蛍光X線分析装置
【課題】 蛍光X線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】 リング状に形成されかつ軸方向の一端部(端部)2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器2と、このX線発生器2で包囲された内部空間11に中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するようにかつX線発生器2の中心軸D上の一端部2a近傍に配置した試料10と対向するように挿入されると共に、1次X線aの照射により試料10から発生する蛍光X線bを検出するX線検出器3と、を備えた。
【解決手段】 リング状に形成されかつ軸方向の一端部(端部)2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器2と、このX線発生器2で包囲された内部空間11に中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するようにかつX線発生器2の中心軸D上の一端部2a近傍に配置した試料10と対向するように挿入されると共に、1次X線aの照射により試料10から発生する蛍光X線bを検出するX線検出器3と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、1次X線の照射により試料から発生する蛍光X線を検出してその試料の化学組成等を分析する蛍光X線分析装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の技術としては、X線管から発生する1次X線を1方向から試料に照射し、その試料から発生する蛍光X線を、他の方向に配備したX線検出器で検出する蛍光X線分析装置等が知られている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。
【特許文献1】特開平5−52775号公報(第2−5頁,図1等)
【特許文献2】特許第2674675号公報(第1−3頁,図1等)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
しかしながら、上記のような蛍光X線分析装置では、1次X線を1方向からしか試料に照射できないので、蛍光X線の励起・発生効率が低く、その検出感度が低いという問題点がある。
【0004】
また、X線管とX線検出器とが試料に対して異なる方向に配備されるので、装置の小型化が困難であるという問題点がある。
【0005】
本発明は、以上のような事情や問題点に鑑みてなされたものであり、蛍光X線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するための請求項1の発明は、リング状に形成されかつ軸方向の端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器と、このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、を備えたものである。
【0007】
請求項2の発明は、前記X線発生器の前記端部に前記1次X線を円錐面状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けたものである。
【0008】
請求項3の発明は、リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線を軸方向の端部から集束するように放射するX線発生器と、このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記複数の1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、を備えたものである。
【0009】
請求項4の発明は、前記X線発生器の前記端部に前記複数の1次X線をそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けたものである。
【0010】
請求項5の発明は、前記X線集束器及び前記X線集光素子をそれぞれ軸方向に移動自在としたものである。
【0011】
請求項6の発明は、リング状に形成されかつ前記1次X線の照射範囲を制限するコリメータを前記X線発生器の前記端部近傍又は内部に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように配置したものである。
【0012】
請求項7の発明は、前記コリメータをその軸方向に移動自在としたものである。
【発明の効果】
【0013】
請求項1の発明によれば、リング状に形成されたX線発生器の一端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するようにして試料に照射できるので、蛍光X線の励起・発生効率及びその検出感度の向上を図ることができる。また、X線発生器とX線検出器とを同軸に(互いの中心軸が一致するように)配置できると共に、X線発生器の中心軸上に試料を配置できるので、装置の小型化を図ることができると共に、大きな立体角で効率良く蛍光X線を検出でき、その検出効率及び検出限界の向上を図ることができる。
【0014】
請求項2の発明によれば、1次X線を円錐面状に絞って集束させ、測定すべき試料中の微小空間に対して1次X線を四方八方から効率的に照射できるので、その微小空間から蛍光X線を効率良く発生させることができる。また、発生する高強度の蛍光X線を、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子を用いて高検出効率で検出することができる。更に、試料を3次元的に走査すれば、試料の3次元元素分布を高感度に得ることができる。
【0015】
請求項3の発明によれば、リング状に形成されたX線発生器の端部から複数の1次X線を集束するように試料に照射できるので、請求項1の発明と比較すれば効果は少し劣るものの、蛍光X線の検出感度の向上や装置の小型化を十分に図ることができる。
【0016】
請求項4の発明によれば、請求項2の発明と比較すれば効果は少し劣るものの、前記微小空間から蛍光X線を効率良く発生可能であると共に、発生する高強度の蛍光X線を、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子を用いて高検出効率で検出することができる。
【0017】
請求項5及び請求項7の発明によれば、試料に対する1次X線の照射角度を変化させることができるので、試料に対する分析深さを適宜に変更することができる。
【0018】
請求項6の発明によれば、1次X線の照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
第1実施形態に係る蛍光X線分析装置1は、図1及び図2に示すように、X線発生器2と、X線検出器3とを備えたものである。
【0020】
