機能液供給装置、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
【課題】 タンクユニットの着脱に伴うカプラ手段の着脱に際し、機能液の液だれを抑制することができる機能液供給装置等を提供する。
【解決手段】 機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、機能液を貯留する機能液タンク、機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、タンクホルダに設けられ、カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、タンクユニットには、カプラ取付け部から外され且つタンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられている。
【解決手段】 機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、機能液を貯留する機能液タンク、機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、タンクホルダに設けられ、カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、タンクユニットには、カプラ取付け部から外され且つタンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の機能液供給装置として、インクタンク（機能液タンク）と、インクタンクとインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）とを接続するインクチューブと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
インクタンクにはインクが貯留されており、インクジェットヘッドのインク吐出に伴うポンプ作用により、インクチューブを介してインクジェットヘッドにインクを供給するようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２３０２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような機能液供給装置において、設計上、機能液（インク）の変更等によるインクタンクの交換が可能な構成とする場合、インクチューブにカプラ（ワンタッチジョイント）を介設しておいて、この部分でタンク側とヘッド側に分離し、インクタンクの交換を簡単に行えるようにすることが想定される。
しかし、このようにすると、インクタンクに、インクチューブおよびカプラがぶら下がり、インクタンクの離脱（着脱）作業が煩わしくなるだけでなく、カプラの部分からインクが垂れる問題が想定される。もちろん、自動閉止機構を有するカプラを用いてインク流路を閉止しても、カプラの端部に残っているインクが液だれすることは避けられず、例えば酸性やアルカリ性のインクの場合には、液だれによる構成部品の腐食等の問題が生ずる。
【０００４】
本発明は、タンクユニットの着脱に伴うカプラ手段の着脱に際し、機能液の液だれを抑制することができる機能液供給装置、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、機能液を貯留する機能液タンク、機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、タンクホルダに設けられ、カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、タンクユニットには、カプラ取付け部から外され且つタンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられていることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、タンクユニットに、タンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするためのカプラセット部が設けられているため、タンクホルダから離脱させてタンクユニットを搬入搬出する際に、ヘッド側チューブを外した後、カプラセット部にカプラ手段をセットすれば、或いはカプラセット部にカプラ手段をセットした後、ヘッド側チューブを外せば、タンクユニットを良好に着脱することができる。すなわち、タンクユニットを搬入搬出する際に、タンク側チューブやカプラ手段がぶらつくことがなく、且つカプラ手段から機能液が液だれすることがない。
【０００７】
この場合、ヘッド側チューブには、開閉バルブが介設されており、カプラセット部は、開閉バルブより高い位置に配設されていることが、好ましい。
【０００８】
同様に、カプラ手段は、ヘッド側チューブを外したときに内部流路を自動閉止する閉止機構を有していることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、カプラセット部が機能液タンクより低い位置にあり、且つ機能液タンクに機能液が残っている場合でも、機能液タンクの機能液がカプラ手段から流出することがなく、カプラ手段から機能液が液だれすることがない。
【００１０】
これらの場合、カプラセット部は、タンク架台に設けられていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、タンクユニットをコンパクトに構成することができる。
【００１２】
これらの場合、カプラ手段は、カプラ取付け部に対し、機能液滴吐出ヘッド側を上向きに機能液タンク側を下向きにして取り付けられていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、カプラ手段に対し、ヘッド側チューブを上側から着脱することになり、ヘッド側チューブの着脱を無理なく簡単に行うことができる。なお、言うまでもないが、ヘッド側チューブもカプラ接続とすることが、好ましい。すなわち、カプラ手段を雌カプラとした場合、ヘッド側チューブを雄カプラとする。
【００１４】
これらの場合、タンクユニットは、機能液を複数の機能液滴吐出ヘッドに供給するよう構成されており、カプラ手段は、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続カプラと、複数の接続カプラを一体として保持する連結板と、で構成され、連結板を介してカプラ取付け部に取り付けられていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、複数の接続カプラを一体としてカプラ取付け部に取り付けることができると共に、一体としてカプラセット部にセットすることができ、複数の接続カプラの取扱い性を向上させることができる。
【００１６】
この場合、カプラ手段は、カプラ取付け部に対し、複数の接続カプラの並び方向に位置調整可能にネジ止めされていることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、タンク側チューブおよびヘッド側チューブの取り回しを考慮し、これら両チューブに無理な力が加わらないように、カプラ手段をカプラ取付け部に取り付けることができる。なお、上記のネジ止めには、工具レスを考慮してユリアねじを用いることが好ましい。
【００１８】
これらの場合、タンクユニットは、機能液タンクのタンク内圧力を調整する圧力調整手段、を更に有していることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液タンクが高い位置に配されていても、圧力調整手段により、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出が不安定になることがない。
【００２０】
同様に、機能液タンクは開放タンクで構成され、且つヘッド側チューブには減圧弁が介設されており、機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液タンクが高い位置に配されていても、減圧弁により、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出が不安定になることがない。また、機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されているため、タンク内の機能液に塵埃等が混入するのを防止することができる。
【００２２】
これらの場合、タンクホルダには、機能液タンクの液位を検出する液位検出センサが、設けられていることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、タンクユニットと共に液位検出センサを交換する必要がなく、機能液タンクの液位を適切に検出することができる。
【００２４】
これらの場合、タンクホルダには、機能液タンクの有無および機能液タンクを介して機能液タンク内の機能液の種別を検出する種別検出センサが、設けられていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、タンクユニット（機能液タンク）をセットするのを忘れ、或いは機能液の種別の異なるタンクユニット（機能液タンク）をセットした状態で、装置を稼動してしまうのを有効に防止することができる。
【００２６】
これらの場合、タンクホルダには、タンクセット部の下方に位置してドレンパンが、設けられていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、タンクユニット（機能液タンク）の不良や、タンクユニットの取扱いミス等により機能液が漏れても、これをドレンパンで受けることができ、機能液滴吐出ヘッド等の他の部品が機能液で汚染されるのを防止することができる。
【００２８】
これらの場合、タンクユニットが複数設けられており、タンクホルダは、複数のタンクユニットに対応してのタンクセット部を複数有していることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、種別の異なる複数の機能液を、機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。また、各タンクユニットを安定にセットすることができる。
【００３０】
この場合、複数のタンクユニットには、相互に異なる機能液が貯留されており、各タンクセット部には、機能液の種別を判別する種別判別ピンが設けられ、各タンクユニットには、種別判別ピンに嵌合する種別判別孔が設けられ、種別判別ピンと種別判別孔とは、タンクセット部別およびタンクユニット別に異なる位置に設けられていることが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、各タンクユニットを誤って異なるタンクセット部にセットするのを防止することができる。すなわち、予め導入される機能液が定められた機能液滴吐出ヘッドに、異なる機能液が導入されてしまうのを確実に防止することができる。
【００３２】
本発明の吐出検査装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査に際し、タンクユニットを介して各種の機能液を簡単に供給することができると共に、機能液の交換を効率良く行なうことができる。
【００３４】
上記した機能液供給装置と、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３５】
この構成によれば、タンクユニットを介して各種の機能液を簡単に供給することができると共に、機能液の交換を効率良く行なうことができ、各種の機能液を用いた描画が可能になり、生産性を向上させることができる。
【００３６】
この場合、描画手段は、機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルを有し、機能液供給装置は、機能液滴吐出ヘッドと共に移動テーブルのスライダに搭載されていることが、好ましい。
【００３７】
この構成によれば、ヘッド側チューブを極端に短くすることができると共に、ヘッド側チューブの取り回しを簡単に行うことができる。このため、機能液滴吐出ヘッドの機能液を安定に供給することができる。
【００３８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３９】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００４０】
この構成によれば、各種の成膜部を簡単に形成することができ、高品質の電気光学装置を製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００４１】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００４２】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、添付した図面を参照して、本実施形態に係る機能液供給装置を適用した吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、１２個の機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を単一のサブキャリッジに組み込んだヘッドユニットの吐出性能を検査するものである。先ず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となるヘッドユニットについて説明する。
【００４４】
図１および図２に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、ヘッド保持部材３を介してサブキャリッジ２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド４と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド４は、６個ずつ左右に二分されている。各６個の機能液滴吐出ヘッド４は、それぞれＲ色、Ｇ色およびＢ色の３種類の機能液滴（インク液滴）を吐出するものであり、３種類の機能液滴吐出ヘッド４を１組とし、これを２組組み合わせて、副走査方向に対し平行に配設されると共に、相互に階段状に位置ずれして配設されている。このとき、６個の機能液滴吐出ヘッド４の内、同色の機能液滴を吐出する２つの機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において連続するよう配置されており、また、左右二分した各機能液滴吐出ヘッド群における同色の機能液滴を吐出する２つ機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において機能液滴吐出ヘッド４、２個分の間隙を存して配置されている（図２（ａ）参照）。
【００４５】
サブキャリッジ２は、長方体状に構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４が取り付けられる略方形の本体プレート１０と、本体プレート１０の下面に突設した左右一対の基準ピン１１と、本体プレート１０の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材１２と、一対のプレート支持部材１２の上端部に掛け渡され、後述する吐出検査装置５５のメインキャリッジ７２に取り付けられるヘッド取付プレート９と、を有している。また、本体プレート１０上には、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の両側に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド４に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ１３が設けられ、各配管接続アッセンブリ１３は、吐出検査装置５５のインク供給系に配管接続される。なお、図示では省略したが、サブキャリッジには、機能液滴吐出ヘッドに接続される配線接続アッセンブリが設けられ、各配線接続アッセンブリは、吐出検査装置５５の制御系に配線接続される。
【００４６】
本体プレート１０は、ステンレス等の厚板で構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４を取り付けるための１２個の装着開口２０が形成されている。また、本体プレート１０の４つの隅部には、後述する吐出検査装置５５の吸引装置６０および給材装置６２に位置決めして着座するための４つのセット孔２２が形成されており、セット孔２２は本体プレート１０を貫通して、各プレート支持部材１２内部まで延びている。
【００４７】
左右一対の基準ピン１１は、ヘッドユニット１を、後述する吐出検査装置５５のアライメントマスク１０６に対し、位置決めするための基準となるものであり、本体プレート１０の裏面に突出するように取り付けられている（図２（ｂ）参照）。図示は省略するが、基準ピン１１は、円柱状に構成され、その先端面は鏡面加工されると共に、その中央部には、凹状に形成した基準マークが設けられている。
【００４８】
一対の配管接続アッセンブリ１３は、各機能液滴吐出ヘッド４の両側に配設されており、各配管接続アッセンブリ１３は、各プレート支持部材１２に内側に向けて水平に取り付けた２枚の固定プレート２５と、各固定プレート２５上に立設した３つのバルブ取付プレート２６と、計６つのバルブ取付プレート２６に取り付けた６組の自己封止バルブ２７と、各自己封止バルブ２７の一端に配管接続された６つのタンク側接続カプラ２８と、で構成されている。６組の自己封止バルブ２７は、一方を２分岐継手２９および２本の配管チューブを介して機能液滴吐出ヘッド４に接続されると共に、他方をタンク側接続カプラ２８を介して後述する吐出検査装置５５のタンクユニット１７５に接続される（図１４参照）。
【００４９】
各配線接続アッセンブリは、４つのヘッド中継基板を有しており、４つのヘッド中継基板は、それぞれフレキシブルフラットケーブルを介して、後述する機能液滴吐出ヘッド４のヘッド基板３９に接続されている。
【００５０】
次に、図３を参照して、機能液滴吐出ヘッド４について説明する。この機能液滴吐出ヘッド４は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針を有する機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板３９と、機能液導入部４５の下方に連なる２連のポンプ部４６と、ポンプ部４６に連なるノズルプレート４７と、を備えている。機能液導入部４５には、上記した２本の配管チューブが接続され、ヘッド基板３９には、上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されている。一方、このポンプ部４６とノズルプレート４７とにより、サブキャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッド本体５０が構成されている。
【００５１】
ノズルプレート４７のノズル面５１には、２列のノズル列が相互に平行に列設されており、各ノズル列は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル５２で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル５２のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル５２は、無効ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。
【００５２】
このように構成された機能液滴吐出ヘッド４は、そのヘッド本体５０を、本体プレート１０に形成した装着開口２０から、本体プレート１０の裏面側に突出させ、装着開口２０の縁部にあてがったヘッド保持部材３にネジ止め固定され、また、ヘッド保持部材３は、本体プレート１０に接着固定される。すなわち、本実施形態の検査の前工程として、ヘッドユニット１の組立が行なわれ、その際、サブキャリッジ２と１２個の機能液滴吐出ヘッド４とは、アライメントされた状態で組み立てられる。
【００５３】
次に、図４および図５を参照して、上記したヘッドユニット１の吐出性能を検査する吐出検査装置５５について説明する。吐出検査装置５５は、機台５６と、機台５６上に設けた石定盤５７と、石定盤５７上の全域に広く載置され、ヘッドユニット１を搭載した描画検査装置５８と、吸引装置６０およびワイピング装置６１を有するメンテナンス装置５９と、ヘッドユニット１を描画検査装置５８に供給する給材装置６２と、メンテナンス装置５９および給材装置６２を支持する共通架台６３と、を備えており、吐出検査装置５５はチャンバ装置６４内に収容されている。吐出検査装置５５は、給材装置６２により給材されたヘッドユニット１を、描画検査装置５８に搭載（セット）すると共に、搭載したヘッドユニット１を検査すべく、メンテナンス装置５９により機能液滴吐出ヘッド４の機能維持・回復を行いながら、描画検査装置５８により検査シートＳ上に機能液滴を吐出すると共に、吐出した機能液滴の着弾位置を検査する。また、チャンバ装置６４は、内部雰囲気を温度管理すると共に、クリーンルームを構成している。また、吐出検査装置５５には、装置全体を統括制御する制御コンピュータ６５が組み込まれており、チャンバ装置６４の外に配置されている。
【００５４】
描画検査装置５８は、石定盤５７上に載置されると共に主走査方向に移動するＹ軸テーブル７０と、Ｙ軸テーブル７０を跨いで設置され、副走査方向に移動するＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１上を副走査方向にスライド自在に移動すると共に、ヘッドユニット１を着脱自在に垂設するメインキャリッジ７２と、メインキャリッジ７２の上側に搭載され、ヘッドユニット１に機能液を供給する機能液供給ユニット７３と、石定盤５７上に載置され、Ｙ軸テーブル７０に隣接配置したフラッシングユニット７４と、Ｘ軸テーブル７１上をメインキャリッジ７２とは別に副走査方向にスライド自在に移動するカメラユニット（着弾位置認識手段）７５と、を備えている。この描画検査装置５８において、Ｘ軸テーブル７１とＹ軸テーブル７０とが交わる領域が処理エリアとなっており、処理エリアは、ヘッドユニット１により機能液滴を吐出する吐出エリアと、カメラユニット７５により着弾した機能液滴を撮像する撮像エリアとを兼ねている。
【００５５】
図６に示すように、Ｙ軸テーブル７０は、第２Ｙ軸テーブル８０と、第２Ｙ軸テーブル８０上に配設された第１Ｙ軸テーブル８１と、を有しており、これらで２段階にスライド移動するよう構成されている。
【００５６】
第２Ｙ軸テーブル８０は、Ｙ軸方向（主走査方向）に延在するよう石定盤５７上に直接支持された左右一対のテーブル台８５と、一対のテーブル台８５上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第１ガイドレール８６と、一方のテーブル台８５上に設けられたＹ軸リニアモータ（ロッドモータ）８７と、他方のテーブル台８５上に設けられたケーブル担持体８８と、Ｙ軸リニアモータ８７により第１ガイドレール８６上をスライド自在に移動する第１スライダ８９と、を備えており、第２Ｙ軸テーブル８０は、微小な移動の調整を行なうことが可能となっている。また、一対のテーブル台８５の間の石定盤５７上には、センターに位置してＹ軸方向に離間するよう（上記の一対の基準ピン１１に対応する寸法離れて）、２台のアンダーカメラ９１が配設されており、この２台のアンダーカメラ９１は、ヘッドユニット１と後述するアライメントマスク１０６とを位置合わせする際に用いられる。このため、第１スライダ８９には、各アンダーカメラ９１が臨む位置に、カメラ穴９２が形成されている。
【００５７】
さらに、一方のテーブル台８５には、ヘッドユニット１の高さレベルを測定するヘッド高測定器９５が設置されており、ヘッド高さの測定に基づいて、後述するアライメントテーブル１０５とヘッドユニット１との間、および吸着テーブル１０７とヘッドユニット１との間のワークギャップを、後述するメインキャリッジ７２のＺ軸テーブル１６６により調整する。これにより、ワークギャップを適正に調整することで、各機能液滴吐出ヘッド４に、描画装置等に搭載した場合の描画吐出と同一条件で検査吐出を行なわせることができ、高い精度の吐出検査が可能になる。また、ヘッドユニット１のＸ軸テーブル７１への組付け不良等により、ヘッドユニット１がＹ軸テーブル７０等の構成装置に干渉するのを防止することができる。
【００５８】
一方、第１Ｙ軸テーブル８１は、第１スライダ８９上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第２ガイドレール１００と、一対の第２ガイドレール１００の外側に設けられたＹ軸ロッドレスシリンダ１０１と、Ｙ軸ロッドレスシリンダ１０１により第２ガイドレール１００上をスライド自在に移動する板状の第２スライダ１０２と、を備えている。また、第２スライダ１０２上には、ヘッドユニット１から吐出される機能液滴の着弾位置における検査基準位置となるアライメントマスク１０６を保持したアライメントテーブル１０５と、吐出される機能液滴の着弾対象となる検査シートＳを吸着する吸着テーブル１０７と、がＹ軸方向に隣接して配置されており、アライメントマスク１０６の表面と検査シートＳの表面とは、面一になるよう調整されている。このため、第２スライダ１０２上には、吸着テーブル１０７とアライメントテーブル１０５とを位置決め固定する固定部がそれぞれ設けられている。
【００５９】
ここで、上記の吸着テーブル１０７上の検査シートＳおよびアライメントテーブル１０５のアライメントマスク１０６は、メインキャリッジ７２に搭載されたカメラユニット７５の撮像対象となっており、第１Ｙ軸テーブル８１は、撮像エリアに臨むアライメントテーブル１０５と吸着テーブル１０７との撮像位置を相互に入れ替えるために用いられている。また、第２スライダ１０２は、下方に臨む上記の２台のアンダーカメラ９１によりアライメントマスク１０６を画像認識すべく、アライメントマスク１０６が配置された部位が、開口部位となっている。
