磁性ターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法
【課題】磁性ターゲットを交換する際に生じる、ターゲットとカソードマグネットの吸着力によるターゲットの変形及び真空容器内の汚染を防止するとともに、ターゲットの交換を安全に行うことができるターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法を提供する。
【解決手段】磁性ターゲット２の交換に用いられるターゲット交換装置２０は、カソードボディ５側に固定可能なベース部材２２と、ターゲット２を固定可能な固定プレート２３と、固定プレート２３をベース部材２２に対して移動操作可能な移動機構２５とを備え、固定プレート２３の長手方向には補強部材としてのリブが取り付けられている。
【解決手段】磁性ターゲット２の交換に用いられるターゲット交換装置２０は、カソードボディ５側に固定可能なベース部材２２と、ターゲット２を固定可能な固定プレート２３と、固定プレート２３をベース部材２２に対して移動操作可能な移動機構２５とを備え、固定プレート２３の長手方向には補強部材としてのリブが取り付けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性ターゲットの交換作業に用いるターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法に係り、特に、マグネトロンスパッタ装置に取り付けられた強磁性材料からなる磁性ターゲットを交換するために用いる磁性ターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ターゲット交換に用いられるターゲット交換装置は、ターゲットに設けられたタップ穴に螺合するネジ部が形成されたネジ部材を有し、一方、ネジ部材と螺合するタップ穴はターゲットを厚さ方向に貫通して形成されていた。ターゲットを交換する際、タップ穴を貫通させたネジ部材の先端をカソードボディに当接させた状態で、更にタップ穴にねじ込むことでターゲットをカソードから引き離していた。
【０００３】
しかし、上述したターゲット交換方法では、カソードの強磁性マグネット（カソードマグネット）の磁力によって引き寄せられているターゲットを引き離すとき、ネジ部材付近のみが引き離される状態になることがある。その結果、ターゲットに反りが生じ、著しいときには塑性変形してしまうおそれがあった。
【０００４】
また、ターゲットとカソードマグネットとの吸着力が働いている状態で、ネジ部材のネジ部をターゲットにねじ込むため、ネジ部材のネジ部や先端部が磨耗し、発生した磨耗粉により真空容器内が汚染されるおそれがあった。
【０００５】
これらの問題の解決策として、強磁性体のターゲットを交換するためのターゲット交換装置が提案されている(特許文献１参照)。特許文献１に記載された技術によると、磁性ターゲット交換装置をカソードフランジのターゲット交換位置に位置決め装着し、保持マグネットによって磁性ターゲットを吸引保持した状態で磁性ターゲットの着脱を行うことにより、カソードフランジ側マグネットを取り外すことなく直接磁性ターゲットの交換を行うとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１６１０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献１の技術では、カソードマグネットと磁性ターゲットとの吸着を剥がすために、これらのマグネットよりも強力な磁力を有するマグネットを保持マグネットとして使用する必要がある。このため、保管時や作業時の安全性を確保するために特別な取り扱いが要求されるという課題を有していた。
【０００８】
本発明は、磁性ターゲットを交換する際に生じる、ターゲットとカソードマグネットの吸着力によるターゲットの変形及び真空容器内の汚染を防止するとともに、ターゲットの交換を安全に行うことができるターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために提案する本発明の磁性ターゲット交換装置は、基板が保持される基板ホルダーと、基板ホルダーに対向して磁性ターゲットを取り付け可能なカソードボディ及び該カソードボディの内側に配置されるカソードマグネットを有するカソード電極と、を備えるマグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲットの交換作業に用いられる磁性ターゲット交換装置であって、カソードボディに取り付け可能なベース部と、磁性ターゲットを取り付け可能な固定部と、ベース部がカソードボディに取り付けられた状態で、固定部を前記カソードボディから離間する方向、若しくはカソードボディに近接する方向に移動させる移動操作部と、非磁性材料からなり、磁性ターゲットを前記固定部に締結する締結部材とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明で提案する磁性ターゲット交換方法は、上記の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、第２締結部材によってベース部をカソードボディに締結する第１ステップと、カソードボディに配設されていた磁性ターゲットを締結部材によって固定部に締結する第２ステップと、移動操作部によって磁性ターゲットが締結された固定部をカソードボディから所定距離離間させる第３ステップとを有してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、強磁性を有するターゲット（磁性ターゲット）を交換する際に生じる磁力の影響によるターゲットの変形を防ぐことができ、かつ、ごみの発生を低減して真空容器内の汚染を防ぐことができるターゲット交換装置を提供することができる。また、このようなターゲット交換装置を用いて、安全に磁性ターゲットの交換を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るマグネトロンスパッタ装置を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の側方から見た概観図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の上方から見た概観図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置とターゲットの下方から見た斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の下方から見た概観図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変することができることは勿論である。
