標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置
【課題】 ユーザーの要望に応じた複数種のガスを任意に組合せることができ、複数種のガスが含まれる標準ガスを簡単且つ効率良く調製する。
【解決手段】 複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）有し、各試薬容器２からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段１と、この試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有し、この気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバー３と、この気化チェンバー３と連通し且つ気化チェンバー３にて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバー５と、この希釈チェンバー５に希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６と、希釈チェンバー５に連通接続され、気化チェンバー３内で気化された気化ガスと希釈チェンバー５内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段７とを備える。
【解決手段】 複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）有し、各試薬容器２からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段１と、この試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有し、この気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバー３と、この気化チェンバー３と連通し且つ気化チェンバー３にて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバー５と、この希釈チェンバー５に希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６と、希釈チェンバー５に連通接続され、気化チェンバー３内で気化された気化ガスと希釈チェンバー５内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段７とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め決められた複数種のガスが含まれる標準ガスを調製する標準ガス調製装置に係り、特に、室内化学物質汚染低減策としての化学物質吸着系建材、同分解系建材や空気清浄機などの性能試験を行う上で有効な標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
＜シックハウス問題と改正建築基準法＞
近年、室内化学物質汚染により引き起こされる健康被害が相次ぎ、シックハウス問題が社会問題として表面化してきている。この種の社会問題を解決するために、２００３年７月に建築基準法が改正され、建築物内における化学物質汚染の低減策が示された。
＜汚染低減建材、機材と生活用品＞
この種の低減策に関しては、シックハウス防止の観点から、化学物質吸着系建材、化学物質分解系建材に対する期待が高まっている。このような背景から、各種建材の製品開発が盛んに行われており、製品の化学物質に対する除去・分解性能試験が求められている。
また、空気清浄機、オゾン分解利用機器に代表される製品（基材）の化学物質除去・分解機能に対する期待が高まっており、これについても性能試験が求められる。
更に、生活用品の中でも、例えば炭製品に代表される日用汚染対策品の化学物質除去・分解機能に対する期待も高く、同様の性能試験が求められている。
【０００３】
＜化学物質の除去・分解性能の確認＞
汚染低減建材・機材と生活用品の化学物質除去・分解性能に関わる試験法が既に提示されている。例えば汚染低減建材・機材については、（財）ベターリング等の認定機関から性能試験法が提示されている。また、空気清浄機については、（社）日本電気工業会（ＪＥＭＡ）にて、同問題に対する性能試験法が提示されている。尚、同試験法よりも更に厳格な試験法案が（社）日本建築学会、関連４省庁と大学・研究機関等からなる室内空気対策研究会から既に提示されており、ＪＩＳ制定を目的とした準備委員会が検討を行っている。
提示されている性能試験は、１日から数日にわたって行う短期試験と数週間から数ヶ月に及ぶ長期試験に分類される。特に、長期試験にあっては、長期にわたる効果の確認が必要とされており、これにより、製品の化学物質除去・分解効果の持続性が判明する点で有効である。
【０００４】
＜標準ガス調製装置の必要性＞
このような状況下において、いずれの試験法（短期試験、長期試験）においても、ガス状汚染化学物質を定常的に試験チェンバーへ放出することが必要になり、この種の試験法を具現化する装置システムには、試験チェンバーに連通接続される要素として、予め決められたガス状汚染化学物質を標準ガスとする標準ガス定常発生装置（標準ガス調製装置）が必要不可欠である。
このように、標準ガス調製装置のニーズは大変大きなものになってきており、試験用途に応じた標準ガスを簡単且つ精度良く調製することが要請されている。
【０００５】
従来における標準ガス調製装置としては、ボンベ詰めの所定の濃度の標準ガスを用意し、この標準ガスを一定の流量の希釈ガスで希釈する方式（ボンベ充填方式）のものや、市販のパーミエーションチューブやディフュージョンチューブを使用したパーミエーター（登録商標）を用いる方式（パーミエーター方式）がある（例えば特許文献１，非特許文献１）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３５６３５号公報（従来の技術参照）
【非特許文献１】校正用ガス調製装置（株式会社ガステック製のパーミエーター）［平成１１年１１月２５日検索］、インターネット＜http://www.gastec.co.jp/seihin/permeater/pd230_top.htm＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、標準ガス調製装置のうち、前者の態様（ボンベ充填方式）にあっては、流量計や減圧弁等を備えた高価な希釈装置が必要になり、大量の希釈量の希釈ガスを用いる場合には、装置が大型化して高コスト化するという問題があり、多段階希釈の場合には、工程が複雑化するとともに、最終的に得られた標準ガスの濃度の信頼性が低下し易い。
また、ユーザーの要望する標準ガスが複数種にわたる場合には、共通ボンベ内に複数種の標準ガスを予め所定濃度で充填することが必要になる。このとき、共通ボンベ内に各種標準ガスを充填するに当たり、予め所定濃度の標準ガスを夫々作成して夫々の個別ボンベに保管しておき、保管された個別ボンベ内の各標準ガスを共通ボンベに充填することが必要であるため、複数種の標準ガスが充填された共通ボンベを製造する工程が複雑になり、その分、製造設備、製造コストが嵩んでしまい、製造された共通ボンベ自体が極めて高価にならざるを得ないという事態を生ずる。
【０００８】
これに対し、後者の態様（パーミエーター方式）は、パーミエーションチューブ、ディフュージョンチューブに対象ガスの液状物質を挿入し、パーミエーションチューブ、ディフュージョンチューブを恒温に保持すると、パーミエーションチューブ内の液化ガスの浸透拡散する量が、また、ディフュージョンチューブ内の液の蒸発拡散する量が一定になることから、両チューブともこれを恒温に保ち、そこに空気・窒素などの希釈ガスを定流量送れば、微量濃度の標準ガスを連続的に生成するものである。
【０００９】
しかしながら、このパーミエーター方式にあっては以下のような技術的課題がある。
（１）所定のチューブ内に対象ガスの液状物質を挿入しなければならず、しかも、チューブを恒温（例えば４０℃）に保持することが必要になるため、標準ガスを安定的に大量に生成することが困難である。
（２）標準ガスの生成効率が低い分、標準ガスの生成コストが嵩む虞れがある。
（３）チューブ内の温度が安定するまで、液化ガスの浸透拡散量や液の蒸発拡散量を一定にできないため、標準ガスの生成に要する時間が嵩む虞れがある。
（４）パーミエーターの設置環境条件（気温、気圧）の変化が標準ガスの生成速度に影響を与えやすく、標準ガスを所定濃度に維持することが困難である。
【００１０】
（５）例えば薬液が混合物の場合に標準ガス調製装置として使用することが困難であり、ユーザーの要望する標準ガスを生成できない場合が起こり得る。
一例としては、比重の異なる二物質（Ａ，Ｂ）の混合薬液を用いた場合が挙げられる。
ここで、物質Ａよりも物質Ｂの比重が小さい場合を想定すると、チューブ内では上方にＢ物質が存在し、下方にＡ物質が沈降する分離現象が生ずるという傾向が見られる。このような状況下において、両物質Ａ，Ｂが完全混合された状態では、両物質が問題なく気化することになるが、時間の経過に伴い両物質Ａ，Ｂの分離現象が生ずると、先にＢ物質が発生し、後にＡ物質が発生するという事態が生じ、標準ガスの均一性が損なわれる懸念がある。
また、他の例としては、異なる沸点の混合薬液の場合が挙げられる。
ここで、物質Ａの沸点よりも物質Ｂの沸点が小さい場合を想定すると、先にＢ物質が発生し、後にＡ物質が発生するという事態を生じ、標準ガスの均一性が損なわれるという懸念がある。例えばホルムアルデヒドが同上のケースに当てはまる。すなわち、ホルムアルデヒドの発生には、市販されている３０数パーセントのホルムマリンと純水とから構成されているホルマリン溶液を用いることになり、上述した沸点の相違に基づく不具合が生ずる虞れがある。
【００１１】
本発明は、以上の技術的課題を解決するためになされたものであって、ユーザーの要望に応じた複数種のガスを任意に組合せることができ、複数種のガスが含まれる標準ガスを簡単且つ効率良く調製することができる標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
