蛍光Ｘ線分析装置

【課題】バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ること。
【解決手段】典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する蛍光Ｘ線分析装置を提供する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を照射した試料から発生する蛍光Ｘ線を解析することで、前記試料の定性・定量分析等を行う蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エネルギー分散型の蛍光Ｘ線装置で取得したスペクトルから特定元素から放射された蛍光Ｘ線の強度を算出するためには、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する必要がある。
【０００３】
従来は、ピークになっている部分の除去を繰り返すことによってバックグラウンド波形を生成し、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の分離を行っていた（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１４６２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のピーク部分の除去を繰り返す方法では、蛍光Ｘ線ピーク波形がバックグランド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するとき、偏曲点の形状が蛍光Ｘ線ピーク波形により隠されてしまうため、バックグラウンド波形の正確に生成することが困難であり、バックグラウンドが大きめに生成されてしまうという課題があった。
【０００６】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離ができる装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。
そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置によれば、バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例を示す装置概略図である。
【図２】本発明の実施例を示す装置のブロック図である。
【図３】本発明の実施例を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施例を示すＸ線スペクトルである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の実施形態について説明する。
図１は本発明の蛍光Ｘ線分析装置の概略図で、Ｘ線管１１からＸ線１２が試料１３に照射され、発生した蛍光Ｘ線１４は検出器１５で検出された後、アンプ１６で増幅され、データ処理装置１に送られる。ここで、検出器１５は蛍光Ｘ線１４の波長を識別してその強度を電気信号として出力する。
【００１１】
図２はデータ処理装置１のブロック図である。１ａはＣＰＵで、種々の演算処理やメモリ１ｂ、ディスプレイ１ｃ、および元素特定手段１ｄに対して動作指示を行う。１ｂはメモリで、特定元素毎に予め求めたバックグラウンド関数および積分範囲を記憶する。１ｃはディスプレイで、対象となる試料について測定した蛍光Ｘ線からそのプロファイルデータ等の表示を行う。１ｄは元素特定手段で、ディスプレイ１ｃに表示されたプロファイルデータ等に基づいて定量分析すべき元素を特定し、その旨ＣＰＵ１ａに対して指示を与える。
【００１２】
図３は本発明による各元素の蛍光Ｘ線強度を求める手順を示すフローチャートである。まず、バックグラウンドの偏曲点に蛍光Ｘ線のピークがない基準試料を測定し、その偏曲点付近のバックグラウンドのプロファイルを得る（Ｓ１０１）。次に、定量を行う試料の測定を行い（Ｓ１０２）、定量分析を行う元素を特定する（Ｓ１０３）。定量元素の関数波形と対象試料の定性分析Ｓ１０２で得たバックグラウンド波形を用いて、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離処理する（Ｓ１０４）。波形分離処理Ｓ１０４の結果から各元素の蛍光Ｘ線強度を求める。
【００１３】
図４（ａ）は従来法によるバックグラウンドの見積りである。本来のバックグラウンド波形Ｂ１の偏曲点Ｐ１に蛍光Ｘ線ピーク波形が重なっている波形Ｓ１の場合、従来のピーク除去部分の除去を繰り返し、バックグラウンド波形を生成する方法では、バックグラウンド波形Ｂ２のように、バックグラウンド波形が本来のバックグラウンド波形Ｂ１よりも大きめに生成される。そこで、図４（ｂ）に示すように、バックグラウンド波形の偏曲点付近に蛍光Ｘ線ピーク波形の存在しない基準試料で波形Ｓ２を取得する。基準試料としては、例えば、ポリエチレンを用いることができる。
【００１４】
波形Ｓ１を良く再現するように定量したい試料に含まれる蛍光Ｘ線ピークの関数波形と波形Ｓ２の強度を変化させる。そして、出来上がった波形から、蛍光Ｘ線ピーク波形Ｆ１とバックグラウンド波形Ｆ２を分離する。これにより蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を適当に分離することができる。
【符号の説明】
【００１５】
１…データ処理装置
１１…Ｘ線管
１２…Ｘ線
１３…試料
１４…蛍光Ｘ線
１５…検出器
１６…アンプ

【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料にＸ線を照射するＸ線管と、
前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記検出器で検出した検出信号を処理するデータ処理装置と、を有する蛍光Ｘ線分析装置において、
前記データ処理装置は、
標準試料で測定した蛍光Ｘ線のプロファイルから求めたバックグラウンド波形と積分範囲のデータと定量分析対象の元素のピーク波形関数を記憶する記憶手段と、
前記元素を特定する元素特定手段と、
特定された前記元素に対応するバックグラウンド波形と積分範囲のデータと前記元素のピーク波形を前記記憶手段から読みだし、前記バックグラウンド波形と前記ピーク波形を用いて前記試料のプロファイルを良く再現するように前記バックグラウンド波形と前記ピーク波形を変化させ、前記試料のバックグラウンド波形とピーク波形を分離し、分離したピーク波形の前記積分範囲での積分値を算出する演算手段と、を有する蛍光Ｘ線分析装置。

【図１】