着色感光性樹脂組成物
【課題】解像性および耐久性のよいパターンを得ることができる着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】以下の（Ａ）から（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。（Ａ）着色剤（Ｂ）樹脂（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物（Ｄ）式（１）で表される化合物（Ｅ）溶剤
【解決手段】以下の（Ａ）から（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。（Ａ）着色剤（Ｂ）樹脂（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物（Ｄ）式（１）で表される化合物（Ｅ）溶剤
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル、電子ペーパーなどの表示装置に使用されるカラーフィルターは、着色感光性樹脂組成物を用いて製造される。このような着色感光性樹脂組成物として特許文献１には、バインダー樹脂、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、溶剤、顔料、増感剤及び分散剤からなる着色感光性樹脂組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４１３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の着色感光性樹脂組成物では、得られるパターンの解像性および耐久性が必ずしも十分に満足できない場合があった。
【０００５】
本発明は、以下の［１］〜［７］を提供するものである。
［１］（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。
（Ａ）着色剤
（Ｂ）樹脂
（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物
（Ｄ）式（１）で表される化合物
（Ｅ）溶剤
［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基を表す。ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［２］（Ｄ）が、式（２）で表される化合物である［１］記載の着色感光性樹脂組成物。
［式（２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８およびＲ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［３］（Ｄ）が、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドである［１］記載の着色感光性樹脂組成物。
［４］（Ｃ）が、下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］
である［１］乃至［３］のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［５］（Ｃ）が、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートである［１］乃至［３］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［６］（Ｃ）が、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物である［１］乃至［３］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［７］重合開始剤をさらに含む［１］乃至［６］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［８］重合開始剤が、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物である［７］記載の着色感光性樹脂組成物。
［９］［１］乃至［８］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
［１０］［９］記載のパターンを含むカラーフィルター。
［１１］下記（１）〜（３）に示される工程を含むカラーフィルターの製造方法。
（１）［１］乃至［８］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【発明の効果】
【０００６】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、解像性および耐久性のよいパターンを得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる着色剤（A）は、顔料及び染料が挙げられるが、耐熱性、耐光性の点で、顔料を含むことが好ましい。
【０００８】
顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。
有機顔料としては、具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。
【０００９】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２４２、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８が好ましい。これらの顔料は、単独で又は２種以上を混合して用いてもよい。
【００１０】
前記顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。また、顔料は、粒径が均一であることが好ましい。顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
【００１１】
前記顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系などの界面活性剤などが挙げられる。前記界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などのほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、フローレン（共栄社化学（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＣＩＢＡ社製）、アジスパー（味の素ファインテクノ（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で又は２種以上を組合せて用いることができる。
【００１２】
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料に対して、好ましくは１００質量％以下であり、より好ましくは５〜５０質量％である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向にある。
【００１３】
着色剤（Ａ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは５〜６０質量％であり、より好ましくは５〜４５質量％である。着色剤（Ａ）の含有量が前記の範囲であると、所望する分光や色濃度を得ることができる。ここで、本明細書中における固形分とは、着色感光性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量のことをいう。
【００１４】
本発明の着色感光性組成物は、樹脂（Ｂ）を含む。
本発明の着色感光性組成物に用いられる樹脂（Ｂ）としては、アルカリ溶解性を示す樹脂であることが好ましい。ここで、アルカリ溶解性とは、アルカリ化合物の水溶液である現像液に溶解する性質のことをいう。
【００１５】
前記のアルカリ溶解性を示す樹脂としては、
樹脂（Ｂ−１）：不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種（ａ）（以下「（ａ）」という場合がある）と炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基を有する重合性化合物（ｂ）（以下「（ｂ）」という場合がある）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−２）：（ａ）及び（ｂ）と共重合可能な単量体（ｃ）（ただし、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基は有さない。）（以下「（ｃ）」という場合がある）と、（ａ）と（ｂ）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−３）：（ａ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−４）：（ａ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体に（ｂ）を反応させて得られる樹脂
樹脂（Ｂ−５）：（ｂ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体に（ａ）を反応させて得られる樹脂等が挙げられる。
【００１６】
（ａ）としては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ｏ−ビニル安息香酸、ｍ−ビニル安息香酸、ｐ−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３‐ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１、４−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類；
メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類；
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）等の不飽和ジカルボン酸類無水物；
【００１７】
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が共重合反応性の点やアルカリ溶解性の点から好ましく用いられる。
ここで、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も同様の意味を有する。
【００１８】
（ｂ）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基（例えば、オキシラン環、オキセタン環およびテトラヒドロフラン環（オキソラン環）からなる群から選ばれる少なくとも１種の環状エーテルに由来する基）を有する重合性化合物をいう。（ｂ）は、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。
【００１９】
（ｂ）としては、例えば、オキシラニル基を有する単量体（ｂ１）（以下「（ｂ１）」という場合がある）、オキセタニル基を有する単量体（ｂ２）（以下「（ｂ２）」という場合がある）、テトラヒドロフリル基を有する単量体（ｂ３）（以下「（ｂ３）」という場合がある）などが挙げられる。
【００２０】
オキシラニル基を有する単量体（ｂ１）とは、オキシラニル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ１）としては、例えば、鎖式オレフィンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ１−１）（以下「（ｂ１−１）」という場合がある）、シクロアルケンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ１−２）（以下「（ｂ１−２）」という場合がある）が挙げられる。
（ｂ１）としては、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、オキシラニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基を有する（ｂ１−２）がさらに好ましい。
【００２１】
（ｂ１−１）としては、具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、特開平７−２４８６２５号公報に記載される化合物等が挙げられる。
【００２２】
（ｂ１−２）としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）、式（Ｉ）で表される化合物、式（ＩＩ）で表される化合物等が挙げられる。
【００２３】
【化１】
【００２４】
［式（Ｉ）及び式（ＩＩ）において、Ｒ１１及びＲ１２は、互いに独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｘ１及びＸ２は、互いに独立に、単結合、−Ｒ１３−、＊−Ｒ１３−Ｏ−、＊−Ｒ１３−Ｓ−又は＊−Ｒ１３−ＮＨ−を表す。
Ｒ１３は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
＊は、Ｏとの結合手を表す。］
【００２５】
炭素数１〜４のアルキル基としては、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等が挙げられる。
ヒドロキシアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、３−ヒドロキシプロピル基、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、２−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、１−ヒドロキシブチル基、２−ヒドロキシブチル基、３−ヒドロキシブチル基、４−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Ｒ１１及びＲ１２としては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
【００２６】
炭素数１〜６のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基等が挙げられる。
Ｘ１及びＸ２としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、＊−ＣＨ２−Ｏ−（＊はＯとの結合手を表す）基、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられ、より好ましくは単結合、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられる。
【００２７】
式（Ｉ）で表される化合物としては、式（Ｉ−１）〜式（Ｉ−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−３）、式（Ｉ−５）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１１）〜式（Ｉ−１５）が挙げられる。より好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１５）が挙げられる。
【００２８】
【化２】
【００２９】
式（ＩＩ）で表される化合物としては、式（ＩＩ−１）〜式（ＩＩ−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−３）、式（ＩＩ−５）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）、式（ＩＩ−１１）〜式（ＩＩ−１５）が挙げられる。
より好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）、式（ＩＩ−１５）が挙げられる。
【００３０】
【化３】
【００３１】
式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（Ｉ）：式（ＩＩ）で、５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００３２】
オキセタニル基を有する単量体（ｂ２）とは、オキセタニル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ２）としては、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、オキセタニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。（ｂ２）としては、例えば、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００３３】
テトラヒドロフリル基を有する単量体（ｂ３）とは、テトラヒドロフリル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ３）としては、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和二重結合とを有する単量体であることが好ましく、テトラヒドロフリル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。
（ｂ３）としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００３４】
（ｃ）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている。
）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
【００３５】
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリール又はアラルキルエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００３６】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【００３７】
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
【００３８】
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、ベンジル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートが、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
【００３９】
樹脂（Ｂ−１）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−１）を構成する構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；５〜６０モル％（より好ましくは１０〜５０モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；４０〜９５モル％（より好ましくは５０〜９０モル％）
