異物発生試験方法および異物発生試験装置
【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３ａに導入される機能液と、機能液を貯留するタンク２１との相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、超音波発生手段２２を用い、タンク２１に貯留した機能液に対し、超音波発生手段２２により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１を備えた。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３ａに導入される機能液と、機能液を貯留するタンク２１との相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、超音波発生手段２２を用い、タンク２１に貯留した機能液に対し、超音波発生手段２２により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法および異物発生試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インク（機能液）を貯留したインク供給容器（タンク）からインク供給チューブを介して機能液が供給される機能液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置において、機能液に含まれる導電性微粒子等の異物を除去する方法（異物除去方法）が知られている（特許文献１参照）。この機能液滴吐出ヘッドは、機能液の導入口となるインク導入針と、インク導入針内に配設されたフィルターと、フィルターを介して液滴吐出ヘッド内にインクを導入するインク導入路と、機能液に振動を与える圧電振動子を有するアクチュエータユニットと、を備えている。この液滴吐出ヘッドでは、アクチュエータユニットを用いて、機能液に対して高周波微振動を印加することで、機能液の攪拌およびキャビテーション効果により、フィルターに機能液内に含まれる導電性微粒子が付着することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２３００１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、タンク内に貯留した機能液は、タンク内の上部空間の空気（酸素や水分）に触れたり、タンクとの擦動することにより、時間の経過とともに、導電性微粒子が異物として析出する場合がある。従来の異物除去方法では、フィルターの目詰まりを一時的に防止することはできるものの、生じた異物は定期的に除去しなければならない。係る場合には、液滴吐出装置の動作を全て停止し、異物除去のための作業を行わなければならないため、生産効率が著しく低下するという問題があった。
このような問題を防止するためには、機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入（供給）する前に、使用する機能液を検査し、異物が発生せず安全に使用可能な期間を予め求めておくことが非常に重要となる。
【０００５】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法および異物発生試験装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の異物発生試験方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、超音波発生手段を用い、タンクに貯留した機能液に対し、超音波発生手段により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の異物発生試験装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、機能液を貯留するタンクと、タンク内の機能液に超音波振動を与える超音波発生手段と、超音波発生手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
異物の発生の仕組みは、機能液がタンク中の空気中の水分を含み、機能液の顔料が、タンクの内壁に付着し、硬化したものが剥がれて異物化すると考えられている。
これらの構成によれば、超音波振動により、タンク内の機能液が波立ち、攪拌されて、機能液とタンク内の空気との接触、およびタンク内面との接触が促進される。このため、機能液内における異物の発生を促進することができる。すなわち、異物の発生を加速させた状態で、機能液の異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンクとの相互作用による異物の発生の有無を、比較的短い時間で且つ簡単に確認することができる。
【０００９】
この場合、異物発生加速工程は、タンクの内面から所定の間隙を存して配設された超音波発生手段を用いて行われることが好ましい。
【００１０】
この場合、超音波発生手段の振動発生部は、タンクの内面から所定の間隙を有して配設されていることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、機能液とタンクの内壁とが擦動する面積が大きくなるため、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、より短時間での機能液の異物発生率（異物発生の状況）を評価することができる。
【００１２】
また、この場合、異物発生加速工程では、タンクの内の機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることが好ましい。
【００１３】
また、この場合、超音波発生手段は、タンクの内の機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることができるように配設されていることが好ましい。
【００１４】
これらの構成によれば、一または複数の任意の方向から機能液に振動を与えることができるため、様々な試験環境を作り出すことができる。これにより、短期間で異物発生率を見定めたい場合や、実際に機能液滴吐出ヘッドから吐出させる時と同様の環境（実機搭載時の環境）での異物発生率を見定めたい場合等、目的に応じた異物発生試験を行うことができる。
【００１５】
この場合、異物発生加速工程は、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程と、を交互に繰り返すことが好ましい。
