磁気転写方法及び磁気転写装置
【課題】磁気転写用スタンパの情報を磁気記録媒体に高精度で磁気転写できる信頼性が高い磁気転写方法及び磁気転写装置を提供する。
【解決手段】磁気転写装置１０は、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成可能である重ね合わせユニット３０と、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニット４０と、を備える。
【解決手段】磁気転写装置１０は、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成可能である重ね合わせユニット３０と、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニット４０と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写用スタンパを用いて磁気記録媒体に所定の情報を転写するための磁気転写方法及び磁気転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスク等の磁気記録媒体はサーボ領域とデータ領域とに区分けされ、サーボ領域には記録／再生ヘッドの位置決めのためのサーボ情報が記録され、サーボ情報に基づいて記録／再生ヘッドのトラッキング等が行われる。ハードディスクの場合、径方向に沿う複数のサーボ領域が周方向に適宜な間隔で放射状に設定される。これらサーボ領域の間の部分がデータ領域であり、データ領域には所定のトラックに沿ってデータが記録される。尚、サーボ領域は通常、記録／再生ヘッドの円弧軌道と同じ又は記録／再生ヘッドの円弧軌道に近い円弧形状である。サーボ情報は、具体的には記録層における１ビットの情報に相当する各領域を０又は１の情報に対応する方向に所定のサーボパターンで磁化することにより記録される。面内記録媒体では各領域を０又は１の情報に対応する周方向の一方の向き又はその逆の向きに所定のサーボパターンで磁化することによりサーボ情報が記録される。又、近年主流となりつつある垂直記録媒体では各領域を０又は１の情報に対応する表面に垂直な方向の一方の向き又はその逆の向きに所定のサーボパターンで磁化することによりサーボ情報が記録される。このようにサーボ情報は、０の情報に対応する方向に磁化された領域に対応する１ビットのサーボ情報要素と１の情報に対応する方向に磁化された領域に対応する１ビットのサーボ情報要素とが所定のサーボパターンで配置された構成である。このようなサーボ情報は、サーボ記録装置によって各磁気記録媒体毎に記録層における各領域を０の情報及び１の情報に応じて順次磁化させていくものであるため、磁気記録媒体の１面あたりのサーボ情報の記録に時間を要し生産性が低いという問題があった。特に近年、面記録密度の向上のため、サーボ情報についても高密度で、高精度な記録が要求されるようになっており、サーボ情報の記録の効率改善に対するニーズが高まっている。
【０００３】
そこで磁気転写用スタンパを用いて磁気記録媒体にサーボ情報を磁気転写することが提案されている。具体的には、サーボパターンに対応する凹凸パターンの転写面を有する磁気転写用スタンパを用意し、予め一方向に磁化させた磁気記録媒体の被転写面に磁気転写用スタンパの転写面を接触させて予め磁化させた方向とは反対の方向の適当な大きさの直流外部磁場を印加することにより磁気記録媒体における磁気転写用スタンパの転写面の凸部に接触する部分が予め磁化させた方向とは反対の方向に選択的に磁化されサーボ情報が記録される。磁気転写用スタンパを用いれば短時間で磁気記録媒体にサーボ情報を磁気転写することができるので、サーボ情報の記録効率の大幅な向上が期待されている。
【０００４】
このような磁気転写用スタンパによる磁気情報の良好な転写を実現するためには、磁気転写用スタンパの転写面と磁気記録媒体の被転写面とが密着した状態で磁気転写が行われることが好ましい。一方、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間には空気が混入することがあり空気の混入は磁気情報が正確に転写されない原因となりうる。
【０００５】
そこで、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避する様々な手法が提案されている。例えば、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間に潤滑剤等の液体を介在させると共に磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧することにより磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との密着性を向上させる手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。又、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間が真空に近い状態になるように減圧すると共に磁気転写用スタンパにおける転写面の反対側及び磁気記録媒体における被転写面の反対側には大気圧が作用するようにして大気圧で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しつつ外部磁場を印加する手法が知られている（例えば、特許文献２、３参照）。又、ハンドアームやローラ等により磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体の一部分を加圧し加圧点を起点に非加圧領域へ空気を押し出す手法が知られている（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１７０２３１号公報
【特許文献２】特開２００３−８５７４６号公報
【特許文献３】特開２００８−３１０９０９号公報
【特許文献４】特開２０１１−２８８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このように磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避しても、磁気転写用スタンパから磁気記録媒体へ良好なサーボ情報を磁気転写することができないことがあった。これにより所望のトラッキング性能が得られないことがあった。
【０００８】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、磁気転写用スタンパの情報を磁気記録媒体に高精度で磁気転写できる信頼性が高い磁気転写方法及び磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持しつつ磁気転写用スタンパを介して磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含む磁気転写方法により上記目的を達成したものである。
【００１０】
又、本発明は、加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持しつつ磁気転写用スタンパを介して磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含む磁気転写装置により上記目的を達成したものである。
【００１１】
発明者らは、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避しても磁気転写用スタンパから磁気記録媒体へ良好なサーボ情報を磁気転写することができない原因について鋭意研究した結果、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが一因であることを突き止めた。最初に磁気転写用スタンパと磁気記録媒体とが正確に重ね合わせられていたとしても加圧されることによって磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが生ずると考えられる。
【００１２】
これに対し、上記の磁気転写方法及び磁気転写装置では加圧されないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が重ね合わされる。更に、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が加圧されないように磁気転写用中間体が保持されて磁気記録媒体に外部磁場が印加される。従って、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。
【００１３】
尚、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に磁気転写用スタンパにおける磁気記録媒体と反対側及び磁気記録媒体における磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も減圧環境下に保持しつつ磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせることが好ましい。このようにすることで、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧することなく、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を防止又は抑制する効果を高めることができる。
【００１４】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【００１５】
（１）加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含むことを特徴とする磁気転写方法。
【００１６】
（２） （１）において、前記重ね合わせ工程において、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせることを特徴とする磁気転写方法。
【００１７】
（３） （１）又は（２）において、前記重ね合わせ工程の前に、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布する液状材料塗布工程を更に含むことを特徴とする磁気転写方法。
【００１８】
（４） （３）において、前記液状材料は、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかであることを特徴とする磁気転写方法。
【００１９】
（５）加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含むことを特徴とする磁気転写装置。
【００２０】
（６） （５）において、前記重ね合わせユニットは、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせ可能であることを特徴とする磁気転写装置。
【００２１】
（７） （５）又は（６）において、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布するための液状材料塗布ユニットを更に含むことを特徴とする磁気転写装置。
【００２２】
（８） （７）において、前記液状材料塗布ユニットは前記液状材料としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかを塗布するように構成されたことを特徴とする磁気転写装置。
【００２３】
尚、本出願において「加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる」とは、外力に基づく荷重が磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体に実質的に作用しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせることを意味し、磁気転写用スタンパの転写面及び磁気記録媒体の被転写面に外力に基づく荷重が全く作用しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合の他、例えば磁気転写用スタンパ又は磁気記録媒体の自重に相当する程度の荷重及び／又はこれらを覆うカバー等の質量に相当する程度の荷重が作用する状態で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合のように０．０１ＭＰａ以下（大気圧（０．１ＭＰａ）の１０分の１以下）の圧力が磁気転写用スタンパの転写面及び磁気記録媒体の被転写面に作用する状態で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合も含む意味で用いる。「磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持する」についても同様である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、磁気転写用スタンパの情報を磁気記録媒体に高精度で磁気転写できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気転写装置の構造を模式的に示す側面図
【図２】同磁気転写装置で磁気転写される磁気記録媒体及び同磁気転写装置で用いられる磁気転写用スタンパの構造を拡大して模式的に示す断面図
【図３】同磁気転写装置の液状材料塗布ユニットの構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図４】同磁気転写装置の重ね合わせユニットの第１重ね合わせ装置の構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図５】同重ね合わせユニットの第２重ね合わせ装置の構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図６】同磁気転写装置の外部磁場印加ユニットの構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図７】同磁気転写装置を用いた磁気転写方法の概要を示すフローチャート
【図８】液状材料が塗布されて第１磁気転写用スタンパが重ねあわされた前記磁気記録媒体を拡大して模式的に示す断面図
【図９】前記第１磁気転写用スタンパ及び第２磁気転写用スタンパを介して外部磁場が印加される前記磁気記録媒体を拡大して模式的に示す断面図
【図１０】本発明の実施例及び比較例に係るサンプルの半径が３０ｍｍの環状の部位における円周方向の位置とＰＥＳとの関係を示すグラフ
【図１１】同サンプルの半径と各半径の環状の部位のＰＥＳ（３σ）との関係を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、図１に示されるような磁気転写装置１０に関する。磁気転写装置１０は、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを用いて磁気記録媒体１４に情報を磁気転写するための装置であり、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布するための液状材料塗布ユニット２０と、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成可能である重ね合わせユニット３０と、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニット４０と、を備えている。
【００２７】
磁気記録媒体１４は連続膜の記録層を有する垂直記録型のハードディスクであり、中心孔を有する円板形状である。図２に示されるように、磁気記録媒体１４は、基板１４Ａを有し、更に基板１４Ａの両面に対称的に形成された軟磁性層１４Ｂ、配向層１４Ｃ、記録層１４Ｄ及び保護層１４Ｅを有している。尚、磁気記録媒体１４は、基板１４Ａと軟磁性層１４Ｂとの間に下地層や反強磁性層を有していてもよい。
【００２８】
第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂも中心孔を有する円板形状である。図２に示されるように、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面にはハードディスクのサーボパターンに対応する凹凸パターンが形成されている。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの厚さは例えば０．２〜１０ｍｍである。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの直径は例えば２０〜２００ｍｍである。尚、スタンパ１２Ａの直径は磁気記録媒体１４の直径よりも大きく、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの直径は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの直径よりも大きい。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹凸の段差は４０〜１２０ｎｍである。尚、図２では本実施形態の理解のため第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンを実際よりも著しく大きく描いている。後述する図８及び９でも同様である。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは、凹凸パターンが形成された基板１２Ｃ、１２Ｄと基板の凹凸形状に倣って凹凸の面の上に形成された磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとを有している。基板１２Ｃ、１２Ｄの材料はポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂である。磁性膜１２Ｅ、１２Ｆの材料は、ＣｏＰｔ合金、ＣｏＦｅ合金等である。尚、基板１２Ｃ、１２Ｄと磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとの間にＰｔ等の下地膜を形成してもよい。又、磁性膜１２Ｅ、１２Ｆの上にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の保護膜及び／又はパーフルオロポリエーテルの潤滑膜を形成してもよい。保護膜の厚さは例えば２〜４ｎｍである。又、潤滑膜の厚さも例えば２〜４ｎｍである。