【００６０】
Ｙ軸テーブル７０は、撮像エリアに臨んだアライメントテーブル１０５から吸着テーブル１０７に、または、吸着テーブル１０７からアライメントテーブル１０５に位置を入れ替える際は、第１Ｙ軸テーブル８１により相互の位置を入れ替えた後、第２Ｙ軸テーブル８０により、Ｙ軸方向において位置を微調整する。これにより、第２Ｙ軸テーブル８０の移動を極力抑えることができるため、第２Ｙ軸テーブル８０の絶対位置決め精度を維持することが可能となる。また、第２Ｙ軸テーブル８０は、吸着テーブル１０７を、検査シートＳをセットするシートセットエリアと、上記の処理エリアとの相互間で適宜移動させる。
【００６１】
次に、図７および図８を参照して、吸着テーブル１０７について説明する。吸着テーブル１０７は、内部に左右一対のエアーチャンバ１１０を有する吸着テーブル本体１１１と、各エアーチャンバ１１０の直上に配置され、吸着テーブル本体１１１の上面に対し二分して配置された左右一対の吸着プレート部１１２と、各エアーチャンバ１１０内部のエアーを吸引するエアー吸引手段１１３と、を有しており、吸着テーブル１０７は、一対の吸着プレート部１１２上に載置した２枚の検査シートＳを吸着固定する。
【００６２】
吸着テーブル本体１１１は、平面視略長方形状に形成され、その両長辺の中間部分に上下一対の切欠き部１１５が形成されており、一対の切欠き部１１５の下方には、上記の２台のアンダーカメラ９１が臨むよう構成されると共に、各切欠き部１１５には、位置決め片１１６がそれぞれ長辺方向に掛け渡されている。この一対の位置決め片１１６は、長方形状に形成され、その中央部分には、Ｙ軸テーブル７０に対し、吸着テーブル１０７を位置決めするための位置決めマーク１１７が形成されている。吸着テーブル１０７を第２スライダ１０２に固定する場合には、この２つの位置決めマーク１１７を２台のアンダーカメラ９１で撮像しながら位置決め固定する。また、吸着テーブル本体１１１の内部には、上記した一対のエアーチャンバ１１０が形成されており、各エアーチャンバ１１０は、吸着テーブル本体１１１の各側面にそれぞれ形成した３つの吸引開口１１８に連通し、各エアーチャンバ１１０内を均一に減圧できるようになっている。
【００６３】
吸着テーブル本体１１１の上面には、各検査シートＳを位置決めするための４本のシート位置決めピン１２０が左右２組設けられており、各４本のシート位置決めピン１２０は、各吸着プレート部１１２の一方の長辺に２本、一方の短辺に２本、各辺に沿って、その両端側に立設している。これにより、各検査シートＳを吸着プレート部１１２上に位置決めして載置することが可能となっている。また、吸着テーブル本体１１１の上面四隅には、第２スライダ１０２上に載置する吸着テーブル１０７の高さを調整する４つの第１高さ調整ネジ１２１が設けられている。
【００６４】
吸着プレート部１１２は、その上面にマトリクス状に配置した多数の吸着孔１２５を有しており、各吸着孔１２５は下側のエアーチャンバ１１０に連通している。多数の吸着孔１２５は、ヘッドユニット１から吐出される機能液滴の着弾位置から外れた位置となるよう形成されている。
【００６５】
図８に示すように、エアーチャンバ１１０の内部のエアーを吸引するエアー吸引手段１１３は、低圧吸引および高圧吸引に相互に切替可能な構成となっており、低圧吸引は、各吸着プレート部１１２上にセットした検査シートＳが移動可能な程度に吸引する一方、高圧吸引は、検査シートＳが移動不能（吸着固定）となるよう吸引する。つまり、吸引手段は、検査シートＳを吸着プレート部１１２上に仮固定すると共に、本固定するよう構成されている。
【００６６】
エアー吸引手段１１３は、工場内の吸引設備によりエアーを吸引する吸引源１２６と、吸引源１２６から２つの吸引流路に分岐してその一方の上流側に設けられ、吸引源１２６からの吸引を低圧吸引とする低圧コントロールバルブ１２７と、他方の上流側に設けられ、吸引源１２６からの吸引を高圧吸引とする高圧コントロールバルブ１２８と、各コントロールバルブ１２７、１２８の上流側に設けられ、低圧吸引および高圧吸引の切り替えを行なう圧力切替えバルブ１２９と、圧力切替えバルブ１２９の上流側に設けられ、吸引の開閉を行なう吸引開閉バルブ１３０と、を備えており、吸引開閉バルブ１３０の上流側は、６つの吸引流路に分岐すると共に、６つの吸引流路は、吸着テーブル本体１１１の両側面の計６つの吸引開口１１８に設けられた６つの継手１３１に接続されている。なお、各区間は、吸引チューブにより配管接続されている。
【００６７】
吸着テーブル１０７に検査シートＳをセットする場合、先ず、エアー吸引手段１１３を停止した状態において、検査シートＳをシート位置決めピン１２０にあてがい、これを吸着プレート部１１２上に配置する。この後、圧力切替えバルブ１２９を低圧吸引に切り替えると共に、吸引開閉バルブ１３０を開いて吸引をＯＮにする。すると、検査シートＳは移動可能に吸着され、この状態において、検査シートＳにシワ等が生じた場合は、検査シートＳを引っ張る等してシワ等を取り除く。検査シートＳの位置決め（仮固定）が終了した後、吐出検査装置５５が吐出検査動作を開始すると、この開始に伴って、制御コンピュータにより圧力切替バルブ２３６が高圧吸引に切り替えられ、検査シートＳが吸着固定され、この状態で、吐出検査装置５５による機能液滴の吐出の検査を行なう。
【００６８】
次に、図９および図１０を参照して、アライメントテーブル１０５について説明する。アライメントテーブル１０５は、アライメントマスク１０６と、これを保持するマスク保持ステージ１３５と、を備えており、マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を保持した状態で、第２スライダ１０２に設けられた固定部に位置決めされて取り付けられる。
【００６９】
アライメントマスク１０６は、石英ガラスで板状に構成され、その表面上には、各種マークがマーキングされると共に、その上面四周縁部は、外方に下り斜面の傾斜面１３６ａに形成されている。図１０に示すように、各種マークは、ヘッドユニット１の位置を補正するための上下一対のヘッド基準マーク１４０と、ヘッドユニット１から吐出された機能液滴を検査するための基準着弾位置となる着弾基準マーク１４１と、を有しており、これら各基準マークを１組として、計５組Ｙ軸方向に相互に位置ズレした状態でアライメントマスク１０６にマーキングされている。
【００７０】
また、各種マークは、２台のアンダーカメラ９１および後述するカメラユニット７５の２台の撮像カメラ２８２を補正するための３つのキャリブレーションマーク群１４２を有しており、３つのキャリブレーションマーク群１４２は、アライメントマスク１０６の図示下側に形成された１つが、各アンダーカメラ９１の位置を補正するものであり、アライメントマスク１０６の図示中央の左右両側に形成された２つが、２台の撮像カメラ２８２の位置を補正するものである。
【００７１】
マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を載置するマスクプレート１４５と、マスクプレート１４５上に設けられ、載置されたアライメントマスク１０６の位置決めを行うマスク位置決め手段１４６と、位置決めされたアライメントマスク１０６をマスクプレート１４５に押さえ込む８つのマスク押え部材１４７と、第２スライダ１０２上に載置するアライメントテーブル１０５の高さを調整する４つの第２高さ調整ネジ１４８と、を有している。
【００７２】
マスクプレート１４５は、アライメントマスク１０６よりも一回り大きく形成され、その中央にアライメントマスク１０６を載置している。また、マスクプレート１４５には、下方に臨む２台のアンダーカメラ９１によるヘッド基準マーク１４０およびキャリブレーションマーク群１４２の撮像を許容すべく、対応する位置に一対のカメラ孔１４３が形成されている。また、マスクプレート１４５の上面四隅には、上記した４つの第２高さ調整ネジ１４８が設けられており、これを回動させることで第２スライダ１０２に載置する高さを調整している。
【００７３】
マスク位置決め手段１４６は、アライメントマスク１０６が載置されるマスクプレート１４５の四周縁部に設けられており、マスクプレート１４５の下側中央に突設された円柱状のマスク位置決めピン１５０と、マスクプレート１４５の上側両端部に配置された２つの縦寄込み調整ネジ１５１と、マスクプレート１４５の左右両側中央に配置された一対の横寄込み調整ネジ１５２と、を有している。
【００７４】
アライメントマスク１０６をマスクプレート１４５に位置決めする際は、先ず、マスクプレート１４５の略中央にアライメントマスク１０６を載置する。この後、アライメントマスク１０６の下側をマスク位置決めピン１５０に突き当て、この状態で、縦寄込み調整ネジ１５１を回して、その先端をアライメントマスク１０６の上側に当接させてＹ軸方向における位置決めを行う。そして、一対の横寄込み調整ネジ１５２を回して、その先端をアライメントマスク１０６の左右両側に当接させてＸ軸方向における位置決めを行う。
【００７５】
８つのマスク押え部材１４７は、マスクプレート１４５の四周縁部の各辺に２つずつ配置されており、各マスク押え部材１４７は、アライメントマスク１０６の四周縁部の傾斜面１３６ａに当接する板状の押え部１５５と、アライメントマスク１０６を押さえる押え方向に、押え部１５５を移動させて固定する固定ネジ１５６と、を備えている。各押え部１５５は、アライメントマスク１０６に当接する面が、アライメントマスク１０６の傾斜面１３６ａと相補的形状となるよう、同様に傾斜面１３６ｂに形成されている。
【００７６】
マスクプレート１４５上に位置決めされたアライメントマスク１０６は、今度は、８つのマスク押え部材１４７により、アライメントマスク１０６の各傾斜面１３６ａに対し、側方から乗り上げるようにしてこれを押さえ込む。このとき、アライメントマスク１０６の表面よりも、各押え部１５５の上面が突出することがないように構成されている。
【００７７】
次に、図５を参照して、Ｘ軸テーブル７１について説明する。Ｘ軸テーブル７１は、一対の走行レール上を走査するＸ軸リニアモータ（ロッドモータ）１６０を有しており、これに上記のメインキャリッジ７２およびカメラユニット７５を個別に移動自在に搭載している。Ｘ軸テーブル７１は、石定盤５７上に立設した４本の柱１６１に支持されており、Ｙ軸テーブル７０を跨いでメンテナンス装置５９の上方に臨む位置まで延在している。Ｘ軸テーブル７１は、メインキャリッジ７２に搭載したヘッドユニット１を、メンテナンス装置５９の直上部に位置するメンテナンスエリアと、フラッシングユニット７４の直上部に位置するフラッシングエリアと、上記の処理エリアとの相互間で、適宜移動させる。また、Ｘ軸テーブル７１は、カメラユニット７５を処理エリアと、待機エリアとの相互間で、適宜移動させる。
【００７８】
ここで、図１１を参照して、Ｘ軸テーブル７１上を移動するメインキャリッジ７２について説明する。メインキャリッジ７２は、一対の走行レールに掛け渡されたキャリッジフレーム１６５と、キャリッジフレーム１６５に取り付けられ、ヘッドユニット１を昇降自在に移動させるＺ軸テーブル１６６と、Ｚ軸テーブル１６６に垂設され、ヘッドユニット１をθ方向に回転させるθテーブル１６７と、θテーブル１６７に垂設され、ヘッドユニット１を着脱自在に保持するヘッドユニットホルダ１６８と、を有している。また、メインキャリッジ７２には、機能液滴吐出ヘッド４を駆動するための駆動ドライバを収容した駆動ボックス１６９が搭載されている（図５参照）。
【００７９】
キャリッジフレーム１６５は、底板１７１と一対の側板１７２とで断面「Ｕ」字状に構成されており、キャリッジフレーム１６５の内部には、Ｚ軸テーブル１６６の上端部が固定され、キャリッジフレーム１６５の一方の側板には、上記の機能液供給ユニット７３が取り付けられている。Ｚ軸テーブル１６６は、第２Ｙ軸テーブル８０に設けられたヘッド高測定器９５の測定結果に基づいて、ヘッドユニット１を昇降させてワークギャップを調整したり、また、後述するヘッドユニット１の除給材における処理動作において、待機位置と除給材位置との間で適宜ヘッドユニット１を昇降させる。θテーブル１６７は、アライメントマスク１０６を基準としてヘッドユニット１の位置決めを行う際に用いられる。
【００８０】
図示は省略するが、ヘッドユニットホルダ１６８の下端面には、ヘッドユニット１を保持するための複数のばか穴が形成されると共に、ヘッドユニット１の上端面にも、上記の複数のばか穴に対応する位置に、複数のばか穴１７３が形成されており（図１参照）、これらを相互に重ね合わせてボルト止めすることにより、メインキャリッジ７２にヘッドユニット１が着脱自在に取り付けられている。
【００８１】
次に、図１２ないし図１４を参照して、機能液供給ユニット７３について説明する。機能液供給ユニット７３は、ヘッドユニット１に機能液を供給するものであり、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の異なる機能液をそれぞれ貯留する３つのタンクユニット１７５と、３つのタンクユニット１７５を着脱自在に載置すると共にキャリッジフレーム１６５に取り付けられたタンクホルダ１７６と、タンクホルダ１７６に設けられ、各機能液滴吐出ヘッド４に接続される各ヘッド側接続カプラ２０８を固定するカプラ取付部１７７と、を備えている。
【００８２】
タンクホルダ１７６は、キャリッジフレーム１６５の側面にネジ止めされた背板１８０と、背板１８０に取り付けられた側面視「Ｌ」字状の上ホルダフレーム１８１と、上ホルダフレーム１８１に垂設された側面視「Ｌ」字状の下ホルダフレーム１８２と、で構成され、上ホルダフレーム１８１には、ドレンパン１８３が載置されると共に、その内部に、３つのタンクユニット１７５をセットする３つのタンクセット部１８４が設けられている。
【００８３】
ドレンパン１８３は、上面を開放した薄型箱状に形成されており、ドレンパン１８３の図示前面には、各ヘッド側接続カプラ２０８の一方から延びる配管チューブを保持する第１チューブホルダ１８７が設けられている。また、各タンクセット部１８４は、ドレンパン１８３内部に配設され、各タンクユニット１７５を載置する受けプレート１８８を有している。
【００８４】
各受けプレート１８８は、その上面四隅に、平面視「Ｌ」字状に形成された４つのタンク位置決め部材１９０が設けられ、また、その上面中央に、種別判別ピン１９１が突設されている。４つのタンク位置決め部材１９０は、各タンクユニット１７５の下面の四隅に沿って、受けプレート１８８上に配置されている。また、計３つの受けプレート１８８に突設された３つの種別判別ピン１９１は、各受けプレート１８８に対しそれぞれ異なる位置に突設されており、後述するタンクユニット１７５の下面に形成された種別判別孔２３０と嵌合するよう構成されている。
【００８５】
下ホルダフレーム１８２の図示前面には、上記のカプラ取付部１７７が設けられており、カプラ取付部１７７は、機能液滴吐出ヘッド４側に機能液を供給する場合に、ヘッド側接続カプラ２０８を取り付けるものである。カプラ取付部１７７は、３つのタンクユニット１７５の並び方向に亘って延在するよう設けられると共に断面「Ｔ」字状の開口溝１９５を有する取付レール１９６と、開口溝１９５に収容され、並び方向にスライド自在に移動する方形状の複数の裏板ナット１９７と、を有している。各ヘッド側接続カプラ２０８を後述する連結板２０９を介して裏板ナット１９７にネジ止めすると、連結板２０９は傾斜した状態でカプラ取付部１７７に取り付けられ、これに伴い、各ヘッド側接続カプラ２０８は、その接続口が斜め上方に向くようになっている。なお、下ホルダフレーム１８２の下面には、ヘッド側接続カプラ２０８に接続されるヘッドユニット１のタンク側接続カプラ２８から延びた機能液供給チューブを保持する第２チューブホルダ１９８が設けられている。
【００８６】
また、図１３に示すように、タンクホルダ１７６の背板１８０には、各タンクユニット１７５の機能液の液位を検出する３つの液位検出センサ１９９と、載置される各タンクユニット１７５の有無および種別を検出する３つの種別検出センサ２００と、が設けられている。液位検出センサ１９９および種別検出センサ２００はフォトセンサで構成されている。
【００８７】
各タンクユニット１７５は、機能液を貯留する機能液タンク２０４と、機能液タンク２０４を支持するタンク架台２０５と、タンク架台２０５内部に収容され、一端を機能液タンク２０４に接続したタンク配管接続アッセンブリ２０６と、タンク配管接続アッセンブリ２０６の他端に接続された４つのヘッド側接続カプラ２０８および４つのヘッド側接続カプラ２０８を一体として保持する連結板２０９から成るカプラ手段２０７と、を備えている。各ヘッド側接続カプラ２０８は、タンク側接続カプラ２８と接続する部分がワンタッチ式となっており、タンク側接続カプラ２８には、離脱時に流路を自動閉塞する閉塞機構が組み込まれている。連結板２０９は、方形状に形成され、連結板２０９の長辺方向に各ヘッド側接続カプラ２０８が並ぶよう、各ヘッド側接続カプラ２０８の基端部を保持している。つまり、４つのヘッド側接続カプラ２０８は、連結板２０９に対し、直交した状態で保持されている。
【００８８】
機能液タンク２０４は、上面を開放した箱状のタンク本体２１３と、タンク本体２１３の上面を覆うタンク蓋体２１４と、タンク本体２１３内に配管接続され、タンク蓋体２１４に設けられた大気開放弁２１５と、大気開放弁２１５に接続されエアーフィルタ２１６と、タンク本体２１３内に配管接続され、機能液を注入するための注入カプラ２１７と、を有している。注入カプラ２１７を介して、タンク本体２１３内に機能液を注入すると、タンク本体２１３のエアーが、大気開放弁２１５およびエアーフィルタ２１６を介して機能液タンク２０４外部に排気される。また、タンク本体２１３内の機能液が消費されると、エアーフィルタ２１６および大気開放弁２１５を介して、エアーがタンク本体２１３内に取り込まれる。このとき、エアーフィルタ２１６を介しているため、機能液タンク２０４外部の塵埃等がタンク本体２１３内に混入することが無い。
【００８９】
タンク本体２１３には、その背面側に液位検出センサ１９９による液位を検出するための液位被検出部２２０が設けられ、液位被検出部２２０は、タンク本体２１３の上部から下部へ連通するチューブ状の流路であり、液位被検出部２２０は、液位検出センサ１９９による光検出を行なうべく透明となっている。また、タンク本体２１３には、その下部に機能液を上記のタンク配管接続アッセンブリ２０６へ供給する４つの機能液供給口２２１と、その上部にエアーを上記のタンク配管接続アッセンブリ２０６へ供給する４つの大気開放口２２２と、が形成されている（図１４参照）。
【００９０】
タンク蓋体２１４の上面には、タンクユニット１７５を取り扱うための取手部２２３が形成されており、作業者が、この取手部２２３を把持して、タンクユニット１７５を着脱すると共に、タンクユニット１７５の持ち運びを行なう。
【００９１】
タンク架台２０５は、上記の機能液タンク２０４がネジ止め固定された方形状の上板２２５と、上記の受けプレート１８８に載置される方形状の下板２２６と、上板２２５と下板２２６との間に介設された４本の支持部材２２７と、で長方体状に構成され、上板２２５には、その前面に立設した２本の支持部材２２７と、２本の支持部材２２７の上端部に固定したカプラセット部２２８と、が設けられている。カプラセット部２２８は、タンクユニット１７５を取り外す場合やタンクユニット１７５を持ち運ぶ際に、カプラ手段２０７を取り付けるものである。
【００９２】
下板２２６には、受けプレート１８８に突設された種別判別ピン１９１が嵌合する種別判別孔２３０が形成されており、各タンクユニット１７５毎に形成される位置が異なっている。つまり、上記の各受けプレート１８８に対し、対応するタンクユニット１７５のみしか載置することができない。これにより、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の機能液をそれぞれ貯留したタンクユニット１７５を、誤った受けプレート１８８上に載置することを防止することができる。また、下板２２６は、受けプレート１８８に対し、その前面の２箇所でユリアネジ２３３によりネジ止め固定されている。
【００９３】
カプラセット部２２８は、平面視「コ」字状に形成され、その２つの角部が上記の２本の支持部材２２７の上端部に固定されると共に、その内側には段付溝部２３４が形成されている。この段付溝部２３４は、上記の連結板２０９が嵌合するよう形成されており、この段付溝部２３４にセットした連結板２０９は、保持したヘッド側接続カプラ２０８の接続口を上方に向けてユリアネジ２３５によりネジ止め固定される。なお、ユリアネジ２３５を用いることで、連結板２０９のカプラセット部２２８への取付作業やタンクユニット１７５の受けプレート１８８への取付作業が工具レスで行えるようになっている。
【００９４】
図１３および図１４に示すように、タンク配管接続アッセンブリ２０６は、タンク架台２０５内部に収容されており、一方を上記した４つの機能液供給口２２１および４つの大気開放口２２２に接続すると共に、他方を４つのヘッド側接続カプラ２０８に接続する４つの切替バルブ２３６と、各切替バルブ２３６と各ヘッド側接続カプラ２０８との間に介設した４つの機能液フィルタ２３７と、を有している。各機能液フィルタ２３７は、機能液に混入した異物を除去するために設けられている。各切替バルブ２３６は、三方電磁弁で構成され、機能液供給口２２１と切替バルブ２３６との間の機能液供給流路と、大気開放口２２２と切替バルブ２３６との間の大気開放流路と、を相互に切替えることが可能となっている。つまり、吐出検査装置５５の動作状態においては、機能液滴吐出ヘッド４に機能液を供給すべく、切替バルブ２３６は、機能液供給流路に切替える一方、機能液滴吐出ヘッド４およびこれに到る管路内の機能液を排出する場合は、切替バルブ２３６を大気開放流路に切替える。
【００９５】
ここで、タンクユニット１７５をタンクホルダ１７６に着脱する一連の動作について説明する。先ず、作業者はタンクユニット１７５の取手部２２３を把持した状態で、タンクユニット１７５の下面を４つのタンク位置決め部材１９０および種別判別ピン１９１に合わせてセットした後、タンクユニット１７５の下板を受けプレート１８８にユリアネジ２３３によりネジ止め固定する。次に、カプラセット部２２８に取り付けられた連結板２０９を取り外して、カプラ取付部１７７に取り付ける。そして、このヘッド側接続カプラ２０８にタンク側接続カプラ２８を接続する。
【００９６】
一方、タンクユニット１７５を取り外す際は、上記と逆の手順を行なう。すなわち、ヘッド側接続カプラ２０８からタンク側接続カプラ２８を引き抜いた後、カプラ取付部１７７に取り付けられた連結板２０９を取り外して、カプラセット部２２８に取り付ける。そして、受けプレート１８８にネジ止め固定された下板２２６を固定解除し、取手部２２３を把持して、タンクユニット１７５を取り外す。なお、ヘッド側接続カプラ２０８は、自動閉塞となっているため、タンク側接続カプラ２８の引き抜き時に、液垂れすることが無い。
【００９７】
次に、図１５ないし図１８を参照して、フラッシングユニット７４について説明する。フラッシングユニット７４は、各機能液滴吐出ヘッド４から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、ヘッドユニット１が、定期的にフラッシングを行うことで、機能液滴の吐出状態を安定させ、この状態で、ヘッドユニット１の吐出検査を行なうよう構成されている。また、このフラッシングユニット７４では、機能液滴吐出ヘッド４から吐出される機能液の重量をノズル列毎に測定する重量測定機能を有している。
【００９８】
フラッシングユニット７４は、１つの機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受ける容器２４０および容器２４０内の機能液の重量を測定する電子天秤２４１から成る重量測定ユニット２４２と、容器２４０の周囲に配設され、容器２４０への吐出の際に他の機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受けると共に、いわゆる定期フラッシングを受けるフラッシングボックス２４３と、これらを支持する支持フレーム２４４と、支持フレーム２４４を昇降自在に載置する昇降テーブル２４５と、昇降テーブル２４５をＹ軸方向に移動させる移動テーブル２４６と、を有している。また、フラッシングユニット７４は、フラッシングボックス２４３内に吐出された機能液を吸引する機能液吸引手段２４７を有しており、吸引された機能液は、後述するメンテナンス装置５９に設けたフラッシング廃液タンク２４８に排出される。
【００９９】
移動テーブル２４６は、Ｙ軸テーブル７０とメンテナンス装置５９との間の石定盤５７上に配設されており、重量測定ユニット２４２とフラッシングボックス２４３とをＹ軸方向に移動させる。つまり、移動テーブル２４６とＸ軸テーブル７１との協働により、ヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド４における任意のノズル列に、容器２４０を臨ませる構成となっている。なお、定期フラッシングの場合には、各機能液滴吐出ヘッド４は容器２４０から外れてフラッシングボックス２４３上に臨む。また、昇降テーブル２４５は、上記のヘッド高測定器９５により設定されたヘッドユニット１の高さに合わせて、重量測定ユニット２４２およびフラッシングボックス２４３の高さを調整するものである。
【０１００】
支持フレーム２４４は、昇降テーブル２４５上に固定された下支持プレート２５０と、下支持プレート２５０の四隅から立設した４本の支持部材２５２と、４本の支持部材２５２の上端部に固定された上支持プレート２５１と、で長方体状に構成されている。下支持プレート２５０上には、上記の電子天秤２４１が配設されており、一方、上支持プレート２５１上には、フラッシングボックス２４３が配設されている。
【０１０１】