樹脂（Ｂ−１）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−１）としては、（ｂ）が（ｂ１）である樹脂が好ましく、（ｂ）が（ｂ１−２）である樹脂がより好ましい。
【００４０】
樹脂（Ｂ−１）は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【００４１】
具体的には、（ａ）及び（ｂ）の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素で、攪拌、加熱、保温する方法が例示される。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等）や有機過酸化物（ベンゾイルペルオキシド等）が挙げられ、溶剤としては、各単量体を溶解するものであればよく、着色感光性組成物の溶剤として後述する溶剤等を用いることができる。
【００４２】
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤（Ｅ）と同一の溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。
【００４３】
樹脂（Ｂ−２）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−２）を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；２〜４０モル％（より好ましくは５〜３５モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；２〜９５モル％（より好ましくは５〜８０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは１〜６０モル％）
樹脂（Ｂ−２）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−２）としては、（ｂ）が（ｂ１）である樹脂が好ましく、（ｂ）が（ｂ１−２）である樹脂がより好ましい。
樹脂（Ｂ−２）は、樹脂（Ｂ−１）と同様の方法により製造することができる。
【００４４】
樹脂（Ｂ−３）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−３）を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；２〜４０モル％（より好ましくは５〜３５モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；６０〜９８モル％（より好ましくは６５〜９５モル％）
樹脂（Ｂ−３）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−３）は、樹脂（Ｂ−１）と同様の方法により製造することができる。
【００４５】
樹脂（Ｂ−４）及び樹脂（Ｂ−５）は、例えば、二段階の工程を経て製造することができる。この場合も、上述した文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法、特開２００１−８９５３３号公報に記載された方法等を参考にして製造することができる。
【００４６】
樹脂（Ｂ−４）は、まず、第一段階として、上述した樹脂（Ｂ−１）の製造方法と同様にして、（ａ）と（ｃ）との共重合体を得る。
この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ａ）及び（ｃ）に由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；５〜５０モル％（より好ましくは１０〜４５モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；５０〜９５モル％（より好ましくは５５〜９０モル％）
【００４７】
次に、第二段階として、得られた共重合体に由来する（ａ）のカルボン酸及びカルボン酸無水物の一部を、（ｂ）の環状エーテルに由来する基と反応させる。環状エーテルに由来する基の反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
具体的には、上記に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（ａ）のモル数に対して、５〜８０モル％の（ｂ）、カルボキシ基と環状エーテルとの反応触媒（例えばトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等）を（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％、及び重合禁止剤（例えばハイドロキノン等）を（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％をフラスコ内に入れて、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応させ、樹脂（Ａ−４）を得ることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
また、この場合、（ｂ）のモル数は、（ａ）のモル数に対して、１０〜７５モル％とすることが好ましく、より好ましくは１５〜７０モル％である。（ｂ）のモル数をこの範囲とすることにより、保存安定性、耐溶剤性及び耐熱性のバランスが良好になる傾向がある。
【００４８】
樹脂（Ｂ−４）の具体例としては、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４９】
クロトン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５０】
マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５１】
（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５２】
（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５３】
クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５４】
マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５５】
（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂等が挙げられる。
【００５６】
樹脂（Ｂ−５）は、第一段階として、上述した樹脂（Ｂ−１）の製造方法と同様にして、（ｂ）と（ｃ）との共重合体を得る。
この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ｂ）及び（ｃ）に由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ｂ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
【００５７】
さらに、樹脂（Ｂ−４）の製造方法と同様にして、（ｂ）と（ｃ）との共重合体中の（ｂ）に由来する環状エーテルに、（ａ）が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより得ることができる。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、さらにカルボン酸無水物を反応させてもよい。
前記の共重合体に反応させる（ａ）の使用量は、（ｂ）のモル数に対して５〜８０モル％であることが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００５８】
樹脂（Ｂ−５）の具体例としては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂；
【００５９】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂；
【００６０】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂；
【００６１】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂；
【００６２】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂；
【００６３】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂；
【００６４】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂；
【００６５】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂等が挙げられる。
【００６６】
樹脂（Ｂ）のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１００，０００、より好ましくは５，０００〜５０，０００である。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非露光部の抜け性が良好である傾向にある。
【００６７】
樹脂（Ｂ）の分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、好ましくは１．１〜６．０であり、より好ましくは１．２〜４．０である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れる傾向がある。
【００６８】
樹脂（Ｂ）の酸価は、好ましくは２０〜１５０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ、特に好ましくは７０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。ここで酸価は樹脂（Ｂ）１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００６９】
樹脂（Ｂ）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量に対して、好ましくは５〜９５質量％、より好ましくは２０〜８０質量％であり、特に好ましくは４０〜６０質量％である。樹脂（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、現像性、密着性、硬化されたパターンの耐溶剤性、機械特性が良好になる傾向がある。
【００７０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物（Ｃ）を含む。光重合性化合物（Ｃ）は、化合物（Ｄ）から発生した活性ラジカル及び酸等によって重合しうる化合物であれば、単一種であっても、複数種の混合物であってもよい。なお、光重合性化合物（Ｃ）が、単一種の化合物からなる場合、該化合物の分子内にあるエチレン性不飽和結合数が、光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数に該当する。一方、光重合性化合物（Ｃ）が、複数種からなる混合物である場合、該混合物中の各化合物の量比から算出した平均値が、光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数に該当する。
【００７１】
光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数は、７以上であれば特に制限されないが、好ましくは７〜２５であり、より好ましくは８〜２０であり、特に好ましくは８〜１８である。前記の範囲にあると、硬化性が良好になる傾向がある。
【００７２】
光重合性化合物（Ｃ）の重量平均分子量は、好ましくは３００〜９０００、より好ましくは５００〜７０００以下、特に好ましくは ７００〜５０００以下である。前記の範囲にあると、現像性が良好になる傾向がある。また重量平均分子量の測定方法は、ＧＰＣ法等があげられる。
【００７３】
光重合性化合物（Ｃ）は、例えばポリオール類とアクリル酸との縮合反応により得られるようなポリエーテルアクリレート化合物があげられる。
【００７４】
光重合性化合物（Ｃ）としては、例えば下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］、
トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、テトラペンタエリスリトールデカアクリレート、テトラペンタエリスリトールノナアクリレートなどが挙げられる。光重合性化合物（Ｃ）としては、Ｖ＃８０２（大阪有機化学工業（株）製）等の市販品も挙げることができる。
【００７５】
また、光重合性化合物（Ｃ）としては、例えば一般式（ＩＩＩ）で表される化合物をカチオン重合して得られる化合物が挙げられる。カチオン重合には特開２００６−２４１１８９号公報に記載されたリビングカチオン重合も含まれる。このとき、前記一般式（ＩＩＩ）で表されるビニル系単量体は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。後者の場合、得られる共重合体は、ランダム共重合体、交互共重合体、周期的共重合体、ブロック共重合体又はその組合せのいずれであってもよい。また、グラフト共重合体であってもよい。
【００７６】
【化４】
【００７７】
［式中、Ｒ２１は炭素数２〜８のアルキレン基、Ｒ２２は水素原子又はメチル基、ｍは正の整数を表す。ｍが２以上の場合、複数のＲ２１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００７８】
前記式（ＩＩＩ）において、Ｒ２1で表される炭素数２〜８のアルキレン基としては、例えば、エチレン基、トリメチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、ヘプタメチレン基、オクタメチレン基、シクロヘキシレン基、１，４−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，３−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，２−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，４−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基、１，３−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基、１，２−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基等が挙げられる。
【００７９】
前記式（ＩＩＩ）において、ｍは正の整数であり、好ましくは１〜２０の整数、より好ましくは１〜１０の整数、さらに好ましくは１〜５の整数である。
【００８０】
前記式（ＩＩＩ）で表されるビニル系単量体の具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸１−メチル−３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−メチル−３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１，１−ジメチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロポキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロポキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−［２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エトキシ］エチル、（メタ）アクリル酸２−［２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝エトキシ］エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−［２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エトキシ］エトキシ）エチル；等が挙げられる。
これらのビニル系単量体のうち、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エチルが好適である。
【００８１】
光重合性化合物（Ｃ）としては、具体的には例えば（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物が挙げられる。
【００８２】
光重合性化合物（Ｃ）の酸価は、２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満であれば、特に制限されないが、好ましくは０．００１〜２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは０．００１〜５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。ここで酸価は光重合性化合物（Ｃ）１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００８３】
光重合性化合物（Ｃ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、５〜５０質量％が好ましく、１０〜４５質量％がより好ましい。また、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量に対して、好ましくは２０〜８０質量％、より好ましくは４０〜６０質量％である。光重合性化合物（Ｃ）の含有量が、前記の範囲にあると、パターンの強度や耐溶剤性、機械特性が良好になる傾向がある。
【００８４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、化合物（Ｄ）を含む。化合物（Ｄ）は、光の作用により活性ラジカル及び酸等を発生し、重合性化合物の重合を開始する重合開始剤である。
化合物（Ｄ）は、式（ＩＶ−１）で表され、好ましくは式（ＩＶ−２）で表される。
【００８５】
化合物（Ｄ）は、具体的に言えば、ビス（２、６−ジメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）（２，５−ジメチルフェニル）ホスフィンオキサイドおよびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。その中でも式（ＩＶ−３）で表されるビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドが特に好ましい。イルガキュア８１９（チバ・ジャパン社製）等の市販品を用いてもよい。