【００２９】
液状材料塗布ユニット２０はスピンコート装置であり、図３に示されるように磁気記録媒体１４を中心孔において保持して回転可能である軸部２０Ａと、磁気記録媒体１４の上側の面に液状材料１６を供給するための上側ノズル２０Ｂと、磁気記録媒体１４の下側の面に液状材料１６を供給するための下側ノズル２０Ｃと、を有している。上側ノズル２０Ｂ及び下側ノズル２０Ｃは、磁気記録媒体１４の中心孔の近傍に液状材料１６を供給するようになっている。
【００３０】
液状材料１６は大気圧（０．１ＭＰａ）よりも低い（例えば１００Ｐａ程度の）減圧環境下において蒸発しにくい材料であることが好ましい。言い換えれば、液状材料１６は減圧環境下において蒸発速度が遅い材料、或いは蒸気圧が低い材料であることが好ましい。このような液状材料としては例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールｎ−プロピルエ−テル、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブタノール、ミネラルスピリット、ジアセトンアルコール、プロピレングリコールｎ−ブチルエ−テル、３−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、３−メチル−３−メトキシブタノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコ−ルメチルエ−テル、プロピレングリコールジアセテート、ジプロピレングリコ−ルメチルエ−テルアセテ−ト、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエ−テル、３，５，５−トリメチル−２−シクロヘキセン−１−オン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエ−テル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、アクリル酸、アクリル酸ブチル、ベンジルアクリレートを挙げることができる。又、蒸気圧が低い液状材料としてはシリコンオイルや、例えばハードディスクの潤滑剤として用いられるパーフルオロポリエーテルなどのフッ素系潤滑剤を挙げることができる。又、大気圧よりも低い（例えば１００Ｐａ程度の）減圧環境下において蒸発しにくい材料であれば、以上の液状材料よりも粘度が著しく高い樹脂材料を用いてもよい。具体的には、フェノール樹脂（ＰＦ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、アクリル（メタクリル）樹脂（ＭＭＡ）等を用いてもよい。樹脂材料は、１種類のモノマー、或いは１種類のオリゴマーで構成されていてもよいし、複数の種類のモノマー又は複数の種類のオリゴマーの混合物であってもよい。又、１種類又は複数の種類のモノマーと１種類又は複数の種類のオリゴマーとの混合物であってもよい。
【００３１】
重ね合わせユニット３０は、磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａを重ね合わせるための第１重ね合わせ装置３０Ａと、磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせるための第２重ね合わせ装置３０Ｂと、を備えている。
【００３２】
図４に示されるように、第１重ね合わせ装置３０Ａは、真空チャンバー３２Ａと、スタンパ保持器３４Ａと、磁気記録媒体保持器３６Ａと、を有している。真空チャンバー３２Ａは天板部が脱着可能であり、図示しない真空ポンプにより内部が減圧されるようになっている。スタンパ保持器３４Ａは複数の保持部材で構成されており、これらの保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周近傍の複数の箇所（例えば４箇所）において保持するように真空チャンバー３２Ａの側壁の内周面に取り付けられている。具体的には、各保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周の近傍において下方から支持し第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上方への動きは規制しないようになっている。又、各保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの外周面に当接又は近接し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の動きを規制するようになっている。尚、スタンパ保持器３４Ａの内径（複数の保持部材の内側の端面を通る円の直径）は磁気記録媒体１４の外径よりも大きい。又、各保持部材の間には隙間があり、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も減圧されるようになっている。これにより第１重ね合わせ装置３０Ａは第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持できるようになっている。尚、磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持されるようになっている。磁気記録媒体保持器３６Ａは、磁気記録媒体１４を中心孔の近傍において保持する昇降部と、昇降部を上下動自在に保持するベース部と、を有している。昇降部はスタンパ保持器３４Ａに保持された第１磁気転写用スタンパ１２Ａから磁気記録媒体１４が下方に離間する位置と、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置又はこれよりも高い位置との間で上下動可能である。ベース部は水平方向に移動可能であり、磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整できるようになっている。又、第１重ね合わせ装置３０Ａは、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出可能である図示しない位置ずれ検出器を備えている。位置ずれ検出器は例えば磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの表面の基準マーク等を撮像するカメラを備え、撮像結果に基づいて磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出可能である。
【００３３】
図５に示されるように、第２重ね合わせ装置３０Ｂは第１重ね合わせ装置３０Ａと類似した構成であり、真空チャンバー３２Ｂと、スタンパ保持器３４Ｂと、磁気記録媒体保持器３６Ｂと、を有している。第２重ね合わせ装置３０Ｂにおいて、磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａが重ね合わされた面と反対側の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが重ね合わされ、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８が作成されるようになっている。真空チャンバー３２Ｂの構成は第１重ね合わせ装置３０Ａの真空チャンバー３２Ａの構成と同じである。スタンパ保持器３４Ｂは第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを保持するために第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外径に対応した形状を有しており、これ以外は第１重ね合わせ装置３０Ａのスタンパ保持器３４Ａと同じ構成である。尚、スタンパ保持器３４Ｂの内径（スタンパ保持器３４Ｂを構成する複数の保持部材の内側の端面を通る円の直径）は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの外径よりも大きい。磁気記録媒体保持器３６Ｂは第１磁気転写用スタンパ１２Ａを介して磁気記録媒体１４を保持するために、昇降部が第１磁気転写用スタンパ１２Ａを中心孔の近傍において保持するようになっており、これ以外は第１重ね合わせ装置３０Ａの磁気記録媒体保持器３６Ａと同じ構成である。又、第２重ね合わせ装置３０Ｂも第１重ね合わせ装置３０Ａと同様に磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出可能である図示しない位置ずれ検出器を備えている。
【００３４】
図６に示されるように、外部磁場印加ユニット４０は、磁気転写用中間体１８を保持するための磁気転写用中間体保持器４２と、磁気転写用中間体１８の上側に配置される上側磁石４４と、磁気転写用中間体１８の下側に配置される下側磁石４６と、を備えている。磁気転写用中間体保持器４２は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を上側及び下側から挟むように保持して磁気転写用中間体１８を保持すると共に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周面に当接又は近接し磁気転写用中間体１８の水平方向の動きを規制するようになっている。上側磁石４４は、支持部４４Ａと、支持部４４Ａの下端に取付けられた磁石部４４Ｂと、を有している。磁石部４４Ｂは永久磁石であり支持部４４Ａにより上下方向に駆動されて磁気転写用中間体１８に上方から接近可能であり、又、磁気転写用中間体１８から上方へ離間可能である。又、磁石部４４Ｂは支持部４４Ａに駆動されて磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転可能である。下側磁石４６は上側磁石４４に対して上下方向に対称の構成であり、支持部４６Ａと、支持部４６Ａの上端に取付けられた磁石部４６Ｂと、を有している。磁石部４６Ｂも永久磁石であり支持部４６Ａにより上下方向に駆動されて磁気転写用中間体１８に下方から接近可能であり、又、磁気転写用中間体１８から下方へ離間可能である。又、磁石部４６Ｂも支持部４６Ａに駆動されて磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転可能である。上側磁石４４の磁石部４４Ｂと下側磁石４６の磁石部４６Ｂは、一方のＮ極と他方のＳ極とが磁気転写用中間体１８を挟むように対向すると共に対向した状態を保持して回転するようになっている。これにより、外部磁場印加ユニット４０は磁気転写用中間体１８の磁気記録媒体１４の全面に外部磁場を印加可能である。尚、図１、６では磁気記録媒体１４の水平方向の一端から他端まで同時に外部磁場を印加できるようになっているが、例えば外部磁場印加ユニットは磁気記録媒体１４の中心又はその近傍から外周まで外部磁場を印加できる磁石を備えていてもよい。この場合も、磁石が回転することにより磁気記録媒体１４の全面に外部磁場を印加できる。又、外部磁場印加ユニットは、磁石が固定され磁気転写用中間体が回転する構成でもよい。又、外部磁場印加ユニットは、永久磁石に代えて電磁石を備える構成でもよい。
【００３５】
次に、磁気転写装置１０を用いた磁気転写方法について図７のフローチャートに沿って説明する。
【００３６】
まず、磁気記録媒体１４に充分に大きい垂直方向（表面に対し垂直な方向）の外部磁場を印加し磁気記録媒体１４を初期化する（Ｓ１０２：初期化工程）。これにより磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄが全面において垂直方向の一方の向きに磁化される。尚、この工程では上記の外部磁場印加ユニット４０を用いてもよいし、外部磁場印加ユニット４０とは別の外部磁場印加ユニットを用いてもよい。
【００３７】
次に、液状材料塗布ユニット２０により磁気記録媒体１４の両面に液状材料１６を塗布する（Ｓ１０４：液状材料塗布工程）。具体的には、磁気記録媒体１４を回転させながら上側ノズル２０Ｂ及び下側ノズル２０Ｃで磁気記録媒体１４の両面における中心孔の近傍に液状材料１６を供給する。液状材料１６は遠心力により磁気記録媒体１４の径方向の外側に向かって流動し、磁気記録媒体１４の両面の全面に液状材料１６が塗布される。塗布される液状材料１６の厚さは第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹凸の段差よりも小さいことが好ましい。
【００３８】
次に、重ね合わせユニット３０により、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成する（Ｓ１０６：重ね合わせ工程）。
【００３９】
まず、第１重ね合わせ装置３０Ａにより磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａを重ね合わせる（Ｓ１０６Ａ：第１重ね合わせ工程）。具体的には、磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａで保持し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａをスタンパ保持器３４Ａで保持する。尚、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａから下方に離間するように磁気記録媒体１４を保持する高さを調整する。次に、真空チャンバー３２Ａの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ａの内部を減圧する。これにより、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持される。更に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。真空チャンバー３２Ａの内部は例えば、１０００Ｐａ以下まで減圧されることが好ましく、１００Ｐａ以下まで減圧されることが更に好ましい。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０又は実用上問題がないレベルまで充分に小さくなるように磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整する。この状態で磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａと共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置まで上昇させる。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触すると磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａとがメニスカス力によって密着する。図８に示されるように、液状材料１６は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面の凹部の少なくとも一部を充填し、これにより密着力が高められる。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が減圧環境下に保持されているので、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との間への空気の混入が防止又は実用上問題がない程度に抑制される。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側及び磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持されているので、気圧の差によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４とが加圧されることがない。又、スタンパ保持器３４Ａは第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上方への動きを規制しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周の近傍において下方から支持しているので、磁気記録媒体１４の上昇による機械的な力によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４とが加圧されることもない。即ち、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされる。従って、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。
