放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法
【課題】高感度で均一かつ耐久性に優れた放射線画像変換パネルを得ることのできる放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】放射線画像変換パネルの製造装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部に設けられ支持体５に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源４と、蒸発源４に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダ６と、蒸発源４に対して支持体ホルダ６を回転させることによって蒸発源４から輝尽性蛍光体を支持体５に蒸着させる支持体回転機構１０と、支持体ホルダ６の曲面に当接された支持体５の両端部を挟持し、支持体５に張力が発生するように支持体ホルダ６に固定される固定部材７ａ，７ｂとを備える。固定部材７ａ，７ｂのうち支持体５の少なくとも一端を挟持するものは、スプリング８を介して支持体ホルダ６に固定する。
【解決手段】放射線画像変換パネルの製造装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部に設けられ支持体５に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源４と、蒸発源４に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダ６と、蒸発源４に対して支持体ホルダ６を回転させることによって蒸発源４から輝尽性蛍光体を支持体５に蒸着させる支持体回転機構１０と、支持体ホルダ６の曲面に当接された支持体５の両端部を挟持し、支持体５に張力が発生するように支持体ホルダ６に固定される固定部材７ａ，７ｂとを備える。固定部材７ａ，７ｂのうち支持体５の少なくとも一端を挟持するものは、スプリング８を介して支持体ホルダ６に固定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線画像変換パネルに係り、特に、輝尽性蛍光体層が形成された放射線画像変換パネルの製造装置及びこの放射線画像変換パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、銀塩を使用しないで放射線画像を得る方法として、支持体上に輝尽性蛍光体層を形成した放射線画像変換パネルが開発されている。
【０００３】
放射線画像変換パネルは、被写体を透過した放射線を輝尽性蛍光体層に吸収させ、被写体各部の放射線透過密度に対応する放射線エネルギーを蓄積することができる。その後、可視光線、赤外線などの電磁波（励起光）によって輝尽性蛍光体を時系列的に励起することにより、輝尽性蛍光体中に蓄積されている放射線エネルギーを輝尽発光として放出させる。そしてこの光の強弱による信号を、例えば光電変換して電気信号とし、ハロゲン化銀写真感光材料などの記録材料、ＣＲＴなどの表示装置上に可視像として再生することができる。
【０００４】
輝尽性蛍光体層が形成された放射線画像変換パネルにおいて、高感度及び高鮮鋭性を両立させるためには、支持体上に輝尽性蛍光体層を柱状結晶化させることが必要であるが、近年、ＣｓＢｒなどのハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体層を蒸着法により形成すると非常に高感度の輝尽性蛍光体が得られることが報告されている（特許文献１）。
【０００５】
このように輝尽性蛍光体層を蒸着させる装置としては、真空容器を備え、この真空容器内の上方に支持体を保持する支持体ホルダが備えられた蒸着装置が知られている。このような蒸着装置には、真空容器内の底面付近に輝尽性蛍光体を蒸気として蒸着させる蒸発源が備えられており、支持体を支持体ホルダの蒸発源側の面に押し付けるなどして支持体ホルダに保持させた状態で、蒸発源から輝尽性蛍光体を支持体に蒸着させる。
【０００６】
このような蒸着装置によれば、輝尽性蛍光体を蒸気にして支持体に付着させるため、支持体上に輝尽性蛍光体層を均一に形成することができる。
【特許文献１】特開２００１−２４９１９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような蒸着装置において、支持体を支持体ホルダに押し付けただけでは時間の経過と共に支持体が下方に垂れ下がってくる。また、熱膨張率が高い支持体では、蒸着の熱によって支持体の温度が上がると支持体が伸びて下方に垂れてきてしまう。
【０００８】
このように支持体と支持体ホルダの密着が十分でなく、両者が離れた状態になると、輝尽性蛍光体の蒸着熱による支持体の温度上昇と共に支持体と支持体ホルダとの間に温度差ができ、支持体全体としての温度を均一に保つことができない。
【０００９】
すなわち、蒸着熱により支持体の蒸着源に対向する面が加熱されると、支持体のうち輝尽性蛍光体が早く堆積した部分の温度のみが上昇する。特に、支持体が熱伝導率の高い金属などである場合にこの傾向は顕著となる。この場合において、支持体と支持体ホルダとが離れていると、支持体ホルダを加熱又は冷却することによって支持体全体の温度を所定の範囲内に制御することができない。
【００１０】
このように支持体全体の温度が所定の範囲内にない場合には、柱状結晶の生成を制御することができないため、輝度分布の制御をすることができなくなる。したがって、放射線画像変換パネルの感度の不均一化や、膜剥離が生じてしまうという問題があった。
【００１１】
ここで、支持体と支持体ホルダとの密着を強化する方法として、支持体と支持体ホルダとの間にコンタクトメタルを介在させるという方法もある。しかし、この方法では支持体上にコンタクトメタルとして別の膜を付着させる必要があるため、製造工程が煩雑化するという問題があった。
【００１２】
本発明の課題は、このような点に鑑みてなされたものであり、製造工程を煩雑化することなく、支持体と支持体ホルダとの密着を強化することにより支持体全体の温度を一定に保ち、高感度で均一かつ耐久性に優れた放射線画像変換パネルを得ることのできる放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を解決するために、請求項１の発明は、放射線画像変換パネルの製造装置であって、真空容器と、前記真空容器内に設けられ、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、前記蒸発源に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダと、前記蒸発源に対して前記支持体ホルダを回転させることによってこの蒸発源から輝尽性蛍光体を前記支持体に蒸着させる支持体回転機構と、前記支持体の両端を挟持し、この支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定させる固定部材と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項１の発明によれば、支持体は固定部材に引っ張られた状態で支持体ホルダの曲面に密着されるので、支持体と支持体ホルダとの密着性が強化される。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造装置であって、前記固定部材には、前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングが取付けられていることを特徴とする。
