潜在性酸及びそれらの使用
本発明は、式（I）又は（II）の酸、例えば、相応するスルホニウム塩及びインドニウム塩ならびに相応するスルホニルオキシムを生成する化合物に属し、式（I）又は（II）中、ＸはＣＨ2又はＣＯであり；ＹはＯ、ＮＲ4、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）、Ｏ（ＣＯ）Ｏ、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4 、ＯＳＯ2、Ｏ（ＣＳ）又はＯ（ＣＳ）ＮＲ4 であり；Ｒ1は、例えばＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり、全て非置換であるか又は置換されている；又はＲ1は、ＮＲ12Ｒ13であり；Ｒ2とＲ3は、例えば、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンであり；全て非置換であるか又は置換されている；Ｒ4は、例えばＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；Ｒ12とＲ13は、例えばＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ15又はＳＯ2Ｒ15であり；かつＡｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、全て非置換であるか又は置換されている。
Notice: Undefined index: DEJ in /mnt/www/gzt_disp.php on line 298
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式I又はII
【化１】
［式中、
ＸはＣＨ2又はＣＯであり；
ＹはＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｏ（ＣＯ）Ｏ、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4 、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4（ＣＯ）、ＯＳＯ2、Ｏ（ＣＳ）又はＯ（ＣＳ）ＮＲ4 であり、これらのそれぞれに関して、酸素原子はＸに直接結合している；又はＮＲ4 、Ｓ、ＮＲ4（ＣＯ）Ｏ、ＮＲ4（ＣＳ）Ｏであり、Ｎ原子又はＳ原子はＸに直接に結合している；
Ｒ1は水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14 、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14 、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニル、場合により置換されたフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
又はＲ1は、ＮＲ12Ｒ13であり；
又はＲ1は、１つもしくは複数のヘテロ原子を含有していてもよいステロイド構造の一価のＣ17〜Ｃ50−炭化水素基であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは、非置換であるか又は置換されている；
Ｒ2とＲ3は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又はＲ2とＲ3は互いに独立にフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレン、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンは、非置換であるか又は置換されている；
又はＲ2とＲ3は互いに独立に直接結合であるが、但しＲ2とＲ3は両方が同時に直接結合であることはない；
Ｒ4は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；又は
Ｒ4は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルであり；その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルは、非置換であるか又は置換されている；
又はＲ1とＲ4は、Ｒ4が結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ｒ12とＲ13は、互いに独立に水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ12とＲ13は、互いに独立にＡｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ15又はＳＯ2Ｒ15
であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル又はＡｒは非置換であるか又は置換されている；
又はＲ12とＲ13は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員環、６員環又は７員環を形成し；
Ｒ14は水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ14はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルは非置換であるか又は置換されている；
Ｒ15は、水素、Ａｒ、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり、
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
その際、前記Ａｒ、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、又は中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは非置換であるか又は置換されている；及び
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は置換されている］
の酸を生成する化合物。
【請求項２】
式IIIa、IIIb、IVa又はIVb
【化２】
［式中、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23は、互いに独立にＡｒ1、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又はＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
又はＲ21とＲ22は、場合により直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又はＣＯと一緒に縮合環系を形成し；
又はＲ21とＲ22は、場合により直接結合、Ｃ1〜Ｃ6−アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成し；
その際、全てのＲ21、Ｒ22とＲ23は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ｚは、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
又はハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15であり；
Ｒ24とＲ25は互いに独立にＡｒ1であり；
又はＲ24とＲ25は、場合により直線結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に縮合環を形成し；
又はＲ24とＲ25は、場合によりＣ1〜Ｃ2−アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＲ24とＲ25は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ2により置換されている；