【００４０】
次に、第２重ね合わせ装置３０Ｂにより磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせる（Ｓ１０６Ｂ：第２重ね合わせ工程）。具体的には、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを磁気記録媒体保持器３６Ｂで保持し、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂをスタンパ保持器３４Ｂで保持する。尚、磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂから下方に離間するように磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを保持する高さを調整する。次に、真空チャンバー３２Ｂの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ｂの内部を減圧する。これにより、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。更に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。真空チャンバー３２Ｂの内部も例えば、１０００Ｐａ以下まで減圧されることが好ましく、１００Ｐａ以下まで減圧されることが更に好ましい。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０又は実用上問題がないレベルまで充分に小さくなるように磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）の水平方向の位置を調整する。この状態で磁気記録媒体保持器３６Ｂと共に磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）を磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触する位置まで上昇させる。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触すると磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとがメニスカス力によって密着する。第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）でも第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）と同様に、液状材料１６は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹部の少なくとも一部を充填し、これにより密着力が高められる。第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が減圧環境下に保持されているので、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との間への空気の混入も防止又は実用上問題がない程度に抑制される。又、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持されているので、気圧の差によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが加圧されることがない。又、スタンパ保持器３４Ｂは第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの上方への動きを規制しないように第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを外周の近傍において下方から支持しているので、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上昇による機械的な力によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが加圧されることもない。このように第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４も加圧されることなく重ね合わされるので、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれも防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との位置ずれも防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。これにより磁気記録媒体１４の両面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが高精度で配置されて重ね合わされた磁気転写用中間体１８が得られる。
【００４１】
尚、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面のサーボパターン領域における平面視における凹部の面積Ｓ１と凸部の面積Ｓ２との比率Ｓ２／Ｓ１が０．８〜１．２の範囲であり、磁気記録媒体１４に塗布された液状材料１６の厚さが転写面の凹凸の段差の４０％以上である場合、転写面の凹部の多くの（例えば半分以上の）部分が液状材料１６で充填され磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとの高い密着力が得られる。一方、Ｓ２／Ｓ１が０．８〜１．２の範囲であり、磁気記録媒体１４の表面に塗布される液状材料１６の厚さが転写面の凹凸の段差の４０％以下である場合、転写面の凸部の先端と磁気記録媒体１４の表面とのギャップが５ｎｍ程度又は５ｎｍよりも小さい値に抑制され好ましい。
【００４２】
次に、外部磁場印加ユニット４０により第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ図９に示されるように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に前記初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加する（Ｓ１０８：外部磁場印加工程）。具体的には、まず第２重ね合わせ装置３０Ｂの真空チャンバー３２Ｂから磁気転写用中間体１８を取り出して外部磁場印加ユニット４０の磁気転写用中間体保持器４２で第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を保持して磁気転写用中間体１８を保持する。次に、上側磁石４４を上方から磁気転写用中間体１８に接近させ、下側磁石４６を下方から磁気転写用中間体１８に接近させる。磁気記録媒体１４には第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凸部を介して直流外部磁場が印加され、磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄにおける第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凸部に接触又は近接する部分が直流外部磁場の方向に磁化される。上側磁石４４及び下側磁石４６を磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転させることにより磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄに磁気転写が行われサーボ情報が記録される。尚、直流外部磁場の大きさが過大であると、記録層１４Ｄの全面が直流外部磁場の方向に磁化されうるので、直流磁場の大きさは磁気記録媒体１４に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンに倣ったサーボ情報を磁気転写できる大きさに制限する。
【００４３】
これにより磁気転写装置１０を用いたサーボ情報の磁気転写が完了する。尚、磁気記録媒体１４の両面の第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは磁気記録媒体１４から剥離する。以後同様に、所定の数の磁気記録媒体１４への磁気転写が完了するまで磁気転写装置１０を用いたサーボ情報の磁気転写を繰り返す。
【００４４】
このように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４は加圧されないように重ね合わされ、加圧されないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場が印加されるので、これらの工程において第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。従って、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンの情報を磁気記録媒体１４に高精度で磁気転写できる。尚、液状材料１６としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル（メタクリル）樹脂等を用いた場合、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との高い密着力が得られ、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれを防止又は抑制する効果が高いという利点がある。例えば、第１重ね合わせ装置３０Ａから第２重ね合わせ装置３０Ｂへの磁気転写用中間体１８の搬送や、第２重ね合わせ装置３０Ｂから外部磁場印加ユニット４０への磁気転写用中間体１８の搬送の際に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれを防止又は抑制する高い効果が得られる。この場合、磁気転写後、溶剤等で液状材料１６を除去しパーフルオロポリエーテル等の潤滑剤を磁気記録媒体１４の両面に塗布する。一方、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテル等のハードディスクの潤滑剤として用いられるフッ素系潤滑剤を用いた場合、液状材料１６をそのまま磁気記録媒体１４の潤滑剤として用いることができるという利点がある。
【００４５】
尚、本実施形態において、スピンコート法により液体材料１６を磁気記録媒体１４の表面に塗布しているが、ディッピング法やドクターブレード法により液体材料１６を磁気記録媒体１４の表面に塗布してもよい。
【００４６】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布しているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの表面に液状材料１６を塗布してもよい。又、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布すると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの表面にも液状材料１６を塗布してもよい。
【００４７】
又、本実施形態において、液状材料１６を介して第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせているが、重ね合わせユニット３０から外部磁場印加ユニット４０への搬送等において第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの位置ずれが生じにくい場合には、液状材料の塗布を省略し液状材料を介さずに第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせてもよい。
【００４８】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０の第１重ね合わせ装置３０Ａ、第２重ね合わせ装置３０Ｂは真空チャンバー３２Ａ、３２Ｂを備え減圧環境下で第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせているが、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入が問題とならない場合には、例えば大気圧の下で第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせてもよい。
【００４９】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０は第１重ね合わせ装置３０Ａと第２重ね合わせ装置３０Ｂとを備えているが、重ね合わせユニットが重ね合わせ装置を１つだけ備え、この１つの重ね合わせ装置で磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパを重ね合わせると共に、同じ重ね合わせ装置で磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパを重ね合わせてもよい。この場合、第１磁気転写用スタンパの外径、第２磁気転写用スタンパの外径に合わせて重ね合わせ装置のスタンパ保持器の内径が調整可能であるように、例えばスタンパ保持器を構成する各保持部材が径方向に可動である構成とすればよい。
【００５０】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０は第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを水平な姿勢（法線が垂直な姿勢）で保持し、これらを上下方向に相互に接近させて重ね合わせるように構成されているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを垂直な姿勢（法線が水平な姿勢）で保持し、これらを水平方向に相互に接近させて重ね合わせる構成の重ね合わせユニットを用いてもよい。このような重ね合わせユニットを用いる場合、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにこれらの自重に相当する荷重も作用しないように、これらを重ね合わせることができるという利点がある。
【００５１】
同様に、本実施形態において、外部磁場印加ユニット４０も、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを水平な姿勢（法線が垂直な姿勢）で保持し、これらに外部磁場を印加するように構成されているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを垂直な姿勢（法線が水平な姿勢）で保持し、これらに外部磁場を印加する構成の外部磁場印加ユニットを用いてもよい。このような外部磁場印加ユニットを用いる場合も、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにこれらの自重に相当する荷重が作用することを回避しつつ、これらに外部磁場を印加できるという利点がある。
【００５２】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４は両面に記録層１４Ｄ等を備え、磁気転写用中間体１８は第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが重ね合わされた構成であるが、磁気記録媒体が片面だけに記録層を備え、磁気転写用中間体は１つの磁気転写用スタンパと磁気記録媒体１４とが重ね合わされた構成であってもよい。この場合、重ね合わせ工程（Ｓ１０６）では第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）を省略し第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）と同様の１つの工程のみを実行すればよい。
【００５３】
又、本実施形態において、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは樹脂の基板１２Ｃ、１２Ｄと磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとを有しているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは樹脂以外の非磁性の基板と磁性膜とを有する構成でもよい。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは磁性材料で構成されていてもよい。
【００５４】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４はハードディスクであるが、ハードディスク以外の磁気記録媒体の製造にも本発明は適用可能である。
【実施例１】
【００５５】
前記実施形態のとおり磁気記録媒体１４に磁気転写を行い両面にサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルを作成した。
【００５６】
磁気記録媒体１４の仕様は以下のとおりであった。
直径：６５ｍｍ
内径：２０ｍｍ
基板の厚さ：０．８ｍｍ
基板の材料：ガラス
