鉄分測定装置
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は鉄分測定装置に関し，さらに詳しくは主として火力発電プラントの貫流ボイラ型プラントの系統水中に含まれる鉄分の濃度を測定する鉄分測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】火力発電プラントの高温，高圧化に伴い水質管理基準も厳しいものとなっているが，特に貫流ボイラ型プラントでは各工程ごとに系統水中の全鉄濃度が規定されており，高精度で迅速な全鉄濃度の把握が要請されている。全鉄測定において，最も工数が長くかかる操作はサンプル中の粒子またはコロイド状の鉄を溶解させる段階（前処理）である。鉄分の測定方法はＪＩＳ Ｂ８２２４「ボイラの給水及びボイラ水の試験方法」に示されている。この方法はサンプルに塩酸を加えて１／１０の体積まで濃縮することにより鉄を溶解させるものであるが，通常この操作だけで３０〜６０分程度必要である。
【０００３】前処理時間を短縮するものとしては特開昭６３−２０１５６４号公報に記載された方法が知られている。図６は上記公報に記載された鉄分溶解方法である。図において１はサンプル水導入管，２はサンプル水入り口弁，３は送水ポンプ，４は流量計，５は塩酸注入ポンプ，６は塩酸注入管，７は塩酸注入弁，８はサンプル水加熱器，９は冷却器，１０は調圧弁，１１は弁，１２は全鉄検出計，１３はプローブ管，１４はサンプル水出口管，１５はサンプル水出口弁である。
【０００４】上記の構成において，サンプル水がサンプル導入管１によって採取され，サンプル水入り口弁２，送水ポンプ３，流量計４から高圧下にあるサンプル水加熱器８に送水される。一方塩酸注入ポンプ５から塩酸注入管６，塩酸注入弁７を介して上記サンプル水中に塩酸が１〜１０％程度となるよう注入混合されサンプル水加熱器８で１００〜１５０℃に加熱されることにより，上記サンプル中のコロイド及び粒子状の鉄分は従来より大幅に短い滞留時間で溶解される。その後冷却器９で冷却され調圧弁１０を介して減圧される。そしてこの液は弁１１を経て全鉄検出計１２に搬送され，その含有鉄分が測定されブロー管１３から排出される。上記の鉄分溶解方法は溶解がチューブ内の流れの中で行われるのでクロマトグラフィやフローインジェクション検出法（ＦＩＡ）との接続も容易である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記の従来例においては鉄濃度が高い場合やサンプル液の主成分が溶解しにくいマグネタイトの場合は溶解が不完全であり，測定に負の誤差を与える要因となっている。また，冷却器と調節弁（減圧弁）を別々に備えているので部品点数が多くコスト高になるという問題があった。本発明は上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので，冷却器と調節弁を一体化し，所定量のサンプル液と第１反応液の混合液を加圧してマイクロ波加熱器で所定の時間加熱し，サンプル液中の粒子状の鉄をほぼ完全に溶解するとともに溶解した鉄を定量可能なＦＩＡで検出することにより粒子状の鉄を含むサンプル液を迅速に定量することが可能で，かつ，低コストな鉄分測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為に本発明は，鉄の粒子を含むサンプル液と，このサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，前記サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，この加熱された混合液を前記抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，この複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段からなるものである。
【０００７】
【作用】搬送液に取り込まれたサンプル液は第１反応液と混合されて加圧される。加圧された混合液はマイクロ波加熱器で加熱されることにより粒子状の鉄が完全に溶解される。鉄が溶解した混合液は複数種の反応液で順次反応され，可視吸光検出器に送られて含有鉄分が検出される。
【０００８】
【実施例】図１は本発明による鉄分測定装置の一実施例を示す構成図である。図において１ａは図示しない液槽から搬送液（例えば純水）を送出する第１ポンプであり，１ｂは図示しない液槽から第１反応液（例えば１規定の塩酸）を送出する第２ポンプ，１ｃは図示しない液槽から第２反応液（還元剤；例えば塩酸ヒドロキシルアミン１０％溶液）を送出する第３ポンプ，１ｄは図示しない液槽から発色液（例えばＴＰＴＺ（２，４，６−トリ−２−ピリジル−１，３，５−トリアジン）０．００１ｍｏｌ／ｌ溶液）を送出する第４ポンプ，１ｅは図示しない液槽から緩衝液（例えば酢酸アンモニウム５０％溶液）を送出する第５ポンプである。