X線発生器2は、図1〜図3に示すように、リング状のX線管で構成されており、その軸方向の一端部(端部)2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するように放射可能とされている。このX線発生器2は、円管状の外管4と、この外管4内に挿入された円管状の内管5とを備え、軸方向の一端部2a及び他端部2bをそれぞれ閉塞した密閉型の2重管構造とされている。X線発生器2の内部6は、適宜の真空度に保持されている。なお、X線発生器2の軸方向の長さは特に限定されるものではなく、図1に例示したものより短くても長くてもよい。また、X線発生器2は、リング状の1次X線aの少なくとも一部が集束するように放射できればよいが、リング状の1次X線aの全部が集束するように放射可能であってもよい。
【0021】
X線発生器2の一端部2aの内側には、図1及び図3に示すように、ベリリウム(B)等からなるリング状のX線透過窓7が設けられている。図1、図2、及び図4に示すように、X線発生器2の内部6の他端部2b側にはリング状のフィラメント(熱陰極)8が設けられており、一端部2a側にはリング状に形成された透過型のターゲット(陽極)9が設けられている。フィラメント8には電源(図示せず)が接続されており、ターゲット9には高電圧電源(図示せず)が接続されている。そのため、フィラメント8に電圧を印加すれば、図1に示すように、リング状の電子線eがフィラメント8から一端部2a側に向かって発生する。このリング状の電子線eはターゲット9の一面9aに入射し、ターゲット9の他面9bからリング状の1次X線aが出射する。このリング状の1次X線aは、X線透過窓7を透過してX線発生器2の一端部2aから放射される。なお、ターゲット9は本実施形態のような透過型のものに限定されるものではなく、電子線eが入射した面から1次X線aを放射する反射型のものを採用することもできる。
【0022】
X線検出器3は、図1及び図2に示すように、X線発生器2で包囲された内部空間11に、中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するように、かつ、X線発生器2の中心軸D上の一端部2a近傍に配置した試料10と対向するように挿入されており、1次X線aの照射により試料10から発生する蛍光X線bを検出できるようになっている。
【0023】
試料10は、図1に示すように、X線発生器2の中心軸Dに対して平行方向(図1では上下方向)に移動自在で、かつ、前記中心軸Dに対して直角方向の面内(図1では水平面内)で移動自在な試料ステージ(図示せず)に着脱自在に支持されている。なお、本実施形態ではX線発生器2の中心軸Dが鉛直方向となり、X線検出器3の上方に試料10が支持されるように構成しているが、これに限定されるものではなく、X線発生器2の中心軸Dの方向やその一端部2aの向きを適宜に変えてX線検出器3の下方、側方、斜め上方、又は斜め下方に試料10が支持されるように構成してもよい。
【0024】
上記のように構成された蛍光X線分析装置1によれば、リング状に形成されたX線発生器2の一端部2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するようにして試料10に照射できるので、蛍光X線bの励起・発生効率及びその検出感度の向上を図ることができるという利点がある。また、X線発生器2とX線検出器3とを同軸に配置できると共に、X線発生器2の中心軸D上に試料10を配置できるので、装置の小型化を図ることができると共に、大きな立体角で効率良く蛍光X線bを検出でき、その検出効率及び検出限界の向上を図ることができるという利点がある。
【0025】
ここで、本実施形態のように、リング状に形成されかつ1次X線aの照射範囲を制限するコリメータ12,13をX線発生器2の一端部2a近傍に中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するように配置しておけば、1次X線aの照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができるという利点がある。
【0026】
X線発生器2の一端部2aと試料10との間に配置されたコリメータ12は鉛(Pb)等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部12aが設けられている。このコリメータ12は、X線透過窓7から放射される1次X線aの照射範囲を上方(一端部2a側)から制限するものであり、X線透過窓7から放射された1次X線aはコリメータ12の開口部12aを通過する。また、試料10から発生した蛍光X線bも、コリメータ12の開口部12aを通過する。
【0027】
一方、X線発生器2の内部空間11に配置されたコリメータ13も鉛等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部13aが設けられている。このコリメータ13は、X線透過窓7から放射される1次X線aの照射範囲を下方(他端部2b側)から制限するものであり、コリメータ12の開口部12aを通過した蛍光X線bはコリメータ13の開口部13aも通過してX線検出器3により検出される。
【0028】
なお、これらのコリメータ12,13を配備しない場合は、X線透過窓7の幅を小さくする等して1次X線aの放射範囲を絞っておいてもよい。また、コリメータ12,13の構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種の技術を採用することができる。
【0029】
第2実施形態に係る蛍光X線分析装置21は、図5に示すように、第1実施形態において、コリメータ12を下方に突出した円錐面状に形成すると共に、コリメータ12,13をそれぞれ軸方向に移動自在としたものである。
【0030】
コリメータ12,13は、適宜の移動手段によりそれぞれ軸方向に移動自在とされている。なお、本実施形態ではコリメータ12を下方に突出した円錐面状に形成しているが、これに限定されるものではなく、フラットなリング状や上方に突出した円錐面状等であってもよい。また、コリメータ13も、フラットなリング状や下方に突出した円錐面状等に形成してもよい。
【0031】
このように、コリメータ12,13をそれぞれ軸方向に移動自在としておけば、試料10に対する1次X線aの照射角度を変化させることができるので、試料10に対する分析深さを適宜に変更できるという利点がある。また、試料10に対する1次X線aの照射角度を、全反射を満たす角度から大きな入射角となる角度まで調整可能としておけば、試料10に対する分析深さの変更幅を大きくすることができる。
【0032】
第3実施形態に係る蛍光X線分析装置31は、図6及び図7に示すように、X線発生器32と、第1実施形態と同様のX線検出器3とを備えたものである。
【0033】
X線発生器32は、リング状でかつその内部空間11における軸方向の一端部(端部)32a側が閉塞されたグロー放電管で構成されており、一端部32aからリング状の1次X線aを集束するように放射可能とされている。このX線発生器32は、円管状の外管33及びこの外管33内に複数の支持部材(図示せず)で支持された円管状の内管34からなる2重管構造のアノード35と、外管33の軸方向の一端部33aに固定された円錐面状のターゲット36と、内管34の軸方向の一端部34aに固定されたリング状(円管状)のコリメータ37と、外管33の軸方向の他端部33b及び内管34の軸方向の他端部34bに大小2つのO−リング38,39を介して固定された図6〜図8のようなリング状のカソード40とを備えている。O−リング38は、外管33の他端部33bに嵌着される。O−リング39は、内管34の他端部34bに嵌着される。
