搬送システム
【課題】搬送システムにおいて、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行う。
【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアを有する第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚と移載装置を有する。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断して配置される。これにより、保管庫内に対し各コンベアを通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。更に、この搬送システムでは、保管庫内に配置された１つの移載装置を用いて棚とコンベアとの間で被搬送物の授受を行う。これにより、保管庫の外部に配置された搬送装置と保管庫との間で被搬送物の授受を行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮化が図れ、保管庫と搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。
【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアを有する第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚と移載装置を有する。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断して配置される。これにより、保管庫内に対し各コンベアを通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。更に、この搬送システムでは、保管庫内に配置された１つの移載装置を用いて棚とコンベアとの間で被搬送物の授受を行う。これにより、保管庫の外部に配置された搬送装置と保管庫との間で被搬送物の授受を行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮化が図れ、保管庫と搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送するコンベアと、コンベアより搬送されてきた被搬送物を一時的に保管する保管庫とを備える搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工場や液晶表示パネル製造工場等では、製造プロセスに従って、製造過程の被搬送物を搬送システムにより搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物が挙げられる。また、搬送手段としては、例えば、搬送コンベア、ＯＨＴ（Over head Hoist Transport）、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）等が挙げられる。
【０００３】
このような搬送システムは、大型の保管庫（一般に「ストッカ」とも呼称される）と組み合わせて用いられることがある（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
この特許文献１には、自動倉庫及びコンベア方式の入出庫ステーションなどを用いた自動倉庫における物品入出庫方法が記載されている。この自動倉庫は、多数の物品Ｗを収容することが可能な一対の物品保管棚と、物品保管棚に沿って往復移動するスタッカクレーンなどを備えている。そして、入出庫ステーションは、物品保管棚の長手方向の一方の端部を臨むように設置されている。また、入出庫ステーションは、自動倉庫における物品Ｗの出入口であり、物品保管棚から出庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンから積み降ろす場所となっているほか、入庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンへ積み込む場所ともなっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２３８３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの観点では、搬送システムは、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚を有する保管庫と、を備え、前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置と前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備える。
【０００８】
上記の搬送システムは、搬送装置と保管庫とを備える。搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する。例えば、搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を、一方向又は当該一方向とは逆方向、つまり双方向に向けて搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板等を収容するＦＯＵＰなどが挙げられる。保管庫は、被搬送物を保管又は載置する少なくとも１つの棚を有する。
【０００９】
特に、この搬送システムでは、搬送装置は保管庫内を横断又は貫通するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。
【００１０】
更に、この搬送システムでは、保管庫は、当該保管庫内において搬送装置と棚との間で被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備える。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の授受又は受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間を短縮することができ、保管庫と搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。加えて、この搬送システムでは、保管庫内に配置された１つの移載装置を用いて、棚と搬送装置との間で被搬送物の授受を行う。よって、例えば、保管庫内に少なくとも２つの移載装置を用いて、保管庫と搬送装置との間で被搬送物の授受を行う構成と比較して、保管庫内に設ける移載装置の数が少ない分、保管庫のコストを下げることができる。
【００１１】
上記の搬送システムの一つの態様では、移載装置は、保管庫内へ被搬送物を入庫する場合、保管庫内において搬送装置より被搬送物を受け取って、受け取った被搬送物を棚に受け渡す。これにより、保管庫内に被搬送物を円滑に入庫することが可能となる。
【００１２】
上記の搬送システムの他の態様では、移載装置は、保管庫内から被搬送物を出庫する場合、棚から受け取った被搬送物を搬送装置に受け渡す。これにより、保管庫内から搬送装置に対して被搬送物を円滑に出庫することが可能となる。
【００１３】
上記の搬送システムの他の態様では、搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つのコンベアの少なくとも一部が配置されている。
【００１４】
上記の搬送システムの他の態様では、コンベアの各々は、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有する。
【００１５】
上記の搬送システムの他の態様では、移載装置は、保管庫の高さ方向及び当該高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、昇降機構に支持され、棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平移動機構と、水平移動機構に支持され、被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、被搬送物保持部は、水平移動機構の位置から下方に向かって延在する支持部と、支持部の水平移動機構側とは逆側の端部から当該被搬送物の搬送方向又は当該被搬送物の搬送方向とは逆方向に屈曲して延在し、被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有する。
【００１６】
上記の搬送システムの他の態様では、支持部の前記被搬送物の搬送方向の厚さは、前記隣接する２つのコンベアの間における当該被搬送物の搬送方向の間隙の幅より小さく、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ当該被搬送物の搬送方向と直交する方向における被搬送物載置部の幅は、前記一対のコンベアユニットの間隔より小さい。
【００１７】
好適な例では、前記移載装置と前記搬送装置との間で前記被搬送物の授受を行う場合、前記被搬送物載置部は、前記昇降機構及び前記水平移動機構を通じて、前記保管庫内の前記被搬送物が載置された前記コンベアより下方の位置に且つ当該コンベアを構成する前記一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されると共に、前記支持部は、前記被搬送物載置部に対応する位置であって且つ前記間隙に対応する位置に配置される。
【００１８】
これにより、移載装置は、水平移動機構により、支持部を保管庫内において前記隣接する２つのコンベアの間における、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向の間隙を、保管庫の内側からコンベア側へ、或いはコンベア側から保管庫の内側へ通過させることができる。また、これにより、移載装置は、昇降機構により、保管庫内のコンベアを構成する一対のコンベアユニットの間の領域を通じて、被搬送物載置部をコンベアの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部による昇降動作及び水平移動動作により、移載装置と搬送装置のコンベアとの間で被搬送物の移し替えを容易に行うことができる。
【００１９】
上記の搬送システムの他の態様では、前記搬送装置は、前記保管庫内に複数設けられ、前記搬送装置の各々は前記保管庫内を横断するように配置される。
【００２０】
この構成によれば、保管庫内に一つの移載装置を有する構成と比較して、保管庫内に設ける移載装置の数を増加させている分、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００２２】
[搬送システム]
まず、図１乃至図４を参照して、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の構成について説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の外観構成を模式的に示す斜視図である。図２は、搬送システム１００の高さ方向に沿った一断面図を示す。図３（ａ）は、棚１２と被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図３（ｂ）は、被搬送物載置部１３ｃｂと被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図４（ａ）は、図２の切断線Ａ−Ａ’に沿った保管庫１０の平面構成を示し、特に、第１の搬送装置３０より搬送されてきた被搬送物３を、移載装置１３によって保管庫１０内へ入庫する動作の一例を説明する図である。図４（ｂ）は、図２の切断線Ｂ−Ｂ’に沿った保管庫１０の平面構成を示し、特に、第２の搬送装置２０より搬送されてきた被搬送物３を、移載装置１３によって保管庫１０内へ入庫する動作の一例を説明する図である。
【００２４】
搬送システム１００は、半導体製造工場や液晶製造工場等に設置され、保管庫１０と、第１の搬送装置３０と、第２の搬送装置２０と、コントローラ４０と、を備える。この搬送システム１００では、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０により、保管庫１０等に対して被収容物（図示略）を収容する被搬送物３を搬送する。
【００２５】
ここで、被収容物としては、例えば、半導体ウェーハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の各種の基板が挙げられる。また、被搬送物３としては、例えばＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）などが挙げられる。本例では、被搬送物３は、図３に示すように、その上面側に設けられた板状のフランジ部４と、その底面に設けられた複数の凹部５及び６と、を有する。フランジ部４は、後述する搬送車２の把持部２ｂにより把持される部位である。各凹部５は、図３に示すように、棚１２に被搬送物３を載置した場合に、棚１２に設けられた凸部１２ａｂと嵌合する部位である。各凹部６は、図３に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂに被搬送物３を載置した場合に、被搬送物載置部１３ｃｂに設けられた各凸部１３ｃｃと嵌合する部位である。
【００２６】
（保管庫の構成）
まず、保管庫１０の構成は次の通りである。
【００２７】
保管庫１０は、図示しない床の上に設置され、コントローラ４０による入出庫指示に従って、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０によって搬送されてきた被搬送物３を一時的に保管する役割を果たす。
【００２８】
具体的に、保管庫１０は、筺体１１と、少なくとも１つ（本例では複数）の棚１２と、１つの移載装置１３と、を備える。
【００２９】