Ａｒ1は、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されているか、又は
【化３】
により置換されている；
場合により、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又は−ＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール環上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール環の炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
Ｚ2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
又はハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15、ＯＳＯ2Ｒ15、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル及び／又はヘテロアリールであり；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚ2は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
ａは０又は１である；
Ｅは、
【化４】
である；
Ｒ11は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ11は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ15、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13又はＳＯ2Ｒ15であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又は中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ1により置換されている；
Ｚ1は、Ａｒ、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ12Ｒ13、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシであり；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｘ、Ｙ、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及びＲ15は請求項１に記載の通りである］
のものである、請求項１に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項３】
式IIIc、IIId、IIIe、IVc又はIVe
【化５】
［式中、
Ａは、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、ＣＮ、（ＣＯ）ＯＲ11又はＳＯ2Ｒ15であり；
Ａｒ2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＡｒ2は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
その際、前記フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＡｒ2は酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａｒ’2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又はＡｒ’2は、直接結合、フェニレン、ナフチレン、
【化６】
、ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化７】
であり、その際、前記フェニレン、ナフチレン、
【化８】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化９】
は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている：
場合により、フェニレン、ナフチレン、
【化１０】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１１】
上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニレン、ナフチレン、
【化１２】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１３】
上の更なる置換基と一緒に、又はフェニレン、ナフチレン、
【化１４】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１５】
の炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、直接結合を除く全てのＡｒ’2は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
又はＡｒ’2は、基−Ａｒ’’2−Ａ1−Ｙ1−Ａ1−Ａｒ’’2−であり；
Ａｒ’’2は、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンであり、その際、前記フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
場合により、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレン上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレン上の更なる置換基と一緒に、又はフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全ての基Ａｒ’’2は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａ1は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｓ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）、ＳＯ、ＳＯ2又はＯＳＯ2であり；又は
Ａ1は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＣ1〜Ｃ4−ハロアルキル、ハロゲン、ＯＲ11及び／又はＳＲ14により置換されているＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり、又は非置換であるか又は１つもしくは複数のＣ1〜Ｃ12−アルキル、Ｃ1〜Ｃ4−ハロアルキル、ハロゲン、ＯＲ11及び／又はＳＲ14により置換されているフェニレンであり；
Ｙ1は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＯＲ11、ＳＲ14、ハロゲン又はフェニルにより置換されているＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり；又はＹ1は、１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｓ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）、ＳＯ、ＳＯ2又はＯＳＯ2により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり、及びその際、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＯＲ11、ＳＲ14、ハロゲン又はフェニルにより置換されている；
