弾性波装置及びその製造方法
【課題】電極形成に際してマスクとなるレジストパターンを高精度に形成することを可能とする電極構造を有する弾性波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２上にバスバー３ａ，３ｂを有するＩＤＴ電極である第１の電極３と、第１の電極３に弾性波伝搬方向において並設された第２の電極６とを有し、第１の電極３のバスバー３ａ，３ｂと、第２の電極６のバスバー６ａ，６ｂとがギャップを介して隣り合っている部分のうち少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に、相手側のバスバー側に向かって突出する突出部１１が設けられている、弾性波装置１。
【解決手段】圧電基板２上にバスバー３ａ，３ｂを有するＩＤＴ電極である第１の電極３と、第１の電極３に弾性波伝搬方向において並設された第２の電極６とを有し、第１の電極３のバスバー３ａ，３ｂと、第２の電極６のバスバー６ａ，６ｂとがギャップを介して隣り合っている部分のうち少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に、相手側のバスバー側に向かって突出する突出部１１が設けられている、弾性波装置１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波装置や弾性境界波装置のような弾性波装置及びその製造方法に関し、より詳細には、弾性波伝搬方向においてＩＤＴ電極と、他のＩＤＴ電極または反射器のバスバー同士が隣接している、弾性波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯域フィルターや共振子として、弾性波装置が広く用いられている。図１１は、特許文献１に記載の弾性表面波装置１００１を示す。弾性表面波装置１００１では、ケース基板１００２と、キャップ１００３とで囲まれた空間内に弾性表面波素子１００４が収納されている。弾性表面波素子１００４は、圧電基板１００５を有する。圧電基板１００５の片面に、ＩＤＴ電極１００６及び電極パット１００７などが形成されている。
【０００３】
上記弾性表面波素子１００４の製造に際しては、圧電基板１００５の片面にレジスト層を積層する。このレジスト層をドライエッチングによりパターニングし、レジストパターンを形成する。パターニングに際しては、ＩＤＴ電極１００６を含む電極形成部分が開口部となるようにレジスト層をエッチングする。しかる後、金属膜を付与し、レジストパターンを除去する。このようにして、ＩＤＴ電極１００６を含む電極構造を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高周波化に伴い、弾性波装置のＩＤＴ電極や反射器などの電極構造では微細化が進んでいる。他方、上記製造方法において、ドライエッチングによりレジストパターンを形成したあとに、電極形成部分にレジスト残渣が生じがちであった。レジスト残渣が存在すると、ＩＤＴ電極１００６を含む電極構造を高精度に形成することが困難となる。そのため、従来、上記レジスト残渣を洗浄により除去していた。
【０００６】
しかしながら、洗浄によりレジストパターンを構成しているレジスト材料が電極形成部分に流れ込んだり、また、レジストパターン形状が変化して設計中心からずれてしまうという問題があった。従って、電極構造を高精度に形成することが困難であった。
【０００７】
本発明の目的は、電極形成に際してマスクとなるレジストパターンを高精度に形成することを可能とするように電極構造が構成されており、従って、電極構造を高精度に形成することを可能とする弾性波装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有するＩＤＴ電極である第１の電極と、前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極と、前記第１，第２の電極のいずれかに連ねられた配線電極とを備える。本発明においては、第１の電極のバスバーと、第２の電極のバスバーとが弾性波伝搬方向においてギャップを介して隣り合っている複数の部分うちの少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に相手方のバスバー側に向かって突出している突出部が少なくとも一方のバスバーまたは該バスバーに連ねられている配線電極に設けられている。
【０００９】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、バスバー同士が隣り合っているギャップの弾性波伝搬方向と直交する方向の一方側の端部から他方側の端部までの道のりが、前記バスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法をバスバーの幅としたときに、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くなるように、隣り合っているバスバーの少なくとも一方にギャップに向かって突出するように前記突出部が設けられている。
【００１０】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記隣り合っているバスバーの一方に突出部が設けられており、隣り合っているバスバーの他方に該突出部が入り込んでおり、前記ギャップに向かって開いた凹部が形成されている。この場合には、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも上記道のりを確実に長くすることができる。そのため、レジストパターン形成材の洗浄に際してのレジスト材のＩＤＴ電極の電極指等への流れ出しをより効果的に抑制することができる。
【００１１】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、上記突出部が複数設けられている。その場合には、上記道のりをより一層長くすることができる。
【００１２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、前記ギャップの道のりが、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くされている。この場合には、バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、レジスト材料の流れ出しを抑制することができる。
【００１３】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部の平面形状が、前記ギャップに向かって延びる長手方向を有する矩形である。この場合には、突出部を正確な形状に容易に形成することができる。加えて、突出部の先端のコーナー部分が丸みを帯びていないため、レジストパターンの流れ出しをより効果的に抑制することができる。
【００１４】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部の長さが、前記バスバーの小さい方の幅よりも長い。この場合には、上記道のりをより一層長くすることができる。
【００１５】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記圧電基板が、前記圧電基板上に設けられた凹部を有し、前記第１，第２の電極が、前記凹部に充填された金属からなる。この場合には、レジストパターンの凹部内への流れ込みが生じ易い構造であっても、凹部へのレジストパターンの流れ込みを効果的に抑制することができる。従って、圧電基板の凹部に金属が充填されて形成される電極構造の精度を効果的に高めることができる。