【００１６】
請求項２の発明によれば、支持体の両端を挟持した固定部材がスプリングを介して支持体ホルダに固定されることにより、支持体が支持体ホルダの方向に付勢されて取付けられ、その張力が可変な状態とされるので、蒸着熱によって支持体が膨張した場合でも支持体の張力は常に一定範囲内となり、支持体と支持体ホルダとの密着は強化されたまま保たれる。
【００１７】
請求項３の発明は、放射線画像変換パネルの製造方法であって、真空容器内において、支持体の両端を固定部材により挟持する工程と、前記真空容器内の上方に設けられた支持体ホルダのうち、この真空容器内の底面側に面し所定の曲率半径を有する曲面に前記支持体を当接する工程と、前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程と、前記真空容器内の底部に設けられた蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記支持体上に蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項３の発明によれば、支持体は固定部材に引っ張られた状態で支持体ホルダの曲面に密着されるので、支持体と支持体ホルダとの密着性が強化される。
【００１９】
請求項４の発明は、請求項３に記載の放射線画像変換パネルの製造方法であって、前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程は、前記固定部材に前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングを取付ける工程を含むことを特徴とする。
【００２０】
請求項４の発明によれば、固定部材がスプリングを介して固定されることにより、支持体が支持体ホルダの方向に付勢されて取付けられ、その張力が可変な状態とされているので、蒸着熱によって支持体が膨張した場合でも支持体の張力は常に一定範囲内となり、支持体と支持体ホルダとの密着は強化されたまま保たれる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法によれば、支持体と支持体ホルダの密着性が強化されることにより、支持体全体の温度を均一に制御することが可能となり、これにより輝度分布を制御して膜剥離や感度の不均一化が生じにくい輝尽性蛍光体層を形成することができる。その結果、高感度で均一かつ耐久性に優れた良好な放射線画像変換パネルを製造することができるという効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
まず、本発明に係る放射線画像変換パネルの製造装置１について説明する。
【００２４】
図１に示すように、放射線画像変換パネルの製造装置１（以下、製造装置１とする）は真空容器２を備えており、真空容器２には真空容器２の内部の排気及び大気の導入を行う真空ポンプ３が備えられている。
【００２５】
真空容器２の内部の底面付近には輝尽性蛍光体を蒸気として蒸着させる蒸発源４が備えられている。蒸発源４は、輝尽性蛍光体を収容して抵抗加熱法で加熱するものであり、ヒータを巻いたアルミナ製のるつぼから構成しても良いし、ボートや、高融点金属からなるヒータから構成しても良い。
【００２６】
本実施形態の蒸発源４はるつぼから構成され、このるつぼには蒸着により支持体５の被形成面に形成される輝尽性蛍光体層の材料となる輝尽性蛍光体が収容されている。
【００２７】
ここで、本実施形態における輝尽性蛍光体は、下記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体であることが好ましい。
【００２８】
一般式（１）
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ'2・ｂＭ3Ｘ"3：ｅＡ
［式中、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子であり、Ｍ2はＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉの各原子から選ばれる少なくとも１種の二価金属原子であり、Ｍ3はＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎの各原子から選ばれる少なくとも１種の三価金属原子であり、Ｘ、Ｘ'、Ｘ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子であり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であり、また、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦ｂ＜０．５、０＜ｅ＜１．０の範囲の数値を表す。］
【００２９】
上記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体において、Ｍ1は、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓ等の各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子を表し、中でもＲｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ土類金属原子が好ましく、さらに好ましくはＣｓ原子である。
【００３０】
Ｍ2は、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の二価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのは、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａ等の各原子から選ばれる二価の金属原子である。
【００３１】
Ｍ3は、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の三価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのはＹ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ａｌ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる三価の金属原子である。
【００３２】
Ａは、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子である。
【００３３】
輝尽性蛍光体の輝尽発光輝度向上の観点から、Ｘ、Ｘ'及びＸ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子を表すが、Ｆ、Ｃｌ及びＢｒから選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が好ましく、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が更に好ましい。
