説明

硬化性樹脂組成物およびプリント配線板

【課題】ハローイング現象を防止することができる硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂、(B)メラミン又はその誘導体、(C)オキシム系光重合開始剤、(D)感光性(メタ)アクリレート化合物、(E)エポキシ化合物及び(F)希釈溶剤を含有する硬化性樹脂組成物。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えばプリント配線板のソルダーレジスト等として用いられる硬化性樹脂組成物及びこの硬化物を含むプリント配線板に関する。
【背景技術】
【0002】
一般に、プリント配線板は、ソルダーレジストを塗布した基板を露光処理し、現像処理を施し、しかる後ポストキュア処理が施される。そして、このようにしてソルダーレジスト開口部に形成された導体パッドに無電解金めっき処理が施される。
【0003】
しかし、このように処理されたプリント配線板は、無電解金めっき処理後にソルダーレジスト開口部周辺に変色(ハローイング現象)が見られる問題があった。
【0004】
このようなハローイング現象を抑制する方法として、ソルダーレジストで被覆される導体回路の防錆処理や粗面化処理、不活性雰囲気下でのポストキュア等の方法が提案されている。
【0005】
しかし、これらの提案はいずれも製造工程での改善提案であり、無電解金めっき処理後のソルダーレジスト開口部周辺の変色を防止する為に、これらの改善提案をそのまま適用すると、製造工程が煩雑になり、また、新たな製造設備が必要になるなどの問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2003-8199号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、無電解めっき処理後のソルダーレジスト開口部周辺の変色を防止することができる硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者らは、無電解めっき処理後にソルダーレジスト開口部周辺に変色が見られる、いわゆるハローイング現象を鋭意研究した結果、その原因は、ソルダーレジストと接する導体回路の酸化であることを確認した。そして、この知見に基づき、この導体回路の酸化を防止できる硬化性樹脂組成物として、本発明に係る硬化性樹脂組成物を見出したのである。
【0009】
すなわち、本発明に係る硬化性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂、(B)メラミン又はその誘導体、(C)オキシム系光重合開始剤、(D)感光性(メタ)アクリレート化合物、(E)エポキシ化合物及び(F)希釈溶剤を含有する。
【発明の効果】
【0010】
本発明は、メラミン又はその誘導体を配合することにより、無電解めっき(例えばNi−Au,Ni−Pd)処理後におけるソルダーレジスト開口部周辺の変色を防止することができる。
【0011】
硬化性樹脂組成物の改良によりソルダーレジスト開口部周辺の変色を防止することができるので、製造工程が煩雑にならず、また、新たな製造設備を必要とすることがない。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0013】
本発明は、(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂、(B)メラミン又はその誘導体、(C)オキシム系光重合開始剤、(D)感光性(メタ)アクリレート化合物、(E)エポキシ化合物及び(F)希釈溶剤を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物である。
【0014】
(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂
エポキシ樹脂を出発としないカルボキシル基含有樹脂(A)としては、光硬化性や耐現像性の面から、カルボキシル基含有樹脂が、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボン酸含有感光性樹脂であることが好ましい。そして、その不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。以下にその具体例を示す。
【0015】
(1)分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【0016】
(2)1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【0017】
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。
【0018】
(4)ジイソシアネートとカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。
【0019】
(5)ジイソシアネートとカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。
【0020】
(6)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。
【0021】
なお、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称するものであり、以下、他の類似の表現についても同様である。
【0022】
このようなカルボキシル基含有樹脂(A)は、エポキシ樹脂を出発原料として用いていないため、塩素イオン不純物含有量が非常に少ないといった特徴がある。カルボキシル基含有樹脂(A)の塩素イオン不純物含有量は0−100ppm、より好ましくは0−50ppm、更に好ましくは0−30ppmである。
【0023】
また、このようなカルボキシル基含有樹脂(A)は、水酸基を含まない樹脂であるという点も特徴である。一般的に、水酸基の存在は、水素結合による密着性の向上など優れた特徴も有しているが、著しく耐湿性を低下させることが知られている。
【0024】
このようなカルボキシル基含有樹脂(A)において、塩素分のないフェノールノボラック樹脂は、容易に入手することができる。そして、これをアルキルオキシド変性し、得られたフェノール樹脂由来ポリオールを、部分的にアクリル化し、残存する水酸基に対して酸無水物を導入することにより、二重結合等量300−550、酸価40−150の範囲で、理論上水酸基を有さない樹脂を得ることが可能である。また、このときの不純物としての塩素イオンは、20ppm以下と極めて少ない状態とすることができる。
【0025】
一方、一般的なソルダーレジストに使用されているエポキシアクリレート変性樹脂において、類似のフェノールノボラック樹脂より合成されたエポキシ樹脂のエポキシ基を全てアクリル化し、生成した水酸基に酸無水物を導入することは可能である。しかしながら、エポキシ樹脂由来の塩素イオンが多く残存すること、また、アクリル化した際に生成する水酸基が非常に多く、すべて若しくは部分的に酸無水物で変性しても、酸価が非常に大きくなり、または、水酸基が残存してしまい、耐水性に劣り、絶縁信頼性、耐PCT耐性を著しく低下させる。すなわち、類似のフェノールノボラック型エポキシ樹脂より誘導されたエポキシアクリレート系樹脂から、塩素イオン物と水酸基を低減することは非常に困難である。
【0026】
また、その他、ウレタン樹脂も、水酸基とイソシアネート基の当量をあわせることにより、水酸基を含まない樹脂を容易に合成することができる。このうち、ホスゲンを出発原料として用いていないイソシアネート化合物、エピハロヒドリンを使用しない原料から合成されることが好ましい。これらのうち、ハロゲン量が0−30ppmであることが好ましく、水酸基を理論上含まないように合成されることがより好ましい。
【0027】
さらに、一般的に共重合により得られる樹脂も、塩素イオン不純物が非常に少なく、優れた絶縁信頼性を示す。
【0028】
(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂として、特に、ノボラック型フェノール樹脂(a)とアルキレンオキシド(b)との反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸(c)を反応させ、得られた反応生成物に多塩基酸無水物(d)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂を好適に使用することができる。
【0029】
このカルボキシル基含有感光性樹脂は、30〜150mgKOH/g、好ましくは50〜120mgKOH/gの範囲内にある酸価を有することが望ましい。
【0030】
上記ノボラック型フェノール樹脂は、フェノール類とホルムアルデヒドとの縮合反応によって得られるが、通常、これらの反応は酸性触媒の存在下で行なわれる。
