浄化処理装置
【課題】浄化処理装置を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすると共に無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる浄化処理装置の提供。
【解決手段】汚染水が貯留された処理槽2内にオゾン含有ガスを供給して汚染水を浄化処理する。処理槽2内に区画壁25a,25b,25cによって鉛直方向に区画室30a,30b,30c,30dを区画形成する。最下段の区画室30dと外部とを連通する連通孔32を介して処理槽2内に汚染水を供給する。上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔32を介して下段の区画室から上段の区画室に汚染水を供給する。オゾン含有ガスを各区画室にそれぞれ供給しながら汚染水を各区画室でそれぞれ個別に水中ポンプ4,5,6,7により攪拌する。最上段の区画室30aから浄化処理後の処理水を処理槽2の外部に排出する。処理槽2内のガスをガス抜き管51を介し外部に排出する。
【解決手段】汚染水が貯留された処理槽2内にオゾン含有ガスを供給して汚染水を浄化処理する。処理槽2内に区画壁25a,25b,25cによって鉛直方向に区画室30a,30b,30c,30dを区画形成する。最下段の区画室30dと外部とを連通する連通孔32を介して処理槽2内に汚染水を供給する。上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔32を介して下段の区画室から上段の区画室に汚染水を供給する。オゾン含有ガスを各区画室にそれぞれ供給しながら汚染水を各区画室でそれぞれ個別に水中ポンプ4,5,6,7により攪拌する。最上段の区画室30aから浄化処理後の処理水を処理槽2の外部に排出する。処理槽2内のガスをガス抜き管51を介し外部に排出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の揮発性有機化合物（ｖｏＬａｔｉＬｅ ｏｒｇａｎｉｃ ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ 以下「ＶＯＣｓ」という。）からなる汚染物質が混入した汚染水を浄化するための浄化処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示されている従来の浄化処理装置においては、導入口より被処理水をオゾン接触槽内に導入し、オゾン発生装置より発生させたオゾンガスを、オゾン散気装置を経て前記オゾン接触槽内に導入する。被処理水とオゾンガスとを前記オゾン接触槽内で接触・混合することで反応が進行する。前記オゾン接触槽は３つのオゾン接触室を有し、これらのオゾン接触室でオゾン接触・混合を３段階で行っている。そして、被処理水は、オゾン接触槽を経たのち滞留槽内で一定時間滞留した後、排出口より系外に排出され、被処理水と未反応のオゾンガスは、被処理水の流れる経路から見て排出口に最も近いオゾン接触室の上部から排出管を介して排出され、排オゾン処理装置を経て系外に排出されるように構成されている。
【特許文献１】特許第３６９７９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の浄化処理装置は、３つのオゾン接触室を水平方向に並設しているので、その分、オゾン接触槽を設置する際に必要な床の面積が大きくなるという問題があった。
また、３つのオゾン接触室で隣り合うオゾン接触室同士の上部は連通路を介して互いに連通し、オゾン接触室の上部から排出管を介して排出されるので、被処理水と未反応のままオゾン接触室の上部に上昇したオゾンガスは、３つのオゾン接触室の全てにおいてそのまま排出管を介して排出されるため、被処理水と反応することなく無駄に排出されるオゾンガスの量が多いという問題もあった。
【０００４】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、浄化処理装置を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすると共に無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる浄化処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を達成するために、本発明に係る装置は、汚染水が貯留された処理槽内に、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを供給して前記汚染水を浄化処理するようにした浄化処理装置において、前記処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成し、前記複数の区画室のうち最下段の区画室と前記処理槽の外部とを連通する連通孔を介して前記処理槽内に汚染水を供給する一方、前記複数の区画室で上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔を介して前記下段の区画室から前記上段の区画室に汚染水を供給し、前記オゾン含有ガスをオゾン含有ガス供給装置により前記各区画室にそれぞれ供給しながら各区画室に貯留した汚染水を各区画室でそれぞれ個別に攪拌装置により攪拌し、前記各区画室のうち最上段の区画室から浄化処理後の処理水を前記処理槽の外部に排出し、前記処理槽の外部と前記最上段の区画室とを連通し処理槽内のガスを処理槽の外部に排出するガス抜き孔を処理槽の上部の殻壁に設けたものである。
【０００６】
請求項２に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項１に記載の浄化処理装置において、前記複数の区画室で上下方向で隣り合う区画室同士を、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、前記各区画室における、前記オゾン含有ガス供給装置による前記オゾン含有ガスの供給量と前記攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたことを特徴とするものとする。
【０００７】
請求項３に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項１または請求項２に記載の浄化処理装置において、前記攪拌装置は、前記区画室に供給された汚染水を吸引する吸引口とその吸引した汚染水を同区画室に吐出する吐出口とを備えたポンプからなり、前記ポンプは、前記各区画室に対応してそれぞれ個別に設けられ、前記各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの前記吸引口を、前記連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けたことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項４に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３に記載の浄化処理装置において、前記処理槽の処理槽本体を、該処理槽を設置したとき処理槽本体の軸芯が鉛直方向に沿うような円筒形状に形成し、前記複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、前記軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応して前記ポンプをそれぞれ設け、前記軸芯を囲むように設けられた各連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に前記各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付ける一方、これらのポンプの各吐出口を、前記少なくとも一つの区画室において前記軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項５に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３または請求項４に記載の浄化処理装置において、前記処理槽の外部から前記区画室に前記ポンプを配置可能なポンプ組付用開口を前記処理槽の殻壁に形成し、前記ポンプ組付用開口を蓋部材により液密に閉塞し、前記ポンプ組付用開口を閉塞したとき前記区画室に臨む前記蓋部材の底面部に前記ポンプを固定するようにしたことを特徴とするものとする。
【００１０】
請求項６に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項５に記載の浄化処理装置において、前記ポンプは、ポンプ部と該ポンプ部を駆動する電動モータとを備え、前記電動モータに電源を供給する電線と前記オゾン含有ガスを供給するガス管とを、前記蓋部材を貫通して前記処理槽の内外に亘って配索するようにしたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項７に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３ないし請求項６のうち何れか一つに記載の浄化処理装置において、前記オゾン含有ガス供給装置によって前記オゾン含有ガスを前記ポンプの吸引口内に供給するようにしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成したので、浄化処理装置を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすることができる。
また、鉛直方向に並ぶように複数の区画室を処理槽内に区画形成し、連通孔を介して処理槽内に汚染水を供給すると共に連通孔を介して区画室同士を連通し、オゾン含有ガスを各区画室にそれぞれ供給しながら攪拌する一方、最上段の区画室から浄化処理後の処理水を処理槽の外部に排出するようにしたので、最上段の区画室より下段の区画室に供給されたオゾン含有ガスで未反応のオゾン含有ガスは、それより上段の区画室で再び汚染水との反応に供されるため、未反応のまま無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる。
【００１３】
請求項２記載の発明によれば、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、各区画室におけるオゾン含有ガスの供給量と攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたので、区画室の容積に応じて適切な浄化処理が行われる。また、下段に位置する区画室でその容積に応じた前段階の浄化処理が行われ、ある程度、浄化処理された汚染水がそれより上段に位置する容積が小さい区画室でさらにその容積に応じた後段階の浄化処理が行われることによって、汚染水に対して浄化処理を均一に行うことができる。
【００１４】
請求項３記載の発明によれば、攪拌装置をポンプで構成してそのポンプを各区画室に対応してそれぞれ個別に設け、各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの吸引口を、連通孔の下流端の開口の近傍に位置付けたので、区画室にすでに貯留している汚染水とその区画室に連通孔の開口から供給される汚染水との双方をポンプが同時に吸引することで、それら双方の汚染水がポンプによって確実に攪拌され、汚染水中の汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００１５】
請求項４記載の発明によれば、処理槽の処理槽本体を円筒形状に形成し、複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、処理槽本体の軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応してポンプをそれぞれ設け、各連通孔の下流端となる開口の近傍に各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付け、これらのポンプの各吐出口を、処理槽本体の軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したので、区画室にすでに貯留している汚染水と区画室に連通孔の開口から供給される汚染水との双方を各ポンプが同時に吸引しながら同一の旋回方向に吐出することで、汚染水がポンプによって十分に攪拌されて汚染水中の汚染物質とオゾン含有ガスとが区画室で十分に接触し、汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００１６】
請求項５記載の発明によれば、処理槽の殻壁に形成したポンプ組付用開口を蓋部材で閉塞したとき区画室に臨む蓋部材の底面部にポンプを組み付けるようにしたので、処理槽のポンプ組付用開口を閉塞するように蓋部材を組み付けるだけで、処理槽の所望の位置にポンプを配設することができる。
【００１７】
請求項６記載の発明によれば、電動モータに電源を供給する電線とオゾン含有ガスを供給するガス管とを、蓋部材を貫通して処理槽の内外を配索するようにしたので、電線とガス管とを予め蓋部材を貫通して配索しておけば、処理槽のポンプ組付用開口部に蓋部材を組み付けるだけで電線とガス管とを処理槽の内外に亘って容易に配索することができる。
【００１８】
請求項７記載の発明によれば、オゾン含有ガス供給装置によってオゾン含有ガスをポンプの吸引口内に供給するようにしたので、汚染水とオゾン含有ガスとがポンプの吸引口内に一緒に吸引されてポンプ内で攪拌されながら吐出されることで、オゾン含有ガスが微細化されオゾン含有ガス中のオゾンが汚染物質に接触しやすくなり汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る浄化処理装置の実施の形態を図１ないし図１４によって詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る浄化処理装置の構成を示すブロック図、図２は浄化処理装置の処理槽の外観を正面から見た状態を示す外観図、図３は図２の正面から見た処理槽を、紙面に平行な断面で処理槽を中央にて破断した状態を示す中央縦断面図、図４は図２の矢視Ａ−Ａ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図５は図２の矢視Ｂ−Ｂ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図６は図２の矢視Ｃ−Ｃ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図７は図２の矢視Ｄ−Ｄ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図８は図２の矢視Ｅ−Ｅ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図９は図３における左側の一部を拡大した状態を示す拡大縦断面図、図１０の（ａ）は図３の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１０の（ｂ）は図４および図５の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１１の（ａ）は図３の他の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１１の（ｂ）は図６，図７および図８の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１２は図２の矢視Ｆ−Ｆ線に沿う断面図、図１３の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、図１３の（ｂ）は図１３の（ａ）の矢視Ｇ−Ｇ線に沿う断面図、図１４の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する他の水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、図１４の（ｂ）は図１４の（ａ）の矢視Ｈ−Ｈ線に沿う断面図である。なお、図２および図３については、作図の都合上、それぞれの構成部材の縮尺の比率は互いに異ならせて図示している。
