描画装置、描画方法
【課題】従来の描画装置では、画像の品位を向上させることが困難である。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、ワークＷに塗布された機能液５３から形成されたパターンに向けて赤外光１８を照射する照射装置１７と、照射装置１７から前記パターンに向けて照射された赤外光１８のうち前記パターンを透過した赤外光１８の進路に設けられ、前記パターンを透過した赤外光１８を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光９１に分光する分光素子８５と、分光された光９１の進路に設けられ、複数の波長域の光９１のうちの一部の波長域の光９２を透過させる光学フィルター８７と、光学フィルター８７を透過した光９２の進路に設けられ、光９２を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子８９と、を有する、ことを特徴とする描画装置。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、ワークＷに塗布された機能液５３から形成されたパターンに向けて赤外光１８を照射する照射装置１７と、照射装置１７から前記パターンに向けて照射された赤外光１８のうち前記パターンを透過した赤外光１８の進路に設けられ、前記パターンを透過した赤外光１８を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光９１に分光する分光素子８５と、分光された光９１の進路に設けられ、複数の波長域の光９１のうちの一部の波長域の光９２を透過させる光学フィルター８７と、光学フィルター８７を透過した光９２の進路に設けられ、光９２を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子８９と、を有する、ことを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画装置、描画方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外光の照射を受けることによって硬化するインクを用いて画像を形成する方法（描画方法）が知られている。このようなインクにおいては、赤外分光光度計を用いてインクの吸光度を測定することによって、インクの硬化の程度を把握することができる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３０６５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１に記載された記録装置（描画装置）では、インクに対する紫外光の照射量が、記録媒体の搬送速度によって異なることがある。記録媒体の搬送速度が速い場合には、搬送速度が遅い場合に比較して、インクが受ける紫外光の照射量が少ない。このため、記録媒体の搬送速度が速い場合には、搬送速度が遅い場合よりも、インクの硬化の程度が低くなることが考えられる。
この他にも、インクの硬化の程度には、画像の解像度や、記録媒体上でのインクの厚みなどによっても、差異が発生することが考えられる。つまり、インクの硬化の程度は、画像形成における種々の条件の違いによって、ばらつくものと考えられる。インクの硬化の程度がばらつくと、形成された画像の品位にばらつきが発生する。
【０００５】
このため、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することが望まれる。例えば、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度が低いことが把握されれば、紫外光の強度を高めたり、その画像を構成するインクに紫外光を反復して照射したりすることによって、画像の品位を保つことができる。これにより、画像の品位を高めやすくすることができる。
そこで、上記特許文献１に記載された方法を応用することが考えられる。つまり、赤外分光光度計を備えた記録装置で画像を形成することが考えられる。これにより、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することが可能となる。
しかしながら、一般的に、赤外分光光度計を用いた赤外分光スペクトルの解析では、解析にかかる時間が、記録装置で画像を形成するのにかかる時間よりも長くなりやすい。また、赤外分光光度計にかかるコストも高額となる。このため、赤外分光光度計を備えた記録装置で画像を形成することは、実用的ではない。
【０００６】
上記のことから、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することは困難である。よって、従来の描画装置では、画像の品位を向上させることが困難であるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。
【０００８】
［適用例１］ワークに対向し、前記ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記ワークに塗布された前記液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記パターンに向けて照射された前記光のうち前記パターンを透過した光の進路に設けられ、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する第１光学素子と、分光された前記複数の波長域の光の進路に設けられ、前記複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる第２光学素子と、前記第２光学素子を透過した前記一部の波長域の光の進路に設けられ、前記一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子と、を有する、ことを特徴とする描画装置。
【０００９】
この適用例の描画装置は、吐出ヘッドと、変位装置と、光照射装置と、第１光学素子と、第２光学素子と、受光素子と、を有する。
吐出ヘッドは、ワークに対向し、ワークに向けて液状体を吐出する。
変位装置は、吐出ヘッドに対するワークの相対位置を変位させる。
光照射装置は、ワークに塗布された液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する。
第１光学素子は、光照射装置からパターンに向けて照射された光のうちパターンを透過した光の進路に設けられている。第１光学素子は、パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する。
第２光学素子は、分光された複数の波長域の光の進路に設けられている。第２光学素子は、複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる。
受光素子は、第２光学素子を透過した一部の波長域の光の進路に設けられている。受光素子は、一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する。
上記の構成により、パターンを透過した光に含まれる一部の波長域の光の光量を検出することができる。これにより、例えば、液状体の硬化の程度の差によってパターンを透過する光の光量に差異が発生する波長域の光として、一部の波長域の光を設定することによって、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。
この描画装置では、光照射装置と、第１光学素子と、第２光学素子と、受光素子とが設けられているので、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００１０】
［適用例２］上記の描画装置であって、前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、前記ワークに塗布された前記液状体に向けて、前記紫外光を含む光を照射する紫外光照射装置を有する、ことを特徴とする描画装置。
【００１１】
この適用例では、ワークに塗布された液状体を、紫外光の照射によって硬化させることができる。
【００１２】
［適用例３］上記の描画装置であって、前記光照射装置は、赤外光を含む光を前記パターンに向けて照射し、前記第１光学素子は、前記パターンを透過した光を、赤外域の波長域を含む前記複数の波長域の光に分光し、前記第２光学素子は、前記一部の波長域の光として、前記赤外域の波長域の光を透過させ、前記受光素子は、前記赤外域の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する、ことを特徴とする描画装置。
【００１３】
この適用例では、パターンを透過した光に含まれる赤外域の波長域の光の光量を検出することができる。
【００１４】
［適用例４］上記の描画装置であって、前記変位装置は、前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、前記キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、を有し、前記紫外光照射装置は、前記キャリッジに設けられている、ことを特徴とする描画装置。
【００１５】
この適用例では、変位装置は、吐出ヘッドを保持するキャリッジと、キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、を有する。また、この描画装置では、紫外光照射装置は、キャリッジに設けられている。
上記の構成により、紫外光照射装置を吐出ヘッドの変位に追従させることができる。
【００１６】
［適用例５］上記の描画装置であって、前記受光素子から出力された前記信号に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する制御部を有する、ことを特徴とする描画装置。
【００１７】
この適用例では、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００１８】
［適用例６］ワークに液状体を塗布することによって、前記ワークに前記液状体でパターンを描画する描画工程と、前記パターンを構成する前記液状体を硬化させる硬化工程と、前記硬化工程の後に、前記パターンに光を照射し、照射した前記光のうち前記パターンを透過した光の量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する判定工程と、を有する、ことを特徴とする描画方法。
【００１９】
この適用例の描画方法は、描画工程と、硬化工程と、判定工程と、を有する。
描画工程では、ワークに液状体を塗布することによって、ワークに液状体でパターンを描画する。
硬化工程では、パターンを構成する液状体を硬化させる。
硬化工程の後に、判定工程では、パターンに光を照射し、照射した光のうちパターンを透過した光の量に基づいて、パターンの硬化の程度について合否を判定する。
この描画方法では、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００２０】
［適用例７］上記の描画方法であって、前記判定工程における判定結果が不合格であったときに、前記判定工程の後に、前記硬化工程を実施する、ことを特徴とする描画方法。
【００２１】
この適用例では、判定工程における判定結果が不合格であったときに、判定工程の後に、硬化工程を実施するので、液状体の硬化の程度を合格の水準に高めやすくすることができる。
【００２２】
［適用例８］上記の描画方法であって、前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、前記硬化工程では、前記液状体に前記紫外光を照射する、ことを特徴とする描画方法。
【００２３】
この適用例では、硬化工程において、液状体に紫外光を照射することによって、液状体を硬化させることができる。
【００２４】
［適用例９］上記の描画方法であって、前記判定工程では、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なり、且つ赤外域の波長域を含む複数の波長域の光に分光し、分光した前記複数の波長域の光のうち赤外光の光量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する、ことを特徴とする描画方法。
【００２５】