【００３４】
また、一般式（１）において、ｂ値は０≦ｂ＜０．５であるが、好ましくは、０≦ｂ＜１０-2である。
【００３５】
ここで、輝尽性蛍光体層は互いに独立した細長い柱状結晶構造を有しており、個々の径及び形状が揃った柱状結晶であることが好ましい。この柱状結晶の太さ、つまり柱状結晶の平均面積は支持体の温度によって影響を受けることから、これらを制御することによって所望する平均面積を有する柱状結晶を作製することが可能である。すなわち、輝尽性蛍光体層が設けられる支持体全体の温度を所定の範囲に調整し、かつ、この所定の温度範囲からの偏差を可能な限り小さくすることにより、柱状結晶の太さを制御し、感度が均一で膜剥離をおこしにくい輝尽性蛍光体層を形成することが可能になる。
【００３６】
真空容器２の内部の上面付近には、支持体５を保持する支持体ホルダ６が備えられている。
【００３７】
支持体５としては、一般に各種のガラス、高分子材料、金属などが用いられるが、本実施形態においては特に樹脂などの高分子材料又はアルミニウムシート、鉄シート、銅シートなどの金属シートが好ましい。また、支持体５の厚さは一般に８０μｍ〜５０００μｍであり、取り扱い上の点から８０μｍ〜３０００μｍであることが好ましい。
【００３８】
支持体ホルダ６は支持体ホルダ基板６ｂ及び支持体ホルダ凸部６ａから成り、支持体ホルダ基板６ｂのうち蒸発源４に対向する面の中央部付近に、支持体ホルダ凸部６ａが突出した状態に形成されている。支持体ホルダ凸部６ａのうち蒸発源４に対向する面は所定の曲率を備えており、支持体ホルダ６の縦方向の中央部を中心として蒸発源４の方向に膨出した曲面となっている。
【００３９】
ここで、支持体ホルダ凸部６ａの曲面の曲率半径Ｒは、Ｒ＝１００〜１０００００が好ましく、さらに好ましくはＲ＝１０００〜２００００である。
【００４０】
支持体ホルダ基板６ｂには、支持体５の端部を挟持して支持体ホルダ凸部６ａの両端部付近に固定される固定部材７ａ，７ｂが備えられている。
【００４１】
図２に示すように、固定部材７ｂはねじによって支持体ホルダ基板６ｂに固定されている。なお、固定部材７ｂの固定はねじ止めの他、接着剤などで行ってもよい。また、固定部材７ａには３つのスプリング８が取付けられ、このスプリング８の先端部に形成されたフックが支持体ホルダ基板６ｂに備えられた３つのフック係合部９にそれぞれ係合されることによって、支持体５が支持体ホルダ凸部６ａの方向に付勢された状態で取付けられるようになっている。なお、固定部材７ａ，７ｂ共にスプリング８を介在させて固定してもよい。
【００４２】
さらに、支持体ホルダ６には、支持体５を蒸発源４に対して回転させることにより蒸発源４から蒸気を蒸着させる支持体回転機構１０が設けられている。支持体回転機構１０は、支持体ホルダ６を支持すると共に支持体ホルダ６を回転させる回転軸１０ａと、真空容器２外に配置されて回転軸１０ａの駆動源となるモータ（図示せず）等から構成されている。
【００４３】
なお、支持体ホルダ６には、支持体５を加熱する加熱ヒータ（図示せず）を備えることが好ましい。この加熱ヒータで支持体５を加熱することによって、支持体５の支持体ホルダ６に対する密着性を強化や、輝尽性蛍光体層の膜質調整を行う。また、支持体５の表面の吸着物を離脱・除去し、支持体５の表面と輝尽性蛍光体との間に不純物層が発生することを防止する。
また、加熱手段として温媒又は熱媒を循環させるための機構（図示せず）を有していてもよい。この場合には、蒸着時の基板温度を５０〜１５０℃といった比較的低温に保持して蒸着する場合に適している。
【００４４】
また、支持体５と蒸発源４との間隔は、１００ｍｍ〜１５００ｍｍに設置するのが好ましい。さらに、支持体５と蒸発源４との間に、蒸発源４から支持体５に至る空間を遮断するシャッタ（図示せず）を備えるようにしても良い。シャッタによって輝尽性蛍光体の表面に付着した目的物以外の物質が蒸着の初期段階で蒸発し、支持体５に付着するのを防ぐことができる。
【００４５】
続いて、前述の放射線画像変換パネルの製造装置を用いた本発明の放射線画像変換パネルの製造方法について説明する。
【００４６】
前述の放射線画像変換パネルの製造装置１を使用して支持体５に輝尽性蛍光体層を形成するには、まず、支持体ホルダ６に支持体５を取付ける。
【００４７】
支持体５の取付けにあたっては、まず、支持体５の一端側を固定部材７ｂで挟持した状態で、固定部材７ｂを支持体ホルダ基板６ｂにおける支持体ホルダ凸部６ａの一側面付近にねじによって固定する。次に、支持体５を支持体ホルダ凸部６ａの曲面に当接した状態で支持体５の他端側を固定部材７ａによって挟持し、固定部材７ａに取付けられた３つのスプリング８を支持体ホルダ基板６ｂに備えられた３つのフック係合部９にそれぞれ係合する。
【００４８】
次いで、真空容器２内を真空排気する。その後、支持体回転機構１０により支持体ホルダ６を蒸発源４に対して回転させ、蒸着可能な真空度に真空容器２が達したら、加熱された蒸発源４から輝尽性蛍光体を蒸発させて、支持体５の表面に輝尽性蛍光体層を所望の厚さに成長させる。この輝尽性蛍光体層１２は、１０〜１０００μｍ、好ましくは１０μｍ〜５００μｍの膜厚に形成される。
【００４９】
以上の放射線画像変換パネルの製造装置１又は製造方法によれば、支持体５は固定部材７ａ，７ｂに引っ張られた状態で支持体ホルダ凸部６ａに密着されるので、支持体５と支持体ホルダ６との密着性が強化される。さらに、スプリング８を介在させて固定しているため、支持体５は支持体ホルダ６の方向に付勢された状態で取付けられ、その張力が可変な状態とされる。したがって、支持体５の熱膨張率が高く輝尽性蛍光体の蒸着熱により支持体５が膨張した場合でも、支持体５の張力は常に一定範囲内となり、支持体５と支持体ホルダ６との密着は強化されたまま保たれる。
【００５０】
したがって、支持体５に輝尽性蛍光体が蒸着することにより支持体５の温度が上昇した場合でも、常に支持体５の全体の温度を所定範囲内にすることが可能となるので、柱状結晶の生成の制御により、輝度分布の制御をすることができるため、放射線画像変換パネルの感度を均一化することが可能となる。
【００５１】
以上のように本発明によれば、支持体５の全体の温度を均一に保つことが可能となるので輝度分布の制御がしやすくなり、膜剥離や感度の不均一化が生じにくい輝尽性蛍光体層を形成することができる。その結果、高感度で均一かつ耐久性に優れた良好な放射線画像変換パネルを製造することができるという効果を得ることができる。
【００５２】
特に、本発明においては、支持体５として樹脂などの高分子材料又はアルミニウムシート、鉄シート、銅シートなどの薄い金属シートを使用する場合に顕著な効果を得ることができる。
【００５３】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の実施態様はこれに限定されるものではない。
【００５４】
[実施例１]
真空容器の内部の上面付近において、厚さ０．５ｍｍの支持体の一端側を固定部材で挟持した状態で、固定部材を支持体ホルダ基板における支持体ホルダ凸部の一側面付近にねじによって固定した。次に、支持体を支持体ホルダ凸部の曲面に当接した状態で、支持体の他端側を固定部材によって挟持し、固定部材に取付けられた３つのスプリングを支持体ホルダ基板に備えられた３つのフック係合部にそれぞれ係合することで、支持体に張力を付与した状態で支持体を支持体ホルダに固定した。