【００２０】
図１において、符号１で示すものは、この実施の形態による浄化処理装置を示しており、この浄化処理装置１は、オゾン分解処理による汚染水の浄化処理を行うための処理槽２と、この処理槽２の内部に供給された汚染水を攪拌するための水中ポンプ４，５，６，７と、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを生成して、その生成したオゾン含有ガスを各水中ポンプ４，５，６，７を介して処理槽２内に供給するオゾン含有ガス供給装置８と、後述する各種制御を行うための制御装置９とを備えている。前記水中ポンプ４，５，６，７は、請求項１および請求項２に記載の発明でいう攪拌装置を構成すると共に、請求項３ないし請求項７に記載の発明でいうポンプを構成し、それぞれポンプ部１０，１１，１２，１３と、ポンプ部１０，１１，１２，１３を駆動する電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとを備え、ポンプ部１０，１１，１２，１３と電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとはそれぞれ互いに連結されている（図１０および図１１を参照）。
【００２１】
前記処理槽２内には、給水ポンプ１７により汚染水が供給され貯留される。前記電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとオゾン含有ガス供給装置８と給水ポンプ１７の電動モータとは、電源を供給するための電線１９，２１，２３を介してそれぞれ制御装置９に接続されており、制御装置９によりそれぞれ駆動制御される。制御装置９には、後述する各種操作を作業者が行うための制御盤（図示せず）が配設されている。水中ポンプ４，５，６，７の電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄのそれぞれの定格出力は１５０ワット，１５０ワット，２５０ワット，４００ワットで、水中ポンプ４，５，６，７の単位時間当たり（毎分）の吐出量はそれぞれおよそ１１３リットル，１１３リットル，１８８リットル，３００リットルである。
【００２２】
前記処理槽２は、円盤状の底面部材２ａと、該底面部材２ａと同一の大きさの円盤状の上面部材２ｂと、これらの底面部材２ａおよび上面部材２ｂにより上下面が閉塞された円筒状の処理槽本体２ｃと、三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃ（図９を参照）と、処理槽本体２ｃに形成された複数の開口部にそれぞれ溶接され固定された矩形断面からなる筒状の枠部材２６（図１０および図１１を参照）と、各枠部材２６内に嵌合され固定される有底筐体状の蓋部材２７と、処理槽２を所望の場所に接地するための脚部材２９とを備える。前記処理槽本体２ｃは、処理槽２を設置したとき処理槽本体２ｃの軸芯Ｏが鉛直方向に沿うような円筒形状に形成されている。処理槽２の底面部材２ａと上面部材２ｂと処理槽本体２ｃとは、本発明でいう処理槽２の殻壁を構成し、底面部材２ａは、本発明でいう処理槽２の下部の殻壁の一部を構成し、上面部材２ｂは、本発明でいう処理槽２の上部の殻壁の一部を構成する。脚部材２９は、四本の支柱２９aとこれらの四本の支柱２９aの上端に溶接により固着され、かつ、処理槽２の底面部材２ａの底面に溶接により固着された矩形状の梁部材２９ｂとを備える。
【００２３】
処理槽２内が三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃによって鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが区画形成されている。三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃは、処理槽本体２ｃの内周面に溶接により固定された固定部材３１の上面にそれぞれ当接され溶接により固定されており、固定部材３１は、縦断面が逆Ｌ字状の環状の板金部材からなる（図９を参照）。処理槽２内の容積、すなわち、四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの各容積の合計は、およそ３０００リットルとされ、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積は、それぞれ４００リットル、４００リットル、８００リットル、１４００リットルとされている。
【００２４】
そして、前記水中ポンプ４は区画室３０ａに四台配設され、水中ポンプ５は区画室３０ｂに四台配設され、水中ポンプ６は区画室３０ｃに四台配設され、水中ポンプ７は区画室３０ｄに四台配設されている。この結果、前述した各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積と、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配設される各水中ポンプ４，５，６，７の単位時間当たりの吐出量との関係から、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおける水中ポンプ４，５，６，７による攪拌能力は、容積の大きい区画室ほど多くなっている。
【００２５】
各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃには、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように連通孔３２が四個ずつ穿設され（図４ないし図６を参照）、これらの連通孔３２…を介して上下方向で隣り合う区画室同士が連通されており、これらの連通孔３２…を介して、上下方向で隣り合う下段の区画室から上段の区画室に汚染水が供給される。そして、前記水中ポンプ４，５，６は、各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃに穿設された各連通孔３２…ごとに対応して配設されている。
なお、各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃに連通孔３２を四個ずつ穿設したが、穿設する連通孔の個数を区画壁ごとに変更してもよく、一つの区画壁に一個だけ連通孔を穿設するようにしてもよい。
前記処理槽本体２ｃの上部には、最上段の区画室３０ａと処理槽２の外部とを連通し、処理槽２内に供給され処理槽２内で浄化処理された後の処理水を区画室３０ａから処理槽２の外部に排出するための排水管３３が設けられている（図２を参照）。
【００２６】
また、前記処理槽本体２ｃの側面には、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄごとに４つずつ矩形の開口が形成され、各開口には、枠部材２６が溶接によりそれぞれ固着されている。この枠部材２６内には蓋部材２７が嵌合され、枠部材２６の開口は蓋部材２７によって閉塞される。枠部材２６の開口は、本発明でいうポンプ組付用開口を構成し、該開口によって、処理槽２の外部から各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに水中ポンプ４，５，６，７が配置可能とされている。
【００２７】
図１０および図１１に示すように、枠部材２６の一端部の外周部にはその外側に向かって拡がるように直角に折り曲げられたフランジ部２６ａが形成されており、一方、蓋部材２７にもその一端部の開口部の外周部にはその外側に向かって拡がるように直角に折り曲げられたフランジ部２７ａが形成されており、これらのフランジ部２６ａ，２７ａは、両フランジ部２６ａ，２７ａ間に矩形環状のシール部材３９が挟まれた状態で両フランジ部２６ａ，２７ａの全周部に沿って複数のネジ部材４１により接合され、これによって、蓋部材２７が枠部材２６に固定され枠部材２６の開口が蓋部材２７によって液密に閉塞される。
【００２８】
処理槽本体２ｃの側面に固着された枠部材２６に蓋部材２７を取り付けたとき、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに臨む各蓋部材２７の底面部２７ｂには、ステー４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して水中ポンプ４，５，６，７がそれぞれ固定されている（図１０および図１１を参照）。また、各蓋部材２７の底面部２７ｂには、水中ポンプ４，５，６，７にオゾン含有ガスを供給するためのガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄと前記電線１９とを挿通する貫通孔が二個ずつ穿設されており、これらの貫通孔とこれらの貫通孔に挿通された電線１９およびガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとの間は、円環状のシール部材４７を介して液密にシールされている（図１０および図１１を参照）。
【００２９】
最下段の区画室３０ｄに対応して配置された各水中ポンプ７と、これらのポンプ７が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図７および図８に示すように、処理槽２の左右方向と前後方向とにそれぞれ正対するように配置されている。また、区画室３０ｃに対応して配置された各水中ポンプ６と、これらのポンプ６が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図６に示すように、処理槽２の前後左右の方向にそれぞれ正対するように配置されている。
【００３０】
これに対して、区画室３０ａに対応して配置された各水中ポンプ４と、これらのポンプ４が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図４に示すように、軸芯Ｏ回りに時計回りの方向に一定の角度だけ回転した位置にそれぞれ配置されている。また、区画室３０ｂに対応して配置された各水中ポンプ５と、これらのポンプ５が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図５に示すように、軸芯Ｏ回りに反時計回りの方向に一定の角度だけ回転した位置にそれぞれ配置されている。このような配置によって、各水中ポンプ４，５，６，７が予め固定された各蓋部材２７を各枠部材２６に組み付ける際には、先に組み付けた蓋部材２７の水中ポンプと、後から組み付ける蓋部材２７の水中ポンプとが干渉せずに済む。
なお、前述した各水中ポンプ４，５と、これらのポンプ４，５が固定された各蓋部材２７等の図２および図３における位置については、作図の都合上、軸芯Ｏ回りに回転した状態ではなく前後左右の方向に正対するように位置付けて示している。
【００３１】
各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに水中ポンプ４，５，６，７を配設する場合は、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを蓋部材２７の貫通孔にシール部材４７を介して挿通すると共に蓋部材２７の底面部２７ｂにステー４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して水中ポンプ４，５，６，７をそれぞれ予め取り付けた状態で水中ポンプ４，５，６，７を先に枠部材２６の開口に挿通したのち、蓋部材２７のフランジ部２７ａを枠部材２６のフランジ部２６ａに接合してネジ部材４１により蓋部材２７を枠部材２６に固定する。これによって、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとが、蓋部材２７を貫通して処理槽２の内外に亘って配索される。
なお、水中ポンプ６，７が取り付けられた蓋部材２７を枠部材２６に取り付ける場合は、水中ポンプ６，７の電動モータ１５ｃ，１５ｄが水平になるように傾けた状態で水中ポンプ６，７を枠部材２６の開口に挿通したのち、電動モータ１５ｃ，１５ｄが直立になるようにして蓋部材２７を枠部材２６に取り付ける。
【００３２】
また、前記各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃおよび底面部材２ａは、水平に対して僅かに傾斜して処理槽本体２ｃに固定されており、傾斜することで各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃおよび底面部材２ａで最も低くなった部位の近傍の処理槽本体２ｃには各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと処理槽２の外部とを連通する水抜孔がそれぞれ穿設され、これらの水抜孔は、ドレンボルト４９がそれぞれ螺合され液密にシールされている（図９を参照）。
【００３３】
なお、区画室３０ｄと処理槽２の外部とを連通する水抜孔を処理槽本体２ｃに穿設する代わりに底面部材２ａに穿設し、この底面部材２ａに穿設した水抜孔にドレンボルト４９を螺合するようにしてもよい。
一定の期間、使用された処理槽２内を洗浄する場合は、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに洗浄水を流入させて各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを洗浄したのち、その洗浄後の洗浄水を前記各ドレンボルト４９を取り外すことにより各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄから排水する。
【００３４】
前記処理槽２の上面部材２ｂには、最上段の区画室３０ａと処理槽２の外部とを連通し、処理槽２内に溜まったガスを処理槽２の外部に排出するためのガス抜き管５１が上方に向かって突設されている。ガス抜き管５１の内部は、本発明でいうガス抜き孔を構成する。ガス抜き管５１の突出端部には、ガス抜き管５１を介して排出された塩素や塩化水素等のガスを吸着する吸着器５３が接続されている。
【００３５】
