配線基板用露光装置およびそれを用いた露光方法
【課題】配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させない。
【解決手段】配線基板用パネルＡを載置するテーブル１と、配線基板用パネルＡの外周部を部分的にテーブル１上に押圧して固定する押圧板２と、配線基板用パネルＡ上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置３とを具備して成る露光装置１０であって、押圧板２は、レーザ光を透過する透明材料から成る。押圧板２の下の領域を露光することにより、配線基板用パネルＡの外周部に導体層１２を残すことができる。これにより、配線基板用パネルＡの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させない。
【解決手段】配線基板用パネルＡを載置するテーブル１と、配線基板用パネルＡの外周部を部分的にテーブル１上に押圧して固定する押圧板２と、配線基板用パネルＡ上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置３とを具備して成る露光装置１０であって、押圧板２は、レーザ光を透過する透明材料から成る。押圧板２の下の領域を露光することにより、配線基板用パネルＡの外周部に導体層１２を残すことができる。これにより、配線基板用パネルＡの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板用の露光装置およびそれを用いた露光方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配線基板は、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等を含浸させた絶縁層や、エポキシ樹脂等から成る絶縁層を複数層積層して成る絶縁基板の内部および表面に銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る複数の配線パターンが形成されている。このような配線パターンは、例えば周知のサブトラクティブ法により形成される。
【０００３】
サブトラクティブ法は、絶縁層の表面全体に銅箔や銅めっき等により導体層を形成した後、導体層表面に感光性のレジストを貼着する。そして、レジストにおける配線パターンに対応する部分を露光して硬化させた後、露光されていない未硬化部のレジストを除去して所定のパターンに現像する。さらに、レジストから露出した導体層をエッチング除去した後、剥離液でレジストを除去することで銅箔や銅めっき膜等から成る配線パターンを形成するものである。
【０００４】
ところで、レジストを露光する装置として周知のＤｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｉｎｇ露光装置（以下ＤＩ露光装置と略記）がある。ＤＩ露光装置とは、ＤＩ露光装置を構成するテーブルに、表面がレジストで被覆された配線基板用パネルを載置固定するとともに、ＤＩ露光装置を構成するレーザ照射装置から配線パターンに合わせて上方からレーザ光を照射してレジストを露光するものである。
【０００５】
従来、配線基板用パネルをＤＩ露光装置のテーブルに載置固定するには、テーブルに真空吸着用の吸着孔を多数設けておき、配線基板用パネルを真空引きにより吸着して固定させる方法が採用されていた。しかしながら近時、配線基板用パネルは薄型化が進んでおり、そのため配線基板用パネルの製造工程において反りやうねり等が発生しやすくなっている。このように反りやうねりが発生していると、配線基板用パネルをＤＩ露光装置のテーブル上に良好に吸着するこができないことがある。特に配線基板用パネルの外周部が上方に跳ね上がっている場合、跳ね上がった外周部が良好に吸着されずにテーブルから浮いた状態となりやすい。このように外周部がテーブルから浮いた状態で配線基板用パネル上のレジストを露光すると、正確な露光ができず、特に微細な配線においてはその形成が困難となる。
【０００６】
そこで、このように反りやうねりが発生しやすい薄型の配線基板用パネルを露光する場合、配線基板用パネルの外周部をステンレスやアルミニウム等の金属から成る平坦な押圧板でテーブル上に押さえつけることで配線基板用パネルの外周部をテーブルに密着させる方法が採用されている。しかしながら、押圧板は、金属材料から成ることから光を透さない。そのため、押圧板の下の領域では押圧板の陰になってレジストを露光することができないので、その部分ではレジストが未硬化のままとなり、上述の現像時にめっきレジストが除去されてしまう。そのため、押圧板の下の領域では、導体層がエッチング時に除去されてしまい配線基板用パネルの外周部において絶縁層が露出した状態になる。
【０００７】