【0031】
フェノール類としては、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、プロピルフェノール、ブチルフェノール、ヘキシルフェノール、オクチルフェノール、ノニルフェノール、フェニルフェノール、クミルフェノール等が挙げられる。
【0032】
上記ノボラック型フェノール樹脂に対するアルキレンオキシドの付加割合は、ノボラック型フェノール樹脂のフェノール性水酸基1当量当り、0.3〜5.0モルが好ましい。0.3モル未満及び5.0モルより多い場合、カルボキシル基含有感光性樹脂を含有する硬化性樹脂組成物において、光硬化性が乏しくなる恐れがある。
【0033】
ノボラック型フェノール樹脂に対するアルキレンオキシドの付加反応は、例えば、水酸化ナトリウムのようなアルカリ金属化合物、又は、トリメチルベンジルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド等の第四級塩基性塩化合物、あるいはアルカリ金属化合物と第四級塩基性塩化合物の混合物の存在下において、例えば、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類、トルエンとメチルイソブチルケトンのような混合溶媒を用いて、80〜180℃、常圧〜10kg/cm2で行なわれる。
【0034】
アルキレンオキシドとしては、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、トリメチレンオキシド、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等が挙げられる。
【0035】
上記ノボラック型フェノール樹脂とアルキレンオキシドの反応生成物と、不飽和基含有モノカルボン酸とのエステル化反応における反応温度は、約50〜150℃が好ましく、減圧下、常圧下、加圧下のいずれでも反応を行なうことができる。このエステル化反応において、不飽和基含有モノカルボン酸(b)は、本発明のカルボキシル基含有感光性樹脂の二重結合当量が300〜700となるような付加量とすることが望ましい。反応溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類;n−ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の炭化水素類;トリクロロエタン、テトラクロロエチレン、メチルクロロホルム等のハロゲン化炭化水素類;ジイソプロピルエーテル等のエーテル類;エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類などが好適に用いられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。エステル化触媒としては、硫酸、塩酸、燐酸、フッ化ホウ素、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、カチオン交換樹脂等が適宜用いられる。エステル化反応は重合禁止剤の存在下で行なうのが好ましく、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等が好適に用いられる。
【0036】
前記反応生成物に、多塩基酸無水物を反応させてカルボキシル基含有感光性樹脂が得られるが、反応は、有機溶剤の存在下又は非存在下でハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤の存在下、通常50〜130℃で行なう。このとき必要に応じて、トリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物等を触媒として添加してもよい。この反応において、多塩基酸無水物(c)の使用量は、生成するカルボキシル基含有感光性樹脂の酸価が、30〜150mgKOH/g、好ましくは50〜120mgKOH/gとなるような付加量とする。カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価が30mgKOH/gよりも低い場合には、アルカリ水溶液に対する溶解性が悪くなり、形成した塗膜の現像が困難になる。一方、150mgKOH/gよりも高くなると、露光の条件によらず露光部の表面まで現像されてしまい、好ましくない。
【0037】
本発明に係る硬化性樹脂組成物は、更に、下記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂を更に含むことができる。
【化1】

【0038】
(式中、XとYは異なる芳香環残基を表わし、Xはビフェノール型ジグリシジルエーテル、ビキシレノール型ジグリシジルエーテル、ビスフェノール型ジグリシジルエーテル及びナフタレン型ジグリシジルエーテルよりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のグリシジル基を有する芳香族エポキシ樹脂の芳香環残基を表わし、Yはジヒドロキシナフタレン及びその誘導体、ビフェノール及びその誘導体、ビキシレノール及びその誘導体、ビスフェノール及びその誘導体、及びハイドロキノン誘導体よりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のフェノール性水酸基を有する芳香族アルコールの芳香環残基を表わし、Mはグリシジル基及び/又は水素原子を表わし、nは1〜20の整数を表わす。)
前記多核エポキシ化合物(a)は、1分子中に2個のグリシジル基を有する芳香族エポキシ樹脂(以下、二官能芳香族エポキシ樹脂という)と、1分子中に2個のフェノール性水酸基を有する芳香族アルコール(以下、二官能芳香族アルコールという)とを原料として、後述するような公知のエーテル化触媒を用い、溶媒中又は無溶媒下、交互に重合させ、得られたアルコール性の二級の水酸基にエピハロヒドリンを、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等の非プロトン性極性溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類等の公知の溶媒中、苛性ソーダ等のアルカリ金属水酸化物の存在下、反応させて得られる。
【0039】
前記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)とを、後述する有機溶剤の存在下あるいは非存在下で、ハイドロキノンや酸素などの重合禁止剤、及びトリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物などの反応触媒の共存下、通常約80〜130℃で反応させることにより、エポキシアクリレート化合物が得られる。
【0040】
上記反応により生成したエポキシアクリレート化合物のアルコール性水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させることによりカルボキシル基含有感光性樹脂が得られるが、この反応において、多塩基酸無水物(c)の使用量は生成するカルボキシル基含有感光性樹脂(A)の酸価が30〜150mgKOH/gとなるように調整する。反応は、後述する有機溶剤の存在下又は非存在下、通常約50〜130℃で行なう。このとき必要に応じて、トリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物を触媒として添加してもよい。
【0041】
前記二官能芳香族エポキシ樹脂としては、下記式(2)〜(5)で示されるような芳香環を有するビフェノール型ジグリシジルエーテル、ビキシレノール型ジグリシジルエーテル、ビスフェノール型ジグリシジルエーテル、ナフタレン型ジグリシジルエーテル等の少なくとも1種の二官能芳香族エポキシ化合物が用いられる。このような二官能芳香族エポキシ化合物を、二官能芳香族アルコールとの交互共重合体における一方のモノマー成分とすることにより、硬化物の強度、耐熱性、電気絶縁性等に優れたエポキシ化合物が得られる。
【化2】

【0042】
(式中、R1、R2、R3、R4は同一の又は互いに異なる、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表わし、R5、R6、R7、R8は同一の又は互いに異なる、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又はハロゲン原子を表わし、R9、R10は同一の又は互いに異なる、水素原子、メチル基又はハロゲン化メチル基を表わす。)
