蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析システム
【課題】蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行う。
【解決手段】第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出し（ステップＳ１０６）、積分強度Ｂｔに基づき第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域Ａの第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出し、第１の領域Ａの第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔから算出する（ステップＳ１０８）。
【解決手段】第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出し（ステップＳ１０６）、積分強度Ｂｔに基づき第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域Ａの第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出し、第１の領域Ａの第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔから算出する（ステップＳ１０８）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際には、たとえば、測定対象の試料が複数の元素を含む場合に、各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合に、スペクトル波形が分離できず、精度のよい組成分析が行えないという課題があった。
【０００３】
特許文献１（特開２０００−０９７８８５号公報）には、以下の手順が記載されている。
ＦＰ法において、測定されるべき蛍光Ｘ線のスペクトルと少なくとも一部が重複するスペクトルを有する蛍光Ｘ線を妨害線とし、試料中の各成分についての測定強度をまず理論強度スケールに換算して換算強度とする。そして、試料における厚さまたは各成分の含有率の少なくとも一方を仮定して計算した前記妨害線の理論強度を用いて、前記換算強度を補正して測定強度に基づく強度とし、各成分ごとに理論強度と比較する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０９７８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の方法では、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合に、精度のよい組成分析を行おうとすると、複雑なアルゴリズムが必要となり、処理時間がかかるとともに、システム構成が複雑となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する工程と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する工程と、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程と、
を含む蛍光Ｘ線分析方法が提供される。
【０００７】
本発明によれば、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得するスペクトルＳｔデータ取得部と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する強度算出部と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する強度比取得部と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する濃度算出部と、
を含み、
前記強度算出部は、さらに、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
を行う蛍光Ｘ線分析システムが提供される。
【０００８】
このように、第１の元素ｘの濃度が高い第１の領域Ａの第１の元素ｘのみの積分強度を、Ａｔから第２の元素ｙの重なり分を引いた値として算出することにより、精度のよい組成分析を行うことができる。また、第２の元素ｙの重なり分も、第２の元素ｙの濃度が高い第２の領域ＢのＢｔに基づき算出しているので、精度のよい組成分析を行うことができる。本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、複雑なアルゴリズムを使用しないため、処理時間が短く、システム構成を簡易にしつつ、精度のよい組成分析を行うことができる。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図６】図１のステップＳ１０８の第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づきＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔ算出する手順を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、標準試料の第１の領域Ａの積分強度の第２の領域Ｂの積分強度に対する強度比を算出する手順を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】蛍光Ｘ線スペクトルＳｔのエネルギー値がシフトした状態を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態において、エネルギーシフトが生じた場合のＡｇ濃度の変動を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法で得られたＡｇ濃度と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ−ＡＥＳ）により測定したＡｇ濃度との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１３】
本発明者らは、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、測定対象の試料が複数の元素を含みかつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、ＲＯＩ（Region Of Interest）法を応用した以下の手順により、精度よく組成分析を行うことができることを見出し、本発明に到達した。
【００１４】
図９は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析装置１００（蛍光Ｘ線分析システム）の構成を示す図である。
蛍光Ｘ線分析装置１００は、測定部１３０と、測定制御部１３２と、解析処理部１０１とを含む。解析処理部１０１は、スペクトルＳｔデータ取得部１０２、領域設定部１０４、強度比取得部１０６、強度算出部１０８、濃度算出部１１０、スペクトルＳｔデータ記憶部１２０、および標準試料データ記憶部１２２を含む。標準試料データ記憶部１２２は、スペクトルＳｘデータ記憶部１２４およびスペクトルＳｙデータ記憶部１２６を含む。
【００１５】
測定部１３０は、通常の蛍光Ｘ線分析装置の測定系とすることができる。ここでは図示していないが、測定部１３０は、試料台、Ｘ線源、ミラー、スリット、検出器等を含む。測定部１３０は、試料台に載置された試料に対して、所定の入射角でＸ線を照射し、検出器で試料に含まれる各元素特有に発生する蛍光Ｘ線を検出することにより、Ｘ線蛍光スペクトルを得ることができる。測定制御部１３２は、測定部１３０の測定条件等を制御し、測定部１３０の検出器で検出されたＸ線蛍光スペクトルを取得する。スペクトルＳｔデータ取得部１０２は、測定制御部１３２から、測定部１３０により測定された蛍光Ｘ線スペクトルを取得する。
【００１６】
図９に示した蛍光Ｘ線分析装置１００の解析処理部１０１の各構成要素は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。解析処理部１０１の各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【００１７】
なお、本実施の形態において、蛍光Ｘ線分析装置１００は、一つの装置として記載しているが、蛍光Ｘ線分析装置１００の解析処理部１０１は、測定部１３０や測定制御部１３２とは異なる装置内に設けた構成とすることもできる。たとえば、解析処理部１０１の構成は、パーソナルコンピュータ等に所定のプログラムをインストールすることによって実現することもできる。
【００１８】
図１は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の手順を示すフローチャートである。
本実施の形態において、まず、第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する（ステップＳ１０２）。本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１のスペクトルＳｔデータ取得部１０２が行うことができる。スペクトルＳｔデータ取得部１０２は、取得した蛍光Ｘ線スペクトルＳｔをスペクトルＳｔデータ記憶部１２０に記憶する。
【００１９】
次いで、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、以下の条件を満たすように、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する（ステップＳ１０４）。
（１）第１の領域Ａおよび第２の領域の両方に第１の元素ｘおよび第２の元素ｙの各蛍光Ｘ線スペクトルが含まれる。
（２）第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂで第１の領域Ａよりも高い。
（３）第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高い。
【００２０】
本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１の領域設定部１０４が行うことができる。図９の標準試料データ記憶部１２２には、混合試料に含まれ得る各元素のみからなる標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルを記憶しておくことができる。本実施の形態において、スペクトルＳｘデータ記憶部１２４には、第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘが記憶される。また、スペクトルＳｙデータ記憶部１２６には、第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙが記憶される。領域設定部１０４は、蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、スペクトルＳｔデータ記憶部１２０に記憶された蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する。
【００２１】
つづいて、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、第１の領域Ａの積分強度Ａｔおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する（ステップＳ１０６）。
【００２２】
次いで、第１の領域Ａにおける第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する（ステップＳ１０８）。つづいて、第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを算出する（ステップＳ１１０）。
【００２３】
本実施の形態において、以上のステップＳ１０６からステップＳ１１０の処理は、図９の解析処理部１０１の強度算出部１０８が行うことができる。
【００２４】
この後、第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔおよび第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、第１の元素ｘの濃度を算出する（ステップＳ１１２）。本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１の濃度算出部１１０が行うことができる。
【００２５】
次に、第１の元素ｘがＡｇ、第２の元素ｙがＳｎである場合を例として具体例を説明する。混合試料は、たとえばＳｎＡｇバンプとすることができる。
本実施の形態において、図９に示した蛍光Ｘ線分析装置１００のスペクトルＳｘデータ記憶部１２４には、Ａｇのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘが記憶される。また、スペクトルＳｙデータ記憶部１２６には、Ｓｎのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙが記憶される。
