硬さ試験機
【課題】画像中の複数の測定ポイントを、分解能を維持したまま同時に表示することのできる硬さ試験機を提供する。
【解決手段】硬さ試験機１００は、対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像を表示するモニタ８と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段（ＣＰＵ６１、切り出しプログラム６３４）と、切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時にモニタ８に表示させる表示制御手段（ＣＰＵ６１、表示制御プログラム６３５）と、を備える。
【解決手段】硬さ試験機１００は、対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像を表示するモニタ８と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段（ＣＰＵ６１、切り出しプログラム６３４）と、切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時にモニタ８に表示させる表示制御手段（ＣＰＵ６１、表示制御プログラム６３５）と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬さ試験機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料の表面に圧子を押し込んでくぼみを形成し、そのくぼみの寸法に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、ビッカース硬さ試験機を用いて試料の硬さを測定する場合、試料表面のくぼみ形成位置が圧子の真下になるよう試料の水平方向の位置合わせが行われ、そのくぼみ形成位置において高さ方向の位置合わせ（焦点合わせ）が行われる。そして、ターレットを回転させて圧子を試料に対向配置させ、圧子により試料表面に所定の試験力を負荷してくぼみを形成する。その後、形成されたくぼみの対角線の長さを計測し、この計測したくぼみの対角線の長さに基づいて硬さを算出する。
【０００３】
こうした硬さ試験機においては、ＣＣＤカメラにより、試料の表面や、圧子により試料の表面に形成されたくぼみが撮像され、モニタにこれらの画像が表示されるようになっている。
このとき、メガピクセルカメラ（ＣＣＤカメラ）から取り込まれる画像は、画素数が高すぎて硬さ試験機に通常搭載されるサイズのモニタでは全体を表示できないため、例えば、図９に示すように、取り込まれた画像Ｇ１の画素を間引いて全体を縮小した画像（縮小画像）Ｇ２をモニタ７１上に表示する手法が用いられている。
しかしながら、縮小画像Ｇ２を表示する手法では、画素が間引かれているため画像の分解能が損なわれてしまい、ＣＣＤカメラの性能を活かすことができない。
画像の分解能を損なわない表示方法としては、例えば、図１０に示すように、取り込まれた画像Ｇ１上に矩形ビューＢを設定し、矩形ビューＢの中の画像（部分画像）Ｇ３のみをモニタ８１上に表示する手法が知られている。この手法では、画像Ｇ１上の矩形ビューＢの位置を移動（スクロール）させることで、モニタ８１上に表示される部分画像Ｇ３が変更可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６６９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、部分画像Ｇ３のみを表示する手法では、矩形ビューＢの中（画像の一部分）しか表示できないため、ユーザがくぼみの画像を目視しながらくぼみの頂点（測定ポイント）を指定することで対角線の長さを計測する手動読み取りが実行できないという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、画像中の複数の測定ポイントを、分解能を維持したまま同時に表示することのできる硬さ試験機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像を表示する表示手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時に前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の硬さ試験機において、
前記くぼみの画像は、四角形状であり、
前記所定の測定ポイントは、前記くぼみの画像の頂点であることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の硬さ試験機において、
前記表示制御手段は、前記表示手段上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインと水平方向に延びる水平ガイドラインとを表示可能であることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の硬さ試験機において、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の各々に、前記所定の測定ポイントが含まれるか否かを判定する判定手段を更に備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、切り出し手段により切り出された複数の領域を、同時に表示手段に表示させる表示制御手段と、を備えている。
このため、画像中の複数の測定ポイントを、分解能を維持したまま同時に表示手段に表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の硬さ試験機の全体構成示す模式図である。
【図２】図１の硬さ試験機における試験機本体を示す模式図である。
【図３】図１の硬さ試験機の硬さ測定部を示す模式図である。
【図４】図１の硬さ試験機の制御構造を示すブロック図である。
【図５】撮像したくぼみの画像の切り出し領域を示した概念図である。
【図６】表示手段に切り出された領域が表示された状態を示した一例である。
【図７】図６の切り出された領域が表示された画像に、垂直ガイドライン及び水平ガイドラインが重ねて表示された状態を示した一例である。
【図８】変形例の硬さ試験機の制御構造を示すブロック図である。
【図９】硬さ試験機における従来の画像の表示方法を説明するための図である。
【図１０】硬さ試験機における従来の画像の表示方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本実施形態に係る硬さ試験機について詳細に説明する。
【００１４】
先ず、本実施形態の硬さ試験機１００の構成について説明する。
なお、以下の説明においては、図１に示すように、硬さ試験機１００の左右方向をＸ方向、前後方向をＹ方向、高さ方向をＺ方向とする。
【００１５】
