真空紫外光照射装置および真空紫外光照射方法
【課題】 長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供すること。
【解決手段】内部に真空紫外光発生用の放電用電極１６が配置された真空紫外光発生室Ａと、前記真空紫外光発生室Ａ内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路１９ａと、前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室Ａから流出させるガス流出路Ａ１ａ、前記真空紫外光発生室Ａ内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材２１とを備えた真空紫外光照射装置。
【解決手段】内部に真空紫外光発生用の放電用電極１６が配置された真空紫外光発生室Ａと、前記真空紫外光発生室Ａ内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路１９ａと、前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室Ａから流出させるガス流出路Ａ１ａ、前記真空紫外光発生室Ａ内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材２１とを備えた真空紫外光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空紫外光照射装置および真空紫外光照射方法に関し、特に、真空紫外光を照射して試料表面を洗浄したり改質したりするための真空紫外光照射装置および真空紫外光照射方法に関する。
なお、前記洗浄および改質の意味は次のとおりである。
「洗浄」：試料表面に真空紫外光を照射して試料表面の有機物を分解して離脱除去する。
「改質」：ポリイミドなど接着剤で接着することができないプラスチックの表面の１〜２分子層を分解し接着剤で接着可能な原子と置換して接着可能な表面にする。全体的には元のプラスチックの性質をそのまま維持している。
【背景技術】
【０００２】
前記真空紫外光を使用する真空紫外光照射方法では、真空紫外光は大気による吸収が大きいため、真空紫外光を照射する試料は、大気を、真空紫外光を吸収しない希ガスに置換した試料室または真空の試料室に配置しなければならない。したがって、従来の真空紫外光照射により試料表面を洗浄する真空紫外光照射方法では、試料室に試料を出し入れするたびに、試料室を排気またはガス置換する必要があった。このため、試料に真空紫外光を照射できる状態になるまでに長い時間が必要であり、作業効率が低かった。
特に、アルゴンエキシマ光（波長＝１２６ｎｍ）またはクリプトンエキシマ光（波長＝１４６ｎｍ）の光を使用する場合は、それらの波長の光を透過する適切な窓材が存在しない。このため、真空紫外光ランプ（真空紫外光を出射する部材）と試料室とを透過窓により隔離した真空紫外光照射装置を製作することは技術的に困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このため本発明者は以前に、前記真空紫外光ランプと試料室とを連通させて、真空紫外光ランプで使用する真空紫外光発生用ガスを、真空紫外光ランプおよび試料室に順次流しながら、試料室内に配置された試料表面に真空紫外光を照射して試料洗浄を行う装置を発明して、すでに特許出願（特願２００４−０６３２５０号）している。
しかし、前記先願に記載された真空紫外光照射方法では、真空紫外光ランプ内部および試料室内部の気体を同時に、真空紫外光を吸収しない希ガス（例えば、真空紫外光ランプで使用するエキシマガス）に置換する必要があり、この場合は更に長いガス置換時間を必要とする。
【０００４】
本発明は前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を技術的課題とする。
（Ｏ01）長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供すること。
（Ｏ02）真空紫外光発生室を大気に開放することなく試料を交換できるようにすることにより、多数の試料を次々と交換しながら、または、シート状試料を連続的に、真空紫外光照射位置に搬送可能な真空紫外光照射装置を提供すること。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００６】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ05）前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持され、前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れるように構成された試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【０００７】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（１ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持される。
前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）２１が前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部には試料が支持される。前記真空紫外光発生用ガスは、前記試料支持部に支持された試料周辺を流れてから前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部に支持された試料は前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【０００８】
（第２発明）
第２発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ06）前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れるように構成された試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【０００９】
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えた第２発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（１ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持される。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する。前記真空紫外光発生用ガスは前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
したがって、前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部に支持された試料は、前記試料支持部が前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１０】
（第２発明の形態１）
第２発明の形態１の真空紫外光照射装置は前記第２発明において下記の構成要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ07）長手方向に搬送される帯状部材により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材（３１，６１）。
【００１１】
（第２発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ07）を備えた第２発明の形態１の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（３１，６１）は長手方向に搬送される帯状部材により構成されているので、前記帯状部材（３１，６１）が前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する際に、前記帯状部材（３１，６１）の上面（試料支持部）に支持された試料は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１２】
（第２発明の形態２）
第２発明の形態２の真空紫外光照射装置は前記第２発明において下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）回転プレート（４１）により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材（４１）。
【００１３】
（第２発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ08）を備えた第２発明の形態２の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（４１）が回転プレートにより構成されているので、前記回転プレート（４１）が前記試料装着口（１ａ）を横切って移動する際に、前記回転プレート（４１）の上面（試料支持部）に支持された試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１４】
（第２発明の形態３）
第２発明の形態３の真空紫外光照射装置は、前記第２発明または第２発明の形態１もしくは２において下記の構成要件（Ａ09）を備えたことを特徴とする。
（Ａ09）前記試料装着口（１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部（３１）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置に試料支持部（３１）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材（３２）。
（第２発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ09）を備えた第２発明の形態３の真空紫外光照射装置では、気流カーテン形成部材（３２）は、前記真空紫外光照射位置に試料支持部（３１ａ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する。このため、前記試料装着口（１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部（３１ａ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止することができる。
【００１５】
（第２発明の形態４）
第２発明の形態４の真空紫外光照射装置は、前記第２発明または第２発明の形態１ないし３のいずれかにおいて下記の構成要件（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ010）試料（Ｓ）が収容される試料収容凹部（４１ｃ）が形成された前記試料支持部（４１ａ）。
（第２発明の形態４の作用）
前記構成要件（Ａ010）を備えた第２発明の形態４の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部の試料収容凹部に試料（Ｓ）を収容した場合、前記試料支持部の表面からの試料の突出高さが低くなる。この場合、前記試料支持部の表面を前記試料装着口の外端に接近させた状態で、前記試料装着口を横切って移動させることができる。その場合、試料支持部表面にと試料装着光外端との間に形成される隙間を小さくすることができるので、前記隙間から漏出する真空紫外光発生用ガスの量を少なくすることができる。
【００１６】
（第３発明）
第３発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ011）前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成するとともに前記試料装着口（８１ａ）を横切って配置された試料支持部材（６１ａ）であって、シート状試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（６１ａ）。
【００１７】
（第３発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えた第３発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（６１ａ）は、前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成するとともに前記試料装着口（８１ａ）を横切って配置される。前記真空紫外光発生用ガスは前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
したがって、前記試料支持部材（６１ａ）により支持されたシート状試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１８】
（第３発明の形態１）
第３発明の形態１の真空紫外光照射装置は前記第３発明において下記の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ012）前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（８１ａ）を開放する開放位置との間で前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する前記試料支持部材（６１ａ）。
【００１９】
（第３発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ012）を備えた第３発明の形態１の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（６１ａ）は、前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（８１ａ）を開放する開放位置との間で前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する。したがって、前記試料支持部材（６１ａ）に支持された試料（Ｓ）は、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２０】
（第４発明）
第４発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）、
（Ａ013）シート状試料（Ｓ）が前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するように前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（６１ａ）。
【００２１】
（第４発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えた第４発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（６１ａ）により移動可能に支持された前記シート状試料（Ｓ）は、シート状試料（Ｓ）が前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する。
したがって、前記試料支持部材（６１ａ）に支持されたシート状試料（Ｓ）は、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２２】
（第５発明）
第５発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（８２ａ）、
（Ａ014）前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（Ａ１ａ）、
（Ａ015）前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）に流れる真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置をシート状試料（Ｓ）が通過するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材（７１）。
【００２３】
（第５発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えた第５発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
ガス流出路（８８ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（７１）により移動可能に支持された前記シート状試料（Ｓ）は、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）に流れる真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置を通過する。
したがって、真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置を通過するシート状試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時にシート状試料（Ｓ）表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２４】
（第４発明または第５発明の形態１）
第４発明または第５発明の形態１の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ016）を備えたことを特徴とする。