【0034】
ターゲット36は上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部にベリリウム等からなる円板状のX線透過窓41が設けられている。ターゲット36の材質としては、銅(Cu)、モリブデン(Mo)等が挙げられる。アノード35の材質としては、真鍮〔銅と亜鉛(Zn)の合金〕等が挙げられる。カソード40の材質としては、アルミニウム(Al)、銅等が挙げられる。O−リング38,39の材質としては、ゴム(シリコーンゴム等)等が挙げられる。
【0035】
コリメータ37の内部空間42の一端部32a側はX線透過窓41に面しており、内部空間42におけるX線発生器32の他端部32b側はベリリウム等からなる円板状のX線透過窓43で閉塞されている。コリメータ37の材質としては、銅、真鍮等が挙げられる。なお、コリメータ37の厚さをより大きくすれば、1次X線aの照射範囲をより絞ることができる。
【0036】
上記のようにして密閉されたX線発生器32の内部6には、グロー放電用のガス〔アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)等〕が1Torr以下程度の圧力(通常のグロー放電の条件よりも低圧)で封入されている。なお、X線発生器32の軸方向の長さは特に限定されるものではなく、図6に例示したものより短くても長くてもよい。また、X線発生器32は、第1実施形態のように、その内部空間11を閉塞しないで構成することもできる。更に、真空ポンプ等の減圧手段と、グロー放電用のガスを供給するガス供給手段とをX線発生器32に接続しておき、X線発生器32の内部6の減圧及び内部6へのガス供給を試料の分析の都度行うようにしてもよい。
【0037】
アノード35とカソード40との間に15kV程度の電圧(通常のグロー放電の条件よりも高電圧)を印加すれば、図6に示すように、リング状の電子線eがカソード40から一端部32a側に向かって発生する。このリング状の電子線eはターゲット36に入射し、ターゲット36からリング状の1次X線aが集束するように出射する。このリング状の1次X線aは、X線透過窓41を透過してX線発生器32の一端部32aから放射される。なお、ターゲット36は本実施形態のような反射型のものに限定されるものではなく、電子線eが入射した面と反対の面から1次X線aを放射する透過型のものを採用することもできる。
【0038】
X線検出器3や試料10は第1実施形態と同様にして配置されており、1次X線aの照射により試料10から発生した蛍光X線bは、X線透過窓41、コリメータ37の内部空間42、及びX線透過窓43を透過してX線検出器3により検出される。
【0039】
上記のように構成された蛍光X線分析装置31によれば、リング状に形成されたX線発生器32の一端部32aからリング状の1次X線aを集束するように試料10に照射できるので、第1実施形態と同様の利点がある。
【0040】
ここで、本実施形態のように、リング状に形成されかつ1次X線aの照射範囲を制限するコリメータ37をX線発生器32の内部6に中心軸がX線発生器32の中心軸Dと一致するように配置しておけば、1次X線aの照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができるという利点がある。
【0041】
第4実施形態に係る蛍光X線分析装置51は、図9及び図10に示すように、X線発生器52と、第1実施形態と同様のX線検出器3とを備えたものである。
【0042】
X線発生器52は、第3実施形態と同様、リング状でかつその内部空間11における軸方向の一端部(端部)52a側が閉塞されたグロー放電管で構成されているが、一端部52aから複数の1次X線aを集束するように放射可能とされている。このX線発生器52は、リング状に形成されかつ軸方向に対して平行な複数の貫通孔53が周方向に互いに間隔を開けて並設されたアノード54と、このアノード54の軸方向の一端部54aの外縁に固定された円錐面状のターゲット36と、アノード54の一端部54aにおける貫通孔53の内側に固定されたリング状のコリメータ37と、アノード54の軸方向の他端部54bに大小2つのO−リング38,39を介して固定されたリング状のカソード40とを備えている。
【0043】
第3実施形態と同様、コリメータ37の内部空間42の一端部52a側はX線透過窓41に面しており、内部空間42におけるX線発生器52の他端部52b側はベリリウム等からなる円板状のX線透過窓43で閉塞されている。
【0044】
アノード54とカソード40との間に15kV程度の電圧を印加すれば、図9に示すように、各貫通孔53をそれぞれ通過する複数の電子線eがカソード40から一端部52a側に向かって発生する。これら複数の電子線eはターゲット36にそれぞれ入射し、ターゲット36から複数の1次X線aが集束するように出射する。これら複数の1次X線aは、X線透過窓41を透過してX線発生器52の一端部52aから放射される。なお、X線発生器52は、アノード54とカソード40とターゲット36とで構成されて軸方向の端部から1つの1次X線aを放射するグロー放電管タイプの複数のX線発生手段、又は、軸方向の端部から1つの1次X線aを放射するX線管タイプの複数のX線発生手段を円状に互いに間隔を開けて配置することによって、リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線aを軸方向の端部から集束するように放射可能としてもよい。
【0045】
X線検出器3や試料10は第3実施形態と同様にして配置されており、複数の1次X線aの照射により試料10から発生した蛍光X線bは、X線透過窓41、コリメータ37の内部空間42、及びX線透過窓43を透過してX線検出器3により検出される。
【0046】
上記のように構成された蛍光X線分析装置51によれば、リング状に形成されたX線発生器52の一端部52aから複数の1次X線aを集束するように試料10に照射できるので、第1〜第3実施形態と比較すれば効果は少し劣るものの、蛍光X線の検出感度の向上や装置の小型化を十分に図ることができるという利点がある。
【0047】
第5実施形態に係る蛍光X線分析装置61は、図11及び図12に示すように、第3実施形態において、第3実施形態とほぼ同様のX線発生器62の一端部(端部)62aに1次X線aを円錐面状に絞って集束させるX線集束器63をその中心軸がX線発生器62の中心軸と一致するように設けると共に、X線発生器62の内部6にX線集光素子64をその中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するように設けた3次元共焦点型−微小空間蛍光X線測定タイプのものである。
【0048】
X線集束器63は、大小2つの反射鏡65,66で構成されている。反射鏡65,66はそれぞれ銅や真鍮等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部65a,66aがそれぞれ設けられている。反射鏡65,66は互いの中心軸が一致し、かつ、X線発生器62の中心軸と一致するように設けられている。反射鏡65,66同士の間には、隙間67が形成されている。X線発生器62から隙間67に入射した1次X線aは、隙間67内で全反射を繰り返しながら円錐面状に絞られた状態で集束するようにX線集束器63から出射する。なお、X線収束器63は、ポリキャピラリー等を上記2つの反射鏡65,66間の隙間67に相当する空間に配置することによっても実現される。つまり、複数のキャピラリーを円錐状に配置することにより、個々のキャピラリーを通過する1次X線aが同一の焦点Oに集光される。また、X線収束器63は、1次X線aを1点に集光する目的のみならず、ある特定の箇所から発生した蛍光X線bをリング状に効率良く取り込む目的にも使用することができる。よって、X線収束器63を、蛍光X線bをリング状に取り込む目的で使用する場合、リング状のX線検出器3を使用すれば、より効率良く蛍光X線bを検出することができる。