記録層の厚さ：２０ｎｍ
記録層の材料：Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金
記録層の保磁力：５ｋＯｅ
保護層の厚さ：４ｎｍ
保護層の材料：ＤＬＣ
尚、記録層と基板との間には下地層、軟磁性層、配向層が形成されていたが、これらの層の厚さ、材料は実施例１の理解のために重要とは思われないため説明を省略する。
【００５７】
又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの仕様は以下のとおりであった。
直径：８０ｍｍ
基板の厚さ：０．６ｍ
基板の材料：アモルファスポリオレフィン樹脂
磁性膜の厚さ：４０ｎｍ
磁性膜の材料：Ｃｏ−Ｐｔ合金
転写面の凹凸の段差：８０ｎｍ
【００５８】
又、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの仕様は以下のとおりであった。
直径：９０ｍｍ
基板の厚さ：０．６ｍ
基板の材料：アモルファスポリオレフィン樹脂
磁性膜の厚さ：４０ｎｍ
磁性膜の材料：Ｃｏ−Ｐｔ合金
転写面の凹凸の段差：８０ｎｍ
【００５９】
初期化工程（Ｓ１０２）では磁気記録媒体１４に記録層１４Ｄの飽和磁場以上の外部磁場を印加した。
【００６０】
液状材料塗布工程（Ｓ１０４）では、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテルを磁気記録媒体１４の表面に塗布した。塗布された液状材料１６の厚さは約４ｎｍだった。
【００６１】
第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）では、まず磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａで保持した。次に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａをスタンパ保持器３４Ａで保持した。尚、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａから下方に離間するように磁気記録媒体１４を保持する高さを調整した。次に、真空チャンバー３２Ａの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ａの内部を１００Ｐａ以下まで減圧した。これにより、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持された。更に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０になるように磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整した。この状態で磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置まで磁気記録媒体１４を上昇させた。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触し磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａとが密着した。第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされた。尚、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面及び磁気記録媒体１４の被転写面に作用した荷重は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの質量に相当する荷重であり圧力は約１３Ｐａであった。
【００６２】
第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）では、まず磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを磁気記録媒体保持器３６Ｂで保持した。次に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂをスタンパ保持器３４Ｂで保持した。尚、磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂから下方に離間するように磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを保持する高さを調整した。次に、真空チャンバー３２Ｂの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ｂの内部を１００Ｐａ以下まで減圧した。これにより、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。更に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０になるように磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）の水平方向の位置を調整した。この状態で磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触する位置まで磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）を上昇させた。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触し磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが密着した。第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされた。これにより磁気記録媒体１４の両面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが高精度で配置されて重ね合わされた磁気転写用中間体１８が得られた。尚、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面に作用した荷重は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの質量に相当する荷重であり圧力は約１５Ｐａであった。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面に作用した荷重は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの質量及び磁気記録媒体１４の質量の合計に相当する荷重であり圧力は約３４Ｐａであった。
【００６３】
外部磁場印加工程（Ｓ１０８）では、加圧しないように磁気転写用中間体１８を真空チャンバー３２Ａから取り出して外部磁場印加ユニット４０の磁気転写用中間体保持器４２で磁気転写用中間体１８を保持した。具体的には、第１磁気転写用スタンパ１２Ａが上側、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが下側である姿勢で磁気転写用中間体保持器４２で第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を保持した。次に、上側磁石４４を上方から磁気転写用中間体１８に接近させ、下側磁石４６を下方から磁気転写用中間体１８に接近させた。上側磁石４４の下端と下側磁石４６の上端とのギャップは約２１ｍｍだった。又、上側磁石４４の下端と磁気記録媒体１４の上面とのギャップは約１０．１ｍｍだった。又、下側磁石４６の上端と磁気記録媒体１４の下面とのギャップも約１０．１ｍｍだった。上側磁石４４及び下側磁石４６を６０ｒｐｍの回転速度で回転させて、磁気転写用中間体１８に初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加した。外部磁場の大きさは５ｋＯｅだった。
【００６４】
その後、磁気記録媒体１４から第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを分離することにより両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。このようにして得られたサンプルのサーボ信号を測定した。ポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は概ね１０％以下で良好であった。従って、良好なトラッキング性能が得られた。図１０は、サンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面の半径が３０ｍｍの環状の部位（外周近傍の部位）における円周方向の位置とＰＥＳとの関係を示す。又、図１１は、サンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面の半径と各半径の環状の部位における１周あたりのＰＥＳの値（３σ）との関係を示す。図１０及び１１においてＷ１を付した太い線が実施例１のサンプルのデータである。尚、サンプルの第１磁気転写用スタンパ１２Ａが密着していた側の面でも図１０及び１１に示されるＷ１を付したデータと同様のデータが得られた。
【実施例２】
【００６５】
上記実施例１に対し、液状材料塗布工程（Ｓ１０４）において、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテルに代えてアクリル樹脂を用いた。アクリル樹脂の粘度は約４００ｍＰａ・ｓだった。尚、実施例１で用いたパーフルオロポリエーテルの粘度は１３７ｍＰａ・ｓだった。即ち、実施例１で用いたパーフルオロポリエーテルよりも粘度が著しく高い樹脂材料を用いた。又、塗布された液状材料１６の厚さは約３２ｎｍ（第１スタンパ１２Ａの転写面の凹凸の段差（８０ｎｍ）の４０％）だった。
【００６６】
又、外部磁場印加工程（Ｓ１０８）の後に、液状材料１６を溶剤で除去した。その後、磁気記録媒体１４の表面にパーフルオロポリエーテルを塗布した。塗布されたパーフルオロポリエーテルの厚さは４ｎｍだった。
【００６７】
他の条件は実施例１と同じ条件で両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。得られたサンプルのサーボ信号を実施例１と同様に測定した。実施例１と同様にポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は概ね１０％以下であった。実施例１と同様に良好なトラッキング性能が得られた。
【００６８】
［比較例］
上記実施例１に対し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧して重ね合わせた。具体的には実施例１と同様に磁気記録媒体１４に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせた後、磁気転写用中間体１８を２枚のガラス板で挟み、プレス機を用いて第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面及び磁気記録媒体１４の被転写面に０．１ＭＰａの圧力が印加されるように磁気転写用中間体１８を加圧した。各ガラス板の厚さは９．５ｍｍだった。
【００６９】
更に、磁気転写用中間体１８を加圧した状態で上側磁石４４を上方から上側のガラス板に接触させ、下側磁石４６を下方から下側のガラス板に接触させた。上側磁石４４の下端と下側磁石４６の上端とのギャップは実施例１と同様に約２１ｍｍだった。又、上側磁石４４の下端と磁気記録媒体１４の上面とのギャップは実施例１と同様に約１０．１ｍｍだった。又、下側磁石４６の上端と磁気記録媒体１４の下面とのギャップも実施例１と同様に約１０．１ｍｍだった。更に、上側磁石４４及び下側磁石４６を実施例１と同様に６０ｒｐｍの回転速度で回転させて実施例１と同様に磁気転写用中間体１８に初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加した。外部磁場の大きさは実施例１と同様に５ｋＯｅだった。
【００７０】
他の条件は実施例１と同じ条件で両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。得られたサンプルのサーボ信号を実施例１と同様に測定した。ポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は実施例１のサンプルのサーボ信号のよりも著しく大きかった。図１０及び１１に比較例のサンプルのＰＥＳのデータを併記する。図１０及び１１においてＣを付した細い線が比較例のサンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面のデータである。尚、比較例のサンプルの第１磁気転写用スタンパ１２Ａが密着していた側の面でも図１０及び１１に示されるＣを付したデータと同様のデータが得られた。
【００７１】
図１０に示されるように、比較例のサンプルはＰＥＳの波形の振幅が大きく振幅の変動も大きかった。又、図１１に示されるように、比較例のサンプルは外周近傍において半径が大きくなるにつれてＰＥＳの値（３σ）が急激に増加する傾向があった。これに対し、実施例１のサンプルは比較例のサンプルよりもＰＥＳの波形の振幅が小さく振幅の変動も小さかった。又、実施例１のサンプルは半径が異なる位置でもＰＥＳの値（３σ）はほぼ同じ値であり概ね１０％以下に抑制され良好であった。比較例では、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が加圧されて重ね合わされ、更に加圧されて外部磁場が印加されたため、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが生じてＰＥＳ特性が悪化したと考えられる。これに対し、実施例１では第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が加圧されることなく重ね合わされると共に加圧されることなく外部磁場が印加されたため、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制され、良好なＰＥＳ特性が得られたと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、例えば、ハードディスク等の磁気記録媒体の製造に利用できる。
【符号の説明】
【００７３】
１０…磁気転写装置
１２Ａ…第１磁気転写用スタンパ
１２Ｂ…第２磁気転写用スタンパ
１４…磁気記録媒体
１６…液状材料
１８…磁気転写用中間体
２０…液状材料塗布ユニット
３０…重ね合わせユニット
４０…外部磁場印加ユニット
Ｓ１０２…初期化工程
Ｓ１０４…液状材料塗布工程
Ｓ１０６…重ね合わせ工程
Ｓ１０６Ａ…第１重ね合わせ工程
Ｓ１０６Ｂ…第２重ね合わせ工程
Ｓ１０８…外部磁場印加工程
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写用スタンパを用いて磁気記録媒体に所定の情報を転写するための磁気転写方法及び磁気転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスク等の磁気記録媒体はサーボ領域とデータ領域とに区分けされ、サーボ領域には記録／再生ヘッドの位置決めのためのサーボ情報が記録され、サーボ情報に基づいて記録／再生ヘッドのトラッキング等が行われる。ハードディスクの場合、径方向に沿う複数のサーボ領域が周方向に適宜な間隔で放射状に設定される。これらサーボ領域の間の部分がデータ領域であり、データ領域には所定のトラックに沿ってデータが記録される。尚、サーボ領域は通常、記録／再生ヘッドの円弧軌道と同じ又は記録／再生ヘッドの円弧軌道に近い円弧形状である。サーボ情報は、具体的には記録層における１ビットの情報に相当する各領域を０又は１の情報に対応する方向に所定のサーボパターンで磁化することにより記録される。面内記録媒体では各領域を０又は１の情報に対応する周方向の一方の向き又はその逆の向きに所定のサーボパターンで磁化することによりサーボ情報が記録される。又、近年主流となりつつある垂直記録媒体では各領域を０又は１の情報に対応する表面に垂直な方向の一方の向き又はその逆の向きに所定のサーボパターンで磁化することによりサーボ情報が記録される。このようにサーボ情報は、０の情報に対応する方向に磁化された領域に対応する１ビットのサーボ情報要素と１の情報に対応する方向に磁化された領域に対応する１ビットのサーボ情報要素とが所定のサーボパターンで配置された構成である。このようなサーボ情報は、サーボ記録装置によって各磁気記録媒体毎に記録層における各領域を０の情報及び１の情報に応じて順次磁化させていくものであるため、磁気記録媒体の１面あたりのサーボ情報の記録に時間を要し生産性が低いという問題があった。特に近年、面記録密度の向上のため、サーボ情報についても高密度で、高精度な記録が要求されるようになっており、サーボ情報の記録の効率改善に対するニーズが高まっている。
【０００３】
そこで磁気転写用スタンパを用いて磁気記録媒体にサーボ情報を磁気転写することが提案されている。具体的には、サーボパターンに対応する凹凸パターンの転写面を有する磁気転写用スタンパを用意し、予め一方向に磁化させた磁気記録媒体の被転写面に磁気転写用スタンパの転写面を接触させて予め磁化させた方向とは反対の方向の適当な大きさの直流外部磁場を印加することにより磁気記録媒体における磁気転写用スタンパの転写面の凸部に接触する部分が予め磁化させた方向とは反対の方向に選択的に磁化されサーボ情報が記録される。磁気転写用スタンパを用いれば短時間で磁気記録媒体にサーボ情報を磁気転写することができるので、サーボ情報の記録効率の大幅な向上が期待されている。