次に、蒸発源として輝尽性蛍光体（ＣｓＢｒ：０．０００１Ｅｕ）を抵抗加熱用タングステンボートに充填して真空容器の内部の底面付近に設置した。
続いて真空容器を一旦排気し、Ａｒガスを導入して真空度を０．１Ｐａに調整した。そして、支持体ホルダに設置された加熱ヒータにより支持体の温度を１００℃に調整した。その後タングステンボートを加熱して蒸発源を蒸発させ、膜厚が５００μｍとなったところで蒸着を終了した。次いで１５０℃でこの輝尽性蛍光体を加熱処理（アニール処理）することにより、放射線画像変換パネルを作製した。
【００５５】
[実施例２]
実施例１の支持体の厚さを０．２ｍｍとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５６】
[実施例３]
実施例１の支持体の材質をポリカーボネートとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５７】
[実施例４]
実施例１の支持体の厚さを０．２ｍｍとし、材質をＰＥＴとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５８】
[比較例１]
実施例１の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００５９】
[比較例２]
実施例２の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６０】
[比較例３]
実施例３の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６１】
[比較例４]
実施例４の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６２】
そして、以上のようにして得られた放射線画像変換パネルについて下記のような評価を行った。
【００６３】
＜輝度分布評価＞
放射線画像変換パネルに管電圧８０ｋＶｐのＸ線を輝尽性蛍光体層とは逆の支持体側から均一に照射した後、この放射線画像変換パネルをＨｅ−Ｎｅレーザー光（６３３ｎｍ）で走査して励起し、放射線画像変換パネル上に等間隔に並んだ２５の測定点において、輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光を受光器（分光感度Ｓ−５の光電子増倍管）で受光してその強度を測定し、各測定点間の強度のばらつきから感度ムラを評価した。感度ムラは、各パネルの各測定点における輝度の最大値と最小値の幅を２５点の測定点の強度の平均値で割り、これを％で表したものである。評価の結果を表１に示す。
【００６４】
＜付着性＞
放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の表面に接着テープを貼り付け、テープを剥がしたときに輝尽性蛍光体層が支持体に付着していた面積を測定し、以下に示す基準により付着性の評価を行った。評価の結果を表１に示す。
【００６５】
○：支持体５に付着していた輝尽性蛍光体層の面積が６０％以上である。
×：支持体５に付着していた輝尽性蛍光体層の面積が６０％未満である。
【００６６】
【表１】
【００６７】
以上、表１の結果から明らかなように、支持体を張力を付与した状態で支持体ホルダに固定した実施例１〜実施例４においては、支持体に付着した輝尽性蛍光体層の面積が６０％以上となっている。一方、支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定した比較例１〜比較例４においては、支持体に付着した輝尽性蛍光体層の面積が６０％未満となっている。この結果より、支持体を張力を付与して固定した状態で蒸着を行うと、蒸着過程において支持体全体の温度が均一に保たれ、輝尽性蛍光体層の付着性が向上することがわかる。
【００６８】
そして、実施例１〜実施例４においては、比較例１〜比較例４に比べて輝度分布の値が低いことがわかる。すなわち、輝尽性蛍光体層の付着性が向上する結果、輝尽発光の強度のばらつきが少なくなり、放射線画像変換パネルの感度ムラが少なくなることがわかる。
【００６９】
また、実施例１〜実施例４より、支持体の材質が異なる場合でも同様の作用効果が得られることがわかる。
ただし、実施例１，２及び実施例３，４からわかるように、支持体の材質が金属である場合は熱伝導性が高いため、より支持体の温度の制御がしやすく、支持体全体の温度を一定に保つことによってさらに輝度分布を低く抑えることができる。
【００７０】
さらに、実施例１，３及び実施例２，４からわかるように、支持体の厚さが０．５ｍｍの方が０．２ｍｍの場合より輝度分布が低く抑えられており、支持体にある程度剛性がある方が支持体ホルダとの密着が得られやすく、逆にあまり薄いと支持体ホルダに均一に密着させるのが難しいということがわかる。
【００７１】
以上より、支持体に張力を付与して支持体ホルダに固定した状態で蒸着を行うことにより、支持体に対する輝尽性蛍光体層の付着性が優れ、感度ムラの少ない放射線画像変換パネルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の放射線画像変換パネルの製造装置を示す断面図である。
【図２】本発明の固定部材により支持体を支持体ホルダに固定した状態を示す平面 図である。
【符号の説明】
【００７３】
１ 放射線画像変換パネルの製造装置
２ 真空容器
３ 真空ポンプ
４ 蒸発源
５ 支持体
６ 支持体ホルダ
６ａ 支持体ホルダ凸部
６ｂ 支持体ホルダ基板
７ａ，７ｂ 固定部材
８ スプリング
９ フック係合部
１０ 支持体回転機構
１０ａ 回転軸
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線画像変換パネルに係り、特に、輝尽性蛍光体層が形成された放射線画像変換パネルの製造装置及びこの放射線画像変換パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、銀塩を使用しないで放射線画像を得る方法として、支持体上に輝尽性蛍光体層を形成した放射線画像変換パネルが開発されている。
【０００３】
放射線画像変換パネルは、被写体を透過した放射線を輝尽性蛍光体層に吸収させ、被写体各部の放射線透過密度に対応する放射線エネルギーを蓄積することができる。その後、可視光線、赤外線などの電磁波（励起光）によって輝尽性蛍光体を時系列的に励起することにより、輝尽性蛍光体中に蓄積されている放射線エネルギーを輝尽発光として放出させる。そしてこの光の強弱による信号を、例えば光電変換して電気信号とし、ハロゲン化銀写真感光材料などの記録材料、ＣＲＴなどの表示装置上に可視像として再生することができる。
【０００４】
輝尽性蛍光体層が形成された放射線画像変換パネルにおいて、高感度及び高鮮鋭性を両立させるためには、支持体上に輝尽性蛍光体層を柱状結晶化させることが必要であるが、近年、ＣｓＢｒなどのハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体層を蒸着法により形成すると非常に高感度の輝尽性蛍光体が得られることが報告されている（特許文献１）。
【０００５】