【０００９】２はサンプル液を手動で注入する場合に使用する第１切換弁，３はサンプル液を自動的に注入する場合に使用する第２切換弁であり，図は自動で使用する場合を示している。５は耐薬品性があり，高温，高圧に耐えるポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の第１反応コイルである。この第１コイル５の後段には絞りとしての抵抗管６が接続されている。この抵抗管は例えば内径０．２ｍｍ，長さ５〜１０ｍ程度を有するもので冷却管としても機能する。
【００１０】７は第１反応コイル５を収納して加熱するマイクロ波加熱器（例えば電子レンジ）であり，この加熱器内にはマグネトロンの自己加熱を防ぐために保護用の水循環チューブ（内径４ｍｍ，長さ数ｍ程度…図示せず）が配置されている。上記第１，第２ポンプ（１ａ，１ｂ），切換弁（２，３）〜抵抗管６までは前処理部４として機能する。
【００１１】１０ａは抵抗管６の後段に配置された第２反応コイルであり，このコイルの前段には第３ポンプ１ｃからの還元剤が注入される。１０ｂは第２反応コイルの後段に接続された第３反応コイルであり，このコイルの前段には第４ポンプ１ｄからの発色液が注入される。そして１０ｃは第３反応コイル１０ｂの後段に配置された第４反応コイルであり，この第４反応コイルの前段には第５ポンプ１ｅからの緩衝剤が注入される。１５は第４反応コイルの後段に配置され鉄分の検出を行う可視吸光検出器である。なお，反応コイル１０ａ，１０ｂ，１０ｃは測定値の再現性を向上させるために４０℃程度の恒温槽２０に収納されている。
【００１２】上記の構成において第１ポンプからの純水は第１，第２切換弁の実線の経路を経て第１反応コイル５，抵抗管，第２〜第４反応コイルを通り可視吸光検出器側へ流れており，第２〜第５ポンプからの反応液も所定の量と濃度で注入されている。この時サンプル液は第２切換弁３の矢印Ａに注入され実線に沿って流れ計量管３ａを介して矢印Ｂ方向に排出されている。なお，この時第1反応コイル５を通過する混合液は抵抗管６により５〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度に昇圧されている。また，各反応チューブは内径０．５ｍｍ，長さ数ｍ程度のＥＴＦＥチューブとし，各ポンプの吐出量はそれぞれ毎分０．１〜２．０ｍｌ程度の適当な量とされる。
【００１３】次に所定のタイミングで第２切換弁３が点線で示す経路に切換わると純水は計量管３ａを流れていたサンプル液を取り込んで流れる。同時にマイクロ波加熱器７がオンとなり流路を流れる混合液を加熱する。この加熱器７により混合液は１００℃以上に加熱されるが上述のように５〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度に加圧されているので沸騰することはない。このマイクロ波での加熱はサンプルが加熱管を通過する時間に合わせて３分程度経ったらオフになるように設定されているがエネルギーがコイルを流れる混合液に十分に作用するのでむらなく加熱することができ，鉄粒子が十分に酸溶解される。
【００１４】図２は加熱チューブ（ＰＥＥＫ）として内径０．８ｍｍ（外径１．６ｍｍ）のチューブを用いた場合の長さと回収率（鉄溶解の程度をＪＩＳ法と比較した場合の溶解度合）の関係を示すもので，図によれば加熱管の長さが５ｍ程度であればＪＩＳ法で溶解した場合とほぼ同様となっている。従って本実施例では測定時間との兼合いも考慮して加熱管の長さを５ｍ程度とした。なお，この場合サンプルが加熱管を通り抜ける時間は３分弱であり，測定に要する時間は全体で１０分程度であった。
【００１５】図３はサンプル導入量と検出器１５でのピーク高さの関係を示すもので，図によれば検出器の出力は５００μｌ程度を境として飽和している。このことからサンプルの導入量は５００μｌとした。
【００１６】図４（イ），（ロ）は本発明の構成を用いて２種類の実サンプルを測定した結果を示すもので，サンプルＡ，Ｂ共に再現性よく測定されている。図５は本発明の装置で測定した全鉄の測定結果とＪＩＳ法との相関を示す図である。相関係数は０．９８と良好であった。
【００１７】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様に本発明によれば，鉄の粒子を含むサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，加熱された混合液を抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段を設けたので，サンプル液中の粒子状の鉄をほぼ完全に溶解するとともに溶解した鉄を定量可能なＦＩＡで検出することにより粒子状の鉄を含むサンプル液を迅速に定量することが可能で，かつ，低コストな鉄分測定装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の鉄分測定装置の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】加熱チューブの長さと回収率（鉄溶解の程度をＪＩＳ法と比較した場合の溶解度合）の関係を示す図である。