【００１３】
図１乃至６は本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置について説明した図であり、図１はマグネトロンスパッタ装置を示す断面図、図２はターゲット交換装置の側方から見た概観図、図３はターゲット交換装置の上方から見た概観図、図４は図１のＡ−Ａ線断面図、図５はターゲットのターゲット交換装置とターゲットの下方から見た斜視図、図６はターゲット交換装置とターゲットを下方から見た概観図である。なお、ここでは図面の煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００１４】
まず、本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いてターゲットの交換を行うことができるマグネトロンスパッタ装置Ｓについて図１に基づいて説明する。マグネトロンスパッタ装置Ｓは、真空容器としてのチャンバー６の内側にカソードユニット１（カソード電極）と、被成膜材である基板を保持するためのホルダー７（基板ホルダー）を有して構成されている。ホルダー７はカソードユニット１の対向する位置に設けられている。マグネトロンスパッタ装置Ｓは、マグネトロンカソードを備えるスパッタリング装置として、一般的な構成を備えた装置の一例である。
【００１５】
チャンバー６は排気装置（非図示）と接続されていて内部を減圧状態にすることができる。また、アルゴン等のガスを供給可能なガス供給装置（不図示）とも接続されており、チャンバー６を減圧状態にした後にアルゴン等のガスをチャンバー内に供給するとともにターゲット２（磁性ターゲット２）に高電圧を印加することでスパッタリングが行われ、ホルダー７に保持された基板に成膜される。
【００１６】
カソードユニット１は、ターゲット表面上に一定の磁場を形成する為のマグネットユニット９（カソードマグネット）を収容するカソードボディ５を有している。また、ホルダー７は、チャンバー５内のターゲットＴと対向する位置に配置されている。カソードユニット１のカソードボディ５には裏板支持体３を介して裏板２が取り付けられている。また、裏板２にはターゲットＴが接着されている。以下の記載では分かりやすいように裏板２とターゲットＴを合わせてターゲット２と記載する。また、カソードユニット１は、チャンバー６側壁への成膜物質の付着を防止するためのシールド３６（不図示）によって側方の周囲を囲まれている。
【００１７】
裏板支持体３は、ターゲット２をカソードユニット１に固定するための部材であり、高電圧を印加するための導電性部材１１が接続できるように構成されるとともに、絶縁材４をカソードボディ５との間に挟み込む形で固定されている。導電性部材１１に接続された電圧印加用電源１０によって、裏板支持体３を介してターゲット２に高電圧を印加可能な構造とされている。
【００１８】
また、裏板支持体３には、ターゲット２に設けられた水路の供給口と排出口の位置に対応する位置に同様に供給口と排出口が設けられている。供給口と排出口にはそれぞれ配管部材１３を介して冷却水供給装置１２が接続されており、ターゲット２の水路内に冷却水を流通させることができる。以下の記載では分かりやすいようにカソードボディ５と裏板支持体３を合わせてカソードボディ５と記載する。
【００１９】
以下に、本実施形態に係るターゲット交換装置について、図２乃至図６に基づいて説明する。ターゲット交換装置２０は、ターゲット交換装置２０をカソードユニット１側（カソードボディ５）に位置決め固定するベース部としてのベース部材２２と、ターゲット２を取り付け可能な固定部としての固定プレート２３と、固定プレート２３を支持部材２４から離間若しくは近接する方向に移動させる移動操作部としての移動機構２５とを主要な構成部材としている。
【００２０】
ベース部材２２は、ターゲット２よりも大きな寸法の開口部を有する略矩形枠状の部材であり、カソードボディ５に取り付けられる面とは逆側に支持部材２４とガイド部材２２a、２２bが設けられている。また、固定プレート２３は、ターゲット２とほぼ同じ寸法に形成された略矩形状の部材であり、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に連結された移動機構２５に取り付けられている。固定プレート２３には、軽量化のため開口部２３ａが複数箇所に形成されている。
【００２１】
ガイド部材２２a、２２bは、略矩形状の板状部材であり、内側に面する中央部分２２ｃは肉薄に削られている。なお、薄肉に削られた中央部分２２ｃを開口部とすると、ガイド部材２２a、２２bは略矩形状の枠状となる。枠状とした場合、強度がやや低下するものの実用上は問題なく使用できる。
【００２２】
また、ガイド部材２２a、２２bの縁部分（枠部分）の一部にも、薄肉に削られた逃げ溝ａが形成されている。ガイド部材２２a、２２bのそれぞれには、把持部としての取っ手２２ｄが取り付けられている。ガイド部材２２a、２２bの中央部分２２ｃを薄肉にすることで、カソードボディ５を囲むように配置されているシールド３６の内側にターゲット交換装置２０を設置することができ、ターゲット交換装置２０の軽量化にも寄与する。
【００２３】
逃げ溝aは、固定プレート２３に固定されたターゲット２が上下する際に、接触せずにスムーズに動作させるために設けられている。ガイド部材２２aの逃げ溝aの上端位置は、マグネットユニット９からの磁力の影響を受けない距離に設定されている。このため、マグネットユニット９からの磁力の影響を受けずにベース部材２２の位置決め及び固定ができ、さらに、逃げ溝aの上端位置をターゲット２の上端位置の目安にすることができる。
【００２４】
カソードボディ５に対するターゲット交換装置２０の位置決めは、ベース部材２２とガイド部材２２aの内側が交わる角部の一つと、裏板支持体３の角を一致させることで行う。なお、逃げ溝aは、ベース部材２２がカソードボディ５と接触する位置には設けられていない。
【００２５】
ベース部材２２は、ノブ３１（装置固定用ノブ）によってカソードボディ５に固定することができる。ノブ３１は、ベース部材２２を貫通して取り付けられた第２締結部材としての雄ネジを回転させるための円板状の取っ手であり、手締めでもトルクがかけやすいようにローレット加工が施されている。ノブ３１を回転操作することにより、ノブ３１に固定された雄ネジをカソードボディ５のタップ（ネジ穴）にねじ込むことができる。すなわち、ノブ３１によって他の工具を使用せずターゲット交換装置２０のターゲットボディ５への取り付けできるように構成されている。ノブ３１は、ベース部材２２の４箇所に設けられている。
【００２６】