Ｒ26とＲ27は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ26とＲ27は、互いに独立にフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
又はＲ26とＲ27は、一緒になって１，２−フェニレンであるか、又は１，２−又は２，３−又は１，８−ナフチレンであるか、又はＲ26とＲ27は、場合により直接結合、Ｃ1〜Ｃ4−アルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ4−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ4−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14、（ＣＯ）と一緒になって５員環、６員環又は７員環を形成し；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15、及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＲ26とＲ27は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｘ、Ｙ、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及びＲ15は、請求項１に記載の通りであり、かつＺは請求項２に記載の通りである］
のものである、請求項１に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物であって、前記式中、
ＸはＣＨ2であり、
ＹはＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｏ（ＣＯ）Ｏ、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4 、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4（ＣＯ）、ＯＳＯ2又はＯ（ＣＳ）ＮＲ4 であり、これらのそれぞれに関して、酸素原子はＸに直接結合している；
Ｒ1は水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又はＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＯにより中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯにより中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又はＲ1はＮＲ12Ｒ13であり；
又は１つもしくは複数のＯ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
その際、前記Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
Ｚは、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、ハロゲン、（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ14又はＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11であり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
Ｒ2とＲ3は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン又はＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
Ｒ4は、水素であり；
Ｒ11は、水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又はＡｒであり；
Ｒ12とＲ13は、互いに独立に水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル又はＣ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又はＲ12とＲ13は、互いに独立に（ＣＯ）Ｒ15又はＳＯ2Ｒ15であり；
又はＲ12とＲ13は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員環、６員環又は７員環を形成し；
Ｒ14は水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニル、フェニルスルホニルであり、その際、前記フェニル又はＣ1〜Ｃ8−アルキルスルホニルは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ1により置換されている；
Ｒ15は、水素又はＡｒであり；及び
Ａｒは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ2により置換されているフェニルであり；
Ｚ2は、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又は（ＣＯ）Ｒ15であり；及び
Ｚ1は、Ａｒである、請求項１から３までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項５】
式Ia又はIIa
【化１６】
［式中、
Ｑ+は、プロトン、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、非置換の又は１つもしくは複数の（ＮＲ28Ｒ29Ｒ30Ｒ31）+により置換されたプラスの電荷を有する１つもしくは複数の窒素原子を有するヘテロアリールであり；
Ｒ28、Ｒ29、Ｒ30及びＲ31は、互いに独立に請求項１に定義したＲ12とＲ13の意味のうち１つを有し；
又はＲ28、Ｒ29、Ｒ30は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14、ＣＯにより中断されている、及び／又は場合により橋頭でＣＲ15又はＮにより中断されている多環を形成する；及び
Ｘ、Ｙ、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3、Ｒ14及びＲ15は、請求項１に記載の通りである］
の化合物。
【請求項６】
放射感受性酸供与体（ａ）として、請求項１から４までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する少なくとも１つの化合物；及び
現像液中では不溶性であるか又は実質的に不溶性であり、かつ酸の作用により可溶性になる化合物（ｃ）を含む、化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
【請求項７】
放射感受性酸供与体として、請求項２に記載の式IIIa又はIIIbの化合物、又は請求項３に記載の式IIIc又はIIIeの化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）を、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーと重合することにより得られるポリマーを含む、化学増幅型レジスト組成物。
【請求項８】
更に他の添加剤（ｄ）を含む、請求項６又は７に記載の化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
【請求項９】
請求項２に定義した式IIIa及びIIIbの化合物、又は請求項３に定義した式IIIc及びIIIeの化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）を、重合可能な基を有する前記式IIIa、IIIb、IIIc及びIIIeの化合物と、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーとの重合によりポリマーを製造するために用いる使用。
【請求項１０】