また、前記処理槽２の底面部材２ａには、給水ポンプ１７により供給された汚染水を処理槽２内に導入するための分配管５５が配設され、分配管５５の中央部には、一端部が給水ポンプ１７に接続された主配管５７の他端部が接続されている。分配管５５は、主配管５７の他端部が接続された中央部の分岐接続管５９と、この分岐接続管５９の四つの分岐部にそれぞれ接続され、内部にそれぞれ連通孔３２を有する接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄと、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの長手方向中途部にそれぞれ配設された開閉弁６３とを備えている。
【００３６】
前記各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ内の連通孔３２を介して最下段の区画室３０ｄと処理槽２の外部とが連通され、該連通孔３２を介して処理槽２内に汚染水が供給される。各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように配設され、これによって、処理槽２内の最下段の区画室３０ｄに連通する四個の連通孔３２は、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように位置付けられる（図７および図８を参照）。なお、四本の接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを介して処理槽２内に汚染水を供給する代わりに、四本以下または五本以上の本数の接続管を介して処理槽２内に汚染水を供給するようにしてもよい。
【００３７】
各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、それぞれ分岐接続管５９に接続された部分から水平方向に延びたのち鉛直方向の上方に延びて処理槽２の底面部材２ａを貫通して区画室３０ｄと連通しており、接続管６１ｂと接続管６１ｄとの上端は、底面部材２ａの上面と面一とされ、接続管６１ａと接続管６１ｃとの上端は、底面部材２ａの上面より一定の長さだけ上方に突出している。そして、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄが貫通している底面部材２ａの部位と各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの外周部とは溶接により液密に固着されている。
【００３８】
各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに対応してそれぞれ個別に配設された各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３は、図１３および図１４に示すように、複数の羽根が所定の間隔を隔てて円周方向に配置された羽根車６５と、羽根車６５の回転によるポンプ作用により処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの汚染水を吸引するための吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａと、該吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａから吸引した汚染水を各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに吐出するための吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂとをそれぞれ備えている。
【００３９】
各水中ポンプ４，５，６，７は、それらの各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおいて処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置されている（図４ないし図８を参照）。なお、吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂの指向する旋回方向は、区画室ごとに同じ方向であればよく、旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４のうち少なくとも何れか一つの旋回方向を逆向きにしてもよい。
【００４０】
羽根車１４は、各電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの回転軸にそれぞれ一体的に固定され、該回転軸の回転に伴って回転させられる。羽根車１４の回転によるポンプ作用により圧送された汚染水が各ポンプ部１０，１１，１２，１３内に流入して、その流入の勢いにより渦流を発生したのち各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂから排出される。各ポンプ部１０，１１，１２，１３の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａは、各連通孔３２…の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けられ、ポンプ部１２，１３の吸引口１２ａ，１３ａは、連通孔３２に対して一定の間隙を隔てて正対するように位置付けられている。
【００４１】
そして、前記区画室３０ｄに配設された四台の水中ポンプ７は、それらのポンプ部１３の吸引口１３ａが各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの上端に一定の間隔を隔てて正対するように配置されている。これによって、四台の水中ポンプ７は、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ内の各連通孔３２…ごとに対応して配設される。接続管６１ａ，６１ｃの上端が接続管６１ｂ，６１ｄの上端より上方に位置しているので、その分、接続管６１ａ，６１ｃの上端に対向する水中ポンプ７の方が接続管６１ｂ，６１ｄの上端に対向する水中ポンプ７より上方に位置付けられている。
【００４２】
このため、接続管６１ｂ，６１ｄに対向する２台の水中ポンプ７により区画室３０ｄの低い部位に滞留する汚染水が吸引されると共にその低い部位に吐出される一方、接続管６１ａ，６１ｃに対向する２台の水中ポンプ７により区画室３０ｄの高い部位に滞留する汚染水が吸引されると共にその高い部位に吐出されることで、区画室３０ｄに滞留する全ての汚染水が四台の水中ポンプ７により均一に攪拌される。
【００４３】
また、図１に示すように、区画室３０ａに配設された四台の水中ポンプ４のポンプ部１０の吸引口１０ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ａは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ａの一端部に接続され、区画室３０ｂに配設された四台の水中ポンプ５のポンプ部１１の吸引口１１ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｂは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｂの一端部に接続されている。
【００４４】
また、区画室３０ｃに配設された四台の水中ポンプ６のポンプ部１２の吸引口１２ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｃは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｃの一端部に接続され、区画室３０ｄに配設された四台の水中ポンプ７のポンプ部１３の吸引口１３ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｄは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｄの一端部に接続されている。
而して、オゾン含有ガス供給装置８によってオゾン含有ガスが各水中ポンプ４，５，６，７の各吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に供給される。
【００４５】
各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄの他端部は、それぞれ接続され一本に集合された接続管を介してオゾン含有ガス供給装置８に接続されている。各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄは、それらの管内を流れるオゾン含有ガスの流動抵抗が流量調整管６５ａと流量調整管６５ｂとで同一とされ、流量調整管６５ａ，６５ｂより流量調整管６５ｃの方が少なくなり、さらに、流量調整管６５ｃより流量調整管６５ｄの方が少なくなるように各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄの内径と長さとが適宜設定されている。
【００４６】
各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄによって流量が調整され、各ガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄには、大気圧下での容量でそれぞれおよそ毎分０．２リットル，０．２リットル，０．４リットル，０．８リットルの容量のオゾン含有ガスがそれぞれ流れる。この結果、各ガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄを流れる単位時間当たりのオゾン含有ガスの流量と前述した各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積との関係から、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおける、オゾン含有ガス供給装置８によるオゾン含有ガスの供給量は、容積が大きい区画室ほど多くなっている。
【００４７】
また、図１に示すように、オゾン含有ガス供給装置８には、酸素ガスが収容された酸素ボンベ６７が酸素ガス供給管６９を介して接続され、酸素ボンベ６７の酸素ガスがオゾン含有ガス供給装置８に導入され、オゾン含有ガス供給装置８内で放電管による無声放電によってオゾンが発生し、酸素に対してオゾンが所定の割合で混合されて浄化用ガスが生成される。オゾン含有ガスとしては、例えば、容積比でオゾンが１パーセントないし１０パーセントで残りが酸素からなるガスをあげることができる。
【００４８】
前述したように構成された浄化処理装置１を使用して汚染水の浄化処理を行う場合は、制御装置９の操作盤を操作して給水ポンプ１７を駆動させ、該給水ポンプ１７により汚染水を分配管５５を介して処理槽２の区画室３０ｄに供給する。そして、汚染水によって区画室３０ｄが充填されたのち、区画室３０ｄと区画室３０ｃとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｄから区画室３０ｃに流入し、汚染水によって区画室３０ｃが充填されたのち、区画室３０ｃと区画室３０ｂとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｃから区画室３０ｂに流入し、汚染水によって区画室３０ｂが充填されたのち、区画室３０ｂと区画室３０ａとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｂから区画室３０ａに流入する。
処理槽２内の容積が３０００リットルで、給水ポンプ１７の給水能力を毎分７０リットルとすると、処理槽２内に供給された汚染水は、処理槽２内でおよそ４３分間滞留することになる。
【００４９】
このようにして、汚染水がすべての区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに貯留されたのち、制御装置９の操作盤を操作して各水中ポンプ４，５，６，７およびオゾン含有ガス供給装置８を駆動する。これによって、オゾン含有ガスがオゾン含有ガス供給装置８により各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ供給されながら各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに貯留した汚染水が各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄでそれぞれ個別に各水中ポンプ４，５，６，７により攪拌される。
なお、最上段の区画室３０ａに水位検出センサを配設して、区画室３０ａが汚染水によって満水状態になったことを水位検出センサが検出し、その検出信号を制御装置９が受信したとき、各水中ポンプ４，５，６，７およびオゾン含有ガス供給装置８を自動的に駆動するようにしてもよい。
【００５０】
而して、処理槽２内に供給された汚染水は、各連通孔３２…を介して各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに流入すると共に、この流入した汚染水と、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留された汚染水と、オゾン含有ガス供給装置８により供給されたオゾン含有ガスとが、各連通孔３２…に対向して配設された各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に吸引され、各水中ポンプ４，５，６，７で攪拌されたのち、各水中ポンプ４，５，６，７の吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂからそれぞれ勢い良く排出される。
【００５１】
前述したように構成された浄化処理装置１によれば、処理槽２内に、三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃによって鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを区画形成したので、浄化処理装置１を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすることができる。
また、鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを処理槽２内に区画形成し、連通孔３２…を介して処理槽２内に汚染水を供給すると共に連通孔３２…を介して区画室同士を連通し、オゾン含有ガスを各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ供給しながら攪拌する一方、最上段の区画室３０ａから浄化処理後の処理水を処理槽２の外部に排出するようにしたので、最上段の区画室３０ａより下段の区画室に供給されたオゾン含有ガスで未反応のオゾン含有ガスは、それより上段の区画室で再び汚染水との反応に供されるため、未反応のまま無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる。