【００１６】
この場合、制御手段は、タンク内の機能液に間欠的に超音波振動を与えるように超音波発生手段を制御することが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、超音波発生手段を駆動している時には、短波長の超音波振動が与えられ、超音波発生手段を停止している時には、超音波振動時の惰性により、ゆったり（長波長）と振動する。これにより、機能液に対し、様々な振動が与えられ、異物発生をより促進させることができる。
【００１８】
また、この場合、異物発生加速工程は、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることが好ましい。
【００１９】
また、この場合、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を、更に備え、制御手段は、タンク内の機能液を所定の温度に昇温した状態で、超音波発生手段の駆動することが好ましい。
【００２０】
これらの構成によれば、機能液の種類によっては、一定以上（常温以上）の温度にすることで、異物の発生を更に促進させることができる。これにより、短時間で異物発生の有無を試験することができる。
【００２１】
この場合、タンクは、金属製であり、タンクの内面と機能液とが接触する面積が、タンクの内面の総面積の１０％以上であることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、機能液とタンクとの擦動面積を一定以上維持するため、有効な機能液の異物化促進を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。
【図３】異物発生試験方法の手順を示したフローチャートである。
【図４】第２実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。
【図５】第３実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図（ａ）および平面図（ｂ）である。
【図６】第４実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図（ａ）および平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係る異物発生試験方法およびこれを実施するため異物発生試験装置について説明する。この異物発生試験は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速（促進）させて試験するものである。
異物発生試験方法（装置）の説明に先立ち、検査対象である機能液が使用される液滴吐出装置について簡単に説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１２ａ上に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設され、複数の機能液滴吐出ヘッド１３ａが搭載された複数のキャリッジユニット１３と、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する機能液供給ユニット１４と、を備えている。この液滴吐出装置１は、制御装置１５の指示により、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１３ａから機能液を吐出させて、ワークＷに所定のパターンを描画する。
【００２６】
機能液供給ユニット１４は、機能液の供給源となる複数のメインタンク１４ａと、各キャリッジユニット１３に対応して設けた複数のサブタンク１４ｂと、各サブタンク１４ｂを介してメインタンク１４ａと各機能液滴吐出ヘッド１３ａとを接続する機能液流路１４ｃと、を備えている。各サブタンク１４ｂは、一対のＹ軸支持ベース１２ａに掛け渡されたブリッジプレート１２ｂ上に配設されており、対応するキャリッジユニット１３と共に移動する。そして、各キャリッジユニット１３に搭載された各機能液滴吐出ヘッド１３ａには、各サブタンク１４ｂから自然水頭を利用し、機能液流路１４ｃを通じて機能液が供給されるようになっている。
【００２７】
このような、液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド１３ａへの機能液の供給は、サブタンク１４ｂから自然水頭を利用しているため、サブタンク１４ｂ内における機能液は、空気（或いは窒素）に触れると共に、その量は増減を繰り返すこととなる。また、サブタンク１４ｂはＹ軸テーブル１２に搭載され、キャリッジユニット１３と共に移動を繰り返す。このため、サブタンク１４ｂ内に貯留している機能液は、攪拌され、機能液とこれを貯留するサブタンク１４ｂとの相互作用により異物が発生しやすい環境といえる。この異物が、機能液滴吐出ヘッド１３ａに流入すると、機能液滴吐出ヘッド１３ａ内の流路やノズルに詰り、吐出不良が生じ、ワークＷへの描画品質に影響を及ぼす。この場合、異物除去すべく液滴吐出装置１の動作が全て停止されるため、生産効率が著しく低下する。
そこで、異物発生試験装置２を用いて、液滴吐出装置１に機能液を導入する前の状態（オフライン状態）で、サブタンク１４ｂ内に貯留した機能液の異物発生の状況を加速させて試験を行う。
【００２８】
（第１実施形態）
図２を参照して、異物発生試験装置２について説明する。異物発生試験装置２は、機能液を貯留するタンク２１と、タンク２１内の機能液に超音波振動を与える超音波発生手段２２と、タンク２１内の機能液を所定の温度に昇温させる機能液昇温手段２３と、超音波発生手段２２の動作を制御するためのＰＣ等から構成された制御手段２４と、を備えている。
【００２９】
タンク２１は、サブタンク１４ｂと同一（または同等）のものであり、ステンレス等の金属材料で、薄型直方体形状に形成されている。また、タンク２１の上面は開放されており（蓋体を取り外した状態）、そこからタンク２１内に機能液を注入できるようになっている。このようにタンク２１の上面は開放されているため、タンク２１内の機能液と空気（大気）とが直接接触し、機能液内に異物が発生しやすくなっている。なお、開放式のタンク２１に限らず、蓋付の密閉式タンクを用いてもよい。また、以下の説明のために、直交座標軸を図２に示すように規定した。
【００３０】