【0049】
X線集光素子64は、蛍光X線bを検出するためのシングルキャピラリー又はポリキャピラリーで構成されており、その中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するようにX線発生器62の内部6に設けられている。そのため、試料10中の適宜の微小空間にX線集束器63の焦点Oを合わせると共に、その焦点OにX線集光素子64の焦点を更に合わせておけば、微小空間から発生した蛍光X線bのみをX線検出器3で検出することができる。なお、X線集光素子64は、本実施形態のようにその一部がX線発生器62の外部に露出するように設けてもよいし、あるいは、X線発生器62の外部に設けてもよい。
【0050】
ここで、X線集束器63及びX線集光素子64をそれぞれ軸方向に移動自在としておけば、試料10に対する1次X線aの照射角度を変化させることができるので、試料10に対する分析深さを適宜に変更できるという利点がある。また、試料10に対する1次X線aの照射角度を、全反射を満たす角度から大きな入射角となる角度まで調整可能としておけば、試料10に対する分析深さの変更幅を大きくすることができる。
【0051】
従来の共焦点型−微小空間蛍光X線分析装置では、微小空間での蛍光X線bを励起するための1次X線aは1本のキャピラリー等によって1方向から行われるので、蛍光X線bの発生効率は良くない。これに対し、上記のように構成された蛍光X線分析装置61によれば、1次X線aを円錐面状に絞って集束させ、測定すべき試料10中の微小空間に対して1次X線aを四方八方から効率的に照射できるので、その微小空間から蛍光X線bを効率良く発生させることができる。更に、発生する高強度の蛍光X線bを、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子64により高感度に検出できるという利点がある。加えて、試料10を3次元的に走査すれば、試料10の3次元元素分布を高感度に得ることができるという利点がある。
【0052】
なお、X線発生器62としては、第4実施形態におけるX線発生器52のような複数の1次X線aを集束するように放射可能なタイプのものも採用することができる。即ち、X線集束器63やX線集光素子64は、本実施形態と同様にして第4実施形態のような蛍光X線分析装置51に配備することもできる。この場合、X線発生器52の一端部52aに複数の1次X線aをそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器63をその中心軸がX線発生器62の中心軸と一致するように設けると共に、X線発生器62の内部6又は外部にX線集光素子64をその中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するように設けておけばよい。このような蛍光X線分析装置によれば、本実施形態と比較すれば効果は少し劣るものの、試料10中の微小空間の蛍光X線分析が可能であると共に、その微小空間から発生する蛍光X線bを高感度に検出できるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【0053】
本発明は、1次X線の照射により試料から発生する蛍光X線を検出してその試料の化学組成等を分析する蛍光X線分析装置として有用であり、特に、蛍光X線の検出感度の向上及び装置の小型化を図る場合に好適である。
【図面の簡単な説明】
【0054】
【図1】第1実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図2】図1のA−A線断面図。
【図3】X線発生器の平面図。
【図4】ターゲットの平面図。
【図5】第2実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図6】第3実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図7】図1のE−E線断面図。
【図8】カソードの平面図。
【図9】第4実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図10】図9のF−F線断面図。
【図11】第5実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図12】図11の要部拡大図。
【符号の説明】
【0055】
1,21,31,51,61 蛍光X線分析装置
2,32,52,62 X線発生器
2a,32a,52a,62a 一端部(端部)
D 中心軸
3 X線検出器
a 1次X線
b 蛍光X線
10 試料
11 内部空間
12,13,37 コリメータ
63 X線集束器
O 焦点
64 X線集光素子
【技術分野】
【0001】
本発明は、1次X線の照射により試料から発生する蛍光X線を検出してその試料の化学組成等を分析する蛍光X線分析装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の技術としては、X線管から発生する1次X線を1方向から試料に照射し、その試料から発生する蛍光X線を、他の方向に配備したX線検出器で検出する蛍光X線分析装置等が知られている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。
【特許文献1】特開平5−52775号公報(第2−5頁,図1等)
【特許文献2】特許第2674675号公報(第1−3頁,図1等)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
しかしながら、上記のような蛍光X線分析装置では、1次X線を1方向からしか試料に照射できないので、蛍光X線の励起・発生効率が低く、その検出感度が低いという問題点がある。
【0004】
また、X線管とX線検出器とが試料に対して異なる方向に配備されるので、装置の小型化が困難であるという問題点がある。
【0005】
本発明は、以上のような事情や問題点に鑑みてなされたものであり、蛍光X線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するための請求項1の発明は、リング状に形成されかつ軸方向の端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器と、このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、を備えたものである。
【0007】
請求項2の発明は、前記X線発生器の前記端部に前記1次X線を円錐面状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けたものである。
【0008】
