枚葉処理装置におけるモニタ画面切替え表示方法

【目的】画面数が増加しても、１画面に表示する情報量を減らすことなく、見る頻度の高いレベル１の画面を１回の操作で切替え表示し、見る頻度の低いレベル２の画面の切替えも２回の操作で行え、操作性，作業効率が向上する。
【構成】作業者が見る頻度の高いレベル１の画面とそれ以外のレベル２の画面に分類し、モニタ画面に、レベル１の画面を選択する複数の第１の画面選択キー４を常時表示し、モニタ画面に、レベル２の画面を選択する複数の第２の画面選択キー５を必要時にのみ表示し、これらの第１，第２の画面選択キー４，５の中から該当する画面選択キーを選択することによりモニタ表示面に所望のモニタデータ画面を表示することを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）素子（液晶表示素子）等の半導体素子の製造装置、特に１枚ずつ処理を行う枚葉処理装置におけるモニタ画面切替え表示方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】枚葉処理装置の１つである枚葉ＣＶＤ装置では、装置のマンマシンインタフェースにパーソナルコンピュータを用い、装置の稼働状況をパーソナルコンピュータのＣＲＴ画面によって、作業者が把握できるものとなっている。これら画面の切替えは、まず図１０に示すように全画面共通キー表示エリア１に常時表示されているキー２を押し、一度モニタ選択画面（図１１）を表示させ、そこに表示されている♯１〜♯２８のキー３を選択し、押すことによって行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のモニタ画面切替え方法では画面切替えに多くの操作が必要となり、見たい画面に瞬時に切替えることができず操作性が低下するという課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、上記の課題を解決するため、作業者が見る頻度の高いレベル１の画面とそれ以外のレベル２の画面に分類し、モニタ画面に、レベル１の画面を選択する複数の第１の画面選択キー４を常時表示し、モニタ画面に、レベル２の画面を選択する複数の第２の画面選択キー５を必要時にのみ表示し、これらの第１，第２の画面選択キー４，５の中から該当する画面選択キーを選択することによりモニタ表示面に所望のモニタデータ画面を表示することを特徴とする。
【０００５】
【作用】このような構成であるので、見る頻度の高いレベル１の画面を見る場合には、モニタ表示面に、常時，画面に表示されている複数の第１の画面選択キー４の中から該当する画面選択キーを選択することにより所望のモニタデータ画面が表示されることになる。又、見る頻度の低いレベル２の画面を見る場合は、モニタ表示面に、レベル２の画面を選択する複数の第２の画面選択キー５を表示させ、その中から該当する画面選択キーを選択することによりモニタ表示面に所望のモニタデータ画面が表示されることになる。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明方法に係るＬＣＤ製造用枚葉プラズマＣＶＤ装置のステータス画面を示す図、図２は同じくステータス画面にレベル２の画面選択キーを表示した状態を示す図である。本発明に係るＬＣＤ製造用枚葉プラズマＣＶＤ装置は、複数の成膜室でそれぞれ被処理物を１枚ずつ成膜処理し、各成膜室の状況を伝えるモニタデータを１つのパーソナルコンピュータのＣＲＴ表示面に切替え表示し、作業者が各成膜室の稼働状況を把握できるものとなっている。画面の切替えを１回で行えるようモニタ表示面に、常時，画面に表示されている複数の画面選択キーの中から該当する画面選択キーをマウスにて選択することにより所望のモニタデータ画面を切替え表示する。
【０００７】しかし成膜室が多数あり、一画面に表示するモニタ項目も多く、あらゆる方向から装置状態を監視するためモニタ画面も増加する。それに伴い画面切替え用の画面選択キーも増加するので、操作性を低下させないために全ての画面選択キーを常時，画面に表示し、選択可能な状態にしておこうとすると、画面選択キーを表示するスペースが増加し、一画面に表示できる情報量が少なくなってしまう。一画面に表示するデータ量を減らすことなく、画面上に表示可能な画面選択キーは最大１０個である。そこで、本発明の実施方法は、モニタ画面を作業者が見る頻度の高いレベル１の画面とそれ以外のレベル２の画面に分類し、レベル１の画面を選択する複数の第１の画面選択キー４を常時表示し、レベル２の画面を選択する複数、例えば４個の第２の画面選択キー５を必要な時にのみ表示するようにする。レベル１，２の画面群を選択する第１，第２の画面選択キー４，５と該キーによって選択表示される画面の概要を表１に示す。
【０００８】
【表１】