（Ａ016）前記シート状試料（Ｓ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材（８７）。
（第４発明または第５発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ016）を備えた第４発明または第５発明の形態１の真空紫外光照射装置では、気流カーテン形成部材（８７）は、前記真空紫外光照射位置にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する。前記気流カーテンは、前記シート状試料（Ｓ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止する。
【００２５】
（第６発明）
第６発明の真空紫外光照射装置は、次の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ01）内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ｂ02）前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ｂ03）前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（Ａ１ａ）、
（Ｂ04）前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【００２６】
（第６発明の作用）
前記構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた第６発明の真空紫外光照射装置では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）は、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から真空紫外光発生用ガスが流入する。前記真空紫外光発生室（Ａ）に流入した真空紫外光発生用ガスはガス流出路（Ａ１ａ）から流出する。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する。
したがって、真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に支持された試料は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２７】
（第６発明の形態１）
第６発明の真空紫外光照射装置の形態１は前記第６発明において次の構成要件（Ｂ05）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ05）シート状の試料が前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するように前記シート状試料を支持する前記試料支持部材（５１，６１，７１）。
（第６発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ｂ05）を備えた第６発明の形態１では、試料支持部材（５１，６１，７１）により支持されたシート状の試料は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動する。
したがって、前記シート状試料は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２８】
（第７発明）
第７発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）内にガス流入路（１９ａ，８２ａ）から真空紫外光発生用ガスを流入させ且つ前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させながら前記放電用電極（１６，８３）を放電させて真空紫外光を発生させ、前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置した試料（Ｓ）に真空紫外光を照射して試料洗浄を行うことを特徴とする。
【００２９】
（第７発明の作用）
前記第７発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置され且つ真空紫外光発生用ガスが流入する真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置された試料は、真空紫外光が照射されて洗浄される。
【００３０】
（第８発明）
第８発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）と、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間を形成する試料支持部材（３１，６１）とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に支持した試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄することを特徴とする。
【００３１】
（第８発明の作用）
前記第８発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）と、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間を形成する試料支持部材（３１，６１）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
前記第８発明の真空紫外光照射方法では、前記閉塞位置に移動した試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄する。
【００３２】
（第９発明）
第９発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、ガス噴出口（８０ａ）を有し且つ前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋（８０）と、前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材（８６）とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材（８６）に支持された試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋（８０）の前記ガス噴出口（８０ａ）から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）を前記開閉蓋（８０）に接近させてから、前記開閉蓋（８０）を前記開放位置に移動させ、次に前記試料支持部材（８６）を前記閉塞位置に移動させた状態で前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３３】
（第９発明の作用）
前記第９発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、ガス噴出口（８０ａ）を有し且つ前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋（８０）と、前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材（８６）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
前記第９発明の真空紫外光照射方法では、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋（８０）の前記ガス噴出口（８０ａ）から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）を前記開閉蓋（８０）に接近させる。その状態で、前記開閉蓋（８０）を前記開放位置に移動させてから前記試料支持部材（８６）を前記閉塞位置に移動させる。その状態で前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄する。
前記真空紫外光発生室（Ａ）の試料装着口（８１ａ）が大きい場合には、開閉蓋（８０）が無い状態で排気すると、真空紫外光発生室（Ａ）内の空気を真空紫外光発生用ガスに完全に置換するのが困難であるので、この第９発明では、噴出口（８０ａ）を有する開閉蓋（８０）を使用している。
【００３４】
（第１０発明）
第１０発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、前記試料装着口（８１ａ）を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持し且つ前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する前記シート状試料（Ｓ）と前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置により、前記シート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３５】
（第１０発明の作用）
前記第１０発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、前記試料装着口（８１ａ）を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持し且つ前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する前記シート状試料（Ｓ）と前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置が使用される。
そして前記第１０発明の真空紫外光照射方法では、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する。
【００３６】
（第１１発明）
第１１発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（８８ａ，８１ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）の内部を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（７１）とを有する真空紫外光照射装置により、前記シート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記真空紫外光発生室（Ａ）内部を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３７】
（第１１発明の作用）
前記第１１発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（８８ａ，８１ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）の内部を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（７１）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
そして前記第１１発明の真空紫外光照射方法は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内部を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する。
【００３８】
（第１０発明または第１１発明の形態１）
第１０発明または第１１発明の形態１の真空紫外光照射方法は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止するため、前記真空紫外光発生室（Ａ）内にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に、真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成することを特徴とする。
（第１０発明または第１１発明の形態１の作用）
前記第１０発明または第１１発明の形態１の真空紫外光照射方法では、前記真空紫外光発生室（Ａ）内にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に、真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成するので、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００３９】
前記本発明は次の作用効果（Ｅ01）を奏することができる。
（Ｅ01）本発明では、真空紫外光発生室内に配置した試料の周囲に真空紫外光発生用ガスを流しながら前記試料に真空紫外光を照射して試料洗浄を行うので、長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
（実施例１）
図１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例１の説明図で、図１Ａは真空紫外光照射装置の側断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
図１に示す実施例１の真空紫外光照射装置Ｕは、上下方向に延びる断面円形の誘電体製の円筒状誘電体１を有しており、円筒状誘電体１の下端には試料装着口１ａが形成されている。前記円筒状誘電体１の内部には、円筒室Ａ１が形成されており、円筒室Ａ１はその下端の試料装着口１ａにより大気に連通している。前記円筒状誘電体１の外側面には円筒状電極２が設けられている。前記円筒状誘電体１および円筒状電極２により外側誘電体電極（外側放電用電極）（１＋２）が構成されている。
前記円筒状誘電体１の上端部はベースプレート３に固定されている。前記ベースプレート３は、複数の固定用ボルト４により図示しない支柱に固定支持されている。
前記ベースプレート３の上面には円筒部材５が支持されており、前記円筒部材５の上端には上壁プレート６が配置されている。前記上壁プレート６および円筒部材３は、それらを貫通する複数の連結ボルト７により前記ベースプレート３に連結されている。
前記上壁プレート６の下方で且つ前記円筒部材５の内側には上部円筒室Ａ２が形成されている。前記円筒室Ａ１と前記上部円筒室Ａ２とにより真空紫外光発生室Ａが形成されている。
【００４１】
前記上壁プレート６の中央部には内側誘電体電極（内側放電用電極）１６の上端部が保持されてる。内側誘電体電極１６は、電極部１７および前記電極部１７を被覆する誘電体１８とを有している。前記電極部１７は大径円柱状の放電電極部１７ａとその上端から上方に延びる給電電極部１７ｂとを有している。前記放電電極部１７ａと給電電極部１７ｂとは一体成形されているが、別体に構成して放電電極１７ａの上端に形成したメスネジ孔に給電電極部１７ｂの下端に形成したオスネジを螺合させて連結することも可能である。
前記内側誘電体電極１６と前記外側誘電体電極（１＋２）とにより放電電極が構成されている。
前記円筒部材５を貫通してガス流入管１９が設けられている。ガス流入管１９の内部にはガス流入路１９ａが形成されている。ガス流入路１９ａから真空紫外光発生室Ａの上部円筒室Ａ２にエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）を流入させると、エキシマガスは前記上部円筒室Ａ２から円筒室Ａ１を通って、且つ円筒室Ａ１下端の試料装着口１ａを通って外部に排出される。なお、本実施例１ではエキシマガスにはＡｒ（アルゴン）を使用しているので、以下、「エキシマガスＡｒ」と記載する。
ガスエキシマガスＡｒを前記ガス流入路１９ａから上部円筒室Ａ２、円筒室Ａ１に流しながら、前記給電電極部１７ｂに給電すると放電電極部１７ａの外周を被覆する誘電体１８表面に放電が発生して真空紫外光が発生する。
【００４２】
前記試料装着口１ａの下方には、上下方向に移動可能な試料支持部材２１が配置されている。試料支持部材２１は、試料支持用のテーブル２１ａと前記テーブル２１ａの下面中央部から下方に延びるロッド２１ｂとを有している。前記ロッド２１ｂおよびその上端に連結されたテーブル２１ａは図示しない移動機構により上下に移動するように構成されている。
なお、試料支持部材２１のテーブル２１ａが前記試料装着口１ａに接近した位置に上昇した場合には、円筒状誘電体１の下端とテーブル２１ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
前記円筒状電極２と給電電極部１７ｂとの間には、給電装置Ｕ１から高周波電圧が印加されており、放電電極部１７ａの外周面を被覆する誘電体１８の外表面と、前記円筒状誘電体１の内周面との間に放電発生するように構成されている。
【００４３】
（実施例１の作用）
図２は前記実施例１の真空紫外光照射装置の作用説明図である。
図１、図２に示す真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次の（１）〜（９）のとおりである。
（１）最初の状態では真空紫外光発生室Ａ内には空気が充満している。
（２）放電させずに、ガス流入路１９ａから真空紫外光発生室ＡにＡｒガス（エキシマガス）を流す。このときのガス流量は多めに設定する。
（３）試料を載せた試料支持部材２１を開放位置から閉塞位置に接近させる（図１Ａ参照）。
【００４４】
（３）照射位置（図２参照）の少し手前の位置（図１Ａ参照）で試料支持部材２１を停止させ、試料Ｓ周囲の空気を排除する。なお、図１Ａでは試料Ｓの図示は省略されている。
