校正具および拡大観察装置
【課題】拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことを可能にする校正具および拡大観察装置を提供する。
【解決手段】校正板４００は、ガラス板からなる透光性プレート４２０を含む。透光性プレート４２０は、３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。各校正区域４２１，４２２，４２３は、第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２を含む。各校正区域４２１，４２２，４２３の中央に第１の領域ＡＲ１が設けられ、第１の領域ＡＲ１を取り囲むように第２の領域ＡＲ２が設けられる。第１の領域ＡＲ１には校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２には複数のガイドマーカＧＭが分散して形成される。第１の領域ＡＲ１の校正目盛Ｃが撮像されることにより拡大観察装置の校正が行われる。第２の領域ＡＲ２の各ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す。
【解決手段】校正板４００は、ガラス板からなる透光性プレート４２０を含む。透光性プレート４２０は、３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。各校正区域４２１，４２２，４２３は、第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２を含む。各校正区域４２１，４２２，４２３の中央に第１の領域ＡＲ１が設けられ、第１の領域ＡＲ１を取り囲むように第２の領域ＡＲ２が設けられる。第１の領域ＡＲ１には校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２には複数のガイドマーカＧＭが分散して形成される。第１の領域ＡＲ１の校正目盛Ｃが撮像されることにより拡大観察装置の校正が行われる。第２の領域ＡＲ２の各ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、校正具および拡大観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の顕微鏡観察システムにおいて、ステージ上に載置された標本がカメラ部により撮像される。この場合、撮像された標本に対応する標本画像が生成される。標本画像における２つの地点に対応する標本の２つの地点間の実寸法が既知である場合には、その標本画像に基づいて一画素当たりの実寸法が算出される。
【０００３】
上記の顕微鏡観察システムのような拡大観察装置において、上記の標本のように種々の校正を行うための校正具が用いられる。例えば、校正具には予め定められた寸法を有する目盛が設けられる。校正具の目盛が撮像装置により撮像されることにより、拡大観察装置の校正が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５８４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
拡大観察装置において、対象物の観察倍率が高くなると撮像装置の撮像範囲（視野範囲）が狭くなる。そのため、使用者は、校正具の撮像開始時に撮像装置の撮像範囲内に目盛が存在しない場合、校正具が載置されたステージを水平方向に移動させつつ校正具の目盛を探索し、その目盛を撮像装置の撮像範囲内に移動させる。
【０００６】
校正具は、例えばガラス製の透明なプレート上の一部に上記の目盛が設けられた構成を有する。そのため、撮像装置の撮像範囲内に目盛が存在しない場合、使用者は撮像により得られる画像を視認しても、撮像装置の撮像範囲と目盛との位置関係を知ることはできない。したがって、使用者は目盛の探索に長い時間を要する。
【０００７】
本発明の目的は、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことを可能にする校正具および拡大観察装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）第１の発明に係る校正具は、対象物の画像を表示する拡大観察装置に用いられる校正具であって、一面を有する基材を備え、基材の一面の一部領域に、拡大観察装置の校正に用いられる第１の指標が設けられ、基材の一面の一部領域以外の他の領域に、一部領域に向かう方向を示す第２の指標が設けられるものである。
【０００９】
その校正具においては、一部領域および他の領域にそれぞれ設けられた第１および第２の指標のいずれかが拡大観察装置により撮像される。他の領域に設けられた第２の指標が撮像される場合には、第２の指標により示される方向に基づいて一部領域に設けられた第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に移動させることができる。それにより、校正具の第１の指標を容易に撮像することができる。その結果、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【００１０】
（２）第２の指標は、当該第２の指標から第１の指標までの距離に関する情報を含んでもよい。
【００１１】
この場合、他の領域に設けられた第２の指標が撮像される場合に、第２の指標に含まれる距離に関する情報に基づいて第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に正確に移動させることができる。その結果、拡大観察装置の校正をより短時間で行うことが可能となる。
【００１２】
（３）第２の指標は、一部領域に向かう方向を示す形状を有してもよい。
【００１３】
この場合、第２の指標の形状に基づいて第２の指標から第１の指標に向かう方向を容易に認識することができる。
【００１４】
（４）第２の指標は、他の領域に分散的に複数設けられてもよい。
【００１５】
この場合、拡大観察装置による撮像範囲内に少なくとも１つの第２の指標が存在する確立が高くなる。それにより、第１または第２の指標を探索するための作業時間が短縮される。その結果、第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に短時間で移動させることができる。
【００１６】
（５）基材の一面は、拡大観察装置の複数種類の校正にそれぞれ対応した複数の区域を有し、複数の区域の各々における一部領域に第１の指標が設けられ、複数の区域の各々における一部領域以外の他の領域に第２の指標が設けられ、各区域の第１の指標は、対応する種類の校正に用いられるように設けられてもよい。
【００１７】
この場合、複数の区域のうちいずれかの区域の第１の指標が撮像されることにより、その区域に対応する種類の校正が可能となる。また、複数の区域のうち他の区域の第１の指標が撮像されることにより、その区域に対応する種類の構成が可能となる。したがって、校正の種類ごとに複数の校正具を用意する必要がなくなる。
【００１８】
（６）第２の発明に係る拡大観察装置は、観察対象物の画像を表示する拡大観察装置であって、観察対象物または第１の発明に係る校正具が載置可能なステージと、観察対象物または校正具を撮像することにより撮像範囲の画像を表示するための画像データを生成する撮像装置と、撮像装置の光軸と垂直な方向におけるステージと撮像装置との相対的な位置関係を変更することにより撮像範囲をステージ上で移動させる移動部と、ステージに校正具が載置された場合に、撮像装置により生成される画像データに基づいて校正具の第２の指標が示す方向に従って撮像範囲が一部領域に移動するように移動部を制御する制御部とを備えるものである。
【００１９】
その拡大観察装置においては、ステージに載置された観察対象物または校正具が撮像装置により撮像され、撮像範囲の画像を表示するための画像データが生成される。ステージに校正具が載置された状態で校正具の他の領域に設けられた第２の指標が撮像された場合、生成される画像データに基づいて校正具の第２の指標が示す方向に従って撮像範囲が一部領域に移動される。それにより、第１の指標が撮像範囲内に移動する。撮像範囲内の第１の指標が撮像されることにより、拡大観察装置の校正が可能となる。
【００２０】
これにより、使用者は、拡大観察装置の校正時に、撮像装置により校正具の第１の指標を探索するための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことができる。
【００２１】
（７）制御部は、ステージに上記の複数の区域を有する基材を備える校正具が載置された状態で複数種類の校正のうち一の種類の校正が行われる場合に、撮像範囲が校正具の一の種類に対応する区域に移動するように移動部を制御してもよい。
【００２２】
この場合、使用者は、撮像範囲を校正具の一の種類に対応する区域に移動させるための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置に複数種類のうち所望の種類の校正を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施の形態に係る拡大観察装置の顕微鏡を示す斜視図である。
【図３】顕微鏡の撮像装置がＺ方向と平行に固定されている状態を示す模式図である。
【図４】顕微鏡の撮像装置がＺ方向から所望の角度まで傾斜された状態を示す模式図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る校正板の平面図である。
【図６】図５の校正区域の一部拡大平面図である。
【図７】図１の拡大観察装置の校正処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の一実施の形態に係る校正具および拡大観察装置について図面を参照しながら説明する。
【００２６】
（１）拡大観察装置の構成
図１は、本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示すブロック図である。
【００２７】
以下において、水平面内で直交する２方向をＸ方向およびＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な方向（鉛直方向）をＺ方向とする。
【００２８】
図１に示すように、拡大観察装置３００は、顕微鏡１００および画像処理装置２００を備える。
【００２９】
顕微鏡１００は、撮像装置１０、ステージ装置２０および回転角度センサ３０を含む。撮像装置１０は、カラーＣＣＤ（電荷結合素子）１１、ハーフミラー１２、対物レンズ１３、ズーム調整部１３ａ、レンズ検出部１３ｂ、Ａ／Ｄ変換器（アナログ／デジタル変換器）１５、落射照明用光源１６、レンズ駆動部１７および透過照明用光源２６を含む。ステージ装置２０は、ステージ２１、ステージ駆動部２２およびステージ支持部２３を含む。ステージ２１上には、観察対象物Ｓが載置される。
【００３０】
落射照明用光源１６は、例えば白色光を発生するハロゲンランプまたは白色ＬＥＤ（発光ダイオード）である。落射照明用光源１６により発生された白色光は、ハーフミラー１２により反射された後、対物レンズ１３によりステージ２１上の観察対象物Ｓに集光される。
【００３１】
透過照明用光源２６は、例えば白色光を発生するハロゲンランプまたは白色ＬＥＤである。透過照明用光源２６は、ステージ支持部２３の内部に設けられる。後述するステージ２１の開口部２１ｂ（図２）に透光性の載置プレート２１ｃ（図２）が取り付けられている場合、透過照明用光源２６により発生された白色光は、載置プレート２１ｃを通して観察対象物Ｓに照射される。
【００３２】
観察対象物Ｓにより反射された白色光または観察対象物Ｓを透過した白色光は、対物レンズ１３およびハーフミラー１２を透過してカラーＣＣＤ１１に入射する。カラーＣＣＤ１１は複数の画素を有する。各画素は、赤色波長の光、緑色波長の光、および青色波長の光をそれぞれ受光する３種類の副画素から構成される。複数の画素が一定の画素ピッチ（隣り合う各２つの画素の中心間の距離）で二次元的に配列される。カラーＣＣＤ１１の各画素からは、受光量に対応する電気信号が出力される。カラーＣＣＤ１１の出力信号は、Ａ／Ｄ変換器１５によりデジタル信号に変換される。Ａ／Ｄ変換器１５から出力されるデジタル信号は、画像データとして画像処理装置２００に順次与えられる。カラーＣＣＤ１１に代えてＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサ等の撮像素子が用いられてもよい。
【００３３】
撮像装置１０においては、対物レンズ１３が着脱可能に設けられる。対物レンズ１３としては、広角ズームレンズ、標準ズームレンズ等の種々のレンズを用いることができる。複数種類のレンズのうちのいずれかが対物レンズ１３として撮像装置１０に取り付けられる。ズーム調整部１３ａは画像処理装置２００の制御により対物レンズ１３の倍率を変化させる。レンズ検出部１３ｂは対物レンズ１３の倍率を検出し、検出結果を画像処理装置２００に与える。これにより、対物レンズ１３の倍率は画像処理装置２００により一定範囲内で任意の倍率に調整可能である。なお、使用者がズーム調整部１３ａを操作することにより対物レンズ１３の倍率が調整されてもよい。この場合、調整された対物レンズ１３の倍率が、レンズ検出部１３ｂにより検出され、画像処理装置２００に与えられる。
【００３４】
また、レンズ検出部１３ｂは、対物レンズ１３の種類を検出し、検出結果を画像処理装置２００に与える。例えば、レンズ検出部１３ｂは、対物レンズ１３の種類として、撮像装置１０に取り付けられている対物レンズ１３が低倍ズームレンズ、標準ズームレンズおよび高倍ズームレンズのいずれであるかを検出するとともに、検出されたズームレンズの調整可能な倍率の範囲を検出する。
【００３５】
対物レンズ１３は、Ｚ方向に移動可能に設けられる。レンズ駆動部１７は、画像処理装置２００の制御により対物レンズ１３をＺ方向に移動させる。それにより、撮像装置１０の焦点位置がＺ方向において移動する。