すなわち、本発明は、図１（ａ）に示すように、複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）有し、各試薬容器２からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段１と、この試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有し、この気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバー３と、この気化チェンバー３と連通し且つ気化チェンバー３にて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバー５と、この希釈チェンバー５に希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６と、希釈チェンバー５に連通接続され、気化チェンバー３内で気化された気化ガスと希釈チェンバー５内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段７とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
このような技術的手段において、本発明は、複数種のガス成分を含む標準ガスを調製する標準ガス調製装置を前提とする。
ここで、標準ガスとは用途に応じて予め決められたものであれば適宜選定して差し支えなく、例えば揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）を主として対象とするが、これ以外をも広く含むものである。
【００１４】
また、試薬分配手段１は、複数のガス成分を含む標準ガスを調製する上で、複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）を有する態様を前提とし、少なくとも各液状試薬を適量分配できる構造であることを要する。このとき、複数種の液状試薬の混在を防止するという観点からすれば、複数種の液状試薬の供給経路を別個独立に設けることが好ましいが、試薬分配手段１の構成を簡略化するという観点からすれば、複数種の液状試薬の供給経路を一部共用する構造が好ましい。但し、液状試薬の供給経路を一部共用する態様にあっては、複数種の液状試薬の混在を有効に回避するという観点からすれば、各液状試薬の供給動作が終了する毎に供給経路を清掃するという清掃機構を付加することが好ましい。
【００１５】
更に、気化チェンバー３は、試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有することが必要である。この気化受４は気化させる試薬を受け止めるものであればよく、代表的には気化皿が用いられる。
更にまた、希釈チェンバー５は気化チェンバー３と連通口３ａを介して連通していることが必要であり、気化チェンバー３で気化された気化ガスを希釈するために用いられる。
このように、気化チェンバー３と希釈チェンバー５とを別に設けることにより、気化ガスの生成と希釈処理とを効率的に行うことができる。従って、気化チェンバーと希釈チェンバーとを一つとする態様、例えば気化チェンバーとしての恒温槽に希釈ガスを導入する態様は除外される。
【００１６】
また、希釈チェンバー５には希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６が連通接続される。この希釈ガス供給手段６としては、専用の希釈ガスを用いてもよいが、通常のエアを清浄処理して使用するようにしても差し支えない。
更に、標準ガス排出手段７としては、生成された標準ガスを希釈チェンバー５内から完全に排出可能なものであれば適宜選定して差し支えない。
【００１７】
このような標準ガス調製装置において、気化チェンバー３の代表的態様としては、分配される各液状試薬の沸点以上に気化受４が加熱可能なヒータ４ａを備えている態様が好ましい。本態様においては、気化受４にヒータ４ａを具備する態様にて気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化することができる。また、各液状試薬の沸点はまちまちであるため、ヒータ４ａについては可変温度制御可能に構成することが好ましい。
更に、気化チェンバー３の好ましい態様としては、液状試薬が滴下される位置を含んだ状態で振動可能な気化受４を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、振動可能な気化受４を使用することで、液状試薬の気化を促進することができる。
【００１８】
また、希釈チェンバー５の代表的態様としては、気化チェンバー３を囲むように配設されている態様が挙げられる。ここで、希釈チェンバー５と気化チェンバー３とは連通していればよく、並列に配設して連通管を介して接続してもよいが、設置スペースや連通構造を簡略化するという観点からすれば、気化チェンバー３を囲むように希釈チェンバー５を配設する態様が好ましい。
更に、希釈チェンバー５の好ましい態様としては、気化ガスと希釈ガスとを強制的に撹拌混合する強制撹拌混合手段８を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内での希釈混合処理を均一且つ確実に行うことができる。
【００１９】
更にまた、希釈チェンバー５の好ましい態様としては、内部の雰囲気の湿度が調整可能な湿度調整器を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内で調製される標準ガスの湿度条件を調整することができる。
そしてまた、希釈チャンバー５の好ましい態様としては、内部の雰囲気が加熱可能な加熱手段を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内の雰囲気を適宜火加熱することにより、希釈チェンバー５内の標準ガスを確実に気化した状態に保って排出することができ、希釈チャンバー５内のセルフクリーニングを行うことも可能である。
また、標準ガスの濃度や流量を正確に調製する上で有効な態様としては、試薬分配手段１、希釈ガス供給手段６及び標準ガス排出手段７が夫々流量調製手段を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、分配液状試薬や希釈ガス、標準ガスの流量や濃度を精度良く調製することができる。
【００２０】
また、本発明は、標準ガス調製装置に限られるものではなく、これを用いた性能検査装置をも対象とする。
この場合、本発明は、図１（ｂ）に示すように、性能検査対象物１５が収容される検査チェンバー１２と、上述した標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを検査チェンバー１２に適量供給する標準ガス供給装置１１と、標準ガスが供給された検査チェンバー１２からの排出ガスを捕獲して測定する測定装置１３とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
このような技術的手段において、性能検査対象物１５には、例えばシックハウス防止の観点から期待される化学物質吸着系建材、同分解系建材のほか、空気清浄機、オゾン利用分解機器などが挙げられる。
また、標準ガス供給装置１１には、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを直接的に検査チェンバー１２に供給する態様は勿論、標準ガスをガスボンベに封入した後間接的に検査チェンバー１２に供給する態様も含む。
前者の態様にあっては、標準ガス供給装置１１は、標準ガス調製装置１０を含み、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを検査チェンバー１２に直接供給するものであればよく、一方、後者の態様にあっては、標準ガス供給装置１１は、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスが封入されたガスボンベを有し、このガスボンベ内の標準ガスを検査チェンバー１２に供給するものであればよい。
更に、測定装置１３には排出ガス成分の濃度、流量、温度、湿度などを測定するものが含まれる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る標準ガス調製装置によれば、気化チェンバー内に複数種の液状試薬を順次分配供給し、気化チェンバー内の気化受にて液状試薬を気化させた後、希釈チェンバー内に気化ガスを導いて希釈ガスにて希釈し、標準ガス排出手段を経て標準ガスとして排出するようにしたので、仮に薬液が混合物であったとしても気化受にて簡単に気化させることが可能になり、複数種のガス成分が含まれる標準ガスを簡単且つ精度良く調製することができる。
また、本発明に係る性能検査装置によれば、標準ガス調製装置にて複数種のガス成分が含まれる標準ガスを簡単且つ精度良く調製し、この標準ガスを性能検査に利用することができるため、性能検査を簡単且つ精度良く実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳細に説明する。
◎実施の形態１
図２は本発明が適用された標準ガス調製装置の実施の形態１を示す。
同図において、標準ガス調製装置２０は、例えば揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）からなる複数種のガス成分を含む標準ガスを調製するものであり、複数種の液状試薬を分配供給する分配供給器２１と、この分配供給器２１にて分配供給された液状試薬を気化させる気化チェンバー２２と、この気化チェンバー２２にて気化された気化ガスを希釈ガスにて希釈する希釈チェンバー２３と、この希釈チェンバー２３内にて生成された標準ガス（気化ガスと希釈ガスとの混合ガス）を排出する標準ガス排出器２４とを備えている。
【００２４】