（４）空気が排除されたところで、試料支持部材２１を少し上げて閉塞位置（図２参照、このときのガス流出路Ａ１ａの隙間はできるだけ小さくする。）にセットする。同時にＡｒガスの流量を通常のエキシマ発生最適値まで減少させる。
その状態では、テーブル２１ａ上面に支持された試料Ｓは試料装着口１ａに隣接して配置される。その状態では、前記真空紫外光発生室Ａを通ったエキシマガスＡｒは、テーブル２１ａ上面に支持された試料Ｓの周囲を流れ、円筒状誘電体１の下端とテーブル２１ａ上面との間に形成されるガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００４５】
（５）円筒状電極２および電極１７間に電力を供給し、放電を開始して試料Ｓ表面に真空紫外光を照射する。
前記試料装着口１ａに隣接して配置された試料Ｓには、真空紫外光が照射され、試料表面が洗浄される。また試料Ｓ表面から離脱した物質は試料Ｓの周囲を流れるエキシマガスと共に真空紫外光発生室Ａの外部に流出する。したがって、従来のように真空試料室の気体を真空に排気したり、エキシマガスに置き換えたりする作業を行うことなく、試料表面を洗浄することができる。
このため、高い作業効率で試料洗浄を行うことができる。
（６）所定の照射時間経過後に放電を停止する。
（７）試料交換のため、必要最低限試料支持部材２１を下降させて試料Ｓを交換する。
（８）試料交換後、照射位置（閉塞位置）の少し手前の位置（図１Ａ参照）まで試料支持部材２１を上昇させて試料Ｓ周囲の空気を排除する。
（９）以後、前記（４）〜（８）を繰り返す。
【００４６】
前記実施例１によれば、試料Ｓを交換するときに、試料支持部材２１の下降量を少なくし且つＡｒガスを流しながら行うことにより、真空紫外光発生室Ａ内への空気の流入を防止することができる。また、Ａｒガスを流しながら試料Ｓを交換するので、試料Ｓの周囲の空気を速やかに除去することができる。
前記閉塞位置（図２参照）の下方でできるだけ前記閉塞位置に近い位置で試料交換をしてから、新しい試料Ｓを載置した試料支持部材２１を上昇させて閉塞位置に接近させると、ガス流出路Ａ１ａの隙間が狭くなる。このとき、ガス流入路１９ａから流入するガス流量が一定であると、前記ガス流出路Ａ１ａから排出されるガスの速度は次第に速くなる。このとき、試料Ｓ周囲のガス圧が低下し、試料周囲の空気を強制的に吸い出すような現象になり、試料周囲の空気を速やかに排除することができる。
【００４７】
図３は前記実施例１の真空紫外光照射装置Ｕの試料支持部材２１のテーブル２１ａ上面に、前記図２とは異なる形状の試料Ｓを配置して洗浄する場合を示す図である。
図３に示す試料Ｓの例としては半導体製造用のシリコンウエハー等がある。この図３に示す形状の試料Ｓも前記図２と同様に洗浄することができる。
【００４８】
（実施例２）
図４は本発明の真空紫外光照射装置の実施例２の説明図である。
なお、この図４に示す実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図４において、この実施例２の試料支持部材３１は、試料搬送ベルト（試料支持部）３１ａと、前記試料搬送ベルト３１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール３１ｂとにより構成されている。前記試料搬送ベルト３１ａの上面は前記試料装着口１ａに接近して配置されている。そして、円筒状誘電体１の下端と試料搬送ベルト３１ａとの間の隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
なお、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方に移動して来る部分には、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方に移動する際に大気が円筒状誘電体１下方に流入してくるのを防止するためのエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）３２が設けられている。
【００４９】
（実施例２の作用）
この実施例２の真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次のとおりである。
最初に前記実施例１の（１）〜（５）の動作と同じ動作を実行する。その後、試料Ｓが載置された前記試料搬送ベルト３１ａを所定の速度で搬送すると、試料Ｓが前記試料装着口１ａを横切って通過する間、試料Ｓの表面は真空紫外光により照射されて洗浄される。
なお、試料Ｓが前記円筒状誘電体１の下方に移動した状態（前記試料装着口１ａを横切る位置に移動した状態）で前記試料搬送ベルト３１ａを停止させて、前記停止した試料搬送ベルト３１ａの試料Ｓを真空紫外光により洗浄することができる。
また、エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）３２からエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）が噴出されるので、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方（真空紫外光照射位置）に移動する際に大気が真空紫外光照射位置に流入してくるのを防止することができる。
【００５０】
（実施例３）
図５は本発明の真空紫外光照射装置の実施例３および実施例３の変更例の説明図で、図５Ａは実施例３の説明図、図５Ｂは前記実施例３の変更例の説明図である。
図６は前記図５ＡのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
なお、この図５、図６に示す実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例３は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図５、図６において、この実施例３の試料支持部材４１は、試料支持用の大きな回転テーブル（試料支持部）４１ａと前記テーブル４１ａの下面中央部から下方に延びる回転軸４１ｂとを有している。前記回転軸４１ｂおよびその上端に連結されたテーブル４１ａは図示しない回転駆動機構により回転するように構成されている。
なお、試料支持部材４１のテーブル４１ａの上面は前記試料装着口１ａに接近した位置に配置されており、円筒状誘電体１の下端とテーブル４１ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００５１】
図６において前記試料装着口１ａの外側面には、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側の半円周部分からエキシマガスを吹き出して気流カーテンを形成するエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）４２が装着されている。エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）４２は、前記試料装着口１ａの下端部外側面の、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側の半円周部分に装着した断面円形の円弧状排気管４２ａと、前記円弧状排気管４２ａの中央部から上方に延びる気体供給管４２ｂとを有している。前記円弧状排気管４２ａの下側面には多数の排気口４２ｃが形成されている。
前記気体供給管４２ｂからエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）または使用する真空紫外光を吸収しないガスが供給される。前記供給されたガスは、前記試料装着口１ａの下端部外側面の、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側に気流カーテンを形成するので、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止することができる。
【００５２】
（実施例３の作用）
この実施例３の真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次のとおりである。
最初に前記実施例１の（１）〜（５）の動作と同じ動作を実行する。その後、試料Ｓが載置された試料支持部材４１のテーブル４１ａが回転すると、テーブル４１ａ上に配置した複数の試料Ｓは順次、円筒状誘電体１の下方に移動させ所定時間停止させる。試料Ｓは、前記円筒状誘電体１の下方に停止した状態で真空紫外光により洗浄される。
【００５３】
（実施例３の変更例１）
前記実施例３の変更例は図５Ｂに示すように、テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）に試料収容凹部４１ｃが形成されている、前記試料収容凹部４１ｃに試料（Ｓ）を載せることにより、テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）からの試料（Ｓ）の突出量を減少させたり、０（ゼロ）にしたりすることができる。この場合、前記テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）を前記試料装着口１ａの外端（下端）に接近させた状態で、前記試料装着口１ａを横切って移動させることができる。その場合、試料支持部表面にと試料装着口１ａ外端との間に形成される隙間を小さくすることができるので、前記隙間から漏出する真空紫外光発生用ガスの量を少なくすることができる。
【００５４】
（実施例４）
図７は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、図７Ａは試料支持部材が試料装着口の下方に配置されている状態を示す図、図７Ｂは前記図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線から見た図である。
図８は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、試料支持部材が試料装着口に隣接する位置（洗浄位置）に配置されている状態を示す図である。
図７において、外壁８１は、平断面が４角形（図７Ｂ参照）となる角筒状の側壁を有している。前記外壁８１の内側には真空紫外光発生室Ａが形成されている。前記外壁８１を貫通するガス流入管８２の内側にはガス流入路８２ａが形成されている。ガス流入路８２ａからは真空紫外光発生ガスが流入する。
前記真空紫外光発生室Ａ内部には一対の放電用電極部材８３，８３が水平に配置されている。各放電用電極部材８３，８３は、放電電極部８４と前記放電電極部８４の周囲を被覆する誘電体８５とを有している。給電装置Ｕ１により、前記各放電用電極部材８３，８３に極性の異なる交流電圧を印加することにより各放電用電極部材８３，８３の間の空間で放電が生じる。
【００５５】
外壁８１の下端には試料装着口８１ａが形成されている。試料装着口８１ａは水平方向にスライド可能なシャッタ８０により開閉可能である。シャッタ８０には複数のガス噴出口８０ａが形成されている。
なお、シャッタ８０と外壁８１との間は、密封する必要はないので、Ｏリング封止またはガスケット封止等の密封手段は設けられていない。
シャッタ８０が閉塞状態では、前記ガス流入路８２ａから流入したエキシマガスＡｒは、大部分は複数のガス噴出口８０ａから外部に流出するが、一部分はシャッタ８０と外壁８１との隙間からも流出する。
前記シャッタ８０と外壁８１との隙間から流出するガス量はガス圧とガス噴出口８０ａの大きさおよび個数等に依存する。なお、真空紫外光発生室Ａ内のガス圧を大気圧よりもわずかに高くすることにより、前記シャッタ８０と外壁８１との隙間から大気が真空紫外光発生室Ａ内に流入することを防止することができる。
【００５６】
前記前記試料装着口８１ａの下方には試料支持部材８６が上下に移動可能に配置されている。試料支持部材８６は試料支持用のテーブル８６ａとテーブル８６ａの下面中央部から下方に延びるロッド８６ｂとを有している。前記ロッド８６ｂおよびその上端に連結されたテーブル８６ａは図示しない移動機構により上下に移動するように構成されている。
図８において、前記シャッタ８０が開放状態で、試料支持部材８６のテーブル８６ａが前記試料装着口８１ａに接近した位置に上昇した場合には、外壁８１の下端とテーブル８６ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００５７】
（実施例４の作用）
この実施例４では、シャッタ８０を閉塞状態にして、ガス流入路８２ａからＡｒガスを流入させ、シャッタ８０の複数のガス噴出口から噴出させて真空紫外光発生室Ａ内の空気を排出しＡｒガスで充満させる。真空紫外光発生室Ａ内にＡｒガスを充満させた状態で、テーブル８６およびその上に載置した試料Ｓを前記シャッタ８０の下面に接近させる。テーブル８６およびその上に載置した試料Ｓが前記シャッタ８０の下面に接近した状態（図７に示す状態）ではテーブル８６ａと外壁８１との距離はかなり小さい。その状態ではシャッタ８０のガス噴出口８０ａから流出するＡｒガスにより試料Ｓ周囲の空気は排除される。その状態でシャッタ８０を閉塞位置から開放位置に移動させると、真空紫外光発生室Ａ内のＡｒガス（エキシマガス）はテーブル８６ａと外壁８１の下端との間に形成される空間から外部に流出する。
シャッタ８０が完全に開放された状態で前記テーブル８６ａをさらに上昇させて試料Ｓを試料装着口８１内、または前記試料装着口８１の近接位置に配置する（図８参照）。前記図８の状態で試料Ｓの表面に真空紫外光が照射されるので、試料Ｓの洗浄が行われる。
前記図８に示す状態では、前記テーブル８６ａと外壁８１の下端との間の隙間により形成されるガス流出口Ａ１ａは狭くなる。ガス流出口Ａ１ａが狭くなると、エキシマガスの消費量を節約することができる。
【００５８】
（実施例５）
図９は本発明の真空紫外光照射装置の実施例５の説明図である。
なお、この図９に示す実施例５の説明において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例５は、下記の点で前記実施例４と相違しているが、他の点では前記実施例４と同様に構成されている。
図９において、この実施例５の試料支持部材５１は、シート状の試料Ｓの下面を支持する回転自在な複数のシート状試料支持ロール５１ａにより構成されている。前記外壁８１を形成する前記角筒状の側壁の幅は、前記複数のシート状試料支持ロール５１ａにより支持されるシート状の試料Ｓの幅はとほぼ等しいものが使用される。
したがって、前記シート状の試料Ｓと外壁８１の下端との間に形成される隙間は小さい。前記シート状の試料Ｓと外壁８１の下端との間の小さい隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
なお、外壁８１の内側の真空紫外光発生室Ａの下方にシート状の試料Ｓが搬送されて来る際に試料Ｓの移動に伴って大気が真空紫外光発生室Ａ内に流入してくるのを防止するためのエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）８７が設けられている。エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）８７はシート状材料（Ｓ）の幅方向に沿って配置された図示しない多数の噴出口からエキシマガスを噴出して、気流カーテンを形成する。
前記シート状の試料Ｓは、試料装着口８１ａの下方を横切って搬送される際に真空紫外光が照射されて洗浄される。
【００５９】
（実施例６）
図１０は本発明の真空紫外光照射装置の実施例６の説明図である。
この実施例６は、下記の点で前記図９に示す実施例５と相違しているが、他の点では前記実施例５と同様に構成されている。
図１０において、この実施例６の試料支持部材６１は、試料搬送ベルト（試料支持部材）６１ａと、前記試料搬送ベルト６１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール６１ｂとにより構成されている。前記試料搬送ベルト６１ａは、その上面が前記試料装着口８１ａに接近して配置される図１０に示す閉塞位置と、前記図１０に示す位置から下方に移動した開放位置（図示せず）との間で移動可能に支持されている。そして、外壁８１の下端と試料搬送ベルト６１ａとの間の隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
この実施例６の試料Ｓはシート状部材であり、繰出ロール６２に巻付けられたシート状の試料Ｓが巻取ロール６３に巻き取られる。前記シート状の試料Ｓは前記試料搬送ベルト６１ａ上面に接触した状態で前記試料装着口８１ａを横切って搬送される。前記シート状の試料Ｓの表面は、前記試料装着口８１ａを横切って搬送される際に真空紫外光により照射されて洗浄される。
【００６０】
なお、図１０に示すシート状の試料Ｓの幅が試料装着口８１ａの幅（外壁８１の１辺の長さ）とほぼ同一の場合は、図１０に示す試料搬送ベルト６１ａを省略することが可能である。その場合、シート状の試料Ｓは前記複数のベルト支持ロール６１ｂによってガイドされながら試料装置口１ａを横切って搬送される。
この場合もシート状の試料Ｓの表面に真空紫外光を照射して試料Ｓの洗浄を行うことができる。
【００６１】
（実施例７）
図１１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例７の説明図である。
図１２は前記図１１のＸII−ＸII線断面の要部を示す図である。
なお、この図１１、図１２に示す実施例７の説明において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例７は、下記の点で前記実施例４と相違しているが、他の点では前記実施例４と同様に構成されている。