【００２６】
（第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの設定）
まず、図１のステップ１０４の第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を、図２から図５を参照して説明する。
図２（ａ）は、Ａｇ（第１の元素ｘ）およびＳｎ（第２の元素ｙ）を含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの一例を示す図である。図２（ｂ）は、Ａｇ（第１の元素ｘ）のみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの一例を示す図である。図２（ｃ）は、Ｓｎ（第２の元素ｙ）のみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの一例を示す図である。
【００２７】
図２（ｂ）に示すように、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘのＬａ１近傍では、エネルギー値２．４ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲でスペクトルが広がっている。一方、図２（ｃ）に示すように、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙのＬａ１近傍では、エネルギー値２．７ｋｅＶから４．６ｋｅＶの範囲でスペクトルが広がっている。ここで、エネルギー値２．７ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲は、ＳｎおよびＡｇのピークが重なって現れる。
【００２８】
上述した条件に沿うように、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する。本実施の形態において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂは、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲内で、まず、蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき設定することができる。
【００２９】
まず、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂは、ＳｎおよびＡｇのピークが重なるエネルギー値２．７ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲内に設定することができる。ここで、Ａｇの最も強度の強いピークＬａ１がエネルギー値２．９８４ｋｅＶにあり、Ｓｎの最も強度の強いピークＬａ１がエネルギー値３．４４３ｋｅＶにある。第１の領域Ａは、Ａｇの最も強度の強いピークＬａ１であるエネルギー値２．９８４ｋｅＶを含む領域とすることができる。また、第２の領域Ｂは、Ｓｎの最も強度の強いピークＬａ１であるエネルギー値３．４４３ｋｅＶを含む領域とすることができる。
【００３０】
以上を考慮すると、第１の領域Ａの下限は、たとえばエネルギー値２．７ｋｅＶ付近に設定することができる。また、第１の領域Ａの上限は、ＡｇのピークＬａ１のエネルギー値２．９８４ｋｅＶよりも大きい範囲で、ピークＬａ１および次に強度が強いピークＬｂ１が下がってくるエネルギー値３．３ｋｅＶ付近以下くらいの範囲に設定することができる。
【００３１】
また、第２の領域Ｂの上限は、たとえばエネルギー値３．９ｋｅＶ付近に設定することができる。また、第２の領域Ｂの下限は、ＳｎのピークＬａ１のエネルギー値３．４４３ｋｅＶよりも小さい範囲で、ピークＬａ１のエネルギー値３．４４３ｋｅＶの立ち上がり部分であるエネルギー値３．２ｋｅＶ付近以下くらいの範囲に設定することができる。
【００３２】
本実施の形態においては、第１の領域Ａの上限と、第２の領域Ｂの下限とを共通として設定することができる。図３にこの状態を示す。ここでは、第１の領域Ａの下限を下限ライン２００、第１の領域Ａの上限および第２の領域Ｂの下限を境界ライン２０４、第２の領域Ｂの上限を上限ライン２０２として示す。
【００３３】
本実施の形態において、以上のように蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、下限ライン２００、境界ライン２０４、および上限ライン２０２の大まかな範囲を設定した後、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、以下の条件に沿うように調整を行うことができる。
（１）第１の領域Ａの下限および上限、ならびに第２の領域Ｂの下限および上限は、それぞれ、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの傾きがゼロとなる極小点（ピークの底）を通るように設定することが好ましい。これにより、蛍光Ｘ線分析装置の検出器の特性変動によって、エネルギー値が真値からずれた場合でも、領域内の積分強度への影響を小さくすることができる。
（２）図３に示したように下限ライン２００、境界ライン２０４、および上限ライン２０２を設定する場合、下限ライン２００における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２００、境界ライン２０４における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２０４、上限ライン２０２における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２０２とすると、強度Ｉ２０４の強度Ｉ２００に対する比（Ｉ２０４／Ｉ２００）と強度Ｉ２０２の強度Ｉ２０４に対する比（Ｉ２０２／Ｉ２０４）とが略等しいことが好ましい。これにより、蛍光Ｘ線分析装置の検出器の特性変動によって、エネルギー値が真値からずれた場合でも、領域内の積分強度への影響を小さくすることができる。
（３）測定対象の混合試料中に含まれ得る他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルを含まないようにすることが好ましい。
【００３４】
上記の（１）および（２）について、図４を参照して説明する。
図４は、混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルの他の例を模式的に示す図である。
ここで、第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを両方含む領域、第１の領域Ａ候補、第２の領域Ｂ候補が図４（ａ）に示すようになっているとする。また、ｅ１からｅ７は、それぞれエネルギー値を示す。また、Ｉ１、Ｉ３、Ｉ５、Ｉ７は、それぞれ対応するエネルギー値ｅ１、ｅ３、ｅ５、ｅ７における強度を示す。
【００３５】
このような場合、上記の条件（１）を考慮すると、下限ライン２００としては、ピークの極小点となるｅ１、ｅ３を通る線が候補となる。また、上限ライン２０２としては、ピークの極小点となるｅ３、ｅ５、ｅ７を通る線が候補となる。また、境界ライン２０４としては、ピークの極小点となるｅ３を通る線が候補となる。よって、たとえば境界ライン２０４がｅ３を通り、下限ライン２００がｅ１を通るように設定することができる。
【００３６】
この場合、上限ライン２０２の候補としては、ピークの極小点となるｅ５、ｅ７を通る線の二つがある。ここで、上記の条件（２）を考慮すると、上限ライン２０２がｅ５を通るとした場合の（Ｉ５／Ｉ３）と、上限ライン２０２がｅ７を通るとした場合の（Ｉ７／Ｉ３）とに基づき、（Ｉ３／Ｉ１）の値に近くなる方を選択することができる。ここでは、たとえば（Ｉ３／Ｉ１）と（Ｉ５／Ｉ３）とが略等しくなるものとする。このような場合、図４（ｂ）に示すように、上限ライン２０２がｅ５を通るように設定して、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定することができる。
【００３７】
図３に戻り、本実施の形態における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、以下のような条件となっている。
・エネルギー値２．７２ｋｅＶは、波形の立ち上がりである。
・エネルギー値３．１６ｋｅＶおよび３．５６ｋｅＶは、それぞれ二つのピークの底にあたり、ちょうど傾きがゼロとなっている。
・ＳｎのＬｂ１の高エネルギー側のテール部では、他の元素（Ｔｉ）のスペクトルが含まれる可能性がある。
・エネルギー値２．７２ｋｅＶの強度Ｉ２．７２、境エネルギー値３．１６ｋｅＶの強度Ｉ３．１６、エネルギー値３．５６ｋｅＶの強度Ｉ３．５６とすると、（Ｉ３．１６／Ｉ２．７２）と（Ｉ３．５６／Ｉ３．１６）とが略等しい。
【００３８】
以上を考慮して、図５に示すように、本実施の形態において、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいてＡｇの主ピークＬａ１を含み、ＳｎのＬｌが重なる２．７２ｋｅＶ以上３．１６ｋｅＶ以下の範囲を第１の領域Ａとして設定する。また、Ｓｎの主ピークＬａ１を主成分とする３．１７ｋｅＶ以上３．５６ｋｅＶ以下の範囲を第２の領域Ｂとして設定する。
【００３９】
なお、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔのバックグラウンド等については、蛍光Ｘ線分析装置１００の測定部１３０および測定制御部１３２に付属の解析ソフト等を用いて適宜補正することができる。
【００４０】
（蛍光Ｘ線の積分強度算出）
この後、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第１の領域Ａの積分強度Ａｔおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔを算出する。
【００４１】
（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔの算出）
ここで、第１の領域Ａの積分強度Ａｔと第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔは、それぞれの元素の強度の重なりがあるので、Ａｇの積分強度とＳｎの積分強度とは一致しない。そこで、本実施の形態において、第１の領域ＡのＡｇのみの積分強度を、ＡｔからＳｎの重なり分を引いた値として算出する。そこで、まず、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する。第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔは、以下の手順で算出することができる。
【００４２】
図６は、図１のステップＳ１０８の第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する手順を示すフローチャートである。
まず、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出する（ステップＳ１２０）。
【００４３】
この手順の一例（例ａ−１）として、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であると仮定して、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔ＝積分強度Ｂｔと仮定することができる。本実施の形態において、第２の領域Ｂは、Ｓｎの積分強度は第１の領域Ａよりも高くＡｇの積分強度は第１の領域Ａよりも低く設定されている。そのため、このような設定をしても、精度の高い結果を得ることができる。
【００４４】
また、この手順の他の例（例ａ−２）として、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づきＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出することができる。ここで、第３の領域Ｃは、Ａｇや混合試料中に含まれ得るその他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルが含まれず、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルのみが含まれる領域とすることができる。
【００４５】
この例を図７を参照して説明する。図７（ｂ）および図７（ｃ）に示すように、４．２５ｋｅＶ以上４．５０ｋｅＶ以下の範囲では、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙは存在するが、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘは存在しない。また、ここでは、４．２５ｋｅＶ以上４．５０ｋｅＶ以下の範囲には、他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルも存在しないものとする。このような場合、たとえばこの範囲を第３の領域Ｃとして設定することができる。この処理は、図９の解析処理部１０１の領域設定部１０４が行うことができる。
