説明

複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム

【課題】複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムを提供する。
【解決手段】回転盤モジュール1、インレットモジュール2、検出モジュール6及び分類モジュール7を備えるマルチチャンネル検出システムを提供する。回転盤モジュールは中空透明回転盤構造11を含む。中空透明回転盤構造の上表面は、少なくとも2つの環形案内領域を有する。複数の電子素子は、2つの環形案内領域上に順に配列されている。インレットユニット20は、複数の電子素子を案内するための少なくとも2つのV形インレット溝を備える。2つのV形インレット溝の内部にある複数の電子素子は、2つのV形無振動案内溝によって2つの環形案内領域に順に案内される。検出モジュールにより、それぞれの電子素子の外観を検出し、分類モジュールにより電子素子の分類を行う。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、検出システムに関し、特に複数の電子素子の外形を検出するマルチチャンネル検出システムに関するものである。
【背景技術】
【0002】
電子素子の信頼性及び製品の歩留まりは、各種製品の使用上の品質及び性能のパフォーマンスに影響を与えることがある。一般的に電子素子は、所定の品質を満たす為、製造工程が完了した後、目視による検出プロセスを行う。従来の技術では、複数のカメラが電子素子の表面画像を取得できるように、電子素子を大型の回転盤に載せて行うのが通常であるが、その際、該大型の回転盤は、カメラが電子素子の底面の画像を容易に取得できるように光透過の材質でなければならなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明は、複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明は、回転盤モジュール、インレットモジュール、無振動モジュール、検出モジュール及び分類モジュールを備えるマルチチャンネル検出システムを提供する。回転盤モジュールは、回転底盤構造と該回転底盤構造上に設けられた中空透明回転盤構造とを含む。中空透明回転盤構造の下表面は、インナーサークル領域と該インナーサークル領域を取り囲むアウターサークル領域とに区画され、中空透明回転盤構造のインナーサークル領域は、回転底盤構造によって被覆され、中空透明回転盤構造のアウターサークル領域は、外部に露出され、中空透明回転盤構造の上表面は、アウターサークル領域の上方に位置する少なくとも2つの環形案内領域を有し、複数の電子素子は、少なくとも2つの環形案内領域上に順に配列されている。インレットモジュールは、中空透明回転盤構造に隣接する少なくとも1つのインレットユニットを含む。インレットユニットは、複数の電子素子を案内するための少なくとも2つのV形インレット溝を備える。無振動モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接するとともに中空透明回転盤構造とインレットユニットとの間に設置される少なくとも1つの無振動案内ブロックを含む。無振動案内ブロックは、2つのV形インレット溝にそれぞれ連通するとともに2つの環形案内領域にそれぞれ対応する少なくとも2つのV形無振動案内溝を備える。2つのV形インレット溝の内部にある複数の電子素子は、2つのV形無振動案内溝によって2つの環形案内領域に順に案内される。検出モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接する複数の電子素子検出ユニットを含む。複数の電子素子検出ユニットは、中空透明回転盤構造を順に取り囲む。分類モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接するとともにインレットモジュールと複数の電子素子検出ユニットのうちの最後の1つの電子素子検出ユニットとの間に設置される。
【発明の効果】
【0005】
本発明に係るマルチチャンネル検出システムによれば、“V形インレット溝とV形無振動案内溝とが組み合わせられる”ように構成されているため、本発明に係るマルチチャンネル検出システムは複数の電子素子の外観をより正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【図1】本発明に係るマルチチャンネル検出システムの立体模式図である。
【図2】本発明に係るマルチチャンネル検出システムの上面模式図である。
【図3】本発明に係る回転盤モジュールの側面断面模式図である。