この適用例では、パターンを透過した光に含まれる赤外光の光量に基づいて、パターンの硬化の程度について合否を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。
【図２】図１中のＡ−Ａ線における断面図。
【図３】本実施形態における吐出ヘッドの底面図。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線における断面図。
【図５】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図。
【図６】本実施形態における記録処理の流れを示す図。
【図７】本実施形態における液滴吐出装置の他の構成例を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図面を参照しながら、描画装置の１つである液滴吐出装置を例に、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。
【００２８】
本実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置１１と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と、２個の照射装置１５と、が設けられている。
また、液滴吐出装置１は、図１中のＡ−Ａ線における断面図である図２に示すように、照射装置１７と、受光装置１９と、を有している。
図１に示す液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画（記録）することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。
【００２９】
このような液滴吐出装置１は、例えば、樹脂フィルムなどのように、液状体が浸透しにくいワークＷへの描画（記録）に適用され得る。
また、液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ装置の製造などにも適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出されることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。
記録媒体としてのワークＷは、上述した基板や樹脂フィルムなどに限定されず、紙、布、金属箔など、種々の記録媒体が採用され得る。
【００３０】
ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
【００３１】
ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３２】
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。
【００３３】
ヘッドユニット１３は、図２に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
【００３４】
２個の照射装置１５は、図２に示すように、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。以下において、２個の照射装置１５のそれぞれを識別する場合に、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂという表記が用いられる。
照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂは、それぞれ、紫外光４１を発する光源４３を有している。光源４３からの紫外光４１は、吐出ヘッド３３から吐出された機能液５３（液状体）の硬化を促進させる。機能液５３は、紫外光４１の照射を受けると、硬化が促進する。
光源４３としては、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源４３が採用され得る。
なお、本実施形態では、光源４３のＹ方向における長さは、吐出ヘッド３３のノズル列３９を網羅する長さに設定されている。
なお、照射装置１５ａの光源４３と、照射装置１５ｂの光源４３とは、それぞれ、吐出ヘッド３３のノズル面３５がＸ方向に沿って描く軌跡に、平面視で重なっている。
【００３５】
吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３が供給される。
【００３６】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小させる。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。
【００３７】
上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００３８】
本実施形態では、機能液５３として、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる光として紫外光４１が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに記録する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。以下において、ワークＷに記録する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。
【００３９】
また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料を採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液５３や、金属的な光沢（メタリック）を示す機能液５３なども、下地塗料として採用され得る。
【００４０】
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン（株）社製のイルガキュア８１９などが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００４１】
キャリッジ搬送装置１１は、図１に示すように、架台６１と、ガイドレール６３と、を有している。
架台６１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台６１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３に対向している。架台６１は、一対の支柱６５によって支持されている。一対の支柱６５は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱６５のそれぞれを識別する場合に、支柱６５ａ及び支柱６５ｂという表記が用いられる。支柱６５ａ及び支柱６５ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台６１とワークテーブル２５との間には、隙間が保たれている。
【００４２】
ガイドレール６３は、架台６１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール６３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台６１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール６３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール６３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール６３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール６３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。
【００４３】
キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないキャリッジ搬送モーターを有している。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール６３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
上記の構成を有する液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの記録（描画）が行われる。
【００４４】
照射装置１７は、図１に示すように、架台６１に設けられた支持プレート７１に支持されている。照射装置１７は、支持プレート７１に支持された状態において、定盤２１に向けられている。
ここで、ワークＷには、製品となるパターンの描画が許可される領域である許可領域７３と、許可領域７３の外側に設定される余白領域７５と、が設定される。許可領域７３と余白領域７５とは、Ｘ方向に並んでいる。本実施形態では、許可領域７３と余白領域７５とが、Ｘ方向に隣り合っている。また、本実施形態では、Ｘ方向において、許可領域７３が支柱６５ａ側に設定され、余白領域７５が支柱６５ｂ側に設定されている。
【００４５】
本実施形態において、照射装置１７は、図２に示すように、ワークＷの余白領域７５に対面する。
なお、キャリッジ７は、ワークテーブル２５をＸ方向にまたぐ領域にわたって移動することができる。このため、キャリッジ７に設けられている照射装置１５ａは、余白領域７５に対面することができる。このとき、照射装置１５ａが余白領域７５に対面している状態において、照射装置１７とキャリッジ７との間には、Ｚ方向に隙間が空いている。これにより、キャリッジ７と照射装置１７との接触が避けられる。従って、Ｘ方向におけるキャリッジ７の移動領域にわたって、キャリッジ７の移動は、照射装置１７に阻害されない。
【００４６】
ワークテーブル２５には、ワークＷの余白領域７５が重なる領域に、開口部７７が設けられている。なお、余白領域７５は、開口部７７に重なる領域であるともみなされ得る。また、上述した照射装置１７は、開口部７７に対面する。
照射装置１７は、赤外光１８を発する光源７８を有している。照射装置１７は、開口部７７に重なる余白領域７５に向けて赤外光１８を照射する。なお、赤外光１８を発する光源７８としては、例えば、赤外ランプなどが挙げられる。
開口部７７は、載置面２５ａと、定盤２１に向けられた底面２５ｂとの間を貫通している。開口部７７の載置面２５ａ側は、光透過性を有するふた７９によって塞がれている。
【００４７】
定盤２１には、照射装置１７が対面する部位に開口部８１が設けられている。開口部８１は、定盤２１のワークテーブル２５側に設けられている。開口部８１は、定盤２１のワークテーブル２５側から、ワークテーブル２５側とは反対側に向かって掘られている。
開口部８１のワークテーブル２５側は、光透過性を有するふた８２によって塞がれている。
照射装置１７とワークテーブル２５の開口部７７とが互いに対面している状態において、定盤２１の開口部８１は、平面視でワークテーブル２５の開口部７７に重なる。このため、照射装置１７とワークテーブル２５の開口部７７とが互いに対面している状態において、照射装置１７からの赤外光１８は、定盤２１の開口部８１内に到達し得る。
【００４８】
定盤２１の開口部８１内には、受光装置１９が設けられている。
受光装置１９は、分光素子８５と、光学フィルター８７と、受光素子８９と、を有している。
分光素子８５は、余白領域７５に向けて照射された赤外光１８のうち、余白領域７５、ふた７９、開口部７７、及びふた８２を透過した赤外光１８の進路に設けられている。ふた８２を透過して開口部８１に入射した赤外光１８は、分光素子８５に照射される。分光素子８５は、照射された赤外光１８を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光９１に分光する。分光素子８５としては、例えば、プリズムや回折格子などの光学素子が採用され得る。
【００４９】
光学フィルター８７は、波長域ごとに分光された光９１の進路に設けられている。分光素子８５によって分光された光９１は、光学フィルター８７に照射される。
光学フィルター８７は、照射された光９１のうちの一部の波長域の光９２を透過させることができる光学素子である。光学フィルター８７としては、照射された光９１のうちの一部の波長域の光９２を除く光を吸収したり反射したりする光学的なフィルターや、光９１を透過させない膜に光９２を通過させるピンホールを形成したものなどが採用され得る。