前記ビフェノール型、ビキシレノール型、ビスフェノール型又はナフタレン型のジグリシジルエーテルとしては、例えばビフェノール化合物、ビキシレノール化合物、ビスフェノール化合物又はジヒドロキシナフタレンとエピクロルヒドリンとの反応から製造されるものを使用することができる。また、市販のエポキシ樹脂も使用することができ、例えば、ビフェノール型ジグリシジルエーテルとしては三菱化学(株)製の商品名「jER YL−6056」、ビキシレノール型ジグリシジルエーテルとしては三菱化学(株)製の商品名「jER YX−4000」等、或いはDIC(株)製の商品名「エピクロン830S」等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、或いはDIC(株)製の商品名「エピクロンEXA1514」等のビスフェノールS型エポキシ樹脂、ナフタレン型ジグリシジルエーテルとしてはDIC(株)製の商品名「エピクロンHP−4032(D)」等を挙げることができ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
【0043】
二官能芳香族アルコールは、その構造に特徴があり、耐熱性を高くするために芳香環を有し、対称構造或いは剛直な構造を有したものを使用することができる。このような化合物としては、例えば1,4−ジヒドロキシナフタレン、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシナフタレン、2,8−ジヒドロキシナフタレン等のジヒドロキシナフタレン誘導体、ビキシレノール、ビフェノール等のビフェノール誘導体、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、アルキル基置換ビスフェノール等のビスフェノール誘導体、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン等のハイドロキノン誘導体等を挙げることができ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
【0044】
二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールとの反応に使用される触媒としては、グリシジル基とフェノール性水酸基が定量的に反応するホスフィン類、アルカリ金属化合物、アミン類を単独で又は併用して用いるのが好ましい。これ以外の触媒は、グリシジル基とフェノール性水酸基との反応で生成するアルコール性の水酸基と反応し、ゲル化するので好ましくない。
【0045】
ホスフィン類としては、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等のトリアルキルもしくはトリアリールホスフィン又はこれらと酸化物との塩類などが挙げられる。
【0046】
アルカリ金属化合物としては、ナトリウム、リチウム、カリウム等のアルカリ金属の水酸化物、ハロゲン化物、アルコラート、アミドなどが挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0047】
アミン類としては、脂肪族又は芳香族の第一級、第二級、第三級、第四級アミン類などが挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。アミン類の具体例としては、トリエタノールアミン、N,N−ジメチルピペラジン、トリエチルアミン、トリ−n−プロピルアミン、ヘキサメチレンテトラミン、ピリジン、テトラメチルアンモニウムブロマイドなどが挙げられる。
【0048】
これらの触媒は、二官能芳香族エポキシ化合物及び二官能芳香族アルコールの仕込量100質量部に対して、0.001〜1質量部、好ましくは0.01〜1質量部の範囲で用いることが好ましい。この理由は、触媒の使用量が0.001質量部未満では、反応に時間がかかり経済的でなく、一方、1質量部を超えるものについては逆に反応が早いため制御がし難くなるので好ましくない。
【0049】
二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールは、不活性ガス気流中或いは空気中で前記触媒下、約130〜180℃の温度範囲で反応させることが好ましい。
【0050】
前記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物は、後述するような公知の溶媒中、アルカリ金属水酸化物の存在下にて、前記二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールとの反応生成物におけるアルコール性水酸基とエピハロヒドリンとを反応させることによって製造することができる。
【0051】
前記エピハロヒドリンとしては、例えばエピクロルヒドリン、エピブロムヒドリン、エピヨードヒドリン、β−メチルエピクロルヒドリン、β−メチルエピブロムヒドリン、β−メチルエピヨードヒドリンなどが用いられる。
【0052】
前記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物において、エピハロヒドリンの使用量は前記二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールとの反応生成物におけるアルコール性水酸基1当量に対して約0.1倍当量以上使用すればよい。但し、水酸基1当量に対して15倍当量を超える量の使用は、容積効率が悪くなり好ましくない。
【0053】
また、溶媒としては、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等の非プロトン性極性溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類等の公知の溶媒が挙げられる。この溶媒の使用量は、前記二官能芳香族エポキシ化合物と二官能芳香族アルコールとの反応生成物に対して5〜300質量%が好ましい。この理由は、5質量%未満ではアルコール性水酸基とエピハロヒドリンとの反応が遅くなり、一方、300質量%を超えると容積効率が悪くなり好ましくない。
【0054】
また、アルカリ金属水酸化物としては、苛性ソーダ、苛性カリ、水酸化リチウム、水酸化カルシウムなどが使用でき、特に苛性ソーダが好ましい。このアルカリ金属水酸化物の使用量は、前記二官能芳香族エポキシ化合物と二官能芳香族アルコールとの反応生成物におけるエポキシ化したいアルコール性水酸基1当量に対して約0.5〜2倍当量とすることが好ましい。
【0055】
前記二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールとの反応生成物におけるアルコール性水酸基とエピハロヒドリンとの反応温度は、20〜100℃が好ましい。この理由は、反応温度が20℃未満であると反応が遅くなり、長時間の反応が必要となり、一方、反応温度が100℃を超えると副反応が多く起こり好ましくない。
【0056】
また、前記二官能芳香族エポキシ樹脂と二官能芳香族アルコールとの反応生成物におけるアルコール性水酸基とエピハロヒドリンとの反応は、ジメチルスルホキシド又は四級アンモニウム塩又は1,3−ジメチル−2−イミダゾリンとアルカリ金属水酸化物の共存下、該アルカリ金属水酸化物の量を調整することにより行なうこともできる。その際、溶剤としてメタノールやエタノール等のアルコール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類、テトラヒドロフラン等の環状エーテル化合物などを併用しても構わない。
【0057】
四級アンモニウム塩としてはテトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、トリメチルアンモニウムクロライドなどが用いうる具体例として挙げられ、その使用量は原料として使用するエポキシ樹脂のエポキシ化させたい水酸基1当量に対して0.3〜50gが好ましい。エポキシ化させたい水酸基1当量に対して0.3g未満の場合、原料として使用するエポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピハロヒドリンとの反応が遅くなり、長時間の反応が必要となるので好ましくない。一方、エポキシ化させたい水酸基1当量に対して50gを超えると、増量した効果は殆どなくなると共に、コストが高くなり好ましくない。
【0058】
前記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物(a)に、不飽和基含有モノカルボン酸(b)を反応させて不飽和エポキシアクリレート化合物を得るにあたっては、前記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物に、該化合物中に含まれるエポキシ基1モルに対して不飽和基含有モノカルボン酸(b)を0.8〜1.3モルの割合で配合し、不活性溶媒中又は無溶剤で、約60〜150℃、好ましくは70〜130℃に加熱して、好ましくは空気の存在下に反応を行なう。反応中の重合によるゲル化を防止するため、メチルハイドロキノン、ハイドロキノン等のハイドロキノン類;p−ベンゾキノン、p−トルキノン等のベンゾキノン類などの公知慣用の重合禁止剤を用いるのが好ましい。また、反応時間を短縮するために、エステル化触媒を用いるのが好ましく、エステル化触媒としては、例えば、N,N−ジメチルアニリン、ピリジン、トリエチルアミン等の三級アミン及びその塩酸塩又は臭素酸塩;テトラメチルアンモニウムクロライド、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム塩;パラトルエンスルホン酸等のスルホン酸;ジメチルスルホキシド、メチルスルホキシド等のスルホニウム塩;トリフェニルホスフィン、トリ−n−ブチルホスフィン等のホスフィン類;塩化リチウム、臭化リチウム、塩化第一錫、塩化亜鉛等の金属ハロゲン化物などの公知慣用のものを用いることができる。不活性溶剤としては、例えばトルエン、キシレンなどを用いることができる。