【００５２】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおけるオゾン含有ガスの供給量と水中ポンプ４，５，６，７による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたので、区画室の容積に応じて適切な浄化処理が行われる。また、下段に位置する区画室でその容積に応じた前段階の浄化処理が行われ、ある程度、浄化処理された汚染水がそれより上段に位置する容積が小さい区画室でさらにその容積に応じた後段階の浄化処理が行われることによって、汚染水に対して浄化処理を均一に行うことができる。
【００５３】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、各水中ポンプ４，５，６，７を各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに対応してそれぞれ個別に設け、各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａを、連通孔３２…の下流端の開口の近傍に位置付けたので、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留している汚染水とそれらの区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに連通孔３２…の開口から供給される汚染水との双方をポンプが同時に吸引することで、それら双方の汚染水が各水中ポンプ４，５，６，７によって確実に攪拌され、汚染水中の汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５４】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、処理槽２の処理槽本体２ｃを円筒形状に形成し、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むようにそれぞれ四個ずつ設けられた連通孔３２…を介して各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに汚染水を供給すると共にこれらの連通孔３２…ごとに対応して水中ポンプ４，５，６，７をそれぞれ設け、各連通孔３２…の下流端となる開口の近傍に各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａをそれぞれ位置付け、これらの水中ポンプ４，５，６，７の各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置したので、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留している汚染水と各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに連通孔３２…の開口から供給される汚染水との双方を各水中ポンプ４，５，６，７が同時に吸引しながら同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４にそれぞれ吐出することで、汚染水が水中ポンプ４，５，６，７によって十分に攪拌されて汚染水中の汚染物質とオゾン含有ガスとが各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄで十分に接触し、汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５５】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、処理槽２の処理槽本体２ｃに固着された枠部材２６の開口を蓋部材２７で閉塞したとき各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに臨む蓋部材２７の底面部２７ｂに水中ポンプ４，５，６，７を組み付けるようにしたので、枠部材２６の開口を閉塞するように蓋部材２７を組み付けるだけで、処理槽２の所望の位置に水中ポンプ４，５，６，７を配設することができる。
【００５６】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、水中ポンプ４，５，６，７の電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄに電源を供給する電線１９とオゾン含有ガスを供給するガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを、蓋部材２７を貫通して処理槽２の内外を配索するようにしたので、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを予め蓋部材２７を貫通して配索しておけば、枠部材２６の開口に蓋部材２７を組み付けるだけで電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを処理槽２の内外に亘って容易に配索することができる。
【００５７】
さらにまた、オゾン含有ガス供給装置８によってオゾン含有ガスを各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に供給するようにしたので、汚染水とオゾン含有ガスとがポンプの吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に一緒に吸引されて各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３内で攪拌されながら吐出されることで、オゾン含有ガスが微細化されオゾン含有ガス中のオゾンが汚染物質に接触しやすくなり汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５８】
なお、前述した実施の形態は本発明を説明するための一例であり、本発明は、前記の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲と明細書との全体から読み取れる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更後の基板検査装置もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
例えば、前述した実施の形態においては、処理槽２内に四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを形成した例を示したが、本発明は、このような構成に囚われることなく、処理槽２内に形成する区画室は二個以上であればよい。
【００５９】
また、前述した実施の形態においては、各水中ポンプ４，５，６，７を処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配置した例を示したが、これに代えて、各水中ポンプ４，５，６，７を処理槽２の外部に配置し、各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａと吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂとをそれぞれ配管を介して処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配置するようにしてもよい。
【００６０】
また、水中ポンプ４，５，６，７の全ての吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａを、各連通孔３２…の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付ける例を示したが、これに代えて、一つまたは二つ以上の一部の吸引口を連通孔３２の下流端となる開口の近傍に位置付け、他の残りの吸引口を連通孔３２から離間した位置に位置付けるようにしてもよい。
【００６１】
さらにまた、各水中ポンプ４，５，６，７の各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおいて処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置する例を示したが、これに代えて、区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのうち何れかの三つ以下の区画室において処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向を指向するように水中ポンプの吐出口を位置付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係る浄化処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は浄化処理装置の処理槽の外観を正面から見た状態を示す外観図である。
【図３】図３は図２の正面から見た処理槽を、紙面に平行な断面で処理槽の中央にて破断した状態を示す中央縦断面図である。
【図４】図４は図２の矢視Ａ−Ａ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図５】図５は図２の矢視Ｂ−Ｂ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図６】図６は図２の矢視Ｃ−Ｃ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図７】図７は図２の矢視Ｄ−Ｄ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図８】図８は図２の矢視Ｅ−Ｅ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図９】図９は図３における左側の一部を拡大した状態を示す拡大縦断面図である。
【図１０】図１０の（ａ）は図３の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、同図の（ｂ）は図４および図５の一部を拡大した状態を示す拡大断面図である。
【図１１】図１１の（ａ）は図３の他の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、同図の（ｂ）は図６，図７および図８の一部を拡大した状態を示す拡大断面図である。
【図１２】図１２は図２の矢視Ｆ−Ｆ線に沿う断面図である。
【図１３】図１３の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、同図の（ｂ）は同図の（ａ）の矢視Ｇ−Ｇ線に沿う断面図である。
【図１４】図１４の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する他の水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、同図の（ｂ）は同図の（ａ）の矢視Ｈ−Ｈ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１ 浄化処理装置
２ 処理槽
２ａ 底面部材（殻壁）
２ｂ 上面部材（殻壁）
２ｃ 処理槽本体（殻壁）
４ 攪拌装置（水中ポンプ）
５ 攪拌装置（水中ポンプ）
６ 攪拌装置（水中ポンプ）
７ 攪拌装置（水中ポンプ）
８ オゾン含有ガス供給装置
１０ ポンプ部
１０ａ 吸引口
１０ｂ 吐出口
１１ ポンプ部
１１ａ 吸引口
１１ｂ 吐出口
１２ ポンプ部
１２ａ 吸引口
１２ｂ 吐出口
１３ ポンプ部
１３ａ 吸引口
１３ｂ 吐出口
１５ａ 電動モータ
１５ｂ 電動モータ
１５ｃ 電動モータ
１５ｄ 電動モータ
１９ 電線
２５ａ 区画壁
２５ｂ 区画壁
２５ｃ 区画壁
２７ 蓋部材
２７ｂ 底面部
３０ａ 区画室
３０ｂ 区画室
３０ｃ 区画室
３０ｄ 区画室
３２ 連通孔
４５ａ ガス管
４５ｂ ガス管
４５ｃ ガス管
４５ｄ ガス管
５１ ガス抜き管
Ｏ 軸芯
Ｍ１ 旋回方向
Ｍ２ 旋回方向
Ｍ３ 旋回方向
Ｍ４ 旋回方向
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の揮発性有機化合物（ｖｏＬａｔｉＬｅ ｏｒｇａｎｉｃ ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ 以下「ＶＯＣｓ」という。）からなる汚染物質が混入した汚染水を浄化するための浄化処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示されている従来の浄化処理装置においては、導入口より被処理水をオゾン接触槽内に導入し、オゾン発生装置より発生させたオゾンガスを、オゾン散気装置を経て前記オゾン接触槽内に導入する。被処理水とオゾンガスとを前記オゾン接触槽内で接触・混合することで反応が進行する。前記オゾン接触槽は３つのオゾン接触室を有し、これらのオゾン接触室でオゾン接触・混合を３段階で行っている。そして、被処理水は、オゾン接触槽を経たのち滞留槽内で一定時間滞留した後、排出口より系外に排出され、被処理水と未反応のオゾンガスは、被処理水の流れる経路から見て排出口に最も近いオゾン接触室の上部から排出管を介して排出され、排オゾン処理装置を経て系外に排出されるように構成されている。
【特許文献１】特許第３６９７９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の浄化処理装置は、３つのオゾン接触室を水平方向に並設しているので、その分、オゾン接触槽を設置する際に必要な床の面積が大きくなるという問題があった。
また、３つのオゾン接触室で隣り合うオゾン接触室同士の上部は連通路を介して互いに連通し、オゾン接触室の上部から排出管を介して排出されるので、被処理水と未反応のままオゾン接触室の上部に上昇したオゾンガスは、３つのオゾン接触室の全てにおいてそのまま排出管を介して排出されるため、被処理水と反応することなく無駄に排出されるオゾンガスの量が多いという問題もあった。
【０００４】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、浄化処理装置を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすると共に無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる浄化処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を達成するために、本発明に係る装置は、汚染水が貯留された処理槽内に、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを供給して前記汚染水を浄化処理するようにした浄化処理装置において、前記処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成し、前記複数の区画室のうち最下段の区画室と前記処理槽の外部とを連通する連通孔を介して前記処理槽内に汚染水を供給する一方、前記複数の区画室で上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔を介して前記下段の区画室から前記上段の区画室に汚染水を供給し、前記オゾン含有ガスをオゾン含有ガス供給装置により前記各区画室にそれぞれ供給しながら各区画室に貯留した汚染水を各区画室でそれぞれ個別に攪拌装置により攪拌し、前記各区画室のうち最上段の区画室から浄化処理後の処理水を前記処理槽の外部に排出し、前記処理槽の外部と前記最上段の区画室とを連通し処理槽内のガスを処理槽の外部に排出するガス抜き孔を処理槽の上部の殻壁に設けたものである。
