説明

放電ランプ

【課題】一対の電極が配置された発光管の両端に封止部が形成され、当該封止部内にはガラスロッドが埋設されるとともに、該ガラスロッドの表面に金属箔が配設され、該金属箔が電極に電気的に接合されてなる放電ランプにおいて、特に、フル・スタンバイ点灯される際などの封止部の温度降下時に、金属箔の収縮量が大きいことに起因してガラスロッドにクラックが生じることを防止することができる構造を提供するものである。
【解決手段】前記ガラスロッドを構成するガラス部材の熱膨張係数が、前記封止部を構成するガラス部材の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、放電ランプに関するものであり、特に、封止部内のガラスロッドの表面に金属箔が配設されてなる放電ランプに係わるものである。
【背景技術】
【0002】
従来、印刷業界や電子工業界においては、インキや塗料の乾燥、樹脂の硬化処理に使用する光化学反応用装置の紫外線光源として、或いは、半導体基板や液晶ディスプレイ用の液晶基板を露光するのに使用する露光装置の紫外線光源として、放電ランプが使用されている。
その構造として、特開2006−134710号公報(特許文献1)に示されるような、封止部内のガラスロッド上に金属箔を備えた構造のものが知られている。
【0003】
図5にその構造が示されている。
図において、放電ランプ1の発光管2の両端部にはシュリンクシールされた封止部3が形成されており、この発光管2内には一対の電極4が配置されている。
該電極4の後端部4aは、上下部が平坦面形状となるように切削加工されていて、ほぼ角柱状となっている。
前記封止部3には、石英ガラス製の扁平状のガラスロッド5が埋設され、該ガラスロッド5を挟むように、その上下面に一対の金属箔6、6が配置されている。
また、封止部3には、ガラス製の保持用筒体7が配置されていて、該保持用筒体7に電極4が挿通されおり、これによって該電極4が支持されている。
なお、金属箔6、6の後端には外部リード8が接続されている。
そして、紫外線を良好に放射するために、発光管2内には、水銀、鉄、タリウム等の金属が封入されている。
【0004】
ところで近時においては、省エネルギーの観点から、被処理物を処理する時は所定の光量の光を照射し、それ以外の時、具体的には被処理物を搬送する間には、電力を下げて光出力を下げ、省エネルギー対策を行うことが通常行われている。
つまり、定常点灯モードと待機点灯モードを切り替えて点灯する方式(所謂、フル・スタンバイ点灯方式)が多用されるようになってきている。
【0005】
このような放電ランプ、特に、フル・スタンバイ点灯される放電ランプにおいては、封止部に熱応力の増減が繰り返し加わることになり、ガラスロッドの表面に金属箔を用いた封止部の構造が複雑であるために、金属箔がガラスロッドから剥がれて箔浮きが発生したり、或いは、ガラスロッドにクラックが入り破損して封止部の密閉シール構造が破れてしまったりするという問題があった。
このガラスロッドの破損について説明すると、図6(A)には、封止部3のX−X断面でのガラスロッド5と金属箔6が示されている。図6(B)に示すように、封止部3の温度変動によって、金属箔6は厚さ方向に膨張したり(A)、収縮したり(B)を繰り返す。金属箔6はガラスロッド5と溶着状態にあるので、この収縮時には、ガラスロッド5には引張応力Fが作用することになる。この引張応力Fはガラスロッド5の両面で作用するので、該ガラスロッド5にはその厚さ方向に引張応力が作用し、ガラスロッド5は厚さ方向に引き剥がされてクラックKが入り破損に至るものである。
【0006】
このクラックKは、図7に示すように、ガラスロッド5の角部5aに応力集中が起こって、当該角部5aから軸方向に走るように発生する。そして、この軸方向のクラックAが、フル・スタンバイ点灯の繰り返しにより徐々に大きく成長していき、遂には封止部の気密シール構造が破れてシール部割れに至ることがある。
【0007】
このような現象は、特許文献1に示されるようなロングアーク型放電ランプの封止部構造に限らず、図8に示す、ショートアーク型放電ランプにおいても同様に発生する。
図8(A)(B)に示すように、ショートアーク型放電ランプ11は、発光管12と封止管13とを有し、発光管12内の電極14は、封止管13内に埋設されたガラスロッド15の表面に配設された金属箔16に電気的に接続されている。より詳細には、電極14の電極軸14aに設けられた集電板17が、ガラスロッド15の端面に配置され、該集電板17が金属箔16に接続されているものである。
この場合も、上記図6で説明したと同様な原理で、ガラスロッド15に剥離するような半径方向の引張力が働いて、クラックKが生じることがある。
【0008】
しかも近年では、ランプの高出力化の要請も高まっており、その要請に応えるべくランプへの高入力を図ろうとすると、大電流に耐えるために金属箔を厚くしなくてはならず、この金属箔の厚さの増大は、上記した熱変化による収縮量が大きくなり、ガラスロッドのクラック発生が頻繁に起こるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【特許文献1】特開2006−134710号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