【0059】
前記不飽和基含有モノカルボン酸(b)の代表的なものとしては、アクリル酸、メタアクリル酸、あるいはさらに、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、フェニルグリシジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸カプロラクトン付加物などの水酸基含有アクリレートの不飽和二塩基酸無水物付加物などが挙げられる。ここで特に好ましいのはアクリル酸及び/又はメタアクリル酸である。これら不飽和基含有モノカルボン酸は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0060】
前記反応により生成したエポキシアクリレート化合物のアルコール性水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させてカルボキシル基含有感光性樹脂(A)が得られるが、この反応において、多塩基酸無水物(c)の使用量は、生成するカルボキシル基含有感光性樹脂(A)の酸価が30〜150mgKOH/g、好ましくは50〜120mgKOH/gの範囲内になるように調整する。カルボキシル基含有感光性樹脂(A)の酸価が30mgKOH/gよりも低い場合には、アルカリ水溶液に対する溶解性が悪くなり、形成した塗膜の現像が困難になる。一方、150mgKOH/gよりも高くなると、露光の条件によらず露光部の表面まで現像されてしまい、好ましくない。
【0061】
反応は、有機溶剤の存在下又は非存在下でハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤の存在下、通常約50〜130℃で行なう。このとき必要に応じて、トリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物等を触媒として添加してもよい。
【0062】
上記多塩基酸無水物(c)としては、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、3,6−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸等の脂環式二塩基酸無水物;無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、オクテニル無水コハク酸、ペンタドデセニル無水コハク酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸等の脂肪族又は芳香族二塩基酸無水物、あるいはビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族又は芳香族四塩基酸二無水物が挙げられ、これらのうち1種又は2種以上を使用することができる。
【0063】
本発明の硬化性樹脂組成物を構成するエポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂(A)と、多核エポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂との配合割合は、目的に応じて任意であるが、カルボキシル基含有感光性樹脂(A)に対してカルボキシル基含有感光性樹脂を70:30〜30:70の割合で配合し、且つこれら両樹脂の合計の酸価が30〜150mgKOH/g、好ましくは40〜110mgKOH/gの範囲内にあることが望ましい。両カルボキシル基含有樹脂の配合後の酸価が30mgKOH/gよりも低い場合には、アルカリ水溶液に対する溶解性が悪くなり、形成した塗膜の現像が困難になる。一方、150mgKOH/gよりも高くなると、露光の条件によらず露光部の表面まで現像されてしまい、好ましくない。
【0064】
(B)メラミン又はその誘導体
メラミン及びその誘導体は、ハローイング現象の抑制のために添加する。メラミン及びその誘導体の好ましい添加量は、カルボキシル基含有樹脂の固形分100質量部に対して1〜20質量部であり、より好ましくは3〜15質量部である。配合量が少なすぎるとハローイング現象の抑制効果がなく、逆に多すぎると保存安定性、現像性、塗膜の耐水性等に問題が生じる。
【0065】
メラミンの誘導体としては、メラミンの有機酸塩又はメラミンのエポキシアダクトなどが挙げられる。
【0066】
(C)オキシム系光重合開始剤
本発明の硬化性樹脂組成物を構成する必須の光重合開始剤は、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤であるが、このオキシムエステル系光重合開始剤と共にα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤を併用することができる。
【0067】
オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、BASF社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01、イルガキュアー OXE02、アデカ社製N−1919、アデカアークルズ NCI−831などが挙げられる。また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることが出来、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
【化3】

【0068】
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルで表される)。nは0か1の整数であらわされる。
【0069】
特に化式中、X、Yが、それぞれ、メチル基またはエチル基であり、Zはメチルまたはフェニルであり、nは0であり、Arは、フェニレン、ナフチレン、チオフェンまたはチエニレンであることが好ましい。)
このようなオキシムエステル系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜5質量部とすることが好ましい。0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離するとともに、耐薬品性などの塗膜特性が低下する。一方、5質量部を超えると、ソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは、0.5〜3質量部である。
【0070】
オキシムエステル系光重合開始剤と併用して配合することができるα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。
【0071】
オキシムエステル系光重合開始剤と併用して配合することができるアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、BASF社製のイルガキュアー819などが挙げられる。
【0072】
これらα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部未満であると、同様に銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離するとともに、耐薬品性などの塗膜特性が低下する。一方、15質量部を超えると、アウトガスの低減効果が得られず、さらにソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.5〜10質量部である。
【0073】
その他、本発明の光硬化性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤および増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、およびキサントン化合物などを挙げることができる。
【0074】
ベンゾイン化合物としては、具体的には、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。
【0075】