硬さ試験機１００は、例えば、ビッカース硬さ試験機であって、図１に示すように、試験機本体１０と、制御部６と、操作部７と、モニタ８と、等を備えている。
【００１６】
試験機本体１０は、例えば、図２に示すように、試料Ｓの硬さ測定を行う硬さ測定部１と、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を移動させるＸＹステージ３と、試料Ｓの表面に焦点を合わせるためのＡＦ（Ｚ）ステージ４と、試料台２（ＸＹステージ３、ＡＦ（Ｚ）ステージ４）を昇降する昇降機構部５と、等を備えている。
【００１７】
硬さ測定部１は、例えば、試料Ｓの表面を照明する照明装置１１と、試料Ｓの表面を撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ１２と、圧子１４ａを備える圧子軸１４と対物レンズ１５を備え、回転することにより圧子軸１４と対物レンズ１５との切り替えが可能なターレット１６と、等により構成されている。
【００１８】
照明装置１１は、照明手段として、光を照射することにより試料Ｓの表面を照明するものであり、照明装置１１から照射される光は、レンズ１ａ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｅ、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面に到達する。
【００１９】
ＣＣＤカメラ１２は、撮像手段であり、例えば、図３に示すように、その試料Ｓの表面から対物レンズ１５、ミラー１ｅ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｇ、及びレンズ１ｈを介して入力された反射光に基づき、当該試料Ｓの表面や圧子１４ａにより試料Ｓの表面に形成されるくぼみを撮像して、画像データを取得し、複数フレームの画像データを同時に蓄積、格納可能なフレームグラバ１７を介して、制御部６に出力する。
【００２０】
圧子軸１４は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動される負荷機構部（図示省略）により、試料台２に載置された試料Ｓに向け移動され、先端部に備えた圧子１４ａを試料Ｓの表面に所定の試験力で押し付ける。
なお、本実施形態の圧子１４ａは、先端が四角錘状であるため、平面視で四角形状のくぼみが試料Ｓの表面に形成される。
【００２１】
対物レンズ１５は、それぞれ異なる倍率からなる集光レンズであり、ターレット１６の下面に複数保持されており、ターレット１６の回転により試料Ｓの上方に配置されることで、照明装置１１から照射される光を一様に試料Ｓの表面に照射させる。
具体的には、対物レンズ１５は、高倍対物レンズ１５ａと、高倍対物レンズ１５ａよりも倍率の低い低倍対物レンズ１５ｂと、を備えて構成されている。
【００２２】
ターレット１６は、下面に圧子軸１４と複数の対物レンズ１５（高倍対物レンズ１５ａ、低倍対物レンズ１５ｂ）を備え、Ｚ軸方向の軸周りに回転することにより、当該圧子軸１４と複数の対物レンズ１５の中の、何れか一つを切り替えて試料Ｓの上方に配置可能なように構成されている。つまり、圧子軸１４を試料Ｓの上方に配置した状態で圧子軸を降下させることで試料Ｓの表面にくぼみを形成し、対物レンズ１５を試料Ｓの上方に配置することで、当該形成されたくぼみを観察することが可能となる。
【００２３】
試料台２は、上面に載置される試料Ｓを固定する試料固定部２ａを備えている。
ＸＹステージ３は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動する駆動機構部（図示省略）により駆動され、試料台２を圧子１４ａの移動方向（Ｚ方向）に垂直な方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる。
ＡＦステージ４は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動され、ＣＣＤカメラ１２が撮像した画像データに基づき試料台２を微細に昇降させ、試料Ｓの表面に焦点を合わせる。
昇降機構部５は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動され、試料台２（ＸＹステージ３、ＡＦステージ４）を上下方向に移動させることで、試料台２と対物レンズ１５との間の相対距離を変化させる。
【００２４】
操作部７は、キーボード７１、マウス７２等を備えて構成され、硬さ試験機１００による硬さ試験を実施する際の各種の条件の設定等を、ユーザが行う際に利用される。
各種の条件の設定とは、例えば、試験条件（試料Ｓの材質、圧子１４ａにより試料Ｓに負荷される試験力（Ｎ）、対物レンズ１５の倍率、等の値）や、試験開始点、行・列数、ピッチ等の設定である。
ユーザにより操作部７に所定の操作がなされると、その操作に応じた所定の操作信号が制御部６に出力される。
【００２５】
モニタ８は、表示手段であり、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示装置により構成されており、ＣＣＤカメラ１２が撮像した試料Ｓの表面画像や、試料Ｓの表面に形成されるくぼみの画像を表示する。
また、モニタ８は、操作部７において入力された硬さ試験の設定条件、硬さ試験の結果等を表示する。
【００２６】
制御部６は、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２、記憶部６３等を備えて構成され、記憶部６３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の硬さ試験を行うための動作制御等を行う機能を有する。
【００２７】
ＣＰＵ６１は、記憶部６３に格納された処理プログラム等を読み出して、ＲＡＭ６２に展開して実行することにより、硬さ試験機１００全体の制御を行う。
【００２８】
ＲＡＭ６２は、ＣＰＵ６１により実行された処理プログラム等を、ＲＡＭ６２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
【００２９】
記憶部６３は、例えば、プログラムやデータ等を記憶するための、半導体メモリ等で構成された記録媒体（図示省略）を有しており、ＣＰＵ６１が硬さ試験機１００全体を制御する機能を実現させるための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。
【００３０】
具体的には、記憶部６３は、ＣＣＤカメラ１２により撮像した画像データを記憶する画像データ記憶部６３ａと、プログラムを記憶するプログラム記憶部６３ｂと、を備えている。
【００３１】
画像データ記憶部６３ａには、例えば、試料Ｓの表面に形成されたくぼみの画像の画像データが格納される。
【００３２】
プログラム記憶部６３ｂには、例えば、ＸＹステージ制御プログラム６３１、オートフォーカスプログラム６３２、くぼみ形成プログラム６３３、切り出しプログラム６３４、表示制御プログラム６３５、硬さ算出プログラム６３６、等が格納されている。