【０００６】
請求項２に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項１に記載の浄化処理装置において、前記複数の区画室で上下方向で隣り合う区画室同士を、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、前記各区画室における、前記オゾン含有ガス供給装置による前記オゾン含有ガスの供給量と前記攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたことを特徴とするものとする。
【０００７】
請求項３に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項１または請求項２に記載の浄化処理装置において、前記攪拌装置は、前記区画室に供給された汚染水を吸引する吸引口とその吸引した汚染水を同区画室に吐出する吐出口とを備えたポンプからなり、前記ポンプは、前記各区画室に対応してそれぞれ個別に設けられ、前記各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの前記吸引口を、前記連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けたことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項４に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３に記載の浄化処理装置において、前記処理槽の処理槽本体を、該処理槽を設置したとき処理槽本体の軸芯が鉛直方向に沿うような円筒形状に形成し、前記複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、前記軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応して前記ポンプをそれぞれ設け、前記軸芯を囲むように設けられた各連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に前記各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付ける一方、これらのポンプの各吐出口を、前記少なくとも一つの区画室において前記軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項５に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３または請求項４に記載の浄化処理装置において、前記処理槽の外部から前記区画室に前記ポンプを配置可能なポンプ組付用開口を前記処理槽の殻壁に形成し、前記ポンプ組付用開口を蓋部材により液密に閉塞し、前記ポンプ組付用開口を閉塞したとき前記区画室に臨む前記蓋部材の底面部に前記ポンプを固定するようにしたことを特徴とするものとする。
【００１０】
請求項６に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項５に記載の浄化処理装置において、前記ポンプは、ポンプ部と該ポンプ部を駆動する電動モータとを備え、前記電動モータに電源を供給する電線と前記オゾン含有ガスを供給するガス管とを、前記蓋部材を貫通して前記処理槽の内外に亘って配索するようにしたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項７に記載した発明に係る浄化処理装置は、請求項３ないし請求項６のうち何れか一つに記載の浄化処理装置において、前記オゾン含有ガス供給装置によって前記オゾン含有ガスを前記ポンプの吸引口内に供給するようにしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成したので、浄化処理装置を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすることができる。
また、鉛直方向に並ぶように複数の区画室を処理槽内に区画形成し、連通孔を介して処理槽内に汚染水を供給すると共に連通孔を介して区画室同士を連通し、オゾン含有ガスを各区画室にそれぞれ供給しながら攪拌する一方、最上段の区画室から浄化処理後の処理水を処理槽の外部に排出するようにしたので、最上段の区画室より下段の区画室に供給されたオゾン含有ガスで未反応のオゾン含有ガスは、それより上段の区画室で再び汚染水との反応に供されるため、未反応のまま無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる。
【００１３】
請求項２記載の発明によれば、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、各区画室におけるオゾン含有ガスの供給量と攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたので、区画室の容積に応じて適切な浄化処理が行われる。また、下段に位置する区画室でその容積に応じた前段階の浄化処理が行われ、ある程度、浄化処理された汚染水がそれより上段に位置する容積が小さい区画室でさらにその容積に応じた後段階の浄化処理が行われることによって、汚染水に対して浄化処理を均一に行うことができる。
【００１４】
請求項３記載の発明によれば、攪拌装置をポンプで構成してそのポンプを各区画室に対応してそれぞれ個別に設け、各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの吸引口を、連通孔の下流端の開口の近傍に位置付けたので、区画室にすでに貯留している汚染水とその区画室に連通孔の開口から供給される汚染水との双方をポンプが同時に吸引することで、それら双方の汚染水がポンプによって確実に攪拌され、汚染水中の汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００１５】
請求項４記載の発明によれば、処理槽の処理槽本体を円筒形状に形成し、複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、処理槽本体の軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応してポンプをそれぞれ設け、各連通孔の下流端となる開口の近傍に各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付け、これらのポンプの各吐出口を、処理槽本体の軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したので、区画室にすでに貯留している汚染水と区画室に連通孔の開口から供給される汚染水との双方を各ポンプが同時に吸引しながら同一の旋回方向に吐出することで、汚染水がポンプによって十分に攪拌されて汚染水中の汚染物質とオゾン含有ガスとが区画室で十分に接触し、汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００１６】
請求項５記載の発明によれば、処理槽の殻壁に形成したポンプ組付用開口を蓋部材で閉塞したとき区画室に臨む蓋部材の底面部にポンプを組み付けるようにしたので、処理槽のポンプ組付用開口を閉塞するように蓋部材を組み付けるだけで、処理槽の所望の位置にポンプを配設することができる。
【００１７】
請求項６記載の発明によれば、電動モータに電源を供給する電線とオゾン含有ガスを供給するガス管とを、蓋部材を貫通して処理槽の内外を配索するようにしたので、電線とガス管とを予め蓋部材を貫通して配索しておけば、処理槽のポンプ組付用開口部に蓋部材を組み付けるだけで電線とガス管とを処理槽の内外に亘って容易に配索することができる。
【００１８】
請求項７記載の発明によれば、オゾン含有ガス供給装置によってオゾン含有ガスをポンプの吸引口内に供給するようにしたので、汚染水とオゾン含有ガスとがポンプの吸引口内に一緒に吸引されてポンプ内で攪拌されながら吐出されることで、オゾン含有ガスが微細化されオゾン含有ガス中のオゾンが汚染物質に接触しやすくなり汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る浄化処理装置の実施の形態を図１ないし図１４によって詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る浄化処理装置の構成を示すブロック図、図２は浄化処理装置の処理槽の外観を正面から見た状態を示す外観図、図３は図２の正面から見た処理槽を、紙面に平行な断面で処理槽を中央にて破断した状態を示す中央縦断面図、図４は図２の矢視Ａ−Ａ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図５は図２の矢視Ｂ−Ｂ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図６は図２の矢視Ｃ−Ｃ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図７は図２の矢視Ｄ−Ｄ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図８は図２の矢視Ｅ−Ｅ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図、図９は図３における左側の一部を拡大した状態を示す拡大縦断面図、図１０の（ａ）は図３の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１０の（ｂ）は図４および図５の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１１の（ａ）は図３の他の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１１の（ｂ）は図６，図７および図８の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、図１２は図２の矢視Ｆ−Ｆ線に沿う断面図、図１３の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、図１３の（ｂ）は図１３の（ａ）の矢視Ｇ−Ｇ線に沿う断面図、図１４の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する他の水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、図１４の（ｂ）は図１４の（ａ）の矢視Ｈ−Ｈ線に沿う断面図である。なお、図２および図３については、作図の都合上、それぞれの構成部材の縮尺の比率は互いに異ならせて図示している。
【００２０】
図１において、符号１で示すものは、この実施の形態による浄化処理装置を示しており、この浄化処理装置１は、オゾン分解処理による汚染水の浄化処理を行うための処理槽２と、この処理槽２の内部に供給された汚染水を攪拌するための水中ポンプ４，５，６，７と、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを生成して、その生成したオゾン含有ガスを各水中ポンプ４，５，６，７を介して処理槽２内に供給するオゾン含有ガス供給装置８と、後述する各種制御を行うための制御装置９とを備えている。前記水中ポンプ４，５，６，７は、請求項１および請求項２に記載の発明でいう攪拌装置を構成すると共に、請求項３ないし請求項７に記載の発明でいうポンプを構成し、それぞれポンプ部１０，１１，１２，１３と、ポンプ部１０，１１，１２，１３を駆動する電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとを備え、ポンプ部１０，１１，１２，１３と電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとはそれぞれ互いに連結されている（図１０および図１１を参照）。
【００２１】
前記処理槽２内には、給水ポンプ１７により汚染水が供給され貯留される。前記電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄとオゾン含有ガス供給装置８と給水ポンプ１７の電動モータとは、電源を供給するための電線１９，２１，２３を介してそれぞれ制御装置９に接続されており、制御装置９によりそれぞれ駆動制御される。制御装置９には、後述する各種操作を作業者が行うための制御盤（図示せず）が配設されている。水中ポンプ４，５，６，７の電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄのそれぞれの定格出力は１５０ワット，１５０ワット，２５０ワット，４００ワットで、水中ポンプ４，５，６，７の単位時間当たり（毎分）の吐出量はそれぞれおよそ１１３リットル，１１３リットル，１８８リットル，３００リットルである。
【００２２】
前記処理槽２は、円盤状の底面部材２ａと、該底面部材２ａと同一の大きさの円盤状の上面部材２ｂと、これらの底面部材２ａおよび上面部材２ｂにより上下面が閉塞された円筒状の処理槽本体２ｃと、三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃ（図９を参照）と、処理槽本体２ｃに形成された複数の開口部にそれぞれ溶接され固定された矩形断面からなる筒状の枠部材２６（図１０および図１１を参照）と、各枠部材２６内に嵌合され固定される有底筐体状の蓋部材２７と、処理槽２を所望の場所に接地するための脚部材２９とを備える。前記処理槽本体２ｃは、処理槽２を設置したとき処理槽本体２ｃの軸芯Ｏが鉛直方向に沿うような円筒形状に形成されている。処理槽２の底面部材２ａと上面部材２ｂと処理槽本体２ｃとは、本発明でいう処理槽２の殻壁を構成し、底面部材２ａは、本発明でいう処理槽２の下部の殻壁の一部を構成し、上面部材２ｂは、本発明でいう処理槽２の上部の殻壁の一部を構成する。脚部材２９は、四本の支柱２９aとこれらの四本の支柱２９aの上端に溶接により固着され、かつ、処理槽２の底面部材２ａの底面に溶接により固着された矩形状の梁部材２９ｂとを備える。
【００２３】
処理槽２内が三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃによって鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが区画形成されている。三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃは、処理槽本体２ｃの内周面に溶接により固定された固定部材３１の上面にそれぞれ当接され溶接により固定されており、固定部材３１は、縦断面が逆Ｌ字状の環状の板金部材からなる（図９を参照）。処理槽２内の容積、すなわち、四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの各容積の合計は、およそ３０００リットルとされ、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積は、それぞれ４００リットル、４００リットル、８００リットル、１４００リットルとされている。