請求項3の発明は、リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線を軸方向の端部から集束するように放射するX線発生器と、このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記複数の1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、を備えたものである。
【0009】
請求項4の発明は、前記X線発生器の前記端部に前記複数の1次X線をそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けたものである。
【0010】
請求項5の発明は、前記X線集束器及び前記X線集光素子をそれぞれ軸方向に移動自在としたものである。
【0011】
請求項6の発明は、リング状に形成されかつ前記1次X線の照射範囲を制限するコリメータを前記X線発生器の前記端部近傍又は内部に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように配置したものである。
【0012】
請求項7の発明は、前記コリメータをその軸方向に移動自在としたものである。
【発明の効果】
【0013】
請求項1の発明によれば、リング状に形成されたX線発生器の一端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するようにして試料に照射できるので、蛍光X線の励起・発生効率及びその検出感度の向上を図ることができる。また、X線発生器とX線検出器とを同軸に(互いの中心軸が一致するように)配置できると共に、X線発生器の中心軸上に試料を配置できるので、装置の小型化を図ることができると共に、大きな立体角で効率良く蛍光X線を検出でき、その検出効率及び検出限界の向上を図ることができる。
【0014】
請求項2の発明によれば、1次X線を円錐面状に絞って集束させ、測定すべき試料中の微小空間に対して1次X線を四方八方から効率的に照射できるので、その微小空間から蛍光X線を効率良く発生させることができる。また、発生する高強度の蛍光X線を、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子を用いて高検出効率で検出することができる。更に、試料を3次元的に走査すれば、試料の3次元元素分布を高感度に得ることができる。
【0015】
請求項3の発明によれば、リング状に形成されたX線発生器の端部から複数の1次X線を集束するように試料に照射できるので、請求項1の発明と比較すれば効果は少し劣るものの、蛍光X線の検出感度の向上や装置の小型化を十分に図ることができる。
【0016】
請求項4の発明によれば、請求項2の発明と比較すれば効果は少し劣るものの、前記微小空間から蛍光X線を効率良く発生可能であると共に、発生する高強度の蛍光X線を、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子を用いて高検出効率で検出することができる。
【0017】
請求項5及び請求項7の発明によれば、試料に対する1次X線の照射角度を変化させることができるので、試料に対する分析深さを適宜に変更することができる。
【0018】
請求項6の発明によれば、1次X線の照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
第1実施形態に係る蛍光X線分析装置1は、図1及び図2に示すように、X線発生器2と、X線検出器3とを備えたものである。
【0020】
X線発生器2は、図1〜図3に示すように、リング状のX線管で構成されており、その軸方向の一端部(端部)2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するように放射可能とされている。このX線発生器2は、円管状の外管4と、この外管4内に挿入された円管状の内管5とを備え、軸方向の一端部2a及び他端部2bをそれぞれ閉塞した密閉型の2重管構造とされている。X線発生器2の内部6は、適宜の真空度に保持されている。なお、X線発生器2の軸方向の長さは特に限定されるものではなく、図1に例示したものより短くても長くてもよい。また、X線発生器2は、リング状の1次X線aの少なくとも一部が集束するように放射できればよいが、リング状の1次X線aの全部が集束するように放射可能であってもよい。
【0021】
X線発生器2の一端部2aの内側には、図1及び図3に示すように、ベリリウム(B)等からなるリング状のX線透過窓7が設けられている。図1、図2、及び図4に示すように、X線発生器2の内部6の他端部2b側にはリング状のフィラメント(熱陰極)8が設けられており、一端部2a側にはリング状に形成された透過型のターゲット(陽極)9が設けられている。フィラメント8には電源(図示せず)が接続されており、ターゲット9には高電圧電源(図示せず)が接続されている。そのため、フィラメント8に電圧を印加すれば、図1に示すように、リング状の電子線eがフィラメント8から一端部2a側に向かって発生する。このリング状の電子線eはターゲット9の一面9aに入射し、ターゲット9の他面9bからリング状の1次X線aが出射する。このリング状の1次X線aは、X線透過窓7を透過してX線発生器2の一端部2aから放射される。なお、ターゲット9は本実施形態のような透過型のものに限定されるものではなく、電子線eが入射した面から1次X線aを放射する反射型のものを採用することもできる。
【0022】
X線検出器3は、図1及び図2に示すように、X線発生器2で包囲された内部空間11に、中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するように、かつ、X線発生器2の中心軸D上の一端部2a近傍に配置した試料10と対向するように挿入されており、1次X線aの照射により試料10から発生する蛍光X線bを検出できるようになっている。
【0023】
試料10は、図1に示すように、X線発生器2の中心軸Dに対して平行方向(図1では上下方向)に移動自在で、かつ、前記中心軸Dに対して直角方向の面内(図1では水平面内)で移動自在な試料ステージ(図示せず)に着脱自在に支持されている。なお、本実施形態ではX線発生器2の中心軸Dが鉛直方向となり、X線検出器3の上方に試料10が支持されるように構成しているが、これに限定されるものではなく、X線発生器2の中心軸Dの方向やその一端部2aの向きを適宜に変えてX線検出器3の下方、側方、斜め上方、又は斜め下方に試料10が支持されるように構成してもよい。
【0024】
上記のように構成された蛍光X線分析装置1によれば、リング状に形成されたX線発生器2の一端部2aからリング状の1次X線aをその少なくとも一部が集束するようにして試料10に照射できるので、蛍光X線bの励起・発生効率及びその検出感度の向上を図ることができるという利点がある。また、X線発生器2とX線検出器3とを同軸に配置できると共に、X線発生器2の中心軸D上に試料10を配置できるので、装置の小型化を図ることができると共に、大きな立体角で効率良く蛍光X線bを検出でき、その検出効率及び検出限界の向上を図ることができるという利点がある。
【0025】