図１１において、この実施例７の外壁８１の下端には閉塞蓋８８が装着されている。閉塞蓋８８には複数のガス流出路８８ａが形成されている。真空紫外光発生室室Ａ内部には上下方向に延びる放電用電極部材８３，８３が配置されており、放電用電極部材８３，８３の上部は外壁８１を貫通して上方に突出している。
図１２において、外壁８１の対向して配置された一対の側壁には試料貫通口８１ａ，８１ａが形成されている。図１２において試料支持部材７１はシート状の試料Ｓをガイドするエンドレスの試料ガイドベルト７１ａと、前記試料ガイドベルト７１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール７１ｂとを有している。試料ガイドベルト７１ａは前記一対の試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通して真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って配置されている。
前記ガス流入路８２ａから前記角筒室（Ａ１）に流入したＡｒガスは、前記一対の試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通する試料ガイドベルト７１ａと前記試料貫通口８１ａ，８１ａとの間の隙間、および前記ガス流出路８８ａを通って外部に流出可能である。
【００６２】
図１１、図１２において、繰り出しロール７２に巻き付けられたシート状の試料Ｓは、前記試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通し、真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って、巻取ロール７３に巻き取られるように配置されている。前記シート状の試料Ｓは、洗浄される表面の反対側の面が前記試料ガイドベルト７１ａに接触した状態で前記真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って搬送される。
前記試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通し前記真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って搬送されるシート状の試料Ｓは、放電電極部１７ａに対向する表面が真空紫外光に照射されて洗浄される。
なお、前記図１０に示す実施例６において試料搬送ベルト６１ａを省略できたと同様に、この図１１、図１２に示す実施例７においても、試料ガイドベルト７１ａを省略可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（Ｈ01）Ａｒ（アルゴン）以外のエキシマガスを使用可能である。
（Ｈ02）本発明の真空紫外光照射装置は試料洗浄装置以外に、試料表面改質装置にも適用可能である。
（Ｈ03）真空紫外光照射装置の試料装着口に試料支持部材を接近させる構成としては、真空紫外光照射装置を移動させて試料装着口を試料支持部材に接近させる構成や、試料支持部材を移動させて真空紫外光照射装置の試料装着口にに接近させる構成を採用することが可能である。
（Ｈ04）前記各実施例では試料Ｓは試料支持部材の上面に突出状態で支持されているが、試料支持部材の上面に試料収容凹部を形成し、前記試料収容凹部に洗浄用の試料を配置することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例１の説明図で、図１Ａは真空紫外光照射装置の側断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
【図２】図２は前記実施例１の真空紫外光照射装置の作用説明図である。
【図３】図３は前記実施例１の真空紫外光照射装置Ｕの試料支持部材２１のテーブル２１ａ上面に、前記図２とは異なる形状の試料Ｓを配置して洗浄する場合を示す図である。
【図４】図４は本発明の真空紫外光照射装置の実施例２の説明図である。
【図５】図５は本発明の真空紫外光照射装置の実施例３および実施例３の変更例の説明図で、図５Ａは実施例３の説明図、図５Ｂは前記実施例３の変更例の説明図である。
【図６】図６は前記図５ＡのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図７は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、図７Ａは試料支持部材が試料装着口の下方に配置されている状態を示す図、図７Ｂは前記図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線から見た図である。
【図８】図８は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、試料支持部材が試料装着口に隣接する位置（試料洗浄位置）に配置されている状態を示す図である。
【図９】図９は本発明の真空紫外光照射装置の実施例５の説明図である。
【図１０】図１０は本発明の真空紫外光照射装置の実施例６の説明図である。
【図１１】図１１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例７の説明図である。
【図１２】図１２は前記図１１のＸII−ＸII線断面の要部を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
Ａ…真空紫外光発生室、
Ａ１ａ…ガス流出路、
１ａ，８１ａ…試料装着口、
１６，８３…放電用電極、
１９ａ，８２ａ…ガス流入路、
２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１…試料支持部材、
４１…回転プレート、
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空紫外光照射装置および真空紫外光照射方法に関し、特に、真空紫外光を照射して試料表面を洗浄したり改質したりするための真空紫外光照射装置および真空紫外光照射方法に関する。
なお、前記洗浄および改質の意味は次のとおりである。
「洗浄」：試料表面に真空紫外光を照射して試料表面の有機物を分解して離脱除去する。
「改質」：ポリイミドなど接着剤で接着することができないプラスチックの表面の１〜２分子層を分解し接着剤で接着可能な原子と置換して接着可能な表面にする。全体的には元のプラスチックの性質をそのまま維持している。
【背景技術】
【０００２】
前記真空紫外光を使用する真空紫外光照射方法では、真空紫外光は大気による吸収が大きいため、真空紫外光を照射する試料は、大気を、真空紫外光を吸収しない希ガスに置換した試料室または真空の試料室に配置しなければならない。したがって、従来の真空紫外光照射により試料表面を洗浄する真空紫外光照射方法では、試料室に試料を出し入れするたびに、試料室を排気またはガス置換する必要があった。このため、試料に真空紫外光を照射できる状態になるまでに長い時間が必要であり、作業効率が低かった。
特に、アルゴンエキシマ光（波長＝１２６ｎｍ）またはクリプトンエキシマ光（波長＝１４６ｎｍ）の光を使用する場合は、それらの波長の光を透過する適切な窓材が存在しない。このため、真空紫外光ランプ（真空紫外光を出射する部材）と試料室とを透過窓により隔離した真空紫外光照射装置を製作することは技術的に困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このため本発明者は以前に、前記真空紫外光ランプと試料室とを連通させて、真空紫外光ランプで使用する真空紫外光発生用ガスを、真空紫外光ランプおよび試料室に順次流しながら、試料室内に配置された試料表面に真空紫外光を照射して試料洗浄を行う装置を発明して、すでに特許出願（特願２００４−０６３２５０号）している。
しかし、前記先願に記載された真空紫外光照射方法では、真空紫外光ランプ内部および試料室内部の気体を同時に、真空紫外光を吸収しない希ガス（例えば、真空紫外光ランプで使用するエキシマガス）に置換する必要があり、この場合は更に長いガス置換時間を必要とする。
【０００４】
本発明は前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を技術的課題とする。
（Ｏ01）長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供すること。
（Ｏ02）真空紫外光発生室を大気に開放することなく試料を交換できるようにすることにより、多数の試料を次々と交換しながら、または、シート状試料を連続的に、真空紫外光照射位置に搬送可能な真空紫外光照射装置を提供すること。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００６】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ05）前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持され、前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れるように構成された試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【０００７】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（１ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持される。
前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）２１が前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部には試料が支持される。前記真空紫外光発生用ガスは、前記試料支持部に支持された試料周辺を流れてから前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部に支持された試料は前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【０００８】
（第２発明）
第２発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ06）前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れるように構成された試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【０００９】
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えた第２発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（１ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を開放する開放位置との間で移動可能に支持される。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部は、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する。前記真空紫外光発生用ガスは前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
したがって、前記試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）の試料支持部に支持された試料は、前記試料支持部が前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１０】
（第２発明の形態１）
第２発明の形態１の真空紫外光照射装置は前記第２発明において下記の構成要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ07）長手方向に搬送される帯状部材により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材（３１，６１）。
【００１１】
（第２発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ07）を備えた第２発明の形態１の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（３１，６１）は長手方向に搬送される帯状部材により構成されているので、前記帯状部材（３１，６１）が前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を横切って移動する際に、前記帯状部材（３１，６１）の上面（試料支持部）に支持された試料は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１２】
（第２発明の形態２）
第２発明の形態２の真空紫外光照射装置は前記第２発明において下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）回転プレート（４１）により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材（４１）。
【００１３】
（第２発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ08）を備えた第２発明の形態２の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（４１）が回転プレートにより構成されているので、前記回転プレート（４１）が前記試料装着口（１ａ）を横切って移動する際に、前記回転プレート（４１）の上面（試料支持部）に支持された試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１４】
（第２発明の形態３）
第２発明の形態３の真空紫外光照射装置は、前記第２発明または第２発明の形態１もしくは２において下記の構成要件（Ａ09）を備えたことを特徴とする。
（Ａ09）前記試料装着口（１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部（３１）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置に試料支持部（３１）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材（３２）。
（第２発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ09）を備えた第２発明の形態３の真空紫外光照射装置では、気流カーテン形成部材（３２）は、前記真空紫外光照射位置に試料支持部（３１ａ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する。このため、前記試料装着口（１ａ）を横切って移動可能に支持された試料支持部（３１ａ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止することができる。
【００１５】
（第２発明の形態４）
第２発明の形態４の真空紫外光照射装置は、前記第２発明または第２発明の形態１ないし３のいずれかにおいて下記の構成要件（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ010）試料（Ｓ）が収容される試料収容凹部（４１ｃ）が形成された前記試料支持部（４１ａ）。
（第２発明の形態４の作用）
前記構成要件（Ａ010）を備えた第２発明の形態４の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部の試料収容凹部に試料（Ｓ）を収容した場合、前記試料支持部の表面からの試料の突出高さが低くなる。この場合、前記試料支持部の表面を前記試料装着口の外端に接近させた状態で、前記試料装着口を横切って移動させることができる。その場合、試料支持部表面にと試料装着光外端との間に形成される隙間を小さくすることができるので、前記隙間から漏出する真空紫外光発生用ガスの量を少なくすることができる。
【００１６】
（第３発明）
第３発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（１６，８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）、
（Ａ011）前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成するとともに前記試料装着口（８１ａ）を横切って配置された試料支持部材（６１ａ）であって、シート状試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（６１ａ）。
【００１７】
（第３発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えた第３発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（６１ａ）は、前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成するとともに前記試料装着口（８１ａ）を横切って配置される。前記真空紫外光発生用ガスは前記試料支持部から前記ガス流出路（Ａ１ａ）を通って真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流れる。
