支持装置及び支持方法
【課題】静電気のスパークにより半導体ウエハ等の被着体の要部が損傷することを防止できるようにすること。
【解決手段】支持装置１０は、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを含む一体物ＷＲを支持する第１及び第２支持面１５、１６を有する支持テーブル１１と、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに帯電した静電気を除去可能な除電手段１２とを備えて構成されている。除電手段１２は、支持テーブル１１に支持された一体物ＷＲに接触する受電部材２３Ａ、２４Ａと、一体物ＷＲにおける第１及び第２支持面１５、１６からに対する接近又は離間動作に追従して受電部材２３Ａ、２４Ａを所定量移動可能な巻きばね２３、２４とを備えている。
【解決手段】支持装置１０は、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを含む一体物ＷＲを支持する第１及び第２支持面１５、１６を有する支持テーブル１１と、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに帯電した静電気を除去可能な除電手段１２とを備えて構成されている。除電手段１２は、支持テーブル１１に支持された一体物ＷＲに接触する受電部材２３Ａ、２４Ａと、一体物ＷＲにおける第１及び第２支持面１５、１６からに対する接近又は離間動作に追従して受電部材２３Ａ、２４Ａを所定量移動可能な巻きばね２３、２４とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置及び支持方法に係り、更に詳しくは、支持対象物に所定の処理を施す装置に利用され、支持対象物に帯電した静電気を除去することができる支持装置及び支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に所定の処理として接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、ウエハを支持する支持面を有する支持テーブルと、支持テーブルに支持されたウエハに接着シートを貼付する貼付ユニットと、支持テーブルにウエハを搬入及び搬出する搬送機構と、ウエハに貼付する前の保護テープと回収前の不要テープから静電気を除去する静電気除去装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２２１４６９号公報
【特許文献２】特開２０００−６８２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記静電気除去装置を利用しても、もともと静電気が帯電したウエハを支持テーブルに載置するときや、接着シートの貼付動作によって静電気が帯電したウエハを支持テーブルから取り去るときに、当該ウエハや接着シートに帯電した静電気が支持テーブルに対してスパーク（火花を出して放電）し、ウエハ特にウエハに形成された回路を損傷させてしまう、という不都合を招来する。
【０００５】
ここで、前述の現象は、特許文献２に開示されるシート剥離装置においても発生する傾向がある。同文献のシート剥離装置は、ウエハに貼付されている接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを引っ張ることで、ウエハから保護シートを剥離できるようになっている。この剥離装置でも、もともと静電気が帯電したウエハを支持テーブルに載置するときや、接着シートの剥離動作によって静電気が帯電したウエハを支持テーブルから取り去るときに、スパークが発生し、ウエハに形成された回路を損傷させてしまう、という不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、静電気のスパークにより被着体の要部が損傷することを防止することができる支持装置及び支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置、又は、被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置に利用される支持装置において、
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記支持対象物と受電部材とを相対移動可能な移動手段を有し、当該移動手段は、搬送される前記支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能に制御される、という構成を採ってもよい。
【００１０】
また、前記移動手段は、外部から支持テーブル上へ搬送される支持対象物の所定部位を前記受電部材に一旦接近又は当接させてから離間させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材に当接させて前記支持テーブル上に載置可能に制御される、という構成も好ましくは採用される。
【００１１】
更に、前記移動手段は、前記支持テーブル上から外部へ搬送される支持対象物を前記受電部材から一旦離間させてから支持対象物の所定部位を前記受電部材に接近又は当接させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材から離間可能に制御されるとよい。
【００１２】
また、本発明の支持方法は、請求項１ないし５の何れかに記載の支持装置を用いた支持方法であって、
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持す、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、静電気が帯電した支持対象物を支持テーブル等の支持面に載置するときに、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置で、支持対象物の限られた部位と受電部材とを接近させることができる。これによれば、例えば、支持対象物がウエハの場合、外縁から内側に向う約３ｍｍ幅の外周領域には回路が形成されることがないので、この領域が受電部材に当接するようにしたり、支持対象物がコンパクトディスク（ＣＤ）やデジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）等の光ディスクの場合、外縁から内側に向う約２ｍｍ幅の外周領域や、中央の穴に対する内縁から外側に向う約５ｍｍ幅の内周領域には情報記録層が形成されることがないので、これら領域が受電部材に当接するようにしたりしておけば、半導体回路や情報記録層が設けられている要部から支持面にスパークされることはなく、当該半導体回路や情報記録層がスパークによって損傷することを防止することができる。