超音波発生手段２２は、超音波の発生源となる超音波発信器３１と、タンク２１内に配設される振動板３２と、超音波発信器３１と振動板３２とを電気的に接続する専用ケーブル３３と、を備えた、いわゆるセパレート型のものである。この超音波発生手段２２は、超音波発信器３１からの超音波信号が、専用ケーブル３３を介して振動板３２に伝えられ、振動板３２が超音波振動する。そして、タンク２１内の機能液には、振動板３２を介して超音波振動を与えられる。これにより、タンク２１内の機能液が波立ち、攪拌されて、機能液と空気との接触の機会が増加し、機能液内における異物の発生を促進させることができる。すなわち、異物の発生を加速させた状態で、機能液の異物発生試験を行うことができる。なお、振動板３２と超音波発信器３１とがユニット化された一体型の超音波発生手段２２を用いてもよい。また、本実施形態の超音波発生手段２２（超音波発信器３１）は、３０ｋＨｚ程度の周波数の超音波を発生するが、発生する超音波の周波数は、これに限定されるものではない。
【００３１】
振動板３２は、タンク２１内において超音波振動を与えたい方向に応じて任意の位置に配設してよいが、本実施形態における振動板３２は、タンク２１のＹ軸方向略中央において、Ｘ軸方向に沿って、且つＺ軸方向全域に渡って配設されている。つまり、タンク２１内をＹ軸方向に２つに仕切るように、振動板３２を配設している。このため、機能液には、振動板３２の両面を介して、Ｙ軸方向中央から外側に向かって超音波振動が与えられる。これにより、Ｙ軸方向に２つに分離された機能液に対して、効率良く超音波振動を与えることができると共に、機能液とタンク２１の内壁とが擦動する面積を広く（大きく）確保することができるため、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、機能液とタンク２１との相互作用による異物発生の有無や異物発生率（異物発生の状況）を、短時間で且つ簡単に確認、評価することができる。なお、振動板３２を、タンク２１のＸ軸方向略中央において、Ｙ軸方向に沿って配設してもよい。
【００３２】
機能液昇温手段２３は、タンク２１内に貯留した機能液を所定の温度に昇温させるためのヒーター４１を備えたチャンバー４２で構成されている。チャンバー４２は、異物発生試験を行うために必要なタンク２１や超音波発生手段２２等の機材を配置する試験室であり、異物発生試験を行う環境を、ヒーター４１により所定の温度に昇温することで、タンク２１内の機能液の温度を昇温する。これにより、機能液内の異物発生を更に促進させることができる。これは、一定以上の温度にすることで異物が発生しやすくなる種類の機能液に対して特に有効である。なお、本実施形態では、異物発生試験を行うための環境温度（機能液の試験温度）を、機能液の物性に影響を与えない４０℃以下となるように調整している。
【００３３】
また、チャンバー４２内には、機能液を貯留したタンク２１（および振動板３２）が配設されていればよく、超音波発生手段２２の超音波発信器３１をチャンバー４２の外部に配設してもかまわない。また、制御手段２４は、ユーザーが操作することを考慮するとチャンバー４２の外部に配設されることが好ましい。他にも、チャンバー４２を省略して、ヒーター４１（フィルムヒーター等）を、タンク２１の外側から囲むように配設してもよい。もちろん、防水処理したプレートヒーターを、機能液に浸漬する構成であってもよい。いずれにあって、機能液の温度は、センサーによりヒーター４１をＯＮ−ＯＦＦしながら一定に管理させることとなる。
【００３４】
続いて、図２および図３を参照して、異物発生試験装置２の制御手段２４による制御方法（異物発生試験方法）について説明する。この異物発生試験方法は、タンク２１に貯留した機能液に対し、超音波発生手段２２により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１を備えている。
【００３５】
ユーザーは、異物発生加速工程Ｓ１に先立ち、試験に供する機能液をタンク２１に注入する。この際、超音波振動を付与したときに機能液がタンク２１の外に溢れ出すことを防止するため、タンク２１の最大貯留量（容量）の１０〜８０％程度に留める。また、タンク２１の内面と機能液とが接触する面積が、タンク２１の内面の総面積の１０％以上になるようにする。これにより、機能液とタンク２１との擦動面積を一定以上維持することができるため、機能液の異物化促進を有効に行える。なお、密閉式タンクを用いた場合でも、最大貯留量を８０％以下にしているため、タンク２１内の上部には、空間（空気層）が形成される。このため、超音波振動の付与により、機能液と空気とが攪拌され、機能液の異物化を有効に加速することができる。
【００３６】
次に、ユーザーは、機能液を貯留したタンク２１をチャンバー４２内に設置する。その後、ユーザーの指示により制御手段２４は、異物発生加速工程Ｓ１を実施する。異物発生加速工程Ｓ１は、タンク２１内の機能液の温度を昇温させる昇温工程Ｓ２と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程Ｓ３と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程Ｓ４と、を有している。
【００３７】
昇温工程Ｓ２では、チャンバー４２内の温度を所定の温度（４０℃程度）にするため、制御手段２４がヒーター４１を駆動する。ヒーター４１を駆動して、しばらく経過するとタンク２１内の機能液の温度もチャンバー４２内の温度と略同一となる（タンク２１内のセンサーで検出する。）。
【００３８】
次に、制御手段２４は、超音波発生手段２２の駆動を制御し、振動付与工程Ｓ３と振動停止工程Ｓ４とを交互に繰り返すことで、タンク２１内の機能液に対し、間欠的（断続的）に超音波振動を与える。本実施形態では、振動付与工程Ｓ３および振動停止工程Ｓ４を、７日間に渡り実施する。このような駆動制御をすることで、超音波発生手段２２を駆動している時には、短波長の振動が与えられ、超音波発生手段２２を停止している時には、超音波振動時の惰性により、ゆったり（長波長）と振動する。これにより、機能液に対し、様々な振動が与えられ、異物発生をより促進させることができる。なお、超音波振動を付与する時間および停止する時間の長さは任意であり、また、振動付与工程Ｓ３および振動停止工程Ｓ４を実施する期間も任意に設定してよい。さらに、振動停止工程Ｓ４を省略して、機能液に対して超音波振動を与え続けてもよい。
【００３９】
以上の構成によれば、超音波振動により、機能液と空気との接触、および機能液とタンク２１の内面との接触の機会を増加させ、機能液内における異物の発生を加速させた状態で異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンク２１との相互作用による異物の発生の有無を、短い時間で且つ簡単に確認可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）