【００１６】
本発明に係る弾性波装置の製造方法は、本発明の弾性波装置を提供するものである。本発明の製造方法は、圧電基板を用意する工程と、圧電基板上に一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有する第１の電極と、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極とを形成する工程とを備える。本発明においては、上記第１，第２の電極を形成する工程が、圧電基板上に前記第１，第２の電極が形成されない領域にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターン形成後に金属膜を圧電基板上に形成する工程と、前記レジストパターンをレジストパターン上に付与されている前記金属膜とともに除去し、前記第１，第２の電極を形成する工程とを有する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る弾性波装置では、上記突出部が少なくとも一方のバスバーに設けられているため、レジストパターンの洗浄に際してのレジストパターンの第１の電極及び第２の電極側への流れ込みを効果的に抑制することができる。従って、電極構造の微細化を図った場合においても、弾性波装置の電極精度を効果的に高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【図２】（ａ）は、図１の要部を拡大して示す模式的平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示した部分の電極形成前のレジストパターンの状態を示す模式的平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置の製造方法を説明するための各模式的正面断面図である。
【図４】比較例の弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【図５】比較例の弾性波装置の問題点を説明するための模式的平面図である。
【図６】第２の比較例における問題点を説明するための電極構造を示す模式的平面図である。
【図７】図６に示したＤ部の拡大模式的平面図である。
【図８】図６に示したバスバーの幅Ｗが小さい場合のレジストパターンの流れ込み状態を説明するための模式的平面図である。
【図９】図６に示したバスバーの幅Ｗが大きい場合のレジストパターンの流れ込み状態を説明するための模式的平面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置の各突出部の形状を説明するための略図的平面図である。
【図１１】従来の弾性波装置の一例を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２上に図１に示す電極構造が形成されている。なお、弾性波装置１は、圧電基板２上に図示の電極構造を形成した弾性表面波装置であってもよく、さらに誘電体層を積層してなる弾性境界波装置であってもよい。
【００２１】
圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶からなる。もっとも、圧電基板２は、圧電セラミックスにより形成されていてもよい。
【００２２】
圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７が形成されている。ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー３ａと、第２のバスバー３ｂとを有する。第１のバスバー３ａと第２のバスバー３ｂとは、弾性波伝搬方向と直交する方向において対向している。第１のバスバー３ａに複数本の電極指が接続されている。第２のバスバー３ｂにも複数本の電極指が接続されている。第１のバスバー３ａに接続された複数本の電極指と、第２のバスバー３ｂに接続された複数本の電極指が互いに間挿し合っている。
【００２３】
第１，第２のバスバー３ａ，３ｂは、配線電極８ａ，８ｂにそれぞれ電気的に接続されている。ＩＤＴ電極４，５も、ＩＤＴ電極３と同様の構造を有する。もっとも、ＩＤＴ電極４では、第１のバスバー４ａに、配線電極９ａが連ねられている。ここで、バスバー４ａの弾性波伝搬方向に沿う寸法と、配線電極９ａの弾性波伝搬方向に沿う寸法とが同一とされている。従って、第１のバスバー４ａと配線電極９ａの境界が分かりにくいが、この境界を破線Ａ１で示す。
【００２４】
第２のバスバー４ｂも同様に配線電極９ｂに連ねられている。第２のバスバー４ｂと配線電極９ｂの境界も破線Ａ２で示すこととする。
【００２５】
ＩＤＴ電極５は、第１のバスバー５ａと、第２のバスバー５ｂとを有する。第１，第２のバスバー５ａ，５ｂには、それぞれ、配線電極１０ａ，１０ｂが接続されている。
【００２６】
反射器６は、複数本の電極指の両端を、第１，第２のバスバー６ａ，６ｂで短絡した構造を有する。第２のバスバー６ｂは、前述した第２のバスバー３ｂと連ねられている。両者の境界を破線Ａ３で示す。第２のバスバー６ｂは、配線電極８ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ４で示す。
【００２７】
同様に、反射器７は、第１のバスバー７ａ及び第２のバスバー７ｂを有する。第２のバスバー７ｂは、第２のバスバー５ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ５で示す。同様に、第２のバスバー７ｂは、配線電極１０ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ６で示す。
【００２８】
本実施形態の弾性波装置１では、圧電基板２の上面に複数本の溝を形成し、該溝に金属材料を充填することにより、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７の電極指部分が形成されている。
【００２９】
弾性波装置１は、３個のＩＤＴ電極３〜５を有する３ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。
【００３０】
本実施形態の弾性波装置１の特徴は、バスバー間のギャップにおいて、突出部１１が設けられていることにある。これを、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー３ａと、反射器６のバスバー６ａとが隣り合っている部分を代表して説明する。図１の一点鎖線Ｂで示す部分を図２に拡大して示す。
【００３１】
図２（ａ）に示すように、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー３ａと、反射器６の第１のバスバー６ａとが弾性波伝搬方向においてギャップＧを隔てて隣り合っている。ここでは、ＩＤＴ電極３が本発明における第１の電極に相当する。反射器６が第２の電極に相当する。ギャップＧにおいて、バスバー３ａに突出部１１が設けられている。突出部１１はギャップＧに向かって、すなわち相手方のバスバー６ａに向かって突出している。突出部１１は、ギャップＧの矢印で示す道のりＬを長くするために設けられている。すなわち、突出部１１が設けられているため、ギャップＧの道のりＬは、バスバー６ａ，３ａの幅Ｗよりも長くされている。
