金型クリーニングシート
【課題】皺や反りが発生せず、クリーニング性が高い金型クリーニングシートを提供する。
【解決手段】キャビティ開口部がオーバル形状の金型用の金型クリーニングシートであり、シート状基材１の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間ｂをあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の隙間ａをあけて切断されて複数のブロック体に分割され、そのブロック体の長さＹが、３〜５０ｍｍに設定され、かつ、長手方向の隙間ａが、０．１ｍｍ以上、ブロック体の幅Ｘ以下に設定され、かつ、幅方向の隙間ｂが、ブロック体の幅Ｘの１／２以上、ブロック体の幅Ｘ以下に設定され、かつ、ブロック体の幅Ｘが、１ｍｍ以上、オーバル形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下に設定されている。
【解決手段】キャビティ開口部がオーバル形状の金型用の金型クリーニングシートであり、シート状基材１の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間ｂをあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の隙間ａをあけて切断されて複数のブロック体に分割され、そのブロック体の長さＹが、３〜５０ｍｍに設定され、かつ、長手方向の隙間ａが、０．１ｍｍ以上、ブロック体の幅Ｘ以下に設定され、かつ、幅方向の隙間ｂが、ブロック体の幅Ｘの１／２以上、ブロック体の幅Ｘ以下に設定され、かつ、ブロック体の幅Ｘが、１ｍｍ以上、オーバル形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下に設定されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形金型の型面をクリーニングする際に用いられる金型クリーニングシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子をトランスファー成形によって樹脂封止する工程では、通常、金型を用いた樹脂成形が繰り返し行われる。そして、その繰り返し数（ショット数）が多くなるにつれて、金型の型面、特にキャビティ表面に、樹脂から滲出した成分，ばり，塵埃等の汚れが蓄積する。このような汚れは、成形品を金型から取り出す際の離型性を低下させ、また、成形品の表面に肌荒れ等を生じさせる。そこで、一定の成形繰り返し数（ショット数）毎に、金型の型面（キャビティ表面）がクリーニングされる。
【０００３】
このクリーニング方法として、金型クリーニングシートを用いる方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。この金型クリーニングシートは、図１４に示すように、シート状基材１の片面または両面（図１４では片面）に、複数の帯状の金型クリーニング部材２０が、隙間をあけて並列状に配設されたものとなっている。そして、金型をクリーニングする際には、上記金型クリーニングシートを、上金型と下金型の間に挟み、その状態で型締めする。これにより、金型クリーニングシートの金型クリーニング部材２０をキャビティ内に充填させる。このとき、キャビティ内のエアが、隣り合う上記帯状の金型クリーニング部材２０の隙間から抜けるため、金型クリーニング部材２０がキャビティ内の隅々まで充填されるようになる。そして、この状態で加熱成形することにより、上記金型クリーニング部材２０にキャビティ表面の汚れを付着させ、その後、その金型クリーニングシートを脱型し、上記汚れを金型クリーニング部材２０と共に金型の型面（キャビティ表面）から取り除く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９６５８６号公報
【特許文献２】特開２００８−１３２７５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記金型クリーニングシートは、上記のようにエア抜き用の隙間が形成されていることにより、キャビティ内のエア抜きが良好になり、金型クリーニング部材２０の充填性（クリーニング性）に優れたものとなっているものの、場合によって、皺が発生したり、反ったりすることがあった。そのような金型クリーニングシートを用いて金型をクリーニングすると、金型クリーニングシートの寸法が金型の寸法に足らなくなったり、金型クリーニングシートが折れ曲がったりして、金型クリーニング部材２０のキャビティ内への充填性が低下し、クリーニングが不充分になることがあった。
【０００６】
そこで、本発明者が上記皺や反りの原因を追求した結果、その原因は、上記金型クリーニング部材２０の寸法や形状や成分等によって、その帯状の金型クリーニング部材２０が、その長手方向に沿って収縮することにあることがわかった。すなわち、上記金型クリーニングシートの作製は、上記シート状基材１の片面または両面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を材料として、金型クリーニング部材２０に型成形することにより行われるが、脱型後、その型成形された帯状の金型クリーニング部材２０の熱残留応力により、上記のように、その帯状の金型クリーニング部材２０が、その長手方向に沿って収縮し、その結果、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生することがわかった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、皺や反りが発生せず、クリーニング性が高い金型クリーニングシートの提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであって、シート状基材の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間をあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定され、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されているという構成をとる。
【０００９】
本発明者は、先に述べた、複数の帯状の金型クリーニング部材が隙間をあけて並列状に配設された金型クリーニングシートについて、その高いクリーニング性を生かしながら、皺や反りが発生しないようにすべく、研究を重ねた。その結果、上記帯状の金型クリーニング部材を長手方向に所定の間隔で切断して複数のブロック体からなる縦列に形成すると、金型クリーニング部材の熱残留応力による収縮が、帯状の全体的なものではなく、ブロック体の部分的なものとなるため、その収縮が小さくなることを突き止めた。さらに、上記ブロック体の金型クリーニング部材の適正な寸法等について、研究を重ねた。その結果、ブロック体の長さを３〜５０ｍｍの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間を、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間を、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅を、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状（長方形，正方形等）のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定すると、上記収縮が適正化され、金型クリーニングシートに皺や反りが発生せず、クリーニング性も向上することを見出し、本発明に到達した。