【００３３】
ＸＹステージ制御プログラム６３１は、例えば、試料台２に試料Ｓを載置した後、試料ＳとＣＣＤカメラ１２とが対向するように、ＸＹステージ３の位置を制御する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、ＸＹステージ制御プログラム６３１を実行することにより、試料Ｓの表面の所定領域がＣＣＤカメラ１２の真下に位置するようにＸＹステージ３を移動させる。
【００３４】
オートフォーカスプログラム６３２は、例えば、試料Ｓの表面に対するオートフォーカスを行う機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、オートフォーカスプログラム６３２を実行することにより、硬さ測定部１のＣＣＤカメラ１２によって得られる画像情報に基づいて、ＡＦステージ４を昇降させ、試料Ｓの表面に対するオートフォーカスを行う。
【００３５】
くぼみ形成プログラム６３３は、例えば、試料Ｓの表面にくぼみを形成する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、くぼみ形成プログラム６３３を実行することにより、圧子１４ａを所定の試験力で試料Ｓの表面に押し付けて、くぼみを形成する。
なお、本実施形態においては、平面視で四角形状のくぼみが形成されるため、四角形状のくぼみの画像が撮像される。
形成されたくぼみはＣＣＤカメラ１２によって撮像され、撮像されたくぼみの画像の画像データは、画像データ記憶部６３ａに格納される。
【００３６】
切り出しプログラム６３４は、例えば、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
ここで、図５に、撮像したくぼみの画像の切り出し領域を示した概念図を示す。
ＣＰＵ６１は、切り出しプログラム６３４を実行することにより、図５に示すように、所定の測定ポイントとしてくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を含んだ４つの領域（切り出し領域）Ｒ１〜Ｒ４を切り出す。
このとき、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の位置や形状は、硬さ試験に用いる圧子の形状に応じて予め設定されている。例えば、本実施形態においては、四角形状のくぼみ画像が撮像される硬さ試験であるため、撮像された画像の上部及び下部それぞれの中央部と、画像の左部及び右部それぞれの中央部とに、くぼみの４つ頂点がそれぞれ位置することを想定し、画像の上部及び下部それぞれの中央部に三角形状の切り出し領域Ｒ１及びＲ３が設定され、画像の左部及び右部それぞれの中央部に五角形状の切り出し領域Ｒ２及びＲ４が設定されるようになっている。
ＣＰＵ６１は、かかる切り出しプログラム６３４を実行することにより、切り出し手段として機能している。
【００３７】
表示制御プログラム６３５は、例えば、切り出しプログラム６３４の実行により切り出された複数の領域（切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４）の画像を、同時にモニタ８に表示させる機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、表示制御プログラム６３５を実行することにより、図６に示すように、くぼみ画像の中から切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４のみを抽出した画像をモニタ８に表示させる。
【００３８】
また、ＣＰＵ６１は、表示制御プログラム６３５を実行することにより、図７に示すように、モニタ８上に表示された切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインＬ１と水平方向に延びる水平ガイドラインＬ２とを表示可能である。
垂直ガイドラインＬ１は、モニタ８の幅方向中央を通るように設定された中央垂直ガイドラインＬ１１と、中央垂直ガイドラインＬ１１と平行し、頂点Ｐ２近傍に位置するように設定された左垂直ガイドラインＬ１２と、中央垂直ガイドラインＬ１１と平行し、頂点Ｐ４近傍に位置するように設定された右垂直ガイドラインＬ１３と、からなる。
また、水平ガイドラインＬ２は、モニタ８の高さ方向中央を通るように設定された中央水平ガイドラインＬ２１と、中央水平ガイドラインＬ２１と平行し、頂点Ｐ１近傍に位置するように設定された上水平ガイドラインＬ２２と、中央水平ガイドラインＬ２１と平行し、頂点Ｐ３近傍に位置するように設定された下垂直ガイドラインＬ２３と、からなる。
ＣＰＵ６１は、ユーザからの指示操作に応じて、これらのガイドラインＬ１、Ｌ２を表示する。
ユーザは、これらのガイドラインＬ１、Ｌ２によって、頂点Ｐ１とＰ３の位置、及び頂点Ｐ２とＰ４の位置を合せることができる。
【００３９】
ＣＰＵ６１は、かかる表示制御プログラム６３５を実行することにより表示制御として機能している。
【００４０】
硬さ算出プログラム６３６は、例えば、くぼみの画像からくぼみの対角線長さを計測し、計測したくぼみの対角線長さに基づいて、試料Ｓの硬さを算出する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ユーザにより測定ポイントとしてくぼみの頂点Ｐ１〜Ｐ４が指定されると、ＣＰＵ６１は、硬さ算出プログラム６３６を実行し、くぼみの対角線長さを計測する。なお、ＣＰＵ６１は、モニタ８に表示されていない画像部分の画素数も、計算上含めるのは勿論である。
このとき、くぼみの４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４が同時にモニタ８に表示されているため、ユーザは４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を確認しながら幅と高さの計測を行うことができるようになっている。
【００４１】
次に、本実施形態の硬さ試験機１００の作用について説明する。
上記構成の硬さ試験機１００においては、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像は、モニタ８に表示される際に、所定の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）を含んだ複数の切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４が切り出され（図５参照）、その切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像のみがモニタ８上に表示される（図６参照）。
