球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法
【課題】吸着不良を防止する。
【解決手段】複数の吸気口２３ａが形成された吸着面２２ａを有する吸着ヘッド１１と、通気性シート３２ｄ（保持面）で半田ボール３００を保持する保持部３２と、保持部３２を吸着ヘッド１１に対して相対的に移動させる移動機構と、移動機構を制御して半田ボール３００を保持している通気性シート３２ｄを吸着面２２ａに近接させた状態を維持しつつ吸着面２２ａに沿って保持部３２を移動させる移動処理を実行する制御部と、保持部３２を回動させる回動機構とを備え、保持部３２は、通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成され、制御部は、回動機構を制御して移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに予め規定された規定位置を中心として保持部３２を回動させる回動処理を移動処理に連動させて実行する。
【解決手段】複数の吸気口２３ａが形成された吸着面２２ａを有する吸着ヘッド１１と、通気性シート３２ｄ（保持面）で半田ボール３００を保持する保持部３２と、保持部３２を吸着ヘッド１１に対して相対的に移動させる移動機構と、移動機構を制御して半田ボール３００を保持している通気性シート３２ｄを吸着面２２ａに近接させた状態を維持しつつ吸着面２２ａに沿って保持部３２を移動させる移動処理を実行する制御部と、保持部３２を回動させる回動機構とを備え、保持部３２は、通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成され、制御部は、回動機構を制御して移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに予め規定された規定位置を中心として保持部３２を回動させる回動処理を移動処理に連動させて実行する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球状体を吸着する球状体吸着装置、その球状体吸着装置を備えて球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載装置、球状体を吸着する球状体吸着方法、およびその球状体吸着方法で吸着している球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の球状体吸着装置として、特開２０１１−９５９１号公報において出願人が開示した半田ボール吸着装置が知られている。この半田ボール吸着装置は、吸着ヘッド、収容容器、吸着保持部、駆動機構、整列用プレートおよび制御部などを備えて半田ボールを吸着可能に構成されている。この半田ボール吸着装置では、次のようにして半田ボールの吸着が行われる。まず、吸着保持部が収容容器に収容されている半田ボールを吸着して保持し、次いで、制御部が、駆動機構を制御して、吸着保持部の先端部が吸着ヘッドの吸着面に対向するように吸着保持部を回動させる。続いて、制御部は、駆動機構を制御して整列用プレートの一端側に吸着保持部の先端部を近接させる。この際に、整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に近接させられた先端部に保持されている半田ボールが吸着ヘッドに供給され、供給された半田ボールが吸着面の吸気口に引き寄せられて、整列用プレートの各挿通孔を通って吸気口に吸着される。次いで、制御部は、駆動機構を制御して、吸着保持部の先端部を整列用プレートに近接させた状態で、整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に沿って吸着保持部を移動させる。この際に、先端部に保持されている半田ボールが、吸着保持部の移動に伴って徐々に吸着ヘッドの各吸気口に供給されて、各吸気口の縁部に１つずつ吸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９５９１号公報（第６−９頁、第１０−１４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の半田ボール吸着装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この半田ボール吸着装置では、半田ボールを保持している吸着保持部の先端部を整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に沿って移動させることによって半田ボールを吸着ヘッドに供給している。一方、この半田ボール吸着装置では、半田ボールを確実に供給するため、吸着保持部に保持されている半田ボールが整列用プレートに接触するように、バネを用いて吸着保持部を整列用プレート向けて付勢している。つまり、この半田ボール吸着装置では、吸着保持部によって保持されている半田ボールが整列用プレートに向けて押し付けられつつ整列用プレートに沿って移動（つまり、整列用プレートに対して摺動）させられる。このため、この半田ボール吸着装置では、摺動によって半田ボールが摩耗したり変形したりして、その半田ボールが整列用プレートの挿通孔や吸着ヘッドの吸気口に嵌り込んで吸着不良（吸着ミス）が発生するおそれがある。また、摺動によって半田ボールが吸着保持部から脱落（落下）して、例えば、整列用プレートに沿って吸着保持部を移動させる処理の後半において吸着ヘッドに対して供給する半田ボールが不足して、これに起因して吸着不良が発生するおそれもある。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、吸着不良を防止し得る球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の球状体吸着装置は、複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドと、先端部の保持面で球状体を保持する保持部と、前記保持部を前記吸着ヘッドに対して相対的に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御して前記球状体を保持している前記保持面を前記吸着面に対して相対的に近接させた近接状態を維持しつつ当該吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行する制御部とを備えて前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着装置であって、前記保持部を回動させる回動機構を備え、前記保持部は、基端部における予め規定された規定位置を中心として前記回動機構によって回動されると共に、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成され、前記制御部は、前記回動機構を制御して前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに前記保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の球状体吸着装置は、請求項１記載の球状体吸着装置において、前記制御部は、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記移動機構および前記回動機構を制御する。
【０００８】
また、請求項３記載の球状体吸着装置は、請求項１または２記載の球状体吸着装置において、前記保持部は、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている。
【０００９】
また、請求項４記載の球状体搭載装置は、請求項１から３のいずれかに記載の球状体吸着装置と、前記球状体の吸着が行われる吸着位置と前記球状体が搭載対象体に搭載される搭載位置との間で前記球状体吸着装置の前記吸着ヘッドを搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する。
【００１０】
また、請求項５記載の球状体吸着方法は、複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドにおける当該吸着面に対して、球状体を保持している保持部の保持面を相対的に近接させた近接状態を維持しつつ、前記吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行し、前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着方法であって、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成された前記保持部を用いて、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに当該保持部の基端部における予め規定された規定位置を中心として当該保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する。
【００１１】
また、請求項６記載の球状体吸着方法は、請求項５記載の球状体吸着方法において、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記保持部の移動および回動を行う。
【００１２】
また、請求項７記載の球状体吸着方法は、請求項５または６記載の球状体吸着方法において、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている前記保持部を用いる。
【００１３】