したがって、前記試料支持部材（６１ａ）により支持されたシート状試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００１８】
（第３発明の形態１）
第３発明の形態１の真空紫外光照射装置は前記第３発明において下記の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ012）前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（８１ａ）を開放する開放位置との間で前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する前記試料支持部材（６１ａ）。
【００１９】
（第３発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ012）を備えた第３発明の形態１の真空紫外光照射装置では、前記試料支持部材（６１ａ）は、前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する閉塞位置と前記試料装着口（８１ａ）を開放する開放位置との間で前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する。したがって、前記試料支持部材（６１ａ）に支持された試料（Ｓ）は、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２０】
（第４発明）
第４発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（８２ａ）、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）、
（Ａ013）シート状試料（Ｓ）が前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するように前記シート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（６１ａ）。
【００２１】
（第４発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えた第４発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
真空紫外光発生室（Ａ）内で発生する試料洗浄用の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成された試料装着口（８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（６１ａ）により移動可能に支持された前記シート状試料（Ｓ）は、シート状試料（Ｓ）が前記試料装着口（８１ａ）の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口（８１ａ）の外端縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）を形成する状態で前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する。
したがって、前記試料支持部材（６１ａ）に支持されたシート状試料（Ｓ）は、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記真空紫外光発生用ガスと共に真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２２】
（第５発明）
第５発明の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ａ02）真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）、
（Ａ03）前記放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入させるガス流入路（８２ａ）、
（Ａ014）前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（Ａ１ａ）、
（Ａ015）前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）に流れる真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置をシート状試料（Ｓ）が通過するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材（７１）。
【００２３】
（第５発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えた第５発明の真空紫外光照射装置では、真空紫外光発生室（Ａ）内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスは、ガス流入路（８２ａ）から前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入する。
ガス流出路（８８ａ，８１ａ）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる。
試料支持部材（７１）により移動可能に支持された前記シート状試料（Ｓ）は、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）に流れる真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置を通過する。
したがって、真空紫外光発生室（Ａ）内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置を通過するシート状試料（Ｓ）は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時にシート状試料（Ｓ）表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２４】
（第４発明または第５発明の形態１）
第４発明または第５発明の形態１の真空紫外光照射装置は、下記の構成要件（Ａ016）を備えたことを特徴とする。
（Ａ016）前記シート状試料（Ｓ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材（８７）。
（第４発明または第５発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ016）を備えた第４発明または第５発明の形態１の真空紫外光照射装置では、気流カーテン形成部材（８７）は、前記真空紫外光照射位置にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する。前記気流カーテンは、前記シート状試料（Ｓ）が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止する。
【００２５】
（第６発明）
第６発明の真空紫外光照射装置は、次の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ01）内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）、
（Ｂ02）前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）、
（Ｂ03）前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（Ａ１ａ）、
（Ｂ04）前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）。
【００２６】
（第６発明の作用）
前記構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた第６発明の真空紫外光照射装置では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）は、ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から真空紫外光発生用ガスが流入する。前記真空紫外光発生室（Ａ）に流入した真空紫外光発生用ガスはガス流出路（Ａ１ａ）から流出する。
試料支持部材（２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１）は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する。
したがって、真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に支持された試料は、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２７】
（第６発明の形態１）
第６発明の真空紫外光照射装置の形態１は前記第６発明において次の構成要件（Ｂ05）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ05）シート状の試料が前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するように前記シート状試料を支持する前記試料支持部材（５１，６１，７１）。
（第６発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ｂ05）を備えた第６発明の形態１では、試料支持部材（５１，６１，７１）により支持されたシート状の試料は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動する。
したがって、前記シート状試料は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動する際に、前記真空紫外光により照射されて洗浄される。洗浄時に試料表面から離脱した物質は前記ガス流路を流れる真空紫外光発生用ガスにより搬送され、真空紫外光発生室（Ａ）の外部に流出する。
【００２８】
（第７発明）
第７発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）内にガス流入路（１９ａ，８２ａ）から真空紫外光発生用ガスを流入させ且つ前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室（Ａ）から流出させながら前記放電用電極（１６，８３）を放電させて真空紫外光を発生させ、前記真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置した試料（Ｓ）に真空紫外光を照射して試料洗浄を行うことを特徴とする。
【００２９】
（第７発明の作用）
前記第７発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置され且つ真空紫外光発生用ガスが流入する真空紫外光発生室（Ａ）内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置された試料は、真空紫外光が照射されて洗浄される。
【００３０】
（第８発明）
第８発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）と、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間を形成する試料支持部材（３１，６１）とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に支持した試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄することを特徴とする。
【００３１】
（第８発明の作用）
前記第８発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（１９ａ，８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（１ａ，８１ａ）と、前記試料装着口（１ａ，８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（１ａ，８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間を形成する試料支持部材（３１，６１）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
前記第８発明の真空紫外光照射方法では、前記閉塞位置に移動した試料支持部材（３１，６１）の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路（１９ａ，８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄する。
【００３２】
（第９発明）
第９発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、ガス噴出口（８０ａ）を有し且つ前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋（８０）と、前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材（８６）とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材（８６）に支持された試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋（８０）の前記ガス噴出口（８０ａ）から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）を前記開閉蓋（８０）に接近させてから、前記開閉蓋（８０）を前記開放位置に移動させ、次に前記試料支持部材（８６）を前記閉塞位置に移動させた状態で前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３３】
（第９発明の作用）
前記第９発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、ガス噴出口（８０ａ）を有し且つ前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋（８０）と、前記試料装着口（８１ａ）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材（８６）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
前記第９発明の真空紫外光照射方法では、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋（８０）の前記ガス噴出口（８０ａ）から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）を前記開閉蓋（８０）に接近させる。その状態で、前記開閉蓋（８０）を前記開放位置に移動させてから前記試料支持部材（８６）を前記閉塞位置に移動させる。その状態で前記試料（Ｓ）を支持する前記試料支持部材（８６）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄する。
前記真空紫外光発生室（Ａ）の試料装着口（８１ａ）が大きい場合には、開閉蓋（８０）が無い状態で排気すると、真空紫外光発生室（Ａ）内の空気を真空紫外光発生用ガスに完全に置換するのが困難であるので、この第９発明では、噴出口（８０ａ）を有する開閉蓋（８０）を使用している。
【００３４】
（第１０発明）
第１０発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（１６，８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、前記試料装着口（８１ａ）を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持し且つ前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する前記シート状試料（Ｓ）と前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置により、前記シート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３５】
（第１０発明の作用）
前記第１０発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させる試料装着口（８１ａ）と、前記試料装着口（８１ａ）を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持し且つ前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動する前記シート状試料（Ｓ）と前記試料装着口（８１ａ）の周縁との間にガス流出路（Ａ１ａ）となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置が使用される。
そして前記第１０発明の真空紫外光照射方法では、前記試料装着口（８１ａ）を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する。
【００３６】
（第１１発明）