図１５および図１６に示すように、上支持プレート２５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッドのレイアウトに対応して、略平行四辺形状に形成された上プレート本体２５４と、上プレート本体２５４の中央に貫通形成され、容器２４０を収容するための第１容器収容孔２５５と、上プレート本体２５４の図示上下両側に突設され、上支持プレート２５１に対し上記のフラッシングボックス２４３を位置決めする一対のボックス位置決めピン２５６と、上プレート本体２５４の表面に貫通形成された多数のプレート側吸引孔２５７と、を有している。また、上プレート本体２５４の裏面には、各プレート側吸引孔２５７に接続される複数の吸引継手２５８が設けられ、上プレート本体２５４の表面には、機能液を吸収する孔用吸収材２５９が各プレート側吸引孔２５７を覆うように配設されると共に、孔用押さえ板２６０により孔用吸収材２５９の周縁部が押さえ込まれている。さらに、上プレート本体２５４の表面上には、各プレート側吸引孔２５７を囲むようにシール用のＯリング２６１が配設されている。
【０１０２】
フラッシングボックス２４３は、上支持プレート２５１上に載置されるフラッシングトレイ２６４と、フラッシングトレイ２６４上に千鳥状に配設された８つの吸収材２６５と、各吸収材２６５の周縁部を押さえる８つの吸収材押え２６６と、を有している。
【０１０３】
フラッシングトレイ２６４には、千鳥状に配設される８つの吸収材２６５に対応する位置に、吸収材２６５に吸収された機能液を吸引するための８つのエアー室２６７が形成されている。このエアー室２６７の底部には、トレイ側吸引孔２６８が貫通形成されており、上記のプレート側吸引孔２５７とＯリング２６１を介して連通するよう構成されている。また、フラッシングトレイ２６４には、上支持プレート２５１の一対のボックス位置決めピン２５６に嵌合する一対のボックス位置決め孔２６９が形成されると共に、フラッシングトレイ２６４の中央に貫通形成され、容器２４０を収容するための第２容器収容孔２７０が形成されている。
【０１０４】
各吸収材２６５は、各６個の機能液滴吐出ヘッド４に対応する大きさに形成されており、各吸収材押え２６６は、四周枠状に形成され、各吸収材２６５の周縁部を押えつつ、フラッシングトレイ２６４に着脱自在にネジ止め固定される。
【０１０５】
機能液吸引手段２４７は、フラッシング廃液タンク２４８内に接続された図外のイジェクター２７５で構成されており、フラッシング廃液タンク２４８の上部に配管接続されたフラッシング吸引カプラ２７６と、上支持プレート２５１の複数の吸引継手２５８とがマニホールド２７７を介して配管接続されている（図１７参照）。
【０１０６】
容器２４０は、上記の第１容器収容孔２５５および第２容器収容孔２７０に臨むよう電子天秤２４１上に配設されている。容器２４０には、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の機能液をそれぞれ受ける３つ機能液受け部２７８が形成されており、この各機能液受け部２７８は、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面５１に対応する大きさを有し、直上部に臨んだ機能液滴吐出ヘッド４からは、ノズル列単位で機能液滴が吐出される。
【０１０７】
電子天秤２４１は、上記の容器２４０に吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、振動の影響を受けないよう防振パッド上に設置されている。
【０１０８】
以下、図１８を参照して、機能液滴の重量測定を行なう一連の動作について説明する。移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４の一方のノズル列を、液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませる。なお、図１８（ａ）〜（ｄ）は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の内、コーナーにある４つの機能液滴吐出ヘッド４をそれぞれ容器２４０に臨ませた上面図である。この後、機能液滴吐出ヘッド４からノズル列単位で機能液滴を吐出し、電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する。このとき、１の機能液滴吐出ヘッド４における隣接したノズル列には、いわゆる微振動波形が印加され、メニスカスが維持される。また、測定していない他の機能液滴吐出ヘッド４からも機能液滴を吐出させ、フラッシングを行っている。次に、他方のノズル列を液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませ、上記と同様に電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する。そして、他の機能液滴吐出ヘッド４の機能液滴の重量測定を行う場合は、移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４を容器に臨ませる。なお、フラッシングのみを行う場合は、図１８（ｅ）に示すように、第２容器収容孔２７０を挟む一対の吸収材２６５に機能液滴を吐出する。その際、移動テーブル２４６はホーム位置に臨んでいる。
【０１０９】
次に、図１９を参照して、Ｘ軸テーブル７１上を移動するカメラユニット７５について説明する。カメラユニット７５は、一対の走行レールに掛け渡されたカメラキャリッジフレーム１６５と、カメラキャリッジフレーム１６５に垂設されたカメラ支持フレーム２４４と、カメラ支持フレーム２４４に取り付けられ、Ｘ軸方向に隣接する２台の撮像カメラ２８２と、を有しており、２台の撮像カメラ２８２は、上記のアライメントマスク１０６および２枚の検査シートＳを撮像する。この場合、２台の撮像カメラ２８２は、重量バランスを考慮し、Ｘ軸方向において、微調整機構等が逆向きに搭載されている。また、各撮像カメラ２８２は、キャリブレーションを考慮し、マイクロヘッド等の微調整機構によりＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に微調整することが可能となっている。
【０１１０】
図２０に示すように、カメラユニット７５がアライメントマスク１０６および検査シートＳを撮像する場合、先ず、図示下側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の上側のノズル列にあたる着弾位置を、図示左側から図示右側へ移動して撮像する（実際には、着弾ドット数個単位）。図示右側まで移動しきった後、図示下側へ移動し、下側のノズル列にあたる着弾位置を図示右側から図示左側へ移動して撮像する。１の機能液滴吐出ヘッド４の撮像が終了すると、今度は、その上側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の着弾位置を撮像し、これを６回繰り返すことで、２台の撮像カメラ２８２により、アライメントマスク１０６の全ての着弾基準マーク１４１を撮像する。また、全く同じ手順で、カメラユニット７５は、検査シートＳに着弾した全ての機能液滴の実着弾位置を撮像する。すなわち、アライメントマスク１０６の撮像手順と、検査シートＳの撮像手順とを全く同一とし、手順の相違に基づく誤差を生じないよう配慮されている。なお、これらの移動は、相対的なものであり、Ｘ軸テーブル７１と、第２Ｙ軸テーブル８０とで行なわれている。また、実際の動作では、アライメントマスク１０６の撮像、機能液滴吐出ヘッド４による検査吐出、検査シートＳの撮像の手順となる。そして、検査吐出は、ヘッドユニット１を停止させた状態で行なわれる。すなわち、アライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１の配置パターンと、実着弾位置の配置パターンとは、同一となる。
【０１１１】
次に、図５を参照して、メンテナンス装置５９について説明する。メンテナンス装置５９は、ワイピング装置６１と、吸引装置６０と、これらをＹ軸方向に移動させるサブテーブル２８４と、を備え、サブテーブル２８４は、これらをＹ軸方向に移動させ、処理に応じた１の装置をメンテナンスエリアに臨ませる。また、図示では一部省略したが、サブテーブル２８４上には、上記のフラッシング廃液タンク２４８と、吸引廃液タンク３１４と、後述する３つの洗浄液タンク３００と、３種類の機能液メインタンク３１２と、が配設されている。
【０１１２】
図２１に示すように、ワイピング装置６１は、ベースとなるベースフレーム２８５と、ワイピングシート２８７をロール状に巻回した繰出しリール２８６と、繰出しリール２８６から繰り出されたワイピングシート２８７を巻き取る巻取りリール２８８と、両リール２８６、２８８間に掛け渡されたワイピングシート２８７を、図外のエアーシリンダにより上下動して複数の機能液滴吐出ヘッド４に押し付ける押圧ローラ２８９と、押圧ローラ２８９と繰出しリール２８６との間に掛け渡されたワイピングシート２８７に、洗浄液を噴き付ける噴霧ユニット２９０と、押圧ローラ２８９と巻取りリール２８８との間に掛け渡されたワイピングシート２８７に臨み、ワイピングシート２８７の送り量を検出する送り量検出ユニット２９１と、を有しており、これら全体がカバーボックス２９２により覆われている。
【０１１３】
カバーボックス２９２は、箱状に形成されており、その上面には、ワイプ開口２９５が形成されている。このため、ワイピングシート２８７は、押圧ローラ２８９により、ワイプ開口２９５から上方に出没自在となるよう構成されている。
【０１１４】
繰出しリール２８６は、ロール状に巻回したワイピングシート２８７を適宜繰出すようになっており、その軸部には、繰り出されてゆくワイピングシート２８７に対しバックテンションを付与するテンション付与機構が組み込まれている。このため、ワイピングシート２８７は、弛みを生ずることなく繰出しリール２８６から繰り出されてゆく。また、巻取りリール２８８は、減速ギア列等を介して駆動モータにより回転自在に構成されており、送り量検出ユニット２９１の検出結果に基づいて、送り量を制御しながらワイピングシート２８７を巻き取ってゆく。
【０１１５】
繰出しリール２８６に巻回されたワイピングシート２８７は、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維を用いて布状に構成されており、６個（１列分）の機能液滴吐出ヘッド４を一括に払拭可能な幅に形成されている。
【０１１６】
送り量検出ユニット２９１は、スリット円板２９６が軸着された送り量検出ローラ２９７と、送り量検出ローラ２９７と共にワイピングシート２８７を挟み込むガイドローラ２９８と、送り量検出ローラ２９７のスリット円板２９６に臨むフォトインタラプタ２９９と、を有している。ワイピングシート２８７の移動量は、回転するスリット円板２９６を介してフォトインタラプタ２９９により検出され、制御コンピュータに出力される。
【０１１７】
図２２に示すように、噴霧ユニット２９０は、図外の３つの洗浄液タンク３００と、これに供給チューブを介して連なりワイピングシート２８７に洗浄液を噴き付ける３つの噴霧ノズル３０１とを有しており、各噴霧ノズル３０１は、ワイピングシート２８７に対し、上下に長い楕円形に洗浄液を噴き付ける。この場合、各噴霧ノズル３０１は、ロッドドレスシリンダやリードねじ付モータにより横方向に走査可能な構造となっており、ワイピングシート２８７の幅方向いっぱいに、且つ選択的に洗浄液を噴霧することが可能な構成となっている。なお、洗浄液としては揮発性を有するものが好ましく、ワイピングシート２８７を押圧ローラ２８９の部分に送り込む直前に噴き付けられる。
【０１１８】
次に、図２３ないし図２８を参照して、吸引装置６０について説明する。吸引装置６０は、サブテーブル２８４上に配置され、キャップ部本体３０５と吸引部本体３０６とから成る吸引装置本体３０７と、吸引部本体３０６に着脱される吸引付帯ユニット３０８と、キャップ部本体３０５に着脱自在に装着されるキャップユニット３０９と、を有している。この吸引装置６０は、ヘッドユニット１の機能液の吸引を行なうと共に、除材装置として用いられている。吸引部本体３０６は、上面を開放した薄型箱状に形成され、その図示左側には、吸引廃液タンク３１４の密閉蓋を置くための円筒状のフタ置き３１０が立設している。
【０１１９】
吸引付帯ユニット３０８は、付帯支持フレーム２４４と、上記の吸引廃液タンク３１４と、３個の色別バルブ３１５と、１２個の個別バルブ３１６と、各区間を配管接続する吸引チューブ３１７と、を有しており、付帯支持フレーム２４４内に、３個の色別バルブ３１５および１２個の個別バルブ３１６が収容されている（図１７参照）。
【０１２０】
付帯支持フレーム２４４は、方形状の付帯ベースプレート３２０と、付帯ベースプレート３２０の上方に位置した付帯中間プレート３２１と、付帯中間プレート３２１の上方に位置した付帯上方プレート３２２と、これらを支持する複数の支持部材３２４と、を有しており、付帯ベースプレート３２０の図示左側には、吸引廃液タンク３１４が配置されている。付帯上方プレート３２２には、左右一対の付帯取手部３２５が設けられており、この付帯取手部３２５を把持して、吸引付帯ユニット３０８を着脱自在に装着する構成となっている。また、付帯ベースプレート３２０には、吸引付帯ユニット３０８を吸引部本体３０６にネジ止め固定するユリアネジ３２６が設けられている。付帯中間プレート３２１には、上記の１２個の個別バルブ３１６および３つの色別バルブ３１５が固定されており、３つの色別バルブ３１５は、吸引チューブ３１７を介して吸引廃液タンク３１４に接続されている。吸引廃液タンク３１４には、上記のフラッシングユニット７４と同一のイジェクター２７５が接続されており、このイジェクター２７５により、吸引廃液タンク３１４を介して吸引を行なっている（図１７参照）。
【０１２１】
キャップ部本体３０５は、キャップユニット３０９を昇降させるキャップ昇降手段、吸引装置に臨むヘッドユニット１を支持するヘッドユニット支持手段、および吸引装置にヘッドユニット１が臨む際、ヘッドユニット１が受ける衝撃を吸収する衝撃吸収手段を有した本体ユニット３２７と、本体ユニット３２７上に取り付けられるキャップ取付プレート３２８と、を備えている。
【０１２２】
図２４および図２５に示すように、本体ユニット３２７は、キャップベース部３３０と、キャップベース部３３０上の図示中央側に立設した断面逆「Ｔ」字状のキャップフレーム３３１と、キャップフレーム３３１に対し昇降自在に添設された断面逆「Ｌ」字状のキャップスライド部３３２と、キャップスライド部３３２を昇降させるためのギアードモータ３３３と、を備えており、これらがキャップ昇降手段を構成している。また、本体ユニット３２７は、キャップベース部３３０上の図示左右両側に配設された一対のエアーシリンダ３３５と、一対のエアーシリンダ３３５上に設けられた枠状の支柱支持プレート３３６と、支柱支持プレート３３６の四隅に立設した４本の支柱３３７と、キャップフレーム３３１の背面側に取り付けられた３つのリブ部３３８と、３つのリブ部３３８の上端面に固定され、片持ちで支持された枠状の支柱ガイドプレート３３９と、支柱ガイドプレート３３９の四隅に垂設した４つの支柱ガイド部３４０と、を備えており、これらがヘッドユニット支持手段および衝撃吸収手段を構成している。
【０１２３】
キャップフレーム３３１は、その上端部中央から水平方向に突出したモータ支持プレート３４１を有しており、このモータ支持プレート３４１に、押上棒３４２を上方に突出させた状態で上記のギアードモータ３３３が垂設されている。ギアードモータ３３３は、キャップスライド部３３２を介してキャップユニット３０９を、キャッピング位置と待機位置との間で昇降自在に移動させるものであり、キャップユニット３０９の定常位置はキャッピング位置となっている。つまり、ヘッドユニット１の機能液を吸引する場合は、キャップユニット３０９をキャッピング位置に維持しつつ、ヘッドユニット１を除材する場合は、キャップユニット３０９を待機位置に下降させる。
【０１２４】
キャップスライド部３３２は、正面視枠状に形成されたスライドフレーム３４５と、キャップ取付プレート３２８を載置する載置プレート３４６とで、断面逆「Ｌ」字状に一体形成されており、スライドフレーム３４５の左右辺部とキャップフレーム３３１の上端部との間には、左右一対のリニアスライダ３４７が設けられている。載置プレート３４６上には、その四隅にプレート位置決めピン３４８が突設され、載置プレート３４６の中央前部の直下に上記のギアードモータ３３３が臨んでいる。
【０１２５】
一対のエアーシリンダ３３５は、いわゆるショックアブソーバであり、４本の支柱３３７に載置したときのヘッドユニット１の衝撃を吸収するものである。各エアーシリンダ３３５の上部には、上記の支柱支持プレート３３６と連結するための連結金具３５０が設けられており、この連結金具３５０を介して、各エアーシリンダ３３５と支柱支持プレート３３６とが連結される。つまり、支柱支持プレート３３６は、衝撃を吸収すべく昇降自在に移動する。
【０１２６】
各支柱３３７は、円柱状に形成され、その下端部は支柱支持プレート３３６にネジ止め固定されている。４本の支柱３３７のうち対角線上の２本の支柱３３７の上端面には、セットされるヘッドユニット１の位置決めをする２つのヘッド位置決めピン３５１が設けられている。
【０１２７】
支柱ガイドプレート３３９は、上記したように、３つのリブ部３３８の上端面に片持ち状態で支持されている。つまり、昇降自在に移動する支柱支持プレート３３６に対し、支柱ガイドプレート３３９は、その位置に留まるよう構成されている。支柱ガイドプレート３３９に設けられた各支柱ガイド部３４０は、いわゆるリニアブッシュであり、内径が支柱の外径よりも僅かに大きく形成された円筒状のガイド本体３５３と、ガイド本体の上端部に設けられ、支柱ガイドプレート３３９に固定されるガイド固定部３５４と、を有しており、各支柱３３７を上下方向にスライド自在にガイドしている。なお、支柱ガイドプレート３３９の側面には、載置されるヘッドユニット１の有無を検出する近接センサ３５５が設けられている。
【０１２８】
図２６に示すように、キャップ取付プレート３２８は、上記の載置プレート３４６上に載置される取付ベースプレート３５８と、取付ベースプレート３５８に垂設された左右一対のエアーシリンダ３５９と、左右一対のエアーシリンダ３５９の上部に当接する取付中間プレート３６０と、取付中間プレート３６０と取付ベースプレート３５８との間に介設された４つの圧縮バネ３６１と、取付中間プレート３６０上に載置されたドレンパン３６４と、取付中間プレート３６０およびドレンパン３６４を介して、下端部を取付ベースプレート３５８に固定した４つのシャフト３６２と、４つのシャフト３６２のうち左側および右側に設けた２本のシャフト３６２の上端部に固定した左右一対のキャップ固定プレート３６３と、を備えている。
【０１２９】
取付ベースプレート３５８は、載置プレート３４６上に突設された４つのプレート位置決めピン３４８に嵌合する４つのプレート嵌合孔３６５と、４本の支柱３３７を挿通するための４つのベース挿通孔３６６と、が形成されており、４本の支柱３３７を挿通させ、位置決めした状態で、載置プレート３４６上にネジ止め固定される。
【０１３０】
取付中間プレート３６０は、その両端部に各エアーシリンダ３５９のプランジャおよび各圧縮バネ３６１が当接しており、エアーシリンダ３５９を介して取付中間プレート３６０に取り付けられたドレンパン３６４を下方に移動させると共に、下方に移動したドレンパン３６４を圧縮バネ３６１により再び元の位置へ戻す。また、取付ベースプレート３５８と同様に、取付中間プレート３６０にも、４本の支柱３３７を挿通するための４つの中間挿通孔３６７が形成されている。また、取付中間プレート３６０には、上記した４つのシャフト３６２をガイドする４つのシャフトガイド部（リニアブッシュ）３６８が配設されている。
【０１３１】
ドレンパン３６４は、上面を開放した薄型箱状に形成されており、その底板には、図示上下方向に亘って突出した左右一対の取付板３７０が形成されている。また、ドレンパン３６４には、上記の４本のシャフト３６２および４本の支柱３３７を挿通するドレンパン挿通孔３７１が形成され、このドレンパン挿通孔３７１を囲むよう周囲壁３７２が形成されている。また、ドレンパン３６４上には、キャップユニット３０９に設けられた大気開放弁３９６を開放するための６個の爪片３７５を有する大気開放プレート３７６が、左右一対の取付板３７０に掛け渡して上下方向に２つ並べてセットされる。
【０１３２】
各大気開放プレート３７６は、方形状の開放プレート本体３８０と、開放プレート本体３８０上に設けた６つの爪片３７５と、開放プレート本体３８０の両側に形成された左右一対の長孔３８１と、長孔３８１を介して取付板３７０に開放プレート本体３８０をスライド自在に取り付けるユリアネジ３８２と、開放プレート本体３８０をスライド方向に操作する操作ピン３８３と、を備えている。左右一対の取付板３７０に取り付けられた大気開放プレート３７６を、ユリアネジ３８２を緩めて、操作ピン３８３により、外側へスライド移動させることで、後述するキャップユニット３０９に設けられた大気開放弁３９６に係合させる。そして、ドレンパン３６４を引き下げることで、キャップユニット３０９の大気開放弁３９６が開放されると共に、ドレンパン３６４を元の位置に戻すことで、大気開放弁３９６を閉塞する構成となっている。
【０１３３】
各キャップ固定プレート３６３は、その上面にキャップユニット３０９を位置決めするキャップ位置決めピン３８５が設けられており、このキャップ位置決めピン３８５に後述するキャップユニット３０９のキャップ位置決め孔３９１を嵌合させることで、キャップユニット３０９を位置決めする。
【０１３４】
図２７に示すように、キャップユニット３０９は、ヘッドユニット１に搭載された各機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングする１２個のヘッドキャップ３８７と、１２個のヘッドキャップ３８７を保持するホルダープレート３８８と、を備えており、キャップユニット３０９は、その両端部を、上記の一対のキャップ固定プレート３６３に取り付けられている。
【０１３５】
ホルダープレート３８８は、十字状に形成されており、その図示上下方向に亘って、１２個のヘッドキャップ３８７が各機能液滴吐出ヘッド４に対応するよう配設されている。ホルダープレート３８８の左右両側には、大気開放プレート３７６のユリアネジ３８２および操作ピン３８３が臨む左右一対の操作開口３８９が形成され、各操作開口３８９の近傍には、上記の４本の支柱３３７を挿通するための２つのホルダ挿通孔３９０が、それぞれ形成されている。また、２つのホルダ挿通孔３９０の間には、上記のキャップ位置決めピン３８５が嵌合するキャップ位置決め孔３９１が形成されている。
【０１３６】
図２８に示すように、各ヘッドキャップ３８７は、各機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングすると共に、キャッピングした機能液滴吐出ヘッド４から機能液を吸引すべく、機能液吸引流路３９５が形成され、この機能液吸引流路３９５に、上記の吸引付帯ユニット３０８の吸引チューブが配管接続されている。また、ヘッドキャップ３８７には、吸引した機能液を、適宜機能液吸引流路３９５に流し込むための大気開放弁３９６が設けられており、この大気開放弁３９６は上記した大気開放プレート３７６の爪片３７５により引き下げられて、大気開放される。なお、キャップユニット３０９は、ヘッドユニット１の機種にあわせて、複数種用意され、キャップ部本体３０５に簡単に付け替えることが可能となっている。
【０１３７】
メインキャリッジ７２を吸引装置６０の直上位置からキャッピング位置へ下降させてヘッドユニット１に形成された４つのセット孔２２を、吸引装置６０の４本の支柱３３７に対応させてセットすると、その衝撃は、４本の支柱３３７を介してエアーシリンダ３３５により吸収されると共に、ヘッドユニット１は４本の支柱３３７に設けたヘッド位置決めピン３５１に位置決めされ、これに支持される。また、各機能液滴吐出ヘッド４は、キャップユニット３０９の各ヘッドキャップ３８７にキャッピングされる。なお、各ヘッドキャップ３８７内部には、クッションバネが設けられており、各機能液滴吐出ヘッド４の衝撃を吸収している。そして、イジェクター２７５によりヘッドキャップ３８７から機能液滴吐出ヘッド４内の機能液を吸引して、吸引した機能液を吸引廃液タンク３１４へ排出する。一方、ヘッドユニット１を除材する場合は、キャップユニット３０９を待機位置に移動させて、メインキャリッジ７２からヘッドユニット１を取り外す。すなわち、キャッピング位置は、除材位置となっている。
【０１３８】
次に、図２９および図３０を参照して、給材装置６２について説明する。給材装置６２は、柱状ベース部４０１と、柱状ベース部４０１の上部に配設したエアーシリンダ４０２と、エアーシリンダ４０２の上部に配設したドレンパン４００と、ドレンパン４００の上部に配設し、ヘッドユニット１がセットされるヘッドユニット保持部４０３と、を有している。エアーシリンダ４０２は、セットされるヘッドユニット１の衝撃を吸収するものである。
【０１３９】
ヘッドユニット保持部４０３は、断面「Ｕ」字状の保持台４０４と、保持台４０４上に固定された平面視「Ｈ」字状の保持プレート４０５と、保持プレート４０５上に取り付けられた上記のキャップユニット３０９と、保持プレート４０５上に立設した４本の保持柱４０６と、保持プレート４０５の下面に取り付けた大小２枚のガイドプレート４０７と、大小２枚のガイドプレート４０７上に立設した３つの載込みガイド４０８と、を有している。また、保持プレート４０５には、ヘッドユニット１の有無を検出する近接センサが設けられている。
【０１４０】
４つの保持柱４０６のうち、対角線上の２本の保持柱４０６の上端面には、ヘッドユニット１を位置決めするヘッド位置決めピン３５１が突設され、また、各保持柱４０６の上端部には、ヘッドユニット１のヘッドユニット保持部４０３への装着向きを対応させるためのヘッド装着ガイド部４１０が形成されている。つまり、ヘッドユニット１の４つのセット孔２２に対し、異なる装着向き（例えば、左右反対）で、ヘッドユニット保持部４０３の４つの保持柱４０６にセットされると、各セット孔２２と各保持柱４０６とが嵌合しないため、誤った装着向きであることを作業者が認識することができる。
【０１４１】
この給材装置６２に、ヘッドユニット１をセットする場合は、作業者がヘッドユニット１を把持しつつ、３つの載込みガイド４０８に突き当て、これをガイドとして、４本の保持柱４０６をヘッドユニット１のセット孔２２に嵌入する。このとき、ヘッドユニット１が受ける衝撃は、エアーシリンダ４０２により吸収され、また、ヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド４は、キャップユニット３０９のヘッドキャップ３８７にキャッピングされる。