筺体１１は、アルミニウムなどの金属素材等により形成される。筐体１１は、４つの側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ）と、当該４つの側面に隣接すると共に床側に位置する底面１１ｅと、底面１１ｅと対向する上面１１ｆとを含む箱状の形状を有し、複数の棚１２、及び移載装置１３を夫々収容している。ここで、側面１１ａは、相互に対向する側面１１ｂ及び１１ｄに隣接していると共に側面１１ｃに対向している。
【００３０】
また、筐体１１は、開口１１ｇ、１１ｈ、１１ｉを有する。開口１１ｇは、筐体１１の側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）及び上面１１ｆの一部を切り欠いて形成される。開口１１ｇは、後述する搬送車２と、入出庫用ポートとして機能する棚（保管庫１０内において開口１１ｇに位置する最上段の棚）１２ｐとの間で被搬送物３の授受を行うために利用される。開口１１ｈ、１１ｉは、後述するコンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために用いられる。本例では、開口１１ｈは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに設けられると共に、開口１１ｉは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に設けられる。但し、本発明では、コンベア２０ｚ及びコンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するための開口の位置は、筐体１１において、上記した位置に限定されるものではない。
【００３１】
複数の棚１２は、筐体１１内に配置され、被搬送物３を一時的に載置及び保管する役割を有する。本例では、筐体１１の高さ方向に一列状に配置された一群の棚１２が、側面１１ａ及び１１ｃの側に夫々配置されており、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２と、側面１１ｃ側に配置された一群の棚１２とは相互に対向する位置に配置されている。そして、側面１１ａ及び１１ｃの側に夫々配置された一群の棚１２において、保管庫１０の高さ方向に隣り合う棚１２同士の距離は、少なくとも被搬送物３の高さｄ６（図６（ａ）を参照）以上とされる。
【００３２】
また、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２のうち最下段に位置する棚１２と、コンベア２０ｚとの間には、少なくとも１つ分の棚１２が意図的に取り除かれている。この理由は、後述するように移載装置１３が第２の搬送装置３０から被搬送物３を受け取って、その後、保管庫１０の高さ方向へ移動する際に、棚１２によって移載装置１３の移動が妨げられないようにするためである。また、側面１１ｃ側において、コンベア２０ｚに隣接する位置には、棚１２が設けられていない。この理由は、後述するように移載装置１３が第２の搬送装置３０から被搬送物３を受け取って、その後、移載装置１３が側面１１ｃ側に水平移動する際に、棚１２によって移載装置１３の移動が妨げられないようにするためである。
【００３３】
各棚１２は、Ｕ字状又はコの字状の平面形状を有する。各棚１２の上面１２ａには、図３に示すように、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合する複数の凸部１２ａｂが形成されている。各凸部１２ａｂは、各棚１２の上面１２ａに保管用の被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、各棚１２に対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。
【００３４】
また、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２のうち、最上段の棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚であり、以下、「棚１２ｐ」と称する）は、開口１１ｇを通じて搬送車２との間で被搬送物３の授受を行うための入出庫用ポートとして機能する。
【００３５】
移載装置１３は、コントローラ４０による入出庫指示に従い、複数の棚１２及び後述する第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の授受又は受け渡しを行う。具体的には、移載装置１３は、コントローラ４０による入庫指示に従い、保管庫１０内に位置するコンベア２０ａ（図４（ｂ）を参照）より受け取った被搬送物３を、複数の棚１２のうち入庫用の指定の棚１２に載置する役割を有する。一方、移載装置１３は、コントローラ４０による出庫指示に従い、複数の棚１２のうち出庫用の指定の棚１２より取り出した被搬送物３を、保管庫１０内に位置するコンベア２０ａ上へ載置する（受け渡す）役割を有する。なお、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３は、その後、各種の製造装置等に向けて搬送される。
【００３６】
移載装置１３は、昇降機構１３ａと、水平移動機構１３ｂと、被搬送物保持部１３ｃと、を備え、筐体１１の側面１１ｂ側に配置される。
【００３７】
昇降機構１３ａは、保管庫１０の高さ方向（図２の矢印Ｙ４２方向）及び当該高さ方向とは逆方向（図２の矢印Ｙ４１方向）に昇降可能に構成される。例えば、昇降機構１３ａは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向に延在する案内部１３ａｂに沿って昇降する。なお、本例では、案内部１３ａｂは筐体１１内の側面１１ｂに取り付けられている。
【００３８】
水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａに支持され、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つ棚１２と平行な水平面上をコンベア２０ｚの配列方向（図１及び図４等の矢印Ｙ２方向）と直交する方向（図２及び図４等の矢印Ｙ３方向）に往復移動可能に構成される。例えば、水平移動機構１３ｂは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向に延在する案内部１３ｂａに沿って往復移動する。水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降する。
【００３９】
被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂに支持され、被搬送物３を保持する。被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂに支持される支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有する。被搬送物保持部１３ｃは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降すると共に、水平移動機構１３ｂの駆動により、案内部１３ｂａに沿って往復移動する。
【００４０】
支持部１３ｃａは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在している。コンベア２０ｚの配列方向における支持部１３ｃａの厚さｄ３は、後述する保管庫１０内において隣接する２つのコンベア（２０ａ、２０ｂ）の間における間隙５１の幅（コンベア２０ｚの配列方向の幅）ｄ４より小さい。
【００４１】
被搬送物載置部１３ｃｂは、被搬送物３を載置する長板状部材である。被搬送物載置部１３ｃｂの上面には、図３乃至図５等に示すように、被搬送物３の底面に形成された複数の凹部６と嵌合する複数の凸部１３ｃｃが形成されている。各凸部１３ｃｃは、被搬送物載置部１３ｃｂ上に被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃｂに対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。また、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向における被搬送物載置部１３ｃｂの幅ｄ１は、後述する保管庫１０内におけるコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２０、２１）の間隔ｄ５より小さい。
【００４２】
（第１の搬送装置の構成）
次に、第１の搬送装置３０の構成は次の通りである。
【００４３】
第１の搬送装置３０は、軌道（レール）１と、搬送車２と、を備える。
【００４４】
軌道１は、例えば保管庫１０が配置される天井（図示しない）に懸垂される。軌道１の一部は、保管庫１０の上方において、その開口１１ｇを横断する位置に配置される。
【００４５】
搬送車２としては、例えばＯＨＴ（Over head Hoist Transport）が挙げられる。搬送車２は、例えばリニアモータなどの駆動方式により軌道１に沿って保管庫１０を横断する方向（図１の矢印Ｙ１方向）に走行する。搬送車２は、被搬送物３を保管庫１０に向けて搬送するのに加えて、各種処理装置、各種製造装置、或いは各種検査装置等に向けて搬送する。
【００４６】
具体的に、搬送車２は、被搬送物３を収容する収容部２ａと、被搬送物３を把持又は開放する把持部２ｂと、把持部２ｂを昇降する昇降機構（図示略）と、を備える。この搬送車２においては、把持部２ｂによって被搬送物３のフランジ部４を把持した状態で、昇降機構を通じて把持部２ｂを昇降させることにより、被搬送物３の昇降を行う。
【００４７】
本例では、搬送車２は、コントローラ４０からの入庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置（入庫）する。一方、搬送車２は、コントローラ３からの出庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置された出庫待ちの被搬送物３を受け取る。
【００４８】
なお、本例では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向は、後述する第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向に対して逆方向になっている。しかし、かかる構成は一例であり、本発明では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向と、第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向とは同一の方向であっても構わない。
【００４９】
（第２の搬送装置の構成）
次に、第２の搬送装置２０の構成は次の通りである。
【００５０】
第２の搬送装置２０は、保管庫１０を横断する方向（本例では図１及び図４（ｂ）等の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備える。各コンベア２０ｚは、一対のコンベアユニット（２１、２２）を有して構成される。コンベアユニット２１と、コンベアユニット２２とは、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つ各コンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）と直交する方向に一定の間隔ｄ５をあけて配置されている。
【００５１】
本例では、コンベアユニット２１及び２２としては、図１に示すように、複数のローラ（回転部材）２１ａ、２２ａと、複数のローラ２１ａ、２２ａに巻かれたベルト２１ｂ、２２ｂと、を有するベルト駆動方式のコンベアを採用している。また、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２１の間には一定の幅ｄ４を有する間隙５１が形成されていると共に、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２２の間にも一定の幅ｄ４を有する間隙５１が形成されている。
【００５２】
複数のコンベア２０ｚのうち、少なくとも２つのコンベア２０ｚの少なくとも一部は、開口１１ｈ、１１ｉを通じて保管庫１０内に配置される。本例では、図４（ｂ）に示すように、複数のコンベア２０ｚのうち、コンベア２０ａは保管庫１０内に配置され、また、コンベア２０ｂは、保管庫１０の外部から内部にかけて開口１１ｈを跨るように配置され、また、コンベア２０ｃは、保管庫１０の内部から外部にかけて開口１１ｉを跨るように配置されている。但し、本発明では、保管庫１０内に配置されるコンベア２０ｚの数に限定はない。
【００５３】
（コントローラの構成）
次に、コントローラ４０の構成は次の通りである。
【００５４】
コントローラ４０は、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）や、図示しないＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等に代表されるメモリなどを備え、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対する各種の制御を行う。例えば、コントローラ４０は、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対して被搬送物３の搬送及び入出庫などの指示を出したりする。
【００５５】
［保管庫システムの動作］
（第１の搬送装置と保管庫との間における被搬送物の搬送動作）