受光素子８９は、光９２の進路に設けられている。受光素子８９は、光９２を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する。受光素子８９としては、例えば、フォトダイオードやフォトトランジスターなどが採用され得る。
【００５０】
本実施形態では、機能液５３を透過する光量が、機能液５３の硬化の程度に応じて変化する波長域の光９２が光９２として採用されている。
これにより、受光素子８９から出力された信号に基づいて、機能液５３の硬化の程度を把握することができる。
本実施形態では、余白領域７５に塗布された機能液５３の硬化の程度が把握され得る。まず、余白領域７５に塗布された機能液５３に向けて赤外光１８を照射する。機能液５３に照射された赤外光１８のうちで機能液５３を透過した赤外光１８は、ふた７９、開口部７７、ふた８２を経て分光素子８５に到達する。分光素子８５に到達した赤外光１８は、光９１に分光される。分光された光９１は、光学フィルター８７に照射される。光学フィルター８７は、光９１のうちの光９２を透過させる。光学フィルター８７を透過した光９２は、受光素子８９に到達する。受光素子８９は、受光した光９２の光量に応じた値の信号を出力する。そして、受光素子８９から出力された信号の値に基づいて、余白領域７５に塗布された機能液５３の硬化の程度が把握され得る。
【００５１】
液滴吐出装置１は、図５に示すように、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、入力装置１２９と、表示装置１３１と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００５２】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。
入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
なお、吐出ヘッド３３、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂも、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、照射装置１７及び受光素子８９も、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００５３】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含んでいる。メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、記録すべきパターンが示される記録データや、記録処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、吐出制御部１４５と、照射制御部１４７と、照射制御部１４９と、表示制御部１５１と、を有している。
【００５４】
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動とを、個別に制御する。
吐出制御部１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
照射制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂのそれぞれにおける光源４３の発光状態を個別に制御する。
照射制御部１４９は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、照射装置１７の光源７８の発光状態を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。
【００５５】
液滴吐出装置１における記録処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェイス１３３及びバス１１９を介して記録データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図６に示す記録処理が開始される。
ここで、記録データは、機能液５３（液状体）でワークＷに記録すべきパターンを指示するものであり、液滴５５で形成すべきドットがビットマップ状に表現されている。ワークＷに記録されるパターンは、液滴５５で形成される複数のドットの集合として表現される。ワークＷへのパターンの記録は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。
【００５６】
記録処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を描画エリアの往路開始位置に移動させる。
ここで、液滴吐出装置１では、描画エリアが設定されている。描画エリアは、図１に示すワークテーブル２５によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、吐出ヘッド３３によってＸ方向に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。
そして、往路開始位置は、キャリッジ７を往復移動させるときの往路が開始する位置である。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱６５ａ側に位置している。
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを描画エリアに移動させる。
【００５７】
次いで、ステップＳ３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、本実施形態では、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向に描画エリアを挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、描画エリアをＸ方向に挟んで互いに対峙している。本実施形態では、復路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱６５ｂ側に位置している。
【００５８】
次いで、ステップＳ４において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ａに対する照射指令を照射制御部１４７（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４７は、照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ａの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における記録開始位置に到達したか否かを判定する。
ここで、記録開始位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５９】
次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、記録データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での許可領域７３に対する記録が開始される。
次いで、ステップＳ７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が許可領域７３に対する記録停止位置に到達したか否かを判定する。
ここで、記録停止位置は、許可領域７３内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００６０】
次いで、ステップＳ８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での許可領域７３に対する記録が終了する。
次いで、ステップＳ９において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が余白領域７５におけるテスト記録開始位置に到達したか否かを判定する。
ここで、テスト記録は、余白領域７５において、機能液５３の硬化の程度を把握するためのテストパターンを記録することである。そして、テスト記録開始位置は、余白領域７５内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
ステップＳ９において、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１０に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００６１】
次いで、ステップＳ１０において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、テスト記録データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での余白領域７５に対するテスト記録が開始される。
なお、テスト記録では、直前の往路での許可領域７３に対する記録における条件のうち、機能液５３の硬化に対して最も厳しい条件と同等の条件でテストパターンを記録する。機能液５３の硬化に対して厳しい条件としては、例えば、ノズル３７からの機能液５３の吐出量が他に比較して多い場合や、機能液５３の塗布密度が高い場合、キャリッジ７の移動速度が速い場合などが挙げられる。キャリッジ７の移動速度が速い場合には、機能液５３が受ける紫外光４１の光量（積算光量）が少なくなるので、硬化に対する条件が厳しくなる。
【００６２】
ステップＳ１０に次いで、ステップＳ１１において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が余白領域７５に対するテスト記録停止位置に到達したか否かを判定する。
ここで、テスト記録停止位置は、余白領域７５内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１２に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００６３】
次いで、ステップＳ１２において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での余白領域７５に対するテスト記録が終了する。
次いで、ステップＳ１３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が退避位置に到達したか否かを判定する。
ここで、退避位置は、図２に示すように、キャリッジ７が支柱６５ａ側からＸ方向にワークＷをまたいで、ワークＷよりも支柱６５ｂ側に退避する位置である。この退避位置にキャリッジ７が退避することによって、赤外光１８の光路からキャリッジ７を退避させることができる。
【００６４】
ステップＳ１３において、キャリッジ７の位置が退避位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が退避位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が退避位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１４において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ停止指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の移動を停止させる。
次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ａに対する照射停止指令を照射制御部１４７（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４７は、照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ａの光源４３を消灯させる。
【００６５】
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１７に対する照射指令を照射制御部１４９（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４９は、照射装置１７の光源７８の駆動を制御して、照射装置１７の光源７８を点灯させる。