【０１４２】
ここで、装着したヘッドユニット１の吐出検査における吐出検査装置の一連の動作について説明する。先ず、ヘッドユニット１がセットされた給材装置６２およびメインキャリッジ７２をメンテナンスエリア上に臨ませ、この後、作業者はメインキャリッジ７２にヘッドユニット１を取り付ける。次に、メインキャリッジ７２をヘッド高測定器９５が設置されている場所まで移動させて、ヘッド高測定器９５によりヘッドユニット１の高さを測定すると共に、測定した高さに基づいてメインキャリッジ７２のＺ軸テーブルにより、ヘッドユニット１の高さ調整を行なう。この後、メインキャリッジ７２を再びメンテナンスエリアに臨ませると共に、吸引装置６０もメンテナンスエリアに臨ませる。そして、吸引装置６０により機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングして吸引を行い、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる。このとき、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる際は、先ず、強い吸引を行なって、ヘッド内流路に機能液を充填させ、この後、弱い吸引を行なって、ヘッド内流路に生じた気泡を排除するよう構成されている。機能液の充填後、今度は、メンテナンスエリアにワイピング装置６１を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面を拭き取る。
【０１４３】
次に、ヘッドユニット１をフラッシングエリアに臨ませて、ノズル列毎に吐出される機能液滴の重量を測定し、測定後、再びヘッドユニット１をメンテナンスエリアに臨ませる。この後、カメラユニット７５およびアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませ、カメラユニット７５によりアライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１を、２台の撮像カメラ２８２により取り込む。
【０１４４】
次に、カメラユニット７５を退避させ、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、Ｙ軸テーブル７０によりアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませる。そして、２台のアンダーカメラ９１の撮像結果に基づいて、ヘッドユニット１の基準マークとアライメントマスク１０６のヘッド基準マーク１４０とを、θテーブル１６７、Ｘ軸テーブル７１およびＹ軸テーブル７０の協働により位置合わせを行う。位置合わせが終了すると、ヘッドユニット１を一旦フラッシングエリアに臨ませてフラッシングを行い、この後、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、アライメントマスク１０６に代えて２枚の検査シートＳを処理エリアに臨ませ、この検査シートＳ上に機能液滴を吐出する。
【０１４５】
吐出後、ヘッドユニット１はメンテナンスエリアに臨み、吸引装置６０によりキャッピングされる。この後、カメラユニット７５により検査シートＳに着弾した機能液滴の着弾位置を撮像し、制御コンピュータにより、着弾基準マーク１４１の配置パターンと実際に着弾した機能液滴の実着弾位置の配置パターンとを比較して、着弾ズレが生じていないかを検査すると同時に、着弾した機能液滴の直径を画像認識し、機能液滴の直径から吐出ノズル５２の液滴吐出量が適切か否かを検査する。
【０１４６】
検査終了後、作業者が、再度ヘッドユニット１の検査を行なう必要があると判断した場合は、同様の上記の検査を繰り返し行ない、必要が無いと判断した場合は、キャップユニット３０９を待機位置に移動させて、メインキャリッジ７２からヘッドユニット１を取り外して除材を行なう。なお、ヘッドユニット１を給材装置６２にセットするタイミングは、メインキャリッジ７２にヘッドユニット１が取り付けられた直後が、好ましい。
【０１４７】
以上の構成によれば、タンクユニット１７５に、タンク側チューブに接続した状態のカプラ手段２０７を上向きにセットするためのカプラセット部２２８が設けられているため、タンクホルダ１７６から離脱させてタンクユニット１７５を搬入搬出する際に、ヘッド側チューブを外した後、カプラセット部２２８にカプラ手段２０７をセットすれば、或いはカプラセット部２２８にカプラ手段２０７をセットした後、ヘッド側チューブを外せば、タンクユニット１７５を良好に着脱することができる。すなわち、タンクユニット１７５を搬入搬出する際に、タンク側チューブやカプラ手段２０７がぶらつくことがなく、且つカプラ手段２０７から機能液が液だれすることがない。なお、本実施形態において、機能液タンク２０４は、大気開放としたが、機能液タンク２０４内の圧力を調整するようにしてもよい。これによれば、機能液滴吐出ヘッド４に対し機能液タンク２０４が高い位置に配されていても、圧力を調整することにより、機能液滴吐出ヘッド４に供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッド４の液滴吐出が不安定になることがない。
【０１４８】
次に、本実施形態の吐出検査装置５５を用いて良品とされたヘッドユニット１を組み込んだ液滴吐出装置に製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【０１４９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図３１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図３２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図３２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１５０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図３２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図３２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド４により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１５１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【０１５２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図３２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド４によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド４を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１５３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図３２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１５４】
図３３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図３２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１５５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１５６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図３３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１５７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１５８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１５９】
実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド４で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド４で行うことも可能である。
【０１６０】
図３４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１６１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１６２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１６３】
図３５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１６４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１６５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１６６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１６７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１６８】
次に、図３６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１６９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１７０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１７１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１７２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１７３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１７４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１７５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１７６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１７７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１７８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１７９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１８０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図３７〜図４５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図３７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１８１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図３８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図３９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１８２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド４を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１８３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、液滴吐出装置のセットテーブルに載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１８４】
図４０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド４から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図４１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１８５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１８６】
そして次に、図４２に示すように、各色のうちのいずれか（図４２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１８７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図４３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１８８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド４を用い、図４４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１８９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１９０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図４５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１９１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１９２】
次に、図４６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１９３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１９４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１９５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１９６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置のセットテーブルに載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド４により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１９７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１９８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド４から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１９９】
次に、図４７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０２００】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０２０１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０２０２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０２０３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。
【０２０４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図４８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図４８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０２０５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２０６】
【図１】ヘッドユニットの外観斜視図である。
【図２】ヘッドユニットの上面図および側面図である。
【図３】ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】内部に吐出検査装置を格納したチャンバ装置の外観斜視図である。
【図５】吐出検査装置の外観斜視図である。
【図６】Ｙ軸テーブルの外観斜視図である。
【図７】吸着テーブルの上面図および側面図である。
【図８】吸着テーブルの吸引系統図である。
【図９】アライメントテーブルの上面図および側面図である。
【図１０】アライメントマスクの上面模式図である。
【図１１】ヘッドユニットを搭載したキャリッジの正面図および側面図である。
【図１２】機能液供給ユニットの外観斜視図である。
【図１３】機能液供給ユニットの側面図である。
【図１４】タンクユニットおよびヘッドユニットの機能液の供給系統図である。
【図１５】フラッシングユニットの上面図および側面図である。
【図１６】フラッシングユニットのフラッシングトレイ周りの図である。
【図１７】フラッシング装置および吸引装置の機能液の吸引系統図である。
【図１８】機能液滴の重量測定の説明図および定期フラッシングの説明図である。
【図１９】カメラユニットの外観斜視図である。
【図２０】カメラユニットによるアライメントマスクの読み取り順を示す説明図である。
【図２１】ワイピングユニットの断面図である。
【図２２】噴霧ノズルを搭載したワイピングユニットの側面図である。
【図２３】キャップユニットおよび吸引付帯ユニットを取り外した吸引装置の外観模式図である。
【図２４】本体ユニットの外観斜視図である。
【図２５】本体ユニットの正面図、上面図および側面図である。
【図２６】キャップ取り付けプレートの上面図および側面図である。
【図２７】キャップユニットの外観斜視図である。
【図２８】ヘッドキャップの断面図である。
【図２９】給材装置の外観斜視図である。
【図３０】キャップユニットを取り外した給材装置の外観斜視図である。
【図３１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図３２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図３３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図３７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図３８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図３９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図４０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図４１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図４３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図４６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図４７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図４８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。面図である。
【符号の説明】
【０２０７】
１…ヘッドユニット ２…サブキャリッジ ４…機能液滴吐出ヘッド ５２…吐出ノズル ５５…吐出検査装置 ６０…吸引装置 ６１…ワイピング装置 ６２…給材装置 ７０…Ｙ軸テーブル ７１…Ｘ軸テーブル ７２…メインキャリッジ ７３…機能液供給ユニット ７４…フラッシングユニット ７５…カメラユニット ８０…第２Ｙ軸テーブル ８１…第１Ｙ軸テーブル １０５…アライメントテーブル １０６…アライメントマスク １０７…吸着テーブル Ｓ…検査シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の機能液供給装置として、インクタンク（機能液タンク）と、インクタンクとインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）とを接続するインクチューブと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
インクタンクにはインクが貯留されており、インクジェットヘッドのインク吐出に伴うポンプ作用により、インクチューブを介してインクジェットヘッドにインクを供給するようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２３０２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような機能液供給装置において、設計上、機能液（インク）の変更等によるインクタンクの交換が可能な構成とする場合、インクチューブにカプラ（ワンタッチジョイント）を介設しておいて、この部分でタンク側とヘッド側に分離し、インクタンクの交換を簡単に行えるようにすることが想定される。
しかし、このようにすると、インクタンクに、インクチューブおよびカプラがぶら下がり、インクタンクの離脱（着脱）作業が煩わしくなるだけでなく、カプラの部分からインクが垂れる問題が想定される。もちろん、自動閉止機構を有するカプラを用いてインク流路を閉止しても、カプラの端部に残っているインクが液だれすることは避けられず、例えば酸性やアルカリ性のインクの場合には、液だれによる構成部品の腐食等の問題が生ずる。
【０００４】
本発明は、タンクユニットの着脱に伴うカプラ手段の着脱に際し、機能液の液だれを抑制することができる機能液供給装置、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、機能液を貯留する機能液タンク、機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、タンクホルダに設けられ、カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、タンクユニットには、カプラ取付け部から外され且つタンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられていることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、タンクユニットに、タンク側チューブに接続した状態のカプラ手段を上向きにセットするためのカプラセット部が設けられているため、タンクホルダから離脱させてタンクユニットを搬入搬出する際に、ヘッド側チューブを外した後、カプラセット部にカプラ手段をセットすれば、或いはカプラセット部にカプラ手段をセットした後、ヘッド側チューブを外せば、タンクユニットを良好に着脱することができる。すなわち、タンクユニットを搬入搬出する際に、タンク側チューブやカプラ手段がぶらつくことがなく、且つカプラ手段から機能液が液だれすることがない。
【０００７】
この場合、ヘッド側チューブには、開閉バルブが介設されており、カプラセット部は、開閉バルブより高い位置に配設されていることが、好ましい。
【０００８】
同様に、カプラ手段は、ヘッド側チューブを外したときに内部流路を自動閉止する閉止機構を有していることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、カプラセット部が機能液タンクより低い位置にあり、且つ機能液タンクに機能液が残っている場合でも、機能液タンクの機能液がカプラ手段から流出することがなく、カプラ手段から機能液が液だれすることがない。
【００１０】
これらの場合、カプラセット部は、タンク架台に設けられていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、タンクユニットをコンパクトに構成することができる。
【００１２】
これらの場合、カプラ手段は、カプラ取付け部に対し、機能液滴吐出ヘッド側を上向きに機能液タンク側を下向きにして取り付けられていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、カプラ手段に対し、ヘッド側チューブを上側から着脱することになり、ヘッド側チューブの着脱を無理なく簡単に行うことができる。なお、言うまでもないが、ヘッド側チューブもカプラ接続とすることが、好ましい。すなわち、カプラ手段を雌カプラとした場合、ヘッド側チューブを雄カプラとする。
【００１４】
これらの場合、タンクユニットは、機能液を複数の機能液滴吐出ヘッドに供給するよう構成されており、カプラ手段は、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続カプラと、複数の接続カプラを一体として保持する連結板と、で構成され、連結板を介してカプラ取付け部に取り付けられていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、複数の接続カプラを一体としてカプラ取付け部に取り付けることができると共に、一体としてカプラセット部にセットすることができ、複数の接続カプラの取扱い性を向上させることができる。
【００１６】