次に、第１の搬送装置３０と保管庫１０との間における搬送動作（入出庫動作）の一例について簡単に説明する。なお、以下では、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐから、当該棚１２ｐに対し同段の位置にある棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）へ被搬送物３を入庫する動作を一例にとり説明する。
【００５６】
まず、軌道１に沿って走行する搬送車２は、コントローラ４０による入庫指示を受けると、図２に示すように、保管庫１０の開口１１ｇの真上の位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置する。ここで、図３（ａ）には、被搬送物３が棚１２ｐ上に載置された状態が示されている。このとき、棚１２ｐ上に形成された各凸部１２ａｂは、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、当該棚１２に対する被搬送物３の移動が規制される。
【００５７】
次に、保管庫１０内の移載装置１３は、棚１２ｐ上に載置された被搬送物３を、棚１２ｐに対して同段に位置するもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。この場合、まず、移載装置１３は、図３（ａ）の矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂをＵ字状又はコの字状の平面形状を有する棚１２ｐの間隙部分（間隙の幅ｄ２＞ｄ１）を通過するように上昇させ、被搬送物３を棚１２ｐから被搬送物載置部１３ｃｂへ移し替える。このとき、被搬送物載置部１３ｃｂ上に形成された各凸部１３ｃｃは、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃｂに対する被搬送物３の移動が規制される。かかる状態が図３（ｂ）に示されている。
【００５８】
次に、移載装置１３は、昇降機構１３ａによる昇降動作及び水平移動機構１３ｂによる水平移動動作を通じて、図４（ａ）の各矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂ上に移し替えられた被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐと、その棚１２ｐに対して同段に位置するもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。こうして、保管庫１０内への被搬送物１３の入庫作業が完了する。なお、図２の領域Ｐ２に位置する棚１２に載置された被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐを通じて第１の搬送装置３０に向けて出庫するには、上記した入庫方法と逆の搬送動作を行うことにより実現できる。
【００５９】
（第２の搬送装置と保管庫との間における被搬送物の搬送動作）
次に、図２、図４（ｂ）、図５及び図６等を参照して、第２の搬送装置２０と保管庫１０との間における搬送動作（入出庫動作）の一例について説明する。
【００６０】
図５（ａ）及び（ｂ）、並びに図６（ａ）及び（ｂ）は、第２の搬送装置２０及び移載装置１３を模式的に示す要部斜視図を示し、特に、第２の搬送装置２０と移載装置１３との連携による保管庫１０内への被搬送物３の入出庫方法を説明する図である。なお、図５及び図６に示す、コンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、図４（ｂ）に示すコンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対応している。また、図５及び図６では、筐体１１などの図示を省略し、説明に必要な最小限の要素のみ図示している。
【００６１】
まず、第２の搬送装置２０による被搬送物３の入庫動作は次の通りである。
【００６２】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の入庫指示を出す。これに伴って、まず、移載装置１３は、図２及び図５（ａ）において、図中矢印Ｙ４１に示すように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ａｂに沿って下降させて、被搬送物載置部１３ｃｂをコンベア２０ｚより下方の位置に配置する。
【００６３】
次に、移載装置１３は、図２、図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ｂａに沿ってコンベア２０ｚの方向（矢印Ｙ３１方向）に水平移動させて、被搬送物保持部１３ｃをコンベア２０ｚに対して所定の位置に配置する。具体的には、この場合、移載装置１３は、支持部１３ｃａを、相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１を、保管庫１０の内側からコンベア２０ｚ側に向けて通過させて、被搬送物載置部１３ｃｂを保管庫１０内の被搬送物３が載置されたコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域の真下に対応する位置に配置すると共に、支持部１３ｃａを当該被搬送物載置部１３ｃｂに対応する位置であって且つ当該間隙５１に対応する位置に配置する。
【００６４】
一方、第２の搬送装置２０の複数のコンベア２０ｚは、コントローラ４０からの被搬送物３の入庫指示に従い、被搬送物３を保管庫１０内に向けて搬送する。このとき、複数のコンベア２０ｚは、被搬送物３を保管庫１０側（矢印Ｙ２方向）に搬送して、さらに被搬送物３を筐体１１の開口１１ｈを通過させて保管庫１０内に進入させ、さらに被搬送物３をコンベア２０ａの位置まで到達させた段階で、コンベア２０ａの駆動を停止する。これにより、被搬送物３はコンベア２０ａ上で待機した状態となる。
【００６５】
次に、移載装置１３は、保管庫１０内において、コンベア２０ａ上で待機している被搬送物３を受け取る。具体的には、移載装置１３は、図６（ａ）に示すように、昇降機構１３ａを通じて、上記した状態から被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ａｂに沿って保管庫１０の高さ方向（図２及び図６（ａ）の矢印Ｙ４２方向）に上昇させ、被搬送物３をコンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂ上に移し替える。
【００６６】
このとき、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃの下部（又は下面）を、コンベア２０ａ上において被搬送物３を通過できる位置までは上昇させない。即ち、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃを矢印Ｙ４２方向に少しだけ持ち上げた状態とし、コンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂの下部までの高さが被搬送物３の高さｄ６より高くなる位置までは被搬送物載置部１３ｃｂを上昇させない。
【００６７】
次に、移載装置１３は、図２及び図６（ｂ）に示すように、被搬送物保持部１３ｃを矢印Ｙ４２方向に少しだけ持ち上げた状態で、当該被搬送物保持部１３ｃを水平移動機構１３ｂにより案内部１３ｂａに沿ってコンベア２０ｚの方向とは逆方向（矢印Ｙ３２方向）に水平移動させる。このとき、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃを保管庫１０の中央位置まで水平移動させることが好ましい。次に、移載装置１３は、図２及び図６（ｂ）に示すように、被搬送物保持部１３ｃを昇降機構１３ａにより案内部１３ａｂに沿って昇降させて、当該被搬送物３を複数の棚１２のうち指定された棚１２上に載置（保管）すると共に、第２の搬送装置２０は複数のコンベア２０ｚの駆動を再開する。この理由は、複数のコンベア２０ｚを通じて保管庫１０の上流側から搬送されてくる、入庫の必要のない被搬送物３を、当該保管庫１０の下流側に通過させて、被搬送物３の搬送を円滑にするためである。こうして、保管庫１０内への被搬送物３の入庫動作が完了する。
【００６８】
次に、移載装置１３による第２の搬送装置２０への被搬送物３の出庫動作は、次の通りである。
【００６９】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の出庫指示を出す。これに伴って、まず、移載装置１３の被搬送物載置部１３ｃｂは、昇降機構１３ａ及び水平移動機構１３ｂを通じて、複数の棚１２のうち指定の棚１２から出庫用の被搬送物３を受け取る。
【００７０】
次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚの駆動を一時的に停止させる。次に、移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃｂがコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域と平面的に重なるように、且つ、支持部１３ｃａが相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１に対応する位置に配置されるように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物保持部１３ｃを水平移動させる。
【００７１】
次に、移載装置１３は、その状態から被搬送物載置部１３ｃｂがコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域の真下に位置するように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物保持部１３ｃを下降させる。これにより、被搬送物載置部１３ｃｂ上に載置された被搬送物３がコンベア２０ａ上へ移し替えられる（図示略）。
【００７２】
次に、移載装置１３は、水平移動機構１３ｂを通じて、支持部１３ｃａを相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１をコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側（矢印Ｙ３２方向）に向けて通過させつつ、被搬送物保持部１３ｃをコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側に向けて水平移動（退避）させる。次に、移載装置１３は、コンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂの下部までの高さが被搬送物３の高さｄ６よりも高くなる位置まで被搬送物載置部１３ｃｂを上昇させる。次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚの駆動を再開する。こうして、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３が、保管庫１０の下流側に向けて搬送され、保管庫１０内からの被搬送物３の出庫動作が完了する。
【００７３】
次に、この搬送システム１００の特徴的な点について説明する。
【００７４】
この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚは保管庫１０内を横断するように配置されている。これにより、保管庫１０内に対して、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚを通じて被搬送物３を直接的に搬送することが可能となる。
【００７５】
更に、保管庫１０は、当該保管庫１０内において第２の搬送装置２０のコンベア２０ａと棚１２との間で被搬送物３の授受を行う１つの移載装置１３を備えている。
【００７６】
これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物３の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫１０内への被搬送物３の入出庫時間を短縮することが可能となり、保管庫１０と第２の搬送装置２０との間において被搬送物３の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。加えて、この搬送システム１００では、保管庫１０内に配置された１つの移載装置１３を用いて、棚１２と第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の入出庫を行う。よって、例えば、保管庫１０内に少なくとも２つの移載装置を用いて、保管庫１０と第２の搬送装置２０との間で被搬送物３の入出庫を行う構成と比較して、保管庫１０内に設ける移載装置の数が少ない分、保管庫１０のコストを下げることができる。
【００７７】
また、この搬送システム１００では、移載装置１３は、保管庫１０内へ被搬送物３を入庫する場合、保管庫１０内において第２の搬送装置２０のコンベア２０ａより被搬送物３を受け取って、受け取った被搬送物３を複数の棚１２のうち指定された棚１２上に載置又は受け渡す。これにより、保管庫１０内に被搬送物３を円滑に入庫することが可能となる。
【００７８】
また、この搬送システム１００では、移載装置１３は、保管庫１０内から被搬送物３を出庫する場合、複数の棚１２のうち指定された棚１２から受け取った被搬送物３を第２の搬送装置２０のコンベア２０ａ上に載置又は受け渡す。これにより、保管庫１０内から第２の搬送装置２０に対して被搬送物３を円滑に出庫することが可能となる。
【００７９】