【００３６】
ステージ２１は、Ｚ方向の軸の周りで回転可能にステージ支持部２３上に設けられる。ステージ駆動部２２は、画像処理装置２００から与えられる移動指令信号（駆動パルス）に基づいてステージ２１をステージ支持部２３に対して相対的に後述するｘ方向およびｙ方向に移動させる。ステージ駆動部２２には、ステッピングモータが用いられる。回転角度センサ３０は、ステージ２１の回転角度を検出し、検出した角度を示す角度検出信号を画像処理装置２００に与える。画像処理装置２００においては、移動指令信号に対するステージ駆動部２２からの応答信号および回転角度センサ３０からの角度検出信号に基づいて、Ｘ方向およびＹ方向におけるステージ２１の位置および回転角度が取得される。
【００３７】
画像処理装置２００は、インタフェース２１０、ＣＰＵ（中央演算処理装置）２２０、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）２３０、記憶装置２４０、入力装置２５０、表示部２６０および作業用メモリ２７０を含む。
【００３８】
ＲＯＭ２３０には、システムプログラムが記憶される。記憶装置２４０は、ハードディスク等からなる。記憶装置２４０には、画像処理プログラムおよび校正プログラムが記憶されるとともに、顕微鏡１００からインタフェース２１０を通して与えられる画像データ等の種々のデータを記憶する。校正プログラムの詳細は後述する。入力装置２５０は、キーボードおよびポインティングデバイスを含む。ポインティングデバイスとしては、マウスまたはジョイスティック等が用いられる。
【００３９】
表示部２６０は、例えば液晶ディスプレイパネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。
【００４０】
作業用メモリ２７０は、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）からなり、種々のデータの処理のために用いられる。
【００４１】
ＣＰＵ２２０は、記憶装置２４０に記憶された画像処理プログラムまたは校正プログラムを実行することにより作業用メモリ２７０を用いて画像データに基づく画像処理を行うとともに、画像データに基づく画像を表示部２６０に表示させる。また、ＣＰＵ２２０は、インタフェース２１０を通して顕微鏡１００のカラーＣＣＤ１１、ズーム調整部１３ａ、落射照明用光源１６、レンズ駆動部１７、ステージ駆動部２２および透過照明用光源２６を制御する。
【００４２】
図２は、第１の実施の形態に係る拡大観察装置３００の顕微鏡１００を示す斜視図である。図２においては、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向が矢印で示される。
【００４３】
図２に示すように、顕微鏡１００はベース１を有する。ベース１上には、第１の支持台２が取り付けられるとともに、この第１の支持台２の前面に嵌め込まれるように第２の支持台３が取り付けられる。
【００４４】
第１の支持台２の上端部には、連結部４がＹ方向に延びる回動軸Ｒ１の周りに回動可能に取り付けられる。連結部４には回動支柱５が取り付けられる。それにより、回動支柱５は連結部４の回動に伴って回動軸Ｒ１を支点としてＺ方向に平行な垂直面内で傾斜可能である。使用者は、固定つまみ９により連結部４を第１の支持台２に対して固定することができる。
【００４５】
連結部６の前面には環状の支持部７が取り付けられる。支持部７には、略円筒状の撮像装置１０が取り付けられる。図２の状態では、撮像装置１０の光軸Ｒ２はＺ方向に平行である。支持部７は、撮像装置１０を水平面内で移動させるための複数の調整ネジ４１を有する。複数の調整ネジ４１を用いて撮像装置１０の光軸Ｒ２が回動軸Ｒ１に垂直に交差するように撮像装置１０の位置を調整することができる。
【００４６】
ベース１上の第２の支持台３の前面には、Ｚ方向に摺動可能にスライダ８が取り付けられる。第２の支持台３の側面には、調整つまみ４２が設けられる。スライダ８のＺ方向（高さ方向）の位置は、調整つまみ４２により調整可能である。
【００４７】
ステージ装置２０のステージ支持部２３は、スライダ８上に取り付けられる。ステージ２１は、ステージ支持部２３に対してＺ方向の回転軸Ｒ３の周りに回転可能に設けられる。また、ステージ２１には、水平面内で互いに直交するｘ方向およびｙ方向が設定される。ステージ２１は、図１のステージ駆動部２２によりｘ方向およびｙ方向に移動可能に設けられる。ステージ２１が回転軸Ｒ３の周りに回転すると、ステージ２１のｘ方向およびｙ方向も回転する。それにより、ステージ２１のｘ方向およびｙ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に対して水平面内で傾斜する。
【００４８】
ステージ２１の中央には円形状の開口部２１ｂが形成されている。その開口部２１ｂを覆うように円形状の載置プレート２１ｃが着脱可能にステージ２１に取り付けられる。載置プレート２１ｃとしては、遮光性の載置プレートおよび透光性の載置プレートを選択的に用いることができる。反射光により観察対象物Ｓが観察される場合には、遮光性の載置プレートが用いられる。透過光により観察対象物Ｓが観察される場合には、透光性の載置プレートが用いられる。
【００４９】
ステージ２１の開口２１ｂには、上記の載置プレート２１ｃに代えて後述する校正板４００（図５）を取り付けることができる。
【００５０】
撮像装置１０の撮像範囲（視野範囲）は、撮像装置１０の倍率により異なる。以下、撮像装置１０の撮像範囲を単位領域と呼ぶ。ステージ２１をｘ方向およびｙ方向に移動させることにより複数の単位領域の画像データを取得することができる。複数の単位領域の画像データを連結することにより複数の単位領域の画像を図１の表示部２６０に表示することができる。このように、本実施の形態では撮像装置１０の撮像範囲を単位領域と呼ぶが、単位領域は必ずしも撮像装置１０の撮像範囲でなくてもよい。例えば、撮像装置１０の撮像範囲内の一部の領域を単位領域としてもよい。この場合、単位領域は撮像装置１０の撮像範囲よりも小さくなる。
【００５１】
図３は顕微鏡１００の撮像装置１０がＺ方向と平行に固定されている状態を示す模式図である。また、図４は顕微鏡１００の撮像装置１０がＺ方向から所望の角度まで傾斜された状態を示す模式図である。
【００５２】
図３に示すように、回動支柱５がＺ方向に平行な状態で固定つまみ９を締めることにより連結部４が第２の支持台３に固定される。それにより、撮像装置１０の光軸Ｒ２がＺ方向に平行な状態で回動軸Ｒ１に垂直に交差する。この場合、撮像装置１０の光軸Ｒ２はステージ２１の表面に垂直となる。
【００５３】
固定つまみ９を緩めることにより連結部４が回動軸Ｒ１の周りに回動可能となり、回動支柱５が回動軸Ｒ１を支点として傾斜可能となる。それにより、図４に示すように、撮像装置１０の光軸Ｒ２をＺ方向に対して任意の角度θ傾斜させることができる。この場合、撮像装置１０の光軸Ｒ２は回動軸Ｒ１に垂直に交差する。同様にして、撮像装置１０の光軸Ｒ２をＺ方向に対して図４と逆側に任意の角度傾斜させることができる。
【００５４】
したがって、ステージ２１上の観察対象物の表面の高さを回動軸Ｒ１の高さに一致させることにより、観察対象物の同じ部分を垂直な方向および斜め方向から観察することができる。
【００５５】
（２）校正板
本実施の形態において、拡大観察装置３００の校正とは、対物レンズ１３の倍率が任意の倍率に設定された状態で、観察対象物Ｓの観察前に図１のカラーＣＣＤ１１の画素ピッチに対応する観察対象物Ｓの実寸法（以下、画素寸法と呼ぶ。）を算出することをいう。これにより、図１の表示部２６０に表示される観察対象物Ｓの画像に基づいて観察対象物Ｓの所望の部分の実寸法を正確に算出することができる。
【００５６】
図５は、本発明の一実施の形態に係る校正板４００の平面図である。図５に示すように、この校正板４００は、枠部材４１０および透光性プレート４２０により構成される。
【００５７】
枠部材４１０は、例えば円形状の金属板の中央に矩形の開口部４１０ｈが形成された構成を有する。透光性プレート４２０は、例えば矩形のガラス板からなり、枠部材４１０の開口部４１０ｈに嵌め込み可能に構成される。透光性プレート４２０は一面および他面を有する。
【００５８】
透光性プレート４２０の一面は、３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。校正区域４２１は、透光性プレート４２０の約半分の大きさを有し、透光性プレート４２０の一辺から略中央までの範囲に渡って設けられる。校正区域４２２，４２３は、それぞれ透光性プレート４２０の約１／４の大きさを有する。校正区域４２２，４２３は、それぞれ校正区域４２１に隣接しかつ互いに隣接するように設けられる。
【００５９】
拡大観察装置３００においては、図１の対物レンズ１３の種類にそれぞれ対応する複数種類の校正が行われる。３つの校正区域４２１，４２２，４２３は、拡大観察装置３００の複数種類の校正にそれぞれ対応付けられる。
【００６０】
例えば、校正区域４２１は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が２０倍よりも大きく１００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、低倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６１】
校正区域４２２は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が１００倍よりも大きく５００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、中倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６２】
校正区域４２３は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が５００倍よりも大きく２５００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、高倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６３】
上記のように、透光性プレート４２０の一面が、低倍率校正、中倍率校正および高倍率校正にそれぞれ対応する３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。この場合、拡大観察装置３００の校正の種類ごとに複数の校正板を用意する必要がない。
【００６４】
各校正区域４２１，４２２，４２３は、第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２を含む。各校正区域４２１，４２２，４２３の中央に第１の領域ＡＲ１が設けられる。また、各校正区域４２１，４２２，４２３においては、第１の領域ＡＲ１を取り囲むように第２の領域ＡＲ２が設けられる。
【００６５】
図５の校正区域４２１に示すように、第１の領域ＡＲ１に校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２に複数のガイドマーカＧＭがほぼマトリクス状に並ぶように分散して形成される。校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭは、例えば透光性プレート４２０の一面上にクロム膜を蒸着させることにより形成される。図５では、校正区域４２２，４２３における校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭの図示を省略する。
【００６６】
３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ形成される校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭの大きさは、３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ対応付けられた校正の種類に応じてそれぞれ適切に定められる。
【００６７】
例えば、低倍率校正に対応する校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積は中倍率校正に対応する校正区域４２２の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積よりも大きく、中倍率校正に対応する校正区域４２２の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積は高倍率校正に対応する校正区域４２３の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積よりも大きい。
【００６８】
また、第２の領域ＡＲ２において、互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔も３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ対応付けられた対物レンズ１３の倍率範囲に応じてそれぞれ適切に定められる。例えば、校正区域４２１において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔は校正区域４２２において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔よりも大きく、校正区域４２２において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔は校正区域４２３において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔よりも大きい。
【００６９】
校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭについて詳細を説明する。なお、校正目盛Ｃの面積の大きさ、複数のガイドマーカＧＭの面積の大きさ、および複数のガイドマーカＧＭの配置間隔を除き、校正区域４２２，４２３の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭと同じ構成を有する。
【００７０】
図６は、図５の校正区域４２１の一部拡大平面図である。図６に示すように、第１の領域ＡＲ１に形成される校正目盛Ｃは、複数本の校正用ラインＣａおよび２本の倍率提示用ラインＣｂを含む。
【００７１】
複数本の校正用ラインＣａは、予め定められた一定の間隔で一方向に配列されている。拡大観察装置３００の校正時には、複数本の校正用ラインＣａが撮像されることにより、互いに隣接する各２つの校正用ラインＣａ間の実寸法に基づいて上記の画素寸法が算出される。以下では、複数本の校正用ラインＣａの配列方向を第１方向と呼び、校正区域４２１上で第１方向に直交する方向を第２方向と呼ぶ。
【００７２】
２本の倍率提示用ラインＣｂは、複数本の校正用ラインＣａに近接する位置で、上記の第１方向に平行に延びるように配置されている。
【００７３】
本例では、倍率提示用ラインＣｂの数が当該校正目盛Ｃに対応する拡大観察装置３００の校正の種類を示す。例えば、図６の２本の倍率提示用ラインＣｂは、その校正目盛Ｃが低倍率校正に対応することを示す。この場合、３本の倍率提示用ラインＣｂが中倍率校正に対応し、４本の倍率提示用ラインＣｂが高倍率校正に対応してもよい。
【００７４】
第２の領域ＡＲ２に形成される複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ略長方形状を有する。各ガイドマーカＧＭの一端部は尖るように形成されている。以下、尖るように形成された各ガイドマーカＧＭの一端部を先端部と呼ぶ。
【００７５】
複数のガイドマーカＧＭは、先端部が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かうようにそれぞれ設けられる。これにより、第２の領域ＡＲ２においては、各ガイドマーカＧＭの先端部の形状により、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が示される。図６の第２の領域ＡＲ２においては、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が第１方向または第２方向に平行に示される。
【００７６】
各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。図６の例では、第１方向に平行な各ガイドマーカＧＭに、第１方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。一方、第２方向に平行な各ガイドマーカＧＭに、第２方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。
【００７７】
（３）拡大観察装置の校正処理フロー
図１の拡大観察装置３００においては、図５の校正板４００を用いることにより、以下の手順で校正処理が行われる。図７は図１の拡大観察装置３００の校正処理を示すフローチャートである。
【００７８】
初期の状態では、図１の落射照明用光源１６が白色光を発生し（発光状態）、図１の透過照明用光源２６が白色光を発生しない（消灯状態）。また、図２のステージ２１の開口２１ｂに、載置プレート２１ｃに代えて校正板４００が取り付けられる。この状態で、例えば使用者により表示部２６０に表示される図示しない校正ボタンが操作される。それにより、図１の記憶装置２４０に記憶される校正プログラムに従って以下の校正処理が実行される。
【００７９】
上述のように、本実施の形態において、校正板４００は透光性プレート４２０上に校正目盛Ｃが形成された構成を有する。そこで、ＣＰＵ２２０は、まず照明の切り替えを行う（ステップＳ１１）。本例では、ＣＰＵ２２０は、図１の落射照明用光源１６を消灯状態にし、図１の透過照明用光源２６を発光状態にする。初期状態で落射照明用光源１６が消灯状態でありかつ透過照明用光源２６が発光状態である場合、ＣＰＵ２２０は上記のステップＳ１１の処理を行わなくてもよい。
【００８０】
ステップＳ１１の処理時に、ＣＰＵ２２０は、照明の切り替え処理とともに校正板４００の少なくとも一部が撮像されることにより生成される画像データに基づいて拡大観察装置３００の撮像条件の自動設定を行ってもよい。例えば、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の撮像条件の自動設定として、カラーＣＣＤ１１のゲイン、露光時間、ホワイトバランス、透過照明用光源２６の光量、図示しない絞りの開度、および図示しないフィルタの透過率の等種々の自動設定を行ってもよい。
【００８１】
続いて、ＣＰＵ２２０は、図１のレンズ検出部１３ｂから対物レンズ１３の倍率および種類についての検出結果を取得する（ステップＳ１２）。本例では、図１のステージ２１の開口２１ｂに取り付けられる校正板４００の位置および方向が予め定められている。また、図１の記憶装置２４０には、拡大観察装置３００の複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３（図５）の位置が位置情報として予め記憶されている。
【００８２】
ＣＰＵ２２０は、取得された対物レンズ１３の倍率および種類に対応する拡大観察装置３００の校正の種類を識別し、記憶装置２４０に記憶された位置情報に基づいて、識別した校正の種類に対応する校正区域（以下、対応校正区域と呼ぶ。）の少なくとも一部が撮像されるようにステージ２１を移動させる（ステップＳ１３）。
【００８３】
上記のように、校正板４００の複数の校正区域４２１，４２２，４２３においては、第１の領域ＡＲ１に校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２に複数のガイドマーカＧＭが形成される。
【００８４】
したがって、ステップＳ１３においては、対応校正区域内の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも一部が撮像装置１０の撮像範囲内に存在する。
【００８５】
そこで、ＣＰＵ２２０は、校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも一部が撮像されることにより生成される画像データに基づいて、対物レンズ１３のＺ方向の位置（以下、Ｚ位置と呼ぶ。）の自動設定を行う（ステップＳ１４）。
【００８６】
対物レンズ１３のＺ位置の自動設定は例えば次のように行われる。ＣＰＵ２２０は、対応校正区域と対物レンズ１３とが対向する状態で、図１のレンズ駆動部１７を制御することにより対物レンズ１３をＺ方向に移動させ、対物レンズ１３の焦点位置をＺ方向において移動させつつ対応校正区域の少なくとも一部を撮像する。このとき、ＣＰＵ２２０は、Ａ／Ｄ変換器１５から与えられる画像データに基づいて対物レンズ１３の焦点が撮像された校正目盛Ｃまたは複数のガイドマーカＧＭに一致するときの対物レンズ１３のＺ位置（以下、合焦点位置と呼ぶ。）を検出する。その後、ＣＰＵ２２０は、対物レンズ１３を検出した合焦点位置に移動させる。このようにして、撮像時の対物レンズ１３のＺ位置が合焦点位置に設定される。
【００８７】
続いて、ＣＰＵ２２０は、対物レンズ１３のＺ位置が合焦点位置にある状態で、校正板４００の撮像を行う（ステップＳ１５）。ＣＰＵ２２０は、撮像により生成される画像データに基づいて、対応校正区域の校正目盛Ｃ（図６）が撮像されたか否かを判定する。
【００８８】
校正目盛Ｃが撮像されなかった場合、ＣＰＵ２２０は、撮像により生成される画像データに基づいて、対応校正区域の複数のガイドマーカＧＭ（図６）のうちのいずれかが撮像されたか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００８９】
複数のガイドマーカＧＭのうちのいずれかが撮像された場合、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭの形状に基づいて当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１（図６）の中央部分ＴＰ（図６）に向かう方向を識別する。また、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭの二次元コードに基づいて中央部分ＴＰに向かう方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を識別する。このようにして、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭにより示される方向および距離を識別し、識別した方向および距離に基づいて、撮像装置１０による撮像範囲が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに一致するようにまたは近づくようにステージ２１を移動させる（ステップＳ１８）。その後、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ１４の処理に戻る。
【００９０】
上記のステップＳ１６において、校正目盛Ｃが撮像された場合、ＣＰＵ２２０は、撮像された校正目盛Ｃの画像データに基づいて拡大観察装置３００の校正を行う（ステップＳ２０）。
【００９１】
本例では、拡大観察装置３００の校正は例えば次のように行われる。まず、撮像装置１０により校正目盛Ｃが撮像され、校正目盛Ｃに対応する画像データが生成される。ＣＰＵ２２０は、図１のカラーＣＣＤ１１の画素ごとの画像データの値（明るさまたはコントラストを示す値等）に基づいて、複数本の校正用ラインＣａのうち隣り合う各２本の校正用ラインＣａ間の実寸法に対応するカラーＣＣＤ１１の画素数を検出する。次に、ＣＰＵ２２０は、各２本の校正用ラインＣａ間の実寸法を検出された画素数で除算する。ＣＰＵ２２０は、複数の除算結果の平均値を上記の画素寸法として算出する。その後、拡大観察装置３００の校正処理が終了する。
【００９２】
上記のステップＳ１７において、複数のガイドマーカＧＭのいずれも撮像されない場合には、対応校正区域が撮像装置１０の撮像範囲内に存在しないと考えられる。この場合、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の校正を行うことなく校正処理を終了する。このとき、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の校正が失敗したことを示す情報を図１の表示部２６０に表示させてもよい。それにより、使用者は、拡大観察装置３００の校正の失敗を容易に認識することができる。
【００９３】
（４）効果
（４−１）校正板に関して
拡大観察装置３００の校正開始時に、校正板４００の第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２にそれぞれ設けられた校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのいずれかが撮像装置１０により撮像される。各ガイドマーカＧＭにおいては、先端部の形状により当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が示される。また、各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す情報として二次元コードが含まれる。
【００９４】
これにより、第２の領域ＡＲ２に設けられた複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも１つが撮像される場合には、撮像されたガイドマーカＧＭが示す方向およびガイドマーカＧＭに含まれる二次元コードに基づいて、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに設けられた校正目盛Ｃを撮像装置１０の撮像範囲内に正確に移動させることができる。それにより、校正板４００の校正目盛Ｃを容易に撮像することができる。その結果、拡大観察装置３００の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【００９５】
校正板４００の各校正区域４２１，４２２，４２３において、第２の領域ＡＲ２は第１の領域ＡＲ１に比べて大きい面積を有する。第２の領域ＡＲ２では、複数のガイドマーカＧＭが分散的に配置されている。これにより、拡大観察装置３００の校正の開始時に校正板４００の位置決めを行う場合、または上記のステップＳ１３でステージ２１が移動した場合に少なくとも１つのガイドマーカＧＭが撮像装置１０の撮像範囲内に存在する確立が高くなる。それにより、校正目盛Ｃを撮像装置１０の撮像範囲内に短時間で移動させることができる。また、拡大観察装置３００の校正の失敗も低減される。
【００９６】
校正目盛Ｃを各校正区域４２１，４２２，４２３の全面に形成した場合には、対応校正区域の少なくとも一部が撮像されることにより、ステージ２１の移動を行うことなく拡大観察装置３００の校正を行うことができる。この場合、高い寸法精度が要求される校正目盛Ｃを広範囲に形成する必要があるため、校正板の製造時に校正目盛Ｃの寸法および配置間隔についての製品検査を高精度で行なわなければならない。その結果、校正板が高価になる。
【００９７】
図５の校正板４００に形成される複数のガイドマーカＧＭには高い寸法精度が要求されない。この場合、校正板４００の製造時に、複数のガイドマーカＧＭの寸法および配置間隔についての製品検査を高精度で行う必要がない。そのため、校正目盛Ｃを各校正区域４２１，４２２，４２３の全面に形成する場合に比べて校正板４００の製造コストが十分に低減される。