この場合、カプラ手段は、カプラ取付け部に対し、複数の接続カプラの並び方向に位置調整可能にネジ止めされていることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、タンク側チューブおよびヘッド側チューブの取り回しを考慮し、これら両チューブに無理な力が加わらないように、カプラ手段をカプラ取付け部に取り付けることができる。なお、上記のネジ止めには、工具レスを考慮してユリアねじを用いることが好ましい。
【００１８】
これらの場合、タンクユニットは、機能液タンクのタンク内圧力を調整する圧力調整手段、を更に有していることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液タンクが高い位置に配されていても、圧力調整手段により、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出が不安定になることがない。
【００２０】
同様に、機能液タンクは開放タンクで構成され、且つヘッド側チューブには減圧弁が介設されており、機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液タンクが高い位置に配されていても、減圧弁により、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出が不安定になることがない。また、機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されているため、タンク内の機能液に塵埃等が混入するのを防止することができる。
【００２２】
これらの場合、タンクホルダには、機能液タンクの液位を検出する液位検出センサが、設けられていることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、タンクユニットと共に液位検出センサを交換する必要がなく、機能液タンクの液位を適切に検出することができる。
【００２４】
これらの場合、タンクホルダには、機能液タンクの有無および機能液タンクを介して機能液タンク内の機能液の種別を検出する種別検出センサが、設けられていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、タンクユニット（機能液タンク）をセットするのを忘れ、或いは機能液の種別の異なるタンクユニット（機能液タンク）をセットした状態で、装置を稼動してしまうのを有効に防止することができる。
【００２６】
これらの場合、タンクホルダには、タンクセット部の下方に位置してドレンパンが、設けられていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、タンクユニット（機能液タンク）の不良や、タンクユニットの取扱いミス等により機能液が漏れても、これをドレンパンで受けることができ、機能液滴吐出ヘッド等の他の部品が機能液で汚染されるのを防止することができる。
【００２８】
これらの場合、タンクユニットが複数設けられており、タンクホルダは、複数のタンクユニットに対応してのタンクセット部を複数有していることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、種別の異なる複数の機能液を、機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。また、各タンクユニットを安定にセットすることができる。
【００３０】
この場合、複数のタンクユニットには、相互に異なる機能液が貯留されており、各タンクセット部には、機能液の種別を判別する種別判別ピンが設けられ、各タンクユニットには、種別判別ピンに嵌合する種別判別孔が設けられ、種別判別ピンと種別判別孔とは、タンクセット部別およびタンクユニット別に異なる位置に設けられていることが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、各タンクユニットを誤って異なるタンクセット部にセットするのを防止することができる。すなわち、予め導入される機能液が定められた機能液滴吐出ヘッドに、異なる機能液が導入されてしまうのを確実に防止することができる。
【００３２】
本発明の吐出検査装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査に際し、タンクユニットを介して各種の機能液を簡単に供給することができると共に、機能液の交換を効率良く行なうことができる。
【００３４】
上記した機能液供給装置と、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３５】
この構成によれば、タンクユニットを介して各種の機能液を簡単に供給することができると共に、機能液の交換を効率良く行なうことができ、各種の機能液を用いた描画が可能になり、生産性を向上させることができる。
【００３６】
この場合、描画手段は、機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルを有し、機能液供給装置は、機能液滴吐出ヘッドと共に移動テーブルのスライダに搭載されていることが、好ましい。
【００３７】
この構成によれば、ヘッド側チューブを極端に短くすることができると共に、ヘッド側チューブの取り回しを簡単に行うことができる。このため、機能液滴吐出ヘッドの機能液を安定に供給することができる。
【００３８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３９】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００４０】
この構成によれば、各種の成膜部を簡単に形成することができ、高品質の電気光学装置を製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００４１】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００４２】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、添付した図面を参照して、本実施形態に係る機能液供給装置を適用した吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、１２個の機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を単一のサブキャリッジに組み込んだヘッドユニットの吐出性能を検査するものである。先ず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となるヘッドユニットについて説明する。
【００４４】
図１および図２に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、ヘッド保持部材３を介してサブキャリッジ２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド４と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド４は、６個ずつ左右に二分されている。各６個の機能液滴吐出ヘッド４は、それぞれＲ色、Ｇ色およびＢ色の３種類の機能液滴（インク液滴）を吐出するものであり、３種類の機能液滴吐出ヘッド４を１組とし、これを２組組み合わせて、副走査方向に対し平行に配設されると共に、相互に階段状に位置ずれして配設されている。このとき、６個の機能液滴吐出ヘッド４の内、同色の機能液滴を吐出する２つの機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において連続するよう配置されており、また、左右二分した各機能液滴吐出ヘッド群における同色の機能液滴を吐出する２つ機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において機能液滴吐出ヘッド４、２個分の間隙を存して配置されている（図２（ａ）参照）。
【００４５】
サブキャリッジ２は、長方体状に構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４が取り付けられる略方形の本体プレート１０と、本体プレート１０の下面に突設した左右一対の基準ピン１１と、本体プレート１０の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材１２と、一対のプレート支持部材１２の上端部に掛け渡され、後述する吐出検査装置５５のメインキャリッジ７２に取り付けられるヘッド取付プレート９と、を有している。また、本体プレート１０上には、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の両側に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド４に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ１３が設けられ、各配管接続アッセンブリ１３は、吐出検査装置５５のインク供給系に配管接続される。なお、図示では省略したが、サブキャリッジには、機能液滴吐出ヘッドに接続される配線接続アッセンブリが設けられ、各配線接続アッセンブリは、吐出検査装置５５の制御系に配線接続される。
【００４６】
本体プレート１０は、ステンレス等の厚板で構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４を取り付けるための１２個の装着開口２０が形成されている。また、本体プレート１０の４つの隅部には、後述する吐出検査装置５５の吸引装置６０および給材装置６２に位置決めして着座するための４つのセット孔２２が形成されており、セット孔２２は本体プレート１０を貫通して、各プレート支持部材１２内部まで延びている。
【００４７】
左右一対の基準ピン１１は、ヘッドユニット１を、後述する吐出検査装置５５のアライメントマスク１０６に対し、位置決めするための基準となるものであり、本体プレート１０の裏面に突出するように取り付けられている（図２（ｂ）参照）。図示は省略するが、基準ピン１１は、円柱状に構成され、その先端面は鏡面加工されると共に、その中央部には、凹状に形成した基準マークが設けられている。
【００４８】
一対の配管接続アッセンブリ１３は、各機能液滴吐出ヘッド４の両側に配設されており、各配管接続アッセンブリ１３は、各プレート支持部材１２に内側に向けて水平に取り付けた２枚の固定プレート２５と、各固定プレート２５上に立設した３つのバルブ取付プレート２６と、計６つのバルブ取付プレート２６に取り付けた６組の自己封止バルブ２７と、各自己封止バルブ２７の一端に配管接続された６つのタンク側接続カプラ２８と、で構成されている。６組の自己封止バルブ２７は、一方を２分岐継手２９および２本の配管チューブを介して機能液滴吐出ヘッド４に接続されると共に、他方をタンク側接続カプラ２８を介して後述する吐出検査装置５５のタンクユニット１７５に接続される（図１４参照）。
【００４９】
各配線接続アッセンブリは、４つのヘッド中継基板を有しており、４つのヘッド中継基板は、それぞれフレキシブルフラットケーブルを介して、後述する機能液滴吐出ヘッド４のヘッド基板３９に接続されている。
【００５０】
次に、図３を参照して、機能液滴吐出ヘッド４について説明する。この機能液滴吐出ヘッド４は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針を有する機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板３９と、機能液導入部４５の下方に連なる２連のポンプ部４６と、ポンプ部４６に連なるノズルプレート４７と、を備えている。機能液導入部４５には、上記した２本の配管チューブが接続され、ヘッド基板３９には、上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されている。一方、このポンプ部４６とノズルプレート４７とにより、サブキャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッド本体５０が構成されている。
【００５１】
ノズルプレート４７のノズル面５１には、２列のノズル列が相互に平行に列設されており、各ノズル列は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル５２で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル５２のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル５２は、無効ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。
【００５２】
このように構成された機能液滴吐出ヘッド４は、そのヘッド本体５０を、本体プレート１０に形成した装着開口２０から、本体プレート１０の裏面側に突出させ、装着開口２０の縁部にあてがったヘッド保持部材３にネジ止め固定され、また、ヘッド保持部材３は、本体プレート１０に接着固定される。すなわち、本実施形態の検査の前工程として、ヘッドユニット１の組立が行なわれ、その際、サブキャリッジ２と１２個の機能液滴吐出ヘッド４とは、アライメントされた状態で組み立てられる。
【００５３】
次に、図４および図５を参照して、上記したヘッドユニット１の吐出性能を検査する吐出検査装置５５について説明する。吐出検査装置５５は、機台５６と、機台５６上に設けた石定盤５７と、石定盤５７上の全域に広く載置され、ヘッドユニット１を搭載した描画検査装置５８と、吸引装置６０およびワイピング装置６１を有するメンテナンス装置５９と、ヘッドユニット１を描画検査装置５８に供給する給材装置６２と、メンテナンス装置５９および給材装置６２を支持する共通架台６３と、を備えており、吐出検査装置５５はチャンバ装置６４内に収容されている。吐出検査装置５５は、給材装置６２により給材されたヘッドユニット１を、描画検査装置５８に搭載（セット）すると共に、搭載したヘッドユニット１を検査すべく、メンテナンス装置５９により機能液滴吐出ヘッド４の機能維持・回復を行いながら、描画検査装置５８により検査シートＳ上に機能液滴を吐出すると共に、吐出した機能液滴の着弾位置を検査する。また、チャンバ装置６４は、内部雰囲気を温度管理すると共に、クリーンルームを構成している。また、吐出検査装置５５には、装置全体を統括制御する制御コンピュータ６５が組み込まれており、チャンバ装置６４の外に配置されている。
【００５４】
描画検査装置５８は、石定盤５７上に載置されると共に主走査方向に移動するＹ軸テーブル７０と、Ｙ軸テーブル７０を跨いで設置され、副走査方向に移動するＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１上を副走査方向にスライド自在に移動すると共に、ヘッドユニット１を着脱自在に垂設するメインキャリッジ７２と、メインキャリッジ７２の上側に搭載され、ヘッドユニット１に機能液を供給する機能液供給ユニット７３と、石定盤５７上に載置され、Ｙ軸テーブル７０に隣接配置したフラッシングユニット７４と、Ｘ軸テーブル７１上をメインキャリッジ７２とは別に副走査方向にスライド自在に移動するカメラユニット（着弾位置認識手段）７５と、を備えている。この描画検査装置５８において、Ｘ軸テーブル７１とＹ軸テーブル７０とが交わる領域が処理エリアとなっており、処理エリアは、ヘッドユニット１により機能液滴を吐出する吐出エリアと、カメラユニット７５により着弾した機能液滴を撮像する撮像エリアとを兼ねている。
【００５５】
図６に示すように、Ｙ軸テーブル７０は、第２Ｙ軸テーブル８０と、第２Ｙ軸テーブル８０上に配設された第１Ｙ軸テーブル８１と、を有しており、これらで２段階にスライド移動するよう構成されている。
【００５６】
第２Ｙ軸テーブル８０は、Ｙ軸方向（主走査方向）に延在するよう石定盤５７上に直接支持された左右一対のテーブル台８５と、一対のテーブル台８５上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第１ガイドレール８６と、一方のテーブル台８５上に設けられたＹ軸リニアモータ（ロッドモータ）８７と、他方のテーブル台８５上に設けられたケーブル担持体８８と、Ｙ軸リニアモータ８７により第１ガイドレール８６上をスライド自在に移動する第１スライダ８９と、を備えており、第２Ｙ軸テーブル８０は、微小な移動の調整を行なうことが可能となっている。また、一対のテーブル台８５の間の石定盤５７上には、センターに位置してＹ軸方向に離間するよう（上記の一対の基準ピン１１に対応する寸法離れて）、２台のアンダーカメラ９１が配設されており、この２台のアンダーカメラ９１は、ヘッドユニット１と後述するアライメントマスク１０６とを位置合わせする際に用いられる。このため、第１スライダ８９には、各アンダーカメラ９１が臨む位置に、カメラ穴９２が形成されている。
【００５７】
さらに、一方のテーブル台８５には、ヘッドユニット１の高さレベルを測定するヘッド高測定器９５が設置されており、ヘッド高さの測定に基づいて、後述するアライメントテーブル１０５とヘッドユニット１との間、および吸着テーブル１０７とヘッドユニット１との間のワークギャップを、後述するメインキャリッジ７２のＺ軸テーブル１６６により調整する。これにより、ワークギャップを適正に調整することで、各機能液滴吐出ヘッド４に、描画装置等に搭載した場合の描画吐出と同一条件で検査吐出を行なわせることができ、高い精度の吐出検査が可能になる。また、ヘッドユニット１のＸ軸テーブル７１への組付け不良等により、ヘッドユニット１がＹ軸テーブル７０等の構成装置に干渉するのを防止することができる。
【００５８】
一方、第１Ｙ軸テーブル８１は、第１スライダ８９上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第２ガイドレール１００と、一対の第２ガイドレール１００の外側に設けられたＹ軸ロッドレスシリンダ１０１と、Ｙ軸ロッドレスシリンダ１０１により第２ガイドレール１００上をスライド自在に移動する板状の第２スライダ１０２と、を備えている。また、第２スライダ１０２上には、ヘッドユニット１から吐出される機能液滴の着弾位置における検査基準位置となるアライメントマスク１０６を保持したアライメントテーブル１０５と、吐出される機能液滴の着弾対象となる検査シートＳを吸着する吸着テーブル１０７と、がＹ軸方向に隣接して配置されており、アライメントマスク１０６の表面と検査シートＳの表面とは、面一になるよう調整されている。このため、第２スライダ１０２上には、吸着テーブル１０７とアライメントテーブル１０５とを位置決め固定する固定部がそれぞれ設けられている。
【００５９】
ここで、上記の吸着テーブル１０７上の検査シートＳおよびアライメントテーブル１０５のアライメントマスク１０６は、メインキャリッジ７２に搭載されたカメラユニット７５の撮像対象となっており、第１Ｙ軸テーブル８１は、撮像エリアに臨むアライメントテーブル１０５と吸着テーブル１０７との撮像位置を相互に入れ替えるために用いられている。また、第２スライダ１０２は、下方に臨む上記の２台のアンダーカメラ９１によりアライメントマスク１０６を画像認識すべく、アライメントマスク１０６が配置された部位が、開口部位となっている。
【００６０】
Ｙ軸テーブル７０は、撮像エリアに臨んだアライメントテーブル１０５から吸着テーブル１０７に、または、吸着テーブル１０７からアライメントテーブル１０５に位置を入れ替える際は、第１Ｙ軸テーブル８１により相互の位置を入れ替えた後、第２Ｙ軸テーブル８０により、Ｙ軸方向において位置を微調整する。これにより、第２Ｙ軸テーブル８０の移動を極力抑えることができるため、第２Ｙ軸テーブル８０の絶対位置決め精度を維持することが可能となる。また、第２Ｙ軸テーブル８０は、吸着テーブル１０７を、検査シートＳをセットするシートセットエリアと、上記の処理エリアとの相互間で適宜移動させる。
【００６１】
次に、図７および図８を参照して、吸着テーブル１０７について説明する。吸着テーブル１０７は、内部に左右一対のエアーチャンバ１１０を有する吸着テーブル本体１１１と、各エアーチャンバ１１０の直上に配置され、吸着テーブル本体１１１の上面に対し二分して配置された左右一対の吸着プレート部１１２と、各エアーチャンバ１１０内部のエアーを吸引するエアー吸引手段１１３と、を有しており、吸着テーブル１０７は、一対の吸着プレート部１１２上に載置した２枚の検査シートＳを吸着固定する。
【００６２】
吸着テーブル本体１１１は、平面視略長方形状に形成され、その両長辺の中間部分に上下一対の切欠き部１１５が形成されており、一対の切欠き部１１５の下方には、上記の２台のアンダーカメラ９１が臨むよう構成されると共に、各切欠き部１１５には、位置決め片１１６がそれぞれ長辺方向に掛け渡されている。この一対の位置決め片１１６は、長方形状に形成され、その中央部分には、Ｙ軸テーブル７０に対し、吸着テーブル１０７を位置決めするための位置決めマーク１１７が形成されている。吸着テーブル１０７を第２スライダ１０２に固定する場合には、この２つの位置決めマーク１１７を２台のアンダーカメラ９１で撮像しながら位置決め固定する。また、吸着テーブル本体１１１の内部には、上記した一対のエアーチャンバ１１０が形成されており、各エアーチャンバ１１０は、吸着テーブル本体１１１の各側面にそれぞれ形成した３つの吸引開口１１８に連通し、各エアーチャンバ１１０内を均一に減圧できるようになっている。
【００６３】
吸着テーブル本体１１１の上面には、各検査シートＳを位置決めするための４本のシート位置決めピン１２０が左右２組設けられており、各４本のシート位置決めピン１２０は、各吸着プレート部１１２の一方の長辺に２本、一方の短辺に２本、各辺に沿って、その両端側に立設している。これにより、各検査シートＳを吸着プレート部１１２上に位置決めして載置することが可能となっている。また、吸着テーブル本体１１１の上面四隅には、第２スライダ１０２上に載置する吸着テーブル１０７の高さを調整する４つの第１高さ調整ネジ１２１が設けられている。
【００６４】
吸着プレート部１１２は、その上面にマトリクス状に配置した多数の吸着孔１２５を有しており、各吸着孔１２５は下側のエアーチャンバ１１０に連通している。多数の吸着孔１２５は、ヘッドユニット１から吐出される機能液滴の着弾位置から外れた位置となるよう形成されている。
【００６５】
図８に示すように、エアーチャンバ１１０の内部のエアーを吸引するエアー吸引手段１１３は、低圧吸引および高圧吸引に相互に切替可能な構成となっており、低圧吸引は、各吸着プレート部１１２上にセットした検査シートＳが移動可能な程度に吸引する一方、高圧吸引は、検査シートＳが移動不能（吸着固定）となるよう吸引する。つまり、吸引手段は、検査シートＳを吸着プレート部１１２上に仮固定すると共に、本固定するよう構成されている。
【００６６】
エアー吸引手段１１３は、工場内の吸引設備によりエアーを吸引する吸引源１２６と、吸引源１２６から２つの吸引流路に分岐してその一方の上流側に設けられ、吸引源１２６からの吸引を低圧吸引とする低圧コントロールバルブ１２７と、他方の上流側に設けられ、吸引源１２６からの吸引を高圧吸引とする高圧コントロールバルブ１２８と、各コントロールバルブ１２７、１２８の上流側に設けられ、低圧吸引および高圧吸引の切り替えを行なう圧力切替えバルブ１２９と、圧力切替えバルブ１２９の上流側に設けられ、吸引の開閉を行なう吸引開閉バルブ１３０と、を備えており、吸引開閉バルブ１３０の上流側は、６つの吸引流路に分岐すると共に、６つの吸引流路は、吸着テーブル本体１１１の両側面の計６つの吸引開口１１８に設けられた６つの継手１３１に接続されている。なお、各区間は、吸引チューブにより配管接続されている。
【００６７】
吸着テーブル１０７に検査シートＳをセットする場合、先ず、エアー吸引手段１１３を停止した状態において、検査シートＳをシート位置決めピン１２０にあてがい、これを吸着プレート部１１２上に配置する。この後、圧力切替えバルブ１２９を低圧吸引に切り替えると共に、吸引開閉バルブ１３０を開いて吸引をＯＮにする。すると、検査シートＳは移動可能に吸着され、この状態において、検査シートＳにシワ等が生じた場合は、検査シートＳを引っ張る等してシワ等を取り除く。検査シートＳの位置決め（仮固定）が終了した後、吐出検査装置５５が吐出検査動作を開始すると、この開始に伴って、制御コンピュータにより圧力切替バルブ２３６が高圧吸引に切り替えられ、検査シートＳが吸着固定され、この状態で、吐出検査装置５５による機能液滴の吐出の検査を行なう。
【００６８】
次に、図９および図１０を参照して、アライメントテーブル１０５について説明する。アライメントテーブル１０５は、アライメントマスク１０６と、これを保持するマスク保持ステージ１３５と、を備えており、マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を保持した状態で、第２スライダ１０２に設けられた固定部に位置決めされて取り付けられる。
【００６９】
アライメントマスク１０６は、石英ガラスで板状に構成され、その表面上には、各種マークがマーキングされると共に、その上面四周縁部は、外方に下り斜面の傾斜面１３６ａに形成されている。図１０に示すように、各種マークは、ヘッドユニット１の位置を補正するための上下一対のヘッド基準マーク１４０と、ヘッドユニット１から吐出された機能液滴を検査するための基準着弾位置となる着弾基準マーク１４１と、を有しており、これら各基準マークを１組として、計５組Ｙ軸方向に相互に位置ズレした状態でアライメントマスク１０６にマーキングされている。
【００７０】
また、各種マークは、２台のアンダーカメラ９１および後述するカメラユニット７５の２台の撮像カメラ２８２を補正するための３つのキャリブレーションマーク群１４２を有しており、３つのキャリブレーションマーク群１４２は、アライメントマスク１０６の図示下側に形成された１つが、各アンダーカメラ９１の位置を補正するものであり、アライメントマスク１０６の図示中央の左右両側に形成された２つが、２台の撮像カメラ２８２の位置を補正するものである。
【００７１】
マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を載置するマスクプレート１４５と、マスクプレート１４５上に設けられ、載置されたアライメントマスク１０６の位置決めを行うマスク位置決め手段１４６と、位置決めされたアライメントマスク１０６をマスクプレート１４５に押さえ込む８つのマスク押え部材１４７と、第２スライダ１０２上に載置するアライメントテーブル１０５の高さを調整する４つの第２高さ調整ネジ１４８と、を有している。
【００７２】
マスクプレート１４５は、アライメントマスク１０６よりも一回り大きく形成され、その中央にアライメントマスク１０６を載置している。また、マスクプレート１４５には、下方に臨む２台のアンダーカメラ９１によるヘッド基準マーク１４０およびキャリブレーションマーク群１４２の撮像を許容すべく、対応する位置に一対のカメラ孔１４３が形成されている。また、マスクプレート１４５の上面四隅には、上記した４つの第２高さ調整ネジ１４８が設けられており、これを回動させることで第２スライダ１０２に載置する高さを調整している。
【００７３】
マスク位置決め手段１４６は、アライメントマスク１０６が載置されるマスクプレート１４５の四周縁部に設けられており、マスクプレート１４５の下側中央に突設された円柱状のマスク位置決めピン１５０と、マスクプレート１４５の上側両端部に配置された２つの縦寄込み調整ネジ１５１と、マスクプレート１４５の左右両側中央に配置された一対の横寄込み調整ネジ１５２と、を有している。
【００７４】
アライメントマスク１０６をマスクプレート１４５に位置決めする際は、先ず、マスクプレート１４５の略中央にアライメントマスク１０６を載置する。この後、アライメントマスク１０６の下側をマスク位置決めピン１５０に突き当て、この状態で、縦寄込み調整ネジ１５１を回して、その先端をアライメントマスク１０６の上側に当接させてＹ軸方向における位置決めを行う。そして、一対の横寄込み調整ネジ１５２を回して、その先端をアライメントマスク１０６の左右両側に当接させてＸ軸方向における位置決めを行う。
【００７５】
８つのマスク押え部材１４７は、マスクプレート１４５の四周縁部の各辺に２つずつ配置されており、各マスク押え部材１４７は、アライメントマスク１０６の四周縁部の傾斜面１３６ａに当接する板状の押え部１５５と、アライメントマスク１０６を押さえる押え方向に、押え部１５５を移動させて固定する固定ネジ１５６と、を備えている。各押え部１５５は、アライメントマスク１０６に当接する面が、アライメントマスク１０６の傾斜面１３６ａと相補的形状となるよう、同様に傾斜面１３６ｂに形成されている。
【００７６】
マスクプレート１４５上に位置決めされたアライメントマスク１０６は、今度は、８つのマスク押え部材１４７により、アライメントマスク１０６の各傾斜面１３６ａに対し、側方から乗り上げるようにしてこれを押さえ込む。このとき、アライメントマスク１０６の表面よりも、各押え部１５５の上面が突出することがないように構成されている。
【００７７】
次に、図５を参照して、Ｘ軸テーブル７１について説明する。Ｘ軸テーブル７１は、一対の走行レール上を走査するＸ軸リニアモータ（ロッドモータ）１６０を有しており、これに上記のメインキャリッジ７２およびカメラユニット７５を個別に移動自在に搭載している。Ｘ軸テーブル７１は、石定盤５７上に立設した４本の柱１６１に支持されており、Ｙ軸テーブル７０を跨いでメンテナンス装置５９の上方に臨む位置まで延在している。Ｘ軸テーブル７１は、メインキャリッジ７２に搭載したヘッドユニット１を、メンテナンス装置５９の直上部に位置するメンテナンスエリアと、フラッシングユニット７４の直上部に位置するフラッシングエリアと、上記の処理エリアとの相互間で、適宜移動させる。また、Ｘ軸テーブル７１は、カメラユニット７５を処理エリアと、待機エリアとの相互間で、適宜移動させる。
【００７８】
ここで、図１１を参照して、Ｘ軸テーブル７１上を移動するメインキャリッジ７２について説明する。メインキャリッジ７２は、一対の走行レールに掛け渡されたキャリッジフレーム１６５と、キャリッジフレーム１６５に取り付けられ、ヘッドユニット１を昇降自在に移動させるＺ軸テーブル１６６と、Ｚ軸テーブル１６６に垂設され、ヘッドユニット１をθ方向に回転させるθテーブル１６７と、θテーブル１６７に垂設され、ヘッドユニット１を着脱自在に保持するヘッドユニットホルダ１６８と、を有している。また、メインキャリッジ７２には、機能液滴吐出ヘッド４を駆動するための駆動ドライバを収容した駆動ボックス１６９が搭載されている（図５参照）。
【００７９】
キャリッジフレーム１６５は、底板１７１と一対の側板１７２とで断面「Ｕ」字状に構成されており、キャリッジフレーム１６５の内部には、Ｚ軸テーブル１６６の上端部が固定され、キャリッジフレーム１６５の一方の側板には、上記の機能液供給ユニット７３が取り付けられている。Ｚ軸テーブル１６６は、第２Ｙ軸テーブル８０に設けられたヘッド高測定器９５の測定結果に基づいて、ヘッドユニット１を昇降させてワークギャップを調整したり、また、後述するヘッドユニット１の除給材における処理動作において、待機位置と除給材位置との間で適宜ヘッドユニット１を昇降させる。θテーブル１６７は、アライメントマスク１０６を基準としてヘッドユニット１の位置決めを行う際に用いられる。
【００８０】
図示は省略するが、ヘッドユニットホルダ１６８の下端面には、ヘッドユニット１を保持するための複数のばか穴が形成されると共に、ヘッドユニット１の上端面にも、上記の複数のばか穴に対応する位置に、複数のばか穴１７３が形成されており（図１参照）、これらを相互に重ね合わせてボルト止めすることにより、メインキャリッジ７２にヘッドユニット１が着脱自在に取り付けられている。
【００８１】
次に、図１２ないし図１４を参照して、機能液供給ユニット７３について説明する。機能液供給ユニット７３は、ヘッドユニット１に機能液を供給するものであり、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の異なる機能液をそれぞれ貯留する３つのタンクユニット１７５と、３つのタンクユニット１７５を着脱自在に載置すると共にキャリッジフレーム１６５に取り付けられたタンクホルダ１７６と、タンクホルダ１７６に設けられ、各機能液滴吐出ヘッド４に接続される各ヘッド側接続カプラ２０８を固定するカプラ取付部１７７と、を備えている。
【００８２】
タンクホルダ１７６は、キャリッジフレーム１６５の側面にネジ止めされた背板１８０と、背板１８０に取り付けられた側面視「Ｌ」字状の上ホルダフレーム１８１と、上ホルダフレーム１８１に垂設された側面視「Ｌ」字状の下ホルダフレーム１８２と、で構成され、上ホルダフレーム１８１には、ドレンパン１８３が載置されると共に、その内部に、３つのタンクユニット１７５をセットする３つのタンクセット部１８４が設けられている。
【００８３】
ドレンパン１８３は、上面を開放した薄型箱状に形成されており、ドレンパン１８３の図示前面には、各ヘッド側接続カプラ２０８の一方から延びる配管チューブを保持する第１チューブホルダ１８７が設けられている。また、各タンクセット部１８４は、ドレンパン１８３内部に配設され、各タンクユニット１７５を載置する受けプレート１８８を有している。
【００８４】
各受けプレート１８８は、その上面四隅に、平面視「Ｌ」字状に形成された４つのタンク位置決め部材１９０が設けられ、また、その上面中央に、種別判別ピン１９１が突設されている。４つのタンク位置決め部材１９０は、各タンクユニット１７５の下面の四隅に沿って、受けプレート１８８上に配置されている。また、計３つの受けプレート１８８に突設された３つの種別判別ピン１９１は、各受けプレート１８８に対しそれぞれ異なる位置に突設されており、後述するタンクユニット１７５の下面に形成された種別判別孔２３０と嵌合するよう構成されている。
【００８５】
下ホルダフレーム１８２の図示前面には、上記のカプラ取付部１７７が設けられており、カプラ取付部１７７は、機能液滴吐出ヘッド４側に機能液を供給する場合に、ヘッド側接続カプラ２０８を取り付けるものである。カプラ取付部１７７は、３つのタンクユニット１７５の並び方向に亘って延在するよう設けられると共に断面「Ｔ」字状の開口溝１９５を有する取付レール１９６と、開口溝１９５に収容され、並び方向にスライド自在に移動する方形状の複数の裏板ナット１９７と、を有している。各ヘッド側接続カプラ２０８を後述する連結板２０９を介して裏板ナット１９７にネジ止めすると、連結板２０９は傾斜した状態でカプラ取付部１７７に取り付けられ、これに伴い、各ヘッド側接続カプラ２０８は、その接続口が斜め上方に向くようになっている。なお、下ホルダフレーム１８２の下面には、ヘッド側接続カプラ２０８に接続されるヘッドユニット１のタンク側接続カプラ２８から延びた機能液供給チューブを保持する第２チューブホルダ１９８が設けられている。
【００８６】
また、図１３に示すように、タンクホルダ１７６の背板１８０には、各タンクユニット１７５の機能液の液位を検出する３つの液位検出センサ１９９と、載置される各タンクユニット１７５の有無および種別を検出する３つの種別検出センサ２００と、が設けられている。液位検出センサ１９９および種別検出センサ２００はフォトセンサで構成されている。
【００８７】
各タンクユニット１７５は、機能液を貯留する機能液タンク２０４と、機能液タンク２０４を支持するタンク架台２０５と、タンク架台２０５内部に収容され、一端を機能液タンク２０４に接続したタンク配管接続アッセンブリ２０６と、タンク配管接続アッセンブリ２０６の他端に接続された４つのヘッド側接続カプラ２０８および４つのヘッド側接続カプラ２０８を一体として保持する連結板２０９から成るカプラ手段２０７と、を備えている。各ヘッド側接続カプラ２０８は、タンク側接続カプラ２８と接続する部分がワンタッチ式となっており、タンク側接続カプラ２８には、離脱時に流路を自動閉塞する閉塞機構が組み込まれている。連結板２０９は、方形状に形成され、連結板２０９の長辺方向に各ヘッド側接続カプラ２０８が並ぶよう、各ヘッド側接続カプラ２０８の基端部を保持している。つまり、４つのヘッド側接続カプラ２０８は、連結板２０９に対し、直交した状態で保持されている。
【００８８】
機能液タンク２０４は、上面を開放した箱状のタンク本体２１３と、タンク本体２１３の上面を覆うタンク蓋体２１４と、タンク本体２１３内に配管接続され、タンク蓋体２１４に設けられた大気開放弁２１５と、大気開放弁２１５に接続されエアーフィルタ２１６と、タンク本体２１３内に配管接続され、機能液を注入するための注入カプラ２１７と、を有している。注入カプラ２１７を介して、タンク本体２１３内に機能液を注入すると、タンク本体２１３のエアーが、大気開放弁２１５およびエアーフィルタ２１６を介して機能液タンク２０４外部に排気される。また、タンク本体２１３内の機能液が消費されると、エアーフィルタ２１６および大気開放弁２１５を介して、エアーがタンク本体２１３内に取り込まれる。このとき、エアーフィルタ２１６を介しているため、機能液タンク２０４外部の塵埃等がタンク本体２１３内に混入することが無い。
【００８９】
タンク本体２１３には、その背面側に液位検出センサ１９９による液位を検出するための液位被検出部２２０が設けられ、液位被検出部２２０は、タンク本体２１３の上部から下部へ連通するチューブ状の流路であり、液位被検出部２２０は、液位検出センサ１９９による光検出を行なうべく透明となっている。また、タンク本体２１３には、その下部に機能液を上記のタンク配管接続アッセンブリ２０６へ供給する４つの機能液供給口２２１と、その上部にエアーを上記のタンク配管接続アッセンブリ２０６へ供給する４つの大気開放口２２２と、が形成されている（図１４参照）。
【００９０】
タンク蓋体２１４の上面には、タンクユニット１７５を取り扱うための取手部２２３が形成されており、作業者が、この取手部２２３を把持して、タンクユニット１７５を着脱すると共に、タンクユニット１７５の持ち運びを行なう。
【００９１】
タンク架台２０５は、上記の機能液タンク２０４がネジ止め固定された方形状の上板２２５と、上記の受けプレート１８８に載置される方形状の下板２２６と、上板２２５と下板２２６との間に介設された４本の支持部材２２７と、で長方体状に構成され、上板２２５には、その前面に立設した２本の支持部材２２７と、２本の支持部材２２７の上端部に固定したカプラセット部２２８と、が設けられている。カプラセット部２２８は、タンクユニット１７５を取り外す場合やタンクユニット１７５を持ち運ぶ際に、カプラ手段２０７を取り付けるものである。
【００９２】
下板２２６には、受けプレート１８８に突設された種別判別ピン１９１が嵌合する種別判別孔２３０が形成されており、各タンクユニット１７５毎に形成される位置が異なっている。つまり、上記の各受けプレート１８８に対し、対応するタンクユニット１７５のみしか載置することができない。これにより、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の機能液をそれぞれ貯留したタンクユニット１７５を、誤った受けプレート１８８上に載置することを防止することができる。また、下板２２６は、受けプレート１８８に対し、その前面の２箇所でユリアネジ２３３によりネジ止め固定されている。
【００９３】
カプラセット部２２８は、平面視「コ」字状に形成され、その２つの角部が上記の２本の支持部材２２７の上端部に固定されると共に、その内側には段付溝部２３４が形成されている。この段付溝部２３４は、上記の連結板２０９が嵌合するよう形成されており、この段付溝部２３４にセットした連結板２０９は、保持したヘッド側接続カプラ２０８の接続口を上方に向けてユリアネジ２３５によりネジ止め固定される。なお、ユリアネジ２３５を用いることで、連結板２０９のカプラセット部２２８への取付作業やタンクユニット１７５の受けプレート１８８への取付作業が工具レスで行えるようになっている。
【００９４】
図１３および図１４に示すように、タンク配管接続アッセンブリ２０６は、タンク架台２０５内部に収容されており、一方を上記した４つの機能液供給口２２１および４つの大気開放口２２２に接続すると共に、他方を４つのヘッド側接続カプラ２０８に接続する４つの切替バルブ２３６と、各切替バルブ２３６と各ヘッド側接続カプラ２０８との間に介設した４つの機能液フィルタ２３７と、を有している。各機能液フィルタ２３７は、機能液に混入した異物を除去するために設けられている。各切替バルブ２３６は、三方電磁弁で構成され、機能液供給口２２１と切替バルブ２３６との間の機能液供給流路と、大気開放口２２２と切替バルブ２３６との間の大気開放流路と、を相互に切替えることが可能となっている。つまり、吐出検査装置５５の動作状態においては、機能液滴吐出ヘッド４に機能液を供給すべく、切替バルブ２３６は、機能液供給流路に切替える一方、機能液滴吐出ヘッド４およびこれに到る管路内の機能液を排出する場合は、切替バルブ２３６を大気開放流路に切替える。
【００９５】
ここで、タンクユニット１７５をタンクホルダ１７６に着脱する一連の動作について説明する。先ず、作業者はタンクユニット１７５の取手部２２３を把持した状態で、タンクユニット１７５の下面を４つのタンク位置決め部材１９０および種別判別ピン１９１に合わせてセットした後、タンクユニット１７５の下板を受けプレート１８８にユリアネジ２３３によりネジ止め固定する。次に、カプラセット部２２８に取り付けられた連結板２０９を取り外して、カプラ取付部１７７に取り付ける。そして、このヘッド側接続カプラ２０８にタンク側接続カプラ２８を接続する。
【００９６】
一方、タンクユニット１７５を取り外す際は、上記と逆の手順を行なう。すなわち、ヘッド側接続カプラ２０８からタンク側接続カプラ２８を引き抜いた後、カプラ取付部１７７に取り付けられた連結板２０９を取り外して、カプラセット部２２８に取り付ける。そして、受けプレート１８８にネジ止め固定された下板２２６を固定解除し、取手部２２３を把持して、タンクユニット１７５を取り外す。なお、ヘッド側接続カプラ２０８は、自動閉塞となっているため、タンク側接続カプラ２８の引き抜き時に、液垂れすることが無い。
【００９７】
次に、図１５ないし図１８を参照して、フラッシングユニット７４について説明する。フラッシングユニット７４は、各機能液滴吐出ヘッド４から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、ヘッドユニット１が、定期的にフラッシングを行うことで、機能液滴の吐出状態を安定させ、この状態で、ヘッドユニット１の吐出検査を行なうよう構成されている。また、このフラッシングユニット７４では、機能液滴吐出ヘッド４から吐出される機能液の重量をノズル列毎に測定する重量測定機能を有している。
【００９８】
フラッシングユニット７４は、１つの機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受ける容器２４０および容器２４０内の機能液の重量を測定する電子天秤２４１から成る重量測定ユニット２４２と、容器２４０の周囲に配設され、容器２４０への吐出の際に他の機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受けると共に、いわゆる定期フラッシングを受けるフラッシングボックス２４３と、これらを支持する支持フレーム２４４と、支持フレーム２４４を昇降自在に載置する昇降テーブル２４５と、昇降テーブル２４５をＹ軸方向に移動させる移動テーブル２４６と、を有している。また、フラッシングユニット７４は、フラッシングボックス２４３内に吐出された機能液を吸引する機能液吸引手段２４７を有しており、吸引された機能液は、後述するメンテナンス装置５９に設けたフラッシング廃液タンク２４８に排出される。
【００９９】
移動テーブル２４６は、Ｙ軸テーブル７０とメンテナンス装置５９との間の石定盤５７上に配設されており、重量測定ユニット２４２とフラッシングボックス２４３とをＹ軸方向に移動させる。つまり、移動テーブル２４６とＸ軸テーブル７１との協働により、ヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド４における任意のノズル列に、容器２４０を臨ませる構成となっている。なお、定期フラッシングの場合には、各機能液滴吐出ヘッド４は容器２４０から外れてフラッシングボックス２４３上に臨む。また、昇降テーブル２４５は、上記のヘッド高測定器９５により設定されたヘッドユニット１の高さに合わせて、重量測定ユニット２４２およびフラッシングボックス２４３の高さを調整するものである。
【０１００】
支持フレーム２４４は、昇降テーブル２４５上に固定された下支持プレート２５０と、下支持プレート２５０の四隅から立設した４本の支持部材２５２と、４本の支持部材２５２の上端部に固定された上支持プレート２５１と、で長方体状に構成されている。下支持プレート２５０上には、上記の電子天秤２４１が配設されており、一方、上支持プレート２５１上には、フラッシングボックス２４３が配設されている。
【０１０１】
図１５および図１６に示すように、上支持プレート２５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッドのレイアウトに対応して、略平行四辺形状に形成された上プレート本体２５４と、上プレート本体２５４の中央に貫通形成され、容器２４０を収容するための第１容器収容孔２５５と、上プレート本体２５４の図示上下両側に突設され、上支持プレート２５１に対し上記のフラッシングボックス２４３を位置決めする一対のボックス位置決めピン２５６と、上プレート本体２５４の表面に貫通形成された多数のプレート側吸引孔２５７と、を有している。また、上プレート本体２５４の裏面には、各プレート側吸引孔２５７に接続される複数の吸引継手２５８が設けられ、上プレート本体２５４の表面には、機能液を吸収する孔用吸収材２５９が各プレート側吸引孔２５７を覆うように配設されると共に、孔用押さえ板２６０により孔用吸収材２５９の周縁部が押さえ込まれている。さらに、上プレート本体２５４の表面上には、各プレート側吸引孔２５７を囲むようにシール用のＯリング２６１が配設されている。
【０１０２】
フラッシングボックス２４３は、上支持プレート２５１上に載置されるフラッシングトレイ２６４と、フラッシングトレイ２６４上に千鳥状に配設された８つの吸収材２６５と、各吸収材２６５の周縁部を押さえる８つの吸収材押え２６６と、を有している。
【０１０３】
フラッシングトレイ２６４には、千鳥状に配設される８つの吸収材２６５に対応する位置に、吸収材２６５に吸収された機能液を吸引するための８つのエアー室２６７が形成されている。このエアー室２６７の底部には、トレイ側吸引孔２６８が貫通形成されており、上記のプレート側吸引孔２５７とＯリング２６１を介して連通するよう構成されている。また、フラッシングトレイ２６４には、上支持プレート２５１の一対のボックス位置決めピン２５６に嵌合する一対のボックス位置決め孔２６９が形成されると共に、フラッシングトレイ２６４の中央に貫通形成され、容器２４０を収容するための第２容器収容孔２７０が形成されている。
【０１０４】
各吸収材２６５は、各６個の機能液滴吐出ヘッド４に対応する大きさに形成されており、各吸収材押え２６６は、四周枠状に形成され、各吸収材２６５の周縁部を押えつつ、フラッシングトレイ２６４に着脱自在にネジ止め固定される。
【０１０５】
機能液吸引手段２４７は、フラッシング廃液タンク２４８内に接続された図外のイジェクター２７５で構成されており、フラッシング廃液タンク２４８の上部に配管接続されたフラッシング吸引カプラ２７６と、上支持プレート２５１の複数の吸引継手２５８とがマニホールド２７７を介して配管接続されている（図１７参照）。
【０１０６】
容器２４０は、上記の第１容器収容孔２５５および第２容器収容孔２７０に臨むよう電子天秤２４１上に配設されている。容器２４０には、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の機能液をそれぞれ受ける３つ機能液受け部２７８が形成されており、この各機能液受け部２７８は、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面５１に対応する大きさを有し、直上部に臨んだ機能液滴吐出ヘッド４からは、ノズル列単位で機能液滴が吐出される。
【０１０７】
電子天秤２４１は、上記の容器２４０に吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、振動の影響を受けないよう防振パッド上に設置されている。
【０１０８】
以下、図１８を参照して、機能液滴の重量測定を行なう一連の動作について説明する。移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４の一方のノズル列を、液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませる。なお、図１８（ａ）〜（ｄ）は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の内、コーナーにある４つの機能液滴吐出ヘッド４をそれぞれ容器２４０に臨ませた上面図である。この後、機能液滴吐出ヘッド４からノズル列単位で機能液滴を吐出し、電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する。このとき、１の機能液滴吐出ヘッド４における隣接したノズル列には、いわゆる微振動波形が印加され、メニスカスが維持される。また、測定していない他の機能液滴吐出ヘッド４からも機能液滴を吐出させ、フラッシングを行っている。次に、他方のノズル列を液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませ、上記と同様に電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する。そして、他の機能液滴吐出ヘッド４の機能液滴の重量測定を行う場合は、移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４を容器に臨ませる。なお、フラッシングのみを行う場合は、図１８（ｅ）に示すように、第２容器収容孔２７０を挟む一対の吸収材２６５に機能液滴を吐出する。その際、移動テーブル２４６はホーム位置に臨んでいる。
【０１０９】
次に、図１９を参照して、Ｘ軸テーブル７１上を移動するカメラユニット７５について説明する。カメラユニット７５は、一対の走行レールに掛け渡されたカメラキャリッジフレーム１６５と、カメラキャリッジフレーム１６５に垂設されたカメラ支持フレーム２４４と、カメラ支持フレーム２４４に取り付けられ、Ｘ軸方向に隣接する２台の撮像カメラ２８２と、を有しており、２台の撮像カメラ２８２は、上記のアライメントマスク１０６および２枚の検査シートＳを撮像する。この場合、２台の撮像カメラ２８２は、重量バランスを考慮し、Ｘ軸方向において、微調整機構等が逆向きに搭載されている。また、各撮像カメラ２８２は、キャリブレーションを考慮し、マイクロヘッド等の微調整機構によりＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に微調整することが可能となっている。
【０１１０】
図２０に示すように、カメラユニット７５がアライメントマスク１０６および検査シートＳを撮像する場合、先ず、図示下側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の上側のノズル列にあたる着弾位置を、図示左側から図示右側へ移動して撮像する（実際には、着弾ドット数個単位）。図示右側まで移動しきった後、図示下側へ移動し、下側のノズル列にあたる着弾位置を図示右側から図示左側へ移動して撮像する。１の機能液滴吐出ヘッド４の撮像が終了すると、今度は、その上側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の着弾位置を撮像し、これを６回繰り返すことで、２台の撮像カメラ２８２により、アライメントマスク１０６の全ての着弾基準マーク１４１を撮像する。また、全く同じ手順で、カメラユニット７５は、検査シートＳに着弾した全ての機能液滴の実着弾位置を撮像する。すなわち、アライメントマスク１０６の撮像手順と、検査シートＳの撮像手順とを全く同一とし、手順の相違に基づく誤差を生じないよう配慮されている。なお、これらの移動は、相対的なものであり、Ｘ軸テーブル７１と、第２Ｙ軸テーブル８０とで行なわれている。また、実際の動作では、アライメントマスク１０６の撮像、機能液滴吐出ヘッド４による検査吐出、検査シートＳの撮像の手順となる。そして、検査吐出は、ヘッドユニット１を停止させた状態で行なわれる。すなわち、アライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１の配置パターンと、実着弾位置の配置パターンとは、同一となる。