また、請求項８記載の球状体搭載方法は、請求項５から７のいずれかに記載の球状体吸着方法で前記吸着ヘッドに前記球状体を吸着させ、当該球状体を吸着している前記吸着ヘッドを搭載位置に移動させて、前記球状体を搭載対象体に搭載する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項５記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、保持面の断面形状が弧状に形成された保持部を吸着ヘッドの吸着面に沿って移動させる移動処理に連動させて、保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部を回動させる回動処理を実行することにより、保持面に保持されている球状体を、余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着ヘッドの吸着面に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口の近傍に供給させることができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による球状体の摩耗や変形が確実に防止される結果、摩耗した球状体や変形した球状体がプレートの貫通孔や吸着ヘッドの吸気口に嵌り込むことに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。また、摺動によって球状体が保持部から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッドに対して供給する球状体が不足することに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項６記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、移動処理における保持部の相対的な移動速度と回動処理における保持面の周速度とが同じ速度となるように保持部の移動および回動を行うことにより、保持面に保持されている球状体を、余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着面に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口の近傍に供給することができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による球状体の摩耗や変形を確実に防止することができる結果、吸着不良の発生をより確実に防止することができる。
【００１６】
また、請求項３記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項７記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、保持面の断面形状が規定位置を中心とする円周の一部と同じ形状に形成された保持部を用いることにより、規定位置から保持面までの距離が一定のため、規定位置と吸着面との距離を一定に維持した状態で移動処理を実行し、これに連動して回動処理を実行することで、保持面における吸着面に最も近い位置から吸着面までの距離を一定に維持することができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、回動処理の実行時において、保持面に保持されている球状体が余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着面に対して同じ力で押圧される結果、押圧力が変化することによる球状体の変形等を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】半田ボール搭載装置１の構成を示す構成図である。
【図２】半田ボール吸着装置２の構成を示す構成図である。
【図３】吸着ヘッド１１の構成を示す断面図である。
【図４】吸着ヘッド１１の底壁２２および整列用プレート１４の構成を示す断面図である。
【図５】供給部１２の構成を示す斜視図である。
【図６】供給部１２の構成を示す断面図である。
【図７】供給部１２の構成を示す分解斜視図である。
【図８】保持部３２の構成を示す断面図である。
【図９】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図１０】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図１１】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図１２】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【図１３】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第５の説明図である。
【図１４】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第６の説明図である。
【図１５】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第７の説明図である。
【図１６】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第８の説明図である。
【図１７】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第９の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、図１に示す半田ボール搭載装置１の構成について説明する。半田ボール搭載装置１は、球状体搭載装置の一例であって、同図に示すように、半田ボール吸着装置２および搬送装置３を備えて、球状体搭載方法に従い、球状体の一例としての微小な球状粒体である半田ボール（マイクロボール）３００（図４参照）を搭載対象体としての基板４００（基板４００に形成された端子４０１：図１７参照）に搭載（載置）可能に構成されている。
【００２０】
この場合、半田ボール３００は、直径Ｌ１（図４参照）が８０μｍ程度の球状に構成されている。また、半田ボール３００は、図１７に示すように、半田ボール搭載装置１によって基板４００に搭載された後に加熱溶融されて略半球状となった状態で基板４００の表面（同図に示す端子４０１）に固着されて基板４００上にボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）を構成し、これによって半田搭載済基板（球状体搭載済基板）が製造される。また、このようにして製造された半田搭載済基板には、集積回路等の電子部品（図示せず）が搭載されて、その電子部品における端子が半田搭載済基板における基板４００の端子４０１に固着された半田ボール３００を介して端子４０１に接続され、これによって電子部品搭載済基板が製造される。
【００２１】
半田ボール吸着装置２は、球状体吸着装置の一例であって、図２に示すように、吸着ヘッド１１、供給部１２、吸気装置１３、整列用プレート１４および制御部１５を備えて構成されて、球状体吸着方法に従って半田ボール３００を吸着する。
【００２２】
吸着ヘッド１１は、図３に示すように、一例として、内部空間２１を有する中空の箱型に構成されている。また、同図および図４に示すように、吸着ヘッド１１における底壁２２には、底壁２２の外面（吸着面として機能する面であって、以下「吸着面２２ａ」ともいう）に開口すると共に内部空間２１と連通する吸気孔２３が、底壁２２の厚み方向に沿って複数（図４では、そのうちの１個のみを図示している）形成されている。なお、吸着面２２ａにおける吸気孔２３の開口部が吸気口（以下、「吸気口２３ａ」ともいう）に相当する。
【００２３】
この場合、図４に示すように、吸気孔２３（つまり、吸気口２３ａ）の直径Ｌ２は、半田ボール３００の直径Ｌ１（この例では、８０μｍ）よりも短い４０μｍ程度に規定されている。また、図３に示すように、吸着ヘッド１１には、内部空間２１の空気を吸気装置１３によって吸引するための通気孔２４が形成されている。この吸着ヘッド１１では、内部空間２１の空気が吸気装置１３によって吸引されることによって内部空間２１が負圧状態となり、それに伴って吸気口２３ａからの吸気が行われることにより、吸気口２３ａに半田ボール３００を吸着することが可能となっている（図４参照）。
【００２４】
供給部１２は、図５〜図７に示すように、収容容器３１、保持部３２、吸引部３３、移動機構３４および回動機構３５（いずれも図２参照）を備えて吸着ヘッド１１に対して半田ボール３００を供給する供給処理を実行する。また、供給部１２は、図外のバネによって整列用プレート１４（整列用プレート１４の配設位置）に向けて付勢されている。
【００２５】
収容容器３１は、図７に示すように、容器本体３１ａと、容器本体３１ａの両側部に配設された２枚の側壁３１ｂとを備えて、図６に示すように、半田ボール３００を収容可能に構成されている。
【００２６】
保持部３２は、図６に示すように、内部空間３２ｃを有する中空の箱型に構成されている。また、保持部３２の先端部３２ａには、保持面としての通気性シート３２ｄが配設され、基端部３２ｂには、吸気管３２ｅが取り付けられている。この保持部３２では、内部空間３２ｃの空気が吸気装置１３によって吸引されることによって内部空間３２ｃが負圧状態となり、それに伴って通気性シート３２ｄを介して吸気が行われることにより、収容容器３１に収容されている半田ボール３００を先端部３２ａ（通気性シート３２ｄ）で吸着して保持することが可能となっている（図１０参照）。
【００２７】
また、この保持部３２では、図８に示すように、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が、通気性シート３２ｄを吸着面２２ａに近接させた近接状態において吸着面２２ａ側に向けて（同図における上側に）突出する円弧状（弧状の一例）に形成されている。より具体的には、通気性シート３２ｄは、その断面形状が基端部３２ｂに取り付けられている吸気管３２ｅの中心軸（基端部における予め規定された規定位置に相当し、以下「規定位置Ｐ」ともいう）を中心とする円（同図に示す円Ｃ）の円周の一部（一部または全部の一例）と同じ形状に形成されている。また、保持部３２は、上記した規定位置Ｐを中心として回動可能に構成されている。
【００２８】
吸引部３３は、図７に示すように、２枚の区画壁３３ａ，３３ｂと収容容器３１を構成する２枚の側壁３１ｂ，３１ｂとによって形成される吸引経路３３ｃ（図６参照）を介して半田ボール３００を吸引可能に構成されている。
【００２９】
移動機構３４は、制御部１５の制御に従って供給部１２（収容容器３１、保持部３２および吸引部３３）を移動させる。具体的には、移動機構３４は、半田ボール３００を保持している保持部３２の先端部３２ａが吸着ヘッド１１の吸着面２２ａに対向している状態で、先端部３２ａが吸着面２２ａに近接するように供給部１２を移動させる。また、移動機構３４は、先端部３２ａを吸着面２２ａに近接させた近接状態を維持しつつ吸着面２２ａに沿って供給部１２を移動させる。回動機構３５は、制御部１５の制御に従って規定位置Ｐを中心として保持部３２を回動させる。
【００３０】