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の金型クリーニングシートは、シート状基材の少なくとも片面において、帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定されている。このため、上記金型クリーニング部材の収縮が個々のブロック体に分散されて小さくなり、本発明の金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにすることができる。また、上記金型クリーニング部材の縦列において、ブロック体の金型クリーニング部材間に、隙間が形成されているため、その隙間も、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間（従来からある隙間）と共に、金型をクリーニングする際のエア抜き用の隙間として利用することができ、エア抜き用の隙間が増加する。しかも、上記複数のブロック体からなる縦列におけるブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定されているため、上記エア抜きが適正化され、上記皺や反りが発生しないことと相俟って、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。さらに、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されているため、キャビティ開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材が塞ぐようになるため、キャビティ内のエア抜き性に優れ、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性（クリーニング性）が優れている。
【００１１】
特に、上記シート状基材が、布帛である場合には、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。
【００１２】
なかでも、上記布帛が、長繊維を用いた織布または不織布である場合には、そのシート状基材（布帛）の表面粗さが適正なものとなり、上記金型クリーニング部材のアンカー効果を適正化することができる。
【００１３】
さらに、上記不織布が、スパンボンド不織布である場合には、比較的引張強度に方向性がなく、また、加熱成形時に加わる応力を吸収緩和し易いため、加熱成形時にシート破断が生じ難い。しかも、金型からの剥離（脱型）時もシート破断しないため、剥離（脱型）操作が簡便になる。
【００１４】
また、上記シート状基材が、エンボス処理されている場合にも、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の金型クリーニングシートの第１の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の金型クリーニングシートの第２の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の金型クリーニングシートの第３の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、金型クリーニング部材の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に直角な断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、金型クリーニング部材の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に沿った断面図である。
【図６】金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図９】金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、金型クリーニング部材の他の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に直角な断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は、金型クリーニング部材の他の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に沿った断面図である。
【図１４】従来の金型クリーニングシートを模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１７】
図１は、本発明の金型クリーニングシートの第１の実施の形態を示している。この実施の形態の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状（長方形，正方形等）の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであり、シート状基材１の片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数のブロック体の金型クリーニング部材２が、隙間ａ，ｂをあけて縦横に規則的に配設されている。すなわち、上記金型クリーニングシートは、前記従来の金型クリーニングシート（図１４参照）において、帯状の金型クリーニング部材２を長手方向に所定の隙間ａをあけて複数のブロック体に分割して、それら複数のブロック体からなる縦列を形成している。しかも、上記ブロック体の金型クリーニング部材２の長さ（長手方向の寸法）Ｙを３〜５０ｍｍの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体の金型クリーニング部材２からなる縦列におけるブロック体間の隙間ａを、０．１ｍｍ以上、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘ以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材２の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材２との隙間ｂを、その金型クリーニング部材２の幅Ｘの１／２以上、その金型クリーニング部材２の幅Ｘ以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘを、１ｍｍ以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅（上記オーバル形状ないし四角形状の短い方の幅）の４／５以下に設定している。このような寸法のパターンに上記金型クリーニング部材２を配設したことが、本発明の大きな特徴である。なお、この実施の形態では、上記ブロック体は、その長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形に形成されたものとなっている。
【００１８】
すなわち、この実施の形態の金型クリーニングシートは、上記のように、帯状の金型クリーニング部材２を長手方向に所定の隙間ａをあけて複数のブロック体に分割することにより、金型クリーニング部材２の長手方向（ブロック体の縦列方向）の収縮を分散させ、上記金型クリーニングシート全体の収縮を抑制している。このことは、生産性の向上を目的に、上記金型クリーニングシートを大きくする際に、より効果を発揮する。さらに、そのブロック体の長さＹを３〜５０ｍｍの範囲内に設定することにより、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにしている。なお、上記ブロック体の長さＹの好ましい範囲は、上記皺や反りの防止の観点から、１０〜４０ｍｍの範囲内である。また、上記ブロック体の高さＨは、通常、１〜５ｍｍの範囲内に設定される。
【００１９】