このため、ＣＣＤカメラ１２により撮像された画像の全体を表示する必要がなく、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４以外の領域分は表示させないので、モニタ８に表示される切り出し領域域Ｒ１〜Ｒ４の画像の画素は間引く必要がなく、分解能が損なわれることがない。
また、モニタ８に表示された切り出し領域域Ｒ１〜Ｒ４の画像は、くぼみの画像のうち有用な測定ポイント（頂点Ｐ１〜Ｐ４）を含んだ部分が切り出された画像であり、モニタ８上でくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を同時に全て確認することができる。
【００４２】
また、モニタ８に切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像が表示された際に、この画像に重ねて垂直ガイドラインＬ１及び水平ガイドラインＬ２を表示させることができる。
このため、ユーザは、対向する頂点（Ｐ１とＰ３、Ｐ２とＰ４）の位置を合せることができ、頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を目視しながら、くぼみの幅及び高さの計測を行うことができる。
【００４３】
以上のように、本実施形態の硬さ試験機１００によれば、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面に形成されたくぼみを撮像するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により撮像された四角形状のくぼみの画像を表示するモニタ８と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントとしてくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を含んだ複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出す切り出し手段（ＣＰＵ６１、切り出しプログラム６３４）と、切り出し手段により切り出された複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を、同時にモニタ８に表示させる表示制御手段（ＣＰＵ６１、表示制御プログラム６３５）と、を備えている。
このため、画像中の複数の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）を、分解能を維持したままモニタ８に同時に表示することができる。
よって、手動で測定ポイントを指定する手動読み取りの処理を、正確に実行することができる。
【００４４】
また、本実施形態の硬さ試験機１００によれば、表示制御手段は、モニタ８上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインＬ１と水平方向に延びる水平ガイドラインＬ２とを表示可能である。
このため、対向する頂点（Ｐ１とＰ３、Ｐ２とＰ４）の位置を合せることができ、画像上の４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を目視しながら、幅と高さの計測を行うことができる。
【００４５】
なお、図８に示すように、切り出し手段により複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出した後、モニタ８に表示させる前に、切り出された複数の領域Ｒ１〜Ｒ４の各々に、所定の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）が含まれるか否かを判定する判定手段（ＣＰＵ６１、判定プログラム６３７）を、更に備えることとしても良い。
具体的に、ＣＰＵ６１は、この判定プログラム６３７を実行することによって、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出した後、各切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４に対してエッジ検出を行うことで画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４が含まれるか否かを判定する。
このようにすることで、撮像位置がずれていた場合にも、迅速に撮りなおしなどの処理を行うことができる。
【００４６】
また、上記実施形態においては、くぼみの画像が四角形状である場合を例示して説明したが、くぼみの画像の形状はこれに限定されない。即ち、圧子は四角錘状のものに限定されない。そして、切り出し領域は、圧子の形状から想定されるくぼみの画像の形状に応じて設定されれば良い。
また、上記実施形態においては、三角形及び五角形の切り出し領域が設定される場合を例示して説明したが、切り出し領域の形状はれに限定されない。
【符号の説明】
【００４７】
１００ 硬さ試験機
１ 硬さ測定部
２ 試料台
２ａ 試料固定部
３ ＸＹステージ
４ ＡＦステージ
５ 昇降機構部
６ 制御部
７ 操作部
８ モニタ（表示手段）
１０ 試験機本体
１１ 照明装置
１２ ＣＣＤカメラ（撮像手段）
１４ 圧子軸
１４ａ 圧子
１５ 対物レンズ
１６ ターレット
１７ フレームグラバ
６１ ＣＰＵ（切り出し手段、表示制御手段、判定手段）
６２ ＲＡＭ
６３ 記憶部
６３ａ 画像データ記憶部
６３ｂ プログラム記憶部
６３１ ステージ制御プログラム
６３２ オートフォーカスプログラム
６３３ くぼみ形成プログラム
６３４ 切り出しプログラム（切り出し手段）
６３５ 表示制御プログラム（表示制御手段）
６３６ 硬さ算出プログラム
６３７ 判定プログラム（判定手段）
Ｓ 試料
Ｌ１ 垂直ガイドライン
Ｌ２ 水平ガイドライン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬さ試験機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料の表面に圧子を押し込んでくぼみを形成し、そのくぼみの寸法に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、ビッカース硬さ試験機を用いて試料の硬さを測定する場合、試料表面のくぼみ形成位置が圧子の真下になるよう試料の水平方向の位置合わせが行われ、そのくぼみ形成位置において高さ方向の位置合わせ（焦点合わせ）が行われる。そして、ターレットを回転させて圧子を試料に対向配置させ、圧子により試料表面に所定の試験力を負荷してくぼみを形成する。その後、形成されたくぼみの対角線の長さを計測し、この計測したくぼみの対角線の長さに基づいて硬さを算出する。
【０００３】
こうした硬さ試験機においては、ＣＣＤカメラにより、試料の表面や、圧子により試料の表面に形成されたくぼみが撮像され、モニタにこれらの画像が表示されるようになっている。