【０００４】
このような磁気転写用スタンパによる磁気情報の良好な転写を実現するためには、磁気転写用スタンパの転写面と磁気記録媒体の被転写面とが密着した状態で磁気転写が行われることが好ましい。一方、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間には空気が混入することがあり空気の混入は磁気情報が正確に転写されない原因となりうる。
【０００５】
そこで、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避する様々な手法が提案されている。例えば、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間に潤滑剤等の液体を介在させると共に磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧することにより磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との密着性を向上させる手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。又、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間が真空に近い状態になるように減圧すると共に磁気転写用スタンパにおける転写面の反対側及び磁気記録媒体における被転写面の反対側には大気圧が作用するようにして大気圧で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しつつ外部磁場を印加する手法が知られている（例えば、特許文献２、３参照）。又、ハンドアームやローラ等により磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体の一部分を加圧し加圧点を起点に非加圧領域へ空気を押し出す手法が知られている（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１７０２３１号公報
【特許文献２】特開２００３−８５７４６号公報
【特許文献３】特開２００８−３１０９０９号公報
【特許文献４】特開２０１１−２８８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このように磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避しても、磁気転写用スタンパから磁気記録媒体へ良好なサーボ情報を磁気転写することができないことがあった。これにより所望のトラッキング性能が得られないことがあった。
【０００８】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、磁気転写用スタンパの情報を磁気記録媒体に高精度で磁気転写できる信頼性が高い磁気転写方法及び磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持しつつ磁気転写用スタンパを介して磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含む磁気転写方法により上記目的を達成したものである。
【００１０】
又、本発明は、加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持しつつ磁気転写用スタンパを介して磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含む磁気転写装置により上記目的を達成したものである。
【００１１】
発明者らは、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を回避しても磁気転写用スタンパから磁気記録媒体へ良好なサーボ情報を磁気転写することができない原因について鋭意研究した結果、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが一因であることを突き止めた。最初に磁気転写用スタンパと磁気記録媒体とが正確に重ね合わせられていたとしても加圧されることによって磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが生ずると考えられる。
【００１２】
これに対し、上記の磁気転写方法及び磁気転写装置では加圧されないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が重ね合わされる。更に、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体が加圧されないように磁気転写用中間体が保持されて磁気記録媒体に外部磁場が印加される。従って、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。
【００１３】
尚、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に磁気転写用スタンパにおける磁気記録媒体と反対側及び磁気記録媒体における磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も減圧環境下に保持しつつ磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせることが好ましい。このようにすることで、磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧することなく、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入を防止又は抑制する効果を高めることができる。
【００１４】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【００１５】
（１）加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含むことを特徴とする磁気転写方法。
【００１６】
（２） （１）において、前記重ね合わせ工程において、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせることを特徴とする磁気転写方法。
【００１７】
（３） （１）又は（２）において、前記重ね合わせ工程の前に、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布する液状材料塗布工程を更に含むことを特徴とする磁気転写方法。
【００１８】
（４） （３）において、前記液状材料は、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかであることを特徴とする磁気転写方法。
【００１９】
（５）加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含むことを特徴とする磁気転写装置。
【００２０】
（６） （５）において、前記重ね合わせユニットは、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせ可能であることを特徴とする磁気転写装置。
【００２１】
（７） （５）又は（６）において、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布するための液状材料塗布ユニットを更に含むことを特徴とする磁気転写装置。
【００２２】
（８） （７）において、前記液状材料塗布ユニットは前記液状材料としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかを塗布するように構成されたことを特徴とする磁気転写装置。
【００２３】
尚、本出願において「加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる」とは、外力に基づく荷重が磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体に実質的に作用しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせることを意味し、磁気転写用スタンパの転写面及び磁気記録媒体の被転写面に外力に基づく荷重が全く作用しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合の他、例えば磁気転写用スタンパ又は磁気記録媒体の自重に相当する程度の荷重及び／又はこれらを覆うカバー等の質量に相当する程度の荷重が作用する状態で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合のように０．０１ＭＰａ以下（大気圧（０．１ＭＰａ）の１０分の１以下）の圧力が磁気転写用スタンパの転写面及び磁気記録媒体の被転写面に作用する状態で磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせる場合も含む意味で用いる。「磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を加圧しないように磁気転写用中間体を保持する」についても同様である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、磁気転写用スタンパの情報を磁気記録媒体に高精度で磁気転写できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気転写装置の構造を模式的に示す側面図
【図２】同磁気転写装置で磁気転写される磁気記録媒体及び同磁気転写装置で用いられる磁気転写用スタンパの構造を拡大して模式的に示す断面図
【図３】同磁気転写装置の液状材料塗布ユニットの構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図４】同磁気転写装置の重ね合わせユニットの第１重ね合わせ装置の構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図５】同重ね合わせユニットの第２重ね合わせ装置の構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図６】同磁気転写装置の外部磁場印加ユニットの構造を拡大して模式的に示す断面図を含む側面図
【図７】同磁気転写装置を用いた磁気転写方法の概要を示すフローチャート
【図８】液状材料が塗布されて第１磁気転写用スタンパが重ねあわされた前記磁気記録媒体を拡大して模式的に示す断面図
【図９】前記第１磁気転写用スタンパ及び第２磁気転写用スタンパを介して外部磁場が印加される前記磁気記録媒体を拡大して模式的に示す断面図
【図１０】本発明の実施例及び比較例に係るサンプルの半径が３０ｍｍの環状の部位における円周方向の位置とＰＥＳとの関係を示すグラフ
【図１１】同サンプルの半径と各半径の環状の部位のＰＥＳ（３σ）との関係を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、図１に示されるような磁気転写装置１０に関する。磁気転写装置１０は、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを用いて磁気記録媒体１４に情報を磁気転写するための装置であり、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布するための液状材料塗布ユニット２０と、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成可能である重ね合わせユニット３０と、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニット４０と、を備えている。
【００２７】
磁気記録媒体１４は連続膜の記録層を有する垂直記録型のハードディスクであり、中心孔を有する円板形状である。図２に示されるように、磁気記録媒体１４は、基板１４Ａを有し、更に基板１４Ａの両面に対称的に形成された軟磁性層１４Ｂ、配向層１４Ｃ、記録層１４Ｄ及び保護層１４Ｅを有している。尚、磁気記録媒体１４は、基板１４Ａと軟磁性層１４Ｂとの間に下地層や反強磁性層を有していてもよい。
【００２８】
第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂも中心孔を有する円板形状である。図２に示されるように、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面にはハードディスクのサーボパターンに対応する凹凸パターンが形成されている。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの厚さは例えば０．２〜１０ｍｍである。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの直径は例えば２０〜２００ｍｍである。尚、スタンパ１２Ａの直径は磁気記録媒体１４の直径よりも大きく、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの直径は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの直径よりも大きい。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹凸の段差は４０〜１２０ｎｍである。尚、図２では本実施形態の理解のため第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンを実際よりも著しく大きく描いている。後述する図８及び９でも同様である。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは、凹凸パターンが形成された基板１２Ｃ、１２Ｄと基板の凹凸形状に倣って凹凸の面の上に形成された磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとを有している。基板１２Ｃ、１２Ｄの材料はポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂である。磁性膜１２Ｅ、１２Ｆの材料は、ＣｏＰｔ合金、ＣｏＦｅ合金等である。尚、基板１２Ｃ、１２Ｄと磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとの間にＰｔ等の下地膜を形成してもよい。又、磁性膜１２Ｅ、１２Ｆの上にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の保護膜及び／又はパーフルオロポリエーテルの潤滑膜を形成してもよい。保護膜の厚さは例えば２〜４ｎｍである。又、潤滑膜の厚さも例えば２〜４ｎｍである。
【００２９】
液状材料塗布ユニット２０はスピンコート装置であり、図３に示されるように磁気記録媒体１４を中心孔において保持して回転可能である軸部２０Ａと、磁気記録媒体１４の上側の面に液状材料１６を供給するための上側ノズル２０Ｂと、磁気記録媒体１４の下側の面に液状材料１６を供給するための下側ノズル２０Ｃと、を有している。上側ノズル２０Ｂ及び下側ノズル２０Ｃは、磁気記録媒体１４の中心孔の近傍に液状材料１６を供給するようになっている。
【００３０】
液状材料１６は大気圧（０．１ＭＰａ）よりも低い（例えば１００Ｐａ程度の）減圧環境下において蒸発しにくい材料であることが好ましい。言い換えれば、液状材料１６は減圧環境下において蒸発速度が遅い材料、或いは蒸気圧が低い材料であることが好ましい。このような液状材料としては例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールｎ−プロピルエ−テル、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブタノール、ミネラルスピリット、ジアセトンアルコール、プロピレングリコールｎ−ブチルエ−テル、３−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、３−メチル−３−メトキシブタノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコ−ルメチルエ−テル、プロピレングリコールジアセテート、ジプロピレングリコ−ルメチルエ−テルアセテ−ト、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエ−テル、３，５，５−トリメチル−２−シクロヘキセン−１−オン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエ−テル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、アクリル酸、アクリル酸ブチル、ベンジルアクリレートを挙げることができる。又、蒸気圧が低い液状材料としてはシリコンオイルや、例えばハードディスクの潤滑剤として用いられるパーフルオロポリエーテルなどのフッ素系潤滑剤を挙げることができる。又、大気圧よりも低い（例えば１００Ｐａ程度の）減圧環境下において蒸発しにくい材料であれば、以上の液状材料よりも粘度が著しく高い樹脂材料を用いてもよい。具体的には、フェノール樹脂（ＰＦ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、アクリル（メタクリル）樹脂（ＭＭＡ）等を用いてもよい。樹脂材料は、１種類のモノマー、或いは１種類のオリゴマーで構成されていてもよいし、複数の種類のモノマー又は複数の種類のオリゴマーの混合物であってもよい。又、１種類又は複数の種類のモノマーと１種類又は複数の種類のオリゴマーとの混合物であってもよい。