この発明が解決しようとする課題は、封止部にガラスロッドを用いた箔構造の封止部を有する放電ランプにおいて、特に、フル・スタンバイ点灯などにより、封止部に熱応力の増減が繰り返し加わっても、ガラスロッドにクラックが入り破損してしまったり、更には、金属箔とガラスロッドが常に密着し箔浮きを生じることのない放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を解決するために、本の発明に係る放電ランプは、発光管両端の封止部内にガラスロッドの表面に金属箔を備えた放電ランプにおいて、前記ガラスロッドを構成するガラス部材の熱膨張係数は、前記封止部を構成するガラス部材の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする。
また、前記封止部は溶融石英ガラスから成り、前記ガラスロッドは合成石英ガラスから成ることを特徴とする。
また、前記ガラスロッドを構成するガラス部材のOH基含有量は、前記封止部を構成するガラス部材のOH基含有量より多いことを特徴とする。
【発明の効果】
【0012】
この発明の放電ランプによれば、フル・スタンバイ点灯などにより、ランプの封止部に繰り返しの熱応力変動が負荷されても、熱収縮時に封止部によってガラスロッドに圧縮応力が作用して、ガラスロッドに金属箔による引張応力が作用してもクラックが発生せず破損することがない。
また、金属箔とガラスロッドの密着性が高く、箔が剥がれて箔浮きしてしまうこともない。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の放電ランプの封止部の断面図。
【図2】他の実施形態の封止部の断面図。
【図3】本発明の具体的実施例。
【図4】本発明の効果を表す評価表。
【図5】放電ランプの全体断面図。
【図6】従来例の封止部でのガラスロッドと金属箔の作用の説明図。
【図7】従来例の封止部の不具合を示す部分断面図。
【図8】他の従来例の封止部の不具合を示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【0014】
図1に示すものは、図5に示したようなロングアーク型放電ランプの封止部3の断面図であって、この例ではガラスロッド5は扁平な4角形状断面であり、その上下面に金属箔6、6が配設されていて、封止部3はシュリンクシールにより封止されている。
そして、前記ガラスロッド5を構成するガラス部材の熱膨張係数(Ka)は、該封止部3を構成するガラス部材の熱膨張係数(Kb)よりも小さく(Ka<Kb)されている。
そのための具体例が図3の表1に示されており、実施例1では、ガラスロッド5は合成石英ガラスからなり、封止部(発光管)3は溶融石英ガラスからなる。
【0015】
合成石英ガラスと溶融石英ガラスは、製法の違いによりガラスの結晶構造が異なるため、その熱的性質や物理的性質が異なる。具体的には、合成石英ガラスの結晶構造は、溶融石英ガラスの結晶構造よりもより完全なアモルファス構造に近いため、合成石英ガラスの熱膨張係数は、溶融石英ガラスの熱膨脹係数よりも低く、また合成石英ガラスの粘性は、溶融石英ガラスの粘性よりも低い。
そして、一例として、それぞれの熱膨張係数(1/K)は、図3<表1>に表記したように、合成石英ガラスからなるガラスロッド5は4.7×10−7で、溶融石英ガラスからなる封止部3は5.9×10−7であって、ガラスロッド5の熱膨張係数(Ka)のほうが封止部3側の熱膨張係数(Kb)よりも小さくなっている。
【0016】
封止部3とガラスロッド5の熱膨張係数を変化させる手段としては、上記実施例1のように材料そのものを変えるほかに、ガラス部材中のOH基含有量を変えることによっても実現できる。このOH基含有量は、電気炉溶融法、酸水素火炎溶融法、気相合成法などのガラス製法を変えることや、ガラス製造後の熱処理(例えば、真空中で加熱し、脱水処理するなど)により、容易に制御できる。
実施例2および実施例3がその例であって、封止部3とガラスロッド5はともに溶融石英ガラスからなり、そのOH基含有量をそれぞれ表3のように変えたものであって、その結果、それぞれの熱膨張係数が相違している。
つまり、実施例2では、ガラスロッド5のOH基含有量は150ppmで、封止部3の含有量は1ppm未満であり、それぞれの熱膨張係数は、5.3×10−7と5.9×10−7である。
また、実施例3では、ガラスロッド5の含有量は50ppmであり、封止部3の含有量は10ppmであり、それぞれの熱膨張係数は、5.5×10−7と5.7×10−7である。
つまり、ガラスロッド5側のOH基含有量を封止部3側のOH基含有量より多くして、ガラスロッド5側の熱膨張係数(Ka)を、封止部3側の熱膨張係数(Kb)よりも小さくしている。
なお、熱膨張係数の測定はレーザ熱膨脹計を用いて、室温から1000度までの平均熱膨張係数を測定して調べたものである。
【0017】
このように、ガラスロッド5と封止部3の熱膨張係数を変化させたので、図1に示すように、封止部3に熱変化が生じた場合、特に、フル点灯からスタンバイ点灯に移行した場合や、点灯から消灯に移行した場合のように、封止部3が加熱状態から冷却されるとき、封止部3の収縮量は、ガラスロッド5の収縮量よりも大きくなる。
ところでこのときに、金属箔6とガラスロッド5との収縮量に相違があって、その結果ガラスロッド5に引張力が働くことは、図6に基づいて前述した通りであるが、上記したように、封止部3の収縮量がガラスロッド5の収縮量よりも大きいので、該ガラスロッド5に対してその周囲から圧縮力Mとして作用する。