このとき、メガピクセルカメラ（ＣＣＤカメラ）から取り込まれる画像は、画素数が高すぎて硬さ試験機に通常搭載されるサイズのモニタでは全体を表示できないため、例えば、図９に示すように、取り込まれた画像Ｇ１の画素を間引いて全体を縮小した画像（縮小画像）Ｇ２をモニタ７１上に表示する手法が用いられている。
しかしながら、縮小画像Ｇ２を表示する手法では、画素が間引かれているため画像の分解能が損なわれてしまい、ＣＣＤカメラの性能を活かすことができない。
画像の分解能を損なわない表示方法としては、例えば、図１０に示すように、取り込まれた画像Ｇ１上に矩形ビューＢを設定し、矩形ビューＢの中の画像（部分画像）Ｇ３のみをモニタ８１上に表示する手法が知られている。この手法では、画像Ｇ１上の矩形ビューＢの位置を移動（スクロール）させることで、モニタ８１上に表示される部分画像Ｇ３が変更可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６６９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、部分画像Ｇ３のみを表示する手法では、矩形ビューＢの中（画像の一部分）しか表示できないため、ユーザがくぼみの画像を目視しながらくぼみの頂点（測定ポイント）を指定することで対角線の長さを計測する手動読み取りが実行できないという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、画像中の複数の測定ポイントを、分解能を維持したまま同時に表示することのできる硬さ試験機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像を表示する表示手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時に前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の硬さ試験機において、
前記くぼみの画像は、四角形状であり、
前記所定の測定ポイントは、前記くぼみの画像の頂点であることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の硬さ試験機において、
前記表示制御手段は、前記表示手段上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインと水平方向に延びる水平ガイドラインとを表示可能であることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の硬さ試験機において、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の各々に、前記所定の測定ポイントが含まれるか否かを判定する判定手段を更に備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、切り出し手段により切り出された複数の領域を、同時に表示手段に表示させる表示制御手段と、を備えている。
このため、画像中の複数の測定ポイントを、分解能を維持したまま同時に表示手段に表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の硬さ試験機の全体構成示す模式図である。
【図２】図１の硬さ試験機における試験機本体を示す模式図である。
【図３】図１の硬さ試験機の硬さ測定部を示す模式図である。
【図４】図１の硬さ試験機の制御構造を示すブロック図である。
【図５】撮像したくぼみの画像の切り出し領域を示した概念図である。
【図６】表示手段に切り出された領域が表示された状態を示した一例である。
【図７】図６の切り出された領域が表示された画像に、垂直ガイドライン及び水平ガイドラインが重ねて表示された状態を示した一例である。
【図８】変形例の硬さ試験機の制御構造を示すブロック図である。
【図９】硬さ試験機における従来の画像の表示方法を説明するための図である。
【図１０】硬さ試験機における従来の画像の表示方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本実施形態に係る硬さ試験機について詳細に説明する。
【００１４】
先ず、本実施形態の硬さ試験機１００の構成について説明する。
なお、以下の説明においては、図１に示すように、硬さ試験機１００の左右方向をＸ方向、前後方向をＹ方向、高さ方向をＺ方向とする。
【００１５】
硬さ試験機１００は、例えば、ビッカース硬さ試験機であって、図１に示すように、試験機本体１０と、制御部６と、操作部７と、モニタ８と、等を備えている。
【００１６】
試験機本体１０は、例えば、図２に示すように、試料Ｓの硬さ測定を行う硬さ測定部１と、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を移動させるＸＹステージ３と、試料Ｓの表面に焦点を合わせるためのＡＦ（Ｚ）ステージ４と、試料台２（ＸＹステージ３、ＡＦ（Ｚ）ステージ４）を昇降する昇降機構部５と、等を備えている。
【００１７】
硬さ測定部１は、例えば、試料Ｓの表面を照明する照明装置１１と、試料Ｓの表面を撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ１２と、圧子１４ａを備える圧子軸１４と対物レンズ１５を備え、回転することにより圧子軸１４と対物レンズ１５との切り替えが可能なターレット１６と、等により構成されている。
【００１８】
照明装置１１は、照明手段として、光を照射することにより試料Ｓの表面を照明するものであり、照明装置１１から照射される光は、レンズ１ａ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｅ、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面に到達する。
【００１９】
ＣＣＤカメラ１２は、撮像手段であり、例えば、図３に示すように、その試料Ｓの表面から対物レンズ１５、ミラー１ｅ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｇ、及びレンズ１ｈを介して入力された反射光に基づき、当該試料Ｓの表面や圧子１４ａにより試料Ｓの表面に形成されるくぼみを撮像して、画像データを取得し、複数フレームの画像データを同時に蓄積、格納可能なフレームグラバ１７を介して、制御部６に出力する。
【００２０】
圧子軸１４は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動される負荷機構部（図示省略）により、試料台２に載置された試料Ｓに向け移動され、先端部に備えた圧子１４ａを試料Ｓの表面に所定の試験力で押し付ける。
なお、本実施形態の圧子１４ａは、先端が四角錘状であるため、平面視で四角形状のくぼみが試料Ｓの表面に形成される。
【００２１】