このように輝尽性蛍光体層を蒸着させる装置としては、真空容器を備え、この真空容器内の上方に支持体を保持する支持体ホルダが備えられた蒸着装置が知られている。このような蒸着装置には、真空容器内の底面付近に輝尽性蛍光体を蒸気として蒸着させる蒸発源が備えられており、支持体を支持体ホルダの蒸発源側の面に押し付けるなどして支持体ホルダに保持させた状態で、蒸発源から輝尽性蛍光体を支持体に蒸着させる。
【０００６】
このような蒸着装置によれば、輝尽性蛍光体を蒸気にして支持体に付着させるため、支持体上に輝尽性蛍光体層を均一に形成することができる。
【特許文献１】特開２００１−２４９１９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような蒸着装置において、支持体を支持体ホルダに押し付けただけでは時間の経過と共に支持体が下方に垂れ下がってくる。また、熱膨張率が高い支持体では、蒸着の熱によって支持体の温度が上がると支持体が伸びて下方に垂れてきてしまう。
【０００８】
このように支持体と支持体ホルダの密着が十分でなく、両者が離れた状態になると、輝尽性蛍光体の蒸着熱による支持体の温度上昇と共に支持体と支持体ホルダとの間に温度差ができ、支持体全体としての温度を均一に保つことができない。
【０００９】
すなわち、蒸着熱により支持体の蒸着源に対向する面が加熱されると、支持体のうち輝尽性蛍光体が早く堆積した部分の温度のみが上昇する。特に、支持体が熱伝導率の高い金属などである場合にこの傾向は顕著となる。この場合において、支持体と支持体ホルダとが離れていると、支持体ホルダを加熱又は冷却することによって支持体全体の温度を所定の範囲内に制御することができない。
【００１０】
このように支持体全体の温度が所定の範囲内にない場合には、柱状結晶の生成を制御することができないため、輝度分布の制御をすることができなくなる。したがって、放射線画像変換パネルの感度の不均一化や、膜剥離が生じてしまうという問題があった。
【００１１】
ここで、支持体と支持体ホルダとの密着を強化する方法として、支持体と支持体ホルダとの間にコンタクトメタルを介在させるという方法もある。しかし、この方法では支持体上にコンタクトメタルとして別の膜を付着させる必要があるため、製造工程が煩雑化するという問題があった。
【００１２】
本発明の課題は、このような点に鑑みてなされたものであり、製造工程を煩雑化することなく、支持体と支持体ホルダとの密着を強化することにより支持体全体の温度を一定に保ち、高感度で均一かつ耐久性に優れた放射線画像変換パネルを得ることのできる放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を解決するために、請求項１の発明は、放射線画像変換パネルの製造装置であって、真空容器と、前記真空容器内に設けられ、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、前記蒸発源に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダと、前記蒸発源に対して前記支持体ホルダを回転させることによってこの蒸発源から輝尽性蛍光体を前記支持体に蒸着させる支持体回転機構と、前記支持体の両端を挟持し、この支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定させる固定部材と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項１の発明によれば、支持体は固定部材に引っ張られた状態で支持体ホルダの曲面に密着されるので、支持体と支持体ホルダとの密着性が強化される。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造装置であって、前記固定部材には、前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングが取付けられていることを特徴とする。
【００１６】
請求項２の発明によれば、支持体の両端を挟持した固定部材がスプリングを介して支持体ホルダに固定されることにより、支持体が支持体ホルダの方向に付勢されて取付けられ、その張力が可変な状態とされるので、蒸着熱によって支持体が膨張した場合でも支持体の張力は常に一定範囲内となり、支持体と支持体ホルダとの密着は強化されたまま保たれる。
【００１７】
請求項３の発明は、放射線画像変換パネルの製造方法であって、真空容器内において、支持体の両端を固定部材により挟持する工程と、前記真空容器内の上方に設けられた支持体ホルダのうち、この真空容器内の底面側に面し所定の曲率半径を有する曲面に前記支持体を当接する工程と、前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程と、前記真空容器内の底部に設けられた蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記支持体上に蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項３の発明によれば、支持体は固定部材に引っ張られた状態で支持体ホルダの曲面に密着されるので、支持体と支持体ホルダとの密着性が強化される。
【００１９】
請求項４の発明は、請求項３に記載の放射線画像変換パネルの製造方法であって、前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程は、前記固定部材に前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングを取付ける工程を含むことを特徴とする。
【００２０】
請求項４の発明によれば、固定部材がスプリングを介して固定されることにより、支持体が支持体ホルダの方向に付勢されて取付けられ、その張力が可変な状態とされているので、蒸着熱によって支持体が膨張した場合でも支持体の張力は常に一定範囲内となり、支持体と支持体ホルダとの密着は強化されたまま保たれる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法によれば、支持体と支持体ホルダの密着性が強化されることにより、支持体全体の温度を均一に制御することが可能となり、これにより輝度分布を制御して膜剥離や感度の不均一化が生じにくい輝尽性蛍光体層を形成することができる。その結果、高感度で均一かつ耐久性に優れた良好な放射線画像変換パネルを製造することができるという効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
まず、本発明に係る放射線画像変換パネルの製造装置１について説明する。
【００２４】
図１に示すように、放射線画像変換パネルの製造装置１（以下、製造装置１とする）は真空容器２を備えており、真空容器２には真空容器２の内部の排気及び大気の導入を行う真空ポンプ３が備えられている。
【００２５】
真空容器２の内部の底面付近には輝尽性蛍光体を蒸気として蒸着させる蒸発源４が備えられている。蒸発源４は、輝尽性蛍光体を収容して抵抗加熱法で加熱するものであり、ヒータを巻いたアルミナ製のるつぼから構成しても良いし、ボートや、高融点金属からなるヒータから構成しても良い。
【００２６】
本実施形態の蒸発源４はるつぼから構成され、このるつぼには蒸着により支持体５の被形成面に形成される輝尽性蛍光体層の材料となる輝尽性蛍光体が収容されている。