また、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、前記従来の金型クリーニングシート（図１４参照）における、金型クリーニング部材２の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材２との間の隙間ｂに加え、上記のように、金型クリーニング部材２の長手方向においても、隣り合うブロック体の間に、隙間ａが形成されている。さらに、それら隙間ａ，ｂを上記範囲内に設定することにより、金型をクリーニングする際のエア抜きを適正化している。そして、このエア抜きの適正化と、上記皺や反りの防止とが相俟って、金型クリーニングシートが金型の型面に密着し易くなり、金型クリーニング部材２のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。
【００２０】
さらに、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘを、１ｍｍ以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下に設定することにより、キャビティ開口部が小さくても、金型クリーニング部材２がキャビティ開口部を部分的に塞ぐようにし、キャビティ内のエアを抜き易くしている。これにより、金型クリーニング部材２のキャビティ内への充填性（クリーニング性）が優れたものとなっている。なお、上記ブロック体の幅Ｘの好ましい範囲は、上記充填性の観点から、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の２／５〜４／５の範囲内である。ただし、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘは、その金型クリーニング部材２の収縮を縮小する観点から、５０ｍｍを超えないようにする。
【００２１】
そして、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記のように、隣り合う金型クリーニング部材２の間の隙間ａ，ｂを格子状に形成することにより、縦横に切断することを容易にし、金型の大きさに応じて適正な大きさに切断して使用できるようにしている。
【００２２】
より詳しく説明すると、上記シート状基材１の形成材料としては、例えば、紙（和紙，洋紙，合成紙等）、布帛（織布，不織布，編布等）、プラスチック（ポリエチレンテレフタレート，ポリイミド，ポリエチレンナフタレート，ポリアミド，ポリプロピレン等）等があげられる。また、上記シート状基材１の厚みは、例えば、０．０５〜１ｍｍの範囲内のものが用いられる。なかでも、上記金型クリーニング部材２のアンカー効果を生み、その金型クリーニング部材２との密着力を強力にする観点から、不織布，エンボス処理されたもの、粗面化処理されたもの、穿孔処理されたもの、多孔質のもの等が好ましい。特に、長繊維を用いた織布および不織布は、表面が適正な粗面となっていることから、上記アンカー効果が適正になる観点で好ましく、上記不織布のなかでも、耐破断性に優れる観点から、スパンボンド不織布であることが好ましい。
【００２３】
また、上記金型クリーニング部材２を形成する未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物は、未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂に、シリカ粉末や酸化チタン等の無機質充填剤を混合したものであり、その配合割合は、上記未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂１００重量部に対し、シリカ粉末４０〜５０重量部程度、酸化チタン５重量部程度である。なお、必要に応じて、他の成分も適宜混合される。
【００２４】
上記未加硫ゴムとしては、例えば、天然ゴム（ＮＲ），クロロプレンゴム（ＣＲ），ブタジエンゴム（ＢＲ），ニトリルゴム（ＮＢＲ），エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ），エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ），スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ），ポリイソプレンゴム（ＩＲ），ブチルゴム（ＩＩＲ），シリコーンゴム（Ｑ），フッ素ゴム（ＦＫＭ）等があげられる。
【００２５】
上記熱硬化性樹脂としては、例えば、メラミン樹脂等があげられる。
【００２６】
上記金型クリーニング部材２の色は、特に限定されるものではないが、白色ないし灰色のような淡色とすることが好ましい。その理由は、金型のキャビティから除去すべき汚れは、黒色等の濃色であるため、クリーニング後に、金型クリーニング部材２に上記汚れが付着したことを肉眼で容易に確認することができ、クリーニングの状況を容易に確認することができるからである。上記淡色にするためには、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物に白色系顔料等を添加する。
【００２７】
上記金型クリーニングシートの製法は、例えば、まず、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を連続式またはバッチ式の混練り機で混練りした後、上記シート状基材１の片面に配置する。ついで、それを、金型クリーニング部材２の配設パターンに対応した凹部が形成された金型で押圧する。これにより、上記シート状基材１の片面に、上記配設パターンの金型クリーニング部材２が一体的に形成される。そして、脱型後、それを巻き取るか、または適宜の寸法に切断する。このようにして、上記金型クリーニングシートを作製することができる。
【００２８】
なお、上記実施の形態では、金型クリーニング部材２をシート状基材１の片面のみに形成したが、図２に示すように、シート状基材１の両面に形成してもよい。また、図３に示すように、シート状基材１の表面と裏面とで、ブロック体の金型クリーニング部材２の長手方向が異なるようにしてもよい（図３では９０°異なっている）。
【００２９】
また、上記実施の形態では、金型クリーニング部材２の長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形状に形成されたものとしたが、その断面形状は、他でもよく、例えば、図４（ａ）に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が台形に形成されたものでもよいし、図４（ｂ）に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が長方形に形成されたものでもよい。また、上記断面形状は、図４（ｃ）に示すように、三角形でもよいし、図４（ｄ）に示すように、台形でもよいし、図４（ｅ）に示すように、半円でもよい。
【００３０】
なかでも、図４（ａ）〜（ｃ），（ｅ）に示すものは、金型クリーニング部材２の頂部が非平坦状に形成されているため、キャビティの開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材２の頂部が塞ぎ易くなり、キャビティ内のエアをより抜き易くすることができる。その結果、金型クリーニング材料の充填性がより向上し、キャビティ内のクリーニング性もより向上する。
【００３１】
また、金型クリーニング部材２の長手方向に沿う断面形状は、図５（ａ）に示すように、長方形（長手方向の両端面がシート状基材１と直角であり、その両端面の周縁部が直角に形成された形状）でもよいし、図５（ｂ）に示すように、台形（長手方向の両端面が傾斜し、その両端面の周縁部が角部に形成された形状）でもよいし、図５（ｃ）に示すように、長手方向の両端面が曲面状に形成された形状（両端面の周縁部も丸みを帯びた形状）でもよい。なお、図１〜図３に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材２の長手方向に沿う断面形状は、図５（ａ）に示すものである。