アセトフェノン化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。
【0076】
アントラキノン化合物としては、具体的には、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。
【0077】
チオキサントン化合物としては、具体的には、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。
【0078】
ケタール化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。
【0079】
ベンゾフェノン化合物としては、具体的には、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。
【0080】
3級アミン化合物としては、具体的には、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などが挙げられる。
【0081】
これらの中でも、チオキサントン化合物および3級アミン化合物が好ましい。本実施形態の組成物には、チオキサントン化合物が含まれることが深部硬化性の面から好ましく、特に、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン化合物が好ましい。
【0082】
このようなチオキサントン化合物の配合量としては、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、20質量部以下であることが好ましい。チオキサントン化合物の配合量が20質量部を超えると、厚膜硬化性が低下して、製品のコストアップに繋がる。より好ましくは10質量部以下の割合である。
【0083】
また、3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物およびケトクマリン類が特に好ましい。
【0084】
ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。
【0085】
このような3級アミン化合物の配合量としては、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましい。3級アミン化合物の配合量が0.1質量部未満であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。20質量部を超えると、3級アミン化合物による乾燥ソルダーレジスト塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.1〜10質量部である。
【0086】
これらの光重合開始剤、光開始助剤および増感剤は、単独でまたは2種類以上の混合物として使用することができる。
【0087】
以上説明したような光重合開始剤、光開始助剤、および増感剤の総量は、前記カルボン酸含有樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。
【0088】
なお、これらの光重合開始剤、光開始助剤、および増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として働くことがある。しかしながら、これらは組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストのライン形状および開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の加工精度を向上させることができる。
【0089】
感光性(メタ)アクリレート化合物(D)としては、1分子中に1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する室温で液体、固体又は半固形の感光性(メタ)アクリレート化合物が使用できる。これら感光性(メタ)アクリレート化合物の使用目的は、組成物の光反応性を上げることにある。室温で液状の感光性(メタ)アクリレート化合物は、組成物の光反応性を上げる目的の他、組成物を各種の塗布方法に適した粘度に調整し、あるいはアルカリ水溶液への溶解性を助ける役割も果たす。しかし、室温で液状の感光性(メタ)アクリレート化合物を多量に使用すると、塗膜の指触乾燥性が得られず、また塗膜の特性も悪化する傾向があるので、多量に使用することは好ましくない。感光性(メタ)アクリレート化合物(D)の配合量は、前記カルボキシル基含有感光性樹脂に対して10〜50質量部の割合が好ましい。
【0090】
感光性(メタ)アクリレート化合物(D)としては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートなどの水酸基含有のアクリレート類;ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレートなどの水溶性のアクリレート類;トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの多価アルコールの多官能ポリエステルアクリレート類;トリメチロールプロパン、水添ビスフェノールA等の多官能アルコールもしくはビスフェノールA、ビフェノールなどの多価フェノールのエチレンオキサイド付加物及び/又はプロピレンオキサイド付加物のアクリレート類;上記水酸基含有アクリレートのイソシアネート変成物である多官能もしくは単官能ポリウレタンアクリレート;ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル又はフェノールノボラックエポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸付加物であるエポキシアクリレート類、及び上記アクリレート類に対応するメタクリレート類などが挙げられ、これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中でも、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレート化合物が好ましい。
【0091】
前記熱硬化性成分として用いられるエポキシ化合物(E)としては、三菱化学(株)製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC(株)製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成(株)製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のjER YL903、DIC(株)製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成(株)製のエポトートYDB−400、YDB−500等のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のjER152、jER154、DIC(株)製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成(株)製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬(株)製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020,EOCN−104S、RE−306等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC(株)製のエピクロン830、三菱化学社製のjER807、東都化成(株)製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004(何れも商品名)等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成(株)製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(何れも商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のjER604、東都化成(株)製のエポトートYH−434等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業(株)製のセロキサイド2021(商品名)等の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のYL−933、日本化薬(株)製のEPPN−501、EPPN−502(何れも商品名)等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;日本化薬(株)製のEBPS−200、(株)ADEKA製のEPX−30、DIC(株)製のEXA−1514(何れも商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のjER157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学(株)製のjER