【００２７】
ここで、本実施形態における輝尽性蛍光体は、下記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体であることが好ましい。
【００２８】
一般式（１）
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ'2・ｂＭ3Ｘ"3：ｅＡ
［式中、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子であり、Ｍ2はＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉの各原子から選ばれる少なくとも１種の二価金属原子であり、Ｍ3はＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎの各原子から選ばれる少なくとも１種の三価金属原子であり、Ｘ、Ｘ'、Ｘ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子であり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であり、また、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦ｂ＜０．５、０＜ｅ＜１．０の範囲の数値を表す。］
【００２９】
上記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体において、Ｍ1は、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓ等の各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子を表し、中でもＲｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ土類金属原子が好ましく、さらに好ましくはＣｓ原子である。
【００３０】
Ｍ2は、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の二価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのは、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａ等の各原子から選ばれる二価の金属原子である。
【００３１】
Ｍ3は、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の三価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのはＹ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ａｌ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる三価の金属原子である。
【００３２】
Ａは、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子である。
【００３３】
輝尽性蛍光体の輝尽発光輝度向上の観点から、Ｘ、Ｘ'及びＸ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子を表すが、Ｆ、Ｃｌ及びＢｒから選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が好ましく、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が更に好ましい。
【００３４】
また、一般式（１）において、ｂ値は０≦ｂ＜０．５であるが、好ましくは、０≦ｂ＜１０-2である。
【００３５】
ここで、輝尽性蛍光体層は互いに独立した細長い柱状結晶構造を有しており、個々の径及び形状が揃った柱状結晶であることが好ましい。この柱状結晶の太さ、つまり柱状結晶の平均面積は支持体の温度によって影響を受けることから、これらを制御することによって所望する平均面積を有する柱状結晶を作製することが可能である。すなわち、輝尽性蛍光体層が設けられる支持体全体の温度を所定の範囲に調整し、かつ、この所定の温度範囲からの偏差を可能な限り小さくすることにより、柱状結晶の太さを制御し、感度が均一で膜剥離をおこしにくい輝尽性蛍光体層を形成することが可能になる。
【００３６】
真空容器２の内部の上面付近には、支持体５を保持する支持体ホルダ６が備えられている。
【００３７】
支持体５としては、一般に各種のガラス、高分子材料、金属などが用いられるが、本実施形態においては特に樹脂などの高分子材料又はアルミニウムシート、鉄シート、銅シートなどの金属シートが好ましい。また、支持体５の厚さは一般に８０μｍ〜５０００μｍであり、取り扱い上の点から８０μｍ〜３０００μｍであることが好ましい。
【００３８】
支持体ホルダ６は支持体ホルダ基板６ｂ及び支持体ホルダ凸部６ａから成り、支持体ホルダ基板６ｂのうち蒸発源４に対向する面の中央部付近に、支持体ホルダ凸部６ａが突出した状態に形成されている。支持体ホルダ凸部６ａのうち蒸発源４に対向する面は所定の曲率を備えており、支持体ホルダ６の縦方向の中央部を中心として蒸発源４の方向に膨出した曲面となっている。
【００３９】
ここで、支持体ホルダ凸部６ａの曲面の曲率半径Ｒは、Ｒ＝１００〜１０００００が好ましく、さらに好ましくはＲ＝１０００〜２００００である。
【００４０】
支持体ホルダ基板６ｂには、支持体５の端部を挟持して支持体ホルダ凸部６ａの両端部付近に固定される固定部材７ａ，７ｂが備えられている。
【００４１】
図２に示すように、固定部材７ｂはねじによって支持体ホルダ基板６ｂに固定されている。なお、固定部材７ｂの固定はねじ止めの他、接着剤などで行ってもよい。また、固定部材７ａには３つのスプリング８が取付けられ、このスプリング８の先端部に形成されたフックが支持体ホルダ基板６ｂに備えられた３つのフック係合部９にそれぞれ係合されることによって、支持体５が支持体ホルダ凸部６ａの方向に付勢された状態で取付けられるようになっている。なお、固定部材７ａ，７ｂ共にスプリング８を介在させて固定してもよい。
【００４２】
さらに、支持体ホルダ６には、支持体５を蒸発源４に対して回転させることにより蒸発源４から蒸気を蒸着させる支持体回転機構１０が設けられている。支持体回転機構１０は、支持体ホルダ６を支持すると共に支持体ホルダ６を回転させる回転軸１０ａと、真空容器２外に配置されて回転軸１０ａの駆動源となるモータ（図示せず）等から構成されている。
【００４３】
なお、支持体ホルダ６には、支持体５を加熱する加熱ヒータ（図示せず）を備えることが好ましい。この加熱ヒータで支持体５を加熱することによって、支持体５の支持体ホルダ６に対する密着性を強化や、輝尽性蛍光体層の膜質調整を行う。また、支持体５の表面の吸着物を離脱・除去し、支持体５の表面と輝尽性蛍光体との間に不純物層が発生することを防止する。
また、加熱手段として温媒又は熱媒を循環させるための機構（図示せず）を有していてもよい。この場合には、蒸着時の基板温度を５０〜１５０℃といった比較的低温に保持して蒸着する場合に適している。
【００４４】