【０１１１】
次に、図５を参照して、メンテナンス装置５９について説明する。メンテナンス装置５９は、ワイピング装置６１と、吸引装置６０と、これらをＹ軸方向に移動させるサブテーブル２８４と、を備え、サブテーブル２８４は、これらをＹ軸方向に移動させ、処理に応じた１の装置をメンテナンスエリアに臨ませる。また、図示では一部省略したが、サブテーブル２８４上には、上記のフラッシング廃液タンク２４８と、吸引廃液タンク３１４と、後述する３つの洗浄液タンク３００と、３種類の機能液メインタンク３１２と、が配設されている。
【０１１２】
図２１に示すように、ワイピング装置６１は、ベースとなるベースフレーム２８５と、ワイピングシート２８７をロール状に巻回した繰出しリール２８６と、繰出しリール２８６から繰り出されたワイピングシート２８７を巻き取る巻取りリール２８８と、両リール２８６、２８８間に掛け渡されたワイピングシート２８７を、図外のエアーシリンダにより上下動して複数の機能液滴吐出ヘッド４に押し付ける押圧ローラ２８９と、押圧ローラ２８９と繰出しリール２８６との間に掛け渡されたワイピングシート２８７に、洗浄液を噴き付ける噴霧ユニット２９０と、押圧ローラ２８９と巻取りリール２８８との間に掛け渡されたワイピングシート２８７に臨み、ワイピングシート２８７の送り量を検出する送り量検出ユニット２９１と、を有しており、これら全体がカバーボックス２９２により覆われている。
【０１１３】
カバーボックス２９２は、箱状に形成されており、その上面には、ワイプ開口２９５が形成されている。このため、ワイピングシート２８７は、押圧ローラ２８９により、ワイプ開口２９５から上方に出没自在となるよう構成されている。
【０１１４】
繰出しリール２８６は、ロール状に巻回したワイピングシート２８７を適宜繰出すようになっており、その軸部には、繰り出されてゆくワイピングシート２８７に対しバックテンションを付与するテンション付与機構が組み込まれている。このため、ワイピングシート２８７は、弛みを生ずることなく繰出しリール２８６から繰り出されてゆく。また、巻取りリール２８８は、減速ギア列等を介して駆動モータにより回転自在に構成されており、送り量検出ユニット２９１の検出結果に基づいて、送り量を制御しながらワイピングシート２８７を巻き取ってゆく。
【０１１５】
繰出しリール２８６に巻回されたワイピングシート２８７は、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維を用いて布状に構成されており、６個（１列分）の機能液滴吐出ヘッド４を一括に払拭可能な幅に形成されている。
【０１１６】
送り量検出ユニット２９１は、スリット円板２９６が軸着された送り量検出ローラ２９７と、送り量検出ローラ２９７と共にワイピングシート２８７を挟み込むガイドローラ２９８と、送り量検出ローラ２９７のスリット円板２９６に臨むフォトインタラプタ２９９と、を有している。ワイピングシート２８７の移動量は、回転するスリット円板２９６を介してフォトインタラプタ２９９により検出され、制御コンピュータに出力される。
【０１１７】
図２２に示すように、噴霧ユニット２９０は、図外の３つの洗浄液タンク３００と、これに供給チューブを介して連なりワイピングシート２８７に洗浄液を噴き付ける３つの噴霧ノズル３０１とを有しており、各噴霧ノズル３０１は、ワイピングシート２８７に対し、上下に長い楕円形に洗浄液を噴き付ける。この場合、各噴霧ノズル３０１は、ロッドドレスシリンダやリードねじ付モータにより横方向に走査可能な構造となっており、ワイピングシート２８７の幅方向いっぱいに、且つ選択的に洗浄液を噴霧することが可能な構成となっている。なお、洗浄液としては揮発性を有するものが好ましく、ワイピングシート２８７を押圧ローラ２８９の部分に送り込む直前に噴き付けられる。
【０１１８】
次に、図２３ないし図２８を参照して、吸引装置６０について説明する。吸引装置６０は、サブテーブル２８４上に配置され、キャップ部本体３０５と吸引部本体３０６とから成る吸引装置本体３０７と、吸引部本体３０６に着脱される吸引付帯ユニット３０８と、キャップ部本体３０５に着脱自在に装着されるキャップユニット３０９と、を有している。この吸引装置６０は、ヘッドユニット１の機能液の吸引を行なうと共に、除材装置として用いられている。吸引部本体３０６は、上面を開放した薄型箱状に形成され、その図示左側には、吸引廃液タンク３１４の密閉蓋を置くための円筒状のフタ置き３１０が立設している。
【０１１９】
吸引付帯ユニット３０８は、付帯支持フレーム２４４と、上記の吸引廃液タンク３１４と、３個の色別バルブ３１５と、１２個の個別バルブ３１６と、各区間を配管接続する吸引チューブ３１７と、を有しており、付帯支持フレーム２４４内に、３個の色別バルブ３１５および１２個の個別バルブ３１６が収容されている（図１７参照）。
【０１２０】
付帯支持フレーム２４４は、方形状の付帯ベースプレート３２０と、付帯ベースプレート３２０の上方に位置した付帯中間プレート３２１と、付帯中間プレート３２１の上方に位置した付帯上方プレート３２２と、これらを支持する複数の支持部材３２４と、を有しており、付帯ベースプレート３２０の図示左側には、吸引廃液タンク３１４が配置されている。付帯上方プレート３２２には、左右一対の付帯取手部３２５が設けられており、この付帯取手部３２５を把持して、吸引付帯ユニット３０８を着脱自在に装着する構成となっている。また、付帯ベースプレート３２０には、吸引付帯ユニット３０８を吸引部本体３０６にネジ止め固定するユリアネジ３２６が設けられている。付帯中間プレート３２１には、上記の１２個の個別バルブ３１６および３つの色別バルブ３１５が固定されており、３つの色別バルブ３１５は、吸引チューブ３１７を介して吸引廃液タンク３１４に接続されている。吸引廃液タンク３１４には、上記のフラッシングユニット７４と同一のイジェクター２７５が接続されており、このイジェクター２７５により、吸引廃液タンク３１４を介して吸引を行なっている（図１７参照）。
【０１２１】
キャップ部本体３０５は、キャップユニット３０９を昇降させるキャップ昇降手段、吸引装置に臨むヘッドユニット１を支持するヘッドユニット支持手段、および吸引装置にヘッドユニット１が臨む際、ヘッドユニット１が受ける衝撃を吸収する衝撃吸収手段を有した本体ユニット３２７と、本体ユニット３２７上に取り付けられるキャップ取付プレート３２８と、を備えている。
【０１２２】
図２４および図２５に示すように、本体ユニット３２７は、キャップベース部３３０と、キャップベース部３３０上の図示中央側に立設した断面逆「Ｔ」字状のキャップフレーム３３１と、キャップフレーム３３１に対し昇降自在に添設された断面逆「Ｌ」字状のキャップスライド部３３２と、キャップスライド部３３２を昇降させるためのギアードモータ３３３と、を備えており、これらがキャップ昇降手段を構成している。また、本体ユニット３２７は、キャップベース部３３０上の図示左右両側に配設された一対のエアーシリンダ３３５と、一対のエアーシリンダ３３５上に設けられた枠状の支柱支持プレート３３６と、支柱支持プレート３３６の四隅に立設した４本の支柱３３７と、キャップフレーム３３１の背面側に取り付けられた３つのリブ部３３８と、３つのリブ部３３８の上端面に固定され、片持ちで支持された枠状の支柱ガイドプレート３３９と、支柱ガイドプレート３３９の四隅に垂設した４つの支柱ガイド部３４０と、を備えており、これらがヘッドユニット支持手段および衝撃吸収手段を構成している。
【０１２３】
キャップフレーム３３１は、その上端部中央から水平方向に突出したモータ支持プレート３４１を有しており、このモータ支持プレート３４１に、押上棒３４２を上方に突出させた状態で上記のギアードモータ３３３が垂設されている。ギアードモータ３３３は、キャップスライド部３３２を介してキャップユニット３０９を、キャッピング位置と待機位置との間で昇降自在に移動させるものであり、キャップユニット３０９の定常位置はキャッピング位置となっている。つまり、ヘッドユニット１の機能液を吸引する場合は、キャップユニット３０９をキャッピング位置に維持しつつ、ヘッドユニット１を除材する場合は、キャップユニット３０９を待機位置に下降させる。
【０１２４】
キャップスライド部３３２は、正面視枠状に形成されたスライドフレーム３４５と、キャップ取付プレート３２８を載置する載置プレート３４６とで、断面逆「Ｌ」字状に一体形成されており、スライドフレーム３４５の左右辺部とキャップフレーム３３１の上端部との間には、左右一対のリニアスライダ３４７が設けられている。載置プレート３４６上には、その四隅にプレート位置決めピン３４８が突設され、載置プレート３４６の中央前部の直下に上記のギアードモータ３３３が臨んでいる。
【０１２５】
一対のエアーシリンダ３３５は、いわゆるショックアブソーバであり、４本の支柱３３７に載置したときのヘッドユニット１の衝撃を吸収するものである。各エアーシリンダ３３５の上部には、上記の支柱支持プレート３３６と連結するための連結金具３５０が設けられており、この連結金具３５０を介して、各エアーシリンダ３３５と支柱支持プレート３３６とが連結される。つまり、支柱支持プレート３３６は、衝撃を吸収すべく昇降自在に移動する。
【０１２６】
各支柱３３７は、円柱状に形成され、その下端部は支柱支持プレート３３６にネジ止め固定されている。４本の支柱３３７のうち対角線上の２本の支柱３３７の上端面には、セットされるヘッドユニット１の位置決めをする２つのヘッド位置決めピン３５１が設けられている。
【０１２７】
支柱ガイドプレート３３９は、上記したように、３つのリブ部３３８の上端面に片持ち状態で支持されている。つまり、昇降自在に移動する支柱支持プレート３３６に対し、支柱ガイドプレート３３９は、その位置に留まるよう構成されている。支柱ガイドプレート３３９に設けられた各支柱ガイド部３４０は、いわゆるリニアブッシュであり、内径が支柱の外径よりも僅かに大きく形成された円筒状のガイド本体３５３と、ガイド本体の上端部に設けられ、支柱ガイドプレート３３９に固定されるガイド固定部３５４と、を有しており、各支柱３３７を上下方向にスライド自在にガイドしている。なお、支柱ガイドプレート３３９の側面には、載置されるヘッドユニット１の有無を検出する近接センサ３５５が設けられている。
【０１２８】
図２６に示すように、キャップ取付プレート３２８は、上記の載置プレート３４６上に載置される取付ベースプレート３５８と、取付ベースプレート３５８に垂設された左右一対のエアーシリンダ３５９と、左右一対のエアーシリンダ３５９の上部に当接する取付中間プレート３６０と、取付中間プレート３６０と取付ベースプレート３５８との間に介設された４つの圧縮バネ３６１と、取付中間プレート３６０上に載置されたドレンパン３６４と、取付中間プレート３６０およびドレンパン３６４を介して、下端部を取付ベースプレート３５８に固定した４つのシャフト３６２と、４つのシャフト３６２のうち左側および右側に設けた２本のシャフト３６２の上端部に固定した左右一対のキャップ固定プレート３６３と、を備えている。
【０１２９】
取付ベースプレート３５８は、載置プレート３４６上に突設された４つのプレート位置決めピン３４８に嵌合する４つのプレート嵌合孔３６５と、４本の支柱３３７を挿通するための４つのベース挿通孔３６６と、が形成されており、４本の支柱３３７を挿通させ、位置決めした状態で、載置プレート３４６上にネジ止め固定される。
【０１３０】
取付中間プレート３６０は、その両端部に各エアーシリンダ３５９のプランジャおよび各圧縮バネ３６１が当接しており、エアーシリンダ３５９を介して取付中間プレート３６０に取り付けられたドレンパン３６４を下方に移動させると共に、下方に移動したドレンパン３６４を圧縮バネ３６１により再び元の位置へ戻す。また、取付ベースプレート３５８と同様に、取付中間プレート３６０にも、４本の支柱３３７を挿通するための４つの中間挿通孔３６７が形成されている。また、取付中間プレート３６０には、上記した４つのシャフト３６２をガイドする４つのシャフトガイド部（リニアブッシュ）３６８が配設されている。
【０１３１】
ドレンパン３６４は、上面を開放した薄型箱状に形成されており、その底板には、図示上下方向に亘って突出した左右一対の取付板３７０が形成されている。また、ドレンパン３６４には、上記の４本のシャフト３６２および４本の支柱３３７を挿通するドレンパン挿通孔３７１が形成され、このドレンパン挿通孔３７１を囲むよう周囲壁３７２が形成されている。また、ドレンパン３６４上には、キャップユニット３０９に設けられた大気開放弁３９６を開放するための６個の爪片３７５を有する大気開放プレート３７６が、左右一対の取付板３７０に掛け渡して上下方向に２つ並べてセットされる。
【０１３２】
各大気開放プレート３７６は、方形状の開放プレート本体３８０と、開放プレート本体３８０上に設けた６つの爪片３７５と、開放プレート本体３８０の両側に形成された左右一対の長孔３８１と、長孔３８１を介して取付板３７０に開放プレート本体３８０をスライド自在に取り付けるユリアネジ３８２と、開放プレート本体３８０をスライド方向に操作する操作ピン３８３と、を備えている。左右一対の取付板３７０に取り付けられた大気開放プレート３７６を、ユリアネジ３８２を緩めて、操作ピン３８３により、外側へスライド移動させることで、後述するキャップユニット３０９に設けられた大気開放弁３９６に係合させる。そして、ドレンパン３６４を引き下げることで、キャップユニット３０９の大気開放弁３９６が開放されると共に、ドレンパン３６４を元の位置に戻すことで、大気開放弁３９６を閉塞する構成となっている。
【０１３３】
各キャップ固定プレート３６３は、その上面にキャップユニット３０９を位置決めするキャップ位置決めピン３８５が設けられており、このキャップ位置決めピン３８５に後述するキャップユニット３０９のキャップ位置決め孔３９１を嵌合させることで、キャップユニット３０９を位置決めする。
【０１３４】
図２７に示すように、キャップユニット３０９は、ヘッドユニット１に搭載された各機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングする１２個のヘッドキャップ３８７と、１２個のヘッドキャップ３８７を保持するホルダープレート３８８と、を備えており、キャップユニット３０９は、その両端部を、上記の一対のキャップ固定プレート３６３に取り付けられている。
【０１３５】
ホルダープレート３８８は、十字状に形成されており、その図示上下方向に亘って、１２個のヘッドキャップ３８７が各機能液滴吐出ヘッド４に対応するよう配設されている。ホルダープレート３８８の左右両側には、大気開放プレート３７６のユリアネジ３８２および操作ピン３８３が臨む左右一対の操作開口３８９が形成され、各操作開口３８９の近傍には、上記の４本の支柱３３７を挿通するための２つのホルダ挿通孔３９０が、それぞれ形成されている。また、２つのホルダ挿通孔３９０の間には、上記のキャップ位置決めピン３８５が嵌合するキャップ位置決め孔３９１が形成されている。
【０１３６】
図２８に示すように、各ヘッドキャップ３８７は、各機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングすると共に、キャッピングした機能液滴吐出ヘッド４から機能液を吸引すべく、機能液吸引流路３９５が形成され、この機能液吸引流路３９５に、上記の吸引付帯ユニット３０８の吸引チューブが配管接続されている。また、ヘッドキャップ３８７には、吸引した機能液を、適宜機能液吸引流路３９５に流し込むための大気開放弁３９６が設けられており、この大気開放弁３９６は上記した大気開放プレート３７６の爪片３７５により引き下げられて、大気開放される。なお、キャップユニット３０９は、ヘッドユニット１の機種にあわせて、複数種用意され、キャップ部本体３０５に簡単に付け替えることが可能となっている。
【０１３７】
メインキャリッジ７２を吸引装置６０の直上位置からキャッピング位置へ下降させてヘッドユニット１に形成された４つのセット孔２２を、吸引装置６０の４本の支柱３３７に対応させてセットすると、その衝撃は、４本の支柱３３７を介してエアーシリンダ３３５により吸収されると共に、ヘッドユニット１は４本の支柱３３７に設けたヘッド位置決めピン３５１に位置決めされ、これに支持される。また、各機能液滴吐出ヘッド４は、キャップユニット３０９の各ヘッドキャップ３８７にキャッピングされる。なお、各ヘッドキャップ３８７内部には、クッションバネが設けられており、各機能液滴吐出ヘッド４の衝撃を吸収している。そして、イジェクター２７５によりヘッドキャップ３８７から機能液滴吐出ヘッド４内の機能液を吸引して、吸引した機能液を吸引廃液タンク３１４へ排出する。一方、ヘッドユニット１を除材する場合は、キャップユニット３０９を待機位置に移動させて、メインキャリッジ７２からヘッドユニット１を取り外す。すなわち、キャッピング位置は、除材位置となっている。
【０１３８】
次に、図２９および図３０を参照して、給材装置６２について説明する。給材装置６２は、柱状ベース部４０１と、柱状ベース部４０１の上部に配設したエアーシリンダ４０２と、エアーシリンダ４０２の上部に配設したドレンパン４００と、ドレンパン４００の上部に配設し、ヘッドユニット１がセットされるヘッドユニット保持部４０３と、を有している。エアーシリンダ４０２は、セットされるヘッドユニット１の衝撃を吸収するものである。
【０１３９】
ヘッドユニット保持部４０３は、断面「Ｕ」字状の保持台４０４と、保持台４０４上に固定された平面視「Ｈ」字状の保持プレート４０５と、保持プレート４０５上に取り付けられた上記のキャップユニット３０９と、保持プレート４０５上に立設した４本の保持柱４０６と、保持プレート４０５の下面に取り付けた大小２枚のガイドプレート４０７と、大小２枚のガイドプレート４０７上に立設した３つの載込みガイド４０８と、を有している。また、保持プレート４０５には、ヘッドユニット１の有無を検出する近接センサが設けられている。
【０１４０】
４つの保持柱４０６のうち、対角線上の２本の保持柱４０６の上端面には、ヘッドユニット１を位置決めするヘッド位置決めピン３５１が突設され、また、各保持柱４０６の上端部には、ヘッドユニット１のヘッドユニット保持部４０３への装着向きを対応させるためのヘッド装着ガイド部４１０が形成されている。つまり、ヘッドユニット１の４つのセット孔２２に対し、異なる装着向き（例えば、左右反対）で、ヘッドユニット保持部４０３の４つの保持柱４０６にセットされると、各セット孔２２と各保持柱４０６とが嵌合しないため、誤った装着向きであることを作業者が認識することができる。
【０１４１】
この給材装置６２に、ヘッドユニット１をセットする場合は、作業者がヘッドユニット１を把持しつつ、３つの載込みガイド４０８に突き当て、これをガイドとして、４本の保持柱４０６をヘッドユニット１のセット孔２２に嵌入する。このとき、ヘッドユニット１が受ける衝撃は、エアーシリンダ４０２により吸収され、また、ヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド４は、キャップユニット３０９のヘッドキャップ３８７にキャッピングされる。
【０１４２】
ここで、装着したヘッドユニット１の吐出検査における吐出検査装置の一連の動作について説明する。先ず、ヘッドユニット１がセットされた給材装置６２およびメインキャリッジ７２をメンテナンスエリア上に臨ませ、この後、作業者はメインキャリッジ７２にヘッドユニット１を取り付ける。次に、メインキャリッジ７２をヘッド高測定器９５が設置されている場所まで移動させて、ヘッド高測定器９５によりヘッドユニット１の高さを測定すると共に、測定した高さに基づいてメインキャリッジ７２のＺ軸テーブルにより、ヘッドユニット１の高さ調整を行なう。この後、メインキャリッジ７２を再びメンテナンスエリアに臨ませると共に、吸引装置６０もメンテナンスエリアに臨ませる。そして、吸引装置６０により機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングして吸引を行い、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる。このとき、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる際は、先ず、強い吸引を行なって、ヘッド内流路に機能液を充填させ、この後、弱い吸引を行なって、ヘッド内流路に生じた気泡を排除するよう構成されている。機能液の充填後、今度は、メンテナンスエリアにワイピング装置６１を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面を拭き取る。
【０１４３】
次に、ヘッドユニット１をフラッシングエリアに臨ませて、ノズル列毎に吐出される機能液滴の重量を測定し、測定後、再びヘッドユニット１をメンテナンスエリアに臨ませる。この後、カメラユニット７５およびアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませ、カメラユニット７５によりアライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１を、２台の撮像カメラ２８２により取り込む。
【０１４４】
次に、カメラユニット７５を退避させ、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、Ｙ軸テーブル７０によりアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませる。そして、２台のアンダーカメラ９１の撮像結果に基づいて、ヘッドユニット１の基準マークとアライメントマスク１０６のヘッド基準マーク１４０とを、θテーブル１６７、Ｘ軸テーブル７１およびＹ軸テーブル７０の協働により位置合わせを行う。位置合わせが終了すると、ヘッドユニット１を一旦フラッシングエリアに臨ませてフラッシングを行い、この後、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、アライメントマスク１０６に代えて２枚の検査シートＳを処理エリアに臨ませ、この検査シートＳ上に機能液滴を吐出する。
【０１４５】
吐出後、ヘッドユニット１はメンテナンスエリアに臨み、吸引装置６０によりキャッピングされる。この後、カメラユニット７５により検査シートＳに着弾した機能液滴の着弾位置を撮像し、制御コンピュータにより、着弾基準マーク１４１の配置パターンと実際に着弾した機能液滴の実着弾位置の配置パターンとを比較して、着弾ズレが生じていないかを検査すると同時に、着弾した機能液滴の直径を画像認識し、機能液滴の直径から吐出ノズル５２の液滴吐出量が適切か否かを検査する。
【０１４６】
検査終了後、作業者が、再度ヘッドユニット１の検査を行なう必要があると判断した場合は、同様の上記の検査を繰り返し行ない、必要が無いと判断した場合は、キャップユニット３０９を待機位置に移動させて、メインキャリッジ７２からヘッドユニット１を取り外して除材を行なう。なお、ヘッドユニット１を給材装置６２にセットするタイミングは、メインキャリッジ７２にヘッドユニット１が取り付けられた直後が、好ましい。
【０１４７】
以上の構成によれば、タンクユニット１７５に、タンク側チューブに接続した状態のカプラ手段２０７を上向きにセットするためのカプラセット部２２８が設けられているため、タンクホルダ１７６から離脱させてタンクユニット１７５を搬入搬出する際に、ヘッド側チューブを外した後、カプラセット部２２８にカプラ手段２０７をセットすれば、或いはカプラセット部２２８にカプラ手段２０７をセットした後、ヘッド側チューブを外せば、タンクユニット１７５を良好に着脱することができる。すなわち、タンクユニット１７５を搬入搬出する際に、タンク側チューブやカプラ手段２０７がぶらつくことがなく、且つカプラ手段２０７から機能液が液だれすることがない。なお、本実施形態において、機能液タンク２０４は、大気開放としたが、機能液タンク２０４内の圧力を調整するようにしてもよい。これによれば、機能液滴吐出ヘッド４に対し機能液タンク２０４が高い位置に配されていても、圧力を調整することにより、機能液滴吐出ヘッド４に供給する機能液の圧力を適切に調整することができるため、機能液滴吐出ヘッド４の液滴吐出が不安定になることがない。
【０１４８】
次に、本実施形態の吐出検査装置５５を用いて良品とされたヘッドユニット１を組み込んだ液滴吐出装置に製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【０１４９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図３１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図３２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図３２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１５０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図３２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図３２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド４により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１５１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【０１５２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図３２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド４によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド４を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１５３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図３２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１５４】
