなわち、入力端子６２に、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６４，６５を２段縦続接続してなる縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６が接続されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６の後段には、直列腕共振子６７と並列腕共振子６８とを有するラダー型弾性境界波フィルタ部６９が接続されている。直列腕共振子６７及び並列腕共振子６８は、それぞれ、ＩＤＴ電極とＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性境界波共振子である。図８では、電極構造のみを模式的に示す。
【００７９】
他方、前述した３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６４，６５は、それぞれ、弾性表面波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する。
【００８０】
本実施形態のように、本発明においては、弾性境界波フィルタ部に、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部が接続されていてもよい。
【００８１】
本実施形態においても、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９だけでなく、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６もまた、同一圧電基板７０上に電極構造を形成することにより構成されている。従って、第１〜第４の実施形態と同様に、部品点数の低減及び小型化を進めることができる。
【００８２】
本実施形態では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６により通過帯域が形成されている。また、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９における直列腕共振子６７の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、並列腕共振子６８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されている。それによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００８３】
また、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変えることができるので、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９の直列腕共振子６７及び並列腕共振子６８の弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、それぞれの周波数差Δｆを調整することができる。従って、直列腕共振子６７の共振周波数を縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外の任意の周波数にそれぞれ位置させ、並列腕共振子６８の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外の任意の周波数に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させている。それによって、直列腕共振子６７の反共振周波数により通過帯域高域側の帯域外減衰量を大きくすることができる。また、並列腕共振子６８の共振周波数により、通過帯域低域側の帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００８４】
従って、所定の帯域幅の通過帯域を確保しつつ、帯域外減衰量の拡大を図ることができる。また、弾性境界波共振子の反共振周波数及び共振周波数を任意の周波数に位置させることが容易であるため、設計の自由度を高めることができる。
【００８５】
なお、本実施形態の変形例として、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に直列に接続された弾性境界波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、直列腕共振子である弾性境界波共振子の共振周波数を縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させる。それによって、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域高域側の減衰量の拡大を図ることができる。
【００８６】
また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に並列に接続された弾性境界波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、並列腕共振子である弾性境界波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させる。それによって、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側の帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００８７】
〔第６の実施形態〕
図９は、第６の実施形態に係る弾性波フィルタ８１の模式的平面図である。弾性波フィルタ８１は、入力端子８２と出力端子８３とを有する。圧電基板９０上に図示の電極構造が形成されている。
【００８８】
すなわち、入力端子８２に、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５を２段縦続接続してなる縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６が接続されている。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６の後段には、直列腕共振子８７と並列腕共振子８８とを有するラダー型弾性表面波フィルタ部８９が接続されている。直列腕共振子８７及び並列腕共振子８８は、それぞれ、ＩＤＴ電極とＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性表面波共振子である。図９では、電極構造のみを模式的に示す。
【００８９】
他方、前述した３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５は、それぞれ、弾性境界波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性境界波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する。
【００９０】
本実施形態のように、本発明においては、弾性表面波フィルタ部に、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部が接続されていてもよい。
【００９１】
本実施形態においても、ラダー型弾性表面波フィルタ部８９だけでなく、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６もまた、同一圧電基板９０上に電極構造を形成することにより構成されている。従って、第１〜第５の実施形態と同様に、部品点数の低減及び小型化を進めることができる。
【００９２】
本実施形態では、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６により通過帯域が形成されている。また、ラダー型弾性表面波フィルタ部８９における直列腕共振子８７の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、並列腕共振子８８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されている。それによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００９３】
また、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変えることができるので、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５において弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、所定の帯域幅の通過帯域を確保しつつ、帯域外減衰量の拡大を図ることができる。また、弾性境界波フィルタの周波数特性を容易に調整し得るため、設計の自由度を高めることができる。
【００９４】
なお、本実施形態の変形例として、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に直列に接続された弾性表面波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、直列腕共振子である弾性表面波共振子の共振周波数を縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域高域側の減衰量の拡大を図ることができる。