また、この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０は、保管庫１０内を横断する方向（本例では図１等の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備え、保管庫１０内には、相互に間隙５１をあけて隣接する２つのコンベア２０ｚ（本例ではコンベア２０ａ、２０ｂ）の少なくとも一部が配置されている。また、各コンベア２０ｚは、保管庫１０の高さ方向（図２等の矢印Ｙ４２方向）と直交する方向であって、且つ保管庫１０を横断する方向（コンベア２０ｚの配列方向）と直交する方向に間隔ｄ５をあけて配置された一対のコンベアユニット（２１、２２）を有する。また、コンベア２０ｚの配列方向における支持部１３ｃａの厚さｄ３は、保管庫１０内において隣接する２つのコンベア（２０ａ、２０ｂ）の間における間隙５１の幅（コンベア２０ｚの配列方向の幅）ｄ４より小さく、また、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向における被搬送物載置部１３ｃｂの幅ｄ１は、保管庫１０内におけるコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２０、２１）の間隔ｄ５より小さい。
【００８０】
これにより、移載装置１３は、水平移動機構１３ｂにより、支持部１３ｃａを保管庫１０内において隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間隙５１を、保管庫１０の内側からコンベア２０ｚ側へ、或いはコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側へ通過させることができる。加えて、移載装置１３は、昇降機構１３ａにより、保管庫１０内のコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域を通じて、被搬送物載置部１３ｃｂをコンベア２０ｚの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部１３ｃによる昇降動作及び水平移動動作により、移載装置１３と第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の移し替えを容易に行うことができる。
【００８１】
[変形例]
本発明では、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形をすることが可能である。
【００８２】
図７は、図１に対応する、変形例に係る搬送システム１００ａの外観構成を模式的に示す斜視図である。
【００８３】
変形例に係る搬送システム１００ａと、上記した実施形態に係る搬送システム１００とを比較した場合、その両者は、筐体１１の構成が若干異なり、それ以外は同様である。
【００８４】
即ち、上記した実施形態に係る搬送システム１００では、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに開口１１ｈを設けると共に、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に開口１１ｉを設けるようにした。
【００８５】
この点、変形例に係る搬送システム１００ａでは、筐体１１ｗにそのような開口１１ｈ、１１ｉを設けるのではなく、筐体１１ｗには、その底面１１ｅ側において、側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）の一部を切り欠いて形成される開放部１１ｖを設けるようにしている。 これにより、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置することが可能となり、上記した本実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。
【００８６】
また、上記の実施形態及び変形例に係る搬送システム１００、１００ａでは、第２の搬送装置２０は、保管庫１０内を横断するように１つだけ設けられていた。これに限らず、本発明では、搬送システム１００、１００ａにおいて、第２の搬送装置２０を、保管庫１０内を横断するように複数設けることとしても構わない。その一例について図８を参照して説明する。
【００８７】
図８は、図２に対応する、他の変形例に係る搬送システム１００ｂの高さ方向に沿った一断面図を示す。
【００８８】
この搬送システム１００ｂでは、上記した搬送システム１００、１００ａと同様に、筐体１１ｇの側面１１ｅ側であって、且つ側面１１ａに設けられた開口１１ｈ及び側面１１ｄに設けられた開口１１ｉを通じて保管庫１０内を横断する位置に対して、１つの第２の搬送装置２０が設けられているのに加え、筐体１１ｇの側面１１ｆ側であって、且つ入出庫ポートとして機能する棚１２ｐに対して隣接する位置に対して、保管庫１０内を横断するように、更にもう１つの第２の搬送装置２０（以下、「第２の搬送装置２０ｇ」と称する）が設けられている。
【００８９】
なお、筐体１１ｇは、側面１１ｆ側であって、且つ側面１１ａに対応する位置に開口１１ｊを有すると共に、側面１１ｆ側であって、且つ側面１１ｄに対応する位置に且つ開口１１ｊに対応する位置に開口（図示略）を有し、第２の搬送装置２０ｇは、開口１１ｊ及び当該開口１１ｊに対応する位置に設けられた開口を横断するように設けられる。よって、保管庫１０に対して、第２の搬送装置２０ｇと第２の搬送装置２０とは平行に配置されている。
【００９０】
この構成によれば、移載装置１３は、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に位置する複数の棚１２のうち指定された棚１２と第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になると共に、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に位置する複数の棚１２のうち指定された棚１２と第２の搬送装置２０との間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能となる。これにより、上記した本実施形態等と比べて、保管庫１０内の指定の棚１２と第２の搬送装置との間における被搬送物３の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００９１】
また、本発明では、搬送システム１００、１００ａ、１００ｂにおいて、保管庫１０内に２つの移載装置１３を設けることとしても構わない。例えば、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置、及び、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に対して、それぞれ移載装置１３を設けることができる。これによれば、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置に配置された移載装置１３により、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置に配置された棚１２と、第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になると共に、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に配置された移載装置１３により、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に配置された棚１２と、第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になる。かかる構成により、保管庫１０内に対する移載装置の数の増加に伴って保管庫１０のコストは増加するものの、被搬送物３の入出庫時間の短縮化をより図ることが可能となる。
【００９２】
また、本発明では、搬送システム１００ｇにおいて、第２の搬送装置２０ｇを設けるのではなく、筐体１１の側面１１ｂ、１１ｄのうち少なくとも何れかの側面と平行な位置に且つ保管庫１０内を横断する位置に対して第２の搬送装置（以下、「第２の搬送装置２０ｈ（図示略）」と称する）を設けることとしても構わない。但し、この構成の場合には、保管庫１０内において、上記した移載装置１３のほかに、第２の搬送装置２０ｈ（図示略）と移載装置１３との間で被搬送物３の授受を行うための他の移載装置を設けることが必要となる。この構成によれば、他の移載装置を設ける分だけ、保管庫１０自体のコストは増加するものの、保管庫１０と第２の搬送装置２０及び２０ｈとの間における被搬送物３の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００９３】
また、上記の実施形態及び変形例等では、移載装置１３は筐体１１の側面１１ｂ側に配置され、移載装置１３の被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在する支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有して構成されていた。これに限らず、本発明では、移載装置１３は筐体１１の側面１１ｄ側に配置され、移載装置１３の被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在する支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）とは逆方向に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有して構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【図２】本実施形態に係る搬送システムの高さ方向に沿った一断面図。
【図３】棚又は移載装置の被搬送物載置部と被搬送物との係合状態を示す断面図。
【図４】図２の切断線Ａ−Ａ’及びＢ−Ｂ’に沿った保管庫の各断面図。
【図５】第２の搬送装置と移載装置との連携による被搬送物の保管庫内への入出庫方法を説明する各要部斜視図。
【図６】第２の搬送装置と移載装置との連携による被搬送物の保管庫内への入出庫方法を説明する各要部斜視図。
【図７】本発明の変形例に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【図８】本発明の他の変形例に係る搬送システムの高さ方向に沿った一断面図。
【符号の説明】
【００９５】
１ 軌道、 ２ 搬送車、 ３ 被搬送物、 １０ 保管庫、 １１、１１ｗ、１１ｇ 筐体、 １１ｈ、１１ｉ、１１ｊ 開口、 １１ｖ 開放部、 １２ 棚、 １３ 移載装置、 １３ａ 昇降機構、 １３ｂ 水平移動機構、 １３ｃ 被搬送物保持部、 １３ｃａ 支持部、 １３ｃｂ 被搬送物載置部、 ２０、２０ｇ 第２の搬送装置、 ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｚ コンベア、 ２１、２２ コンベアユニット、 ３０ 第１の搬送装置、 ４０ コントローラ、 １００、１００ａ、１００ｂ 搬送システム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送するコンベアと、コンベアより搬送されてきた被搬送物を一時的に保管する保管庫とを備える搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工場や液晶表示パネル製造工場等では、製造プロセスに従って、製造過程の被搬送物を搬送システムにより搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物が挙げられる。また、搬送手段としては、例えば、搬送コンベア、ＯＨＴ（Over head Hoist Transport）、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）等が挙げられる。
【０００３】
このような搬送システムは、大型の保管庫（一般に「ストッカ」とも呼称される）と組み合わせて用いられることがある（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
この特許文献１には、自動倉庫及びコンベア方式の入出庫ステーションなどを用いた自動倉庫における物品入出庫方法が記載されている。この自動倉庫は、多数の物品Ｗを収容することが可能な一対の物品保管棚と、物品保管棚に沿って往復移動するスタッカクレーンなどを備えている。そして、入出庫ステーションは、物品保管棚の長手方向の一方の端部を臨むように設置されている。また、入出庫ステーションは、自動倉庫における物品Ｗの出入口であり、物品保管棚から出庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンから積み降ろす場所となっているほか、入庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンへ積み込む場所ともなっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２３８３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの観点では、搬送システムは、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚を有する保管庫と、を備え、前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置と前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備える。
【０００８】
上記の搬送システムは、搬送装置と保管庫とを備える。搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する。例えば、搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を、一方向又は当該一方向とは逆方向、つまり双方向に向けて搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板等を収容するＦＯＵＰなどが挙げられる。保管庫は、被搬送物を保管又は載置する少なくとも１つの棚を有する。