また、接着シートを貼付したり剥離したり等の所定の処理が行われた支持対象物を支持テーブル等の支持面から取り去るときに、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離となるまで、受電部材が支持対象物に追従するので、支持対象物に帯電した静電気が支持面に対してスパークすることを防止し、このスパークに起因する被着体の損傷を防止することが可能となる。
なお、支持対象物を支持面から取り去るときも、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置で、支持対象物の限られた部位と受電部材とを離間させることができる。これによれば、例えば、支持対象物がウエハや光ディスクの場合、上記と同様の外周領域や内周領域が最後に受電部材と離間するようにしておけば、半導体回路や情報記録層が設けられている要部から支持面にスパークされることはなく、当該半導体回路や情報記録層がスパークによって損傷することを防止することができる。
なお、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離とは、支持対象物の帯電量に左右されるが、０ｍｍを超えて５０ｍｍ程度が例示でき、支持対象物の帯電量が非常に大きい場合や雰囲気の環境条件等によっては、それ以上となる場合も考えられるので、付勢手段の移動量は、支持対象物の帯電量に応じて適宜選定することができる。
【００１４】
また、支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能とすれば、スパーク（放電）は帯電物の角部等の尖った部分から起こりやすい傾向があるので、支持対象物に帯電した静電気を積極的に受電部材で除去することができる。
【００１５】
また、支持対象物を受電部材に当接させる前、又は、受電部材から離間させた後に、支持対象物の所定部位を受電部材に接近又は当接可能とすれば、支持対象物に帯電した静電気を更に積極的に受電部材で除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る支持装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｆ）は、巻きばねの動作要領の説明図。
【図３】第２実施形態に係る支持装置の概略正面図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係る除電手段の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「右」、「左」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００１８】
［第１実施形態］
第１実施形態の支持装置１０は、図１中二点鎖線で示す位置に設けられるシート貼付装置ＳＤに利用される。このシート貼付装置ＳＤは、支持装置１０により支持された被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに対し、接着シートとしてのマウント用シートＭＳを貼付してそれらを一体化可能に設けられている。なお、シート貼付装置ＳＤは、本出願人によって出願された特開２０００−６８２９３号で示した転写テープマウントユニットと実質的に同一のものを採用することができるので、その詳細構造についての説明は省略する。
【００１９】
前記支持装置１０は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを支持可能な支持テーブル１１と、ウエハＷＦ等に帯電した静電気を除去可能な除電手段１２とを備えて構成されている。ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付され、ウエハＷＦの保護シートＰＳが貼付されていない面側からマウント用シートＭＳが貼付される。
【００２０】
前記支持テーブル１１は、保護シートＰＳを吸着保持する第１支持面１５と、この第１支持面１５の外側において当該第１支持面１５より低い位置に形成され、リングフレームＲＦを吸着保持する第２支持面１６と、これら第１及び第２支持面１５、１６の間に立設してリングフレームＲＦの内周縁に接触し、当該リングフレームＲＦを位置決め可能な段差形成面１７とを備えている。支持テーブル１１は、駆動機器であって移動手段としての直動モータ１９のスライダ２０を介して左右方向に移動可能に設けられている。
【００２１】
前記除電手段１２は、第１、第２支持面１５、１６に形成された凹状の受容部１５Ａ、１６Ａ内に設けられた付勢手段としての巻きばね２３、２４と、これら巻きばね２３、２４のそれぞれの下端に一端側が接続され、他端側がアースされたケーブル２５とを備えている。巻きばね２３、２４は、それぞれの上端側が上下方向に延び、保護シートＰＳ、リングフレームＲＦに当接可能な受電部材２３Ａ、２４Ａとされ、各受電部材２３Ａ、２４Ａがばね２３、２４の弾性力により上下方向に移動可能に設けられている。これにより、受電部材２３Ａ、２４Ａが静電気を受電し、支持対象物に帯電した静電気をケーブル２５を介してアースすることで、当該静電気を除去可能となっている。また、各受電部材２３Ａ、２４Ａは、無負荷状態で第１、第２支持面１５、１６から突出する一方、ウエハＷＦ、リングフレームＲＦの負荷が加わると受容部１５Ａ、１６Ａ内に収まり、第１、第２支持面１５、１６に埋没するようになっており、これにより、受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦの第１、第２支持面１５、１６に対する接近又は離間に追従して所定量移動可能となっている。なお、各受電部材２３Ａ、２４Ａが無負荷状態で第１、第２支持面１５、１６から突出する長さは、各支持対象物と第１、第２支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離、たとえば、２０ｍｍ程度に設定されている。
【００２２】
次に、本実施形態におけるウエハＷＦの支持方法について説明する。
【００２３】
図示しない搬送手段により、ウエハＷＦが搬送されてくると、図２（Ａ）に示されるように、第１支持面１５との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置、本実施形態の場合、第１支持面１５の上方２０ｍｍの位置でウエハＷＦは一旦停止される。その後、直動モータ１９が駆動し、図２（Ｂ）示されるように、受電部材２３Ａを支持対象物としてのウエハＷＦの角部ＷＦ１又は、支持対象物としての保護シートＰＳの角部ＰＳ１に一旦接近又は当接させてから再度離間させるよう制御する。このように受電部材２３Ａを支持対象物に一旦接近又は当接させることで、ウエハＷＦ又は保護シートＰＳが帯電していたとしても、要部である回路が形成された部位（ウエハＷＦの内部領域）から第１支持面１５やその他の領域にスパークされることはなく、回路が形成されることのない外縁から内側に向う約３ｍｍ幅の外周領域から受電部材２３Ａにスパーク又は送電が行われ、回路がスパークによって損傷することを防止することができる。