YL−931(商品名)等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学(株)製のTEPIC(商品名)等の複素環式エポキシ樹脂;日油(株)製のブレンマーDGT(商品名)等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成(株)製のZX−1063(商品名)等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄化学(株)製のESN−190、ESN−360、DIC(株)製のHP−4032、EXA−4750、EXA−4700(何れも商品名)等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC(株)製のHP−7200、HP−7200H(何れも商品名)等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油(株)製のCP−50S、CP−50M(何れも商品名)等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂等が挙げられ、さらに、ビフェノール型ジグリシジルエーテル、ビキシレノール型ジグリシジルエーテル、ビスフェノール型ジグリシジルエーテル及びナフタレン型ジグリシジルエーテルよりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のグリシジル基を有する芳香族エポキシ化合物と、ジヒドロキシナフタレン及びその誘導体、ビフェノール及びその誘導体、ビキシレノール及びその誘導体、ビスフェノール及びその誘導体、及びハイドロキノン誘導体よりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のフェノール性水酸基を有する芳香族アルコールとの反応生成物におけるアルコール性水酸基に対して、エピハロヒドリンを反応させて得られる線状の多核エポキシ化合物等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらエポキシ化合物は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0092】
エポキシ化合物(E)の配合量は用途に応じて適宜設定でき、一般には、前記カルボキシル基含有感光性樹脂の合計量100質量部に対して5〜100質量部の割合が適当である。
【0093】

希釈溶剤(F)は、カルボキシル基含有感光性樹脂を溶解させ、また組成物を塗布方法に適した粘度に調整するために用いるものである。希釈溶剤としては、例えば、エチルメチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビールアセテート等のエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などを挙げることができる。
【0094】
この希釈溶剤(F)の使用量は、前記カルボキシル基含有感光性樹脂の固形分の総量100質量部に対して10〜300質量部が好ましい。
【0095】
本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化触媒を配合することができる。この硬化触媒は、特に、強靱性、密着性、耐熱性、無電解金めっき耐性等のソルダーレジストとしての諸特性をより一層向上させるものである。
【0096】
硬化触媒の具体例としては、例えば、四国化成工業(株)製の2MZ、2E4MZ、C11Z、C17Z、2PZ、1B2MZ、2MZ−CN、2E4MZ−CN、C11Z−CN、2PZ−CN、2PHZ−CN、2MZ−CNS、2E4MZ−CNS、2PZ−CNS、2MZ−AZINE、2E4MZ−AZINE、C11Z−AZINE、2MA−OK、2P4MHZ、2PHZ、2P4BHZ、1B2PZ等のイミダゾール誘導体;アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類;ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、m−キシレンジアミン、ジアミノジフェニルスルフォン、ジシアンジアミド、尿素、尿素誘導体、多塩基ヒドラジド等のポリアミン類;これらの有機酸塩及び/又はエポキシアダクト:三フッ化ホウ素のアミン錯体;エチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジン等のトリアジン誘導体類;トリメチルアミン、トリエタノールアミン、N,N−ジメチルオクチルアミン、N−ベンジルジメチルアミン、ピリジン、N−メチルモルホリン、ヘキサ(N−メチル)メラミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、テトラメチルグアニジン、m−アミノフェノール等の三級アミン類;ポリビニルフェノール、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノボラック、アルキルフェノールノボラック等のポリフェノール類;トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホスフィン類;トリ−n−ブチル(2,5−ジヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシルトリブチルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩類;ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩類;前記多塩基酸無水物;ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、2,4,6−トリフェニルチオピリリウムヘキサフルオロホスフェート、BASF社製のイルガキュアー261、(株)ADEKA製のオプトマーSP−170等の光カチオン重合触媒;スチレン−無水マレイン酸樹脂;フェニルイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物や、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の有機ポリイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物などの公知慣用の硬化剤類あるいは硬化促進剤類が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0097】
この硬化触媒の使用量は、前記エポキシ化合物(E)100質量部に対して、0.01〜25質量部が好ましく、特に好ましくは0.1〜15質量部である。
【0098】
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、さらに、密着性、硬度などの特性を向上する目的で、必要に応じて、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸アルミニウム、雲母粉等の公知慣用の無機充填剤が使用できる。その使用量は、本発明の組成物全体の0〜60質量が好ましく、特に好ましくは5〜40質量%である。
【0099】
また、必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの公知慣用の着色剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の公知慣用の重合禁止剤、アスベスト、オルベン、ベントン、モンモリロナイト等の公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤のような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
【0100】
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物は、引火性の低下のために水を添加することもできる。水を添加する場合には、カルボキシル基含有感光性樹脂(A)及び(B)のカルボキシル基を、トリメチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、アクリロイルモルホリン、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド等の3級アミノ基を有する(メタ)アクリレート化合物で造塩することにより、カルボキシル基含有感光性樹脂を水に溶解するようにすることが好ましい。
【0101】