【０００９】
特に、この搬送システムでは、搬送装置は保管庫内を横断又は貫通するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。
【００１０】
更に、この搬送システムでは、保管庫は、当該保管庫内において搬送装置と棚との間で被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備える。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の授受又は受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間を短縮することができ、保管庫と搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。加えて、この搬送システムでは、保管庫内に配置された１つの移載装置を用いて、棚と搬送装置との間で被搬送物の授受を行う。よって、例えば、保管庫内に少なくとも２つの移載装置を用いて、保管庫と搬送装置との間で被搬送物の授受を行う構成と比較して、保管庫内に設ける移載装置の数が少ない分、保管庫のコストを下げることができる。
【００１１】
上記の搬送システムの一つの態様では、移載装置は、保管庫内へ被搬送物を入庫する場合、保管庫内において搬送装置より被搬送物を受け取って、受け取った被搬送物を棚に受け渡す。これにより、保管庫内に被搬送物を円滑に入庫することが可能となる。
【００１２】
上記の搬送システムの他の態様では、移載装置は、保管庫内から被搬送物を出庫する場合、棚から受け取った被搬送物を搬送装置に受け渡す。これにより、保管庫内から搬送装置に対して被搬送物を円滑に出庫することが可能となる。
【００１３】
上記の搬送システムの他の態様では、搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つのコンベアの少なくとも一部が配置されている。
【００１４】
上記の搬送システムの他の態様では、コンベアの各々は、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有する。
【００１５】
上記の搬送システムの他の態様では、移載装置は、保管庫の高さ方向及び当該高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、昇降機構に支持され、棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平移動機構と、水平移動機構に支持され、被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、被搬送物保持部は、水平移動機構の位置から下方に向かって延在する支持部と、支持部の水平移動機構側とは逆側の端部から当該被搬送物の搬送方向又は当該被搬送物の搬送方向とは逆方向に屈曲して延在し、被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有する。
【００１６】
上記の搬送システムの他の態様では、支持部の前記被搬送物の搬送方向の厚さは、前記隣接する２つのコンベアの間における当該被搬送物の搬送方向の間隙の幅より小さく、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ当該被搬送物の搬送方向と直交する方向における被搬送物載置部の幅は、前記一対のコンベアユニットの間隔より小さい。
【００１７】
好適な例では、前記移載装置と前記搬送装置との間で前記被搬送物の授受を行う場合、前記被搬送物載置部は、前記昇降機構及び前記水平移動機構を通じて、前記保管庫内の前記被搬送物が載置された前記コンベアより下方の位置に且つ当該コンベアを構成する前記一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されると共に、前記支持部は、前記被搬送物載置部に対応する位置であって且つ前記間隙に対応する位置に配置される。
【００１８】
これにより、移載装置は、水平移動機構により、支持部を保管庫内において前記隣接する２つのコンベアの間における、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向の間隙を、保管庫の内側からコンベア側へ、或いはコンベア側から保管庫の内側へ通過させることができる。また、これにより、移載装置は、昇降機構により、保管庫内のコンベアを構成する一対のコンベアユニットの間の領域を通じて、被搬送物載置部をコンベアの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部による昇降動作及び水平移動動作により、移載装置と搬送装置のコンベアとの間で被搬送物の移し替えを容易に行うことができる。
【００１９】
上記の搬送システムの他の態様では、前記搬送装置は、前記保管庫内に複数設けられ、前記搬送装置の各々は前記保管庫内を横断するように配置される。
【００２０】
この構成によれば、保管庫内に一つの移載装置を有する構成と比較して、保管庫内に設ける移載装置の数を増加させている分、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００２２】
[搬送システム]
まず、図１乃至図４を参照して、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の構成について説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の外観構成を模式的に示す斜視図である。図２は、搬送システム１００の高さ方向に沿った一断面図を示す。図３（ａ）は、棚１２と被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図３（ｂ）は、被搬送物載置部１３ｃｂと被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図４（ａ）は、図２の切断線Ａ−Ａ’に沿った保管庫１０の平面構成を示し、特に、第１の搬送装置３０より搬送されてきた被搬送物３を、移載装置１３によって保管庫１０内へ入庫する動作の一例を説明する図である。図４（ｂ）は、図２の切断線Ｂ−Ｂ’に沿った保管庫１０の平面構成を示し、特に、第２の搬送装置２０より搬送されてきた被搬送物３を、移載装置１３によって保管庫１０内へ入庫する動作の一例を説明する図である。
【００２４】
搬送システム１００は、半導体製造工場や液晶製造工場等に設置され、保管庫１０と、第１の搬送装置３０と、第２の搬送装置２０と、コントローラ４０と、を備える。この搬送システム１００では、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０により、保管庫１０等に対して被収容物（図示略）を収容する被搬送物３を搬送する。
【００２５】
ここで、被収容物としては、例えば、半導体ウェーハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の各種の基板が挙げられる。また、被搬送物３としては、例えばＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）などが挙げられる。本例では、被搬送物３は、図３に示すように、その上面側に設けられた板状のフランジ部４と、その底面に設けられた複数の凹部５及び６と、を有する。フランジ部４は、後述する搬送車２の把持部２ｂにより把持される部位である。各凹部５は、図３に示すように、棚１２に被搬送物３を載置した場合に、棚１２に設けられた凸部１２ａｂと嵌合する部位である。各凹部６は、図３に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂに被搬送物３を載置した場合に、被搬送物載置部１３ｃｂに設けられた各凸部１３ｃｃと嵌合する部位である。
【００２６】
（保管庫の構成）
まず、保管庫１０の構成は次の通りである。
【００２７】
保管庫１０は、図示しない床の上に設置され、コントローラ４０による入出庫指示に従って、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０によって搬送されてきた被搬送物３を一時的に保管する役割を果たす。
【００２８】
具体的に、保管庫１０は、筺体１１と、少なくとも１つ（本例では複数）の棚１２と、１つの移載装置１３と、を備える。
【００２９】
筺体１１は、アルミニウムなどの金属素材等により形成される。筐体１１は、４つの側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ）と、当該４つの側面に隣接すると共に床側に位置する底面１１ｅと、底面１１ｅと対向する上面１１ｆとを含む箱状の形状を有し、複数の棚１２、及び移載装置１３を夫々収容している。ここで、側面１１ａは、相互に対向する側面１１ｂ及び１１ｄに隣接していると共に側面１１ｃに対向している。
【００３０】
また、筐体１１は、開口１１ｇ、１１ｈ、１１ｉを有する。開口１１ｇは、筐体１１の側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）及び上面１１ｆの一部を切り欠いて形成される。開口１１ｇは、後述する搬送車２と、入出庫用ポートとして機能する棚（保管庫１０内において開口１１ｇに位置する最上段の棚）１２ｐとの間で被搬送物３の授受を行うために利用される。開口１１ｈ、１１ｉは、後述するコンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために用いられる。本例では、開口１１ｈは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに設けられると共に、開口１１ｉは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に設けられる。但し、本発明では、コンベア２０ｚ及びコンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するための開口の位置は、筐体１１において、上記した位置に限定されるものではない。
【００３１】
複数の棚１２は、筐体１１内に配置され、被搬送物３を一時的に載置及び保管する役割を有する。本例では、筐体１１の高さ方向に一列状に配置された一群の棚１２が、側面１１ａ及び１１ｃの側に夫々配置されており、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２と、側面１１ｃ側に配置された一群の棚１２とは相互に対向する位置に配置されている。そして、側面１１ａ及び１１ｃの側に夫々配置された一群の棚１２において、保管庫１０の高さ方向に隣り合う棚１２同士の距離は、少なくとも被搬送物３の高さｄ６（図６（ａ）を参照）以上とされる。
【００３２】
また、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２のうち最下段に位置する棚１２と、コンベア２０ｚとの間には、少なくとも１つ分の棚１２が意図的に取り除かれている。この理由は、後述するように移載装置１３が第２の搬送装置３０から被搬送物３を受け取って、その後、保管庫１０の高さ方向へ移動する際に、棚１２によって移載装置１３の移動が妨げられないようにするためである。また、側面１１ｃ側において、コンベア２０ｚに隣接する位置には、棚１２が設けられていない。この理由は、後述するように移載装置１３が第２の搬送装置３０から被搬送物３を受け取って、その後、移載装置１３が側面１１ｃ側に水平移動する際に、棚１２によって移載装置１３の移動が妨げられないようにするためである。
【００３３】
各棚１２は、Ｕ字状又はコの字状の平面形状を有する。各棚１２の上面１２ａには、図３に示すように、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合する複数の凸部１２ａｂが形成されている。各凸部１２ａｂは、各棚１２の上面１２ａに保管用の被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、各棚１２に対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。
【００３４】
また、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２のうち、最上段の棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚であり、以下、「棚１２ｐ」と称する）は、開口１１ｇを通じて搬送車２との間で被搬送物３の授受を行うための入出庫用ポートとして機能する。
【００３５】
移載装置１３は、コントローラ４０による入出庫指示に従い、複数の棚１２及び後述する第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の授受又は受け渡しを行う。具体的には、移載装置１３は、コントローラ４０による入庫指示に従い、保管庫１０内に位置するコンベア２０ａ（図４（ｂ）を参照）より受け取った被搬送物３を、複数の棚１２のうち入庫用の指定の棚１２に載置する役割を有する。一方、移載装置１３は、コントローラ４０による出庫指示に従い、複数の棚１２のうち出庫用の指定の棚１２より取り出した被搬送物３を、保管庫１０内に位置するコンベア２０ａ上へ載置する（受け渡す）役割を有する。なお、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３は、その後、各種の製造装置等に向けて搬送される。