吸気装置１３は、吸着ヘッド１１の通気孔２４にエアチューブ５０（図２参照）を介して繋げられて、吸着ヘッド１１における内部空間２１の空気を吸引する。また、吸気装置１３は、供給部１２における保持部３２の吸気管３２ｅにエアチューブ５０を介して繋げられると共に、供給部１２における吸引部３３の吸引経路３３ｃにエアチューブ５０を介して繋げられて、保持部３２における内部空間３２ｃの空気を吸引すると共に、吸引経路３３ｃからの吸気を行う。この場合、吸気装置１３は、複数の電磁バルブを備えており、内部空間２１の空気の吸引、内部空間３２ｃの空気の吸引、および吸引経路３３ｃからの吸気を個別に行うことが可能に構成されている。
【００３１】
整列用プレート１４は、吸着ヘッド１１による余剰な半田ボール３００の吸着を規制する機能を有しており、供給部１２の配設位置の上方の位置に配設されている。また、整列用プレート１４には、図４に示すように、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａと上面１４ａとが接触（または近接）している装着状態において吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに対向する位置に貫通孔１４ｃが形成されている。この場合、貫通孔１４ｃの直径Ｌ４は、半田ボール３００が通過可能な９５μｍ程度に規定されている。また、同図に示すように、整列用プレート１４の厚みＬ３は、装着状態において吸気口２３ａに吸着された半田ボール３００の先端部が下面１４ｂからやや突出する７５μｍ程度に規定されている。
【００３２】
制御部１５は、供給部１２の移動機構３４を制御して、保持部３２（供給部１２）を移動させる（後述する移動処理を実行する）。また、制御部１５は、供給部１２の回動機構３５を制御して、規定位置Ｐを回動中心として保持部３２を回動させる（後述する回動処理を実行する）。また、制御部１５は、吸気装置１３による吸気（空気の吸引）を制御する。さらに、制御部１５は、搬送装置３による基板４００の搬送を制御する。
【００３３】
搬送装置３は、半田ボール吸着装置２における制御部１５の制御に従い、半田ボール３００の吸着が行われる吸着位置（整列用プレート１４の配設位置）位置と、半田ボール３００を基板４００に搭載する位置（基板４００の配設位置）との間で、吸着ヘッド１１を搬送する。
【００３４】
次に、半田ボール搭載装置１を用いて、球状体吸着方法に従って吸着した半田ボール３００を基板４００に搭載する方法（球状体搭載方法）について、図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、半田ボール吸着装置２の吸気装置１３を作動させ、次いで、図外の操作部に対して開始操作を行う。これに応じて、制御部１５が、吸気装置１３の電磁バルブを制御して、吸着ヘッド１１における内部空間２１の空気の吸引、供給部１２の保持部３２における内部空間３２ｃの空気の吸引、および供給部１２の吸引部３３における吸引経路３３ｃからの吸気を開始させる。この際に、保持部３２における内部空間３２ｃの空気の吸引によって内部空間３２ｃが負圧状態となり、それに伴って通気性シート３２ｄを介して吸気が行われることにより、収容容器３１に収容されている半田ボール３００が通気性シート３２ｄに吸着されて保持される。
【００３６】
また、制御部１５は、搬送装置３を制御して、半田ボール３００の吸着が行われる吸着位置（整列用プレート１４の配設位置）に吸着ヘッド１１を搬送し、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａと整列用プレート１４の上面１４ａとを接触（近接）させる（図４参照）。
【００３７】
続いて、制御部１５は、供給部１２に対して供給処理を実行させる。具体的には、制御部１５は、供給部１２の移動機構３４を制御して、図９に示すように、通気性シート３２ｄに半田ボール３００を保持している保持部３２の基端部３２ｂに取り付けられている吸気管３２ｅを回動させることにより、規定位置Ｐを中心として保持部３２を回動させる。
【００３８】
次いで、制御部１５は、図１０に示すように、保持部３２の通気性シート３２ｄにおける一方の端部（同図における左側の端部）が整列用プレート１４の下面１４ｂにおける一方の端部（同図における左側の端部であって、この位置を以下「移動開始位置」ともいう）に対向した時点で、回動機構３５を制御して、保持部３２の回動（吸気管３２ｅの回動）を停止させる。
【００３９】
続いて、制御部１５は、移動機構３４を制御して、図１１に示すように、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａに向けて保持部３２（供給部１２）を移動させて、通気性シート３２ｄにおける一方の端部を移動開始位置に近接させる。この場合、図外のバネによって供給部１２が整列用プレート１４に向けて付勢されているため、同図に示すように、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が整列用プレート１４の下面１４ｂに接触（当接）する。
【００４０】
次いで、制御部１５は、図１２に示すように、移動機構３４を制御して、吸着面２２ａに沿って、例えば同図における右向き（同図に示す矢印Ａの向き：保持部の相対的な移動の向き）に保持部３２を移動させる処理（以下、吸着面２２ａに沿って保持部３２を移動させる処理を「移動処理」ともいう）を開始させる。また、制御部１５は、回動機構３５を制御して、移動処理の開始に連動させて吸気管３２ｅを回動させることにより、規定位置Ｐ（図１０参照）を中心として、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向き（この例では、通気性シート３２ｄが左向きに移動する向きであって、同図に矢印Ｂで示す左回り（反時計回り）の向き）に保持部３２を回動させる処理（以下、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる処理を「回動処理」ともいう）を開始させる。
【００４１】
この場合、制御部１５は、移動処理における保持部３２の相対的な移動速度Ｖｔ（吸着面２２ａに対する規定位置Ｐ（吸気管３２ｅの中心軸の位置）の相対速度）と、保持部３２の回動時における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように移動機構３４および回動機構３５を制御する。
【００４２】
この移動処理および回動処理が開始されることにより、図１２に示すように、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が吸着面２２ａに形成されている吸気口２３ａの近傍に供給される。また、空気の吸引によって吸着ヘッド１１の内部空間２１が負圧状態となり、これによって各吸気口２３ａから吸着ヘッド１１の内部空間２１に空気が流れ込むため、この空気の流れに伴って生じる吸引力により、供給された半田ボール３００が吸気口２３ａ引き寄せられて、同図に示すように、整列用プレート１４の各貫通孔１４ｃを通って吸気口２３ａに吸着される。
【００４３】
続いて、図１３に示すように、移動処理および回動処理が引き次いで行われることにより、各吸気口２３ａに半田ボール３００が１つずつ次々に吸着される。続いて、制御部１５は、図１４に示すように、通気性シート３２ｄにおける他方の端部（同図における右側の端部）が整列用プレート１４の下面１４ｂにおける他方の端部（同図における右側の端部）に位置した時点で、回動機構３５を制御して、回動処理を終了させる（なお、この時点では、移動処理は継続させる）。
【００４４】
この半田ボール搭載装置１では、上記したように、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成された保持部３２を、吸着面２２ａに沿って移動させる移動処理を実行し、その移動処理に連動させて、保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる回動処理を実行する。この場合、移動処理に連動させて回動処理を実行することで、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が、整列用プレート１４に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口２３ａの近傍に供給される。このため、この半田ボール搭載装置１では、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が防止される結果、摩耗した半田ボール３００や変形した半田ボール３００が整列用プレート１４の貫通孔１４ｃや吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに嵌り込むことに起因する吸着不良の発生が確実に防止される。また、摺動によって半田ボール３００が保持部３２から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッド１１に対して供給する半田ボール３００が不足することに起因する吸着不良の発生が確実に防止される。
【００４５】
また、この半田ボール搭載装置１では、移動処理における移動速度Ｖｔと回動処理における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように保持部３２の移動および回動が行われる。このため、この半田ボール搭載装置１では、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が、整列用プレート１４に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口２３ａの近傍に供給される。したがって、この半田ボール搭載装置１では、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が確実に防止される結果、吸着不良の発生がより確実に防止される。
【００４６】
次いで、制御部１５は、移動機構３４を制御して、図１５に示すように、供給部１２を整列用プレート１４の下面１４ｂに沿ってさらに移動させる。この際に、同図に示すように、吸引部３３の先端部が下面１４ｂに近接した状態で下面１４ｂに沿って移動し、吸引経路３３ｃからの吸気によって余剰な半田ボール３００が吸引されて除去される。これにより、供給処理が終了し、各吸気口２３ａに半田ボール３００が吸着される。
【００４７】
続いて、制御部１５は、搬送装置３を制御して、図１６に示すように、吸着ヘッド１１が整列用プレート１４から離反するように吸着ヘッド１１を上向きに移動させ、次いで、搭載位置（半田ボール３００が基板４００の上方に位置する位置）に吸着ヘッド１１を移動させる。
【００４８】