図３３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図３２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１５５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１５６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図３３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１５７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１５８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１５９】
実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド４で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド４で行うことも可能である。
【０１６０】
図３４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１６１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１６２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１６３】
図３５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１６４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１６５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１６６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１６７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１６８】
次に、図３６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１６９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１７０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１７１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１７２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１７３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１７４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１７５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１７６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１７７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１７８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１７９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１８０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図３７〜図４５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図３７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１８１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図３８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図３９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１８２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド４を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１８３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、液滴吐出装置のセットテーブルに載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１８４】
図４０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド４から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図４１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１８５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１８６】
そして次に、図４２に示すように、各色のうちのいずれか（図４２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１８７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図４３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１８８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド４を用い、図４４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１８９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１９０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図４５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１９１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１９２】
次に、図４６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１９３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１９４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１９５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１９６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置のセットテーブルに載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド４により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１９７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１９８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド４から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１９９】
次に、図４７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０２００】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０２０１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０２０２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０２０３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。
【０２０４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図４８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図４８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０２０５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２０６】
【図１】ヘッドユニットの外観斜視図である。
【図２】ヘッドユニットの上面図および側面図である。
【図３】ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】内部に吐出検査装置を格納したチャンバ装置の外観斜視図である。
【図５】吐出検査装置の外観斜視図である。
【図６】Ｙ軸テーブルの外観斜視図である。
【図７】吸着テーブルの上面図および側面図である。
【図８】吸着テーブルの吸引系統図である。
【図９】アライメントテーブルの上面図および側面図である。
【図１０】アライメントマスクの上面模式図である。
【図１１】ヘッドユニットを搭載したキャリッジの正面図および側面図である。
【図１２】機能液供給ユニットの外観斜視図である。
【図１３】機能液供給ユニットの側面図である。
【図１４】タンクユニットおよびヘッドユニットの機能液の供給系統図である。
【図１５】フラッシングユニットの上面図および側面図である。
【図１６】フラッシングユニットのフラッシングトレイ周りの図である。
【図１７】フラッシング装置および吸引装置の機能液の吸引系統図である。
【図１８】機能液滴の重量測定の説明図および定期フラッシングの説明図である。
【図１９】カメラユニットの外観斜視図である。
【図２０】カメラユニットによるアライメントマスクの読み取り順を示す説明図である。
【図２１】ワイピングユニットの断面図である。
【図２２】噴霧ノズルを搭載したワイピングユニットの側面図である。
【図２３】キャップユニットおよび吸引付帯ユニットを取り外した吸引装置の外観模式図である。
【図２４】本体ユニットの外観斜視図である。
【図２５】本体ユニットの正面図、上面図および側面図である。
【図２６】キャップ取り付けプレートの上面図および側面図である。
【図２７】キャップユニットの外観斜視図である。
【図２８】ヘッドキャップの断面図である。
【図２９】給材装置の外観斜視図である。
【図３０】キャップユニットを取り外した給材装置の外観斜視図である。
【図３１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図３２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図３３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図３７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図３８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図３９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図４０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図４１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図４３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図４５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図４６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図４７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図４８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。面図である。
【符号の説明】
【０２０７】
１…ヘッドユニット ２…サブキャリッジ ４…機能液滴吐出ヘッド ５２…吐出ノズル ５５…吐出検査装置 ６０…吸引装置 ６１…ワイピング装置 ６２…給材装置 ７０…Ｙ軸テーブル ７１…Ｘ軸テーブル ７２…メインキャリッジ ７３…機能液供給ユニット ７４…フラッシングユニット ７５…カメラユニット ８０…第２Ｙ軸テーブル ８１…第１Ｙ軸テーブル １０５…アライメントテーブル １０６…アライメントマスク １０７…吸着テーブル Ｓ…検査シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、
機能液を貯留する機能液タンク、前記機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して前記機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して前記機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、
前記タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、
前記タンクホルダに設けられ、前記カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、
前記タンクユニットには、前記カプラ取付け部から外され且つ前記タンク側チューブに接続した状態の前記カプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられていることを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記ヘッド側チューブには、開閉バルブが介設されており、
前記カプラセット部は、前記開閉バルブより高い位置に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記カプラ手段は、前記ヘッド側チューブを外したときに内部流路を自動閉止する閉止機構を有していることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記カプラセット部は、前記タンク架台に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記カプラ手段は、前記カプラ取付け部に対し、前記機能液滴吐出ヘッド側を上向きに前記機能液タンク側を下向きにして取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記タンクユニットは、機能液を複数の前記機能液滴吐出ヘッドに供給するよう構成されており、
前記カプラ手段は、複数の前記機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続カプラと、前記複数の接続カプラを一体として保持する連結板と、で構成され、
前記連結板を介して前記カプラ取付け部に取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記カプラ手段は、前記カプラ取付け部に対し、前記複数の接続カプラの並び方向に位置調整可能にネジ止めされていることを特徴とする請求項６に記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記タンクユニットは、前記機能液タンクのタンク内圧力を調整する圧力調整手段、を更に有していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記機能液タンクは開放タンクで構成され、且つ前記ヘッド側チューブには減圧弁が介設されており、
前記機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記タンクホルダには、前記機能液タンクの液位を検出する液位検出センサが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
前記タンクホルダには、前記機能液タンクの有無および前記機能液タンクを介して前記機能液タンクの機能液の種別を検出する種別検出センサが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１２】
前記タンクホルダには、前記タンクセット部の下方に位置してドレンパンが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１３】
前記タンクユニットが複数設けられており、
前記タンクホルダは、複数の前記タンクユニットに対応してタンクセット部を複数有していることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１４】
複数の前記タンクユニットには、相互に異なる機能液が貯留されており、
前記各タンクセット部には、機能液の種別を判別する種別判別ピンが設けられ、
前記各タンクユニットには、前記種別判別ピンに嵌合する種別判別孔が設けられ、
前記種別判別ピンと前記種別判別孔とは、前記タンクセット部別および前記タンクユニット別に異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１３に記載の機能液供給装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の機能液供給装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の機能液供給装置と、
ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
前記描画手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルを有し、
前記機能液供給装置は、前記機能液滴吐出ヘッドと共に移動テーブルのスライダに搭載されていることを特徴とする請求項１６に記載の液滴吐出装置。
【請求項１８】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２０】
請求項１８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、
機能液を貯留する機能液タンク、前記機能液タンクを支持するタンク架台および一端をタンク側チューブを介して前記機能液タンクに接続され他端をヘッド側チューブを介して前記機能液滴吐出ヘッドに接続されるカプラ手段を有するタンクユニットと、
前記タンクユニットが着脱自在にセットされるタンクセット部を有するタンクホルダと、
前記タンクホルダに設けられ、前記カプラ手段が着脱自在に取り付けられるカプラ取付け部と、を備え、
前記タンクユニットには、前記カプラ取付け部から外され且つ前記タンク側チューブに接続した状態の前記カプラ手段を上向きにセットするための、カプラセット部が設けられていることを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記ヘッド側チューブには、開閉バルブが介設されており、
前記カプラセット部は、前記開閉バルブより高い位置に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記カプラ手段は、前記ヘッド側チューブを外したときに内部流路を自動閉止する閉止機構を有していることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記カプラセット部は、前記タンク架台に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記カプラ手段は、前記カプラ取付け部に対し、前記機能液滴吐出ヘッド側を上向きに前記機能液タンク側を下向きにして取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記タンクユニットは、機能液を複数の前記機能液滴吐出ヘッドに供給するよう構成されており、
前記カプラ手段は、複数の前記機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続カプラと、前記複数の接続カプラを一体として保持する連結板と、で構成され、
前記連結板を介して前記カプラ取付け部に取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記カプラ手段は、前記カプラ取付け部に対し、前記複数の接続カプラの並び方向に位置調整可能にネジ止めされていることを特徴とする請求項６に記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記タンクユニットは、前記機能液タンクのタンク内圧力を調整する圧力調整手段、を更に有していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記機能液タンクは開放タンクで構成され、且つ前記ヘッド側チューブには減圧弁が介設されており、
前記機能液タンクは、エアーフィルタを介して大気開放されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記タンクホルダには、前記機能液タンクの液位を検出する液位検出センサが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
前記タンクホルダには、前記機能液タンクの有無および前記機能液タンクを介して前記機能液タンクの機能液の種別を検出する種別検出センサが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１２】
前記タンクホルダには、前記タンクセット部の下方に位置してドレンパンが、設けられていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１３】
前記タンクユニットが複数設けられており、
前記タンクホルダは、複数の前記タンクユニットに対応してタンクセット部を複数有していることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１４】
複数の前記タンクユニットには、相互に異なる機能液が貯留されており、
前記各タンクセット部には、機能液の種別を判別する種別判別ピンが設けられ、
前記各タンクユニットには、前記種別判別ピンに嵌合する種別判別孔が設けられ、
前記種別判別ピンと前記種別判別孔とは、前記タンクセット部別および前記タンクユニット別に異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１３に記載の機能液供給装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の機能液供給装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の機能液供給装置と、
ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
前記描画手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルを有し、
前記機能液供給装置は、前記機能液滴吐出ヘッドと共に移動テーブルのスライダに搭載されていることを特徴とする請求項１６に記載の液滴吐出装置。
【請求項１８】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２０】
請求項１８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【図４３】
【図４４】
【図４５】
【図４６】
【図４７】
【図４８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【図４３】
【図４４】
【図４５】
【図４６】
【図４７】
【図４８】
【公開番号】特開２００８−１６８２４５（Ｐ２００８−１６８２４５Ａ）
【公開日】平成２０年７月２４日（２００８．７．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−５１６０（Ｐ２００７−５１６０）
【出願日】平成１９年１月１２日（２００７．１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年７月２４日（２００８．７．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１月１２日（２００７．１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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