【００９５】
また、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に並列に接続された弾性表面波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、並列腕共振子である弾性表面波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側の帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００９６】
〔第７の実施形態〕
図１０は、本発明の第７の実施形態としての分波器９１を示す回路図である。分波器９１は、アンテナ端子９２と、送信端子９３と、受信端子９４とを有する。アンテナ端子９２に、インピーダンス整合回路９５が接続されている。インピーダンス整合回路９５のアンテナ端子に接続されている側との反対の端部は２つのポートを有し、一方のポートが送信端子９３に送信フィルタ９６を介して接続されており、他方のポートが受信端子９４に受信フィルタ９７を介して接続されている。このような分波器の回路構成自体は従来より周知である。本分波器９１の特徴は、上記送信フィルタ９６及び受信フィルタ９７の少なくとも一方が、上述した第１〜第６の実施形態のいずれかの弾性波フィルタにより構成されていることである。それによって、部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、送信フィルタ９６や受信フィルタ９７の設計の自由度、ひいては分波器９１の設計の自由度を高めることが可能となる。
【００９７】
なお、本発明に係る分波器は、上記送信フィルタ９６及び受信フィルタ９７を含むものに限定されず、２以上の帯域通過フィルタを含む分波器に広く本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００９８】
１…弾性波フィルタ
２…入力端子
３…出力端子
４〜６…第１〜第３の直列腕共振子
４ａ…ＩＤＴ電極
４ｂ，４ｃ…反射器
７，８…第１，第２の並列腕共振子
７ａ…ＩＤＴ電極
７ｂ，７ｃ…反射器
９…グラウンド端子
１０…圧電基板
１１…パッケージ材
１２，１３…第１，第２の誘電体層
１５…配線
２１…弾性境界波共振子
２２…誘電体層
３１…弾性波フィルタ
３２…入力端子
３３…出力端子
３４〜３６…第１〜第３の直列腕共振子
３７，３８…第１，第２の並列腕共振子
４１…弾性波フィルタ
４２…入力端子
４３…出力端子
４４〜４６…第１〜第３の直列腕共振子
４７，４８…第１，第２の並列腕共振子
４９Ａ…ラダー型弾性表面波フィルタ部
４９Ｂ…ラダー型弾性境界波フィルタ部
５１…弾性波フィルタ
５２…入力端子
５３…出力端子
５４〜５６…第１〜第３の直列腕共振子
５７，５８…第１，第２の並列腕共振子
５９Ａ…ラダー型弾性表面波フィルタ部
５９Ｂ…ラダー型弾性境界波フィルタ部
６１…弾性波フィルタ
６２…入力端子
６３…出力端子
６４，６５…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
６６…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
６７…直列腕共振子
６８…並列腕共振子
６９…ラダー型弾性境界波フィルタ部
７０…圧電基板
８１…弾性波フィルタ
８２…入力端子
８３…出力端子
８４，８５…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ
８６…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
８７…直列腕共振子
８８…並列腕共振子
８９…ラダー型弾性表面波フィルタ部
９０…圧電基板
９１…分波器
９２…アンテナ端子
９３…送信端子
９４…受信端子
９５…インピーダンス整合回路
９６…送信フィルタ
９７…受信フィルタ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の弾性波素子を用いて構成された弾性波フィルタに関し、より詳細には、同一圧電基板上に異なる種類の弾性波素子が構成されてフィルタ回路が実現されている弾性波フィルタ及び該弾性波フィルタを備えた分波器に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯通信機では、受信用帯域通過フィルタと送信用帯域通過フィルタとを備えた分波器が用いられている。このような複数の帯域通過フィルタを備えた分波器の一例が、下記の特許文献１に開示されている。特許文献１では、２つのラダー型フィルタを有する分波器が開示されている。特許文献１の段落〔０１１７〕では、分波器を構成している各ラダー型フィルタとして、ラダー型フィルタを構成する共振子が圧電薄膜共振子、弾性表面波共振子または弾性境界波共振子のいずれかである弾性波フィルタを用い得ることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−７４６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の構成では、１つの基板上において、複数の共振子が構成され、それによってラダー型フィルタが形成されていたが、この場合、１つの基板上に形成されている共振子は、同種の共振子であった。すなわち、１つのシリコン基板上に複数の圧電薄膜共振子を構成したり、あるいは１つの圧電基板上に複数の弾性表面波共振子を構成したりすることにより、ラダー型弾性波フィルタが構成されていた。そのため、設計の自由度がさほど高くないという問題があった。
【０００５】
１つの圧電基板上に複数の弾性表面波共振子を構成した場合、圧電基板の材料やカット角により電気機械結合係数がほぼ決定されることになる。そのため、設計の自由度が高くなかった。同様に、１つのシリコン基板に複数の圧電薄膜共振子を構成した場合においても、圧電薄膜の材料や膜質により電気機械結合係数がほぼ決定されるため、やはり設計の自由度は高くなかった。
【０００６】
弾性波フィルタが用いられる携帯通信機では、例えば、ＵＭＴＳ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｍｏｂｉｌｅ Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）として、移動体通信システムの標準規格が複数決められている。これらの様々な標準規格に対応するには、設計の自由度が高い弾性波フィルタが強く求められている。
【０００７】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、１つの圧電基板を用いて構成されており、部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、設計の自由度を十分に高くすることが可能とされている弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある広い局面によれば、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波素子とを備え、フィルタ回路を構成するように前記弾性表面波素子と前記弾性境界波素子とが電気的に接続されている、弾性波フィルタが提供される。
【０００９】
本発明の他の広い局面によれば、直列腕と並列腕とを有するラダー型回路構成の弾性波フィルタであって、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている弾性表面波共振子と、前記弾性表面波共振子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波共振子とを備え、前記並列腕及び直列腕にそれぞれ配置されている並列腕共振子及び直列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、前記弾性表面波共振子からなり、残りの共振子が前記弾性境界波共振子からなる、弾性波フィルタが提供される。
【００１０】
本発明に係る弾性波フィルタのある特定の局面では、前記直列腕共振子が前記弾性表面波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性境界波共振子である。並列腕共振子が弾性境界波共振子からなるため、圧電基板における伝搬方位を変更することにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を高めて通過帯域を広げることができる。
【００１１】
本発明に係る弾性波フィルタの他の特定の局面では、前記直列腕共振子が前記弾性境界波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性表面波共振子である。この場合には、直列腕共振子である弾性境界波共振子の伝搬方位を変更することにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができる。そのため、直列腕共振子における周波数差Δｆを大きくすることができ、それによって、フィルタの通過帯域の広帯域化、特に通過帯域の高域側において帯域幅を広げることが可能となる。