ここで、本実施形態のように、リング状に形成されかつ1次X線aの照射範囲を制限するコリメータ12,13をX線発生器2の一端部2a近傍に中心軸がX線発生器2の中心軸Dと一致するように配置しておけば、1次X線aの照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができるという利点がある。
【0026】
X線発生器2の一端部2aと試料10との間に配置されたコリメータ12は鉛(Pb)等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部12aが設けられている。このコリメータ12は、X線透過窓7から放射される1次X線aの照射範囲を上方(一端部2a側)から制限するものであり、X線透過窓7から放射された1次X線aはコリメータ12の開口部12aを通過する。また、試料10から発生した蛍光X線bも、コリメータ12の開口部12aを通過する。
【0027】
一方、X線発生器2の内部空間11に配置されたコリメータ13も鉛等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部13aが設けられている。このコリメータ13は、X線透過窓7から放射される1次X線aの照射範囲を下方(他端部2b側)から制限するものであり、コリメータ12の開口部12aを通過した蛍光X線bはコリメータ13の開口部13aも通過してX線検出器3により検出される。
【0028】
なお、これらのコリメータ12,13を配備しない場合は、X線透過窓7の幅を小さくする等して1次X線aの放射範囲を絞っておいてもよい。また、コリメータ12,13の構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種の技術を採用することができる。
【0029】
第2実施形態に係る蛍光X線分析装置21は、図5に示すように、第1実施形態において、コリメータ12を下方に突出した円錐面状に形成すると共に、コリメータ12,13をそれぞれ軸方向に移動自在としたものである。
【0030】
コリメータ12,13は、適宜の移動手段によりそれぞれ軸方向に移動自在とされている。なお、本実施形態ではコリメータ12を下方に突出した円錐面状に形成しているが、これに限定されるものではなく、フラットなリング状や上方に突出した円錐面状等であってもよい。また、コリメータ13も、フラットなリング状や下方に突出した円錐面状等に形成してもよい。
【0031】
このように、コリメータ12,13をそれぞれ軸方向に移動自在としておけば、試料10に対する1次X線aの照射角度を変化させることができるので、試料10に対する分析深さを適宜に変更できるという利点がある。また、試料10に対する1次X線aの照射角度を、全反射を満たす角度から大きな入射角となる角度まで調整可能としておけば、試料10に対する分析深さの変更幅を大きくすることができる。
【0032】
第3実施形態に係る蛍光X線分析装置31は、図6及び図7に示すように、X線発生器32と、第1実施形態と同様のX線検出器3とを備えたものである。
【0033】
X線発生器32は、リング状でかつその内部空間11における軸方向の一端部(端部)32a側が閉塞されたグロー放電管で構成されており、一端部32aからリング状の1次X線aを集束するように放射可能とされている。このX線発生器32は、円管状の外管33及びこの外管33内に複数の支持部材(図示せず)で支持された円管状の内管34からなる2重管構造のアノード35と、外管33の軸方向の一端部33aに固定された円錐面状のターゲット36と、内管34の軸方向の一端部34aに固定されたリング状(円管状)のコリメータ37と、外管33の軸方向の他端部33b及び内管34の軸方向の他端部34bに大小2つのO−リング38,39を介して固定された図6〜図8のようなリング状のカソード40とを備えている。O−リング38は、外管33の他端部33bに嵌着される。O−リング39は、内管34の他端部34bに嵌着される。
【0034】
ターゲット36は上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部にベリリウム等からなる円板状のX線透過窓41が設けられている。ターゲット36の材質としては、銅(Cu)、モリブデン(Mo)等が挙げられる。アノード35の材質としては、真鍮〔銅と亜鉛(Zn)の合金〕等が挙げられる。カソード40の材質としては、アルミニウム(Al)、銅等が挙げられる。O−リング38,39の材質としては、ゴム(シリコーンゴム等)等が挙げられる。
【0035】
コリメータ37の内部空間42の一端部32a側はX線透過窓41に面しており、内部空間42におけるX線発生器32の他端部32b側はベリリウム等からなる円板状のX線透過窓43で閉塞されている。コリメータ37の材質としては、銅、真鍮等が挙げられる。なお、コリメータ37の厚さをより大きくすれば、1次X線aの照射範囲をより絞ることができる。
【0036】
上記のようにして密閉されたX線発生器32の内部6には、グロー放電用のガス〔アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)等〕が1Torr以下程度の圧力(通常のグロー放電の条件よりも低圧)で封入されている。なお、X線発生器32の軸方向の長さは特に限定されるものではなく、図6に例示したものより短くても長くてもよい。また、X線発生器32は、第1実施形態のように、その内部空間11を閉塞しないで構成することもできる。更に、真空ポンプ等の減圧手段と、グロー放電用のガスを供給するガス供給手段とをX線発生器32に接続しておき、X線発生器32の内部6の減圧及び内部6へのガス供給を試料の分析の都度行うようにしてもよい。
【0037】
アノード35とカソード40との間に15kV程度の電圧(通常のグロー放電の条件よりも高電圧)を印加すれば、図6に示すように、リング状の電子線eがカソード40から一端部32a側に向かって発生する。このリング状の電子線eはターゲット36に入射し、ターゲット36からリング状の1次X線aが集束するように出射する。このリング状の1次X線aは、X線透過窓41を透過してX線発生器32の一端部32aから放射される。なお、ターゲット36は本実施形態のような反射型のものに限定されるものではなく、電子線eが入射した面と反対の面から1次X線aを放射する透過型のものを採用することもできる。
【0038】
X線検出器3や試料10は第1実施形態と同様にして配置されており、1次X線aの照射により試料10から発生した蛍光X線bは、X線透過窓41、コリメータ37の内部空間42、及びX線透過窓43を透過してX線検出器3により検出される。
【0039】
上記のように構成された蛍光X線分析装置31によれば、リング状に形成されたX線発生器32の一端部32aからリング状の1次X線aを集束するように試料10に照射できるので、第1実施形態と同様の利点がある。
【0040】
ここで、本実施形態のように、リング状に形成されかつ1次X線aの照射範囲を制限するコリメータ37をX線発生器32の内部6に中心軸がX線発生器32の中心軸Dと一致するように配置しておけば、1次X線aの照射範囲を必要な範囲に簡単に絞ることができるという利点がある。
【0041】
第4実施形態に係る蛍光X線分析装置51は、図9及び図10に示すように、X線発生器52と、第1実施形態と同様のX線検出器3とを備えたものである。
【0042】