【図4】本発明に係るインレットモジュール及び無振動モジュールの立体模式図である。
【図5】本発明に係る補正モジュール及び微調整モジュールの上面模式図である。
【図6】本発明に係る電子素子検出ユニットの一部が回転盤モジュールの収容空間に収容される側面断面模式図である。
【図7】本発明に係る分類モジュールの断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
図1乃至図7に示すように、本発明に係る電子素子Eの外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムは、回転盤モジュール1と、インレットモジュール2と、無振動モジュール3と、補正モジュール4と、微調整モジュール5と、検出モジュール6と、分類モジュール7と、を備える。
【0008】
先ず、図1乃至図3に示すように、回転盤モジュール1は、回転底盤構造10と回転底盤構造10上に設けられた中空透明回転盤構造11とを備える。例を挙げると、回転底盤構造10は、非中空の金属底盤であってもよく、中空透明回転盤構造11は、回転底盤構造10上に固定(例えば複数のネジなどによる螺固)された透明ガラス回転盤であってもよい。中空透明回転盤構造11が中空構造であるため、中空透明回転盤構造11の材料コストを大幅に節約することができる。また、回転底盤構造10が回転軸上に直接螺固されるため、回転盤モジュール1を着脱する場合に、中空透明回転盤構造11を着脱する必要がなく、回転底盤構造10を着脱するだけでよい。これにより、中空透明回転盤構造11が頻繁に着脱されることによって損害が発生し、寿命が低下する問題を回避することができる。
【0009】
また、中空透明回転盤構造11の下表面は、インナーサークル領域110とインナーサークル領域110を取り囲むアウターサークル領域111とに区画されてもよい。中空透明回転盤構造11のインナーサークル領域110は、回転底盤構造10によって被覆され、中空透明回転盤構造11のアウターサークル領域111は、外部に露出される。中空透明回転盤構造11の上表面は、図2及び図3に示すように、アウターサークル領域111の上方に位置する少なくとも2つの環形案内領域11Gを有し、複数の電子素子Eは、図3に示すように、少なくとも2つの環形案内領域11G上に順に配列されてもよい。
【0010】
また、中空透明回転盤構造11は、中空部分11Aと、中空部分11Aを取り囲むインナーサークル部分11Bと、インナーサークル部分11Bを取り囲むアウターサークル部分11Cとに区画される。中空透明回転盤構造11の中空部分11Aは、回転底盤構造10上に位置し、収容空間11Rが形成される。中空透明回転盤構造11のインナーサークル部分11Bは、回転底盤構造10上に設けられ、中空透明回転盤構造11のアウターサークル部分11Cは懸架される。また、中空透明回転盤構造11のインナーサークル領域110は、インナーサークル部分11Bの下表面上に位置し、中空透明回転盤構造11のアウターサークル領域111は、アウターサークル部分11Cの下表面上に位置し、2つの環形案内領域11Gは、中空透明回転盤構造11のアウターサークル部分11Cの上表面上に位置する。
【0011】
さらに、図1、図2及び図4に示すように、インレットモジュール2は、中空透明回転盤構造11に隣接するとともに複数の電子素子Eを案内するための少なくとも1つのインレットユニット20を備える。インレットユニット20は、複数の電子素子Eを案内するための少なくとも2つのV形インレット溝200を備える。例を挙げると、インレットユニット20は、持続的な振動により複数の電子素子Eを2つのV形インレット溝200内に前方に向かって持続的に移動させるため、電子素子Eが引っかかることを回避できる。
【0012】
また、図1、図2及び図4に示すように、無振動モジュール3は、中空透明回転盤構造11に隣接するとともに中空透明回転盤構造11とインレットモジュール2との間に設けられた少なくとも1つの無振動案内ブロック30を備える。無振動案内ブロック30は、2つのV形インレット溝200にそれぞれ連通されるとともに2つの環形案内領域11Gにそれぞれ対応する少なくとも2つのV形無振動案内溝300を有する。2つのV形インレット溝200内における複数の電子素子Eは、2つのV形無振動案内溝300によって2つの環形案内領域11Gに順に案内される。また、無振動案内ブロック30とインレットユニット20とは、電子素子Eの長さよりも短い距離だけ互いに離間され、無振動案内ブロック30と中空透明回転盤構造11とは、所定の距離だけ互いに離間される。言い換えれば、無振動案内ブロック30と持続的に振動するインレットユニット20とは所定の距離だけ離間されているため、無振動案内ブロック30は、安定的で且つ無振動の状態が持続的に維持され、それぞれの電子素子Eは、それぞれのV形無振動案内溝300から対応するそれぞれの環形案内領域11Gに安定的に確実に案内される。