次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ１１３は、図２に示す受光素子８９から出力される信号を受信し、受信した受光素子８９からの信号の値を光９２の光量データとして取得する。なお、光量データは、受光素子８９が受光した光９２の量に応じた大きさを示している。
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ１１３は、取得した光量データの合否判定を行う。ここでは、光量データが合格基準値を下回っているか否かを判定することによって、合否判定が行われる。本実施形態では、光量データが合格基準値を下回っていれば、合格の判定が行われる。他方で、光量データが合格基準値以上であるときには、不合格の判定が行われる。ステップＳ１８では、光量データが合格である（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２０に移行する。他方で、光量データが不合格である（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ１９に移行する。
【００６６】
ステップＳ１９では、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂに対する照射指令を照射制御部１４７（図５）に出力してから、処理をステップＳ２０に移行させる。このとき、ステップＳ１９では、照射制御部１４７は、照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ｂの光源４３を点灯させる。
ステップＳ２０では、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ駆動指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の復路の移動を開始させる。
次いで、ステップＳ２１において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２２に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００６７】
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ停止指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の移動を停止させる。
次いで、ステップＳ２３において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂの光源４３が点灯しているか否かを判定する。このとき、照射装置１５ｂの光源４３が点灯している（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、照射装置１５ｂの光源４３が点灯していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ２５に移行する。
ステップＳ２４では、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂに対する照射停止指令を照射制御部１４７（図５）に出力してから、処理をステップＳ２５に移行させる。このとき、ステップＳ２４では、照射制御部１４７は、照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ｂの光源４３を消灯させる。
【００６８】
次いで、ステップＳ２５において、ＣＰＵ１１３は、記録データが終了したか否かを判定する。このとき、記録データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、記録処理が終了する。他方で、記録データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ２６に移行する。
ステップＳ２６では、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図５）に出力してから、処理をステップＳ３に移行させる。このとき、ステップＳ２６では、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを記録すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
上記により、ワークＷにおける記録が行われ得る。
【００６９】
本実施形態において、液滴吐出装置１が描画装置に対応し、キャリッジ搬送装置１１が変位装置に対応し、照射装置１７が光照射装置に対応し、分光素子８５が第１光学素子に対応し、光学フィルター８７が第２光学素子に対応し、照射装置１５が紫外光照射装置に対応し、テストパターンがパターンに対応している。
また、ステップＳ６及びステップＳ１０のそれぞれの処理が描画工程に対応している。また、ステップＳ３及びステップＳ４の処理、並びに、ステップＳ１９及びステップＳ２０の処理が硬化工程に対応している。また、ステップＳ１６、ステップＳ１７及びステップＳ１８の処理が判定工程に対応している。
【００７０】
本実施形態では、余白領域７５に記録されたテストパターンを透過した赤外光１８に含まれる一部の波長域の光９２の光量を検出することができる。これにより、機能液５３の硬化の程度を把握することができ、機能液５３の硬化の程度について合否を判定することができる。
本実施形態では、液滴吐出装置１に照射装置１７と受光装置１９とが設けられているので、記録（描画）の過程で、機能液５３の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
本実施形態では、記録処理のステップＳ１８において、光量データの合否判定が行われる。このステップＳ１８において、光量データが不合格である、すなわち機能液５３の硬化の程度が不足していると判定されると、キャリッジ７の復路において、機能液５３に紫外光４１が照射される。これにより、機能液５３の硬化の程度を高めることができるので、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００７１】
なお、本実施形態では、余白領域７５を、Ｘ方向においてワークＷの片側だけに設けた例が示されているが、ワークＷの構成は、これに限定されない。ワークＷの構成としては、Ｘ方向において、ワークＷの両側に余白領域７５を設けた構成も採用され得る。そして、これに合わせて、液滴吐出装置１の構成として、照射装置１７と受光装置１９とを、許可領域７３を挟んだ両側に設けた構成が採用され得る。この構成により、キャリッジ７の往路及び復路の双方において、許可領域７３に記録を行いやすくすることができるので、記録動作の効率化を図りやすくすることができる。
【００７２】
また、本実施形態では、液滴吐出装置１に１組の受光装置１９を設けた構成が示されているが、液滴吐出装置１の構成は、これに限定されない。液滴吐出装置１の構成としては、複数組の受光装置１９を設けた構成も採用され得る。
複数組の受光装置１９を設けた構成としては、例えば、図７に示すように、１つの余白領域７５に設定された複数のパターン領域９５のパターン領域９５ごとに受光装置１９を設けた構成が挙げられる。
そして、これら複数組の受光装置１９間で、光９２の波長域を異ならせることができる。このような構成は、例えば、複数の種類の機能液５３をワークＷに塗布することができる液滴吐出装置１に好適である。機能液５３の硬化の程度に応じて機能液５３を透過する光量が変化する波長域が、機能液５３の種類によって異なることが考えられる。このため、機能液５３の種類ごとに受光装置１９を設ける構成が好ましい。
なお、機能液５３の種類としては、例えば、機能液５３の色などが挙げられる。複数の色の機能液５３の色ごとに受光装置１９を設けることによって、異なる色の機能液５３間で硬化の程度に関する合否を正確に判定しやすくすることができる。
【符号の説明】
【００７３】
１…液滴吐出装置、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、１１…キャリッジ搬送装置、１５…照射装置、１５ａ…照射装置、１５ｂ…照射装置、１７…照射装置、１８…赤外光、１９…受光装置、２５…ワークテーブル、３３…吐出ヘッド、３５…ノズル面、３７…ノズル、４１…紫外光、４３…光源、５３…機能液、５５…液滴、７３…許可領域、７５…余白領域、７８…光源、８５…分光素子、８７…光学フィルター、８９…受光素子、９１…光、９２…光、１１１…制御部、１１３…ＣＰＵ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画装置、描画方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外光の照射を受けることによって硬化するインクを用いて画像を形成する方法（描画方法）が知られている。このようなインクにおいては、赤外分光光度計を用いてインクの吸光度を測定することによって、インクの硬化の程度を把握することができる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３０６５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１に記載された記録装置（描画装置）では、インクに対する紫外光の照射量が、記録媒体の搬送速度によって異なることがある。記録媒体の搬送速度が速い場合には、搬送速度が遅い場合に比較して、インクが受ける紫外光の照射量が少ない。このため、記録媒体の搬送速度が速い場合には、搬送速度が遅い場合よりも、インクの硬化の程度が低くなることが考えられる。
この他にも、インクの硬化の程度には、画像の解像度や、記録媒体上でのインクの厚みなどによっても、差異が発生することが考えられる。つまり、インクの硬化の程度は、画像形成における種々の条件の違いによって、ばらつくものと考えられる。インクの硬化の程度がばらつくと、形成された画像の品位にばらつきが発生する。
【０００５】
このため、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することが望まれる。例えば、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度が低いことが把握されれば、紫外光の強度を高めたり、その画像を構成するインクに紫外光を反復して照射したりすることによって、画像の品位を保つことができる。これにより、画像の品位を高めやすくすることができる。
そこで、上記特許文献１に記載された方法を応用することが考えられる。つまり、赤外分光光度計を備えた記録装置で画像を形成することが考えられる。これにより、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することが可能となる。
しかしながら、一般的に、赤外分光光度計を用いた赤外分光スペクトルの解析では、解析にかかる時間が、記録装置で画像を形成するのにかかる時間よりも長くなりやすい。また、赤外分光光度計にかかるコストも高額となる。このため、赤外分光光度計を備えた記録装置で画像を形成することは、実用的ではない。
【０００６】
上記のことから、画像を形成する過程で、インクの硬化の程度を把握することは困難である。よって、従来の描画装置では、画像の品位を向上させることが困難であるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。
【０００８】
［適用例１］ワークに対向し、前記ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記ワークに塗布された前記液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記パターンに向けて照射された前記光のうち前記パターンを透過した光の進路に設けられ、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する第１光学素子と、分光された前記複数の波長域の光の進路に設けられ、前記複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる第２光学素子と、前記第２光学素子を透過した前記一部の波長域の光の進路に設けられ、前記一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子と、を有する、ことを特徴とする描画装置。