図４に示すように、第２実施形態に係る異物発生試験装置２では、超音波発生手段２２の振動板３２が、タンク２１の下部に配設されている。このため、超音波振動は、下方から上方へと伝わることとなる。このような構成によっても、第１実施形態に係る異物発生試験装置２と同様の効果が得られる。なお、第２実施形態と第１実施形態とを併せた形態としてもよい。
【００４１】
（第３実施形態）
図５に示すように、第３実施形態に係る異物発生試験装置２では、タンク２１の内側面２１ａ（４面）に沿うように、複数（４枚）の振動板３２が配設されている。この各振動板３２は、複数の支柱部材２１ｂを介してタンク２１の各内側面２１ａに取り付けられている。すなわち、各振動板３２は、各内側面２１ａに対し、所定の間隙を有して取り付けられている。この場合、４枚の振動板３２から同時に超音波振動を発生させると、四方から中心に向けて超音波振動が伝わることとなる。
【００４２】
このような構成によれば、一または複数の任意の方向から機能液に対して、超音波振動を与えることができるため、様々な試験環境を作り出すことができる。また、各振動板３２を各内側面２１ａに沿うように配設しても、機能液と各内側面２１ａとの接触面積を広く確保することができるため、機能液と各内側面２１ａとが擦動する面積も大きくなり、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、短期間で異物発生率を見定めたい場合や、実際に機能液滴吐出ヘッド１３ａから吐出させる時と同様の環境（実機搭載時の環境）での異物発生率を見定めたい場合等、目的に応じた異物発生試験を行うことができる。なお、第１実施形態、第２実施形態および第３実施形態を相互に併せた形態としてもよい。
【００４３】
（第４実施形態）
図６に示すように、第４実施形態に係る異物発生試験装置２では、Ｚ軸方向から見て、四隅に４枚の振動板３２が、複数の支柱部材２１ｂを介して配設されている。各振動板３２は、タンク２１のＹ軸方向の長さの略半分程度の幅であり、Ｚ軸方向に細長い形状を為している。一方の対角の位置にある一対の振動板３２は、Ｘ軸方向に超音波振動を発生するように配設され、他方の対角の位置にある一対の振動板３２は、Ｙ軸方向に超音波振動を発生するように配設されている。この場合、４枚の振動板３２から同時に超音波振動を発生させると、超音波振動は、タンク２１の各内側面２１ａに沿って進み、やがてヨー方向に回転するように伝わる。このような構成によっても、第１実施形態に係る異物発生試験装置２と同様の効果が得られる。なお、各振動板３２の配設位置や角度を変更して、ロール方向やピッチ方向に超音波振動が伝わるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
２：異物発生試験装置、１３ａ：機能液滴吐出ヘッド、２１：タンク、２２：超音波発生手段、２３：機能液昇温手段、２４：制御手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法および異物発生試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インク（機能液）を貯留したインク供給容器（タンク）からインク供給チューブを介して機能液が供給される機能液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置において、機能液に含まれる導電性微粒子等の異物を除去する方法（異物除去方法）が知られている（特許文献１参照）。この機能液滴吐出ヘッドは、機能液の導入口となるインク導入針と、インク導入針内に配設されたフィルターと、フィルターを介して液滴吐出ヘッド内にインクを導入するインク導入路と、機能液に振動を与える圧電振動子を有するアクチュエータユニットと、を備えている。この液滴吐出ヘッドでは、アクチュエータユニットを用いて、機能液に対して高周波微振動を印加することで、機能液の攪拌およびキャビテーション効果により、フィルターに機能液内に含まれる導電性微粒子が付着することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２３００１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、タンク内に貯留した機能液は、タンク内の上部空間の空気（酸素や水分）に触れたり、タンクとの擦動することにより、時間の経過とともに、導電性微粒子が異物として析出する場合がある。従来の異物除去方法では、フィルターの目詰まりを一時的に防止することはできるものの、生じた異物は定期的に除去しなければならない。係る場合には、液滴吐出装置の動作を全て停止し、異物除去のための作業を行わなければならないため、生産効率が著しく低下するという問題があった。
このような問題を防止するためには、機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入（供給）する前に、使用する機能液を検査し、異物が発生せず安全に使用可能な期間を予め求めておくことが非常に重要となる。
【０００５】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法および異物発生試験装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の異物発生試験方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、超音波発生手段を用い、タンクに貯留した機能液に対し、超音波発生手段により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の異物発生試験装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、機能液を貯留するタンクと、タンク内の機能液に超音波振動を与える超音波発生手段と、超音波発生手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
異物の発生の仕組みは、機能液がタンク中の空気中の水分を含み、機能液の顔料が、タンクの内壁に付着し、硬化したものが剥がれて異物化すると考えられている。