ここで、標準ガスに含まれるガス成分としては用途に応じて適宜選定されるものであるが、例えば室内空気汚染物質測定用に用いられる標準ガスとしては、ホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）、ジクロロメタン（ＣＨ２Ｃｌ２）、アセトン（（ＣＨ３）２ＣＯ）、クロロホルム（ＣＨＣｌ３）、ｎ−ヘキサン（ｎ−Ｃ６Ｈ１４）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、１，１，１−トリクロロエタン（１，１，１−Ｃ２Ｈ３Ｃｌ３）、テトラクロロメタン（ＣＣｌ４）、酢酸エチル（ＣＨ３ＣＯＯＣ２Ｈ５）、メチルエチルケトン（ＣＨ３ＣＯＣ２Ｈ５）、２，４−ジメチルペンタン（２，４−（ＣＨ３）２Ｃ５Ｈ１０）、ベンゼン（Ｃ６Ｈ６）、１，２−ジクロロエタン（１，２−Ｃ２Ｈ４Ｃｌ２）、トリクロロエチレン（Ｃ２ＨＣｌ３）、１，２−ジクロロプロパン（１，２−Ｃ３Ｈ６Ｃｌ２）、ｎ−ヘプタン（ｎ−Ｃ７Ｈ１６）、１−ブタノール（２−（ＣＨ３）Ｃ３Ｈ６ＯＨ）、トルエン（Ｃ７Ｈ８）、メチルイソブチルケトン〔２−メチル−４−ペンタン〕（２ＣＨ３ＣＯ（１−Ｃ４Ｈ９））、ｎ−ブタノール（ｎ−Ｃ４Ｈ９ＯＨ）、クロロジブロモメタン（ＣＨＣｌＢｒ２）、テトラクロロエチレン（Ｃ２Ｃｌ４）、酢酸ブチル（ＣＨ３ＣＯＯＣ４Ｈ９）、ｎ−オクタン（ｎ−Ｃ８Ｈ１８）、エチルベンゼン（（Ｃ２Ｈ５）Ｃ６Ｈ５）、ｐ−キシレン（ｐ−Ｃ８Ｈ１０）、ｍ−キシレン（ｍ−Ｃ８Ｈ１０）、ｏ−キシレン（ｏ−Ｃ８Ｈ１０）、スチレン（（Ｃ２Ｈ３）Ｃ６Ｈ５）、ｎ−ノナン（ｎ−Ｃ９Ｈ２０）、α−ピネン（α−Ｃ９Ｈ２０）、１，３，５−トリメチルベンゼン〔メシチレン〕（１，３，５−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、１，２，４−トリメチルベンゼン〔プソイドクメン〕（１，２，４−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、ｐ−ジクロロベンゼン（ｐ−Ｃ６Ｈ４Ｃｌ２）、ｎ−デカン（ｎ−Ｃ１０Ｈ２２）、１，２，３−トリメチルベンゼン（１，２，３−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、（＋）リモネン（（＋）Ｃ１０Ｈ１６）、ｎ−ウンデカン（ｎ−Ｃ１１Ｈ２４）、ｎ−ドデカン（ｎ−Ｃ１２Ｈ２６）、窒素（Ｎ２）などを適宜混合したものが用いられる。
特に、本実施の形態では、標準ガス調製装置２０は、主として液状試薬を気化させて得られるガス成分を生成するものであるから、前記ガス成分のうち、液状試薬を気化させるものを生成対象とする。尚、もともと気体状のガス成分を混合する場合には、本実施の形態の標準ガス調製装置２０にて生成したガス成分と前記気体状のガス成分とを別途混合するようにすればよい。
【００２５】
本実施の形態において、分配供給器２１は、複数種の液状試薬が収容される複数の試薬容器３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ……）を有し、各試薬容器３１と気化チェンバー２２との間を供給配管３２にて連通接続したものである。
ここで、供給配管３２は、気化チェンバー２２につながる主供給配管３３とこの主供給配管３３から複数に分岐して各試薬容器３１につながる分岐供給配管３４（３４ａ，３４ｂ，３４ｃ……）とを備え、主供給配管３３と各分岐供給配管３４との接続部には切替バルブ３５を設け、この切替バルブ３５にて供給配管経路を切替選択可能にしたものである。
更に、主供給配管３３の一部には供給配管３２内の液状試薬を気化チェンバー２２に供給するための供給ポンプ３６が配設されており、一方、各分岐供給配管３４（３４ａ，３４ｂ，３４ｃ……）には夫々液状試薬の供給量を調整するためのマスフローコントローラ３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ……）が配設されている。
尚、本態様において、主供給配管３３には複数の液状試薬が通過することになるため、夫々の液状試薬が相互に混在しないように配慮することが好ましい。例えば供給ポンプ３６による供給圧をある程度高く設定して液状試薬の供給動作を安定させるようにしたり、必要に応じて、各液状試薬の供給動作が終了する毎に清掃機構により主供給配管３３を清掃することが挙げられる。ここで、清掃機構としてはエア吹き付け方式や加熱方式等適宜選定することが可能であるが、例えば加熱方式を採用する場合には、例えばＶＯＣは気化温度が５０〜２６０℃の物質であるから、主供給配管３３を３００℃程度で加熱すると、ＶＯＣとＳＶＯＣ（準揮発性有機化合物；Semi Volatile Organic Compounds）のほとんどを除去することができる。
【００２６】
また、本実施の形態において、気化チェンバー２２は例えば略ボックス状の空間部を有し、この気化チェンバー２２の上壁の略中央部に配管挿入口２２ａが開設されると共に、この配管挿入口２２ａを通じて主供給配管３３が挿入され、主供給配管３３の一端が気化チェンバー２２内に突出配置されるようになっている。
【００２７】
本実施の形態において、気化皿４０は、図３（ａ）に示すように、支持台４１上に受け皿４２を配設し、支持台４１には受け皿４２の直下に対応して例えば面状ヒータ４３を配設すると共に、受け皿４２の温度を検出するための温度センサ４４を設け、温度センサ４４からの温度情報に基づいて温度制御装置４５にてヒータ４３を加熱制御するようになっている。
ここで、受け皿４２としては熱伝導性の良い耐食性材料（例えばステンレス、ガラスを始めとする各種セラミックスなど）が用いられる。また、温度制御装置４５は、滴下される液状試薬の種類に応じてヒータ４３の目標温度を可変設定するものであり、ヒータ４３の目標温度としては、ヒータ４３にて加熱された受け皿４２の温度が滴下される液状試薬の気化温度以上になるように選定されている。
また、気化皿４０の構成については、例えば支持台４１を固定的に設けるなど適宜選定して差し支えないが、例えば図３（ｂ）に示すように、駆動機構４７にて例えば図中左右方向に高速往復動する可動テーブル４６を配設すると共に、この可動テーブル４６上に支持台４１を固定し、気化皿４０を振動可能に構成してもよい。本態様によれば、振動可能な気化皿４０を使用することで、液状試薬の気化を促進することができる。
【００２８】
更に、本実施の形態において、希釈チェンバー２３は略ボックス状の空間部を有し且つ気化チェンバー２２を囲むように配設されており、この希釈チェンバー２３の上壁の略中央部に配管挿入口２３ａが開設されると共に、この配管挿入口２３ａを通じて主供給配管３３が挿入されている。
そして、気化チェンバー２２の側壁のうち気化皿４０の配設箇所よりも上方に位置する一部には連通口４８が開設されており、気化チェンバー２２と希釈チェンバー２３とが連通接続されるようになっている。
【００２９】
更にまた、この希釈チェンバー２３の側壁の一部には希釈ガス供給器６０が連通接続されている。この希釈ガス供給器６０は例えば一端が空気中に開口する希釈ガス供給配管６１を有し、この希釈ガス供給配管６１の一部に清浄器６２を介在させると共に、希釈ガス供給用の供給ポンプ６３を配設し、更に、希釈ガス供給配管６１の一部には希釈ガスの流量調整用のマスフローコントローラ６４を配設したものである。尚、希釈ガス供給器６０として炭化水素ガスなどの専用ガスが充填された専用ボンベを用い、専用ボンベからの希釈ガスを直接供給する態様であってもよい。
また、希釈チェンバー２３内には希釈ガスと気化ガスとを強制的に撹拌混合する撹拌ファン７０が配設されている。尚、希釈チェンバー２３内の雰囲気汚れを抑えるという観点からすれば、撹拌ファン７０のうちファン本体のみを希釈チェンバー２３内に配置し、ファン本体の駆動部については希釈チェンバー２３の外部に配置するようにすることが好ましい。
【００３０】
更に、希釈チェンバー２３には加熱装置７１が付設されており、この加熱装置７１は希釈チャンバー２３内の雰囲気を加熱し、希釈チャンバー２３内の標準ガスが気化した状態に保つようになっている。
また、この希釈チェンバー２３には減圧配管７４が連通接続されると共にこの減圧配管７４には圧力調整器７５が付設されており、この圧力調整器７５は希釈チャンバー２３及び気化チャンバー２２内を減圧し、液状試薬の気化を促進させるようになっている。
【００３１】
更に、本実施の形態において、標準ガス排出器２４は、希釈チェンバー２３の側壁の一部に付設される排出配管８１を有し、この排出配管８１の一部に排出ポンプ８２を配設すると共に、排出されるガス成分の排出流量調整用のマスフローコントローラ８３を配設したものである。
【００３２】
次に、本実施の形態に係る標準ガス調製装置の作動について説明する。
図２において、分配供給器２１は、切替バルブ３５を順次切り替えることにより複数の試薬容器３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ……）のいずれかに連通する供給配管３２経路を選択し、供給ポンプ３６及び対応するマスフローコントローラ３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ……）にて対応する試薬容器３１から所定の液状試薬を所定量だけ分配吸引し、気化チェンバー２２へと供給する。
このとき、気化チェンバー２２内は圧力調整器７５にて減圧されて負圧状態であるから、主供給配管３３内の液状試薬は、供給ポンプ３６の供給圧に加えて気化チェンバー２２内の負圧に引っ張られて気化チェンバー２２へ供給される。
そして、気化チェンバー２２内では液状試薬は主供給配管３３の先端から滴下し、気化皿４０に受け止められる。すると、気化皿４０はヒータ４３には気化可能温度まで上昇していることから、気化皿４０に受け止められた液状試薬は瞬時に気化し、気化ガスＧ１が気化チェンバー２２内に充満すると共に、連通口４８を通じて希釈チェンバー２３内にも充満する。
【００３３】
一方、希釈チェンバー２３には希釈ガス供給器６０から所定量の希釈ガスＧ０が導入される。
この状態において、希釈チェンバー２３（本例では気化チェンバー２２を含む）内には気化ガスＧ１と希釈ガスＧ０とが混合した状態になるが、本実施の形態では、希釈チェンバー２３内の雰囲気は撹拌ファン７０にて強制的に撹拌混合されることから、希釈チェンバー２３内では所定量の気化ガスＧ１と所定量の希釈ガスＧ０との混合ガスが均一な状態で且つ所定濃度に調製される。
【００３４】
この後、標準ガス排出器２４は、排出ポンプ８２にて希釈チェンバー２３内の混合ガスＧｍを標準ガスの一ガス成分として図示外の標準ガス収集部に排出すると共に、マスフローコントローラ８３にて標準ガスの一ガス成分の排出流量を調整する。
尚、希釈チャンバー２３内の雰囲気は加熱装置７１にて所定温度に加熱されているため、希釈チャンバー２３内の混合ガスＧｍのうち気化ガスＧ１が液化する懸念はなく、混合ガスＧｍは気化した状態を保つ。このため、本実施の形態では、希釈チャンバー２３内に混合ガスＧｍが残存することはなく、希釈チャンバー２３はセルフクリーニングされることになる。
【００３５】