【００１２】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、直列腕共振子及び並列腕共振子が前記弾性境界波共振子を用いて構成されているラダー型弾性境界波フィルタ部とを有し、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部が電気的に接続されている。このように、１つの圧電基板上において、複数の弾性表面波共振子からなるラダー型弾性表面波フィルタ部と、複数の弾性境界波共振子からなるラダー型弾性境界波フィルタ部とを構成し、両者を電気的に接続することにより弾性波フィルタが構成されてもよい。この場合においては、圧電基板の伝搬方位を変更することによりラダー型弾性境界波フィルタ部において通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００１３】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数と、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数とが、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、それぞれ位置されている。
【００１４】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも高域側の帯域外に位置されており、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数が主に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部により形成される通過帯域よりも低域側の帯域外に位置されている。この場合には、圧電基板の伝搬方位を変更することにより、上記ラダー型弾性境界波フィルタ部の帯域幅を広げることができ、それによって通過帯域をより一層広くすることができる。
【００１５】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されている弾性境界波共振子とを有する。
【００１６】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されている弾性境界波共振子とを有する。
【００１７】
本発明に係る弾性波フィルタのさらに他の広い局面では、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性境界波共振子とを備える弾性波フィルタが提供される。このように、本発明に係る弾性波フィルタでは、ラダー型フィルタだけでなく、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部をさらに備えていてもよく、それによって、帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００１８】
本発明に係る弾性波フィルタの他の広い局面では、圧電基板と、前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える弾性波フィルタが提供される。
【００１９】
このように、本発明に係る弾性波フィルタでは、ラダー型フィルタだけでなく、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部をさらに備えていてもよく、それによって、帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００２０】
本発明に係る分波器は、第１の通過帯域を有する帯域フィルタと、第１の通過帯域とは異なる通過帯域を有する第２の帯域フィルタとを有する分波器であって、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方が、本発明に従って構成された弾性波フィルタからなる。
【００２１】
従って、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方において、上記弾性波フィルタを構成している圧電基板の伝搬方位が変更等により通過帯域幅を容易に広げることができ、分波器の設計の自由度を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る弾性波フィルタでは、同一圧電基板上に、弾性表面波素子及び弾性境界波素子が構成されており、かつ該弾性表面波素子及び弾性境界波素子が電気的に接続されてフィルタ回路が構成されているので、フィルタの設計の自由度を高めることができる。すなわち、弾性表面波素子のみを用いた場合、電気機械結合係数が圧電基板によりほぼ決定されるのに対し、弾性境界波素子を用いた場合、弾性境界波の伝搬方位ψを変更することによっても電気機械結合係数を調整することができる。従って、様々な周波数特性の弾性波フィルタを容易に提供することができる。
【００２３】
本発明に係る弾性波フィルタにおいて、上記弾性表面波素子及び弾性境界波素子が、直列腕共振子または並列腕共振子を構成しているラダー型回路構成の弾性波フィルタの場合には、同様に、圧電基板により弾性表面波共振子の電気機械結合係数がほぼ決定されるが、弾性境界波素子において伝搬方位ψを変更することにより、電気機械結合係数を調整することができる。従って、ラダー型回路構成を有する弾性波フィルタの設計の自由度を大幅に高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図２】第１の実施形態に係る弾性波フィルタを構成する弾性表面波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。
【図３】（ａ）は第１の実施形態に係る弾性波フィルタの模式的部分切欠平面図であり、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】本発明で用いられる弾性境界波共振子の他の例を説明するための模式的正面断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る弾性波フィルタの回路図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る弾性波フィルタの電極構造を説明するための模式的平面図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係る弾性波フィルタの電極構造を説明するための模式的平面図である。
【図１０】本発明の第７の実施形態としての分波器を説明するための回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２６】
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ１の回路図である。弾性波フィルタ１は、入力端子２と出力端子３とを結ぶ直列腕と、直列腕とグラウンド電位とを結ぶ複数の並列腕とを有するラダー型フィルタである。
【００２７】
直列腕においては、第１〜第３の直列腕共振子４〜６が互いに直列に接続されて配置されている。本実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子４〜６は、いずれも弾性表面波共振子からなる。また、直列腕とグラウンド電位を結ぶ１つの並列腕には、第１の並列腕共振子７が配置されている。もう１つの並列腕には、第２の並列腕共振子８が配置されている。本実施形態では、第１，第２の並列腕共振子７，８は、弾性境界波共振子からなる。
【００２８】
すなわち、弾性波フィルタ１は、複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子と複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子とをラダー型回路を有するように接続した構成を有する。言い換えれば、異なる種類の弾性波素子を用いて弾性波フィルタ１が形成されている。
【００２９】
また、本実施形態の弾性波フィルタ１では、同一圧電基板上に、第１〜第３の直列腕共振子４〜６及び第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されている。なお、図１及び以下の弾性波フィルタのラダー型回路構成を示す図では、弾性表面波共振子及び弾性境界波共振子の区別を明瞭とするために、弾性表面波共振子についてはブロック中にＳの文字を付し、弾性境界波共振子についてはブロック中にＢの文字を付すこととする。
【００３０】
図２は、第１の直列腕共振子４の電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波共振子である第１の直列腕共振子４では、圧電基板１０上において、ＩＤＴ電極４ａと、ＩＤＴ電極４ａの弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器４ｂ，４ｃが設けられている。すなわち、１ポート型弾性表面波共振子が構成されている。
【００３１】
なお、第２，第３の直列腕共振子５，６も同様の電極構造を有する弾性表面波共振子からなる。また、第１，第２の並列腕共振子７，８を構成している弾性境界波共振子も、同様に、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性波共振子の電極構造を有する。