【００３６】
移載装置１３は、昇降機構１３ａと、水平移動機構１３ｂと、被搬送物保持部１３ｃと、を備え、筐体１１の側面１１ｂ側に配置される。
【００３７】
昇降機構１３ａは、保管庫１０の高さ方向（図２の矢印Ｙ４２方向）及び当該高さ方向とは逆方向（図２の矢印Ｙ４１方向）に昇降可能に構成される。例えば、昇降機構１３ａは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向に延在する案内部１３ａｂに沿って昇降する。なお、本例では、案内部１３ａｂは筐体１１内の側面１１ｂに取り付けられている。
【００３８】
水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａに支持され、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つ棚１２と平行な水平面上をコンベア２０ｚの配列方向（図１及び図４等の矢印Ｙ２方向）と直交する方向（図２及び図４等の矢印Ｙ３方向）に往復移動可能に構成される。例えば、水平移動機構１３ｂは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向に延在する案内部１３ｂａに沿って往復移動する。水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降する。
【００３９】
被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂに支持され、被搬送物３を保持する。被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂに支持される支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有する。被搬送物保持部１３ｃは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降すると共に、水平移動機構１３ｂの駆動により、案内部１３ｂａに沿って往復移動する。
【００４０】
支持部１３ｃａは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在している。コンベア２０ｚの配列方向における支持部１３ｃａの厚さｄ３は、後述する保管庫１０内において隣接する２つのコンベア（２０ａ、２０ｂ）の間における間隙５１の幅（コンベア２０ｚの配列方向の幅）ｄ４より小さい。
【００４１】
被搬送物載置部１３ｃｂは、被搬送物３を載置する長板状部材である。被搬送物載置部１３ｃｂの上面には、図３乃至図５等に示すように、被搬送物３の底面に形成された複数の凹部６と嵌合する複数の凸部１３ｃｃが形成されている。各凸部１３ｃｃは、被搬送物載置部１３ｃｂ上に被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃｂに対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。また、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向における被搬送物載置部１３ｃｂの幅ｄ１は、後述する保管庫１０内におけるコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２０、２１）の間隔ｄ５より小さい。
【００４２】
（第１の搬送装置の構成）
次に、第１の搬送装置３０の構成は次の通りである。
【００４３】
第１の搬送装置３０は、軌道（レール）１と、搬送車２と、を備える。
【００４４】
軌道１は、例えば保管庫１０が配置される天井（図示しない）に懸垂される。軌道１の一部は、保管庫１０の上方において、その開口１１ｇを横断する位置に配置される。
【００４５】
搬送車２としては、例えばＯＨＴ（Over head Hoist Transport）が挙げられる。搬送車２は、例えばリニアモータなどの駆動方式により軌道１に沿って保管庫１０を横断する方向（図１の矢印Ｙ１方向）に走行する。搬送車２は、被搬送物３を保管庫１０に向けて搬送するのに加えて、各種処理装置、各種製造装置、或いは各種検査装置等に向けて搬送する。
【００４６】
具体的に、搬送車２は、被搬送物３を収容する収容部２ａと、被搬送物３を把持又は開放する把持部２ｂと、把持部２ｂを昇降する昇降機構（図示略）と、を備える。この搬送車２においては、把持部２ｂによって被搬送物３のフランジ部４を把持した状態で、昇降機構を通じて把持部２ｂを昇降させることにより、被搬送物３の昇降を行う。
【００４７】
本例では、搬送車２は、コントローラ４０からの入庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置（入庫）する。一方、搬送車２は、コントローラ３からの出庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置された出庫待ちの被搬送物３を受け取る。
【００４８】
なお、本例では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向は、後述する第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向に対して逆方向になっている。しかし、かかる構成は一例であり、本発明では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向と、第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向とは同一の方向であっても構わない。
【００４９】
（第２の搬送装置の構成）
次に、第２の搬送装置２０の構成は次の通りである。
【００５０】
第２の搬送装置２０は、保管庫１０を横断する方向（本例では図１及び図４（ｂ）等の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備える。各コンベア２０ｚは、一対のコンベアユニット（２１、２２）を有して構成される。コンベアユニット２１と、コンベアユニット２２とは、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つ各コンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）と直交する方向に一定の間隔ｄ５をあけて配置されている。
【００５１】
本例では、コンベアユニット２１及び２２としては、図１に示すように、複数のローラ（回転部材）２１ａ、２２ａと、複数のローラ２１ａ、２２ａに巻かれたベルト２１ｂ、２２ｂと、を有するベルト駆動方式のコンベアを採用している。また、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２１の間には一定の幅ｄ４を有する間隙５１が形成されていると共に、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２２の間にも一定の幅ｄ４を有する間隙５１が形成されている。
【００５２】
複数のコンベア２０ｚのうち、少なくとも２つのコンベア２０ｚの少なくとも一部は、開口１１ｈ、１１ｉを通じて保管庫１０内に配置される。本例では、図４（ｂ）に示すように、複数のコンベア２０ｚのうち、コンベア２０ａは保管庫１０内に配置され、また、コンベア２０ｂは、保管庫１０の外部から内部にかけて開口１１ｈを跨るように配置され、また、コンベア２０ｃは、保管庫１０の内部から外部にかけて開口１１ｉを跨るように配置されている。但し、本発明では、保管庫１０内に配置されるコンベア２０ｚの数に限定はない。
【００５３】
（コントローラの構成）
次に、コントローラ４０の構成は次の通りである。
【００５４】
コントローラ４０は、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）や、図示しないＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等に代表されるメモリなどを備え、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対する各種の制御を行う。例えば、コントローラ４０は、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対して被搬送物３の搬送及び入出庫などの指示を出したりする。
【００５５】
［保管庫システムの動作］
（第１の搬送装置と保管庫との間における被搬送物の搬送動作）
次に、第１の搬送装置３０と保管庫１０との間における搬送動作（入出庫動作）の一例について簡単に説明する。なお、以下では、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐから、当該棚１２ｐに対し同段の位置にある棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）へ被搬送物３を入庫する動作を一例にとり説明する。
【００５６】
まず、軌道１に沿って走行する搬送車２は、コントローラ４０による入庫指示を受けると、図２に示すように、保管庫１０の開口１１ｇの真上の位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚１２ｐの上に載置する。ここで、図３（ａ）には、被搬送物３が棚１２ｐ上に載置された状態が示されている。このとき、棚１２ｐ上に形成された各凸部１２ａｂは、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、当該棚１２に対する被搬送物３の移動が規制される。
【００５７】
次に、保管庫１０内の移載装置１３は、棚１２ｐ上に載置された被搬送物３を、棚１２ｐに対して同段に位置するもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。この場合、まず、移載装置１３は、図３（ａ）の矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂをＵ字状又はコの字状の平面形状を有する棚１２ｐの間隙部分（間隙の幅ｄ２＞ｄ１）を通過するように上昇させ、被搬送物３を棚１２ｐから被搬送物載置部１３ｃｂへ移し替える。このとき、被搬送物載置部１３ｃｂ上に形成された各凸部１３ｃｃは、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃｂに対する被搬送物３の移動が規制される。かかる状態が図３（ｂ）に示されている。
【００５８】
次に、移載装置１３は、昇降機構１３ａによる昇降動作及び水平移動機構１３ｂによる水平移動動作を通じて、図４（ａ）の各矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃｂ上に移し替えられた被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐと、その棚１２ｐに対して同段に位置するもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。こうして、保管庫１０内への被搬送物１３の入庫作業が完了する。なお、図２の領域Ｐ２に位置する棚１２に載置された被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚１２ｐを通じて第１の搬送装置３０に向けて出庫するには、上記した入庫方法と逆の搬送動作を行うことにより実現できる。
【００５９】
（第２の搬送装置と保管庫との間における被搬送物の搬送動作）
次に、図２、図４（ｂ）、図５及び図６等を参照して、第２の搬送装置２０と保管庫１０との間における搬送動作（入出庫動作）の一例について説明する。
【００６０】
図５（ａ）及び（ｂ）、並びに図６（ａ）及び（ｂ）は、第２の搬送装置２０及び移載装置１３を模式的に示す要部斜視図を示し、特に、第２の搬送装置２０と移載装置１３との連携による保管庫１０内への被搬送物３の入出庫方法を説明する図である。なお、図５及び図６に示す、コンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、図４（ｂ）に示すコンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対応している。また、図５及び図６では、筐体１１などの図示を省略し、説明に必要な最小限の要素のみ図示している。
【００６１】
まず、第２の搬送装置２０による被搬送物３の入庫動作は次の通りである。
【００６２】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の入庫指示を出す。これに伴って、まず、移載装置１３は、図２及び図５（ａ）において、図中矢印Ｙ４１に示すように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ａｂに沿って下降させて、被搬送物載置部１３ｃｂをコンベア２０ｚより下方の位置に配置する。
【００６３】
次に、移載装置１３は、図２、図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ｂａに沿ってコンベア２０ｚの方向（矢印Ｙ３１方向）に水平移動させて、被搬送物保持部１３ｃをコンベア２０ｚに対して所定の位置に配置する。具体的には、この場合、移載装置１３は、支持部１３ｃａを、相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１を、保管庫１０の内側からコンベア２０ｚ側に向けて通過させて、被搬送物載置部１３ｃｂを保管庫１０内の被搬送物３が載置されたコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域の真下に対応する位置に配置すると共に、支持部１３ｃａを当該被搬送物載置部１３ｃｂに対応する位置であって且つ当該間隙５１に対応する位置に配置する。