対物レンズ１５は、それぞれ異なる倍率からなる集光レンズであり、ターレット１６の下面に複数保持されており、ターレット１６の回転により試料Ｓの上方に配置されることで、照明装置１１から照射される光を一様に試料Ｓの表面に照射させる。
具体的には、対物レンズ１５は、高倍対物レンズ１５ａと、高倍対物レンズ１５ａよりも倍率の低い低倍対物レンズ１５ｂと、を備えて構成されている。
【００２２】
ターレット１６は、下面に圧子軸１４と複数の対物レンズ１５（高倍対物レンズ１５ａ、低倍対物レンズ１５ｂ）を備え、Ｚ軸方向の軸周りに回転することにより、当該圧子軸１４と複数の対物レンズ１５の中の、何れか一つを切り替えて試料Ｓの上方に配置可能なように構成されている。つまり、圧子軸１４を試料Ｓの上方に配置した状態で圧子軸を降下させることで試料Ｓの表面にくぼみを形成し、対物レンズ１５を試料Ｓの上方に配置することで、当該形成されたくぼみを観察することが可能となる。
【００２３】
試料台２は、上面に載置される試料Ｓを固定する試料固定部２ａを備えている。
ＸＹステージ３は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動する駆動機構部（図示省略）により駆動され、試料台２を圧子１４ａの移動方向（Ｚ方向）に垂直な方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる。
ＡＦステージ４は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動され、ＣＣＤカメラ１２が撮像した画像データに基づき試料台２を微細に昇降させ、試料Ｓの表面に焦点を合わせる。
昇降機構部５は、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動され、試料台２（ＸＹステージ３、ＡＦステージ４）を上下方向に移動させることで、試料台２と対物レンズ１５との間の相対距離を変化させる。
【００２４】
操作部７は、キーボード７１、マウス７２等を備えて構成され、硬さ試験機１００による硬さ試験を実施する際の各種の条件の設定等を、ユーザが行う際に利用される。
各種の条件の設定とは、例えば、試験条件（試料Ｓの材質、圧子１４ａにより試料Ｓに負荷される試験力（Ｎ）、対物レンズ１５の倍率、等の値）や、試験開始点、行・列数、ピッチ等の設定である。
ユーザにより操作部７に所定の操作がなされると、その操作に応じた所定の操作信号が制御部６に出力される。
【００２５】
モニタ８は、表示手段であり、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示装置により構成されており、ＣＣＤカメラ１２が撮像した試料Ｓの表面画像や、試料Ｓの表面に形成されるくぼみの画像を表示する。
また、モニタ８は、操作部７において入力された硬さ試験の設定条件、硬さ試験の結果等を表示する。
【００２６】
制御部６は、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２、記憶部６３等を備えて構成され、記憶部６３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の硬さ試験を行うための動作制御等を行う機能を有する。
【００２７】
ＣＰＵ６１は、記憶部６３に格納された処理プログラム等を読み出して、ＲＡＭ６２に展開して実行することにより、硬さ試験機１００全体の制御を行う。
【００２８】
ＲＡＭ６２は、ＣＰＵ６１により実行された処理プログラム等を、ＲＡＭ６２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
【００２９】
記憶部６３は、例えば、プログラムやデータ等を記憶するための、半導体メモリ等で構成された記録媒体（図示省略）を有しており、ＣＰＵ６１が硬さ試験機１００全体を制御する機能を実現させるための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。
【００３０】
具体的には、記憶部６３は、ＣＣＤカメラ１２により撮像した画像データを記憶する画像データ記憶部６３ａと、プログラムを記憶するプログラム記憶部６３ｂと、を備えている。
【００３１】
画像データ記憶部６３ａには、例えば、試料Ｓの表面に形成されたくぼみの画像の画像データが格納される。
【００３２】
プログラム記憶部６３ｂには、例えば、ＸＹステージ制御プログラム６３１、オートフォーカスプログラム６３２、くぼみ形成プログラム６３３、切り出しプログラム６３４、表示制御プログラム６３５、硬さ算出プログラム６３６、等が格納されている。
【００３３】
ＸＹステージ制御プログラム６３１は、例えば、試料台２に試料Ｓを載置した後、試料ＳとＣＣＤカメラ１２とが対向するように、ＸＹステージ３の位置を制御する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、ＸＹステージ制御プログラム６３１を実行することにより、試料Ｓの表面の所定領域がＣＣＤカメラ１２の真下に位置するようにＸＹステージ３を移動させる。
【００３４】
オートフォーカスプログラム６３２は、例えば、試料Ｓの表面に対するオートフォーカスを行う機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、オートフォーカスプログラム６３２を実行することにより、硬さ測定部１のＣＣＤカメラ１２によって得られる画像情報に基づいて、ＡＦステージ４を昇降させ、試料Ｓの表面に対するオートフォーカスを行う。
【００３５】
くぼみ形成プログラム６３３は、例えば、試料Ｓの表面にくぼみを形成する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、くぼみ形成プログラム６３３を実行することにより、圧子１４ａを所定の試験力で試料Ｓの表面に押し付けて、くぼみを形成する。
なお、本実施形態においては、平面視で四角形状のくぼみが形成されるため、四角形状のくぼみの画像が撮像される。
形成されたくぼみはＣＣＤカメラ１２によって撮像され、撮像されたくぼみの画像の画像データは、画像データ記憶部６３ａに格納される。
【００３６】
切り出しプログラム６３４は、例えば、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントを含んだ複数の領域を切り出す機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
ここで、図５に、撮像したくぼみの画像の切り出し領域を示した概念図を示す。
ＣＰＵ６１は、切り出しプログラム６３４を実行することにより、図５に示すように、所定の測定ポイントとしてくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を含んだ４つの領域（切り出し領域）Ｒ１〜Ｒ４を切り出す。