【００３２】
また、本実施形態では、第２の電極としての反射器６側のバスバー６ａに、ギャップＧに臨む凹部１２が形成されている。凹部１２内に突出部１１が入り込むように凹部１２が形成されている。それによって、道のりＬをより一層大きくすることが可能とされている。もっとも、凹部１２は必ずしも設けられずともよい。
【００３３】
本実施形態では、第１のバスバー３ａと第１のバスバー６ａの幅Ｗは等しくされている。本発明においては、突出部１１は、隣り合っているバスバーのうち幅Ｗが小さい方の幅ＷよりもギャップＧの道のりＬが長くなるように設けられている。そのため、後述する製造方法から明らかなように、ドライエッチング後の洗浄工程後のレジストパターンの形状を高精度に維持することができる。それによって、電極構造の微細化を進めた場合であっても、ＩＤＴ電極３及び反射器６の電極精度を効果的に高めることができる。
【００３４】
なお、図１の一点鎖線Ｂで囲まれた部分を代表して説明したが、他のバスバー同士が弾性波伝搬方向において隣り合っているギャップ部分においても同様に突出部１１が設けられている。
【００３５】
次に、図３を参照しつつ、本実施形態の弾性波装置１の製造方法を説明する。
【００３６】
図３（ａ）に示すように、圧電基板２上にレジスト層２１を全面に形成する。レジスト層２１としては、適宜のレジスト材料により形成することができる。
【００３７】
次に、フォトリフグラフィ法を用いて、レジスト層２１をパターニングし、図３（ｂ）に示すように、レジストパターン２１Ａを形成する。レジストパターン２１Ａは、上記電極構造が設けられている領域以外を被覆するように形成されている。レジストパターン２１Ａの開口部に、後述する電極材料が付与されて電極構造が形成される。すなわち、レジストパターン２１Ａは電極形成用のマスクとして機能する。従って、レジストパターン２１Ａは、形成される電極構造と反転した正確な形状に維持される必要がある。
【００３８】
次に、図３（ｃ）に示すように、反応性イオンミリング等により電極指形成部分に複数本の溝２ａを凹部として形成する。しかる後、リンスで洗浄する。この洗浄は、エッチング等により生じたレジスト残渣や溝２ａを形成した際に生じた圧電基板２の材料屑等を除去するために行う。
【００３９】
ところで、このリンスによる洗浄に際し、レジストパターン２１Ａの一部が流れ出し、レジストパターン２１Ａの形状が崩れるおそれがある。
【００４０】
この問題を、図４及び図５の比較例を対照して説明する。図４は、比較例の弾性波装置の電極構造を示す。この比較例の弾性波装置１０１１では、ギャップＧにおいて、前述した突出部１１及び凹部１２が設けられていないことを除いては、上記実施形態と同様とされている。従って、同一部分については同一の参照番号を付することとする。
【００４１】
比較例の弾性波装置１０１１を上記実施形態の弾性波装置１と同様にして製造した場合、洗浄に際しレジスト材の一部が流れ出す。図５は、このレジスト材の流れ出し状態を示す模式的平面図である。図５において、圧電基板２の上面において斜線のハッチングを付して示している領域がレジストパターン２１Ａである。従って、斜線のハッチングを付したレジストパターン２１Ａ以外は、上記電極構造形成部分であり、電極材料を付与する前の状態が示されている。理解を容易とするために、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７が形成されている部分は、Ｘを矩形の枠で囲んだ領域で示すこととする。
【００４２】
比較例の弾性波装置１０１１の製造に際し上記洗浄を行うと、リンスの影響により、形成されているレジストパターン２１Ａの一部が流れ出すことがある。特に、矢印Ｃ１で示すように、ＩＤＴ電極３と反射器６とが形成される領域間のギャップに沿ってレジスト材料が流れ込むおそれがある。特に、電極指形成部分が溝とされているため、矢印Ｃ１で示すように電極指構成部分の溝に、レジスト材料が流れ込むおそれがあった。同様に、矢印Ｃ２で示すように、ＩＤＴ電極３，４の隣り合っているギャップにおいても、バスバー同士が隣接しているギャップを経由して、ＩＤＴ電極電極指形成部分に至るようにレジスト材料が流れ出すことがあった。
【００４３】
このようなレジスト材料の流れ込みが生じると、ＩＤＴ電極同士が隣接している部分やＩＤＴ電極や反射器とが隣接している部分近傍の電極指を高精度に形成することができない。レジスト材の流れ出している部分が、バスバー上やバスバー同士が隣接しているギャップ内に留まっている場合には、最終的に得られた弾性波装置の特性にさほど影響を与えない。
【００４４】
しかしながら、図５に示したように、ＩＤＴ電極３〜５や反射器６，７の電極指構成部分にレジスト材が流れ込むと、電極指を高精度に形成することができなくなる。そのため、得られた弾性波装置の特性が著しく劣化することとなる。
【００４５】
これに対して、第１の実施形態では、前述したように、図１及び図２に示した突出部１１及び凹部１２が形成されている。そのため、ギャップＧの道のりＬが長くされている。より具体的には、隣り合っているバスバーの幅Ｗのうち小さい方の幅Ｗよりも道のりＬが長くなるように突出部１１が形成されている。従って、上記溝２ａを形成した後にリンスにより洗浄したとしても、レジスト材が電極指形成部分に流れ込んだり崩れたりし難い。これを図２（ａ）に加えて、図２（ｂ）を参照してより具体的に説明する。
【００４６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した部分を示し、但し、電極形成前のレジストパターンの状態を示す模式的平面図である。図２（ｂ）に示すように、レジストパターン２１Ａは、バスバー６ａ，バスバー３ａ及び配線電極８ａが形成される領域外を被覆するように設けられている。加えて、図２（ｂ）では略図的に示しているが、ＩＤＴ電極３及び反射器６の電極指構成部分、すなわち直線で示す電極指構成部分の周囲にもレジストパターン２１Ａが至っている。いま、バスバー６ａ形成領域の外側のレジストパターン部分２１Ａ１がリンスにより流れ出そうとした場合、バスバー６ａ及びバスバー３ａ形成部分にレジスト材が至っても問題はない。しかしながら、この流れ出したレジスト材がバスバー６ａ，３ａの形成領域を越えて特に電極指構成部分に流れ込むと電極指を高精度に形成することができない。しかしながら、上記ギャップＧにおいて、レジスト材料が長い道のりで付着しているため、レジストパターン部分２１Ａ１の型崩れによる影響は、ギャップＧの部分で止められることとなる。そのため、電極指の形成精度を高めることができる。
【００４７】
次に、図３（ｄ）に示すように、金属膜２２を全面に蒸着法等により形成する。
【００４８】
しかる後、レジストパターン２１Ａを除去することにより、電極２２Ａを形成する。この電極２２Ａが、前述したＩＤＴ電極３〜５の電極指構成部分に相当する。また、図３（ｅ）では、電極指形成部分のみを図示しているが、残りの電極部分も同様にして同時に形成される。
【００４９】
本発明は、前述したように、レジストパターンのＩＤＴ電極や反射器の電極指構成部分への流れ込みを抑制することに特徴を有する。もっとも、このような現象は、ＩＤＴ電極の交叉幅の大きさによっても変化する。前述した図５では、ＩＤＴ電極３〜５が形成されている部分を略図的に示し、レジストパターン２１Ａの流れ込み部分を矢印Ｃ１，Ｃ２で示した。
【００５０】