このようにして、上述した標準ガス調製装置２０から各液状試薬を気化した標準ガスの各ガス成分が生成されることになり、図示外の標準ガス収集部に収集される。
【００３６】
◎実施の形態２
図４は本発明が適用された標準ガス調製装置の実施の形態２を示す。
同図において、標準ガス調製装置２０の基本的構成は実施の形態１と略同様であるが、実施の形態１と異なり、希釈チャンバー２３には湿度調整器７９が付設されている。
本実施の形態において、希釈チャンバー２３は純水７７が貯蔵されたタンク７６と連通配管７８を介して連通接続されており、この連通配管７８の途中に湿度調整器７９が介装され、希釈チャンバー２３内の雰囲気の湿度を調整するようになっている。尚、実施の形態１と同様な構成要素については実施の形態１と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
【００３７】
本実施の形態によれば、実施の形態１と同様な作用を奏することに加えて、希釈チャンバー２３内の雰囲気の湿度を調整することが可能になり、標準ガスの各ガス成分の湿度条件を一定にしたり、湿度条件の異なる標準ガスを簡単に調製することができる。
【００３８】
◎実施の形態３
図５は標準ガス調製装置２０を用いた性能検査装置の一例（実施の形態３）を示す。
同図において、性能検査装置は、性能検査対象物９０が収容される検査チェンバー１００と、この検査チェンバー１００内に標準ガス調製装置２０にて調製された標準ガスを供給する標準ガス供給装置１１０と、検査チェンバー１００からの排出ガスを捕獲して測定する測定装置１２０とを備えたものである。尚、本例では、性能検査対象物９０として例えばシックハウス防止の観点から期待される空気清浄機を用いた態様が明示されているが、これに限られず、他の機器や化学物質吸着系若しくは分解系建材でもよい。
【００３９】
本実施の形態において、検査チェンバー１００は略ボックス状の空間部を有し、内壁の一部に一様拡散用の拡散ファン１０１を備えたものである。そして、この検査チェンバー１００には図示外の可動台が進退移動自在に設けられており、検査チェンバー１００の外部にて可動台上に性能検査対象物９０が載置され、検査チェンバー１００内に可動台が進出移動することにより、検査チェンバー１００内に性能検査対象物９０が収容されるようになっている。
【００４０】
また、標準ガス供給装置１１０は実施の形態１又は実施の形態２で用いられる標準ガス調製装置２０を含むものであり、標準ガス排出器２４の排出配管８１の排出端側を検査チェンバー１００に連通接続したものである。尚、検査チェンバー１００内の拡散ファン１０１は排出配管８１の開口端近傍に配設されている。
本例では、標準ガス供給装置１１０は、標準ガス調製装置２０にて生成されるガス成分を順次標準ガス収集部としての検査チェンバー１００内に直接供給するようになっているが、例えば標準ガス調製装置２０にて生成されたガス成分を一旦検査チェンバー１００とは別の図示外の標準ガス収集部に収集した後、検査チェンバー１００に供給するようにしてもよい。
【００４１】
更に、測定装置１２０は、検査チェンバー１００に測定配管１２１を連通接続し、この測定配管１２１にはサンプリング用のサンプラー１２２（例えば炭素系捕集管）を着脱自在に取り付けると共に定流量ポンプ１２３を配設し、更に、この測定配管１２１の一部にモニター用のガスメータ１２４を配設すると共に、測定配管１２１内の試料ガスの流量測定用の流量メータ１２５を配設したものである。
ここで、測定装置１２０による標準ガスの捕集分析方法としては、固体捕集−加熱脱着−ガスクロマトグラフ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）法や、光音響法が用いられる。
前者の方法は、例えば所定の捕集流量、採取時間を決め、サンプラー１２２にて試料ガス（検査チェンバー１００内の試料空気）の捕集を行って分析試料とし、捕集された分析試料を加熱導入装置を用いてＧＣ／ＭＳに導入し、定性・定量分析を行う。
一方、後者の方法は、ガスメータ１２４に試料ガスを導入し、検査チェンバー１００内の試料ガス濃度の経時変化をモニタリングする。
【００４２】
次に、本実施の形態に係る性能検査装置の作動について説明する。
先ず、検査チェンバー１００の内壁、拡散ファン１０１、性能検査対象物である空気清浄機９０等の清浄を行う。
次いで、検査チェンバー１００内に空気清浄機９０をセットした後、検査チェンバー１００内を数時間喚起し、検査チェンバー１００の外気のＶＯＣ濃度及び検査チェンバー１００内の温湿度を調整する。
この状態において、検査チェンバー１００内のＶＯＣ初期濃度を測定した後、拡散ファン１０１で拡散させつつ検査チェンバー１００内に標準ガスの各ガス成分を順次導入する。
この後、ガスメータ１２４にて試料ガスをモニタリングし、定常濃度に達したことを確認した後、検査チェンバー１００内濃度の安定化を図る。
しかる後、空気清浄機９０非運転期間の試料ガスのＶＯＣ濃度を測定し、更に、空気清浄機９０を所定の条件下で運転させ、空気清浄機９０運転期間の試料ガスのＶＯＣ濃度を測定する。
この試料ガスのＶＯＣ濃度の変化状態を見ることにより、空気清浄機９０の性能を評価することが可能である。
【００４３】
◎実施の形態４
図６は標準ガス調製装置２０を用いた性能検査装置の他の例（実施の形態４）を示す。
同図において、性能検査装置は、実施の形態２と略同様に、検査チェンバー１００、標準ガス供給装置１１０及び測定装置１２０を備えたものであるが、標準ガス供給装置１１０が実施の形態２と異なる態様になっている。
同図において、標準ガス供給装置１１０は、実施の形態１又は実施の形態２で用いられる標準ガス調製装置２０にて調製された標準ガスの各ガス成分が封入されたガスボンベ１３０を有し、このガスボンベ１３０と検査チェンバー１００との間を接続配管１３１にて接続し、この接続配管１３１中にマスフローコントローラ１３２を配設し、検査チェンバー１００内にガスボンベ１３０内から一定量のガス成分を供給するようにしたものである。尚、ガスボンベ１３０としては必ずしも単数である必要はなく、複数であってもよい。
従って、本実施の形態においても、検査チェンバー１００内に所定の標準ガスを充填することが可能になり、実施の形態３と略同様に、検査チェンバー１００に収容した性能検査対象物９０の性能を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は本発明に係る標準ガス調製装置の概要を示す説明図、（ｂ）は本発明に係る性能検査装置の概要を示す説明図である。
【図２】本発明に係る標準ガス調製装置の実施の形態１を示す説明図である。
【図３】（ａ）（ｂ）は実施の形態１で用いられる気化皿の代表的態様を示す説明図である。
【図４】本発明に係る標準ガス調製装置の実施の形態２を示す説明図である。
【図５】本発明に係る性能検査装置の実施の形態３を示す説明図である。
【図６】本発明に係る性能検査装置の実施の形態４を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…試薬分配手段，２（２ａ〜２ｎ）…試薬容器，３…気化チェンバー，３ａ…連通口，４…気化受，４ａ…ヒータ，５…希釈チェンバー，６…希釈ガス供給手段，７…標準ガス排出手段，８…強制撹拌混合手段，１０…標準ガス調製装置，１１…標準ガス供給装置，１２…検査チェンバー，１３…測定装置，１５…性能検査対象物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め決められた複数種のガスが含まれる標準ガスを調製する標準ガス調製装置に係り、特に、室内化学物質汚染低減策としての化学物質吸着系建材、同分解系建材や空気清浄機などの性能試験を行う上で有効な標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
＜シックハウス問題と改正建築基準法＞
近年、室内化学物質汚染により引き起こされる健康被害が相次ぎ、シックハウス問題が社会問題として表面化してきている。この種の社会問題を解決するために、２００３年７月に建築基準法が改正され、建築物内における化学物質汚染の低減策が示された。
＜汚染低減建材、機材と生活用品＞
この種の低減策に関しては、シックハウス防止の観点から、化学物質吸着系建材、化学物質分解系建材に対する期待が高まっている。このような背景から、各種建材の製品開発が盛んに行われており、製品の化学物質に対する除去・分解性能試験が求められている。
また、空気清浄機、オゾン分解利用機器に代表される製品（基材）の化学物質除去・分解機能に対する期待が高まっており、これについても性能試験が求められる。
更に、生活用品の中でも、例えば炭製品に代表される日用汚染対策品の化学物質除去・分解機能に対する期待も高く、同様の性能試験が求められている。
【０００３】
＜化学物質の除去・分解性能の確認＞
汚染低減建材・機材と生活用品の化学物質除去・分解性能に関わる試験法が既に提示されている。例えば汚染低減建材・機材については、（財）ベターリング等の認定機関から性能試験法が提示されている。また、空気清浄機については、（社）日本電気工業会（ＪＥＭＡ）にて、同問題に対する性能試験法が提示されている。尚、同試験法よりも更に厳格な試験法案が（社）日本建築学会、関連４省庁と大学・研究機関等からなる室内空気対策研究会から既に提示されており、ＪＩＳ制定を目的とした準備委員会が検討を行っている。
提示されている性能試験は、１日から数日にわたって行う短期試験と数週間から数ヶ月に及ぶ長期試験に分類される。特に、長期試験にあっては、長期にわたる効果の確認が必要とされており、これにより、製品の化学物質除去・分解効果の持続性が判明する点で有効である。
【０００４】
＜標準ガス調製装置の必要性＞
このような状況下において、いずれの試験法（短期試験、長期試験）においても、ガス状汚染化学物質を定常的に試験チェンバーへ放出することが必要になり、この種の試験法を具現化する装置システムには、試験チェンバーに連通接続される要素として、予め決められたガス状汚染化学物質を標準ガスとする標準ガス定常発生装置（標準ガス調製装置）が必要不可欠である。
このように、標準ガス調製装置のニーズは大変大きなものになってきており、試験用途に応じた標準ガスを簡単且つ精度良く調製することが要請されている。
【０００５】