本発明の硬化性樹脂組成物は、前記したような配合成分を好ましくは前記の割合で配合し、ロールミル等で均一に混合することにより得られる。また、本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば次のようにして硬化させ、硬化物を得ることができる。まず、前記した成分を含有する熱硬化型の絶縁樹脂組成物を、回路形成された配線板の導体層の上にスクリーン印刷法やスプレーコーティング法、カーテンコーティング法等公知の方法を用いてコーティングする。コーティング方法によっては一回のコーティングで所望の膜厚の塗膜が得られない場合があるが、その場合は複数回コーティングを行う。所望の膜厚の絶縁樹脂層をコーティングした後、一度目の加熱処理を行い、半硬化状態とする。その後、必要に応じて所定の層間導通孔等の穴明けを行った後、酸化剤、アルカリ水溶液、有機溶剤等の粗化剤により粗面化処理を行い、粗面化した絶縁樹脂層表面に無電解めっき、電解めっき等により導体層を被覆した後、二度目の加熱処理を行い、上記絶縁樹脂層の架橋密度を上げると共に応力緩和を行う。その後、常法に従って、絶縁樹脂層表面の導体層をエッチングして所定の回路パターンを形成し、回路形成された導体層を形成する。また、このような操作を所望に応じて順次繰り返し、絶縁樹脂層及び所定の回路パターンの導体層を交互にビルドアップして形成することもできる。上記のような多層プリント配線板の製造方法において、絶縁樹脂層コーティング後の一度目の加熱処理の温度T1 は、絶縁樹脂組成物の処方によっても影響を受けるが、一般に110〜170℃の範囲であり、また導体層めっき後の二度目の加熱処理の温度T2 は、一度目の加熱処理の温度T1 よりも高くし、好ましくは絶縁樹脂層のガラス転移温度Tgよりも高くすることが好ましい。
【0102】
なお、本発明の組成物は、ビルドアップ法による多層プリント配線板の製造方法の絶縁樹脂層としてだけでなく、例えば銅箔ラミネート法による多層プリント配線板の製造における絶縁樹脂層の形成や、積層プレス法に用いるプリプレグ用の絶縁樹脂組成物としても用いることができる。
【実施例】
【0103】
合成例1
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和高分子(株)製、商品名「ショーノールCRG951」、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部及びトルエン119.4部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cm2で16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。
【0104】
得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部及びトルエン252.9部を、撹拌機、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。
【0105】
次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部及びトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂は、不揮発分70.6%、固形物の酸価87.7mgKOH/gであった。
【0106】
合成例2
ガス導入管、撹拌装置、冷却管、温度計、及びアルカリ金属水酸化物水溶液の連続滴下用の滴下ロートを備えた反応容器に水酸基当量80g/当量の1,5−ジヒドロキシナフタレン224部とビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製、jER828、エポキシ当量189g/当量)1075部を仕込み、窒素雰囲気下にて、撹拌下110℃で溶解させた。その後、トリフェニルホスフィン0.65部を添加し、反応容器内の温度を150℃まで昇温し、温度を150℃で保持しながら、約90分間反応させ、エポキシ当量452g/当量のエポキシ化合物(1−a)を得た。次にフラスコ内の温度を40℃まで冷却し、エピクロルヒドリン1920部、トルエン1690部、テトラメチルアンモニウムブロマイド70部を加え、撹拌下45℃まで昇温し保持する。その後、48%水酸化ナトリウム水溶液364部を60分間かけて連続滴下し、その後、さらに6時間反応させた。反応終了後、過剰のエピクロルヒドリン及びトルエンの大半を減圧蒸留して回収し、副生塩とトルエンを含む反応生成物をメチルイソブチルケトンに溶解させ水洗した。有機溶媒層と水層を分離後、有機溶媒層よりメチルイソブチルケトンを減圧蒸留して留去し、エポキシ当量277g/当量の多核エポキシ樹脂(1−b)を得た。得られた多核エポキシ樹脂(1−b)は、エポキシ当量から計算すると、エポキシ化合物(1−a)におけるアルコール性水酸基1.98個のうち約1.59個がエポキシ化されている。従って、アルコール性水酸基のエポキシ化率は約80%である。
【0107】
次に、多核エポキシ樹脂(1−b)277部を撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに入れ、カルビトールアセテート290部を加え、加熱溶解し、メチルハイドロキノン0.46部と、トリフェニルホスフィン1.38部を加え、95〜105℃に加熱し、アクリル酸72部を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物129部を加え、8時間反応させた。反応は、電位差滴定による反応液の酸化、全酸化測定を行ない、得られる付加率にて追跡し、反応率95%以上を終点とする。このようにして得られたカルボキシル基含感光性樹脂は、不揮発分62%、固形物の酸価100mgKOH/gであった。
【0108】
合成例3
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製、エピクロンN−695、エポキシ当量220)330部をガス導入管、撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに入れ、カルビトールアセテート400部を加え、加熱溶解し、ハイドロキノン0.46部と、トリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸108部を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物163部を加え、8時間反応させた。反応は、電位差滴定による反応液の酸化、全酸化測定を行ない、得られる付加率にて追跡し、反応率95%以上を終点とする。このようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂は、不揮発分58%、固形物の酸価102mgKOH/gであった。
【0109】
表1に示す配合組成(数値は質量部である)に従って各成分を配合し、3本ロールミルでそれぞれ別々に混練し、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。これをスクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルスクリーンを用いて20〜30μmの厚さになるように、パターン形成されているプリント配線板に全面塗布し、塗膜を80℃の熱風乾燥器を用いて60分間乾燥した。
【0110】
次いで、レジストパターンを有するネガフィルムを塗膜に密着させ、紫外線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680GW)を用いて、紫外線を照射(露光量200mJ/cm2)し、1%炭酸ナトリウム水溶液で120秒間、2.0kg/cm2のスプレー圧で現像して未露光部分を溶解除去した。
【0111】
その後、150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化を行ない、試験基板を作製した。
【0112】
得られた硬化皮膜を有する試験基板について、後述の試験方法及び評価方法にて密着性、はんだ耐熱性、PCT耐性、無電解金めっき耐性、試験を行なった。また、プリント配線板の代わりに、IPCで定められたプリント回路基板(厚さ1.6mm)のBパターンを用い、上記と同じ条件で試験基板を作製し、電気絶縁抵抗の試験を行なった。さらにハローイング耐性の有無、保存安定性の有無を確認した。
【0113】
上記各試験の結果を表2に示す。
【表1】

【0114】
備考
*1)ルシリンTPO:2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(ビーエーエスエフジャパン株式会社製)
*2)IB2PZ:1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(四国化成工業株式会社製)