ここで、交叉幅が大きくなると、矢印Ｃ１，Ｃ２で示すレジストパターン２１Ａの形が崩れた部分が大きく表れがちである。従って、交叉幅が大きい場合には、前述した第１の実施形態における突出部１１及び凹部１２を設けることによる効果が大きい。
【００５１】
次に、バスバーの幅Ｗの大きさによる上記レジストパターン２１Ａの形の崩れの影響の差を説明する。図６に第２の比較例として、一ポート型弾性波共振子の電極構造を示す。図６に示す弾性波共振子１０２１では、ＩＤＴ電極１０２２の両側に反射器１０２３，１０２４が形成されている。ＩＤＴ電極１０２２は、第１，第２のバスバー１０２２ａ，１０２２ｂを有する。反射器１０２３，１０２４は、第１，第２のバスバー１０２３ａ，１０２４ａ，１０２３ｂ，１０２４ｂを有する。バスバー同士が隣接する部分を代表して、一点鎖線Ｄで示す部分について説明する。一点鎖線Ｄで囲まれている部分では、バスバー１０２２ｂと、バスバー１０２４ｂとがギャップＧを隔てて隣り合っている。バスバー１０２２ｂには、配線電極１０２２ｃが接続されている。
【００５２】
ここで、図６に示されるように、バスバー１０２２ｂの幅はバスバー１０２４ｂの幅よりも大きい。従って、上記実施形態に従うと、バスバー１０２４ｂの幅Ｗよりも、ギャップＧの道のりを大きくするように前述した突出部１１及び凹部１２を設ければ、上記実施形態と同様にして、洗浄時のレジストパターンの崩れを防止することができる。
【００５３】
もっとも、このようなレジストパターンの形状の崩れは、バスバーの幅によっても変化する。図８、図９は、バスバー１０２４ｂの幅が小さい場合と大きい場合のレジストパターン２１Ａの洗浄後の形状の変化を示す模式的平面図である。ここでは、６０分洗浄したあとの状態を示す。図８及び図９より明らかなように、バスバー幅を大きくすることにより、レジストパターン２１Ａの流れ出し部分を電極指構成部分にまで到達させ得ないこと、すなわち、ＩＤＴ電極の電極指へのレジストパターン２１ＡをＩＤＴ電極の電極指への影響をより確実に抑制し得ることがわかる。
【００５４】
従って、バスバー同士が隣り合っている部分においては、バスバーの幅を大きくすることが望ましい。
【００５５】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、上記実施形態の弾性波装置１の変形例を示す各模式的平面図である。図１０（ａ）〜（ｃ）は、図２に相当する図である。すなわち、図１０（ａ）に示す変形例では、複数の突出部１１が設けられている。
【００５６】
このように、本発明における突出部は、弾性波伝搬方向と直交する方向において複数設けられていてもよい。
【００５７】
また図１０（ａ）に示す構造では、突出部１１は、バスバー３ａよりも弾性波伝搬方向と直交する方向外側の配線電極８ａの端縁に設けられている。このように、突出部１１は、ギャップＧよりも弾性表面波伝搬領域に対して外側の領域に設けられていてもよい。図１０（ｂ）においても同様に、１つの突出部１１がギャップＧよりも外側に設けられている。
【００５８】
さらに、図１０（ｃ）に示すように、突出部１１は、矩形の平面形状に限らず、外周縁が曲線状であってもよい。すなわち、突出部の平面形状は特に限定されるものではない。
【００５９】
また、本発明は、上記のように、バスバー同士が隣接する部分及びその近傍の電極形状に特徴を有するものである。従って、弾性波装置は弾性表面波装置に限らず弾性境界波装置であってもよい。さらに、弾性表面波装置は弾性境界波装置の電極構造についても特に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６０】
１…弾性波装置
２…圧電基板
２ａ…溝
３〜５…ＩＤＴ電極
３ａ…第１のバスバー
３ｂ…第２のバスバー
４ａ…第１のバスバー
４ｂ…第２のバスバー
５ａ…第１のバスバー
５ｂ…第２のバスバー
６，７…反射器
６ａ…第１のバスバー
６ｂ…第２のバスバー
７ａ…第１のバスバー
７ｂ…第２のバスバー
８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ…配線電極
１１…突出部
１２…凹部
２１…レジスト層
２１Ａ…レジストパターン
２１Ａ１…レジストパターン部分
２２…金属膜
２２Ａ…電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波装置や弾性境界波装置のような弾性波装置及びその製造方法に関し、より詳細には、弾性波伝搬方向においてＩＤＴ電極と、他のＩＤＴ電極または反射器のバスバー同士が隣接している、弾性波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯域フィルターや共振子として、弾性波装置が広く用いられている。図１１は、特許文献１に記載の弾性表面波装置１００１を示す。弾性表面波装置１００１では、ケース基板１００２と、キャップ１００３とで囲まれた空間内に弾性表面波素子１００４が収納されている。弾性表面波素子１００４は、圧電基板１００５を有する。圧電基板１００５の片面に、ＩＤＴ電極１００６及び電極パット１００７などが形成されている。
【０００３】
上記弾性表面波素子１００４の製造に際しては、圧電基板１００５の片面にレジスト層を積層する。このレジスト層をドライエッチングによりパターニングし、レジストパターンを形成する。パターニングに際しては、ＩＤＴ電極１００６を含む電極形成部分が開口部となるようにレジスト層をエッチングする。しかる後、金属膜を付与し、レジストパターンを除去する。このようにして、ＩＤＴ電極１００６を含む電極構造を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高周波化に伴い、弾性波装置のＩＤＴ電極や反射器などの電極構造では微細化が進んでいる。他方、上記製造方法において、ドライエッチングによりレジストパターンを形成したあとに、電極形成部分にレジスト残渣が生じがちであった。レジスト残渣が存在すると、ＩＤＴ電極１００６を含む電極構造を高精度に形成することが困難となる。そのため、従来、上記レジスト残渣を洗浄により除去していた。
【０００６】
しかしながら、洗浄によりレジストパターンを構成しているレジスト材料が電極形成部分に流れ込んだり、また、レジストパターン形状が変化して設計中心からずれてしまうという問題があった。従って、電極構造を高精度に形成することが困難であった。
【０００７】
本発明の目的は、電極形成に際してマスクとなるレジストパターンを高精度に形成することを可能とするように電極構造が構成されており、従って、電極構造を高精度に形成することを可能とする弾性波装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有するＩＤＴ電極である第１の電極と、前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極と、前記第１，第２の電極のいずれかに連ねられた配線電極とを備える。本発明においては、第１の電極のバスバーと、第２の電極のバスバーとが弾性波伝搬方向においてギャップを介して隣り合っている複数の部分うちの少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に相手方のバスバー側に向かって突出している突出部が少なくとも一方のバスバーまたは該バスバーに連ねられている配線電極に設けられている。