これにより、前記引張力を打ち消すように作用して、ガラスロッド5が引き剥がされるようにクラックが入ることが防止される。
また同時に、金属箔6がガラスロッド5の表面から浮き上がる箔浮きも防止される。
なお、封止3が加熱されて膨張する時は、金属箔6の熱膨張量がガラスロッド5の熱膨張量よりも大きいので、該ガラスロッド5に引張力が作用することはなく、前記クラックが発生することはない。
【0018】
これらの実施例1〜3と、封止部とガラスロッドを同種材料で構成した従来例とを、金属箔の厚さを20μm〜50μmまで変化させたものをそれぞれ5本ずつ作製して、実験を行った。
<ランプ仕様>
ランプ形態:図5に示すロングアーク型放電ランプ
発光管:内径22mm、外径26mm
電極間距離:500mm
電極材料:トリエーテッドタングステン
ガラスロッド:幅6mm、長さ16mm、厚さ17mm
Mo箔(2枚箔):幅4mm、長さ24mm
<点灯条件>
定常点灯(フル点灯):9kW
待機点灯(スタンバイ点灯):4kW
照射時間:30秒、待機時間:30秒、24時間毎に1回消灯し、再点灯。
箔溶接部温度(概略試算温度):定常点灯時850℃、待機点灯時600℃
【0019】
その結果が図4の表2であって、5000時間点灯後の評価基準として、金属箔断線の有無と、ガラスロッドにクラックが発生したか否かと、該クラックに基づくシール部の割れ(気密封止破れ)が発生したか否かを検証した。その具体的な評価基準は、同図の箔断線とシール部割れの基準の通りである。
金属箔の断線に関しては、当然の帰結として、箔の厚さが増すにつれて断線が起こらず、25〜30μmでは金属箔に変色は見られたものの、断線には至っていない。厚さが30μm以上になると変色も断線も発生していない。
シール部の割れ評価では、従来構造では30μになるとガラスロッドにクラックの発生が見られ、40μm以上で気密封止が破れてしまったのに対して、実施例1では45μmまでは全くクラックの発生がなく、50μmでクラックが発生したものの気密封止破れには至っていない。
また、実施例2および実施例3に関しても、同様に従来構造との比較において改善されており、その効果が実証された。
【0020】
なお、上記においては、図5にみられるような、ロングアーク型放電ランプの封止部について記載してきたが、図8にみられるような、ショートアーク型放電ランプの封止部においても、同様であって、図2にその断面図が示されている。
この実施形態では、封止部13内には円柱状のガラスロッド15が配置され、その外周面に金属箔16が配設されているものであり、これら封止部13とガラスロッド15の熱膨張係数の関係は、上記図1のものと同様である。
この場合も、封止部13が温度降下により収縮する際に、円柱状ガラスロッド15を、金属箔16を含めてその周囲から圧縮することになり、該ガラスロッド15のクラックを防止するものである。
また、図2では、金属箔は2枚のものを示したが、3枚以上であってもよい。
【0021】
以上のように、封止部内にガラスロッドを有し、該ガラスロッドの表面に金属箔を配設してなる放電ランプにおいて、前記ガラスロッドを構成するガラス部材の熱膨張係数を、該封止部を構成するガラス部材の熱膨張係数よりも小さくしたことにより、封止部が温度降下する際、封止部の収縮量がガラスロッドの収縮量よりも大きくなり、該ガラスロッドを周囲から圧縮するように作用するので、ガラスロッドにクラックが発生することがない。
また、金属箔をガラスロッドに押し付けるように作用して、箔浮きを生じることもない。
【符号の説明】
【0022】
1、11 放電ランプ
2、12 発光管
3、13 封止部
4、14 電極
5、15 ガラスロッド
6、16 金属箔
7、17 保持用筒体
M 圧縮力
A クラック




【特許請求の範囲】
【請求項1】
一対の電極が配置された発光管の両端に封止部が形成され、当該封止部内にはガラスロッドが埋設されるとともに、該ガラスロッドの表面に金属箔が配設され、該金属箔が前記電極に電気的に接合されてなる放電ランプにおいて、
前記ガラスロッドを構成するガラス部材の熱膨張係数は、前記封止部を構成するガラス部材の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする放電ランプ。
【請求項2】
前記封止部は溶融石英ガラスから成り、前記ガラスロッドは合成石英ガラスから成ることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
【請求項3】
前記ガラスロッドを構成するガラス部材のOH基含有量は、前記封止部を構成するガラス部材のOH基含有量より多いことを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。




【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【公開番号】特開2013−109992(P2013−109992A)
【公開日】平成25年6月6日(2013.6.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−254643(P2011−254643)
【出願日】平成23年11月22日(2011.11.22)
【出願人】(000102212)ウシオ電機株式会社 (1,414)
【Fターム(参考)】