【0013】
また、図1、図2及び図5に示すように、補正モジュール4は、中空透明回転盤構造11の上方に設けられた少なくとも2つの補正ユニット40を備える。それぞれの補正ユニット40は、互いに組み合わせられて複数の電子素子Eのそれぞれの方位(方向及び/又は位置)を補正するための少なくとも2つの補正素子400を含む。2つの補正素子400は、所定の距離だけ互いに離間され、2つの補正素子400の間には電子素子案内通路400Pが形成される。言い換えれば、V形無振動案内溝300によって案内されたそれぞれの電子素子Eは、それぞれの電子素子Eに対応する環形案内領域11Gに正確に位置させるように、先ず対応するそれぞれの補正ユニット40により大まかに案内(即ち、それぞれの電子素子Eを対応するそれぞれの電子素子案内通路400Pに通過させる)させることができる。これを一般的に電子素子Eの“大まかな案内”と称する。
【0014】
また、図1、図2及び図5に示すように、微調整モジュール5は、中空透明回転盤構造11の上方に設けられるとともに2つの補正ユニット40にそれぞれ隣接した少なくとも2つの微調整ユニット50を備える。2つの微調整ユニット50は、2つの環形案内領域11Gの内側近傍にそれぞれ位置しており、複数の電子素子Eのそれぞれの方位を微調整するために複数の電子素子Eのそれぞれの内側表面に接触する少なくとも1つの微調整素子500をそれぞれ備える。言い換えれば、補正ユニット40によって大まかな案内されたそれぞれの電子素子Eは、それぞれの電子素子Eに対応するそれぞれの環形案内領域11Gに正確に位置させるように、対応する各微調整ユニット50により細かい案内(即ち、微調整ユニット50の側辺により電子素子Eの内側表面E1に軽く接触する)させることができる。これを一般的に電子素子Eの“細かい案内”と称する。
【0015】
さらに、図1、図2及び図6に示すように、検出モジュール6は、中空透明回転盤構造11に隣接する複数の電子素子検出ユニット60を備える。複数の電子素子検出ユニット60のそれぞれは、中空透明回転盤構造11を順に取り囲む(図2に示すように、複数の電子素子検出ユニット60の取り囲み範囲は、円周の約5/8である。)。また、複数の電子素子検出ユニット60の一部(図6には、そのうちの一つの電子素子検出ユニット60を示す)は、収容空間11Rの内部及び上方に設けられる。収容空間11Rの内部及び上方に設けられたそれぞれの電子素子検出ユニット60は、反射鏡601と、反射鏡601の上方に設けられた画像捕捉レンズ602と、を備える。電子素子検出ユニット60が収容空間11Rの内部に設けられているため、反射鏡601と画像捕捉レンズ602との組み合わせにより、電子素子Eの内側表面E1の正面画像を正確に捕捉することができる。例えば、電子素子検出ユニット60の数量が12個であるとすると、そのうちの6個の電子素子検出ユニット60は、一方の環形案内領域11G上に位置する複数の電子素子Eの検出を行い、その他の6個の電子素子検出ユニット60は、他方の環形案内領域11G上に位置する複数の電子素子Eの検出を行う。
【0016】
図1、図2及び図7に示すように、分類モジュール7は、中空透明回転盤構造11に隣接するとともにインレットモジュール2と複数の電子素子検出ユニット60のうちの最後の1つの電子素子検出ユニット60との間に設けられる。また、複数の電子素子Eは、複数の電子素子検出ユニット60の検出によって複数の良品の電子素子E’と、複数の不良品の電子素子E’’と、複数の再測定の電子素子E’’’とに分類される。また、分類モジュール7は、複数の良品の電子素子E’を収集するための少なくとも1つの第1の収容ユニット7Aと、複数の不良品の電子素子E’’を収集するための少なくとも1つの第2の収容ユニット7Bと、複数の再測定の電子素子E’’’を収集するための少なくとも1つの第3の収容ユニット7Cと、を備える。第1の収容ユニット7A、第2の収容ユニット7B、第3の収容ユニット7Cは、それぞれ独立した構造ではなく、組み合わせて一つの収容構造に形成されたものである。
【0017】