第１１発明の真空紫外光照射方法は、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（８８ａ，８１ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）の内部を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（７１）とを有する真空紫外光照射装置により、前記シート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記真空紫外光発生室（Ａ）内部を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄することを特徴とする。
【００３７】
（第１１発明の作用）
前記第１１発明の真空紫外光照射方法では、内部に真空紫外光発生用の放電用電極（８３）が配置された真空紫外光発生室（Ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路（８２ａ）と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室（Ａ）から流出させるガス流出路（８８ａ，８１ａ）と、前記真空紫外光発生室（Ａ）の内部を横切る方向にシート状試料（Ｓ）を移動可能に支持する試料支持部材（７１）とを有する真空紫外光照射装置が使用される。
そして前記第１１発明の真空紫外光照射方法は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内部を横切って移動するシート状試料（Ｓ）表面に沿って、前記ガス流入路（８２ａ）から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路（８８ａ，８１ａ）から流出させながら前記シート状試料（Ｓ）表面に真空紫外光を照射してシート状試料（Ｓ）の表面を洗浄する。
【００３８】
（第１０発明または第１１発明の形態１）
第１０発明または第１１発明の形態１の真空紫外光照射方法は、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止するため、前記真空紫外光発生室（Ａ）内にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に、真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成することを特徴とする。
（第１０発明または第１１発明の形態１の作用）
前記第１０発明または第１１発明の形態１の真空紫外光照射方法では、前記真空紫外光発生室（Ａ）内にシート状試料（Ｓ）が進入する部分に、真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成するので、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００３９】
前記本発明は次の作用効果（Ｅ01）を奏することができる。
（Ｅ01）本発明では、真空紫外光発生室内に配置した試料の周囲に真空紫外光発生用ガスを流しながら前記試料に真空紫外光を照射して試料洗浄を行うので、長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
（実施例１）
図１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例１の説明図で、図１Ａは真空紫外光照射装置の側断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
図１に示す実施例１の真空紫外光照射装置Ｕは、上下方向に延びる断面円形の誘電体製の円筒状誘電体１を有しており、円筒状誘電体１の下端には試料装着口１ａが形成されている。前記円筒状誘電体１の内部には、円筒室Ａ１が形成されており、円筒室Ａ１はその下端の試料装着口１ａにより大気に連通している。前記円筒状誘電体１の外側面には円筒状電極２が設けられている。前記円筒状誘電体１および円筒状電極２により外側誘電体電極（外側放電用電極）（１＋２）が構成されている。
前記円筒状誘電体１の上端部はベースプレート３に固定されている。前記ベースプレート３は、複数の固定用ボルト４により図示しない支柱に固定支持されている。
前記ベースプレート３の上面には円筒部材５が支持されており、前記円筒部材５の上端には上壁プレート６が配置されている。前記上壁プレート６および円筒部材３は、それらを貫通する複数の連結ボルト７により前記ベースプレート３に連結されている。
前記上壁プレート６の下方で且つ前記円筒部材５の内側には上部円筒室Ａ２が形成されている。前記円筒室Ａ１と前記上部円筒室Ａ２とにより真空紫外光発生室Ａが形成されている。
【００４１】
前記上壁プレート６の中央部には内側誘電体電極（内側放電用電極）１６の上端部が保持されてる。内側誘電体電極１６は、電極部１７および前記電極部１７を被覆する誘電体１８とを有している。前記電極部１７は大径円柱状の放電電極部１７ａとその上端から上方に延びる給電電極部１７ｂとを有している。前記放電電極部１７ａと給電電極部１７ｂとは一体成形されているが、別体に構成して放電電極１７ａの上端に形成したメスネジ孔に給電電極部１７ｂの下端に形成したオスネジを螺合させて連結することも可能である。
前記内側誘電体電極１６と前記外側誘電体電極（１＋２）とにより放電電極が構成されている。
前記円筒部材５を貫通してガス流入管１９が設けられている。ガス流入管１９の内部にはガス流入路１９ａが形成されている。ガス流入路１９ａから真空紫外光発生室Ａの上部円筒室Ａ２にエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）を流入させると、エキシマガスは前記上部円筒室Ａ２から円筒室Ａ１を通って、且つ円筒室Ａ１下端の試料装着口１ａを通って外部に排出される。なお、本実施例１ではエキシマガスにはＡｒ（アルゴン）を使用しているので、以下、「エキシマガスＡｒ」と記載する。
ガスエキシマガスＡｒを前記ガス流入路１９ａから上部円筒室Ａ２、円筒室Ａ１に流しながら、前記給電電極部１７ｂに給電すると放電電極部１７ａの外周を被覆する誘電体１８表面に放電が発生して真空紫外光が発生する。
【００４２】
前記試料装着口１ａの下方には、上下方向に移動可能な試料支持部材２１が配置されている。試料支持部材２１は、試料支持用のテーブル２１ａと前記テーブル２１ａの下面中央部から下方に延びるロッド２１ｂとを有している。前記ロッド２１ｂおよびその上端に連結されたテーブル２１ａは図示しない移動機構により上下に移動するように構成されている。
なお、試料支持部材２１のテーブル２１ａが前記試料装着口１ａに接近した位置に上昇した場合には、円筒状誘電体１の下端とテーブル２１ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
前記円筒状電極２と給電電極部１７ｂとの間には、給電装置Ｕ１から高周波電圧が印加されており、放電電極部１７ａの外周面を被覆する誘電体１８の外表面と、前記円筒状誘電体１の内周面との間に放電発生するように構成されている。
【００４３】
（実施例１の作用）
図２は前記実施例１の真空紫外光照射装置の作用説明図である。
図１、図２に示す真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次の（１）〜（９）のとおりである。
（１）最初の状態では真空紫外光発生室Ａ内には空気が充満している。
（２）放電させずに、ガス流入路１９ａから真空紫外光発生室ＡにＡｒガス（エキシマガス）を流す。このときのガス流量は多めに設定する。
（３）試料を載せた試料支持部材２１を開放位置から閉塞位置に接近させる（図１Ａ参照）。
【００４４】
（３）照射位置（図２参照）の少し手前の位置（図１Ａ参照）で試料支持部材２１を停止させ、試料Ｓ周囲の空気を排除する。なお、図１Ａでは試料Ｓの図示は省略されている。
（４）空気が排除されたところで、試料支持部材２１を少し上げて閉塞位置（図２参照、このときのガス流出路Ａ１ａの隙間はできるだけ小さくする。）にセットする。同時にＡｒガスの流量を通常のエキシマ発生最適値まで減少させる。
その状態では、テーブル２１ａ上面に支持された試料Ｓは試料装着口１ａに隣接して配置される。その状態では、前記真空紫外光発生室Ａを通ったエキシマガスＡｒは、テーブル２１ａ上面に支持された試料Ｓの周囲を流れ、円筒状誘電体１の下端とテーブル２１ａ上面との間に形成されるガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００４５】
（５）円筒状電極２および電極１７間に電力を供給し、放電を開始して試料Ｓ表面に真空紫外光を照射する。
前記試料装着口１ａに隣接して配置された試料Ｓには、真空紫外光が照射され、試料表面が洗浄される。また試料Ｓ表面から離脱した物質は試料Ｓの周囲を流れるエキシマガスと共に真空紫外光発生室Ａの外部に流出する。したがって、従来のように真空試料室の気体を真空に排気したり、エキシマガスに置き換えたりする作業を行うことなく、試料表面を洗浄することができる。
このため、高い作業効率で試料洗浄を行うことができる。
（６）所定の照射時間経過後に放電を停止する。
（７）試料交換のため、必要最低限試料支持部材２１を下降させて試料Ｓを交換する。
（８）試料交換後、照射位置（閉塞位置）の少し手前の位置（図１Ａ参照）まで試料支持部材２１を上昇させて試料Ｓ周囲の空気を排除する。
（９）以後、前記（４）〜（８）を繰り返す。
【００４６】
前記実施例１によれば、試料Ｓを交換するときに、試料支持部材２１の下降量を少なくし且つＡｒガスを流しながら行うことにより、真空紫外光発生室Ａ内への空気の流入を防止することができる。また、Ａｒガスを流しながら試料Ｓを交換するので、試料Ｓの周囲の空気を速やかに除去することができる。
前記閉塞位置（図２参照）の下方でできるだけ前記閉塞位置に近い位置で試料交換をしてから、新しい試料Ｓを載置した試料支持部材２１を上昇させて閉塞位置に接近させると、ガス流出路Ａ１ａの隙間が狭くなる。このとき、ガス流入路１９ａから流入するガス流量が一定であると、前記ガス流出路Ａ１ａから排出されるガスの速度は次第に速くなる。このとき、試料Ｓ周囲のガス圧が低下し、試料周囲の空気を強制的に吸い出すような現象になり、試料周囲の空気を速やかに排除することができる。
【００４７】
図３は前記実施例１の真空紫外光照射装置Ｕの試料支持部材２１のテーブル２１ａ上面に、前記図２とは異なる形状の試料Ｓを配置して洗浄する場合を示す図である。
図３に示す試料Ｓの例としては半導体製造用のシリコンウエハー等がある。この図３に示す形状の試料Ｓも前記図２と同様に洗浄することができる。
【００４８】
（実施例２）
図４は本発明の真空紫外光照射装置の実施例２の説明図である。
なお、この図４に示す実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図４において、この実施例２の試料支持部材３１は、試料搬送ベルト（試料支持部）３１ａと、前記試料搬送ベルト３１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール３１ｂとにより構成されている。前記試料搬送ベルト３１ａの上面は前記試料装着口１ａに接近して配置されている。そして、円筒状誘電体１の下端と試料搬送ベルト３１ａとの間の隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
なお、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方に移動して来る部分には、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方に移動する際に大気が円筒状誘電体１下方に流入してくるのを防止するためのエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）３２が設けられている。
【００４９】
（実施例２の作用）
この実施例２の真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次のとおりである。
最初に前記実施例１の（１）〜（５）の動作と同じ動作を実行する。その後、試料Ｓが載置された前記試料搬送ベルト３１ａを所定の速度で搬送すると、試料Ｓが前記試料装着口１ａを横切って通過する間、試料Ｓの表面は真空紫外光により照射されて洗浄される。
なお、試料Ｓが前記円筒状誘電体１の下方に移動した状態（前記試料装着口１ａを横切る位置に移動した状態）で前記試料搬送ベルト３１ａを停止させて、前記停止した試料搬送ベルト３１ａの試料Ｓを真空紫外光により洗浄することができる。
また、エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）３２からエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）が噴出されるので、試料搬送ベルト３１ａが円筒状誘電体１の下方（真空紫外光照射位置）に移動する際に大気が真空紫外光照射位置に流入してくるのを防止することができる。
【００５０】
（実施例３）
図５は本発明の真空紫外光照射装置の実施例３および実施例３の変更例の説明図で、図５Ａは実施例３の説明図、図５Ｂは前記実施例３の変更例の説明図である。
図６は前記図５ＡのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
なお、この図５、図６に示す実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例３は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図５、図６において、この実施例３の試料支持部材４１は、試料支持用の大きな回転テーブル（試料支持部）４１ａと前記テーブル４１ａの下面中央部から下方に延びる回転軸４１ｂとを有している。前記回転軸４１ｂおよびその上端に連結されたテーブル４１ａは図示しない回転駆動機構により回転するように構成されている。
なお、試料支持部材４１のテーブル４１ａの上面は前記試料装着口１ａに接近した位置に配置されており、円筒状誘電体１の下端とテーブル４１ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００５１】
図６において前記試料装着口１ａの外側面には、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側の半円周部分からエキシマガスを吹き出して気流カーテンを形成するエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）４２が装着されている。エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）４２は、前記試料装着口１ａの下端部外側面の、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側の半円周部分に装着した断面円形の円弧状排気管４２ａと、前記円弧状排気管４２ａの中央部から上方に延びる気体供給管４２ｂとを有している。前記円弧状排気管４２ａの下側面には多数の排気口４２ｃが形成されている。
前記気体供給管４２ｂからエキシマガス（真空紫外光発生用ガス）または使用する真空紫外光を吸収しないガスが供給される。前記供給されたガスは、前記試料装着口１ａの下端部外側面の、前記回転テーブル４１ａの回転方向上流側に気流カーテンを形成するので、前記真空紫外光発生室（Ａ）内を横切って移動するシート状試料（Ｓ）の移動に伴って大気が真空紫外光発生室（Ａ）内に侵入するのを防止することができる。
【００５２】
（実施例３の作用）
この実施例３の真空紫外光照射装置により試料表面に真空紫外光を照射する場合、真空紫外光照射装置の動作順序は次のとおりである。
最初に前記実施例１の（１）〜（５）の動作と同じ動作を実行する。その後、試料Ｓが載置された試料支持部材４１のテーブル４１ａが回転すると、テーブル４１ａ上に配置した複数の試料Ｓは順次、円筒状誘電体１の下方に移動させ所定時間停止させる。試料Ｓは、前記円筒状誘電体１の下方に停止した状態で真空紫外光により洗浄される。
【００５３】
（実施例３の変更例１）
前記実施例３の変更例は図５Ｂに示すように、テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）に試料収容凹部４１ｃが形成されている、前記試料収容凹部４１ｃに試料（Ｓ）を載せることにより、テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）からの試料（Ｓ）の突出量を減少させたり、０（ゼロ）にしたりすることができる。この場合、前記テーブル（試料支持部材）４１ａの上面（試料支持部）を前記試料装着口１ａの外端（下端）に接近させた状態で、前記試料装着口１ａを横切って移動させることができる。その場合、試料支持部表面にと試料装着口１ａ外端との間に形成される隙間を小さくすることができるので、前記隙間から漏出する真空紫外光発生用ガスの量を少なくすることができる。
【００５４】
（実施例４）
図７は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、図７Ａは試料支持部材が試料装着口の下方に配置されている状態を示す図、図７Ｂは前記図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線から見た図である。
図８は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、試料支持部材が試料装着口に隣接する位置（洗浄位置）に配置されている状態を示す図である。
図７において、外壁８１は、平断面が４角形（図７Ｂ参照）となる角筒状の側壁を有している。前記外壁８１の内側には真空紫外光発生室Ａが形成されている。前記外壁８１を貫通するガス流入管８２の内側にはガス流入路８２ａが形成されている。ガス流入路８２ａからは真空紫外光発生ガスが流入する。