固定プレート２３は、ノブ３２（ターゲット固定用ノブ）によってターゲット２に固定することができる。ノブ３２は、固定プレート２３を貫通して取り付けられた締結部材としての雄ネジを回転させるための円板状の取っ手であり、手締めでもトルクがかけやすいように星形に形成されている。ノブ３２を回転操作することによりノブ３２に固定された雄ネジをターゲット２のタップ（ネジ穴）にねじ込むことができる。
【００２７】
すなわち、ノブ３２によって、他の工具を使用せずターゲット交換装置２０をターゲット２に固定できるように構成されている。固定プレート２３の６箇所にノブ３２が設けられている。固定箇所が多いほど、固定プレート２３と合わせての剛性が上がるため、磁性によるターゲット２の反りに対し有利である。しかし、本実施形態では作業性を考慮してノブ３２を６ヶ所にした。
【００２８】
一方、移動機構２５は、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に設けられており、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に取り付けされた上部プレート２４ａと、上部プレート２４ａの中央部に設けられたナット２７と、ナット２７に螺合するシャフト２６と、シャフト２６の一端部側に固定されたハンドル２８とを有して構成されている。
【００２９】
シャフト２６のハンドル２８が固着された端部とは逆側の端部には固定プレート２３がベアリング３４を介して回転可能に取り付けられ、固定プレート２３は４本の支持部材２４に貫通して取り付けられている。シャフト２６のネジ部とナット２７の摺動面に働く摩擦力により、ターゲット２がマグネットとの間に働く吸着力の影響を受ける距離に近づいても自然に引き寄せられないようになっている。
【００３０】
すなわち、移動機構２５のハンドル２８を回転操作することにより、固定プレート２３の上下動させることができる。また、支持部材２４の固定プレート２３と接触する部分は、摩擦低減のため樹脂で覆われている。樹脂は潤滑性を有するテフロン（登録商標）樹脂などを筒状に形成して取り付けている。
【００３１】
以下に、本実施形態に係るターゲット交換装置２０の細部について説明する。図３に示すように、固定プレート２３には、固定プレート２３に取り付けられたターゲット２がマグネットに接近した際に吸着力に対する強度を保つために補強部材としてのリブ２９が設けられている。リブ２９によってマグネットの吸着力によって発生する固定プレート２３の反り（ターゲット２の反り）を軽減することができる。
【００３２】
本実施形態におけるリブ２９は、ベアリング３４に近づけ、かつ固定プレート２３の長手方向に２本渡して配置されている。しかし、リブ２９の配置は上記の構成に限定されないが、固定プレート２３（ターゲット２）のたわみ方向の強度を補強するように配置される必要がある。例えば、固定プレート２３の対角線上に配置、若しくは固定プレート２３に格子状に配置してもよい。ターゲット２や固定プレート２３が円形の場合には、固定プレートの中心から放射方向（半径方向）にリブを設けるとよい。
【００３３】
リブ２９は、固定プレート２３のターゲット２側の面に取り付けることもできる。この場合のリブはボス３０の高さよりも低い寸法であることが望ましいが、部品点数低減のためリブとボス（スペーサ）を一体に形成しても良い。
【００３４】
固定プレート２３のターゲット２固定側には、スペーサとしての略円筒状のボス３０が６箇所に取り付けられている。本実施形態に係るボス３０は、固定プレート２３に溶接で固着されており、ボス３０中心の貫通穴と一致する位置の固定プレート２３にも貫通穴が設けられている。それぞれのボス３０には、ノブ３２に固定された雄ネジが貫通された状態で配置されており、ターゲット２を固定プレート２３に取り付けた際に、それらの間に位置することになる。ボス３０に、ノブ３２に固定された雄ネジを貫通して配置することで、雄ネジをターゲット２のタップにねじ込むときの締め付け力が変化しても、ターゲット２の変形を避けることができる。
【００３５】
ボス３０によって固定プレート２３とターゲット２の間隔を所定距離に保つことができる。ボス３０を設けることでターゲット交換装置２０側から飛散するごみによるターゲット２の汚染を軽減することができる。また、固定プレート２３を板状に形成したことで、移動機構２５の動作時にシャフト２６とナット２７の摺動面から発生するごみは、固定プレート２３に付着するため、ターゲット２の汚染が軽減される。
【００３６】
長孔２２ａ（締結孔）は、ベース部材２２の左右方向に長い略矩形状（長孔状）に形成された貫通孔であり、ノブ３１に固定された雄ネジはベース部材２２に設けられた長孔３５を貫通して取り付けられている。そのため、雄ネジは長孔３５に係止された状態で、長孔３５の内面に沿って係止位置を調整することができる。このような長孔３５に雄ネジを取り付けることによって、ネジ孔の位置がずれた場合にもターゲット交換装置２０の取り付け位置を調整することなく使用することができる。また、長孔２２ａをベース部材２２の左右対称位置に設けることによって、左右のベース部材２２を同一形状の部材で構成することができる。
【００３７】
本実施形態においては、ベース部材２２はアルミニウム合金製（ジュラルミン）であり、移動機構２５の構成部材、固定プレート２３、ノブ３１の雄ネジ、ノブ３２の雄ネジはいずれも非磁性ステンレス（ＳＵＳ３０４）で構成されており、いずれも非磁性の部材が用いられている。なお、本実施形態ではカソードボディ５と裏板２も非磁性材料（ＳＵＳ３０４）で構成されている。非磁性の部材を用いることでマグネットユニット９やターゲット２の磁力に影響されることがなくなり、安全に取り扱うことができる。また、ターゲット交換装置２０の構成部材が磁化されることがないため保管の際にも特別な管理を必要としない。特に、ノブ３２の雄ネジは磁化されると微粒子（ごみ）が付着してクリーニングに工数を取られる部材であるが、非磁性材料とすることで汚れ難くなる。
【００３８】
ここで、本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いた磁性ターゲット交換方法について説明する。まず、強磁性ターゲットを取り外す方法について説明する。
【００３９】
まず、ターゲット２を裏板支持体３に固定しているネジを外す。ターゲット交換装置２０の内側の角部（ベース部材２２とガイド部材２２aが接する内側の角部）の一つを、固定プレート２３を上方に引き上げた状態で裏板支持体３（カソードボディ５）の角部の１ヶ所に当てて装着し、ノブ３１を回転操作してカソードボディ５に固定する（第１ステップ）。