従来における標準ガス調製装置としては、ボンベ詰めの所定の濃度の標準ガスを用意し、この標準ガスを一定の流量の希釈ガスで希釈する方式（ボンベ充填方式）のものや、市販のパーミエーションチューブやディフュージョンチューブを使用したパーミエーター（登録商標）を用いる方式（パーミエーター方式）がある（例えば特許文献１，非特許文献１）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３５６３５号公報（従来の技術参照）
【非特許文献１】校正用ガス調製装置（株式会社ガステック製のパーミエーター）［平成１１年１１月２５日検索］、インターネット＜http://www.gastec.co.jp/seihin/permeater/pd230_top.htm＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、標準ガス調製装置のうち、前者の態様（ボンベ充填方式）にあっては、流量計や減圧弁等を備えた高価な希釈装置が必要になり、大量の希釈量の希釈ガスを用いる場合には、装置が大型化して高コスト化するという問題があり、多段階希釈の場合には、工程が複雑化するとともに、最終的に得られた標準ガスの濃度の信頼性が低下し易い。
また、ユーザーの要望する標準ガスが複数種にわたる場合には、共通ボンベ内に複数種の標準ガスを予め所定濃度で充填することが必要になる。このとき、共通ボンベ内に各種標準ガスを充填するに当たり、予め所定濃度の標準ガスを夫々作成して夫々の個別ボンベに保管しておき、保管された個別ボンベ内の各標準ガスを共通ボンベに充填することが必要であるため、複数種の標準ガスが充填された共通ボンベを製造する工程が複雑になり、その分、製造設備、製造コストが嵩んでしまい、製造された共通ボンベ自体が極めて高価にならざるを得ないという事態を生ずる。
【０００８】
これに対し、後者の態様（パーミエーター方式）は、パーミエーションチューブ、ディフュージョンチューブに対象ガスの液状物質を挿入し、パーミエーションチューブ、ディフュージョンチューブを恒温に保持すると、パーミエーションチューブ内の液化ガスの浸透拡散する量が、また、ディフュージョンチューブ内の液の蒸発拡散する量が一定になることから、両チューブともこれを恒温に保ち、そこに空気・窒素などの希釈ガスを定流量送れば、微量濃度の標準ガスを連続的に生成するものである。
【０００９】
しかしながら、このパーミエーター方式にあっては以下のような技術的課題がある。
（１）所定のチューブ内に対象ガスの液状物質を挿入しなければならず、しかも、チューブを恒温（例えば４０℃）に保持することが必要になるため、標準ガスを安定的に大量に生成することが困難である。
（２）標準ガスの生成効率が低い分、標準ガスの生成コストが嵩む虞れがある。
（３）チューブ内の温度が安定するまで、液化ガスの浸透拡散量や液の蒸発拡散量を一定にできないため、標準ガスの生成に要する時間が嵩む虞れがある。
（４）パーミエーターの設置環境条件（気温、気圧）の変化が標準ガスの生成速度に影響を与えやすく、標準ガスを所定濃度に維持することが困難である。
【００１０】
（５）例えば薬液が混合物の場合に標準ガス調製装置として使用することが困難であり、ユーザーの要望する標準ガスを生成できない場合が起こり得る。
一例としては、比重の異なる二物質（Ａ，Ｂ）の混合薬液を用いた場合が挙げられる。
ここで、物質Ａよりも物質Ｂの比重が小さい場合を想定すると、チューブ内では上方にＢ物質が存在し、下方にＡ物質が沈降する分離現象が生ずるという傾向が見られる。このような状況下において、両物質Ａ，Ｂが完全混合された状態では、両物質が問題なく気化することになるが、時間の経過に伴い両物質Ａ，Ｂの分離現象が生ずると、先にＢ物質が発生し、後にＡ物質が発生するという事態が生じ、標準ガスの均一性が損なわれる懸念がある。
また、他の例としては、異なる沸点の混合薬液の場合が挙げられる。
ここで、物質Ａの沸点よりも物質Ｂの沸点が小さい場合を想定すると、先にＢ物質が発生し、後にＡ物質が発生するという事態を生じ、標準ガスの均一性が損なわれるという懸念がある。例えばホルムアルデヒドが同上のケースに当てはまる。すなわち、ホルムアルデヒドの発生には、市販されている３０数パーセントのホルムマリンと純水とから構成されているホルマリン溶液を用いることになり、上述した沸点の相違に基づく不具合が生ずる虞れがある。
【００１１】
本発明は、以上の技術的課題を解決するためになされたものであって、ユーザーの要望に応じた複数種のガスを任意に組合せることができ、複数種のガスが含まれる標準ガスを簡単且つ効率良く調製することができる標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
すなわち、本発明は、図１（ａ）に示すように、複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）有し、各試薬容器２からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段１と、この試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有し、この気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバー３と、この気化チェンバー３と連通し且つ気化チェンバー３にて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバー５と、この希釈チェンバー５に希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６と、希釈チェンバー５に連通接続され、気化チェンバー３内で気化された気化ガスと希釈チェンバー５内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段７とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
このような技術的手段において、本発明は、複数種のガス成分を含む標準ガスを調製する標準ガス調製装置を前提とする。
ここで、標準ガスとは用途に応じて予め決められたものであれば適宜選定して差し支えなく、例えば揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）を主として対象とするが、これ以外をも広く含むものである。
【００１４】
また、試薬分配手段１は、複数のガス成分を含む標準ガスを調製する上で、複数の液状試薬が収容可能な試薬容器２（例えば２ａ〜２ｎ）を有する態様を前提とし、少なくとも各液状試薬を適量分配できる構造であることを要する。このとき、複数種の液状試薬の混在を防止するという観点からすれば、複数種の液状試薬の供給経路を別個独立に設けることが好ましいが、試薬分配手段１の構成を簡略化するという観点からすれば、複数種の液状試薬の供給経路を一部共用する構造が好ましい。但し、液状試薬の供給経路を一部共用する態様にあっては、複数種の液状試薬の混在を有効に回避するという観点からすれば、各液状試薬の供給動作が終了する毎に供給経路を清掃するという清掃機構を付加することが好ましい。
【００１５】
更に、気化チェンバー３は、試薬分配手段１から分配された液状試薬が滴下される気化受４を有することが必要である。この気化受４は気化させる試薬を受け止めるものであればよく、代表的には気化皿が用いられる。
更にまた、希釈チェンバー５は気化チェンバー３と連通口３ａを介して連通していることが必要であり、気化チェンバー３で気化された気化ガスを希釈するために用いられる。
このように、気化チェンバー３と希釈チェンバー５とを別に設けることにより、気化ガスの生成と希釈処理とを効率的に行うことができる。従って、気化チェンバーと希釈チェンバーとを一つとする態様、例えば気化チェンバーとしての恒温槽に希釈ガスを導入する態様は除外される。
【００１６】
また、希釈チェンバー５には希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段６が連通接続される。この希釈ガス供給手段６としては、専用の希釈ガスを用いてもよいが、通常のエアを清浄処理して使用するようにしても差し支えない。
更に、標準ガス排出手段７としては、生成された標準ガスを希釈チェンバー５内から完全に排出可能なものであれば適宜選定して差し支えない。
【００１７】
このような標準ガス調製装置において、気化チェンバー３の代表的態様としては、分配される各液状試薬の沸点以上に気化受４が加熱可能なヒータ４ａを備えている態様が好ましい。本態様においては、気化受４にヒータ４ａを具備する態様にて気化受４に滴下された液状試薬を完全に気化することができる。また、各液状試薬の沸点はまちまちであるため、ヒータ４ａについては可変温度制御可能に構成することが好ましい。
更に、気化チェンバー３の好ましい態様としては、液状試薬が滴下される位置を含んだ状態で振動可能な気化受４を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、振動可能な気化受４を使用することで、液状試薬の気化を促進することができる。
【００１８】
また、希釈チェンバー５の代表的態様としては、気化チェンバー３を囲むように配設されている態様が挙げられる。ここで、希釈チェンバー５と気化チェンバー３とは連通していればよく、並列に配設して連通管を介して接続してもよいが、設置スペースや連通構造を簡略化するという観点からすれば、気化チェンバー３を囲むように希釈チェンバー５を配設する態様が好ましい。
更に、希釈チェンバー５の好ましい態様としては、気化ガスと希釈ガスとを強制的に撹拌混合する強制撹拌混合手段８を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内での希釈混合処理を均一且つ確実に行うことができる。
【００１９】
更にまた、希釈チェンバー５の好ましい態様としては、内部の雰囲気の湿度が調整可能な湿度調整器を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内で調製される標準ガスの湿度条件を調整することができる。
そしてまた、希釈チャンバー５の好ましい態様としては、内部の雰囲気が加熱可能な加熱手段を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、希釈チェンバー５内の雰囲気を適宜火加熱することにより、希釈チェンバー５内の標準ガスを確実に気化した状態に保って排出することができ、希釈チャンバー５内のセルフクリーニングを行うことも可能である。