X線発生器52は、第3実施形態と同様、リング状でかつその内部空間11における軸方向の一端部(端部)52a側が閉塞されたグロー放電管で構成されているが、一端部52aから複数の1次X線aを集束するように放射可能とされている。このX線発生器52は、リング状に形成されかつ軸方向に対して平行な複数の貫通孔53が周方向に互いに間隔を開けて並設されたアノード54と、このアノード54の軸方向の一端部54aの外縁に固定された円錐面状のターゲット36と、アノード54の一端部54aにおける貫通孔53の内側に固定されたリング状のコリメータ37と、アノード54の軸方向の他端部54bに大小2つのO−リング38,39を介して固定されたリング状のカソード40とを備えている。
【0043】
第3実施形態と同様、コリメータ37の内部空間42の一端部52a側はX線透過窓41に面しており、内部空間42におけるX線発生器52の他端部52b側はベリリウム等からなる円板状のX線透過窓43で閉塞されている。
【0044】
アノード54とカソード40との間に15kV程度の電圧を印加すれば、図9に示すように、各貫通孔53をそれぞれ通過する複数の電子線eがカソード40から一端部52a側に向かって発生する。これら複数の電子線eはターゲット36にそれぞれ入射し、ターゲット36から複数の1次X線aが集束するように出射する。これら複数の1次X線aは、X線透過窓41を透過してX線発生器52の一端部52aから放射される。なお、X線発生器52は、アノード54とカソード40とターゲット36とで構成されて軸方向の端部から1つの1次X線aを放射するグロー放電管タイプの複数のX線発生手段、又は、軸方向の端部から1つの1次X線aを放射するX線管タイプの複数のX線発生手段を円状に互いに間隔を開けて配置することによって、リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線aを軸方向の端部から集束するように放射可能としてもよい。
【0045】
X線検出器3や試料10は第3実施形態と同様にして配置されており、複数の1次X線aの照射により試料10から発生した蛍光X線bは、X線透過窓41、コリメータ37の内部空間42、及びX線透過窓43を透過してX線検出器3により検出される。
【0046】
上記のように構成された蛍光X線分析装置51によれば、リング状に形成されたX線発生器52の一端部52aから複数の1次X線aを集束するように試料10に照射できるので、第1〜第3実施形態と比較すれば効果は少し劣るものの、蛍光X線の検出感度の向上や装置の小型化を十分に図ることができるという利点がある。
【0047】
第5実施形態に係る蛍光X線分析装置61は、図11及び図12に示すように、第3実施形態において、第3実施形態とほぼ同様のX線発生器62の一端部(端部)62aに1次X線aを円錐面状に絞って集束させるX線集束器63をその中心軸がX線発生器62の中心軸と一致するように設けると共に、X線発生器62の内部6にX線集光素子64をその中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するように設けた3次元共焦点型−微小空間蛍光X線測定タイプのものである。
【0048】
X線集束器63は、大小2つの反射鏡65,66で構成されている。反射鏡65,66はそれぞれ銅や真鍮等から上方に突出した円錐面状に形成されており、その頂部に平面視が円状の開口部65a,66aがそれぞれ設けられている。反射鏡65,66は互いの中心軸が一致し、かつ、X線発生器62の中心軸と一致するように設けられている。反射鏡65,66同士の間には、隙間67が形成されている。X線発生器62から隙間67に入射した1次X線aは、隙間67内で全反射を繰り返しながら円錐面状に絞られた状態で集束するようにX線集束器63から出射する。なお、X線収束器63は、ポリキャピラリー等を上記2つの反射鏡65,66間の隙間67に相当する空間に配置することによっても実現される。つまり、複数のキャピラリーを円錐状に配置することにより、個々のキャピラリーを通過する1次X線aが同一の焦点Oに集光される。また、X線収束器63は、1次X線aを1点に集光する目的のみならず、ある特定の箇所から発生した蛍光X線bをリング状に効率良く取り込む目的にも使用することができる。よって、X線収束器63を、蛍光X線bをリング状に取り込む目的で使用する場合、リング状のX線検出器3を使用すれば、より効率良く蛍光X線bを検出することができる。
【0049】
X線集光素子64は、蛍光X線bを検出するためのシングルキャピラリー又はポリキャピラリーで構成されており、その中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するようにX線発生器62の内部6に設けられている。そのため、試料10中の適宜の微小空間にX線集束器63の焦点Oを合わせると共に、その焦点OにX線集光素子64の焦点を更に合わせておけば、微小空間から発生した蛍光X線bのみをX線検出器3で検出することができる。なお、X線集光素子64は、本実施形態のようにその一部がX線発生器62の外部に露出するように設けてもよいし、あるいは、X線発生器62の外部に設けてもよい。
【0050】
ここで、X線集束器63及びX線集光素子64をそれぞれ軸方向に移動自在としておけば、試料10に対する1次X線aの照射角度を変化させることができるので、試料10に対する分析深さを適宜に変更できるという利点がある。また、試料10に対する1次X線aの照射角度を、全反射を満たす角度から大きな入射角となる角度まで調整可能としておけば、試料10に対する分析深さの変更幅を大きくすることができる。
【0051】
従来の共焦点型−微小空間蛍光X線分析装置では、微小空間での蛍光X線bを励起するための1次X線aは1本のキャピラリー等によって1方向から行われるので、蛍光X線bの発生効率は良くない。これに対し、上記のように構成された蛍光X線分析装置61によれば、1次X線aを円錐面状に絞って集束させ、測定すべき試料10中の微小空間に対して1次X線aを四方八方から効率的に照射できるので、その微小空間から蛍光X線bを効率良く発生させることができる。更に、発生する高強度の蛍光X線bを、その焦点を前記微小空間と合致させたX線集光素子64により高感度に検出できるという利点がある。加えて、試料10を3次元的に走査すれば、試料10の3次元元素分布を高感度に得ることができるという利点がある。
【0052】
なお、X線発生器62としては、第4実施形態におけるX線発生器52のような複数の1次X線aを集束するように放射可能なタイプのものも採用することができる。即ち、X線集束器63やX線集光素子64は、本実施形態と同様にして第4実施形態のような蛍光X線分析装置51に配備することもできる。この場合、X線発生器52の一端部52aに複数の1次X線aをそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器63をその中心軸がX線発生器62の中心軸と一致するように設けると共に、X線発生器62の内部6又は外部にX線集光素子64をその中心軸及び焦点がそれぞれX線集束器63の中心軸及び焦点Oと一致するように設けておけばよい。このような蛍光X線分析装置によれば、本実施形態と比較すれば効果は少し劣るものの、試料10中の微小空間の蛍光X線分析が可能であると共に、その微小空間から発生する蛍光X線bを高感度に検出できるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【0053】