第１ステップは、準備ステップと位置調整ステップとを有している。準備ステップは、ノブ３１の雄ネジ（第２締結部材）を長孔２２ａ（締結孔）に貫通させるとともに、ベース部材２２の位置をカソードボディ５に対して調整できるようにノブ３１の雄ネジを締め付けない状態にする工程である。位置調整ステップは、ノブ３１の雄ネジを締め付ける前に、ターゲット交換装置２０の位置調整を行うことで、カソードボディ５に対するベース部材２２の位置を調整する工程である。その後、ノブ３１の雄ネジを締め付けて、ターゲット交換装置２０をカソードボディ５に固定する。
【００４０】
ハンドル２８を回転させて固定プレート２３を下降させ、ノブ３２によってターゲット２を固定プレート２３に固定する（第２ステップ）。具体的には、ノブ３２の雄ネジをボス３０貫通穴に通させてターゲット２のタップにねじ込むことで固定する。再びハンドル２８を回転させ、ターゲット２が固定された固定プレート２３をマグネットの磁力の影響が十分弱まる距離（所定距離離間）まで引き上げる（第３ステップ）。ノブ３１を操作してカソードボディ５との固定を外し、その後、ターゲット交換装置２０をカソードボディ５から取り外す。
【００４１】
次に、強磁性ターゲットをカソードに取り付ける方法について説明する。ターゲット交換装置２０にターゲットを取り付ける際、交換するターゲット２が載置された作業台の上にターゲット交換装置２０を設置し、ノブ３２を操作して固定プレート２３にターゲット２を固定する。そして、ハンドル２８操作によってガイド部材２２aの逃げ溝a部上端にターゲット２の角部が近接する位置まで固定プレート２３を上に引き上げる。その状態で、ターゲット交換装置２０を裏板支持体３の角部の１ヶ所に当てて装着し、ノブ３１によってカソードボディ５側に固定する。
【００４２】
ハンドル２８を回し、固定プレート２３を下降させ、ターゲット２をカソードベース３に装着する。ノブ３２を外して固定プレート２３からターゲット２を取り外し、ノブ３１を外してターゲット交換装置２０をカソードボディ５から取り外す。最後にターゲット２を裏板支持体３にネジで固定する。
【００４３】
本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いることにより、強磁性を有するターゲット２の交換の際、カソードマグネットから引き剥がす際に生じるターゲット２の変形を軽減することできるとともに、ごみによるチャンバー６内及びターゲット２の汚染を低減することができる。また、ノブ３２によってターゲット２をターゲット交換装置２０側に固定する機構であるため強磁性ターゲットの交換作業を安全に行うことができる。さらに、ターゲット交換装置２０は非磁性材料から構成され、磁石を備えないことから、磁性材料の近くに保管することができる。このため、保管場所の選択の幅が広がる。
【００４４】
なお、本発明に係るターゲット交換装置２０は、強磁性を有しないターゲットの交換作業においても同様の使用方法にて適用することができる。また、本実施形態に係るターゲット交換装置２０は、矩形状のターゲット交換に用いるものであるが、ターゲット交換装置２０に設けられた各構成は、円形のターゲットのための交換装置に対しても適用することができることはもちろんである。
【符号の説明】
【００４５】
Ｓ マグネトロンスパッタ装置
ａ 逃げ溝
Ｔ ターゲット
１ カソードユニット
２ 裏板
３ 裏板支持体
４ 絶縁材
５ カソードボディ
６ チャンバー
７ ホルダー
８ バルブ
９ マグネットユニット
１０ 電圧印加用電源
１１ 導電性部材
１２ 冷却水供給装置
１３ 配管部材
２０ 強磁性ターゲット交換装置
２２ ベース部材
２２ａ、２２ｂ ガイド部材
２２ｃ 中央部分
２２ｄ 取っ手
２３ 固定プレート
２３ａ 開口部
２４ 支持部材
２４ａ 上部プレート
２５ 移動機構
２６ シャフト
２７ ナット
２８ ハンドル
２９ リブ
３０ ボス
３１ ノブ（装置固定用ノブ）
３２ ノブ（ターゲット固定用ノブ）
３４ ベアリング
３５ 長孔
３６ シールド
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性ターゲットの交換作業に用いるターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法に係り、特に、マグネトロンスパッタ装置に取り付けられた強磁性材料からなる磁性ターゲットを交換するために用いる磁性ターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ターゲット交換に用いられるターゲット交換装置は、ターゲットに設けられたタップ穴に螺合するネジ部が形成されたネジ部材を有し、一方、ネジ部材と螺合するタップ穴はターゲットを厚さ方向に貫通して形成されていた。ターゲットを交換する際、タップ穴を貫通させたネジ部材の先端をカソードボディに当接させた状態で、更にタップ穴にねじ込むことでターゲットをカソードから引き離していた。
【０００３】
しかし、上述したターゲット交換方法では、カソードの強磁性マグネット（カソードマグネット）の磁力によって引き寄せられているターゲットを引き離すとき、ネジ部材付近のみが引き離される状態になることがある。その結果、ターゲットに反りが生じ、著しいときには塑性変形してしまうおそれがあった。
【０００４】
また、ターゲットとカソードマグネットとの吸着力が働いている状態で、ネジ部材のネジ部をターゲットにねじ込むため、ネジ部材のネジ部や先端部が磨耗し、発生した磨耗粉により真空容器内が汚染されるおそれがあった。
【０００５】
これらの問題の解決策として、強磁性体のターゲットを交換するためのターゲット交換装置が提案されている(特許文献１参照)。特許文献１に記載された技術によると、磁性ターゲット交換装置をカソードフランジのターゲット交換位置に位置決め装着し、保持マグネットによって磁性ターゲットを吸引保持した状態で磁性ターゲットの着脱を行うことにより、カソードフランジ側マグネットを取り外すことなく直接磁性ターゲットの交換を行うとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１６１０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献１の技術では、カソードマグネットと磁性ターゲットとの吸着を剥がすために、これらのマグネットよりも強力な磁力を有するマグネットを保持マグネットとして使用する必要がある。このため、保管時や作業時の安全性を確保するために特別な取り扱いが要求されるという課題を有していた。
【０００８】