また、標準ガスの濃度や流量を正確に調製する上で有効な態様としては、試薬分配手段１、希釈ガス供給手段６及び標準ガス排出手段７が夫々流量調製手段を備えている態様が挙げられる。本態様によれば、分配液状試薬や希釈ガス、標準ガスの流量や濃度を精度良く調製することができる。
【００２０】
また、本発明は、標準ガス調製装置に限られるものではなく、これを用いた性能検査装置をも対象とする。
この場合、本発明は、図１（ｂ）に示すように、性能検査対象物１５が収容される検査チェンバー１２と、上述した標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを検査チェンバー１２に適量供給する標準ガス供給装置１１と、標準ガスが供給された検査チェンバー１２からの排出ガスを捕獲して測定する測定装置１３とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
このような技術的手段において、性能検査対象物１５には、例えばシックハウス防止の観点から期待される化学物質吸着系建材、同分解系建材のほか、空気清浄機、オゾン利用分解機器などが挙げられる。
また、標準ガス供給装置１１には、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを直接的に検査チェンバー１２に供給する態様は勿論、標準ガスをガスボンベに封入した後間接的に検査チェンバー１２に供給する態様も含む。
前者の態様にあっては、標準ガス供給装置１１は、標準ガス調製装置１０を含み、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスを検査チェンバー１２に直接供給するものであればよく、一方、後者の態様にあっては、標準ガス供給装置１１は、標準ガス調製装置１０にて調製された標準ガスが封入されたガスボンベを有し、このガスボンベ内の標準ガスを検査チェンバー１２に供給するものであればよい。
更に、測定装置１３には排出ガス成分の濃度、流量、温度、湿度などを測定するものが含まれる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る標準ガス調製装置によれば、気化チェンバー内に複数種の液状試薬を順次分配供給し、気化チェンバー内の気化受にて液状試薬を気化させた後、希釈チェンバー内に気化ガスを導いて希釈ガスにて希釈し、標準ガス排出手段を経て標準ガスとして排出するようにしたので、仮に薬液が混合物であったとしても気化受にて簡単に気化させることが可能になり、複数種のガス成分が含まれる標準ガスを簡単且つ精度良く調製することができる。
また、本発明に係る性能検査装置によれば、標準ガス調製装置にて複数種のガス成分が含まれる標準ガスを簡単且つ精度良く調製し、この標準ガスを性能検査に利用することができるため、性能検査を簡単且つ精度良く実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳細に説明する。
◎実施の形態１
図２は本発明が適用された標準ガス調製装置の実施の形態１を示す。
同図において、標準ガス調製装置２０は、例えば揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）からなる複数種のガス成分を含む標準ガスを調製するものであり、複数種の液状試薬を分配供給する分配供給器２１と、この分配供給器２１にて分配供給された液状試薬を気化させる気化チェンバー２２と、この気化チェンバー２２にて気化された気化ガスを希釈ガスにて希釈する希釈チェンバー２３と、この希釈チェンバー２３内にて生成された標準ガス（気化ガスと希釈ガスとの混合ガス）を排出する標準ガス排出器２４とを備えている。
【００２４】
ここで、標準ガスに含まれるガス成分としては用途に応じて適宜選定されるものであるが、例えば室内空気汚染物質測定用に用いられる標準ガスとしては、ホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）、ジクロロメタン（ＣＨ２Ｃｌ２）、アセトン（（ＣＨ３）２ＣＯ）、クロロホルム（ＣＨＣｌ３）、ｎ−ヘキサン（ｎ−Ｃ６Ｈ１４）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、１，１，１−トリクロロエタン（１，１，１−Ｃ２Ｈ３Ｃｌ３）、テトラクロロメタン（ＣＣｌ４）、酢酸エチル（ＣＨ３ＣＯＯＣ２Ｈ５）、メチルエチルケトン（ＣＨ３ＣＯＣ２Ｈ５）、２，４−ジメチルペンタン（２，４−（ＣＨ３）２Ｃ５Ｈ１０）、ベンゼン（Ｃ６Ｈ６）、１，２−ジクロロエタン（１，２−Ｃ２Ｈ４Ｃｌ２）、トリクロロエチレン（Ｃ２ＨＣｌ３）、１，２−ジクロロプロパン（１，２−Ｃ３Ｈ６Ｃｌ２）、ｎ−ヘプタン（ｎ−Ｃ７Ｈ１６）、１−ブタノール（２−（ＣＨ３）Ｃ３Ｈ６ＯＨ）、トルエン（Ｃ７Ｈ８）、メチルイソブチルケトン〔２−メチル−４−ペンタン〕（２ＣＨ３ＣＯ（１−Ｃ４Ｈ９））、ｎ−ブタノール（ｎ−Ｃ４Ｈ９ＯＨ）、クロロジブロモメタン（ＣＨＣｌＢｒ２）、テトラクロロエチレン（Ｃ２Ｃｌ４）、酢酸ブチル（ＣＨ３ＣＯＯＣ４Ｈ９）、ｎ−オクタン（ｎ−Ｃ８Ｈ１８）、エチルベンゼン（（Ｃ２Ｈ５）Ｃ６Ｈ５）、ｐ−キシレン（ｐ−Ｃ８Ｈ１０）、ｍ−キシレン（ｍ−Ｃ８Ｈ１０）、ｏ−キシレン（ｏ−Ｃ８Ｈ１０）、スチレン（（Ｃ２Ｈ３）Ｃ６Ｈ５）、ｎ−ノナン（ｎ−Ｃ９Ｈ２０）、α−ピネン（α−Ｃ９Ｈ２０）、１，３，５−トリメチルベンゼン〔メシチレン〕（１，３，５−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、１，２，４−トリメチルベンゼン〔プソイドクメン〕（１，２，４−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、ｐ−ジクロロベンゼン（ｐ−Ｃ６Ｈ４Ｃｌ２）、ｎ−デカン（ｎ−Ｃ１０Ｈ２２）、１，２，３−トリメチルベンゼン（１，２，３−（ＣＨ３）３Ｃ６Ｈ３）、（＋）リモネン（（＋）Ｃ１０Ｈ１６）、ｎ−ウンデカン（ｎ−Ｃ１１Ｈ２４）、ｎ−ドデカン（ｎ−Ｃ１２Ｈ２６）、窒素（Ｎ２）などを適宜混合したものが用いられる。
特に、本実施の形態では、標準ガス調製装置２０は、主として液状試薬を気化させて得られるガス成分を生成するものであるから、前記ガス成分のうち、液状試薬を気化させるものを生成対象とする。尚、もともと気体状のガス成分を混合する場合には、本実施の形態の標準ガス調製装置２０にて生成したガス成分と前記気体状のガス成分とを別途混合するようにすればよい。
【００２５】
本実施の形態において、分配供給器２１は、複数種の液状試薬が収容される複数の試薬容器３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ……）を有し、各試薬容器３１と気化チェンバー２２との間を供給配管３２にて連通接続したものである。
ここで、供給配管３２は、気化チェンバー２２につながる主供給配管３３とこの主供給配管３３から複数に分岐して各試薬容器３１につながる分岐供給配管３４（３４ａ，３４ｂ，３４ｃ……）とを備え、主供給配管３３と各分岐供給配管３４との接続部には切替バルブ３５を設け、この切替バルブ３５にて供給配管経路を切替選択可能にしたものである。
更に、主供給配管３３の一部には供給配管３２内の液状試薬を気化チェンバー２２に供給するための供給ポンプ３６が配設されており、一方、各分岐供給配管３４（３４ａ，３４ｂ，３４ｃ……）には夫々液状試薬の供給量を調整するためのマスフローコントローラ３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ……）が配設されている。
尚、本態様において、主供給配管３３には複数の液状試薬が通過することになるため、夫々の液状試薬が相互に混在しないように配慮することが好ましい。例えば供給ポンプ３６による供給圧をある程度高く設定して液状試薬の供給動作を安定させるようにしたり、必要に応じて、各液状試薬の供給動作が終了する毎に清掃機構により主供給配管３３を清掃することが挙げられる。ここで、清掃機構としてはエア吹き付け方式や加熱方式等適宜選定することが可能であるが、例えば加熱方式を採用する場合には、例えばＶＯＣは気化温度が５０〜２６０℃の物質であるから、主供給配管３３を３００℃程度で加熱すると、ＶＯＣとＳＶＯＣ（準揮発性有機化合物；Semi Volatile Organic Compounds）のほとんどを除去することができる。
【００２６】
また、本実施の形態において、気化チェンバー２２は例えば略ボックス状の空間部を有し、この気化チェンバー２２の上壁の略中央部に配管挿入口２２ａが開設されると共に、この配管挿入口２２ａを通じて主供給配管３３が挿入され、主供給配管３３の一端が気化チェンバー２２内に突出配置されるようになっている。
【００２７】
本実施の形態において、気化皿４０は、図３（ａ）に示すように、支持台４１上に受け皿４２を配設し、支持台４１には受け皿４２の直下に対応して例えば面状ヒータ４３を配設すると共に、受け皿４２の温度を検出するための温度センサ４４を設け、温度センサ４４からの温度情報に基づいて温度制御装置４５にてヒータ４３を加熱制御するようになっている。
ここで、受け皿４２としては熱伝導性の良い耐食性材料（例えばステンレス、ガラスを始めとする各種セラミックスなど）が用いられる。また、温度制御装置４５は、滴下される液状試薬の種類に応じてヒータ４３の目標温度を可変設定するものであり、ヒータ４３の目標温度としては、ヒータ４３にて加熱された受け皿４２の温度が滴下される液状試薬の気化温度以上になるように選定されている。
また、気化皿４０の構成については、例えば支持台４１を固定的に設けるなど適宜選定して差し支えないが、例えば図３（ｂ）に示すように、駆動機構４７にて例えば図中左右方向に高速往復動する可動テーブル４６を配設すると共に、この可動テーブル４６上に支持台４１を固定し、気化皿４０を振動可能に構成してもよい。本態様によれば、振動可能な気化皿４０を使用することで、液状試薬の気化を促進することができる。
【００２８】
更に、本実施の形態において、希釈チェンバー２３は略ボックス状の空間部を有し且つ気化チェンバー２２を囲むように配設されており、この希釈チェンバー２３の上壁の略中央部に配管挿入口２３ａが開設されると共に、この配管挿入口２３ａを通じて主供給配管３３が挿入されている。