【図３】サンプル導入量と検出器の出力のピーク高さの関係を示す図である。
【図４】本発明の構成を用いて２種類の実サンプルを測定した結果を示す図である。
【図５】全鉄の測定結果とＪＩＳ法との相関を示す図である。
【図６】従来の鉄分測定装置の一実施例を示す構成説明図である。
【符号の説明】
１ａ〜１ｄ 第１〜第５ポンプ
２ 第１切換弁
３ 第２切換弁
２ａ，３ａ 計量管
４ 前処理部
５ 第１反応コイル
６ 抵抗管（絞り）
７ マイクロ波加熱器
１０ａ〜１０ｃ 第２〜第４反応コイル
１５ 可視吸光検出器
２０ 恒温槽
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【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は鉄分測定装置に関し，さらに詳しくは主として火力発電プラントの貫流ボイラ型プラントの系統水中に含まれる鉄分の濃度を測定する鉄分測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】火力発電プラントの高温，高圧化に伴い水質管理基準も厳しいものとなっているが，特に貫流ボイラ型プラントでは各工程ごとに系統水中の全鉄濃度が規定されており，高精度で迅速な全鉄濃度の把握が要請されている。全鉄測定において，最も工数が長くかかる操作はサンプル中の粒子またはコロイド状の鉄を溶解させる段階（前処理）である。鉄分の測定方法はＪＩＳ Ｂ８２２４「ボイラの給水及びボイラ水の試験方法」に示されている。この方法はサンプルに塩酸を加えて１／１０の体積まで濃縮することにより鉄を溶解させるものであるが，通常この操作だけで３０〜６０分程度必要である。
【０００３】前処理時間を短縮するものとしては特開昭６３−２０１５６４号公報に記載された方法が知られている。図６は上記公報に記載された鉄分溶解方法である。図において１はサンプル水導入管，２はサンプル水入り口弁，３は送水ポンプ，４は流量計，５は塩酸注入ポンプ，６は塩酸注入管，７は塩酸注入弁，８はサンプル水加熱器，９は冷却器，１０は調圧弁，１１は弁，１２は全鉄検出計，１３はプローブ管，１４はサンプル水出口管，１５はサンプル水出口弁である。
【０００４】上記の構成において，サンプル水がサンプル導入管１によって採取され，サンプル水入り口弁２，送水ポンプ３，流量計４から高圧下にあるサンプル水加熱器８に送水される。一方塩酸注入ポンプ５から塩酸注入管６，塩酸注入弁７を介して上記サンプル水中に塩酸が１〜１０％程度となるよう注入混合されサンプル水加熱器８で１００〜１５０℃に加熱されることにより，上記サンプル中のコロイド及び粒子状の鉄分は従来より大幅に短い滞留時間で溶解される。その後冷却器９で冷却され調圧弁１０を介して減圧される。そしてこの液は弁１１を経て全鉄検出計１２に搬送され，その含有鉄分が測定されブロー管１３から排出される。上記の鉄分溶解方法は溶解がチューブ内の流れの中で行われるのでクロマトグラフィやフローインジェクション検出法（ＦＩＡ）との接続も容易である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記の従来例においては鉄濃度が高い場合やサンプル液の主成分が溶解しにくいマグネタイトの場合は溶解が不完全であり，測定に負の誤差を与える要因となっている。また，冷却器と調節弁（減圧弁）を別々に備えているので部品点数が多くコスト高になるという問題があった。本発明は上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので，冷却器と調節弁を一体化し，所定量のサンプル液と第１反応液の混合液を加圧してマイクロ波加熱器で所定の時間加熱し，サンプル液中の粒子状の鉄をほぼ完全に溶解するとともに溶解した鉄を定量可能なＦＩＡで検出することにより粒子状の鉄を含むサンプル液を迅速に定量することが可能で，かつ，低コストな鉄分測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為に本発明は，鉄の粒子を含むサンプル液と，このサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，前記サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，この加熱された混合液を前記抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，この複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段からなるものである。
【０００７】
【作用】搬送液に取り込まれたサンプル液は第１反応液と混合されて加圧される。加圧された混合液はマイクロ波加熱器で加熱されることにより粒子状の鉄が完全に溶解される。鉄が溶解した混合液は複数種の反応液で順次反応され，可視吸光検出器に送られて含有鉄分が検出される。
【０００８】