これらの構成によれば、超音波振動により、タンク内の機能液が波立ち、攪拌されて、機能液とタンク内の空気との接触、およびタンク内面との接触が促進される。このため、機能液内における異物の発生を促進することができる。すなわち、異物の発生を加速させた状態で、機能液の異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンクとの相互作用による異物の発生の有無を、比較的短い時間で且つ簡単に確認することができる。
【０００９】
この場合、異物発生加速工程は、タンクの内面から所定の間隙を存して配設された超音波発生手段を用いて行われることが好ましい。
【００１０】
この場合、超音波発生手段の振動発生部は、タンクの内面から所定の間隙を有して配設されていることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、機能液とタンクの内壁とが擦動する面積が大きくなるため、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、より短時間での機能液の異物発生率（異物発生の状況）を評価することができる。
【００１２】
また、この場合、異物発生加速工程では、タンクの内の機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることが好ましい。
【００１３】
また、この場合、超音波発生手段は、タンクの内の機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることができるように配設されていることが好ましい。
【００１４】
これらの構成によれば、一または複数の任意の方向から機能液に振動を与えることができるため、様々な試験環境を作り出すことができる。これにより、短期間で異物発生率を見定めたい場合や、実際に機能液滴吐出ヘッドから吐出させる時と同様の環境（実機搭載時の環境）での異物発生率を見定めたい場合等、目的に応じた異物発生試験を行うことができる。
【００１５】
この場合、異物発生加速工程は、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程と、を交互に繰り返すことが好ましい。
【００１６】
この場合、制御手段は、タンク内の機能液に間欠的に超音波振動を与えるように超音波発生手段を制御することが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、超音波発生手段を駆動している時には、短波長の超音波振動が与えられ、超音波発生手段を停止している時には、超音波振動時の惰性により、ゆったり（長波長）と振動する。これにより、機能液に対し、様々な振動が与えられ、異物発生をより促進させることができる。
【００１８】
また、この場合、異物発生加速工程は、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることが好ましい。
【００１９】
また、この場合、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を、更に備え、制御手段は、タンク内の機能液を所定の温度に昇温した状態で、超音波発生手段の駆動することが好ましい。
【００２０】
これらの構成によれば、機能液の種類によっては、一定以上（常温以上）の温度にすることで、異物の発生を更に促進させることができる。これにより、短時間で異物発生の有無を試験することができる。
【００２１】
この場合、タンクは、金属製であり、タンクの内面と機能液とが接触する面積が、タンクの内面の総面積の１０％以上であることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、機能液とタンクとの擦動面積を一定以上維持するため、有効な機能液の異物化促進を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。
【図３】異物発生試験方法の手順を示したフローチャートである。
【図４】第２実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。
【図５】第３実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図（ａ）および平面図（ｂ）である。
【図６】第４実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図（ａ）および平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係る異物発生試験方法およびこれを実施するため異物発生試験装置について説明する。この異物発生試験は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速（促進）させて試験するものである。
異物発生試験方法（装置）の説明に先立ち、検査対象である機能液が使用される液滴吐出装置について簡単に説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１２ａ上に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設され、複数の機能液滴吐出ヘッド１３ａが搭載された複数のキャリッジユニット１３と、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する機能液供給ユニット１４と、を備えている。この液滴吐出装置１は、制御装置１５の指示により、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１３ａから機能液を吐出させて、ワークＷに所定のパターンを描画する。
【００２６】
機能液供給ユニット１４は、機能液の供給源となる複数のメインタンク１４ａと、各キャリッジユニット１３に対応して設けた複数のサブタンク１４ｂと、各サブタンク１４ｂを介してメインタンク１４ａと各機能液滴吐出ヘッド１３ａとを接続する機能液流路１４ｃと、を備えている。各サブタンク１４ｂは、一対のＹ軸支持ベース１２ａに掛け渡されたブリッジプレート１２ｂ上に配設されており、対応するキャリッジユニット１３と共に移動する。そして、各キャリッジユニット１３に搭載された各機能液滴吐出ヘッド１３ａには、各サブタンク１４ｂから自然水頭を利用し、機能液流路１４ｃを通じて機能液が供給されるようになっている。
【００２７】