【００８６】
【化５】
［式（ＩＶ−１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基、ｌ、ｍおよびnは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。nが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００８７】
【化６】
［式（ＩＶ−２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８および、Ｒ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００８８】
【化７】
【００８９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに重合開始剤（Ｄ１）を含んでも良い。重合開始剤（Ｄ１）としては、公知の重合開始剤を用いることができ、ビイミダゾール化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、オキシム化合物が挙げられ、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物が好ましい。また、特開２００８−１８１０８７号公報に記載された光カチオン重合開始剤（例えば、オニウムカチオンとルイス酸由来のアニオンとから構成されているもの）を用いてもよい。本発明の着色感光性樹脂組成物が、重合開始剤（Ｄ１）を含む場合、重合開始剤（Ｄ１）の含有量が、ＤとＤ１の合計量に対して、５０質量％以下となることが好ましい。
【００９０】
前記のビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等参照。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等参照。）等が挙げられる。好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００９１】
前記のアルキルフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−（４−メチルフェニルメチル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−（４−イソプロペニルフェニル）プロパン−１−オンのオリゴマー等が挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン等が挙げられる。イルガキュア３６９、９０７（以上、ＢＡＳＦジャパン社製）等の市販品を用いてもよい。
【００９２】
前記のトリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシスチリル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【００９３】
前記のオキシム化合物としては、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）ブタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン等が挙げられる。イルガキュアＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２（以上、ＢＡＳＦジャパン社製）、Ｎ−１９１９（ＡＤＥＫＡ社製）等の市販品を用いてもよい。
【００９４】
重合開始剤（Ｄ１）としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物；ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；９，１０−フェナンスレンキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物；１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤（Ｄ２）（特にアミン類）と組み合わせて用いることが好ましい。
【００９５】
さらに重合開始助剤（Ｄ２）が含まれていてもよい。重合開始助剤（Ｄ２）は、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）と組み合わせて用いられ、重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。
重合開始助剤（Ｄ２）としては、アミン化合物、チアゾリン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物等が挙げられる。
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【００９６】
チアゾリン化合物としては、式（Ｖ−１）〜式（Ｖ−３）で表される化合物等が挙げられる。
【００９７】
【化８】
【００９８】
アルコキシアントラセン化合物としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。
【００９９】
チオキサントン化合物としては、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【０１００】
カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
【０１０１】
化合物（Ｄ）および重合開始剤（Ｄ１）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、化合物（Ｄ）および重合開始剤（Ｄ１）の合計量で好ましくは０．１〜４０質量部、より好ましくは１〜３０質量部である。化合物（Ｄ）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．０５〜４０質量部、より好ましくは０．５〜３０質量部である。化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）の合計量がこの範囲にあると、高感度でパターンを形成することができ、パターンの耐薬品性、機械強度、表面平滑性が良好になる傾向がある。
【０１０２】
重合開始助剤（Ｄ２）を用いる場合、その使用量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜５０質量部、より好ましくは０．１〜４０質量部である。また、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。重合開始助剤（Ｄ２）の量がこの範囲にあると、さらに高感度でパターンを形成することができ、パターンの生産性が向上する傾向にある。
【０１０３】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに多官能チオール化合物（Ｔ）を含有していてもよい。この多官能チオール化合物（Ｔ）は、分子内に２個以上のスルファニル基を有する化合物である。なかでも、脂肪族炭化水素基に隣接するスルファニル基を２個以上有する化合物を用いると、高感度でパターンを形成することができるため好ましい。
【０１０４】
多官能チオール化合物（Ｔ）としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ビス（メチルスルファニル）ベンゼン、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルアセテート）、エチレングリコールビス（３−スルファニルアセテート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルアセテート）、トリスヒドロキシエチルトリス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルブチレート）、１，４−ビス（３−スルファニルブチルオキシ）ブタン等が挙げられる。
【０１０５】
多官能チオール化合物（Ｔ）の含有量は、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）１００質量部に対して、好ましくは０．５〜２０質量部、より好ましくは１〜１５質量部である。多官能チオール化合物（Ｔ）の含有量がこの範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。
【０１０６】
溶剤（Ｅ）は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤（−ＣＯＯ−を含む溶剤）、エステル溶剤以外のエーテル溶剤（−Ｏ−を含む溶剤）、エーテルエステル溶剤（−ＣＯＯ−と−Ｏ−とを含む溶剤）、エステル溶剤以外のケトン溶剤（−ＣＯ−を含む溶剤）、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。これらの溶剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１０７】
エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、２−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【０１０８】
エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、３−メトキシ−１−ブタノール、３−メトキシ−３−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
【０１０９】
エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
【０１１０】
ケトン溶剤としては、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロンなどが挙げられる。
【０１１１】
アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
【０１１２】
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
【０１１３】
アミド溶剤としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。
【０１１４】
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、１ａｔｍにおける沸点が１２０℃以上１８０℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が好ましい。
【０１１５】
溶剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、好ましくは６０〜９５質量％であり、より好ましくは７０〜９０質量％である。言い換えると、着色感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは５〜４０質量％であり、より好ましくは１０〜３０質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１１６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤（Ｆ）を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。界面活性剤を含むことで、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１１７】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（商品名：東レ・ダウコーニング（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【０１１８】
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、フロリナート（登録商標）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（登録商標）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、サーフロン（登録商標）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）等が挙げられる。
【０１１９】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。好ましくはメガファック（登録商標）Ｆ４７５が挙げられる。
【０１２０】
界面活性剤（Ｆ）は、着色感光性樹脂組成物に対して、０．００１質量％以上０.２質量％以下であり、好ましくは０.００２質量％以上０．１質量％以下、より好ましくは０.０１質量％以上０．０５質量％以下である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができる。
【０１２１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の種々の添加剤を含んでもよい。
【０１２２】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。
まず、着色剤（Ａ）の顔料を予め溶剤（Ｅ）と混合し、顔料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤、樹脂（Ｂ）の一部又は全部を配合してもよい。得られた顔料分散液に、樹脂（Ｂ）の残り、光重合性化合物（Ｃ）及び化合物（Ｄ）、必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤を、所定の濃度となるように添加し、目的の着色感光性樹脂組成物を得ることができる。
【０１２３】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば下記（１）〜（３）の工程を経てカラーフィルタに加工される。
（１）本発明の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【０１２４】
パターンを得る方法としては、フォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフィ法が好ましい。フォトリソグラフィ法は、着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥し、フォトマスクを介して露光し、現像することによってパターンを得る方法である。
【０１２５】
前記基板としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック等が挙げられ、板状であっても、フィルム状であってもよい。
プラスチックとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ノルボルネン系ポリマー等のポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、セルロースエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンオキシド等が挙げられる。ここで、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種のことをいう。これらの基板には、カラーフィルター、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等の構造体が形成されていてもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、より低温で硬化されたパターンを形成できることから、プラスチック基板にパターンを形成する際に特に有用である。
【０１２６】
基板への塗布方法としては、例えば、押し出しコーティング法、ダイレクトグラビアコーティング法、リバースグラビアコーティング法、ＣＡＰコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。また、ディップコーター、ロールコーター、バーコーター、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、インクジェット等の塗布装置を用いて塗布してもよい。なかでも、スリットコーター、スピンコーター、ロールコーター等を用いて塗布することが好ましい。
【０１２７】
基板に塗布した膜の乾燥方法としては、例えば、加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥等の方法が挙げられる。複数の方法を組み合わせて行ってもよい。
乾燥温度としては、１０〜１２０℃が好ましく、２５〜１００℃がより好ましい。また加熱時間としては、１０秒間〜６０分間であることが好ましく、３０秒間〜３０分間であることがより好ましい。
減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａの圧力下、２０〜２５℃の温度範囲で行うことが好ましい。
乾燥後の塗布膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜２０μｍであり、好ましくは１〜６μｍである。
【０１２８】
乾燥後の塗布膜は、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、露光する。この際のフォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
露光に用いられる光源としては、２５０〜４５０ｎｍの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、３５０ｎｍ未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、４３６ｎｍ付近、４０８ｎｍ付近、３６５ｎｍ付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、マスクと基材との正確な位置合わせを行ったりすることができるため、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用することが好ましい。
【０１２９】
露光後、塗布膜を現像液に接触させて所定部分、例えば、未露光部を溶解させ、現像することにより、パターンを得ることができる。現像液としては、有機溶剤を用いることもできるが、塗布膜の露光部が現像液によって溶解や膨潤しにくく、良好な形状のパターンを得ることができるため、アルカリ性化合物の水溶液を用いることが好ましい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
【０１３０】