【００６４】
一方、第２の搬送装置２０の複数のコンベア２０ｚは、コントローラ４０からの被搬送物３の入庫指示に従い、被搬送物３を保管庫１０内に向けて搬送する。このとき、複数のコンベア２０ｚは、被搬送物３を保管庫１０側（矢印Ｙ２方向）に搬送して、さらに被搬送物３を筐体１１の開口１１ｈを通過させて保管庫１０内に進入させ、さらに被搬送物３をコンベア２０ａの位置まで到達させた段階で、コンベア２０ａの駆動を停止する。これにより、被搬送物３はコンベア２０ａ上で待機した状態となる。
【００６５】
次に、移載装置１３は、保管庫１０内において、コンベア２０ａ上で待機している被搬送物３を受け取る。具体的には、移載装置１３は、図６（ａ）に示すように、昇降機構１３ａを通じて、上記した状態から被搬送物保持部１３ｃを案内部１３ａｂに沿って保管庫１０の高さ方向（図２及び図６（ａ）の矢印Ｙ４２方向）に上昇させ、被搬送物３をコンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂ上に移し替える。
【００６６】
このとき、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃの下部（又は下面）を、コンベア２０ａ上において被搬送物３を通過できる位置までは上昇させない。即ち、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃを矢印Ｙ４２方向に少しだけ持ち上げた状態とし、コンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂの下部までの高さが被搬送物３の高さｄ６より高くなる位置までは被搬送物載置部１３ｃｂを上昇させない。
【００６７】
次に、移載装置１３は、図２及び図６（ｂ）に示すように、被搬送物保持部１３ｃを矢印Ｙ４２方向に少しだけ持ち上げた状態で、当該被搬送物保持部１３ｃを水平移動機構１３ｂにより案内部１３ｂａに沿ってコンベア２０ｚの方向とは逆方向（矢印Ｙ３２方向）に水平移動させる。このとき、移載装置１３は、被搬送物保持部１３ｃを保管庫１０の中央位置まで水平移動させることが好ましい。次に、移載装置１３は、図２及び図６（ｂ）に示すように、被搬送物保持部１３ｃを昇降機構１３ａにより案内部１３ａｂに沿って昇降させて、当該被搬送物３を複数の棚１２のうち指定された棚１２上に載置（保管）すると共に、第２の搬送装置２０は複数のコンベア２０ｚの駆動を再開する。この理由は、複数のコンベア２０ｚを通じて保管庫１０の上流側から搬送されてくる、入庫の必要のない被搬送物３を、当該保管庫１０の下流側に通過させて、被搬送物３の搬送を円滑にするためである。こうして、保管庫１０内への被搬送物３の入庫動作が完了する。
【００６８】
次に、移載装置１３による第２の搬送装置２０への被搬送物３の出庫動作は、次の通りである。
【００６９】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の出庫指示を出す。これに伴って、まず、移載装置１３の被搬送物載置部１３ｃｂは、昇降機構１３ａ及び水平移動機構１３ｂを通じて、複数の棚１２のうち指定の棚１２から出庫用の被搬送物３を受け取る。
【００７０】
次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚの駆動を一時的に停止させる。次に、移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃｂがコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域と平面的に重なるように、且つ、支持部１３ｃａが相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１に対応する位置に配置されるように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物保持部１３ｃを水平移動させる。
【００７１】
次に、移載装置１３は、その状態から被搬送物載置部１３ｃｂがコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域の真下に位置するように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物保持部１３ｃを下降させる。これにより、被搬送物載置部１３ｃｂ上に載置された被搬送物３がコンベア２０ａ上へ移し替えられる（図示略）。
【００７２】
次に、移載装置１３は、水平移動機構１３ｂを通じて、支持部１３ｃａを相隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間の間隙５１をコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側（矢印Ｙ３２方向）に向けて通過させつつ、被搬送物保持部１３ｃをコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側に向けて水平移動（退避）させる。次に、移載装置１３は、コンベア２０ａ上から被搬送物載置部１３ｃｂの下部までの高さが被搬送物３の高さｄ６よりも高くなる位置まで被搬送物載置部１３ｃｂを上昇させる。次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚの駆動を再開する。こうして、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３が、保管庫１０の下流側に向けて搬送され、保管庫１０内からの被搬送物３の出庫動作が完了する。
【００７３】
次に、この搬送システム１００の特徴的な点について説明する。
【００７４】
この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚは保管庫１０内を横断するように配置されている。これにより、保管庫１０内に対して、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚを通じて被搬送物３を直接的に搬送することが可能となる。
【００７５】
更に、保管庫１０は、当該保管庫１０内において第２の搬送装置２０のコンベア２０ａと棚１２との間で被搬送物３の授受を行う１つの移載装置１３を備えている。
【００７６】
これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物３の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫１０内への被搬送物３の入出庫時間を短縮することが可能となり、保管庫１０と第２の搬送装置２０との間において被搬送物３の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。加えて、この搬送システム１００では、保管庫１０内に配置された１つの移載装置１３を用いて、棚１２と第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の入出庫を行う。よって、例えば、保管庫１０内に少なくとも２つの移載装置を用いて、保管庫１０と第２の搬送装置２０との間で被搬送物３の入出庫を行う構成と比較して、保管庫１０内に設ける移載装置の数が少ない分、保管庫１０のコストを下げることができる。
【００７７】
また、この搬送システム１００では、移載装置１３は、保管庫１０内へ被搬送物３を入庫する場合、保管庫１０内において第２の搬送装置２０のコンベア２０ａより被搬送物３を受け取って、受け取った被搬送物３を複数の棚１２のうち指定された棚１２上に載置又は受け渡す。これにより、保管庫１０内に被搬送物３を円滑に入庫することが可能となる。
【００７８】
また、この搬送システム１００では、移載装置１３は、保管庫１０内から被搬送物３を出庫する場合、複数の棚１２のうち指定された棚１２から受け取った被搬送物３を第２の搬送装置２０のコンベア２０ａ上に載置又は受け渡す。これにより、保管庫１０内から第２の搬送装置２０に対して被搬送物３を円滑に出庫することが可能となる。
【００７９】
また、この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０は、保管庫１０内を横断する方向（本例では図１等の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備え、保管庫１０内には、相互に間隙５１をあけて隣接する２つのコンベア２０ｚ（本例ではコンベア２０ａ、２０ｂ）の少なくとも一部が配置されている。また、各コンベア２０ｚは、保管庫１０の高さ方向（図２等の矢印Ｙ４２方向）と直交する方向であって、且つ保管庫１０を横断する方向（コンベア２０ｚの配列方向）と直交する方向に間隔ｄ５をあけて配置された一対のコンベアユニット（２１、２２）を有する。また、コンベア２０ｚの配列方向における支持部１３ｃａの厚さｄ３は、保管庫１０内において隣接する２つのコンベア（２０ａ、２０ｂ）の間における間隙５１の幅（コンベア２０ｚの配列方向の幅）ｄ４より小さく、また、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向における被搬送物載置部１３ｃｂの幅ｄ１は、保管庫１０内におけるコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２０、２１）の間隔ｄ５より小さい。
【００８０】
これにより、移載装置１３は、水平移動機構１３ｂにより、支持部１３ｃａを保管庫１０内において隣接するコンベア２０ａ及び２０ｂの間隙５１を、保管庫１０の内側からコンベア２０ｚ側へ、或いはコンベア２０ｚ側から保管庫１０の内側へ通過させることができる。加えて、移載装置１３は、昇降機構１３ａにより、保管庫１０内のコンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット（２１、２２）の間の領域を通じて、被搬送物載置部１３ｃｂをコンベア２０ｚの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部１３ｃによる昇降動作及び水平移動動作により、移載装置１３と第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の移し替えを容易に行うことができる。
【００８１】
[変形例]
本発明では、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形をすることが可能である。
【００８２】
図７は、図１に対応する、変形例に係る搬送システム１００ａの外観構成を模式的に示す斜視図である。
【００８３】
変形例に係る搬送システム１００ａと、上記した実施形態に係る搬送システム１００とを比較した場合、その両者は、筐体１１の構成が若干異なり、それ以外は同様である。
【００８４】
即ち、上記した実施形態に係る搬送システム１００では、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに開口１１ｈを設けると共に、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に開口１１ｉを設けるようにした。
【００８５】
この点、変形例に係る搬送システム１００ａでは、筐体１１ｗにそのような開口１１ｈ、１１ｉを設けるのではなく、筐体１１ｗには、その底面１１ｅ側において、側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）の一部を切り欠いて形成される開放部１１ｖを設けるようにしている。 これにより、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置することが可能となり、上記した本実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。
【００８６】
また、上記の実施形態及び変形例に係る搬送システム１００、１００ａでは、第２の搬送装置２０は、保管庫１０内を横断するように１つだけ設けられていた。これに限らず、本発明では、搬送システム１００、１００ａにおいて、第２の搬送装置２０を、保管庫１０内を横断するように複数設けることとしても構わない。その一例について図８を参照して説明する。
【００８７】
図８は、図２に対応する、他の変形例に係る搬送システム１００ｂの高さ方向に沿った一断面図を示す。
【００８８】
この搬送システム１００ｂでは、上記した搬送システム１００、１００ａと同様に、筐体１１ｇの側面１１ｅ側であって、且つ側面１１ａに設けられた開口１１ｈ及び側面１１ｄに設けられた開口１１ｉを通じて保管庫１０内を横断する位置に対して、１つの第２の搬送装置２０が設けられているのに加え、筐体１１ｇの側面１１ｆ側であって、且つ入出庫ポートとして機能する棚１２ｐに対して隣接する位置に対して、保管庫１０内を横断するように、更にもう１つの第２の搬送装置２０（以下、「第２の搬送装置２０ｇ」と称する）が設けられている。
【００８９】
なお、筐体１１ｇは、側面１１ｆ側であって、且つ側面１１ａに対応する位置に開口１１ｊを有すると共に、側面１１ｆ側であって、且つ側面１１ｄに対応する位置に且つ開口１１ｊに対応する位置に開口（図示略）を有し、第２の搬送装置２０ｇは、開口１１ｊ及び当該開口１１ｊに対応する位置に設けられた開口を横断するように設けられる。よって、保管庫１０に対して、第２の搬送装置２０ｇと第２の搬送装置２０とは平行に配置されている。
【００９０】