このような、液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド１３ａへの機能液の供給は、サブタンク１４ｂから自然水頭を利用しているため、サブタンク１４ｂ内における機能液は、空気（或いは窒素）に触れると共に、その量は増減を繰り返すこととなる。また、サブタンク１４ｂはＹ軸テーブル１２に搭載され、キャリッジユニット１３と共に移動を繰り返す。このため、サブタンク１４ｂ内に貯留している機能液は、攪拌され、機能液とこれを貯留するサブタンク１４ｂとの相互作用により異物が発生しやすい環境といえる。この異物が、機能液滴吐出ヘッド１３ａに流入すると、機能液滴吐出ヘッド１３ａ内の流路やノズルに詰り、吐出不良が生じ、ワークＷへの描画品質に影響を及ぼす。この場合、異物除去すべく液滴吐出装置１の動作が全て停止されるため、生産効率が著しく低下する。
そこで、異物発生試験装置２を用いて、液滴吐出装置１に機能液を導入する前の状態（オフライン状態）で、サブタンク１４ｂ内に貯留した機能液の異物発生の状況を加速させて試験を行う。
【００２８】
（第１実施形態）
図２を参照して、異物発生試験装置２について説明する。異物発生試験装置２は、機能液を貯留するタンク２１と、タンク２１内の機能液に超音波振動を与える超音波発生手段２２と、タンク２１内の機能液を所定の温度に昇温させる機能液昇温手段２３と、超音波発生手段２２の動作を制御するためのＰＣ等から構成された制御手段２４と、を備えている。
【００２９】
タンク２１は、サブタンク１４ｂと同一（または同等）のものであり、ステンレス等の金属材料で、薄型直方体形状に形成されている。また、タンク２１の上面は開放されており（蓋体を取り外した状態）、そこからタンク２１内に機能液を注入できるようになっている。このようにタンク２１の上面は開放されているため、タンク２１内の機能液と空気（大気）とが直接接触し、機能液内に異物が発生しやすくなっている。なお、開放式のタンク２１に限らず、蓋付の密閉式タンクを用いてもよい。また、以下の説明のために、直交座標軸を図２に示すように規定した。
【００３０】
超音波発生手段２２は、超音波の発生源となる超音波発信器３１と、タンク２１内に配設される振動板３２と、超音波発信器３１と振動板３２とを電気的に接続する専用ケーブル３３と、を備えた、いわゆるセパレート型のものである。この超音波発生手段２２は、超音波発信器３１からの超音波信号が、専用ケーブル３３を介して振動板３２に伝えられ、振動板３２が超音波振動する。そして、タンク２１内の機能液には、振動板３２を介して超音波振動を与えられる。これにより、タンク２１内の機能液が波立ち、攪拌されて、機能液と空気との接触の機会が増加し、機能液内における異物の発生を促進させることができる。すなわち、異物の発生を加速させた状態で、機能液の異物発生試験を行うことができる。なお、振動板３２と超音波発信器３１とがユニット化された一体型の超音波発生手段２２を用いてもよい。また、本実施形態の超音波発生手段２２（超音波発信器３１）は、３０ｋＨｚ程度の周波数の超音波を発生するが、発生する超音波の周波数は、これに限定されるものではない。
【００３１】
振動板３２は、タンク２１内において超音波振動を与えたい方向に応じて任意の位置に配設してよいが、本実施形態における振動板３２は、タンク２１のＹ軸方向略中央において、Ｘ軸方向に沿って、且つＺ軸方向全域に渡って配設されている。つまり、タンク２１内をＹ軸方向に２つに仕切るように、振動板３２を配設している。このため、機能液には、振動板３２の両面を介して、Ｙ軸方向中央から外側に向かって超音波振動が与えられる。これにより、Ｙ軸方向に２つに分離された機能液に対して、効率良く超音波振動を与えることができると共に、機能液とタンク２１の内壁とが擦動する面積を広く（大きく）確保することができるため、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、機能液とタンク２１との相互作用による異物発生の有無や異物発生率（異物発生の状況）を、短時間で且つ簡単に確認、評価することができる。なお、振動板３２を、タンク２１のＸ軸方向略中央において、Ｙ軸方向に沿って配設してもよい。
【００３２】
機能液昇温手段２３は、タンク２１内に貯留した機能液を所定の温度に昇温させるためのヒーター４１を備えたチャンバー４２で構成されている。チャンバー４２は、異物発生試験を行うために必要なタンク２１や超音波発生手段２２等の機材を配置する試験室であり、異物発生試験を行う環境を、ヒーター４１により所定の温度に昇温することで、タンク２１内の機能液の温度を昇温する。これにより、機能液内の異物発生を更に促進させることができる。これは、一定以上の温度にすることで異物が発生しやすくなる種類の機能液に対して特に有効である。なお、本実施形態では、異物発生試験を行うための環境温度（機能液の試験温度）を、機能液の物性に影響を与えない４０℃以下となるように調整している。
【００３３】
また、チャンバー４２内には、機能液を貯留したタンク２１（および振動板３２）が配設されていればよく、超音波発生手段２２の超音波発信器３１をチャンバー４２の外部に配設してもかまわない。また、制御手段２４は、ユーザーが操作することを考慮するとチャンバー４２の外部に配設されることが好ましい。他にも、チャンバー４２を省略して、ヒーター４１（フィルムヒーター等）を、タンク２１の外側から囲むように配設してもよい。もちろん、防水処理したプレートヒーターを、機能液に浸漬する構成であってもよい。いずれにあって、機能液の温度は、センサーによりヒーター４１をＯＮ−ＯＦＦしながら一定に管理させることとなる。
【００３４】
続いて、図２および図３を参照して、異物発生試験装置２の制御手段２４による制御方法（異物発生試験方法）について説明する。この異物発生試験方法は、タンク２１に貯留した機能液に対し、超音波発生手段２２により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１を備えている。
【００３５】
ユーザーは、異物発生加速工程Ｓ１に先立ち、試験に供する機能液をタンク２１に注入する。この際、超音波振動を付与したときに機能液がタンク２１の外に溢れ出すことを防止するため、タンク２１の最大貯留量（容量）の１０〜８０％程度に留める。また、タンク２１の内面と機能液とが接触する面積が、タンク２１の内面の総面積の１０％以上になるようにする。これにより、機能液とタンク２１との擦動面積を一定以上維持することができるため、機能液の異物化促進を有効に行える。なお、密閉式タンクを用いた場合でも、最大貯留量を８０％以下にしているため、タンク２１内の上部には、空間（空気層）が形成される。このため、超音波振動の付与により、機能液と空気とが攪拌され、機能液の異物化を有効に加速することができる。