【０００９】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、バスバー同士が隣り合っているギャップの弾性波伝搬方向と直交する方向の一方側の端部から他方側の端部までの道のりが、前記バスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法をバスバーの幅としたときに、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くなるように、隣り合っているバスバーの少なくとも一方にギャップに向かって突出するように前記突出部が設けられている。
【００１０】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記隣り合っているバスバーの一方に突出部が設けられており、隣り合っているバスバーの他方に該突出部が入り込んでおり、前記ギャップに向かって開いた凹部が形成されている。この場合には、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも上記道のりを確実に長くすることができる。そのため、レジストパターン形成材の洗浄に際してのレジスト材のＩＤＴ電極の電極指等への流れ出しをより効果的に抑制することができる。
【００１１】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、上記突出部が複数設けられている。その場合には、上記道のりをより一層長くすることができる。
【００１２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、前記ギャップの道のりが、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くされている。この場合には、バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、レジスト材料の流れ出しを抑制することができる。
【００１３】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部の平面形状が、前記ギャップに向かって延びる長手方向を有する矩形である。この場合には、突出部を正確な形状に容易に形成することができる。加えて、突出部の先端のコーナー部分が丸みを帯びていないため、レジストパターンの流れ出しをより効果的に抑制することができる。
【００１４】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部の長さが、前記バスバーの小さい方の幅よりも長い。この場合には、上記道のりをより一層長くすることができる。
【００１５】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記圧電基板が、前記圧電基板上に設けられた凹部を有し、前記第１，第２の電極が、前記凹部に充填された金属からなる。この場合には、レジストパターンの凹部内への流れ込みが生じ易い構造であっても、凹部へのレジストパターンの流れ込みを効果的に抑制することができる。従って、圧電基板の凹部に金属が充填されて形成される電極構造の精度を効果的に高めることができる。
【００１６】
本発明に係る弾性波装置の製造方法は、本発明の弾性波装置を提供するものである。本発明の製造方法は、圧電基板を用意する工程と、圧電基板上に一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有する第１の電極と、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極とを形成する工程とを備える。本発明においては、上記第１，第２の電極を形成する工程が、圧電基板上に前記第１，第２の電極が形成されない領域にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターン形成後に金属膜を圧電基板上に形成する工程と、前記レジストパターンをレジストパターン上に付与されている前記金属膜とともに除去し、前記第１，第２の電極を形成する工程とを有する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る弾性波装置では、上記突出部が少なくとも一方のバスバーに設けられているため、レジストパターンの洗浄に際してのレジストパターンの第１の電極及び第２の電極側への流れ込みを効果的に抑制することができる。従って、電極構造の微細化を図った場合においても、弾性波装置の電極精度を効果的に高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【図２】（ａ）は、図１の要部を拡大して示す模式的平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示した部分の電極形成前のレジストパターンの状態を示す模式的平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置の製造方法を説明するための各模式的正面断面図である。
【図４】比較例の弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【図５】比較例の弾性波装置の問題点を説明するための模式的平面図である。
【図６】第２の比較例における問題点を説明するための電極構造を示す模式的平面図である。
【図７】図６に示したＤ部の拡大模式的平面図である。
【図８】図６に示したバスバーの幅Ｗが小さい場合のレジストパターンの流れ込み状態を説明するための模式的平面図である。
【図９】図６に示したバスバーの幅Ｗが大きい場合のレジストパターンの流れ込み状態を説明するための模式的平面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置の各突出部の形状を説明するための略図的平面図である。
【図１１】従来の弾性波装置の一例を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２上に図１に示す電極構造が形成されている。なお、弾性波装置１は、圧電基板２上に図示の電極構造を形成した弾性表面波装置であってもよく、さらに誘電体層を積層してなる弾性境界波装置であってもよい。
【００２１】
圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶からなる。もっとも、圧電基板２は、圧電セラミックスにより形成されていてもよい。
【００２２】
圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７が形成されている。ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー３ａと、第２のバスバー３ｂとを有する。第１のバスバー３ａと第２のバスバー３ｂとは、弾性波伝搬方向と直交する方向において対向している。第１のバスバー３ａに複数本の電極指が接続されている。第２のバスバー３ｂにも複数本の電極指が接続されている。第１のバスバー３ａに接続された複数本の電極指と、第２のバスバー３ｂに接続された複数本の電極指が互いに間挿し合っている。
【００２３】
第１，第２のバスバー３ａ，３ｂは、配線電極８ａ，８ｂにそれぞれ電気的に接続されている。ＩＤＴ電極４，５も、ＩＤＴ電極３と同様の構造を有する。もっとも、ＩＤＴ電極４では、第１のバスバー４ａに、配線電極９ａが連ねられている。ここで、バスバー４ａの弾性波伝搬方向に沿う寸法と、配線電極９ａの弾性波伝搬方向に沿う寸法とが同一とされている。従って、第１のバスバー４ａと配線電極９ａの境界が分かりにくいが、この境界を破線Ａ１で示す。