【００４６】
次いで、図７（ａ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔ、ならびに図７（ｃ）のＳｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙおよび第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙをそれぞれ算出する。ここで、第３の領域Ｃには第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルしか存在しないので、Ｓｎについて、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおける第２の領域ＢのＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔに対する強度比（Ｂ’ｙ／ｔ／Ｃｔ）と、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおける第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙに対する強度比（Ｂｙ／Ｃｙ）とは等しくなる。
そのため、
（Ｂ’ｙ／ｔ／Ｃｔ）＝（Ｂｙ／Ｃｙ）
Ｂ’ｙ／ｔ＝（Ｂｙ／Ｃｙ）×Ｃｔ
から、Ｓｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出することができる。
【００４７】
つづいて、図６に戻り、Ｓｎのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、第１の領域Ａの積分強度Ａｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する（ステップＳ１２２）。
【００４８】
この手順を図８を参照して説明する。
まず、Ｓｎの図８（ｃ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａの積分強度Ａｙおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙをそれぞれ算出する。次いで、第１の領域Ａの積分強度Ａｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を算出する。なお、一度第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂが設定された場合は、同様の混合試料について、同じ第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを用いた処理を行うことができる。そのため、図９に示した標準試料データ記憶部１２２のスペクトルＳｙデータ記憶部１２６に強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を記憶しておき、次回からはこのデータを用いて計算を行うようにすることができる。
【００４９】
次いで、図６に戻り、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔおよび強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂ’ｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する（ステップＳ１２４）。
【００５０】
その後、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔに基づき、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する（ステップＳ１２６）。
【００５１】
（第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの算出）
以上のステップＳ１２０で、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出しているが、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、以下の手順で算出して本設定することができる。
【００５２】
（１）一例（例ｂ−１）として、強度分Ｂｙ／ｔの本設定値は、図６のステップＳ１２６を参照して説明した工程で算出された第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを用いて算出することができる。
まず、Ａｇのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する。この手順も、図８を参照して説明する。まず、図８（ｂ）のＡｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの第１の領域Ａの積分強度Ａｘおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘをそれぞれ算出する。次いで、第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を算出する。なお、上述した強度比（Ａｙ／Ｂｙ）と同様、一度第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂが設定された場合は、同様の混合試料について、同じ第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを用いた処理を行うことができる。そのため、図９に示した標準試料データ記憶部１２２のスペクトルＳｘデータ記憶部１２４に強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を記憶しておき、次回からはこのデータを用いて計算を行うようにすることができる。
【００５３】
次いで、図６のステップＳ１２６を参照して説明した工程で算出された第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔおよび強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する。
【００５４】
その後、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する。
【００５５】
なお、図６のステップＳ１２０において、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であると仮定した場合、以下の補正を行うこともできる。このような補正を行うことにより、より精度のよい算出をすることができる。
【００５６】
上述したＢｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔは、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ））
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−Ａｙ／ｔ）×（Ｂｘ／Ａｘ））
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂ’ｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））
と表される。
【００５７】
蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であるとの仮定では、第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔが１００％Ｓｎのスペクトルであるとの仮定である。そのため、以下では、逆の仮定、すなわち第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔが１００％Ａｇであるとする補正を行う。すなわち、純Ａｇの場合を考慮して、Ｂｙ／ｔ＝０、Ｂ’ｙ／ｔ＝Ｂｔとする。
【００５８】
この場合、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））＝０
となる。
【００５９】
よって、
Ｂｔ＝（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））
となる。
【００６０】
これにより、以下の式が導かれる。
（Ａｘ／Ｂｘ）＝（Ａｔ−（Ａｙ／Ｂｙ）×Ｂｔ）／Ｂｔ
（Ａｘ／Ｂｘ）＝（Ａｔ／Ｂｔ）−（Ａｙ／Ｂｙ）
【００６１】
よって、ＳｎＡｇ波形の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））／（（Ａｔ／Ｂｔ）−（Ａｙ／Ｂｙ）））
で求められる。
【００６２】
（２）第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの算出方法の他の例（例ｂ−２）として、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、図６を参照して説明した第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔの算出手順と同様にして、以下の手順で算出することができる。
【００６３】
まず、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、Ａｇについて、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔの値を仮設定する。
【００６４】
次いで、上記の例と同様にしてＡｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいて、第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する。
【００６５】
この後、仮設定した第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔおよび強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝（Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する。
【００６６】
次いで、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する。
【００６７】
また、Ｓｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づき算出した場合（例ａ−２）は、この仮設定値Ｂ’ｙ／ｔをそのまま第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔとして本設定することもできる。
【００６８】
（濃度の算出）
以上の手順により、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔおよび第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔが算出される。つづいて、これらの値に基づき、以下の式に基づき、Ａｇの濃度を算出することができる。
【００６９】
Ａｇ濃度（ｗｔ％）＝（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔ）／（（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔ）＋（第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔ）×Ｃｆ）×１００
（Ｃｆは、フィッティングパラメータ）
【００７０】
フィッティングパラメータＣｆは、混合試料として、Ａｇ濃度（既知）を変化させた複数の試料を準備した測定値に基づき算出することができる。また、ここではＡｇの濃度について説明しているが、Ｓｎについても、同様にして濃度を算出することができる。
【００７１】
次に、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の効果を説明する。
以上の実施の形態で説明した手順（例（ａ−１）および例（ｂ−１））に沿って、リフロー後のＳｎＡｇバンプのＡｇ濃度を測定した。ここで、純Ｓｎ標準試料の測定結果より、強度比（Ａｙ／Ｂｙ）は０．０４０９６、純Ａｇ標準試料の測定結果より、強度比（Ａｘ／Ｂｘ）は、２．８０７４４という値が得られた。また、混合試料として、Ａｇ濃度（既知）を変化させた複数の試料を準備した測定値に基づき、フィッティングパラメータＣｆ＝０．７６という結果が得られた。ここで、Ｃｆを求めるにあたって、Ｘ線入射角は１６°のデータを用いた。
【００７２】