本発明は、磁性ターゲットを交換する際に生じる、ターゲットとカソードマグネットの吸着力によるターゲットの変形及び真空容器内の汚染を防止するとともに、ターゲットの交換を安全に行うことができるターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために提案する本発明の磁性ターゲット交換装置は、基板が保持される基板ホルダーと、基板ホルダーに対向して磁性ターゲットを取り付け可能なカソードボディ及び該カソードボディの内側に配置されるカソードマグネットを有するカソード電極と、を備えるマグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲットの交換作業に用いられる磁性ターゲット交換装置であって、カソードボディに取り付け可能なベース部と、磁性ターゲットを取り付け可能な固定部と、ベース部がカソードボディに取り付けられた状態で、固定部を前記カソードボディから離間する方向、若しくはカソードボディに近接する方向に移動させる移動操作部と、非磁性材料からなり、磁性ターゲットを前記固定部に締結する締結部材とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明で提案する磁性ターゲット交換方法は、上記の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、第２締結部材によってベース部をカソードボディに締結する第１ステップと、カソードボディに配設されていた磁性ターゲットを締結部材によって固定部に締結する第２ステップと、移動操作部によって磁性ターゲットが締結された固定部をカソードボディから所定距離離間させる第３ステップとを有してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、強磁性を有するターゲット（磁性ターゲット）を交換する際に生じる磁力の影響によるターゲットの変形を防ぐことができ、かつ、ごみの発生を低減して真空容器内の汚染を防ぐことができるターゲット交換装置を提供することができる。また、このようなターゲット交換装置を用いて、安全に磁性ターゲットの交換を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るマグネトロンスパッタ装置を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の側方から見た概観図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の上方から見た概観図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置とターゲットの下方から見た斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置の下方から見た概観図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変することができることは勿論である。
【００１３】
図１乃至６は本発明の一実施形態に係るターゲット交換装置について説明した図であり、図１はマグネトロンスパッタ装置を示す断面図、図２はターゲット交換装置の側方から見た概観図、図３はターゲット交換装置の上方から見た概観図、図４は図１のＡ−Ａ線断面図、図５はターゲットのターゲット交換装置とターゲットの下方から見た斜視図、図６はターゲット交換装置とターゲットを下方から見た概観図である。なお、ここでは図面の煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
【００１４】
まず、本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いてターゲットの交換を行うことができるマグネトロンスパッタ装置Ｓについて図１に基づいて説明する。マグネトロンスパッタ装置Ｓは、真空容器としてのチャンバー６の内側にカソードユニット１（カソード電極）と、被成膜材である基板を保持するためのホルダー７（基板ホルダー）を有して構成されている。ホルダー７はカソードユニット１の対向する位置に設けられている。マグネトロンスパッタ装置Ｓは、マグネトロンカソードを備えるスパッタリング装置として、一般的な構成を備えた装置の一例である。
【００１５】
チャンバー６は排気装置（非図示）と接続されていて内部を減圧状態にすることができる。また、アルゴン等のガスを供給可能なガス供給装置（不図示）とも接続されており、チャンバー６を減圧状態にした後にアルゴン等のガスをチャンバー内に供給するとともにターゲット２（磁性ターゲット２）に高電圧を印加することでスパッタリングが行われ、ホルダー７に保持された基板に成膜される。
【００１６】
カソードユニット１は、ターゲット表面上に一定の磁場を形成する為のマグネットユニット９（カソードマグネット）を収容するカソードボディ５を有している。また、ホルダー７は、チャンバー５内のターゲットＴと対向する位置に配置されている。カソードユニット１のカソードボディ５には裏板支持体３を介して裏板２が取り付けられている。また、裏板２にはターゲットＴが接着されている。以下の記載では分かりやすいように裏板２とターゲットＴを合わせてターゲット２と記載する。また、カソードユニット１は、チャンバー６側壁への成膜物質の付着を防止するためのシールド３６（不図示）によって側方の周囲を囲まれている。
【００１７】
裏板支持体３は、ターゲット２をカソードユニット１に固定するための部材であり、高電圧を印加するための導電性部材１１が接続できるように構成されるとともに、絶縁材４をカソードボディ５との間に挟み込む形で固定されている。導電性部材１１に接続された電圧印加用電源１０によって、裏板支持体３を介してターゲット２に高電圧を印加可能な構造とされている。
【００１８】
また、裏板支持体３には、ターゲット２に設けられた水路の供給口と排出口の位置に対応する位置に同様に供給口と排出口が設けられている。供給口と排出口にはそれぞれ配管部材１３を介して冷却水供給装置１２が接続されており、ターゲット２の水路内に冷却水を流通させることができる。以下の記載では分かりやすいようにカソードボディ５と裏板支持体３を合わせてカソードボディ５と記載する。
【００１９】
以下に、本実施形態に係るターゲット交換装置について、図２乃至図６に基づいて説明する。ターゲット交換装置２０は、ターゲット交換装置２０をカソードユニット１側（カソードボディ５）に位置決め固定するベース部としてのベース部材２２と、ターゲット２を取り付け可能な固定部としての固定プレート２３と、固定プレート２３を支持部材２４から離間若しくは近接する方向に移動させる移動操作部としての移動機構２５とを主要な構成部材としている。
【００２０】