そして、気化チェンバー２２の側壁のうち気化皿４０の配設箇所よりも上方に位置する一部には連通口４８が開設されており、気化チェンバー２２と希釈チェンバー２３とが連通接続されるようになっている。
【００２９】
更にまた、この希釈チェンバー２３の側壁の一部には希釈ガス供給器６０が連通接続されている。この希釈ガス供給器６０は例えば一端が空気中に開口する希釈ガス供給配管６１を有し、この希釈ガス供給配管６１の一部に清浄器６２を介在させると共に、希釈ガス供給用の供給ポンプ６３を配設し、更に、希釈ガス供給配管６１の一部には希釈ガスの流量調整用のマスフローコントローラ６４を配設したものである。尚、希釈ガス供給器６０として炭化水素ガスなどの専用ガスが充填された専用ボンベを用い、専用ボンベからの希釈ガスを直接供給する態様であってもよい。
また、希釈チェンバー２３内には希釈ガスと気化ガスとを強制的に撹拌混合する撹拌ファン７０が配設されている。尚、希釈チェンバー２３内の雰囲気汚れを抑えるという観点からすれば、撹拌ファン７０のうちファン本体のみを希釈チェンバー２３内に配置し、ファン本体の駆動部については希釈チェンバー２３の外部に配置するようにすることが好ましい。
【００３０】
更に、希釈チェンバー２３には加熱装置７１が付設されており、この加熱装置７１は希釈チャンバー２３内の雰囲気を加熱し、希釈チャンバー２３内の標準ガスが気化した状態に保つようになっている。
また、この希釈チェンバー２３には減圧配管７４が連通接続されると共にこの減圧配管７４には圧力調整器７５が付設されており、この圧力調整器７５は希釈チャンバー２３及び気化チャンバー２２内を減圧し、液状試薬の気化を促進させるようになっている。
【００３１】
更に、本実施の形態において、標準ガス排出器２４は、希釈チェンバー２３の側壁の一部に付設される排出配管８１を有し、この排出配管８１の一部に排出ポンプ８２を配設すると共に、排出されるガス成分の排出流量調整用のマスフローコントローラ８３を配設したものである。
【００３２】
次に、本実施の形態に係る標準ガス調製装置の作動について説明する。
図２において、分配供給器２１は、切替バルブ３５を順次切り替えることにより複数の試薬容器３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ……）のいずれかに連通する供給配管３２経路を選択し、供給ポンプ３６及び対応するマスフローコントローラ３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ……）にて対応する試薬容器３１から所定の液状試薬を所定量だけ分配吸引し、気化チェンバー２２へと供給する。
このとき、気化チェンバー２２内は圧力調整器７５にて減圧されて負圧状態であるから、主供給配管３３内の液状試薬は、供給ポンプ３６の供給圧に加えて気化チェンバー２２内の負圧に引っ張られて気化チェンバー２２へ供給される。
そして、気化チェンバー２２内では液状試薬は主供給配管３３の先端から滴下し、気化皿４０に受け止められる。すると、気化皿４０はヒータ４３には気化可能温度まで上昇していることから、気化皿４０に受け止められた液状試薬は瞬時に気化し、気化ガスＧ１が気化チェンバー２２内に充満すると共に、連通口４８を通じて希釈チェンバー２３内にも充満する。
【００３３】
一方、希釈チェンバー２３には希釈ガス供給器６０から所定量の希釈ガスＧ０が導入される。
この状態において、希釈チェンバー２３（本例では気化チェンバー２２を含む）内には気化ガスＧ１と希釈ガスＧ０とが混合した状態になるが、本実施の形態では、希釈チェンバー２３内の雰囲気は撹拌ファン７０にて強制的に撹拌混合されることから、希釈チェンバー２３内では所定量の気化ガスＧ１と所定量の希釈ガスＧ０との混合ガスが均一な状態で且つ所定濃度に調製される。
【００３４】
この後、標準ガス排出器２４は、排出ポンプ８２にて希釈チェンバー２３内の混合ガスＧｍを標準ガスの一ガス成分として図示外の標準ガス収集部に排出すると共に、マスフローコントローラ８３にて標準ガスの一ガス成分の排出流量を調整する。
尚、希釈チャンバー２３内の雰囲気は加熱装置７１にて所定温度に加熱されているため、希釈チャンバー２３内の混合ガスＧｍのうち気化ガスＧ１が液化する懸念はなく、混合ガスＧｍは気化した状態を保つ。このため、本実施の形態では、希釈チャンバー２３内に混合ガスＧｍが残存することはなく、希釈チャンバー２３はセルフクリーニングされることになる。
【００３５】
このようにして、上述した標準ガス調製装置２０から各液状試薬を気化した標準ガスの各ガス成分が生成されることになり、図示外の標準ガス収集部に収集される。
【００３６】
◎実施の形態２
図４は本発明が適用された標準ガス調製装置の実施の形態２を示す。
同図において、標準ガス調製装置２０の基本的構成は実施の形態１と略同様であるが、実施の形態１と異なり、希釈チャンバー２３には湿度調整器７９が付設されている。
本実施の形態において、希釈チャンバー２３は純水７７が貯蔵されたタンク７６と連通配管７８を介して連通接続されており、この連通配管７８の途中に湿度調整器７９が介装され、希釈チャンバー２３内の雰囲気の湿度を調整するようになっている。尚、実施の形態１と同様な構成要素については実施の形態１と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
【００３７】
本実施の形態によれば、実施の形態１と同様な作用を奏することに加えて、希釈チャンバー２３内の雰囲気の湿度を調整することが可能になり、標準ガスの各ガス成分の湿度条件を一定にしたり、湿度条件の異なる標準ガスを簡単に調製することができる。
【００３８】
◎実施の形態３
図５は標準ガス調製装置２０を用いた性能検査装置の一例（実施の形態３）を示す。
同図において、性能検査装置は、性能検査対象物９０が収容される検査チェンバー１００と、この検査チェンバー１００内に標準ガス調製装置２０にて調製された標準ガスを供給する標準ガス供給装置１１０と、検査チェンバー１００からの排出ガスを捕獲して測定する測定装置１２０とを備えたものである。尚、本例では、性能検査対象物９０として例えばシックハウス防止の観点から期待される空気清浄機を用いた態様が明示されているが、これに限られず、他の機器や化学物質吸着系若しくは分解系建材でもよい。
【００３９】
本実施の形態において、検査チェンバー１００は略ボックス状の空間部を有し、内壁の一部に一様拡散用の拡散ファン１０１を備えたものである。そして、この検査チェンバー１００には図示外の可動台が進退移動自在に設けられており、検査チェンバー１００の外部にて可動台上に性能検査対象物９０が載置され、検査チェンバー１００内に可動台が進出移動することにより、検査チェンバー１００内に性能検査対象物９０が収容されるようになっている。
【００４０】
また、標準ガス供給装置１１０は実施の形態１又は実施の形態２で用いられる標準ガス調製装置２０を含むものであり、標準ガス排出器２４の排出配管８１の排出端側を検査チェンバー１００に連通接続したものである。尚、検査チェンバー１００内の拡散ファン１０１は排出配管８１の開口端近傍に配設されている。
本例では、標準ガス供給装置１１０は、標準ガス調製装置２０にて生成されるガス成分を順次標準ガス収集部としての検査チェンバー１００内に直接供給するようになっているが、例えば標準ガス調製装置２０にて生成されたガス成分を一旦検査チェンバー１００とは別の図示外の標準ガス収集部に収集した後、検査チェンバー１００に供給するようにしてもよい。
【００４１】
更に、測定装置１２０は、検査チェンバー１００に測定配管１２１を連通接続し、この測定配管１２１にはサンプリング用のサンプラー１２２（例えば炭素系捕集管）を着脱自在に取り付けると共に定流量ポンプ１２３を配設し、更に、この測定配管１２１の一部にモニター用のガスメータ１２４を配設すると共に、測定配管１２１内の試料ガスの流量測定用の流量メータ１２５を配設したものである。
ここで、測定装置１２０による標準ガスの捕集分析方法としては、固体捕集−加熱脱着−ガスクロマトグラフ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）法や、光音響法が用いられる。
前者の方法は、例えば所定の捕集流量、採取時間を決め、サンプラー１２２にて試料ガス（検査チェンバー１００内の試料空気）の捕集を行って分析試料とし、捕集された分析試料を加熱導入装置を用いてＧＣ／ＭＳに導入し、定性・定量分析を行う。
一方、後者の方法は、ガスメータ１２４に試料ガスを導入し、検査チェンバー１００内の試料ガス濃度の経時変化をモニタリングする。
【００４２】
次に、本実施の形態に係る性能検査装置の作動について説明する。
先ず、検査チェンバー１００の内壁、拡散ファン１０１、性能検査対象物である空気清浄機９０等の清浄を行う。
次いで、検査チェンバー１００内に空気清浄機９０をセットした後、検査チェンバー１００内を数時間喚起し、検査チェンバー１００の外気のＶＯＣ濃度及び検査チェンバー１００内の温湿度を調整する。
この状態において、検査チェンバー１００内のＶＯＣ初期濃度を測定した後、拡散ファン１０１で拡散させつつ検査チェンバー１００内に標準ガスの各ガス成分を順次導入する。
この後、ガスメータ１２４にて試料ガスをモニタリングし、定常濃度に達したことを確認した後、検査チェンバー１００内濃度の安定化を図る。
しかる後、空気清浄機９０非運転期間の試料ガスのＶＯＣ濃度を測定し、更に、空気清浄機９０を所定の条件下で運転させ、空気清浄機９０運転期間の試料ガスのＶＯＣ濃度を測定する。
この試料ガスのＶＯＣ濃度の変化状態を見ることにより、空気清浄機９０の性能を評価することが可能である。
【００４３】
◎実施の形態４
図６は標準ガス調製装置２０を用いた性能検査装置の他の例（実施の形態４）を示す。
同図において、性能検査装置は、実施の形態２と略同様に、検査チェンバー１００、標準ガス供給装置１１０及び測定装置１２０を備えたものであるが、標準ガス供給装置１１０が実施の形態２と異なる態様になっている。
同図において、標準ガス供給装置１１０は、実施の形態１又は実施の形態２で用いられる標準ガス調製装置２０にて調製された標準ガスの各ガス成分が封入されたガスボンベ１３０を有し、このガスボンベ１３０と検査チェンバー１００との間を接続配管１３１にて接続し、この接続配管１３１中にマスフローコントローラ１３２を配設し、検査チェンバー１００内にガスボンベ１３０内から一定量のガス成分を供給するようにしたものである。尚、ガスボンベ１３０としては必ずしも単数である必要はなく、複数であってもよい。