また、図2及び図7に示すように、第1の収容ユニット7Aは、少なくとも2つの第1の種類選別入り口70Aと、中空透明回転盤構造11の上方に設けられ、2つの環形案内領域11G上に位置する複数の良品の電子素子E’を2つの第1の種類選別入り口70Aの内部に吹き付けるための少なくとも2つの第1のノズル71A(図2を参照)と、2つの第1の種類選別入り口70Aにそれぞれ連通された少なくとも2つの第1の輸送パイプ72Aと、2つの第1の輸送パイプ72Aに連通された少なくとも1つの第1の収集ケース73Aと、を備える。また、第2の収容ユニット7Bは、少なくとも2つの第2の種類選別入り口70Bと、中空透明回転盤構造11の上方に設けられ、2つの環形案内領域11G上に位置する複数の不良品の電子素子E’’を2つの第2の種類選別入り口70Bの内部に吹き付けるための少なくとも2つの第2のノズル71B(図2を参照)と、2つの第2の種類選別入り口70Bにそれぞれ連通された少なくとも2つの第2の輸送パイプ72Bと、2つの第2の輸送パイプ72Bに連通された少なくとも1つの第2の収集ケース73Bと、を備える。また、第3の収容ユニット7Cは、少なくとも2つの第3の種類選別入り口70Cと、中空透明回転盤構造11の上方に設けられ、2つの環形案内領域11G上に位置する複数の再測定の電子素子E’’’を2つの第3の種類選別入り口70Cの内部に吹き付けるための少なくとも2つの第3のノズル71C(図2を参照)と、2つの第3の種類選別入り口70Cにそれぞれ連通された少なくとも2つの第3の輸送パイプ72Cと、2つの第3の輸送パイプ72Cに連通された少なくとも1つの第3の収集ケース73Cと、を備える。
【0018】
2つの環形案内領域11G上に位置する複数の良品の電子素子E’が同時に同一の第1の収集ケース73A(図7における2つの中心線が通るルートに示すように)の内部に収集され、2つの環形案内領域11G上に位置する複数の不良品の電子素子E’’は、同時に同一の第2の収集ケース73B(図7における2つの中心線が通るルートに示すように)の内部に収集され、2つの環形案内領域11G上に位置する複数の再測定の電子素子E’’’は、同時に同一の第3の収集ケース73C(図7における2つの中心線が通るルートに示すように)の内部に収集されることができるため、本発明において、分類モジュール7の使用空間を小さくすると共に、製造コストを効果的に低減させることができる。(実施例の可能効果)
【0019】
上述のように、本発明に係るマルチチャンネル検出システムは、“V形インレット溝とV形無振動案内溝とが組み合わせられる”ように構成されているため、複数の電子素子の外観をより正確に検出することができる。また、本発明は、対応するそれぞれの補正ユニットによって大まかな案内を行うことにより、それぞれの電子素子を対応するそれぞれの環形案内領域上に正確に位置させることができる。また、本発明は更に、対応するそれぞれの微調整ユニットによって細かい案内を行うことにより、それぞれの電子素子を対応するそれぞれの環形案内領域上により正確に位置させることができる。さらに、本発明は、分類モジュールの使用空間を小さくすると共に、製造コストを効果的に低減させることができるように、複数の良品の電子素子を同時に同一の第1の収集ケースの内部に、複数の不良品の電子素子を同時に同一の第2の収集ケースの内部に、複数の再測定の電子素子を同時に同一の第3の収集ケースの内部に、それぞれ収集することができる。
【0020】
上述したものは、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の実施の範囲を限定するためのものではない。また、本発明の明細書及び図面内容に基づいてなされた均等な変更および付加は、いずれも本発明の特許請求の範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【0021】
E 電子素子
E1 内側表面
E’ 良品の電子素子
E’’ 不良品の電子素子
E’’’ 再測定の電子素子
1 回転盤モジュール
10 回転底盤構造
11 中空透明回転盤構造
110 インナーサークル領域
111 アウターサークル領域
11A 中空部分
11B インナーサークル部分
11C アウターサークル部分
11R 収容空間
11G 環形案内領域
2 インレットモジュール
20 インレットユニット
200 V形インレット溝
3 無振動モジュール
30 無振動案内ブロック
300 V形無振動案内溝
4 補正モジュール
40 補正ユニット
400 補正素子
400P 電子素子案内通路
5 微調整モジュール
50 微調整ユニット
500 微調整素子
6 検出モジュール
60 電子素子検出ユニット
601 反射鏡
602 画像捕捉レンズ
7 分類モジュール
7A 第1の収容ユニット
7B 第2の収容ユニット
7C 第3の収容ユニット
70A 第1の種類選別入り口
70B 第2の種類選別入り口
70C 第3の種類選別入り口
71A 第1のノズル