【００９８】
校正目盛Ｃが撮像装置１０の撮像範囲内に存在しない場合でも、少なくとも１つのガイドマーカＧＭが撮像装置１０の撮像範囲内に存在する場合には、撮像されたガイドマーカＧＭに対応する画像データに基づいて対物レンズ１３のＺ位置を合焦点位置に容易に設定することができる。
【００９９】
（４−２）拡大観察装置に関して
上記の拡大観察装置３００においては、ステージ２１に校正板４００が取り付けられた状態で、第２の領域ＡＲ２の複数のガイドマーカＧＭの少なくとも１つが撮像されることにより、生成される画像データに基づいて撮像されたガイドマーカＧＭが示す方向に従って撮像装置１０の撮像範囲が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに移動される。その後、拡大観察装置３００の校正が行われる。
【０１００】
これにより、使用者は、拡大観察装置３００の校正時に校正板４００の校正目盛Ｃを探索する操作を行う必要がない。したがって、使用者は、拡大観察装置３００の校正を簡単かつ短時間で行うことができる。
【０１０１】
上記のように、校正板４００は、複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３を有する。また、拡大観察装置３００の記憶装置２４０には、複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３の位置が位置情報として予め記憶されている。それにより、拡大観察装置３００の校正時には、対物レンズ１３の倍率および種類に基づいて拡大観察装置３００の校正の種類が識別され、識別された校正の種類に対応する対応校正区域の少なくとも一部が撮像されるようにステージ２１が移動される。
【０１０２】
この場合、使用者は、撮像装置１０の撮像範囲を対応校正区域に移動させるための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置３００に複数種類のうち所望の種類の校正を容易に行うことができる。
【０１０３】
（５）他の実施の形態
（５−１）上記の実施の形態において、各ガイドマーカＧＭは、必ずしも当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す情報を含まなくてもよい。例えば、ＣＰＵ２２０は、図７のステップＳ１７で複数のガイドマーカＧＭのうちのいずれかが撮像された場合に、ステップＳ１８の処理を行う代りに、撮像装置１０による撮像範囲が撮像されたガイドマーカＧＭにより示される方向に一単位領域分移動するようにステージ２１を移動させてもよい。その後、ＣＰＵ２２０はステップＳ１４の処理に戻ってもよい。このようにして、ステップＳ１４から一単位領域分のステージ２１の移動動作までの上記の一連の処理が繰り返されることにより、最終的に第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰが確実に撮像される。
【０１０４】
上記のように、各ガイドマーカＧＭが距離を示す情報を含まない場合、ガイドマーカＧＭを単純な一定形状にすることができる。これにより、校正板４００におけるガイドマーカＧＭの形成が容易となり、校正板４００の製造コストが低減される。
【０１０５】
（５−２）上記の実施の形態において、図６の複数のガイドマーカＧＭがそれぞれ示す方向は、複数本の校正用ラインＣａ（図６）の配列方向である第１方向および第１方向に直交する第２方向のいずれかの方向と平行な方向に限られる。すなわち、図６の例では、複数のガイドマーカＧＭが９０度の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す。
【０１０６】
これに限らず、複数のガイドマーカＧＭは、４５°の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示してもよいし、３０°または１５°の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示してもよい。このように、複数のガイドマーカＧＭはそれぞれ任意の角度間隔で方向を示してもよい。
【０１０７】
（５−３）図５および図６の例では、第２の領域ＡＲ２に形成される各ガイドマーカＧＭは、略長方形状を有し、各ガイドマーカＧＭの一端部は尖るように形成されている。これに限らず、各ガイドマーカＧＭは、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示すことができるのであれば、矢印形状を有してもよい。また、各ガイドマーカＧＭは第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す二次元コードで構成されてもよいし、上、下、右および左等の文字で構成されてもよい。
【０１０８】
（５−４）図５および図６の例では、第２の領域ＡＲ２に形成される各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。
【０１０９】
これに限らず、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離は、各ガイドマーカＧＭの面積の大きさまたは長さにより示されてもよい。例えば、複数のガイドマーカＧＭがそれぞれ矢印で示される場合には、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに近づくほど矢印の長さを大きくし、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰから遠ざかるほど矢印の長さを小さくしてもよい。
【０１１０】
さらに、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離は、各ガイドマーカＧＭ内または各ガイドマーカＧＭの近傍に距離を示す数字を付加することにより示されてもよい。
【０１１１】
（５−５）上記の実施の形態において、複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ対応付けられた拡大観察装置３００の校正の種類を示す情報をさらに含んでもよい。この場合、ＣＰＵ２２０は、複数のガイドマーカＧＭの少なくとも１つが撮像されることにより生成される画像データに基づいて、現在の撮像装置１０の撮像範囲が複数の校正区域のうちのいずれの校正区域に位置するかを容易に識別することができる。
【０１１２】
（５−６）図５および図６の校正板４００では、透光性プレート４２０の一面上に校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭが形成される。これに限らず、遮光性プレートに校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭが形成されてもよい。この場合、図１の透過照明用光源２６を発光状態にし、図１の落射照明用光源１６を消灯状態にする代わりに、落射照明用光源１６を発光状態にし、透過照明用光源２６を消灯状態にし、校正板４００からの反射光に基づいて拡大観察装置３００の校正を行ってもよい。
【０１１３】
（５−７）上記では、図１のＣＰＵ２２０により拡大観察装置３００の校正処理が行われる例を説明したが、これに限らず図７のステップＳ１１〜Ｓ１８の処理が、使用者による拡大観察装置３００の操作により行われもよい。
【０１１４】
例えば、使用者は、校正板４００を撮像することにより表示部２６０に表示される画像に基づいて校正目盛Ｃの探索を行う。この場合、ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭの形状または文字により第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示すことが好ましい。また、この場合、ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭの面積の大きさ、長さまたは文字により当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示すことが好ましい。これにより、使用者は、校正目盛Ｃの探索時に、表示部２６０に表示される各ガイドマーカＧＭの画像を視認することにより、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向および各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を容易に認識することができる。
【０１１５】
（５−８）上記の実施の形態では、拡大観察装置３００の複数種類の校正として、低倍率校正、中倍率校正および高倍率校正について説明した。これに限らず、拡大観察装置３００の複数種類の校正のうちの一つとして、対物レンズ１３が広角ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正がある。
【０１１６】
広角ズームレンズにより撮像された画像においては、撮像装置１０の撮像範囲の中心から離れた外縁部およびその近傍の部分に歪が生じやすい。そのため、画像データに基づく画像に生じる歪の度合いを検出するために、ドットチャート（一定の外径を有する複数のドットが一定間隔で格子状に並んだチャート）による校正が行われる。この校正に対応付けられる校正板４００の校正区域においては、第１の領域ＡＲ１に上記の校正目盛Ｃに代えてドットチャートが形成される。
【０１１７】
（５−９）上記の実施の形態では、白色光を用いて観察対象物Ｓの表面を観察する顕微鏡１００を備える拡大観察装置３００において校正板４００を用いた校正処理が行われる。これに限らず、上記の校正板４００および校正処理は、観察対象物Ｓを拡大して観察する他の拡大観察装置に適用することができる。このような拡大観察装置として、例えば、光干渉法を用いた顕微鏡を備える拡大観察装置、共焦点顕微鏡を備える拡大観察装置、走査電子顕微鏡を備える拡大観察装置、走査型プローブ顕微鏡を備える拡大観察装置、および蛍光顕微鏡を備える拡大観察装置等がある。
【０１１８】
（５−１０）上記の実施の形態において、対物レンズ１３がＺ方向に移動されることにより対物レンズ３に対する観察対象物Ｓの相対的なＺ方向の位置が変化されるが、これに限定されない。ステージ２１がＺ方向に移動されることにより対物レンズ１３に対する観察対象物Ｓの相対的なＺ方向の位置が変化されてもよい。
【０１１９】
（６）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１２０】
上記実施の形態においては、校正板４００が校正具の例であり、透光性プレート４２０が基材の例であり、第１の領域ＡＲ１が一部領域の例であり、校正目盛Ｃが第１の指標の例であり、第２の領域ＡＲ２が他の領域の例であり、複数のガイドマーカＧＭが第２の指標の例であり、校正区域４２１，４２２，４２３が複数の区域の例である。
【０１２１】
また、観察対象物Ｓが観察対象物の例であり、拡大観察装置３００が拡大観察装置の例であり、撮像装置１０が撮像装置の例であり、ステージ２１がステージの例であり、ステージ駆動部２２が移動部の例であり、ＣＰＵ２２０が制御部の例である。
【０１２２】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１２３】
本発明は、種々の顕微鏡を用いた拡大観察装置に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【０１２４】
１ ベース
２ 第１の支持台
３ 第２の支持台
４ 連結部
５ 回動支柱
６ 連結部
７ 支持部
８ スライダ
９ 固定つまみ
１０ 撮像装置
１１ カラーＣＣＤ
１２ ハーフミラー
１３ 対物レンズ
１３ａ ズーム調整部
１３ｂ レンズ検出部
１５ Ａ／Ｄ変換器
１６ 落射照明用光源
１７ レンズ駆動部
２０ ステージ装置
２１ ステージ
２１ｂ 開口部
２１ｃ 載置プレート
２２ ステージ駆動部
２３ ステージ支持部
２６ 透過照明用光源
３０ 回転角度センサ
４１ 調整ネジ
４２ 調整つまみ
１００ 顕微鏡
２００ 画像処理装置
２１０ インタフェース
２２０ ＣＰＵ
２３０ ＲＯＭ
２４０ 記憶装置
２５０ 入力装置
２６０ 表示部
２７０ 作業用メモリ
３００ 拡大観察装置
４００ 校正板
４１０ 枠部材
４１０ｈ 開口部
４２０ 透光性プレート
４２１，４２２，４２３ 校正区域
ＡＲ１ 第１の領域
ＡＲ２ 第２の領域
Ｃ 校正目盛
Ｃａ 校正用ライン
Ｃｂ 倍率提示用ライン
ＧＭ ガイドマーカ
Ｒ１ 回動軸
Ｒ２ 光軸
Ｒ３ 回転軸
Ｓ 観察対象物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、校正具および拡大観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の顕微鏡観察システムにおいて、ステージ上に載置された標本がカメラ部により撮像される。この場合、撮像された標本に対応する標本画像が生成される。標本画像における２つの地点に対応する標本の２つの地点間の実寸法が既知である場合には、その標本画像に基づいて一画素当たりの実寸法が算出される。
【０００３】
上記の顕微鏡観察システムのような拡大観察装置において、上記の標本のように種々の校正を行うための校正具が用いられる。例えば、校正具には予め定められた寸法を有する目盛が設けられる。校正具の目盛が撮像装置により撮像されることにより、拡大観察装置の校正が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５８４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