次いで、図示しない搬送手段により、図２（Ｃ）に示されるように、ウエハＷＦが保護シートＰＳの貼付側を下向きとして当該ウエハＷＦを第１支持面１５上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ１９が駆動して、ウエハＷＦの角部ＷＦ１又は保護シートＰＳの角部ＰＳ１が最初に受電部材２３Ａに当接するように制御するとよい。
そして図示しない搬送手段により、リングフレームＲＦが搬送されてくると、図２（Ｄ）に示されるように、第２支持面１６との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置、本実施形態の場合、第２支持面１６の上方２５ｍｍの位置でリングフレームＲＦは一旦停止される。その後、図２（Ｅ）に示されるように、上記と同様に、直動モータ１９が駆動して受電部材２３Ａを支持対象物としてのリングフレームＲＦの左側の角部ＲＦ１に一旦接近又は当接させてから再度離間させよう制御し、スパーク又は送電が行われる。次いで、図示しない搬送手段により、図２（Ｆ）に示されるように、リングフレームＲＦを第２支持面１６上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ１９が駆動して、リングフレームＲＦの角部ＲＦ１が最初に受電部材２４Ａに当接するように制御するとよい。
この載置により、第１、第２支持面１５、１６から突出していた受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに接触した状態で、巻きばね２３、２４の付勢力に抗して押し下げられ、受容部１５Ａ、１６Ａ内に埋没する。この状態で、巻きばね２３、２４の弾力により、巻きばね２３、２４の受電部材２３Ａ、２４ＡとウエハＷＦ、リングフレームＲＦ下面とが接触した状態が維持される。
【００２４】
ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを支持テーブル１１に支持した後、直動モータ１９を作動して支持テーブル１１を移動する。そして、前述のシート貼付装置ＳＤによりウエハＷＦ及びリングフレームＲＦの各上面にマウント用シートＭＳが貼付され、それらが一体化され支持対象物としての一体物ＷＲが形成される。このマウント用シートＭＳが貼付されるとき、当該マウント用シートＭＳは、図示しない剥離シートから剥離されたり、押圧手段等で押圧されたりすることで、静電気が帯電するが、各受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに当接しているので、帯電した静電気は、ケーブル２５を介してアースされて除電される。
【００２５】
マウント用シートＭＳの貼付後、図示しない搬送手段により支持テーブル１１から一体物ＷＲを次工程に搬送する。この搬送において、一体物ＷＲが持ち上げられると、この持ち上げ動作に伴って更に静電気が発生して一体物ＷＲに帯電し、この帯電量が多くなると一体物ＷＲの不特定の位置から各支持面１５、１６の不特定の位置にスパークされることとなる。しかしながら、本実施形態の場合、一体物ＷＲの各支持面１５、１６からの離脱移動に伴って巻きばね２３、２４が追従して上方に伸びる方向に移動することによって、受電部材２３Ａ、２４ＡとリングフレームＲＦとの接触が維持され、一体物ＷＲと各支持面１５、１６との間でスパークが発生することはなく、それら間でパークが発生しない距離となるまで、受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに接触して除電が行われる。なお、受電部材２３Ａ又は２４Ａのいずれか一方を図示しない駆動機器等で上方に伸びないようにしておいてもよい（以降は、受電部材２３Ａが上方に伸びないようにしたとして説明する）。
そして、巻きばね２４が無負荷状態となった後、一体物ＷＲの更なる上昇によって受電部材２４ＡとリングフレームＲＦとが離脱する。ここで、受電部材２４ＡとリングフレームＲＦとが離脱するとき、巻きばね２４を介した除電効果によって一体物ＷＲの帯電量は減少しているため、一体物ＷＲと受電部材２４Ａとの間でスパークが発生する可能性は非常に低くなっている。それでもなお、一体物ＷＲの除電が完全に行われていなかった場合、一体物ＷＲが受電部材２４Ａと離間した瞬間に、一体物ＷＲと受電部材２４Ａとの間でスパークが発生する可能性がある。しかしながら本実施形態の場合、一体物ＷＲは、各支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離にまで離間されているので、必然的に一体物ＷＲがスパークできる個所は、リングフレームＲＦから受電部材２４Ａとなり、ウエハＷＦの回路が形成された部位からスパークされることを効果的に防止することができる。つまり、受電部材２４Ａが避雷針の役割をすることとなり、一体物ＷＲから受電部材２４Ａにスパークさせる領域を極力限られた狭い領域とすることができる。
なお、受電部材２４ＡをリングフレームＲＦから一旦離間させてから再度リングフレームＲＦの所定部位たとえばリングフレームＲＦの角部ＲＦ１を受電部材２４Ａに接近又は当接させた後、再び一体物ＷＲを搬送するようにしてもよい。これは、先の離間でスパークしきれなかった静電気を誘発的にスパークさせる効果がある。
【００２６】
従って、このような実施形態によれば、支持対象物を搬出する際、ウエハＷＦの回路が形成された部位と第１、第２支持面１５、１６との間でスパークが発生することを防止することができ、当該スパークによってウエハＷＦの要部である回路形成部位に損傷が生じることを回避することが可能となる。
【００２７】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図３を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略する。
【００２８】
第２実施形態の支持装置１０は、図３中二点鎖線で示す位置に設けられるシート剥離装置ＲＤに利用されている。このシート剥離装置ＲＤは、被着体としてのウエハＷＦに貼付された接着シートとしての保護シートＰＳに対して剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープＰＴを引っ張ることでウエハＷＦから保護シートＰＳを剥離可能に設けられている。なお、シート剥離装置ＲＤは、本出願人によって出願された特開２０００−６８２９３号で示した保護テープ剥離ユニットと実質的に同一のものを採用することができるので、その詳細構造についての説明は省略する。