また、支持体５と蒸発源４との間隔は、１００ｍｍ〜１５００ｍｍに設置するのが好ましい。さらに、支持体５と蒸発源４との間に、蒸発源４から支持体５に至る空間を遮断するシャッタ（図示せず）を備えるようにしても良い。シャッタによって輝尽性蛍光体の表面に付着した目的物以外の物質が蒸着の初期段階で蒸発し、支持体５に付着するのを防ぐことができる。
【００４５】
続いて、前述の放射線画像変換パネルの製造装置を用いた本発明の放射線画像変換パネルの製造方法について説明する。
【００４６】
前述の放射線画像変換パネルの製造装置１を使用して支持体５に輝尽性蛍光体層を形成するには、まず、支持体ホルダ６に支持体５を取付ける。
【００４７】
支持体５の取付けにあたっては、まず、支持体５の一端側を固定部材７ｂで挟持した状態で、固定部材７ｂを支持体ホルダ基板６ｂにおける支持体ホルダ凸部６ａの一側面付近にねじによって固定する。次に、支持体５を支持体ホルダ凸部６ａの曲面に当接した状態で支持体５の他端側を固定部材７ａによって挟持し、固定部材７ａに取付けられた３つのスプリング８を支持体ホルダ基板６ｂに備えられた３つのフック係合部９にそれぞれ係合する。
【００４８】
次いで、真空容器２内を真空排気する。その後、支持体回転機構１０により支持体ホルダ６を蒸発源４に対して回転させ、蒸着可能な真空度に真空容器２が達したら、加熱された蒸発源４から輝尽性蛍光体を蒸発させて、支持体５の表面に輝尽性蛍光体層を所望の厚さに成長させる。この輝尽性蛍光体層１２は、１０〜１０００μｍ、好ましくは１０μｍ〜５００μｍの膜厚に形成される。
【００４９】
以上の放射線画像変換パネルの製造装置１又は製造方法によれば、支持体５は固定部材７ａ，７ｂに引っ張られた状態で支持体ホルダ凸部６ａに密着されるので、支持体５と支持体ホルダ６との密着性が強化される。さらに、スプリング８を介在させて固定しているため、支持体５は支持体ホルダ６の方向に付勢された状態で取付けられ、その張力が可変な状態とされる。したがって、支持体５の熱膨張率が高く輝尽性蛍光体の蒸着熱により支持体５が膨張した場合でも、支持体５の張力は常に一定範囲内となり、支持体５と支持体ホルダ６との密着は強化されたまま保たれる。
【００５０】
したがって、支持体５に輝尽性蛍光体が蒸着することにより支持体５の温度が上昇した場合でも、常に支持体５の全体の温度を所定範囲内にすることが可能となるので、柱状結晶の生成の制御により、輝度分布の制御をすることができるため、放射線画像変換パネルの感度を均一化することが可能となる。
【００５１】
以上のように本発明によれば、支持体５の全体の温度を均一に保つことが可能となるので輝度分布の制御がしやすくなり、膜剥離や感度の不均一化が生じにくい輝尽性蛍光体層を形成することができる。その結果、高感度で均一かつ耐久性に優れた良好な放射線画像変換パネルを製造することができるという効果を得ることができる。
【００５２】
特に、本発明においては、支持体５として樹脂などの高分子材料又はアルミニウムシート、鉄シート、銅シートなどの薄い金属シートを使用する場合に顕著な効果を得ることができる。
【００５３】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の実施態様はこれに限定されるものではない。
【００５４】
[実施例１]
真空容器の内部の上面付近において、厚さ０．５ｍｍの支持体の一端側を固定部材で挟持した状態で、固定部材を支持体ホルダ基板における支持体ホルダ凸部の一側面付近にねじによって固定した。次に、支持体を支持体ホルダ凸部の曲面に当接した状態で、支持体の他端側を固定部材によって挟持し、固定部材に取付けられた３つのスプリングを支持体ホルダ基板に備えられた３つのフック係合部にそれぞれ係合することで、支持体に張力を付与した状態で支持体を支持体ホルダに固定した。
次に、蒸発源として輝尽性蛍光体（ＣｓＢｒ：０．０００１Ｅｕ）を抵抗加熱用タングステンボートに充填して真空容器の内部の底面付近に設置した。
続いて真空容器を一旦排気し、Ａｒガスを導入して真空度を０．１Ｐａに調整した。そして、支持体ホルダに設置された加熱ヒータにより支持体の温度を１００℃に調整した。その後タングステンボートを加熱して蒸発源を蒸発させ、膜厚が５００μｍとなったところで蒸着を終了した。次いで１５０℃でこの輝尽性蛍光体を加熱処理（アニール処理）することにより、放射線画像変換パネルを作製した。
【００５５】
[実施例２]
実施例１の支持体の厚さを０．２ｍｍとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５６】
[実施例３]
実施例１の支持体の材質をポリカーボネートとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５７】
[実施例４]
実施例１の支持体の厚さを０．２ｍｍとし、材質をＰＥＴとして放射線画像変換パネルを得た。
【００５８】
[比較例１]
実施例１の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００５９】
[比較例２]
実施例２の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６０】
[比較例３]
実施例３の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６１】
[比較例４]
実施例４の支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定して放射線画像変換パネルを得た。
【００６２】
そして、以上のようにして得られた放射線画像変換パネルについて下記のような評価を行った。
【００６３】
＜輝度分布評価＞
放射線画像変換パネルに管電圧８０ｋＶｐのＸ線を輝尽性蛍光体層とは逆の支持体側から均一に照射した後、この放射線画像変換パネルをＨｅ−Ｎｅレーザー光（６３３ｎｍ）で走査して励起し、放射線画像変換パネル上に等間隔に並んだ２５の測定点において、輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光を受光器（分光感度Ｓ−５の光電子増倍管）で受光してその強度を測定し、各測定点間の強度のばらつきから感度ムラを評価した。感度ムラは、各パネルの各測定点における輝度の最大値と最小値の幅を２５点の測定点の強度の平均値で割り、これを％で表したものである。評価の結果を表１に示す。
【００６４】
＜付着性＞
放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の表面に接着テープを貼り付け、テープを剥がしたときに輝尽性蛍光体層が支持体に付着していた面積を測定し、以下に示す基準により付着性の評価を行った。評価の結果を表１に示す。
【００６５】
○：支持体５に付着していた輝尽性蛍光体層の面積が６０％以上である。
×：支持体５に付着していた輝尽性蛍光体層の面積が６０％未満である。
【００６６】
【表１】
【００６７】
以上、表１の結果から明らかなように、支持体を張力を付与した状態で支持体ホルダに固定した実施例１〜実施例４においては、支持体に付着した輝尽性蛍光体層の面積が６０％以上となっている。一方、支持体を張力を付与しない状態で支持体ホルダに固定した比較例１〜比較例４においては、支持体に付着した輝尽性蛍光体層の面積が６０％未満となっている。この結果より、支持体を張力を付与して固定した状態で蒸着を行うと、蒸着過程において支持体全体の温度が均一に保たれ、輝尽性蛍光体層の付着性が向上することがわかる。