前記アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等の無機アルカリ性化合物；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等の有機アルカリ性化合物が挙げられる。中でも、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３１】
前記アルカリ性化合物の水溶液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等のノニオン系界面活性剤；
ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤；
ステアリルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤等が挙げられる。
アルカリ性化合物の水溶液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、特に好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３２】
上記のように得られたパターンをさらにベークすることにより、硬化されたパターンを得ることができる。ベーク温度としては、２５℃以上２３０℃以下、好ましくは２５℃以上２００℃以下、より好ましくは２５℃以上１６０℃以下、さらに好ましくは２５℃以上１２０℃以下である。ベーク時間としては、１〜３００分、好ましくは１〜１８０分、より好ましくは１〜６０分である。
【実施例】
【０１３３】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する。例中の「％」及び「部」は、特記ない限り、質量％及び質量部である。
【０１３４】
以下の実施例で用いた（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）の光重合性化合物は、ＣＡＳ Ｎｏ．５５５９９−０４−７であり、下式で示される化合物が、ｘ＝２を５０部、ｘ＝３を１０部の割合で混合されたものである。
【０１３５】
合成例１
＜樹脂溶液Ｂ１の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却器、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０質量部を導入した。その後、窒素ガスをガス導入管を使ってフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液を１００℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート１８７．８質量部、メタクリル酸２３．８質量部、アゾビスイソブチロニトリル１．５質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０質量部からなる混合物を、滴下ロートを用いて２時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに１００℃で２．５時間撹拌を続けて、重量平均分子量Ｍｗは、２．３×１０４、固形分３４質量％、固形分酸価６９ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｂ１を得た。
【０１３６】
合成例２
＜樹脂溶液Ｂ２の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２４９．３ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした。１００℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート７９．３ｇ（０．４５モル）、メタクリル酸３８．７ｇ（０．４５モル）、ジシクロペンタニルメタクリレート（日立化成（株）製「ファンクリル（登録商標）ＦＡ−５１３Ｍ」）２２．０ｇ（０．１０モル）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１４０ｇからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート２１．３ｇ（０．１５モル）、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続けて、重量平均分子量Ｍｗは、３．２×１０４、固形分２９．３質量％、固形分酸価１０３．８ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｂ２を得た。
【０１３７】
合成例３
＜重合性化合物Ｃ１の合成＞
攪拌棒、温度計、滴下ライン、窒素／空気混合ガス導入管を取り付けた４つ口フラスコに酢酸エチル８０ｇを加え、２０℃まで昇温した。昇温後、エチレン性不飽和結合数が１６．６になるようアクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル（以下、ＶＥＥＡと言う）（（株）日本触媒製）２００ｇ、酢酸エチル１３ｇとリンタングステン酸１３ｍｇの混合溶解物をそれぞれ２時間かけて滴下しカチオン重合を行った。カチオン重合終了後はトリエチルアミンを加えて反応を終了した。
次いで、エバポレーターで濃縮した後、重合体Ｃ１を得た。単量体の反応率は、反応停止後の混合液をガスクロマトグラフィー（ＧＣ）で分析することにより、９９．１％であることが判明した。また、得られた重合体Ｃ１の重量平均分子量Ｍwは３，６００、酸価は０．０２ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであった。
【０１３８】
＜重量平均分子量＞
重量平均分子量の測定は、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置；Ｋ２４７９（（株）島津製作所製）
カラム；ＳＨＩＭＡＤＺＵ Ｓｈｉｍ−ｐａｃｋ ＧＰＣ−８０Ｍ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
流速；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器；ＲＩ
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量とした。
【０１３９】
実施例１
［着色感光性樹脂組成物１の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製） ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．１部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：シクロヘキサノン ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物１を得た。
【０１４０】
実施例２
［着色感光性樹脂組成物２の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物２を得た。
【０１４１】
実施例３
［着色感光性樹脂組成物３の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物３を得た。
【０１４２】
実施例４
［着色感光性樹脂組成物４の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物４を得た。
【０１４３】
実施例５
［着色感光性樹脂組成物５の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
2，4−トリクロロメチル−（ピペロニル）−6−トリアジン
（商品名：トリアジンＰＰ、みどり化学社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスシンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物５を得た。
【０１４４】
実施例６
［着色感光性樹脂組成物６の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ １２．４部
ポリエステル系顔料分散剤 ４．５部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ５２．３部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製） ２２．４部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．２部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） １．５部
溶剤： プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ７４部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物６を得た。
【０１４５】
実施例７
［着色感光性樹脂組成物７の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２ ６．４部
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７ ９．６部
ポリエステル系顔料分散剤 ６．６部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ４３．７部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）２０．７部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．１部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．１部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ２．１部
溶剤： プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ７８部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物７を得た。
【０１４６】
実施例８
［着色感光性樹脂組成物８の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８ １２．４部
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８ ３．９部
ポリエステル系顔料分散剤 ３．０部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５５部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ４４．５部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）２１．７部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．２部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） １．５部
溶剤：シクロヘキサノン ７９部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物８を得た。
【０１４７】
比較例１
［着色感光性樹脂組成物６の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製） ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：シクロヘキサノン ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物６を得た。
【０１４８】
＜耐溶剤性評価＞
耐久性評価として、パターンの溶剤に対する耐久性、すなわち耐溶剤性を評価した。
２インチ角のガラス板上にポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名：ルミラー７５−Ｔ６０、東レ製）を貼合した基板上に、着色感光性樹脂組成物１〜６をスピンコート法により塗布し、ホットプレート上、８０℃で２分間プリベークした。
放冷後、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％を含む水系現像液に、２３℃で５０秒間浸漬して現像し、純水純粋で洗浄した後、６０℃にて５分間加熱して、着色パターンを形成した。得られたパターンの膜厚は、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製）を用いて測定したところ、２μｍであった。
色度は、顕微分光測光装置（ＯＳＰ−ＳＰ２００ ＯＬＹＭＰＵＳ社製）を用いて測定した値である。なお、色度測定の光源には、Ｃ光源を用いた。
測定後の塗膜にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを１ｍｌ滴下し、パドルにて３０ｓ静止した後、１０００ｒｐｍの回転数にて１０ｓ振り切った。
その後、先に記載と同様の方法にて膜厚と色度を測定した。下記に記載の式にてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート接触測定前後の膜厚変化率を計算した。
膜厚保持率（％）＝接触後の膜厚 ／ 接触前の膜厚 × １００
また、JIS Z 8730およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート接触測定前後の色度から、色差を計算した。
膜厚保持率が高く、かつ色差が小さいほど耐溶剤性が良好となり、カラーフィルターを形成する際、混色を防ぐことができる。
【０１４９】
＜解像度評価＞
先に形成したパターンをレーザー顕微鏡（Ａｘｉｏ Ｉｍａｇｅｒ ＭＡＴ カールツァイス社製）にて観察し、解像している最小寸法を解像度とした。
解像度は、微細なパターンが形成できるほど、加工性に優れる。
【０１５０】
【表１】
【０１５１】
【表２】
【産業上の利用可能性】
【０１５２】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、優れた解像性および耐久性を有するパターンを得ることができる。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル、電子ペーパーなどの表示装置に使用されるカラーフィルターは、着色感光性樹脂組成物を用いて製造される。このような着色感光性樹脂組成物として特許文献１には、バインダー樹脂、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、溶剤、顔料、増感剤及び分散剤からなる着色感光性樹脂組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４１３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の着色感光性樹脂組成物では、得られるパターンの解像性および耐久性が必ずしも十分に満足できない場合があった。
【０００５】
本発明は、以下の［１］〜［７］を提供するものである。
［１］（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。
（Ａ）着色剤
（Ｂ）樹脂
（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物
（Ｄ）式（１）で表される化合物
（Ｅ）溶剤
［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基を表す。ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［２］（Ｄ）が、式（２）で表される化合物である［１］記載の着色感光性樹脂組成物。
［式（２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８およびＲ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［３］（Ｄ）が、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドである［１］記載の着色感光性樹脂組成物。
［４］（Ｃ）が、下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］
である［１］乃至［３］のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［５］（Ｃ）が、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートである［１］乃至［３］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［６］（Ｃ）が、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物である［１］乃至［３］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［７］重合開始剤をさらに含む［１］乃至［６］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
［８］重合開始剤が、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物である［７］記載の着色感光性樹脂組成物。
［９］［１］乃至［８］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
［１０］［９］記載のパターンを含むカラーフィルター。
［１１］下記（１）〜（３）に示される工程を含むカラーフィルターの製造方法。
（１）［１］乃至［８］いずれか記載の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【発明の効果】
【０００６】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、解像性および耐久性のよいパターンを得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる着色剤（A）は、顔料及び染料が挙げられるが、耐熱性、耐光性の点で、顔料を含むことが好ましい。
【０００８】
顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。
有機顔料としては、具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。
【０００９】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２４２、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８が好ましい。これらの顔料は、単独で又は２種以上を混合して用いてもよい。