【００３２】
そして、図４（ａ），（ｃ）〜（ｅ）、図５（ｂ），（ｃ）のように、金型クリーニング部材２の側面や両端面がシート状基材１の表面と直角になっていないものについては、金型クリーニング部材２の幅Ｘ，長さＹおよび隙間ａ，ｂの測定は、金型クリーニング部材２の根元（底面）で行う。
【００３３】
また、金型クリーニング部材２の配設パターンの例としては、図６〜図１１に平面図で示すようなものがあげられる。なお、これら図６〜図１１では、金型クリーニング部材２の根元（底面）を図示している。すなわち、上記配設パターンは、図６に示すように、正方形を縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図７（ａ）に示すように、オーバル形状（幅Ｘ：長さＹ＝１：１０）を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図７（ｂ）に示すように、上記オーバル形状を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよい。また、図８（ａ）に示すように、長方形（幅Ｘ：長さＹ＝１：１０）を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図８（ｂ）に示すように、上記長方形を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図９に示すように、シート状基材１の端縁に、図８（ａ）に示す長方形の一端が一致するように配設したパターンでもよい。さらに、図８（ａ），（ｂ）の長方形の幅Ｘと長さＹの比を、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、１：５．５としてもよいし、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、１：４としてもよい。なお、図１〜図３に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材２の根元（底面）の配設パターンは、図９に示すものである。
【００３４】
また、上記実施の形態では、隣り合う金型クリーニング部材２の間の隙間ａ，ｂの部分から、シート状基材１が露呈していたが、その隙間ａ，ｂの部分のシート状基材１の部分は、図１２（ａ）〜（ｅ）〔図４（ａ）〜（ｅ）に対応する断面図〕，図１３（ａ）〜（ｃ）〔図５（ａ）〜（ｃ）に対応する断面図〕に示すように、薄膜状の金型クリーニング部材２（金型クリーニング部材２の形成材料である未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる薄膜２ａ）で覆われていてもよい。その場合、その薄膜２ａの厚みは、シート状基材１の厚みと同じにすることが好ましい。そのようにすると、突設された金型クリーニング部材２の間に上記薄膜２ａが形成されていても、金型クリーニングシートの収縮に悪影響を及ぼさず、金型クリーニングシートに皺や反りが発生しない。
【００３５】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。
【実施例】
【００３６】
〔布帛シート〕
シート状基材として、ポリエステル製長繊維からなるスパンボンド不織布（旭化成社製、エルタスＥ０１０７０）を準備した。この不織布は、引き裂き強度８．５Ｎ、厚み０．３５ｍｍ、坪量７０ｇ／ｍ2 であった。
【００３７】
〔金型クリーニング部材〕
エチレンプロピレンゴム１００重量部、シリカパウダー５０重量部、酸化チタン５重量部、有機過酸化物〔ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレレート〕２重量部、イミダゾール｛２，４−ジアミノ−６−〔２’−メチルイミダゾリル−（１’）〕エチル−ｓ−トリアジン｝１０重量部、モンタンワックス５重量部を混練機で混練し、金型クリーニング部材を調製した。
【００３８】
〔実施例１〜５，比較例１〜６〕
上記シート状基材の両面に、上記金型クリーニング材料を、ブロック体が隙間をあけて縦横に規則的に配設したパターンに形成し、金型クリーニングシートを得た（図２参照）。上記ブロック体の形状は、図１に示すものとし、上記ブロック体および隙間の寸法は、下記の表１，２に示した。
【００３９】
〔金型クリーニングシートの収縮率〕
実施例１〜５および比較例１〜６の金型クリーニングシートを作製する前後で、金型クリーニング材料の長手方向に対応する、シート状基材の寸法を測定し、そのシート状基材の収縮率を算出した。その結果、収縮率１％未満のものを◎、１〜３％のものを○、３％を超えるものを×と評価し、下記の表１，２に示した。なお、比較例２，４は、作製困難のため、評価していない。
【００４０】
〔充填性〕
実施例１〜５および比較例１〜６の金型クリーニングシートを用い、金型のクリーニングを行った。この金型は、半導体素子を樹脂封止する際に用いるトランスファー成形用金型であり、上金型と下金型とからなり、これら上金型と下金型の各型面（対向面）は２４ｍｍ×９１ｍｍの長方形となっている。また、型締めした状態での各キャビティの形状は略直方体状（キャビティ開口部はオーバル形状）であり、その寸法は５ｍｍ×５ｍｍ×２ｍｍ（高さ）である（キャビティ開口部の幅５ｍｍ）。また、キャビティは１６個形成されており、それらが８個ずつ２列に並列状に配置されている。この２列の間隔は１０ｍｍであり、各列において隣り合うキャビティの間隔は１ｍｍである。上記クリーニングの条件は、金型の型締めギャップを０．５ｍｍとし、成形温度を１７５℃とし、成形時間を５分間とした。そして、クリーニングの状態を目視にて確認した。その結果、キャビティの隅々までクリーニングができたものを、充填性に優れるとして○、キャビティの隅部にクリーニングされていない部分があったものを、充填性に劣るとして×と評価し、下記の表１，２に示した。なお、比較例２，４は、作製困難のため、評価していない。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】
【００４３】
上記表１，２の結果から、実施例１〜５の金型クリーニングシートは、比較例１〜６の金型クリーニングシートよりも、充填性およびクリーニング性に優れることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の金型クリーニングシートは、成形金型の型面のクリーニングに用いることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１ シート状基材
２ 金型クリーニング部材
Ｘ 幅
Ｙ 長さ
ａ，ｂ 隙間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形金型の型面をクリーニングする際に用いられる金型クリーニングシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子をトランスファー成形によって樹脂封止する工程では、通常、金型を用いた樹脂成形が繰り返し行われる。そして、その繰り返し数（ショット数）が多くなるにつれて、金型の型面、特にキャビティ表面に、樹脂から滲出した成分，ばり，塵埃等の汚れが蓄積する。このような汚れは、成形品を金型から取り出す際の離型性を低下させ、また、成形品の表面に肌荒れ等を生じさせる。そこで、一定の成形繰り返し数（ショット数）毎に、金型の型面（キャビティ表面）がクリーニングされる。
【０００３】