【０００９】上記の構成において見る頻度の高いレベル１の画面を見る場合には、モニタ表示面に、常時，画面に表示されている複数の第１の画面選択キー４の中から該当する画面選択キーを選択することにより所望のモニタデータ画面が表示されることになる。例えばＳｔａｔｕｓキーを選択することにより図１のステータス画面が表示され、Ｒｅａｃ１キーを選択することにより図３に示すＲｅａｃ１画面が、又Ｒｅａｃ２キーの操作で同様のＲｅａｃ２画面が表示され、Ｒｅａｃ３キーを選択することにより図４に示すＲｅａｃ３画面が表示される。又Ｃｈａｍｂｅｒキー，Ｒ１キーを選択することにより図５，図６に示すチャンバ画面，Ｒ１画面がそれぞれ表示され、又Ｒ２，Ｒ３キーの操作で、同様のＲ２，Ｒ３画面が表示される。更にＳｙｓＲキーを選択することにより図７に示すＳｙｓＲ画面が表示される。
【００１０】又、見る頻度の低いレベル２の画面を見る場合は、モニタ表示面の右端のＯｔｈｅｒｓキーを選択して図２に示すＳｔａｔｕｓ画面に移行し、その中央に表示されるレベル２の画面を選択する４個の第２の画面選択キー５の中から該当する画面選択キーを選択することにより、モニタ表示面に所望のモニタデータ画面が表示されることになる。例えばＳｙｓ−Ｃｈｍキーを選択することにより図８に示すＳｙｓ−Ｃｈｍ画面が表示され、Ｌ１Ｌ２キーを選択することにより図９に示すＬ１Ｌ２画面が表示され、Ｔ３Ｔ４，Ｔ２Ｈの各キーを選択することにより同様のＴ３Ｔ４，Ｔ２Ｈ画面が表示される。更に又、画面７のプライオリティーに自由度を持たせるため、レベル１の画面とレベル２の画面の入れ替えも作業者が行えるようになっている。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように本発明によれば、作業者が見る頻度の高いレベル１の画面とそれ以外のレベル２の画面に分類し、モニタ画面に、レベル１の画面を選択する複数の第１の画面選択キー４を常時表示し、モニタ画面に、レベル２の画面を選択する複数の第２の画面選択キー５を必要時にのみ表示し、これらの第１，第２の画面選択キー４，５の中から該当する画面選択キーを選択することによりモニタ表示面に所望のモニタデータ画面を表示することを特徴とするので、顧客要求によって画面数が増加しても、１画面に表示する情報量を減らすことなく、見る頻度の高いレベル１の画面を１回の操作で切替え表示することができ、また、見る頻度の低いレベル２の画面の切替えも２回の操作で行え、操作性を低下させることはない。例えば異なる２画面を交互に参照する場合、画面切替え操作の回数が減ったことにより、操作性、作業効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法に係るＬＣＤ製造用枚葉プラズマＣＶＤ装置のステータス画面を示す図である。
【図２】同じくステータス画面にレベル２の画面選択キーを表示した状態を示す図である。
【図３】本発明の表示される画面の第１例を示す図である。
【図４】同じく第２例を示す図である。
【図５】同じく第３例を示す図である。
【図６】同じく第４例を示す図である。
【図７】同じく第５例を示す図である。
【図８】同じく第６例を示す図である。
【図９】同じく第７例を示す図である。
【図１０】枚葉ＣＶＤ装置のガスパターン画面を示す図である。
【図１１】同じくモニタ選択画面を示す図である。
【符号の説明】
４第１の画面選択キー
５第２の画面選択キー

【特許請求の範囲】
【請求項１】複数の反応室でそれぞれ被処理物を１枚ずつ処理し、各反応室の状況を伝えるモニタデータを１つのモニタ表示面に切替え表示する枚葉処理装置におけるモニタ画面切替え表示方法において、作業者が見る頻度の高いレベル１の画面とそれ以外のレベル２の画面に分類し、モニタ画面に、レベル１の画面を選択する複数の第１の画面選択キーを常時表示し、モニタ画面に、レベル２の画面を選択する複数の第２の画面選択キーを必要時にのみ表示し、これらの第１，第２の画面選択キーの中から該当する画面選択キーを選択することにより所望のモニタデータ画面を切替え表示することを特徴とする枚葉処理装置におけるモニタ画面切替え表示方法。

【図１】