続いて、制御部１５は、半田ボール３００が基板４００の上方に位置した時点で、吸気装置１３の電磁バルブを制御して、吸着ヘッド１１における内部空間２１からの空気の吸引を停止させる。この際に、吸気口２３ａによる吸着が解除され、図１７に示すように、基板４００における各端子４０１の上に半田ボール３００がそれぞれ搭載される。次いで、制御部１５は、搬送装置３を制御して、吸着ヘッド１１を初期位置に移動させる。以上により、基板４００に対する半田ボール３００の搭載が完了する。
【００４９】
この場合、この半田ボール搭載装置１では、上記したように、整列用プレート１４の貫通孔１４ｃに半田ボール３００が嵌り込むことに起因して半田ボール３００を吸着していない吸気口２３ａが存在したり、吸気口２３ａに半田ボール３００が嵌り込んだりする吸着不良が確実に防止されている。このため、この半田ボール搭載装置１では、基板４００の端子４０１に半田ボール３００が搭載されない欠陥が生じる事態が確実に防止される。
【００５０】
このように、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成された保持部３２を吸着面２２ａに沿って移動させる移動処理に連動させて、保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる回動処理を実行することにより、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００を、整列用プレート１４に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口２３ａの近傍に供給させることができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が確実に防止される結果、摩耗した半田ボール３００や変形した半田ボール３００が整列用プレート１４の貫通孔１４ｃや吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに嵌り込むことに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。また、摺動によって半田ボール３００が保持部３２から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッド１１に対して供給する半田ボール３００が不足することに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。
【００５１】
また、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、移動処理における移動速度Ｖｔと回動処理における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように保持部３２の移動および回動を行うことにより、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００を、整列用プレート１４に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口２３ａの近傍に供給することができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形を確実に防止することができる結果、吸着不良の発生をより確実に防止することができる。
【００５２】
また、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が規定位置Ｐを中心とする円周の一部と同じ形状に形成された保持部３２を用いることにより、規定位置Ｐから通気性シート３２ｄまでの距離が一定のため、規定位置Ｐと吸着面２２ａとの距離を一定に維持した状態で移動処理を実行し、これに連動して回動処理を実行することで、通気性シート３２ｄにおける吸着面２２ａに最も近い位置から吸着面２２ａまでの距離を一定に維持することができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、回動処理の実行時において、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が整列用プレート１４に対して同じ力で押圧される結果、押圧力が変化することによる半田ボール３００の変形等を確実に防止することができる。
【００５３】
なお、球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、吸着面２２ａに沿った保持部３２の移動速度Ｖｔと保持部３２の回動時における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように移動機構３４および回動機構３５を制御する構成および方法について上記したが、移動速度Ｖｔおよび周速度Ｖｒが異なる速度でもよく、このように移動機構３４および回動機構３５を制御する構成および方法を採用することもできる。
【００５４】
また、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状を規定位置Ｐを中心とする円Ｃの円周の一部と同じ形状に形成した例について上記したが、通気性シート３２ｄの断面形状を円Ｃの円周の全部と同じ形状に形成した（つまり、保持面の断面形状を円形に形成した）保持部を採用することもできる。また、保持面の断面形状を、回動中心（規定位置Ｐ）とは異なる位置を中心とする円の円周の一部または全部と同じ形状に形成した保持部や、保持面の断面形状を、楕円の周の一部または全部と同じ形状に形成した保持部を採用することもできる。
【００５５】
また、整列用プレート１４を用いる構成および方法について上記したが、整列用プレート１４を用いない構成および方法を採用することもできる。
【００５６】
さらに、供給処理において、静止状態における吸着ヘッド１１の吸着面２２ａ（整列用プレート１４の下面１４ｂ）に対して保持部３２を近接させて吸着面２２ａに沿って移動させる構成および方法について上記したが、保持部３２に対して吸着ヘッド１１および整列用プレート１４を移動させる構成および方法を採用することもできる。また、供給処理において、吸着ヘッド１１および整列用プレート１４に対して保持部３２を移動させるのと同時に、保持部３２に対して吸着ヘッド１１および整列用プレート１４を移動させる構成および方法を採用することもできる。
【００５７】
また、整列用プレート１４を用いないときには、静止状態の吸着ヘッド１１に対して保持部３２を移動させる構成および方法、保持部３２に対して吸着ヘッド１１を移動させる構成および方法、並びに保持部３２および吸着ヘッド１１の双方を移動させる構成および方法のいずれも採用することができる。
【００５８】
また、上記の例では、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きを右向きとし、回動処理における保持部３２の回動の向きを左回り（反時計回り）の向きとしたが、これとは逆に、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きを左向きとし、回動処理における保持部３２の回動の向きを右回り（時計回り）の向きとする構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１ 半田ボール搭載装置
２ 半田ボール吸着装置
３ 搬送装置
１１ 吸着ヘッド
１５ 制御部
２２ａ 吸着面
２３ａ 吸気口
３２ 保持部
３２ａ 先端部
３２ｂ 基端部
３２ｄ 通気性シート
３４ 移動機構
３５ 回動機構
３００ 半田ボール
４００ 基板
４０１ 端子
Ｃ 円
Ｐ 規定位置
Ｖｒ 周速度
Ｖｔ 移動速度
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球状体を吸着する球状体吸着装置、その球状体吸着装置を備えて球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載装置、球状体を吸着する球状体吸着方法、およびその球状体吸着方法で吸着している球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の球状体吸着装置として、特開２０１１−９５９１号公報において出願人が開示した半田ボール吸着装置が知られている。この半田ボール吸着装置は、吸着ヘッド、収容容器、吸着保持部、駆動機構、整列用プレートおよび制御部などを備えて半田ボールを吸着可能に構成されている。この半田ボール吸着装置では、次のようにして半田ボールの吸着が行われる。まず、吸着保持部が収容容器に収容されている半田ボールを吸着して保持し、次いで、制御部が、駆動機構を制御して、吸着保持部の先端部が吸着ヘッドの吸着面に対向するように吸着保持部を回動させる。続いて、制御部は、駆動機構を制御して整列用プレートの一端側に吸着保持部の先端部を近接させる。この際に、整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に近接させられた先端部に保持されている半田ボールが吸着ヘッドに供給され、供給された半田ボールが吸着面の吸気口に引き寄せられて、整列用プレートの各挿通孔を通って吸気口に吸着される。次いで、制御部は、駆動機構を制御して、吸着保持部の先端部を整列用プレートに近接させた状態で、整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に沿って吸着保持部を移動させる。この際に、先端部に保持されている半田ボールが、吸着保持部の移動に伴って徐々に吸着ヘッドの各吸気口に供給されて、各吸気口の縁部に１つずつ吸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９５９１号公報（第６−９頁、第１０−１４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の半田ボール吸着装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この半田ボール吸着装置では、半田ボールを保持している吸着保持部の先端部を整列用プレート（吸着ヘッドの吸着面）に沿って移動させることによって半田ボールを吸着ヘッドに供給している。一方、この半田ボール吸着装置では、半田ボールを確実に供給するため、吸着保持部に保持されている半田ボールが整列用プレートに接触するように、バネを用いて吸着保持部を整列用プレート向けて付勢している。つまり、この半田ボール吸着装置では、吸着保持部によって保持されている半田ボールが整列用プレートに向けて押し付けられつつ整列用プレートに沿って移動（つまり、整列用プレートに対して摺動）させられる。