漏洩マイクロ波検出器

［目的］操作が簡便で基準値を越えた漏洩マイクロ波が生じた場合には、ただちにこれを知ることができる漏洩マイクロ波検出器を提供すること。
［構成］ケーシング１１内に少なくともプリントアンテナ１２、検波回路２１、増巾回路２２及び電子ブザー２４を内蔵させている。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波を発生する装置から漏洩するマイクロ波を検出するための漏洩マイクロ波検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】図３は従来例の漏洩マイクロ波検出器を示すものであるが、アンテナ１は図示しないマイクロ波を発生する装置の近傍に設けられており、これはアンテナ支持部４、ケーブル３を介してマイクロ波電力表示器２に接続されている。マイクロ波電力表示器２は検波回路や増巾回路を内蔵するケーシング５の正面パネル部に表示部６を備えており、これに漏洩しているマイクロ波の電力を表示する。
【０００３】このような漏洩マイクロ波検出器によればアンテナ１とマイクロ波電力表示器２とは分離しており、又ケーブル３やアンテナ支持部４の部品のサイズも大きく単一体として取り扱うことは困難であり、例えばマイクロ波プラズマ処理装置の操作時において漏洩マイクロ波を検出する際にはその作業性を著しく低下させる問題点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、取り扱いが簡便で、携帯することも可能にする漏洩マイクロ波検出器を提供することを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、少なくとも、マイクロ波検知用アンテナと、マイクロ波検波回路と、該マイクロ波検波回路の検出信号を増巾するための検出信号増巾回路と、警報発生手段とを一つのケーシングに内蔵させたことを特徴とする漏洩マイクロ波検出器によって達成される。
【０００６】
【作用】ひとつのケーシング内にマイクロ波検出用アンテナ、マイクロ波検波回路、増巾回路を収納しているので全体としてコンパクトな形状とすることができる。その取り扱いが簡便であり、携帯型とすることもできる。更に、警報発生手段を備えているので漏洩しているマイクロ波が所定電力以上であれば警報例えばブザーを発することにより、作業者は直ちに大きな漏洩があることを知ることができる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例による漏洩マイクロ波検出器について図１及び図２を参照して説明する。
【０００８】図１は本発明の実施例による漏洩マイクロ波検出器の全体を示すが、ポケット収納型とされ符号１０によってこれは示され、ほぼ直方体のケーシング１１内には図２に示すような各構成要素を内蔵している。又、その正面パネル部にはマイクロ波電力表示部３１、バッテリー電圧表示部３２及び開口に張設した布材３３を備えている。又その上壁部にはオン−オフスイッチ１３、バッテリーチェックスイッチ１４及びバッテリ−チェックＬＥＤ（Light Emitting diode）１５を備えている。図２に示すようにケーシング１１内には平らなプリントアンテナ１２、この受信信号を検波する検波回路２１、この検波出力を増巾する増巾回路２２、２２’、更にこの増巾回路２２、２２’の出力を受けて電子ブザー２４を駆動するための電子ブザー駆動回路２３を少なくとも内蔵している。尚図示せずともバッテリーも内蔵しており、この電圧はケーシング１１の上壁部に取り付けられたバッテリーチェックスイッチ１４を押すことによりバッテリー電圧表示部３２によりその電圧が表示されると共に、バッテリーチェックＬＥＤ１５により使用不能な電圧になるとこれが消えるが、そうでない場合は点灯するように構成されている。又オン−オフスイッチ１３はこれを押すことにより、バッテリーから図２に示す各回路に対して電気を供給するようにしている。
【０００９】又、図示せずとも増巾回路２２、２２’の出力端子は比較器（これは電子ブザー駆動回路２３に内蔵されていてもよい）に接続されており、所定の電圧以上になると、電子ブザー駆動回路２３を駆動するように構成されている。
【００１０】本発明の実施例による漏洩マイクロ波検出器１０は以上のように構成されるが、次にこの作用について説明する。