71B 第2のノズル
71C 第3のノズル
72A 第1の輸送パイプ
72B 第2の輸送パイプ
72C 第3の輸送パイプ
73A 第1の収集ケース
73B 第2の収集ケース
73C 第3の収集ケース


【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転底盤構造と前記回転底盤構造上に設けられた中空透明回転盤構造とを含み、前記中空透明回転盤構造の下表面がインナーサークル領域と前記インナーサークル領域を取り囲むアウターサークル領域とに区画され、前記中空透明回転盤構造の前記インナーサークル領域が前記回転底盤構造によって被覆され、前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル領域が外部に露出され、前記中空透明回転盤構造の上表面に前記アウターサークル領域の上方に位置する少なくとも2つの環形案内領域を有し、複数の電子素子が前記少なくとも2つの環形案内領域上に順に配列されたように構成された回転盤モジュールと、
前記複数の電子素子を案内するための少なくとも2つのV形インレット溝を備えるとともに前記中空透明回転盤構造に隣接する少なくとも1つのインレットユニットを含むインレットモジュールと、
前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記中空透明回転盤構造と前記インレットユニットとの間に設置される少なくとも1つの無振動案内ブロックを含み、前記少なくとも1つの無振動案内ブロックが、前記少なくとも2つのV形インレット溝にそれぞれ連通するとともに前記少なくとも2つの環形案内領域にそれぞれ対応する少なくとも2つのV形無振動案内溝を備え、前記少なくとも2つのV形インレット溝の内部にある前記複数の電子素子が、前記少なくとも2つのV形無振動案内溝によって前記少なくとも2つの環形案内領域に順に案内されるように構成された無振動モジュールと、
前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記中空透明回転盤構造を順に取り囲む複数の電子素子検出ユニットを含む検出モジュールと、
前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記インレットモジュールと前記複数の電子素子検出ユニットのうちの最後の1つの電子素子検出ユニットとの間に設置される分類モジュールと、
を備えることを特徴とする複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項2】
前記回転底盤構造は、非中空の金属底盤であり、
前記中空透明回転盤構造は、前記回転底盤構造上に固定された透明ガラス回転盤であることを特徴とする請求項1に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項3】
前記中空透明回転盤構造は、中空部分と、前記中空部分を取り囲むインナーサークル部分と、前記インナーサークル部分を取り囲むアウターサークル部分とに区画され、
前記中空透明回転盤構造の前記中空部分は、前記回転底盤構造上に位置することで収容空間が形成され、
前記中空透明回転盤構造の前記インナーサークル部分は、前記回転底盤構造上に設けられ、
前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル部分は、懸架され、
前記少なくとも2つの環形案内領域は、前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル部分上に位置することを特徴とする請求項1に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項4】
前記複数の電子素子検出ユニットの一部は、前記収容空間の内部及び上方に設けられ、
前記収容空間の内部及び上方に設けられた前記複数の電子素子検出ユニットは、反射鏡と前記反射鏡の上方に設けられた画像捕捉レンズとをそれぞれ備えることを特徴とする請求項3に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項5】
前記少なくとも1つの無振動案内ブロックと前記少なくとも1つのインレットユニットとは、前記それぞれの電子素子の長さよりも短い距離だけ離間され、
前記少なくとも1つの無振動案内ブロックと前記中空透明回転盤構造とは、所定の距離だけ互いに離間されることを特徴とする請求項1に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項6】