【０００９】
この適用例の描画装置は、吐出ヘッドと、変位装置と、光照射装置と、第１光学素子と、第２光学素子と、受光素子と、を有する。
吐出ヘッドは、ワークに対向し、ワークに向けて液状体を吐出する。
変位装置は、吐出ヘッドに対するワークの相対位置を変位させる。
光照射装置は、ワークに塗布された液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する。
第１光学素子は、光照射装置からパターンに向けて照射された光のうちパターンを透過した光の進路に設けられている。第１光学素子は、パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する。
第２光学素子は、分光された複数の波長域の光の進路に設けられている。第２光学素子は、複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる。
受光素子は、第２光学素子を透過した一部の波長域の光の進路に設けられている。受光素子は、一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する。
上記の構成により、パターンを透過した光に含まれる一部の波長域の光の光量を検出することができる。これにより、例えば、液状体の硬化の程度の差によってパターンを透過する光の光量に差異が発生する波長域の光として、一部の波長域の光を設定することによって、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。
この描画装置では、光照射装置と、第１光学素子と、第２光学素子と、受光素子とが設けられているので、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００１０】
［適用例２］上記の描画装置であって、前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、前記ワークに塗布された前記液状体に向けて、前記紫外光を含む光を照射する紫外光照射装置を有する、ことを特徴とする描画装置。
【００１１】
この適用例では、ワークに塗布された液状体を、紫外光の照射によって硬化させることができる。
【００１２】
［適用例３］上記の描画装置であって、前記光照射装置は、赤外光を含む光を前記パターンに向けて照射し、前記第１光学素子は、前記パターンを透過した光を、赤外域の波長域を含む前記複数の波長域の光に分光し、前記第２光学素子は、前記一部の波長域の光として、前記赤外域の波長域の光を透過させ、前記受光素子は、前記赤外域の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する、ことを特徴とする描画装置。
【００１３】
この適用例では、パターンを透過した光に含まれる赤外域の波長域の光の光量を検出することができる。
【００１４】
［適用例４］上記の描画装置であって、前記変位装置は、前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、前記キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、を有し、前記紫外光照射装置は、前記キャリッジに設けられている、ことを特徴とする描画装置。
【００１５】
この適用例では、変位装置は、吐出ヘッドを保持するキャリッジと、キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、を有する。また、この描画装置では、紫外光照射装置は、キャリッジに設けられている。
上記の構成により、紫外光照射装置を吐出ヘッドの変位に追従させることができる。
【００１６】
［適用例５］上記の描画装置であって、前記受光素子から出力された前記信号に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する制御部を有する、ことを特徴とする描画装置。
【００１７】
この適用例では、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００１８】
［適用例６］ワークに液状体を塗布することによって、前記ワークに前記液状体でパターンを描画する描画工程と、前記パターンを構成する前記液状体を硬化させる硬化工程と、前記硬化工程の後に、前記パターンに光を照射し、照射した前記光のうち前記パターンを透過した光の量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する判定工程と、を有する、ことを特徴とする描画方法。
【００１９】
この適用例の描画方法は、描画工程と、硬化工程と、判定工程と、を有する。
描画工程では、ワークに液状体を塗布することによって、ワークに液状体でパターンを描画する。
硬化工程では、パターンを構成する液状体を硬化させる。
硬化工程の後に、判定工程では、パターンに光を照射し、照射した光のうちパターンを透過した光の量に基づいて、パターンの硬化の程度について合否を判定する。
この描画方法では、描画の過程で、液状体の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００２０】
［適用例７］上記の描画方法であって、前記判定工程における判定結果が不合格であったときに、前記判定工程の後に、前記硬化工程を実施する、ことを特徴とする描画方法。
【００２１】
この適用例では、判定工程における判定結果が不合格であったときに、判定工程の後に、硬化工程を実施するので、液状体の硬化の程度を合格の水準に高めやすくすることができる。
【００２２】
［適用例８］上記の描画方法であって、前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、前記硬化工程では、前記液状体に前記紫外光を照射する、ことを特徴とする描画方法。
【００２３】
この適用例では、硬化工程において、液状体に紫外光を照射することによって、液状体を硬化させることができる。
【００２４】
［適用例９］上記の描画方法であって、前記判定工程では、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なり、且つ赤外域の波長域を含む複数の波長域の光に分光し、分光した前記複数の波長域の光のうち赤外光の光量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する、ことを特徴とする描画方法。
【００２５】
この適用例では、パターンを透過した光に含まれる赤外光の光量に基づいて、パターンの硬化の程度について合否を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。
【図２】図１中のＡ−Ａ線における断面図。
【図３】本実施形態における吐出ヘッドの底面図。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線における断面図。
【図５】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図。
【図６】本実施形態における記録処理の流れを示す図。
【図７】本実施形態における液滴吐出装置の他の構成例を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図面を参照しながら、描画装置の１つである液滴吐出装置を例に、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。
【００２８】
本実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置１１と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と、２個の照射装置１５と、が設けられている。
また、液滴吐出装置１は、図１中のＡ−Ａ線における断面図である図２に示すように、照射装置１７と、受光装置１９と、を有している。
図１に示す液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画（記録）することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。
【００２９】
このような液滴吐出装置１は、例えば、樹脂フィルムなどのように、液状体が浸透しにくいワークＷへの描画（記録）に適用され得る。
また、液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ装置の製造などにも適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出されることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。
記録媒体としてのワークＷは、上述した基板や樹脂フィルムなどに限定されず、紙、布、金属箔など、種々の記録媒体が採用され得る。
【００３０】
ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
【００３１】
ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３２】
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。
【００３３】
ヘッドユニット１３は、図２に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
【００３４】
２個の照射装置１５は、図２に示すように、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。以下において、２個の照射装置１５のそれぞれを識別する場合に、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂという表記が用いられる。
照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂは、それぞれ、紫外光４１を発する光源４３を有している。光源４３からの紫外光４１は、吐出ヘッド３３から吐出された機能液５３（液状体）の硬化を促進させる。機能液５３は、紫外光４１の照射を受けると、硬化が促進する。
光源４３としては、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源４３が採用され得る。
なお、本実施形態では、光源４３のＹ方向における長さは、吐出ヘッド３３のノズル列３９を網羅する長さに設定されている。
なお、照射装置１５ａの光源４３と、照射装置１５ｂの光源４３とは、それぞれ、吐出ヘッド３３のノズル面３５がＸ方向に沿って描く軌跡に、平面視で重なっている。
【００３５】
吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３が供給される。
【００３６】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小させる。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。
【００３７】
上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００３８】
本実施形態では、機能液５３として、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる光として紫外光４１が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに記録する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。以下において、ワークＷに記録する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。
【００３９】