【００１０】
前記顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。また、顔料は、粒径が均一であることが好ましい。顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
【００１１】
前記顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系などの界面活性剤などが挙げられる。前記界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などのほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、フローレン（共栄社化学（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＣＩＢＡ社製）、アジスパー（味の素ファインテクノ（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で又は２種以上を組合せて用いることができる。
【００１２】
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料に対して、好ましくは１００質量％以下であり、より好ましくは５〜５０質量％である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向にある。
【００１３】
着色剤（Ａ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは５〜６０質量％であり、より好ましくは５〜４５質量％である。着色剤（Ａ）の含有量が前記の範囲であると、所望する分光や色濃度を得ることができる。ここで、本明細書中における固形分とは、着色感光性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量のことをいう。
【００１４】
本発明の着色感光性組成物は、樹脂（Ｂ）を含む。
本発明の着色感光性組成物に用いられる樹脂（Ｂ）としては、アルカリ溶解性を示す樹脂であることが好ましい。ここで、アルカリ溶解性とは、アルカリ化合物の水溶液である現像液に溶解する性質のことをいう。
【００１５】
前記のアルカリ溶解性を示す樹脂としては、
樹脂（Ｂ−１）：不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種（ａ）（以下「（ａ）」という場合がある）と炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基を有する重合性化合物（ｂ）（以下「（ｂ）」という場合がある）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−２）：（ａ）及び（ｂ）と共重合可能な単量体（ｃ）（ただし、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基は有さない。）（以下「（ｃ）」という場合がある）と、（ａ）と（ｂ）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−３）：（ａ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体、
樹脂（Ｂ−４）：（ａ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体に（ｂ）を反応させて得られる樹脂
樹脂（Ｂ−５）：（ｂ）と（ｃ）とを重合してなる共重合体に（ａ）を反応させて得られる樹脂等が挙げられる。
【００１６】
（ａ）としては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ｏ−ビニル安息香酸、ｍ−ビニル安息香酸、ｐ−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３‐ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１、４−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類；
メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類；
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）等の不飽和ジカルボン酸類無水物；
【００１７】
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が共重合反応性の点やアルカリ溶解性の点から好ましく用いられる。
ここで、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も同様の意味を有する。
【００１８】
（ｂ）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基（例えば、オキシラン環、オキセタン環およびテトラヒドロフラン環（オキソラン環）からなる群から選ばれる少なくとも１種の環状エーテルに由来する基）を有する重合性化合物をいう。（ｂ）は、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、炭素数２〜４の環状エーテルに由来する基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。
【００１９】
（ｂ）としては、例えば、オキシラニル基を有する単量体（ｂ１）（以下「（ｂ１）」という場合がある）、オキセタニル基を有する単量体（ｂ２）（以下「（ｂ２）」という場合がある）、テトラヒドロフリル基を有する単量体（ｂ３）（以下「（ｂ３）」という場合がある）などが挙げられる。
【００２０】
オキシラニル基を有する単量体（ｂ１）とは、オキシラニル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ１）としては、例えば、鎖式オレフィンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ１−１）（以下「（ｂ１−１）」という場合がある）、シクロアルケンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ１−２）（以下「（ｂ１−２）」という場合がある）が挙げられる。
（ｂ１）としては、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、オキシラニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基を有する（ｂ１−２）がさらに好ましい。
【００２１】
（ｂ１−１）としては、具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、特開平７−２４８６２５号公報に記載される化合物等が挙げられる。
【００２２】
（ｂ１−２）としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）、式（Ｉ）で表される化合物、式（ＩＩ）で表される化合物等が挙げられる。
【００２３】
【化１】
【００２４】
［式（Ｉ）及び式（ＩＩ）において、Ｒ１１及びＲ１２は、互いに独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｘ１及びＸ２は、互いに独立に、単結合、−Ｒ１３−、＊−Ｒ１３−Ｏ−、＊−Ｒ１３−Ｓ−又は＊−Ｒ１３−ＮＨ−を表す。
Ｒ１３は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
＊は、Ｏとの結合手を表す。］
【００２５】
炭素数１〜４のアルキル基としては、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等が挙げられる。
ヒドロキシアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、３−ヒドロキシプロピル基、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、２−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、１−ヒドロキシブチル基、２−ヒドロキシブチル基、３−ヒドロキシブチル基、４−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Ｒ１１及びＲ１２としては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
【００２６】
炭素数１〜６のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基等が挙げられる。
Ｘ１及びＸ２としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、＊−ＣＨ２−Ｏ−（＊はＯとの結合手を表す）基、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられ、より好ましくは単結合、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられる。
【００２７】
式（Ｉ）で表される化合物としては、式（Ｉ−１）〜式（Ｉ−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−３）、式（Ｉ−５）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１１）〜式（Ｉ−１５）が挙げられる。より好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１５）が挙げられる。
【００２８】
【化２】
【００２９】
式（ＩＩ）で表される化合物としては、式（ＩＩ−１）〜式（ＩＩ−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−３）、式（ＩＩ−５）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）、式（ＩＩ−１１）〜式（ＩＩ−１５）が挙げられる。
より好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）、式（ＩＩ−１５）が挙げられる。
【００３０】
【化３】
【００３１】
式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（Ｉ）：式（ＩＩ）で、５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００３２】
オキセタニル基を有する単量体（ｂ２）とは、オキセタニル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ２）としては、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体であることが好ましく、オキセタニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。（ｂ２）としては、例えば、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００３３】
テトラヒドロフリル基を有する単量体（ｂ３）とは、テトラヒドロフリル基を有する重合性化合物を指す。（ｂ３）としては、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和二重結合とを有する単量体であることが好ましく、テトラヒドロフリル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。
（ｂ３）としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００３４】
（ｃ）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている。
）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
【００３５】
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリール又はアラルキルエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００３６】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【００３７】
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
【００３８】
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、ベンジル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートが、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
【００３９】
樹脂（Ｂ−１）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−１）を構成する構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；５〜６０モル％（より好ましくは１０〜５０モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；４０〜９５モル％（より好ましくは５０〜９０モル％）
樹脂（Ｂ−１）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−１）としては、（ｂ）が（ｂ１）である樹脂が好ましく、（ｂ）が（ｂ１−２）である樹脂がより好ましい。
【００４０】
樹脂（Ｂ−１）は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【００４１】
具体的には、（ａ）及び（ｂ）の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素で、攪拌、加熱、保温する方法が例示される。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等）や有機過酸化物（ベンゾイルペルオキシド等）が挙げられ、溶剤としては、各単量体を溶解するものであればよく、着色感光性組成物の溶剤として後述する溶剤等を用いることができる。
【００４２】
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤（Ｅ）と同一の溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。
【００４３】
樹脂（Ｂ−２）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−２）を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；２〜４０モル％（より好ましくは５〜３５モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；２〜９５モル％（より好ましくは５〜８０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは１〜６０モル％）
樹脂（Ｂ−２）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−２）としては、（ｂ）が（ｂ１）である樹脂が好ましく、（ｂ）が（ｂ１−２）である樹脂がより好ましい。
樹脂（Ｂ−２）は、樹脂（Ｂ−１）と同様の方法により製造することができる。
【００４４】
樹脂（Ｂ−３）において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂（Ｂ−３）を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；２〜４０モル％（より好ましくは５〜３５モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；６０〜９８モル％（より好ましくは６５〜９５モル％）
樹脂（Ｂ−３）の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
樹脂（Ｂ−３）は、樹脂（Ｂ−１）と同様の方法により製造することができる。
【００４５】
樹脂（Ｂ−４）及び樹脂（Ｂ−５）は、例えば、二段階の工程を経て製造することができる。この場合も、上述した文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法、特開２００１−８９５３３号公報に記載された方法等を参考にして製造することができる。
【００４６】
樹脂（Ｂ−４）は、まず、第一段階として、上述した樹脂（Ｂ−１）の製造方法と同様にして、（ａ）と（ｃ）との共重合体を得る。
この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ａ）及び（ｃ）に由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；５〜５０モル％（より好ましくは１０〜４５モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；５０〜９５モル％（より好ましくは５５〜９０モル％）
【００４７】
次に、第二段階として、得られた共重合体に由来する（ａ）のカルボン酸及びカルボン酸無水物の一部を、（ｂ）の環状エーテルに由来する基と反応させる。環状エーテルに由来する基の反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
具体的には、上記に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（ａ）のモル数に対して、５〜８０モル％の（ｂ）、カルボキシ基と環状エーテルとの反応触媒（例えばトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等）を（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％、及び重合禁止剤（例えばハイドロキノン等）を（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％をフラスコ内に入れて、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応させ、樹脂（Ａ−４）を得ることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
また、この場合、（ｂ）のモル数は、（ａ）のモル数に対して、１０〜７５モル％とすることが好ましく、より好ましくは１５〜７０モル％である。（ｂ）のモル数をこの範囲とすることにより、保存安定性、耐溶剤性及び耐熱性のバランスが良好になる傾向がある。