このクリーニング方法として、金型クリーニングシートを用いる方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。この金型クリーニングシートは、図１４に示すように、シート状基材１の片面または両面（図１４では片面）に、複数の帯状の金型クリーニング部材２０が、隙間をあけて並列状に配設されたものとなっている。そして、金型をクリーニングする際には、上記金型クリーニングシートを、上金型と下金型の間に挟み、その状態で型締めする。これにより、金型クリーニングシートの金型クリーニング部材２０をキャビティ内に充填させる。このとき、キャビティ内のエアが、隣り合う上記帯状の金型クリーニング部材２０の隙間から抜けるため、金型クリーニング部材２０がキャビティ内の隅々まで充填されるようになる。そして、この状態で加熱成形することにより、上記金型クリーニング部材２０にキャビティ表面の汚れを付着させ、その後、その金型クリーニングシートを脱型し、上記汚れを金型クリーニング部材２０と共に金型の型面（キャビティ表面）から取り除く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９６５８６号公報
【特許文献２】特開２００８−１３２７５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記金型クリーニングシートは、上記のようにエア抜き用の隙間が形成されていることにより、キャビティ内のエア抜きが良好になり、金型クリーニング部材２０の充填性（クリーニング性）に優れたものとなっているものの、場合によって、皺が発生したり、反ったりすることがあった。そのような金型クリーニングシートを用いて金型をクリーニングすると、金型クリーニングシートの寸法が金型の寸法に足らなくなったり、金型クリーニングシートが折れ曲がったりして、金型クリーニング部材２０のキャビティ内への充填性が低下し、クリーニングが不充分になることがあった。
【０００６】
そこで、本発明者が上記皺や反りの原因を追求した結果、その原因は、上記金型クリーニング部材２０の寸法や形状や成分等によって、その帯状の金型クリーニング部材２０が、その長手方向に沿って収縮することにあることがわかった。すなわち、上記金型クリーニングシートの作製は、上記シート状基材１の片面または両面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を材料として、金型クリーニング部材２０に型成形することにより行われるが、脱型後、その型成形された帯状の金型クリーニング部材２０の熱残留応力により、上記のように、その帯状の金型クリーニング部材２０が、その長手方向に沿って収縮し、その結果、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生することがわかった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、皺や反りが発生せず、クリーニング性が高い金型クリーニングシートの提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであって、シート状基材の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間をあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定され、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されているという構成をとる。
【０００９】
本発明者は、先に述べた、複数の帯状の金型クリーニング部材が隙間をあけて並列状に配設された金型クリーニングシートについて、その高いクリーニング性を生かしながら、皺や反りが発生しないようにすべく、研究を重ねた。その結果、上記帯状の金型クリーニング部材を長手方向に所定の間隔で切断して複数のブロック体からなる縦列に形成すると、金型クリーニング部材の熱残留応力による収縮が、帯状の全体的なものではなく、ブロック体の部分的なものとなるため、その収縮が小さくなることを突き止めた。さらに、上記ブロック体の金型クリーニング部材の適正な寸法等について、研究を重ねた。その結果、ブロック体の長さを３〜５０ｍｍの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間を、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間を、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅を、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状（長方形，正方形等）のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定すると、上記収縮が適正化され、金型クリーニングシートに皺や反りが発生せず、クリーニング性も向上することを見出し、本発明に到達した。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の金型クリーニングシートは、シート状基材の少なくとも片面において、帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定されている。このため、上記金型クリーニング部材の収縮が個々のブロック体に分散されて小さくなり、本発明の金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにすることができる。また、上記金型クリーニング部材の縦列において、ブロック体の金型クリーニング部材間に、隙間が形成されているため、その隙間も、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間（従来からある隙間）と共に、金型をクリーニングする際のエア抜き用の隙間として利用することができ、エア抜き用の隙間が増加する。しかも、上記複数のブロック体からなる縦列におけるブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定されているため、上記エア抜きが適正化され、上記皺や反りが発生しないことと相俟って、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。さらに、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されているため、キャビティ開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材が塞ぐようになるため、キャビティ内のエア抜き性に優れ、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性（クリーニング性）が優れている。
【００１１】
特に、上記シート状基材が、布帛である場合には、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。
【００１２】
なかでも、上記布帛が、長繊維を用いた織布または不織布である場合には、そのシート状基材（布帛）の表面粗さが適正なものとなり、上記金型クリーニング部材のアンカー効果を適正化することができる。
【００１３】
さらに、上記不織布が、スパンボンド不織布である場合には、比較的引張強度に方向性がなく、また、加熱成形時に加わる応力を吸収緩和し易いため、加熱成形時にシート破断が生じ難い。しかも、金型からの剥離（脱型）時もシート破断しないため、剥離（脱型）操作が簡便になる。
【００１４】
