真空成膜装置
【課題】比較的安価な構成により、スイングアームのロックし忘れを防止する真空成膜装置を提供する。
【解決手段】真空成膜装置３は、ホルダ１９ｆを支持しかつ揺動自在なスイングアーム９０を備えている。スイングアーム９０は、ホルダ１９ｆを他のホルダ１９と共に周回状に配置する閉位置と、ホルダ１９ｆを中心位置１５ａの外方に移動させた開位置との間で揺動可能である。真空成膜装置３は、スイングアーム９０を閉位置に保持するロック機構と、スイングアーム９０が閉位置にあるとスイングアーム９０を開位置側に向かって付勢する付勢部材６１と、を備えている。
【解決手段】真空成膜装置３は、ホルダ１９ｆを支持しかつ揺動自在なスイングアーム９０を備えている。スイングアーム９０は、ホルダ１９ｆを他のホルダ１９と共に周回状に配置する閉位置と、ホルダ１９ｆを中心位置１５ａの外方に移動させた開位置との間で揺動可能である。真空成膜装置３は、スイングアーム９０を閉位置に保持するロック機構と、スイングアーム９０が閉位置にあるとスイングアーム９０を開位置側に向かって付勢する付勢部材６１と、を備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空状態において被処理物の表面に成膜を施すことができる真空成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられる扉とを有する真空槽と、被処理物を支持するホルダと、を備えた真空成膜装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。また、所定の位置（例えば蒸着源の設置位置）を中心として周回状に配置された複数のホルダを備え、運転中にそれらホルダが自転しながら上記所定位置を中心として公転する真空成膜装置も知られている。
【０００３】
上記真空成膜装置では、ホルダの自転および公転により、被処理物に対する成膜を均一に行うことができる。しかし、複数のホルダが前記所定位置（以下、中心位置という）を取り囲むように配置されるので、そのままではホルダが邪魔となって、蒸着源の交換作業等が行いにくいという課題がある。
【０００４】
そこで、中心位置の外側に向かって揺動自在なスイング部材を設け、少なくとも一つのホルダを上記スイング部材に取り付けることが提案されている。このような真空成膜装置によれば、スイング部材を外側に向かって開くことにより、作業者が中心位置に向かって移動することが容易となる。そのため、蒸着源の交換作業等を容易に行うことができる。一方、蒸着源の交換作業等が終了すると、スイングアームが揺動しないように所定のロック機構によって当該スイングアームをロックする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０５−２７１９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、蒸着源の交換作業等を行った後、作業者がスイング部材をロックし忘れる場合がある。本願発明者は、そのような場合に以下のような現象が発生するおそれがあることを見出した。すなわち、ホルダは自転だけでなく、前記中心位置を中心として公転する。そのため、公転の際にスイング部材にホルダの遠心力が作用し、スイング部材が徐々に外側に向かって開いてしまうおそれがある。ところが、スイング部材が外側に向かって開いてしまうと、ホルダが真空槽の内周面に接触し、成膜処理の不良が発生するおそれがある。また、ホルダまたはスイング部材が真空槽の内周面に接触し、ホルダ等が落下するおそれがある。しかし、ホルダ等が落下すると、器材損傷を生じ、器材の交換が必要となる。ところが、器材交換が必要になると、その間、真空成膜装置を稼働させることができなくなる。
【０００７】
そのような事態を回避するため、スイング部材に自動ロック機構を設けることが考えられる。すなわち、スイング部材が所定位置に移動すると、スイング部材を自動的にロックするような機構を設けることが考えられる。ところが、そのような自動ロック機構は高価であり、真空成膜装置の低コスト化を阻害する要因となり、好ましくない。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、真空成膜装置において、比較的安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る真空成膜装置は、真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられた扉とを有し、その内部において被処理物に対する成膜処理が行われる真空槽と、所定の中心位置を取り囲むように周回状に配置され、それぞれ前記被処理物を支持する複数のホルダと、前記ホルダを少なくとも前記中心位置を中心として公転させる駆動機構と、前記複数のホルダのうち少なくとも一つのホルダを支持し、当該ホルダを他のホルダと共に前記周回状に配置する閉位置と、当該ホルダを前記閉位置よりも前記中心位置の外方に移動させた開位置との間で、揺動自在なスイング部材と、前記スイング部材を前記閉位置に保持するロック機構と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段と、を備えたものである。
【００１０】
上記真空成膜装置によれば、スイング部材が閉位置に保持されていない場合には、非ロック状態認識促進手段が作業者にそのことを認識させる。そのため、自動ロック機構のような高価な構成を採用しなくても、スイング部材のロックし忘れを未然に防止することができる。
【００１１】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置にあると前記スイング部材を前記開位置側に向かって付勢する付勢部材を有していてもよい。
【００１２】
このことにより、スイング部材をロック機構でロックしていなければ、スイング部材は付勢部材によって開位置側に付勢されるので、閉位置に留まることができない。そのため、作業者は、スイング部材が閉位置にないことを視覚によって容易に認識することができる。したがって、付勢部材という比較的安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。
【００１３】
前記付勢部材は弾性体を有していてもよい。また、前記付勢部材は磁石を有していてもよい。
【００１４】
このことにより、安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。
【００１５】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、前記付勢部材は、前記スイング部材の先端部を付勢するものであってもよい。
【００１６】
このことにより、付勢部材はスイング部材の先端部を付勢すればよいので、付勢部材に必要とされる付勢力を比較的小さく抑えることができる。そのため、付勢部材の低コスト化を図ることができる。
【００１７】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、前記付勢部材は、前記スイング部材の根元部を付勢するものであってもよい。
【００１８】
スイングアームの揺動の際に、先端部は根元部よりも大きく移動する。しかし、上記事項によれば、付勢部材は根元部を付勢するものであるので、その付勢量を小さく抑えることができる。
【００１９】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを検出するロック状態検出手段と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことが前記ロック状態検出手段により検出されると、少なくとも前記駆動機構による前記公転を禁止する運転禁止手段と、を備えていてもよい。
【００２０】
このことにより、スイング部材をロックしていなければ、ホルダの公転が行われない。そのため、作業者は、ホルダの公転が行われていないことに基づいて、スイング部材が閉位置にないことを容易に認識することができる。したがって、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。また、スイング部材をロックしていなければホルダが公転しないので、ホルダの遠心力によってスイング部材が外側に向かって開いてしまうこともない。したがって、成膜不良の発生をより確実に防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、作業者は、非ロック状態認識促進手段により、スイング部材が閉位置に保持されていないことを容易に認識することが可能となる。したがって、自動ロック機構のような高価な構成を採用しなくても、スイング部材のロックし忘れを未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】真空槽の内部を示す正面図である。