ところで、配線基板用パネルは、製造工程の途中において、ローラーやベルト、あるいはチャッキングを備えた搬送装置により個別に搬送されたり、ラックやケースに入れられた状態で纏めて搬送されたりする。このような搬送の際には、配線基板用パネルの外周部にローラーやベルト、チャッキングあるいはラックやケースを当接させた状態で搬送が行なわれる。しかしながら、このように配線基板用パネルの外周部において絶縁層が露出した状態になると、絶縁層を構成するガラス繊維やエポキシ樹脂等が製造工程の途中で搬送装置のローラーやベルト、チャッキングあるいはラックやケースとの接触等で脱落して異物となり、配線パターン形成時の不良原因となるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−４９５７２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、配線基板用パネルの上面外周部を押圧板で押さえつけながら露光する場合であっても、押圧板の下の領域レジストを露光可能であり、エッチング時に外周部の導体層を残しておくことで、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置および露光方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明における露光装置は、配線基板用パネルを載置するテーブルと、配線基板用パネルの外周部を部分的にテーブル上に押しつけて固定する押圧板と、配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、押圧板は、レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明における露光方法は、上述の露光装置のテーブルに配線基板用パネルを載置するとともに配線基板用パネルの外周部を押圧板によりテーブル上に押しつけて固定する工程と、配線基板用パネルの上面にレーザ照射装置からレーザ光を照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の露光装置によれば、配線基板用パネルをテーブルに押しつけて固定する押圧板がレーザ光を透過する透明材料から成ることから、押圧板の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置を提供することができる。
【００１３】
また、本発明の露光方法によれば、配線基板用パネルの外周部をレーザ光が透過する透明な材料から成る押圧板によりテーブルに押しつけてテーブルに固定した状態で、レーザ照射装置からレーザを照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程を行う。このため、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができ、それにより配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の露光装置の構成を示す概略前面図である。
【図２】図２は、本発明の露光装置のテーブル付近の構成を示す概略前面図および概略平面図である。
【図３】図３は、本発明の露光方法順序を示す露光手順図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明の露光装置の実施形態の一例を図１および図２を基にして説明する。
【００１６】
図１に示すように、本例の露光装置１０は、例えば上面に感光性のレジストが被着された配線基板用パネルＡを載置する水平なテーブル１と、テーブル１に載置された配線基板用パネルＡの外周部をテーブル１に押しつけてテーブル１に固定する押圧板２と、テーブル１の上方に配置されたレーザ照射装置３とを筐体４内に備えている。
【００１７】
テーブル１は、例えば平滑に研磨された表面にアルマイト処理が施されたアルミニウム製の平板から成り、筐体４内に上面が水平となるように配置されている。また、図２（ｂ）に示すように、テーブル１には、後述する押圧板２が稼動するためのスリット５が、テーブル１の各辺外周部から中央部に向けて２本ずつ形成されている。そして、テーブル１には、複数の吸着孔６が配列形成されており、真空ポンプ７と接続されてテーブル１に載置される配線基板用パネルＡを吸着可能となっている。さらに、テーブル１は、配線基板用パネルＡの全領域を後述のレーザ照射装置３から照射されるレーザ光の照射範囲に通過させるため、露光装置１０の前後方向にテーブル１を稼動させる移動装置を備えている。テーブル１の寸法は縦６０〜７０ｃｍ、横７０〜８０ｃｍ程度である。
【００１８】
押圧板２は、支柱８上に接合された支持体９により支持された状態でテーブル１の上に配置されている。支柱８は、ステンレスやアルミニウム等の金属材料から成り、上述したスリット５の中を水平方向に移動可能であるとともに上下方向に伸縮可能になっており、図示しない駆動装置に繋がっている。支持体９は、ステンレスやアルミニウム等の金属から成り、押圧板２をネジ止めにより水平な状態で支持している。そして、支柱８が伸長した状態でテーブル１の上に載置される配線基板用パネルＡのサイズに合わせて水平方向に移動した後、支柱８が縮退することにより押圧板２がテーブル１に載置された配線基板用パネルＡの外周部を押しつける。
【００１９】
ところで本発明の露光装置１０においては、押圧板２は、レーザ光を透過可能な透明な材料から形成されている。押圧板２として、このような透明な材料を用いることによって、押圧板２の下の領域までレーザ光により露光することが可能となる。透明な材料としては、例えばアクリル樹脂が好ましい。押圧板２がアクリル樹脂から成る場合、押圧板２の厚みは１０〜３０ｍｍ程度であることが好ましい。アクリル製の押圧板２の厚みが１０ｍｍ未満の場合は、押圧板２の強度不足により配線基板用パネルＡの外周部をテーブル１に良好に押しつけて固定することが困難となったり、押圧板２自体が破損しやすかったりする不具合が生じる恐れがある。また、厚みが３０ｍｍを超える場合は、レーザ光の透過量が少なくなり、押圧板２の下の領域における露光が不十分になる恐れがある。なお、押圧板２は配線基板用パネルＡの外周端から５〜１０ｍｍ程度の位置を押圧する。