【００２４】
第２のバスバー４ｂも同様に配線電極９ｂに連ねられている。第２のバスバー４ｂと配線電極９ｂの境界も破線Ａ２で示すこととする。
【００２５】
ＩＤＴ電極５は、第１のバスバー５ａと、第２のバスバー５ｂとを有する。第１，第２のバスバー５ａ，５ｂには、それぞれ、配線電極１０ａ，１０ｂが接続されている。
【００２６】
反射器６は、複数本の電極指の両端を、第１，第２のバスバー６ａ，６ｂで短絡した構造を有する。第２のバスバー６ｂは、前述した第２のバスバー３ｂと連ねられている。両者の境界を破線Ａ３で示す。第２のバスバー６ｂは、配線電極８ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ４で示す。
【００２７】
同様に、反射器７は、第１のバスバー７ａ及び第２のバスバー７ｂを有する。第２のバスバー７ｂは、第２のバスバー５ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ５で示す。同様に、第２のバスバー７ｂは、配線電極１０ｂに連ねられている。両者の境界を破線Ａ６で示す。
【００２８】
本実施形態の弾性波装置１では、圧電基板２の上面に複数本の溝を形成し、該溝に金属材料を充填することにより、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７の電極指部分が形成されている。
【００２９】
弾性波装置１は、３個のＩＤＴ電極３〜５を有する３ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。
【００３０】
本実施形態の弾性波装置１の特徴は、バスバー間のギャップにおいて、突出部１１が設けられていることにある。これを、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー３ａと、反射器６のバスバー６ａとが隣り合っている部分を代表して説明する。図１の一点鎖線Ｂで示す部分を図２に拡大して示す。
【００３１】
図２（ａ）に示すように、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー３ａと、反射器６の第１のバスバー６ａとが弾性波伝搬方向においてギャップＧを隔てて隣り合っている。ここでは、ＩＤＴ電極３が本発明における第１の電極に相当する。反射器６が第２の電極に相当する。ギャップＧにおいて、バスバー３ａに突出部１１が設けられている。突出部１１はギャップＧに向かって、すなわち相手方のバスバー６ａに向かって突出している。突出部１１は、ギャップＧの矢印で示す道のりＬを長くするために設けられている。すなわち、突出部１１が設けられているため、ギャップＧの道のりＬは、バスバー６ａ，３ａの幅Ｗよりも長くされている。
【００３２】
また、本実施形態では、第２の電極としての反射器６側のバスバー６ａに、ギャップＧに臨む凹部１２が形成されている。凹部１２内に突出部１１が入り込むように凹部１２が形成されている。それによって、道のりＬをより一層大きくすることが可能とされている。もっとも、凹部１２は必ずしも設けられずともよい。
【００３３】
本実施形態では、第１のバスバー３ａと第１のバスバー６ａの幅Ｗは等しくされている。本発明においては、突出部１１は、隣り合っているバスバーのうち幅Ｗが小さい方の幅ＷよりもギャップＧの道のりＬが長くなるように設けられている。そのため、後述する製造方法から明らかなように、ドライエッチング後の洗浄工程後のレジストパターンの形状を高精度に維持することができる。それによって、電極構造の微細化を進めた場合であっても、ＩＤＴ電極３及び反射器６の電極精度を効果的に高めることができる。
【００３４】
なお、図１の一点鎖線Ｂで囲まれた部分を代表して説明したが、他のバスバー同士が弾性波伝搬方向において隣り合っているギャップ部分においても同様に突出部１１が設けられている。
【００３５】
次に、図３を参照しつつ、本実施形態の弾性波装置１の製造方法を説明する。
【００３６】
図３（ａ）に示すように、圧電基板２上にレジスト層２１を全面に形成する。レジスト層２１としては、適宜のレジスト材料により形成することができる。
【００３７】
次に、フォトリフグラフィ法を用いて、レジスト層２１をパターニングし、図３（ｂ）に示すように、レジストパターン２１Ａを形成する。レジストパターン２１Ａは、上記電極構造が設けられている領域以外を被覆するように形成されている。レジストパターン２１Ａの開口部に、後述する電極材料が付与されて電極構造が形成される。すなわち、レジストパターン２１Ａは電極形成用のマスクとして機能する。従って、レジストパターン２１Ａは、形成される電極構造と反転した正確な形状に維持される必要がある。
【００３８】
次に、図３（ｃ）に示すように、反応性イオンミリング等により電極指形成部分に複数本の溝２ａを凹部として形成する。しかる後、リンスで洗浄する。この洗浄は、エッチング等により生じたレジスト残渣や溝２ａを形成した際に生じた圧電基板２の材料屑等を除去するために行う。
【００３９】
ところで、このリンスによる洗浄に際し、レジストパターン２１Ａの一部が流れ出し、レジストパターン２１Ａの形状が崩れるおそれがある。
【００４０】
この問題を、図４及び図５の比較例を対照して説明する。図４は、比較例の弾性波装置の電極構造を示す。この比較例の弾性波装置１０１１では、ギャップＧにおいて、前述した突出部１１及び凹部１２が設けられていないことを除いては、上記実施形態と同様とされている。従って、同一部分については同一の参照番号を付することとする。
【００４１】
比較例の弾性波装置１０１１を上記実施形態の弾性波装置１と同様にして製造した場合、洗浄に際しレジスト材の一部が流れ出す。図５は、このレジスト材の流れ出し状態を示す模式的平面図である。図５において、圧電基板２の上面において斜線のハッチングを付して示している領域がレジストパターン２１Ａである。従って、斜線のハッチングを付したレジストパターン２１Ａ以外は、上記電極構造形成部分であり、電極材料を付与する前の状態が示されている。理解を容易とするために、ＩＤＴ電極３〜５及び反射器６，７が形成されている部分は、Ｘを矩形の枠で囲んだ領域で示すこととする。
【００４２】
比較例の弾性波装置１０１１の製造に際し上記洗浄を行うと、リンスの影響により、形成されているレジストパターン２１Ａの一部が流れ出すことがある。特に、矢印Ｃ１で示すように、ＩＤＴ電極３と反射器６とが形成される領域間のギャップに沿ってレジスト材料が流れ込むおそれがある。特に、電極指形成部分が溝とされているため、矢印Ｃ１で示すように電極指構成部分の溝に、レジスト材料が流れ込むおそれがあった。同様に、矢印Ｃ２で示すように、ＩＤＴ電極３，４の隣り合っているギャップにおいても、バスバー同士が隣接しているギャップを経由して、ＩＤＴ電極電極指形成部分に至るようにレジスト材料が流れ出すことがあった。
【００４３】
このようなレジスト材料の流れ込みが生じると、ＩＤＴ電極同士が隣接している部分やＩＤＴ電極や反射器とが隣接している部分近傍の電極指を高精度に形成することができない。レジスト材の流れ出している部分が、バスバー上やバスバー同士が隣接しているギャップ内に留まっている場合には、最終的に得られた弾性波装置の特性にさほど影響を与えない。
【００４４】
しかしながら、図５に示したように、ＩＤＴ電極３〜５や反射器６，７の電極指構成部分にレジスト材が流れ込むと、電極指を高精度に形成することができなくなる。そのため、得られた弾性波装置の特性が著しく劣化することとなる。