また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料を採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液５３や、金属的な光沢（メタリック）を示す機能液５３なども、下地塗料として採用され得る。
【００４０】
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン（株）社製のイルガキュア８１９などが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００４１】
キャリッジ搬送装置１１は、図１に示すように、架台６１と、ガイドレール６３と、を有している。
架台６１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台６１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３に対向している。架台６１は、一対の支柱６５によって支持されている。一対の支柱６５は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱６５のそれぞれを識別する場合に、支柱６５ａ及び支柱６５ｂという表記が用いられる。支柱６５ａ及び支柱６５ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台６１とワークテーブル２５との間には、隙間が保たれている。
【００４２】
ガイドレール６３は、架台６１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール６３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台６１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール６３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール６３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール６３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール６３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。
【００４３】
キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないキャリッジ搬送モーターを有している。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール６３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
上記の構成を有する液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの記録（描画）が行われる。
【００４４】
照射装置１７は、図１に示すように、架台６１に設けられた支持プレート７１に支持されている。照射装置１７は、支持プレート７１に支持された状態において、定盤２１に向けられている。
ここで、ワークＷには、製品となるパターンの描画が許可される領域である許可領域７３と、許可領域７３の外側に設定される余白領域７５と、が設定される。許可領域７３と余白領域７５とは、Ｘ方向に並んでいる。本実施形態では、許可領域７３と余白領域７５とが、Ｘ方向に隣り合っている。また、本実施形態では、Ｘ方向において、許可領域７３が支柱６５ａ側に設定され、余白領域７５が支柱６５ｂ側に設定されている。
【００４５】
本実施形態において、照射装置１７は、図２に示すように、ワークＷの余白領域７５に対面する。
なお、キャリッジ７は、ワークテーブル２５をＸ方向にまたぐ領域にわたって移動することができる。このため、キャリッジ７に設けられている照射装置１５ａは、余白領域７５に対面することができる。このとき、照射装置１５ａが余白領域７５に対面している状態において、照射装置１７とキャリッジ７との間には、Ｚ方向に隙間が空いている。これにより、キャリッジ７と照射装置１７との接触が避けられる。従って、Ｘ方向におけるキャリッジ７の移動領域にわたって、キャリッジ７の移動は、照射装置１７に阻害されない。
【００４６】
ワークテーブル２５には、ワークＷの余白領域７５が重なる領域に、開口部７７が設けられている。なお、余白領域７５は、開口部７７に重なる領域であるともみなされ得る。また、上述した照射装置１７は、開口部７７に対面する。
照射装置１７は、赤外光１８を発する光源７８を有している。照射装置１７は、開口部７７に重なる余白領域７５に向けて赤外光１８を照射する。なお、赤外光１８を発する光源７８としては、例えば、赤外ランプなどが挙げられる。
開口部７７は、載置面２５ａと、定盤２１に向けられた底面２５ｂとの間を貫通している。開口部７７の載置面２５ａ側は、光透過性を有するふた７９によって塞がれている。
【００４７】
定盤２１には、照射装置１７が対面する部位に開口部８１が設けられている。開口部８１は、定盤２１のワークテーブル２５側に設けられている。開口部８１は、定盤２１のワークテーブル２５側から、ワークテーブル２５側とは反対側に向かって掘られている。
開口部８１のワークテーブル２５側は、光透過性を有するふた８２によって塞がれている。
照射装置１７とワークテーブル２５の開口部７７とが互いに対面している状態において、定盤２１の開口部８１は、平面視でワークテーブル２５の開口部７７に重なる。このため、照射装置１７とワークテーブル２５の開口部７７とが互いに対面している状態において、照射装置１７からの赤外光１８は、定盤２１の開口部８１内に到達し得る。
【００４８】
定盤２１の開口部８１内には、受光装置１９が設けられている。
受光装置１９は、分光素子８５と、光学フィルター８７と、受光素子８９と、を有している。
分光素子８５は、余白領域７５に向けて照射された赤外光１８のうち、余白領域７５、ふた７９、開口部７７、及びふた８２を透過した赤外光１８の進路に設けられている。ふた８２を透過して開口部８１に入射した赤外光１８は、分光素子８５に照射される。分光素子８５は、照射された赤外光１８を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光９１に分光する。分光素子８５としては、例えば、プリズムや回折格子などの光学素子が採用され得る。
【００４９】
光学フィルター８７は、波長域ごとに分光された光９１の進路に設けられている。分光素子８５によって分光された光９１は、光学フィルター８７に照射される。
光学フィルター８７は、照射された光９１のうちの一部の波長域の光９２を透過させることができる光学素子である。光学フィルター８７としては、照射された光９１のうちの一部の波長域の光９２を除く光を吸収したり反射したりする光学的なフィルターや、光９１を透過させない膜に光９２を通過させるピンホールを形成したものなどが採用され得る。
受光素子８９は、光９２の進路に設けられている。受光素子８９は、光９２を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する。受光素子８９としては、例えば、フォトダイオードやフォトトランジスターなどが採用され得る。
【００５０】
本実施形態では、機能液５３を透過する光量が、機能液５３の硬化の程度に応じて変化する波長域の光９２が光９２として採用されている。
これにより、受光素子８９から出力された信号に基づいて、機能液５３の硬化の程度を把握することができる。
本実施形態では、余白領域７５に塗布された機能液５３の硬化の程度が把握され得る。まず、余白領域７５に塗布された機能液５３に向けて赤外光１８を照射する。機能液５３に照射された赤外光１８のうちで機能液５３を透過した赤外光１８は、ふた７９、開口部７７、ふた８２を経て分光素子８５に到達する。分光素子８５に到達した赤外光１８は、光９１に分光される。分光された光９１は、光学フィルター８７に照射される。光学フィルター８７は、光９１のうちの光９２を透過させる。光学フィルター８７を透過した光９２は、受光素子８９に到達する。受光素子８９は、受光した光９２の光量に応じた値の信号を出力する。そして、受光素子８９から出力された信号の値に基づいて、余白領域７５に塗布された機能液５３の硬化の程度が把握され得る。
【００５１】
液滴吐出装置１は、図５に示すように、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、入力装置１２９と、表示装置１３１と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００５２】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。
入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
なお、吐出ヘッド３３、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂも、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、照射装置１７及び受光素子８９も、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００５３】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含んでいる。メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、記録すべきパターンが示される記録データや、記録処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、吐出制御部１４５と、照射制御部１４７と、照射制御部１４９と、表示制御部１５１と、を有している。
【００５４】
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動とを、個別に制御する。
吐出制御部１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
照射制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、照射装置１５ａ及び照射装置１５ｂのそれぞれにおける光源４３の発光状態を個別に制御する。
照射制御部１４９は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、照射装置１７の光源７８の発光状態を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。
【００５５】
液滴吐出装置１における記録処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェイス１３３及びバス１１９を介して記録データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図６に示す記録処理が開始される。
ここで、記録データは、機能液５３（液状体）でワークＷに記録すべきパターンを指示するものであり、液滴５５で形成すべきドットがビットマップ状に表現されている。ワークＷに記録されるパターンは、液滴５５で形成される複数のドットの集合として表現される。ワークＷへのパターンの記録は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。
【００５６】
記録処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を描画エリアの往路開始位置に移動させる。
ここで、液滴吐出装置１では、描画エリアが設定されている。描画エリアは、図１に示すワークテーブル２５によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、吐出ヘッド３３によってＸ方向に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。
そして、往路開始位置は、キャリッジ７を往復移動させるときの往路が開始する位置である。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。本実施形態では、往路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱６５ａ側に位置している。