前記真空紫外光発生室Ａ内部には一対の放電用電極部材８３，８３が水平に配置されている。各放電用電極部材８３，８３は、放電電極部８４と前記放電電極部８４の周囲を被覆する誘電体８５とを有している。給電装置Ｕ１により、前記各放電用電極部材８３，８３に極性の異なる交流電圧を印加することにより各放電用電極部材８３，８３の間の空間で放電が生じる。
【００５５】
外壁８１の下端には試料装着口８１ａが形成されている。試料装着口８１ａは水平方向にスライド可能なシャッタ８０により開閉可能である。シャッタ８０には複数のガス噴出口８０ａが形成されている。
なお、シャッタ８０と外壁８１との間は、密封する必要はないので、Ｏリング封止またはガスケット封止等の密封手段は設けられていない。
シャッタ８０が閉塞状態では、前記ガス流入路８２ａから流入したエキシマガスＡｒは、大部分は複数のガス噴出口８０ａから外部に流出するが、一部分はシャッタ８０と外壁８１との隙間からも流出する。
前記シャッタ８０と外壁８１との隙間から流出するガス量はガス圧とガス噴出口８０ａの大きさおよび個数等に依存する。なお、真空紫外光発生室Ａ内のガス圧を大気圧よりもわずかに高くすることにより、前記シャッタ８０と外壁８１との隙間から大気が真空紫外光発生室Ａ内に流入することを防止することができる。
【００５６】
前記前記試料装着口８１ａの下方には試料支持部材８６が上下に移動可能に配置されている。試料支持部材８６は試料支持用のテーブル８６ａとテーブル８６ａの下面中央部から下方に延びるロッド８６ｂとを有している。前記ロッド８６ｂおよびその上端に連結されたテーブル８６ａは図示しない移動機構により上下に移動するように構成されている。
図８において、前記シャッタ８０が開放状態で、試料支持部材８６のテーブル８６ａが前記試料装着口８１ａに接近した位置に上昇した場合には、外壁８１の下端とテーブル８６ａの上面との間に、ガス流出路Ａ１ａが形成される。その状態では、真空紫外光発生室Ａのガスはガス流出路Ａ１ａを通って外部に流出する。
【００５７】
（実施例４の作用）
この実施例４では、シャッタ８０を閉塞状態にして、ガス流入路８２ａからＡｒガスを流入させ、シャッタ８０の複数のガス噴出口から噴出させて真空紫外光発生室Ａ内の空気を排出しＡｒガスで充満させる。真空紫外光発生室Ａ内にＡｒガスを充満させた状態で、テーブル８６およびその上に載置した試料Ｓを前記シャッタ８０の下面に接近させる。テーブル８６およびその上に載置した試料Ｓが前記シャッタ８０の下面に接近した状態（図７に示す状態）ではテーブル８６ａと外壁８１との距離はかなり小さい。その状態ではシャッタ８０のガス噴出口８０ａから流出するＡｒガスにより試料Ｓ周囲の空気は排除される。その状態でシャッタ８０を閉塞位置から開放位置に移動させると、真空紫外光発生室Ａ内のＡｒガス（エキシマガス）はテーブル８６ａと外壁８１の下端との間に形成される空間から外部に流出する。
シャッタ８０が完全に開放された状態で前記テーブル８６ａをさらに上昇させて試料Ｓを試料装着口８１内、または前記試料装着口８１の近接位置に配置する（図８参照）。前記図８の状態で試料Ｓの表面に真空紫外光が照射されるので、試料Ｓの洗浄が行われる。
前記図８に示す状態では、前記テーブル８６ａと外壁８１の下端との間の隙間により形成されるガス流出口Ａ１ａは狭くなる。ガス流出口Ａ１ａが狭くなると、エキシマガスの消費量を節約することができる。
【００５８】
（実施例５）
図９は本発明の真空紫外光照射装置の実施例５の説明図である。
なお、この図９に示す実施例５の説明において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例５は、下記の点で前記実施例４と相違しているが、他の点では前記実施例４と同様に構成されている。
図９において、この実施例５の試料支持部材５１は、シート状の試料Ｓの下面を支持する回転自在な複数のシート状試料支持ロール５１ａにより構成されている。前記外壁８１を形成する前記角筒状の側壁の幅は、前記複数のシート状試料支持ロール５１ａにより支持されるシート状の試料Ｓの幅はとほぼ等しいものが使用される。
したがって、前記シート状の試料Ｓと外壁８１の下端との間に形成される隙間は小さい。前記シート状の試料Ｓと外壁８１の下端との間の小さい隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
なお、外壁８１の内側の真空紫外光発生室Ａの下方にシート状の試料Ｓが搬送されて来る際に試料Ｓの移動に伴って大気が真空紫外光発生室Ａ内に流入してくるのを防止するためのエキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）８７が設けられている。エキシマガス供給部材（気流カーテン形成部材）８７はシート状材料（Ｓ）の幅方向に沿って配置された図示しない多数の噴出口からエキシマガスを噴出して、気流カーテンを形成する。
前記シート状の試料Ｓは、試料装着口８１ａの下方を横切って搬送される際に真空紫外光が照射されて洗浄される。
【００５９】
（実施例６）
図１０は本発明の真空紫外光照射装置の実施例６の説明図である。
この実施例６は、下記の点で前記図９に示す実施例５と相違しているが、他の点では前記実施例５と同様に構成されている。
図１０において、この実施例６の試料支持部材６１は、試料搬送ベルト（試料支持部材）６１ａと、前記試料搬送ベルト６１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール６１ｂとにより構成されている。前記試料搬送ベルト６１ａは、その上面が前記試料装着口８１ａに接近して配置される図１０に示す閉塞位置と、前記図１０に示す位置から下方に移動した開放位置（図示せず）との間で移動可能に支持されている。そして、外壁８１の下端と試料搬送ベルト６１ａとの間の隙間によりガス流出路Ａ１ａが形成されている。
この実施例６の試料Ｓはシート状部材であり、繰出ロール６２に巻付けられたシート状の試料Ｓが巻取ロール６３に巻き取られる。前記シート状の試料Ｓは前記試料搬送ベルト６１ａ上面に接触した状態で前記試料装着口８１ａを横切って搬送される。前記シート状の試料Ｓの表面は、前記試料装着口８１ａを横切って搬送される際に真空紫外光により照射されて洗浄される。
【００６０】
なお、図１０に示すシート状の試料Ｓの幅が試料装着口８１ａの幅（外壁８１の１辺の長さ）とほぼ同一の場合は、図１０に示す試料搬送ベルト６１ａを省略することが可能である。その場合、シート状の試料Ｓは前記複数のベルト支持ロール６１ｂによってガイドされながら試料装置口１ａを横切って搬送される。
この場合もシート状の試料Ｓの表面に真空紫外光を照射して試料Ｓの洗浄を行うことができる。
【００６１】
（実施例７）
図１１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例７の説明図である。
図１２は前記図１１のＸII−ＸII線断面の要部を示す図である。
なお、この図１１、図１２に示す実施例７の説明において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例７は、下記の点で前記実施例４と相違しているが、他の点では前記実施例４と同様に構成されている。
図１１において、この実施例７の外壁８１の下端には閉塞蓋８８が装着されている。閉塞蓋８８には複数のガス流出路８８ａが形成されている。真空紫外光発生室室Ａ内部には上下方向に延びる放電用電極部材８３，８３が配置されており、放電用電極部材８３，８３の上部は外壁８１を貫通して上方に突出している。
図１２において、外壁８１の対向して配置された一対の側壁には試料貫通口８１ａ，８１ａが形成されている。図１２において試料支持部材７１はシート状の試料Ｓをガイドするエンドレスの試料ガイドベルト７１ａと、前記試料ガイドベルト７１ａを回転可能に支持する複数のベルト支持ロール７１ｂとを有している。試料ガイドベルト７１ａは前記一対の試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通して真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って配置されている。
前記ガス流入路８２ａから前記角筒室（Ａ１）に流入したＡｒガスは、前記一対の試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通する試料ガイドベルト７１ａと前記試料貫通口８１ａ，８１ａとの間の隙間、および前記ガス流出路８８ａを通って外部に流出可能である。
【００６２】
図１１、図１２において、繰り出しロール７２に巻き付けられたシート状の試料Ｓは、前記試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通し、真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って、巻取ロール７３に巻き取られるように配置されている。前記シート状の試料Ｓは、洗浄される表面の反対側の面が前記試料ガイドベルト７１ａに接触した状態で前記真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って搬送される。
前記試料貫通口８１ａ，８１ａを貫通し前記真空紫外光発生室Ａの角筒室Ａ１を横切って搬送されるシート状の試料Ｓは、放電電極部１７ａに対向する表面が真空紫外光に照射されて洗浄される。
なお、前記図１０に示す実施例６において試料搬送ベルト６１ａを省略できたと同様に、この図１１、図１２に示す実施例７においても、試料ガイドベルト７１ａを省略可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（Ｈ01）Ａｒ（アルゴン）以外のエキシマガスを使用可能である。
（Ｈ02）本発明の真空紫外光照射装置は試料洗浄装置以外に、試料表面改質装置にも適用可能である。
（Ｈ03）真空紫外光照射装置の試料装着口に試料支持部材を接近させる構成としては、真空紫外光照射装置を移動させて試料装着口を試料支持部材に接近させる構成や、試料支持部材を移動させて真空紫外光照射装置の試料装着口にに接近させる構成を採用することが可能である。
（Ｈ04）前記各実施例では試料Ｓは試料支持部材の上面に突出状態で支持されているが、試料支持部材の上面に試料収容凹部を形成し、前記試料収容凹部に洗浄用の試料を配置することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例１の説明図で、図１Ａは真空紫外光照射装置の側断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
【図２】図２は前記実施例１の真空紫外光照射装置の作用説明図である。
【図３】図３は前記実施例１の真空紫外光照射装置Ｕの試料支持部材２１のテーブル２１ａ上面に、前記図２とは異なる形状の試料Ｓを配置して洗浄する場合を示す図である。
【図４】図４は本発明の真空紫外光照射装置の実施例２の説明図である。
【図５】図５は本発明の真空紫外光照射装置の実施例３および実施例３の変更例の説明図で、図５Ａは実施例３の説明図、図５Ｂは前記実施例３の変更例の説明図である。
【図６】図６は前記図５ＡのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図７は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、図７Ａは試料支持部材が試料装着口の下方に配置されている状態を示す図、図７Ｂは前記図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線から見た図である。
【図８】図８は本発明の真空紫外光照射装置の実施例４の説明図で、試料支持部材が試料装着口に隣接する位置（試料洗浄位置）に配置されている状態を示す図である。
【図９】図９は本発明の真空紫外光照射装置の実施例５の説明図である。
【図１０】図１０は本発明の真空紫外光照射装置の実施例６の説明図である。
【図１１】図１１は本発明の真空紫外光照射装置の実施例７の説明図である。
【図１２】図１２は前記図１１のＸII−ＸII線断面の要部を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
Ａ…真空紫外光発生室、
Ａ１ａ…ガス流出路、
１ａ，８１ａ…試料装着口、
１６，８３…放電用電極、
１９ａ，８２ａ…ガス流入路、
２１，３１，４１，８６，５１，６１，７１…試料支持部材、
４１…回転プレート、
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ05）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する閉塞位置と前記試料装着口を開放する開放位置との間で移動可能に支持され、前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路を通って真空紫外光発生室の外部に流れるように構成された試料支持部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ06）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する状態で前記試料装着口を横切って移動可能に支持された試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路を通って真空紫外光発生室の外部に流れるように構成された試料支持部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ07）を備えた請求項２記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ07）長手方向に搬送される帯状部材により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材。
【請求項４】
下記の構成要件（Ａ08）を備えた請求項２記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ08）回転プレートにより構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材。
【請求項５】
下記の構成要件（Ａ09）を備えた請求項２ないし４のいずれか記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ09）前記試料装着口を横切って移動可能に支持された試料支持部が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置に試料支持部が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材。
【請求項６】
下記の構成要件（Ａ010）を備えた請求項２ないし５のいずれか記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ010）試料が収容される試料収容凹部が形成された前記試料支持部。
【請求項７】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ011）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成するとともに前記試料装着口を横切って配置された試料支持部材であって、シート状試料を支持する前記試料支持部材。
【請求項８】
下記の構成要件（Ａ012）を備えた請求項７記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ012）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する閉塞位置と前記試料装着口を開放する開放位置との間で前記シート状試料を移動可能に支持する前記試料支持部材。
【請求項９】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ013）シート状試料が前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する状態で前記試料装着口を横切って移動するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材。
【請求項１０】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ014）前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させるガス流出路、
（Ａ015）前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路に流れる真空紫外光発生室内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置をシート状試料が通過するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材。
【請求項１１】
下記の構成要件（Ａ016）を備えた請求項９または１０記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ016）前記シート状試料が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置にシート状試料が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材。
【請求項１２】