【００４５】
これに対して、第１の実施形態では、前述したように、図１及び図２に示した突出部１１及び凹部１２が形成されている。そのため、ギャップＧの道のりＬが長くされている。より具体的には、隣り合っているバスバーの幅Ｗのうち小さい方の幅Ｗよりも道のりＬが長くなるように突出部１１が形成されている。従って、上記溝２ａを形成した後にリンスにより洗浄したとしても、レジスト材が電極指形成部分に流れ込んだり崩れたりし難い。これを図２（ａ）に加えて、図２（ｂ）を参照してより具体的に説明する。
【００４６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した部分を示し、但し、電極形成前のレジストパターンの状態を示す模式的平面図である。図２（ｂ）に示すように、レジストパターン２１Ａは、バスバー６ａ，バスバー３ａ及び配線電極８ａが形成される領域外を被覆するように設けられている。加えて、図２（ｂ）では略図的に示しているが、ＩＤＴ電極３及び反射器６の電極指構成部分、すなわち直線で示す電極指構成部分の周囲にもレジストパターン２１Ａが至っている。いま、バスバー６ａ形成領域の外側のレジストパターン部分２１Ａ１がリンスにより流れ出そうとした場合、バスバー６ａ及びバスバー３ａ形成部分にレジスト材が至っても問題はない。しかしながら、この流れ出したレジスト材がバスバー６ａ，３ａの形成領域を越えて特に電極指構成部分に流れ込むと電極指を高精度に形成することができない。しかしながら、上記ギャップＧにおいて、レジスト材料が長い道のりで付着しているため、レジストパターン部分２１Ａ１の型崩れによる影響は、ギャップＧの部分で止められることとなる。そのため、電極指の形成精度を高めることができる。
【００４７】
次に、図３（ｄ）に示すように、金属膜２２を全面に蒸着法等により形成する。
【００４８】
しかる後、レジストパターン２１Ａを除去することにより、電極２２Ａを形成する。この電極２２Ａが、前述したＩＤＴ電極３〜５の電極指構成部分に相当する。また、図３（ｅ）では、電極指形成部分のみを図示しているが、残りの電極部分も同様にして同時に形成される。
【００４９】
本発明は、前述したように、レジストパターンのＩＤＴ電極や反射器の電極指構成部分への流れ込みを抑制することに特徴を有する。もっとも、このような現象は、ＩＤＴ電極の交叉幅の大きさによっても変化する。前述した図５では、ＩＤＴ電極３〜５が形成されている部分を略図的に示し、レジストパターン２１Ａの流れ込み部分を矢印Ｃ１，Ｃ２で示した。
【００５０】
ここで、交叉幅が大きくなると、矢印Ｃ１，Ｃ２で示すレジストパターン２１Ａの形が崩れた部分が大きく表れがちである。従って、交叉幅が大きい場合には、前述した第１の実施形態における突出部１１及び凹部１２を設けることによる効果が大きい。
【００５１】
次に、バスバーの幅Ｗの大きさによる上記レジストパターン２１Ａの形の崩れの影響の差を説明する。図６に第２の比較例として、一ポート型弾性波共振子の電極構造を示す。図６に示す弾性波共振子１０２１では、ＩＤＴ電極１０２２の両側に反射器１０２３，１０２４が形成されている。ＩＤＴ電極１０２２は、第１，第２のバスバー１０２２ａ，１０２２ｂを有する。反射器１０２３，１０２４は、第１，第２のバスバー１０２３ａ，１０２４ａ，１０２３ｂ，１０２４ｂを有する。バスバー同士が隣接する部分を代表して、一点鎖線Ｄで示す部分について説明する。一点鎖線Ｄで囲まれている部分では、バスバー１０２２ｂと、バスバー１０２４ｂとがギャップＧを隔てて隣り合っている。バスバー１０２２ｂには、配線電極１０２２ｃが接続されている。
【００５２】
ここで、図６に示されるように、バスバー１０２２ｂの幅はバスバー１０２４ｂの幅よりも大きい。従って、上記実施形態に従うと、バスバー１０２４ｂの幅Ｗよりも、ギャップＧの道のりを大きくするように前述した突出部１１及び凹部１２を設ければ、上記実施形態と同様にして、洗浄時のレジストパターンの崩れを防止することができる。
【００５３】
もっとも、このようなレジストパターンの形状の崩れは、バスバーの幅によっても変化する。図８、図９は、バスバー１０２４ｂの幅が小さい場合と大きい場合のレジストパターン２１Ａの洗浄後の形状の変化を示す模式的平面図である。ここでは、６０分洗浄したあとの状態を示す。図８及び図９より明らかなように、バスバー幅を大きくすることにより、レジストパターン２１Ａの流れ出し部分を電極指構成部分にまで到達させ得ないこと、すなわち、ＩＤＴ電極の電極指へのレジストパターン２１ＡをＩＤＴ電極の電極指への影響をより確実に抑制し得ることがわかる。
【００５４】
従って、バスバー同士が隣り合っている部分においては、バスバーの幅を大きくすることが望ましい。
【００５５】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、上記実施形態の弾性波装置１の変形例を示す各模式的平面図である。図１０（ａ）〜（ｃ）は、図２に相当する図である。すなわち、図１０（ａ）に示す変形例では、複数の突出部１１が設けられている。
【００５６】
このように、本発明における突出部は、弾性波伝搬方向と直交する方向において複数設けられていてもよい。
【００５７】
また図１０（ａ）に示す構造では、突出部１１は、バスバー３ａよりも弾性波伝搬方向と直交する方向外側の配線電極８ａの端縁に設けられている。このように、突出部１１は、ギャップＧよりも弾性表面波伝搬領域に対して外側の領域に設けられていてもよい。図１０（ｂ）においても同様に、１つの突出部１１がギャップＧよりも外側に設けられている。
【００５８】
さらに、図１０（ｃ）に示すように、突出部１１は、矩形の平面形状に限らず、外周縁が曲線状であってもよい。すなわち、突出部の平面形状は特に限定されるものではない。
【００５９】
また、本発明は、上記のように、バスバー同士が隣接する部分及びその近傍の電極形状に特徴を有するものである。従って、弾性波装置は弾性表面波装置に限らず弾性境界波装置であってもよい。さらに、弾性表面波装置は弾性境界波装置の電極構造についても特に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６０】
１…弾性波装置
２…圧電基板
２ａ…溝
３〜５…ＩＤＴ電極
３ａ…第１のバスバー
３ｂ…第２のバスバー
４ａ…第１のバスバー
４ｂ…第２のバスバー
５ａ…第１のバスバー
５ｂ…第２のバスバー
６，７…反射器
６ａ…第１のバスバー
６ｂ…第２のバスバー
７ａ…第１のバスバー
７ｂ…第２のバスバー
８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ…配線電極
１１…突出部
１２…凹部
２１…レジスト層
２１Ａ…レジストパターン
２１Ａ１…レジストパターン部分
２２…金属膜
２２Ａ…電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有するＩＤＴ電極である第１の電極と、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極と、
前記第１，第２の電極のいずれかに連ねられた配線電極とを備え、
前記第１の電極のバスバーと、前記第２の電極のバスバーとが弾性波伝搬方向においてギャップを介して隣り合っている複数の部分のうち少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に相手方のバスバー側に向かって突出している突出部が少なくとも一方のバスバーまたは該バスバーに連ねられている配線電極に設けられている、弾性波装置。