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを描画エリアに移動させる。
【００５７】
次いで、ステップＳ３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、本実施形態では、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向に描画エリアを挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、描画エリアをＸ方向に挟んで互いに対峙している。本実施形態では、復路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱６５ｂ側に位置している。
【００５８】
次いで、ステップＳ４において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ａに対する照射指令を照射制御部１４７（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４７は、照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ａの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における記録開始位置に到達したか否かを判定する。
ここで、記録開始位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が記録開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５９】
次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、記録データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での許可領域７３に対する記録が開始される。
次いで、ステップＳ７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が許可領域７３に対する記録停止位置に到達したか否かを判定する。
ここで、記録停止位置は、許可領域７３内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が記録停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００６０】
次いで、ステップＳ８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での許可領域７３に対する記録が終了する。
次いで、ステップＳ９において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が余白領域７５におけるテスト記録開始位置に到達したか否かを判定する。
ここで、テスト記録は、余白領域７５において、機能液５３の硬化の程度を把握するためのテストパターンを記録することである。そして、テスト記録開始位置は、余白領域７５内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
ステップＳ９において、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１０に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００６１】
次いで、ステップＳ１０において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、テスト記録データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での余白領域７５に対するテスト記録が開始される。
なお、テスト記録では、直前の往路での許可領域７３に対する記録における条件のうち、機能液５３の硬化に対して最も厳しい条件と同等の条件でテストパターンを記録する。機能液５３の硬化に対して厳しい条件としては、例えば、ノズル３７からの機能液５３の吐出量が他に比較して多い場合や、機能液５３の塗布密度が高い場合、キャリッジ７の移動速度が速い場合などが挙げられる。キャリッジ７の移動速度が速い場合には、機能液５３が受ける紫外光４１の光量（積算光量）が少なくなるので、硬化に対する条件が厳しくなる。
【００６２】
ステップＳ１０に次いで、ステップＳ１１において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が余白領域７５に対するテスト記録停止位置に到達したか否かを判定する。
ここで、テスト記録停止位置は、余白領域７５内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１２に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置がテスト記録停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００６３】
次いで、ステップＳ１２において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での余白領域７５に対するテスト記録が終了する。
次いで、ステップＳ１３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が退避位置に到達したか否かを判定する。
ここで、退避位置は、図２に示すように、キャリッジ７が支柱６５ａ側からＸ方向にワークＷをまたいで、ワークＷよりも支柱６５ｂ側に退避する位置である。この退避位置にキャリッジ７が退避することによって、赤外光１８の光路からキャリッジ７を退避させることができる。
【００６４】
ステップＳ１３において、キャリッジ７の位置が退避位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ１４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が退避位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が退避位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１４において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ停止指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の移動を停止させる。
次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ａに対する照射停止指令を照射制御部１４７（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４７は、照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ａの光源４３を消灯させる。
【００６５】
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１７に対する照射指令を照射制御部１４９（図５）に出力する。このとき、照射制御部１４９は、照射装置１７の光源７８の駆動を制御して、照射装置１７の光源７８を点灯させる。
次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ１１３は、図２に示す受光素子８９から出力される信号を受信し、受信した受光素子８９からの信号の値を光９２の光量データとして取得する。なお、光量データは、受光素子８９が受光した光９２の量に応じた大きさを示している。
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ１１３は、取得した光量データの合否判定を行う。ここでは、光量データが合格基準値を下回っているか否かを判定することによって、合否判定が行われる。本実施形態では、光量データが合格基準値を下回っていれば、合格の判定が行われる。他方で、光量データが合格基準値以上であるときには、不合格の判定が行われる。ステップＳ１８では、光量データが合格である（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２０に移行する。他方で、光量データが不合格である（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ１９に移行する。
【００６６】
ステップＳ１９では、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂに対する照射指令を照射制御部１４７（図５）に出力してから、処理をステップＳ２０に移行させる。このとき、ステップＳ１９では、照射制御部１４７は、照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ｂの光源４３を点灯させる。
ステップＳ２０では、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ駆動指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の復路の移動を開始させる。
次いで、ステップＳ２１において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２２に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００６７】
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ停止指令をモーター制御部１４１（図５）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の移動を停止させる。
次いで、ステップＳ２３において、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂの光源４３が点灯しているか否かを判定する。このとき、照射装置１５ｂの光源４３が点灯している（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、照射装置１５ｂの光源４３が点灯していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ２５に移行する。
ステップＳ２４では、ＣＰＵ１１３は、照射装置１５ｂに対する照射停止指令を照射制御部１４７（図５）に出力してから、処理をステップＳ２５に移行させる。このとき、ステップＳ２４では、照射制御部１４７は、照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、照射装置１５ｂの光源４３を消灯させる。
【００６８】
次いで、ステップＳ２５において、ＣＰＵ１１３は、記録データが終了したか否かを判定する。このとき、記録データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、記録処理が終了する。他方で、記録データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ２６に移行する。
ステップＳ２６では、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図５）に出力してから、処理をステップＳ３に移行させる。このとき、ステップＳ２６では、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを記録すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
上記により、ワークＷにおける記録が行われ得る。
【００６９】
本実施形態において、液滴吐出装置１が描画装置に対応し、キャリッジ搬送装置１１が変位装置に対応し、照射装置１７が光照射装置に対応し、分光素子８５が第１光学素子に対応し、光学フィルター８７が第２光学素子に対応し、照射装置１５が紫外光照射装置に対応し、テストパターンがパターンに対応している。