【００２９】
第２実施形態の支持テーブル１１は、保護シートＰＳを上向きとし、マウント用シートＭＳを下向きとした状態の一体物ＷＲにおけるマウント用シートＭＳを吸着保持する支持面３０を備えている。支持面３０におけるリングフレームＲＦを支持する領域には、巻きばね２４を受容する受容部３０Ａが形成されている。巻きばね２４の受電部材２４Ａは、リングフレームＲＦ面内のマウント用シートＭＳに接触可能となっている。
【００３０】
従って、このような実施形態においても、ウエハＷＦから保護シートＰＳを剥離した後、支持テーブル１１から一体物ＷＲを搬出する際、ウエハＷＦの回路が形成された部位と支持面３０との間でスパークが発生することを防止することができ、当該スパークによってウエハＷＦの要部である回路形成部位に損傷が生じることを回避することが可能となる。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３２】
例えば、除電手段は、種々の設計変更が可能であり、図４に示される構成に代替することができる。同図（Ａ）は、付勢手段としての巻きばね３５と、巻きばね３５の上端に接続された受電部材としての突没ピン３６とを備えている。突没ピン３６の上端は、先細り形状とされ、支持対象物の下面に接触可能に設けられるとともに、巻きばね３５の弾性力を介して第２支持面１６から突没可能に設けられている。同図（Ｂ）の除電手段は、ケーブル２５に接続される付勢手段としての板ばね３９からなる。この板ばね３９の先端部３９Ａが受電部材となり、リングフレームＲＦの下面に接触可能に設けられる。
また、除去手段１２を設ける数は、１の支持対象物に対して１体でもよいしそれ以上でもよいし、１の除去手段１２に対して複数の受電部材を有するように構成してもよい。
更に、支持対象物が光ディスクの場合、情報が記録されることのない外縁から内側に向う約２ｍｍ幅の外周領域又は、内縁から外側に向う約５ｍｍ幅の内周領域に受電部材が接触するようにすることで、情報記録層が損傷することを防止できる。
また、支持対象物の角部は、ウエハに形成されたＶノッチと円弧部とが交差する２つの交点や、オリエンテーションフラットの直線部と円弧部とが交差する２つの交点等が例示できる。
更に、受電部材は、支持対象物の上側から接触するように構成してもよい。
また、付勢手段は、ばね以外に、駆動機器としてのエアシリンダや直動モータ等によって構成してもよい。この場合、駆動機器を積極的に駆動させて受電部材と支持対象物との離間と当接を複数回繰り返すように構成することができる。
更に、支持対象物と支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離は、支持対象物の帯電量や雰囲気環境条件等によって異なるので、受電部材２３Ａ、２４Ａが支持面１５、１６から突出する長さは、２０ｍｍや２５ｍｍに限らずそれ以上でもよいしそれ以下でもよく、適宜変更することができる。
また、移動手段は、ウエハＷＦ、リングフレームＲＦ、一体物ＷＲを搬送する図示しない搬送手段で構成したり、直動モータ１９と図示しない搬送手段との両方で構成したりしてもよい。
更に、前記実施形態では、支持対象物を停止させた状態で支持テーブル１１を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたが、支持テーブル１１を停止させた状態で支持対象物を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたり、支持テーブル１１と支持対象物との両方を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたりしてもよい。
また、受電部材２３Ａ、２４Ａの先端は先細り形状でなく、平坦形状、球形状、凹凸形状等の他の形状であってよい。
【００３３】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００３４】
更に、本発明における被着体および接着シートの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートは、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有するもの等３層以上のものでもよい。また、被着体が適宜な物品（例えば、食品や樹脂容器等）であって、接着シートがラベルであってもよく、被着体が半導体ウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１０ 支持装置
１１ 支持テーブル
１２ 除電手段
１５ 第１支持面
１６ 第２支持面
２３ 巻きばね（付勢手段）
２３Ａ 受電部材
２４ 巻きばね（付勢手段）
２４Ａ 受電部材
３０ 支持面
ＭＳ マウント用シート（接着シート）
ＳＤ シート貼付装置
ＰＳ 保護シート（接着シート）
ＲＤ シート剥離装置
ＲＦ リングフレーム（被着体）（支持対象物）
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）（支持対象物）
ＷＲ 一体物（支持対象物）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置及び支持方法に係り、更に詳しくは、支持対象物に所定の処理を施す装置に利用され、支持対象物に帯電した静電気を除去することができる支持装置及び支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に所定の処理として接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、ウエハを支持する支持面を有する支持テーブルと、支持テーブルに支持されたウエハに接着シートを貼付する貼付ユニットと、支持テーブルにウエハを搬入及び搬出する搬送機構と、ウエハに貼付する前の保護テープと回収前の不要テープから静電気を除去する静電気除去装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２２１４６９号公報
【特許文献２】特開２０００−６８２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記静電気除去装置を利用しても、もともと静電気が帯電したウエハを支持テーブルに載置するときや、接着シートの貼付動作によって静電気が帯電したウエハを支持テーブルから取り去るときに、当該ウエハや接着シートに帯電した静電気が支持テーブルに対してスパーク（火花を出して放電）し、ウエハ特にウエハに形成された回路を損傷させてしまう、という不都合を招来する。