【００３１】
重ね合わせユニット３０は、磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａを重ね合わせるための第１重ね合わせ装置３０Ａと、磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせるための第２重ね合わせ装置３０Ｂと、を備えている。
【００３２】
図４に示されるように、第１重ね合わせ装置３０Ａは、真空チャンバー３２Ａと、スタンパ保持器３４Ａと、磁気記録媒体保持器３６Ａと、を有している。真空チャンバー３２Ａは天板部が脱着可能であり、図示しない真空ポンプにより内部が減圧されるようになっている。スタンパ保持器３４Ａは複数の保持部材で構成されており、これらの保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周近傍の複数の箇所（例えば４箇所）において保持するように真空チャンバー３２Ａの側壁の内周面に取り付けられている。具体的には、各保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周の近傍において下方から支持し第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上方への動きは規制しないようになっている。又、各保持部材は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの外周面に当接又は近接し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の動きを規制するようになっている。尚、スタンパ保持器３４Ａの内径（複数の保持部材の内側の端面を通る円の直径）は磁気記録媒体１４の外径よりも大きい。又、各保持部材の間には隙間があり、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も減圧されるようになっている。これにより第１重ね合わせ装置３０Ａは第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持できるようになっている。尚、磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持されるようになっている。磁気記録媒体保持器３６Ａは、磁気記録媒体１４を中心孔の近傍において保持する昇降部と、昇降部を上下動自在に保持するベース部と、を有している。昇降部はスタンパ保持器３４Ａに保持された第１磁気転写用スタンパ１２Ａから磁気記録媒体１４が下方に離間する位置と、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置又はこれよりも高い位置との間で上下動可能である。ベース部は水平方向に移動可能であり、磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整できるようになっている。又、第１重ね合わせ装置３０Ａは、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出可能である図示しない位置ずれ検出器を備えている。位置ずれ検出器は例えば磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの表面の基準マーク等を撮像するカメラを備え、撮像結果に基づいて磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出可能である。
【００３３】
図５に示されるように、第２重ね合わせ装置３０Ｂは第１重ね合わせ装置３０Ａと類似した構成であり、真空チャンバー３２Ｂと、スタンパ保持器３４Ｂと、磁気記録媒体保持器３６Ｂと、を有している。第２重ね合わせ装置３０Ｂにおいて、磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａが重ね合わされた面と反対側の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが重ね合わされ、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８が作成されるようになっている。真空チャンバー３２Ｂの構成は第１重ね合わせ装置３０Ａの真空チャンバー３２Ａの構成と同じである。スタンパ保持器３４Ｂは第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを保持するために第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外径に対応した形状を有しており、これ以外は第１重ね合わせ装置３０Ａのスタンパ保持器３４Ａと同じ構成である。尚、スタンパ保持器３４Ｂの内径（スタンパ保持器３４Ｂを構成する複数の保持部材の内側の端面を通る円の直径）は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの外径よりも大きい。磁気記録媒体保持器３６Ｂは第１磁気転写用スタンパ１２Ａを介して磁気記録媒体１４を保持するために、昇降部が第１磁気転写用スタンパ１２Ａを中心孔の近傍において保持するようになっており、これ以外は第１重ね合わせ装置３０Ａの磁気記録媒体保持器３６Ａと同じ構成である。又、第２重ね合わせ装置３０Ｂも第１重ね合わせ装置３０Ａと同様に磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出可能である図示しない位置ずれ検出器を備えている。
【００３４】
図６に示されるように、外部磁場印加ユニット４０は、磁気転写用中間体１８を保持するための磁気転写用中間体保持器４２と、磁気転写用中間体１８の上側に配置される上側磁石４４と、磁気転写用中間体１８の下側に配置される下側磁石４６と、を備えている。磁気転写用中間体保持器４２は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を上側及び下側から挟むように保持して磁気転写用中間体１８を保持すると共に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周面に当接又は近接し磁気転写用中間体１８の水平方向の動きを規制するようになっている。上側磁石４４は、支持部４４Ａと、支持部４４Ａの下端に取付けられた磁石部４４Ｂと、を有している。磁石部４４Ｂは永久磁石であり支持部４４Ａにより上下方向に駆動されて磁気転写用中間体１８に上方から接近可能であり、又、磁気転写用中間体１８から上方へ離間可能である。又、磁石部４４Ｂは支持部４４Ａに駆動されて磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転可能である。下側磁石４６は上側磁石４４に対して上下方向に対称の構成であり、支持部４６Ａと、支持部４６Ａの上端に取付けられた磁石部４６Ｂと、を有している。磁石部４６Ｂも永久磁石であり支持部４６Ａにより上下方向に駆動されて磁気転写用中間体１８に下方から接近可能であり、又、磁気転写用中間体１８から下方へ離間可能である。又、磁石部４６Ｂも支持部４６Ａに駆動されて磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転可能である。上側磁石４４の磁石部４４Ｂと下側磁石４６の磁石部４６Ｂは、一方のＮ極と他方のＳ極とが磁気転写用中間体１８を挟むように対向すると共に対向した状態を保持して回転するようになっている。これにより、外部磁場印加ユニット４０は磁気転写用中間体１８の磁気記録媒体１４の全面に外部磁場を印加可能である。尚、図１、６では磁気記録媒体１４の水平方向の一端から他端まで同時に外部磁場を印加できるようになっているが、例えば外部磁場印加ユニットは磁気記録媒体１４の中心又はその近傍から外周まで外部磁場を印加できる磁石を備えていてもよい。この場合も、磁石が回転することにより磁気記録媒体１４の全面に外部磁場を印加できる。又、外部磁場印加ユニットは、磁石が固定され磁気転写用中間体が回転する構成でもよい。又、外部磁場印加ユニットは、永久磁石に代えて電磁石を備える構成でもよい。
【００３５】
次に、磁気転写装置１０を用いた磁気転写方法について図７のフローチャートに沿って説明する。
【００３６】
まず、磁気記録媒体１４に充分に大きい垂直方向（表面に対し垂直な方向）の外部磁場を印加し磁気記録媒体１４を初期化する（Ｓ１０２：初期化工程）。これにより磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄが全面において垂直方向の一方の向きに磁化される。尚、この工程では上記の外部磁場印加ユニット４０を用いてもよいし、外部磁場印加ユニット４０とは別の外部磁場印加ユニットを用いてもよい。
【００３７】
次に、液状材料塗布ユニット２０により磁気記録媒体１４の両面に液状材料１６を塗布する（Ｓ１０４：液状材料塗布工程）。具体的には、磁気記録媒体１４を回転させながら上側ノズル２０Ｂ及び下側ノズル２０Ｃで磁気記録媒体１４の両面における中心孔の近傍に液状材料１６を供給する。液状材料１６は遠心力により磁気記録媒体１４の径方向の外側に向かって流動し、磁気記録媒体１４の両面の全面に液状材料１６が塗布される。塗布される液状材料１６の厚さは第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹凸の段差よりも小さいことが好ましい。
【００３８】
次に、重ね合わせユニット３０により、加圧しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を重ね合わせて第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が密着した磁気転写用中間体１８を作成する（Ｓ１０６：重ね合わせ工程）。
【００３９】
まず、第１重ね合わせ装置３０Ａにより磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａを重ね合わせる（Ｓ１０６Ａ：第１重ね合わせ工程）。具体的には、磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａで保持し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａをスタンパ保持器３４Ａで保持する。尚、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａから下方に離間するように磁気記録媒体１４を保持する高さを調整する。次に、真空チャンバー３２Ａの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ａの内部を減圧する。これにより、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持される。更に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。真空チャンバー３２Ａの内部は例えば、１０００Ｐａ以下まで減圧されることが好ましく、１００Ｐａ以下まで減圧されることが更に好ましい。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０又は実用上問題がないレベルまで充分に小さくなるように磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整する。この状態で磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａと共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置まで上昇させる。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触すると磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａとがメニスカス力によって密着する。図８に示されるように、液状材料１６は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面の凹部の少なくとも一部を充填し、これにより密着力が高められる。第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が減圧環境下に保持されているので、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との間への空気の混入が防止又は実用上問題がない程度に抑制される。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側及び磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持されているので、気圧の差によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４とが加圧されることがない。又、スタンパ保持器３４Ａは第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上方への動きを規制しないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａを外周の近傍において下方から支持しているので、磁気記録媒体１４の上昇による機械的な力によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４とが加圧されることもない。即ち、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされる。従って、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。
【００４０】
次に、第２重ね合わせ装置３０Ｂにより磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせる（Ｓ１０６Ｂ：第２重ね合わせ工程）。具体的には、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを磁気記録媒体保持器３６Ｂで保持し、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂをスタンパ保持器３４Ｂで保持する。尚、磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂから下方に離間するように磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを保持する高さを調整する。次に、真空チャンバー３２Ｂの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ｂの内部を減圧する。これにより、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。更に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持される。真空チャンバー３２Ｂの内部も例えば、１０００Ｐａ以下まで減圧されることが好ましく、１００Ｐａ以下まで減圧されることが更に好ましい。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０又は実用上問題がないレベルまで充分に小さくなるように磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）の水平方向の位置を調整する。この状態で磁気記録媒体保持器３６Ｂと共に磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）を磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触する位置まで上昇させる。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触すると磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとがメニスカス力によって密着する。第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）でも第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）と同様に、液状材料１６は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凹部の少なくとも一部を充填し、これにより密着力が高められる。第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が減圧環境下に保持されているので、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との間への空気の混入も防止又は実用上問題がない程度に抑制される。又、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持されているので、気圧の差によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが加圧されることがない。又、スタンパ保持器３４Ｂは第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの上方への動きを規制しないように第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを外周の近傍において下方から支持しているので、磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの上昇による機械的な力によって第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが加圧されることもない。このように第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４も加圧されることなく重ね合わされるので、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれも防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４との位置ずれも防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。これにより磁気記録媒体１４の両面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが高精度で配置されて重ね合わされた磁気転写用中間体１８が得られる。