拡大観察装置において、対象物の観察倍率が高くなると撮像装置の撮像範囲（視野範囲）が狭くなる。そのため、使用者は、校正具の撮像開始時に撮像装置の撮像範囲内に目盛が存在しない場合、校正具が載置されたステージを水平方向に移動させつつ校正具の目盛を探索し、その目盛を撮像装置の撮像範囲内に移動させる。
【０００６】
校正具は、例えばガラス製の透明なプレート上の一部に上記の目盛が設けられた構成を有する。そのため、撮像装置の撮像範囲内に目盛が存在しない場合、使用者は撮像により得られる画像を視認しても、撮像装置の撮像範囲と目盛との位置関係を知ることはできない。したがって、使用者は目盛の探索に長い時間を要する。
【０００７】
本発明の目的は、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことを可能にする校正具および拡大観察装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）第１の発明に係る校正具は、対象物の画像を表示する拡大観察装置に用いられる校正具であって、一面を有する基材を備え、基材の一面の一部領域に、拡大観察装置の校正に用いられる第１の指標が設けられ、基材の一面の一部領域以外の他の領域に、一部領域に向かう方向を示す第２の指標が設けられるものである。
【０００９】
その校正具においては、一部領域および他の領域にそれぞれ設けられた第１および第２の指標のいずれかが拡大観察装置により撮像される。他の領域に設けられた第２の指標が撮像される場合には、第２の指標により示される方向に基づいて一部領域に設けられた第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に移動させることができる。それにより、校正具の第１の指標を容易に撮像することができる。その結果、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【００１０】
（２）第２の指標は、当該第２の指標から第１の指標までの距離に関する情報を含んでもよい。
【００１１】
この場合、他の領域に設けられた第２の指標が撮像される場合に、第２の指標に含まれる距離に関する情報に基づいて第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に正確に移動させることができる。その結果、拡大観察装置の校正をより短時間で行うことが可能となる。
【００１２】
（３）第２の指標は、一部領域に向かう方向を示す形状を有してもよい。
【００１３】
この場合、第２の指標の形状に基づいて第２の指標から第１の指標に向かう方向を容易に認識することができる。
【００１４】
（４）第２の指標は、他の領域に分散的に複数設けられてもよい。
【００１５】
この場合、拡大観察装置による撮像範囲内に少なくとも１つの第２の指標が存在する確立が高くなる。それにより、第１または第２の指標を探索するための作業時間が短縮される。その結果、第１の指標を拡大観察装置の撮像範囲内に短時間で移動させることができる。
【００１６】
（５）基材の一面は、拡大観察装置の複数種類の校正にそれぞれ対応した複数の区域を有し、複数の区域の各々における一部領域に第１の指標が設けられ、複数の区域の各々における一部領域以外の他の領域に第２の指標が設けられ、各区域の第１の指標は、対応する種類の校正に用いられるように設けられてもよい。
【００１７】
この場合、複数の区域のうちいずれかの区域の第１の指標が撮像されることにより、その区域に対応する種類の校正が可能となる。また、複数の区域のうち他の区域の第１の指標が撮像されることにより、その区域に対応する種類の構成が可能となる。したがって、校正の種類ごとに複数の校正具を用意する必要がなくなる。
【００１８】
（６）第２の発明に係る拡大観察装置は、観察対象物の画像を表示する拡大観察装置であって、観察対象物または第１の発明に係る校正具が載置可能なステージと、観察対象物または校正具を撮像することにより撮像範囲の画像を表示するための画像データを生成する撮像装置と、撮像装置の光軸と垂直な方向におけるステージと撮像装置との相対的な位置関係を変更することにより撮像範囲をステージ上で移動させる移動部と、ステージに校正具が載置された場合に、撮像装置により生成される画像データに基づいて校正具の第２の指標が示す方向に従って撮像範囲が一部領域に移動するように移動部を制御する制御部とを備えるものである。
【００１９】
その拡大観察装置においては、ステージに載置された観察対象物または校正具が撮像装置により撮像され、撮像範囲の画像を表示するための画像データが生成される。ステージに校正具が載置された状態で校正具の他の領域に設けられた第２の指標が撮像された場合、生成される画像データに基づいて校正具の第２の指標が示す方向に従って撮像範囲が一部領域に移動される。それにより、第１の指標が撮像範囲内に移動する。撮像範囲内の第１の指標が撮像されることにより、拡大観察装置の校正が可能となる。
【００２０】
これにより、使用者は、拡大観察装置の校正時に、撮像装置により校正具の第１の指標を探索するための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことができる。
【００２１】
（７）制御部は、ステージに上記の複数の区域を有する基材を備える校正具が載置された状態で複数種類の校正のうち一の種類の校正が行われる場合に、撮像範囲が校正具の一の種類に対応する区域に移動するように移動部を制御してもよい。
【００２２】
この場合、使用者は、撮像範囲を校正具の一の種類に対応する区域に移動させるための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置に複数種類のうち所望の種類の校正を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、拡大観察装置の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施の形態に係る拡大観察装置の顕微鏡を示す斜視図である。
【図３】顕微鏡の撮像装置がＺ方向と平行に固定されている状態を示す模式図である。
【図４】顕微鏡の撮像装置がＺ方向から所望の角度まで傾斜された状態を示す模式図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る校正板の平面図である。
【図６】図５の校正区域の一部拡大平面図である。
【図７】図１の拡大観察装置の校正処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の一実施の形態に係る校正具および拡大観察装置について図面を参照しながら説明する。
【００２６】
（１）拡大観察装置の構成
図１は、本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示すブロック図である。
【００２７】
以下において、水平面内で直交する２方向をＸ方向およびＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な方向（鉛直方向）をＺ方向とする。
【００２８】
図１に示すように、拡大観察装置３００は、顕微鏡１００および画像処理装置２００を備える。
【００２９】
顕微鏡１００は、撮像装置１０、ステージ装置２０および回転角度センサ３０を含む。撮像装置１０は、カラーＣＣＤ（電荷結合素子）１１、ハーフミラー１２、対物レンズ１３、ズーム調整部１３ａ、レンズ検出部１３ｂ、Ａ／Ｄ変換器（アナログ／デジタル変換器）１５、落射照明用光源１６、レンズ駆動部１７および透過照明用光源２６を含む。ステージ装置２０は、ステージ２１、ステージ駆動部２２およびステージ支持部２３を含む。ステージ２１上には、観察対象物Ｓが載置される。
【００３０】
落射照明用光源１６は、例えば白色光を発生するハロゲンランプまたは白色ＬＥＤ（発光ダイオード）である。落射照明用光源１６により発生された白色光は、ハーフミラー１２により反射された後、対物レンズ１３によりステージ２１上の観察対象物Ｓに集光される。
【００３１】
透過照明用光源２６は、例えば白色光を発生するハロゲンランプまたは白色ＬＥＤである。透過照明用光源２６は、ステージ支持部２３の内部に設けられる。後述するステージ２１の開口部２１ｂ（図２）に透光性の載置プレート２１ｃ（図２）が取り付けられている場合、透過照明用光源２６により発生された白色光は、載置プレート２１ｃを通して観察対象物Ｓに照射される。
【００３２】
観察対象物Ｓにより反射された白色光または観察対象物Ｓを透過した白色光は、対物レンズ１３およびハーフミラー１２を透過してカラーＣＣＤ１１に入射する。カラーＣＣＤ１１は複数の画素を有する。各画素は、赤色波長の光、緑色波長の光、および青色波長の光をそれぞれ受光する３種類の副画素から構成される。複数の画素が一定の画素ピッチ（隣り合う各２つの画素の中心間の距離）で二次元的に配列される。カラーＣＣＤ１１の各画素からは、受光量に対応する電気信号が出力される。カラーＣＣＤ１１の出力信号は、Ａ／Ｄ変換器１５によりデジタル信号に変換される。Ａ／Ｄ変換器１５から出力されるデジタル信号は、画像データとして画像処理装置２００に順次与えられる。カラーＣＣＤ１１に代えてＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサ等の撮像素子が用いられてもよい。
【００３３】
撮像装置１０においては、対物レンズ１３が着脱可能に設けられる。対物レンズ１３としては、広角ズームレンズ、標準ズームレンズ等の種々のレンズを用いることができる。複数種類のレンズのうちのいずれかが対物レンズ１３として撮像装置１０に取り付けられる。ズーム調整部１３ａは画像処理装置２００の制御により対物レンズ１３の倍率を変化させる。レンズ検出部１３ｂは対物レンズ１３の倍率を検出し、検出結果を画像処理装置２００に与える。これにより、対物レンズ１３の倍率は画像処理装置２００により一定範囲内で任意の倍率に調整可能である。なお、使用者がズーム調整部１３ａを操作することにより対物レンズ１３の倍率が調整されてもよい。この場合、調整された対物レンズ１３の倍率が、レンズ検出部１３ｂにより検出され、画像処理装置２００に与えられる。
【００３４】
また、レンズ検出部１３ｂは、対物レンズ１３の種類を検出し、検出結果を画像処理装置２００に与える。例えば、レンズ検出部１３ｂは、対物レンズ１３の種類として、撮像装置１０に取り付けられている対物レンズ１３が低倍ズームレンズ、標準ズームレンズおよび高倍ズームレンズのいずれであるかを検出するとともに、検出されたズームレンズの調整可能な倍率の範囲を検出する。
【００３５】
対物レンズ１３は、Ｚ方向に移動可能に設けられる。レンズ駆動部１７は、画像処理装置２００の制御により対物レンズ１３をＺ方向に移動させる。それにより、撮像装置１０の焦点位置がＺ方向において移動する。
【００３６】
ステージ２１は、Ｚ方向の軸の周りで回転可能にステージ支持部２３上に設けられる。ステージ駆動部２２は、画像処理装置２００から与えられる移動指令信号（駆動パルス）に基づいてステージ２１をステージ支持部２３に対して相対的に後述するｘ方向およびｙ方向に移動させる。ステージ駆動部２２には、ステッピングモータが用いられる。回転角度センサ３０は、ステージ２１の回転角度を検出し、検出した角度を示す角度検出信号を画像処理装置２００に与える。画像処理装置２００においては、移動指令信号に対するステージ駆動部２２からの応答信号および回転角度センサ３０からの角度検出信号に基づいて、Ｘ方向およびＹ方向におけるステージ２１の位置および回転角度が取得される。
【００３７】
画像処理装置２００は、インタフェース２１０、ＣＰＵ（中央演算処理装置）２２０、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）２３０、記憶装置２４０、入力装置２５０、表示部２６０および作業用メモリ２７０を含む。
【００３８】
ＲＯＭ２３０には、システムプログラムが記憶される。記憶装置２４０は、ハードディスク等からなる。記憶装置２４０には、画像処理プログラムおよび校正プログラムが記憶されるとともに、顕微鏡１００からインタフェース２１０を通して与えられる画像データ等の種々のデータを記憶する。校正プログラムの詳細は後述する。入力装置２５０は、キーボードおよびポインティングデバイスを含む。ポインティングデバイスとしては、マウスまたはジョイスティック等が用いられる。
【００３９】
表示部２６０は、例えば液晶ディスプレイパネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。
【００４０】
作業用メモリ２７０は、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）からなり、種々のデータの処理のために用いられる。
【００４１】
ＣＰＵ２２０は、記憶装置２４０に記憶された画像処理プログラムまたは校正プログラムを実行することにより作業用メモリ２７０を用いて画像データに基づく画像処理を行うとともに、画像データに基づく画像を表示部２６０に表示させる。また、ＣＰＵ２２０は、インタフェース２１０を通して顕微鏡１００のカラーＣＣＤ１１、ズーム調整部１３ａ、落射照明用光源１６、レンズ駆動部１７、ステージ駆動部２２および透過照明用光源２６を制御する。
【００４２】
図２は、第１の実施の形態に係る拡大観察装置３００の顕微鏡１００を示す斜視図である。図２においては、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向が矢印で示される。
【００４３】
図２に示すように、顕微鏡１００はベース１を有する。ベース１上には、第１の支持台２が取り付けられるとともに、この第１の支持台２の前面に嵌め込まれるように第２の支持台３が取り付けられる。
【００４４】
第１の支持台２の上端部には、連結部４がＹ方向に延びる回動軸Ｒ１の周りに回動可能に取り付けられる。連結部４には回動支柱５が取り付けられる。それにより、回動支柱５は連結部４の回動に伴って回動軸Ｒ１を支点としてＺ方向に平行な垂直面内で傾斜可能である。使用者は、固定つまみ９により連結部４を第１の支持台２に対して固定することができる。