図１２は、以上の実施の形態で説明した手順で得られたＡｇ濃度と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ−ＡＥＳ）により測定したＡｇ濃度とを示す図である。図１２の横軸が、ＩＣＰ−ＡＥＳによる測定値、縦軸は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法により算出した値を示す。ここで、±０．０５ｗｔ％以内の精度で、Ａｇ濃度分析が可能だった。
【００７３】
本実施の形態において、Ａｇの積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、Ｓｎの積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂにおける積分強度を用いて、まず、Ｓｎの強度が高い第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔに基づき、Ｓｎについて、第２の領域Ｂにおける強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよびＳｎの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出した後、Ａｇの強度が高い第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを、Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔから算出している。
【００７４】
このように、Ａｇの濃度が高い第１の領域ＡのＡｇのみの積分強度を、ＡｔからＳｎの重なり分を引いた値として算出することにより、精度のよい組成分析を行うことができる。また、Ｓｎの重なり分も、Ｓｎの濃度が高い第２の領域ＢのＢｔに基づき算出しているので、精度のよい組成分析を行うことができる。本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、複雑なアルゴリズムを使用しないため、処理時間が短く、システム構成を簡易にしつつ、精度のよい組成分析を行うことができる。
【００７５】
また、算出されるＡｇ濃度のエネルギーシフト依存性を調べた。図１０（ａ）は、標準（Ｒｅｆ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。図１０（ｂ）は、エネルギー値が０．０５ｋｅＶ低エネルギー側にシフトした場合の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。図１０（ｃ）は、エネルギー値が０．０５ｋｅＶ高エネルギー側にシフトした場合の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。
【００７６】
また、図１１に結果を示す。エネルギーシフト±０．０２ｋｅＶの場合、Ａｇ濃度の変化は±０．０３ｗｔ％に収まった。さらに、エネルギーシフト±０．０５ｋｅＶとした場合でも、０．１ｗｔ％程度変動しただけだった。なお、実際の特性変動は、大きくても±０．０２ｋｅＶ程度であることから、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、エネルギーシフトの影響により、スペクトルのピーク位置が変動したとしても、算出される組成値への影響を小さくすることができる。本実施の形態において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂそれぞれのエネルギー端が、スペクトル波形の傾きが小さい領域に設定されている。これにより、蛍光Ｘ線分析装置１００（測定部１３０）の経時変化により、スペクトルのピーク位置が変動したとしても、算出される濃度（組成値）への影響を小さくすることができる。
【００７７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００７８】
以上の実施の形態では、第１の元素ｘがＡｇ、第２の元素ｙがＳｎの場合を例として説明したが、これらは、逆としても、同様の処理を行うことができる。
【００７９】
また、以上の実施の形態では、第１の領域Ａと第２の領域Ｂとが互いに接している例を示したが、これらは、離れた領域であってもよい。
【００８０】
なお、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに、上記で設定した第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる領域に、他の複数の元素について、同様の条件で別の第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定可能であれば、それらの元素についても、同様の手順で濃度を算出することができる。
【符号の説明】
【００８１】
１００ 蛍光Ｘ線分析装置
１０１ 解析処理部
１０２ スペクトルＳｔデータ取得部
１０４ 領域設定部
１０６ 強度比取得部
１０８ 強度算出部
１１０ 濃度算出部
１２０ スペクトルＳｔデータ記憶部
１２２ 標準試料データ記憶部
１２４ スペクトルＳｘデータ記憶部
１２６ スペクトルＳｙデータ記憶部
１３０ 測定部
１３２ 測定制御部
２００ 下限ライン
２０２ 上限ライン
２０４ 境界ライン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際には、たとえば、測定対象の試料が複数の元素を含む場合に、各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合に、スペクトル波形が分離できず、精度のよい組成分析が行えないという課題があった。
【０００３】
特許文献１（特開２０００−０９７８８５号公報）には、以下の手順が記載されている。
ＦＰ法において、測定されるべき蛍光Ｘ線のスペクトルと少なくとも一部が重複するスペクトルを有する蛍光Ｘ線を妨害線とし、試料中の各成分についての測定強度をまず理論強度スケールに換算して換算強度とする。そして、試料における厚さまたは各成分の含有率の少なくとも一方を仮定して計算した前記妨害線の理論強度を用いて、前記換算強度を補正して測定強度に基づく強度とし、各成分ごとに理論強度と比較する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０９７８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の方法では、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合に、精度のよい組成分析を行おうとすると、複雑なアルゴリズムが必要となり、処理時間がかかるとともに、システム構成が複雑となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する工程と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する工程と、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程と、
を含む蛍光Ｘ線分析方法が提供される。
【０００７】
本発明によれば、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得するスペクトルＳｔデータ取得部と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する強度算出部と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する強度比取得部と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する濃度算出部と、
を含み、
前記強度算出部は、さらに、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
を行う蛍光Ｘ線分析システムが提供される。
【０００８】
このように、第１の元素ｘの濃度が高い第１の領域Ａの第１の元素ｘのみの積分強度を、Ａｔから第２の元素ｙの重なり分を引いた値として算出することにより、精度のよい組成分析を行うことができる。また、第２の元素ｙの重なり分も、第２の元素ｙの濃度が高い第２の領域ＢのＢｔに基づき算出しているので、精度のよい組成分析を行うことができる。本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、複雑なアルゴリズムを使用しないため、処理時間が短く、システム構成を簡易にしつつ、精度のよい組成分析を行うことができる。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を示す図である。
【図６】図１のステップＳ１０８の第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づきＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔ算出する手順を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法において、標準試料の第１の領域Ａの積分強度の第２の領域Ｂの積分強度に対する強度比を算出する手順を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】蛍光Ｘ線スペクトルＳｔのエネルギー値がシフトした状態を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態において、エネルギーシフトが生じた場合のＡｇ濃度の変動を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法で得られたＡｇ濃度と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ−ＡＥＳ）により測定したＡｇ濃度との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１３】
本発明者らは、蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、測定対象の試料が複数の元素を含みかつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、ＲＯＩ（Region Of Interest）法を応用した以下の手順により、精度よく組成分析を行うことができることを見出し、本発明に到達した。
【００１４】
図９は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析装置１００（蛍光Ｘ線分析システム）の構成を示す図である。
蛍光Ｘ線分析装置１００は、測定部１３０と、測定制御部１３２と、解析処理部１０１とを含む。解析処理部１０１は、スペクトルＳｔデータ取得部１０２、領域設定部１０４、強度比取得部１０６、強度算出部１０８、濃度算出部１１０、スペクトルＳｔデータ記憶部１２０、および標準試料データ記憶部１２２を含む。標準試料データ記憶部１２２は、スペクトルＳｘデータ記憶部１２４およびスペクトルＳｙデータ記憶部１２６を含む。
【００１５】
測定部１３０は、通常の蛍光Ｘ線分析装置の測定系とすることができる。ここでは図示していないが、測定部１３０は、試料台、Ｘ線源、ミラー、スリット、検出器等を含む。測定部１３０は、試料台に載置された試料に対して、所定の入射角でＸ線を照射し、検出器で試料に含まれる各元素特有に発生する蛍光Ｘ線を検出することにより、Ｘ線蛍光スペクトルを得ることができる。測定制御部１３２は、測定部１３０の測定条件等を制御し、測定部１３０の検出器で検出されたＸ線蛍光スペクトルを取得する。スペクトルＳｔデータ取得部１０２は、測定制御部１３２から、測定部１３０により測定された蛍光Ｘ線スペクトルを取得する。
【００１６】
図９に示した蛍光Ｘ線分析装置１００の解析処理部１０１の各構成要素は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。解析処理部１０１の各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【００１７】
なお、本実施の形態において、蛍光Ｘ線分析装置１００は、一つの装置として記載しているが、蛍光Ｘ線分析装置１００の解析処理部１０１は、測定部１３０や測定制御部１３２とは異なる装置内に設けた構成とすることもできる。たとえば、解析処理部１０１の構成は、パーソナルコンピュータ等に所定のプログラムをインストールすることによって実現することもできる。
【００１８】
図１は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の手順を示すフローチャートである。
本実施の形態において、まず、第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する（ステップＳ１０２）。本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１のスペクトルＳｔデータ取得部１０２が行うことができる。スペクトルＳｔデータ取得部１０２は、取得した蛍光Ｘ線スペクトルＳｔをスペクトルＳｔデータ記憶部１２０に記憶する。