本発明は、1次X線の照射により試料から発生する蛍光X線を検出してその試料の化学組成等を分析する蛍光X線分析装置として有用であり、特に、蛍光X線の検出感度の向上及び装置の小型化を図る場合に好適である。
【図面の簡単な説明】
【0054】
【図1】第1実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図2】図1のA−A線断面図。
【図3】X線発生器の平面図。
【図4】ターゲットの平面図。
【図5】第2実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図6】第3実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図7】図1のE−E線断面図。
【図8】カソードの平面図。
【図9】第4実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図10】図9のF−F線断面図。
【図11】第5実施形態に係る蛍光X線分析装置の概略縦断面図。
【図12】図11の要部拡大図。
【符号の説明】
【0055】
1,21,31,51,61 蛍光X線分析装置
2,32,52,62 X線発生器
2a,32a,52a,62a 一端部(端部)
D 中心軸
3 X線検出器
a 1次X線
b 蛍光X線
10 試料
11 内部空間
12,13,37 コリメータ
63 X線集束器
O 焦点
64 X線集光素子
【特許請求の範囲】
【請求項1】
リング状に形成されかつ軸方向の端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器と、
このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、
を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
【請求項2】
前記X線発生器の前記端部に前記1次X線を円錐面状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、
前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けた請求項1記載の蛍光X線分析装置。
【請求項3】
リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線を軸方向の端部から集束するように放射するX線発生器と、
このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記複数の1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、
を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
【請求項4】
前記X線発生器の前記端部に前記複数の1次X線をそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、
前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けた請求項3記載の蛍光X線分析装置。
【請求項5】
前記X線集束器及び前記X線集光素子をそれぞれ軸方向に移動自在とした請求項2又は4記載の蛍光X線分析装置。
【請求項6】
リング状に形成されかつ前記1次X線の照射範囲を制限するコリメータを前記X線発生器の前記端部近傍又は内部に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように配置した請求項1から5のいずれか記載の蛍光X線分析装置。
【請求項7】
前記コリメータをその軸方向に移動自在とした請求項6記載の蛍光X線分析装置。
【請求項1】
リング状に形成されかつ軸方向の端部からリング状の1次X線をその少なくとも一部が集束するように放射するX線発生器と、
このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、
を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
【請求項2】
前記X線発生器の前記端部に前記1次X線を円錐面状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、
前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けた請求項1記載の蛍光X線分析装置。
【請求項3】
リング状に形成されかつ周方向に互いに間隔を開けて並ぶ複数の1次X線を軸方向の端部から集束するように放射するX線発生器と、
このX線発生器で包囲された内部空間に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するようにかつ前記X線発生器の中心軸上の前記端部近傍に配置した試料と対向するように挿入されると共に、前記複数の1次X線の照射により前記試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、
を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
【請求項4】
前記X線発生器の前記端部に前記複数の1次X線をそれぞれ帯状に絞って集束させるX線集束器をその中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように設けると共に、
前記X線発生器の内部又は外部に前記蛍光X線を検出するためのX線集光素子をその中心軸及び焦点がそれぞれ前記X線集束器の中心軸及び焦点と一致するように設けた請求項3記載の蛍光X線分析装置。
【請求項5】
前記X線集束器及び前記X線集光素子をそれぞれ軸方向に移動自在とした請求項2又は4記載の蛍光X線分析装置。
【請求項6】
リング状に形成されかつ前記1次X線の照射範囲を制限するコリメータを前記X線発生器の前記端部近傍又は内部に中心軸が前記X線発生器の中心軸と一致するように配置した請求項1から5のいずれか記載の蛍光X線分析装置。
【請求項7】
前記コリメータをその軸方向に移動自在とした請求項6記載の蛍光X線分析装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2006−3109(P2006−3109A)
【公開日】平成18年1月5日(2006.1.5)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2004−177046(P2004−177046)
【出願日】平成16年6月15日(2004.6.15)
【出願人】(504230316)
【出願人】(501174837)株式会社エックスレイプレシジョン (7)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年1月5日(2006.1.5)
【国際特許分類】
【出願日】平成16年6月15日(2004.6.15)
【出願人】(504230316)
【出願人】(501174837)株式会社エックスレイプレシジョン (7)
【Fターム(参考)】
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