【図２】真空槽の内部を示す側面図である。
【図３】スイングアームが開位置にあるときの真空槽の内部を示す側面図である。
【図４】真空槽の内部を示す平面図である。
【図５】スイングアームが開位置にあるときの真空槽の内部を示す平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）はロック機構の側面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は変形例に係るロック機構の側面図である。
【図８】実施形態１に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【図９】実施形態２に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【図１０】実施形態３に係るスイングアームの根元部付近の平面図である。
【図１１】実施形態４に係るスイングアームの根元部付近の平面図である。
【図１２】実施形態５に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
＜実施形態１＞
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態に係る真空成膜装置３の内部構成を示す正面図である。真空成膜装置３は、略有底円筒状の真空槽１を備えている。真空槽１は、真空槽本体２と扉４（図２参照）とを有している。扉４は、図示しないヒンジを介して、真空槽本体２に開閉自在に取り付けられている。真空槽１は、扉４を閉じることにより密閉される。真空槽１には排気ポンプ（図示せず）が接続されている。この排気ポンプにより、真空槽１内が真空状態とされる。また、真空槽１には、被処理物の表面に膜を形成するための成膜ユニット（図示せず）が内装されている。
【００２５】
真空槽１には、電動機５が配置されている。真空槽１の底板１６には、回転軸１５が回転自在に支持されている。回転軸１５は、動力伝達部材１０を介して電動機５に連結されている。なお、動力伝達部材１０の種類は何ら限定されず、例えば歯車、チェーン、伝動ベルト等を用いることができる。回転軸１５は、電動機５に駆動されて回転する。
【００２６】
回転軸１５には、回転軸１５の軸心１５ａを中心として放射状に延びる複数の回転アーム１７が固定されている。回転アーム１７の半径方向外側の端部には、ホルダ１９が取り付けられている。ホルダ１９は、回転アーム１７に取り付けられた上下方向に延びる回転軸１９ａと、回転軸１９ａに取り付けられたホルダ本体１９ｂとを有している。ホルダ本体１９ｂは、被処理物を支持する部分である。なお、本実施形態では、回転軸１９ａとホルダ本体１９ｂとは別体に形成されているが、それらは一体的に形成されていてもよい。
【００２７】
回転軸１９ａの下端部には、遊星歯車２０が取付けられている。また、環状の太陽歯車２１が回転軸１５と同心円状に設けられており、遊星歯車２０は太陽歯車２１に噛合している。そのため、回転軸１５の回転により、ホルダ１９が回転軸１５の軸心１５ａを中心として公転する。これと同時に、回転軸１５の回転により、太陽歯車２１と遊星歯車２０とを介してホルダ１９が自転する。すなわち、ホルダ１９が回転軸１９ａを中心として回転する。なお、各回転軸１９ａの上端部は、回転アーム１７と略同様の回転アーム１７に回転自在に取付けられている。
【００２８】
このように、ホルダ１９は、回転軸１５の軸心１５ａを中心とした公転を行うと共に、回転軸１９ａの軸心を中心とした自転を行う。なお、本実施形態に係る真空成膜装置３では、少なくとも電動機５、動力伝達部材１０、回転軸１５、回転アーム１７、遊星歯車２０、および太陽歯車２１により、ホルダ１９を公転させる駆動機構Ｂが形成されている。
【００２９】
図４に示すように、真空成膜装置３には、複数のホルダ１９が配置されている。本実施形態では、５つのホルダ１９が配置されている。ただし、ホルダ１９の個数は何ら限定されない。これらホルダ１９は、平面視において、回転軸１５の軸心（以下、中心位置という）１５ａを取り囲むように周回状に配置されている。なお、中心位置１５ａ（詳細には、回転軸１５の上方）には、真空蒸着を行う場合の蒸着源等が設置される。
【００３０】
図４に示すように、複数のホルダ１９のうちの一つ（以下、他のホルダから区別するために、当該ホルダに符号１９ｆを付すこととする。）は、スイングアーム９０に支持されている。真空槽本体２には、支持部材９２が設けられている。図示は省略するが、支持部材９２は、他のホルダ１９に対して相対移動しないように設けられている。すなわち、支持部材９２は、ホルダ１９ｆおよび他のホルダ１９と共に公転はするが、揺動するスイングアーム９０と比較すると、いわば固定的に設けられている。支持部材９２にはピボット軸９３が設けられている。スイングアーム９０の根元部９０ａは、ピボット軸９３に回転自在に支持されている。そのため、スイングアーム９０は、支持部材９２によってピボット軸９３周りに揺動自在に支持されている。このスイングアーム９０の揺動により、ホルダ１９ｆは、他のホルダ１９と共に中心位置１５ａを取り囲むような位置（図４に示す位置。以下、この位置を正規位置という。）と、中心位置１５ａを半径方向の外方に開放するように上記位置から退避した位置（図５に示す位置）との間で移動可能である。
【００３１】
なお、図４に示すように、ホルダ１９ｆが正規位置にあると、中心位置１５ａはホルダ１９および１９ｆによって取り囲まれる。そこで、以下では、図４に示すスイングアーム９０の位置を「閉位置」と称することとする。一方、図５に示すように、ホルダ１９ｆが退避位置にあると、中心位置１５ａはホルダ１９ｆが外方へ退避した分、外方に開放される。そこで、以下では、図５に示すスイングアーム９０の位置を「開位置」と称することとする。
【００３２】
図４に示すように、真空槽本体２には、固定部材９１が設けられている。図示は省略するが、固定部材９１も支持部材９２と同様、他のホルダ１９に対して相対移動しないように設けられている。固定部材９１も支持部材９２と同様、スイングアーム９０と異なり、いわば固定的に設けられている。図６（ａ）に示すように、スイングアーム９０の先端部９０ｂには、孔９０ｃが形成されている。固定部材９１にも孔９１ｃが形成されている。これらの孔９０ｃおよび孔９１ｃは、スイングアーム９０が閉位置に位置付けられたときに平面視にて一致するような位置に形成されている。
【００３３】
スイングアーム９０を固定部材９１に固定する際（すなわち、スイングアーム９０をロックする際）に、固定部材９１とスイングアーム９０の先端部９０ｂとには、ロック機構９４が設けられる。ロック機構９４の構成は何ら限定されないが、本実施形態では、ロック機構９４はプランジャ４０によって構成されている。なお、プランジャ４０をロックの際にスイングアーム９０に取り付けてもよいが、本実施形態では図６（ａ）に示すように、プランジャ４０はスイングアーム９０の孔９０ｃに予め取り付けられている。
【００３４】
図６（ｂ）に示すように、プランジャ４０をＯＦＦした状態（すなわち、ピン４２を埋没させた状態）でスイングアーム９０を揺動させ、図６（ｃ）に示すようにスイングアーム９０の孔９０ｃと固定部材９１の孔９１ｃとが一致した位置にてプランジャ４０をＯＮすると、プランジャ４０のピン４２が突出し、固定部材９１の孔９１ｃに差し込まれる。これにより、スイングアーム９０が固定部材９１に固定される。すなわち、スイングアーム９０が閉位置にロックされる。
【００３５】
なお、本実施形態では、図３に示すように、スイングアーム９０はホルダ９１ｆの上側および下側のそれぞれに設けられている。ロック機構９４は、上側のスイングアーム９０および下側のスイングアーム９０のそれぞれに設けられている。ただし、ロック機構９４は、上側のスイングアームのみに設けられていてもよく、或いは、下側のスイングアーム９０のみに設けられていてもよい。
【００３６】