【００２４】
そして、前記水中ポンプ４は区画室３０ａに四台配設され、水中ポンプ５は区画室３０ｂに四台配設され、水中ポンプ６は区画室３０ｃに四台配設され、水中ポンプ７は区画室３０ｄに四台配設されている。この結果、前述した各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積と、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配設される各水中ポンプ４，５，６，７の単位時間当たりの吐出量との関係から、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおける水中ポンプ４，５，６，７による攪拌能力は、容積の大きい区画室ほど多くなっている。
【００２５】
各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃには、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように連通孔３２が四個ずつ穿設され（図４ないし図６を参照）、これらの連通孔３２…を介して上下方向で隣り合う区画室同士が連通されており、これらの連通孔３２…を介して、上下方向で隣り合う下段の区画室から上段の区画室に汚染水が供給される。そして、前記水中ポンプ４，５，６は、各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃに穿設された各連通孔３２…ごとに対応して配設されている。
なお、各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃに連通孔３２を四個ずつ穿設したが、穿設する連通孔の個数を区画壁ごとに変更してもよく、一つの区画壁に一個だけ連通孔を穿設するようにしてもよい。
前記処理槽本体２ｃの上部には、最上段の区画室３０ａと処理槽２の外部とを連通し、処理槽２内に供給され処理槽２内で浄化処理された後の処理水を区画室３０ａから処理槽２の外部に排出するための排水管３３が設けられている（図２を参照）。
【００２６】
また、前記処理槽本体２ｃの側面には、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄごとに４つずつ矩形の開口が形成され、各開口には、枠部材２６が溶接によりそれぞれ固着されている。この枠部材２６内には蓋部材２７が嵌合され、枠部材２６の開口は蓋部材２７によって閉塞される。枠部材２６の開口は、本発明でいうポンプ組付用開口を構成し、該開口によって、処理槽２の外部から各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに水中ポンプ４，５，６，７が配置可能とされている。
【００２７】
図１０および図１１に示すように、枠部材２６の一端部の外周部にはその外側に向かって拡がるように直角に折り曲げられたフランジ部２６ａが形成されており、一方、蓋部材２７にもその一端部の開口部の外周部にはその外側に向かって拡がるように直角に折り曲げられたフランジ部２７ａが形成されており、これらのフランジ部２６ａ，２７ａは、両フランジ部２６ａ，２７ａ間に矩形環状のシール部材３９が挟まれた状態で両フランジ部２６ａ，２７ａの全周部に沿って複数のネジ部材４１により接合され、これによって、蓋部材２７が枠部材２６に固定され枠部材２６の開口が蓋部材２７によって液密に閉塞される。
【００２８】
処理槽本体２ｃの側面に固着された枠部材２６に蓋部材２７を取り付けたとき、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに臨む各蓋部材２７の底面部２７ｂには、ステー４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して水中ポンプ４，５，６，７がそれぞれ固定されている（図１０および図１１を参照）。また、各蓋部材２７の底面部２７ｂには、水中ポンプ４，５，６，７にオゾン含有ガスを供給するためのガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄと前記電線１９とを挿通する貫通孔が二個ずつ穿設されており、これらの貫通孔とこれらの貫通孔に挿通された電線１９およびガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとの間は、円環状のシール部材４７を介して液密にシールされている（図１０および図１１を参照）。
【００２９】
最下段の区画室３０ｄに対応して配置された各水中ポンプ７と、これらのポンプ７が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図７および図８に示すように、処理槽２の左右方向と前後方向とにそれぞれ正対するように配置されている。また、区画室３０ｃに対応して配置された各水中ポンプ６と、これらのポンプ６が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図６に示すように、処理槽２の前後左右の方向にそれぞれ正対するように配置されている。
【００３０】
これに対して、区画室３０ａに対応して配置された各水中ポンプ４と、これらのポンプ４が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図４に示すように、軸芯Ｏ回りに時計回りの方向に一定の角度だけ回転した位置にそれぞれ配置されている。また、区画室３０ｂに対応して配置された各水中ポンプ５と、これらのポンプ５が固定された各蓋部材２７と、これらの蓋部材２７が固定された各枠部材２６とは、図５に示すように、軸芯Ｏ回りに反時計回りの方向に一定の角度だけ回転した位置にそれぞれ配置されている。このような配置によって、各水中ポンプ４，５，６，７が予め固定された各蓋部材２７を各枠部材２６に組み付ける際には、先に組み付けた蓋部材２７の水中ポンプと、後から組み付ける蓋部材２７の水中ポンプとが干渉せずに済む。
なお、前述した各水中ポンプ４，５と、これらのポンプ４，５が固定された各蓋部材２７等の図２および図３における位置については、作図の都合上、軸芯Ｏ回りに回転した状態ではなく前後左右の方向に正対するように位置付けて示している。
【００３１】
各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに水中ポンプ４，５，６，７を配設する場合は、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを蓋部材２７の貫通孔にシール部材４７を介して挿通すると共に蓋部材２７の底面部２７ｂにステー４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して水中ポンプ４，５，６，７をそれぞれ予め取り付けた状態で水中ポンプ４，５，６，７を先に枠部材２６の開口に挿通したのち、蓋部材２７のフランジ部２７ａを枠部材２６のフランジ部２６ａに接合してネジ部材４１により蓋部材２７を枠部材２６に固定する。これによって、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとが、蓋部材２７を貫通して処理槽２の内外に亘って配索される。
なお、水中ポンプ６，７が取り付けられた蓋部材２７を枠部材２６に取り付ける場合は、水中ポンプ６，７の電動モータ１５ｃ，１５ｄが水平になるように傾けた状態で水中ポンプ６，７を枠部材２６の開口に挿通したのち、電動モータ１５ｃ，１５ｄが直立になるようにして蓋部材２７を枠部材２６に取り付ける。
【００３２】
また、前記各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃおよび底面部材２ａは、水平に対して僅かに傾斜して処理槽本体２ｃに固定されており、傾斜することで各区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃおよび底面部材２ａで最も低くなった部位の近傍の処理槽本体２ｃには各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと処理槽２の外部とを連通する水抜孔がそれぞれ穿設され、これらの水抜孔は、ドレンボルト４９がそれぞれ螺合され液密にシールされている（図９を参照）。
【００３３】
なお、区画室３０ｄと処理槽２の外部とを連通する水抜孔を処理槽本体２ｃに穿設する代わりに底面部材２ａに穿設し、この底面部材２ａに穿設した水抜孔にドレンボルト４９を螺合するようにしてもよい。
一定の期間、使用された処理槽２内を洗浄する場合は、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに洗浄水を流入させて各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを洗浄したのち、その洗浄後の洗浄水を前記各ドレンボルト４９を取り外すことにより各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄから排水する。
【００３４】
前記処理槽２の上面部材２ｂには、最上段の区画室３０ａと処理槽２の外部とを連通し、処理槽２内に溜まったガスを処理槽２の外部に排出するためのガス抜き管５１が上方に向かって突設されている。ガス抜き管５１の内部は、本発明でいうガス抜き孔を構成する。ガス抜き管５１の突出端部には、ガス抜き管５１を介して排出された塩素や塩化水素等のガスを吸着する吸着器５３が接続されている。
【００３５】
また、前記処理槽２の底面部材２ａには、給水ポンプ１７により供給された汚染水を処理槽２内に導入するための分配管５５が配設され、分配管５５の中央部には、一端部が給水ポンプ１７に接続された主配管５７の他端部が接続されている。分配管５５は、主配管５７の他端部が接続された中央部の分岐接続管５９と、この分岐接続管５９の四つの分岐部にそれぞれ接続され、内部にそれぞれ連通孔３２を有する接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄと、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの長手方向中途部にそれぞれ配設された開閉弁６３とを備えている。
【００３６】
前記各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ内の連通孔３２を介して最下段の区画室３０ｄと処理槽２の外部とが連通され、該連通孔３２を介して処理槽２内に汚染水が供給される。各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように配設され、これによって、処理槽２内の最下段の区画室３０ｄに連通する四個の連通孔３２は、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むように位置付けられる（図７および図８を参照）。なお、四本の接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを介して処理槽２内に汚染水を供給する代わりに、四本以下または五本以上の本数の接続管を介して処理槽２内に汚染水を供給するようにしてもよい。
【００３７】
各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、それぞれ分岐接続管５９に接続された部分から水平方向に延びたのち鉛直方向の上方に延びて処理槽２の底面部材２ａを貫通して区画室３０ｄと連通しており、接続管６１ｂと接続管６１ｄとの上端は、底面部材２ａの上面と面一とされ、接続管６１ａと接続管６１ｃとの上端は、底面部材２ａの上面より一定の長さだけ上方に突出している。そして、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄが貫通している底面部材２ａの部位と各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの外周部とは溶接により液密に固着されている。
【００３８】
各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに対応してそれぞれ個別に配設された各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３は、図１３および図１４に示すように、複数の羽根が所定の間隔を隔てて円周方向に配置された羽根車６５と、羽根車６５の回転によるポンプ作用により処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの汚染水を吸引するための吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａと、該吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａから吸引した汚染水を各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに吐出するための吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂとをそれぞれ備えている。
【００３９】
各水中ポンプ４，５，６，７は、それらの各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおいて処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置されている（図４ないし図８を参照）。なお、吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂの指向する旋回方向は、区画室ごとに同じ方向であればよく、旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４のうち少なくとも何れか一つの旋回方向を逆向きにしてもよい。
【００４０】
羽根車１４は、各電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの回転軸にそれぞれ一体的に固定され、該回転軸の回転に伴って回転させられる。羽根車１４の回転によるポンプ作用により圧送された汚染水が各ポンプ部１０，１１，１２，１３内に流入して、その流入の勢いにより渦流を発生したのち各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂから排出される。各ポンプ部１０，１１，１２，１３の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａは、各連通孔３２…の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けられ、ポンプ部１２，１３の吸引口１２ａ，１３ａは、連通孔３２に対して一定の間隙を隔てて正対するように位置付けられている。