このとき、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の位置や形状は、硬さ試験に用いる圧子の形状に応じて予め設定されている。例えば、本実施形態においては、四角形状のくぼみ画像が撮像される硬さ試験であるため、撮像された画像の上部及び下部それぞれの中央部と、画像の左部及び右部それぞれの中央部とに、くぼみの４つ頂点がそれぞれ位置することを想定し、画像の上部及び下部それぞれの中央部に三角形状の切り出し領域Ｒ１及びＲ３が設定され、画像の左部及び右部それぞれの中央部に五角形状の切り出し領域Ｒ２及びＲ４が設定されるようになっている。
ＣＰＵ６１は、かかる切り出しプログラム６３４を実行することにより、切り出し手段として機能している。
【００３７】
表示制御プログラム６３５は、例えば、切り出しプログラム６３４の実行により切り出された複数の領域（切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４）の画像を、同時にモニタ８に表示させる機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的に、ＣＰＵ６１は、表示制御プログラム６３５を実行することにより、図６に示すように、くぼみ画像の中から切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４のみを抽出した画像をモニタ８に表示させる。
【００３８】
また、ＣＰＵ６１は、表示制御プログラム６３５を実行することにより、図７に示すように、モニタ８上に表示された切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインＬ１と水平方向に延びる水平ガイドラインＬ２とを表示可能である。
垂直ガイドラインＬ１は、モニタ８の幅方向中央を通るように設定された中央垂直ガイドラインＬ１１と、中央垂直ガイドラインＬ１１と平行し、頂点Ｐ２近傍に位置するように設定された左垂直ガイドラインＬ１２と、中央垂直ガイドラインＬ１１と平行し、頂点Ｐ４近傍に位置するように設定された右垂直ガイドラインＬ１３と、からなる。
また、水平ガイドラインＬ２は、モニタ８の高さ方向中央を通るように設定された中央水平ガイドラインＬ２１と、中央水平ガイドラインＬ２１と平行し、頂点Ｐ１近傍に位置するように設定された上水平ガイドラインＬ２２と、中央水平ガイドラインＬ２１と平行し、頂点Ｐ３近傍に位置するように設定された下垂直ガイドラインＬ２３と、からなる。
ＣＰＵ６１は、ユーザからの指示操作に応じて、これらのガイドラインＬ１、Ｌ２を表示する。
ユーザは、これらのガイドラインＬ１、Ｌ２によって、頂点Ｐ１とＰ３の位置、及び頂点Ｐ２とＰ４の位置を合せることができる。
【００３９】
ＣＰＵ６１は、かかる表示制御プログラム６３５を実行することにより表示制御として機能している。
【００４０】
硬さ算出プログラム６３６は、例えば、くぼみの画像からくぼみの対角線長さを計測し、計測したくぼみの対角線長さに基づいて、試料Ｓの硬さを算出する機能をＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ユーザにより測定ポイントとしてくぼみの頂点Ｐ１〜Ｐ４が指定されると、ＣＰＵ６１は、硬さ算出プログラム６３６を実行し、くぼみの対角線長さを計測する。なお、ＣＰＵ６１は、モニタ８に表示されていない画像部分の画素数も、計算上含めるのは勿論である。
このとき、くぼみの４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４が同時にモニタ８に表示されているため、ユーザは４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を確認しながら幅と高さの計測を行うことができるようになっている。
【００４１】
次に、本実施形態の硬さ試験機１００の作用について説明する。
上記構成の硬さ試験機１００においては、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像は、モニタ８に表示される際に、所定の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）を含んだ複数の切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４が切り出され（図５参照）、その切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像のみがモニタ８上に表示される（図６参照）。
このため、ＣＣＤカメラ１２により撮像された画像の全体を表示する必要がなく、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４以外の領域分は表示させないので、モニタ８に表示される切り出し領域域Ｒ１〜Ｒ４の画像の画素は間引く必要がなく、分解能が損なわれることがない。
また、モニタ８に表示された切り出し領域域Ｒ１〜Ｒ４の画像は、くぼみの画像のうち有用な測定ポイント（頂点Ｐ１〜Ｐ４）を含んだ部分が切り出された画像であり、モニタ８上でくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を同時に全て確認することができる。
【００４２】
また、モニタ８に切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４の画像が表示された際に、この画像に重ねて垂直ガイドラインＬ１及び水平ガイドラインＬ２を表示させることができる。
このため、ユーザは、対向する頂点（Ｐ１とＰ３、Ｐ２とＰ４）の位置を合せることができ、頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を目視しながら、くぼみの幅及び高さの計測を行うことができる。
【００４３】
以上のように、本実施形態の硬さ試験機１００によれば、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面に形成されたくぼみを撮像するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により撮像された四角形状のくぼみの画像を表示するモニタ８と、ＣＣＤカメラ１２により撮像されたくぼみの画像から、所定の測定ポイントとしてくぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４を含んだ複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出す切り出し手段（ＣＰＵ６１、切り出しプログラム６３４）と、切り出し手段により切り出された複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を、同時にモニタ８に表示させる表示制御手段（ＣＰＵ６１、表示制御プログラム６３５）と、を備えている。