【０００５】
ここで、前述の現象は、特許文献２に開示されるシート剥離装置においても発生する傾向がある。同文献のシート剥離装置は、ウエハに貼付されている接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを引っ張ることで、ウエハから保護シートを剥離できるようになっている。この剥離装置でも、もともと静電気が帯電したウエハを支持テーブルに載置するときや、接着シートの剥離動作によって静電気が帯電したウエハを支持テーブルから取り去るときに、スパークが発生し、ウエハに形成された回路を損傷させてしまう、という不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、静電気のスパークにより被着体の要部が損傷することを防止することができる支持装置及び支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置、又は、被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置に利用される支持装置において、
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記支持対象物と受電部材とを相対移動可能な移動手段を有し、当該移動手段は、搬送される前記支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能に制御される、という構成を採ってもよい。
【００１０】
また、前記移動手段は、外部から支持テーブル上へ搬送される支持対象物の所定部位を前記受電部材に一旦接近又は当接させてから離間させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材に当接させて前記支持テーブル上に載置可能に制御される、という構成も好ましくは採用される。
【００１１】
更に、前記移動手段は、前記支持テーブル上から外部へ搬送される支持対象物を前記受電部材から一旦離間させてから支持対象物の所定部位を前記受電部材に接近又は当接させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材から離間可能に制御されるとよい。
【００１２】
また、本発明の支持方法は、請求項１ないし５の何れかに記載の支持装置を用いた支持方法であって、
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持す、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、静電気が帯電した支持対象物を支持テーブル等の支持面に載置するときに、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置で、支持対象物の限られた部位と受電部材とを接近させることができる。これによれば、例えば、支持対象物がウエハの場合、外縁から内側に向う約３ｍｍ幅の外周領域には回路が形成されることがないので、この領域が受電部材に当接するようにしたり、支持対象物がコンパクトディスク（ＣＤ）やデジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）等の光ディスクの場合、外縁から内側に向う約２ｍｍ幅の外周領域や、中央の穴に対する内縁から外側に向う約５ｍｍ幅の内周領域には情報記録層が形成されることがないので、これら領域が受電部材に当接するようにしたりしておけば、半導体回路や情報記録層が設けられている要部から支持面にスパークされることはなく、当該半導体回路や情報記録層がスパークによって損傷することを防止することができる。
また、接着シートを貼付したり剥離したり等の所定の処理が行われた支持対象物を支持テーブル等の支持面から取り去るときに、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離となるまで、受電部材が支持対象物に追従するので、支持対象物に帯電した静電気が支持面に対してスパークすることを防止し、このスパークに起因する被着体の損傷を防止することが可能となる。
なお、支持対象物を支持面から取り去るときも、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置で、支持対象物の限られた部位と受電部材とを離間させることができる。これによれば、例えば、支持対象物がウエハや光ディスクの場合、上記と同様の外周領域や内周領域が最後に受電部材と離間するようにしておけば、半導体回路や情報記録層が設けられている要部から支持面にスパークされることはなく、当該半導体回路や情報記録層がスパークによって損傷することを防止することができる。
なお、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離とは、支持対象物の帯電量に左右されるが、０ｍｍを超えて５０ｍｍ程度が例示でき、支持対象物の帯電量が非常に大きい場合や雰囲気の環境条件等によっては、それ以上となる場合も考えられるので、付勢手段の移動量は、支持対象物の帯電量に応じて適宜選定することができる。
【００１４】
また、支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能とすれば、スパーク（放電）は帯電物の角部等の尖った部分から起こりやすい傾向があるので、支持対象物に帯電した静電気を積極的に受電部材で除去することができる。
【００１５】
また、支持対象物を受電部材に当接させる前、又は、受電部材から離間させた後に、支持対象物の所定部位を受電部材に接近又は当接可能とすれば、支持対象物に帯電した静電気を更に積極的に受電部材で除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る支持装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｆ）は、巻きばねの動作要領の説明図。
【図３】第２実施形態に係る支持装置の概略正面図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係る除電手段の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「右」、「左」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００１８】
［第１実施形態］