このため、この半田ボール吸着装置では、摺動によって半田ボールが摩耗したり変形したりして、その半田ボールが整列用プレートの挿通孔や吸着ヘッドの吸気口に嵌り込んで吸着不良（吸着ミス）が発生するおそれがある。また、摺動によって半田ボールが吸着保持部から脱落（落下）して、例えば、整列用プレートに沿って吸着保持部を移動させる処理の後半において吸着ヘッドに対して供給する半田ボールが不足して、これに起因して吸着不良が発生するおそれもある。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、吸着不良を防止し得る球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の球状体吸着装置は、複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドと、先端部の保持面で球状体を保持する保持部と、前記保持部を前記吸着ヘッドに対して相対的に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御して前記球状体を保持している前記保持面を前記吸着面に対して相対的に近接させた近接状態を維持しつつ当該吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行する制御部とを備えて前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着装置であって、前記保持部を回動させる回動機構を備え、前記保持部は、基端部における予め規定された規定位置を中心として前記回動機構によって回動されると共に、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成され、前記制御部は、前記回動機構を制御して前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに前記保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の球状体吸着装置は、請求項１記載の球状体吸着装置において、前記制御部は、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記移動機構および前記回動機構を制御する。
【０００８】
また、請求項３記載の球状体吸着装置は、請求項１または２記載の球状体吸着装置において、前記保持部は、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている。
【０００９】
また、請求項４記載の球状体搭載装置は、請求項１から３のいずれかに記載の球状体吸着装置と、前記球状体の吸着が行われる吸着位置と前記球状体が搭載対象体に搭載される搭載位置との間で前記球状体吸着装置の前記吸着ヘッドを搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する。
【００１０】
また、請求項５記載の球状体吸着方法は、複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドにおける当該吸着面に対して、球状体を保持している保持部の保持面を相対的に近接させた近接状態を維持しつつ、前記吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行し、前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着方法であって、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成された前記保持部を用いて、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに当該保持部の基端部における予め規定された規定位置を中心として当該保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する。
【００１１】
また、請求項６記載の球状体吸着方法は、請求項５記載の球状体吸着方法において、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記保持部の移動および回動を行う。
【００１２】
また、請求項７記載の球状体吸着方法は、請求項５または６記載の球状体吸着方法において、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている前記保持部を用いる。
【００１３】
また、請求項８記載の球状体搭載方法は、請求項５から７のいずれかに記載の球状体吸着方法で前記吸着ヘッドに前記球状体を吸着させ、当該球状体を吸着している前記吸着ヘッドを搭載位置に移動させて、前記球状体を搭載対象体に搭載する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項５記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、保持面の断面形状が弧状に形成された保持部を吸着ヘッドの吸着面に沿って移動させる移動処理に連動させて、保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部を回動させる回動処理を実行することにより、保持面に保持されている球状体を、余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着ヘッドの吸着面に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口の近傍に供給させることができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による球状体の摩耗や変形が確実に防止される結果、摩耗した球状体や変形した球状体がプレートの貫通孔や吸着ヘッドの吸気口に嵌り込むことに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。また、摺動によって球状体が保持部から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッドに対して供給する球状体が不足することに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項６記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、移動処理における保持部の相対的な移動速度と回動処理における保持面の周速度とが同じ速度となるように保持部の移動および回動を行うことにより、保持面に保持されている球状体を、余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着面に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口の近傍に供給することができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による球状体の摩耗や変形を確実に防止することができる結果、吸着不良の発生をより確実に防止することができる。
【００１６】
また、請求項３記載の球状体吸着装置、請求項４記載の球状体搭載装置、請求項７記載の球状体吸着方法、および請求項８記載の球状体搭載方法によれば、保持面の断面形状が規定位置を中心とする円周の一部と同じ形状に形成された保持部を用いることにより、規定位置から保持面までの距離が一定のため、規定位置と吸着面との距離を一定に維持した状態で移動処理を実行し、これに連動して回動処理を実行することで、保持面における吸着面に最も近い位置から吸着面までの距離を一定に維持することができる。このため、この球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、回動処理の実行時において、保持面に保持されている球状体が余剰な球状体の吸着を規制するプレートや吸着面に対して同じ力で押圧される結果、押圧力が変化することによる球状体の変形等を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】半田ボール搭載装置１の構成を示す構成図である。
【図２】半田ボール吸着装置２の構成を示す構成図である。
【図３】吸着ヘッド１１の構成を示す断面図である。
【図４】吸着ヘッド１１の底壁２２および整列用プレート１４の構成を示す断面図である。
【図５】供給部１２の構成を示す斜視図である。
【図６】供給部１２の構成を示す断面図である。
【図７】供給部１２の構成を示す分解斜視図である。
【図８】保持部３２の構成を示す断面図である。
【図９】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図１０】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図１１】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図１２】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【図１３】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第５の説明図である。
【図１４】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第６の説明図である。
【図１５】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第７の説明図である。
【図１６】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第８の説明図である。
【図１７】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第９の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、図１に示す半田ボール搭載装置１の構成について説明する。半田ボール搭載装置１は、球状体搭載装置の一例であって、同図に示すように、半田ボール吸着装置２および搬送装置３を備えて、球状体搭載方法に従い、球状体の一例としての微小な球状粒体である半田ボール（マイクロボール）３００（図４参照）を搭載対象体としての基板４００（基板４００に形成された端子４０１：図１７参照）に搭載（載置）可能に構成されている。
【００２０】