【実施例】図１は本発明による鉄分測定装置の一実施例を示す構成図である。図において１ａは図示しない液槽から搬送液（例えば純水）を送出する第１ポンプであり，１ｂは図示しない液槽から第１反応液（例えば１規定の塩酸）を送出する第２ポンプ，１ｃは図示しない液槽から第２反応液（還元剤；例えば塩酸ヒドロキシルアミン１０％溶液）を送出する第３ポンプ，１ｄは図示しない液槽から発色液（例えばＴＰＴＺ（２，４，６−トリ−２−ピリジル−１，３，５−トリアジン）０．００１ｍｏｌ／ｌ溶液）を送出する第４ポンプ，１ｅは図示しない液槽から緩衝液（例えば酢酸アンモニウム５０％溶液）を送出する第５ポンプである。
【０００９】２はサンプル液を手動で注入する場合に使用する第１切換弁，３はサンプル液を自動的に注入する場合に使用する第２切換弁であり，図は自動で使用する場合を示している。５は耐薬品性があり，高温，高圧に耐えるポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の第１反応コイルである。この第１コイル５の後段には絞りとしての抵抗管６が接続されている。この抵抗管は例えば内径０．２ｍｍ，長さ５〜１０ｍ程度を有するもので冷却管としても機能する。
【００１０】７は第１反応コイル５を収納して加熱するマイクロ波加熱器（例えば電子レンジ）であり，この加熱器内にはマグネトロンの自己加熱を防ぐために保護用の水循環チューブ（内径４ｍｍ，長さ数ｍ程度…図示せず）が配置されている。上記第１，第２ポンプ（１ａ，１ｂ），切換弁（２，３）〜抵抗管６までは前処理部４として機能する。
【００１１】１０ａは抵抗管６の後段に配置された第２反応コイルであり，このコイルの前段には第３ポンプ１ｃからの還元剤が注入される。１０ｂは第２反応コイルの後段に接続された第３反応コイルであり，このコイルの前段には第４ポンプ１ｄからの発色液が注入される。そして１０ｃは第３反応コイル１０ｂの後段に配置された第４反応コイルであり，この第４反応コイルの前段には第５ポンプ１ｅからの緩衝剤が注入される。１５は第４反応コイルの後段に配置され鉄分の検出を行う可視吸光検出器である。なお，反応コイル１０ａ，１０ｂ，１０ｃは測定値の再現性を向上させるために４０℃程度の恒温槽２０に収納されている。
【００１２】上記の構成において第１ポンプからの純水は第１，第２切換弁の実線の経路を経て第１反応コイル５，抵抗管，第２〜第４反応コイルを通り可視吸光検出器側へ流れており，第２〜第５ポンプからの反応液も所定の量と濃度で注入されている。この時サンプル液は第２切換弁３の矢印Ａに注入され実線に沿って流れ計量管３ａを介して矢印Ｂ方向に排出されている。なお，この時第1反応コイル５を通過する混合液は抵抗管６により５〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度に昇圧されている。また，各反応チューブは内径０．５ｍｍ，長さ数ｍ程度のＥＴＦＥチューブとし，各ポンプの吐出量はそれぞれ毎分０．１〜２．０ｍｌ程度の適当な量とされる。
【００１３】次に所定のタイミングで第２切換弁３が点線で示す経路に切換わると純水は計量管３ａを流れていたサンプル液を取り込んで流れる。同時にマイクロ波加熱器７がオンとなり流路を流れる混合液を加熱する。この加熱器７により混合液は１００℃以上に加熱されるが上述のように５〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度に加圧されているので沸騰することはない。このマイクロ波での加熱はサンプルが加熱管を通過する時間に合わせて３分程度経ったらオフになるように設定されているがエネルギーがコイルを流れる混合液に十分に作用するのでむらなく加熱することができ，鉄粒子が十分に酸溶解される。
【００１４】図２は加熱チューブ（ＰＥＥＫ）として内径０．８ｍｍ（外径１．６ｍｍ）のチューブを用いた場合の長さと回収率（鉄溶解の程度をＪＩＳ法と比較した場合の溶解度合）の関係を示すもので，図によれば加熱管の長さが５ｍ程度であればＪＩＳ法で溶解した場合とほぼ同様となっている。従って本実施例では測定時間との兼合いも考慮して加熱管の長さを５ｍ程度とした。なお，この場合サンプルが加熱管を通り抜ける時間は３分弱であり，測定に要する時間は全体で１０分程度であった。
【００１５】図３はサンプル導入量と検出器１５でのピーク高さの関係を示すもので，図によれば検出器の出力は５００μｌ程度を境として飽和している。このことからサンプルの導入量は５００μｌとした。
【００１６】図４（イ），（ロ）は本発明の構成を用いて２種類の実サンプルを測定した結果を示すもので，サンプルＡ，Ｂ共に再現性よく測定されている。図５は本発明の装置で測定した全鉄の測定結果とＪＩＳ法との相関を示す図である。相関係数は０．９８と良好であった。