【００３２】
もっとも、本発明において、上記弾性表面波共振子や弾性境界波共振子の電極構造は、図２に示す構造のものに限定されるものではない。複数種の弾性波素子を組み合わせてフィルタ回路を構成し得る限り、様々な共振特性を有する電極構造を用いて各弾性波共振子を構成することができる。
【００３３】
図３（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態に係る弾性波フィルタ１の模式的平面図及び正面断面図である。弾性波フィルタ１は、圧電基板１０を有する。圧電基板１０上において、入力端子２、出力端子３及びグラウンド端子９が形成されている。入力端子２、出力端子３及びグラウンド端子９は、図示の位置に形成された電極パッドからなる。
【００３４】
そして、同一圧電基板１０上において、図１に示した第１〜第３の直列腕共振子４〜６及び第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されているが、図３（ａ）では、その一部が図示されている。すなわち、入力端子２に接続されている第１の直列腕共振子４と、第１の並列腕共振子７とが形成されている部分が代表的な部分として図示されている。
【００３５】
図３（ｂ）に示すように、弾性表面波共振子からなる第１の直列腕共振子４では、ＩＤＴ電極４ａが臨む中空部分を構成するように、下方に開いたパッケージ材１１が設けられている。パッケージ材１１は、ＩＤＴ電極４ａ及び前述した反射器４ｂ，４ｃを取り囲むように、圧電基板１０の上面に固定されている。パッケージ材１１は、樹脂、セラミックスまたは金属などにより形成することができる。
【００３６】
上記パッケージ材１１は、接着剤等の適宜の接合材により圧電基板１０の上面に接合されている。第２，第３の直列腕共振子５，６も第１の直列腕共振子と同様の構造を有している。パッケージ材１１は、第１〜第３の直列腕共振子４〜６の全てのＩＤＴ電極、反射器を取り囲むように形成されていてもよい。
【００３７】
他方、第１の並列腕共振子７を構成している弾性境界波共振子は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に積層された第１，第２の誘電体層１２，１３とを有する三媒質構造の弾性境界波素子である。すなわち、圧電基板１０と第１の誘電体層１２との界面に、ＩＤＴ電極７ａ及び反射器７ｂ，７ｃを構成する電極構造が形成されている。第１の誘電体層１２は、ＳｉＯ２などの適宜の誘電体からなる。第２の誘電体層１３は、第１の誘電体層１２よりも音速が速い適宜の誘電体、例えばＳｉＮなどからなる。
【００３８】
図３（ａ）では、上記第１の直列腕共振子４及び第１の並列腕共振子７が形成されている部分のみを示したが、第２，第３の直列腕共振子５，６及び第２の並列腕共振子８も、同じ圧電基板１０上において同様に構成されている。すなわち、本実施形態の弾性波フィルタ１の特徴は、同一圧電基板１０上に複数の弾性表面波共振子からなる第１〜第３の直列腕共振子４〜６と、複数の弾性境界波共振子からなる第１，第２の並列腕共振子７，８とがラダー型回路構成を有するように配線１５により電気的に接続されていることにある。すなわち、複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子と、複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子とが、電気的に接続されてフィルタ回路が構成されている。
【００３９】
圧電基板１０は、適宜の圧電体からなる。このような圧電体としては、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３または水晶などの圧電単結晶、あるいはＰＺＴやＬｉ２Ｂ４Ｏ７などの圧電セラミックスを用いることができる。
【００４０】
また、上記ＩＤＴ電極４ａ及び反射器４ｂ，４ｃなどや配線を構成する電極材料としても、適宜の導電性材料を用いることができる。このような導電性材料としては、Ａｌ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｗ、Ｔａ、Ａｕまたはこれらの合金を挙げることができる。また、電極構造は、複数の金属膜を積層した積層金属膜から構成されていてもよい。
【００４１】
上記第１，第２の誘電体層１２，１３を構成する誘電体としては、特に限定されず、例えば、Ｓｉ、ガラス、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、ＳｉＣ、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックス、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｎ、Ａｌ２Ｏ３、ＫＮなど挙げることができる。
【００４２】
なお、図３（ｂ）では、弾性表面波共振子からなる第１の直列腕共振子４においては、ＩＤＴ電極４ａは中空部分に露出しているが、ＩＤＴ電極４ａ及び反射器４ｂ，４ｃを覆うように他の膜が積層されていてもよい。このような他の膜としては、ＳｉＯ２などからなる温度特性改善膜や、適宜の絶縁性材料からなる薄い保護膜などを挙げることができる。この場合、他の膜は、弾性境界波を利用する場合の第１，第２の誘電体層１２，１３とは異なり、弾性表面波を用いた共振特性を利用し得るように、第１，第２の誘電体層１２，１３に比べかなり薄く形成される。
【００４３】
なお、本実施形態では、上記のように、弾性境界波共振子として、第１，第２の誘電体層１２，１３が圧電基板１０上に積層されて三媒質構造の弾性境界波素子を用いて構成されていたが、図４に示すような二媒質構造の弾性境界波素子を用いてもよい。図４に示す弾性境界波共振子２１では、圧電基板１０上に、１つの誘電体層２２が積層されており、両者の界面にＩＤＴ電極７ａ及び反射器７ｂ，７ｃが形成されている。
【００４４】
本実施形態の弾性波フィルタ１の特徴は、上記のように同一圧電基板１０上に、弾性表面波共振子からなる第１〜第３の直列腕共振子４〜６と、弾性境界波共振子からなる第１，第２の並列腕共振子７，８が構成されていることにある。そのため、１つのチップ部品として弾性波フィルタ１を提供することができる。加えて、並列腕共振子が弾性境界波共振子からなるため、弾性波フィルタの設計の自由度を大幅に高めることができる。これは、以下の理由による。
【００４５】
ラダー型フィルタの通過帯域の帯域幅とフィルタ特性の急峻性とは、直列腕共振子及び並列腕共振子におけるそれぞれの共振周波数と反共振周波数との周波数差Δｆにより決まる。周波数差Δｆが大きくなるほど、通過帯域を広げることができ、Δｆが小さくなるほど、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。他方、弾性表面波共振子や弾性境界波共振子などの弾性波共振子では、電気機械結合係数が大きいと、周波数差Δｆは大きくなり、電気機械結合係数が小さくなると、Δｆが小さくなる。
【００４６】
他方、弾性境界波共振子では、例えば、ＷＯ２００４／０７０９４６Ａ１号公報に記載されているように、弾性境界波の伝搬方位（ψ）を変更することにより、電気機械結合係数を変えることができる。ここで、「弾性境界波の伝搬方位」とは、圧電基板の結晶方位に対する、圧電基板表面における弾性境界波の伝搬方向とのなす角度をいう。従って、本実施形態では、第１，第２の並列腕共振子７，８である弾性境界波共振子において弾性境界波の伝搬方位を小さくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができ、周波数差Δｆを大きくすることができる。その結果、通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００４７】
また、弾性境界波の伝搬方位を大きくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を小さくすることができ、Δｆを小さくすることができる。その結果、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。
【００４８】
すなわち、従来の弾性波フィルタでは、同一圧電基板上に同じ種類の弾性波素子、例えば複数の弾性表面波共振子を構成したり、あるいは複数の弾性境界波共振子を構成したりしていたため、設計の自由度が低かった。これに対して、本実施形態では、異なる種類の弾性波素子、すなわち弾性表面波素子と弾性境界波素子とを同一圧電基板上に構成しているため、設計の自由度を高めることができる。さらに、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位の変更によっても電気機械結合係数を変更し得るので、弾性境界波共振子の周波数差Δｆを変更することができ、かつ設計の自由度をより一層高めることが可能となる。
【００４９】
また、一般に、弾性境界波素子は、弾性表面波素子に比べて、ＴＣＦ（周波数温度特性）の絶対値が小さく、良好である。そのため、第１，第２の並列腕共振子７，８が弾性境界波共振子である本実施形態の弾性波フィルタ１では、通過帯域低域側におけるＴＣＦを改善することができる。
【００５０】
〔第２の実施形態〕