この場合、半田ボール３００は、直径Ｌ１（図４参照）が８０μｍ程度の球状に構成されている。また、半田ボール３００は、図１７に示すように、半田ボール搭載装置１によって基板４００に搭載された後に加熱溶融されて略半球状となった状態で基板４００の表面（同図に示す端子４０１）に固着されて基板４００上にボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）を構成し、これによって半田搭載済基板（球状体搭載済基板）が製造される。また、このようにして製造された半田搭載済基板には、集積回路等の電子部品（図示せず）が搭載されて、その電子部品における端子が半田搭載済基板における基板４００の端子４０１に固着された半田ボール３００を介して端子４０１に接続され、これによって電子部品搭載済基板が製造される。
【００２１】
半田ボール吸着装置２は、球状体吸着装置の一例であって、図２に示すように、吸着ヘッド１１、供給部１２、吸気装置１３、整列用プレート１４および制御部１５を備えて構成されて、球状体吸着方法に従って半田ボール３００を吸着する。
【００２２】
吸着ヘッド１１は、図３に示すように、一例として、内部空間２１を有する中空の箱型に構成されている。また、同図および図４に示すように、吸着ヘッド１１における底壁２２には、底壁２２の外面（吸着面として機能する面であって、以下「吸着面２２ａ」ともいう）に開口すると共に内部空間２１と連通する吸気孔２３が、底壁２２の厚み方向に沿って複数（図４では、そのうちの１個のみを図示している）形成されている。なお、吸着面２２ａにおける吸気孔２３の開口部が吸気口（以下、「吸気口２３ａ」ともいう）に相当する。
【００２３】
この場合、図４に示すように、吸気孔２３（つまり、吸気口２３ａ）の直径Ｌ２は、半田ボール３００の直径Ｌ１（この例では、８０μｍ）よりも短い４０μｍ程度に規定されている。また、図３に示すように、吸着ヘッド１１には、内部空間２１の空気を吸気装置１３によって吸引するための通気孔２４が形成されている。この吸着ヘッド１１では、内部空間２１の空気が吸気装置１３によって吸引されることによって内部空間２１が負圧状態となり、それに伴って吸気口２３ａからの吸気が行われることにより、吸気口２３ａに半田ボール３００を吸着することが可能となっている（図４参照）。
【００２４】
供給部１２は、図５〜図７に示すように、収容容器３１、保持部３２、吸引部３３、移動機構３４および回動機構３５（いずれも図２参照）を備えて吸着ヘッド１１に対して半田ボール３００を供給する供給処理を実行する。また、供給部１２は、図外のバネによって整列用プレート１４（整列用プレート１４の配設位置）に向けて付勢されている。
【００２５】
収容容器３１は、図７に示すように、容器本体３１ａと、容器本体３１ａの両側部に配設された２枚の側壁３１ｂとを備えて、図６に示すように、半田ボール３００を収容可能に構成されている。
【００２６】
保持部３２は、図６に示すように、内部空間３２ｃを有する中空の箱型に構成されている。また、保持部３２の先端部３２ａには、保持面としての通気性シート３２ｄが配設され、基端部３２ｂには、吸気管３２ｅが取り付けられている。この保持部３２では、内部空間３２ｃの空気が吸気装置１３によって吸引されることによって内部空間３２ｃが負圧状態となり、それに伴って通気性シート３２ｄを介して吸気が行われることにより、収容容器３１に収容されている半田ボール３００を先端部３２ａ（通気性シート３２ｄ）で吸着して保持することが可能となっている（図１０参照）。
【００２７】
また、この保持部３２では、図８に示すように、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が、通気性シート３２ｄを吸着面２２ａに近接させた近接状態において吸着面２２ａ側に向けて（同図における上側に）突出する円弧状（弧状の一例）に形成されている。より具体的には、通気性シート３２ｄは、その断面形状が基端部３２ｂに取り付けられている吸気管３２ｅの中心軸（基端部における予め規定された規定位置に相当し、以下「規定位置Ｐ」ともいう）を中心とする円（同図に示す円Ｃ）の円周の一部（一部または全部の一例）と同じ形状に形成されている。また、保持部３２は、上記した規定位置Ｐを中心として回動可能に構成されている。
【００２８】
吸引部３３は、図７に示すように、２枚の区画壁３３ａ，３３ｂと収容容器３１を構成する２枚の側壁３１ｂ，３１ｂとによって形成される吸引経路３３ｃ（図６参照）を介して半田ボール３００を吸引可能に構成されている。
【００２９】
移動機構３４は、制御部１５の制御に従って供給部１２（収容容器３１、保持部３２および吸引部３３）を移動させる。具体的には、移動機構３４は、半田ボール３００を保持している保持部３２の先端部３２ａが吸着ヘッド１１の吸着面２２ａに対向している状態で、先端部３２ａが吸着面２２ａに近接するように供給部１２を移動させる。また、移動機構３４は、先端部３２ａを吸着面２２ａに近接させた近接状態を維持しつつ吸着面２２ａに沿って供給部１２を移動させる。回動機構３５は、制御部１５の制御に従って規定位置Ｐを中心として保持部３２を回動させる。
【００３０】
吸気装置１３は、吸着ヘッド１１の通気孔２４にエアチューブ５０（図２参照）を介して繋げられて、吸着ヘッド１１における内部空間２１の空気を吸引する。また、吸気装置１３は、供給部１２における保持部３２の吸気管３２ｅにエアチューブ５０を介して繋げられると共に、供給部１２における吸引部３３の吸引経路３３ｃにエアチューブ５０を介して繋げられて、保持部３２における内部空間３２ｃの空気を吸引すると共に、吸引経路３３ｃからの吸気を行う。この場合、吸気装置１３は、複数の電磁バルブを備えており、内部空間２１の空気の吸引、内部空間３２ｃの空気の吸引、および吸引経路３３ｃからの吸気を個別に行うことが可能に構成されている。
【００３１】
整列用プレート１４は、吸着ヘッド１１による余剰な半田ボール３００の吸着を規制する機能を有しており、供給部１２の配設位置の上方の位置に配設されている。また、整列用プレート１４には、図４に示すように、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａと上面１４ａとが接触（または近接）している装着状態において吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに対向する位置に貫通孔１４ｃが形成されている。この場合、貫通孔１４ｃの直径Ｌ４は、半田ボール３００が通過可能な９５μｍ程度に規定されている。また、同図に示すように、整列用プレート１４の厚みＬ３は、装着状態において吸気口２３ａに吸着された半田ボール３００の先端部が下面１４ｂからやや突出する７５μｍ程度に規定されている。
【００３２】
制御部１５は、供給部１２の移動機構３４を制御して、保持部３２（供給部１２）を移動させる（後述する移動処理を実行する）。また、制御部１５は、供給部１２の回動機構３５を制御して、規定位置Ｐを回動中心として保持部３２を回動させる（後述する回動処理を実行する）。また、制御部１５は、吸気装置１３による吸気（空気の吸引）を制御する。さらに、制御部１５は、搬送装置３による基板４００の搬送を制御する。
【００３３】
搬送装置３は、半田ボール吸着装置２における制御部１５の制御に従い、半田ボール３００の吸着が行われる吸着位置（整列用プレート１４の配設位置）位置と、半田ボール３００を基板４００に搭載する位置（基板４００の配設位置）との間で、吸着ヘッド１１を搬送する。
【００３４】
次に、半田ボール搭載装置１を用いて、球状体吸着方法に従って吸着した半田ボール３００を基板４００に搭載する方法（球状体搭載方法）について、図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、半田ボール吸着装置２の吸気装置１３を作動させ、次いで、図外の操作部に対して開始操作を行う。これに応じて、制御部１５が、吸気装置１３の電磁バルブを制御して、吸着ヘッド１１における内部空間２１の空気の吸引、供給部１２の保持部３２における内部空間３２ｃの空気の吸引、および供給部１２の吸引部３３における吸引経路３３ｃからの吸気を開始させる。この際に、保持部３２における内部空間３２ｃの空気の吸引によって内部空間３２ｃが負圧状態となり、それに伴って通気性シート３２ｄを介して吸気が行われることにより、収容容器３１に収容されている半田ボール３００が通気性シート３２ｄに吸着されて保持される。
【００３６】
また、制御部１５は、搬送装置３を制御して、半田ボール３００の吸着が行われる吸着位置（整列用プレート１４の配設位置）に吸着ヘッド１１を搬送し、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａと整列用プレート１４の上面１４ａとを接触（近接）させる（図４参照）。
【００３７】
続いて、制御部１５は、供給部１２に対して供給処理を実行させる。具体的には、制御部１５は、供給部１２の移動機構３４を制御して、図９に示すように、通気性シート３２ｄに半田ボール３００を保持している保持部３２の基端部３２ｂに取り付けられている吸気管３２ｅを回動させることにより、規定位置Ｐを中心として保持部３２を回動させる。
【００３８】
次いで、制御部１５は、図１０に示すように、保持部３２の通気性シート３２ｄにおける一方の端部（同図における左側の端部）が整列用プレート１４の下面１４ｂにおける一方の端部（同図における左側の端部であって、この位置を以下「移動開始位置」ともいう）に対向した時点で、回動機構３５を制御して、保持部３２の回動（吸気管３２ｅの回動）を停止させる。
【００３９】
続いて、制御部１５は、移動機構３４を制御して、図１１に示すように、吸着ヘッド１１の吸着面２２ａに向けて保持部３２（供給部１２）を移動させて、通気性シート３２ｄにおける一方の端部を移動開始位置に近接させる。この場合、図外のバネによって供給部１２が整列用プレート１４に向けて付勢されているため、同図に示すように、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が整列用プレート１４の下面１４ｂに接触（当接）する。
【００４０】
次いで、制御部１５は、図１２に示すように、移動機構３４を制御して、吸着面２２ａに沿って、例えば同図における右向き（同図に示す矢印Ａの向き：保持部の相対的な移動の向き）に保持部３２を移動させる処理（以下、吸着面２２ａに沿って保持部３２を移動させる処理を「移動処理」ともいう）を開始させる。また、制御部１５は、回動機構３５を制御して、移動処理の開始に連動させて吸気管３２ｅを回動させることにより、規定位置Ｐ（図１０参照）を中心として、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向き（この例では、通気性シート３２ｄが左向きに移動する向きであって、同図に矢印Ｂで示す左回り（反時計回り）の向き）に保持部３２を回動させる処理（以下、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる処理を「回動処理」ともいう）を開始させる。