【００４８】
樹脂（Ｂ−４）の具体例としては、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４９】
クロトン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５０】
マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５１】
（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００５２】
（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５３】
クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５４】
マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００５５】
（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸/マレイン酸無水物/ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂等が挙げられる。
【００５６】
樹脂（Ｂ−５）は、第一段階として、上述した樹脂（Ｂ−１）の製造方法と同様にして、（ｂ）と（ｃ）との共重合体を得る。
この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ｂ）及び（ｃ）に由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ｂ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
【００５７】
さらに、樹脂（Ｂ−４）の製造方法と同様にして、（ｂ）と（ｃ）との共重合体中の（ｂ）に由来する環状エーテルに、（ａ）が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより得ることができる。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、さらにカルボン酸無水物を反応させてもよい。
前記の共重合体に反応させる（ａ）の使用量は、（ｂ）のモル数に対して５〜８０モル％であることが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００５８】
樹脂（Ｂ−５）の具体例としては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂；
【００５９】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂；
【００６０】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂；
【００６１】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂；
【００６２】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂；
【００６３】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/クロトン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂；
【００６４】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/マレイン酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂；
【００６５】
ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/ベンジル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/シクロヘキシル（メタ）アクリレート/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/スチレン/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/（メタ）アクリル酸メチル/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート/Ｎ−シクロヘキシルマレイミド/３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂等が挙げられる。
【００６６】
樹脂（Ｂ）のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１００，０００、より好ましくは５，０００〜５０，０００である。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非露光部の抜け性が良好である傾向にある。
【００６７】
樹脂（Ｂ）の分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、好ましくは１．１〜６．０であり、より好ましくは１．２〜４．０である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れる傾向がある。
【００６８】
樹脂（Ｂ）の酸価は、好ましくは２０〜１５０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ、特に好ましくは７０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。ここで酸価は樹脂（Ｂ）１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００６９】
樹脂（Ｂ）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量に対して、好ましくは５〜９５質量％、より好ましくは２０〜８０質量％であり、特に好ましくは４０〜６０質量％である。樹脂（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、現像性、密着性、硬化されたパターンの耐溶剤性、機械特性が良好になる傾向がある。
【００７０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物（Ｃ）を含む。光重合性化合物（Ｃ）は、化合物（Ｄ）から発生した活性ラジカル及び酸等によって重合しうる化合物であれば、単一種であっても、複数種の混合物であってもよい。なお、光重合性化合物（Ｃ）が、単一種の化合物からなる場合、該化合物の分子内にあるエチレン性不飽和結合数が、光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数に該当する。一方、光重合性化合物（Ｃ）が、複数種からなる混合物である場合、該混合物中の各化合物の量比から算出した平均値が、光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数に該当する。
【００７１】
光重合性化合物（Ｃ）のエチレン性不飽和結合数は、７以上であれば特に制限されないが、好ましくは７〜２５であり、より好ましくは８〜２０であり、特に好ましくは８〜１８である。前記の範囲にあると、硬化性が良好になる傾向がある。
【００７２】
光重合性化合物（Ｃ）の重量平均分子量は、好ましくは３００〜９０００、より好ましくは５００〜７０００以下、特に好ましくは ７００〜５０００以下である。前記の範囲にあると、現像性が良好になる傾向がある。また重量平均分子量の測定方法は、ＧＰＣ法等があげられる。
【００７３】
光重合性化合物（Ｃ）は、例えばポリオール類とアクリル酸との縮合反応により得られるようなポリエーテルアクリレート化合物があげられる。
【００７４】
光重合性化合物（Ｃ）としては、例えば下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］、
トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、テトラペンタエリスリトールデカアクリレート、テトラペンタエリスリトールノナアクリレートなどが挙げられる。光重合性化合物（Ｃ）としては、Ｖ＃８０２（大阪有機化学工業（株）製）等の市販品も挙げることができる。
【００７５】
また、光重合性化合物（Ｃ）としては、例えば一般式（ＩＩＩ）で表される化合物をカチオン重合して得られる化合物が挙げられる。カチオン重合には特開２００６−２４１１８９号公報に記載されたリビングカチオン重合も含まれる。このとき、前記一般式（ＩＩＩ）で表されるビニル系単量体は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。後者の場合、得られる共重合体は、ランダム共重合体、交互共重合体、周期的共重合体、ブロック共重合体又はその組合せのいずれであってもよい。また、グラフト共重合体であってもよい。
【００７６】
【化４】
【００７７】
［式中、Ｒ２１は炭素数２〜８のアルキレン基、Ｒ２２は水素原子又はメチル基、ｍは正の整数を表す。ｍが２以上の場合、複数のＲ２１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００７８】
前記式（ＩＩＩ）において、Ｒ２1で表される炭素数２〜８のアルキレン基としては、例えば、エチレン基、トリメチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、ヘプタメチレン基、オクタメチレン基、シクロヘキシレン基、１，４−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，３−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，２−ジメチルシクロヘキサン−α，α’−ジイル基、１，４−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基、１，３−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基、１，２−ジメチルフェニル−α，α’−ジイル基等が挙げられる。
【００７９】
前記式（ＩＩＩ）において、ｍは正の整数であり、好ましくは１〜２０の整数、より好ましくは１〜１０の整数、さらに好ましくは１〜５の整数である。
【００８０】
前記式（ＩＩＩ）で表されるビニル系単量体の具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸１−メチル−３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−メチル−３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１，１−ジメチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝エチル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロポキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）イソプロポキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）イソプロポキシ｝イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−［２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エトキシ］エチル、（メタ）アクリル酸２−［２−｛２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）エトキシ｝エトキシ］エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−［２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エトキシ］エトキシ）エチル；等が挙げられる。
これらのビニル系単量体のうち、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシイソプロポキシ）プロピル、（メタ）アクリル酸２−｛２−（２−ビニロキシエトキシ）エトキシ｝エチルが好適である。
【００８１】
光重合性化合物（Ｃ）としては、具体的には例えば（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物が挙げられる。
【００８２】
光重合性化合物（Ｃ）の酸価は、２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満であれば、特に制限されないが、好ましくは０．００１〜２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは０．００１〜５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。ここで酸価は光重合性化合物（Ｃ）１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００８３】
光重合性化合物（Ｃ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、５〜５０質量％が好ましく、１０〜４５質量％がより好ましい。また、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量に対して、好ましくは２０〜８０質量％、より好ましくは４０〜６０質量％である。光重合性化合物（Ｃ）の含有量が、前記の範囲にあると、パターンの強度や耐溶剤性、機械特性が良好になる傾向がある。
【００８４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、化合物（Ｄ）を含む。化合物（Ｄ）は、光の作用により活性ラジカル及び酸等を発生し、重合性化合物の重合を開始する重合開始剤である。
化合物（Ｄ）は、式（ＩＶ−１）で表され、好ましくは式（ＩＶ−２）で表される。
【００８５】
化合物（Ｄ）は、具体的に言えば、ビス（２、６−ジメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）（２，５−ジメチルフェニル）ホスフィンオキサイドおよびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。その中でも式（ＩＶ−３）で表されるビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドが特に好ましい。イルガキュア８１９（チバ・ジャパン社製）等の市販品を用いてもよい。
【００８６】
【化５】
［式（ＩＶ−１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基、ｌ、ｍおよびnは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。nが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００８７】
【化６】
［式（ＩＶ−２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８および、Ｒ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【００８８】
【化７】
【００８９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに重合開始剤（Ｄ１）を含んでも良い。重合開始剤（Ｄ１）としては、公知の重合開始剤を用いることができ、ビイミダゾール化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、オキシム化合物が挙げられ、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物が好ましい。また、特開２００８−１８１０８７号公報に記載された光カチオン重合開始剤（例えば、オニウムカチオンとルイス酸由来のアニオンとから構成されているもの）を用いてもよい。本発明の着色感光性樹脂組成物が、重合開始剤（Ｄ１）を含む場合、重合開始剤（Ｄ１）の含有量が、ＤとＤ１の合計量に対して、５０質量％以下となることが好ましい。
【００９０】
前記のビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等参照。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等参照。）等が挙げられる。好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００９１】
前記のアルキルフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−（４−メチルフェニルメチル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−（４−イソプロペニルフェニル）プロパン−１−オンのオリゴマー等が挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン等が挙げられる。イルガキュア３６９、９０７（以上、ＢＡＳＦジャパン社製）等の市販品を用いてもよい。
【００９２】
前記のトリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシスチリル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【００９３】
前記のオキシム化合物としては、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）ブタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン等が挙げられる。イルガキュアＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２（以上、ＢＡＳＦジャパン社製）、Ｎ−１９１９（ＡＤＥＫＡ社製）等の市販品を用いてもよい。
【００９４】
重合開始剤（Ｄ１）としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物；ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；９，１０−フェナンスレンキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物；１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤（Ｄ２）（特にアミン類）と組み合わせて用いることが好ましい。