【００６８】
そして、実施例１〜実施例４においては、比較例１〜比較例４に比べて輝度分布の値が低いことがわかる。すなわち、輝尽性蛍光体層の付着性が向上する結果、輝尽発光の強度のばらつきが少なくなり、放射線画像変換パネルの感度ムラが少なくなることがわかる。
【００６９】
また、実施例１〜実施例４より、支持体の材質が異なる場合でも同様の作用効果が得られることがわかる。
ただし、実施例１，２及び実施例３，４からわかるように、支持体の材質が金属である場合は熱伝導性が高いため、より支持体の温度の制御がしやすく、支持体全体の温度を一定に保つことによってさらに輝度分布を低く抑えることができる。
【００７０】
さらに、実施例１，３及び実施例２，４からわかるように、支持体の厚さが０．５ｍｍの方が０．２ｍｍの場合より輝度分布が低く抑えられており、支持体にある程度剛性がある方が支持体ホルダとの密着が得られやすく、逆にあまり薄いと支持体ホルダに均一に密着させるのが難しいということがわかる。
【００７１】
以上より、支持体に張力を付与して支持体ホルダに固定した状態で蒸着を行うことにより、支持体に対する輝尽性蛍光体層の付着性が優れ、感度ムラの少ない放射線画像変換パネルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の放射線画像変換パネルの製造装置を示す断面図である。
【図２】本発明の固定部材により支持体を支持体ホルダに固定した状態を示す平面 図である。
【符号の説明】
【００７３】
１ 放射線画像変換パネルの製造装置
２ 真空容器
３ 真空ポンプ
４ 蒸発源
５ 支持体
６ 支持体ホルダ
６ａ 支持体ホルダ凸部
６ｂ 支持体ホルダ基板
７ａ，７ｂ 固定部材
８ スプリング
９ フック係合部
１０ 支持体回転機構
１０ａ 回転軸
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器と、
前記真空容器内に設けられ、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、
前記蒸発源に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダと、
前記蒸発源に対して前記支持体ホルダを回転させることによってこの蒸発源から輝尽性蛍光体を前記支持体に蒸着させる支持体回転機構と、
前記支持体の両端を挟持し、この支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定させる固定部材と、
を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造装置。
【請求項２】
前記固定部材には、前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングが取付けられていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造装置。
【請求項３】
真空容器内において、支持体の両端を固定部材により挟持する工程と、
前記真空容器内の上方に設けられた支持体ホルダのうち、この真空容器内の底面側に面し所定の曲率半径を有する曲面に前記支持体を当接する工程と、
前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程と、
前記真空容器内の底部に設けられた蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記支持体上に蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項４】
前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程は、前記固定部材に前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングを取付ける工程を含むことを特徴とする請求項３に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項１】
真空容器と、
前記真空容器内に設けられ、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、
前記蒸発源に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダと、
前記蒸発源に対して前記支持体ホルダを回転させることによってこの蒸発源から輝尽性蛍光体を前記支持体に蒸着させる支持体回転機構と、
前記支持体の両端を挟持し、この支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定させる固定部材と、
を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造装置。
【請求項２】
前記固定部材には、前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングが取付けられていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造装置。
【請求項３】
真空容器内において、支持体の両端を固定部材により挟持する工程と、
前記真空容器内の上方に設けられた支持体ホルダのうち、この真空容器内の底面側に面し所定の曲率半径を有する曲面に前記支持体を当接する工程と、
前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程と、
前記真空容器内の底部に設けられた蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記支持体上に蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項４】
前記固定部材により前記支持体を張力を付与させた状態で前記支持体ホルダに固定する工程は、前記固定部材に前記支持体が温度変化により膨張した場合に伸縮して前記支持体に張力を付与するスプリングを取付ける工程を含むことを特徴とする請求項３に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００６−３７１２１（Ｐ２００６−３７１２１Ａ）
【公開日】平成１８年２月９日（２００６．２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２１４２１２（Ｐ２００４−２１４２１２）
【出願日】平成１６年７月２２日（２００４．７．２２）
【出願人】（３０３０００４２０）コニカミノルタエムジー株式会社 (2,950)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年２月９日（２００６．２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月２２日（２００４．７．２２）
【出願人】（３０３０００４２０）コニカミノルタエムジー株式会社 (2,950)
【Ｆターム（参考）】
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