【００４５】
連結部６の前面には環状の支持部７が取り付けられる。支持部７には、略円筒状の撮像装置１０が取り付けられる。図２の状態では、撮像装置１０の光軸Ｒ２はＺ方向に平行である。支持部７は、撮像装置１０を水平面内で移動させるための複数の調整ネジ４１を有する。複数の調整ネジ４１を用いて撮像装置１０の光軸Ｒ２が回動軸Ｒ１に垂直に交差するように撮像装置１０の位置を調整することができる。
【００４６】
ベース１上の第２の支持台３の前面には、Ｚ方向に摺動可能にスライダ８が取り付けられる。第２の支持台３の側面には、調整つまみ４２が設けられる。スライダ８のＺ方向（高さ方向）の位置は、調整つまみ４２により調整可能である。
【００４７】
ステージ装置２０のステージ支持部２３は、スライダ８上に取り付けられる。ステージ２１は、ステージ支持部２３に対してＺ方向の回転軸Ｒ３の周りに回転可能に設けられる。また、ステージ２１には、水平面内で互いに直交するｘ方向およびｙ方向が設定される。ステージ２１は、図１のステージ駆動部２２によりｘ方向およびｙ方向に移動可能に設けられる。ステージ２１が回転軸Ｒ３の周りに回転すると、ステージ２１のｘ方向およびｙ方向も回転する。それにより、ステージ２１のｘ方向およびｙ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に対して水平面内で傾斜する。
【００４８】
ステージ２１の中央には円形状の開口部２１ｂが形成されている。その開口部２１ｂを覆うように円形状の載置プレート２１ｃが着脱可能にステージ２１に取り付けられる。載置プレート２１ｃとしては、遮光性の載置プレートおよび透光性の載置プレートを選択的に用いることができる。反射光により観察対象物Ｓが観察される場合には、遮光性の載置プレートが用いられる。透過光により観察対象物Ｓが観察される場合には、透光性の載置プレートが用いられる。
【００４９】
ステージ２１の開口２１ｂには、上記の載置プレート２１ｃに代えて後述する校正板４００（図５）を取り付けることができる。
【００５０】
撮像装置１０の撮像範囲（視野範囲）は、撮像装置１０の倍率により異なる。以下、撮像装置１０の撮像範囲を単位領域と呼ぶ。ステージ２１をｘ方向およびｙ方向に移動させることにより複数の単位領域の画像データを取得することができる。複数の単位領域の画像データを連結することにより複数の単位領域の画像を図１の表示部２６０に表示することができる。このように、本実施の形態では撮像装置１０の撮像範囲を単位領域と呼ぶが、単位領域は必ずしも撮像装置１０の撮像範囲でなくてもよい。例えば、撮像装置１０の撮像範囲内の一部の領域を単位領域としてもよい。この場合、単位領域は撮像装置１０の撮像範囲よりも小さくなる。
【００５１】
図３は顕微鏡１００の撮像装置１０がＺ方向と平行に固定されている状態を示す模式図である。また、図４は顕微鏡１００の撮像装置１０がＺ方向から所望の角度まで傾斜された状態を示す模式図である。
【００５２】
図３に示すように、回動支柱５がＺ方向に平行な状態で固定つまみ９を締めることにより連結部４が第２の支持台３に固定される。それにより、撮像装置１０の光軸Ｒ２がＺ方向に平行な状態で回動軸Ｒ１に垂直に交差する。この場合、撮像装置１０の光軸Ｒ２はステージ２１の表面に垂直となる。
【００５３】
固定つまみ９を緩めることにより連結部４が回動軸Ｒ１の周りに回動可能となり、回動支柱５が回動軸Ｒ１を支点として傾斜可能となる。それにより、図４に示すように、撮像装置１０の光軸Ｒ２をＺ方向に対して任意の角度θ傾斜させることができる。この場合、撮像装置１０の光軸Ｒ２は回動軸Ｒ１に垂直に交差する。同様にして、撮像装置１０の光軸Ｒ２をＺ方向に対して図４と逆側に任意の角度傾斜させることができる。
【００５４】
したがって、ステージ２１上の観察対象物の表面の高さを回動軸Ｒ１の高さに一致させることにより、観察対象物の同じ部分を垂直な方向および斜め方向から観察することができる。
【００５５】
（２）校正板
本実施の形態において、拡大観察装置３００の校正とは、対物レンズ１３の倍率が任意の倍率に設定された状態で、観察対象物Ｓの観察前に図１のカラーＣＣＤ１１の画素ピッチに対応する観察対象物Ｓの実寸法（以下、画素寸法と呼ぶ。）を算出することをいう。これにより、図１の表示部２６０に表示される観察対象物Ｓの画像に基づいて観察対象物Ｓの所望の部分の実寸法を正確に算出することができる。
【００５６】
図５は、本発明の一実施の形態に係る校正板４００の平面図である。図５に示すように、この校正板４００は、枠部材４１０および透光性プレート４２０により構成される。
【００５７】
枠部材４１０は、例えば円形状の金属板の中央に矩形の開口部４１０ｈが形成された構成を有する。透光性プレート４２０は、例えば矩形のガラス板からなり、枠部材４１０の開口部４１０ｈに嵌め込み可能に構成される。透光性プレート４２０は一面および他面を有する。
【００５８】
透光性プレート４２０の一面は、３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。校正区域４２１は、透光性プレート４２０の約半分の大きさを有し、透光性プレート４２０の一辺から略中央までの範囲に渡って設けられる。校正区域４２２，４２３は、それぞれ透光性プレート４２０の約１／４の大きさを有する。校正区域４２２，４２３は、それぞれ校正区域４２１に隣接しかつ互いに隣接するように設けられる。
【００５９】
拡大観察装置３００においては、図１の対物レンズ１３の種類にそれぞれ対応する複数種類の校正が行われる。３つの校正区域４２１，４２２，４２３は、拡大観察装置３００の複数種類の校正にそれぞれ対応付けられる。
【００６０】
例えば、校正区域４２１は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が２０倍よりも大きく１００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、低倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６１】
校正区域４２２は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が１００倍よりも大きく５００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、中倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６２】
校正区域４２３は、撮像装置１０に設けられる対物レンズ１３が５００倍よりも大きく２５００倍以下の範囲で倍率を変化させることが可能な標準ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正（以下、高倍率校正と呼ぶ。）に対応付けられる。
【００６３】
上記のように、透光性プレート４２０の一面が、低倍率校正、中倍率校正および高倍率校正にそれぞれ対応する３つの校正区域４２１，４２２，４２３を有する。この場合、拡大観察装置３００の校正の種類ごとに複数の校正板を用意する必要がない。
【００６４】
各校正区域４２１，４２２，４２３は、第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２を含む。各校正区域４２１，４２２，４２３の中央に第１の領域ＡＲ１が設けられる。また、各校正区域４２１，４２２，４２３においては、第１の領域ＡＲ１を取り囲むように第２の領域ＡＲ２が設けられる。
【００６５】
図５の校正区域４２１に示すように、第１の領域ＡＲ１に校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２に複数のガイドマーカＧＭがほぼマトリクス状に並ぶように分散して形成される。校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭは、例えば透光性プレート４２０の一面上にクロム膜を蒸着させることにより形成される。図５では、校正区域４２２，４２３における校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭの図示を省略する。
【００６６】
３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ形成される校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭの大きさは、３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ対応付けられた校正の種類に応じてそれぞれ適切に定められる。
【００６７】
例えば、低倍率校正に対応する校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積は中倍率校正に対応する校正区域４２２の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積よりも大きく、中倍率校正に対応する校正区域４２２の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積は高倍率校正に対応する校正区域４２３の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのそれぞれの面積よりも大きい。
【００６８】
また、第２の領域ＡＲ２において、互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔も３つの校正区域４２１，４２２，４２３にそれぞれ対応付けられた対物レンズ１３の倍率範囲に応じてそれぞれ適切に定められる。例えば、校正区域４２１において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔は校正区域４２２において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔よりも大きく、校正区域４２２において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔は校正区域４２３において互いに隣接する各２つのガイドマーカＧＭ間の間隔よりも大きい。
【００６９】
校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭについて詳細を説明する。なお、校正目盛Ｃの面積の大きさ、複数のガイドマーカＧＭの面積の大きさ、および複数のガイドマーカＧＭの配置間隔を除き、校正区域４２２，４２３の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ校正区域４２１の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭと同じ構成を有する。
【００７０】
図６は、図５の校正区域４２１の一部拡大平面図である。図６に示すように、第１の領域ＡＲ１に形成される校正目盛Ｃは、複数本の校正用ラインＣａおよび２本の倍率提示用ラインＣｂを含む。
【００７１】
複数本の校正用ラインＣａは、予め定められた一定の間隔で一方向に配列されている。拡大観察装置３００の校正時には、複数本の校正用ラインＣａが撮像されることにより、互いに隣接する各２つの校正用ラインＣａ間の実寸法に基づいて上記の画素寸法が算出される。以下では、複数本の校正用ラインＣａの配列方向を第１方向と呼び、校正区域４２１上で第１方向に直交する方向を第２方向と呼ぶ。
【００７２】
２本の倍率提示用ラインＣｂは、複数本の校正用ラインＣａに近接する位置で、上記の第１方向に平行に延びるように配置されている。
【００７３】
本例では、倍率提示用ラインＣｂの数が当該校正目盛Ｃに対応する拡大観察装置３００の校正の種類を示す。例えば、図６の２本の倍率提示用ラインＣｂは、その校正目盛Ｃが低倍率校正に対応することを示す。この場合、３本の倍率提示用ラインＣｂが中倍率校正に対応し、４本の倍率提示用ラインＣｂが高倍率校正に対応してもよい。
【００７４】
第２の領域ＡＲ２に形成される複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ略長方形状を有する。各ガイドマーカＧＭの一端部は尖るように形成されている。以下、尖るように形成された各ガイドマーカＧＭの一端部を先端部と呼ぶ。
【００７５】
複数のガイドマーカＧＭは、先端部が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かうようにそれぞれ設けられる。これにより、第２の領域ＡＲ２においては、各ガイドマーカＧＭの先端部の形状により、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が示される。図６の第２の領域ＡＲ２においては、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が第１方向または第２方向に平行に示される。
【００７６】
各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。図６の例では、第１方向に平行な各ガイドマーカＧＭに、第１方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。一方、第２方向に平行な各ガイドマーカＧＭに、第２方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。
【００７７】
（３）拡大観察装置の校正処理フロー
図１の拡大観察装置３００においては、図５の校正板４００を用いることにより、以下の手順で校正処理が行われる。図７は図１の拡大観察装置３００の校正処理を示すフローチャートである。