【００３６】
次に、ユーザーは、機能液を貯留したタンク２１をチャンバー４２内に設置する。その後、ユーザーの指示により制御手段２４は、異物発生加速工程Ｓ１を実施する。異物発生加速工程Ｓ１は、タンク２１内の機能液の温度を昇温させる昇温工程Ｓ２と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程Ｓ３と、機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程Ｓ４と、を有している。
【００３７】
昇温工程Ｓ２では、チャンバー４２内の温度を所定の温度（４０℃程度）にするため、制御手段２４がヒーター４１を駆動する。ヒーター４１を駆動して、しばらく経過するとタンク２１内の機能液の温度もチャンバー４２内の温度と略同一となる（タンク２１内のセンサーで検出する。）。
【００３８】
次に、制御手段２４は、超音波発生手段２２の駆動を制御し、振動付与工程Ｓ３と振動停止工程Ｓ４とを交互に繰り返すことで、タンク２１内の機能液に対し、間欠的（断続的）に超音波振動を与える。本実施形態では、振動付与工程Ｓ３および振動停止工程Ｓ４を、７日間に渡り実施する。このような駆動制御をすることで、超音波発生手段２２を駆動している時には、短波長の振動が与えられ、超音波発生手段２２を停止している時には、超音波振動時の惰性により、ゆったり（長波長）と振動する。これにより、機能液に対し、様々な振動が与えられ、異物発生をより促進させることができる。なお、超音波振動を付与する時間および停止する時間の長さは任意であり、また、振動付与工程Ｓ３および振動停止工程Ｓ４を実施する期間も任意に設定してよい。さらに、振動停止工程Ｓ４を省略して、機能液に対して超音波振動を与え続けてもよい。
【００３９】
以上の構成によれば、超音波振動により、機能液と空気との接触、および機能液とタンク２１の内面との接触の機会を増加させ、機能液内における異物の発生を加速させた状態で異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンク２１との相互作用による異物の発生の有無を、短い時間で且つ簡単に確認可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）
図４に示すように、第２実施形態に係る異物発生試験装置２では、超音波発生手段２２の振動板３２が、タンク２１の下部に配設されている。このため、超音波振動は、下方から上方へと伝わることとなる。このような構成によっても、第１実施形態に係る異物発生試験装置２と同様の効果が得られる。なお、第２実施形態と第１実施形態とを併せた形態としてもよい。
【００４１】
（第３実施形態）
図５に示すように、第３実施形態に係る異物発生試験装置２では、タンク２１の内側面２１ａ（４面）に沿うように、複数（４枚）の振動板３２が配設されている。この各振動板３２は、複数の支柱部材２１ｂを介してタンク２１の各内側面２１ａに取り付けられている。すなわち、各振動板３２は、各内側面２１ａに対し、所定の間隙を有して取り付けられている。この場合、４枚の振動板３２から同時に超音波振動を発生させると、四方から中心に向けて超音波振動が伝わることとなる。
【００４２】
このような構成によれば、一または複数の任意の方向から機能液に対して、超音波振動を与えることができるため、様々な試験環境を作り出すことができる。また、各振動板３２を各内側面２１ａに沿うように配設しても、機能液と各内側面２１ａとの接触面積を広く確保することができるため、機能液と各内側面２１ａとが擦動する面積も大きくなり、異物発生をより加速（促進）させることができる。これにより、短期間で異物発生率を見定めたい場合や、実際に機能液滴吐出ヘッド１３ａから吐出させる時と同様の環境（実機搭載時の環境）での異物発生率を見定めたい場合等、目的に応じた異物発生試験を行うことができる。なお、第１実施形態、第２実施形態および第３実施形態を相互に併せた形態としてもよい。
【００４３】
（第４実施形態）
図６に示すように、第４実施形態に係る異物発生試験装置２では、Ｚ軸方向から見て、四隅に４枚の振動板３２が、複数の支柱部材２１ｂを介して配設されている。各振動板３２は、タンク２１のＹ軸方向の長さの略半分程度の幅であり、Ｚ軸方向に細長い形状を為している。一方の対角の位置にある一対の振動板３２は、Ｘ軸方向に超音波振動を発生するように配設され、他方の対角の位置にある一対の振動板３２は、Ｙ軸方向に超音波振動を発生するように配設されている。この場合、４枚の振動板３２から同時に超音波振動を発生させると、超音波振動は、タンク２１の各内側面２１ａに沿って進み、やがてヨー方向に回転するように伝わる。このような構成によっても、第１実施形態に係る異物発生試験装置２と同様の効果が得られる。なお、各振動板３２の配設位置や角度を変更して、ロール方向やピッチ方向に超音波振動が伝わるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
２：異物発生試験装置、１３ａ：機能液滴吐出ヘッド、２１：タンク、２２：超音波発生手段、２３：機能液昇温手段、２４：制御手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、
超音波発生手段を用い、
前記タンクに貯留した前記機能液に対し、前記超音波発生手段により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程を備えたことを特徴とする異物発生試験方法。
【請求項２】
前記異物発生加速工程は、
前記タンクの内面から所定の間隙を存して配設された前記超音波発生手段を用いて行われることを特徴とする請求項１に記載の異物発生試験方法。
【請求項３】
前記異物発生加速工程では、前記タンクの内の前記機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることを特徴とする請求項１または２に記載の異物発生試験方法。
【請求項４】
前記異物発生加速工程は、
前記機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程と、
前記機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程と、を交互に繰り返すことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の異物発生試験方法。
【請求項５】