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタ３１の回路構成を示す図である。弾性波フィルタ３１は、入力端子３２と、出力端子３３との間に延びる直列腕と、直列腕とグラウンド電位に接続されている複数の並列腕とを有する、ラダー型フィルタである。
【００５１】
第１の実施形態と同様に、直列腕に第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が配置されている。また、第１の並列腕に第１の並列腕共振子３７が、第２の並列腕に第２の並列腕共振子３８が配置されている。
【００５２】
第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６及び第１，第２の並列腕共振子３７，３８は、１つの圧電基板上に構成されている。第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が弾性境界波共振子からなり、第１、第２の並列腕共振子３７，３８が弾性表面波共振子からなることにある。
【００５３】
弾性境界波共振子及び弾性表面波共振子自体の構造は、第１の実施形態と同様であるため、第１の実施形態の説明を援用することとする。
【００５４】
第２の実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６が弾性境界波共振子からなるため、設計の自由度を高めることができる。すなわち、ラダー型弾性波フィルタ３１において、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子における弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６において、電気機械結合係数を変えることができる。そのため、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６の周波数差Δｆを変えることができる。
【００５５】
従って、本実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子において、弾性境界波の伝搬方位を大きくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を小さくすることができ、周波数差Δｆを小さくすることができる。その結果、フィルタ特性の急峻性を向上させることができる。
【００５６】
また、弾性境界波の伝搬方向を小さくすることにより、弾性境界波共振子の電気機械結合係数を大きくすることができ、Δｆを大きくすることができる。その結果、通過帯域の広帯域化を図ることができる。
【００５７】
また、一般に、弾性境界波素子は、弾性表面波素子に比べて周波数温度特性ＴＣＦの絶対値が小さく、良好である。そのため、第２の実施形態では、第１〜第３の直列腕共振子３４〜３６を構成している弾性境界波共振子の周波数温度特性ＴＣＦが良好であるため、通過帯域高域側におけるＴＣＦを改善することができる。第２の実施形態においても、複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子及び複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子の双方が同一圧電基板上に形成されているので、ラダー型弾性波フィルタの小型化及び部品点数の低減を図ることもできる。
【００５８】
〔第３の実施形態〕
図６は、本発明の第３の実施形態の弾性波フィルタ４１の回路図である。本実施形態の弾性波フィルタ４１は、基本的には第１，第２の実施形態と同様に、３個の直列腕共振子と２個の並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであり、同一圧電基板上にこれらの共振子が構成されている。
【００５９】
第１，第２の実施形態と異なるところは、入力端子４２と出力端子４３とを結ぶ直列腕に配置された第１〜第３の直列腕共振子４４〜４６において、入力端子４２側に位置している第１，第２の直列腕共振子４４，４５が弾性表面波共振子からなり、出力端子４３側に位置している第３の直列腕共振子４６が弾性境界波共振子からなり、第１の並列腕共振子４７が弾性表面波共振子からなり、第２の並列腕共振子４８が弾性境界波共振子からなる点にある。
【００６０】
言い換えれば、第３の実施形態の弾性波フィルタ４１は、入力端子４２側に配置されたラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａと、出力端子４３側に配置されたラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂとを接続した構成を有する。ラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａは複数の弾性表面波共振子からなる弾性表面波素子であり、ラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂは複数の弾性境界波共振子からなる弾性境界波素子である。
【００６１】
ここでは、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより通過帯域が形成され、かつ主にラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおける第３の直列腕共振子４６により通過帯域高域側の減衰極が形成され、主に第２の並列腕共振子４８により通過帯域低域側の減衰極が形成される。そのため、フィルタ特性の急峻性を高めることが可能とされている。
【００６２】
ここで、ラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおける第３の直列腕共振子４６の共振周波数、第２の並列腕共振子４８の反共振周波数は、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより形成される通過帯域内にそれぞれ位置されている。
【００６３】
ラダー型フィルタでは、通過帯域高域側における減衰特性は、直列腕共振子の周波数差Δｆにより決まり、通過帯域低域側における減衰特性は、並列腕共振子の周波数差Δｆにより決まる。よって、直列腕共振子の周波数差Δｆが小さいほど、通過帯域高域側の減衰特性が急峻となり、並列腕共振子の周波数差Δｆが小さいほど、通過帯域低域側の減衰特性は急峻となる。
【００６４】
また、ラダー型フィルタを構成する共振子のΔｆが小さくなるほど、通過帯域の帯域幅は狭くなる。
【００６５】
本実施形態では、主にラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａにより通過帯域が形成されている。弾性境界波フィルタ部４９Ｂにおいては、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、電気機械結合係数を変えることができる。従って、弾性境界波の伝搬方位を大きくして電気機械結合係数、ひいては周波数差Δｆを小さくすることにより、主に第３の直列腕共振子４６により通過帯域高域側の減衰極を形成し、通過帯域高域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。また、主に第２の並列腕共振子４８のΔｆを小さくすることにより、通過帯域低域側の減衰極を形成し、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００６６】
従って、所定の帯域幅の通過帯域を確保し、かつ急峻な減衰特性を有するラダー型弾性波フィルタを提供することができる。
【００６７】
また、弾性境界波素子は弾性表面波素子に比べてＴＣＦの絶対値が小さいため、通過帯域高域側及び低域側のＴＣＦを改善することもできる。
【００６８】
なお、本実施形態では、ラダー型弾性表面波フィルタ部４９Ａの後段にラダー型弾性境界波フィルタ部４９Ｂが接続されていたが、本発明においては、ラダー型弾性表面波フィルタ部及び／またはラダー型弾性境界波フィルタ部に様々な弾性波共振子または弾性波フィルタ部を接続することができる。
【００６９】
例えば、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されたΔｆが小さい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。このような構成により、所定の帯域幅の通過帯域を確保し、かつ通過帯域高域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００７０】
また、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されたΔｆが小さい弾性境界波共振子によりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合には、所定の帯域幅の通過帯域を有し、かつ通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
【００７１】
〔第４の実施形態〕
図７に示すように、第４の実施形態の弾性波フィルタ５１もまた、第１〜第３の直列腕共振子５４〜５６及び第１，第２の並列腕共振子５７，５８を有する。