第１実施形態の支持装置１０は、図１中二点鎖線で示す位置に設けられるシート貼付装置ＳＤに利用される。このシート貼付装置ＳＤは、支持装置１０により支持された被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに対し、接着シートとしてのマウント用シートＭＳを貼付してそれらを一体化可能に設けられている。なお、シート貼付装置ＳＤは、本出願人によって出願された特開２０００−６８２９３号で示した転写テープマウントユニットと実質的に同一のものを採用することができるので、その詳細構造についての説明は省略する。
【００１９】
前記支持装置１０は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを支持可能な支持テーブル１１と、ウエハＷＦ等に帯電した静電気を除去可能な除電手段１２とを備えて構成されている。ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付され、ウエハＷＦの保護シートＰＳが貼付されていない面側からマウント用シートＭＳが貼付される。
【００２０】
前記支持テーブル１１は、保護シートＰＳを吸着保持する第１支持面１５と、この第１支持面１５の外側において当該第１支持面１５より低い位置に形成され、リングフレームＲＦを吸着保持する第２支持面１６と、これら第１及び第２支持面１５、１６の間に立設してリングフレームＲＦの内周縁に接触し、当該リングフレームＲＦを位置決め可能な段差形成面１７とを備えている。支持テーブル１１は、駆動機器であって移動手段としての直動モータ１９のスライダ２０を介して左右方向に移動可能に設けられている。
【００２１】
前記除電手段１２は、第１、第２支持面１５、１６に形成された凹状の受容部１５Ａ、１６Ａ内に設けられた付勢手段としての巻きばね２３、２４と、これら巻きばね２３、２４のそれぞれの下端に一端側が接続され、他端側がアースされたケーブル２５とを備えている。巻きばね２３、２４は、それぞれの上端側が上下方向に延び、保護シートＰＳ、リングフレームＲＦに当接可能な受電部材２３Ａ、２４Ａとされ、各受電部材２３Ａ、２４Ａがばね２３、２４の弾性力により上下方向に移動可能に設けられている。これにより、受電部材２３Ａ、２４Ａが静電気を受電し、支持対象物に帯電した静電気をケーブル２５を介してアースすることで、当該静電気を除去可能となっている。また、各受電部材２３Ａ、２４Ａは、無負荷状態で第１、第２支持面１５、１６から突出する一方、ウエハＷＦ、リングフレームＲＦの負荷が加わると受容部１５Ａ、１６Ａ内に収まり、第１、第２支持面１５、１６に埋没するようになっており、これにより、受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦの第１、第２支持面１５、１６に対する接近又は離間に追従して所定量移動可能となっている。なお、各受電部材２３Ａ、２４Ａが無負荷状態で第１、第２支持面１５、１６から突出する長さは、各支持対象物と第１、第２支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離、たとえば、２０ｍｍ程度に設定されている。
【００２２】
次に、本実施形態におけるウエハＷＦの支持方法について説明する。
【００２３】
図示しない搬送手段により、ウエハＷＦが搬送されてくると、図２（Ａ）に示されるように、第１支持面１５との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置、本実施形態の場合、第１支持面１５の上方２０ｍｍの位置でウエハＷＦは一旦停止される。その後、直動モータ１９が駆動し、図２（Ｂ）示されるように、受電部材２３Ａを支持対象物としてのウエハＷＦの角部ＷＦ１又は、支持対象物としての保護シートＰＳの角部ＰＳ１に一旦接近又は当接させてから再度離間させるよう制御する。このように受電部材２３Ａを支持対象物に一旦接近又は当接させることで、ウエハＷＦ又は保護シートＰＳが帯電していたとしても、要部である回路が形成された部位（ウエハＷＦの内部領域）から第１支持面１５やその他の領域にスパークされることはなく、回路が形成されることのない外縁から内側に向う約３ｍｍ幅の外周領域から受電部材２３Ａにスパーク又は送電が行われ、回路がスパークによって損傷することを防止することができる。
次いで、図示しない搬送手段により、図２（Ｃ）に示されるように、ウエハＷＦが保護シートＰＳの貼付側を下向きとして当該ウエハＷＦを第１支持面１５上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ１９が駆動して、ウエハＷＦの角部ＷＦ１又は保護シートＰＳの角部ＰＳ１が最初に受電部材２３Ａに当接するように制御するとよい。
そして図示しない搬送手段により、リングフレームＲＦが搬送されてくると、図２（Ｄ）に示されるように、第２支持面１６との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置、本実施形態の場合、第２支持面１６の上方２５ｍｍの位置でリングフレームＲＦは一旦停止される。その後、図２（Ｅ）に示されるように、上記と同様に、直動モータ１９が駆動して受電部材２３Ａを支持対象物としてのリングフレームＲＦの左側の角部ＲＦ１に一旦接近又は当接させてから再度離間させよう制御し、スパーク又は送電が行われる。次いで、図示しない搬送手段により、図２（Ｆ）に示されるように、リングフレームＲＦを第２支持面１６上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ１９が駆動して、リングフレームＲＦの角部ＲＦ１が最初に受電部材２４Ａに当接するように制御するとよい。
この載置により、第１、第２支持面１５、１６から突出していた受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに接触した状態で、巻きばね２３、２４の付勢力に抗して押し下げられ、受容部１５Ａ、１６Ａ内に埋没する。この状態で、巻きばね２３、２４の弾力により、巻きばね２３、２４の受電部材２３Ａ、２４ＡとウエハＷＦ、リングフレームＲＦ下面とが接触した状態が維持される。
【００２４】
ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを支持テーブル１１に支持した後、直動モータ１９を作動して支持テーブル１１を移動する。そして、前述のシート貼付装置ＳＤによりウエハＷＦ及びリングフレームＲＦの各上面にマウント用シートＭＳが貼付され、それらが一体化され支持対象物としての一体物ＷＲが形成される。このマウント用シートＭＳが貼付されるとき、当該マウント用シートＭＳは、図示しない剥離シートから剥離されたり、押圧手段等で押圧されたりすることで、静電気が帯電するが、各受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに当接しているので、帯電した静電気は、ケーブル２５を介してアースされて除電される。