感光性酸供与体（ａ）として、請求項１から４までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する少なくとも１つの化合物；及び
酸の作用により架橋又は重合する化合物（ｂ）を含む、化学増幅型ネガ型レジスト組成物であって、コーティング及び乾燥したレジスト組成物は現像液中に可溶性であり、かつ酸の作用により不溶性になるか又は実質的に不溶性である前記組成物。
【請求項１１】
次の工程：
（１）請求項６から１０までのいずれか１項に記載の組成物を基材に塗布する工程；
（２）組成物を６０℃〜１６０℃の温度で塗布後焼き付けする工程；
（３）１０nm〜１５００nmの波長範囲内で、電磁線で又は電子ビームで画像通りに照射する工程；
（４）場合により、組成物を６０〜１６０℃の間の温度で露光後焼き付けする工程；及び
（５）溶剤で又は水性アルカリ現像液で現像する工程
を含む、フォトレジストを塗布する方法。
【請求項１２】
（ａ）酸供与体として、請求項２、３又は５に記載の式Ia、IIa、IIIa、IIIb、IIIe、IVa、IVb、IIIc、IIId、IVc及びIVeの少なくとも１つの化合物、及び
（ｂ）酸の作用により硬化又は架橋する化合物
を含む組成物。
【請求項１３】
酸供与体として、請求項２、３又は５に記載の式Ia、IIa、IIIa、IIIb、IIIe、IVa、IVb、IIIc、IIId、IVc及びIVeの少なくとも１つの化合物；及び酸の作用により分解する化合物を含む組成物。
【請求項１４】
請求項１から４までのいずれか1項に記載の式IもしくはIIの酸を生成する化合物、又は請求項２に記載の式IIIaあるいはIIIbの化合物、もしくは請求項３に記載の式IIIcあるいはIIIeに記載の化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）と、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーとの重合により得られるポリマーを、酸の作用下に架橋又は硬化できる組成物における酸供与体として用いる使用。
【請求項１５】
請求項１から４までのいずれか1項に記載の式IもしくはIIの酸を生成する化合物、又は請求項２に記載の式IIIaあるいはIIIbの化合物、もしくは請求項３に記載の式IIIcあるいはIIIeに記載の化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）と、場合により重合可能な二重結合を有し、かつ更に酸不安定基を有していてもよい更なるモノマーとの重合により得られるポリマーを、酸の作用により現像液中のその溶解度を高める組成物における酸供与体として用いる使用。
【請求項１】
式I又はII
【化１】
［式中、
ＸはＣＨ2又はＣＯであり；
ＹはＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｏ（ＣＯ）Ｏ、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4 、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4（ＣＯ）、ＯＳＯ2、Ｏ（ＣＳ）又はＯ（ＣＳ）ＮＲ4 であり、これらのそれぞれに関して、酸素原子はＸに直接結合している；又はＮＲ4 、Ｓ、ＮＲ4（ＣＯ）Ｏ、ＮＲ4（ＣＳ）Ｏであり、Ｎ原子又はＳ原子はＸに直接に結合している；
Ｒ1は水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14 、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14 、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニル、場合により置換されたフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ1は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
又はＲ1は、ＮＲ12Ｒ13であり；
又はＲ1は、１つもしくは複数のヘテロ原子を含有していてもよいステロイド構造の一価のＣ17〜Ｃ50−炭化水素基であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは、非置換であるか又は置換されている；
Ｒ2とＲ3は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又はＲ2とＲ3は互いに独立にフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレン、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン、ビフェニレン又はヘテロアリーレンは、非置換であるか又は置換されている；
又はＲ2とＲ3は互いに独立に直接結合であるが、但しＲ2とＲ3は両方が同時に直接結合であることはない；
Ｒ4は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；又は
Ｒ4は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルであり；その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルは、非置換であるか又は置換されている；
又はＲ1とＲ4は、Ｒ4が結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員、６員又は７員環を形成し；
Ｒ12とＲ13は、互いに独立に水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ12とＲ13は、互いに独立にＡｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ15又はＳＯ2Ｒ15
であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル又はＡｒは非置換であるか又は置換されている；
又はＲ12とＲ13は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員環、６員環又は７員環を形成し；
Ｒ14は水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ14はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、ヘテロアリール、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル又はフェニルスルホニルは非置換であるか又は置換されている；
Ｒ15は、水素、Ａｒ、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり、
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
その際、前記Ａｒ、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、又は中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは非置換であるか又は置換されている；及び
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は置換されている］
の酸を生成する化合物。
【請求項２】
式IIIa、IIIb、IVa又はIVb
【化２】
［式中、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23は、互いに独立にＡｒ1、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又はＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
又はＲ21とＲ22は、場合により直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又はＣＯと一緒に縮合環系を形成し；