*3)DPHA:ジペンタエリストールヘキサ及びペンタアクリレート混合物(日本化薬株式会社製)
*4)TMPTA:トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬株式会社製)
*5)RE306:ノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製)
*6)エポトートYDCN-704P:ノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製)
*7)Irg−OXE02:オキシム系開始剤(バスフ社製)
【表2】

【0115】
上記表2中の各性能試験の評価方法は以下の通りである。
【0116】
(1)密着性:
JIS D 0202の試験方法に従って前記試験基板の硬化皮膜に碁盤目状にクロスカットを入れ、次いでセロハン粘着テープによるピーリングテスト後の剥れの状能を以下の基準で評価した。
【0117】
◎:100/100で全く剥れのないもの
○:100/100でクロスカット部が少し剥れたもの
△:50/100〜90/100
×:0/100〜50/100
(2)はんだ耐熱性:
JIS C 6481の試験方法に従って、260℃のはんだ浴への試験基板の10秒浸漬を3回行ない、外観の変化を以下の基準で評価した。
【0118】
○:外観変化なし
△:硬化皮膜の変色が認められるもの
×:硬化皮膜の浮き、剥れ、はんだ潜りあり
(3)PCT耐性:
前記試験基板を、さらに170℃の熱風乾燥器に5時間放置し、放置後のPCT耐性を121℃、飽和水蒸気50時間の条件にて以下の基準で評価した。
【0119】
○:硬化皮膜にふくれ、剥がれ、変色がないもの。
【0120】
△:硬化皮膜に若干ふくれ、剥がれ、変色があるもの。
【0121】
×:硬化皮膜にふくれ、剥がれ、変色があるもの。
【0122】
(4)無電解金めっき耐性:
後述する工程に従って前記試験基板に無電解金めっきを行ない、その試験基板について外観の変化及びセロハン粘着テープを用いたピーリング試験を行ない、レジスト皮膜の剥離状態を以下の基準で評価した。
【0123】
○:外観変化もなく、レジスト皮膜の剥離も全くない。
【0124】
△:外観の変化はないが、レジスト皮膜にわずかに剥れがある。
【0125】
×:レジスト皮膜の浮きが見られ、めっき潜りが認められ、ピーリング試験でレジスト皮膜の剥れが大きい。
【0126】
無電解金めっき工程:
1.脱脂:
試験基板を、30℃の酸性脱脂液((株)日本マクダーミッド製、MetexL−5Bの20Vol%水溶液)に3分間、浸漬した。
【0127】
2.水洗:
試験基板を、流水中に3分間、浸漬した。
【0128】
3.ソフトエッチ:
試験基板を、14.3wt%の過硫酸アンモン水溶液に室温で3分間、浸漬した。
【0129】
4.水洗:
試験基板を、流水中に3分間、浸漬した。
【0130】
5.酸浸漬:
試験基板を、10Vol%の硫酸水溶液に室温で1分間、浸漬した。
【0131】
6.水洗:
試験基板を、流水中に30秒〜1分間、浸漬した。
【0132】
7.触媒付与:
試験基板を、30℃の触媒液((株)メルテックス製、メタルプレートアクチベーター350の10Vol%水溶液)に7分間、浸漬した。
【0133】
8.水洗:
試験基板を、流水中に3分間、浸漬した。
【0134】
9.無電解ニッケルめっき:
試験基板を、85℃、pH=4.6のニッケルめっき液((株)メルテックス製、メルプレートNi−865M、20Vol%水溶液)に20分間、浸漬した。
【0135】
10.酸浸漬:
試験基板を、10Vol%の硫酸水溶液に室温で1分間、浸漬した。
【0136】
11.水洗:
試験基板を、流水中に30秒〜1分間、浸漬した。
【0137】
12.無電解金めっき:
試験基板を、95℃、pH=6の金めっき液((株)メルテックス製、オウロレクトロレス UP 15Vol%、シアン化金カリウム3Vol%の水溶液)に10分間、浸漬した。
【0138】
13.水洗:
試験基板を、流水中に3分間、浸漬した。
【0139】
14.湯洗:
試験基板を、60℃の温水に浸漬し、3分間充分に水洗後、水をよくきり、乾燥した。
【0140】
このような工程を経て無電解金めっきした試験基板を得た。
【0141】
(5)電気絶縁性:
前記試験基板の硬化皮膜の電気絶縁性を以下の基準にて評価した。
【0142】
加湿条件:温度85℃、湿度85%RH、印加電圧100V、500時間。
【0143】
測定条件:測定時間60秒、印加電圧500V。
【0144】
その評価方法は下記の通りである。
【0145】
○:加湿後の絶縁抵抗値109Ω以上、銅のマイグレーションなし
△:加湿後の絶縁抵抗値109Ω以上、銅のマイグレーションあり
×:加湿後の絶縁抵抗値108Ω以下、銅のマイグレーションあり
(6)ハローイング耐性の評価:
試験基板の前処理としてCZ処理を行った後、70℃で60秒間、真空ラミネート処理を行った。ついで、200mJ/cm2で露光した後、120秒間現像した。150℃で60分のポストキュア、1000mJ/cm2のポストUVを経て試験基板を作成した。
【0146】
この作製プロセスに従って作成した試験基板に無電解金めっき(Ni3.00μm,Au0.03μm)を行い、無電解金めっき後の開口部周辺の外観の変色を光学顕微鏡で観察した。その評価方法は下記の通りである。
【0147】
○ 変色が観察されなかった。
【0148】
△ 少しの変色が観察された。
【0149】
× 変色が観察された。
【0150】
(7)保存安定性の評価
試験基板に塗膜を、70℃で60秒間、真空ラミネート処理後に、熱風乾燥器にて80℃で、10分刻みで乾燥を行う。放冷後、1%炭酸ナトリウム水溶液で120秒間、2.0kg/cm2のスプレー圧で現像し、現像残りの有無を評価した。その評価方法は下記の通りである。
【0151】
○ 20分乾燥で、目視で塗膜無し。
【0152】
△ 20分乾燥で、目視で若干塗膜残りあり。
【0153】
× 20分乾燥で、目視でかなり塗膜残りあり。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂、(B)メラミン又はその誘導体、(C)オキシム系光重合開始剤、(D)感光性(メタ)アクリレート化合物、(E)エポキシ化合物及び(F)希釈溶剤を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
【請求項2】
(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂は、ノボラック型フェノール樹脂(a)とアルキレンオキシド(b)との反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸(c)を反応させ、得られた反応生成物に多塩基酸無水物(d)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂であることを特徴とする請求項1記載の硬化性樹脂組成物。
【請求項3】
下記一般式(1)で示される多核エポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の硬化性樹脂組成物。
【化4】

(式中、XとYは異なる芳香環残基を表わし、Xはビフェノール型ジグリシジルエーテル、ビキシレノール型ジグリシジルエーテル、ビスフェノール型ジグリシジルエーテル及びナフタレン型ジグリシジルエーテルよりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のグリシジル基を有する芳香族エポキシ樹脂の芳香環残基を表わし、Yはジヒドロキシナフタレン及びその誘導体、ビフェノール及びその誘導体、ビキシレノール及びその誘導体、ビスフェノール及びその誘導体、及びハイドロキノン誘導体よりなる群から選ばれた少なくとも1種の1分子中に2個のフェノール性水酸基を有する芳香族アルコールの芳香環残基を表わし、Mはグリシジル基及び/又は水素原子を表わし、nは1〜20の整数を表わす。)
【請求項4】
(B)メラミン又はその誘導体は、(A)エポキシ樹脂を出発原料としないカルボキシル基含有樹脂の固形分100質量部に対して1〜20質量部含まれることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。
【請求項5】
請求項1〜4のいずれ一項に記載の硬化性樹脂組成物を硬化させて得られた硬化物を含むプリント配線板。

【公開番号】特開2012−17444(P2012−17444A)
【公開日】平成24年1月26日(2012.1.26)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−157233(P2010−157233)
【出願日】平成22年7月9日(2010.7.9)
【出願人】(591021305)太陽ホールディングス株式会社 (327)
【Fターム(参考)】