【００２５】
マウント用シートＭＳの貼付後、図示しない搬送手段により支持テーブル１１から一体物ＷＲを次工程に搬送する。この搬送において、一体物ＷＲが持ち上げられると、この持ち上げ動作に伴って更に静電気が発生して一体物ＷＲに帯電し、この帯電量が多くなると一体物ＷＲの不特定の位置から各支持面１５、１６の不特定の位置にスパークされることとなる。しかしながら、本実施形態の場合、一体物ＷＲの各支持面１５、１６からの離脱移動に伴って巻きばね２３、２４が追従して上方に伸びる方向に移動することによって、受電部材２３Ａ、２４ＡとリングフレームＲＦとの接触が維持され、一体物ＷＲと各支持面１５、１６との間でスパークが発生することはなく、それら間でパークが発生しない距離となるまで、受電部材２３Ａ、２４ＡがウエハＷＦ、リングフレームＲＦに接触して除電が行われる。なお、受電部材２３Ａ又は２４Ａのいずれか一方を図示しない駆動機器等で上方に伸びないようにしておいてもよい（以降は、受電部材２３Ａが上方に伸びないようにしたとして説明する）。
そして、巻きばね２４が無負荷状態となった後、一体物ＷＲの更なる上昇によって受電部材２４ＡとリングフレームＲＦとが離脱する。ここで、受電部材２４ＡとリングフレームＲＦとが離脱するとき、巻きばね２４を介した除電効果によって一体物ＷＲの帯電量は減少しているため、一体物ＷＲと受電部材２４Ａとの間でスパークが発生する可能性は非常に低くなっている。それでもなお、一体物ＷＲの除電が完全に行われていなかった場合、一体物ＷＲが受電部材２４Ａと離間した瞬間に、一体物ＷＲと受電部材２４Ａとの間でスパークが発生する可能性がある。しかしながら本実施形態の場合、一体物ＷＲは、各支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離にまで離間されているので、必然的に一体物ＷＲがスパークできる個所は、リングフレームＲＦから受電部材２４Ａとなり、ウエハＷＦの回路が形成された部位からスパークされることを効果的に防止することができる。つまり、受電部材２４Ａが避雷針の役割をすることとなり、一体物ＷＲから受電部材２４Ａにスパークさせる領域を極力限られた狭い領域とすることができる。
なお、受電部材２４ＡをリングフレームＲＦから一旦離間させてから再度リングフレームＲＦの所定部位たとえばリングフレームＲＦの角部ＲＦ１を受電部材２４Ａに接近又は当接させた後、再び一体物ＷＲを搬送するようにしてもよい。これは、先の離間でスパークしきれなかった静電気を誘発的にスパークさせる効果がある。
【００２６】
従って、このような実施形態によれば、支持対象物を搬出する際、ウエハＷＦの回路が形成された部位と第１、第２支持面１５、１６との間でスパークが発生することを防止することができ、当該スパークによってウエハＷＦの要部である回路形成部位に損傷が生じることを回避することが可能となる。
【００２７】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図３を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略する。
【００２８】
第２実施形態の支持装置１０は、図３中二点鎖線で示す位置に設けられるシート剥離装置ＲＤに利用されている。このシート剥離装置ＲＤは、被着体としてのウエハＷＦに貼付された接着シートとしての保護シートＰＳに対して剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープＰＴを引っ張ることでウエハＷＦから保護シートＰＳを剥離可能に設けられている。なお、シート剥離装置ＲＤは、本出願人によって出願された特開２０００−６８２９３号で示した保護テープ剥離ユニットと実質的に同一のものを採用することができるので、その詳細構造についての説明は省略する。
【００２９】
第２実施形態の支持テーブル１１は、保護シートＰＳを上向きとし、マウント用シートＭＳを下向きとした状態の一体物ＷＲにおけるマウント用シートＭＳを吸着保持する支持面３０を備えている。支持面３０におけるリングフレームＲＦを支持する領域には、巻きばね２４を受容する受容部３０Ａが形成されている。巻きばね２４の受電部材２４Ａは、リングフレームＲＦ面内のマウント用シートＭＳに接触可能となっている。
【００３０】
従って、このような実施形態においても、ウエハＷＦから保護シートＰＳを剥離した後、支持テーブル１１から一体物ＷＲを搬出する際、ウエハＷＦの回路が形成された部位と支持面３０との間でスパークが発生することを防止することができ、当該スパークによってウエハＷＦの要部である回路形成部位に損傷が生じることを回避することが可能となる。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３２】
例えば、除電手段は、種々の設計変更が可能であり、図４に示される構成に代替することができる。同図（Ａ）は、付勢手段としての巻きばね３５と、巻きばね３５の上端に接続された受電部材としての突没ピン３６とを備えている。突没ピン３６の上端は、先細り形状とされ、支持対象物の下面に接触可能に設けられるとともに、巻きばね３５の弾性力を介して第２支持面１６から突没可能に設けられている。同図（Ｂ）の除電手段は、ケーブル２５に接続される付勢手段としての板ばね３９からなる。この板ばね３９の先端部３９Ａが受電部材となり、リングフレームＲＦの下面に接触可能に設けられる。
また、除去手段１２を設ける数は、１の支持対象物に対して１体でもよいしそれ以上でもよいし、１の除去手段１２に対して複数の受電部材を有するように構成してもよい。
更に、支持対象物が光ディスクの場合、情報が記録されることのない外縁から内側に向う約２ｍｍ幅の外周領域又は、内縁から外側に向う約５ｍｍ幅の内周領域に受電部材が接触するようにすることで、情報記録層が損傷することを防止できる。
また、支持対象物の角部は、ウエハに形成されたＶノッチと円弧部とが交差する２つの交点や、オリエンテーションフラットの直線部と円弧部とが交差する２つの交点等が例示できる。
更に、受電部材は、支持対象物の上側から接触するように構成してもよい。
また、付勢手段は、ばね以外に、駆動機器としてのエアシリンダや直動モータ等によって構成してもよい。この場合、駆動機器を積極的に駆動させて受電部材と支持対象物との離間と当接を複数回繰り返すように構成することができる。
更に、支持対象物と支持面１５、１６との間でスパークが発生しない距離は、支持対象物の帯電量や雰囲気環境条件等によって異なるので、受電部材２３Ａ、２４Ａが支持面１５、１６から突出する長さは、２０ｍｍや２５ｍｍに限らずそれ以上でもよいしそれ以下でもよく、適宜変更することができる。