【００２０】
レーザ照射装置３は、テーブル１の上方に配置されており、テーブル１の方向にレーザ光を照射する照射部と、レーザ光を照射するタイミングを制御する制御部とを備えている。露光時は、レーザ光の照射範囲を移動する配線基板用パネルＡの上面にレーザ光を照射して露光する。このとき、上述したように、押圧板２がレーザ光を透過する透明材料から成るため、押圧板２の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板２の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルＡの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置１０を提供することができる。レーザ光の波長は３５０〜４１０ｎｍ程度である。
【００２１】
次に、本発明の露光方法の実施形態の一例を図３（ａ）〜（ｆ）を基にして説明する。なお、図１および図２と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
【００２２】
まず、図３（ａ）に示すように、テーブル１の上に配線基板用パネルＡを載置する。配線基板用パネルＡは、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等を含浸させた絶縁層１１の表面全体に、銅箔を圧着させたり、周知のめっき法により銅めっき膜を析出させたりすることで導体層１２を形成して成る。また、導体層１２の上には、感光性のレジスト１３が被着されている。レジスト１３は、導体層１２の上に感光性樹脂のペーストを塗布した後、乾燥させることによって、または感光性のフィルムを導体層１２上に張着することで形成される。レジスト１３はアクリル系の紫外線硬化性樹脂を含有する電気絶縁材料から成る。
【００２３】
次に図３（ｂ）に示すように、配線基板用パネルＡの外周部を押圧板２で下方に押しつけてテーブル１に固定する。このとき、押圧板２は、配線基板用パネルＡの外周端から５〜１０ｍｍ程度の範囲を押圧する。また、配線基板用パネルＡをテーブル１に固定するときは、押圧板２による押圧と並行して、テーブル１に具備された吸着孔６による吸着を行うことが好ましい。
【００２４】
次に、図３（ｃ）に示すように、レーザ照射装置３からレーザ光を照射し、押圧板２の下の領域を含む配線基板用パネルＡの上のレジスト１３を露光する。露光時は、配線基板用パネルＡを載置したテーブル１が、レーザ光の照射範囲を移動することで配線基板用パネルＡの上面全域を所定のパターンで露光する。このとき、押圧板２がレーザ光を透過する透明なアクリル板でできていることから、押圧板２の下のめっきレジスト１３を露光して硬化させることが可能となる。
【００２５】
次に、図３（ｄ）に示すように、露光の終了した配線基板用パネルＡを現像装置に投入し、アルカリ性の現像液によりめっきレジスト１３の未露光部を除去して所定のレジストパターン１３ａに現像する。このとき、配線基板用パネルＡの外周部上面に、レジストパターン１３ａが被着していることが重要である。現像方法としては、例えば露光の済んだめっきレジスト１３の表面に、炭酸ナトリウム水溶液から成る現像液をシャワーで吹きつける方法が採用される。
【００２６】
次に、図３（ｅ）に示すように、レジストパターン１３ａから露出した導体層１２をエッチング液により除去する。このとき、押圧板２の下の領域の導体層１２はレジストパターン１３ａにより保護されていることから、エッチング液により除去されない。
【００２７】
最後に、図３（ｆ）に示すように、レジストパターン１３ａを、例えば水酸化ナトリウム水溶液から成る剥離液により除去することで、銅箔や銅めっき膜等から成る配線パターン１４を形成するとともに、外周部が導体層１２で被覆された配線基板用パネルＡを作成することができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂が露出しない配線基板の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１ テーブル
２ 押圧板
３ レーザ照射装置
１０ 露光装置
Ａ 配線基板用パネル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板用の露光装置およびそれを用いた露光方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配線基板は、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等を含浸させた絶縁層や、エポキシ樹脂等から成る絶縁層を複数層積層して成る絶縁基板の内部および表面に銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る複数の配線パターンが形成されている。このような配線パターンは、例えば周知のサブトラクティブ法により形成される。