図８に示すように、固定部材９１には、付勢部材６１が取り付けられている。付勢部材６１は、固定部材９１に固定された本体６１ａと、一端が本体６１ａに固定されたばね６１ｃと、ばね６１ｃの他端に設けられた接触部６１ｂとを有している。接触部６１ｂはスイングアーム９０の先端部９０ｂと接触するように配置されている。付勢部材６１は、スイングアーム９０の先端部９０ｂを、中心位置１５ａから遠ざかる方向に付勢するものである。言い換えると、付勢部材６１は、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に向かって付勢する部材である。
【００３７】
スイングアーム９０を閉位置に保持するためには、ばね６１ｃの付勢力に対抗してスイングアーム９０の先端部９０ｂを閉位置側に押し込み、ロック機構９４によってスイングアーム９０を固定部材９１に固定しなければならない。ロック機構９４によってスイングアーム９０を固定部材９１に固定していない状態、言い換えれば非ロック状態では、スイングアーム９０の先端部９０ｂが付勢部材６１によって押され、スイングアーム９０が閉位置に留まることはない。
【００３８】
以上のように、本実施形態に係る真空成膜装置３によれば、作業者がスイングアーム９０をロックし忘れた場合、スイングアーム９０は閉位置に留まることができず、閉位置から開位置側に向かって開いてしまう。そのため、作業者は、スイングアーム９０がロックされていないことを容易に把握することができる。すなわち、作業者は、スイングアーム９０がロックされていないことを、視覚的に容易に把握することができる。したがって、スイングアーム９０をロックし忘れたまま真空成膜装置３の運転を開始してしまうことを防止することができる。このように、本実施形態では、付勢部材６１は、スイングアーム９０がロック機構９４によって閉位置にロックされていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段として機能する。本実施形態によれば、付勢部材６１という比較的安価な構成により、スイングアーム９０のロックし忘れを防止することができる。したがって、真空成膜装置３の運転の際に、公転に伴ってホルダ１９ｆが外方に移動し、真空槽１の内周面と接触するおそれはない。よって、成膜不良等の発生を未然に防止することができる。
【００３９】
なお、ホルダ１９ｆが正規位置にないこと（言い換えると、スイングアーム９０が閉位置にないこと）は一見して把握することができるので、付勢部材６１によるスイングアーム９０の付勢量は特に限定される訳ではない。ただし、付勢部材６１の付勢量は、扉４を閉じたときに扉４の内周面がホルダ１９ｆと接触する程度に、スイングアーム９０を外方に移動させる量であってもよい。これにより、スイングアーム９０をロックしていなければ、扉４を閉じる際に、ホルダ１９ｆは扉４と干渉することになる。そのため、スイングアーム９０をロックしていなければ、扉４を閉じることができなくなる。よって、スイングアーム９０のロックし忘れを、より確実に防止することが可能となる。
【００４０】
＜ロック機構の変形例＞
なお、ロック機構９４は、上記実施形態のものに限定される訳ではなく、他に種々の形態が可能である。図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、上記実施形態に係るロック機構９４は、スイングアーム９０の先端部９０ｂにプランジャ４０を配置したものであった。しかし、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、ロック機構９４は、固定部材９１にプランジャ５０を配置したものであってもよい。図７（ａ）に示すように、プランジャ５０は、固定部材９１の孔９１ｃに予め差し込まれている。図７（ｂ）に示すように、プランジャ５０をＯＦＦした状態（すなわち、ピン５２が埋没した状態）でスイングアーム９０を揺動させ、図７（ｃ）に示すようにスイングアーム９０の孔９０ｃと固定部材９１の孔９１ｃとが一致した位置にてプランジャ５０をＯＮすると、プランジャ５０のピン５２が突出し、スイングアーム９０の孔９０ｃに差し込まれる。これにより、スイングアーム９０と固定部材９１とがロックされる。
【００４１】
なお、ロック機構９４は、必ずしもスイングアーム９０の先端部９０ｂに設けられるものでなくてもよい。ロック機構９４をスイングアーム９０の他の部分、例えば根元部９０ａに設けることも勿論可能である。
【００４２】
＜実施形態２＞
付勢部材６１は、前記実施形態のものに限定されない。実施形態２は、実施形態１において、付勢部材６１の構成を変更したものである。図９に示すように、本実施形態では、互いに反発し合うように配置された一対の磁石６２ａ，６２ｂによって付勢部材６１が形成されている。一方の磁石６２ａはスイングアーム９０の先端部９０ｂに取り付けられ、他方の磁石６２ｂは固定部材９１に取り付けられている。
【００４３】
磁石６２ａと磁石６２ｂとは、同極が対向するように配置されている。すなわち、磁石６２ａと磁石６２ｂとは、磁石６２ａのＮ極と磁石６２ｂのＮ極とが対向するように配置されるか、あるいは、磁石６２ａのＳ極と磁石６２ｂのＳ極とが対向するように配置される。なお、磁石６２ａおよび磁石６２ｂの一方または両方は、永久磁石であってもよく、電磁石であってもよい。
【００４４】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、磁石６２ａと磁石６２ｂとの間の反発力）によって、スイングアーム９０は閉位置から開位置側に向かって回動する。そのため、作業者はスイングアーム９０が閉位置にないことを容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
＜実施形態３＞
実施形態１および２は、付勢部材６１がスイングアーム９０の先端部９０ｂを付勢するものであった。しかし、付勢部材６１は、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に回動させるように付勢するものであれば足り、その設置位置は何ら限定されない。実施形態３は、実施形態１において、スイングアーム９０の根元部９０ａを付勢するように付勢部材６１を変更したものである。
【００４６】
図１０に示すように、本実施形態では、付勢部材６１はねじりばね（トーションスプリング）６３によって構成されている。ねじりばね６３は支持部材９２に固定されている。支持部材９２には突部９２ａが形成されており、ねじりばね６３の一片６３ａが突部９２ａに接触している。一方、ねじりばね６３の他の一片６３ｂは、スイングアーム９０の根元部９０ａと接触可能となっている。スイングアーム９０が閉位置にあると、スイングアーム９０の根元部９０ａはねじりばね６３の一片６３ｂと接触し、一片６３ｂから付勢力を受ける。すなわち、スイングアーム９０は、ピボット軸９３を中心として時計回り方向の力を受ける。これにより、スイングアーム９０は開位置側に向かって回動する。
【００４７】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、ねじりばね６３の弾性力）によって、スイングアーム９０は外方に向かって開かれる。その結果、作業者はホルダ１９ｆが正規位置にないこと（言い換えると、スイングアーム９０が閉位置にないこと）を容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に把握することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
＜実施形態４＞
図１１に示すように、実施形態４は、実施形態３において、付勢部材６１を変更したものである。本実施形態では、スイングアーム９０の根元部９０ａに磁石６４ａが固定され、支持部材９２に磁石６４ｂが固定されている。磁石６４ａおよび磁石６４ｂは、互いに反発し合うように配置されている。すなわち、磁石６４ａと磁石６４ｂとは、同極が対向するように配置されている。なお、本実施形態においても、磁石６４ａおよび磁石６４ｂの一方または両方は、永久磁石であってもよく、電磁石であってもよい。
【００４９】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、磁石６４ａと磁石６４ｂとの間の反発力）によって、スイングアーム９０は開位置側に向かって回動する。そのため、作業者はホルダ１９ｆが正規位置にないことを容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
＜実施形態５＞