【請求項２】
バスバー同士が隣り合っているギャップの弾性波伝搬方向と直交する方向の一方側の端部から他方側の端部までの道のりが、前記バスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法をバスバーの幅としたときに、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くなるように、隣り合っているバスバーの少なくとも一方にギャップに向かって突出するように前記突出部が設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記隣り合っているバスバーの一方に突出部が設けられており、隣り合っているバスバーの他方に該突出部が入り込んでおり、前記ギャップに向かって開いた凹部が形成されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記突出部が複数設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、前記ギャップの道のりが、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くされている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記突出部の平面形状が、前記ギャップに向かって延びる長手方向を有する矩形である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記突出部の長さが、前記バスバーの小さい方の幅よりも長い、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記圧電基板が、前記圧電基板上に設けられた凹部を有し、前記第１，第２の電極が、前記凹部に充填された金属からなる、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法であって、
圧電基板を用意する工程と、前記圧電基板上に一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有する第１の電極と、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極とを形成する工程とを備え、
前記第１，第２の電極を形成するに際し、圧電基板上に前記第１，第２の電極が形成されない領域にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターン形成後に金属膜を前記圧電基板上に形成する工程と、
前記レジストパターンを前記レジストパターン上に付与されている前記金属膜とともに除去し、前記第１，第２の電極を形成する工程とを有する、弾性波装置の製造方法。
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有するＩＤＴ電極である第１の電極と、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極と、
前記第１，第２の電極のいずれかに連ねられた配線電極とを備え、
前記第１の電極のバスバーと、前記第２の電極のバスバーとが弾性波伝搬方向においてギャップを介して隣り合っている複数の部分のうち少なくとも一つの部分において、ギャップ内またはギャップよりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に相手方のバスバー側に向かって突出している突出部が少なくとも一方のバスバーまたは該バスバーに連ねられている配線電極に設けられている、弾性波装置。
【請求項２】
バスバー同士が隣り合っているギャップの弾性波伝搬方向と直交する方向の一方側の端部から他方側の端部までの道のりが、前記バスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法をバスバーの幅としたときに、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くなるように、隣り合っているバスバーの少なくとも一方にギャップに向かって突出するように前記突出部が設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記隣り合っているバスバーの一方に突出部が設けられており、隣り合っているバスバーの他方に該突出部が入り込んでおり、前記ギャップに向かって開いた凹部が形成されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記突出部が複数設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記バスバー同士が隣り合っている全ての部分において、前記ギャップの道のりが、隣り合っているバスバーの幅のうち小さい方の幅よりも長くされている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記突出部の平面形状が、前記ギャップに向かって延びる長手方向を有する矩形である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記突出部の長さが、前記バスバーの小さい方の幅よりも長い、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記圧電基板が、前記圧電基板上に設けられた凹部を有し、前記第１，第２の電極が、前記凹部に充填された金属からなる、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法であって、
圧電基板を用意する工程と、前記圧電基板上に一対のバスバーと、各バスバーに接続された複数本の電極指とを有する第１の電極と、弾性波伝搬方向において前記第１の電極に並設されており、かつ一対のバスバーを有する第２の電極とを形成する工程とを備え、
前記第１，第２の電極を形成するに際し、圧電基板上に前記第１，第２の電極が形成されない領域にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターン形成後に金属膜を前記圧電基板上に形成する工程と、
前記レジストパターンを前記レジストパターン上に付与されている前記金属膜とともに除去し、前記第１，第２の電極を形成する工程とを有する、弾性波装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−３４０５５（Ｐ２０１３−３４０５５Ａ）
【公開日】平成２５年２月１４日（２０１３．２．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１６８２２６（Ｐ２０１１−１６８２２６）
【出願日】平成２３年８月１日（２０１１．８．１）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月１４日（２０１３．２．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月１日（２０１１．８．１）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
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