【００４１】
そして、前記区画室３０ｄに配設された四台の水中ポンプ７は、それらのポンプ部１３の吸引口１３ａが各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの上端に一定の間隔を隔てて正対するように配置されている。これによって、四台の水中ポンプ７は、各接続管６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ内の各連通孔３２…ごとに対応して配設される。接続管６１ａ，６１ｃの上端が接続管６１ｂ，６１ｄの上端より上方に位置しているので、その分、接続管６１ａ，６１ｃの上端に対向する水中ポンプ７の方が接続管６１ｂ，６１ｄの上端に対向する水中ポンプ７より上方に位置付けられている。
【００４２】
このため、接続管６１ｂ，６１ｄに対向する２台の水中ポンプ７により区画室３０ｄの低い部位に滞留する汚染水が吸引されると共にその低い部位に吐出される一方、接続管６１ａ，６１ｃに対向する２台の水中ポンプ７により区画室３０ｄの高い部位に滞留する汚染水が吸引されると共にその高い部位に吐出されることで、区画室３０ｄに滞留する全ての汚染水が四台の水中ポンプ７により均一に攪拌される。
【００４３】
また、図１に示すように、区画室３０ａに配設された四台の水中ポンプ４のポンプ部１０の吸引口１０ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ａは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ａの一端部に接続され、区画室３０ｂに配設された四台の水中ポンプ５のポンプ部１１の吸引口１１ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｂは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｂの一端部に接続されている。
【００４４】
また、区画室３０ｃに配設された四台の水中ポンプ６のポンプ部１２の吸引口１２ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｃは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｃの一端部に接続され、区画室３０ｄに配設された四台の水中ポンプ７のポンプ部１３の吸引口１３ａに一端部がそれぞれ固定されたガス管４５ｄは、他端側が集合されて一本となった他端部が流量調整管６５ｄの一端部に接続されている。
而して、オゾン含有ガス供給装置８によってオゾン含有ガスが各水中ポンプ４，５，６，７の各吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に供給される。
【００４５】
各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄの他端部は、それぞれ接続され一本に集合された接続管を介してオゾン含有ガス供給装置８に接続されている。各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄは、それらの管内を流れるオゾン含有ガスの流動抵抗が流量調整管６５ａと流量調整管６５ｂとで同一とされ、流量調整管６５ａ，６５ｂより流量調整管６５ｃの方が少なくなり、さらに、流量調整管６５ｃより流量調整管６５ｄの方が少なくなるように各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄの内径と長さとが適宜設定されている。
【００４６】
各流量調整管６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄによって流量が調整され、各ガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄには、大気圧下での容量でそれぞれおよそ毎分０．２リットル，０．２リットル，０．４リットル，０．８リットルの容量のオゾン含有ガスがそれぞれ流れる。この結果、各ガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄを流れる単位時間当たりのオゾン含有ガスの流量と前述した各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの容積との関係から、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおける、オゾン含有ガス供給装置８によるオゾン含有ガスの供給量は、容積が大きい区画室ほど多くなっている。
【００４７】
また、図１に示すように、オゾン含有ガス供給装置８には、酸素ガスが収容された酸素ボンベ６７が酸素ガス供給管６９を介して接続され、酸素ボンベ６７の酸素ガスがオゾン含有ガス供給装置８に導入され、オゾン含有ガス供給装置８内で放電管による無声放電によってオゾンが発生し、酸素に対してオゾンが所定の割合で混合されて浄化用ガスが生成される。オゾン含有ガスとしては、例えば、容積比でオゾンが１パーセントないし１０パーセントで残りが酸素からなるガスをあげることができる。
【００４８】
前述したように構成された浄化処理装置１を使用して汚染水の浄化処理を行う場合は、制御装置９の操作盤を操作して給水ポンプ１７を駆動させ、該給水ポンプ１７により汚染水を分配管５５を介して処理槽２の区画室３０ｄに供給する。そして、汚染水によって区画室３０ｄが充填されたのち、区画室３０ｄと区画室３０ｃとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｄから区画室３０ｃに流入し、汚染水によって区画室３０ｃが充填されたのち、区画室３０ｃと区画室３０ｂとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｃから区画室３０ｂに流入し、汚染水によって区画室３０ｂが充填されたのち、区画室３０ｂと区画室３０ａとを連通する四個の連通孔３２…を介して汚染水が区画室３０ｂから区画室３０ａに流入する。
処理槽２内の容積が３０００リットルで、給水ポンプ１７の給水能力を毎分７０リットルとすると、処理槽２内に供給された汚染水は、処理槽２内でおよそ４３分間滞留することになる。
【００４９】
このようにして、汚染水がすべての区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに貯留されたのち、制御装置９の操作盤を操作して各水中ポンプ４，５，６，７およびオゾン含有ガス供給装置８を駆動する。これによって、オゾン含有ガスがオゾン含有ガス供給装置８により各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ供給されながら各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに貯留した汚染水が各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄでそれぞれ個別に各水中ポンプ４，５，６，７により攪拌される。
なお、最上段の区画室３０ａに水位検出センサを配設して、区画室３０ａが汚染水によって満水状態になったことを水位検出センサが検出し、その検出信号を制御装置９が受信したとき、各水中ポンプ４，５，６，７およびオゾン含有ガス供給装置８を自動的に駆動するようにしてもよい。
【００５０】
而して、処理槽２内に供給された汚染水は、各連通孔３２…を介して各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに流入すると共に、この流入した汚染水と、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留された汚染水と、オゾン含有ガス供給装置８により供給されたオゾン含有ガスとが、各連通孔３２…に対向して配設された各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に吸引され、各水中ポンプ４，５，６，７で攪拌されたのち、各水中ポンプ４，５，６，７の吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂからそれぞれ勢い良く排出される。
【００５１】
前述したように構成された浄化処理装置１によれば、処理槽２内に、三個の区画壁２５ａ，２５ｂ，２５ｃによって鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを区画形成したので、浄化処理装置１を設置する際に必要な床の面積を可及的小さくすることができる。
また、鉛直方向に並ぶように四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを処理槽２内に区画形成し、連通孔３２…を介して処理槽２内に汚染水を供給すると共に連通孔３２…を介して区画室同士を連通し、オゾン含有ガスを各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ供給しながら攪拌する一方、最上段の区画室３０ａから浄化処理後の処理水を処理槽２の外部に排出するようにしたので、最上段の区画室３０ａより下段の区画室に供給されたオゾン含有ガスで未反応のオゾン含有ガスは、それより上段の区画室で再び汚染水との反応に供されるため、未反応のまま無駄に排出されるオゾンガスの量を可及的少なくすることができる。
【００５２】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおけるオゾン含有ガスの供給量と水中ポンプ４，５，６，７による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたので、区画室の容積に応じて適切な浄化処理が行われる。また、下段に位置する区画室でその容積に応じた前段階の浄化処理が行われ、ある程度、浄化処理された汚染水がそれより上段に位置する容積が小さい区画室でさらにその容積に応じた後段階の浄化処理が行われることによって、汚染水に対して浄化処理を均一に行うことができる。
【００５３】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、各水中ポンプ４，５，６，７を各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに対応してそれぞれ個別に設け、各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａを、連通孔３２…の下流端の開口の近傍に位置付けたので、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留している汚染水とそれらの区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに連通孔３２…の開口から供給される汚染水との双方をポンプが同時に吸引することで、それら双方の汚染水が各水中ポンプ４，５，６，７によって確実に攪拌され、汚染水中の汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５４】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、処理槽２の処理槽本体２ｃを円筒形状に形成し、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを囲むようにそれぞれ四個ずつ設けられた連通孔３２…を介して各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに汚染水を供給すると共にこれらの連通孔３２…ごとに対応して水中ポンプ４，５，６，７をそれぞれ設け、各連通孔３２…の下流端となる開口の近傍に各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａをそれぞれ位置付け、これらの水中ポンプ４，５，６，７の各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを、処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置したので、各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにすでに貯留している汚染水と各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに連通孔３２…の開口から供給される汚染水との双方を各水中ポンプ４，５，６，７が同時に吸引しながら同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４にそれぞれ吐出することで、汚染水が水中ポンプ４，５，６，７によって十分に攪拌されて汚染水中の汚染物質とオゾン含有ガスとが各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄで十分に接触し、汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５５】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、処理槽２の処理槽本体２ｃに固着された枠部材２６の開口を蓋部材２７で閉塞したとき各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに臨む蓋部材２７の底面部２７ｂに水中ポンプ４，５，６，７を組み付けるようにしたので、枠部材２６の開口を閉塞するように蓋部材２７を組み付けるだけで、処理槽２の所望の位置に水中ポンプ４，５，６，７を配設することができる。
【００５６】
また、この実施の形態による浄化処理装置１によれば、水中ポンプ４，５，６，７の電動モータ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄに電源を供給する電線１９とオゾン含有ガスを供給するガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを、蓋部材２７を貫通して処理槽２の内外を配索するようにしたので、電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを予め蓋部材２７を貫通して配索しておけば、枠部材２６の開口に蓋部材２７を組み付けるだけで電線１９とガス管４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとを処理槽２の内外に亘って容易に配索することができる。
【００５７】
さらにまた、オゾン含有ガス供給装置８によってオゾン含有ガスを各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に供給するようにしたので、汚染水とオゾン含有ガスとがポンプの吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ内に一緒に吸引されて各水中ポンプ４，５，６，７のポンプ部１０，１１，１２，１３内で攪拌されながら吐出されることで、オゾン含有ガスが微細化されオゾン含有ガス中のオゾンが汚染物質に接触しやすくなり汚染物質とオゾンとの反応が適切に行われる。