【００４１】
尚、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面のサーボパターン領域における平面視における凹部の面積Ｓ１と凸部の面積Ｓ２との比率Ｓ２／Ｓ１が０．８〜１．２の範囲であり、磁気記録媒体１４に塗布された液状材料１６の厚さが転写面の凹凸の段差の４０％以上である場合、転写面の凹部の多くの（例えば半分以上の）部分が液状材料１６で充填され磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとの高い密着力が得られる。一方、Ｓ２／Ｓ１が０．８〜１．２の範囲であり、磁気記録媒体１４の表面に塗布される液状材料１６の厚さが転写面の凹凸の段差の４０％以下である場合、転写面の凸部の先端と磁気記録媒体１４の表面とのギャップが５ｎｍ程度又は５ｎｍよりも小さい値に抑制され好ましい。
【００４２】
次に、外部磁場印加ユニット４０により第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧しないように磁気転写用中間体１８を保持しつつ図９に示されるように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に前記初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加する（Ｓ１０８：外部磁場印加工程）。具体的には、まず第２重ね合わせ装置３０Ｂの真空チャンバー３２Ｂから磁気転写用中間体１８を取り出して外部磁場印加ユニット４０の磁気転写用中間体保持器４２で第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を保持して磁気転写用中間体１８を保持する。次に、上側磁石４４を上方から磁気転写用中間体１８に接近させ、下側磁石４６を下方から磁気転写用中間体１８に接近させる。磁気記録媒体１４には第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面の凸部を介して直流外部磁場が印加され、磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄにおける第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凸部に接触又は近接する部分が直流外部磁場の方向に磁化される。上側磁石４４及び下側磁石４６を磁気転写用中間体１８の中心軸とほぼ同心の中心軸周りに回転させることにより磁気記録媒体１４の両面の記録層１４Ｄに磁気転写が行われサーボ情報が記録される。尚、直流外部磁場の大きさが過大であると、記録層１４Ｄの全面が直流外部磁場の方向に磁化されうるので、直流磁場の大きさは磁気記録媒体１４に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンに倣ったサーボ情報を磁気転写できる大きさに制限する。
【００４３】
これにより磁気転写装置１０を用いたサーボ情報の磁気転写が完了する。尚、磁気記録媒体１４の両面の第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは磁気記録媒体１４から剥離する。以後同様に、所定の数の磁気記録媒体１４への磁気転写が完了するまで磁気転写装置１０を用いたサーボ情報の磁気転写を繰り返す。
【００４４】
このように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４は加圧されないように重ね合わされ、加圧されないように第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを介して磁気記録媒体１４に外部磁場が印加されるので、これらの工程において第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制される。従って、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの凹凸パターンの情報を磁気記録媒体１４に高精度で磁気転写できる。尚、液状材料１６としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル（メタクリル）樹脂等を用いた場合、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との高い密着力が得られ、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれを防止又は抑制する効果が高いという利点がある。例えば、第１重ね合わせ装置３０Ａから第２重ね合わせ装置３０Ｂへの磁気転写用中間体１８の搬送や、第２重ね合わせ装置３０Ｂから外部磁場印加ユニット４０への磁気転写用中間体１８の搬送の際に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれを防止又は抑制する高い効果が得られる。この場合、磁気転写後、溶剤等で液状材料１６を除去しパーフルオロポリエーテル等の潤滑剤を磁気記録媒体１４の両面に塗布する。一方、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテル等のハードディスクの潤滑剤として用いられるフッ素系潤滑剤を用いた場合、液状材料１６をそのまま磁気記録媒体１４の潤滑剤として用いることができるという利点がある。
【００４５】
尚、本実施形態において、スピンコート法により液体材料１６を磁気記録媒体１４の表面に塗布しているが、ディッピング法やドクターブレード法により液体材料１６を磁気記録媒体１４の表面に塗布してもよい。
【００４６】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布しているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの表面に液状材料１６を塗布してもよい。又、磁気記録媒体１４の表面に液状材料１６を塗布すると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの表面にも液状材料１６を塗布してもよい。
【００４７】
又、本実施形態において、液状材料１６を介して第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせているが、重ね合わせユニット３０から外部磁場印加ユニット４０への搬送等において第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの位置ずれが生じにくい場合には、液状材料の塗布を省略し液状材料を介さずに第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせてもよい。
【００４８】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０の第１重ね合わせ装置３０Ａ、第２重ね合わせ装置３０Ｂは真空チャンバー３２Ａ、３２Ｂを備え減圧環境下で第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせているが、磁気転写用スタンパと磁気記録媒体との間への空気の混入が問題とならない場合には、例えば大気圧の下で第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせてもよい。
【００４９】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０は第１重ね合わせ装置３０Ａと第２重ね合わせ装置３０Ｂとを備えているが、重ね合わせユニットが重ね合わせ装置を１つだけ備え、この１つの重ね合わせ装置で磁気記録媒体１４の一方の面に第１磁気転写用スタンパを重ね合わせると共に、同じ重ね合わせ装置で磁気記録媒体１４の他方の面に第２磁気転写用スタンパを重ね合わせてもよい。この場合、第１磁気転写用スタンパの外径、第２磁気転写用スタンパの外径に合わせて重ね合わせ装置のスタンパ保持器の内径が調整可能であるように、例えばスタンパ保持器を構成する各保持部材が径方向に可動である構成とすればよい。
【００５０】
又、本実施形態において、重ね合わせユニット３０は第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを水平な姿勢（法線が垂直な姿勢）で保持し、これらを上下方向に相互に接近させて重ね合わせるように構成されているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを垂直な姿勢（法線が水平な姿勢）で保持し、これらを水平方向に相互に接近させて重ね合わせる構成の重ね合わせユニットを用いてもよい。このような重ね合わせユニットを用いる場合、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにこれらの自重に相当する荷重も作用しないように、これらを重ね合わせることができるという利点がある。
【００５１】
同様に、本実施形態において、外部磁場印加ユニット４０も、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを水平な姿勢（法線が垂直な姿勢）で保持し、これらに外部磁場を印加するように構成されているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを垂直な姿勢（法線が水平な姿勢）で保持し、これらに外部磁場を印加する構成の外部磁場印加ユニットを用いてもよい。このような外部磁場印加ユニットを用いる場合も、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにこれらの自重に相当する荷重が作用することを回避しつつ、これらに外部磁場を印加できるという利点がある。
【００５２】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４は両面に記録層１４Ｄ等を備え、磁気転写用中間体１８は第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが重ね合わされた構成であるが、磁気記録媒体が片面だけに記録層を備え、磁気転写用中間体は１つの磁気転写用スタンパと磁気記録媒体１４とが重ね合わされた構成であってもよい。この場合、重ね合わせ工程（Ｓ１０６）では第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）を省略し第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）と同様の１つの工程のみを実行すればよい。
【００５３】
又、本実施形態において、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは樹脂の基板１２Ｃ、１２Ｄと磁性膜１２Ｅ、１２Ｆとを有しているが、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは樹脂以外の非磁性の基板と磁性膜とを有する構成でもよい。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂは磁性材料で構成されていてもよい。
【００５４】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１４はハードディスクであるが、ハードディスク以外の磁気記録媒体の製造にも本発明は適用可能である。
【実施例１】
【００５５】
前記実施形態のとおり磁気記録媒体１４に磁気転写を行い両面にサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルを作成した。
【００５６】
磁気記録媒体１４の仕様は以下のとおりであった。
直径：６５ｍｍ
内径：２０ｍｍ
基板の厚さ：０．８ｍｍ
基板の材料：ガラス
記録層の厚さ：２０ｎｍ
記録層の材料：Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金
記録層の保磁力：５ｋＯｅ
保護層の厚さ：４ｎｍ
保護層の材料：ＤＬＣ
尚、記録層と基板との間には下地層、軟磁性層、配向層が形成されていたが、これらの層の厚さ、材料は実施例１の理解のために重要とは思われないため説明を省略する。
【００５７】
又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの仕様は以下のとおりであった。
直径：８０ｍｍ
基板の厚さ：０．６ｍ
基板の材料：アモルファスポリオレフィン樹脂
磁性膜の厚さ：４０ｎｍ
磁性膜の材料：Ｃｏ−Ｐｔ合金
転写面の凹凸の段差：８０ｎｍ
【００５８】
又、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの仕様は以下のとおりであった。
直径：９０ｍｍ
基板の厚さ：０．６ｍ
基板の材料：アモルファスポリオレフィン樹脂
磁性膜の厚さ：４０ｎｍ
磁性膜の材料：Ｃｏ−Ｐｔ合金
転写面の凹凸の段差：８０ｎｍ
【００５９】
初期化工程（Ｓ１０２）では磁気記録媒体１４に記録層１４Ｄの飽和磁場以上の外部磁場を印加した。
【００６０】
液状材料塗布工程（Ｓ１０４）では、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテルを磁気記録媒体１４の表面に塗布した。塗布された液状材料１６の厚さは約４ｎｍだった。
【００６１】
第１重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ａ）では、まず磁気記録媒体１４を磁気記録媒体保持器３６Ａで保持した。次に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａをスタンパ保持器３４Ａで保持した。尚、磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａから下方に離間するように磁気記録媒体１４を保持する高さを調整した。次に、真空チャンバー３２Ａの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ａの内部を１００Ｐａ以下まで減圧した。これにより、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に磁気記録媒体１４における第１磁気転写用スタンパ１２Ａと反対側も同じ減圧環境下に保持された。更に、第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０になるように磁気記録媒体１４の水平方向の位置を調整した。この状態で磁気記録媒体１４が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触する位置まで磁気記録媒体１４を上昇させた。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第１磁気転写用スタンパ１２Ａの下面に接触し磁気記録媒体１４と第１磁気転写用スタンパ１２Ａとが密着した。第１磁気転写用スタンパ１２Ａと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされた。尚、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面及び磁気記録媒体１４の被転写面に作用した荷重は第１磁気転写用スタンパ１２Ａの質量に相当する荷重であり圧力は約１３Ｐａであった。
【００６２】