【００４１】
この場合、制御部１５は、移動処理における保持部３２の相対的な移動速度Ｖｔ（吸着面２２ａに対する規定位置Ｐ（吸気管３２ｅの中心軸の位置）の相対速度）と、保持部３２の回動時における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように移動機構３４および回動機構３５を制御する。
【００４２】
この移動処理および回動処理が開始されることにより、図１２に示すように、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が吸着面２２ａに形成されている吸気口２３ａの近傍に供給される。また、空気の吸引によって吸着ヘッド１１の内部空間２１が負圧状態となり、これによって各吸気口２３ａから吸着ヘッド１１の内部空間２１に空気が流れ込むため、この空気の流れに伴って生じる吸引力により、供給された半田ボール３００が吸気口２３ａ引き寄せられて、同図に示すように、整列用プレート１４の各貫通孔１４ｃを通って吸気口２３ａに吸着される。
【００４３】
続いて、図１３に示すように、移動処理および回動処理が引き次いで行われることにより、各吸気口２３ａに半田ボール３００が１つずつ次々に吸着される。続いて、制御部１５は、図１４に示すように、通気性シート３２ｄにおける他方の端部（同図における右側の端部）が整列用プレート１４の下面１４ｂにおける他方の端部（同図における右側の端部）に位置した時点で、回動機構３５を制御して、回動処理を終了させる（なお、この時点では、移動処理は継続させる）。
【００４４】
この半田ボール搭載装置１では、上記したように、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成された保持部３２を、吸着面２２ａに沿って移動させる移動処理を実行し、その移動処理に連動させて、保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる回動処理を実行する。この場合、移動処理に連動させて回動処理を実行することで、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が、整列用プレート１４に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口２３ａの近傍に供給される。このため、この半田ボール搭載装置１では、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が防止される結果、摩耗した半田ボール３００や変形した半田ボール３００が整列用プレート１４の貫通孔１４ｃや吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに嵌り込むことに起因する吸着不良の発生が確実に防止される。また、摺動によって半田ボール３００が保持部３２から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッド１１に対して供給する半田ボール３００が不足することに起因する吸着不良の発生が確実に防止される。
【００４５】
また、この半田ボール搭載装置１では、移動処理における移動速度Ｖｔと回動処理における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように保持部３２の移動および回動が行われる。このため、この半田ボール搭載装置１では、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が、整列用プレート１４に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口２３ａの近傍に供給される。したがって、この半田ボール搭載装置１では、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が確実に防止される結果、吸着不良の発生がより確実に防止される。
【００４６】
次いで、制御部１５は、移動機構３４を制御して、図１５に示すように、供給部１２を整列用プレート１４の下面１４ｂに沿ってさらに移動させる。この際に、同図に示すように、吸引部３３の先端部が下面１４ｂに近接した状態で下面１４ｂに沿って移動し、吸引経路３３ｃからの吸気によって余剰な半田ボール３００が吸引されて除去される。これにより、供給処理が終了し、各吸気口２３ａに半田ボール３００が吸着される。
【００４７】
続いて、制御部１５は、搬送装置３を制御して、図１６に示すように、吸着ヘッド１１が整列用プレート１４から離反するように吸着ヘッド１１を上向きに移動させ、次いで、搭載位置（半田ボール３００が基板４００の上方に位置する位置）に吸着ヘッド１１を移動させる。
【００４８】
続いて、制御部１５は、半田ボール３００が基板４００の上方に位置した時点で、吸気装置１３の電磁バルブを制御して、吸着ヘッド１１における内部空間２１からの空気の吸引を停止させる。この際に、吸気口２３ａによる吸着が解除され、図１７に示すように、基板４００における各端子４０１の上に半田ボール３００がそれぞれ搭載される。次いで、制御部１５は、搬送装置３を制御して、吸着ヘッド１１を初期位置に移動させる。以上により、基板４００に対する半田ボール３００の搭載が完了する。
【００４９】
この場合、この半田ボール搭載装置１では、上記したように、整列用プレート１４の貫通孔１４ｃに半田ボール３００が嵌り込むことに起因して半田ボール３００を吸着していない吸気口２３ａが存在したり、吸気口２３ａに半田ボール３００が嵌り込んだりする吸着不良が確実に防止されている。このため、この半田ボール搭載装置１では、基板４００の端子４０１に半田ボール３００が搭載されない欠陥が生じる事態が確実に防止される。
【００５０】
このように、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が弧状に形成された保持部３２を吸着面２２ａに沿って移動させる移動処理に連動させて、保持部３２の相対的な移動の向きとは逆向きに保持部３２を回動させる回動処理を実行することにより、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００を、整列用プレート１４に対して摺動しない状態（または、摺動が少なく抑えられた状態）で各吸気口２３ａの近傍に供給させることができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形が確実に防止される結果、摩耗した半田ボール３００や変形した半田ボール３００が整列用プレート１４の貫通孔１４ｃや吸着ヘッド１１の吸気口２３ａに嵌り込むことに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。また、摺動によって半田ボール３００が保持部３２から脱落（落下）して、移動処理の後半において吸着ヘッド１１に対して供給する半田ボール３００が不足することに起因する吸着不良の発生を確実に防止することができる。
【００５１】
また、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、移動処理における移動速度Ｖｔと回動処理における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように保持部３２の移動および回動を行うことにより、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００を、整列用プレート１４に対してほとんど摺動しない状態で各吸気口２３ａの近傍に供給することができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、摺動による半田ボール３００の摩耗や変形を確実に防止することができる結果、吸着不良の発生をより確実に防止することができる。
【００５２】
また、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状が規定位置Ｐを中心とする円周の一部と同じ形状に形成された保持部３２を用いることにより、規定位置Ｐから通気性シート３２ｄまでの距離が一定のため、規定位置Ｐと吸着面２２ａとの距離を一定に維持した状態で移動処理を実行し、これに連動して回動処理を実行することで、通気性シート３２ｄにおける吸着面２２ａに最も近い位置から吸着面２２ａまでの距離を一定に維持することができる。このため、この半田ボール吸着装置２、半田ボール搭載装置１、球状体吸着方法および球状体搭載方法によれば、回動処理の実行時において、通気性シート３２ｄに保持されている半田ボール３００が整列用プレート１４に対して同じ力で押圧される結果、押圧力が変化することによる半田ボール３００の変形等を確実に防止することができる。
【００５３】
なお、球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法および球状体搭載方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、吸着面２２ａに沿った保持部３２の移動速度Ｖｔと保持部３２の回動時における通気性シート３２ｄの周速度Ｖｒとが同じ速度となるように移動機構３４および回動機構３５を制御する構成および方法について上記したが、移動速度Ｖｔおよび周速度Ｖｒが異なる速度でもよく、このように移動機構３４および回動機構３５を制御する構成および方法を採用することもできる。
【００５４】
また、保持面としての通気性シート３２ｄの断面形状を規定位置Ｐを中心とする円Ｃの円周の一部と同じ形状に形成した例について上記したが、通気性シート３２ｄの断面形状を円Ｃの円周の全部と同じ形状に形成した（つまり、保持面の断面形状を円形に形成した）保持部を採用することもできる。また、保持面の断面形状を、回動中心（規定位置Ｐ）とは異なる位置を中心とする円の円周の一部または全部と同じ形状に形成した保持部や、保持面の断面形状を、楕円の周の一部または全部と同じ形状に形成した保持部を採用することもできる。
【００５５】
また、整列用プレート１４を用いる構成および方法について上記したが、整列用プレート１４を用いない構成および方法を採用することもできる。