【００９５】
さらに重合開始助剤（Ｄ２）が含まれていてもよい。重合開始助剤（Ｄ２）は、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）と組み合わせて用いられ、重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。
重合開始助剤（Ｄ２）としては、アミン化合物、チアゾリン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物等が挙げられる。
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【００９６】
チアゾリン化合物としては、式（Ｖ−１）〜式（Ｖ−３）で表される化合物等が挙げられる。
【００９７】
【化８】
【００９８】
アルコキシアントラセン化合物としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。
【００９９】
チオキサントン化合物としては、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【０１００】
カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
【０１０１】
化合物（Ｄ）および重合開始剤（Ｄ１）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、化合物（Ｄ）および重合開始剤（Ｄ１）の合計量で好ましくは０．１〜４０質量部、より好ましくは１〜３０質量部である。化合物（Ｄ）の含有量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．０５〜４０質量部、より好ましくは０．５〜３０質量部である。化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）の合計量がこの範囲にあると、高感度でパターンを形成することができ、パターンの耐薬品性、機械強度、表面平滑性が良好になる傾向がある。
【０１０２】
重合開始助剤（Ｄ２）を用いる場合、その使用量は、樹脂（Ｂ）及び光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜５０質量部、より好ましくは０．１〜４０質量部である。また、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。重合開始助剤（Ｄ２）の量がこの範囲にあると、さらに高感度でパターンを形成することができ、パターンの生産性が向上する傾向にある。
【０１０３】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに多官能チオール化合物（Ｔ）を含有していてもよい。この多官能チオール化合物（Ｔ）は、分子内に２個以上のスルファニル基を有する化合物である。なかでも、脂肪族炭化水素基に隣接するスルファニル基を２個以上有する化合物を用いると、高感度でパターンを形成することができるため好ましい。
【０１０４】
多官能チオール化合物（Ｔ）としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ビス（メチルスルファニル）ベンゼン、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルアセテート）、エチレングリコールビス（３−スルファニルアセテート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルアセテート）、トリスヒドロキシエチルトリス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルブチレート）、１，４−ビス（３−スルファニルブチルオキシ）ブタン等が挙げられる。
【０１０５】
多官能チオール化合物（Ｔ）の含有量は、化合物（Ｄ）及び重合開始剤（Ｄ１）１００質量部に対して、好ましくは０．５〜２０質量部、より好ましくは１〜１５質量部である。多官能チオール化合物（Ｔ）の含有量がこの範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。
【０１０６】
溶剤（Ｅ）は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤（−ＣＯＯ−を含む溶剤）、エステル溶剤以外のエーテル溶剤（−Ｏ−を含む溶剤）、エーテルエステル溶剤（−ＣＯＯ−と−Ｏ−とを含む溶剤）、エステル溶剤以外のケトン溶剤（−ＣＯ−を含む溶剤）、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。これらの溶剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１０７】
エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、２−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【０１０８】
エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、３−メトキシ−１−ブタノール、３−メトキシ−３−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
【０１０９】
エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
【０１１０】
ケトン溶剤としては、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロンなどが挙げられる。
【０１１１】
アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
【０１１２】
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
【０１１３】
アミド溶剤としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。
【０１１４】
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、１ａｔｍにおける沸点が１２０℃以上１８０℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が好ましい。
【０１１５】
溶剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、好ましくは６０〜９５質量％であり、より好ましくは７０〜９０質量％である。言い換えると、着色感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは５〜４０質量％であり、より好ましくは１０〜３０質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１１６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤（Ｆ）を含むことが好ましい。界面活性剤としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。界面活性剤を含むことで、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１１７】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（商品名：東レ・ダウコーニング（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【０１１８】
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、フロリナート（登録商標）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（登録商標）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、サーフロン（登録商標）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）等が挙げられる。
【０１１９】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。好ましくはメガファック（登録商標）Ｆ４７５が挙げられる。
【０１２０】
界面活性剤（Ｆ）は、着色感光性樹脂組成物に対して、０．００１質量％以上０.２質量％以下であり、好ましくは０.００２質量％以上０．１質量％以下、より好ましくは０.０１質量％以上０．０５質量％以下である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができる。
【０１２１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の種々の添加剤を含んでもよい。
【０１２２】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。
まず、着色剤（Ａ）の顔料を予め溶剤（Ｅ）と混合し、顔料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤、樹脂（Ｂ）の一部又は全部を配合してもよい。得られた顔料分散液に、樹脂（Ｂ）の残り、光重合性化合物（Ｃ）及び化合物（Ｄ）、必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤を、所定の濃度となるように添加し、目的の着色感光性樹脂組成物を得ることができる。
【０１２３】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば下記（１）〜（３）の工程を経てカラーフィルタに加工される。
（１）本発明の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【０１２４】
パターンを得る方法としては、フォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフィ法が好ましい。フォトリソグラフィ法は、着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥し、フォトマスクを介して露光し、現像することによってパターンを得る方法である。
【０１２５】
前記基板としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック等が挙げられ、板状であっても、フィルム状であってもよい。
プラスチックとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ノルボルネン系ポリマー等のポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、セルロースエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンオキシド等が挙げられる。ここで、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種のことをいう。これらの基板には、カラーフィルター、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等の構造体が形成されていてもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、より低温で硬化されたパターンを形成できることから、プラスチック基板にパターンを形成する際に特に有用である。
【０１２６】
基板への塗布方法としては、例えば、押し出しコーティング法、ダイレクトグラビアコーティング法、リバースグラビアコーティング法、ＣＡＰコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。また、ディップコーター、ロールコーター、バーコーター、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、インクジェット等の塗布装置を用いて塗布してもよい。なかでも、スリットコーター、スピンコーター、ロールコーター等を用いて塗布することが好ましい。
【０１２７】
基板に塗布した膜の乾燥方法としては、例えば、加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥等の方法が挙げられる。複数の方法を組み合わせて行ってもよい。
乾燥温度としては、１０〜１２０℃が好ましく、２５〜１００℃がより好ましい。また加熱時間としては、１０秒間〜６０分間であることが好ましく、３０秒間〜３０分間であることがより好ましい。
減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａの圧力下、２０〜２５℃の温度範囲で行うことが好ましい。
乾燥後の塗布膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜２０μｍであり、好ましくは１〜６μｍである。
【０１２８】
乾燥後の塗布膜は、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、露光する。この際のフォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
露光に用いられる光源としては、２５０〜４５０ｎｍの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、３５０ｎｍ未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、４３６ｎｍ付近、４０８ｎｍ付近、３６５ｎｍ付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、マスクと基材との正確な位置合わせを行ったりすることができるため、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用することが好ましい。
【０１２９】
露光後、塗布膜を現像液に接触させて所定部分、例えば、未露光部を溶解させ、現像することにより、パターンを得ることができる。現像液としては、有機溶剤を用いることもできるが、塗布膜の露光部が現像液によって溶解や膨潤しにくく、良好な形状のパターンを得ることができるため、アルカリ性化合物の水溶液を用いることが好ましい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
【０１３０】
前記アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等の無機アルカリ性化合物；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等の有機アルカリ性化合物が挙げられる。中でも、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３１】
前記アルカリ性化合物の水溶液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等のノニオン系界面活性剤；
ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤；
ステアリルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤等が挙げられる。
アルカリ性化合物の水溶液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、特に好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３２】
上記のように得られたパターンをさらにベークすることにより、硬化されたパターンを得ることができる。ベーク温度としては、２５℃以上２３０℃以下、好ましくは２５℃以上２００℃以下、より好ましくは２５℃以上１６０℃以下、さらに好ましくは２５℃以上１２０℃以下である。ベーク時間としては、１〜３００分、好ましくは１〜１８０分、より好ましくは１〜６０分である。
【実施例】
【０１３３】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する。例中の「％」及び「部」は、特記ない限り、質量％及び質量部である。
【０１３４】
以下の実施例で用いた（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）の光重合性化合物は、ＣＡＳ Ｎｏ．５５５９９−０４−７であり、下式で示される化合物が、ｘ＝２を５０部、ｘ＝３を１０部の割合で混合されたものである。
【０１３５】
合成例１
＜樹脂溶液Ｂ１の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却器、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０質量部を導入した。その後、窒素ガスをガス導入管を使ってフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液を１００℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート１８７．８質量部、メタクリル酸２３．８質量部、アゾビスイソブチロニトリル１．５質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０質量部からなる混合物を、滴下ロートを用いて２時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに１００℃で２．５時間撹拌を続けて、重量平均分子量Ｍｗは、２．３×１０４、固形分３４質量％、固形分酸価６９ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｂ１を得た。
【０１３６】
合成例２
＜樹脂溶液Ｂ２の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２４９．３ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした。１００℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート７９．３ｇ（０．４５モル）、メタクリル酸３８．７ｇ（０．４５モル）、ジシクロペンタニルメタクリレート（日立化成（株）製「ファンクリル（登録商標）ＦＡ−５１３Ｍ」）２２．０ｇ（０．１０モル）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１４０ｇからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート２１．３ｇ（０．１５モル）、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続けて、重量平均分子量Ｍｗは、３．２×１０４、固形分２９．３質量％、固形分酸価１０３．８ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｂ２を得た。