又はＲ21とＲ22は、場合により直接結合、Ｃ1〜Ｃ6−アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成し；
その際、全てのＲ21、Ｒ22とＲ23は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ｚは、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
又はハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15であり；
Ｒ24とＲ25は互いに独立にＡｒ1であり；
又はＲ24とＲ25は、場合により直線結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に縮合環を形成し；
又はＲ24とＲ25は、場合によりＣ1〜Ｃ2−アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14又は（ＣＯ）と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＲ24とＲ25は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ2により置換されている；
Ａｒ1は、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されているか、又は
【化３】
により置換されている；
場合により、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又は−ＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール環上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール環の炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
Ｚ2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
又はハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15、ＯＳＯ2Ｒ15、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル及び／又はヘテロアリールであり；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚ2は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
ａは０又は１である；
Ｅは、
【化４】
である；
Ｒ11は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ11は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ15、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13又はＳＯ2Ｒ15であり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又は中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ1により置換されている；
Ｚ1は、Ａｒ、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ12Ｒ13、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシであり；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｘ、Ｙ、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及びＲ15は請求項１に記載の通りである］
のものである、請求項１に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項３】
式IIIc、IIId、IIIe、IVc又はIVe
【化５】
［式中、
Ａは、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、ＣＮ、（ＣＯ）ＯＲ11又はＳＯ2Ｒ15であり；
Ａｒ2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＡｒ2は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
その際、前記フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＡｒ2は酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａｒ’2は、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
又は１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニレンであり；
又はＡｒ’2は、直接結合、フェニレン、ナフチレン、
【化６】
、ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化７】
であり、その際、前記フェニレン、ナフチレン、
【化８】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化９】
は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている：
場合により、フェニレン、ナフチレン、
【化１０】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１１】
上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニレン、ナフチレン、
【化１２】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１３】
上の更なる置換基と一緒に、又はフェニレン、ナフチレン、
【化１４】
ジフェニレン、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１５】
の炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、直接結合を除く全てのＡｒ’2は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
又はＡｒ’2は、基−Ａｒ’’2−Ａ1−Ｙ1−Ａ1−Ａｒ’’2−であり；
Ａｒ’’2は、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンであり、その際、前記フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
場合により、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレン上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレン上の更なる置換基と一緒に、又はフェニレン、ナフチレン、アントラシレン、フェナントリレン又はヘテロアリーレンの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全ての基Ａｒ’’2は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；
Ａ1は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｓ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）、ＳＯ、ＳＯ2又はＯＳＯ2であり；又は