【００１９】
次いで、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、以下の条件を満たすように、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する（ステップＳ１０４）。
（１）第１の領域Ａおよび第２の領域の両方に第１の元素ｘおよび第２の元素ｙの各蛍光Ｘ線スペクトルが含まれる。
（２）第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂで第１の領域Ａよりも高い。
（３）第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高い。
【００２０】
本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１の領域設定部１０４が行うことができる。図９の標準試料データ記憶部１２２には、混合試料に含まれ得る各元素のみからなる標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルを記憶しておくことができる。本実施の形態において、スペクトルＳｘデータ記憶部１２４には、第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘが記憶される。また、スペクトルＳｙデータ記憶部１２６には、第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙが記憶される。領域設定部１０４は、蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、スペクトルＳｔデータ記憶部１２０に記憶された蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する。
【００２１】
つづいて、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、第１の領域Ａの積分強度Ａｔおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する（ステップＳ１０６）。
【００２２】
次いで、第１の領域Ａにおける第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する（ステップＳ１０８）。つづいて、第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを算出する（ステップＳ１１０）。
【００２３】
本実施の形態において、以上のステップＳ１０６からステップＳ１１０の処理は、図９の解析処理部１０１の強度算出部１０８が行うことができる。
【００２４】
この後、第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔおよび第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、第１の元素ｘの濃度を算出する（ステップＳ１１２）。本実施の形態において、この処理は、図９の解析処理部１０１の濃度算出部１１０が行うことができる。
【００２５】
次に、第１の元素ｘがＡｇ、第２の元素ｙがＳｎである場合を例として具体例を説明する。混合試料は、たとえばＳｎＡｇバンプとすることができる。
本実施の形態において、図９に示した蛍光Ｘ線分析装置１００のスペクトルＳｘデータ記憶部１２４には、Ａｇのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘが記憶される。また、スペクトルＳｙデータ記憶部１２６には、Ｓｎのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙが記憶される。
【００２６】
（第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの設定）
まず、図１のステップ１０４の第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する手順を、図２から図５を参照して説明する。
図２（ａ）は、Ａｇ（第１の元素ｘ）およびＳｎ（第２の元素ｙ）を含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの一例を示す図である。図２（ｂ）は、Ａｇ（第１の元素ｘ）のみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの一例を示す図である。図２（ｃ）は、Ｓｎ（第２の元素ｙ）のみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの一例を示す図である。
【００２７】
図２（ｂ）に示すように、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘのＬａ１近傍では、エネルギー値２．４ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲でスペクトルが広がっている。一方、図２（ｃ）に示すように、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙのＬａ１近傍では、エネルギー値２．７ｋｅＶから４．６ｋｅＶの範囲でスペクトルが広がっている。ここで、エネルギー値２．７ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲は、ＳｎおよびＡｇのピークが重なって現れる。
【００２８】
上述した条件に沿うように、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定する。本実施の形態において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂは、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲内で、まず、蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき設定することができる。
【００２９】
まず、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂは、ＳｎおよびＡｇのピークが重なるエネルギー値２．７ｋｅＶから３．９ｋｅＶの範囲内に設定することができる。ここで、Ａｇの最も強度の強いピークＬａ１がエネルギー値２．９８４ｋｅＶにあり、Ｓｎの最も強度の強いピークＬａ１がエネルギー値３．４４３ｋｅＶにある。第１の領域Ａは、Ａｇの最も強度の強いピークＬａ１であるエネルギー値２．９８４ｋｅＶを含む領域とすることができる。また、第２の領域Ｂは、Ｓｎの最も強度の強いピークＬａ１であるエネルギー値３．４４３ｋｅＶを含む領域とすることができる。
【００３０】
以上を考慮すると、第１の領域Ａの下限は、たとえばエネルギー値２．７ｋｅＶ付近に設定することができる。また、第１の領域Ａの上限は、ＡｇのピークＬａ１のエネルギー値２．９８４ｋｅＶよりも大きい範囲で、ピークＬａ１および次に強度が強いピークＬｂ１が下がってくるエネルギー値３．３ｋｅＶ付近以下くらいの範囲に設定することができる。
【００３１】
また、第２の領域Ｂの上限は、たとえばエネルギー値３．９ｋｅＶ付近に設定することができる。また、第２の領域Ｂの下限は、ＳｎのピークＬａ１のエネルギー値３．４４３ｋｅＶよりも小さい範囲で、ピークＬａ１のエネルギー値３．４４３ｋｅＶの立ち上がり部分であるエネルギー値３．２ｋｅＶ付近以下くらいの範囲に設定することができる。
【００３２】
本実施の形態においては、第１の領域Ａの上限と、第２の領域Ｂの下限とを共通として設定することができる。図３にこの状態を示す。ここでは、第１の領域Ａの下限を下限ライン２００、第１の領域Ａの上限および第２の領域Ｂの下限を境界ライン２０４、第２の領域Ｂの上限を上限ライン２０２として示す。
【００３３】
本実施の形態において、以上のように蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、下限ライン２００、境界ライン２０４、および上限ライン２０２の大まかな範囲を設定した後、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、以下の条件に沿うように調整を行うことができる。
（１）第１の領域Ａの下限および上限、ならびに第２の領域Ｂの下限および上限は、それぞれ、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの傾きがゼロとなる極小点（ピークの底）を通るように設定することが好ましい。これにより、蛍光Ｘ線分析装置の検出器の特性変動によって、エネルギー値が真値からずれた場合でも、領域内の積分強度への影響を小さくすることができる。
（２）図３に示したように下限ライン２００、境界ライン２０４、および上限ライン２０２を設定する場合、下限ライン２００における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２００、境界ライン２０４における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２０４、上限ライン２０２における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの強度Ｉ２０２とすると、強度Ｉ２０４の強度Ｉ２００に対する比（Ｉ２０４／Ｉ２００）と強度Ｉ２０２の強度Ｉ２０４に対する比（Ｉ２０２／Ｉ２０４）とが略等しいことが好ましい。これにより、蛍光Ｘ線分析装置の検出器の特性変動によって、エネルギー値が真値からずれた場合でも、領域内の積分強度への影響を小さくすることができる。
（３）測定対象の混合試料中に含まれ得る他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルを含まないようにすることが好ましい。
【００３４】
上記の（１）および（２）について、図４を参照して説明する。
図４は、混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルの他の例を模式的に示す図である。
ここで、第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを両方含む領域、第１の領域Ａ候補、第２の領域Ｂ候補が図４（ａ）に示すようになっているとする。また、ｅ１からｅ７は、それぞれエネルギー値を示す。また、Ｉ１、Ｉ３、Ｉ５、Ｉ７は、それぞれ対応するエネルギー値ｅ１、ｅ３、ｅ５、ｅ７における強度を示す。
【００３５】
このような場合、上記の条件（１）を考慮すると、下限ライン２００としては、ピークの極小点となるｅ１、ｅ３を通る線が候補となる。また、上限ライン２０２としては、ピークの極小点となるｅ３、ｅ５、ｅ７を通る線が候補となる。また、境界ライン２０４としては、ピークの極小点となるｅ３を通る線が候補となる。よって、たとえば境界ライン２０４がｅ３を通り、下限ライン２００がｅ１を通るように設定することができる。
【００３６】
この場合、上限ライン２０２の候補としては、ピークの極小点となるｅ５、ｅ７を通る線の二つがある。ここで、上記の条件（２）を考慮すると、上限ライン２０２がｅ５を通るとした場合の（Ｉ５／Ｉ３）と、上限ライン２０２がｅ７を通るとした場合の（Ｉ７／Ｉ３）とに基づき、（Ｉ３／Ｉ１）の値に近くなる方を選択することができる。ここでは、たとえば（Ｉ３／Ｉ１）と（Ｉ５／Ｉ３）とが略等しくなるものとする。このような場合、図４（ｂ）に示すように、上限ライン２０２がｅ５を通るように設定して、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定することができる。
【００３７】
図３に戻り、本実施の形態における蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、以下のような条件となっている。
・エネルギー値２．７２ｋｅＶは、波形の立ち上がりである。
・エネルギー値３．１６ｋｅＶおよび３．５６ｋｅＶは、それぞれ二つのピークの底にあたり、ちょうど傾きがゼロとなっている。
・ＳｎのＬｂ１の高エネルギー側のテール部では、他の元素（Ｔｉ）のスペクトルが含まれる可能性がある。
・エネルギー値２．７２ｋｅＶの強度Ｉ２．７２、境エネルギー値３．１６ｋｅＶの強度Ｉ３．１６、エネルギー値３．５６ｋｅＶの強度Ｉ３．５６とすると、（Ｉ３．１６／Ｉ２．７２）と（Ｉ３．５６／Ｉ３．１６）とが略等しい。
【００３８】
以上を考慮して、図５に示すように、本実施の形態において、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいてＡｇの主ピークＬａ１を含み、ＳｎのＬｌが重なる２．７２ｋｅＶ以上３．１６ｋｅＶ以下の範囲を第１の領域Ａとして設定する。また、Ｓｎの主ピークＬａ１を主成分とする３．１７ｋｅＶ以上３．５６ｋｅＶ以下の範囲を第２の領域Ｂとして設定する。
【００３９】