【００７２】
また、同一圧電基板上にこれらの共振子が構成されている。従って、基本的構造において、第４の実施形態の弾性波フィルタ５１は、第１〜第３の実施形態と同様である。
【００７３】
第４の実施形態の弾性波フィルタ５１は、第３の実施形態と同様に、入力端子５２側に、弾性表面波共振子からなる第１，第２の直列腕共振子５４，５５及び第１の並列腕共振子５７からなるラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａが構成されており、出力端子５３側に、それぞれ弾性境界波共振子からなる第２の並列腕共振子５８及び第３の直列腕共振子５６からなるラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂが接続されている。
【００７４】
また、本実施形態では、第３の実施形態と同様に、ラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより通過帯域が形成される。第４の実施形態の弾性波フィルタ５１の特徴は、ラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂにおける第３の直列腕共振子５６の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、第２の並列腕共振子５８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されていることにある。これによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００７５】
すなわち、ラダー型弾性境界波フィルタ部５９Ｂの第３の直列腕共振子５６及び第２の並列腕共振子５８である各弾性境界波共振子の弾性境界波の伝搬方位を小さくすることにより、電気機械結合係数、ひいてはΔｆを大きくする。それによって、Δｆの大きい第３の直列腕共振子５６の共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外に、第２の並列腕共振子５８の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部５９Ａにより形成される通過帯域内にそれぞれ位置させている。従って、弾性境界波共振子からなる第３の直列腕共振子５６の反共振周波数により通過帯域高域側における帯域外減衰量を大きくすることができる。さらに、弾性境界波共振子からなる第２の並列腕共振子５８の共振周波数により、通過帯域低域側における帯域外減衰量を大きくすることができる。従って、所定の帯域幅の通過帯域を有し、かつ帯域外減衰量の大きなラダー型弾性波フィルタ５１を提供することができる。
【００７６】
本実施形態においても、弾性境界波共振子からなる第３の直列腕共振子５６及び第２の並列腕共振子５８において、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変更することができるので、周波数差Δｆを調整して第３の直列腕共振子５６の反共振周波数や第２の並列腕共振子５８の共振周波数を容易に調整することができる。従って、設計の自由度を大幅に高めることができる。また、第３の実施形態の変形例の場合と同様に、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されたΔｆの大きい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、Δｆの大きい弾性境界波共振子の共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保し、かつ通過帯域高域側の帯域外減衰量を拡大することができる。
【００７７】
また、ラダー型弾性表面波フィルタ部と、該ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されたΔｆの大きい弾性境界波共振子とによりラダー型弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、Δｆの大きい弾性境界波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数をラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側における帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００７８】
〔第５の実施形態〕
図８は、第５の実施形態に係る弾性波フィルタ６１の模式的平面図である。弾性波フィルタ６１は、入力端子６２と出力端子６３とを有する。圧電基板７０上に図示の電極構造が形成されている。すなわち、入力端子６２に、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６４，６５を２段縦続接続してなる縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６が接続されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６の後段には、直列腕共振子６７と並列腕共振子６８とを有するラダー型弾性境界波フィルタ部６９が接続されている。直列腕共振子６７及び並列腕共振子６８は、それぞれ、ＩＤＴ電極とＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性境界波共振子である。図８では、電極構造のみを模式的に示す。
【００７９】
他方、前述した３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６４，６５は、それぞれ、弾性表面波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する。
【００８０】
本実施形態のように、本発明においては、弾性境界波フィルタ部に、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部が接続されていてもよい。
【００８１】
本実施形態においても、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９だけでなく、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６もまた、同一圧電基板７０上に電極構造を形成することにより構成されている。従って、第１〜第４の実施形態と同様に、部品点数の低減及び小型化を進めることができる。
【００８２】
本実施形態では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６により通過帯域が形成されている。また、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９における直列腕共振子６７の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、並列腕共振子６８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されている。それによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００８３】
また、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変えることができるので、ラダー型弾性境界波フィルタ部６９の直列腕共振子６７及び並列腕共振子６８の弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、それぞれの周波数差Δｆを調整することができる。従って、直列腕共振子６７の共振周波数を縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６６により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外の任意の周波数にそれぞれ位置させ、並列腕共振子６８の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外の任意の周波数に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させている。それによって、直列腕共振子６７の反共振周波数により通過帯域高域側の帯域外減衰量を大きくすることができる。また、並列腕共振子６８の共振周波数により、通過帯域低域側の帯域外減衰量を大きくすることができる。
【００８４】
従って、所定の帯域幅の通過帯域を確保しつつ、帯域外減衰量の拡大を図ることができる。また、弾性境界波共振子の反共振周波数及び共振周波数を任意の周波数に位置させることが容易であるため、設計の自由度を高めることができる。
【００８５】
なお、本実施形態の変形例として、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に直列に接続された弾性境界波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、直列腕共振子である弾性境界波共振子の共振周波数を縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させる。それによって、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域高域側の減衰量の拡大を図ることができる。