前記実施形態は、ホルダ１９ｆを正規位置から外れた位置に移動させるようにスイングアーム９０を付勢することによって、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させるものであった。しかし、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させる手段は、ホルダ１９ｆを正規位置から外れた位置に移動させるものに限定されない。本実施形態は、スイングアーム９０がロックされていないとホルダ１９ｆの公転を禁止することにより、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させるものである。
【００５１】
図１２に示すように、実施形態５に係る真空成膜装置３は、スイングアーム９０が固定部材９１にロックされたことを検出するセンサ６５を備えている。本実施形態では、センサ６５は固定部材９１に設けられている。ただし、センサ６５の設置位置は、特に限定されない。センサ６５は、スイングアーム９０に設けられていてもよい。また、センサ６５は、支持部材９２に設けられていてもよい。センサ６５は、スイングアーム９０の根元部９０ａと接触することにより、前記ロック状態を間接的に検出するものであってもよい。また、本実施形態のセンサ６５はいわゆる接触式のセンサであるが、非接触式のセンサ（例えば、磁気センサ、光学センサ等）を用いることも可能である。
【００５２】
本実施形態に係るセンサ６５は、スイングアーム９０の先端部９０ｂと接触することにより、ロック機構９４によるスイングアーム９０の先端部９０ｂと固定部材９１との間のロック状態を間接的に検出する。すなわち、センサ６５は、スイングアーム９０が閉位置に移動したときに、スイングアーム９０の先端部９０ｂと接触する位置に配置されている。センサ６５がスイングアーム９０の先端部９０ｂに接触していなければ、スイングアーム９０は閉位置にないため、スイングアーム９０がロックされていないと推定される。
【００５３】
図１２に示すように、本実施形態に係る真空成膜装置３は、少なくとも電動機５を制御する制御装置７０を備えている。制御装置７０は、センサ６５からの信号を受けて電動機５の運転を禁止する運転禁止部７１を有している。運転禁止部７１は、スイングアーム９０がロックされていることが検出されると（すなわち、スイングアーム９０の先端部９０ｂがセンサ６５に接触していることが検出されると）、電動機５の運転を許可する。一方、運転禁止部７１は、スイングアーム９０がロックされていないことが検出されると（すなわち、スイングアーム９０の先端部９０ｂがセンサ６５に接触していないことが検出されると）、電動機５の運転を禁止する。これにより、ホルダ１９ｆの公転が禁止されることになる。
【００５４】
ホルダ１９ｆが公転していない状態は、作業者にとって一目瞭然である。そのため、作業者は、ホルダ１９ｆが公転していない状態を認識することによって、スイングアーム９０がロックされていないことを容易に把握することができる。本実施形態では、スイングアーム９０がロックされていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段は、センサ６５および運転禁止部７１により構成されている。
【００５５】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れたとしても、作業者はそのことを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様、成膜不良等の発生を未然に防止することができる。
【００５６】
なお、本実施形態では、スイングアーム９０がロックされているか否かを直接検出する訳ではないので、何らかの偶然によりスイングアーム９０が閉位置に留まっている場合には、ホルダ１９ｆの公転が可能となる。しかし、ホルダ１９ｆが公転し始めると、ホルダ１９ｆは遠心力を受けて正規位置からずれた位置に移動するので、スイングアーム９０は閉位置から開位置側に回動する。そのため、結果的に電動機５の運転が禁止される。つまり、電動機５の運転が中止される。したがって、作業者はスイングアーム９０のロックし忘れを迅速に認識することができる。
【００５７】
ただし、スイングアーム９０のロック状態を直接検出するセンサを設けてもよいことは勿論である。例えば、図６に示すようなプランジャ４０のＯＮ状態（すなわち、ピン４２が突出して固定部材９１の孔９１ｃに係合している状態）、または、図７に示すようなプランジャ５０のＯＮ状態（すなわち、ピン５２が突出してスイングアーム９０の孔９０ｃに係合している状態）を検知するセンサを設けてもよい。このように上記ロック状態を直接検出するセンサを設けることにより、スイングアーム９０のロックし忘れを電動機５の運転開始前に認識することができる。
【００５８】
また、本実施形態５と実施形態１〜４のいずれか一つとを適宜組み合わせてもよい。言い換えると、本実施形態５において、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に付勢する付勢部材６１を設けるようにしてもよい。この場合、ロックしなければスイングアーム９０が閉位置に留まることはない。したがって、スイングアーム９０のロック状態を間接的に検出するセンサ６５を用いたとしても、スイングアーム９０のロックし忘れを電動機５の運転開始前に認識することが可能となる。
【００５９】
なお、真空成膜装置３は、センサ６５の検出結果に基づいて前記ロックの実施の有無を報知するロック報知装置（図示せず）を別途備えていてもよい。このようなロック報知装置を設けることにより、作業者は、前記ロックの実施の有無をより確実に認識することができる。なお、前記ロック報知装置は、音声出力によって報知するものでもよく、表示によって報知するものでもよい。
【００６０】
なお、スイング部材は閉位置と開位置との間で揺動自在な部材であればよく、その形状はアーム状に限られない。すなわち、スイング部材はスイングアーム９０に限定される訳ではない。
【符号の説明】
【００６１】
１ 真空槽
２ 真空槽本体
３ 真空成膜装置
４ 扉
５ 電動機
１９，１９ｆ ホルダ
６１ 付勢部材（非ロック状態認識促進手段）
６１ｃ ばね（弾性体）
６２ａ，６２ｂ 磁石
６５ センサ（ロック状態検出手段）
７１ 運転禁止部（運転禁止手段）
９０ スイングアーム（スイング部材）
９０ａ スイングアームの先端部
９０ｂ スイングアームの根元部
９３ ピボット軸
９４ ロック機構
Ｂ 駆動機構
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空状態において被処理物の表面に成膜を施すことができる真空成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられる扉とを有する真空槽と、被処理物を支持するホルダと、を備えた真空成膜装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。また、所定の位置（例えば蒸着源の設置位置）を中心として周回状に配置された複数のホルダを備え、運転中にそれらホルダが自転しながら上記所定位置を中心として公転する真空成膜装置も知られている。
【０００３】
上記真空成膜装置では、ホルダの自転および公転により、被処理物に対する成膜を均一に行うことができる。しかし、複数のホルダが前記所定位置（以下、中心位置という）を取り囲むように配置されるので、そのままではホルダが邪魔となって、蒸着源の交換作業等が行いにくいという課題がある。
【０００４】
そこで、中心位置の外側に向かって揺動自在なスイング部材を設け、少なくとも一つのホルダを上記スイング部材に取り付けることが提案されている。このような真空成膜装置によれば、スイング部材を外側に向かって開くことにより、作業者が中心位置に向かって移動することが容易となる。そのため、蒸着源の交換作業等を容易に行うことができる。一方、蒸着源の交換作業等が終了すると、スイングアームが揺動しないように所定のロック機構によって当該スイングアームをロックする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０５−２７１９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、蒸着源の交換作業等を行った後、作業者がスイング部材をロックし忘れる場合がある。本願発明者は、そのような場合に以下のような現象が発生するおそれがあることを見出した。すなわち、ホルダは自転だけでなく、前記中心位置を中心として公転する。そのため、公転の際にスイング部材にホルダの遠心力が作用し、スイング部材が徐々に外側に向かって開いてしまうおそれがある。ところが、スイング部材が外側に向かって開いてしまうと、ホルダが真空槽の内周面に接触し、成膜処理の不良が発生するおそれがある。また、ホルダまたはスイング部材が真空槽の内周面に接触し、ホルダ等が落下するおそれがある。しかし、ホルダ等が落下すると、器材損傷を生じ、器材の交換が必要となる。ところが、器材交換が必要になると、その間、真空成膜装置を稼働させることができなくなる。