なお、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔのバックグラウンド等については、蛍光Ｘ線分析装置１００の測定部１３０および測定制御部１３２に付属の解析ソフト等を用いて適宜補正することができる。
【００４０】
（蛍光Ｘ線の積分強度算出）
この後、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第１の領域Ａの積分強度Ａｔおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔを算出する。
【００４１】
（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔの算出）
ここで、第１の領域Ａの積分強度Ａｔと第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔは、それぞれの元素の強度の重なりがあるので、Ａｇの積分強度とＳｎの積分強度とは一致しない。そこで、本実施の形態において、第１の領域ＡのＡｇのみの積分強度を、ＡｔからＳｎの重なり分を引いた値として算出する。そこで、まず、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する。第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔは、以下の手順で算出することができる。
【００４２】
図６は、図１のステップＳ１０８の第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出する手順を示すフローチャートである。
まず、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出する（ステップＳ１２０）。
【００４３】
この手順の一例（例ａ−１）として、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であると仮定して、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔ＝積分強度Ｂｔと仮定することができる。本実施の形態において、第２の領域Ｂは、Ｓｎの積分強度は第１の領域Ａよりも高くＡｇの積分強度は第１の領域Ａよりも低く設定されている。そのため、このような設定をしても、精度の高い結果を得ることができる。
【００４４】
また、この手順の他の例（例ａ−２）として、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づきＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出することができる。ここで、第３の領域Ｃは、Ａｇや混合試料中に含まれ得るその他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルが含まれず、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルのみが含まれる領域とすることができる。
【００４５】
この例を図７を参照して説明する。図７（ｂ）および図７（ｃ）に示すように、４．２５ｋｅＶ以上４．５０ｋｅＶ以下の範囲では、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙは存在するが、Ａｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘは存在しない。また、ここでは、４．２５ｋｅＶ以上４．５０ｋｅＶ以下の範囲には、他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルも存在しないものとする。このような場合、たとえばこの範囲を第３の領域Ｃとして設定することができる。この処理は、図９の解析処理部１０１の領域設定部１０４が行うことができる。
【００４６】
次いで、図７（ａ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔ、ならびに図７（ｃ）のＳｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙおよび第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙをそれぞれ算出する。ここで、第３の領域Ｃには第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルしか存在しないので、Ｓｎについて、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおける第２の領域ＢのＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔに対する強度比（Ｂ’ｙ／ｔ／Ｃｔ）と、Ｓｎの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおける第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙの第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙに対する強度比（Ｂｙ／Ｃｙ）とは等しくなる。
そのため、
（Ｂ’ｙ／ｔ／Ｃｔ）＝（Ｂｙ／Ｃｙ）
Ｂ’ｙ／ｔ＝（Ｂｙ／Ｃｙ）×Ｃｔ
から、Ｓｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出することができる。
【００４７】
つづいて、図６に戻り、Ｓｎのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、第１の領域Ａの積分強度Ａｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する（ステップＳ１２２）。
【００４８】
この手順を図８を参照して説明する。
まず、Ｓｎの図８（ｃ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａの積分強度Ａｙおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙをそれぞれ算出する。次いで、第１の領域Ａの積分強度Ａｙの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を算出する。なお、一度第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂが設定された場合は、同様の混合試料について、同じ第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを用いた処理を行うことができる。そのため、図９に示した標準試料データ記憶部１２２のスペクトルＳｙデータ記憶部１２６に強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を記憶しておき、次回からはこのデータを用いて計算を行うようにすることができる。
【００４９】
次いで、図６に戻り、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔおよび強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂ’ｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する（ステップＳ１２４）。
【００５０】
その後、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔに基づき、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する（ステップＳ１２６）。
【００５１】
（第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの算出）
以上のステップＳ１２０で、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを算出しているが、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、以下の手順で算出して本設定することができる。
【００５２】
（１）一例（例ｂ−１）として、強度分Ｂｙ／ｔの本設定値は、図６のステップＳ１２６を参照して説明した工程で算出された第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを用いて算出することができる。
まず、Ａｇのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する。この手順も、図８を参照して説明する。まず、図８（ｂ）のＡｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの第１の領域Ａの積分強度Ａｘおよび第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘをそれぞれ算出する。次いで、第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を算出する。なお、上述した強度比（Ａｙ／Ｂｙ）と同様、一度第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂが設定された場合は、同様の混合試料について、同じ第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを用いた処理を行うことができる。そのため、図９に示した標準試料データ記憶部１２２のスペクトルＳｘデータ記憶部１２４に強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を記憶しておき、次回からはこのデータを用いて計算を行うようにすることができる。
【００５３】
次いで、図６のステップＳ１２６を参照して説明した工程で算出された第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔおよび強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する。
【００５４】
その後、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する。
【００５５】
なお、図６のステップＳ１２０において、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であると仮定した場合、以下の補正を行うこともできる。このような補正を行うことにより、より精度のよい算出をすることができる。
【００５６】
上述したＢｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔは、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ））
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−Ａｙ／ｔ）×（Ｂｘ／Ａｘ））
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂ’ｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））
と表される。
【００５７】
蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの第２の領域Ｂの積分強度ＢｔがＳｎの強度分であるとの仮定では、第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔが１００％Ｓｎのスペクトルであるとの仮定である。そのため、以下では、逆の仮定、すなわち第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔが１００％Ａｇであるとする補正を行う。すなわち、純Ａｇの場合を考慮して、Ｂｙ／ｔ＝０、Ｂ’ｙ／ｔ＝Ｂｔとする。
【００５８】
この場合、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））＝０
となる。
【００５９】
よって、
Ｂｔ＝（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））×（Ｂｘ／Ａｘ））
となる。
【００６０】
これにより、以下の式が導かれる。
（Ａｘ／Ｂｘ）＝（Ａｔ−（Ａｙ／Ｂｙ）×Ｂｔ）／Ｂｔ
（Ａｘ／Ｂｘ）＝（Ａｔ／Ｂｔ）−（Ａｙ／Ｂｙ）
【００６１】
よって、ＳｎＡｇ波形の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−（（Ａｔ−（Ｂｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）））／（（Ａｔ／Ｂｔ）−（Ａｙ／Ｂｙ）））
で求められる。
【００６２】