また、移動手段は、ウエハＷＦ、リングフレームＲＦ、一体物ＷＲを搬送する図示しない搬送手段で構成したり、直動モータ１９と図示しない搬送手段との両方で構成したりしてもよい。
更に、前記実施形態では、支持対象物を停止させた状態で支持テーブル１１を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたが、支持テーブル１１を停止させた状態で支持対象物を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたり、支持テーブル１１と支持対象物との両方を移動させて当該支持対象物と受電部材２３Ａ、２４Ａとを接触させたりしてもよい。
また、受電部材２３Ａ、２４Ａの先端は先細り形状でなく、平坦形状、球形状、凹凸形状等の他の形状であってよい。
【００３３】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００３４】
更に、本発明における被着体および接着シートの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートは、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有するもの等３層以上のものでもよい。また、被着体が適宜な物品（例えば、食品や樹脂容器等）であって、接着シートがラベルであってもよく、被着体が半導体ウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１０ 支持装置
１１ 支持テーブル
１２ 除電手段
１５ 第１支持面
１６ 第２支持面
２３ 巻きばね（付勢手段）
２３Ａ 受電部材
２４ 巻きばね（付勢手段）
２４Ａ 受電部材
３０ 支持面
ＭＳ マウント用シート（接着シート）
ＳＤ シート貼付装置
ＰＳ 保護シート（接着シート）
ＲＤ シート剥離装置
ＲＦ リングフレーム（被着体）（支持対象物）
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）（支持対象物）
ＷＲ 一体物（支持対象物）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置、又は、被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置に利用される支持装置において、
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項３】
前記支持対象物と受電部材とを相対移動可能な移動手段を有し、当該移動手段は、搬送される前記支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能に制御されることを特徴とする請求項１又は２記載の支持装置。
【請求項４】
前記移動手段は、外部から支持テーブル上へ搬送される支持対象物の所定部位を前記受電部材に一旦接近又は当接させてから離間させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材に当接させて前記支持テーブル上に載置可能に制御されることを特徴とする請求項３記載の支持装置。
【請求項５】
前記移動手段は、前記支持テーブル上から外部へ搬送される支持対象物を前記受電部材から一旦離間させてから支持対象物の所定部位を前記受電部材に接近又は当接させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材から離間可能に制御されることを特徴とする請求項３又は４記載の支持装置。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れかに記載の支持装置を用いた支持方法であって、
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持することを特徴とする搬送方法。
【請求項１】
支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置、又は、被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置に利用される支持装置において、
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項３】
前記支持対象物と受電部材とを相対移動可能な移動手段を有し、当該移動手段は、搬送される前記支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能に制御されることを特徴とする請求項１又は２記載の支持装置。
【請求項４】
前記移動手段は、外部から支持テーブル上へ搬送される支持対象物の所定部位を前記受電部材に一旦接近又は当接させてから離間させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材に当接させて前記支持テーブル上に載置可能に制御されることを特徴とする請求項３記載の支持装置。
【請求項５】
前記移動手段は、前記支持テーブル上から外部へ搬送される支持対象物を前記受電部材から一旦離間させてから支持対象物の所定部位を前記受電部材に接近又は当接させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材から離間可能に制御されることを特徴とする請求項３又は４記載の支持装置。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れかに記載の支持装置を用いた支持方法であって、
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持することを特徴とする搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−１０５９３４（Ｐ２０１３−１０５９３４Ａ）
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４９５１３（Ｐ２０１１−２４９５１３）
【出願日】平成２３年１１月１５日（２０１１．１１．１５）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１５日（２０１１．１１．１５）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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