【０００３】
サブトラクティブ法は、絶縁層の表面全体に銅箔や銅めっき等により導体層を形成した後、導体層表面に感光性のレジストを貼着する。そして、レジストにおける配線パターンに対応する部分を露光して硬化させた後、露光されていない未硬化部のレジストを除去して所定のパターンに現像する。さらに、レジストから露出した導体層をエッチング除去した後、剥離液でレジストを除去することで銅箔や銅めっき膜等から成る配線パターンを形成するものである。
【０００４】
ところで、レジストを露光する装置として周知のＤｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｉｎｇ露光装置（以下ＤＩ露光装置と略記）がある。ＤＩ露光装置とは、ＤＩ露光装置を構成するテーブルに、表面がレジストで被覆された配線基板用パネルを載置固定するとともに、ＤＩ露光装置を構成するレーザ照射装置から配線パターンに合わせて上方からレーザ光を照射してレジストを露光するものである。
【０００５】
従来、配線基板用パネルをＤＩ露光装置のテーブルに載置固定するには、テーブルに真空吸着用の吸着孔を多数設けておき、配線基板用パネルを真空引きにより吸着して固定させる方法が採用されていた。しかしながら近時、配線基板用パネルは薄型化が進んでおり、そのため配線基板用パネルの製造工程において反りやうねり等が発生しやすくなっている。このように反りやうねりが発生していると、配線基板用パネルをＤＩ露光装置のテーブル上に良好に吸着するこができないことがある。特に配線基板用パネルの外周部が上方に跳ね上がっている場合、跳ね上がった外周部が良好に吸着されずにテーブルから浮いた状態となりやすい。このように外周部がテーブルから浮いた状態で配線基板用パネル上のレジストを露光すると、正確な露光ができず、特に微細な配線においてはその形成が困難となる。
【０００６】
そこで、このように反りやうねりが発生しやすい薄型の配線基板用パネルを露光する場合、配線基板用パネルの外周部をステンレスやアルミニウム等の金属から成る平坦な押圧板でテーブル上に押さえつけることで配線基板用パネルの外周部をテーブルに密着させる方法が採用されている。しかしながら、押圧板は、金属材料から成ることから光を透さない。そのため、押圧板の下の領域では押圧板の陰になってレジストを露光することができないので、その部分ではレジストが未硬化のままとなり、上述の現像時にめっきレジストが除去されてしまう。そのため、押圧板の下の領域では、導体層がエッチング時に除去されてしまい配線基板用パネルの外周部において絶縁層が露出した状態になる。
【０００７】
ところで、配線基板用パネルは、製造工程の途中において、ローラーやベルト、あるいはチャッキングを備えた搬送装置により個別に搬送されたり、ラックやケースに入れられた状態で纏めて搬送されたりする。このような搬送の際には、配線基板用パネルの外周部にローラーやベルト、チャッキングあるいはラックやケースを当接させた状態で搬送が行なわれる。しかしながら、このように配線基板用パネルの外周部において絶縁層が露出した状態になると、絶縁層を構成するガラス繊維やエポキシ樹脂等が製造工程の途中で搬送装置のローラーやベルト、チャッキングあるいはラックやケースとの接触等で脱落して異物となり、配線パターン形成時の不良原因となるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−４９５７２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、配線基板用パネルの上面外周部を押圧板で押さえつけながら露光する場合であっても、押圧板の下の領域レジストを露光可能であり、エッチング時に外周部の導体層を残しておくことで、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置および露光方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明における露光装置は、配線基板用パネルを載置するテーブルと、配線基板用パネルの外周部を部分的にテーブル上に押しつけて固定する押圧板と、配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、押圧板は、レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明における露光方法は、上述の露光装置のテーブルに配線基板用パネルを載置するとともに配線基板用パネルの外周部を押圧板によりテーブル上に押しつけて固定する工程と、配線基板用パネルの上面にレーザ照射装置からレーザ光を照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の露光装置によれば、配線基板用パネルをテーブルに押しつけて固定する押圧板がレーザ光を透過する透明材料から成ることから、押圧板の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置を提供することができる。
【００１３】