【０１３７】
合成例３
＜重合性化合物Ｃ１の合成＞
攪拌棒、温度計、滴下ライン、窒素／空気混合ガス導入管を取り付けた４つ口フラスコに酢酸エチル８０ｇを加え、２０℃まで昇温した。昇温後、エチレン性不飽和結合数が１６．６になるようアクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチル（以下、ＶＥＥＡと言う）（（株）日本触媒製）２００ｇ、酢酸エチル１３ｇとリンタングステン酸１３ｍｇの混合溶解物をそれぞれ２時間かけて滴下しカチオン重合を行った。カチオン重合終了後はトリエチルアミンを加えて反応を終了した。
次いで、エバポレーターで濃縮した後、重合体Ｃ１を得た。単量体の反応率は、反応停止後の混合液をガスクロマトグラフィー（ＧＣ）で分析することにより、９９．１％であることが判明した。また、得られた重合体Ｃ１の重量平均分子量Ｍwは３，６００、酸価は０．０２ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであった。
【０１３８】
＜重量平均分子量＞
重量平均分子量の測定は、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置；Ｋ２４７９（（株）島津製作所製）
カラム；ＳＨＩＭＡＤＺＵ Ｓｈｉｍ−ｐａｃｋ ＧＰＣ−８０Ｍ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
流速；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器；ＲＩ
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量とした。
【０１３９】
実施例１
［着色感光性樹脂組成物１の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製） ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．１部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：シクロヘキサノン ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物１を得た。
【０１４０】
実施例２
［着色感光性樹脂組成物２の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物２を得た。
【０１４１】
実施例３
［着色感光性樹脂組成物３の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物３を得た。
【０１４２】
実施例４
［着色感光性樹脂組成物４の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物４を得た。
【０１４３】
実施例５
［着色感光性樹脂組成物５の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：重合性化合物Ｃ１ ３．０部
光重合開始剤：
2，4−トリクロロメチル−（ピペロニル）−6−トリアジン
（商品名：トリアジンＰＰ、みどり化学社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスシンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物５を得た。
【０１４４】
実施例６
［着色感光性樹脂組成物６の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ １２．４部
ポリエステル系顔料分散剤 ４．５部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ６３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ５２．３部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製） ２２．４部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．２部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） １．５部
溶剤： プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ７４部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物６を得た。
【０１４５】
実施例７
［着色感光性樹脂組成物７の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２ ６．４部
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７ ９．６部
ポリエステル系顔料分散剤 ６．６部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ４３．７部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）２０．７部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．１部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．１部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ２．１部
溶剤： プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ７８部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物７を得た。
【０１４６】
実施例８
［着色感光性樹脂組成物８の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８ １２．４部
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８ ３．９部
ポリエステル系顔料分散剤 ３．０部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ５５部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ２ ４４．５部
光重合性化合物：（商品名：Ｖ＃８０２、大阪有機化学工業（株）製）２１．７部
光重合開始剤：
１，２−オクタンジオン−１−（４−フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）
（商品名：イルガキュアＯＸＥ−０１、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ２．２部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：（イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ４．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） １．５部
溶剤：シクロヘキサノン ７９部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００ 東レダウコーニング（株）製 ０．２５部
を混合して着色感光性樹脂組成物８を得た。
【０１４７】
比較例１
［着色感光性樹脂組成物６の調製］
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ４．７部
ポリエステル系顔料分散剤 ０．０３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液に
ついで、
バインダー樹脂：樹脂溶液Ｂ１ ６．０部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製） ３．０部
光重合開始剤：
２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
（商品名：イルガキュア９０７、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（商品名：イルガキュア８１９、ＢＡＳＦ・ジャパン社製） ０．５部
光重合開始助剤：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ 日本化薬（株）製） ０．１部
溶剤：シクロヘキサノン ６１部
を混合して着色感光性樹脂組成物６を得た。
【０１４８】
＜耐溶剤性評価＞
耐久性評価として、パターンの溶剤に対する耐久性、すなわち耐溶剤性を評価した。
２インチ角のガラス板上にポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名：ルミラー７５−Ｔ６０、東レ製）を貼合した基板上に、着色感光性樹脂組成物１〜６をスピンコート法により塗布し、ホットプレート上、８０℃で２分間プリベークした。
放冷後、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％を含む水系現像液に、２３℃で５０秒間浸漬して現像し、純水純粋で洗浄した後、６０℃にて５分間加熱して、着色パターンを形成した。得られたパターンの膜厚は、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製）を用いて測定したところ、２μｍであった。
色度は、顕微分光測光装置（ＯＳＰ−ＳＰ２００ ＯＬＹＭＰＵＳ社製）を用いて測定した値である。なお、色度測定の光源には、Ｃ光源を用いた。
測定後の塗膜にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを１ｍｌ滴下し、パドルにて３０ｓ静止した後、１０００ｒｐｍの回転数にて１０ｓ振り切った。
その後、先に記載と同様の方法にて膜厚と色度を測定した。下記に記載の式にてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート接触測定前後の膜厚変化率を計算した。
膜厚保持率（％）＝接触後の膜厚 ／ 接触前の膜厚 × １００
また、JIS Z 8730およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート接触測定前後の色度から、色差を計算した。
膜厚保持率が高く、かつ色差が小さいほど耐溶剤性が良好となり、カラーフィルターを形成する際、混色を防ぐことができる。
【０１４９】
＜解像度評価＞
先に形成したパターンをレーザー顕微鏡（Ａｘｉｏ Ｉｍａｇｅｒ ＭＡＴ カールツァイス社製）にて観察し、解像している最小寸法を解像度とした。
解像度は、微細なパターンが形成できるほど、加工性に優れる。
【０１５０】
【表１】
【０１５１】
【表２】
【産業上の利用可能性】
【０１５２】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、優れた解像性および耐久性を有するパターンを得ることができる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。
（Ａ）着色剤
（Ｂ）樹脂
（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物
（Ｄ）式（１）で表される化合物
（Ｅ）溶剤
［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基を表す。ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【請求項２】
（Ｄ）が、式（２）で表される化合物である請求項１記載の着色感光性樹脂組成物。
［式（２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８およびＲ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【請求項３】
（Ｄ）が、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドである請求項１記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ｃ）が、下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］
である請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｃ）が、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートである請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ｃ）が、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物である請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
重合開始剤をさらに含む請求項１乃至６いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
重合開始剤が、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物である請求項７記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１乃至８いずれか記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
【請求項１０】
請求項９記載パターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１１】
下記（１）〜（３）に示される工程を含むカラーフィルタの製造方法。
（１）請求項１乃至８いずれか記載の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【請求項１】
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）を含む着色感光性樹脂組成物。
（Ａ）着色剤
（Ｂ）樹脂
（Ｃ）エチレン性不飽和結合数が７以上であり、酸価が２０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ未満である光重合性化合物
（Ｄ）式（１）で表される化合物
（Ｅ）溶剤
［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜４のアルコキシ基を表す。ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。ｌが２以上の整数である場合、複数のＲ１は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ２は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎが２以上の整数である場合、複数のＲ３は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【請求項２】
（Ｄ）が、式（２）で表される化合物である請求項１記載の着色感光性樹脂組成物。
［式（２）中、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８およびＲ１０は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ６、Ｒ９はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、n'は、０〜２の整数を表す。n'が２である場合、複数のＲ１０は、互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【請求項３】
（Ｄ）が、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドである請求項１記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ｃ）が、下式で示される化合物
［式中、ｘは２〜５の整数を表す。］
である請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｃ）が、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートである請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ｃ）が、（メタ）アクリル酸２−（２−ビニロキシエトキシ）エチルをカチオン重合して得られる化合物である請求項１乃至３いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
重合開始剤をさらに含む請求項１乃至６いずれか記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
重合開始剤が、アルキルフェノン化合物、オキシム化合物又はトリアジン化合物である請求項７記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１乃至８いずれか記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
【請求項１０】
請求項９記載パターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１１】
下記（１）〜（３）に示される工程を含むカラーフィルタの製造方法。
（１）請求項１乃至８いずれか記載の着色感光性樹脂組成物を基板に塗布することにより塗布膜を得る工程
（２）塗布膜にマスクを介して露光することにより露光後塗布膜を得る工程
（３）露光後塗布膜をアルカリ現像液で現像することによりパターンを得る工程
【公開番号】特開２０１３−６４９６７（Ｐ２０１３−６４９６７Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５７１５３（Ｐ２０１１−２５７１５３）
【出願日】平成２３年１１月２５日（２０１１．１１．２５）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２５日（２０１１．１１．２５）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
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