また、上記シート状基材が、エンボス処理されている場合にも、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の金型クリーニングシートの第１の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の金型クリーニングシートの第２の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の金型クリーニングシートの第３の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、金型クリーニング部材の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に直角な断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、金型クリーニング部材の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に沿った断面図である。
【図６】金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図９】金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）は、金型クリーニング部材の配設パターンの例を模式的に示す平面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、金型クリーニング部材の他の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に直角な断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は、金型クリーニング部材の他の変形例を模式的に示す、金型クリーニング部材の長手方向に沿った断面図である。
【図１４】従来の金型クリーニングシートを模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１７】
図１は、本発明の金型クリーニングシートの第１の実施の形態を示している。この実施の形態の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状（長方形，正方形等）の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであり、シート状基材１の片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数のブロック体の金型クリーニング部材２が、隙間ａ，ｂをあけて縦横に規則的に配設されている。すなわち、上記金型クリーニングシートは、前記従来の金型クリーニングシート（図１４参照）において、帯状の金型クリーニング部材２を長手方向に所定の隙間ａをあけて複数のブロック体に分割して、それら複数のブロック体からなる縦列を形成している。しかも、上記ブロック体の金型クリーニング部材２の長さ（長手方向の寸法）Ｙを３〜５０ｍｍの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体の金型クリーニング部材２からなる縦列におけるブロック体間の隙間ａを、０．１ｍｍ以上、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘ以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材２の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材２との隙間ｂを、その金型クリーニング部材２の幅Ｘの１／２以上、その金型クリーニング部材２の幅Ｘ以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘを、１ｍｍ以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅（上記オーバル形状ないし四角形状の短い方の幅）の４／５以下に設定している。このような寸法のパターンに上記金型クリーニング部材２を配設したことが、本発明の大きな特徴である。なお、この実施の形態では、上記ブロック体は、その長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形に形成されたものとなっている。
【００１８】
すなわち、この実施の形態の金型クリーニングシートは、上記のように、帯状の金型クリーニング部材２を長手方向に所定の隙間ａをあけて複数のブロック体に分割することにより、金型クリーニング部材２の長手方向（ブロック体の縦列方向）の収縮を分散させ、上記金型クリーニングシート全体の収縮を抑制している。このことは、生産性の向上を目的に、上記金型クリーニングシートを大きくする際に、より効果を発揮する。さらに、そのブロック体の長さＹを３〜５０ｍｍの範囲内に設定することにより、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにしている。なお、上記ブロック体の長さＹの好ましい範囲は、上記皺や反りの防止の観点から、１０〜４０ｍｍの範囲内である。また、上記ブロック体の高さＨは、通常、１〜５ｍｍの範囲内に設定される。
【００１９】
また、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、前記従来の金型クリーニングシート（図１４参照）における、金型クリーニング部材２の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材２との間の隙間ｂに加え、上記のように、金型クリーニング部材２の長手方向においても、隣り合うブロック体の間に、隙間ａが形成されている。さらに、それら隙間ａ，ｂを上記範囲内に設定することにより、金型をクリーニングする際のエア抜きを適正化している。そして、このエア抜きの適正化と、上記皺や反りの防止とが相俟って、金型クリーニングシートが金型の型面に密着し易くなり、金型クリーニング部材２のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。
【００２０】
さらに、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘを、１ｍｍ以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下に設定することにより、キャビティ開口部が小さくても、金型クリーニング部材２がキャビティ開口部を部分的に塞ぐようにし、キャビティ内のエアを抜き易くしている。これにより、金型クリーニング部材２のキャビティ内への充填性（クリーニング性）が優れたものとなっている。なお、上記ブロック体の幅Ｘの好ましい範囲は、上記充填性の観点から、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の２／５〜４／５の範囲内である。ただし、上記金型クリーニング部材２の幅Ｘは、その金型クリーニング部材２の収縮を縮小する観点から、５０ｍｍを超えないようにする。
【００２１】
そして、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記のように、隣り合う金型クリーニング部材２の間の隙間ａ，ｂを格子状に形成することにより、縦横に切断することを容易にし、金型の大きさに応じて適正な大きさに切断して使用できるようにしている。
【００２２】
より詳しく説明すると、上記シート状基材１の形成材料としては、例えば、紙（和紙，洋紙，合成紙等）、布帛（織布，不織布，編布等）、プラスチック（ポリエチレンテレフタレート，ポリイミド，ポリエチレンナフタレート，ポリアミド，ポリプロピレン等）等があげられる。また、上記シート状基材１の厚みは、例えば、０．０５〜１ｍｍの範囲内のものが用いられる。なかでも、上記金型クリーニング部材２のアンカー効果を生み、その金型クリーニング部材２との密着力を強力にする観点から、不織布，エンボス処理されたもの、粗面化処理されたもの、穿孔処理されたもの、多孔質のもの等が好ましい。特に、長繊維を用いた織布および不織布は、表面が適正な粗面となっていることから、上記アンカー効果が適正になる観点で好ましく、上記不織布のなかでも、耐破断性に優れる観点から、スパンボンド不織布であることが好ましい。