【００８６】
また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に並列に接続された弾性境界波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、並列腕共振子である弾性境界波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させる。それによって、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側の帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００８７】
〔第６の実施形態〕
図９は、第６の実施形態に係る弾性波フィルタ８１の模式的平面図である。弾性波フィルタ８１は、入力端子８２と出力端子８３とを有する。圧電基板９０上に図示の電極構造が形成されている。
【００８８】
すなわち、入力端子８２に、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５を２段縦続接続してなる縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６が接続されている。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６の後段には、直列腕共振子８７と並列腕共振子８８とを有するラダー型弾性表面波フィルタ部８９が接続されている。直列腕共振子８７及び並列腕共振子８８は、それぞれ、ＩＤＴ電極とＩＤＴ電極の両側に反射器が配置された１ポート型の弾性表面波共振子である。図９では、電極構造のみを模式的に示す。
【００８９】
他方、前述した３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５は、それぞれ、弾性境界波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第３のＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性境界波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する。
【００９０】
本実施形態のように、本発明においては、弾性表面波フィルタ部に、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部が接続されていてもよい。
【００９１】
本実施形態においても、ラダー型弾性表面波フィルタ部８９だけでなく、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６もまた、同一圧電基板９０上に電極構造を形成することにより構成されている。従って、第１〜第５の実施形態と同様に、部品点数の低減及び小型化を進めることができる。
【００９２】
本実施形態では、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６により通過帯域が形成されている。また、ラダー型弾性表面波フィルタ部８９における直列腕共振子８７の反共振周波数が通過帯域高域側の帯域外に位置されており、並列腕共振子８８の共振周波数が通過帯域低域側の帯域外に位置されている。それによって、帯域外減衰量の拡大が図られる。
【００９３】
また、弾性境界波素子では、弾性境界波の伝搬方位を変えることにより電気機械結合係数を変えることができるので、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部８６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ８４，８５において弾性境界波の伝搬方位を変えることにより、所定の帯域幅の通過帯域を確保しつつ、帯域外減衰量の拡大を図ることができる。また、弾性境界波フィルタの周波数特性を容易に調整し得るため、設計の自由度を高めることができる。
【００９４】
なお、本実施形態の変形例として、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に直列に接続された弾性表面波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、直列腕共振子である弾性表面波共振子の共振周波数を縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部により形成される通過帯域内に、反共振周波数を通過帯域高域側の帯域外にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域高域側の減衰量の拡大を図ることができる。
【００９５】
また、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に並列に接続された弾性表面波共振子とにより、弾性波フィルタを構成してもよい。この場合、並列腕共振子である弾性表面波共振子の共振周波数を通過帯域低域側の帯域外に、反共振周波数を通過帯域内にそれぞれ位置させることにより、所定の帯域幅を確保しつつ、通過帯域低域側の帯域外減衰量の拡大を図ることができる。
【００９６】
〔第７の実施形態〕
図１０は、本発明の第７の実施形態としての分波器９１を示す回路図である。分波器９１は、アンテナ端子９２と、送信端子９３と、受信端子９４とを有する。アンテナ端子９２に、インピーダンス整合回路９５が接続されている。インピーダンス整合回路９５のアンテナ端子に接続されている側との反対の端部は２つのポートを有し、一方のポートが送信端子９３に送信フィルタ９６を介して接続されており、他方のポートが受信端子９４に受信フィルタ９７を介して接続されている。このような分波器の回路構成自体は従来より周知である。本分波器９１の特徴は、上記送信フィルタ９６及び受信フィルタ９７の少なくとも一方が、上述した第１〜第６の実施形態のいずれかの弾性波フィルタにより構成されていることである。それによって、部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、送信フィルタ９６や受信フィルタ９７の設計の自由度、ひいては分波器９１の設計の自由度を高めることが可能となる。
【００９７】
なお、本発明に係る分波器は、上記送信フィルタ９６及び受信フィルタ９７を含むものに限定されず、２以上の帯域通過フィルタを含む分波器に広く本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００９８】
１…弾性波フィルタ
２…入力端子
３…出力端子
４〜６…第１〜第３の直列腕共振子
４ａ…ＩＤＴ電極
４ｂ，４ｃ…反射器
７，８…第１，第２の並列腕共振子
７ａ…ＩＤＴ電極
７ｂ，７ｃ…反射器
９…グラウンド端子
１０…圧電基板
１１…パッケージ材
１２，１３…第１，第２の誘電体層
１５…配線
２１…弾性境界波共振子
２２…誘電体層
３１…弾性波フィルタ
３２…入力端子
３３…出力端子
３４〜３６…第１〜第３の直列腕共振子
３７，３８…第１，第２の並列腕共振子
４１…弾性波フィルタ
４２…入力端子
４３…出力端子
４４〜４６…第１〜第３の直列腕共振子
４７，４８…第１，第２の並列腕共振子
４９Ａ…ラダー型弾性表面波フィルタ部
４９Ｂ…ラダー型弾性境界波フィルタ部
５１…弾性波フィルタ
５２…入力端子
５３…出力端子
５４〜５６…第１〜第３の直列腕共振子
５７，５８…第１，第２の並列腕共振子
５９Ａ…ラダー型弾性表面波フィルタ部
５９Ｂ…ラダー型弾性境界波フィルタ部
６１…弾性波フィルタ
６２…入力端子
６３…出力端子
６４，６５…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
６６…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
６７…直列腕共振子
６８…並列腕共振子
６９…ラダー型弾性境界波フィルタ部
７０…圧電基板
８１…弾性波フィルタ
８２…入力端子
８３…出力端子
８４，８５…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ
８６…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
８７…直列腕共振子
８８…並列腕共振子
８９…ラダー型弾性表面波フィルタ部
９０…圧電基板
９１…分波器
９２…アンテナ端子
９３…送信端子
９４…受信端子
９５…インピーダンス整合回路
９６…送信フィルタ
９７…受信フィルタ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている弾性表面波素子と、
前記弾性表面波素子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波素子とを備え、フィルタ回路を構成するように前記弾性表面波素子と前記弾性境界波素子とが電気的に接続されている、弾性波フィルタ。
【請求項２】