従って、本実施の形態においても、検査チェンバー１００内に所定の標準ガスを充填することが可能になり、実施の形態３と略同様に、検査チェンバー１００に収容した性能検査対象物９０の性能を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は本発明に係る標準ガス調製装置の概要を示す説明図、（ｂ）は本発明に係る性能検査装置の概要を示す説明図である。
【図２】本発明に係る標準ガス調製装置の実施の形態１を示す説明図である。
【図３】（ａ）（ｂ）は実施の形態１で用いられる気化皿の代表的態様を示す説明図である。
【図４】本発明に係る標準ガス調製装置の実施の形態２を示す説明図である。
【図５】本発明に係る性能検査装置の実施の形態３を示す説明図である。
【図６】本発明に係る性能検査装置の実施の形態４を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…試薬分配手段，２（２ａ〜２ｎ）…試薬容器，３…気化チェンバー，３ａ…連通口，４…気化受，４ａ…ヒータ，５…希釈チェンバー，６…希釈ガス供給手段，７…標準ガス排出手段，８…強制撹拌混合手段，１０…標準ガス調製装置，１１…標準ガス供給装置，１２…検査チェンバー，１３…測定装置，１５…性能検査対象物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液状試薬が収容可能な試薬容器を有し、各試薬容器からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段と、
この試薬分配手段から分配された液状試薬が滴下される気化受を有し、この気化受に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバーと、
この気化チェンバーと連通し且つ気化チェンバーにて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバーと、
この希釈チェンバーに希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段と、
希釈チェンバーに連通接続され、気化チェンバー内で気化された気化ガスと希釈チェンバー内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段と、
を備えたことを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項２】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
気化チェンバーは、分配される各液状試薬の沸点以上に気化受が加熱可能なヒータを備えていること特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項３】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
気化チェンバーは液状試薬が滴下される位置を含んだ状態で振動可能な気化受を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項４】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは、気化チェンバーを囲むように配設されていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項５】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは気化ガスと希釈ガスとを強制的に撹拌混合する強制撹拌混合手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項６】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは内部の雰囲気の湿度が調整可能な湿度調整器を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項７】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チャンバーは内部の雰囲気が加熱可能な加熱手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項８】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
試薬分配手段、希釈ガス供給手段及び標準ガス排出手段は夫々流量調製手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項９】
性能検査対象物が収容される検査チェンバーと、
請求項１記載の標準ガス調製装置にて調製された標準ガスを検査チェンバーに適量供給する標準ガス供給装置と、
標準ガスが供給された検査チェンバーからの排出ガスを捕獲して測定する測定装置とを備えたことを特徴とする性能検査装置。
【請求項１０】
請求項９記載の性能検査装置において、
標準ガス供給装置は、標準ガス調製装置を含み、標準ガス調製装置にて調製された標準ガスを検査チェンバーに直接供給するものであることを特徴とする性能検査装置。
【請求項１１】
請求項９記載の性能検査装置において、
標準ガス供給装置は、標準ガス調製装置にて調製された標準ガスが封入されたガスボンベを有し、このガスボンベ内の標準ガスを検査チェンバーに供給するものであることを特徴とする性能検査装置。
【請求項１】
複数の液状試薬が収容可能な試薬容器を有し、各試薬容器からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段と、
この試薬分配手段から分配された液状試薬が滴下される気化受を有し、この気化受に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバーと、
この気化チェンバーと連通し且つ気化チェンバーにて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバーと、
この希釈チェンバーに希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段と、
希釈チェンバーに連通接続され、気化チェンバー内で気化された気化ガスと希釈チェンバー内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段と、
を備えたことを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項２】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
気化チェンバーは、分配される各液状試薬の沸点以上に気化受が加熱可能なヒータを備えていること特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項３】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
気化チェンバーは液状試薬が滴下される位置を含んだ状態で振動可能な気化受を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項４】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは、気化チェンバーを囲むように配設されていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項５】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは気化ガスと希釈ガスとを強制的に撹拌混合する強制撹拌混合手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項６】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チェンバーは内部の雰囲気の湿度が調整可能な湿度調整器を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項７】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
希釈チャンバーは内部の雰囲気が加熱可能な加熱手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項８】
請求項１記載の標準ガス調製装置において、
試薬分配手段、希釈ガス供給手段及び標準ガス排出手段は夫々流量調製手段を備えていることを特徴とする標準ガス調製装置。
【請求項９】
性能検査対象物が収容される検査チェンバーと、
請求項１記載の標準ガス調製装置にて調製された標準ガスを検査チェンバーに適量供給する標準ガス供給装置と、
標準ガスが供給された検査チェンバーからの排出ガスを捕獲して測定する測定装置とを備えたことを特徴とする性能検査装置。
【請求項１０】
請求項９記載の性能検査装置において、
標準ガス供給装置は、標準ガス調製装置を含み、標準ガス調製装置にて調製された標準ガスを検査チェンバーに直接供給するものであることを特徴とする性能検査装置。
【請求項１１】
請求項９記載の性能検査装置において、
標準ガス供給装置は、標準ガス調製装置にて調製された標準ガスが封入されたガスボンベを有し、このガスボンベ内の標準ガスを検査チェンバーに供給するものであることを特徴とする性能検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００６−１９４６９４（Ｐ２００６−１９４６９４Ａ）
【公開日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−５４７０（Ｐ２００５−５４７０）
【出願日】平成１７年１月１２日（２００５．１．１２）
【出願人】（３０１０７１０２２）
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１月１２日（２００５．１．１２）
【出願人】（３０１０７１０２２）
【Ｆターム（参考）】
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