【０００７】
そのような事態を回避するため、スイング部材に自動ロック機構を設けることが考えられる。すなわち、スイング部材が所定位置に移動すると、スイング部材を自動的にロックするような機構を設けることが考えられる。ところが、そのような自動ロック機構は高価であり、真空成膜装置の低コスト化を阻害する要因となり、好ましくない。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、真空成膜装置において、比較的安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る真空成膜装置は、真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられた扉とを有し、その内部において被処理物に対する成膜処理が行われる真空槽と、所定の中心位置を取り囲むように周回状に配置され、それぞれ前記被処理物を支持する複数のホルダと、前記ホルダを少なくとも前記中心位置を中心として公転させる駆動機構と、前記複数のホルダのうち少なくとも一つのホルダを支持し、当該ホルダを他のホルダと共に前記周回状に配置する閉位置と、当該ホルダを前記閉位置よりも前記中心位置の外方に移動させた開位置との間で、揺動自在なスイング部材と、前記スイング部材を前記閉位置に保持するロック機構と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段と、を備えたものである。
【００１０】
上記真空成膜装置によれば、スイング部材が閉位置に保持されていない場合には、非ロック状態認識促進手段が作業者にそのことを認識させる。そのため、自動ロック機構のような高価な構成を採用しなくても、スイング部材のロックし忘れを未然に防止することができる。
【００１１】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置にあると前記スイング部材を前記開位置側に向かって付勢する付勢部材を有していてもよい。
【００１２】
このことにより、スイング部材をロック機構でロックしていなければ、スイング部材は付勢部材によって開位置側に付勢されるので、閉位置に留まることができない。そのため、作業者は、スイング部材が閉位置にないことを視覚によって容易に認識することができる。したがって、付勢部材という比較的安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。
【００１３】
前記付勢部材は弾性体を有していてもよい。また、前記付勢部材は磁石を有していてもよい。
【００１４】
このことにより、安価な構成により、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。
【００１５】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、前記付勢部材は、前記スイング部材の先端部を付勢するものであってもよい。
【００１６】
このことにより、付勢部材はスイング部材の先端部を付勢すればよいので、付勢部材に必要とされる付勢力を比較的小さく抑えることができる。そのため、付勢部材の低コスト化を図ることができる。
【００１７】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、前記付勢部材は、前記スイング部材の根元部を付勢するものであってもよい。
【００１８】
スイングアームの揺動の際に、先端部は根元部よりも大きく移動する。しかし、上記事項によれば、付勢部材は根元部を付勢するものであるので、その付勢量を小さく抑えることができる。
【００１９】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを検出するロック状態検出手段と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことが前記ロック状態検出手段により検出されると、少なくとも前記駆動機構による前記公転を禁止する運転禁止手段と、を備えていてもよい。
【００２０】
このことにより、スイング部材をロックしていなければ、ホルダの公転が行われない。そのため、作業者は、ホルダの公転が行われていないことに基づいて、スイング部材が閉位置にないことを容易に認識することができる。したがって、スイング部材のロックし忘れを防止することができる。また、スイング部材をロックしていなければホルダが公転しないので、ホルダの遠心力によってスイング部材が外側に向かって開いてしまうこともない。したがって、成膜不良の発生をより確実に防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、作業者は、非ロック状態認識促進手段により、スイング部材が閉位置に保持されていないことを容易に認識することが可能となる。したがって、自動ロック機構のような高価な構成を採用しなくても、スイング部材のロックし忘れを未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】真空槽の内部を示す正面図である。
【図２】真空槽の内部を示す側面図である。
【図３】スイングアームが開位置にあるときの真空槽の内部を示す側面図である。
【図４】真空槽の内部を示す平面図である。
【図５】スイングアームが開位置にあるときの真空槽の内部を示す平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）はロック機構の側面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は変形例に係るロック機構の側面図である。
【図８】実施形態１に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【図９】実施形態２に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【図１０】実施形態３に係るスイングアームの根元部付近の平面図である。
【図１１】実施形態４に係るスイングアームの根元部付近の平面図である。
【図１２】実施形態５に係るスイングアームの先端部付近の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
＜実施形態１＞
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態に係る真空成膜装置３の内部構成を示す正面図である。真空成膜装置３は、略有底円筒状の真空槽１を備えている。真空槽１は、真空槽本体２と扉４（図２参照）とを有している。扉４は、図示しないヒンジを介して、真空槽本体２に開閉自在に取り付けられている。真空槽１は、扉４を閉じることにより密閉される。真空槽１には排気ポンプ（図示せず）が接続されている。この排気ポンプにより、真空槽１内が真空状態とされる。また、真空槽１には、被処理物の表面に膜を形成するための成膜ユニット（図示せず）が内装されている。
【００２５】
真空槽１には、電動機５が配置されている。真空槽１の底板１６には、回転軸１５が回転自在に支持されている。回転軸１５は、動力伝達部材１０を介して電動機５に連結されている。なお、動力伝達部材１０の種類は何ら限定されず、例えば歯車、チェーン、伝動ベルト等を用いることができる。回転軸１５は、電動機５に駆動されて回転する。
【００２６】
回転軸１５には、回転軸１５の軸心１５ａを中心として放射状に延びる複数の回転アーム１７が固定されている。回転アーム１７の半径方向外側の端部には、ホルダ１９が取り付けられている。ホルダ１９は、回転アーム１７に取り付けられた上下方向に延びる回転軸１９ａと、回転軸１９ａに取り付けられたホルダ本体１９ｂとを有している。ホルダ本体１９ｂは、被処理物を支持する部分である。なお、本実施形態では、回転軸１９ａとホルダ本体１９ｂとは別体に形成されているが、それらは一体的に形成されていてもよい。
【００２７】