また、ステップＳ６及びステップＳ１０のそれぞれの処理が描画工程に対応している。また、ステップＳ３及びステップＳ４の処理、並びに、ステップＳ１９及びステップＳ２０の処理が硬化工程に対応している。また、ステップＳ１６、ステップＳ１７及びステップＳ１８の処理が判定工程に対応している。
【００７０】
本実施形態では、余白領域７５に記録されたテストパターンを透過した赤外光１８に含まれる一部の波長域の光９２の光量を検出することができる。これにより、機能液５３の硬化の程度を把握することができ、機能液５３の硬化の程度について合否を判定することができる。
本実施形態では、液滴吐出装置１に照射装置１７と受光装置１９とが設けられているので、記録（描画）の過程で、機能液５３の硬化の程度について合否を判定することができる。この結果、描画の品位を高めやすくすることができる。
本実施形態では、記録処理のステップＳ１８において、光量データの合否判定が行われる。このステップＳ１８において、光量データが不合格である、すなわち機能液５３の硬化の程度が不足していると判定されると、キャリッジ７の復路において、機能液５３に紫外光４１が照射される。これにより、機能液５３の硬化の程度を高めることができるので、描画の品位を高めやすくすることができる。
【００７１】
なお、本実施形態では、余白領域７５を、Ｘ方向においてワークＷの片側だけに設けた例が示されているが、ワークＷの構成は、これに限定されない。ワークＷの構成としては、Ｘ方向において、ワークＷの両側に余白領域７５を設けた構成も採用され得る。そして、これに合わせて、液滴吐出装置１の構成として、照射装置１７と受光装置１９とを、許可領域７３を挟んだ両側に設けた構成が採用され得る。この構成により、キャリッジ７の往路及び復路の双方において、許可領域７３に記録を行いやすくすることができるので、記録動作の効率化を図りやすくすることができる。
【００７２】
また、本実施形態では、液滴吐出装置１に１組の受光装置１９を設けた構成が示されているが、液滴吐出装置１の構成は、これに限定されない。液滴吐出装置１の構成としては、複数組の受光装置１９を設けた構成も採用され得る。
複数組の受光装置１９を設けた構成としては、例えば、図７に示すように、１つの余白領域７５に設定された複数のパターン領域９５のパターン領域９５ごとに受光装置１９を設けた構成が挙げられる。
そして、これら複数組の受光装置１９間で、光９２の波長域を異ならせることができる。このような構成は、例えば、複数の種類の機能液５３をワークＷに塗布することができる液滴吐出装置１に好適である。機能液５３の硬化の程度に応じて機能液５３を透過する光量が変化する波長域が、機能液５３の種類によって異なることが考えられる。このため、機能液５３の種類ごとに受光装置１９を設ける構成が好ましい。
なお、機能液５３の種類としては、例えば、機能液５３の色などが挙げられる。複数の色の機能液５３の色ごとに受光装置１９を設けることによって、異なる色の機能液５３間で硬化の程度に関する合否を正確に判定しやすくすることができる。
【符号の説明】
【００７３】
１…液滴吐出装置、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、１１…キャリッジ搬送装置、１５…照射装置、１５ａ…照射装置、１５ｂ…照射装置、１７…照射装置、１８…赤外光、１９…受光装置、２５…ワークテーブル、３３…吐出ヘッド、３５…ノズル面、３７…ノズル、４１…紫外光、４３…光源、５３…機能液、５５…液滴、７３…許可領域、７５…余白領域、７８…光源、８５…分光素子、８７…光学フィルター、８９…受光素子、９１…光、９２…光、１１１…制御部、１１３…ＣＰＵ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対向し、前記ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、
前記ワークに塗布された前記液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する光照射装置と、
前記光照射装置から前記パターンに向けて照射された前記光のうち前記パターンを透過した光の進路に設けられ、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する第１光学素子と、
分光された前記複数の波長域の光の進路に設けられ、前記複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる第２光学素子と、
前記第２光学素子を透過した前記一部の波長域の光の進路に設けられ、前記一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子と、を有する、
ことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、
前記ワークに塗布された前記液状体に向けて、前記紫外光を含む光を照射する紫外光照射装置を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記光照射装置は、赤外光を含む光を前記パターンに向けて照射し、
前記第１光学素子は、前記パターンを透過した光を、赤外域の波長域を含む前記複数の波長域の光に分光し、
前記第２光学素子は、前記一部の波長域の光として、前記赤外域の波長域の光を透過させ、
前記受光素子は、前記赤外域の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する、
ことを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項４】
前記変位装置は、
前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、
前記キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、
を有し、
前記紫外光照射装置は、前記キャリッジに設けられている、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の描画装置。
【請求項５】
前記受光素子から出力された前記信号に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する制御部を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項６】
ワークに液状体を塗布することによって、前記ワークに前記液状体でパターンを描画する描画工程と、
前記パターンを構成する前記液状体を硬化させる硬化工程と、
前記硬化工程の後に、前記パターンに光を照射し、照射した前記光のうち前記パターンを透過した光の量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する判定工程と、を有する、
ことを特徴とする描画方法。
【請求項７】
前記判定工程における判定結果が不合格であったときに、前記判定工程の後に、前記硬化工程を実施する、
ことを特徴とする請求項６に記載の描画方法。
【請求項８】
前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、
前記硬化工程では、前記液状体に前記紫外光を照射する、
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の描画方法。
【請求項９】
前記判定工程では、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なり、且つ赤外域の波長域を含む複数の波長域の光に分光し、分光した前記複数の波長域の光のうち赤外光の光量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する、
ことを特徴とする請求項８に記載の描画方法。
【請求項１】
ワークに対向し、前記ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、
前記ワークに塗布された前記液状体から形成されたパターンに向けて光を照射する光照射装置と、
前記光照射装置から前記パターンに向けて照射された前記光のうち前記パターンを透過した光の進路に設けられ、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光に分光する第１光学素子と、
分光された前記複数の波長域の光の進路に設けられ、前記複数の波長域の光のうちの一部の波長域の光を透過させる第２光学素子と、
前記第２光学素子を透過した前記一部の波長域の光の進路に設けられ、前記一部の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子と、を有する、
ことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、
前記ワークに塗布された前記液状体に向けて、前記紫外光を含む光を照射する紫外光照射装置を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記光照射装置は、赤外光を含む光を前記パターンに向けて照射し、
前記第１光学素子は、前記パターンを透過した光を、赤外域の波長域を含む前記複数の波長域の光に分光し、
前記第２光学素子は、前記一部の波長域の光として、前記赤外域の波長域の光を透過させ、
前記受光素子は、前記赤外域の波長域の光を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する、
ことを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項４】
前記変位装置は、
前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、
前記キャリッジを搬送するキャリッジ搬送装置と、
を有し、
前記紫外光照射装置は、前記キャリッジに設けられている、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の描画装置。
【請求項５】
前記受光素子から出力された前記信号に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する制御部を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項６】
ワークに液状体を塗布することによって、前記ワークに前記液状体でパターンを描画する描画工程と、
前記パターンを構成する前記液状体を硬化させる硬化工程と、
前記硬化工程の後に、前記パターンに光を照射し、照射した前記光のうち前記パターンを透過した光の量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する判定工程と、を有する、
ことを特徴とする描画方法。
【請求項７】
前記判定工程における判定結果が不合格であったときに、前記判定工程の後に、前記硬化工程を実施する、
ことを特徴とする請求項６に記載の描画方法。
【請求項８】
前記液状体は、紫外光の照射を受けることによって硬化する性質を有しており、
前記硬化工程では、前記液状体に前記紫外光を照射する、
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の描画方法。
【請求項９】
前記判定工程では、前記パターンを透過した光を、相互に波長域が異なり、且つ赤外域の波長域を含む複数の波長域の光に分光し、分光した前記複数の波長域の光のうち赤外光の光量に基づいて、前記パターンの硬化の程度について合否を判定する、
ことを特徴とする請求項８に記載の描画方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−６４９１８（Ｐ２０１３−６４９１８Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２０４２９０（Ｐ２０１１−２０４２９０）
【出願日】平成２３年９月２０日（２０１１．９．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２０日（２０１１．９．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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