【００２３】
また、上記金型クリーニング部材２を形成する未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物は、未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂に、シリカ粉末や酸化チタン等の無機質充填剤を混合したものであり、その配合割合は、上記未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂１００重量部に対し、シリカ粉末４０〜５０重量部程度、酸化チタン５重量部程度である。なお、必要に応じて、他の成分も適宜混合される。
【００２４】
上記未加硫ゴムとしては、例えば、天然ゴム（ＮＲ），クロロプレンゴム（ＣＲ），ブタジエンゴム（ＢＲ），ニトリルゴム（ＮＢＲ），エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ），エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ），スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ），ポリイソプレンゴム（ＩＲ），ブチルゴム（ＩＩＲ），シリコーンゴム（Ｑ），フッ素ゴム（ＦＫＭ）等があげられる。
【００２５】
上記熱硬化性樹脂としては、例えば、メラミン樹脂等があげられる。
【００２６】
上記金型クリーニング部材２の色は、特に限定されるものではないが、白色ないし灰色のような淡色とすることが好ましい。その理由は、金型のキャビティから除去すべき汚れは、黒色等の濃色であるため、クリーニング後に、金型クリーニング部材２に上記汚れが付着したことを肉眼で容易に確認することができ、クリーニングの状況を容易に確認することができるからである。上記淡色にするためには、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物に白色系顔料等を添加する。
【００２７】
上記金型クリーニングシートの製法は、例えば、まず、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を連続式またはバッチ式の混練り機で混練りした後、上記シート状基材１の片面に配置する。ついで、それを、金型クリーニング部材２の配設パターンに対応した凹部が形成された金型で押圧する。これにより、上記シート状基材１の片面に、上記配設パターンの金型クリーニング部材２が一体的に形成される。そして、脱型後、それを巻き取るか、または適宜の寸法に切断する。このようにして、上記金型クリーニングシートを作製することができる。
【００２８】
なお、上記実施の形態では、金型クリーニング部材２をシート状基材１の片面のみに形成したが、図２に示すように、シート状基材１の両面に形成してもよい。また、図３に示すように、シート状基材１の表面と裏面とで、ブロック体の金型クリーニング部材２の長手方向が異なるようにしてもよい（図３では９０°異なっている）。
【００２９】
また、上記実施の形態では、金型クリーニング部材２の長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形状に形成されたものとしたが、その断面形状は、他でもよく、例えば、図４（ａ）に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が台形に形成されたものでもよいし、図４（ｂ）に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が長方形に形成されたものでもよい。また、上記断面形状は、図４（ｃ）に示すように、三角形でもよいし、図４（ｄ）に示すように、台形でもよいし、図４（ｅ）に示すように、半円でもよい。
【００３０】
なかでも、図４（ａ）〜（ｃ），（ｅ）に示すものは、金型クリーニング部材２の頂部が非平坦状に形成されているため、キャビティの開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材２の頂部が塞ぎ易くなり、キャビティ内のエアをより抜き易くすることができる。その結果、金型クリーニング材料の充填性がより向上し、キャビティ内のクリーニング性もより向上する。
【００３１】
また、金型クリーニング部材２の長手方向に沿う断面形状は、図５（ａ）に示すように、長方形（長手方向の両端面がシート状基材１と直角であり、その両端面の周縁部が直角に形成された形状）でもよいし、図５（ｂ）に示すように、台形（長手方向の両端面が傾斜し、その両端面の周縁部が角部に形成された形状）でもよいし、図５（ｃ）に示すように、長手方向の両端面が曲面状に形成された形状（両端面の周縁部も丸みを帯びた形状）でもよい。なお、図１〜図３に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材２の長手方向に沿う断面形状は、図５（ａ）に示すものである。
【００３２】
そして、図４（ａ），（ｃ）〜（ｅ）、図５（ｂ），（ｃ）のように、金型クリーニング部材２の側面や両端面がシート状基材１の表面と直角になっていないものについては、金型クリーニング部材２の幅Ｘ，長さＹおよび隙間ａ，ｂの測定は、金型クリーニング部材２の根元（底面）で行う。
【００３３】
また、金型クリーニング部材２の配設パターンの例としては、図６〜図１１に平面図で示すようなものがあげられる。なお、これら図６〜図１１では、金型クリーニング部材２の根元（底面）を図示している。すなわち、上記配設パターンは、図６に示すように、正方形を縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図７（ａ）に示すように、オーバル形状（幅Ｘ：長さＹ＝１：１０）を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図７（ｂ）に示すように、上記オーバル形状を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよい。また、図８（ａ）に示すように、長方形（幅Ｘ：長さＹ＝１：１０）を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図８（ｂ）に示すように、上記長方形を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図９に示すように、シート状基材１の端縁に、図８（ａ）に示す長方形の一端が一致するように配設したパターンでもよい。さらに、図８（ａ），（ｂ）の長方形の幅Ｘと長さＹの比を、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、１：５．５としてもよいし、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、１：４としてもよい。なお、図１〜図３に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材２の根元（底面）の配設パターンは、図９に示すものである。
【００３４】