【００７８】
初期の状態では、図１の落射照明用光源１６が白色光を発生し（発光状態）、図１の透過照明用光源２６が白色光を発生しない（消灯状態）。また、図２のステージ２１の開口２１ｂに、載置プレート２１ｃに代えて校正板４００が取り付けられる。この状態で、例えば使用者により表示部２６０に表示される図示しない校正ボタンが操作される。それにより、図１の記憶装置２４０に記憶される校正プログラムに従って以下の校正処理が実行される。
【００７９】
上述のように、本実施の形態において、校正板４００は透光性プレート４２０上に校正目盛Ｃが形成された構成を有する。そこで、ＣＰＵ２２０は、まず照明の切り替えを行う（ステップＳ１１）。本例では、ＣＰＵ２２０は、図１の落射照明用光源１６を消灯状態にし、図１の透過照明用光源２６を発光状態にする。初期状態で落射照明用光源１６が消灯状態でありかつ透過照明用光源２６が発光状態である場合、ＣＰＵ２２０は上記のステップＳ１１の処理を行わなくてもよい。
【００８０】
ステップＳ１１の処理時に、ＣＰＵ２２０は、照明の切り替え処理とともに校正板４００の少なくとも一部が撮像されることにより生成される画像データに基づいて拡大観察装置３００の撮像条件の自動設定を行ってもよい。例えば、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の撮像条件の自動設定として、カラーＣＣＤ１１のゲイン、露光時間、ホワイトバランス、透過照明用光源２６の光量、図示しない絞りの開度、および図示しないフィルタの透過率の等種々の自動設定を行ってもよい。
【００８１】
続いて、ＣＰＵ２２０は、図１のレンズ検出部１３ｂから対物レンズ１３の倍率および種類についての検出結果を取得する（ステップＳ１２）。本例では、図１のステージ２１の開口２１ｂに取り付けられる校正板４００の位置および方向が予め定められている。また、図１の記憶装置２４０には、拡大観察装置３００の複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３（図５）の位置が位置情報として予め記憶されている。
【００８２】
ＣＰＵ２２０は、取得された対物レンズ１３の倍率および種類に対応する拡大観察装置３００の校正の種類を識別し、記憶装置２４０に記憶された位置情報に基づいて、識別した校正の種類に対応する校正区域（以下、対応校正区域と呼ぶ。）の少なくとも一部が撮像されるようにステージ２１を移動させる（ステップＳ１３）。
【００８３】
上記のように、校正板４００の複数の校正区域４２１，４２２，４２３においては、第１の領域ＡＲ１に校正目盛Ｃが形成され、第２の領域ＡＲ２に複数のガイドマーカＧＭが形成される。
【００８４】
したがって、ステップＳ１３においては、対応校正区域内の校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも一部が撮像装置１０の撮像範囲内に存在する。
【００８５】
そこで、ＣＰＵ２２０は、校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも一部が撮像されることにより生成される画像データに基づいて、対物レンズ１３のＺ方向の位置（以下、Ｚ位置と呼ぶ。）の自動設定を行う（ステップＳ１４）。
【００８６】
対物レンズ１３のＺ位置の自動設定は例えば次のように行われる。ＣＰＵ２２０は、対応校正区域と対物レンズ１３とが対向する状態で、図１のレンズ駆動部１７を制御することにより対物レンズ１３をＺ方向に移動させ、対物レンズ１３の焦点位置をＺ方向において移動させつつ対応校正区域の少なくとも一部を撮像する。このとき、ＣＰＵ２２０は、Ａ／Ｄ変換器１５から与えられる画像データに基づいて対物レンズ１３の焦点が撮像された校正目盛Ｃまたは複数のガイドマーカＧＭに一致するときの対物レンズ１３のＺ位置（以下、合焦点位置と呼ぶ。）を検出する。その後、ＣＰＵ２２０は、対物レンズ１３を検出した合焦点位置に移動させる。このようにして、撮像時の対物レンズ１３のＺ位置が合焦点位置に設定される。
【００８７】
続いて、ＣＰＵ２２０は、対物レンズ１３のＺ位置が合焦点位置にある状態で、校正板４００の撮像を行う（ステップＳ１５）。ＣＰＵ２２０は、撮像により生成される画像データに基づいて、対応校正区域の校正目盛Ｃ（図６）が撮像されたか否かを判定する。
【００８８】
校正目盛Ｃが撮像されなかった場合、ＣＰＵ２２０は、撮像により生成される画像データに基づいて、対応校正区域の複数のガイドマーカＧＭ（図６）のうちのいずれかが撮像されたか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００８９】
複数のガイドマーカＧＭのうちのいずれかが撮像された場合、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭの形状に基づいて当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１（図６）の中央部分ＴＰ（図６）に向かう方向を識別する。また、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭの二次元コードに基づいて中央部分ＴＰに向かう方向における当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を識別する。このようにして、ＣＰＵ２２０は、撮像されたガイドマーカＧＭにより示される方向および距離を識別し、識別した方向および距離に基づいて、撮像装置１０による撮像範囲が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに一致するようにまたは近づくようにステージ２１を移動させる（ステップＳ１８）。その後、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ１４の処理に戻る。
【００９０】
上記のステップＳ１６において、校正目盛Ｃが撮像された場合、ＣＰＵ２２０は、撮像された校正目盛Ｃの画像データに基づいて拡大観察装置３００の校正を行う（ステップＳ２０）。
【００９１】
本例では、拡大観察装置３００の校正は例えば次のように行われる。まず、撮像装置１０により校正目盛Ｃが撮像され、校正目盛Ｃに対応する画像データが生成される。ＣＰＵ２２０は、図１のカラーＣＣＤ１１の画素ごとの画像データの値（明るさまたはコントラストを示す値等）に基づいて、複数本の校正用ラインＣａのうち隣り合う各２本の校正用ラインＣａ間の実寸法に対応するカラーＣＣＤ１１の画素数を検出する。次に、ＣＰＵ２２０は、各２本の校正用ラインＣａ間の実寸法を検出された画素数で除算する。ＣＰＵ２２０は、複数の除算結果の平均値を上記の画素寸法として算出する。その後、拡大観察装置３００の校正処理が終了する。
【００９２】
上記のステップＳ１７において、複数のガイドマーカＧＭのいずれも撮像されない場合には、対応校正区域が撮像装置１０の撮像範囲内に存在しないと考えられる。この場合、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の校正を行うことなく校正処理を終了する。このとき、ＣＰＵ２２０は、拡大観察装置３００の校正が失敗したことを示す情報を図１の表示部２６０に表示させてもよい。それにより、使用者は、拡大観察装置３００の校正の失敗を容易に認識することができる。
【００９３】
（４）効果
（４−１）校正板に関して
拡大観察装置３００の校正開始時に、校正板４００の第１の領域ＡＲ１および第２の領域ＡＲ２にそれぞれ設けられた校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭのいずれかが撮像装置１０により撮像される。各ガイドマーカＧＭにおいては、先端部の形状により当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向が示される。また、各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す情報として二次元コードが含まれる。
【００９４】
これにより、第２の領域ＡＲ２に設けられた複数のガイドマーカＧＭのうちの少なくとも１つが撮像される場合には、撮像されたガイドマーカＧＭが示す方向およびガイドマーカＧＭに含まれる二次元コードに基づいて、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに設けられた校正目盛Ｃを撮像装置１０の撮像範囲内に正確に移動させることができる。それにより、校正板４００の校正目盛Ｃを容易に撮像することができる。その結果、拡大観察装置３００の校正を簡単かつ短時間で行うことが可能となる。
【００９５】
校正板４００の各校正区域４２１，４２２，４２３において、第２の領域ＡＲ２は第１の領域ＡＲ１に比べて大きい面積を有する。第２の領域ＡＲ２では、複数のガイドマーカＧＭが分散的に配置されている。これにより、拡大観察装置３００の校正の開始時に校正板４００の位置決めを行う場合、または上記のステップＳ１３でステージ２１が移動した場合に少なくとも１つのガイドマーカＧＭが撮像装置１０の撮像範囲内に存在する確立が高くなる。それにより、校正目盛Ｃを撮像装置１０の撮像範囲内に短時間で移動させることができる。また、拡大観察装置３００の校正の失敗も低減される。
【００９６】
校正目盛Ｃを各校正区域４２１，４２２，４２３の全面に形成した場合には、対応校正区域の少なくとも一部が撮像されることにより、ステージ２１の移動を行うことなく拡大観察装置３００の校正を行うことができる。この場合、高い寸法精度が要求される校正目盛Ｃを広範囲に形成する必要があるため、校正板の製造時に校正目盛Ｃの寸法および配置間隔についての製品検査を高精度で行なわなければならない。その結果、校正板が高価になる。
【００９７】
図５の校正板４００に形成される複数のガイドマーカＧＭには高い寸法精度が要求されない。この場合、校正板４００の製造時に、複数のガイドマーカＧＭの寸法および配置間隔についての製品検査を高精度で行う必要がない。そのため、校正目盛Ｃを各校正区域４２１，４２２，４２３の全面に形成する場合に比べて校正板４００の製造コストが十分に低減される。
【００９８】
校正目盛Ｃが撮像装置１０の撮像範囲内に存在しない場合でも、少なくとも１つのガイドマーカＧＭが撮像装置１０の撮像範囲内に存在する場合には、撮像されたガイドマーカＧＭに対応する画像データに基づいて対物レンズ１３のＺ位置を合焦点位置に容易に設定することができる。
【００９９】
（４−２）拡大観察装置に関して
上記の拡大観察装置３００においては、ステージ２１に校正板４００が取り付けられた状態で、第２の領域ＡＲ２の複数のガイドマーカＧＭの少なくとも１つが撮像されることにより、生成される画像データに基づいて撮像されたガイドマーカＧＭが示す方向に従って撮像装置１０の撮像範囲が第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに移動される。その後、拡大観察装置３００の校正が行われる。
【０１００】
これにより、使用者は、拡大観察装置３００の校正時に校正板４００の校正目盛Ｃを探索する操作を行う必要がない。したがって、使用者は、拡大観察装置３００の校正を簡単かつ短時間で行うことができる。
【０１０１】
上記のように、校正板４００は、複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３を有する。また、拡大観察装置３００の記憶装置２４０には、複数種類の校正にそれぞれ対応する複数の校正区域４２１，４２２，４２３の位置が位置情報として予め記憶されている。それにより、拡大観察装置３００の校正時には、対物レンズ１３の倍率および種類に基づいて拡大観察装置３００の校正の種類が識別され、識別された校正の種類に対応する対応校正区域の少なくとも一部が撮像されるようにステージ２１が移動される。
【０１０２】
この場合、使用者は、撮像装置１０の撮像範囲を対応校正区域に移動させるための操作を行う必要がない。その結果、使用者は、拡大観察装置３００に複数種類のうち所望の種類の校正を容易に行うことができる。
【０１０３】
（５）他の実施の形態
（５−１）上記の実施の形態において、各ガイドマーカＧＭは、必ずしも当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す情報を含まなくてもよい。例えば、ＣＰＵ２２０は、図７のステップＳ１７で複数のガイドマーカＧＭのうちのいずれかが撮像された場合に、ステップＳ１８の処理を行う代りに、撮像装置１０による撮像範囲が撮像されたガイドマーカＧＭにより示される方向に一単位領域分移動するようにステージ２１を移動させてもよい。その後、ＣＰＵ２２０はステップＳ１４の処理に戻ってもよい。このようにして、ステップＳ１４から一単位領域分のステージ２１の移動動作までの上記の一連の処理が繰り返されることにより、最終的に第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰが確実に撮像される。
【０１０４】
上記のように、各ガイドマーカＧＭが距離を示す情報を含まない場合、ガイドマーカＧＭを単純な一定形状にすることができる。これにより、校正板４００におけるガイドマーカＧＭの形成が容易となり、校正板４００の製造コストが低減される。
【０１０５】
（５−２）上記の実施の形態において、図６の複数のガイドマーカＧＭがそれぞれ示す方向は、複数本の校正用ラインＣａ（図６）の配列方向である第１方向および第１方向に直交する第２方向のいずれかの方向と平行な方向に限られる。すなわち、図６の例では、複数のガイドマーカＧＭが９０度の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す。
【０１０６】