また、本発明の露光方法によれば、配線基板用パネルの外周部をレーザ光が透過する透明な材料から成る押圧板によりテーブルに押しつけてテーブルに固定した状態で、レーザ照射装置からレーザを照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程を行う。このため、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができ、それにより配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の露光装置の構成を示す概略前面図である。
【図２】図２は、本発明の露光装置のテーブル付近の構成を示す概略前面図および概略平面図である。
【図３】図３は、本発明の露光方法順序を示す露光手順図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明の露光装置の実施形態の一例を図１および図２を基にして説明する。
【００１６】
図１に示すように、本例の露光装置１０は、例えば上面に感光性のレジストが被着された配線基板用パネルＡを載置する水平なテーブル１と、テーブル１に載置された配線基板用パネルＡの外周部をテーブル１に押しつけてテーブル１に固定する押圧板２と、テーブル１の上方に配置されたレーザ照射装置３とを筐体４内に備えている。
【００１７】
テーブル１は、例えば平滑に研磨された表面にアルマイト処理が施されたアルミニウム製の平板から成り、筐体４内に上面が水平となるように配置されている。また、図２（ｂ）に示すように、テーブル１には、後述する押圧板２が稼動するためのスリット５が、テーブル１の各辺外周部から中央部に向けて２本ずつ形成されている。そして、テーブル１には、複数の吸着孔６が配列形成されており、真空ポンプ７と接続されてテーブル１に載置される配線基板用パネルＡを吸着可能となっている。さらに、テーブル１は、配線基板用パネルＡの全領域を後述のレーザ照射装置３から照射されるレーザ光の照射範囲に通過させるため、露光装置１０の前後方向にテーブル１を稼動させる移動装置を備えている。テーブル１の寸法は縦６０〜７０ｃｍ、横７０〜８０ｃｍ程度である。
【００１８】
押圧板２は、支柱８上に接合された支持体９により支持された状態でテーブル１の上に配置されている。支柱８は、ステンレスやアルミニウム等の金属材料から成り、上述したスリット５の中を水平方向に移動可能であるとともに上下方向に伸縮可能になっており、図示しない駆動装置に繋がっている。支持体９は、ステンレスやアルミニウム等の金属から成り、押圧板２をネジ止めにより水平な状態で支持している。そして、支柱８が伸長した状態でテーブル１の上に載置される配線基板用パネルＡのサイズに合わせて水平方向に移動した後、支柱８が縮退することにより押圧板２がテーブル１に載置された配線基板用パネルＡの外周部を押しつける。
【００１９】
ところで本発明の露光装置１０においては、押圧板２は、レーザ光を透過可能な透明な材料から形成されている。押圧板２として、このような透明な材料を用いることによって、押圧板２の下の領域までレーザ光により露光することが可能となる。透明な材料としては、例えばアクリル樹脂が好ましい。押圧板２がアクリル樹脂から成る場合、押圧板２の厚みは１０〜３０ｍｍ程度であることが好ましい。アクリル製の押圧板２の厚みが１０ｍｍ未満の場合は、押圧板２の強度不足により配線基板用パネルＡの外周部をテーブル１に良好に押しつけて固定することが困難となったり、押圧板２自体が破損しやすかったりする不具合が生じる恐れがある。また、厚みが３０ｍｍを超える場合は、レーザ光の透過量が少なくなり、押圧板２の下の領域における露光が不十分になる恐れがある。なお、押圧板２は配線基板用パネルＡの外周端から５〜１０ｍｍ程度の位置を押圧する。
【００２０】
レーザ照射装置３は、テーブル１の上方に配置されており、テーブル１の方向にレーザ光を照射する照射部と、レーザ光を照射するタイミングを制御する制御部とを備えている。露光時は、レーザ光の照射範囲を移動する配線基板用パネルＡの上面にレーザ光を照射して露光する。このとき、上述したように、押圧板２がレーザ光を透過する透明材料から成るため、押圧板２の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板２の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルＡの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置１０を提供することができる。レーザ光の波長は３５０〜４１０ｎｍ程度である。
【００２１】
次に、本発明の露光方法の実施形態の一例を図３（ａ）〜（ｆ）を基にして説明する。なお、図１および図２と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
【００２２】
まず、図３（ａ）に示すように、テーブル１の上に配線基板用パネルＡを載置する。配線基板用パネルＡは、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等を含浸させた絶縁層１１の表面全体に、銅箔を圧着させたり、周知のめっき法により銅めっき膜を析出させたりすることで導体層１２を形成して成る。また、導体層１２の上には、感光性のレジスト１３が被着されている。レジスト１３は、導体層１２の上に感光性樹脂のペーストを塗布した後、乾燥させることによって、または感光性のフィルムを導体層１２上に張着することで形成される。レジスト１３はアクリル系の紫外線硬化性樹脂を含有する電気絶縁材料から成る。