第２重ね合わせ工程（Ｓ１０６Ｂ）では、まず磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを磁気記録媒体保持器３６Ｂで保持した。次に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂをスタンパ保持器３４Ｂで保持した。尚、磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂから下方に離間するように磁気記録媒体１４及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａを保持する高さを調整した。次に、真空チャンバー３２Ｂの上部の開口部を天板部で閉塞し、真空ポンプにより真空チャンバー３２Ｂの内部を１００Ｐａ以下まで減圧した。これにより、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４の間が大気圧よりも低い減圧環境下に保持されると共に第１磁気転写用スタンパ１２Ａにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。更に、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂにおける磁気記録媒体１４と反対側も同じ減圧環境下に保持された。次に、位置ずれ検出器で磁気記録媒体１４及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの水平方向の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が０になるように磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）の水平方向の位置を調整した。この状態で磁気記録媒体１４が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触する位置まで磁気記録媒体１４（及び第１磁気転写用スタンパ１２Ａ）を上昇させた。磁気記録媒体１４の表面の液状材料１６が第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの下面に接触し磁気記録媒体１４と第２磁気転写用スタンパ１２Ｂとが密着した。第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４は加圧されることなく重ね合わされた。これにより磁気記録媒体１４の両面に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが高精度で配置されて重ね合わされた磁気転写用中間体１８が得られた。尚、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面に作用した荷重は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの質量に相当する荷重であり圧力は約１５Ｐａであった。又、第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面に作用した荷重は第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの質量及び磁気記録媒体１４の質量の合計に相当する荷重であり圧力は約３４Ｐａであった。
【００６３】
外部磁場印加工程（Ｓ１０８）では、加圧しないように磁気転写用中間体１８を真空チャンバー３２Ａから取り出して外部磁場印加ユニット４０の磁気転写用中間体保持器４２で磁気転写用中間体１８を保持した。具体的には、第１磁気転写用スタンパ１２Ａが上側、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが下側である姿勢で磁気転写用中間体保持器４２で第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの外周の近傍を保持した。次に、上側磁石４４を上方から磁気転写用中間体１８に接近させ、下側磁石４６を下方から磁気転写用中間体１８に接近させた。上側磁石４４の下端と下側磁石４６の上端とのギャップは約２１ｍｍだった。又、上側磁石４４の下端と磁気記録媒体１４の上面とのギャップは約１０．１ｍｍだった。又、下側磁石４６の上端と磁気記録媒体１４の下面とのギャップも約１０．１ｍｍだった。上側磁石４４及び下側磁石４６を６０ｒｐｍの回転速度で回転させて、磁気転写用中間体１８に初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加した。外部磁場の大きさは５ｋＯｅだった。
【００６４】
その後、磁気記録媒体１４から第１磁気転写用スタンパ１２Ａ及び第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを分離することにより両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。このようにして得られたサンプルのサーボ信号を測定した。ポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は概ね１０％以下で良好であった。従って、良好なトラッキング性能が得られた。図１０は、サンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面の半径が３０ｍｍの環状の部位（外周近傍の部位）における円周方向の位置とＰＥＳとの関係を示す。又、図１１は、サンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面の半径と各半径の環状の部位における１周あたりのＰＥＳの値（３σ）との関係を示す。図１０及び１１においてＷ１を付した太い線が実施例１のサンプルのデータである。尚、サンプルの第１磁気転写用スタンパ１２Ａが密着していた側の面でも図１０及び１１に示されるＷ１を付したデータと同様のデータが得られた。
【実施例２】
【００６５】
上記実施例１に対し、液状材料塗布工程（Ｓ１０４）において、液状材料１６としてパーフルオロポリエーテルに代えてアクリル樹脂を用いた。アクリル樹脂の粘度は約４００ｍＰａ・ｓだった。尚、実施例１で用いたパーフルオロポリエーテルの粘度は１３７ｍＰａ・ｓだった。即ち、実施例１で用いたパーフルオロポリエーテルよりも粘度が著しく高い樹脂材料を用いた。又、塗布された液状材料１６の厚さは約３２ｎｍ（第１スタンパ１２Ａの転写面の凹凸の段差（８０ｎｍ）の４０％）だった。
【００６６】
又、外部磁場印加工程（Ｓ１０８）の後に、液状材料１６を溶剤で除去した。その後、磁気記録媒体１４の表面にパーフルオロポリエーテルを塗布した。塗布されたパーフルオロポリエーテルの厚さは４ｎｍだった。
【００６７】
他の条件は実施例１と同じ条件で両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。得られたサンプルのサーボ信号を実施例１と同様に測定した。実施例１と同様にポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は概ね１０％以下であった。実施例１と同様に良好なトラッキング性能が得られた。
【００６８】
［比較例］
上記実施例１に対し、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４を加圧して重ね合わせた。具体的には実施例１と同様に磁気記録媒体１４に第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂを重ね合わせた後、磁気転写用中間体１８を２枚のガラス板で挟み、プレス機を用いて第１磁気転写用スタンパ１２Ａの転写面、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂの転写面及び磁気記録媒体１４の被転写面に０．１ＭＰａの圧力が印加されるように磁気転写用中間体１８を加圧した。各ガラス板の厚さは９．５ｍｍだった。
【００６９】
更に、磁気転写用中間体１８を加圧した状態で上側磁石４４を上方から上側のガラス板に接触させ、下側磁石４６を下方から下側のガラス板に接触させた。上側磁石４４の下端と下側磁石４６の上端とのギャップは実施例１と同様に約２１ｍｍだった。又、上側磁石４４の下端と磁気記録媒体１４の上面とのギャップは実施例１と同様に約１０．１ｍｍだった。又、下側磁石４６の上端と磁気記録媒体１４の下面とのギャップも実施例１と同様に約１０．１ｍｍだった。更に、上側磁石４４及び下側磁石４６を実施例１と同様に６０ｒｐｍの回転速度で回転させて実施例１と同様に磁気転写用中間体１８に初期化工程（Ｓ１０２）の直流外部磁場の向きと逆の向きの垂直方向の外部磁場を印加した。外部磁場の大きさは実施例１と同様に５ｋＯｅだった。
【００７０】
他の条件は実施例１と同じ条件で両面の記録層１４Ｄにサーボ情報が転写された磁気記録媒体１４のサンプルが得られた。得られたサンプルのサーボ信号を実施例１と同様に測定した。ポジションエラーシグナル（ＰＥＳ）は実施例１のサンプルのサーボ信号のよりも著しく大きかった。図１０及び１１に比較例のサンプルのＰＥＳのデータを併記する。図１０及び１１においてＣを付した細い線が比較例のサンプルの第２磁気転写用スタンパ１２Ｂが密着していた側の面のデータである。尚、比較例のサンプルの第１磁気転写用スタンパ１２Ａが密着していた側の面でも図１０及び１１に示されるＣを付したデータと同様のデータが得られた。
【００７１】
図１０に示されるように、比較例のサンプルはＰＥＳの波形の振幅が大きく振幅の変動も大きかった。又、図１１に示されるように、比較例のサンプルは外周近傍において半径が大きくなるにつれてＰＥＳの値（３σ）が急激に増加する傾向があった。これに対し、実施例１のサンプルは比較例のサンプルよりもＰＥＳの波形の振幅が小さく振幅の変動も小さかった。又、実施例１のサンプルは半径が異なる位置でもＰＥＳの値（３σ）はほぼ同じ値であり概ね１０％以下に抑制され良好であった。比較例では、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が加圧されて重ね合わされ、更に加圧されて外部磁場が印加されたため、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが生じてＰＥＳ特性が悪化したと考えられる。これに対し、実施例１では第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂ及び磁気記録媒体１４が加圧されることなく重ね合わされると共に加圧されることなく外部磁場が印加されたため、第１磁気転写用スタンパ１２Ａ、第２磁気転写用スタンパ１２Ｂと磁気記録媒体１４との位置ずれが防止又は実用上問題ないレベルに抑制され、良好なＰＥＳ特性が得られたと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、例えば、ハードディスク等の磁気記録媒体の製造に利用できる。
【符号の説明】
【００７３】
１０…磁気転写装置
１２Ａ…第１磁気転写用スタンパ
１２Ｂ…第２磁気転写用スタンパ
１４…磁気記録媒体
１６…液状材料
１８…磁気転写用中間体
２０…液状材料塗布ユニット
３０…重ね合わせユニット
４０…外部磁場印加ユニット
Ｓ１０２…初期化工程
Ｓ１０４…液状材料塗布工程
Ｓ１０６…重ね合わせ工程
Ｓ１０６Ａ…第１重ね合わせ工程
Ｓ１０６Ｂ…第２重ね合わせ工程
Ｓ１０８…外部磁場印加工程
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含むことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記重ね合わせ工程において、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記重ね合わせ工程の前に、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布する液状材料塗布工程を更に含むことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記液状材料は、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかであることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項５】
加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含むことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記重ね合わせユニットは、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせ可能であることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、
前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布するための液状材料塗布ユニットを更に含むことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記液状材料塗布ユニットは前記液状材料としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかを塗布するように構成されたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項１】
加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成する重ね合わせ工程と、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加する外部磁場印加工程と、を含むことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記重ね合わせ工程において、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記重ね合わせ工程の前に、前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布する液状材料塗布工程を更に含むことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記液状材料は、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかであることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項５】
加圧しないように磁気転写用スタンパ及び磁気記録媒体を重ね合わせて前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体が密着した磁気転写用中間体を作成可能である重ね合わせユニットと、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を加圧しないように前記磁気転写用中間体を保持しつつ前記磁気転写用スタンパを介して前記磁気記録媒体に外部磁場を印加可能である外部磁場印加ユニットと、を含むことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記重ね合わせユニットは、前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体の間を大気圧よりも低い減圧環境下に保持すると共に前記磁気転写用スタンパにおける前記磁気記録媒体と反対側及び前記磁気記録媒体における前記磁気転写用スタンパと反対側の少なくとも一方も前記減圧環境下に保持しつつ前記磁気転写用スタンパ及び前記磁気記録媒体を重ね合わせ可能であることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、
前記磁気記録媒体及び前記磁気転写用スタンパの少なくとも一方の表面に液状材料を塗布するための液状材料塗布ユニットを更に含むことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記液状材料塗布ユニットは前記液状材料としてフェノール樹脂、エポキシ樹脂及びアクリル樹脂のいずれかを塗布するように構成されたことを特徴とする磁気転写装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−１９５０２９（Ｐ２０１２−１９５０２９Ａ）
【公開日】平成２４年１０月１１日（２０１２．１０．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５７５３５（Ｐ２０１１−５７５３５）
【出願日】平成２３年３月１６日（２０１１．３．１６）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【公開日】平成２４年１０月１１日（２０１２．１０．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１６日（２０１１．３．１６）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
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