直列腕と並列腕とを有するラダー型回路構成の弾性波フィルタであって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている弾性表面波共振子と、
前記弾性表面波共振子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波共振子とを備え、
前記並列腕及び直列腕にそれぞれ配置されている並列腕共振子及び直列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、前記弾性表面波共振子からなり、残りの共振子が前記弾性境界波共振子からなる、弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記直列腕共振子が前記弾性表面波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性境界波共振子である、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記直列腕共振子が前記弾性境界波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性表面波共振子である、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、直列腕共振子及び並列腕共振子が前記弾性境界波共振子を用いて構成されているラダー型弾性境界波フィルタ部とを有し、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部が電気的に接続されている、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数と、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数とが、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、それぞれ位置されている請求項５に記載の弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも高域側の帯域外に位置されており、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも低域側の帯域外に位置されている、請求項６に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されている弾性境界波共振子とを有する、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項９】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されている弾性境界波共振子とを有する、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項１０】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性境界波共振子とを備える、弾性波フィルタ。
【請求項１１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、
前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える、弾性波フィルタ。
【請求項１２】
第１の通過帯域を有する帯域フィルタと、第１の通過帯域とは異なる通過帯域を有する第２の帯域フィルタとを有する分波器であって、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方が、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の弾性波フィルタからなる、分波器。
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている弾性表面波素子と、
前記弾性表面波素子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波素子とを備え、フィルタ回路を構成するように前記弾性表面波素子と前記弾性境界波素子とが電気的に接続されている、弾性波フィルタ。
【請求項２】
直列腕と並列腕とを有するラダー型回路構成の弾性波フィルタであって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている弾性表面波共振子と、
前記弾性表面波共振子と同一圧電基板上に構成されている弾性境界波共振子とを備え、
前記並列腕及び直列腕にそれぞれ配置されている並列腕共振子及び直列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、前記弾性表面波共振子からなり、残りの共振子が前記弾性境界波共振子からなる、弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記直列腕共振子が前記弾性表面波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性境界波共振子である、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記直列腕共振子が前記弾性境界波共振子であり、かつ前記並列腕共振子が前記弾性表面波共振子である、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、直列腕共振子及び並列腕共振子が前記弾性境界波共振子を用いて構成されているラダー型弾性境界波フィルタ部とを有し、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に前記ラダー型弾性境界波フィルタ部が電気的に接続されている、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数と、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数とが、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域内に、それぞれ位置されている請求項５に記載の弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の直列腕共振子である前記弾性境界波共振子の反共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも高域側の帯域外に位置されており、前記ラダー型弾性境界波フィルタ部の並列腕共振子である前記弾性境界波共振子の共振周波数が主に前記ラダー型弾性表面波フィルタ部により形成される通過帯域よりも低域側の帯域外に位置されている、請求項６に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に直列に接続されている弾性境界波共振子とを有する、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項９】
直列腕共振子及び並列腕共振子がそれぞれ前記弾性表面波共振子を用いて構成されているラダー型弾性表面波フィルタ部と、前記ラダー型弾性表面波フィルタ部に並列に接続されている弾性境界波共振子とを有する、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項１０】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性境界波共振子とを備える、弾性波フィルタ。
【請求項１１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に構成されている縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、
前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と電気的に接続されている、少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える、弾性波フィルタ。
【請求項１２】
第１の通過帯域を有する帯域フィルタと、第１の通過帯域とは異なる通過帯域を有する第２の帯域フィルタとを有する分波器であって、第１，第２の帯域フィルタの少なくとも一方が、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の弾性波フィルタからなる、分波器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１０−２５２２５４（Ｐ２０１０−２５２２５４Ａ）
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１０２０５１（Ｐ２００９−１０２０５１）
【出願日】平成２１年４月２０日（２００９．４．２０）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月２０日（２００９．４．２０）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
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