ベース部材２２は、ターゲット２よりも大きな寸法の開口部を有する略矩形枠状の部材であり、カソードボディ５に取り付けられる面とは逆側に支持部材２４とガイド部材２２a、２２bが設けられている。また、固定プレート２３は、ターゲット２とほぼ同じ寸法に形成された略矩形状の部材であり、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に連結された移動機構２５に取り付けられている。固定プレート２３には、軽量化のため開口部２３ａが複数箇所に形成されている。
【００２１】
ガイド部材２２a、２２bは、略矩形状の板状部材であり、内側に面する中央部分２２ｃは肉薄に削られている。なお、薄肉に削られた中央部分２２ｃを開口部とすると、ガイド部材２２a、２２bは略矩形状の枠状となる。枠状とした場合、強度がやや低下するものの実用上は問題なく使用できる。
【００２２】
また、ガイド部材２２a、２２bの縁部分（枠部分）の一部にも、薄肉に削られた逃げ溝ａが形成されている。ガイド部材２２a、２２bのそれぞれには、把持部としての取っ手２２ｄが取り付けられている。ガイド部材２２a、２２bの中央部分２２ｃを薄肉にすることで、カソードボディ５を囲むように配置されているシールド３６の内側にターゲット交換装置２０を設置することができ、ターゲット交換装置２０の軽量化にも寄与する。
【００２３】
逃げ溝aは、固定プレート２３に固定されたターゲット２が上下する際に、接触せずにスムーズに動作させるために設けられている。ガイド部材２２aの逃げ溝aの上端位置は、マグネットユニット９からの磁力の影響を受けない距離に設定されている。このため、マグネットユニット９からの磁力の影響を受けずにベース部材２２の位置決め及び固定ができ、さらに、逃げ溝aの上端位置をターゲット２の上端位置の目安にすることができる。
【００２４】
カソードボディ５に対するターゲット交換装置２０の位置決めは、ベース部材２２とガイド部材２２aの内側が交わる角部の一つと、裏板支持体３の角を一致させることで行う。なお、逃げ溝aは、ベース部材２２がカソードボディ５と接触する位置には設けられていない。
【００２５】
ベース部材２２は、ノブ３１（装置固定用ノブ）によってカソードボディ５に固定することができる。ノブ３１は、ベース部材２２を貫通して取り付けられた第２締結部材としての雄ネジを回転させるための円板状の取っ手であり、手締めでもトルクがかけやすいようにローレット加工が施されている。ノブ３１を回転操作することにより、ノブ３１に固定された雄ネジをカソードボディ５のタップ（ネジ穴）にねじ込むことができる。すなわち、ノブ３１によって他の工具を使用せずターゲット交換装置２０のターゲットボディ５への取り付けできるように構成されている。ノブ３１は、ベース部材２２の４箇所に設けられている。
【００２６】
固定プレート２３は、ノブ３２（ターゲット固定用ノブ）によってターゲット２に固定することができる。ノブ３２は、固定プレート２３を貫通して取り付けられた締結部材としての雄ネジを回転させるための円板状の取っ手であり、手締めでもトルクがかけやすいように星形に形成されている。ノブ３２を回転操作することによりノブ３２に固定された雄ネジをターゲット２のタップ（ネジ穴）にねじ込むことができる。
【００２７】
すなわち、ノブ３２によって、他の工具を使用せずターゲット交換装置２０をターゲット２に固定できるように構成されている。固定プレート２３の６箇所にノブ３２が設けられている。固定箇所が多いほど、固定プレート２３と合わせての剛性が上がるため、磁性によるターゲット２の反りに対し有利である。しかし、本実施形態では作業性を考慮してノブ３２を６ヶ所にした。
【００２８】
一方、移動機構２５は、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に設けられており、支持部材２４のベース部材２２とは逆の端部側に取り付けされた上部プレート２４ａと、上部プレート２４ａの中央部に設けられたナット２７と、ナット２７に螺合するシャフト２６と、シャフト２６の一端部側に固定されたハンドル２８とを有して構成されている。
【００２９】
シャフト２６のハンドル２８が固着された端部とは逆側の端部には固定プレート２３がベアリング３４を介して回転可能に取り付けられ、固定プレート２３は４本の支持部材２４に貫通して取り付けられている。シャフト２６のネジ部とナット２７の摺動面に働く摩擦力により、ターゲット２がマグネットとの間に働く吸着力の影響を受ける距離に近づいても自然に引き寄せられないようになっている。
【００３０】
すなわち、移動機構２５のハンドル２８を回転操作することにより、固定プレート２３の上下動させることができる。また、支持部材２４の固定プレート２３と接触する部分は、摩擦低減のため樹脂で覆われている。樹脂は潤滑性を有するテフロン（登録商標）樹脂などを筒状に形成して取り付けている。
【００３１】
以下に、本実施形態に係るターゲット交換装置２０の細部について説明する。図３に示すように、固定プレート２３には、固定プレート２３に取り付けられたターゲット２がマグネットに接近した際に吸着力に対する強度を保つために補強部材としてのリブ２９が設けられている。リブ２９によってマグネットの吸着力によって発生する固定プレート２３の反り（ターゲット２の反り）を軽減することができる。
【００３２】
本実施形態におけるリブ２９は、ベアリング３４に近づけ、かつ固定プレート２３の長手方向に２本渡して配置されている。しかし、リブ２９の配置は上記の構成に限定されないが、固定プレート２３（ターゲット２）のたわみ方向の強度を補強するように配置される必要がある。例えば、固定プレート２３の対角線上に配置、若しくは固定プレート２３に格子状に配置してもよい。ターゲット２や固定プレート２３が円形の場合には、固定プレートの中心から放射方向（半径方向）にリブを設けるとよい。
【００３３】
リブ２９は、固定プレート２３のターゲット２側の面に取り付けることもできる。この場合のリブはボス３０の高さよりも低い寸法であることが望ましいが、部品点数低減のためリブとボス（スペーサ）を一体に形成しても良い。
【００３４】
固定プレート２３のターゲット２固定側には、スペーサとしての略円筒状のボス３０が６箇所に取り付けられている。本実施形態に係るボス３０は、固定プレート２３に溶接で固着されており、ボス３０中心の貫通穴と一致する位置の固定プレート２３にも貫通穴が設けられている。それぞれのボス３０には、ノブ３２に固定された雄ネジが貫通された状態で配置されており、ターゲット２を固定プレート２３に取り付けた際に、それらの間に位置することになる。ボス３０に、ノブ３２に固定された雄ネジを貫通して配置することで、雄ネジをターゲット２のタップにねじ込むときの締め付け力が変化しても、ターゲット２の変形を避けることができる。
【００３５】