前記異物発生加速工程は、前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の異物発生試験方法。
【請求項６】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、
前記機能液を貯留するタンクと、
前記タンク内の前記機能液に超音波振動を与える超音波発生手段と、
前記超音波発生手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする異物発生試験装置。
【請求項７】
前記超音波発生手段の振動発生部は、前記タンクの内面から所定の間隙を有して配設されていることを特徴とする請求項６に記載の異物発生試験装置。
【請求項８】
前記超音波発生手段は、前記タンクの内の前記機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることができるように配設されていることを特徴とする請求項６または７に記載の異物発生試験装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記タンク内の前記機能液に間欠的に超音波振動を与えるように前記超音波発生手段を制御することを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【請求項１０】
前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を更に備え、
前記制御手段は、前記タンク内の前記機能液を所定の温度に昇温した状態で、前記超音波発生手段の駆動することを特徴とする請求項６ないし９のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【請求項１１】
前記タンクは、金属製であり、
前記タンクの内面と前記機能液とが接触する面積が、前記タンクの内面の総面積の１０％以上であることを特徴とする請求項６ないし１０のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、
超音波発生手段を用い、
前記タンクに貯留した前記機能液に対し、前記超音波発生手段により超音波振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程を備えたことを特徴とする異物発生試験方法。
【請求項２】
前記異物発生加速工程は、
前記タンクの内面から所定の間隙を存して配設された前記超音波発生手段を用いて行われることを特徴とする請求項１に記載の異物発生試験方法。
【請求項３】
前記異物発生加速工程では、前記タンクの内の前記機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることを特徴とする請求項１または２に記載の異物発生試験方法。
【請求項４】
前記異物発生加速工程は、
前記機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動を付与する振動付与工程と、
前記機能液に対し、所定の時間だけ超音波振動の付与を停止する振動停止工程と、を交互に繰り返すことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の異物発生試験方法。
【請求項５】
前記異物発生加速工程は、前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の異物発生試験方法。
【請求項６】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、
前記機能液を貯留するタンクと、
前記タンク内の前記機能液に超音波振動を与える超音波発生手段と、
前記超音波発生手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする異物発生試験装置。
【請求項７】
前記超音波発生手段の振動発生部は、前記タンクの内面から所定の間隙を有して配設されていることを特徴とする請求項６に記載の異物発生試験装置。
【請求項８】
前記超音波発生手段は、前記タンクの内の前記機能液に対し、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向およびＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向のうち少なくとも１の方向から、超音波振動を与えることができるように配設されていることを特徴とする請求項６または７に記載の異物発生試験装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記タンク内の前記機能液に間欠的に超音波振動を与えるように前記超音波発生手段を制御することを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【請求項１０】
前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を更に備え、
前記制御手段は、前記タンク内の前記機能液を所定の温度に昇温した状態で、前記超音波発生手段の駆動することを特徴とする請求項６ないし９のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【請求項１１】
前記タンクは、金属製であり、
前記タンクの内面と前記機能液とが接触する面積が、前記タンクの内面の総面積の１０％以上であることを特徴とする請求項６ないし１０のいずれかに記載の異物発生試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１０４５０６（Ｐ２０１１−１０４５０６Ａ）
【公開日】平成２３年６月２日（２０１１．６．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２６１５３０（Ｐ２００９−２６１５３０）
【出願日】平成２１年１１月１７日（２００９．１１．１７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月２日（２０１１．６．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月１７日（２００９．１１．１７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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