Ａ1は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＣ1〜Ｃ4−ハロアルキル、ハロゲン、ＯＲ11及び／又はＳＲ14により置換されているＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり、又は非置換であるか又は１つもしくは複数のＣ1〜Ｃ12−アルキル、Ｃ1〜Ｃ4−ハロアルキル、ハロゲン、ＯＲ11及び／又はＳＲ14により置換されているフェニレンであり；
Ｙ1は、非置換であるか又は１つもしくは複数のＯＲ11、ＳＲ14、ハロゲン又はフェニルにより置換されているＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり；又はＹ1は、１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｓ（ＣＯ）、ＮＲ14（ＣＯ）、ＳＯ、ＳＯ2又はＯＳＯ2により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンであり、及びその際、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキレンは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＯＲ11、ＳＲ14、ハロゲン又はフェニルにより置換されている；
Ｒ26とＲ27は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又は互いに独立に１つもしくは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ14、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又はＲ26とＲ27は、互いに独立にフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールであり；
その際、前記Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
又はＲ26とＲ27は、一緒になって１，２−フェニレンであるか、又は１，２−又は２，３−又は１，８−ナフチレンであるか、又はＲ26とＲ27は、場合により直接結合、Ｃ1〜Ｃ4−アルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキレン、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン、Ｃ1〜Ｃ4−ハロアルキレン、Ｃ2〜Ｃ4−アルケニレン、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ14、（ＣＯ）と一緒になって５員環、６員環又は７員環を形成し；
場合により、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上のＣ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、（ＣＯ）Ｒ15、（ＣＯ）ＯＲ11、（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、Ｏ（ＣＯ）Ｒ15、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＮＲ14（ＣＯ）Ｒ15、ＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11、ＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13、ＯＲ11、ＮＲ12Ｒ13、ＳＲ14、ＳＯＲ15、ＳＯ2Ｒ15、及び／又はＯＳＯ2Ｒ15としての基Ｚは、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒に、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、ビフェニリル、フルオレニル又はヘテロアリールの炭素原子のうちの１つと一緒に、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及び／又はＲ15を介して、５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのＲ26とＲ27は、酸の作用により切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により場合により更に置換されている；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｘ、Ｙ、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14及びＲ15は、請求項１に記載の通りであり、かつＺは請求項２に記載の通りである］
のものである、請求項１に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物であって、前記式中、
ＸはＣＨ2であり、
ＹはＯ、Ｏ（ＣＯ）、Ｏ（ＣＯ）Ｏ、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4 、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ4（ＣＯ）、ＯＳＯ2又はＯ（ＣＳ）ＮＲ4 であり、これらのそれぞれに関して、酸素原子はＸに直接結合している；
Ｒ1は水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又はＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＯにより中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり；
又は１つもしくは複数のＯにより中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルであり；
又は１つもしくは複数のＯ、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）又はＮＲ14（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキルであり；
又はＲ1はＮＲ12Ｒ13であり；
又は１つもしくは複数のＯ、ＣＯ又はＯ（ＣＯ）により中断されているＣ３〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルであり；
その際、前記Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキルは、非置換であるか又は１つもしくは複数のＺにより置換されている；
Ｚは、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、ハロゲン、（ＣＯ）ＯＲ11、Ｏ（ＣＯ）Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ14又はＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11であり；
又は１つもしくは複数のＮＲ14（ＣＯ）ＯＲ11又はＮＲ14（ＣＯ）ＮＲ12Ｒ13により置換されているＣ5〜Ｃ30−シクロアルキル−Ｃ1〜Ｃ4−アルキルであり；
Ｒ2とＲ3は、互いに独立にＣ3〜Ｃ30−シクロアルキレン又はＣ1〜Ｃ18−アルキレンであり；
Ｒ4は、水素であり；
Ｒ11は、水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又はＡｒであり；
Ｒ12とＲ13は、互いに独立に水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル又はＣ1〜Ｃ18−アルキルであり；
又はＲ12とＲ13は、互いに独立に（ＣＯ）Ｒ15又はＳＯ2Ｒ15であり；