【００１７】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様に本発明によれば，鉄の粒子を含むサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，加熱された混合液を抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段を設けたので，サンプル液中の粒子状の鉄をほぼ完全に溶解するとともに溶解した鉄を定量可能なＦＩＡで検出することにより粒子状の鉄を含むサンプル液を迅速に定量することが可能で，かつ，低コストな鉄分測定装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の鉄分測定装置の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】加熱チューブの長さと回収率（鉄溶解の程度をＪＩＳ法と比較した場合の溶解度合）の関係を示す図である。
【図３】サンプル導入量と検出器の出力のピーク高さの関係を示す図である。
【図４】本発明の構成を用いて２種類の実サンプルを測定した結果を示す図である。
【図５】全鉄の測定結果とＪＩＳ法との相関を示す図である。
【図６】従来の鉄分測定装置の一実施例を示す構成説明図である。
【符号の説明】
１ａ〜１ｄ 第１〜第５ポンプ
２ 第１切換弁
３ 第２切換弁
２ａ，３ａ 計量管
４ 前処理部
５ 第１反応コイル
６ 抵抗管（絞り）
７ マイクロ波加熱器
１０ａ〜１０ｃ 第２〜第４反応コイル
１５ 可視吸光検出器
２０ 恒温槽
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【特許請求の範囲】
【請求項１】鉄の粒子を含むサンプル液と，このサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，前記サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，この加熱された混合液を前記抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，この複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段からなることを特徴とする鉄分測定装置。
【請求項１】鉄の粒子を含むサンプル液と，このサンプル液の所定量を取り込んで搬送する搬送液と，この搬送液に第１反応液を注入する第１反応液注入手段と，前記サンプル液を含む搬送液と第１反応液の混合液を加圧すると共に冷却装置として機能する抵抗管と，この抵抗管の前段に設けられ加圧された状態の混合液にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱器と，この加熱された混合液を前記抵抗管を通して冷却し，この冷却された混合液に複数の反応液を加えて順次反応させる反応手段と，この複数回反応させた反応液に含まれる鉄分を検出する鉄分検出手段からなることを特徴とする鉄分測定装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図５】
【図４】
【図６】
【図２】
【図３】
【図５】
【図４】
【図６】
【特許番号】特許第３２３７３１２号（Ｐ３２３７３１２）
【登録日】平成１３年１０月５日（２００１．１０．５）
【発行日】平成１３年１２月１０日（２００１．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願平５−１５０１８５
【出願日】平成５年６月２２日（１９９３．６．２２）
【公開番号】特開平７−２０１１３
【公開日】平成７年１月２４日（１９９５．１．２４）
【審査請求日】平成１１年８月２３日（１９９９．８．２３）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【参考文献】
【文献】特開 昭５８−２１８６４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開 平３−２４８０６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開 平４−１２２８３６（ＪＰ，Ａ）
【登録日】平成１３年１０月５日（２００１．１０．５）
【発行日】平成１３年１２月１０日（２００１．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成５年６月２２日（１９９３．６．２２）
【公開番号】特開平７−２０１１３
【公開日】平成７年１月２４日（１９９５．１．２４）
【審査請求日】平成１１年８月２３日（１９９９．８．２３）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【参考文献】
【文献】特開 昭５８−２１８６４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開 平３−２４８０６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開 平４−１２２８３６（ＪＰ，Ａ）
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