【００２３】
次に図３（ｂ）に示すように、配線基板用パネルＡの外周部を押圧板２で下方に押しつけてテーブル１に固定する。このとき、押圧板２は、配線基板用パネルＡの外周端から５〜１０ｍｍ程度の範囲を押圧する。また、配線基板用パネルＡをテーブル１に固定するときは、押圧板２による押圧と並行して、テーブル１に具備された吸着孔６による吸着を行うことが好ましい。
【００２４】
次に、図３（ｃ）に示すように、レーザ照射装置３からレーザ光を照射し、押圧板２の下の領域を含む配線基板用パネルＡの上のレジスト１３を露光する。露光時は、配線基板用パネルＡを載置したテーブル１が、レーザ光の照射範囲を移動することで配線基板用パネルＡの上面全域を所定のパターンで露光する。このとき、押圧板２がレーザ光を透過する透明なアクリル板でできていることから、押圧板２の下のめっきレジスト１３を露光して硬化させることが可能となる。
【００２５】
次に、図３（ｄ）に示すように、露光の終了した配線基板用パネルＡを現像装置に投入し、アルカリ性の現像液によりめっきレジスト１３の未露光部を除去して所定のレジストパターン１３ａに現像する。このとき、配線基板用パネルＡの外周部上面に、レジストパターン１３ａが被着していることが重要である。現像方法としては、例えば露光の済んだめっきレジスト１３の表面に、炭酸ナトリウム水溶液から成る現像液をシャワーで吹きつける方法が採用される。
【００２６】
次に、図３（ｅ）に示すように、レジストパターン１３ａから露出した導体層１２をエッチング液により除去する。このとき、押圧板２の下の領域の導体層１２はレジストパターン１３ａにより保護されていることから、エッチング液により除去されない。
【００２７】
最後に、図３（ｆ）に示すように、レジストパターン１３ａを、例えば水酸化ナトリウム水溶液から成る剥離液により除去することで、銅箔や銅めっき膜等から成る配線パターン１４を形成するとともに、外周部が導体層１２で被覆された配線基板用パネルＡを作成することができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂が露出しない配線基板の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１ テーブル
２ 押圧板
３ レーザ照射装置
１０ 露光装置
Ａ 配線基板用パネル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板用パネルを載置するテーブルと、前記配線基板用パネルの外周部を部分的に前記テーブル上に押しつけて固定する押圧板と、前記配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、前記押圧板は、前記レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置の前記テーブルに前記配線基板用パネルを載置するとともに該配線基板用パネルの外周部を前記押圧板により前記テーブル上に押しつけて固定する工程と、前記配線基板用パネルの上面に前記レーザ照射装置からレーザ光を照射して前記押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とする露光方法。
【請求項１】
配線基板用パネルを載置するテーブルと、前記配線基板用パネルの外周部を部分的に前記テーブル上に押しつけて固定する押圧板と、前記配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、前記押圧板は、前記レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置の前記テーブルに前記配線基板用パネルを載置するとともに該配線基板用パネルの外周部を前記押圧板により前記テーブル上に押しつけて固定する工程と、前記配線基板用パネルの上面に前記レーザ照射装置からレーザ光を照射して前記押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とする露光方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−９２５７０（Ｐ２０１３−９２５７０Ａ）
【公開日】平成２５年５月１６日（２０１３．５．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３３０９６（Ｐ２０１１−２３３０９６）
【出願日】平成２３年１０月２４日（２０１１．１０．２４）
【出願人】（３０４０２４８９８）京セラＳＬＣテクノロジー株式会社 (213)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１６日（２０１３．５．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月２４日（２０１１．１０．２４）
【出願人】（３０４０２４８９８）京セラＳＬＣテクノロジー株式会社 (213)
【Ｆターム（参考）】
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