又はＲ12とＲ13は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14又はＣＯにより中断されている５員環、６員環又は７員環を形成し；
Ｒ14は水素、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニル、フェニルスルホニルであり、その際、前記フェニル又はＣ1〜Ｃ8−アルキルスルホニルは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ1により置換されている；
Ｒ15は、水素又はＡｒであり；及び
Ａｒは非置換であるか又は１つもしくは複数のＺ2により置換されているフェニルであり；
Ｚ2は、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル又は（ＣＯ）Ｒ15であり；及び
Ｚ1は、Ａｒである、請求項１から３までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する化合物。
【請求項５】
式Ia又はIIa
【化１６】
［式中、
Ｑ+は、プロトン、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、非置換の又は１つもしくは複数の（ＮＲ28Ｒ29Ｒ30Ｒ31）+により置換されたプラスの電荷を有する１つもしくは複数の窒素原子を有するヘテロアリールであり；
Ｒ28、Ｒ29、Ｒ30及びＲ31は、互いに独立に請求項１に定義したＲ12とＲ13の意味のうち１つを有し；
又はＲ28、Ｒ29、Ｒ30は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つもしくは複数のＯ、ＮＲ14、ＣＯにより中断されている、及び／又は場合により橋頭でＣＲ15又はＮにより中断されている多環を形成する；及び
Ｘ、Ｙ、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3、Ｒ14及びＲ15は、請求項１に記載の通りである］
の化合物。
【請求項６】
放射感受性酸供与体（ａ）として、請求項１から４までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する少なくとも１つの化合物；及び
現像液中では不溶性であるか又は実質的に不溶性であり、かつ酸の作用により可溶性になる化合物（ｃ）を含む、化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
【請求項７】
放射感受性酸供与体として、請求項２に記載の式IIIa又はIIIbの化合物、又は請求項３に記載の式IIIc又はIIIeの化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）を、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーと重合することにより得られるポリマーを含む、化学増幅型レジスト組成物。
【請求項８】
更に他の添加剤（ｄ）を含む、請求項６又は７に記載の化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
【請求項９】
請求項２に定義した式IIIa及びIIIbの化合物、又は請求項３に定義した式IIIc及びIIIeの化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）を、重合可能な基を有する前記式IIIa、IIIb、IIIc及びIIIeの化合物と、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーとの重合によりポリマーを製造するために用いる使用。
【請求項１０】
感光性酸供与体（ａ）として、請求項１から４までのいずれか１項に記載の式I又はIIの酸を生成する少なくとも１つの化合物；及び
酸の作用により架橋又は重合する化合物（ｂ）を含む、化学増幅型ネガ型レジスト組成物であって、コーティング及び乾燥したレジスト組成物は現像液中に可溶性であり、かつ酸の作用により不溶性になるか又は実質的に不溶性である前記組成物。
【請求項１１】
次の工程：
（１）請求項６から１０までのいずれか１項に記載の組成物を基材に塗布する工程；
（２）組成物を６０℃〜１６０℃の温度で塗布後焼き付けする工程；
（３）１０nm〜１５００nmの波長範囲内で、電磁線で又は電子ビームで画像通りに照射する工程；
（４）場合により、組成物を６０〜１６０℃の間の温度で露光後焼き付けする工程；及び
（５）溶剤で又は水性アルカリ現像液で現像する工程
を含む、フォトレジストを塗布する方法。
【請求項１２】
（ａ）酸供与体として、請求項２、３又は５に記載の式Ia、IIa、IIIa、IIIb、IIIe、IVa、IVb、IIIc、IIId、IVc及びIVeの少なくとも１つの化合物、及び
（ｂ）酸の作用により硬化又は架橋する化合物
を含む組成物。
【請求項１３】
酸供与体として、請求項２、３又は５に記載の式Ia、IIa、IIIa、IIIb、IIIe、IVa、IVb、IIIc、IIId、IVc及びIVeの少なくとも１つの化合物；及び酸の作用により分解する化合物を含む組成物。
【請求項１４】
請求項１から４までのいずれか1項に記載の式IもしくはIIの酸を生成する化合物、又は請求項２に記載の式IIIaあるいはIIIbの化合物、もしくは請求項３に記載の式IIIcあるいはIIIeに記載の化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）と、場合により重合可能な二重結合を有する更なるモノマーとの重合により得られるポリマーを、酸の作用下に架橋又は硬化できる組成物における酸供与体として用いる使用。
【請求項１５】
請求項１から４までのいずれか1項に記載の式IもしくはIIの酸を生成する化合物、又は請求項２に記載の式IIIaあるいはIIIbの化合物、もしくは請求項３に記載の式IIIcあるいはIIIeに記載の化合物（式中、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル又は中断されているＣ2〜Ｃ18−アルケニルとしてのＲ1は、少なくとも１つの二重結合を有する重合可能な基である）と、場合により重合可能な二重結合を有し、かつ更に酸不安定基を有していてもよい更なるモノマーとの重合により得られるポリマーを、酸の作用により現像液中のその溶解度を高める組成物における酸供与体として用いる使用。
【公表番号】特表２０１３−５２０４５８（Ｐ２０１３−５２０４５８Ａ）
【公表日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−５５４２８１（Ｐ２０１２−５５４２８１）
【出願日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２０１１／０５１９９５
【国際公開番号】ＷＯ２０１１／１０４１２７
【国際公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【出願人】（５０８０２０１５５）ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア (2,842)
【氏名又は名称原語表記】ＢＡＳＦ ＳＥ
【住所又は居所原語表記】Ｄ−６７０５６ Ｌｕｄｗｉｇｓｈａｆｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２０１１／０５１９９５
【国際公開番号】ＷＯ２０１１／１０４１２７
【国際公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【出願人】（５０８０２０１５５）ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア (2,842)
【氏名又は名称原語表記】ＢＡＳＦ ＳＥ
【住所又は居所原語表記】Ｄ−６７０５６ Ｌｕｄｗｉｇｓｈａｆｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]