回転軸１９ａの下端部には、遊星歯車２０が取付けられている。また、環状の太陽歯車２１が回転軸１５と同心円状に設けられており、遊星歯車２０は太陽歯車２１に噛合している。そのため、回転軸１５の回転により、ホルダ１９が回転軸１５の軸心１５ａを中心として公転する。これと同時に、回転軸１５の回転により、太陽歯車２１と遊星歯車２０とを介してホルダ１９が自転する。すなわち、ホルダ１９が回転軸１９ａを中心として回転する。なお、各回転軸１９ａの上端部は、回転アーム１７と略同様の回転アーム１７に回転自在に取付けられている。
【００２８】
このように、ホルダ１９は、回転軸１５の軸心１５ａを中心とした公転を行うと共に、回転軸１９ａの軸心を中心とした自転を行う。なお、本実施形態に係る真空成膜装置３では、少なくとも電動機５、動力伝達部材１０、回転軸１５、回転アーム１７、遊星歯車２０、および太陽歯車２１により、ホルダ１９を公転させる駆動機構Ｂが形成されている。
【００２９】
図４に示すように、真空成膜装置３には、複数のホルダ１９が配置されている。本実施形態では、５つのホルダ１９が配置されている。ただし、ホルダ１９の個数は何ら限定されない。これらホルダ１９は、平面視において、回転軸１５の軸心（以下、中心位置という）１５ａを取り囲むように周回状に配置されている。なお、中心位置１５ａ（詳細には、回転軸１５の上方）には、真空蒸着を行う場合の蒸着源等が設置される。
【００３０】
図４に示すように、複数のホルダ１９のうちの一つ（以下、他のホルダから区別するために、当該ホルダに符号１９ｆを付すこととする。）は、スイングアーム９０に支持されている。真空槽本体２には、支持部材９２が設けられている。図示は省略するが、支持部材９２は、他のホルダ１９に対して相対移動しないように設けられている。すなわち、支持部材９２は、ホルダ１９ｆおよび他のホルダ１９と共に公転はするが、揺動するスイングアーム９０と比較すると、いわば固定的に設けられている。支持部材９２にはピボット軸９３が設けられている。スイングアーム９０の根元部９０ａは、ピボット軸９３に回転自在に支持されている。そのため、スイングアーム９０は、支持部材９２によってピボット軸９３周りに揺動自在に支持されている。このスイングアーム９０の揺動により、ホルダ１９ｆは、他のホルダ１９と共に中心位置１５ａを取り囲むような位置（図４に示す位置。以下、この位置を正規位置という。）と、中心位置１５ａを半径方向の外方に開放するように上記位置から退避した位置（図５に示す位置）との間で移動可能である。
【００３１】
なお、図４に示すように、ホルダ１９ｆが正規位置にあると、中心位置１５ａはホルダ１９および１９ｆによって取り囲まれる。そこで、以下では、図４に示すスイングアーム９０の位置を「閉位置」と称することとする。一方、図５に示すように、ホルダ１９ｆが退避位置にあると、中心位置１５ａはホルダ１９ｆが外方へ退避した分、外方に開放される。そこで、以下では、図５に示すスイングアーム９０の位置を「開位置」と称することとする。
【００３２】
図４に示すように、真空槽本体２には、固定部材９１が設けられている。図示は省略するが、固定部材９１も支持部材９２と同様、他のホルダ１９に対して相対移動しないように設けられている。固定部材９１も支持部材９２と同様、スイングアーム９０と異なり、いわば固定的に設けられている。図６（ａ）に示すように、スイングアーム９０の先端部９０ｂには、孔９０ｃが形成されている。固定部材９１にも孔９１ｃが形成されている。これらの孔９０ｃおよび孔９１ｃは、スイングアーム９０が閉位置に位置付けられたときに平面視にて一致するような位置に形成されている。
【００３３】
スイングアーム９０を固定部材９１に固定する際（すなわち、スイングアーム９０をロックする際）に、固定部材９１とスイングアーム９０の先端部９０ｂとには、ロック機構９４が設けられる。ロック機構９４の構成は何ら限定されないが、本実施形態では、ロック機構９４はプランジャ４０によって構成されている。なお、プランジャ４０をロックの際にスイングアーム９０に取り付けてもよいが、本実施形態では図６（ａ）に示すように、プランジャ４０はスイングアーム９０の孔９０ｃに予め取り付けられている。
【００３４】
図６（ｂ）に示すように、プランジャ４０をＯＦＦした状態（すなわち、ピン４２を埋没させた状態）でスイングアーム９０を揺動させ、図６（ｃ）に示すようにスイングアーム９０の孔９０ｃと固定部材９１の孔９１ｃとが一致した位置にてプランジャ４０をＯＮすると、プランジャ４０のピン４２が突出し、固定部材９１の孔９１ｃに差し込まれる。これにより、スイングアーム９０が固定部材９１に固定される。すなわち、スイングアーム９０が閉位置にロックされる。
【００３５】
なお、本実施形態では、図３に示すように、スイングアーム９０はホルダ９１ｆの上側および下側のそれぞれに設けられている。ロック機構９４は、上側のスイングアーム９０および下側のスイングアーム９０のそれぞれに設けられている。ただし、ロック機構９４は、上側のスイングアームのみに設けられていてもよく、或いは、下側のスイングアーム９０のみに設けられていてもよい。
【００３６】
図８に示すように、固定部材９１には、付勢部材６１が取り付けられている。付勢部材６１は、固定部材９１に固定された本体６１ａと、一端が本体６１ａに固定されたばね６１ｃと、ばね６１ｃの他端に設けられた接触部６１ｂとを有している。接触部６１ｂはスイングアーム９０の先端部９０ｂと接触するように配置されている。付勢部材６１は、スイングアーム９０の先端部９０ｂを、中心位置１５ａから遠ざかる方向に付勢するものである。言い換えると、付勢部材６１は、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に向かって付勢する部材である。
【００３７】
スイングアーム９０を閉位置に保持するためには、ばね６１ｃの付勢力に対抗してスイングアーム９０の先端部９０ｂを閉位置側に押し込み、ロック機構９４によってスイングアーム９０を固定部材９１に固定しなければならない。ロック機構９４によってスイングアーム９０を固定部材９１に固定していない状態、言い換えれば非ロック状態では、スイングアーム９０の先端部９０ｂが付勢部材６１によって押され、スイングアーム９０が閉位置に留まることはない。
【００３８】
以上のように、本実施形態に係る真空成膜装置３によれば、作業者がスイングアーム９０をロックし忘れた場合、スイングアーム９０は閉位置に留まることができず、閉位置から開位置側に向かって開いてしまう。そのため、作業者は、スイングアーム９０がロックされていないことを容易に把握することができる。すなわち、作業者は、スイングアーム９０がロックされていないことを、視覚的に容易に把握することができる。したがって、スイングアーム９０をロックし忘れたまま真空成膜装置３の運転を開始してしまうことを防止することができる。このように、本実施形態では、付勢部材６１は、スイングアーム９０がロック機構９４によって閉位置にロックされていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段として機能する。本実施形態によれば、付勢部材６１という比較的安価な構成により、スイングアーム９０のロックし忘れを防止することができる。したがって、真空成膜装置３の運転の際に、公転に伴ってホルダ１９ｆが外方に移動し、真空槽１の内周面と接触するおそれはない。よって、成膜不良等の発生を未然に防止することができる。
【００３９】
なお、ホルダ１９ｆが正規位置にないこと（言い換えると、スイングアーム９０が閉位置にないこと）は一見して把握することができるので、付勢部材６１によるスイングアーム９０の付勢量は特に限定される訳ではない。ただし、付勢部材６１の付勢量は、扉４を閉じたときに扉４の内周面がホルダ１９ｆと接触する程度に、スイングアーム９０を外方に移動させる量であってもよい。これにより、スイングアーム９０をロックしていなければ、扉４を閉じる際に、ホルダ１９ｆは扉４と干渉することになる。そのため、スイングアーム９０をロックしていなければ、扉４を閉じることができなくなる。よって、スイングアーム９０のロックし忘れを、より確実に防止することが可能となる。
【００４０】
＜ロック機構の変形例＞