前記複数の電子素子は、前記複数の電子素子検出ユニットの検出によって複数の良品の電子素子と、複数の不良品の電子素子と、複数の再測定の電子素子とに分類され、
前記分類モジュールは、
前記複数の良品の電子素子を収集するための少なくとも1つの第1の収容ユニットと、
前記複数の不良品の電子素子を収集するための少なくとも1つの第2の収容ユニットと、
前記複数の再測定の電子素子を収集するための少なくとも1つの第3の収容ユニットと、を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項7】
前記少なくとも1つの第1の収容ユニットは、
少なくとも2つの第1の種類選別入り口と、
前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも2つの環形案内領域上に位置する前記複数の良品の電子素子を前記少なくとも2つの第1の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも2つの第1のノズルと、
前記少なくとも2つの第1の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも2つの第1の輸送パイプと、
前記少なくとも2つの第1の輸送パイプに連通された少なくとも1つの第1の収集ケースと、
を備えることを特徴とする請求項6に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項8】
前記少なくとも1つの第2の収容ユニットは、
少なくとも2つの第2の種類選別入り口と、
前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも2つの環形案内領域上に位置する前記複数の不良品の電子素子を前記少なくとも2つの第2の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも2つの第2のノズルと、
前記少なくとも2つの第2の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも2つの第2の輸送パイプと、
前記少なくとも2つの第2の輸送パイプに連通された少なくとも1つの第2の収集ケースと、
を備えることを特徴とする請求項6に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項9】
前記少なくとも1つの第3の収容ユニットは、
少なくとも2つの第3の種類選別入り口と、
前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも2つの環形案内領域上に位置する前記複数の再測定の電子素子を前記少なくとも2つの第3の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも2つの第3のノズルと、
前記少なくとも2つの第3の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも2つの第3の輸送パイプと、
前記少なくとも2つの第3の輸送パイプに連通された少なくとも1つの第3の収集ケースと、
を備えることを特徴とする請求項6に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項10】
前記中空透明回転盤構造の上方に設けられた少なくとも2つの補正ユニットを含む補正モジュールをさらに備え、
前記2つの補正ユニットは、互いに組み合わせられ前記複数の電子素子のそれぞれの方位を補正するための少なくとも2つの補正素子をそれぞれ含み、
前記少なくとも2つの補正素子は、所定の距離だけ互いに離間され、前記少なくとも2つの補正素子の間に位置する電子素子案内通路が形成されることを特徴とする請求項1に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
【請求項11】
前記中空透明回転盤構造の上方に設けられるとともに前記少なくとも2つの補正ユニットにそれぞれ隣接された少なくとも2つの微調整ユニットを含む微調整モジュールをさらに備え、
前記少なくとも2つの微調整ユニットのそれぞれは、前記少なくとも2つの環形案内領域の内側近傍に位置しており、前記複数の電子素子のそれぞれの方位を微調整するために前記複数の電子素子のそれぞれの内側表面に接触する少なくとも1つの微調整素子を備えることを特徴とする請求項10に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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