また、上記実施の形態では、隣り合う金型クリーニング部材２の間の隙間ａ，ｂの部分から、シート状基材１が露呈していたが、その隙間ａ，ｂの部分のシート状基材１の部分は、図１２（ａ）〜（ｅ）〔図４（ａ）〜（ｅ）に対応する断面図〕，図１３（ａ）〜（ｃ）〔図５（ａ）〜（ｃ）に対応する断面図〕に示すように、薄膜状の金型クリーニング部材２（金型クリーニング部材２の形成材料である未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる薄膜２ａ）で覆われていてもよい。その場合、その薄膜２ａの厚みは、シート状基材１の厚みと同じにすることが好ましい。そのようにすると、突設された金型クリーニング部材２の間に上記薄膜２ａが形成されていても、金型クリーニングシートの収縮に悪影響を及ぼさず、金型クリーニングシートに皺や反りが発生しない。
【００３５】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。
【実施例】
【００３６】
〔布帛シート〕
シート状基材として、ポリエステル製長繊維からなるスパンボンド不織布（旭化成社製、エルタスＥ０１０７０）を準備した。この不織布は、引き裂き強度８．５Ｎ、厚み０．３５ｍｍ、坪量７０ｇ／ｍ2 であった。
【００３７】
〔金型クリーニング部材〕
エチレンプロピレンゴム１００重量部、シリカパウダー５０重量部、酸化チタン５重量部、有機過酸化物〔ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレレート〕２重量部、イミダゾール｛２，４−ジアミノ−６−〔２’−メチルイミダゾリル−（１’）〕エチル−ｓ−トリアジン｝１０重量部、モンタンワックス５重量部を混練機で混練し、金型クリーニング部材を調製した。
【００３８】
〔実施例１〜５，比較例１〜６〕
上記シート状基材の両面に、上記金型クリーニング材料を、ブロック体が隙間をあけて縦横に規則的に配設したパターンに形成し、金型クリーニングシートを得た（図２参照）。上記ブロック体の形状は、図１に示すものとし、上記ブロック体および隙間の寸法は、下記の表１，２に示した。
【００３９】
〔金型クリーニングシートの収縮率〕
実施例１〜５および比較例１〜６の金型クリーニングシートを作製する前後で、金型クリーニング材料の長手方向に対応する、シート状基材の寸法を測定し、そのシート状基材の収縮率を算出した。その結果、収縮率１％未満のものを◎、１〜３％のものを○、３％を超えるものを×と評価し、下記の表１，２に示した。なお、比較例２，４は、作製困難のため、評価していない。
【００４０】
〔充填性〕
実施例１〜５および比較例１〜６の金型クリーニングシートを用い、金型のクリーニングを行った。この金型は、半導体素子を樹脂封止する際に用いるトランスファー成形用金型であり、上金型と下金型とからなり、これら上金型と下金型の各型面（対向面）は２４ｍｍ×９１ｍｍの長方形となっている。また、型締めした状態での各キャビティの形状は略直方体状（キャビティ開口部はオーバル形状）であり、その寸法は５ｍｍ×５ｍｍ×２ｍｍ（高さ）である（キャビティ開口部の幅５ｍｍ）。また、キャビティは１６個形成されており、それらが８個ずつ２列に並列状に配置されている。この２列の間隔は１０ｍｍであり、各列において隣り合うキャビティの間隔は１ｍｍである。上記クリーニングの条件は、金型の型締めギャップを０．５ｍｍとし、成形温度を１７５℃とし、成形時間を５分間とした。そして、クリーニングの状態を目視にて確認した。その結果、キャビティの隅々までクリーニングができたものを、充填性に優れるとして○、キャビティの隅部にクリーニングされていない部分があったものを、充填性に劣るとして×と評価し、下記の表１，２に示した。なお、比較例２，４は、作製困難のため、評価していない。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】
【００４３】
上記表１，２の結果から、実施例１〜５の金型クリーニングシートは、比較例１〜６の金型クリーニングシートよりも、充填性およびクリーニング性に優れることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の金型クリーニングシートは、成形金型の型面のクリーニングに用いることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１ シート状基材
２ 金型クリーニング部材
Ｘ 幅
Ｙ 長さ
ａ，ｂ 隙間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オーバル形状ないし四角形状の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであって、シート状基材の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間をあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定され、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されていることを特徴とする金型クリーニングシート。
【請求項２】
上記シート状基材が、布帛である請求項１記載の金型クリーニングシート。
【請求項３】
上記布帛が、長繊維を用いた織布または不織布である請求項２記載の金型クリーニングシート。
【請求項４】
上記不織布が、スパンボンド不織布である請求項３記載の金型クリーニングシート。
【請求項５】
上記シート状基材が、エンボス処理されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の金型クリーニングシート。
【請求項１】
オーバル形状ないし四角形状の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであって、シート状基材の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間をあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、３〜５０ｍｍの範囲内に設定され、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間が、０．１ｍｍ以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の１／２以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅が、１ｍｍ以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の４／５以下の寸法に設定されていることを特徴とする金型クリーニングシート。
【請求項２】
上記シート状基材が、布帛である請求項１記載の金型クリーニングシート。
【請求項３】
上記布帛が、長繊維を用いた織布または不織布である請求項２記載の金型クリーニングシート。
【請求項４】
上記不織布が、スパンボンド不織布である請求項３記載の金型クリーニングシート。
【請求項５】
上記シート状基材が、エンボス処理されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の金型クリーニングシート。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１３−１０７２８７（Ｐ２０１３−１０７２８７Ａ）
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５４２４１（Ｐ２０１１−２５４２４１）
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【出願人】（５０６００８９６２）日東化成電子材料九州株式会社 (17)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【出願人】（５０６００８９６２）日東化成電子材料九州株式会社 (17)
【Ｆターム（参考）】
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