なお、ロック機構９４は、上記実施形態のものに限定される訳ではなく、他に種々の形態が可能である。図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、上記実施形態に係るロック機構９４は、スイングアーム９０の先端部９０ｂにプランジャ４０を配置したものであった。しかし、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、ロック機構９４は、固定部材９１にプランジャ５０を配置したものであってもよい。図７（ａ）に示すように、プランジャ５０は、固定部材９１の孔９１ｃに予め差し込まれている。図７（ｂ）に示すように、プランジャ５０をＯＦＦした状態（すなわち、ピン５２が埋没した状態）でスイングアーム９０を揺動させ、図７（ｃ）に示すようにスイングアーム９０の孔９０ｃと固定部材９１の孔９１ｃとが一致した位置にてプランジャ５０をＯＮすると、プランジャ５０のピン５２が突出し、スイングアーム９０の孔９０ｃに差し込まれる。これにより、スイングアーム９０と固定部材９１とがロックされる。
【００４１】
なお、ロック機構９４は、必ずしもスイングアーム９０の先端部９０ｂに設けられるものでなくてもよい。ロック機構９４をスイングアーム９０の他の部分、例えば根元部９０ａに設けることも勿論可能である。
【００４２】
＜実施形態２＞
付勢部材６１は、前記実施形態のものに限定されない。実施形態２は、実施形態１において、付勢部材６１の構成を変更したものである。図９に示すように、本実施形態では、互いに反発し合うように配置された一対の磁石６２ａ，６２ｂによって付勢部材６１が形成されている。一方の磁石６２ａはスイングアーム９０の先端部９０ｂに取り付けられ、他方の磁石６２ｂは固定部材９１に取り付けられている。
【００４３】
磁石６２ａと磁石６２ｂとは、同極が対向するように配置されている。すなわち、磁石６２ａと磁石６２ｂとは、磁石６２ａのＮ極と磁石６２ｂのＮ極とが対向するように配置されるか、あるいは、磁石６２ａのＳ極と磁石６２ｂのＳ極とが対向するように配置される。なお、磁石６２ａおよび磁石６２ｂの一方または両方は、永久磁石であってもよく、電磁石であってもよい。
【００４４】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、磁石６２ａと磁石６２ｂとの間の反発力）によって、スイングアーム９０は閉位置から開位置側に向かって回動する。そのため、作業者はスイングアーム９０が閉位置にないことを容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
＜実施形態３＞
実施形態１および２は、付勢部材６１がスイングアーム９０の先端部９０ｂを付勢するものであった。しかし、付勢部材６１は、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に回動させるように付勢するものであれば足り、その設置位置は何ら限定されない。実施形態３は、実施形態１において、スイングアーム９０の根元部９０ａを付勢するように付勢部材６１を変更したものである。
【００４６】
図１０に示すように、本実施形態では、付勢部材６１はねじりばね（トーションスプリング）６３によって構成されている。ねじりばね６３は支持部材９２に固定されている。支持部材９２には突部９２ａが形成されており、ねじりばね６３の一片６３ａが突部９２ａに接触している。一方、ねじりばね６３の他の一片６３ｂは、スイングアーム９０の根元部９０ａと接触可能となっている。スイングアーム９０が閉位置にあると、スイングアーム９０の根元部９０ａはねじりばね６３の一片６３ｂと接触し、一片６３ｂから付勢力を受ける。すなわち、スイングアーム９０は、ピボット軸９３を中心として時計回り方向の力を受ける。これにより、スイングアーム９０は開位置側に向かって回動する。
【００４７】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、ねじりばね６３の弾性力）によって、スイングアーム９０は外方に向かって開かれる。その結果、作業者はホルダ１９ｆが正規位置にないこと（言い換えると、スイングアーム９０が閉位置にないこと）を容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に把握することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
＜実施形態４＞
図１１に示すように、実施形態４は、実施形態３において、付勢部材６１を変更したものである。本実施形態では、スイングアーム９０の根元部９０ａに磁石６４ａが固定され、支持部材９２に磁石６４ｂが固定されている。磁石６４ａおよび磁石６４ｂは、互いに反発し合うように配置されている。すなわち、磁石６４ａと磁石６４ｂとは、同極が対向するように配置されている。なお、本実施形態においても、磁石６４ａおよび磁石６４ｂの一方または両方は、永久磁石であってもよく、電磁石であってもよい。
【００４９】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れると、付勢部材６１の付勢力（すなわち、磁石６４ａと磁石６４ｂとの間の反発力）によって、スイングアーム９０は開位置側に向かって回動する。そのため、作業者はホルダ１９ｆが正規位置にないことを容易に視認することができ、スイングアーム９０をロックし忘れていることを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
＜実施形態５＞
前記実施形態は、ホルダ１９ｆを正規位置から外れた位置に移動させるようにスイングアーム９０を付勢することによって、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させるものであった。しかし、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させる手段は、ホルダ１９ｆを正規位置から外れた位置に移動させるものに限定されない。本実施形態は、スイングアーム９０がロックされていないとホルダ１９ｆの公転を禁止することにより、スイングアーム９０のロックし忘れを作業者に認識させるものである。
【００５１】
図１２に示すように、実施形態５に係る真空成膜装置３は、スイングアーム９０が固定部材９１にロックされたことを検出するセンサ６５を備えている。本実施形態では、センサ６５は固定部材９１に設けられている。ただし、センサ６５の設置位置は、特に限定されない。センサ６５は、スイングアーム９０に設けられていてもよい。また、センサ６５は、支持部材９２に設けられていてもよい。センサ６５は、スイングアーム９０の根元部９０ａと接触することにより、前記ロック状態を間接的に検出するものであってもよい。また、本実施形態のセンサ６５はいわゆる接触式のセンサであるが、非接触式のセンサ（例えば、磁気センサ、光学センサ等）を用いることも可能である。
【００５２】
本実施形態に係るセンサ６５は、スイングアーム９０の先端部９０ｂと接触することにより、ロック機構９４によるスイングアーム９０の先端部９０ｂと固定部材９１との間のロック状態を間接的に検出する。すなわち、センサ６５は、スイングアーム９０が閉位置に移動したときに、スイングアーム９０の先端部９０ｂと接触する位置に配置されている。センサ６５がスイングアーム９０の先端部９０ｂに接触していなければ、スイングアーム９０は閉位置にないため、スイングアーム９０がロックされていないと推定される。
【００５３】
図１２に示すように、本実施形態に係る真空成膜装置３は、少なくとも電動機５を制御する制御装置７０を備えている。制御装置７０は、センサ６５からの信号を受けて電動機５の運転を禁止する運転禁止部７１を有している。運転禁止部７１は、スイングアーム９０がロックされていることが検出されると（すなわち、スイングアーム９０の先端部９０ｂがセンサ６５に接触していることが検出されると）、電動機５の運転を許可する。一方、運転禁止部７１は、スイングアーム９０がロックされていないことが検出されると（すなわち、スイングアーム９０の先端部９０ｂがセンサ６５に接触していないことが検出されると）、電動機５の運転を禁止する。これにより、ホルダ１９ｆの公転が禁止されることになる。
【００５４】
ホルダ１９ｆが公転していない状態は、作業者にとって一目瞭然である。そのため、作業者は、ホルダ１９ｆが公転していない状態を認識することによって、スイングアーム９０がロックされていないことを容易に把握することができる。本実施形態では、スイングアーム９０がロックされていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段は、センサ６５および運転禁止部７１により構成されている。
【００５５】
本実施形態においても、スイングアーム９０をロックし忘れたとしても、作業者はそのことを容易に認識することができる。したがって、実施形態１と同様、成膜不良等の発生を未然に防止することができる。