ボス３０によって固定プレート２３とターゲット２の間隔を所定距離に保つことができる。ボス３０を設けることでターゲット交換装置２０側から飛散するごみによるターゲット２の汚染を軽減することができる。また、固定プレート２３を板状に形成したことで、移動機構２５の動作時にシャフト２６とナット２７の摺動面から発生するごみは、固定プレート２３に付着するため、ターゲット２の汚染が軽減される。
【００３６】
長孔２２ａ（締結孔）は、ベース部材２２の左右方向に長い略矩形状（長孔状）に形成された貫通孔であり、ノブ３１に固定された雄ネジはベース部材２２に設けられた長孔３５を貫通して取り付けられている。そのため、雄ネジは長孔３５に係止された状態で、長孔３５の内面に沿って係止位置を調整することができる。このような長孔３５に雄ネジを取り付けることによって、ネジ孔の位置がずれた場合にもターゲット交換装置２０の取り付け位置を調整することなく使用することができる。また、長孔２２ａをベース部材２２の左右対称位置に設けることによって、左右のベース部材２２を同一形状の部材で構成することができる。
【００３７】
本実施形態においては、ベース部材２２はアルミニウム合金製（ジュラルミン）であり、移動機構２５の構成部材、固定プレート２３、ノブ３１の雄ネジ、ノブ３２の雄ネジはいずれも非磁性ステンレス（ＳＵＳ３０４）で構成されており、いずれも非磁性の部材が用いられている。なお、本実施形態ではカソードボディ５と裏板２も非磁性材料（ＳＵＳ３０４）で構成されている。非磁性の部材を用いることでマグネットユニット９やターゲット２の磁力に影響されることがなくなり、安全に取り扱うことができる。また、ターゲット交換装置２０の構成部材が磁化されることがないため保管の際にも特別な管理を必要としない。特に、ノブ３２の雄ネジは磁化されると微粒子（ごみ）が付着してクリーニングに工数を取られる部材であるが、非磁性材料とすることで汚れ難くなる。
【００３８】
ここで、本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いた磁性ターゲット交換方法について説明する。まず、強磁性ターゲットを取り外す方法について説明する。
【００３９】
まず、ターゲット２を裏板支持体３に固定しているネジを外す。ターゲット交換装置２０の内側の角部（ベース部材２２とガイド部材２２aが接する内側の角部）の一つを、固定プレート２３を上方に引き上げた状態で裏板支持体３（カソードボディ５）の角部の１ヶ所に当てて装着し、ノブ３１を回転操作してカソードボディ５に固定する（第１ステップ）。
第１ステップは、準備ステップと位置調整ステップとを有している。準備ステップは、ノブ３１の雄ネジ（第２締結部材）を長孔２２ａ（締結孔）に貫通させるとともに、ベース部材２２の位置をカソードボディ５に対して調整できるようにノブ３１の雄ネジを締め付けない状態にする工程である。位置調整ステップは、ノブ３１の雄ネジを締め付ける前に、ターゲット交換装置２０の位置調整を行うことで、カソードボディ５に対するベース部材２２の位置を調整する工程である。その後、ノブ３１の雄ネジを締め付けて、ターゲット交換装置２０をカソードボディ５に固定する。
【００４０】
ハンドル２８を回転させて固定プレート２３を下降させ、ノブ３２によってターゲット２を固定プレート２３に固定する（第２ステップ）。具体的には、ノブ３２の雄ネジをボス３０貫通穴に通させてターゲット２のタップにねじ込むことで固定する。再びハンドル２８を回転させ、ターゲット２が固定された固定プレート２３をマグネットの磁力の影響が十分弱まる距離（所定距離離間）まで引き上げる（第３ステップ）。ノブ３１を操作してカソードボディ５との固定を外し、その後、ターゲット交換装置２０をカソードボディ５から取り外す。
【００４１】
次に、強磁性ターゲットをカソードに取り付ける方法について説明する。ターゲット交換装置２０にターゲットを取り付ける際、交換するターゲット２が載置された作業台の上にターゲット交換装置２０を設置し、ノブ３２を操作して固定プレート２３にターゲット２を固定する。そして、ハンドル２８操作によってガイド部材２２aの逃げ溝a部上端にターゲット２の角部が近接する位置まで固定プレート２３を上に引き上げる。その状態で、ターゲット交換装置２０を裏板支持体３の角部の１ヶ所に当てて装着し、ノブ３１によってカソードボディ５側に固定する。
【００４２】
ハンドル２８を回し、固定プレート２３を下降させ、ターゲット２をカソードベース３に装着する。ノブ３２を外して固定プレート２３からターゲット２を取り外し、ノブ３１を外してターゲット交換装置２０をカソードボディ５から取り外す。最後にターゲット２を裏板支持体３にネジで固定する。
【００４３】
本実施形態に係るターゲット交換装置２０を用いることにより、強磁性を有するターゲット２の交換の際、カソードマグネットから引き剥がす際に生じるターゲット２の変形を軽減することできるとともに、ごみによるチャンバー６内及びターゲット２の汚染を低減することができる。また、ノブ３２によってターゲット２をターゲット交換装置２０側に固定する機構であるため強磁性ターゲットの交換作業を安全に行うことができる。さらに、ターゲット交換装置２０は非磁性材料から構成され、磁石を備えないことから、磁性材料の近くに保管することができる。このため、保管場所の選択の幅が広がる。
【００４４】
なお、本発明に係るターゲット交換装置２０は、強磁性を有しないターゲットの交換作業においても同様の使用方法にて適用することができる。また、本実施形態に係るターゲット交換装置２０は、矩形状のターゲット交換に用いるものであるが、ターゲット交換装置２０に設けられた各構成は、円形のターゲットのための交換装置に対しても適用することができることはもちろんである。
【符号の説明】
【００４５】
Ｓ マグネトロンスパッタ装置
ａ 逃げ溝
Ｔ ターゲット
１ カソードユニット
２ 裏板
３ 裏板支持体
４ 絶縁材
５ カソードボディ
６ チャンバー
７ ホルダー
８ バルブ
９ マグネットユニット
１０ 電圧印加用電源
１１ 導電性部材
１２ 冷却水供給装置
１３ 配管部材
２０ 強磁性ターゲット交換装置
２２ ベース部材
２２ａ、２２ｂ ガイド部材
２２ｃ 中央部分
２２ｄ 取っ手
２３ 固定プレート
２３ａ 開口部
２４ 支持部材
２４ａ 上部プレート
２５ 移動機構
２６ シャフト
２７ ナット
２８ ハンドル
２９ リブ
３０ ボス
３１ ノブ（装置固定用ノブ）
３２ ノブ（ターゲット固定用ノブ）
３４ ベアリング
３５ 長孔
３６ シールド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が保持される基板ホルダーと、該基板ホルダーに対向して磁性ターゲットを取り付け可能なカソードボディ及び該カソードボディの内側に配置されるカソードマグネットを有するカソード電極と、を備えるマグネトロンスパッタ装置における前記磁性ターゲットの交換作業に用いられる磁性ターゲット交換装置であって、