（２）第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔの算出方法の他の例（例ｂ−２）として、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔは、図６を参照して説明した第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔの算出手順と同様にして、以下の手順で算出することができる。
【００６３】
まず、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、Ａｇについて、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔの値を仮設定する。
【００６４】
次いで、上記の例と同様にしてＡｇの蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいて、第１の領域Ａの積分強度Ａｘの第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する。
【００６５】
この後、仮設定した第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔおよび強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝（Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する。
【００６６】
次いで、第２の領域ＢにおけるＡｇの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する。
【００６７】
また、Ｓｎの強度分の仮設定値Ｂ’ｙ／ｔを、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる第３の領域Ｃの蛍光Ｘ線スペクトルに基づき算出した場合（例ａ−２）は、この仮設定値Ｂ’ｙ／ｔをそのまま第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔとして本設定することもできる。
【００６８】
（濃度の算出）
以上の手順により、第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔおよび第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔが算出される。つづいて、これらの値に基づき、以下の式に基づき、Ａｇの濃度を算出することができる。
【００６９】
Ａｇ濃度（ｗｔ％）＝（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔ）／（（第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｙ／ｔ）＋（第２の領域ＢにおけるＳｎの強度分Ｂｙ／ｔ）×Ｃｆ）×１００
（Ｃｆは、フィッティングパラメータ）
【００７０】
フィッティングパラメータＣｆは、混合試料として、Ａｇ濃度（既知）を変化させた複数の試料を準備した測定値に基づき算出することができる。また、ここではＡｇの濃度について説明しているが、Ｓｎについても、同様にして濃度を算出することができる。
【００７１】
次に、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法の効果を説明する。
以上の実施の形態で説明した手順（例（ａ−１）および例（ｂ−１））に沿って、リフロー後のＳｎＡｇバンプのＡｇ濃度を測定した。ここで、純Ｓｎ標準試料の測定結果より、強度比（Ａｙ／Ｂｙ）は０．０４０９６、純Ａｇ標準試料の測定結果より、強度比（Ａｘ／Ｂｘ）は、２．８０７４４という値が得られた。また、混合試料として、Ａｇ濃度（既知）を変化させた複数の試料を準備した測定値に基づき、フィッティングパラメータＣｆ＝０．７６という結果が得られた。ここで、Ｃｆを求めるにあたって、Ｘ線入射角は１６°のデータを用いた。
【００７２】
図１２は、以上の実施の形態で説明した手順で得られたＡｇ濃度と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ−ＡＥＳ）により測定したＡｇ濃度とを示す図である。図１２の横軸が、ＩＣＰ−ＡＥＳによる測定値、縦軸は、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法により算出した値を示す。ここで、±０．０５ｗｔ％以内の精度で、Ａｇ濃度分析が可能だった。
【００７３】
本実施の形態において、Ａｇの積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、Ｓｎの積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂにおける積分強度を用いて、まず、Ｓｎの強度が高い第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔに基づき、Ｓｎについて、第２の領域Ｂにおける強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよびＳｎの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域ＡにおけるＳｎの強度分Ａｙ／ｔを算出した後、Ａｇの強度が高い第１の領域ＡにおけるＡｇの強度分Ａｘ／ｔを、Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔから算出している。
【００７４】
このように、Ａｇの濃度が高い第１の領域ＡのＡｇのみの積分強度を、ＡｔからＳｎの重なり分を引いた値として算出することにより、精度のよい組成分析を行うことができる。また、Ｓｎの重なり分も、Ｓｎの濃度が高い第２の領域ＢのＢｔに基づき算出しているので、精度のよい組成分析を行うことができる。本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、測定対象の試料が複数の元素を含み、かつ各元素の蛍光Ｘ線スペクトルが重なっている場合でも、複雑なアルゴリズムを使用しないため、処理時間が短く、システム構成を簡易にしつつ、精度のよい組成分析を行うことができる。
【００７５】
また、算出されるＡｇ濃度のエネルギーシフト依存性を調べた。図１０（ａ）は、標準（Ｒｅｆ）の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。図１０（ｂ）は、エネルギー値が０．０５ｋｅＶ低エネルギー側にシフトした場合の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。図１０（ｃ）は、エネルギー値が０．０５ｋｅＶ高エネルギー側にシフトした場合の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを示す。
【００７６】
また、図１１に結果を示す。エネルギーシフト±０．０２ｋｅＶの場合、Ａｇ濃度の変化は±０．０３ｗｔ％に収まった。さらに、エネルギーシフト±０．０５ｋｅＶとした場合でも、０．１ｗｔ％程度変動しただけだった。なお、実際の特性変動は、大きくても±０．０２ｋｅＶ程度であることから、本実施の形態における蛍光Ｘ線分析方法によれば、エネルギーシフトの影響により、スペクトルのピーク位置が変動したとしても、算出される組成値への影響を小さくすることができる。本実施の形態において、第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂそれぞれのエネルギー端が、スペクトル波形の傾きが小さい領域に設定されている。これにより、蛍光Ｘ線分析装置１００（測定部１３０）の経時変化により、スペクトルのピーク位置が変動したとしても、算出される濃度（組成値）への影響を小さくすることができる。
【００７７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００７８】
以上の実施の形態では、第１の元素ｘがＡｇ、第２の元素ｙがＳｎの場合を例として説明したが、これらは、逆としても、同様の処理を行うことができる。
【００７９】
また、以上の実施の形態では、第１の領域Ａと第２の領域Ｂとが互いに接している例を示したが、これらは、離れた領域であってもよい。
【００８０】
なお、蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに、上記で設定した第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂとは異なる領域に、他の複数の元素について、同様の条件で別の第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂを設定可能であれば、それらの元素についても、同様の手順で濃度を算出することができる。
【符号の説明】
【００８１】
１００ 蛍光Ｘ線分析装置
１０１ 解析処理部
１０２ スペクトルＳｔデータ取得部
１０４ 領域設定部
１０６ 強度比取得部
１０８ 強度算出部
１１０ 濃度算出部
１２０ スペクトルＳｔデータ記憶部
１２２ 標準試料データ記憶部
１２４ スペクトルＳｘデータ記憶部
１２６ スペクトルＳｙデータ記憶部
１３０ 測定部
１３２ 測定制御部
２００ 下限ライン
２０２ 上限ライン
２０４ 境界ライン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する工程と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する工程と、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程と、
を含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項２】
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出する工程において、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔ＝前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔと仮定して前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔおよび前記強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する工程と、
前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する工程と、
をさらに含み、
前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程において、前記本設定する工程で算出された前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する工程と、
前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘに基づき、前記第１の元素ｘについて、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔの値を仮設定し、仮設定した当該強度分Ａｘ／ｔおよび前記強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する工程と、
前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する工程と、
をさらに含み、
前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程において、前記本設定する工程で算出された前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘおよび他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルを含まない第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔを算出する工程と、
前記第２の標準試料の前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙの前記第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙに対する強度比（Ｂｙ／Ｃｙ）を取得する工程と、
をさらに含み、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出する工程において、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝（Ｂｙ／Ｃｙ）×Ｃｔ
として設定する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項６】