【００１１】例えば、作業者がマイクロ波プラズマ処理装置を操作している時にこの装置から漏洩するマイクロ波を検出する場合について説明する。作業者は図１に示す漏洩マイクロ波検出器１０を携帯しているのであるが、これにはプリントアンテナ１２が内蔵されており、その操作者がマイクロ波プラズマ装置のマイクロ波を発生する装置の近傍にいるときにもしマイクロ波が漏洩していれば、この内蔵するプリントアンテナ１２がこれを受け、ケーシング１１に内蔵されている検波回路２１によりこれを検波しこの微小な出力を増巾回路２２、２２’で増巾し、電子ブザー駆動回路２３に供給するのであるが、例えば５mW/cm²を越える漏洩マイクロ波電力を検知し、基準値もしくは許容限度を越えているものと判断した場合には、電子ブザー駆動回路２３が作動し、これに接続される電子ブザー２４を駆動させる。これにより、この作業者は開口３３に貼着した布材を通して今漏洩マイクロ波が基準値を越えていることを直ちに知ることができる。尚、マイクロ波電力表示部３１にはこの時の漏洩マイクロ波出力（すなわち５mW/cm²の出力）を測定しているのであるがこの表示部３１を見ることによっても基準値を越えていることを知ることができる。
【００１２】尚バッテリーチェックスイッチ１４を押すことにより、バッテリーチェックＬＥＤが点灯すれば正常に作動しているものと判断し、従って正確なマイクロ波漏洩検出を行っていると認識することができる。
【００１３】以上述べたように本発明の漏洩マイクロ波検出器１０によれば所定値以上のマイクロ波が漏洩していると、直ちにこれを知ることができ、又コンパクトな形状であるのでその操作が非常に簡便である。
【００１４】以上、本発明の実施例における漏洩マイクロ波検出器１０を説明したがもちろんこれに限定されることなく種々の変形が可能である。例えば以上の実施例では携帯型として説明したがもちろん設置型として構成してもよい。この場合においても従来よりも操作が簡便であり、又漏洩マイクロ波の出力値が所定値以上であればブザー音により表示部３１を見ずとも直ちにこれを知ることができる。
【００１５】更に、漏洩マイクロ波の出力値により、その漏洩度が小さい場合であるのか又は、危険領域に達している場合であるのかを、２つの比較器により比較することで検出するようにしてもよい。この場合、赤ランプを小さい場合、ブザーを大なる場合の警報手段としてもよく、ブザーの鳴り方を変えるようにしてもよい。
【００１６】以上の実施例では、アンテナとしてはプリント型を用い、この場合には確かに薄型でかつ更に小型化するのであるが、プリント状ではない従来の小型アンテナであってもよい。尚、プリントアンテナは、ストップラインの放射による放射損を積極的に利用するものである。
【００１７】又、以上の実施例においては警報発生手段としてブザーを説明したが、ランプを点灯するようにしてもよい。
【００１８】又、以上の実施例ではマイクロ波プラズマ処理装置からのマイクロ波の検出を行うものとしたが、マイクロ波を発生する装置、例えば木材乾燥装置、家庭用電子レンジ、半導体製造装置等にも適用可能である。
【００１９】又、以上の実施例ではケーシング１１の正面パネル部にはマイクロ波電力表示部３１、バッテリー電圧表示部３２及び開口に布材３３を設けたが、これらは省略してもよい。この場合、正面パネル部は何もない単なる平板部となるが、内蔵するブザーの音量を大にしておけば、警報にはなんら問題がない。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明の漏洩マイクロ波検出器によれば漏洩マイクロ波を検出する操作が従来より大巾に簡便となり、かつ又携帯型とすることができる。更に、基準値以上のマイクロ波が検出された場合には携帯したままで直ちにこれを知ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による漏洩マイクロ波検出器の斜視図である。
【図２】図１の検出器が内蔵する電気回路のブロック図である。
【図３】従来例の漏洩マイクロ波検出器の斜視図である。
【符号の説明】
１１ケーシング
１２プリントアンテナ
２１検波回路
２２増巾回路
２２’ 増巾回路
２４電子ブザー

【特許請求の範囲】
【請求項１】少なくとも、マイクロ波検知用アンテナと、マイクロ波検波回路と、該マイクロ波検波回路の検出信号を増巾するための検出信号増巾回路と、警報発生手段とを一つのケーシングに内蔵させたことを特徴とする漏洩マイクロ波検出器。

【図２】