次の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ｂ01）内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室、
（Ｂ02）前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路、
（Ｂ03）前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させるガス流出路、
（Ｂ04）前記真空紫外光発生室内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材。
【請求項１３】
次の構成要件（Ｂ05）を備えた請求項１２記載の真空紫外光照射装置、
（Ｂ05）シート状の試料が前記真空紫外光発生室内を横切って移動するように前記シート状試料を支持する前記試料支持部材。
【請求項１４】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室内にガス流入路から真空紫外光発生用ガスを流入させ且つ前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させながら前記放電用電極を放電させて真空紫外光を発生させ、前記真空紫外光発生室内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置した試料に真空紫外光を照射して試料洗浄を行う真空紫外光照射方法。
【請求項１５】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材の試料支持部に支持した試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した試料支持部材の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【請求項１６】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、ガス噴出口を有し且つ前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋と、前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材に支持された試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋の前記ガス噴出口から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料を支持する前記試料支持部材を前記開閉蓋に接近させてから、前記開閉蓋を前記開放位置に移動させ、次に前記試料支持部材を前記閉塞位置に移動させた状態で前記試料を支持する前記試料支持部材表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄することを特徴とする真空紫外光照射方法。
【請求項１７】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、前記試料装着口を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持し且つ前記試料装着口を横切って移動する前記シート状試料と前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置により、前記シート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記試料装着口を横切って移動するシート状試料表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【請求項１８】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させるガス流出路と、前記真空紫外光発生室の内部を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記シート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記真空紫外光発生室内部を横切って移動するシート状試料表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路から流出させながら前記シート状試料表面に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ05）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する閉塞位置と前記試料装着口を開放する開放位置との間で移動可能に支持され、前記閉塞位置に移動した状態で前記真空紫外光が照射される試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路を通って真空紫外光発生室の外部に流れるように構成された試料支持部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ06）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ06）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する状態で前記試料装着口を横切って移動可能に支持された試料支持部を有し且つ前記真空紫外光発生用ガスが前記試料支持部から前記ガス流出路を通って真空紫外光発生室の外部に流れるように構成された試料支持部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ07）を備えた請求項２記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ07）長手方向に搬送される帯状部材により構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材。
【請求項４】
下記の構成要件（Ａ08）を備えた請求項２記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ08）回転プレートにより構成され且つ上面が試料支持部として使用される前記試料支持部材。
【請求項５】
下記の構成要件（Ａ09）を備えた請求項２ないし４のいずれか記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ09）前記試料装着口を横切って移動可能に支持された試料支持部が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置に試料支持部が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材。
【請求項６】
下記の構成要件（Ａ010）を備えた請求項２ないし５のいずれか記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ010）試料が収容される試料収容凹部が形成された前記試料支持部。
【請求項７】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ011）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ011）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成するとともに前記試料装着口を横切って配置された試料支持部材であって、シート状試料を支持する前記試料支持部材。
【請求項８】
下記の構成要件（Ａ012）を備えた請求項７記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ012）前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する閉塞位置と前記試料装着口を開放する開放位置との間で前記シート状試料を移動可能に支持する前記試料支持部材。
【請求項９】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ013）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ04）前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に形成され、前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させる試料装着口、
（Ａ013）シート状試料が前記試料装着口の一部分を閉塞し且つ前記試料装着口の外端縁との間にガス流出路を形成する状態で前記試料装着口を横切って移動するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材。
【請求項１０】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ014），（Ａ015）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ａ01）試料洗浄用の真空紫外光を発生する真空紫外光発生室、
（Ａ02）真空紫外光発生室内に配置された真空紫外光発生用の放電用電極、
（Ａ03）前記放電用電極が放電したときに真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室内に流入させるガス流入路、
（Ａ014）前記真空紫外光発生室内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させるガス流出路、
（Ａ015）前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生ガスが前記ガス流出路に流れる真空紫外光発生室内のガス流路中で且つ前記真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置をシート状試料が通過するように前記シート状試料を移動可能に支持する試料支持部材。
【請求項１１】
下記の構成要件（Ａ016）を備えた請求項９または１０記載の真空紫外光照射装置、
（Ａ016）前記シート状試料が前記真空紫外光照射位置に移動するのに伴って大気が前記真空紫外光照射位置に進入するのを防止するために、前記真空紫外光照射位置にシート状試料が進入する部分に真空紫外光発生用ガスまたは使用する真空紫外光を吸収しないガスを流して気流カーテンを形成する気流カーテン形成部材。
【請求項１２】
次の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた真空紫外光照射装置、
（Ｂ01）内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室、
（Ｂ02）前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路、
（Ｂ03）前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させるガス流出路、
（Ｂ04）前記真空紫外光発生室内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材。
【請求項１３】
次の構成要件（Ｂ05）を備えた請求項１２記載の真空紫外光照射装置、
（Ｂ05）シート状の試料が前記真空紫外光発生室内を横切って移動するように前記シート状試料を支持する前記試料支持部材。
【請求項１４】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室内にガス流入路から真空紫外光発生用ガスを流入させ且つ前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室から流出させながら前記放電用電極を放電させて真空紫外光を発生させ、前記真空紫外光発生室内の真空紫外光発生用ガスの流路中で且つ真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置に配置した試料に真空紫外光を照射して試料洗浄を行う真空紫外光照射方法。
【請求項１５】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材の試料支持部に支持した試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した試料支持部材の試料支持部に試料を支持し、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを前記試料周辺を流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料に真空紫外光を照射して試料表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【請求項１６】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、ガス噴出口を有し且つ前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能な開閉蓋と、前記試料装着口を閉塞する閉塞位置と開放する開放位置との間で移動可能で前記閉塞位置に移動した状態で前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間を形成する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記試料支持部材に支持された試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記閉塞位置に移動した前記開閉蓋の前記ガス噴出口から真空紫外光発生用ガスを噴出させながら前記試料を支持する前記試料支持部材を前記開閉蓋に接近させてから、前記開閉蓋を前記開放位置に移動させ、次に前記試料支持部材を前記閉塞位置に移動させた状態で前記試料を支持する前記試料支持部材表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記試料表面に真空紫外光を照射して試料の表面を洗浄することを特徴とする真空紫外光照射方法。
【請求項１７】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させる試料装着口と、前記試料装着口を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持し且つ前記試料装着口を横切って移動する前記シート状試料と前記試料装着口の周縁との間にガス流出路となる隙間が形成されるように構成された真空紫外光照射装置により、前記シート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記試料装着口を横切って移動するシート状試料表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記隙間から流出させながら前記シート状試料に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【請求項１８】
内部に真空紫外光発生用の放電用電極が配置された真空紫外光発生室と、前記真空紫外光発生室内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路と、前記真空紫外光発生用ガスを前記真空紫外光発生室から流出させるガス流出路と、前記真空紫外光発生室の内部を横切る方向にシート状試料を移動可能に支持する試料支持部材とを有する真空紫外光照射装置により、前記シート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法において、前記真空紫外光発生室内部を横切って移動するシート状試料表面に沿って、前記ガス流入路から流入した真空紫外光発生用ガスを流れさせた後に前記ガス流出路から流出させながら前記シート状試料表面に真空紫外光を照射してシート状試料の表面を洗浄する真空紫外光照射方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００６−１０２７００（Ｐ２００６−１０２７００Ａ）
【公開日】平成１８年４月２０日（２００６．４．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２９５４５５（Ｐ２００４−２９５４５５）
【出願日】平成１６年１０月７日（２００４．１０．７）
【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）国等の委託研究の成果に係る特許出願（平成１５年度、経済産業省、真空紫外光を用いた小型汎用洗浄装置の開発の委託研究、産業再生法第３０条の適用をうけるもの）
【出願人】（５０５０８８９８３）株式会社ＮＴＰ (5)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年４月２０日（２００６．４．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１０月７日（２００４．１０．７）
【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）国等の委託研究の成果に係る特許出願（平成１５年度、経済産業省、真空紫外光を用いた小型汎用洗浄装置の開発の委託研究、産業再生法第３０条の適用をうけるもの）
【出願人】（５０５０８８９８３）株式会社ＮＴＰ (5)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]