請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程において取得された前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第３の領域Ｃを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項７】
請求項１から６いずれかに記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程において取得された前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項８】
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得するスペクトルＳｔデータ取得部と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する強度算出部と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する強度比取得部と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する濃度算出部と、
を含み、
前記強度算出部は、さらに、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
を行う蛍光Ｘ線分析システム。
【請求項９】
請求項８に記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記スペクトルＳｔデータ取得部が取得した前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する領域設定部をさらに含む蛍光Ｘ線分析システム。
【請求項１０】
コンピュータを、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する手段、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する手段、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する手段、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する手段、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する手段、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する手段が算出した前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する手段、
として機能させる蛍光Ｘ線分析プログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の蛍光Ｘ線分析プログラムにおいて、
コンピュータを、さらに、前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する手段が取得した前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析プログラム。
【請求項１】
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する工程と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する工程と、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程と、
を含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項２】
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出する工程において、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔ＝前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｔと仮定して前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘの、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する工程において算出された前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔおよび前記強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する工程と、
前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する工程と、
をさらに含み、
前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程において、前記本設定する工程で算出された前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｘに対する強度比（Ａｘ／Ｂｘ）を取得する工程と、
前記第１の領域Ａの積分強度Ａｘに基づき、前記第１の元素ｘについて、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔの値を仮設定し、仮設定した当該強度分Ａｘ／ｔおよび前記強度比（Ａｘ／Ｂｘ）に基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔを、
Ｂｘ／ｔ＝Ａｘ／ｔ×（Ｂｘ／Ａｘ）
から算出する工程と、
前記第２の領域Ｂにおける前記第１の元素ｘの強度分Ｂｘ／ｔに基づき、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝Ｂｔ−Ｂｘ／ｔ
から算出して本設定する工程と、
をさらに含み、
前記第１の元素ｘの濃度を算出する工程において、前記本設定する工程で算出された前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘおよび他の元素の蛍光Ｘ線スペクトルを含まない第３の領域Ｃの積分強度Ｃｔを算出する工程と、
前記第２の標準試料の前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの、前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙの前記第３の領域Ｃの積分強度Ｃｙに対する強度比（Ｂｙ／Ｃｙ）を取得する工程と、
をさらに含み、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを算出する工程において、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔを、
Ｂｙ／ｔ＝（Ｂｙ／Ｃｙ）×Ｃｔ
として設定する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項６】
請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程において取得された前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第３の領域Ｃを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項７】
請求項１から６いずれかに記載の蛍光Ｘ線分析方法において、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する工程において取得された前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項８】
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得するスペクトルＳｔデータ取得部と、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する強度算出部と、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する強度比取得部と、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する濃度算出部と、
を含み、
前記強度算出部は、さらに、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する工程と、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する工程と、
を行う蛍光Ｘ線分析システム。
【請求項９】
請求項８に記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、
前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記スペクトルＳｔデータ取得部が取得した前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する領域設定部をさらに含む蛍光Ｘ線分析システム。
【請求項１０】
コンピュータを、
第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する手段、
前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔに基づき、当該蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲において、それぞれ前記第１の元素ｘおよび前記第２の元素ｙの各Ｘ線スペクトルを含むとともに、前記第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａで第２の領域Ｂよりも高く、前記第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が前記第２の領域Ｂで前記第１の領域Ａよりも高くなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出する手段、
前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙにおいて、前記第１の領域Ａの積分強度Ａｙの前記第２の領域Ｂの積分強度Ｂｙに対する強度比（Ａｙ／Ｂｙ）を取得する手段、
前記第２の領域Ｂの前記積分強度Ｂｔに基づき、前記第２の元素ｙについて、前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂｙ／ｔおよび前記強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔを、
Ａｙ／ｔ＝Ｂｙ／ｔ×（Ａｙ／Ｂｙ）
から算出する手段、
前記第１の領域Ａにおける前記第２の元素ｙの強度分Ａｙ／ｔに基づき、前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを、
Ａｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａｙ／ｔ
から算出する手段、
前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔを算出する手段が算出した前記第１の領域Ａにおける前記第１の元素ｘの強度分Ａｘ／ｔ、および前記第２の領域Ｂにおける前記第２の元素ｙの強度分Ｂｙ／ｔに基づき、前記第１の元素ｘの濃度を算出する手段、
として機能させる蛍光Ｘ線分析プログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の蛍光Ｘ線分析プログラムにおいて、
コンピュータを、さらに、前記第１の元素ｘのみからなる第１の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｘおよび前記第２の元素ｙのみからなる第２の標準試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｙに基づき、前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔを取得する手段が取得した前記蛍光Ｘ線スペクトルＳｔの測定範囲から、前記第１の領域Ａおよび前記第２の領域Ｂを設定する工程をさらに含む蛍光Ｘ線分析プログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１１−１２２９２２（Ｐ２０１１−１２２９２２Ａ）
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２８０４３９（Ｐ２００９−２８０４３９）
【出願日】平成２１年１２月１０日（２００９．１２．１０）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月１０日（２００９．１２．１０）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]