【００５６】
さらに、供給処理において、静止状態における吸着ヘッド１１の吸着面２２ａ（整列用プレート１４の下面１４ｂ）に対して保持部３２を近接させて吸着面２２ａに沿って移動させる構成および方法について上記したが、保持部３２に対して吸着ヘッド１１および整列用プレート１４を移動させる構成および方法を採用することもできる。また、供給処理において、吸着ヘッド１１および整列用プレート１４に対して保持部３２を移動させるのと同時に、保持部３２に対して吸着ヘッド１１および整列用プレート１４を移動させる構成および方法を採用することもできる。
【００５７】
また、整列用プレート１４を用いないときには、静止状態の吸着ヘッド１１に対して保持部３２を移動させる構成および方法、保持部３２に対して吸着ヘッド１１を移動させる構成および方法、並びに保持部３２および吸着ヘッド１１の双方を移動させる構成および方法のいずれも採用することができる。
【００５８】
また、上記の例では、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きを右向きとし、回動処理における保持部３２の回動の向きを左回り（反時計回り）の向きとしたが、これとは逆に、移動処理における保持部３２の相対的な移動の向きを左向きとし、回動処理における保持部３２の回動の向きを右回り（時計回り）の向きとする構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１ 半田ボール搭載装置
２ 半田ボール吸着装置
３ 搬送装置
１１ 吸着ヘッド
１５ 制御部
２２ａ 吸着面
２３ａ 吸気口
３２ 保持部
３２ａ 先端部
３２ｂ 基端部
３２ｄ 通気性シート
３４ 移動機構
３５ 回動機構
３００ 半田ボール
４００ 基板
４０１ 端子
Ｃ 円
Ｐ 規定位置
Ｖｒ 周速度
Ｖｔ 移動速度
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドと、先端部の保持面で球状体を保持する保持部と、前記保持部を前記吸着ヘッドに対して相対的に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御して前記球状体を保持している前記保持面を前記吸着面に対して相対的に近接させた近接状態を維持しつつ当該吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行する制御部とを備えて前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着装置であって、
前記保持部を回動させる回動機構を備え、
前記保持部は、基端部における予め規定された規定位置を中心として前記回動機構によって回動されると共に、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成され、
前記制御部は、前記回動機構を制御して前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに前記保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する球状体吸着装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記移動機構および前記回動機構を制御する請求項１記載の球状体吸着装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている請求項１または２記載の球状体吸着装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の球状体吸着装置と、前記球状体の吸着が行われる吸着位置と前記球状体が搭載対象体に搭載される搭載位置との間で前記球状体吸着装置の前記吸着ヘッドを搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する球状体搭載装置。
【請求項５】
複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドにおける当該吸着面に対して、球状体を保持している保持部の保持面を相対的に近接させた近接状態を維持しつつ、前記吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行し、前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着方法であって、
前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成された前記保持部を用いて、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに当該保持部の基端部における予め規定された規定位置を中心として当該保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する球状体吸着方法。
【請求項６】
前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記保持部の移動および回動を行う請求項５記載の球状体吸着方法。
【請求項７】
前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている前記保持部を用いる請求項５または６記載の球状体吸着方法。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載の球状体吸着方法で前記吸着ヘッドに前記球状体を吸着させ、当該球状体を吸着している前記吸着ヘッドを搭載位置に移動させて、前記球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載方法。
【請求項１】
複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドと、先端部の保持面で球状体を保持する保持部と、前記保持部を前記吸着ヘッドに対して相対的に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御して前記球状体を保持している前記保持面を前記吸着面に対して相対的に近接させた近接状態を維持しつつ当該吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行する制御部とを備えて前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着装置であって、
前記保持部を回動させる回動機構を備え、
前記保持部は、基端部における予め規定された規定位置を中心として前記回動機構によって回動されると共に、前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成され、
前記制御部は、前記回動機構を制御して前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに前記保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する球状体吸着装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記移動機構および前記回動機構を制御する請求項１記載の球状体吸着装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている請求項１または２記載の球状体吸着装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の球状体吸着装置と、前記球状体の吸着が行われる吸着位置と前記球状体が搭載対象体に搭載される搭載位置との間で前記球状体吸着装置の前記吸着ヘッドを搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する球状体搭載装置。
【請求項５】
複数の吸気口が形成された吸着面を有する吸着ヘッドにおける当該吸着面に対して、球状体を保持している保持部の保持面を相対的に近接させた近接状態を維持しつつ、前記吸着面に沿って当該保持部を相対的に移動させる移動処理を実行し、前記球状体を前記各吸気口に吸着する球状体吸着方法であって、
前記保持面の断面形状が前記近接状態における前記吸着面側に向けて突出する弧状に形成された前記保持部を用いて、前記移動処理における前記保持部の相対的な移動の向きとは逆向きに当該保持部の基端部における予め規定された規定位置を中心として当該保持部を回動させる回動処理を当該移動処理に連動させて実行する球状体吸着方法。
【請求項６】
前記移動処理における前記保持部の相対的な移動速度と前記回動処理における前記保持面の周速度とが同じ速度となるように前記保持部の移動および回動を行う請求項５記載の球状体吸着方法。
【請求項７】
前記保持面の断面形状が前記規定位置を中心とする円周の一部または全部と同じ形状に形成されている前記保持部を用いる請求項５または６記載の球状体吸着方法。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載の球状体吸着方法で前記吸着ヘッドに前記球状体を吸着させ、当該球状体を吸着している前記吸着ヘッドを搭載位置に移動させて、前記球状体を搭載対象体に搭載する球状体搭載方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
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【図１１】
【図１２】
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【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１３−８４７７９（Ｐ２０１３−８４７７９Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２３７８７（Ｐ２０１１−２２３７８７）
【出願日】平成２３年１０月１１日（２０１１．１０．１１）
【出願人】（０００２２７１８０）日置電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月１１日（２０１１．１０．１１）
【出願人】（０００２２７１８０）日置電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
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