このため、画像中の複数の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）を、分解能を維持したままモニタ８に同時に表示することができる。
よって、手動で測定ポイントを指定する手動読み取りの処理を、正確に実行することができる。
【００４４】
また、本実施形態の硬さ試験機１００によれば、表示制御手段は、モニタ８上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインＬ１と水平方向に延びる水平ガイドラインＬ２とを表示可能である。
このため、対向する頂点（Ｐ１とＰ３、Ｐ２とＰ４）の位置を合せることができ、画像上の４つの頂点Ｐ１〜Ｐ４の位置を目視しながら、幅と高さの計測を行うことができる。
【００４５】
なお、図８に示すように、切り出し手段により複数の領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出した後、モニタ８に表示させる前に、切り出された複数の領域Ｒ１〜Ｒ４の各々に、所定の測定ポイント（くぼみの画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４）が含まれるか否かを判定する判定手段（ＣＰＵ６１、判定プログラム６３７）を、更に備えることとしても良い。
具体的に、ＣＰＵ６１は、この判定プログラム６３７を実行することによって、切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４を切り出した後、各切り出し領域Ｒ１〜Ｒ４に対してエッジ検出を行うことで画像の頂点Ｐ１〜Ｐ４が含まれるか否かを判定する。
このようにすることで、撮像位置がずれていた場合にも、迅速に撮りなおしなどの処理を行うことができる。
【００４６】
また、上記実施形態においては、くぼみの画像が四角形状である場合を例示して説明したが、くぼみの画像の形状はこれに限定されない。即ち、圧子は四角錘状のものに限定されない。そして、切り出し領域は、圧子の形状から想定されるくぼみの画像の形状に応じて設定されれば良い。
また、上記実施形態においては、三角形及び五角形の切り出し領域が設定される場合を例示して説明したが、切り出し領域の形状はれに限定されない。
【符号の説明】
【００４７】
１００ 硬さ試験機
１ 硬さ測定部
２ 試料台
２ａ 試料固定部
３ ＸＹステージ
４ ＡＦステージ
５ 昇降機構部
６ 制御部
７ 操作部
８ モニタ（表示手段）
１０ 試験機本体
１１ 照明装置
１２ ＣＣＤカメラ（撮像手段）
１４ 圧子軸
１４ａ 圧子
１５ 対物レンズ
１６ ターレット
１７ フレームグラバ
６１ ＣＰＵ（切り出し手段、表示制御手段、判定手段）
６２ ＲＡＭ
６３ 記憶部
６３ａ 画像データ記憶部
６３ｂ プログラム記憶部
６３１ ステージ制御プログラム
６３２ オートフォーカスプログラム
６３３ くぼみ形成プログラム
６３４ 切り出しプログラム（切り出し手段）
６３５ 表示制御プログラム（表示制御手段）
６３６ 硬さ算出プログラム
６３７ 判定プログラム（判定手段）
Ｓ 試料
Ｌ１ 垂直ガイドライン
Ｌ２ 水平ガイドライン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像を表示する表示手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定のポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時に前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。
【請求項２】
前記くぼみの画像は、四角形状であり、
前記所定のポイントは、前記くぼみの画像の頂点であることを特徴とする請求項１に記載の硬さ試験機。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記表示手段上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインと水平方向に延びる水平ガイドラインとを表示可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の硬さ試験機。
【請求項４】
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の各々に、前記所定のポイントが含まれるか否かを判定する判定手段を更に備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の硬さ試験機。
【請求項１】
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
対物レンズを介して試料の表面に形成されたくぼみを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像を表示する表示手段と、
前記撮像手段により撮像されたくぼみの画像から、所定のポイントを含んだ複数の領域を切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の画像を、同時に前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。
【請求項２】
前記くぼみの画像は、四角形状であり、
前記所定のポイントは、前記くぼみの画像の頂点であることを特徴とする請求項１に記載の硬さ試験機。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記表示手段上の画像と重ねて、垂直方向に延びる垂直ガイドラインと水平方向に延びる水平ガイドラインとを表示可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の硬さ試験機。
【請求項４】
前記切り出し手段により切り出された複数の領域の各々に、前記所定のポイントが含まれるか否かを判定する判定手段を更に備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の硬さ試験機。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１３−５０３７９（Ｐ２０１３−５０３７９Ａ）
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８８４６０（Ｐ２０１１−１８８４６０）
【出願日】平成２３年８月３１日（２０１１．８．３１）
【出願人】（０００１３７６９４）株式会社ミツトヨ (979)
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月３１日（２０１１．８．３１）
【出願人】（０００１３７６９４）株式会社ミツトヨ (979)
[ Back to top ]