この構成によれば、移載装置１３は、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に位置する複数の棚１２のうち指定された棚１２と第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になると共に、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に位置する複数の棚１２のうち指定された棚１２と第２の搬送装置２０との間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能となる。これにより、上記した本実施形態等と比べて、保管庫１０内の指定の棚１２と第２の搬送装置との間における被搬送物３の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００９１】
また、本発明では、搬送システム１００、１００ａ、１００ｂにおいて、保管庫１０内に２つの移載装置１３を設けることとしても構わない。例えば、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置、及び、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に対して、それぞれ移載装置１３を設けることができる。これによれば、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置に配置された移載装置１３により、保管庫１０の高さ方向の中央部より上方に対応する位置に配置された棚１２と、第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になると共に、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に配置された移載装置１３により、保管庫１０の高さ方向の中央部より下方に対応する位置に配置された棚１２と、第２の搬送装置２０ｇとの間で被搬送物３の入出庫を行うことが可能になる。かかる構成により、保管庫１０内に対する移載装置の数の増加に伴って保管庫１０のコストは増加するものの、被搬送物３の入出庫時間の短縮化をより図ることが可能となる。
【００９２】
また、本発明では、搬送システム１００ｇにおいて、第２の搬送装置２０ｇを設けるのではなく、筐体１１の側面１１ｂ、１１ｄのうち少なくとも何れかの側面と平行な位置に且つ保管庫１０内を横断する位置に対して第２の搬送装置（以下、「第２の搬送装置２０ｈ（図示略）」と称する）を設けることとしても構わない。但し、この構成の場合には、保管庫１０内において、上記した移載装置１３のほかに、第２の搬送装置２０ｈ（図示略）と移載装置１３との間で被搬送物３の授受を行うための他の移載装置を設けることが必要となる。この構成によれば、他の移載装置を設ける分だけ、保管庫１０自体のコストは増加するものの、保管庫１０と第２の搬送装置２０及び２０ｈとの間における被搬送物３の入出庫時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００９３】
また、上記の実施形態及び変形例等では、移載装置１３は筐体１１の側面１１ｂ側に配置され、移載装置１３の被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在する支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有して構成されていた。これに限らず、本発明では、移載装置１３は筐体１１の側面１１ｄ側に配置され、移載装置１３の被搬送物保持部１３ｃは、水平移動機構１３ｂの位置から下方に向かって延在する支持部１３ｃａと、支持部１３ｃａの水平移動機構１３ｂ側とは逆側の端部からコンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）とは逆方向に屈曲して延在する被搬送物載置部１３ｃｂと、を有して構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【図２】本実施形態に係る搬送システムの高さ方向に沿った一断面図。
【図３】棚又は移載装置の被搬送物載置部と被搬送物との係合状態を示す断面図。
【図４】図２の切断線Ａ−Ａ’及びＢ−Ｂ’に沿った保管庫の各断面図。
【図５】第２の搬送装置と移載装置との連携による被搬送物の保管庫内への入出庫方法を説明する各要部斜視図。
【図６】第２の搬送装置と移載装置との連携による被搬送物の保管庫内への入出庫方法を説明する各要部斜視図。
【図７】本発明の変形例に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【図８】本発明の他の変形例に係る搬送システムの高さ方向に沿った一断面図。
【符号の説明】
【００９５】
１ 軌道、 ２ 搬送車、 ３ 被搬送物、 １０ 保管庫、 １１、１１ｗ、１１ｇ 筐体、 １１ｈ、１１ｉ、１１ｊ 開口、 １１ｖ 開放部、 １２ 棚、 １３ 移載装置、 １３ａ 昇降機構、 １３ｂ 水平移動機構、 １３ｃ 被搬送物保持部、 １３ｃａ 支持部、 １３ｃｂ 被搬送物載置部、 ２０、２０ｇ 第２の搬送装置、 ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｚ コンベア、 ２１、２２ コンベアユニット、 ３０ 第１の搬送装置、 ４０ コントローラ、 １００、１００ａ、１００ｂ 搬送システム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、
前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚を有する保管庫と、を備え、
前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、
前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置と前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記移載装置は、前記保管庫内へ前記被搬送物を入庫する場合、前記保管庫内において前記搬送装置より前記被搬送物を受け取って、受け取った前記被搬送物を前記棚に受け渡すことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記移載装置は、前記保管庫内から前記被搬送物を出庫する場合、前記棚から受け取った前記被搬送物を前記搬送装置に受け渡すことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、
前記保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つの前記コンベアの少なくとも一部が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コンベアの各々は、前記保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記移載装置は、前記保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、前記昇降機構に支持され、前記棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平移動機構と、前記水平移動機構に支持され、前記被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、
前記被搬送物保持部は、前記水平移動機構の位置から下方に向かって延在する支持部と、前記支持部の前記水平移動機構側とは逆側の端部から当該被搬送物の搬送方向又は当該被搬送物の搬送方向とは逆方向に屈曲して延在し、前記被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記支持部の前記被搬送物の搬送方向の厚さは、前記隣接する２つの前記コンベアの間における当該被搬送物の搬送方向の前記間隙の幅より小さく、
前記保管庫の前記高さ方向と直交する方向であって、且つ当該被搬送物の搬送方向と直交する方向における前記被搬送物載置部の幅は、前記一対のコンベアユニットの間隔より小さいことを特徴とする請求項６に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記移載装置と前記搬送装置との間で前記被搬送物の授受を行う場合、
前記被搬送物載置部は、前記昇降機構及び前記水平移動機構を通じて、前記保管庫内の前記被搬送物が載置された前記コンベアより下方の位置に且つ当該コンベアを構成する前記一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されると共に、前記支持部は、前記被搬送物載置部に対応する位置であって且つ前記間隙に対応する位置に配置されることを特徴とする請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記搬送装置は、前記保管庫内に複数設けられ、
前記搬送装置の各々は前記保管庫内を横断するように配置されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項１】
被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、
前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚を有する保管庫と、を備え、
前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、
前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置と前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う１つの移載装置を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記移載装置は、前記保管庫内へ前記被搬送物を入庫する場合、前記保管庫内において前記搬送装置より前記被搬送物を受け取って、受け取った前記被搬送物を前記棚に受け渡すことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記移載装置は、前記保管庫内から前記被搬送物を出庫する場合、前記棚から受け取った前記被搬送物を前記搬送装置に受け渡すことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、
前記保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つの前記コンベアの少なくとも一部が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コンベアの各々は、前記保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記移載装置は、前記保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、前記昇降機構に支持され、前記棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平移動機構と、前記水平移動機構に支持され、前記被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、
前記被搬送物保持部は、前記水平移動機構の位置から下方に向かって延在する支持部と、前記支持部の前記水平移動機構側とは逆側の端部から当該被搬送物の搬送方向又は当該被搬送物の搬送方向とは逆方向に屈曲して延在し、前記被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記支持部の前記被搬送物の搬送方向の厚さは、前記隣接する２つの前記コンベアの間における当該被搬送物の搬送方向の前記間隙の幅より小さく、
前記保管庫の前記高さ方向と直交する方向であって、且つ当該被搬送物の搬送方向と直交する方向における前記被搬送物載置部の幅は、前記一対のコンベアユニットの間隔より小さいことを特徴とする請求項６に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記移載装置と前記搬送装置との間で前記被搬送物の授受を行う場合、
前記被搬送物載置部は、前記昇降機構及び前記水平移動機構を通じて、前記保管庫内の前記被搬送物が載置された前記コンベアより下方の位置に且つ当該コンベアを構成する前記一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されると共に、前記支持部は、前記被搬送物載置部に対応する位置であって且つ前記間隙に対応する位置に配置されることを特徴とする請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記搬送装置は、前記保管庫内に複数設けられ、
前記搬送装置の各々は前記保管庫内を横断するように配置されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の搬送システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１０−８０７１１（Ｐ２０１０−８０７１１Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２４８０５０（Ｐ２００８−２４８０５０）
【出願日】平成２０年９月２６日（２００８．９．２６）
【出願人】（３０９０３１４６６）ムラテックオートメーション株式会社 (52)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月２６日（２００８．９．２６）
【出願人】（３０９０３１４６６）ムラテックオートメーション株式会社 (52)
【Ｆターム（参考）】
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