これに限らず、複数のガイドマーカＧＭは、４５°の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示してもよいし、３０°または１５°の角度間隔で第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示してもよい。このように、複数のガイドマーカＧＭはそれぞれ任意の角度間隔で方向を示してもよい。
【０１０７】
（５−３）図５および図６の例では、第２の領域ＡＲ２に形成される各ガイドマーカＧＭは、略長方形状を有し、各ガイドマーカＧＭの一端部は尖るように形成されている。これに限らず、各ガイドマーカＧＭは、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示すことができるのであれば、矢印形状を有してもよい。また、各ガイドマーカＧＭは第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示す二次元コードで構成されてもよいし、上、下、右および左等の文字で構成されてもよい。
【０１０８】
（５−４）図５および図６の例では、第２の領域ＡＲ２に形成される各ガイドマーカＧＭには、当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示す二次元コードが含まれる。
【０１０９】
これに限らず、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離は、各ガイドマーカＧＭの面積の大きさまたは長さにより示されてもよい。例えば、複数のガイドマーカＧＭがそれぞれ矢印で示される場合には、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに近づくほど矢印の長さを大きくし、第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰから遠ざかるほど矢印の長さを小さくしてもよい。
【０１１０】
さらに、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離は、各ガイドマーカＧＭ内または各ガイドマーカＧＭの近傍に距離を示す数字を付加することにより示されてもよい。
【０１１１】
（５−５）上記の実施の形態において、複数のガイドマーカＧＭは、それぞれ対応付けられた拡大観察装置３００の校正の種類を示す情報をさらに含んでもよい。この場合、ＣＰＵ２２０は、複数のガイドマーカＧＭの少なくとも１つが撮像されることにより生成される画像データに基づいて、現在の撮像装置１０の撮像範囲が複数の校正区域のうちのいずれの校正区域に位置するかを容易に識別することができる。
【０１１２】
（５−６）図５および図６の校正板４００では、透光性プレート４２０の一面上に校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭが形成される。これに限らず、遮光性プレートに校正目盛Ｃおよび複数のガイドマーカＧＭが形成されてもよい。この場合、図１の透過照明用光源２６を発光状態にし、図１の落射照明用光源１６を消灯状態にする代わりに、落射照明用光源１６を発光状態にし、透過照明用光源２６を消灯状態にし、校正板４００からの反射光に基づいて拡大観察装置３００の校正を行ってもよい。
【０１１３】
（５−７）上記では、図１のＣＰＵ２２０により拡大観察装置３００の校正処理が行われる例を説明したが、これに限らず図７のステップＳ１１〜Ｓ１８の処理が、使用者による拡大観察装置３００の操作により行われもよい。
【０１１４】
例えば、使用者は、校正板４００を撮像することにより表示部２６０に表示される画像に基づいて校正目盛Ｃの探索を行う。この場合、ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭの形状または文字により第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向を示すことが好ましい。また、この場合、ガイドマーカＧＭは、当該ガイドマーカＧＭの面積の大きさ、長さまたは文字により当該ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を示すことが好ましい。これにより、使用者は、校正目盛Ｃの探索時に、表示部２６０に表示される各ガイドマーカＧＭの画像を視認することにより、各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰに向かう方向および各ガイドマーカＧＭから第１の領域ＡＲ１の中央部分ＴＰまでの距離を容易に認識することができる。
【０１１５】
（５−８）上記の実施の形態では、拡大観察装置３００の複数種類の校正として、低倍率校正、中倍率校正および高倍率校正について説明した。これに限らず、拡大観察装置３００の複数種類の校正のうちの一つとして、対物レンズ１３が広角ズームレンズであるときの拡大観察装置３００の校正がある。
【０１１６】
広角ズームレンズにより撮像された画像においては、撮像装置１０の撮像範囲の中心から離れた外縁部およびその近傍の部分に歪が生じやすい。そのため、画像データに基づく画像に生じる歪の度合いを検出するために、ドットチャート（一定の外径を有する複数のドットが一定間隔で格子状に並んだチャート）による校正が行われる。この校正に対応付けられる校正板４００の校正区域においては、第１の領域ＡＲ１に上記の校正目盛Ｃに代えてドットチャートが形成される。
【０１１７】
（５−９）上記の実施の形態では、白色光を用いて観察対象物Ｓの表面を観察する顕微鏡１００を備える拡大観察装置３００において校正板４００を用いた校正処理が行われる。これに限らず、上記の校正板４００および校正処理は、観察対象物Ｓを拡大して観察する他の拡大観察装置に適用することができる。このような拡大観察装置として、例えば、光干渉法を用いた顕微鏡を備える拡大観察装置、共焦点顕微鏡を備える拡大観察装置、走査電子顕微鏡を備える拡大観察装置、走査型プローブ顕微鏡を備える拡大観察装置、および蛍光顕微鏡を備える拡大観察装置等がある。
【０１１８】
（５−１０）上記の実施の形態において、対物レンズ１３がＺ方向に移動されることにより対物レンズ３に対する観察対象物Ｓの相対的なＺ方向の位置が変化されるが、これに限定されない。ステージ２１がＺ方向に移動されることにより対物レンズ１３に対する観察対象物Ｓの相対的なＺ方向の位置が変化されてもよい。
【０１１９】
（６）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１２０】
上記実施の形態においては、校正板４００が校正具の例であり、透光性プレート４２０が基材の例であり、第１の領域ＡＲ１が一部領域の例であり、校正目盛Ｃが第１の指標の例であり、第２の領域ＡＲ２が他の領域の例であり、複数のガイドマーカＧＭが第２の指標の例であり、校正区域４２１，４２２，４２３が複数の区域の例である。
【０１２１】
また、観察対象物Ｓが観察対象物の例であり、拡大観察装置３００が拡大観察装置の例であり、撮像装置１０が撮像装置の例であり、ステージ２１がステージの例であり、ステージ駆動部２２が移動部の例であり、ＣＰＵ２２０が制御部の例である。
【０１２２】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１２３】
本発明は、種々の顕微鏡を用いた拡大観察装置に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【０１２４】
１ ベース
２ 第１の支持台
３ 第２の支持台
４ 連結部
５ 回動支柱
６ 連結部
７ 支持部
８ スライダ
９ 固定つまみ
１０ 撮像装置
１１ カラーＣＣＤ
１２ ハーフミラー
１３ 対物レンズ
１３ａ ズーム調整部
１３ｂ レンズ検出部
１５ Ａ／Ｄ変換器
１６ 落射照明用光源
１７ レンズ駆動部
２０ ステージ装置
２１ ステージ
２１ｂ 開口部
２１ｃ 載置プレート
２２ ステージ駆動部
２３ ステージ支持部
２６ 透過照明用光源
３０ 回転角度センサ
４１ 調整ネジ
４２ 調整つまみ
１００ 顕微鏡
２００ 画像処理装置
２１０ インタフェース
２２０ ＣＰＵ
２３０ ＲＯＭ
２４０ 記憶装置
２５０ 入力装置
２６０ 表示部
２７０ 作業用メモリ
３００ 拡大観察装置
４００ 校正板
４１０ 枠部材
４１０ｈ 開口部
４２０ 透光性プレート
４２１，４２２，４２３ 校正区域
ＡＲ１ 第１の領域
ＡＲ２ 第２の領域
Ｃ 校正目盛
Ｃａ 校正用ライン
Ｃｂ 倍率提示用ライン
ＧＭ ガイドマーカ
Ｒ１ 回動軸
Ｒ２ 光軸
Ｒ３ 回転軸
Ｓ 観察対象物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の画像を表示する拡大観察装置に用いられる校正具であって、
一面を有する基材を備え、
前記基材の前記一面の一部領域に、前記拡大観察装置の校正に用いられる第１の指標が設けられ、
前記基材の前記一面の前記一部領域以外の他の領域に、前記一部領域に向かう方向を示す第２の指標が設けられる、校正具。
【請求項２】
前記第２の指標は、当該第２の指標から前記第１の指標までの距離に関する情報を含む、請求項１記載の校正具。
【請求項３】
前記第２の指標は、前記一部領域に向かう方向を示す形状を有する、請求項１または２記載の校正具。
【請求項４】
前記第２の指標は、前記他の領域に分散的に複数設けられる、請求項１〜３のいずれかに記載の校正具。
【請求項５】
前記基材の前記一面は、前記拡大観察装置の複数種類の校正にそれぞれ対応した複数の区域を有し、前記複数の区域の各々における一部領域に前記第１の指標が設けられ、前記複数の区域の各々における前記一部領域以外の他の領域に前記第２の指標が設けられ、各区域の前記第１の指標は、対応する種類の校正に用いられるように設けられる、請求項１〜４のいずれかに記載の校正具。
【請求項６】
観察対象物の画像を表示する拡大観察装置であって、
前記観察対象物または請求項１〜５のいずれかに記載の校正具が載置可能なステージと、
前記観察対象物または前記校正具を撮像することにより撮像範囲の画像を表示するための画像データを生成する撮像装置と、
前記撮像装置の光軸と垂直な方向における前記ステージと前記撮像装置との相対的な位置関係を変更することにより前記撮像範囲を前記ステージ上で移動させる移動部と、
前記ステージに前記校正具が載置された場合に、前記撮像装置により生成される画像データに基づいて前記校正具の前記第２の指標が示す方向に従って前記撮像範囲が前記一部領域に移動するように前記移動部を制御する制御部とを備える、拡大観察装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記ステージに請求項５記載の校正具が載置された状態で前記複数種類の校正のうち一の種類の校正が行われる場合に、前記撮像範囲が前記校正具の前記一の種類に対応する区域に移動するように前記移動部を制御する、請求項６記載の拡大観察装置。
【請求項１】
対象物の画像を表示する拡大観察装置に用いられる校正具であって、
一面を有する基材を備え、
前記基材の前記一面の一部領域に、前記拡大観察装置の校正に用いられる第１の指標が設けられ、
前記基材の前記一面の前記一部領域以外の他の領域に、前記一部領域に向かう方向を示す第２の指標が設けられる、校正具。
【請求項２】
前記第２の指標は、当該第２の指標から前記第１の指標までの距離に関する情報を含む、請求項１記載の校正具。
【請求項３】
前記第２の指標は、前記一部領域に向かう方向を示す形状を有する、請求項１または２記載の校正具。
【請求項４】
前記第２の指標は、前記他の領域に分散的に複数設けられる、請求項１〜３のいずれかに記載の校正具。
【請求項５】
前記基材の前記一面は、前記拡大観察装置の複数種類の校正にそれぞれ対応した複数の区域を有し、前記複数の区域の各々における一部領域に前記第１の指標が設けられ、前記複数の区域の各々における前記一部領域以外の他の領域に前記第２の指標が設けられ、各区域の前記第１の指標は、対応する種類の校正に用いられるように設けられる、請求項１〜４のいずれかに記載の校正具。
【請求項６】
観察対象物の画像を表示する拡大観察装置であって、
前記観察対象物または請求項１〜５のいずれかに記載の校正具が載置可能なステージと、
前記観察対象物または前記校正具を撮像することにより撮像範囲の画像を表示するための画像データを生成する撮像装置と、
前記撮像装置の光軸と垂直な方向における前記ステージと前記撮像装置との相対的な位置関係を変更することにより前記撮像範囲を前記ステージ上で移動させる移動部と、
前記ステージに前記校正具が載置された場合に、前記撮像装置により生成される画像データに基づいて前記校正具の前記第２の指標が示す方向に従って前記撮像範囲が前記一部領域に移動するように前記移動部を制御する制御部とを備える、拡大観察装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記ステージに請求項５記載の校正具が載置された状態で前記複数種類の校正のうち一の種類の校正が行われる場合に、前記撮像範囲が前記校正具の前記一の種類に対応する区域に移動するように前記移動部を制御する、請求項６記載の拡大観察装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−８０１０２（Ｐ２０１３−８０１０２Ａ）
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１９８９４（Ｐ２０１１−２１９８９４）
【出願日】平成２３年１０月４日（２０１１．１０．４）
【出願人】（０００１２９２５３）株式会社キーエンス (681)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月４日（２０１１．１０．４）
【出願人】（０００１２９２５３）株式会社キーエンス (681)
【Ｆターム（参考）】
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