【００５８】
なお、前述した実施の形態は本発明を説明するための一例であり、本発明は、前記の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲と明細書との全体から読み取れる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更後の基板検査装置もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
例えば、前述した実施の形態においては、処理槽２内に四個の区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを形成した例を示したが、本発明は、このような構成に囚われることなく、処理槽２内に形成する区画室は二個以上であればよい。
【００５９】
また、前述した実施の形態においては、各水中ポンプ４，５，６，７を処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配置した例を示したが、これに代えて、各水中ポンプ４，５，６，７を処理槽２の外部に配置し、各水中ポンプ４，５，６，７の吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａと吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂとをそれぞれ配管を介して処理槽２内の各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにそれぞれ配置するようにしてもよい。
【００６０】
また、水中ポンプ４，５，６，７の全ての吸引口１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａを、各連通孔３２…の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付ける例を示したが、これに代えて、一つまたは二つ以上の一部の吸引口を連通孔３２の下流端となる開口の近傍に位置付け、他の残りの吸引口を連通孔３２から離間した位置に位置付けるようにしてもよい。
【００６１】
さらにまた、各水中ポンプ４，５，６，７の各吐出口１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを各区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにおいて処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそれぞれ指向するように配置する例を示したが、これに代えて、区画室３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのうち何れかの三つ以下の区画室において処理槽本体２ｃの軸芯Ｏを中心とする同一の旋回方向を指向するように水中ポンプの吐出口を位置付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係る浄化処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は浄化処理装置の処理槽の外観を正面から見た状態を示す外観図である。
【図３】図３は図２の正面から見た処理槽を、紙面に平行な断面で処理槽の中央にて破断した状態を示す中央縦断面図である。
【図４】図４は図２の矢視Ａ−Ａ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図５】図５は図２の矢視Ｂ−Ｂ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図６】図６は図２の矢視Ｃ−Ｃ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図７】図７は図２の矢視Ｄ−Ｄ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図８】図８は図２の矢視Ｅ−Ｅ線に沿って処理槽を破断した状態を示す横断面図である。
【図９】図９は図３における左側の一部を拡大した状態を示す拡大縦断面図である。
【図１０】図１０の（ａ）は図３の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、同図の（ｂ）は図４および図５の一部を拡大した状態を示す拡大断面図である。
【図１１】図１１の（ａ）は図３の他の一部を拡大した状態を示す拡大断面図、同図の（ｂ）は図６，図７および図８の一部を拡大した状態を示す拡大断面図である。
【図１２】図１２は図２の矢視Ｆ−Ｆ線に沿う断面図である。
【図１３】図１３の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、同図の（ｂ）は同図の（ａ）の矢視Ｇ−Ｇ線に沿う断面図である。
【図１４】図１４の（ａ）は本発明でいう攪拌装置を構成する他の水中ポンプを、一部を破断して示した断面図、同図の（ｂ）は同図の（ａ）の矢視Ｈ−Ｈ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１ 浄化処理装置
２ 処理槽
２ａ 底面部材（殻壁）
２ｂ 上面部材（殻壁）
２ｃ 処理槽本体（殻壁）
４ 攪拌装置（水中ポンプ）
５ 攪拌装置（水中ポンプ）
６ 攪拌装置（水中ポンプ）
７ 攪拌装置（水中ポンプ）
８ オゾン含有ガス供給装置
１０ ポンプ部
１０ａ 吸引口
１０ｂ 吐出口
１１ ポンプ部
１１ａ 吸引口
１１ｂ 吐出口
１２ ポンプ部
１２ａ 吸引口
１２ｂ 吐出口
１３ ポンプ部
１３ａ 吸引口
１３ｂ 吐出口
１５ａ 電動モータ
１５ｂ 電動モータ
１５ｃ 電動モータ
１５ｄ 電動モータ
１９ 電線
２５ａ 区画壁
２５ｂ 区画壁
２５ｃ 区画壁
２７ 蓋部材
２７ｂ 底面部
３０ａ 区画室
３０ｂ 区画室
３０ｃ 区画室
３０ｄ 区画室
３２ 連通孔
４５ａ ガス管
４５ｂ ガス管
４５ｃ ガス管
４５ｄ ガス管
５１ ガス抜き管
Ｏ 軸芯
Ｍ１ 旋回方向
Ｍ２ 旋回方向
Ｍ３ 旋回方向
Ｍ４ 旋回方向
【特許請求の範囲】
【請求項１】
汚染水が貯留された処理槽内に、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを供給して前記汚染水を浄化処理するようにした浄化処理装置において、
前記処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成し、
前記複数の区画室のうち最下段の区画室と前記処理槽の外部とを連通する連通孔を介して前記処理槽内に汚染水を供給する一方、
前記複数の区画室で上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔を介して前記下段の区画室から前記上段の区画室に汚染水を供給し、
前記オゾン含有ガスをオゾン含有ガス供給装置により前記各区画室にそれぞれ供給しながら各区画室に貯留した汚染水を各区画室でそれぞれ個別に攪拌装置により攪拌し、
前記各区画室のうち最上段の区画室から浄化処理後の処理水を前記処理槽の外部に排出し、
前記処理槽の外部と前記最上段の区画室とを連通し処理槽内のガスを処理槽の外部に排出するガス抜き孔を処理槽の上部の殻壁に設けたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の浄化処理装置において、
前記複数の区画室で上下方向で隣り合う区画室同士を、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、
前記各区画室における、前記オゾン含有ガス供給装置による前記オゾン含有ガスの供給量と前記攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の浄化処理装置において、
前記攪拌装置は、前記区画室に供給された汚染水を吸引する吸引口とその吸引した汚染水を同区画室に吐出する吐出口とを備えたポンプからなり、
前記ポンプは、前記各区画室に対応してそれぞれ個別に設けられ、
前記各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの前記吸引口を、前記連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の浄化処理装置において、
前記処理槽の処理槽本体を、該処理槽を設置したとき処理槽本体の軸芯が鉛直方向に沿うような円筒形状に形成し、
前記複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、前記軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応して前記ポンプをそれぞれ設け、
前記軸芯を囲むように設けられた各連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に前記各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付ける一方、
これらのポンプの各吐出口を、前記少なくとも一つの区画室において前記軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の浄化処理装置において、
前記処理槽の外部から前記区画室に前記ポンプを配置可能なポンプ組付用開口を前記処理槽の殻壁に形成し、
前記ポンプ組付用開口を蓋部材により液密に閉塞し、
前記ポンプ組付用開口を閉塞したとき前記区画室に臨む前記蓋部材の底面部に前記ポンプを固定するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の浄化処理装置において、
前記ポンプは、ポンプ部と該ポンプ部を駆動する電動モータとを備え、
前記電動モータに電源を供給する電線と前記オゾン含有ガスを供給するガス管とを、前記蓋部材を貫通して前記処理槽の内外に亘って配索するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項７】
請求項３ないし請求項６のうち何れか一つに記載の浄化処理装置において、
前記オゾン含有ガス供給装置によって前記オゾン含有ガスを前記ポンプの吸引口内に供給するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項１】
汚染水が貯留された処理槽内に、組成ガスとしてオゾンを含むオゾン含有ガスを供給して前記汚染水を浄化処理するようにした浄化処理装置において、
前記処理槽内に、一つまたは二つ以上の区画壁によって鉛直方向に並ぶように複数の区画室を区画形成し、
前記複数の区画室のうち最下段の区画室と前記処理槽の外部とを連通する連通孔を介して前記処理槽内に汚染水を供給する一方、
前記複数の区画室で上下方向で隣り合う上段の区画室と下段の区画室とを連通する連通孔を介して前記下段の区画室から前記上段の区画室に汚染水を供給し、
前記オゾン含有ガスをオゾン含有ガス供給装置により前記各区画室にそれぞれ供給しながら各区画室に貯留した汚染水を各区画室でそれぞれ個別に攪拌装置により攪拌し、
前記各区画室のうち最上段の区画室から浄化処理後の処理水を前記処理槽の外部に排出し、
前記処理槽の外部と前記最上段の区画室とを連通し処理槽内のガスを処理槽の外部に排出するガス抜き孔を処理槽の上部の殻壁に設けたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の浄化処理装置において、
前記複数の区画室で上下方向で隣り合う区画室同士を、上段に位置する区画室の容積を下段に位置する区画室の容積以下になるように形成し、
前記各区画室における、前記オゾン含有ガス供給装置による前記オゾン含有ガスの供給量と前記攪拌装置による攪拌能力とを、容積が大きい区画室ほど多くなるようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の浄化処理装置において、
前記攪拌装置は、前記区画室に供給された汚染水を吸引する吸引口とその吸引した汚染水を同区画室に吐出する吐出口とを備えたポンプからなり、
前記ポンプは、前記各区画室に対応してそれぞれ個別に設けられ、
前記各ポンプのうち少なくとも何れか一つのポンプの前記吸引口を、前記連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に位置付けたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の浄化処理装置において、
前記処理槽の処理槽本体を、該処理槽を設置したとき処理槽本体の軸芯が鉛直方向に沿うような円筒形状に形成し、
前記複数の区画室のうち少なくとも一つの区画室には、前記軸芯を囲むように設けられた複数の連通孔を介して汚染水を供給すると共にこれらの複数の連通孔ごとに対応して前記ポンプをそれぞれ設け、
前記軸芯を囲むように設けられた各連通孔の、汚染水が通過する経路から見て下流端となる開口の近傍に前記各ポンプの吸引口をそれぞれ位置付ける一方、
これらのポンプの各吐出口を、前記少なくとも一つの区画室において前記軸芯を中心とする同一の旋回方向を指向するように配置したことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の浄化処理装置において、
前記処理槽の外部から前記区画室に前記ポンプを配置可能なポンプ組付用開口を前記処理槽の殻壁に形成し、
前記ポンプ組付用開口を蓋部材により液密に閉塞し、
前記ポンプ組付用開口を閉塞したとき前記区画室に臨む前記蓋部材の底面部に前記ポンプを固定するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の浄化処理装置において、
前記ポンプは、ポンプ部と該ポンプ部を駆動する電動モータとを備え、
前記電動モータに電源を供給する電線と前記オゾン含有ガスを供給するガス管とを、前記蓋部材を貫通して前記処理槽の内外に亘って配索するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【請求項７】
請求項３ないし請求項６のうち何れか一つに記載の浄化処理装置において、
前記オゾン含有ガス供給装置によって前記オゾン含有ガスを前記ポンプの吸引口内に供給するようにしたことを特徴とする浄化処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００９−１４８７１１（Ｐ２００９−１４８７１１Ａ）
【公開日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３２９４１４（Ｐ２００７−３２９４１４）
【出願日】平成１９年１２月２１日（２００７．１２．２１）
【出願人】（５９１２１１７１１）カルト株式会社 (20)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１２月２１日（２００７．１２．２１）
【出願人】（５９１２１１７１１）カルト株式会社 (20)
【Ｆターム（参考）】
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