前記カソードボディに取り付け可能なベース部と、
前記磁性ターゲットを取り付け可能な固定部と、
前記ベース部が前記カソードボディに取り付けられた状態で、前記固定部を前記カソードボディから離間する方向、若しくは前記カソードボディに近接する方向に移動させる移動操作部と、
非磁性材料からなり、前記磁性ターゲットを前記固定部に締結する締結部材とを備えることを特徴とする磁性ターゲット交換装置。
【請求項２】
前記ベース部に形成された締結孔と、
前記締結孔を貫通した状態で、前記ベース部を前記カソードボディに締結する第２締結部材と、を備え、
前記締結孔は、前記第２締結部材を貫通させた状態で前記カソードボディに対する前記ベース部の位置を調整できるように長孔状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁性ターゲット交換装置。
【請求項３】
前記固定部は、前記固定部に前記磁性ターゲットが締結された状態において、前記固定部と前記磁性ターゲットとの間に介装されるスペーサを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁性ターゲット交換装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、
前記第２締結部材によって前記ベース部を前記カソードボディに締結する第１ステップと、
前記カソードボディに配設されていた前記磁性ターゲットを前記締結部材によって前記固定部に締結する第２ステップと、
前記移動操作部によって前記磁性ターゲットが締結された前記固定部を前記カソードボディから所定距離離間させる第３ステップと、を有してなることを特徴とする磁性ターゲット交換方法。
【請求項５】
請求項２又は３に記載の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、
前記第２締結部材によって前記ベース部を前記カソードボディに締結する第１ステップと、
前記カソードボディに配設されていた前記磁性ターゲットを前記締結部材によって前記固定部に締結する第２ステップと、
前記移動操作部によって前記磁性ターゲットが締結された前記固定部を前記カソードボディから所定距離離間させる第３ステップと、を有し、
前記第１ステップは、
前記第２締結部材を前記締結孔に貫通させるとともに、前記ベース部材の位置を前記カソードボディに対して調整できるように前記第２締結部材を締め付けない状態にする準備ステップと、
前記準備ステップの後に行われ、前記カソードボディに対する前記ベース部の位置を調整する位置調整ステップと、
前記位置調整ステップの後に行われ、前記第２締結部材を締め付けて前記ベース部を前記カソードボディに締結する締結ステップと、を有してなることを特徴とする磁性ターゲット交換方法。
【請求項１】
基板が保持される基板ホルダーと、該基板ホルダーに対向して磁性ターゲットを取り付け可能なカソードボディ及び該カソードボディの内側に配置されるカソードマグネットを有するカソード電極と、を備えるマグネトロンスパッタ装置における前記磁性ターゲットの交換作業に用いられる磁性ターゲット交換装置であって、
前記カソードボディに取り付け可能なベース部と、
前記磁性ターゲットを取り付け可能な固定部と、
前記ベース部が前記カソードボディに取り付けられた状態で、前記固定部を前記カソードボディから離間する方向、若しくは前記カソードボディに近接する方向に移動させる移動操作部と、
非磁性材料からなり、前記磁性ターゲットを前記固定部に締結する締結部材とを備えることを特徴とする磁性ターゲット交換装置。
【請求項２】
前記ベース部に形成された締結孔と、
前記締結孔を貫通した状態で、前記ベース部を前記カソードボディに締結する第２締結部材と、を備え、
前記締結孔は、前記第２締結部材を貫通させた状態で前記カソードボディに対する前記ベース部の位置を調整できるように長孔状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁性ターゲット交換装置。
【請求項３】
前記固定部は、前記固定部に前記磁性ターゲットが締結された状態において、前記固定部と前記磁性ターゲットとの間に介装されるスペーサを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁性ターゲット交換装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、
前記第２締結部材によって前記ベース部を前記カソードボディに締結する第１ステップと、
前記カソードボディに配設されていた前記磁性ターゲットを前記締結部材によって前記固定部に締結する第２ステップと、
前記移動操作部によって前記磁性ターゲットが締結された前記固定部を前記カソードボディから所定距離離間させる第３ステップと、を有してなることを特徴とする磁性ターゲット交換方法。
【請求項５】
請求項２又は３に記載の磁性ターゲット交換装置を用いた、マグネトロンスパッタ装置における磁性ターゲット交換方法であって、
前記第２締結部材によって前記ベース部を前記カソードボディに締結する第１ステップと、
前記カソードボディに配設されていた前記磁性ターゲットを前記締結部材によって前記固定部に締結する第２ステップと、
前記移動操作部によって前記磁性ターゲットが締結された前記固定部を前記カソードボディから所定距離離間させる第３ステップと、を有し、
前記第１ステップは、
前記第２締結部材を前記締結孔に貫通させるとともに、前記ベース部材の位置を前記カソードボディに対して調整できるように前記第２締結部材を締め付けない状態にする準備ステップと、
前記準備ステップの後に行われ、前記カソードボディに対する前記ベース部の位置を調整する位置調整ステップと、
前記位置調整ステップの後に行われ、前記第２締結部材を締め付けて前記ベース部を前記カソードボディに締結する締結ステップと、を有してなることを特徴とする磁性ターゲット交換方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１０２４３２（Ｐ２０１１−１０２４３２Ａ）
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２３１１５１（Ｐ２０１０−２３１１５１）
【出願日】平成２２年１０月１４日（２０１０．１０．１４）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月１４日（２０１０．１０．１４）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
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