【００５６】
なお、本実施形態では、スイングアーム９０がロックされているか否かを直接検出する訳ではないので、何らかの偶然によりスイングアーム９０が閉位置に留まっている場合には、ホルダ１９ｆの公転が可能となる。しかし、ホルダ１９ｆが公転し始めると、ホルダ１９ｆは遠心力を受けて正規位置からずれた位置に移動するので、スイングアーム９０は閉位置から開位置側に回動する。そのため、結果的に電動機５の運転が禁止される。つまり、電動機５の運転が中止される。したがって、作業者はスイングアーム９０のロックし忘れを迅速に認識することができる。
【００５７】
ただし、スイングアーム９０のロック状態を直接検出するセンサを設けてもよいことは勿論である。例えば、図６に示すようなプランジャ４０のＯＮ状態（すなわち、ピン４２が突出して固定部材９１の孔９１ｃに係合している状態）、または、図７に示すようなプランジャ５０のＯＮ状態（すなわち、ピン５２が突出してスイングアーム９０の孔９０ｃに係合している状態）を検知するセンサを設けてもよい。このように上記ロック状態を直接検出するセンサを設けることにより、スイングアーム９０のロックし忘れを電動機５の運転開始前に認識することができる。
【００５８】
また、本実施形態５と実施形態１〜４のいずれか一つとを適宜組み合わせてもよい。言い換えると、本実施形態５において、スイングアーム９０を閉位置から開位置側に付勢する付勢部材６１を設けるようにしてもよい。この場合、ロックしなければスイングアーム９０が閉位置に留まることはない。したがって、スイングアーム９０のロック状態を間接的に検出するセンサ６５を用いたとしても、スイングアーム９０のロックし忘れを電動機５の運転開始前に認識することが可能となる。
【００５９】
なお、真空成膜装置３は、センサ６５の検出結果に基づいて前記ロックの実施の有無を報知するロック報知装置（図示せず）を別途備えていてもよい。このようなロック報知装置を設けることにより、作業者は、前記ロックの実施の有無をより確実に認識することができる。なお、前記ロック報知装置は、音声出力によって報知するものでもよく、表示によって報知するものでもよい。
【００６０】
なお、スイング部材は閉位置と開位置との間で揺動自在な部材であればよく、その形状はアーム状に限られない。すなわち、スイング部材はスイングアーム９０に限定される訳ではない。
【符号の説明】
【００６１】
１ 真空槽
２ 真空槽本体
３ 真空成膜装置
４ 扉
５ 電動機
１９，１９ｆ ホルダ
６１ 付勢部材（非ロック状態認識促進手段）
６１ｃ ばね（弾性体）
６２ａ，６２ｂ 磁石
６５ センサ（ロック状態検出手段）
７１ 運転禁止部（運転禁止手段）
９０ スイングアーム（スイング部材）
９０ａ スイングアームの先端部
９０ｂ スイングアームの根元部
９３ ピボット軸
９４ ロック機構
Ｂ 駆動機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられた扉とを有し、その内部において被処理物に対する成膜処理が行われる真空槽と、
所定の中心位置を取り囲むように周回状に配置され、それぞれ前記被処理物を支持する複数のホルダと、
前記ホルダを少なくとも前記中心位置を中心として公転させる駆動機構と、
前記複数のホルダのうち少なくとも一つのホルダを支持し、当該ホルダを他のホルダと共に前記周回状に配置する閉位置と、当該ホルダを前記閉位置よりも前記中心位置の外方に移動させた開位置との間で、揺動自在なスイング部材と、
前記スイング部材を前記閉位置に保持するロック機構と、
前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段と、
を備えた真空成膜装置。
【請求項２】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置にあると前記スイング部材を前記開位置側に向かって付勢する付勢部材を有している、請求項１に記載の真空成膜装置。
【請求項３】
前記付勢部材は弾性体を有している、請求項２に記載の真空成膜装置。
【請求項４】
前記付勢部材は磁石を有している、請求項２に記載の真空成膜装置。
【請求項５】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の先端部を付勢する、請求項２〜４のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【請求項６】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の根元部を付勢する、請求項２〜４のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【請求項７】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを検出するロック状態検出手段と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことが前記ロック状態検出手段により検出されると、少なくとも前記駆動機構による前記公転を禁止する運転禁止手段と、を備えている、請求項１〜６のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【請求項１】
真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられた扉とを有し、その内部において被処理物に対する成膜処理が行われる真空槽と、
所定の中心位置を取り囲むように周回状に配置され、それぞれ前記被処理物を支持する複数のホルダと、
前記ホルダを少なくとも前記中心位置を中心として公転させる駆動機構と、
前記複数のホルダのうち少なくとも一つのホルダを支持し、当該ホルダを他のホルダと共に前記周回状に配置する閉位置と、当該ホルダを前記閉位置よりも前記中心位置の外方に移動させた開位置との間で、揺動自在なスイング部材と、
前記スイング部材を前記閉位置に保持するロック機構と、
前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段と、
を備えた真空成膜装置。
【請求項２】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置にあると前記スイング部材を前記開位置側に向かって付勢する付勢部材を有している、請求項１に記載の真空成膜装置。
【請求項３】
前記付勢部材は弾性体を有している、請求項２に記載の真空成膜装置。
【請求項４】
前記付勢部材は磁石を有している、請求項２に記載の真空成膜装置。
【請求項５】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の先端部を付勢する、請求項２〜４のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【請求項６】
前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の根元部を付勢する、請求項２〜４のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【請求項７】
前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを検出するロック状態検出手段と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことが前記ロック状態検出手段により検出されると、少なくとも前記駆動機構による前記公転を禁止する運転禁止手段と、を備えている、請求項１〜６のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１０−２３５９７１（Ｐ２０１０−２３５９７１Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８２３６１（Ｐ２００９−８２３６１）
【出願日】平成２１年３月３０日（２００９．３．３０）
【出願人】（０００００２３５８）新明和工業株式会社 (919)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月３０日（２００９．３．３０）
【出願人】（０００００２３５８）新明和工業株式会社 (919)
【Ｆターム（参考）】
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